JP2003208331A - デュアル・モードasicbist制御装置 - Google Patents

デュアル・モードasicbist制御装置

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JP2003208331A
JP2003208331A JP2002298463A JP2002298463A JP2003208331A JP 2003208331 A JP2003208331 A JP 2003208331A JP 2002298463 A JP2002298463 A JP 2002298463A JP 2002298463 A JP2002298463 A JP 2002298463A JP 2003208331 A JP2003208331 A JP 2003208331A
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JP2002298463A
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Michael C Dorsey
マイケル・シイ・ドーシイ
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Sun Microsystems Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 集積回路デバイス上で組込み形自己試験
(「BIST」)を実行するための方法および装置を提
供すること。 【解決手段】 より具体的に言えば、第1の態様で、デ
ュアル・モードBIST制御装置は、論理組込み形自己
試験(「LBIST」)領域とメモリ組込み形自己試験
(「MBIST」)領域の両方を含む。LBIST領域
は、LBISTを実行しその結果を格納することのでき
るLBISTエンジンと、多重入力シグネチャ・レジス
タ(「MISR」)を含む。MBIST領域は、MBI
STを実行できるMBISTエンジンを含む。第2の態
様では、本発明には集積回路デバイス上でBISTを実
行するための方法が含まれる。この方法は、デュアル・
モードBIST制御装置を外部からリセットすること、
デュアル・モードBIST制御装置からLBISTおよ
びMBISTのうち少なくとも1つを実行すること、な
らびに実行されたBISTの結果を取得することを含
む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特定用途向け集積
回路(application specific integrated circuit:「A
SIC」)の組込み形自己試験(built-in self-testin
g:「BIST」)に関し、より詳細には、デュアル・モ
ードBIST制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ・チップの進化に伴い、一
般に、より複雑な集積回路が絶えず生み出されている。
製造業者は、より小型の集積回路構成要素をより小さな
面積の中により多く組み込もうと努力を続けている。こ
の努力により、設計、製造、および試験を含むいくつか
の分野でその技術が進んでいる。集積回路が複雑になる
ほど試験が困難になり、これは、それを組み込むコンピ
ュータ・チップ、すなわち「デバイス」でも同様であ
る。
【0003】集積回路デバイスの試験が困難であること
による影響を受けるのは、製造業者だけではない。チッ
プの供給業者は、仕様に合ったチップを販売するために
頻繁に製造業者と連絡を取る。製造業者が、適用可能な
品質基準を確実に満たすためにデバイスを試験したいの
と同様に、供給業者も販売するデバイスが設定した基準
を満たしたものであることを保証する必要がある。この
共通の問題によって、業界では集積回路デバイスを試験
するためのいくつかの従来の方法が開発されてきた。
【0004】集積回路を試験するための一方法が「組込
み形自己試験」、すなわち「BIST」である。BIS
Tでは、デバイスの機能を提供する「コア」集積回路に
加えて、試験専用の集積回路がデバイスに含まれる。こ
の意味で、この試験機能は集積回路デバイスへの「組込
み」型であると言える。BIST回路は、所定の信号を
受け取るとコア集積回路を試験し、設計どおりに機能す
るかどうかを指示する。この意味で集積回路は、外部で
生成された試験信号を受け取ったときにそれ自体で試験
を実行することから、自己試験型と言える。
【0005】BISTには、少なくとも2つのバリエー
ションがある。その1つが「メモリ」BIST、すなわ
ち「MBIST」であり、もう1つが「論理」BIS
T、すなわち「LBIST」である。MBISTはデバ
イスのメモリ構成要素を試験し、LBISTはデバイス
の論理を試験する。Joint Test Actio
n Group(「JTAG」)と呼ばれる業界グルー
プが、テスト時の集積回路デバイスとのインターフェー
スに関する業界基準を開発した。JTAG基準は、BI
STのどちらのバリエーションでも使用されている。集
積回路デバイスは、JTAGの「タップ制御装置」で製
造される。次にデバイスは、ライブ・システムで試験さ
れるか、またはチップ・テスタに配置される。ライブ・
システムまたはチップ・テスタは、JTAGタップ制御
装置に入力されるJTAG BIST信号を生成し、B
ISTを開始する。LBISTおよびMBISTは、別
々に使用しても一緒に使用してもよい。次にBISTの
結果は、デバイスが機能しているかどうかおよびその程
度について、オペレータ(ライブ・システムの場合)、
あるいは供給業者または製造業者(チップ・テスタの場
合)に伝えられる。
【0006】BISTには多くの利点や多くの用途があ
るが、欠点もいくつかある。BISTを実施する際の論
理および配線が、デバイスのダイ上の貴重な「表面積」
を占領してしまう。また、デバイス構成要素の配置やそ
れらの間の接続ルーティングも複雑になる。このように
複雑になる理由の1つは、BISTを実施する論理およ
び回路がダイ全体にわたって分布していることである。
他の理由は、設計プロセスにおいて、LBISTおよび
MBISTが別々の「モジュール」、すなわちそれらの
機能によって定義されたブラック・ボックスとして設計
されることである。他の理由は、LBISTおよびMB
ISTが異なる時間領域内で動作し、別々のクロック信
号を必要とすることである。さらにLBISTは、AS
ICの異なる部分が通常は異なる周波数で動作し、領域
間の信号によってLBIST結果を無効にするタイミン
グ違反を引き起こす可能性があるという事実によって、
さらに複雑なものとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の一目的は、そ
の多くの態様において、集積回路デバイス上で組込み形
自己試験(「BIST」)を実行する方法および装置を
提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様には
デュアル・モードBIST制御装置が含まれる。デュア
ル・モードBISTは、論理組込み形自己試験(「LB
IST」)領域とメモリ組込み形自己試験(「MBIS
T」)領域の両方を含む。LBIST領域は、LBIS
Tを実行できるLBISTエンジンと、LBISTの実
行によって生成されるLBISTシグネチャ・レジスタ
(「MISR」)を含む。MBIST領域は、MBIS
Tを実行できるMBISTエンジンを含む。第2の態様
では、本発明には集積回路デバイス上でBISTを実行
するための方法が含まれる。この方法は、デュアル・モ
ードBIST制御装置を外部からリセットすること、デ
ュアル・モードBIST制御装置からLBISTおよび
MBISTのうち少なくとも1つを実行すること、なら
びに実行されたBISTの結果を取得することを含む。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明は、同じ要素が同じ参照番
号で識別される添付の図面と共に、以下の記述を参照す
ることによって理解される。
【0010】本発明は様々な修正および代替形式が可能
であるが、そのうちの特有の実施形態について図面で例
を挙げて示し、本明細書で詳細に説明する。ただし、特
有の実施形態についての本明細書の説明は、本発明を開
示された特定の形式に限定することを意図するものでは
なく、その反対に、添付の特許請求の範囲によって定義
された本発明の精神および範囲を逸脱することのないす
べての修正、等価、代替をカバーすることを意図するも
のである。
【0011】次に、本発明の例示的実施形態について説
明する。本明細書では、理解しやすいように実際の実装
のすべての特徴は説明しない。もちろん、こうした実際
の実施形態の開発においては、開発者特有の目標を達成
するために、システム関連および業務関連の制約を満た
すなどの、個々の実装によって異なる実装特有の決定を
数多く下さなければならないことを理解されよう。さら
に、こうした開発努力は、たとえ複雑かつ時間のかかる
ものであっても、本開示の恩恵を受ける当分野の通常の
技術者に課せられた日常業務であることを理解されよ
う。
【0012】図1は、本発明に従って構築および操作さ
れるデュアル・モード組込み形自己試験(「BIS
T」)制御装置100を概念的に示す図である。例示さ
れた実施形態では、制御装置100が、論理BIST
(「LBIST」)エンジン110と、メモリBIST
(「MBIST」)エンジン120と、LBISTシグ
ネチャ130と、MBISTシグネチャ140を、LB
IST領域160およびMBIST領域170内に別々
に含む。一部の実施形態では、従来の実施に従って、M
BISTシグネチャ140が省略される場合があること
に留意されたい。LBISTシグネチャ130およびM
BISTシグネチャ140は、以下でより詳細に論じる
ように、レジスタなどのBIST制御装置100のメモ
リ要素のコンテンツである。
【0013】制御装置100は、集積回路デバイス、す
なわち特定用途向け集積回路(「ASIC」)150の
一部を含む。ASIC 150は、試験インターフェー
ス180、好ましくはJoint Test Acti
on Group(「JTAG」)タップ制御装置を含
み、これを介してデュアル・モードBIST制御装置1
00のBISTを呼び出すことが可能であり、従来の実
施によればこれを介して結果を戻すことができる。AS
IC 150は、好ましくは同期ランダム・アクセス・
メモリ(「SRAM」)である1つまたは複数のメモリ
構成要素190、およびデュアル・モードBIST制御
装置100のBISTによって試験される複数のタイミ
ング領域195a〜d内の組合せ論理も含む。
【0014】デュアル・モードBIST制御装置100
は3つの周波数領域を含み、その1つがLBIST領域
160内、1つがMBIST領域170内、3つ目では
試験インターフェース180からの信号が動作する領域
内である。一特定実施形態では、LBIST領域160
が10MHzクロック信号で動作し、MBIST領域1
70が75MHzクロック信号で動作し、第3の領域は
JTAG基準に従って10MHzクロック信号で動作す
る。この特定実施形態では、75MHzクロック信号は
以下でより詳細に論じるように、150MHzクロック
信号を分周することによって取得され、10MHz L
BISTクロック信号は10MHz JTAGクロック
信号に基づいて生成される。
【0015】一特定実施形態では、LBISTクロック
信号(図示せず)は、LBISTに含まれる任意の論理
の最低周波数で動作する。これは、試験的な組合せ論
理、たとえばタイミング領域195a〜dまたは制御論
理すなわち試験インターフェース180内の組合せ論理
を含む。典型的には、ASICコアの組合せ論理は、タ
イミング領域195a〜dなどの異なるタイミング領域
を定義する、いくつかの異なる周波数で動作する。これ
らの周波数は、制御論理で使用されるものによって異な
る場合がある。たとえば、試験インターフェース180
がJTAG基準に従って10MHzで動作する実施形態
の場合、タイミング領域195aは150MHzで動作
し、タイミング領域195b〜dは66MHzから13
3MHzまでの範囲の様々な周波数で動作する。この特
定実装では、LBISTエンジン110によって実行さ
れるLBISTは、すべてのタイミング領域195a〜
dで、タイミング・エラーを避けるために最も低い周波
数である10MHzで動作することになる。したがっ
て、この特定実施形態は、すべてのタイミング領域に渡
ってタイミングの整合性を保つと同時に、任意の所与の
ASICでLBISTを実施するのに必要なLBIST
エンジン110の数を減らすために、低いLBISTを
使用する。ただし、これは本発明の実施に必要なもので
はなく、一部の実施形態では、タイミング領域に渡るタ
イミング違反の問題に対処するためにこの態様を従来の
技法に置き換えることができる。
【0016】デュアル・モードBIST制御装置100
がLBISTとMBISTの両方を実行できることか
ら、すべてのBIST機能を1つの場所に集中させるこ
とができる。したがって、ASIC 150のBIST
機能を単一のモジュールで設計することができる。MB
IST領域170用のクロック信号が実装される方法が
この特徴を容易にしていることに留意されたい。さら
に、BIST機能は通常ASIC 150の中央に配置
するように設計することができる。この特徴は、たとえ
ばメモリ構成要素190、タイミング領域195a〜d
内の論理、および接続ルーティングなどの他の構成要素
の配置も容易にする。本開示の恩恵を受ける当分野の技
術者であれば理解されるように、メモリ構成要素190
は、典型的にはASIC 150の他の構成要素に比べ
て大きい。したがって、これを配置することによって、
他の構成要素、たとえばデュアル・モードBIST制御
装置100のASIC 150上の位置が指定されてし
まう傾向がある。したがって一部の実施形態では、デュ
アル・モードBIST制御装置100を、ASIC 1
50の中央位置に配置しない場合がある。ただしたいて
いの設計技法では、結果的にメモリ構成要素を、図1に
示されるように当該ASIC 150のコーナーに配置
することになる。したがってデュアル・モードBIST
制御装置100を中央位置に配置することができる。
【0017】LBIST領域160の一特定実施形態
が、図2に概念的に示される。この一特定実施形態で
は、LBISTエンジン110がLBIST状態マシン
210およびパターン発生器230を含む。LBIST
領域160は、多重入力シグネチャ・レジスタ(multip
le input signature resister:「MISR」)220も
含む。MISR 220のコンテンツは、図1のLBI
STシグネチャ130である。パターン発生器230
は、より精密に言えば、擬似ランダム・パターン発生器
(pseudo random pattern generator:「PRPG」)で
ある。例示された実施形態では、LBISTエンジン1
10は、パターン発生器230用のベクトル・カウント
およびPRPGシードを備えたCONFIGURATI
ON信号によって外部から構成される。LBISTエン
ジン110は、試験インターフェース180を介して受
け取った66ビット信号によって構成され、この信号で
は32ビットにベクトル・カウントが含まれ、33ビッ
トにPRPGシードが含まれる。したがってパターン発
生器230は、概してLBISTエンジン110と同様
にプログラム可能である。ただし本発明はそのように限
定されるものではなく、LBISTエンジン110の構
成に他の技法を使用することも可能である。たとえば代
替実施形態では、これらの値をハードコード化または固
定化することができる。
【0018】例示された実施形態では、LBISTエン
ジン110にはASIC 150でのスキャン・チェー
ン長さも与えられる。この特定実施形態では、この値は
ASIC 150の最も長いスキャン・チェーン長さよ
りも長くハードワイヤされる。この値はASIC 15
0のそれぞれの実装で異なってよく、ASIC供給業者
によってコード化されてよい。さらに一部の代替実施形
態では、この値を試験インターフェース180を介して
LBISTエンジン110に提供することができる。
【0019】次に図3に進むと、LBIST状態マシン
210には、リセット状態310、開始状態320、ス
キャン状態330、ステップ状態340、および完了状
態350という5つの主な状態がある。LBIST状態
マシン210は、どのような状態にあるかに関わらず、
外部リセット信号がアサートされると必ずリセット、す
なわちリセット状態310に移行する。リセット状態3
10に移行すると、MISR 220およびパターン発
生器230が開始される。LBIST状態マシン210
は、LBIST RUN信号が受け取られるまでリセッ
ト状態310のままであり、信号が受け取られると開始
状態320に移行する。開始状態320では、LBIS
TはLBISTで使用される様々な信号を開始する。た
とえば、COUNTER、COMPLETE、およびE
RROR信号が開始されるが、その機能については以下
でより詳細に論じる。次にLBIST状態マシン210
は自動的にスキャン状態330に移行し、スキャン状態
330とステップ状態340の間を繰返し循環し始め
る。初期の循環では、スキャン状態340はスキャン・
チェーン(図示せず)をフラッシュし、例示された本発
明ではスキャン・チェーンのフラッシュ後まで、MIS
R 220はロードされないことに留意されたい。
【0020】スキャン状態330およびステップ状態3
40を合わせて、実際のLBISTを含む。LBIST
状態マシン210は、外部リセット信号によってリセッ
トされるまで、またはLBISTが完了するまで、スキ
ャン状態330とステップ状態340との間を循環す
る。LBISTは、外部リセット信号を介してリセット
されなければ繰返し実行可能である。LBIST状態マ
シン210は、完了状態350に入るまでに、スキャン
状態330とステップ状態340との間をベクトル・カ
ウントに基づいた回数だけ循環する。前述のように、例
示された実施形態では、ベクトル・カウントは外部から
構成される。例示された実施形態のLBIST状態マシ
ン210は、スキャン状態330とステップ状態340
との間を、パターン発生器230のカウントがベクトル
・カウントと等しくなるまで循環する。ただし代替実施
形態では、代替方法で、ベクトル・カウントに基づいた
数だけ循環することができる。
【0021】LBISTが外部からリセットされること
なく完了すると、LBIST状態マシン210は完了状
態350に移行する。完了状態350では、LBIST
エンジン110が「BIST完了」インジケータ信号C
OMPLETEを送信する。COMPLETEインジケ
ータ信号は、結果が「新規」である、すなわち以前の実
行からでなく現行のLBISTからのものであることも
示す。本発明の一態様によれば、インジケータ信号CO
MPLETEは、LBISTシグネチャ130でLBI
STが完了したことを示すために、MISR 220で
指定されたビットをセットする。したがってLBIST
シグネチャ130には、LBISTが完了したかどうか
の指示が含まれる。LBISTエンジン110は、パタ
ーン発生器230が非常に望ましくない「すべてゼロ状
態」になったことを示すエラー信号ERRORも送信す
る。さらに本発明の一態様によれば、ERROR信号
は、このエラー条件がLBIST中に発生したことをL
BISTシグネチャ130で示すために、MISR 2
20で指定されたビットを設定する。本発明の代替実施
形態では、本発明のこれらの態様を実施しないことを選
択した場合、LBISTシグネチャ130の「完了」指
示および「エラー」指示のうち1つまたは両方を省略で
きることに留意されたい。
【0022】例示された実施形態では、MISR 22
0は図4に示された32ビット・レジスタである。MI
SR 220は、LBIST状態マシン210がスキャ
ン中にリセットおよびシフトした場合に開始される。M
ISR 220は、当分野で知られた任意の技法を使用
して実装可能である。ただし前述のように、例示された
実施形態では、LBISTが完了/新規であることを示
すために1ビット、たとえばビットB32が使用され、
エラー条件が発生したことを示すために1ビット、たと
えばビットB33が使用される。さらに本発明の他の態
様によれば、MISR 220に格納されたLBIST
シグネチャ130が、以前の実行の結果ではなく新しい
かまたは有効であることを示すために、MISR 22
0の完了ビット、たとえばビットB32が使用される。
たとえばこのビットは、LBIST状態マシン210が
リセット状態310に入りMISR 220が開始され
たときに消去され、その後LBIST状態マシン210
が完了状態350に入ったときに設定されることが可能
である。MISR 220は、サイズが32ビット以外
のレジスタを使用して実装できることに留意されたい。
その後、LBISTが完了した後に、合格/不合格の結
果を確立するために、MISR 220のビットB31
〜Bに保持された論理パターンと知られたパターンと
を外部から比較することができる。
【0023】例示された実施形態では、パターン発生器
230は、図5に示された、当分野で知られているよう
な31ビットの線形フィードバック・シフト・レジスタ
(linear feedback shift register:「LFSR」)と
して実装される。パターン発生器230は、当分野で知
られた任意の好適な技法を使用して実装可能である。た
だし、例示された実施形態では、パターン発生器230
は、LBIST状態マシン210がリセット状態310
に入ると、外部から構成されたPRPGシードに対して
開始される。LFSRの選択出力は、スキャン・パター
ンを従来の様式でスキャン・チェーン(図示せず)の入
力に供給する。スキャン中、LFSRは最上位ビット
(「MSB」)B30から最下位ビット(「LSB」)
へ連続的にシフトする。
【0024】本発明の他の態様によれば、パターン発生
器230が実装されるLFSRのコンテンツと、MIS
R 220が実装されるレジスタは、障害がエイリアシ
ングによって偽装されるのを防ぐために、異なる基本多
項式を使用して発生する。例示された実施形態のLFS
Rのコンテンツは、31ビットの基本多項式x31+x
+1に基づき、MISR 220のコンテンツが32
ビットの基本多項式x 32+x28+x+1に基づいて
いる。パターン発生器230がすべてゼロ状態に入る
と、エラー・インジケータが起動してMISR 220
のビットB33に格納される。この特定実施形態では、
LFSRの偶数出力(ビットB26からB )がそれぞ
れスキャン・チェーン1から23の入力にスキャン・パ
ターンを供給する。MISR 220は、スキャン・オ
ペレーション中に奇数レジスタ・ビットBからB31
およびビットBへのEXCLUSIVE−ORを実行
する入力を有する。ただし代替実施形態では、本発明の
この態様を省略することができる。
【0025】LBISTエンジン110は、2つのレベ
ル・センシティブ・スキャン・デバイス(level sensit
eive scan device:「LSSD」)クロック信号をコア
900内のレベル・センシティブ・スキャン・デバイス
(図示せず)に送信する。これらのクロック信号は通常
2つとも低いが、LBIST状態マシン210がスキャ
ン状態330にある場合は交互に高パルスになる。スキ
ャン・チェーンがフラッシュした後、MISR 220
(図2に図示)がスキャン・データを収集する。LBI
STエンジン110は2つのクロック信号LBIST_
STEP_CLKCおよびLBIST_STEP_CL
KEも出力する。ステップ・クロック信号LBIST_
STEP_CLKCは、実際には3つの信号LBIST
_STEP_CLKC1、LBIST_STEP_CL
KC2、およびLBIST_STEP_CLKC3を含
む。LBIST_STEP_CLKEクロック信号は、
通常高く、コア900のコア論理クロック信号スプリッ
タ(図示せず)を介して、LBIST_STEP_CL
KC1をコア・ラッチ(図示せず)まで使用可能にす
る。LBIST_STEP_CLKC2は、低電力レジ
スタ・アレイ(「LPRA」)ラッパー905のクロッ
ク信号スプリッタ(図示せず)を介して、LBIST_
STEP_CLKEクロック信号によって使用可能にな
る。LBIST_STEP_CLKEクロック信号は、
メモリ構成要素150用のラッパー、すなわちSRAM
ラッパー910のクロック信号スプリッタ(図示せず)
を介して、LBIST_STEP_CLKC3も使用可
能にする。
【0026】クロック制御は、技術的にはLBIST内
の機能ではない。供給業者ASICSは、試験インター
フェース180を介してTEST_MODE信号を試験
制御装置915から受け取る、主入力ピン(図示せず)
を有する。この信号が高い場合、LBISTは供給業者
チップ・テスタのオペレーションの影響をまったく受け
ることがない。供給業者チップLSSD試験中、この入
力は高いままで保持される。通常のオペレーション中、
TEST_MODEは低い。試験インターフェース18
0を介して受け取った信号、たとえば、joint t
est action group(「JTAG」)制
御装置920からのLBIST_SEL信号が、LBI
STがスキャン・クロック信号およびステップ・クロッ
ク信号を送信できるかどうかを決定する。LBIST_
SEL信号は、試験インターフェース180を介して受
け取ったシステム・クロック信号とLBISTステップ
・クロック信号との間のマルチプレクサ(図示せず)を
制御する。また、LSSDクロック信号と前述のように
LBISTステップ・クロック信号によって駆動される
クロック信号スプリッタの出力との間のマルチプレクサ
も制御する。
【0027】例示された実施形態では、LBISTラン
タイムは、LBISTエンジン110が提供するベクト
ル・カウントと前述の固定化されたスキャン長さ値との
関数である。このクロック・サイクル数は、次のように
算出することができる。([ベクトル・カウント×(4
+(2×スキャン長さ値))]+2このクロック速度
は、試験インターフェース180を介して提供されたク
ロック信号、たとえばJTAG TCKによって決定さ
れる。
【0028】次に図6に進むと、最初に図1に示したM
BIST領域170に、MBISTエンジン120と、
コンテンツがMBISTシグネチャ140であるMBI
STシグネチャ・レジスタ605とが含まれている。例
示された実施形態では、MBISTエンジン120が一
連の代替MBIST状態マシン610を含み、このうち
の1つがネストされたMBISTエンジン620を本発
明の他の態様に従って駆動する。この特定の実施形態で
は、ネストされたMBISTエンジン620がASIC
供給業者によって提供され、MBIST状態マシン61
0のうち1つが、その特定の供給業者が供給したネスト
されたMBISTエンジン620で動作するように設計
される。実際に、それぞれのMBIST状態マシン61
0は、MBISTエンジン120にネストすることがで
きる1つまたは複数の代替の供給業者が供給したネスト
されたMBISTエンジン620で動作するように設計
される。MBIST状態マシン610は、ASIC 1
50が設計されたときには予測されなかった、供給業者
が供給したMBISTエンジン620によるオペレーシ
ョンを容易にするように修正可能にすることもできる。
【0029】したがってMBISTエンジン120は、
ASICがレジスタ転送レベル(register transfer le
vel:「RTL」)仕様で実施されるときに、様々な供給
業者から取得可能な様々なネストされたMBISTエン
ジン620を収容するように修正可能または構成可能で
ある。本開示の恩恵を受ける当分野の技術者であれば理
解されるように、ネストされたMBISTエンジン62
0およびMBIST状態マシン610は、標準のRTL
アプリケーション・ソフトウェアの事前定義済みライブ
ラリ要素である。ASIC 150用のRTL仕様は、
どのMBIST状態マシン610がネストされたMBI
STエンジン620に入力および出力を提供するのかを
定義するライブラリ要素用の入力および出力を定義する
論理ラッパー(図示せず)を含む。その後RTL仕様
は、ASIC 150用のゲート・レベル実装に合成さ
れる。
【0030】したがって、例示された実施形態は、どの
供給業者が供給したMBISTエンジン620が使用可
能であるかに関して汎用性がある。ただし、このような
汎用性はすべての実施形態で望ましいわけではない。し
たがって本発明の一部の実施形態には、単一のMBIS
T状態マシン610のみが含まれる。またはこの汎用性
を、修正可能性または構成可能性の高い単一のMBIS
T状態マシン610に組み込むことができる。したがっ
て、任意の所与の実施形態で使用されるMBIST状態
マシン610の数は実装特有のものとなる。
【0031】本発明の他の態様によれば、メモリ構成要
素190のMBISTの結果は、図1に示されたMBI
STシグネチャ・レジスタ605内に、MBISTシグ
ネチャ140として格納される。MBISTシグネチャ
140の構造および機能は、LBISTシグネチャ13
0の構造および機能と近似している。MBISTシグネ
チャ・レジスタ140は多重入力シグネチャ・レジスタ
でもあるが、そのコンテンツはMISR 220とは異
なる。したがって、MBISTシグネチャ・レジスタ1
40はMISR 220から別々にロードされることに
なる。この特定の実施形態では、パラノイア・チェック
およびMBISTエンジン状態が、デバッグの目的でM
BISTシグネチャ・レジスタ605に格納される。M
BISTシグネチャ・レジスタ605の1ビット、たと
えば図7に示されるこのレジスタのビットB31は、
「完了」ビットである。完了ビットは、MBISTが完
了されたかどうか、したがって格納された結果が新しい
ものであるかまたは以前の実行からの結果であるかを示
すものである。
【0032】ネストされたMBISTエンジン620
は、ASIC供給業者の仕様に応じて、1から16まで
のメモリ構成要素190(図示せず)を並行して試験す
る。デュアル・モードBIST制御装置100は、MB
ISTエンジン120用の別のクロック領域を有し、こ
こでは、150MHzシステム・クロック信号が半分に
されて、MBISTエンジン120は結果的に生じる7
5MHzのクロック信号で駆動される。SRAMの試験
結果は、MBISTシグネチャ・レジスタ605に格納
される。このレジスタのビットB31は、「完了」ビッ
トである。完了ビットは、格納された結果が新しいかま
たは以前の実行からの結果であるかを示す。この特定実
施形態では、パラノイア・チェックおよびMBISTエ
ンジン状態も、デバッグの目的でMBISTシグネチャ
・レジスタ605に格納される。
【0033】それぞれのMBIST状態マシン610
は、図8に示されるように、リセット状態810、開始
状態820、フラッシュ状態830、試験状態840、
および完了状態850という、5つの状態を有する。M
BISTエンジン120は、外部リセット信号をアサー
トすることによってリセット状態810にリセットされ
る。この特定実施形態では、同じ外部リセット信号が、
LBISTエンジン110とMBISTエンジン120
の両方をリセットすることに留意されたい。
【0034】MBIST状態マシン610は、試験イン
ターフェース180を介してMBIST選択信号および
MBIST実行信号を受け取ると、開始状態820に移
行する。開始状態820の後には、MBISTエンジン
120が開始状態820、フラッシュ状態830、およ
び試験状態840へと循環するに従って、フラッシュ、
次に試験パターンが続く。この移行は、MBIST領域
の構成要素および信号の開始が完了すると同時に発生す
る。フラッシュ830は、メモリ構成要素190がフラ
ッシュされ、これらが知られた状態に開始されるまで続
行する。次にMBIST状態マシン610は、試験状態
840に移行する。MBISTエンジン120は、1方
向の試験パターン・バス(図示せず)をすべてのメモリ
構成要素190に向け、その結果を、他方向試験パター
ン・バス上のネストされたMBISTエンジン620に
戻す。結果は、MBISTシグネチャ140の一部とし
てMBISTシグネチャ・レジスタ605に格納され
る。MBISTが完了すると、MBIST状態マシン6
10は完了状態850に移行し、MBISTシグネチャ
・レジスタ605内の専用ビットをMBISTが完了し
たことを示すように設定することによって、完了の信号
を送る。
【0035】前述のように、例示された実施形態では、
ネストされたMBISTエンジン620は、供給業者が
自分のテスタで使用するような供給業者が供給したMB
ISTエンジンである。個々のMBIST状態マシン6
10の状態810、820、830、840、および8
50は、従来の慣例に従って実装することができる。さ
らに、MBIST状態マシン610のオペレーション
は、ネストされたMBISTエンジン620の実装に応
じた実装特有のものとなる。
【0036】より具体的に言えば、例示された実施形態
では、メモリ構成要素190はSRAMであり、試験イ
ンターフェース180は当分野で知られているように実
装されるJTAGタップ(「JTTAP」)である。M
BISTエンジン120は、試験インターフェース18
0を介して受け取られた外部リセット信号をアサートす
ることによってリセットされる。JTAGタップ(図示
せず)制御装置信号MBST_SELおよびMBST_
RUNを使用して、MBISTエンジン120が開始さ
れる。開始されると、次に、MBISTエンジン120
が開始状態820、フラッシュ状態830、および試験
状態840へと循環するに従って、フラッシュおよび試
験パターンが続く。例示された実施形態では、フラッシ
ュ状態830が1024、75MHzサイクル用に発生
し、SRAMを知られた状態に初期化する。フラッシュ
状態MUXゲート(図示せず)は、(デュアル・モード
BIST制御装置100がスキャン・パターンを出力す
る)SCAN_IN IOを1’b0に保持するため
に、SRAMラッパー910内で手動により初期化さ
れ、第1および第2のスキャン・クロック信号は、SR
AMがすべてゼロにフラッシュされるときにどちらも
1’b1に保持される。ウォッチドッグ・タイマ(図示
せず)は、ネストされたMBISTエンジン620が自
由に実行されるか、または通常の機能中に有害な影響を
与えることがないようにするための、MBISTエンジ
ン120内のパラノイア論理の一部である。MBIST
エンジン120は、1方向試験パターン・バス(図示せ
ず)をすべてのSRAMに向け、SRAMはネストされ
たMBISTエンジン620に結果を戻す。
【0037】動作中には、図9に示したように、典型的
にはいくつかの他のASIC 150(図示せず)とと
もに、JTAG制御装置920を含む試験制御装置91
5を有する供給業者が供給したテスタに、図1に示され
たASIC 150を配置することができる。あるい
は、ASIC 150は、JTAG制御装置920を含
むライブ・システム制御装置925を有するライブ・シ
ステムで試験することができる。MBISTエンジン1
20は、この特定の供給業者が供給した試験制御装置9
15で使用するように設計された、図6に示されたMB
IST状態マシン610を含む。例示された実施形態で
は、JTAG制御装置920はJTAGプロトコルおよ
び試験ハードウェアを使用するため、試験インターフェ
ース180はJTTAP制御装置である。前述のよう
に、デュアル・モードBIST制御装置100のLBI
ST機能とMBIST機能は、別々に使用するかまたは
結合させて使用することができる。さらに、LBIST
とMBISTは並列または直列に実装することができ
る。ただし、次の考察では直列に結合させた使用につい
て論じる。ただし代替実施形態では、一方だけまたは他
方だけしか使用しなくてもよいことを理解されよう。
【0038】図9に示された、供給業者が供給した試験
制御装置915またはライブ・システム制御装置925
のJTAG制御装置920は、ベクトル・カウントおよ
びPRPGシードを含む構成データを、試験インターフ
ェース180を介してLBIST領域160に提供す
る。次に試験インターフェース180は、JTAG制御
装置920の制御の下で、図2および図6に示された外
部リセット信号をLBIST領域160およびMBIS
T領域170に送信する。次いでLBIST状態マシン
210およびMBIST状態マシン610はそれぞれ、
それぞれのリセット状態310、810に移行する。
【0039】試験インターフェース180は、再度JT
AG制御装置920の制御の下でLBIST実行信号を
生成し、その結果LBIST状態マシン320は開始状
態320に移行する。その後LBISTエンジン110
は、前述のように開始する。その後LBIST状態マシ
ン110は、前述のように、LBISTが完了するま
で、すなわちパターン発生器230の値が構成済みのベ
クトル・カウントに等しくなるまで、スキャン状態33
0およびステップ状態340へと循環する。LBIST
が実行されると、その結果はMISR 220に格納さ
れる。LBISTは、試験インターフェース180およ
び論理コア900内の最低周波数で実行されるため、M
ISR 220に格納された結果は、そうでなければタ
イミング違反が発生するようなエラーがなくなる。LB
ISTが完了すると、LBIST状態マシン210は完
了状態350に移行する。次にLBISTエンジン11
0は、LBISTが首尾よく完了したことを示すために
MISR 220にビットを設定する「完了」信号を生
成する。何らかの理由でパターン発生器230がすべて
ゼロになった場合、代わりにエラー信号が生成され、L
BISTが打ち切られる。
【0040】次いで試験インターフェース180はMB
IST実行信号およびMBIST選択信号を生成し、そ
の結果MBIST状態マシン610は開始状態820に
移行する。MBISTエンジン120は、前述のように
その構成要素および信号を開始する。その後MBIST
状態マシン610は、前述のように、ネストされたMB
ISTエンジン620を使用して、フラッシュ状態83
0および試験状態840へと循環する。MBISTが実
行されると、パラノイア・チェックの結果およびMBI
STエンジン状態が、MBISTシグネチャ・レジスタ
605に格納される。MBISTが完了すると、MBI
ST状態マシン610は完了状態850に移行し、その
結果MBISTエンジン120が完了信号を生成し、こ
れがMBISTシグネチャ・レジスタ605内に完了ビ
ットを設定する。
【0041】デュアル・モードBIST制御装置100
を使用すると、このすべての機能がASIC 150の
単一モジュール中に設計できる。さらにこれによって、
他のASIC構成要素の配置およびそれらの間の配線が
容易になる。デュアル・モードBIST制御装置100
を使用すると、同じモジュール中で複数のクロック領域
も使用できる。LBISTおよびMBISTの両方が格
納されるため、ライブ・システムまたは供給業者が供給
した試験制御装置915内のシステム制御装置925
は、試験インターフェース180を介して試験の結果を
読み出すことができる。
【0042】以上で、詳細な説明を終える。上記で開示
された特定実施形態は単に例示的なものであり、本発明
は、本明細書の教示の恩恵を受ける当分野の技術者であ
れば明らかな、様々であるが等価の方法で修正および実
施することができる。さらに、特許明細の範囲に記載さ
れている以外は、本明細書に示された構築および設計の
詳細に限定されるものではない。したがって、上記で開
示された特定実施形態は変更または修正が可能であり、
こうした変形形態がすべて本発明の範囲および精神を逸
脱しないことは明らかである。したがって、本明細書で
求められる保護について、特許請求の範囲に記載する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って構築および操作されるデュアル
・モードBIST制御装置を、特定用途向け集積回路
(「ASIC」)の構成図内に概念的に示した図であ
る。
【図2】図1のデュアル・モードBIST制御装置のL
BIST領域の一特定実施形態を示す構成図である。
【図3】図2のLBIST領域におけるLBISTエン
ジンの状態マシンの一特定実施形態を示す図である。
【図4】コンテンツがLBISTシグネチャである、図
2のLBIST領域の多重入力シグネチャ・レジスタ
(「MISR」)の一特定実施形態を示す図である。
【図5】図2のLBIST領域におけるLBISTエン
ジンのパターン発生器で使用されるレジスタの、一特定
実施形態を示す図である。
【図6】図1のデュアル・モードBIST制御装置のM
BIST領域の一特定実施形態を示す構成図である。
【図7】コンテンツが本発明の一態様に従ったMBIS
Tシグネチャである、図2のMBIST領域のMBIS
Tシグネチャ・レジスタの一特定実施形態を示す図であ
る。
【図8】図2のMBIST領域におけるMBISTエン
ジンの状態マシンの一特定実施形態を示す図である。
【図9】本発明の一実施形態において、図1のASIC
の他の部分にクロック信号を提供する図1および図2の
LBISTエンジンを示す図である。
【符号の説明】
100 デュアル・モードBIST制御装置 110 LBISTエンジン 120 MBISTエンジン 130、160 LBISTシグネチャ 140、170 MBISTシグネチャ 150 ASIC 180 試験インターフェース 190 メモリ構成要素 195a〜d 論理コア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/3183 G01R 31/28 Q 31/3185 V G11C 29/00 675 G H01L 21/822 W 27/04 H01L 27/04 T (72)発明者 マイケル・シイ・ドーシイ アメリカ合衆国・カリフォルニア州・サン ディエゴ・ミラ メサ ブールバード・ 9450−ビイ・ナンバー 350 Fターム(参考) 2G132 AA13 AA15 AC14 AC15 AG01 AK13 AK14 AK15 AK22 AK29 5B048 AA20 CC11 CC18 DD05 DD10 5F038 CA03 CA05 DF11 DT06 DT07 DT08 DT15 DT17 EZ20 5L106 AA02 DD08 DD22 DD23 GG03

Claims (37)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 論理組込み形自己試験を実行可能な論理
    組込み形自己試験エンジンと、 論理組込み形自己試験の実行によって生成された論理組
    込み形自己試験シグネチャとを含む、 論理組込み形自己試験領域、およびメモリ組込み形自己
    試験を実行可能なメモリ組込み形自己試験エンジンを含
    む、 メモリ組込み形自己試験領域を備えた、 デュアル・モード組込み形自己試験制御装置。
  2. 【請求項2】 論理組込み形自己試験エンジンが、 論理組込み形自己試験状態マシンと、 論理組込み形自己試験状態マシンの状態で使用するため
    のスキャン・パターンを生成可能なパターン発生器とを
    含む請求項1に記載のデュアル・モード組込み形自己試
    験制御装置。
  3. 【請求項3】 論理組込み形自己試験状態マシンが、 外部リセット信号を受け取ると入るリセット状態と、 論理組込み形自己試験実行信号を受け取ると、リセット
    状態から入る開始状態と、 開始状態の論理組込み形自己試験領域の構成要素および
    信号が開始されると、開始状態から入るスキャン状態
    と、 スキャン状態から入り、パターン発生器のコンテンツが
    所定のベクトル・カウントと等しくない場合はスキャン
    状態に入るステップ状態と、 パターン発生器のコンテンツが所定のベクトル・カウン
    トと等しい場合、ステップ状態から入る完了状態とをさ
    らに含む請求項2に記載のデュアル・モード組込み形自
    己試験制御装置。
  4. 【請求項4】 パターン発生器が、基本多項式でシード
    された線形フィードバック・シフト・レジスタを含む請
    求項2に記載のデュアル・モード組込み形自己試験制御
    装置。
  5. 【請求項5】 論理組込み形自己試験シグネチャが、 エラー条件が発生したことを示すビットと、 格納された結果が、以前の論理組込み形自己試験の実行
    からのものであるかどうかを示すビットのうち、少なく
    とも1つを含む請求項2に記載のデュアル・モード組込
    み形自己試験制御装置。
  6. 【請求項6】 メモリ組込み形自己試験領域が、メモリ
    組込み形自己試験の実行によって生成されたメモリ組込
    み形自己試験シグネチャをさらに含む請求項1に記載の
    デュアル・モード組込み形自己試験制御装置。
  7. 【請求項7】 メモリ組込み形自己試験シグネチャが、
    少なくとも1つのパラノイア・チェックの結果を含む請
    求項6に記載のデュアル・モード組込み形自己試験制御
    装置。
  8. 【請求項8】 メモリ組込み形自己試験シグネチャが、
    メモリ組込み形自己試験が完了したかどうかを示すビッ
    トを含む請求項6に記載のデュアル・モード組込み形自
    己試験制御装置。
  9. 【請求項9】 メモリ組込み形自己試験エンジンが、 メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンを動作させるネスト
    されたメモリ組込み形自己試験エンジンとを含む請求項
    1に記載のデュアル・モード組込み形自己試験制御装
    置。
  10. 【請求項10】 メモリ組込み形自己試験状態マシン
    が、 外部リセット信号を受け取ると入るリセット状態と、 メモリ組込み形自己試験実行信号およびメモリ組込み形
    自己試験選択信号のうち少なくとも1つを受け取ると、
    リセット状態から入る開始状態と、 開始状態のメモリ組込み形自己試験領域の構成要素およ
    び信号が開始されると、開始状態から入るフラッシュ状
    態と、 複数のメモリ構成要素の知られた状態へのフラッシュが
    完了すると、フラッシュ状態から入る試験状態と、 メモリ組込み形自己試験のそれぞれのメモリ構成要素の
    試験が完了すると入る完了状態とを含む請求項9に記載
    のデュアル・モード組込み形自己試験制御装置。
  11. 【請求項11】 メモリ組込み形自己試験エンジンが、 複数の代替メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンのうち所定の1つを
    動作させるネストされたメモリ組込み形自己試験エンジ
    ンとを含む請求項1に記載のデュアル・モード組込み形
    自己試験制御装置。
  12. 【請求項12】 メモリ組込み形自己試験エンジンがそ
    れぞれ、 外部リセット信号を受け取ると入るリセット状態と、 メモリ組込み形自己試験実行信号およびメモリ組込み形
    自己試験選択信号のうち少なくとも1つを受け取ると、
    リセット状態から入る開始状態と、 開始状態のメモリ組込み形自己試験領域の構成要素およ
    び信号が開始されると、開始状態から入るフラッシュ状
    態と、 複数のメモリ構成要素の知られた状態へのフラッシュが
    完了すると、フラッシュ状態から入る試験状態と、 メモリ組込み形自己試験のそれぞれのメモリ構成要素の
    試験が完了すると入る完了状態とを含む請求項11に記
    載のデュアル・モード組込み形自己試験制御装置。
  13. 【請求項13】 論理組込み形自己試験を実行するため
    の手段と、 論理組込み形自己試験の実行によって生成された論理組
    込み形自己試験の結果を格納するための手段とを含む、 論理組込み形自己試験領域、およびメモリ組込み形自己
    試験を実行するための手段を含む、 メモリ組込み形自己試験領域を備えた、デュアル・モー
    ド組込み形自己試験制御装置。
  14. 【請求項14】 論理実行手段が、 論理組込み形自己試験状態マシンと、 論理組込み形自己試験状態マシンの状態で使用するため
    のスキャン・パターンを生成可能なパターン発生器とを
    含む請求項13に記載のデュアル・モード組込み形自己
    試験制御装置。
  15. 【請求項15】 メモリ組込み形自己試験領域が、メモ
    リ組込み形自己試験の実行によりメモリ組込み形自己試
    験の結果を格納するための手段をさらに含む請求項13
    に記載のデュアル・モード組込み形自己試験制御装置。
  16. 【請求項16】 メモリ実行手段が、 メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンを動作させるネスト
    されたメモリ組込み形自己試験エンジンとを含む請求項
    13に記載のデュアル・モード組込み形自己試験制御装
    置。
  17. 【請求項17】 メモリ実行手段が、 複数の代替メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンのうち所定の1つを
    動作させるネストされたメモリ組込み形自己試験エンジ
    ンとを含む請求項13に記載のデュアル・モード組込み
    形自己試験制御装置。
  18. 【請求項18】 複数のメモリ構成要素と、 論理コアと、 試験インターフェースと、 論理コアで論理組込み形自己試験を実行可能な論理組込
    み形自己試験エンジンと、 論理組込み形自己試験の実行によって生成された論理組
    込み形自己試験シグネチャとを含む、 論理組込み形自己試験領域、およびメモリ構成要素でメ
    モリ組込み形自己試験を実行可能なメモリ組込み形自己
    試験エンジンを含む、 メモリ組込み形自己試験領域を備えた、 試験インターフェースを介して制御されるデュアル・モ
    ード組込み形自己試験制御装置とを含む集積回路デバイ
    ス。
  19. 【請求項19】 論理組込み形自己試験エンジンが、 論理組込み形自己試験状態マシンと、 論理組込み形自己試験状態マシンの状態で使用するため
    のスキャン・パターンを生成可能なパターン発生器とを
    含む請求項18に記載の集積回路デバイス。
  20. 【請求項20】 メモリ組込み形自己試験領域が、メモ
    リ組込み形自己試験の実行によって生成されるメモリ組
    込み形自己試験シグネチャ・レジスタをさらに含む請求
    項18に記載の集積回路デバイス。
  21. 【請求項21】 メモリ組込み形自己試験エンジンが、 メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンを動作させるネスト
    されたメモリ組込み形自己試験エンジンとを含む請求項
    18に記載の集積回路デバイス。
  22. 【請求項22】 メモリ組込み形自己試験エンジンが、 複数の代替メモリ組込み形自己試験状態マシンと、 メモリ組込み形自己試験状態マシンのうち所定の1つを
    動作させるネストされたメモリ組込み形自己試験エンジ
    ンとを含む請求項18に記載の集積回路デバイス。
  23. 【請求項23】 メモリ構成要素が、静的ランダム・ア
    クセス・メモリ・デバイスを含む請求項18に記載の集
    積回路デバイス。
  24. 【請求項24】 試験インターフェースが、Joint
    Test Action Groupタップ制御装置
    を含む請求項18に記載の集積回路デバイス。
  25. 【請求項25】 集積回路デバイス上で組込み形自己試
    験を実行するための方法であって、 デュアル・モード組込み形自己試験制御装置を外部から
    リセットすること、 論理組込み形自己試験およびメモリ組込み形自己試験の
    うち少なくとも1つを、デュアル・モード組込み形自己
    試験制御装置から実行すること、および実行された組込
    み形自己試験の結果を取得することを含む方法。
  26. 【請求項26】 デュアル・モード組込み形自己試験制
    御装置を外部からリセットすることが、論理組込み形自
    己試験エンジンの論理組込み形自己試験状態マシンをリ
    セットすることと、メモリ組込み形自己試験エンジンの
    メモリ組込み形自己試験状態マシンをリセットすること
    のうち、少なくとも1つを含む請求項25に記載の方
    法。
  27. 【請求項27】 デュアル・モード組込み形自己試験制
    御装置をリセットすることが、デュアル・モード組込み
    形自己試験制御装置の論理組込み形自己試験領域にあ
    る、多重入力シグネチャ・レジスタおよびパターン発生
    器を開始することを含む請求項25に記載の方法。
  28. 【請求項28】 論理組込み形自己試験を実行すること
    が、 論理組込み形自己試験実行信号を受け取ると、デュアル
    ・モード組込み形自己試験制御装置の論理組込み形自己
    試験領域内の複数の構成要素および信号を開始させるこ
    と、 構成要素および信号が開始するとスキャン・チェーンを
    スキャンすること、 新しいスキャン・チェーンにステップすること、および
    パターン発生器のコンテンツが所定のベクトル・カウン
    トに等しくなるまで、前のスキャンおよびステップを繰
    り返すことを含む請求項25に記載の方法。
  29. 【請求項29】 エラー条件が発生したことを示す、多
    重入力シグネチャ・レジスタのビットを設定すること
    と、 格納された結果が、以前の論理組込み形自己試験の実行
    からのものであるかどうかを示す多重入力シグネチャ・
    レジスタのビットを設定することのうち、少なくとも1
    つをさらに含む請求項28に記載の方法。
  30. 【請求項30】 メモリ組込み形自己試験を実行するこ
    とが、 メモリ組込み形自己試験実行信号およびメモリ組込み形
    自己試験選択信号のうち少なくとも1つを受け取ると、
    デュアル・モード組込み形自己試験制御装置のメモリ組
    込み形自己試験領域にある複数の構成要素および信号を
    開始すること、 メモリ組込み形自己試験領域にある構成要素および信号
    を開始した後に、複数のメモリ構成要素のコンテンツを
    知られた状態に譜ラッシュすること、およびフラッシュ
    されたメモリ構成要素を試験することを含む請求項25
    に記載の方法。
  31. 【請求項31】 メモリ組込み形自己試験が、 メモリ組込み形自己試験の結果をメモリ組込み形自己試
    験シグネチャ・レジスタに格納すること、 少なくとも1つのパラノイア・チェックの結果をメモリ
    組込み形自己試験シグネチャ・レジスタに格納するこ
    と、およびメモリ組込み形自己試験シグネチャ・レジス
    タのビットを、メモリ組込み形自己試験が完了したかど
    うかを示すように設定することのうち、少なくとも1つ
    をさらに含む請求項30に記載の方法。
  32. 【請求項32】 集積回路デバイスとテスタとをインタ
    ーフェースすること、 デュアル・モード組込み形自己試験制御装置を外部から
    リセットすること、 論理組込み形自己試験を、デュアル・モード組込み形自
    己試験制御装置から実行すること、 メモリ組込み形自己試験を、デュアル・モード組込み形
    自己試験制御装置から実行すること、 実行された論理組込み形自己試験および実行されたメモ
    リ組込み形自己試験の結果を取得することを含む、集積
    回路デバイスを試験するための方法。
  33. 【請求項33】 デュアル・モード組込み形自己試験制
    御装置を外部からリセットすることが、論理組込み形自
    己試験エンジンの論理組込み形自己試験状態マシンをリ
    セットすることと、メモリ組込み形自己試験エンジンの
    メモリ組込み形自己試験状態マシンをリセットすること
    のうち、少なくとも1つを含む請求項32に記載の方
    法。
  34. 【請求項34】 論理組込み形自己試験を実行すること
    が、 論理組込み形自己試験実行信号を受け取ると、デュアル
    ・モード組込み形自己試験制御装置の論理組込み形自己
    試験領域内の複数の構成要素および信号を開始させるこ
    と、 構成要素および信号が開始するとスキャン・チェーンを
    スキャンすること、 新しいスキャン・チェーンにステップすること、および
    パターン発生器のコンテンツが所定のベクトル・カウン
    トに等しくなるまで、前のスキャンおよびステップを繰
    り返すことを含む請求項32に記載の方法。
  35. 【請求項35】 メモリ組込み形自己試験を実行するこ
    とが、 メモリ組込み形自己試験実行信号およびメモリ組込み形
    自己試験選択信号のうち少なくとも1つを受け取ると、
    デュアル・モード組込み形自己試験制御装置のメモリ組
    込み形自己試験領域にある複数の構成要素および信号を
    開始すること、 メモリ組込み形自己試験領域にある構成要素および信号
    を開始した後に、複数のメモリ構成要素のコンテンツを
    知られた状態にフラッシュすること、およびフラッシュ
    されたメモリ構成要素を試験することを含む請求項32
    に記載の方法。
  36. 【請求項36】 結果を取得することが、論理組込み形
    自己試験シグネチャおよびメモリ組込み形自己試験シグ
    ネチャのうち少なくとも1つを読み取ることを含む請求
    項32に記載の方法。
  37. 【請求項37】 集積回路デバイスとテスタとをインタ
    ーフェースすることが、Joint Test Act
    ion Groupプロトコルを使用することを含む請
    求項32に記載の方法。
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