JP2003223712A

JP2003223712A - 磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記録装置

Info

Publication number: JP2003223712A
Application number: JP2002015918A
Authority: JP
Inventors: Mitsutoshi Honda; 光利本田; Takashi Naito; 内藤　　孝; Tatsumi Hirano; 辰巳平野; Yuzuru Hosoe; 譲細江; Hiroaki Nemoto; 広明根本
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2002-01-24
Filing date: 2002-01-24
Publication date: 2003-08-08

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気記録媒体において、磁性膜中に均一で微
細な磁性粒子を形成して超高密度記録を実現する。【解決手段】基板１１上に、球状の結晶粒１８とそれ
を取り巻く粒界１９から構成されている下地膜１３を形
成し（図４）、その上にＣｏ層もしくはＣｏを主相とす
る合金層と、Ｐｔ、Ｐｄのうちより選ばれる少なくとも
１種類の金属元素層とを交互に積層した人工格子多層膜
からなる磁性膜１４を形成することで（図１）、磁性層
中に熱揺らぎに強く、かつ均一で微細な磁性粒子を形成
する。これにより、超高密度記録が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体および
それを用いた磁気記録装置に係り、特に、大量の情報を
迅速かつ正確に格納するための構造を有する磁気記録媒
体と、該磁気記録媒体を用いた磁気記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざま
しいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメデ
ィアが急速に普及してきている。これを支える情報記録
装置として磁気記録装置がある。現在、磁気記録装置で
は、記録密度を向上させつつ小型化が図られている。ま
た、それと並行して、磁気記録装置の低価格化が急速に
進められている。

【０００３】ところで、磁気記録媒体の高密度化を実現
するためには、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの距離
をつめること、磁気記録媒体の保磁力を増大させる
こと、磁気ヘッドの位置決め精度の高性能化、など
が必須の技術となっている。

【０００４】中でも、磁気記録媒体においては、高密度
記録を実現するために、保磁力の増大が必須であると同
時に、熱揺らぎに強い磁性膜を形成する必要がある。さ
らに、これに加えて、６０Ｇｂ／ｉｎ^２を超える記録密
度を実現するためには、磁化反転が生じる単位を小さく
しなければならない。そのためには、磁性粒子のサイズ
を微細化することが必要で、これを実現する方法とし
て、磁性膜の下に下地膜を設けることが提案されてい
る。

【０００５】その一例として、Ｊｏｕｒｎａｌｏｆ
ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ８７巻９号の６３５８
頁に掲載の論文を挙げることができる。これに記載され
た方法では、熱揺らぎに非常に強いＣｏ／Ｐｄ超格子多
層膜の下地に、ＩＴＯ（９０Ｉｎ_２Ｏ_３−１０Ｓｎ
Ｏ_２）を成膜することにより、Ｃｏ／Ｐｄ多層膜の特性
が大幅に改善されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、ＩＴＯの表面凹凸によって、Ｃｏ／Ｐｄ多
層膜の磁性粒子の粒径制御を行っていると推測される
が、ＩＴＯの表面凹凸の周期に著しい分布が生じるた
め、ＩＴＯの上部に成膜した磁性膜中に微小な粒子や粗
大化した粒子が混在して柱状に成長してしまうという問
題点が生じた。

【０００７】そのため、磁化を反転させて情報を記録す
る場合に、微小な粒子は周囲の磁性粒子から漏洩磁界の
影響を受け、逆に粗大化した粒子は周囲の磁性粒子に相
互作用を及ぼすために、６０Ｇｂ／ｉｎ^２を超える超記
録密度を行なう場合、安定した記録が行なえないという
問題が生じた。

【０００８】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、磁気記録媒体において、磁性膜の粒子を微
細化して、超高密度記録を実現可能とすることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、情報を記録するために、基板上に下地膜
を形成し、該下地膜の上に磁性膜を形成した磁気記録媒
体であって、前記下地膜は無数の球状粒子を有する構造
であることを特徴とするものである。本発明によれば、
磁気記録媒体において、下地膜の球状粒子を反映して磁
性膜粒子も微細化するため、超高密度記録が可能とな
る。

【００１０】また、前記下地膜は無数の結晶粒子とそれ
を取り巻く粒界とから構成され、該粒界の表面層から該
結晶粒子の円球状ないしは楕円球状の一部が突出した突
出部を有する構造でもよい。本構造によれば、下地膜の
突出した円球状ないしは楕円球状の突出部によって、そ
の上に形成した磁性膜に微細な凹凸が形成されるので、
磁気記録領域が微細化され、超高密度記録が得られる。

【００１１】また、前記磁性膜は、前記下地膜の上に磁
性層と非磁性層とを交互に積層した多層膜とすることも
できるし、前記下地膜と前記磁性膜とを交互に積層した
多層構造とすることもできる。本発明者らの実験によれ
ば、いずれの場合も磁性膜は下地膜の球状粒子を反映し
て微細化し、超高密度記録が可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。本発明の実施形態の概要は、
図１および図４〜５に示すように、磁気記録媒体の基板
１１上の下地膜１３に、無数の微細で均一な球状粒子１
８が形成されていることである。

【００１３】この球状粒子１８が周囲の粒界１９から突
出して球状突出部が形成され、この上部に形成した磁性
膜１４は、球状突出部を反映して微細な粒子構造を持つ
ことになり、超高密度磁気記録が可能となる。

【００１４】〔実施形態１〕図１は作製した磁気記録
媒体の断面模式図である。この磁気記録媒体は、基板１
１上に、軟磁性膜１２、下地膜１３、磁性膜１４、保護
膜１５、潤滑膜１６を、順に形成した構造を有してい
る。

【００１５】磁気記録媒体用の基板１１として、直径
２.５インチのガラス基板を用いた。この基板１１上に
モル比で９４Ｃｏ_３Ｚｒ_２Ｔａの合金をターゲットとし
て用い、純Ａｒを放電ガスとして軟磁性膜１２を形成し
た。スパッタ時のＡｒガス圧は５ｍＴｏｒｒ、投入ＤＣ
電力は４００Ｗ／１００ｍｍφ、膜厚は４００ｎｍとし
た。

【００１６】下地膜１３としては、ＣｏＯとＳｉＯ_２−
ＴｉＯ_２の混合物を選択した。スパッタ時のＡｒガス圧
は２ｍＴｏｒｒ、投入ＲＦ電力は６００Ｗ／１００ｍｍ
φとした。下地膜の膜厚は下表に示すとおり、０.５〜
２０ｎｍで作製した。

【００１７】磁性膜１４は、超構造多層膜（人工格子
膜）を、Ｃｏ層とＰｔ層とを交互に積層することにより
作製した。ＣｏとＰｔの投入電力をそれぞれ１２０Ｗ、
２４０Ｗとし、膜厚がＣｏ３ÅＰｔ８Åの周期になるよ
うに２層積層した。Ａｒガス圧は１２ｍＴｏｒｒとし
た。最後に形成した保護膜１５はＣとし、膜厚５ｎｍと
した。

【００１８】表１〜表３に、下地膜の金属酸化物成分の
組成をＣｏＯとし、ガラス化成分の組成をＳＴ（ＳＴ：
ＳｉＯ２、ＴｉＯ２を重量比で４：６で混合したもの）
と固定して、金属酸化物成分とガラス化成分の成分比
率、下地膜の膜厚を変化させたときの下地膜の粒子の平
均粒径、粒径の標準偏差を平均粒径で割った値、断面か
ら見た粒子の形状、磁性膜の平均粒径、磁性膜の粒径の
標準偏差を平均粒径で割った値、保磁力などの磁気特
性、Ｒ／Ｗ特性の結果を示した。なお、表１は膜厚０.
５ｎｍと１ｎｍ、表２は３ｎｍと７ｎｍ、表３は１５ｎ
ｍと２０ｎｍの場合を示している。

【００１９】

【表１】

【００２０】

【表２】

【００２１】

【表３】

【００２２】各評価は次のようにして行なった。下地膜
のＴＥＭ像観察を行なったところ、球状あるいはラメラ
状の結晶粒が点在する構造が観測された。そこで、得ら
れた表面あるいは断面ＴＥＭ像から結晶粒１個１個の面
積を計算し、その面積を有する円を仮定し、その直径を
もって粒径とした。

【００２３】１つの試料から１００〜３００個程度の結
晶粒の粒径を解析し、標準偏差を計算した。なお、表中
で平均粒径、標準偏差が空白のものは、平面ＴＥＭにお
いて、粒子と粒界の境界がはっきりしなかったため、値
が算出できなかったことを示す。

【００２４】また、磁性膜の平均粒径も同様の方法を用
いて算出した。粒子の形状は、平均ＴＥＭだけでは正確
に把握することができないため、断面ＴＥＭを観察し、
得られた断面ＴＥＭ像により粒子の形状を判断した。磁
気特性は、振動式磁束計（ＶＳＭ）により、また、磁区
の大きさはＭＦＭ（磁気力顕微鏡）により評価した。以
上の特性の測定は、磁気記録媒体に潤滑膜を塗布せずに
行なった。

【００２５】Ｒ／Ｗ特性は、磁気記録媒体に潤滑膜を塗
布し、図２に示す磁気記録装置を作製して評価した。こ
の磁気記録装置は、図２（ａ）に概略平面図を、図２
（ｂ）にそのＡ−Ａ断面図を示すように、磁気記録媒体
駆動部３２により回転駆動される磁気記録媒体３１と、
磁気ヘッド駆動部３４により駆動されて磁気記録媒体３
１に対して記録および再生を行なう磁気ヘッド３３と、
磁気ヘッド３３の記録信号および再生信号を処理する記
録再生信号処理系３５とを備えている。

【００２６】記録には２.１Ｔの高飽和磁束密度の軟磁
性膜を備えるリング型磁気ヘッドを用い、再生にはピン
バルブ磁気抵抗効果型ヘッドを用いた。ヘッド面と磁性
膜１４の最表面との距離は１０ｎｍとした。

【００２７】まずこの結果を、粒子の形状から考察す
る。等質構造であった資料ＮＯ.５の下地膜の断面模式
図を図３に示す。このように、粒子と粒界とが明確に区
別されていない構造であった。

【００２８】次に、膜厚が３ｎｍで球状の試料ＮＯ.１
２の下地膜の断面模式図を図４に示す。また、膜厚が１
５ｎｍで球状の試料ＮＯ.３３の下地膜の断面模式図を
図５に示す。これらの図のように、球状構造において
は、粒界１９に球状の形状をした結晶粒１８が整列した
構造（図４）や、積層した構造（図５）をしていた。な
お、断面ＴＥＭにおいて観測された球状粒子を楕円状に
近似すると、長軸と短軸との比は０.７以上となってい
た。

【００２９】次に、柱状の試料ＮＯ.３１の下地膜の断
面模式図を図６に示す。この図のように、柱状構造にお
いては、粒子１９中に結晶粒１８が基板界面から柱状に
成長した構造をしていた。なお、断面ＴＥＭにおいて観
測された柱状粒子を楕円状に近似すると、長軸と短軸と
の比はいずれも０.７未満であった。

【００３０】次に、ラメラ構造の試料ＮＯ.４１の下地
膜の断面模式図を図７に示した。この図のように、ラメ
ラ構造においては、粒界１９中に結晶粒１８がランダム
な方向を向いて成長した構造をしていた。２つの相はい
ずれも結晶質ではなく、非晶質であった。なお、これら
の図において、記号の１１は基板、１３は結晶粒、１９
は粒界を示す。

【００３１】ここで、粒子の形状と特性を比較すると、
粒子が球状の場合、磁性膜が下地膜を反映して磁性膜の
平均粒径が４〜７ｎｍ程度で、標準偏差を粒径で割った
値も１０〜１５％と非常に良好となり、保磁力２.６ｋ
Ｏｅ以上、Ｒ／Ｗ特性が３５ｄｂ以上と、いずれも良好
となった。

【００３２】一方、等質構造、柱状、あるいはラメラの
状態の場合は、磁性膜が下地膜の粒径を反映しなかった
ため、磁性膜の粒径が１２〜１５ｎｍ程度、標準偏差を
平均粒径で割った値も４０％程度と非常に大きくなって
しまった。そのため、保磁力１.４ｋＯｅ以下、Ｒ／Ｗ
特性も１０ｄｂ程度と、いずれも良好な特性が得られな
かった。

【００３３】以上のことから、下地膜は球状粒子または
球状粒子が積み重なった構造が好ましい構造であること
がわかった。この球状粒子が周囲の粒界から球状突出部
を形成し、これを反映して磁性膜の粒子が微細化するも
のと推察できる。

【００３４】この結果を平均粒径から見ると、１〜７ｎ
ｍが必ず好条件となっていたが、３〜７ｎｍの方が、保
磁力やＲ／Ｗ特性が若干上昇していた。これは、粒径が
１〜７ｎｍでは、磁性膜の粒子が下地膜の粒子１個では
なく、２個以上から成長するものが含まれるためと考え
られる。

【００３５】また、膜厚でみると、膜厚が１〜７ｎｍの
場合、Ｒ／Ｗ特性が４０ｄＢ以上と、さらに良好な特性
を示していた。磁気特性などの他の特性が殆ど変わらな
いことから下地膜の膜厚が１０ｎｍ以上では、軟磁性膜
と磁性膜との距離が大きくなったことにより、Ｓ／Ｎ比
が低下したものと考えられる。

【００３６】次に、表４に、金属酸化物成分またはガラ
ス化成分の構成元素を変化させた実験結果を示す。本例
では、金属酸化物成分とガラス化成分との重量比を、表
１〜３において、特性が向上していた試料ＮＯ.１９に
相当する重量比８：２に固定し、金属酸化物のＣｏＯ
を、ＦｅＯ、ＭｎＯ、ＮｉＯに、あるいは、ガラス化成
分のＴｉＯ_２を、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｎＯに変化させた。

【００３７】また、組成の比較例として、ＩＴＯを下地
膜として選択した場合も検討した。このうち、試料Ｎ
Ｏ.４３とＮＯ.４４が比較例として、それぞれＩＴＯ
（９０Ｉｎ_２Ｏ_３−１０ＳｎＯ_２（ｗｔ％））、Ａｕ、
ＳｉＯ_２の混合薄膜（Ａｕ＋１５ｍｏｌ％ＳｉＯ_２）を
４ｎｍ成膜した試料、試料ＮＯ.４５〜ＮＯ.４７が金属
酸化物の組成を変化させた試料、試料ＮＯ.４８、ＮＯ.
４９がガラス化成分を変化させた試料である。

【００３８】

【表４】

【００３９】まず、比較例として成膜した結果を見る
と、平均粒径が大きく、しかもその分布が非常にばらつ
いていることがわかった。その結果、磁気特性やＲ／Ｗ
特性のいずれも良好な特性は得られなかった。この原因
としては、ＩＴＯやＡｕ、ＳｉＯ_２の粒径の分布がばら
ついているために、良好な特性が得られなかったものと
推測される。

【００４０】また、金属酸化物の組成を変化させた試料
を見ると、ＭｎＯ、ＦｅＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯの順に平均
粒径が小さくなる様子が観測されたものの、その他の特
性は殆ど変化せず、ともに良好であった。

【００４１】さらに、ガラス化成分の組成を変化させた
試料をみると、ＴｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ _３、ＺｎＯの順に、
平均粒径が大きくなる様子が観測されたが、金属酸化物
成分を変化させた場合の実験と同様に、特性はいずれの
試料においても良好であった。

【００４２】ここでは磁性膜としてＣｏ／Ｐｔ人工格子
多層膜の例を示したが、Ｃｏ／Ｐｄ人工格子多層膜を用
いても同様の結果が得られた。なお、基板は、ガラス基
板以外にＡｌやＡｌ合金などの金属基板を用いても、ガ
ラス、Ａｌ、Ａｌ合金の基板上に、ＮｉＰをメッキ法に
より形成した基板を用いても同様の効果が得られた。

【００４３】また、本検討で最も特性の良好であった試
料ＮＯ.１９は、１００Ｇｂ／ｉｎ ^２の信号に対しても
３０ｄＢを示し、高密度記録に対応可能であることがわ
かった。

【００４４】以上により本例の結果をまとめると、下地
膜の結晶粒が球状の場合に、磁気特性およびＲ／Ｗ特性
が良好になることがわかった。この条件は平均粒径で見
ると１〜７ｎｍに対応する条件である。さらに、下地膜
の膜厚が１〜７ｎｍとなると、Ｒ／Ｗ特性がさらに向上
して良好な結果が得られることがわかった。

【００４５】〔実施形態２〕本例では、下地膜の平滑
性を変化させたときの磁性膜の特性を調べるため、下地
膜の成膜後、逆スパッタを行なって、下地膜表面の平滑
性を変化させた。

【００４６】下地膜としては、表２の試料ＮＯ.１９に
相当する条件を用いて、この膜を逆スパッタした。逆ス
パッタ条件は、パワー１００Ｗ、Ａｒガス圧３Ｐａと
し、逆スパッタ時間を変化させることで平滑性を変化さ
せた。表５に、逆スパッタ時間を０秒から１２０秒まで
変化させたときの、Ｒａ、磁気特性、Ｒ／Ｗ特性の結果
を示す。各評価法は表１と同様とした。

【００４７】

【表５】

【００４８】逆スパッタ時間の増加に伴い、最表面のＲ
ａが増加していた。断面ＴＥＭでは、基板および軟磁性
膜に凹凸が観測されなかったが、下地膜の表面形状にお
いて、下地膜の粒子の部分が凸部、粒界の部分が凹部と
なっており、下地膜の凹凸を反映して、上部の磁性膜や
保護膜に凹凸が観測され、逆スパッタにより、各層の凹
凸が大きくなるのが観測された。

【００４９】断面ＴＥＭの結果から参照すると、ＡＦＭ
で観察されたＲａの増加は、下地膜のＲａの変化に対応
すると考えられる。逆スパッタを行なってＲａが０.１
ｎｍ以上になった試料ＮＯ.２０１〜２０８は、磁気特
性およびＲ／Ｗ特性が共に向上した。

【００５０】しかし、逆スパッタ時間を１２０秒行なっ
た試料ＮＯ.２０９では、Ｒａが０.６５ｎｍと、凹凸が
非常に大きくなったため、磁気ヘッドの浮上量が２０ｎ
ｍと上昇して、磁気ヘッド磁性膜間距離が増加して、Ｒ
／Ｗ特性が低下した。この結果、表面の凹凸のＲａは、
０.１〜０.４ｎｍであると、さらに特性が向上すること
がわかった。

【００５１】〔実施形態３〕本例では、下地膜と磁性
膜とを、そのまま交互に積層させた場合の結果について
示す。図８は、本例で作製した磁気記録媒体の断面模式
図である。この磁気記録媒体は、ガラス基板１１上に、
軟磁性膜１２を積層し、その後、下地膜１３と磁性膜１
４とを２０層繰り返し積層し、最後に保護膜１５、潤滑
膜１６を順に形成した構造とした。

【００５２】下地膜は、表２の試料ＮＯ.１９に相当す
る成膜条件を用いた。磁性膜１４としては、Ｃｏのみを
使用し、下地膜３ｎｍ、磁性膜１ｎｍの周期になるよう
に２０層積層した。Ａｒガス圧を１２ｍＴｏｒｒとし
た。最後に形成した保護膜１５はＣとし、膜厚５ｎｍと
した。

【００５３】磁性膜１４は、Ｃｏのみを成膜したが、そ
の他の成膜条件は実施形態１の場合と同様とした。その
結果を表６に示す。この場合も、表１と同様な方法で測
定を行なった。

【００５４】

【表６】

【００５５】表６において、試料ＮＯ.１、ＮＯ.１９
は、表１〜表２に示した試料であり、ＮＯ.３０１は本
方法を用いて成膜した試料である。この結果から、本方
法で作製した試料ＮＯ.３０１は、Ｎｏ.１９とほぼ同等
の特性が得られていることがわかった。以上のことか
ら、下地と磁性膜とを交互に成膜することによっても、
同等の効果が得られることがわかった。

【００５６】〔実施形態４〕本例では、磁気ヘッドに
光学系の回路を装着して、レーザ光を照射しながらＲ／
Ｗ特性を調べた。このときの磁気ヘッドの様子を図９に
示す。図９において、記号の２０はレーザ光を集光する
ための対物レンズ、２１は再生ヘッド、２２は磁気コイ
ル、２３は記録ヘッドの芯部分、２４は装着するレーザ
光源である。

【００５７】レーザ光は、発振波長６４０ｎｍの半導体
レーザを用い、パワー５ｍＷで磁性膜に対して垂直方向
から照射した。本例で使用した対物レンズのＮＡ（Ｎｕ
ｍｅｒｉｃａｌＡｐｅｒｔｕｒｅ）は０.８５とし
た。Ｒ／Ｗ特性は、レーザ光を信号にしたがって照射し
て磁性層を加熱しながら、記録ヘッドによって記録し、
記録した信号を再生用ヘッドによって再生する方法を用
いた。

【００５８】本例においても、試料ＮＯ.３３に相当す
る成膜条件を用いた。その結果、６０Ｇｂ／ｉｎｃｈ^２
の信号に対して、レーザ照射によって熱揺らぎに強くな
った効果を反映して、６５ｄＢと高い再生出力が得られ
ることがわかった。以上より、記録ヘッドにレーザ光発
振装置を付随させることで、高い再生出力が得られるこ
とがわかった。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、磁気記録媒体におい
て、球状結晶粒から構成される下地膜により、磁性膜中
に均一で微細な磁性粒子を形成できるので、磁気記録媒
体の超高密度記録を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】磁気記録媒体の断面模式図である。

【図２】磁気記録装置の概略図である。

【図３】下地表面のＴＥＭ観察結果を示す模式図であ
る。

【図４】下地膜の断面を示す模式図である。

【図５】下地膜の断面を示す模式図である。

【図６】下地膜の断面を示す模式図である。

【図７】下地膜の断面を示す模式図である。

【図８】磁気記録媒体の断面模式図である。

【図９】磁気ヘッドの概略図である。

【符号の説明】

１１基板１２軟磁性膜１３下地膜１４磁性膜１５保護膜１６潤滑膜１８結晶粒１９粒界２０レーザ光集光対物レンズ２１再生ヘッド２２磁気コイル２３記録ヘッドの芯部分２４レーザ光源３１磁気記録媒体３２磁気記録媒体駆動部３３磁気ヘッド３４磁気ヘッド駆動部３５記録再生信号処理系

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平野辰巳茨城県日立市大みか町七丁目１番１号株式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者細江譲東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者根本広明東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内Ｆターム(参考） 5D006 BB01 BB07 BB08 CA01 CA05 DA03 EA03 FA00 5E049 AA04 AC05 BA06 CB02 DB12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】情報を記録するために、基板上に下地膜
を形成し、該下地膜の上に磁性膜を形成した磁気記録媒
体であって、前記下地膜は無数の球状粒子を有する構造
であることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】情報を記録するために、基板上に下地膜
を形成し、該下地膜の上に磁性膜を形成した磁気記録媒
体であって、前記下地膜は無数の結晶粒子とそれを取り
巻く粒界とから構成され、該粒界の表面層から該結晶粒
子の円球状ないしは楕円球状の一部が突出した突出部を
有する構造であることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】前記磁性膜は、前記下地膜の上に、磁性
層と非磁性層とを交互に積層した多層膜である請求項１
〜２のうちいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】前記下地膜と前記磁性膜とを、交互に積
層した多層構造を有する請求項１〜２のうちいずれか１
項に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】前記下地膜の結晶粒子は、楕円に近似し
たときの長軸と短軸との比が０.７以上である請求項１
〜４のうちいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】前記磁性膜は、Ｃｏ層もしくはＣｏを主
相とする磁性金属層を有する請求項１〜５のうちいずれ
か１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項７】前記磁性膜は、ＰｔもしくはＰｄより選
ばれる少なくとも１種類の金属元素が主成分である非磁
性層を有する請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の
磁気記録媒体。
【請求項８】前記下地膜は、ＣｏＯ、ＦｅＯ、ＮｉＯ
のうちのいずれか１つ以上から選ばれる第１酸化物成
分、および／または、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、
ＴｉＯ_２のうちのいずれか１つ以上から選ばれる第２酸
化物成分を含有する請求項１〜７のうちいずれか１項に
記載の磁気記録媒体。
【請求項９】前記下地膜は、膜厚が１ｎｍ〜７ｎｍで
ある請求項１〜８のうちいずれか１項に記載の磁気記録
媒体。
【請求項１０】前記下地膜の球状粒子は、平均粒径が
１ｎｍ〜７ｎｍで、粒径の標準偏差を平均粒径で除した
値が２５％以下である請求項１〜９のうちいずれか１項
に記載の磁気記録媒体。
【請求項１１】前記下地膜の球状粒子は、粒径が３ｎ
ｍ〜７ｎｍである請求項１〜１０のうちいずれか１項に
記載の磁気記録媒体。
【請求項１２】前記磁気記録媒体表面の平滑度が、
０.１ｎｍ〜０.４ｎｍである請求項１〜１１のうちいず
れか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項１３】磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を駆
動する磁気記録媒体駆動部と、該磁気記録媒体に対して
情報を記録および再生する磁気ヘッドと、該磁気ヘッド
を駆動する磁気ヘッド駆動部と、該磁気ヘッドの記録信
号および再生信号を処理する記録再生信号処理系とを備
える磁気記録装置において、前記磁気記録媒体は、請求
項１〜１２のうちいずれか１項に記載の磁気記録媒体で
あることを特徴とする磁気記録装置。
【請求項１４】前記磁気ヘッドは、レーザ光を発振す
るレーザ発振手段と、該レーザ光を集光するための対物
レンズとを装着している請求項１３に記載の磁気記録装
置。