JP2003208873A - 無電極放電ランプおよび紫外線照射装置 - Google Patents

無電極放電ランプおよび紫外線照射装置

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JP2003208873A
JP2003208873A JP2002005446A JP2002005446A JP2003208873A JP 2003208873 A JP2003208873 A JP 2003208873A JP 2002005446 A JP2002005446 A JP 2002005446A JP 2002005446 A JP2002005446 A JP 2002005446A JP 2003208873 A JP2003208873 A JP 2003208873A
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airtight container
ultraviolet
induction coil
discharge lamp
ultraviolet ray
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Kazuhiko Yoshikawa
和彦 吉川
Yorihisa Iida
順久 飯田
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Toshiba Lighting and Technology Corp
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Harison Toshiba Lighting Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】コイルの形状が崩れにくく、しかも、高電界部
による紫外線透過性気密容器の黒化が生じにくい無電極
放電ランプおよびこれを用いた紫外線照射装置を提供す
る。 【解決手段】無電極放電ランプは、紫外線透過性気密容
器1と、紫外線透過性気密容器1の内部に封入された水
銀および希ガスを含む放電媒体と、横断面形状が非円形
で、かつ、エッジ部分がない導電線条を巻回して形成さ
れ、紫外線透過性気密容器1を包囲して配設された誘導
コイル2と、を具備している。好ましくは紫外線透過性
気密容器1は細長くて、誘導コイル2は4〜10ターン
で、かつ、紫外線透過性気密容器1の管軸方向に沿って
複数が互いに離間して配列され、給電線兼誘導コイル支
持バー3に並列接続して支持される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線透過性気密
容器およびこれを包囲する誘導コイルを備えた紫外線放
射性の無電極放電ランプおよびこれを用いた紫外線照射
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種無電極放電ランプは、たと
えば特開平2−37660号公報に記載されて公知であ
る。この文献に記載されている無電極放電ランプは、軸
線に沿う中空部分を形成し、中空部分に水銀および希ガ
スを封入した略円筒状の発光管と、この発光管の外周に
設けられたコイルとを備えた構造である。そして、コイ
ルに高周波電圧を印加することにより、発光管内の水銀
蒸気を励起して、波長254nmの紫外線を放射させ、
殺菌などに利用する。コイルには、帯状または線状の導
線を用いている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の無電
極放電ランプのコイルに用いる導線は、その断面形状が
円形の場合、コイルの形状が崩れやすいという問題があ
る。また、帯状の導線の場合、導電の断面が長方形であ
り、四つの隅角が形成するそれぞれのエッジ部によって
高電界部が形成され、隅角部に対向する部位の発光管の
管壁内に水銀が打ち込まれて黒化を生じやすいという問
題がある。このような黒化が生じると、紫外線が吸収さ
れて紫外線発生量が減少してしまう。
【0004】本発明は、コイルの形状が崩れにくく、し
かも、高電界部による紫外線透過性気密容器の黒化が生
じにくい無電極放電ランプおよびこれを用いた紫外線照
射装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を達成するための手段】請求項1の発明の無電極
放電ランプは、紫外線透過性気密容器と;紫外線透過性
気密容器の内部に封入された水銀および希ガスを含む放
電媒体と;横断面形状が非円形で、かつ、エッジ部分が
ない導電線条を巻回して形成され、紫外線透過性気密容
器を包囲して配設された誘導コイルと;を具備している
ことを特徴としている。
【0006】本発明および以下の各発明において、特に
指定しない限り用語の定義および技術的意味は次によ
る。
【0007】まず、紫外線透過性気密容器について説明
する。紫外線透過性気密容器は、放電により放射される
紫外線のうち利用しようと企図する波長の紫外線に対す
る透過性を有してさえいればよい。したがって、利用と
する波長に対する波長選択性の透過率特性および当該波
長を含む連続的な透過率特性を有いていてもよい。ま
た、紫外線の透過性は、容器の全体が備えていてもよい
が、紫外線を導出しようとする部位のみが備えていても
よい。さらに、紫外線透過性気密容器の構成材料として
は、石英ガラス、フッ化マグネシウムなどの紫外線透過
性物質を用いることができる。
【0008】また、紫外線透過性気密容器は、その内部
に放電空間が形成されていれば、その余の構造は限定さ
れない。たとえば、直管状、筒状、有底筒状など所望の
形状を採用することが許容される。しかし、後述するよ
うに、紫外線発生量を多くすることができることから、
紫外線透過性気密容器は、その管軸方向に細長く形成さ
れているのが好適である。また、紫外線透過性気密容器
の大きさは、投入する電力に応じて適当な値に設定すれ
ばよい。なお、「直管状」とは、横断面が円形などの適
当な形状をなした柱状の放電空間を内部に備えている容
器形状をいう。「筒状」とは、横断面が環状をなすとと
もに、管軸方向に長い柱状すなわち環柱状なしている容
器形状をいう。「有底筒状」とは、横断面が環状をなす
とともに、中央縦断面がU字状をなした放電空間を内部
に備えている容器形状すなわち底面にも放電空間が形成
された環柱状をなした容器形状をいう。なお、放電媒体
を紫外線透過性気密容器の内部に封入するために、紫外
線透過性気密容器の内部に連通する排気管を突設して付
設することができる。
【0009】次に、放電媒体について説明する。放電媒
体は、水銀および希ガスを含み、水銀蒸気が放電した際
に紫外線を発生する。たとえば、水銀および希ガスを放
電媒体として用いることができる。この場合、水銀は、
主として波長254nmの紫外線を放射する。なお、紫
外線透過性気密容器に付設した排気管を最冷部として水
銀蒸気圧を制御するように利用することができる。ま
た、希ガスは、始動ガスおよび緩衝ガスとして作用す
る。
【0010】続いて、誘導コイルについて説明する。誘
導コイルは、放電媒体中に水銀蒸気放電を発生させるた
めの手段である。すなわち、誘導コイルの内部に高周波
電流が通流したときに生じる高周波磁束が放電媒体中を
貫通した際に、当該磁束の周囲の放電媒体中に2次電流
が誘導されることで、水銀蒸気が放電して紫外線を発生
する。
【0011】また、誘導コイルは、導電線条を巻回して
形成され、紫外線透過性気密容器を包囲するように配設
される。前述したように、紫外線発生量を多くするため
に、紫外線透過性気密容器を、その管軸方向に細長く形
成する場合、複数の誘導コイルを管軸方向に互いに離間
して配設するとともに、各誘導コイルを4〜10ターン
程度とすることが好ましい。
【0012】さらに、誘導コイルは、その両端部を、適
当な部材を用いて支持するとともに、コイル部を紫外線
透過性気密容器の外周に対して緩く巻装されて自由にな
っている状態にしておくことが好ましい。これにより、
誘導コイルの支持構造が簡単になるとともに、誘導コイ
ルにストレスが作用しにくくなる。また、複数の誘導コ
イルを配設する場合、紫外線透過性気密容器の管軸方向
に沿って分散するように配置することができる。そし
て、複数の誘導コイルを高周波電源に対して並列接続す
る。しかし、要すれば、複数の誘導コイルを高周波電源
に対して直列接続してもよい。
【0013】ところで、本発明においては、誘導コイル
を横断面形状が非円形で、かつ、エッジ部分がない導電
線条を用いて形成していることが構成上の特徴である。
なお、「横断面形状が非円形」であるとは、横断面形状
が長方形、正方形、楕円形、長円形、三角形などである
ことを許容する。また、「エッジ部がない」とは、導電
線条の横断面形状に現れる隅角部がこれにより高い電界
が形成されない程度に滑らかな隅角部を形成しているこ
とをいい、好適には隅角部は1mm以上のアール(R)
部を形成している。
【0014】本発明の必須構成要素ではないが、その他
の構成として、以下に掲げる構成を付加することが許容
され、それにより無電極放電ランプの性能が向上した
り、機能が付加されたりする。
【0015】1 外管 外管は、紫外線透過性気密容
器および誘導コイルを内部に収納する手段であり、紫外
線透過性材料または紫外線不透過性材料により形成され
る。前者の材料からなる外管の場合には、気密容器内で
放射する紫外線が外管を透過してその外部まで導出され
るので、外管を雰囲気に対して液密または気密に構成す
ることにより、被処理雰囲気中に外管を露出させて無電
極放電ランプを使用することができる。また、後者の材
料からなる外管の場合には、外管の内部に被処理気体ま
たは液体を通流させて紫外線を照射することができる。
【0016】2 コイル支持バー コイル支持バー
は、誘導コイルが紫外線透過性気密容器に対して所定の
位置に固定されるようにこれを配設することができる。
また、コイル支持バーは、紫外線透過性気密容器の外側
において管軸方向に沿って延在して、誘導コイルを支持
するとともに、給電線を兼ねるように構成することがで
きる。さらに、コイル支持バーは、紫外線透過性気密容
器の周囲に単一または複数を分散して配設することがで
きる。
【0017】3 気密容器支持手段 気密容器支持手
段は、紫外線透過性気密容器をたとえば外管などの内部
の所定位置に定置するための手段であって、紫外線透過
性気密容器の管軸方向の両端を支持する一対によって構
成されている。そして、紫外線透過性気密容器をその両
端で支持することにより、紫外線放射の配光を乱すこと
なく紫外線透過性気密容器を確実に支持することができ
る。
【0018】次に、本発明の作用について説明する。誘
導コイルが横断面非円形で、かつ、エッジ部分がない導
電線条を巻回して形成されているため、誘導コイルの剛
性が大きくなって、コイルの形状が崩れにくくなる。ま
た、導電線条にはエッジ部分がないので、エッジ部分に
よる強い電界が形成されるようなことがなく、したがっ
て水銀の打ち込みによる紫外線透過性気密容器の黒化を
防止することができる。このため、長期間にわたって信
頼性の高い紫外線発生動作を行なう無電極放電ランプが
得られる。
【0019】請求項2の発明の紫外線照射装置は、紫外
線照射装置本体と;紫外線照射装置本体に配設された請
求項1記載の無電極放電ランプと;を具備していること
を特徴としている。
【0020】本発明において、「紫外線照射装置」と
は、その目的の如何にかかわらず紫外線を照射するため
の装置を意味する広い概念である。たとえば、殺菌、紫
外線硬化性合成樹脂の硬化などの光化学反応、光触媒の
活性化、蛍光体の励起などのために紫外線照射を行なう
装置である。また、「紫外線照射装置本体」とは、紫外
線照射装置から無電極放電ランプを除外した残余の部分
をいう。
【0021】なお、無電極放電ランプを点灯するには、
無電極放電ランプの誘導コイルに高周波電圧を印加する
高周波電源が紫外線照射装置本体の一部として必要であ
る。高周波電源は、誘導コイルを励磁するための電源で
あり、一般的には周波数1MHz以上、好適には13.
56MHzの高周波を発生する。このような高周波電力
を発生するには、直流または低周波交流を直接または間
接的に半導体スイッチ素子などの能動素子を用いて周波
数変換することができる。低周波交流から高周波電力を
得るには、いったん直流に変換するのがよい。直流は、
平滑回路を用いて形成した平滑化直流でもよいし、非平
滑直流であってもよい。直流を高周波に変換するには、
増幅器およびインバータなどの回路要素を用いることが
できる。増幅器としては、たとえば電力変換効率の高い
E級増幅器などを用いることができる。また、ハーフブ
リッジ形インバータなどを用いることもできる。さら
に、能動素子としては、高周波特性に優れているMOSFET
が好適である。複数の高周波電源回路を並列的に接続し
て、各高周波電源回路の高周波出力を合成してから誘導
コイルに印加するように構成することができる。これに
より、所望の電力でありながら各高周波電源回路の出力
を小さくてよいから、能動素子にMOSFETを用いて、廉価
に効率よく高周波を発生することができる。
【0022】また、高周波電源と無電極放電ランプとの
間は、近接していてもよいし、離間していてもよい。離
間している場合には、高周波電力を効率よく伝送するた
めに、同軸ケーブルおよび整合回路を経由して伝送する
ことができる。この場合、無電極放電ランプ側に同軸ケ
ーブルの接続端子および整合回路を気密または液密に配
設することにより、無電極放電ランプとの接続が容易に
なる。
【0023】さらに、本発明は、紫外線照射装置とし
て、流体を殺菌処理する流体処理装置に好適である。こ
の場合の流体処理装置は、流体の流入口および流出口を
備え、内部に被処理流体が通流するように構成された処
理槽内に請求項1記載の無電極放電ランプを配設して、
処理槽内を通流する流体に紫外線を照射して、処理を行
なうようにした構成を採用することができる。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。
【0025】図1ないし図3は、本発明の無電極放電ラ
ンプの第1の実施形態を示し、図1は縦断面図、図2は
誘導コイルおよび給電線兼誘導コイル支持バーの位置関
係を示す拡大平面図、図3は誘導コイルの導電線条の断
面を示す拡大横断面図である。各図において、1は紫外
線透過性気密容器、2は誘導コイル、3は給電線兼誘導
コイル支持バー、4および5は気密容器支持座、6は外
管、7は上部基体、8は下部基体である。
【0026】紫外線透過性気密容器1は、溶融石英ガラ
ス製の円筒体1aの両端を外方に凸曲した一対の端面部
材1b、1cにより封止してなる細長い円柱状をなして
いて、下方の端面部材1cから排気管1c1を下方へ突
設している。そして、紫外線透過性気密容器1の内部に
は、適量の水銀および適当圧力のアルゴンが封入されて
放電容器を構成している。
【0027】誘導コイル2は、その4個が紫外線透過性
気密容器1の外周に管軸方向に沿って互いに離間して緩
く巻装されている。各誘導コイル2は、導電線条を巻回
して形成した7ターンのコイル部2aおよび図2に示す
ように両端に端部2b、2cを備えている。また、各誘
導コイル2は、図3に示すように、横断面が四角形で、
かつ、隅角部にエッジ部分がない導電線条2dを用いて
形成されている。なお、導電線条2dの隅角部は、半径
1mm以上のアールRとなっている。
【0028】給電線兼誘導コイル支持バー3は、誘導コ
イル2に給電するとともに、誘導コイル2を支持するた
めの手段である。また、給電線兼誘導コイル支持バー3
は、その一対が互いに適当な距離だけ離間しながら紫外
線透過性気密容器1の長手方向に沿って延在していて、
4個の誘導コイル2を管軸方向に分散させて、その両端
の端部2b、2cを固着することにより、各誘導コイル
2を並列接続し、かつ、支持している。さらに、給電線
兼誘導コイル支持バー3は、紫外線透過性気密容器1の
下端の端面部材1cの外側を回ってU字状に折り返して
いる。
【0029】気密容器支持座4および5は、紫外線透過
性気密容器1の上下端の端面部材1b、1cを給電線兼
誘導コイル支持バー3と協働して挟持することによっ
て、紫外線透過性気密容器1を後述する外管5内の所定
の位置に支持する手段である。すなわち、気密容器支持
座4および5は、紫外線透過性気密容器1の上下端の端
面部材1b、1cに当接する部分が当該部分の曲面に合
わせた曲面に形成されているとともに、気密容器支持座
4が紫外線透過性気密容器1の上部側に位置して、一対
の給電線兼誘導コイル支持バー3の両端部を固定してい
る。これに対して、気密容器支持座5が紫外線透過性気
密容器1の下部側に位置して、一対の給電線兼誘導コイ
ル支持バー3の中間折り返し部を固定している。また、
気密容器支持座5は、紫外線透過性気密容器1の排気管
1c1が通過する空所5aを提供している。そうして、
紫外線透過性気密容器1は、気密容器支持座4、5およ
び一対の給電線兼誘導コイル支持バー3により、その外
側から包囲されることによって支持されている。
【0030】外管6は、紫外線透過性の溶融石英ガラス
を両端開放の円筒状に成形して形成されていて、その内
部に気密容器支持座4、5および一対の給電線兼誘導コ
イル支持バー3により包囲された紫外線透過性気密容器
1を収納している。外管6の内周面に対しては、一対の
給電線兼誘導コイル支持バー3が紫外線透過性気密容器
1を所定の位置に案内している。また、上下方向に対し
ては、気密容器支持座4および5が後述する上部基体7
および下部基体8と協働して、所定の位置に案内する。
【0031】上部基体7は、円筒状胴部7a、蓋体7
b、Oリングパッキング7c、蓋閉止ボルト7d、押さ
えリング7e、パッキング7fおよび締め付けボルト7
gにより構成されている。円筒状胴部7aは、上下両端
が開放されていて、上側端面に複数のねじ孔および環状
のテーパ−座がそれぞれ形成されている。また、下側端
面には、複数のねじ孔および環状のテーパ−座をそれぞ
れ有するフランジ部7a1が形成されている。さらに、
円筒状胴部7aの下部内周面には、外管6の上端が係止
する周段部7a2を備えている。蓋体7bは、上部開放
端を閉止する部材で、その周縁に円筒状胴部7aの複数
のねじ孔に正対するボルト挿通孔が形成されている。O
リングパッキング7cは、円筒状胴部7aの上側端面の
環状のテーパ−座に配置されている。蓋閉止ボルト7d
は、蓋体7bのボルト挿通孔を経由して円筒状胴部7a
の上側端面に形成された複数のねじ孔にねじ込まれてい
る。そうして、蓋体7bは、Oリングパッキング7c、
環状のテーパ−座および蓋閉止ボルト7dにより円筒状
胴部7aの上部開放端を液密にシールされて閉止してい
る。
【0032】一方、円筒状胴部7aの下部開放端側にお
いては、フランジ部7a1、パッキング7fおよび締め
付けボルト7gとの協働により、外管6の上部を液密に
封止している。すなわち、円筒状胴部7aのフランジ部
7a1には、複数のねじ孔および環状のテーパ−座が形
成されている。また、押さえリング7eは、円筒状胴部
7aの下部開放端に形成されたフランジ部7a1に対面
する大きさおよび形状に形成されているとともに、フラ
ンジ部7a1のねじ孔に正対するボルト挿通孔が形成さ
れている。パッキング7fは、フランジ部7a1の環状
のテーパ−座に配置されている。締め付けボルト7g
は、押さえリング7eのねじ挿通孔を経由してフランジ
部7a1のねじ孔にねじ込まれている。円筒状胴部7a
の下部内周面に形成された周段部7a2に対しては、外
管6の上部開放端が円筒状胴部7a内に下方から挿入さ
れて係止していて、締め付けボルト7gをフランジ部7
a1のねじ挿通孔にねじ込むことにより、パッキング7
fが押さえリング7eと外管6の外周面とフランジ部7
a1の環状のテーパ−座との間に強く圧迫される結果、
外管6の上端部は上部基体7に液密にシールされて支持
される。なお、気密容器支持座4の上面は、外管6の上
部開放端とともに上部基体7の周段部7a2に係止され
て、紫外線透過性気密容器1の上方への移動を制限す
る。
【0033】また、図示を省略しているが、上部基体7
は、誘導コイル2に高周波電力を給電するための防水被
覆された同軸ケーブルを液密に導入するように構成され
ている。さらに、上部基体7の円筒状胴部7aの内部空
間には、一対の給電線兼誘導コイル支持バー3に接続す
る端子機構など所要の部材が収納される。
【0034】下部基体8は、基体本体8a、押さえリン
グ8b、パッキング8c、締め付けボルト8dおよび最
冷部キャップ8eを備えている。基体本体8aは、皿状
をなしていて、その開放端にフランジ部8a1を、また
内周面に係止段部8a2を、それぞれ有している。そし
て、フランジ部8a1には、複数のねじ孔および環状の
テーパ−座が形成されている。押さえリング8bは、基
体本体8aのフランジ部8a1に対面する大きさおよび
形状に形成されているとともに、フランジ部8a1のね
じ孔に正対するボルト挿通孔が形成されている。パッキ
ング8cは、フランジ部8a1の環状のテーパ−座に配
置されている。締め付けボルト8dは、押さえリング8
bのねじ挿通孔を経由してフランジ部8a1のねじ孔に
ねじ込まれている。基体本体8aの内周面に形成された
周段部8a2に対しては、外管6の下部開放端が基体本
体8a内に上方から挿入されて係止していて、締め付け
ボルト8dをフランジ部8a1のねじ挿通孔にねじ込む
ことにより、パッキング8cが押さえリング8bと外管
6の外周面とフランジ部8環状のa1のテーパ−座との
間に強く圧迫される結果、外管6の下端部は下部基体8
に液密にシールされて支持される。なお、気密容器支持
座5の下面は、下部基体8の周段部8a2に係止され
て、紫外線透過性気密容器1の下方への移動を制限す
る。
【0035】最冷部キャップ8eは、下部基体8の底部
に形成した透孔に連通して液密に固着されていて、その
内部に紫外線透過性気密容器1の排気管1c1の先端部
を収容している。排気管1c1は、その先端が気密容器
支持座5の空所5aおよび下部基体8の基体本体8aの
透孔を経由して最冷部キャップ8eの内部まで延在する
ことにより、冷却されやすくなる。そのため、排気管1
c1の先端部は、紫外線透過性気密容器1の最冷部とな
って、内部に封入された水銀の蒸気圧を最適範囲に規制
することができる。
【0036】図4は、本発明の無電極放電ランプの第2
の実施形態における誘導コイルの導電線条の断面を示す
拡大横断面図である。本実施形態は、導体の断面形状が
長円形をなしている点で異なる。
【0037】図5は、本発明の紫外線照射装置の一実施
形態としての流水殺菌装置を示す概念図である。図にお
いて、11は流水殺菌装置本体、12は無電極放電ラン
プ、13は被処理水である。なお、図1と同一部分には
同一符号を付して説明は省略する。
【0038】流水殺菌装置本体11は、内部が仕切り壁
11aによって第1の部屋11bおよび第2の部屋11
cの2室に分割された箱状をなしている。そして、第1
の部屋11bの外壁面の上部に流入口11dが形成され
ている。仕切り壁11aの下部に連通孔11eが形成さ
れている。第2の部屋11cの外壁面の上部に流出口1
1fが形成されている。また、流水殺菌装置本体11
は、被処理水の貯留槽内において、上部を残して被処理
水13内に浸漬される。
【0039】無電極放電ランプ12は、第2の部屋11
cの内部に縦置きに収納されている。そして、流水殺菌
装置本体11の第2の部屋11cの内部には、電極放電
ランプ12の周囲に流水を許容する隙間が形成されてい
る。
【0040】そうして、無電極放電ランプ12を点灯す
ると、発生した紫外線が紫外線透過性気密容器1および
外管6を透過して外管6の周囲にある被処理水を照射す
る。紫外線の照射により被処理水が殺菌される。また、
無電極放電ランプ12の点灯により、紫外線と同時に発
熱するので、紫外線照射により殺菌処理された被処理水
13が加熱されて温度上昇するので、無電極放電ランプ
12に沿って上昇流が発生し、流出口11fから外部へ
排出される。これに伴って未処理の被処理水が流入口1
1dから流水殺菌装置本体11内へ流入する。すなわ
ち、無電極放電ランプ12の点灯に伴って紫外線照射に
よる殺菌が行なわれると同時に、被処理水の熱による移
動が生じるので、被処理水貯留槽内で自動的に順次流水
殺菌が行なわれる。
【0041】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、紫外線透過性
気密容器と、その内部に封入された水銀および希ガスを
含む放電媒体と、横断面形状が非円形でかつエッジ部分
がない導電線条を巻回して形成され紫外線透過性気密容
器を包囲して配設された誘導コイルと、を具備している
ことにより、コイルの形状が崩れにくく、しかも、高電
界部による紫外線透過性気密容器の黒化が生じにくい無
電極放電ランプを提供することができる。
【0042】請求項2の発明によれば、紫外線照射装置
本体と、この本体に配設された請求項1記載の無電極放
電ランプとを具備していることにより、請求項1の効果
を有する紫外線照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無電極放電ランプの第1の実施形態を
示す縦断面図
【図2】同じく誘導コイルおよび給電線兼誘導コイル支
持バーの位置関係を示す拡大平面図
【図3】同じく誘導コイルの導電線条の断面を示す拡大
横断面図
【図4】本発明の無電極放電ランプの第2の実施形態に
おける誘導コイルの導電線条の断面を示す拡大横断面図
【図5】本発明の紫外線照射装置の一実施形態としての
流水殺菌装置を示す概念図
【符号の説明】
1…紫外線透過性気密容器、2…誘導コイル、3…給電
線兼誘導コイル支持バー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】紫外線透過性気密容器と;紫外線透過性気
    密容器の内部に封入された水銀および希ガスを含む放電
    媒体と;横断面形状が非円形で、かつ、エッジ部分がな
    い導電線条を巻回して形成され、紫外線透過性気密容器
    を包囲して配設された誘導コイルと;を具備しているこ
    とを特徴とする無電極放電ランプ。
  2. 【請求項2】紫外線照射装置本体と;紫外線照射装置本
    体に配設された請求項1記載の無電極放電ランプと;を
    具備していることを特徴とする無電極放電ランプ装置。
JP2002005446A 2002-01-15 2002-01-15 無電極放電ランプおよび紫外線照射装置 Pending JP2003208873A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006216454A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Ushio Inc エキシマランプ
JP2008053186A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Matsushita Electric Works Ltd 無電極放電灯及び照明器具
JP2012061440A (ja) * 2010-09-17 2012-03-29 Photoscience Japan Corp 液体処理装置

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