JP2003225590A - 液体吐出用ノズル・液体塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 例えば光ディスク用基板に色素膜を形成する
場合に、色素残渣による次工程での悪影響を防止するこ
とができ、且つ、色素残渣を洗浄する洗浄液の残渣によ
る次工程での悪影響を防止できるようにする。 【解決手段】 液体吐出用ノズル９は、被塗布体に色素
液を塗布する色素液吐出管１２と、色素残渣を洗浄する
洗浄液を吐出する洗浄液吐出管１１と、色素液吐出管１
２上の洗浄液を乾燥する乾燥ブロー管１０を有し、これ
らの３つの管はネジ込み方式により同心状に一体に連結
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク等の光
学的情報記録媒体製造用の色素塗布装置等に用いられる
液体吐出用ノズル、該液体吐出用ノズルを備えた液体塗
布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、光ディスクでは、プラスチック
製の基板上に色素による記録膜が設けられている。この
記録膜は、プラスチック製基板上に色素溶液を液体吐出
用ノズルから滴下させ、スピンコート法により均一膜厚
で薄膜状に形成したものである。従来、液体吐出用ノズ
ルとしては、下端部に色素液吐出口を開口した色素液ノ
ズル管のみからなる一重管型のものが知られている。こ
の一重管型のものは、金属製管体の下端部に色素液吐出
口を開口した単純なものであり、色素液吐出後に吐出口
周辺に色素が残留することを避けられない、このため、
色素残渣を洗浄液で十分に洗い落とさずにそのまま放置
した場合には、新たに色素液を吐出させるときに色素残
渣が洗い出されて基板面に塗布され、色素膜（記録膜）
に膜厚や記録再生特性の異常部分が発生してしまい、正
確な記録及び読み取りができなくなるという問題があっ
た。色素残渣を十分に洗い落とすには、色素液吐出口を
洗浄液中に浸漬したり、洗浄液を含ませた布類などで拭
き取るなど面倒な手作業が必要であった。

【０００３】一重管型の欠点に対処したものとして、図
７に示すような並列管型のものが知られている。この液
体吐出用ノズル１００は、図７（ａ）に示すように、下
端部に色素液吐出口１０１を開口した色素液ノズル管１
０２と、下端部に洗浄液吐出口１０３を開口した洗浄液
ノズル管１０４とを並列に当接させてバンドホース１０
５で固定し、洗浄液吐出口１０３を色素液吐出口１０１
の上方に位置させた構成を有している。符号１０６は色
素液を示している。図７（ｂ）に示すように、並列管型
の場合にも一重管型と同様に色素液吐出口１０１の周辺
に色素残渣１０６ａが生じる。これを洗浄するために、
図７（ｃ）に示すように、洗浄液ノズル管１０４から洗
浄液１０７が色素液ノズル管１０２の外周面を伝わるよ
うに吐出され、色素残渣１０６ａと接触する。しかしな
がら、図７（ｄ）に示すように、洗浄液１０７の流れが
偏りやすく、色素液ノズル管１０２の下端部全周面に均
一に流れにくいため、色素残渣１０６ａを十分に洗浄で
きないという問題があった。

【０００４】この問題を解消すべく、本出願人は、特開
平５−３０９２９８号公報にて、二重管型の液体吐出用
ノズルを提案した。これは、図８に示すように、円管で
ある色素液ノズル管１０８を覆うように同心状に同じく
円管である洗浄液ノズル管１０９を設け、該洗浄液ノズ
ル管１０９の下端部は径を内方に絞り込んで倒立円錐状
に吐出開口面積を狭くしたものである。洗浄液供給口１
１０から供給された洗浄液は、洗浄液ノズル管１０９の
内方で圧力が高められ、下端部から勢いよく吐出され
る。洗浄液は色素液ノズル管１０８の下端部全周面を均
一に流れるので、優れた洗浄機能を得ることができ、記
録再生特性に優れた光学的記録情報媒体の歩留まりを大
幅に向上させることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
５−３０９２９８号公報に記載の液体吐出用ノズルで
は、色素残渣の問題は解消できるものの、洗浄液の残渣
が色素液ノズル管の側面に残り、次の記録膜形成時に洗
浄液が基板上に滴下されるという新たな問題が生じた。
また、色素液ノズル管の吐出口内部へ回り込んだ微量の
洗浄液が次の基板上へ塗布され、塗布ムラが発生するこ
とがあり、歩留まり向上効果が損なわれることがあっ
た。また、使用する洗浄溶媒によっては薄いもやのよう
な塗布ムラとしかならない。このため、インラインの最
後部に位置する自動欠陥検査機によって排除できずに、
実質的に欠陥を有しているにも拘わらず製品内に入り込
む懸念があった。

【０００６】そこで、本発明は、液体残渣による諸問題
を解消でき、歩留まり向上及び品質向上に寄与できる液
体吐出用ノズル、該液体吐出用ノズルを備えた液体塗布
装置の提供を、その目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明では、被塗布体に塗布するため
の液体を吐出させる液体吐出用管と、該液体吐出用管の
外周面に上記液体を洗浄する洗浄液を吐出させる洗浄液
吐出管と、上記液体吐出用管の外周面に乾燥用空気を吐
出する乾燥ブロー管を有している、という構成を採って
いる。

【０００８】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
液体吐出用ノズルにおいて、上記液体吐出用管、洗浄液
吐出管及び乾燥ブロー管が同心状に設けられている、と
いう構成を採っている。

【０００９】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
液体吐出用ノズルにおいて、上記液体吐出用管、洗浄液
吐出管及び乾燥ブロー管がネジ込み方式により一体に連
結される構成を有している、という構成を採っている。

【００１０】請求項４記載の発明では、所定の塗布位置
で被塗布体に液体を塗布するための液体吐出用ノズルを
有し、上記被塗布体に液体を塗布した後上記液体吐出用
ノズルを待機位置に戻す構成を有している液体塗布装置
において、上記液体吐出用ノズルが、請求項１乃至３の
何れかに記載のものである、という構成を採っている。

【００１１】請求項５記載の発明では、所定の塗布位置
で被塗布体に液体を塗布するための液体吐出用ノズルを
有し、上記被塗布体に液体を塗布した後上記液体吐出用
ノズルを待機位置に戻す構成を有している液体塗布装置
において、上記液体吐出用ノズルが、上記被塗布体に塗
布するための液体を吐出させる液体吐出用管と、該液体
吐出用管と一体に設けられ該液体吐出用管の外周面に乾
燥用空気を吐出する乾燥ブロー管を有し、上記待機位置
には上記液体吐出用管の外周面に上記液体を洗浄する洗
浄液を吐出させる洗浄液吐出管が設けられている、とい
う構成を採っている。

【００１２】請求項６記載の発明では、請求項５記載の
液体塗布装置において、上記液体吐出用管と乾燥ブロー
管が同心状に設けられている、という構成を採ってい
る。

【００１３】請求項７記載の発明では、請求項４、５又
は６記載の液体塗布装置において、上記液体吐出用ノズ
ルを待機位置から塗布位置へ移動させる際、上記液体吐
出用管から上記液体を微量吐出させるパージモードを有
している、という構成を採っている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施形態を
図１乃至図４に基づいて説明する。まず、図１に基づい
て、液体塗布装置としての光学的情報記録媒体製造用の
色素塗布装置の構成の概要を説明する。色素塗布装置１
は、矢印方向に直線移動するワークテーブル２と、該ワ
ークテーブル２上に所定の間隔をおいて設けられ、被塗
布体としての光ディスク用基板３を支持する支持ベース
４と、ノズルユニット５を有している。ノズルユニット
５は、ユニットベース６と、該ユニットベース６から上
方に延びる回転可能な支柱７と、該支柱７から略水平に
延びるアーム８と、該アーム８の先端部に支持された液
体吐出用ノズル９を有している。図２に示すように、支
柱７の回転動作によるアーム８の回動動作により、液体
吐出用ノズル９は、光ディスク用基板３に色素を塗布す
る塗布位置Ｐａと、洗浄位置としての待機位置Ｐｂに選
択的に位置付けられる。

【００１５】液体吐出用ノズル９は、図３に示すよう
に、乾燥ブロー管１０と、該乾燥ブロー管１０内に同心
状に挿入された洗浄液吐出管１１と、該洗浄液吐出管１
１内に同心状に挿入された液体吐出用管としての色素液
吐出管１２を有する三重管型に構成されている。乾燥ブ
ロー管１０、洗浄液吐出管１１及び色素液吐出管１２は
いずれもステンレス鋼製の円管である。乾燥ブロー管１
０には、図示しない空気圧搾源からのエアーを供給する
ためのエアー供給口１０ａが形成されており、洗浄液吐
出管１１には、洗浄液を加圧供給するための洗浄液供給
口１１ａが形成されている。同様に色素液吐出管１２に
は、色素液を加圧供給するための色素液供給口１２ａが
形成されている。乾燥ブロー管１０の下端部は倒立円錐
状に形成されており、吐出口１０ｂは径が狭められてい
る。洗浄液吐出管１１は、上部の圧力室としての大径部
１１ｂと、小径管部１１ｃを有しており、小径管部１１
ｃの下端部は倒立円錐状に形成されて吐出口１１ｄは径
が狭められている。色素液吐出管１２は、上部の圧力室
としての大径部１２ｂと、下端部に吐出口１２ｄを有す
る細管部１２ｃを有している。

【００１６】図４に示すように、乾燥ブロー管１０の上
端部内面には雌ネジ部１０ｓが形成されている。洗浄液
吐出管１１の大径部１１ｂの下端部外面には雌ネジ部１
０ｓに螺合する雄ネジ部１１ｓ−１が形成されており、
上端部内面には雌ネジ部１１ｓ−２が形成されている。
色素液吐出管１２の大径部１２ｂの下端部外面には雌ネ
ジ部１１ｓ−２に螺合する雄ネジ部１２ｓが形成されて
いる。乾燥ブロー管１０に洗浄液吐出管１１を挿入して
雌ネジ部１０ｓに雄ネジ部１１ｓ−１をネジ込むことに
より乾燥ブロー管１０と洗浄液吐出管１１が一体に連結
され、連結された状態の洗浄液吐出管１１に色素液吐出
管１２を挿入して雌ネジ部１１ｓ−２に雄ネジ部１２ｓ
をネジ込むと３管の一体連結が完了する。連結順序は逆
でもよい。分解するときはネジ部を緩めて取り外せばよ
い。

【００１７】次に、液体吐出用ノズル９の使用動作を説
明する。図３に示すように、色素液供給口１２ａから加
圧供給された色素液は大径部１２ｂで圧力を高められ、
細管部１２ｃを通って吐出口１２ｄから吐出する。光デ
ィスク用基板３に洗浄液が滴下塗布され、光ディスク用
基板３の表面に色素膜が形成される。滴下終了後には、
上述のように吐出口１２ｄの周辺に付着した色素液から
溶剤が揮発して固形分が色素残渣として付着する。この
色素残渣の量は色素液滴下作業の回数とともに徐々に増
大するものであり、その洗浄作業を行う時期は、色素残
渣の量や洗浄の難易度を考慮して決めることも可能であ
るが、滴下作業間の時間が長い場合には、滴下作業（色
素膜形成工程）が終了するたびに洗浄作業を行うのが好
ましい。より短時間により少量の洗浄液で十分に色素残
渣を洗浄することができるからである。

【００１８】洗浄作業は、図２で示した待機位置Ｐｂで
行われる。液体吐出用ノズル９が待機位置Ｐｂに位置付
けられると、図３に示すように、洗浄液供給口１１ａか
ら洗浄液が加圧供給される。洗浄液は大径部１１ｂで圧
力を高められ、小径管部１１ｃを通って下端部の吐出口
１１ｄから勢いよく吐出する。上述のように吐出口１１
ｄは径が狭められているので、流速が上昇して勢いよく
吐出する。洗浄液は初めは表面張力によって下端部に滞
留するが、洗浄液の供給量が所定量を超えると吐出口１
１ｂから勢いよく吐出し、色素液吐出管１２の細管部１
２ｃの下端部の全周面にまんべんなく噴射される。これ
によって色素残渣は極めて効率よく洗い落とされ、光デ
ィスク用基板３上に色素塗布欠陥のない高精度の色素膜
を形成することができる。

【００１９】洗浄作業後直ぐに圧力エアーがエアー供給
口１０ａから乾燥ブロー管１０に供給される。供給され
たエアーは、径を狭められた吐出口１０ｂから勢いよく
噴射され、洗浄液吐出管１１の小径管部１１ｃの下端部
の全周面、色素液吐出管１２の細管部１２ｃの下端部の
全周面を高速移動する。これによって細管部１２ｃの下
端部の洗浄液残渣は極めて効率よく乾燥され、あるいは
吹き飛ばされる。洗浄作業が終了すると、液体吐出用ノ
ズル９は塗布位置Ｐａに戻され、次の光ディスク用基板
３に対する滴下作業が行われる。この滴下作業におい
て、光ディスク用基板３上に洗浄液が落下することが防
止される。洗浄作業及びエアーブロー作業は必ずしも待
機位置Ｐｂで行う必要はなく、光ディスク用基板３に影
響を及ぼさない領域であれば液体吐出用ノズル９の移動
中でもよい。図１で示したワークテーブル２は環状に移
動する構成でもよい。

【００２０】次に、図５（ｂ）、（ｃ）に基づいて第２
の実施形態を説明する。なお、上記実施形態と同一部分
は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上
及び機能上の説明は省略する。また、要部のみ説明する
（以下の他の実施形態おいて同じ）。図５（ａ）に示す
ように、色素液吐出管１２の細管部１２ｃの外面におけ
る洗浄液の残渣はエアーブローによって乾燥又は除去さ
れるが、吐出口１２ｄの内部に微量（図面上では誇張表
示している）の洗浄液が回り込み、吐出口１２ｄの端面
及び色素液に密着して保持される。このままの状態で次
の滴下作業が行われると、光ディスク用基板３上に洗浄
液が落下することになる。これを防止するため、本実施
形態では、液体吐出用ノズル９が待機位置Ｐｂから塗布
位置Ｐａへ移動を開始する直前に、図示しない制御手段
によりパージモードが実行される。パージモードでは、
図５（ｂ）に示すように、例えば０．１ｓ以下の極短時
間色素液の吐出がなされる。吐出口１２ｄの内部に回り
込む洗浄液は微量であるので、吐出させる色素液の量も
極微量でよい。パージモードが実行されると、色素液の
吐出とともに付着した洗浄液も吐出し、図５（ｃ）に示
すように、吐出口１２ｄから洗浄液は完全に除去され
る。

【００２１】次に、図６に基づいて第３の実施形態を説
明する。本実施形態では、液体吐出用ノズル１５は色素
液吐出管１２と乾燥ブロー管１０とからなる二重管構成
を有しており、洗浄液吐出管１６は待機位置Ｐｂに独立
して設けられている。色素液吐出管１２と乾燥ブロー管
１０の連結は上記実施形態と同様に分解可能なネジ込み
方式となっている。洗浄液吐出管１６は、液体吐出用ノ
ズル１５が待機位置Ｐｂに位置したとき、色素液吐出管
１２の細管部１２ｃの下端部外面を効率的に洗浄できる
位置及び角度を有するように位置決めされている。

【００２２】液体吐出用ノズル１５が待機位置Ｐｂに位
置付けられると、洗浄液吐出管１６から洗浄液が噴射さ
れ、細管部１２ｃの下端部側面が洗浄される。洗浄作業
後直ぐに圧力エアーがエアー供給口１０ａから乾燥ブロ
ー管１０に供給される。供給されたエアーは、径を狭め
られた吐出口１０ｂから勢いよく噴射され、色素液吐出
管１２の細管部１２ｃの下端部の全周面を高速移動す
る。これによって細管部１２ｃの下端部の洗浄液残渣は
極めて効率よく乾燥され、あるいは吹き飛ばされる。洗
浄作業が終了すると、液体吐出用ノズル１５は塗布位置
Ｐａに戻され、次の光ディスク用基板３に対する滴下作
業が行われる。この滴下作業において、光ディスク用基
板３上に洗浄液が落下することが防止される。本実施形
態では、洗浄液吐出管１１が別個に固定配置されている
ので、液体吐出用ノズル１５の塗布位置Ｐａと待機位置
Ｐｂ間の高速移動においても洗浄液が漏れるという心配
が全くなく、光ディスク用基板３の製造ラインの高速化
に対応できる。本実施形態においても上記パージモード
を有している。待機位置Ｐｂでの色素残渣の洗浄を確実
にするために、細管部１２ｃの周りに洗浄液吐出管１６
を複数本対応させる構成としてもよい。

【００２３】（実験例１）第１の実施形態と第３の実施
形態における液体吐出用ノズルを使用し、塗布実験を実
施した。条件毎５００枚の事前に全面を洗浄したプラス
チック基板について、ノズル移動速度が低速・高速の両
設定にて、（１）一重管ノズル（従来品）、（２）色素
液吐出管に洗浄液吐出管を並列に付加した二重管ノズル
（従来品）、（３）色素液吐出管、洗浄液吐出管及び乾
燥ブロー管を同心状に連結した三重管ノズル（本発
明）、（４）色素液吐出管と乾燥ブロー管を同心状に連
結し、洗浄液吐出管を別個に配置したノズル（本発明）
の全８条件で色素液の滴下塗布作業を行い、製膜後、目
視で確認可能な基板上の欠陥の発生率を調査した。結果
を表１に示す。

【００２４】

【表１】

【００２５】低速移動条件における、２タイプのノズル
（３）、（４）で、洗浄剤残渣や漏れ、色素液吐出管へ
の洗浄液の侵入によって発生する洗浄液ムラが解消され
ている。（３）では高速移動時に洗浄液の漏れによる洗
浄ムラが発生しているが、洗浄液吐出管を分離して固定
配置した（４）では発生はなく、問題は解消されてい
る。常に洗浄位置の調整の必要がなく、ズレもない方式
はタイプ（３）の構成であるが、高速化されたノズルの
場合、タイプ（４）の構成が適している。タイプ（４）
の構成における位置ズレに関して、使用実績では分離し
た洗浄液吐出管をの設置を強固に行えば実際使用上問題
はなかった。

【００２６】上記各実施形態における色素塗布装置１
は、光ビームを照射することにより記録層材料に熱破壊
を生じさせ、情報の記録・再生を行い、且つ、書き換え
が可能である有機記録層型情報記録媒体の製造にも好適
である。上記各実施形態では、光ディスク用基板に色素
膜を形成する例について説明したが、本発明はこれに限
定される趣旨ではなく、液体又は液状体の残渣が影響を
及ぼす液体塗布において同様に実施できるものである。

【００２７】

【発明の効果】請求項１又は４記載の発明によれば、被
塗布体に塗布するための液体を吐出させる液体吐出用管
と、該液体吐出用管の外周面に上記液体を洗浄する洗浄
液を吐出させる洗浄液吐出管と、上記液体吐出用管の外
周面に乾燥用空気を吐出する乾燥ブロー管を有している
構成としたので、色素残渣による問題を解消できるとと
もに、洗浄液残渣による問題を解消することができる。
従って、光学的情報記録媒体等の製造における歩留まり
を向上できるとともに、低コストで品質のばらつきを高
精度に抑制することができる。

【００２８】請求項２又は４記載の発明によれば、請求
項１記載の液体吐出用ノズルにおいて、上記液体吐出用
管、洗浄液吐出管及び乾燥ブロー管が同心状に設けられ
ている構成としたので、色素残渣の洗浄及び洗浄液残渣
の乾燥を高精度に行うことができ、被塗布体への影響を
高精度に低減できる。

【００２９】請求項３又は４記載の発明によれば、請求
項２記載の液体吐出用ノズルにおいて、上記液体吐出用
管、洗浄液吐出管及び乾燥ブロー管がネジ込み方式によ
り一体に連結される構成を有しているので、組み立て作
業の容易性を向上させることができるとともに、メンテ
ナンス性を向上させることができる。

【００３０】請求項５記載の発明によれば、所定の塗布
位置で被塗布体に液体を塗布するための液体吐出用ノズ
ルを有し、上記被塗布体に液体を塗布した後上記液体吐
出用ノズルを待機位置に戻す構成を有している液体塗布
装置において、上記液体吐出用ノズルが、上記被塗布体
に塗布するための液体を吐出させる液体吐出用管と、該
液体吐出用管と一体に設けられ該液体吐出用管の外周面
に乾燥用空気を吐出する乾燥ブロー管を有し、上記待機
位置には上記液体吐出用管の外周面に上記液体を洗浄す
る洗浄液を吐出させる洗浄液吐出管が設けられている構
成としたので、液体吐出用ノズルを高速移動させても洗
浄液の漏れの心配がなく、塗布ラインの高速化に対応で
きる。

【００３１】請求項６記載の発明によれば、請求項５記
載の液体塗布装置において、上記液体吐出用管と乾燥ブ
ロー管が同心状に設けられている構成としたので、洗浄
液残渣の乾燥を高精度に行うことができ、被塗布体への
影響を高精度に低減できる。

【００３２】請求項７記載の発明によれば、請求項４、
５又は６記載の液体塗布装置において、上記液体吐出用
ノズルを待機位置から塗布位置へ移動させる際、上記液
体吐出用管から上記液体を微量吐出させるパージモード
を有している構成としたので、洗浄液の残りによる次工
程での悪影響を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態における液体塗布装置
としての色素液塗布装置の要部正面図である。

【図２】液体吐出用ノズルの塗布位置と待機位置を示す
概要平面図である。

【図３】液体吐出用ノズル概要断面図である。

【図４】液体吐出用ノズルの分解断面図である。

【図５】洗浄液が色素液吐出管の吐出口に侵入する問題
に対処した第２の実施形態を示す図で、（ａ）は洗浄液
が侵入した状態を示す要部断面図、（ｂ）はパージモー
ドによって洗浄液を吐出させた状態を示す要部断面図、
（ｃ）はパージモード実行後の状態を示す要部断面図で
ある。

【図６】第３の実施形態における要部斜視図である。

【図７】従来における並列二重管タイプの液体吐出用ノ
ズルの要部側面図である。

【図８】従来における同心状三重管タイプの液体吐出用
ノズルの斜視図である。

【符号の説明】

３ 被塗布体としての光ディスク用基板 １０ 乾燥ブロー管 １１ 洗浄液吐出管 １２ 液体吐出用管としての色素液吐出管 Ｐａ 塗布位置 Ｐｂ 待機位置

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D073 AA01 AA09 BB01 BB03 CA16 CA17 CC07 4F033 AA01 BA02 BA03 CA01 DA03 EA01 NA01 4F041 AA02 AA05 AB01 BA13 BA53 BA54 BA60 5D121 EE21 EE24

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被塗布体に塗布するための液体を吐出させ
   る液体吐出用管と、該液体吐出用管の外周面に上記液体
   を洗浄する洗浄液を吐出させる洗浄液吐出管と、上記液
   体吐出用管の外周面に乾燥用空気を吐出する乾燥ブロー
   管を有していることを特徴とする液体吐出用ノズル。
2. 【請求項２】請求項１記載の液体吐出用ノズルにおい
   て、 上記液体吐出用管、洗浄液吐出管及び乾燥ブロー管が同
   心状に設けられていることを特徴とする液体吐出用ノズ
   ル。
3. 【請求項３】請求項２記載の液体吐出用ノズルにおい
   て、 上記液体吐出用管、洗浄液吐出管及び乾燥ブロー管がネ
   ジ込み方式により一体に連結される構成を有しているこ
   とを特徴とする液体吐出用ノズル。
4. 【請求項４】所定の塗布位置で被塗布体に液体を塗布す
   るための液体吐出用ノズルを有し、上記被塗布体に液体
   を塗布した後上記液体吐出用ノズルを待機位置に戻す構
   成を有している液体塗布装置において、 上記液体吐出用ノズルが、請求項１乃至３の何れかに記
   載のものであることを特徴とする液体塗布装置。
5. 【請求項５】所定の塗布位置で被塗布体に液体を塗布す
   るための液体吐出用ノズルを有し、上記被塗布体に液体
   を塗布した後上記液体吐出用ノズルを待機位置に戻す構
   成を有している液体塗布装置において、 上記液体吐出用ノズルが、上記被塗布体に塗布するため
   の液体を吐出させる液体吐出用管と、該液体吐出用管と
   一体に設けられ該液体吐出用管の外周面に乾燥用空気を
   吐出する乾燥ブロー管を有し、上記待機位置には上記液
   体吐出用管の外周面に上記液体を洗浄する洗浄液を吐出
   させる洗浄液吐出管が設けられていることを特徴とする
   液体塗布装置。
6. 【請求項６】請求項５記載の液体塗布装置において、 上記液体吐出用管と乾燥ブロー管が同心状に設けられて
   いることを特徴とする液体塗布装置。
7. 【請求項７】請求項４、５又は６記載の液体塗布装置に
   おいて、 上記液体吐出用ノズルを待機位置から塗布位置へ移動さ
   せる際、上記液体吐出用管から上記液体を微量吐出させ
   るパージモードを有していることを特徴とする液体塗布
   装置。