JP2003207410A - Leak inspection apparatus - Google Patents

Leak inspection apparatus

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JP2003207410A
JP2003207410A JP2002005948A JP2002005948A JP2003207410A JP 2003207410 A JP2003207410 A JP 2003207410A JP 2002005948 A JP2002005948 A JP 2002005948A JP 2002005948 A JP2002005948 A JP 2002005948A JP 2003207410 A JP2003207410 A JP 2003207410A
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JP
Japan
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chamber
helium
closing device
leak
pipe
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002005948A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Takeda
宏治 武田
Hideki Kawashima
英樹 川島
Katsumi Fukui
克己 福井
Minoru Okajima
稔 岡島
Makoto Toki
誠 土岐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a leak inspection apparatus for surely inspecting leakage of the closed piping with reduced consumption of an inspection gas and better working efficiency. <P>SOLUTION: A freezing circuit 8 is guided into a chamber 2 through an opening which is formed at the lower side of the chamber 2 having a space filled with helium. The freezing circuit 8 is transported by a lift 9 to the upper part within the chamber 2 while the freezing circuit 8 is evacuate by a vacuum pump 5 connected to the freezing circuit 8. A detector 4 which is disposed outside the freezing circuit 8 to detect presence of helium, determines leakage of the freezing circuit 8 by detecting presence of the helium. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、冷凍回路等の閉鎖
装置の配管のリークを検査するリーク検査装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak inspection device for inspecting a leak in a pipe of a closing device such as a refrigeration circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】閉鎖装置の一例として、冷凍回路が挙げ
られる。冷凍回路は、圧縮機と、凝縮機と、乾燥器と、
熱交換器等とが配管で連結されて回路構成され、この配
管との連結部は、溶接等で連結されている。
2. Description of the Related Art A refrigeration circuit is an example of a closing device. The refrigeration circuit has a compressor, a condenser, a drier,
A heat exchanger and the like are connected by piping to form a circuit, and a connecting portion with this piping is connected by welding or the like.

【0003】このように回路構成された冷凍回路内に
は、冷媒が封入されるが、その時に問題となるのが、冷
媒のリークである。リークは、主に溶接部分等の接合部
分から発生し、リークが発生すると、冷凍能力が出な
い、HC冷媒を使用する場合では、爆発する危険性があ
る等の問題があった。
Refrigerant is sealed in the refrigerating circuit having such a circuit configuration, and the problem at that time is refrigerant leakage. Leakage mainly occurs at a joint portion such as a welded portion, and if a leak occurs, there is a problem that the refrigerating capacity does not come out, and when an HC refrigerant is used, there is a risk of explosion.

【0004】リーク検査方法として、冷媒を冷凍回路内
に封入した後、リークディテクターを使用し、冷凍回路
の配管をなぞるようにして検査する方法で行なってい
た。しかし、配管のなぞり難い部分や、見辛い部分が存
在するので、確実なリーク検査をすることが難しかっ
た。
As a leak inspection method, a refrigerant is sealed in a refrigeration circuit and then a leak detector is used to inspect the piping of the refrigeration circuit. However, it is difficult to perform a reliable leak inspection because there are parts that are difficult to trace on the pipe and parts that are difficult to see.

【0005】そこで、窒素やヘリウム等の検査用ガスを
使用したリーク検査方法が実施されている。冷凍回路内
が真空状態にある冷凍回路を、カプセルと呼ばれるリー
ク検査容器内に導入する。カプセルには、冷凍回路を導
入する導入口と、カプセル内を真空にする真空ポンプが
取り付けられており、第一回目のリーク検査と第二回目
のリーク検査によって冷凍回路は合格品であるか否かを
判断する。
Therefore, a leak inspection method using an inspection gas such as nitrogen or helium is implemented. A refrigeration circuit whose inside is in a vacuum state is introduced into a leak test container called a capsule. The capsule is equipped with an inlet for introducing a refrigeration circuit and a vacuum pump for evacuating the inside of the capsule. Whether the refrigeration circuit has passed the first leak test and the second leak test To judge.

【0006】第一回目のリーク検査では、カプセル内を
真空引きすると同時に冷凍回路内に窒素を例えば3Kg
/cm2Gだけ封入し、冷凍回路内の圧力を調べ、冷凍
回路内の圧力が3Kg/cm2Gより低下しているか否
かで判断する。合格した冷凍回路は真空引きされ、第二
回目のリーク検査が行なわれる。
[0006] In the first leak inspection, the inside of the capsule is evacuated and at the same time, for example, 3 kg of nitrogen is put in the refrigeration circuit.
/ Cm 2 G is sealed, the pressure in the refrigeration circuit is checked, and it is judged whether the pressure in the refrigeration circuit is lower than 3 Kg / cm 2 G. The refrigeration circuit that passed the test is evacuated, and the second leak inspection is performed.

【0007】第二回目のリーク検査では、第一回目のリ
ーク検査で合格した冷凍回路にHe/N2を例えば8K
g/cm2G封入すると同時に、カプセル内を真空引き
し、約0.1Torrにする。その後、冷凍回路内の圧
力と、カプセル内の真空残圧を調べることにより合格品
であるか否かを判断する、という方法で行なっている。
In the second leak inspection, He / N2 is applied to the refrigeration circuit which passed the first leak inspection, for example, 8K.
At the same time as g / cm 2 G was enclosed, the inside of the capsule was evacuated to about 0.1 Torr. After that, the pressure in the refrigeration circuit and the vacuum residual pressure in the capsule are checked to determine whether or not the product is an acceptable product.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記の検査用ガスを利
用した方法で検査を行なうと、検査終了後、検査用ガス
を排気してから冷凍回路等の閉鎖装置に封入物を封入し
なければならず、検査用ガスが無駄になる上、作業工程
が複雑であること等の問題があった。
When the inspection is carried out by the above-mentioned method using the inspection gas, after the inspection is completed, the inspection gas must be exhausted and then the enclosure must be sealed in a closing device such as a refrigeration circuit. However, there is a problem that the inspection gas is wasted and the work process is complicated.

【0009】本発明は、上記の問題を解決するためのも
のであり、検査ガスの消費量を抑えること、作業行程を
簡潔すること、時間的ロスを少なくすることを目的とし
ている。
The present invention is intended to solve the above problems, and it is an object of the present invention to suppress the consumption of inspection gas, simplify the work process, and reduce the time loss.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ヘリウムで充満した空間を形成するチャンバーと、この
チャンバーの下側に開口部が設けられ、前記チャンバー
内へ収容される配管接続された冷凍回路等の閉鎖装置
と、この閉鎖装置を前記開口部からチャンバー内に導入
し、前記チャンバー内の上方に前記閉鎖装置を移動可能
にする移動装置と、前記閉鎖装置に接続され、配管内部
を高真空にする真空ポンプと、前記閉鎖装置外に配設さ
れ前記閉鎖装置の配管内のヘリウムの存在を検知する検
知機とで構成され、前記チャンバー内で前記閉鎖装置を
前記真空ポンプによって前記配管内の真空引きを行な
い、前記検知機でヘリウムの有無を検知することにより
前記閉鎖装置のリークの有無を判断することを特徴とす
るものである。
The invention according to claim 1 is
A chamber that forms a space filled with helium, an opening is provided below the chamber, and a closing device such as a piping-connected refrigeration circuit that is housed in the chamber, and the closing device is provided through the opening. A moving device that is introduced into the chamber and that can move the closing device upward in the chamber; a vacuum pump that is connected to the closing device and that makes the inside of the pipe a high vacuum; and a vacuum pump that is provided outside the closing device. A detector for detecting the presence of helium in the pipe of the closing device, the inside of the chamber is evacuated in the pipe by the vacuum pump, and the detector detects the presence or absence of helium. By doing so, the presence or absence of a leak in the closing device is determined.

【0011】請求項2記載の発明は、ヘリウムで充満し
た空間を形成するチャンバーと、このチャンバーの下側
に開口部が設けられ、前記チャンバー内へ収容される配
管接続された冷凍回路等の閉鎖装置と、この閉鎖装置を
前記開口部からチャンバー内に導入し、前記チャンバー
内の上方に前記閉鎖装置を移動可能にする移動装置と、
前記閉鎖装置に接続され、配管内部を高真空にする真空
ポンプと、前記閉鎖装置外に配設され前記閉鎖装置の配
管内のヘリウムの存在を検知する検知機とで構成され、
前記閉鎖装置を前記真空ポンプによって前記配管内の真
空引きを行ないつつ前記チャンバー内に導入し、前記検
知機でヘリウムの有無を検知することにより前記閉鎖装
置のリークの有無を判断することを特徴とするものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, a chamber for forming a space filled with helium and an opening portion provided under the chamber are provided to close a refrigeration circuit connected to the pipe and accommodated in the chamber. A device and a moving device for introducing the closing device into the chamber through the opening and enabling the closing device to move upward in the chamber;
A vacuum pump that is connected to the closing device and that makes a high vacuum inside the pipe, and a detector that is arranged outside the closing device and detects the presence of helium in the pipe of the closing device,
The closure device is introduced into the chamber while vacuuming the inside of the pipe by the vacuum pump, and the presence or absence of a leak in the closure device is determined by detecting the presence or absence of helium by the detector. To do.

【0012】請求項3記載の発明は、前記移動装置は、
前記チャンバーの開口部より上下動する昇降機に前記閉
鎖装置を搭載させてチャンバー内へ移動可能にすること
を特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, the moving device comprises:
The closing device is mounted on an elevator that moves up and down from the opening of the chamber so that it can be moved into the chamber.

【0013】請求項4記載の発明は、前記閉鎖装置は、
前記チャンバー内上部でリークの有無を判断することを
特徴とするものである。
According to a fourth aspect of the present invention, the closing device comprises:
It is characterized in that the presence or absence of a leak is determined in the upper part of the chamber.

【0014】上記の発明には、以下のような作用があ
る。
The above invention has the following effects.

【0015】請求項1乃至4記載の本発明によれば、ヘ
リウムが空気より軽いので、チャンバー内上部に高濃度
のヘリウム層ができ、検査する閉鎖回路を真空ポンプに
よって真空引きを行ないながらチャンバー上部に搬送
し、前記検知機で配管内ヘリウムの有無を検知すること
によってリーク検査を行なうことが可能になる。したが
って、検査終了後、閉鎖装置の配管内のヘリウムを回収
する必要が無くなるので、検査用ガスの消費量を抑える
ことが出来る作用がある。また、リーク検査中に閉鎖装
置の配管中を真空にすることができるので、リーク検査
合格品は検査終了後すぐに封入物を封入することがで
き、そのことによって作業工程を簡潔化する作用と、作
業時間の短縮を図る作用がある。
According to the first to fourth aspects of the present invention, since helium is lighter than air, a high-concentration helium layer is formed in the upper part of the chamber, and the closed circuit to be inspected is evacuated by a vacuum pump while the upper part of the chamber is evacuated. It is possible to carry out a leak inspection by transporting to a container and detecting the presence or absence of helium in the pipe by the detector. Therefore, it is not necessary to recover the helium in the pipe of the closing device after the inspection is completed, and thus the consumption of the inspection gas can be suppressed. In addition, since the inside of the piping of the closing device can be evacuated during the leak inspection, the products that have passed the leak inspection can be filled with the inclusions immediately after the inspection is completed, which has the effect of simplifying the work process. , Has the effect of reducing the working time.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明を説
明する。図1は第一の実施形態を示すリーク検査装置の
縦断面図、図2は第二の実施形態を示すリーク検査装置
の縦断面図、図3は第三の実施形態を示すリーク検査装
置の縦断面図である。図1、図2、図3において、同一
符号は同一部分を示している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a vertical sectional view of a leak inspection apparatus showing a first embodiment, FIG. 2 is a vertical sectional view of a leak inspection apparatus showing a second embodiment, and FIG. 3 is a leak inspection apparatus showing a third embodiment. FIG. 1, 2, and 3, the same reference numerals indicate the same parts.

【0017】リーク検査装置1は、ヘリウムで充満した
下部が開口したチャンバー2と、ヘリウムを供給するヘ
リウムボンベ3と、ヘリウムの存在を検知するヘリウム
検知機4と、真空ポンプ5と、検査品である冷凍回路8
をチャンバー2内の上方へ送る昇降機9と、チャンバー
2内の下部にあってヘリウムの濃度を検知して、ヘリウ
ムボンベ3に接続されたバルブ6を開閉する濃度コント
ローラー7とで構成されている。
The leak inspection apparatus 1 comprises a chamber 2 which is filled with helium and has a lower opening, a helium cylinder 3 for supplying helium, a helium detector 4 for detecting the presence of helium, a vacuum pump 5, and an inspection product. Refrigeration circuit 8
And a concentration controller 7 for detecting the helium concentration in the lower part of the chamber 2 and opening and closing the valve 6 connected to the helium cylinder 3.

【0018】リークを検査する冷凍回路8は、図示しな
い圧縮機、凝縮機、乾燥器、熱交換器等とで構成されて
いる。圧縮機の高圧側と低圧側に肉厚ゴム等で形成され
た減圧チューブ10を圧縮機の高圧側と低圧側にそれぞ
れ接続し、真空ポンプ5の手前で減圧チューブ10は合
流して一本化されて真空ポンプ5へと接続される。真空
ポンプ5からは排気チューブ11が引きだされている。
The refrigeration circuit 8 for inspecting for leaks is composed of a compressor, a condenser, a drier, a heat exchanger, etc., which are not shown. The decompression tubes 10 formed of thick rubber or the like on the high pressure side and the low pressure side of the compressor are connected to the high pressure side and the low pressure side of the compressor, respectively, and the decompression tubes 10 are merged into one before the vacuum pump 5. Then, it is connected to the vacuum pump 5. An exhaust tube 11 is pulled out from the vacuum pump 5.

【0019】ヘリウム検知機4は、真空に耐えうる性質
があれば、図1に示すように減圧チューブ10内に、真
空に耐えられなければ図2に示すように排気チューブ1
1内に配設する。
If the helium detector 4 has a property capable of withstanding a vacuum, the helium detector 4 is placed inside the decompression tube 10 as shown in FIG. 1, and if it cannot withstand a vacuum, the exhaust tube 1 as shown in FIG.
It is installed in 1.

【0020】上記のように構成されたリーク検査装置を
用いて、リーク検査方法を説明する。
A leak inspection method will be described using the leak inspection apparatus configured as described above.

【0021】図1と図2では、昇降機9として、例えば
ベルトコンベアのようなものを利用し、矢印AからBの
方向に動いている。圧縮機、凝縮機、乾燥器、熱交換機
等が組み立てられた冷凍回路8は、チャンバー2より手
前で真空ポンプ5によって、真空引きが行なわれ、冷凍
回路8内のエアー抜きを十分に行なう。そして、ベルト
コンベア等によってチャンバー2に運ばれる。チャンバ
ー2内は、あらかじめヘリウムが充満しており、濃度コ
ントローラー7によってチャンバー2内のヘリウム量が
一定になるように、バルブ6の開閉が行なわれている。
In FIGS. 1 and 2, an elevator 9 such as a belt conveyor is used and is moved in the directions of arrows A to B. The refrigeration circuit 8 in which the compressor, the condenser, the drier, the heat exchanger and the like are assembled is evacuated by the vacuum pump 5 before the chamber 2 and the air in the refrigeration circuit 8 is sufficiently evacuated. Then, it is carried to the chamber 2 by a belt conveyor or the like. The chamber 2 is filled with helium in advance, and the valve 6 is opened and closed by the concentration controller 7 so that the amount of helium in the chamber 2 becomes constant.

【0022】十分エアー抜きされた冷凍回路8は、真空
ポンプ5によって真空引きを行ないながら、ヘリウムの
充満したチャンバー2内へ搬送され、ベルトコンベア状
の昇降機9によってチャンバー2上部へと送られる。な
お、ヘリウムは空気より軽いので、ヘリウム濃度はチャ
ンバー2下部よりもチャンバー2上部の方が高くなって
いる。排気チューブ11の開放端は、ヘリウム濃度の低
い部分、もしくはチャンバー2外へ出されている。
The refrigeration circuit 8 that has been sufficiently evacuated is conveyed into the chamber 2 filled with helium while being evacuated by the vacuum pump 5, and is sent to the upper part of the chamber 2 by the elevator 9 in the form of a belt conveyor. Since helium is lighter than air, the helium concentration is higher in the upper part of the chamber 2 than in the lower part of the chamber 2. The open end of the exhaust tube 11 is exposed outside the chamber 2 or a portion with a low helium concentration.

【0023】冷凍回路8は、チャンバー2内を搬送され
ながら、ヘリウム検知機4によってリーク状況を検査さ
れている。冷凍回路8は真空になった状態でチャンバー
2内に搬送されており、合格品であれば、ヘリウム検知
機4によってヘリウムを検知することはない。しかし、
冷凍回路8内にリークポイントがあれば、そのポイント
から外部雰囲気であるヘリウムを吸い込むことになり、
ヘリウム検知機4によってヘリウムの存在が確認され
る。ヘリウムの存在が確認された冷凍回路8は、不合格
品として、製造ラインから外される。なお、ヘリウム検
知機によってヘリウムが確認された場合には、ブザー等
によってそれを知らせてもよいし、ランプ等によって知
らせても良い。
The refrigeration circuit 8 is inspected for a leak condition by the helium detector 4 while being transported in the chamber 2. The refrigeration circuit 8 is conveyed in the chamber 2 in a vacuum state, and if it is an acceptable product, the helium detector 4 does not detect helium. But,
If there is a leak point in the refrigeration circuit 8, helium which is the external atmosphere will be sucked in from that point,
The presence of helium is confirmed by the helium detector 4. The refrigeration circuit 8 in which the presence of helium has been confirmed is rejected and removed from the production line. When helium is confirmed by the helium detector, it may be notified by a buzzer or the like, or may be notified by a lamp or the like.

【0024】検査に合格した冷凍回路8は、チャンバー
2から搬出された後、冷媒の封入が行なわれる。
The refrigerating circuit 8 that has passed the inspection is carried out of the chamber 2 and then filled with the refrigerant.

【0025】図3には、チャンバー2の上部へ送る昇降
機9として、ジャッキを使用した場合の一例を示してい
る。なお、この図では、減圧チューブ10側にヘリウム
検知機4が設けられているが、図2に示すように排気チ
ューブ11側にヘリウム検知機4を設けても良い。
FIG. 3 shows an example in which a jack is used as the elevator 9 for feeding to the upper part of the chamber 2. Although the helium detector 4 is provided on the side of the decompression tube 10 in this drawing, the helium detector 4 may be provided on the side of the exhaust tube 11 as shown in FIG.

【0026】十分エアー抜きされた冷凍回路8を、所定
の数だけ昇降機9上へ載せる。その後、冷凍回路8の真
空引きを行ないながら(a)の状態から(b)の状態へ
ジャッキアップしてチャンバー2の上方へ送り、ヘリウ
ム検知機4によってリーク状況を検査される。冷凍回路
8は真空になった状態でチャンバー2内に搬送されてお
り、合格品であれば、ヘリウム検知機4によってヘリウ
ムを検知することはない。しかし、冷凍回路8内にリー
クポイントがあれば、そのポイントから外部雰囲気であ
るヘリウムを吸い込むことになり、ヘリウム検知機4に
よってヘリウムの存在が確認される。ヘリウムの存在が
確認された冷凍回路8は、不合格品として、製造ライン
から外される。なお、ヘリウム検知機によってヘリウム
が確認された場合には、ブザー等によってそれを知らせ
てもよいし、ランプによって知らせても良い。
A predetermined number of refrigeration circuits 8 that have been sufficiently evacuated are placed on the elevator 9. After that, while vacuuming the refrigeration circuit 8, the state of (a) is jacked up from the state of (b) and sent above the chamber 2, and the helium detector 4 inspects the leak status. The refrigeration circuit 8 is conveyed in the chamber 2 in a vacuum state, and if it is an acceptable product, the helium detector 4 does not detect helium. However, if there is a leak point in the refrigeration circuit 8, helium, which is the external atmosphere, is sucked in from that point, and the presence of helium is confirmed by the helium detector 4. The refrigeration circuit 8 in which the presence of helium has been confirmed is rejected and removed from the production line. When helium is detected by the helium detector, it may be notified by a buzzer or the like, or may be notified by a lamp.

【0027】一定時間が経過したら、ジャッキを下ろ
し、リーク検査に合格した冷凍回路8に冷媒の封入が行
なわれる。
After a certain period of time, the jack is lowered and the refrigeration circuit 8 that has passed the leak inspection is filled with the refrigerant.

【0028】[0028]

【発明の効果】上記の発明は、以下のような効果があ
る。
The above invention has the following effects.

【0029】請求項1乃至4記載の発明によれば、ヘリ
ウムが空気より軽いので、チャンバー上部に高濃度のヘ
リウム層ができ、検査する閉鎖装置を真空ポンプによっ
て真空引きを行ないながらチャンバー上部に搬送し、前
記検知機で配管内のヘリウムの有無を検知することによ
ってリーク検査を行なうことが可能になる。したがっ
て、検査終了後、閉鎖装置の配管内のヘリウムを回収す
る必要が無くなるので、検査用ガスの消費量を抑えるこ
とが出来る。また、リーク検査中に閉鎖装置の配管内を
真空にすることができるので、リーク検査合格品は検査
終了後すぐに封入物を封入することができ、そのことに
よって作業工程を簡潔化する作用と、作業時間の短縮を
図ることができる。
According to the first to fourth aspects of the present invention, since helium is lighter than air, a high-concentration helium layer is formed on the upper part of the chamber, and the closing device to be inspected is transferred to the upper part of the chamber while performing vacuuming with a vacuum pump. Then, the leak inspection can be performed by detecting the presence or absence of helium in the pipe with the detector. Therefore, it is not necessary to recover the helium in the pipe of the closing device after the inspection is completed, so that the consumption of the inspection gas can be suppressed. In addition, since the inside of the piping of the closure device can be evacuated during the leak inspection, the products that have passed the leak inspection can be filled with the inclusions immediately after the inspection is completed, which has the effect of simplifying the work process. The working time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第一の実施形態を示すリーク検査装置の縦断面
図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a leak inspection device showing a first embodiment.

【図2】第二の実施形態を示すリーク検査装置の縦断面
図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a leak inspection device showing a second embodiment.

【図3】第三の実施形態を示すリーク検査装置の縦断面
図である。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of a leak inspection device showing a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リーク検査装置 2 チャンバー 3 ヘリウムボンベ 4 ヘリウム検知機 5 真空ポンプ 6 バルブ 7 濃度コントローラー 8 冷凍回路 9 昇降機 10 減圧チューブ 11 排気チューブ 1 Leak inspection device 2 chambers 3 helium cylinder 4 Helium detector 5 vacuum pump 6 valves 7 Concentration controller 8 Refrigeration circuit 9 elevator 10 Decompression tube 11 Exhaust tube

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福井 克己 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 岡島 稔 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 土岐 誠 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 Fターム(参考) 2G067 AA12 AA34 BB02 BB03 BB04 BB12 BB25 BB30 CC13 DD17 DD18    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Katsumi Fukui             2-5-3 Keihan Hondori, Moriguchi City, Osaka Prefecture             Within Yo Denki Co., Ltd. (72) Inventor Minoru Okajima             2-5-3 Keihan Hondori, Moriguchi City, Osaka Prefecture             Within Yo Denki Co., Ltd. (72) Inventor Makoto Toki             2-5-3 Keihan Hondori, Moriguchi City, Osaka Prefecture             Within Yo Denki Co., Ltd. F term (reference) 2G067 AA12 AA34 BB02 BB03 BB04                       BB12 BB25 BB30 CC13 DD17                       DD18

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヘリウムで充満した空間を形成するチャ
ンバーと、このチャンバーの下側に開口部が設けられ、
前記チャンバー内へ収容される配管接続された冷凍回路
等の閉鎖装置と、この閉鎖装置を前記開口部からチャン
バー内に導入し、前記チャンバー内の上方に前記閉鎖装
置を移動可能にする移動装置と、前記閉鎖装置に接続さ
れ、配管内部を高真空にする真空ポンプと、前記閉鎖装
置外に配設され前記閉鎖装置の配管内のヘリウムの存在
を検知する検知機とで構成され、前記チャンバー内で前
記閉鎖装置を前記真空ポンプによって前記配管内の真空
引きを行ない、前記検知機でヘリウムの有無を検知する
ことにより前記閉鎖装置のリークの有無を判断すること
を特徴とするリーク検査装置。
1. A chamber that forms a space filled with helium, and an opening is provided below the chamber,
A closing device such as a piping-connected refrigeration circuit housed in the chamber, and a moving device for introducing the closing device into the chamber through the opening and enabling the closing device to move upward in the chamber. In the chamber, a vacuum pump connected to the closing device to make a high vacuum inside the pipe, and a detector arranged outside the closing device to detect the presence of helium in the pipe of the closing device, 2. The leak inspection apparatus, wherein the presence or absence of a leak in the closure device is determined by evacuating the inside of the pipe of the closure device by the vacuum pump and detecting the presence or absence of helium by the detector.
【請求項2】 ヘリウムで充満した空間を形成するチャ
ンバーと、このチャンバーの下側に開口部が設けられ、
前記チャンバー内へ収容される配管接続された冷凍回路
等の閉鎖装置と、この閉鎖装置を前記開口部からチャン
バー内に導入し、前記チャンバー内の上方に前記閉鎖装
置を移動可能にする移動装置と、前記閉鎖装置に接続さ
れ、配管内部を高真空にする真空ポンプと、前記閉鎖装
置外に配設され前記閉鎖装置の配管内のヘリウムの存在
を検知する検知機とで構成され、前記閉鎖装置を前記真
空ポンプによって前記配管内の真空引きを行ないつつ前
記チャンバー内に導入し、前記検知機でヘリウムの有無
を検知することにより前記閉鎖装置のリークの有無を判
断することを特徴とするリーク検査装置。
2. A chamber that forms a space filled with helium, and an opening is provided below the chamber,
A closing device such as a piping-connected refrigeration circuit housed in the chamber, and a moving device for introducing the closing device into the chamber through the opening and enabling the closing device to move upward in the chamber. A vacuum pump connected to the closing device to make a high vacuum inside the pipe, and a detector arranged outside the closing device for detecting the presence of helium in the pipe of the closing device. Is introduced into the chamber while vacuuming the inside of the pipe by the vacuum pump, and the presence or absence of helium is detected by the detector to determine the presence or absence of a leak in the closing device. apparatus.
【請求項3】 前記移動装置は、前記チャンバーの開口
部より上下動する昇降機に前記閉鎖装置を搭載させてチ
ャンバー内へ移動可能にすることを特徴とする請求項
1、2記載のリーク検査装置。
3. The leak inspection apparatus according to claim 1, wherein the moving device is configured to mount the closing device on an elevator that moves up and down from an opening of the chamber so as to be movable into the chamber. .
【請求項4】 前記閉鎖装置は、前記チャンバー内上部
でリークの有無を判断されることを特徴とする請求項3
記載のリーク検査装置。
4. The closure device determines whether or not there is a leak in the upper part of the chamber.
The leak inspection device described.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011052863A (en) * 2009-08-31 2011-03-17 Sanyo Electric Co Ltd Cooling storage, method of inspecting refrigerant leakage of refrigerating device of cooling storage
JP2018087712A (en) * 2016-11-28 2018-06-07 アズビル株式会社 Quality determination method of tubular member and quality determination system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011052863A (en) * 2009-08-31 2011-03-17 Sanyo Electric Co Ltd Cooling storage, method of inspecting refrigerant leakage of refrigerating device of cooling storage
JP2018087712A (en) * 2016-11-28 2018-06-07 アズビル株式会社 Quality determination method of tubular member and quality determination system

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