JP4644100B2 - Helium leak test method and apparatus - Google Patents

Helium leak test method and apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP4644100B2
JP4644100B2 JP2005325855A JP2005325855A JP4644100B2 JP 4644100 B2 JP4644100 B2 JP 4644100B2 JP 2005325855 A JP2005325855 A JP 2005325855A JP 2005325855 A JP2005325855 A JP 2005325855A JP 4644100 B2 JP4644100 B2 JP 4644100B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pipe
shaft
helium
annular
shaped member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005325855A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007132784A (en
Inventor
尚男 北山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Nippon Sanso Corp
Original Assignee
Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Nippon Sanso Corp filed Critical Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority to JP2005325855A priority Critical patent/JP4644100B2/en
Publication of JP2007132784A publication Critical patent/JP2007132784A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4644100B2 publication Critical patent/JP4644100B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、ヘリウムリーク試験方法及びその装置に関し、詳しくは、配管の溶接部の気密性を試験するヘリウムリーク試験方法、ヘリウムリーク試験ユニットおよびそれを用いたヘリウムリーク試験装置に関するものである。   The present invention relates to a helium leak test method and an apparatus therefor, and more particularly to a helium leak test method and a helium leak test unit for testing the airtightness of a welded portion of a pipe, and a helium leak test apparatus using the same.

従来、配管の溶接部の気密性を試験するリーク試験方法として、円筒部材の両端に外周側に突出する環状フランジによって環状溝構成部を設け、該環状溝構成部に形成された環状溝にOリングまたはシールリングを装着して、前記円筒部材に前記環状溝内のOリングまたはシールリングの内周側に向けて加圧流体を供給するシール用加圧流体供給口を設け、さらに、前記円筒部材の中央部にその外周側に向けて内側から加圧空気を供給するテスト用加圧流体供給口を設けてなる加圧リーク試験ユニットを用意する。そして、リーク試験時に、前記加圧リーク試験ユニットをその一対のOリングまたはシールリングが配管の溶接部の両側に位置するように配管内に挿入した後、前記シール用加圧流体供給口から環状溝の内周側に加圧流体を供給して、前記Oリングまたはシールリングの外周側を配管の内周面に押圧させ、溶接部における配管の内周面と前記円筒部材の外周面とによって囲まれた環状空間を密封し、しかる後に、前記テスト用加圧流体供給口から加圧流体を前記環状空間内に供給して所定の検査圧力を加え、検査圧力の変化により、または配管の溶接部の周囲に塗った石鹸水の状態の変化によって気密性を試験するようにしたものが知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
特開2003−214972号公報 実開平2−27543号公報
Conventionally, as a leak test method for testing the airtightness of a welded portion of a pipe, an annular groove constituent portion is provided at both ends of a cylindrical member by annular flanges projecting to the outer peripheral side, and the annular groove formed in the annular groove constituent portion is O A ring or seal ring is attached, and a pressurized fluid supply port for sealing is provided in the cylindrical member to supply pressurized fluid toward the inner peripheral side of the O-ring or the seal ring in the annular groove, and the cylinder A pressurized leak test unit is prepared in which a pressurized fluid supply port for test for supplying pressurized air from the inside toward the outer peripheral side is provided at the center of the member. Then, during the leak test, the pressurized leak test unit is inserted into the pipe so that the pair of O-rings or seal rings are located on both sides of the welded part of the pipe, and then is annularly formed from the pressurized fluid supply port for sealing. A pressurized fluid is supplied to the inner peripheral side of the groove, the outer peripheral side of the O-ring or seal ring is pressed against the inner peripheral surface of the pipe, and the inner peripheral surface of the pipe in the welded portion and the outer peripheral surface of the cylindrical member The enclosed annular space is sealed, and then, a predetermined inspection pressure is applied by supplying a pressurized fluid from the test pressurized fluid supply port into the annular space, and a change in the inspection pressure or welding of a pipe is performed. What is known to test hermeticity by a change in the state of soapy water applied around the part (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
JP 2003-214972 A Japanese Utility Model Publication No. 2-27543

しかしながら、前記リーク試験方法において、加圧リーク試験ユニットと配管との環状空間に加えられるテスト用加圧流体の圧力変化により気密性を検査するものでは、配管の溶接部からの微小なリークの場合は、それによる微小な圧力変化を正確に捉えることができず、検査に時間がかかる問題がある。また、加圧リーク試験ユニットと配管との環状空間に加えられるテスト用加圧流体の溶接部からの漏れを、溶接部の回りに石鹸水を塗布して、その石鹸水の状態の変化により気密性を検査するものでは、石鹸水の状態を目視するので、微小なリークの場合は、やはり迅速、的確に検査することができない。
そこで、前記配管の溶接部の周囲にビニール等でマスキングを施し、加圧リーク試験ユニットのテスト用加圧流体供給口にヘリウムガスを供給して、加圧スニファー法により、前記溶接部から漏洩するヘリウムガスを真空ポンプで吸引してヘリウムディテクタで検出することにより、リーク試験を行うこともできる。しかし、この場合は、加圧リーク試験ユニットと配管との前記環状空間が広いので、ヘリウムガスの消費量が多くなると共に、必要な感度を得るために前記マスキングの内部を密閉し、内部に大気中のヘリウムが存在しないようにする処理に時間がかかり、作業性が良くないという難点がある。
However, in the leak test method, in the case of checking the airtightness by the pressure change of the test pressurized fluid added to the annular space between the pressurized leak test unit and the pipe, in the case of a minute leak from the welded part of the pipe Has a problem in that it cannot accurately capture a minute pressure change due to this, and takes a long time for the inspection. In addition, leakage from the welded portion of the pressurized test fluid applied to the annular space between the pressurized leak test unit and the pipe is applied by soapy water around the welded portion and airtight due to changes in the state of the soapy water. In the case of inspecting the property, since the state of the soapy water is visually observed, in the case of a minute leak, it is still impossible to inspect quickly and accurately.
Therefore, the periphery of the welded portion of the pipe is masked with vinyl or the like, helium gas is supplied to the pressurized fluid supply port for testing of the pressurized leak test unit, and leaks from the welded portion by the pressurized sniffer method. A leak test can also be performed by sucking helium gas with a vacuum pump and detecting it with a helium detector. However, in this case, since the annular space between the pressurized leak test unit and the pipe is wide, the consumption of helium gas is increased, and the inside of the masking is sealed to obtain the required sensitivity, and the atmosphere inside There is a problem that it takes time to prevent the presence of helium in the inside and the workability is not good.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、パイプの溶接部における微小なリークをも迅速、確実に検出することができると共に、試験ガスであるヘリウムの消費を可及的に少なくすることができ、かつリーク試験を容易に、能率よく行うことができるヘリウムリーク試験方法、ヘリウムリーク試験ユニットおよびヘリウムリーク試験装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and can detect even a minute leak in a welded portion of a pipe quickly and reliably, and consume as little helium as a test gas as much as possible. An object of the present invention is to provide a helium leak test method, a helium leak test unit, and a helium leak test apparatus that can perform a leak test easily and efficiently.

本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項1に係るヘリウムリーク試験方法は、真空容器と加圧ユニットを備え、前記真空容器は、パイプ挿通穴を設けたフランジが両端部に固着された筒状部材と、前記各フランジの内周部に設けられた環状溝に配置された弾性部材からなる第1の環状パッキンと、を有し、前記加圧ユニットは、軸状部材と、該軸状部材の両端部の外周に設けられた環状溝に配置された弾性部材からなる第2の環状パッキンと、を有しているヘリウムリーク試験ユニットを用いたヘリウムリーク試験方法であって、前記真空容器の各パイプ挿通穴に被試験体である溶接部を有するパイプを該溶接部が各フランジの相互間に位置するまで挿入する工程と、前記各フランジと前記軸状部材に設けた加圧ガス導入孔から、前記各環状溝の内部に加圧ガスを導入することにより前記第1の環状パッキンと前記第2の環状パッキンを押圧して前記パイプの外周と前記フランジの内周との間および前記パイプの内周と前記軸状部材の外周との間を密封する工程と、前記軸状部材に設けた試験ガス導入孔から、第2の環状パッキンによって密封された前記パイプの内周面と軸状部材の外周面との間の環状間隙内にヘリウムガスを導入すると共に、前記第1の環状パッキンによって密封された前記筒状部材の内側と前記パイプの外周との間の環状空間を真空排気する工程と、を有することを特徴としている。
The present invention is characterized by the following points in order to solve the above problems.
In other words, the helium leak test method according to claim 1 includes a vacuum vessel and a pressurizing unit, and the vacuum vessel includes a cylindrical member in which flanges provided with pipe insertion holes are fixed to both ends, and each of the flanges. A first annular packing made of an elastic member disposed in an annular groove provided in the inner peripheral portion, and the pressure unit is provided on the outer periphery of the shaft-shaped member and both ends of the shaft-shaped member. is a second annular packing made of arranged elastic member in the annular groove has, a helium leak test method using a helium leak test unit having a, in each pipe insertion hole of the vacuum vessel, the a pipe having a welded portion which is a test specimen, a step of the weld portion is inserted until positioned therebetween of each flange, from said pressurized gas introducing hole provided in the shaft-like member and each of the flanges, the each annular Pressurized gas inside the groove And pressing the second annular gasket between said first annular packing by introducing an inner periphery and between the pipe and the inner periphery of the outer peripheral of the pipe flange and the outer periphery of the shaft-like member a step of sealing between said from the test gas introduction hole provided in the shaft-like member, the annular gap between the outer peripheral surface of the inner peripheral surface and the shaft member of the pipe which is sealed by a second annular packing And a step of evacuating the annular space between the inside of the cylindrical member sealed by the first annular packing and the outer periphery of the pipe.

請求項2に係るヘリウムリーク試験方法は、請求項1に記載のヘリウムリーク試験方法において、前記軸状部材に設けた前記加圧ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた加圧ガス導入孔部と、前記加圧ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、前記軸状部材に設けた前記試験ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた試験ガス導入孔部と、前記試験ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、前記第1の環状パッキンおよび前記第2の環状パッキンが、断面U字状に形成されていることを特徴としている。 The helium leak test method according to claim 2 is the helium leak test method according to claim 1, wherein the pressurized gas introduction hole provided in the shaft-shaped member is provided along an axial direction of the shaft-shaped member. The test gas provided in the shaft-shaped member, and a communication hole provided in the radial direction of the shaft-shaped member communicating with the pressurized gas introduction hole. The introduction hole includes a test gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member, and a communication hole provided in the radial direction of the shaft-shaped member communicating with the test gas introduction hole. The first annular packing and the second annular packing are formed in a U-shaped cross section.

請求項3に係るヘリウムリーク試験ユニットは、真空容器と加圧ユニットを備えたヘリウムリーク試験ユニットであって、前記真空容器は、パイプ挿通穴を設けたフランジが両端に気密に固着され、各フランジのパイプ挿通穴に挿通された溶接部を有するパイプとの間に環状空間を形成する筒状部材と前記各フランジの内周部に設けた環状溝内に配置された弾性部材からなる第1の環状パッキンと前記各フランジに設けられ前記各環状溝の内部に第1の環状パッキンを前記パイプの外周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔と前記筒状部材に設けられ、前記環状空間のガスを排気する真空排気口と、を備え、前記加圧ユニットは、両端部の外周に環状溝が設けられ前記パイプの内部に挿通される軸状部材と該軸状部材の環状溝内に配置された弾性部材からなる第2の環状パッキンと前記軸状部材に設けられ、該軸状部材の環状溝の内部に第2の環状パッキンを前記パイプの内周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔と前記軸状部材に設けられ各第2の環状パッキンの相互間において軸状部材の外周面と前記パイプの内周面との環状間隙にヘリウムガスを導入する試験ガス導入孔と、を備え、前記軸状部材に設けた前記加圧ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた加圧ガス導入孔部と、前記加圧ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、前記軸状部材に設けた前記試験ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた試験ガス導入孔部と、前記試験ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、前記第1の環状パッキンおよび前記第2の環状パッキンが、断面U字状に形成されていることを特徴としている。 The helium leak test unit according to claim 3 is a helium leak test unit comprising a vacuum vessel and a pressurizing unit, wherein the vacuum vessel is provided with flanges provided with pipe insertion holes fixed at both ends in an airtight manner. a tubular member forming an annular space between the pipe having a weld which has been inserted into the pipe insertion hole, the first consisting of an elastic member disposed within an annular groove provided the the inner periphery of each flange an annular packing, the provided in each flange, said the inside first annular packing pressurized gas introduction hole for introducing a pressurized gas that presses the outer peripheral surface of the pipe in each annular groove, the tubular member A vacuum exhaust port for exhausting the gas in the annular space, and the pressurizing unit is provided with an annular groove on the outer periphery of both ends , and an axial member inserted into the pipe ; The shaft member A second annular packing made of an elastic member disposed in the annular groove, provided in the shaft-like member, presses the second annular gasket on the inner circumferential surface of the pipe within the annular groove of the shaft-like member a pressurized gas inlet for introducing a pressurized gas, provided in the shaft-like member, the annular gap between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the pipe shaft-like member between each other the second annular packing A test gas introduction hole for introducing helium gas, and the pressurized gas introduction hole provided in the shaft-shaped member includes a pressurized gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member; A communication hole provided in the radial direction of the shaft-shaped member that communicates with the pressurized gas introduction hole portion, and the test gas introduction hole provided in the shaft-shaped member is formed of the shaft-shaped member. A test gas introduction hole provided along the axial direction, and the test gas introduction hole Characterized in that the communicating holes provided in the radial direction of the shaft-like member which communicates, are composed of, the first annular packing and the second annular packing is formed to have a U-shaped cross section It is said.

請求項4に係るヘリウムリーク試験ユニットは、請求項3に記載のヘリウムリーク試験ユニットにおいて、前記真空容器の軸方向の端部には、転動部の先端を前記パイプの外周面に当接してパイプの軸心に前記フランジのパイプ挿通穴の軸心を合わせた状態で前記真空容器をパイプの軸方向に案内する複数のキャスタが、パイプ挿通穴の周方向に間隔をあけて設けられていることを特徴としている。 The helium leak test unit according to claim 4 is the helium leak test unit according to claim 3 , wherein the tip of the rolling part is in contact with the outer peripheral surface of the pipe at the axial end of the vacuum vessel. A plurality of casters for guiding the vacuum vessel in the axial direction of the pipe in a state where the axis of the pipe insertion hole of the flange is aligned with the axial center of the pipe are provided at intervals in the circumferential direction of the pipe insertion hole. It is characterized by that.

請求項5に係るヘリウムリーク試験ユニットは、請求項3に記載のヘリウムリーク試験ユニットにおいて、前記軸状部材の軸方向の端部には、転動部の先端を前記パイプの内周面に当接してパイプの軸心に前記軸状部材の軸心を合わせた状態で軸状部材をパイプの軸方向に案内する複数のキャスタが、軸状部材の周方向に間隔をあけて設けられていることを特徴としている。   The helium leak test unit according to claim 5 is the helium leak test unit according to claim 3, wherein the end of the axial member of the shaft-like member is contacted with the tip of the rolling portion against the inner peripheral surface of the pipe. A plurality of casters for guiding the shaft member in the axial direction of the pipe in contact with the shaft center of the shaft in alignment with the shaft center of the pipe are provided at intervals in the circumferential direction of the shaft member. It is characterized by that.

請求項6に係るヘリウムリーク試験装置は、請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載のヘリウムリーク試験ユニットにおける真空容器と加圧ユニットの各加圧ガス導入孔に、加圧ガスを供給する加圧ガス供給ユニットが配管を介して接続されると共に、前記加圧ユニットの試験ガス導入孔にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給ユニットが配管を介して接続され、前記軸状部材に連結された支持管の内部に、加圧ガスを供給する前記配管とヘリウムガスを供給する前記配管が配置され、前記真空容器の真空排気口に粗引排気ポンプとヘリウムリークディテクタが配管を介して接続されていることを特徴としている。 A helium leak test apparatus according to claim 6 is configured to supply pressurized gas to each pressurized gas introduction hole of the vacuum vessel and the pressurizing unit in the helium leak test unit according to any one of claims 3 to 5. A pressurized gas supply unit to be supplied is connected via a pipe, and a helium gas supply unit for supplying helium gas to a test gas introduction hole of the pressurizing unit is connected via a pipe and connected to the shaft-like member. The piping for supplying pressurized gas and the piping for supplying helium gas are arranged inside the support tube, and a roughing exhaust pump and a helium leak detector are connected to the vacuum exhaust port of the vacuum vessel via the piping. It is characterized by being.

請求項7に係るヘリウムリーク試験装置は、請求項6に記載のヘリウムリーク試験装置において、前記真空排気口とヘリウムリークディテクタとを接続する配管にソープションポンプが設けられていることを特徴としている。   The helium leak test apparatus according to claim 7 is the helium leak test apparatus according to claim 6, wherein a sorption pump is provided in a pipe connecting the vacuum exhaust port and the helium leak detector. .

請求項8に係るヘリウムリーク試験装置は、請求項6または7に記載のヘリウムリーク試験装置において、前記真空容器の前記環状空間に配管を介して標準リークユニットが連絡されていることを特徴としている。   A helium leak test apparatus according to claim 8 is the helium leak test apparatus according to claim 6 or 7, wherein a standard leak unit is connected to the annular space of the vacuum vessel via a pipe. .

請求項9に係るヘリウムリーク試験装置は、請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載のヘリウムリーク試験装置において、前記加圧ユニットの軸方向に所定距離をあけて配置され連結部材によって連結された一方の架台と他方の架台とを備えヘリウムリーク試験ユニット、ヘリウムリークディテクタ、粗引排気ポンプ一方の架台に搭載され、加圧ガス供給ユニットとヘリウムガス供給ユニットが他方の架台に搭載され、前記支持管が他方の架台に固定されていることを特徴としている。 The helium leak test apparatus according to claim 9 is the helium leak test apparatus according to any one of claims 6 to 8 , wherein the helium leak test apparatus is arranged at a predetermined distance in an axial direction of the pressurizing unit, and is a connecting member. and a one frame and the other frame connected by a helium leak test unit, helium leak detectors, crude引排air pump is mounted on one of the stand, the pressurized gas supply unit and a helium gas supply unit and the other frame And the support tube is fixed to the other frame .

請求項10に係るヘリウムリーク試験装置は、請求項9に記載のヘリウムリーク試験装置おいて、前記一方の架台と他方の架台は案内部材に支持されて前記パイプに対してその軸方向に移動自在に設けられていることを特徴としている。   The helium leak test apparatus according to claim 10 is the helium leak test apparatus according to claim 9, wherein the one base and the other base are supported by a guide member and are movable in the axial direction with respect to the pipe. It is characterized by being provided.

本発明によれば、以下の優れた効果を奏する。
すなわち、請求項1に係るヘリウム試験方法によれば、加圧ユニットと真空容器とにより被試験体であるパイプの溶接部の内外周部に気密の環状間隙と環状空間とを、容易、確実に形成することができ、前記パイプの内側の環状間隙に供給されたヘリウムガスが前記溶接部からパイプの外側の環状空間に漏洩した場合には、該環状空間を真空排気することによってその漏洩をヘリウムディテクタで確実に検出することができ、加圧スニファー法によるパイプの溶接部のリーク試験を容易にかつ確実に行うことができる。
The present invention has the following excellent effects.
That is, according to the helium test method according to claim 1, an airtight annular gap and an annular space are easily and reliably formed on the inner and outer peripheral portions of the welded portion of the pipe as a test object by the pressurizing unit and the vacuum vessel. When the helium gas supplied to the annular gap inside the pipe leaks from the weld into the annular space outside the pipe, the leakage of the helium gas is evacuated by evacuating the annular space. The detector can reliably detect the leak, and the leak test of the welded portion of the pipe by the pressure sniffer method can be easily and reliably performed.

請求項3に係るヘリウムリーク試験ユニットによれば、被試験体である溶接部を有するパイプを真空容器で包囲して、前記溶接部の周りに気密空間を容易に形成することができるので、加圧スニファー法によりヘリウムリーク試験を実施するにあたり、従来のように、パイプの溶接部の周囲にビニール等でマスキングを施す面倒な作業を行う必要がなく、作業性が極めて良い。また、筒状部材の端部のフランジの内側に加圧ガスの供給でパイプの外周面に押圧される環状パッキンを装着した真空容器により、パイプの溶接部を囲む気密空間を形成することできると共に、両端外周に加圧ガスの供給で前記パイプの内周面に押圧される環状パッキンを装着した加圧ユニットにより、前記パイプの内周部にヘリウムガスを導入する環状の気密空間を形成することができる。したがって、前記パイプの内側の気密空間に供給されたヘリウムガスが該気密空間からパイプの溶接部を経て外側へ漏洩すれば、漏洩したヘリウムガスは微小であっても前記真空容器の気密空間の内部で確実に捉えることができ、この気密空間のガスを真空排気してヘリウムリークディテクタで検査することにより、請求項1あるいは請求項2に記載のヘリウムリーク試験方法を的確に実施することができる。









According to the helium leak test unit of the third aspect, the pipe having the welded part to be tested can be surrounded by the vacuum vessel, and an airtight space can be easily formed around the welded part. When performing the helium leak test by the pressure sniffer method, it is not necessary to perform the troublesome work of masking the periphery of the welded portion of the pipe with vinyl or the like, and the workability is extremely good. In addition, an airtight space surrounding the welded portion of the pipe can be formed by a vacuum vessel equipped with an annular packing that is pressed against the outer peripheral surface of the pipe by supplying pressurized gas inside the flange at the end of the cylindrical member. An annular airtight space for introducing helium gas is formed in the inner peripheral portion of the pipe by a pressurizing unit having annular packings that are pressed against the inner peripheral surface of the pipe by supplying pressurized gas to the outer periphery of both ends. Can do. Therefore, if the helium gas supplied to the airtight space inside the pipe leaks outside through the welded portion of the pipe from the airtight space, even if the leaked helium gas is minute, the inside of the airtight space of the vacuum vessel The helium leak test method according to claim 1 or 2 can be accurately performed by evacuating the gas in the airtight space and inspecting with a helium leak detector.









請求項4に係るヘリウムリーク試験ユニットによれば、キャスタによって真空容器のフランジのパイプ挿通穴の軸心をパイプの軸心に合わせた状態とされるので、前記パイプ挿通穴の内周面とパイプの外周面との間に直径方向に均等な環状間隙があけられ、第1の環状パッキンによる前記環状間隙のシールを確実に行うことができ、前記パイプの外側において真空容器の内部に環状の気密空間を容易に形成することができる。また、真空容器とパイプが軸方向に相対移動するとき、シールを解いて復元状態にある第1の環状パッキンがパイプの外周面に異常に接触して損傷するのを防止することができる。   According to the helium leak test unit of the fourth aspect, since the caster is brought into a state where the axis of the pipe insertion hole of the flange of the vacuum vessel is aligned with the axis of the pipe, the inner peripheral surface of the pipe insertion hole and the pipe An annular gap that is uniform in the diametrical direction is formed between the outer circumferential surface of the pipe and the annular gap can be surely sealed by the first annular packing. A space can be easily formed. Further, when the vacuum vessel and the pipe move relative to each other in the axial direction, it is possible to prevent the first annular packing in a restored state by releasing the seal from abnormally contacting and damaging the outer peripheral surface of the pipe.

請求項5に係るヘリウムリーク試験ユニットによれば、キャスタによって加圧ユニットの軸状部材の軸心をパイプの軸心に合わせた状態とされるので、前記軸状部材の外周面とパイプの内周面との間に直径方向に均等な環状間隙があけられ、第2の環状パッキンによる前記環状間隙のシールを確実に行うことができ、前記第2の環状パッキンの相互間におけるパイプの内部に加圧ガスを導入する環状の気密空間を容易に形成することができる。また、加圧ユニットとパイプが軸方向に相対的に移動するとき、シールを解いて復元状態にある第2の環状パッキンがパイプの内周面に異常に接触して損傷するのを防止することができる。   According to the helium leak test unit according to the fifth aspect, the shaft center of the shaft-shaped member of the pressurizing unit is aligned with the shaft center of the pipe by the caster. An annular gap that is uniform in the diametrical direction is opened between the circumferential surface and the annular gap can be reliably sealed by the second annular packing, and the pipe is interposed between the second annular packings. An annular airtight space for introducing the pressurized gas can be easily formed. Also, when the pressurizing unit and the pipe move relative to each other in the axial direction, the second annular packing in a restored state by releasing the seal is prevented from abnormally contacting the inner peripheral surface of the pipe and being damaged. Can do.

請求項6に係るヘリウムリーク試験装置によれば、溶接部を有するパイプを真空容器と加圧ユニットの間に挿通した後に、加圧ガス供給ユニットから真空容器と加圧ユニットの加圧ガス導入孔に加圧ガスを供給することにより、真空容器の内部におけるパイプの外側に形成された環状の気密空間と、パイプの内部における加圧ユニットの外側に形成された気密の環状空間とを形成した後に、加圧ユニットの試験ガス導入孔にヘリウムガス供給ユニットからヘリウムガスを供給すると共に、粗引排気ポンプによって真空排気口から真空容器の前記気密空間を真空排気することにより、パイプの溶接部から漏れる微小なヘリウムガスの有無をも迅速、確実にヘリウムリークディテクタで検出して、リーク試験を容易に、能率よく行うことがことができる。   According to the helium leak test apparatus according to claim 6, after inserting the pipe having the welded portion between the vacuum vessel and the pressurizing unit, the pressurized gas introduction hole of the vacuum vessel and the pressurizing unit from the pressurized gas supply unit. After forming the annular airtight space formed outside the pipe inside the vacuum vessel and the airtight annular space formed outside the pressurizing unit inside the pipe by supplying pressurized gas to The helium gas is supplied from the helium gas supply unit to the test gas introduction hole of the pressurizing unit, and leaks from the welded portion of the pipe by evacuating the airtight space of the vacuum vessel from the vacuum exhaust port by the roughing exhaust pump. The presence or absence of minute helium gas can be detected quickly and reliably with a helium leak detector so that leak tests can be performed easily and efficiently. Kill.

請求項7に係るヘリウムリーク試験装置によれば、真空容器の内部から吸引するガスに不純ガスが含まれる場合でも、ソープションポンプにより吸引排気速度を高めて前記不純ガスを容易に除去することができ、ヘリウムリークディテクタによるリーク試験を一層精度良く確実に行うことができる。
請求項8に係るヘリウムリーク試験装置によれば、リーク試験を実施する設備としての真空容器の真空吸引系の感度を確認し、ヘリウムリーク試験部の感度校正を行って、ヘリウムリーク試験部によるリーク試験を的確に行うことができる。
According to the helium leak test apparatus of the seventh aspect, even if the gas sucked from the inside of the vacuum vessel contains an impure gas, the impure gas can be easily removed by increasing the suction exhaust speed by the sorption pump. In addition, a leak test using a helium leak detector can be performed with higher accuracy and reliability.
According to the helium leak test apparatus according to claim 8, the sensitivity of the vacuum suction system of the vacuum vessel as equipment for performing the leak test is confirmed, the sensitivity calibration of the helium leak test unit is performed, and the leak by the helium leak test unit The test can be performed accurately.

請求項9に係るヘリウムリーク試験装置によれば、ヘリウムリーク試験装置を構成する機器を架台にコンパクトに纏めて搭載することができ、また、特に、ヘリウムリーク検出側の機器がヘリウムリーク試験ユニットが搭載された一方の架台に搭載され、加圧ガスとヘリウムガスを供給する側の機器が他方の架台に搭載されているので、試験終了後にヘリウムリーク試験ユニット内の加圧ガスとヘリウムガスとを、ヘリウムリーク検出側から離れた位置で開放することができ、それらのガスのヘリウムリーク試験に対する悪影響を減らすことができる。
請求項10に係るヘリウムリーク試験装置によれば、各架台を案内部材に沿って移動させることによって、ヘリウムリーク試験ユニットをパイプの溶接部に的確に移動させることができ、複数の溶接部があるパイプでも能率よくリーク試験を行うことができる。
According to the helium leak test apparatus according to claim 9, the devices constituting the helium leak test apparatus can be compactly mounted on the gantry, and in particular, the helium leak detection side device is a helium leak test unit. Since the equipment on one side that supplies pressurized gas and helium gas is installed on the other base, the pressurized gas and helium gas in the helium leak test unit are It can be opened at a position away from the helium leak detection side, and the adverse effects of these gases on the helium leak test can be reduced.
According to the helium leak test apparatus according to claim 10, by moving each gantry along the guide member, the helium leak test unit can be accurately moved to the weld portion of the pipe, and there are a plurality of weld portions. Leak tests can be performed efficiently even with pipes.

以下、本発明の一実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニットについて図1〜図5を参照して説明する。
図1において、1は本発明の一実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニットを示す。このヘリウムリーク試験ユニット1は、中心部にパイプ挿通穴2を設けたフランジ3、3を両端の内側に気密に固着した筒状部材4と、前記各フランジ3,3のパイプ挿通穴2の内周部に設けた環状溝6内に配置された環状パッキン(第1の環状パッキン)7とを設けた真空容器8を備えている。
Hereinafter, a helium leak test unit according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a helium leak test unit according to an embodiment of the present invention. The helium leak test unit 1 includes a cylindrical member 4 in which flanges 3 and 3 having a pipe insertion hole 2 at the center are fixed in an airtight manner at both ends, and the pipe insertion holes 2 of the flanges 3 and 3. A vacuum vessel 8 provided with an annular packing (first annular packing) 7 disposed in an annular groove 6 provided in the peripheral portion is provided.

各フランジ3,3の外端面には突出部10が設けられ、該突出部10の内側にはパイプ挿通穴2の周方向に所定間隔をあけて複数(図示の例では3個)のキャスタ11が設けられている。該各キャスタ11は、前記突出部10の内側にパイプ挿通穴2の直径方向に向けた軸11aを介して突出部10に支持されて、該軸11aの回りに回転するボール保持具11bと、該ボール保持具11bの先端部に回転自在に保持されているボール(転動部)11cとを有し、該ボール11cのボール保持具11bから突き出した先端が前記パイプ挿通穴2に挿通された被試験体としてのパイプPの外周面に当接されて、該パイプPの外周面と前記パイプ挿通穴2の内周面との間に微小な環状間隙e1があけられるようになっている。   Projections 10 are provided on the outer end surfaces of the flanges 3, 3, and a plurality of casters 11 (three in the illustrated example) 11 are provided inside the protrusions 10 at predetermined intervals in the circumferential direction of the pipe insertion hole 2. Is provided. Each caster 11 is supported by the protruding portion 10 via a shaft 11a oriented in the diameter direction of the pipe insertion hole 2 inside the protruding portion 10, and rotates around the shaft 11a. The ball holder 11b has a ball (rolling portion) 11c that is rotatably held at the tip, and the tip of the ball 11c protruding from the ball holder 11b is inserted into the pipe insertion hole 2. A minute annular gap e1 is formed between the outer peripheral surface of the pipe P and the inner peripheral surface of the pipe insertion hole 2 in contact with the outer peripheral surface of the pipe P as a test object.

前記環状パッキン7は、ゴム等の弾性部材からなり、横断面がU字状に形成された中空あるいは中実の環状体として構成され、U字の底辺に対応する内周部を、前記パイプPの外周面側に向け、U字の側辺に対応する両側壁部を前記フランジ3の環状溝6の側壁6aに接触させて、前記環状溝6内に装着されている。そして、前記各フランジ3,3には前記環状溝6の外周部に開口する加圧ガス導入孔12が設けられ、前記環状溝6の内部に加圧ガス導入孔12から加圧ガスが導入された際に、加圧ガスの圧力で環状パッキン7が前記パイプPの外周に押圧され、前記筒状部材4とフランジ3,3とパイプPとで囲まれた前記真空容器8の環状空間Eを気密にシールするようになっている。また、前記筒状部材4には、前記環状空間Eに連通して該環状空間E内のガスを排気する真空排気口13が設けられている。   The annular packing 7 is made of an elastic member such as rubber and is configured as a hollow or solid annular body having a U-shaped cross section, and an inner peripheral portion corresponding to the bottom of the U shape is connected to the pipe P The both side wall portions corresponding to the U-shaped side are brought into contact with the side wall 6a of the annular groove 6 of the flange 3 and are mounted in the annular groove 6 toward the outer peripheral surface side. Each of the flanges 3 and 3 is provided with a pressurized gas introduction hole 12 that opens to the outer periphery of the annular groove 6, and pressurized gas is introduced into the annular groove 6 from the pressurized gas introduction hole 12. The annular packing 7 is pressed against the outer periphery of the pipe P by the pressure of the pressurized gas, and the annular space E of the vacuum vessel 8 surrounded by the cylindrical member 4, the flanges 3, 3 and the pipe P is formed. It is designed to be hermetically sealed. The tubular member 4 is provided with a vacuum exhaust port 13 that communicates with the annular space E and exhausts the gas in the annular space E.

また、前記ヘリウムリーク試験ユニット1は、両端部の外周に環状溝15,15が設けられ前記パイプPの内部に挿通される軸状部材14と、該軸状部材14の環状溝15,15内に配置された環状パッキン(第2の環状パッキン)16,16と、前記軸状部材14に設けられ前記環状溝15,15の内部に加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔17と、前記軸状部材14に設けられ各環状パッキン16,16の相互間において軸状部材14の外周面と前記パイプPの内周面との環状間隙e2にヘリウムガスを導入する試験ガス導入孔18とを設けた加圧ユニット19を備えている。   Further, the helium leak test unit 1 includes annular shafts 15, 15 provided on the outer circumferences of both ends, a shaft-like member 14 inserted through the pipe P, and the annular grooves 15, 15 of the shaft-like member 14. Annular packings (second annular packings) 16, 16 disposed in the cylindrical member 14, pressurized gas introduction holes 17 provided in the shaft-like member 14 for introducing pressurized gas into the annular grooves 15, 15, A test gas introduction hole 18 for introducing helium gas into an annular gap e2 between the outer peripheral surface of the shaft-shaped member 14 and the inner peripheral surface of the pipe P between the annular packings 16, 16 provided in the shaft-shaped member 14. A pressurizing unit 19 is provided.

前記軸状部材14の外端面には小径とした突出軸部14a,14aが設けられ、該突出軸部14a,14aの外側には、その周方向に所定間隔をあけて複数(図示の例では3個)のキャスタ20が設けられている。該各キャスタ20は、図2に示すように、前記突出軸部14aの外周部に、その直径方向に向けた軸20aを介して突出軸部14aに支持されて、該軸20aの回りに回転するボール保持具20bと、該ボール保持具20bの先端部に回転自在に保持されているボール(転動部)20cとを有し、該ボール20cのボール保持具20bから突き出した先端が前記パイプPの内周面に当接されて、該パイプPの内周面と前記軸状部材14の外周面との間に微小な環状間隙e2があけられるようになっている。   Projection shaft portions 14a, 14a having a small diameter are provided on the outer end surface of the shaft-shaped member 14, and a plurality of (in the example shown in the figure) are provided outside the projection shaft portions 14a, 14a at predetermined intervals in the circumferential direction. 3) casters 20 are provided. As shown in FIG. 2, each caster 20 is supported on the projecting shaft portion 14a on the outer peripheral portion of the projecting shaft portion 14a via a shaft 20a directed in the diameter direction, and rotates around the shaft 20a. And a ball (rolling part) 20c rotatably held at the tip of the ball holder 20b, and the tip of the ball 20c protruding from the ball holder 20b is the pipe. A minute annular gap e <b> 2 is formed between the inner peripheral surface of the pipe P and the outer peripheral surface of the shaft-shaped member 14 by being in contact with the inner peripheral surface of P.

前記環状パッキン16は、前記環状パッキン7と同様に、ゴム等の弾性部材からなり、横断面がU字状に形成された中空あるいは中実の環状体として構成され、U字の底辺に対応する外周部を、前記パイプ挿通穴2に挿通されたパイプPの内周面側に向け、U字の側辺に対応する両側壁部を前記軸状部材14の環状溝15,15の両側の端面15a,15aに接触させて、前記環状溝15内に装着されている。前記加圧ガス導入孔17は、前記軸状部材14の軸方向に沿って設けられた加圧ガス導入孔部17aと、その一端側(図1で左端側)を一端側の前記環状溝15に開口させる半径方向の1つまたは複数(図示の例)の連通孔17bと、前記加圧ガス導入孔部17aの他端側(図1で右端側)を、図3に示すように、他端側の前記環状溝15に開口させる半径方向の1つまたは複数(図示の例)の連通孔17bとからなっている。   The annular packing 16 is formed of an elastic member such as rubber like the annular packing 7 and is configured as a hollow or solid annular body having a U-shaped cross section, and corresponds to the bottom of the U-shape. The outer peripheral portion is directed to the inner peripheral surface side of the pipe P inserted through the pipe insertion hole 2, and both side walls corresponding to the U-shaped side are end surfaces on both sides of the annular grooves 15, 15 of the shaft member 14. It is mounted in the annular groove 15 so as to be in contact with 15a, 15a. The pressurized gas introduction hole 17 has a pressurized gas introduction hole portion 17a provided along the axial direction of the shaft-like member 14, and one end side (left end side in FIG. 1) of the annular groove 15 at one end side. As shown in FIG. 3, one or more (in the illustrated example) communication holes 17b in the radial direction and the other end side (right end side in FIG. 1) of the pressurized gas introduction hole portion 17a are opened as shown in FIG. It is composed of one or a plurality of (in the illustrated example) communication holes 17b in the radial direction that are opened in the annular groove 15 on the end side.

そして、前記環状溝15,15の内部に加圧ガス導入孔17から加圧ガスが導入された際に、加圧ガスの圧力で環状パッキン16,16が前記パイプPの内周面に押圧され、前記軸状部材14の外周面とパイプPの内周面との間の前記環状間隙e2の両端部が気密にシールされるようになっている。
また、前記試験ガス導入孔18は、軸状部材14にその他端側から軸方向に沿って設けられた試験ガス導入孔部18aと、前記一対の環状パッキン16,16の間において軸状部材14の半径方向に設け、前記試験ガス導入孔部18aの一端側に連絡された1つ(図示の例)または複数の連通孔18bとからなっている。
When the pressurized gas is introduced into the annular grooves 15 and 15 from the pressurized gas introduction hole 17, the annular packings 16 and 16 are pressed against the inner peripheral surface of the pipe P by the pressure of the pressurized gas. The both ends of the annular gap e2 between the outer peripheral surface of the shaft-shaped member 14 and the inner peripheral surface of the pipe P are hermetically sealed.
Further, the test gas introduction hole 18 is formed between the test gas introduction hole portion 18 a provided in the shaft member 14 along the axial direction from the other end side and the pair of annular packings 16, 16. The test gas introduction hole portion 18a is connected to one end side of the test gas introduction hole portion 18a (illustrated example) or a plurality of communication holes 18b.

次に、本発明の第1の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置22の構成について図1、図5を参照して説明する。このヘリウムリーク試験装置22は、前記ヘリウムリーク試験ユニット1の加圧ガス導入孔12,17に配管23を介して接続された加圧ガス供給ユニット24と、ヘリウムリーク試験ユニット1の試験ガス導入孔18に配管25を介して接続されたヘリウムガス供給ユニット26と、ヘリウムリーク試験ユニット1における真空容器8の真空排気口13に配管27を介して接続された粗引排気ポンプユニット28およびヘリウムリーク試験部29と、ヘリウムリーク試験ユニット1の真空容器8の環状空間Eに配管30を介して接続された標準リークユニット31とを前記ヘリウムリーク試験ユニット1に付設したものである。   Next, the configuration of the helium leak test apparatus 22 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The helium leak test apparatus 22 includes a pressurization gas supply unit 24 connected to the pressurization gas introduction holes 12 and 17 of the helium leak test unit 1 via a pipe 23, and a test gas introduction hole of the helium leak test unit 1. 18, a helium gas supply unit 26 connected via a pipe 25, a rough exhaust pump unit 28 connected via a pipe 27 to the vacuum exhaust port 13 of the vacuum vessel 8 in the helium leak test unit 1, and a helium leak test. The helium leak test unit 1 is provided with a portion 29 and a standard leak unit 31 connected to the annular space E of the vacuum vessel 8 of the helium leak test unit 1 via a pipe 30.

前記加圧ガス供給ユニット24は、窒素ガス等の高圧ガスを貯留するガスボンベ32と、該ガスボンベ32の出口に接続され、ガスボンベ32側から順に減圧弁(圧力調整弁)33a,開閉弁33b、圧力計33c、開閉弁33dを設けた加圧ガス送出管33とを備え、前記配管23の基端が、加圧ガス送出管33における圧力計33cと開閉弁33dとの間に接続され、配管23の先端が、一方の分岐管(配管)23aを介して前記ヘリウムリーク試験ユニット1の真空容器8に設けた加圧ガス導入孔12に接続され、他方の分岐管(配管)23bを介して、前記ヘリウムリーク試験ユニット1の加圧ユニット19に設けた前記加圧ガス導入孔17の他端部(加圧ガス導入孔部17aの外端部)に接続されている。   The pressurized gas supply unit 24 is connected to a gas cylinder 32 for storing a high-pressure gas such as nitrogen gas, and an outlet of the gas cylinder 32. From the gas cylinder 32 side, a pressure reducing valve (pressure adjusting valve) 33a, an on-off valve 33b, And a pressurized gas delivery pipe 33 provided with an on-off valve 33d. The proximal end of the pipe 23 is connected between the pressure gauge 33c and the on-off valve 33d in the pressurized gas delivery pipe 33, and the pipe 23 Is connected to the pressurized gas introduction hole 12 provided in the vacuum vessel 8 of the helium leak test unit 1 through one branch pipe (pipe) 23a, and through the other branch pipe (pipe) 23b. The helium leak test unit 1 is connected to the other end of the pressurization gas introduction hole 17 provided in the pressurization unit 19 (the outer end of the pressurization gas introduction hole 17a).

なお、前記真空容器8の加圧ガス導入孔12と加圧ユニット19の加圧ガス導入孔17への加圧ガスの供給は、前記のように、同一の加圧ガス供給ユニット24からではなく、個別に設けた加圧ガス供給ユニットによって、圧力を個別に調整して行ってもよい。
前記ヘリウムガス供給ユニット26は、ヘリウムガスを貯留するヘリウムボンベ34と、該ヘリウムボンベ34の出口に接続され、ヘリウムボンベ34側から順に減圧弁(圧力調整弁)35a,開閉弁35b、圧力計35c、開閉弁35dを設けたヘリウム送出管35とを備え、前記配管25の基端が、ヘリウム送出管35における圧力計35cと開閉弁35dとの間に接続され、配管25の先端が前記ヘリウムリーク試験ユニット1の試験ガス導入孔18の他端部(試験ガス導入孔部18aの外端部)に接続されている。
The pressurized gas is not supplied from the same pressurized gas supply unit 24 to the pressurized gas introducing hole 12 of the vacuum vessel 8 and the pressurized gas introducing hole 17 of the pressurized unit 19 as described above. The pressure may be adjusted individually by a separately provided pressurized gas supply unit.
The helium gas supply unit 26 is connected to a helium bomb 34 for storing helium gas, and an outlet of the helium bomb 34. And a helium delivery pipe 35 provided with an opening / closing valve 35d, the proximal end of the pipe 25 being connected between the pressure gauge 35c and the opening / closing valve 35d in the helium delivery pipe 35, and the distal end of the pipe 25 being the helium leak The other end of the test gas introduction hole 18 of the test unit 1 (the outer end of the test gas introduction hole 18a) is connected.

また、前記粗引排気ポンプユニット28は、従来周知の粗引排気ポンプ36の入口に切替弁37aを有する吸入管37を接続し、切替弁37aの上、下流において吸入管37から分岐された分岐管38,39にそれぞれ自動切替弁38a、リーク弁39aを設けてなり、前記吸入管37が前記真空容器8の真空排気口13に配管27を介して接続されている。前記自動切替弁38aは、前記真空容器8の環状空間E内の真空圧を検出する真空指示計40に接続されて、該真空指示計40が検出する真空圧に応じて自動的に開閉制御されるようになっている。
前記ヘリウムリーク試験部29は、従来周知のヘリウムリークディテクタ41が開閉弁42aを有する吸入管42を介して前記粗引排気ポンプユニット26の分岐管38における自動切替弁38aの下流に接続されてなる。なお、前記分岐管38は吸入管37から分岐させる代わりに、真空容器8の環状空間Eに連通させて設けることもできる。
The roughing exhaust pump unit 28 is connected to a suction pipe 37 having a switching valve 37a at the inlet of a conventionally known roughing exhaust pump 36, and is branched from the suction pipe 37 on the downstream side of the switching valve 37a. The pipes 38 and 39 are respectively provided with an automatic switching valve 38 a and a leak valve 39 a, and the suction pipe 37 is connected to the vacuum exhaust port 13 of the vacuum vessel 8 through a pipe 27. The automatic switching valve 38a is connected to a vacuum indicator 40 that detects the vacuum pressure in the annular space E of the vacuum vessel 8, and is automatically controlled to open and close according to the vacuum pressure detected by the vacuum indicator 40. It has become so.
The helium leak test unit 29 is formed by connecting a known helium leak detector 41 downstream of the automatic switching valve 38a in the branch pipe 38 of the roughing exhaust pump unit 26 via a suction pipe 42 having an on-off valve 42a. . The branch pipe 38 can be provided in communication with the annular space E of the vacuum vessel 8 instead of being branched from the suction pipe 37.

そして、前記標準リークユニット31は、真空ポンプ43の入口に一対の開閉弁44a,44aを有する吸入管44を接続し、該開閉弁44a,44aの間において吸入管44から分岐した分岐管45に開閉弁45aを介して接続されたヘリウム容器46を設けてなり、前記吸入管44が配管30によって前記真空容器8の環状空間Eに連通されている。前記ヘリウム容器46は、先端に毛細管を有し内部にヘリウムガスを充填したガラス製容器をケース内に収納してなる従来周知のものであり、使用時に前記毛細管の先端を破断して、ガラス製容器内からヘリウムガスを基準の微小流量で流出させるようになっている。   The standard leak unit 31 has a suction pipe 44 having a pair of on-off valves 44a and 44a connected to the inlet of the vacuum pump 43, and a branch pipe 45 branched from the suction pipe 44 between the on-off valves 44a and 44a. A helium vessel 46 connected via an on-off valve 45 a is provided, and the suction pipe 44 is communicated with the annular space E of the vacuum vessel 8 by a pipe 30. The helium container 46 is a conventionally well-known container in which a glass container filled with helium gas is housed in a case with a capillary tube at the tip, and the tip of the capillary tube is broken during use to make the glass container. Helium gas is allowed to flow out from the container at a reference minute flow rate.

次に、本発明の第2の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置47の構成について図6を参照して説明する。このヘリウムリーク試験装置47は、前記第1の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置22における粗引排気ポンプユニット28の分岐管38とヘリウムリークディテクタ41の吸入管42との間にソープションポンプユニット48を設けたものである。その他の構成はヘリウムリーク試験装置22と同一であるので、同一の構成部分には同一の符号を付して、それらの構成についての説明は省略する。
前記ソープションポンプユニット48は、一対の従来周知のソープションポンプ49,49が、それらの上、下流に開閉弁50a,50bを有する配管50,50によって、前記分岐管38と吸入管42に並列に接続されてなり、開閉弁50a,50bの開閉を切り換えることによって、前記ソープションポンプ49,49を切り換えて個別にまたは同時に作動させることが可能なようになっている。
Next, the configuration of the helium leak test apparatus 47 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This helium leak test apparatus 47 is a sorption pump unit between the branch pipe 38 of the rough exhaust pump unit 28 and the suction pipe 42 of the helium leak detector 41 in the helium leak test apparatus 22 according to the first embodiment. 48 is provided. Since other configurations are the same as those of the helium leak test apparatus 22, the same reference numerals are given to the same components, and description of those configurations will be omitted.
In the sorption pump unit 48, a pair of conventionally known sorption pumps 49, 49 are arranged in parallel with the branch pipe 38 and the suction pipe 42 by pipes 50, 50 having on-off valves 50a, 50b above and downstream thereof. The sorption pumps 49 and 49 can be switched and operated individually or simultaneously by switching the opening and closing of the on-off valves 50a and 50b.

次に、本発明の第3の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置51の構成について図1、図5〜図7を参照して説明する。このヘリウムリーク試験装置51は、上面の両縁部に沿って一対の水平で平行に配設されたガイドレール(案内部材)52a,52aを有し、床上に設置され図7で左右に延長された長尺のベース(案内部材)52と、該ベース52の長手方向(図7で左右)に間隔をあけて配置されて相互に連結棒(連結部材)53によって連結された前後(図7で左右)の一対の台車54a,54bとを備えている。前記各台車54a,54bは、枠部材を縦横に組み付けて矩形枠形に形成された架台55a,55bの下端部の四隅に車輪55cを設けて構成され、前記ガイドレール52a,52aに前記車輪55c,55cが案内されて前記ベース52上をその長手方向に適宜移動手段によって移動されるようになっている。   Next, the configuration of the helium leak test apparatus 51 according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 5 to 7. This helium leak test apparatus 51 has a pair of horizontal and parallel guide rails (guide members) 52a and 52a along both edges of the upper surface, and is installed on the floor and extended to the left and right in FIG. A long base (guide member) 52, and before and after being connected to each other by a connecting rod (connecting member) 53 arranged in the longitudinal direction of the base 52 (left and right in FIG. 7) and connected to each other by a connecting rod (connecting member) 53 (FIG. 7). A pair of carts 54a and 54b. Each of the carriages 54a and 54b is configured by providing wheels 55c at the four corners of the lower ends of the pedestals 55a and 55b formed in a rectangular frame shape by assembling frame members vertically and horizontally, and the wheels 55c on the guide rails 52a and 52a. , 55c are guided and moved on the base 52 in the longitudinal direction by moving means as appropriate.

そして、前方(一方)の台車54aの架台(一方の架台)55aの上面には適宜支持部材を介して前記ヘリウムリーク試験ユニット1の真空容器8がその軸方向を前記ベース52の長手方向(前記パイプPの軸方向)に向けて水平に固定されている。また、前記ヘリウムリーク試験ユニット1の加圧ユニット19には、その他端側の突出軸部14aに、図1、図4に示すように、先端部を嵌合された支持管56がボルト56aで連結され、該支持管56は後方に延長されて後方(他方)の台車54bの架台(他方の架台)55bの上面に固定されている。これにより、前記真空容器8のフランジ3,3のパイプ挿通穴2,2に加圧ユニット19が挿入されて、真空容器8と加圧ユニット19が、それらの軸方向の中間部を互いに近い位置に合わせられた状態で相対的に軸方向に移動しないようになっている。   The vacuum vessel 8 of the helium leak test unit 1 is placed on the upper surface of the gantry (one gantry) 55a of the front (one) trolley 54a via a support member as appropriate. It is fixed horizontally (in the axial direction of the pipe P). Further, in the pressurizing unit 19 of the helium leak test unit 1, as shown in FIGS. 1 and 4, a supporting tube 56 fitted with a protruding shaft portion 14a on the other end side is a bolt 56a. The support pipe 56 is connected to the upper surface of the base (the other base) 55b of the rear (the other) carriage 54b. Thereby, the pressurizing unit 19 is inserted into the pipe insertion holes 2 and 2 of the flanges 3 and 3 of the vacuum vessel 8, and the vacuum vessel 8 and the pressurizing unit 19 are positioned close to each other in the axial direction between them. It is set so as not to move relatively in the axial direction in a state where it is adjusted to.

さらに、前方架台55aには、前記ヘリウムリーク試験装置22の粗引排気ポンプユニット28、ヘリウムリーク試験部29、標準リークユニット31、前記ヘリウムリーク試験装置47の場合には更に前記ソープションポンプユニット48、これらの機器を操作する制御盤等(図示せず)が筐体57a等に収納されて搭載されている。また、前記後方の台車54bの架台55bには、前記加圧ガス供給ユニット24、ヘリウムガス供給ユニット26やそれらを操作する制御盤等(図示せず)が筐体57b等に纏められて搭載されている。なお、前記加圧ユニット19と前記加圧ガス供給ユニット24とを接続する分岐管23bと、加圧ユニット19と前記ヘリウムガス供給ユニット26とを接続する配管25は前記支持管56の内部を通して後方架台55bから前方架台55aまで水平に延長されている。   Further, in the case of the rough evacuation pump unit 28, the helium leak test unit 29, the standard leak unit 31, and the helium leak test apparatus 47 of the helium leak test apparatus 22, the sorption pump unit 48 is further provided on the front mount 55a. A control panel (not shown) for operating these devices is housed and mounted in a housing 57a or the like. Further, the pressurized gas supply unit 24, the helium gas supply unit 26, and a control panel (not shown) for operating them are collected and mounted on a frame 57b or the like on the mount 55b of the rear carriage 54b. ing. A branch pipe 23b connecting the pressurization unit 19 and the pressurization gas supply unit 24 and a pipe 25 connecting the pressurization unit 19 and the helium gas supply unit 26 are located behind the support pipe 56. The frame 55b extends horizontally from the frame 55b to the front frame 55a.

前記ヘリウムリーク試験装置51の前方(図7で左方)には、パイプを軸方向に突き合わせて、その突き合わせ部の周囲を溶接する溶接機(図示せず)が設置されており、該溶接機によって溶接されて円周溶接継手(溶接部)wを有するパイプPが、その軸心を前記真空容器8のパイプ挿通穴2の軸心に合わせた状態として、先端部をV字状の溝を有するローラ等の支持手段58aで支持され、搬送手段58によってヘリウムリーク試験装置51側に移送されるようになっている。なお、前記ヘリウムリーク試験装置51には、前記一方の架台55aと他方の架台55bに掛け渡した支持板59が設けられており、該支持板59上に前記ヘリウムリーク試験ユニット1に挿通された前記パイプPの自由端側を支持するローラ等の案内支持手段60が設けられ、前記パイプPがその軸方向に直進するように案内されている。   In front of the helium leak test apparatus 51 (on the left in FIG. 7), a welding machine (not shown) is installed that abuts the pipe in the axial direction and welds the periphery of the abutting portion. The pipe P having a circumferential welded joint (welded portion) w welded by the above-mentioned is in a state in which its axis is aligned with the axis of the pipe insertion hole 2 of the vacuum vessel 8, and the V-shaped groove is formed at the tip. It is supported by a supporting means 58 a such as a roller having a roller, and is transferred to the helium leak test apparatus 51 side by the conveying means 58. The helium leak test apparatus 51 is provided with a support plate 59 that spans the one base 55a and the other base 55b, and is inserted into the helium leak test unit 1 on the support plate 59. Guide support means 60 such as a roller for supporting the free end side of the pipe P is provided, and the pipe P is guided so as to go straight in the axial direction thereof.

次に、前記実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニット1,ヘリウムリーク試験装置22、47,51の作用と共に、本発明の実施の形態に係るヘリウムリーク試験方法について説明する。
先ず、溶接機によって溶接された被試験体としてのパイプPが搬送手段58によって後方(図7で右方)に向けて台車54a側に移送されて、その先端が前記ベース52の長手方向の所定位置に位置決めされると、移動手段によって前記ヘリウムリーク試験装置51の台車54a,54bがガイドレール52a,52aに沿って前方に移動されて、前方の台車54a上のヘリウムリーク試験ユニット1の真空容器8のパイプ挿通穴2,2と加圧ユニット19にパイプPが挿通される。その際、前記搬送手段58は台車54a、54bに連動して図7で左方へ後退される。そして、前記パイプPの円周溶接継手wの位置が、真空容器8の環状空間Eの軸方向の中央部に達したときに、台車54a,54bの移動が停止される。
前記パイプ挿通穴2,2と加圧ユニット19に挿通されたパイプPは、その外周が真空容器8の両端部のキャスタ11に案内され、内周部が加圧ユニット19の両端部のキャスタ20によって案内されているので、パイプPの軸心が真空容器8と加圧ユニット19の軸心に正確に整合された状態を保持されている。
これにより、前記真空容器8と加圧ユニット19がパイプPに対して相対的に軸方向に相対移動するとき、シールを解いて復元状態にある第1,第2の環状パッキン7,16がパイプPの外周面、内周面に異常に接触して損傷するのを防止することができる。
Next, the helium leak test method according to the embodiment of the present invention will be described together with the operation of the helium leak test unit 1, the helium leak test apparatus 22, 47, and 51 according to the above embodiment.
First, a pipe P as a test object welded by a welding machine is transferred rearward (rightward in FIG. 7) toward the carriage 54a by the conveying means 58, and the tip of the pipe P is predetermined in the longitudinal direction of the base 52. When positioned, the carriages 54a and 54b of the helium leak test apparatus 51 are moved forward along the guide rails 52a and 52a by the moving means, and the vacuum container of the helium leak test unit 1 on the front carriage 54a is moved. The pipe P is inserted into the 8 pipe insertion holes 2 and 2 and the pressure unit 19. At that time, the conveying means 58 is retracted to the left in FIG. 7 in conjunction with the carriages 54a and 54b. When the position of the circumferential weld joint w of the pipe P reaches the axial center of the annular space E of the vacuum vessel 8, the movement of the carriages 54a and 54b is stopped.
The pipe P inserted through the pipe insertion holes 2 and 2 and the pressure unit 19 is guided by the casters 11 at both ends of the vacuum vessel 8 and the inner periphery is casters 20 at both ends of the pressure unit 19. Therefore, the axial center of the pipe P is kept accurately aligned with the axial centers of the vacuum vessel 8 and the pressurizing unit 19.
As a result, when the vacuum vessel 8 and the pressure unit 19 move relative to the pipe P in the axial direction, the first and second annular packings 7 and 16 that are in a restored state by releasing the seal are connected to the pipe. It is possible to prevent the outer peripheral surface and inner peripheral surface of P from being abnormally contacted and damaged.

前記台車54a,54bが停止されると、前記加圧ガス供給ユニット24が作動されて開閉弁33bが開かれ、ガスボンベ32から減圧弁33aで圧力を所定値に調節された加圧ガスが、配管23とその分岐管23a,23bを通って真空容器8のフランジ3の加圧ガス導入孔12から前記環状溝6,6の内部に入ると共に、加圧ユニット19の加圧ガス導入孔17から前記環状溝15,15の内部に入る。そして、それらの環状溝6,15の内部に導入された加圧ガスの圧力により、各環状パッキン7、16がそれぞれ前記パイプPの外周面と内周面に押圧されて、前記真空容器8の環状空間Eが気密に閉鎖されると共に、各環状パッキン16,16の相互間におけるパイプPの内周面と軸状部材14の外周面との環状間隙e2が気密に閉鎖される。   When the carriages 54a and 54b are stopped, the pressurized gas supply unit 24 is operated to open the on-off valve 33b, and pressurized gas whose pressure is adjusted to a predetermined value by the pressure reducing valve 33a from the gas cylinder 32 is supplied to the piping. 23 and its branch pipes 23a and 23b through the pressurized gas introduction hole 12 of the flange 3 of the vacuum vessel 8 into the annular grooves 6 and 6 and from the pressurized gas introduction hole 17 of the pressure unit 19 to the inside. It enters the inside of the annular grooves 15 and 15. The annular packings 7 and 16 are pressed against the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the pipe P by the pressure of the pressurized gas introduced into the annular grooves 6 and 15, respectively. The annular space E is hermetically closed, and the annular gap e2 between the inner peripheral surface of the pipe P and the outer peripheral surface of the shaft-like member 14 between the annular packings 16 and 16 is hermetically closed.

続いて、ヘリウムガス供給ユニット26が作動されて開閉弁35bが開かれ、ヘリウムボンベ34から減圧弁35aで圧力を所定値に調節されたヘリウムガスが、配管25を通って加圧ユニット19のヘリウムガス導入孔18から前記環状間隙e2に導入される。その際、環状溝15,15の内部に供給される加圧ガスの圧力が、前記環状間隙e2に供給されるヘリウムガスの圧力より若干高く設定されているので、ヘリウムガスが前記環状間隙e2から環状パッキン16の外側へ漏れることはない。前記環状間隙e2へのヘリウムガスの導入と同時に、前記粗引排気ポンプユニット28が作動されて開閉弁37aが開かれ、粗引排気ポンプ36によって吸引管37と配管27を介して真空容器8の環状空間Eのガスを吸引してヘリウムリーク試験を開始する。前記粗引排気ポンプ36の吸引によって環状空間Eの真空度が設定値に達すると、前記真空指示計40によって自動切替弁38aが開かれると共に、開閉弁37aが閉じられて粗引排気ポンプが停止される。同時に前記ヘリウムリーク試験部29により、予め開閉弁42aが開かれている吸引管42を通してリークディテクタ41が内部の真空ポンプによって前記環状空間Eのガスを真空排気し、吸引ガス中におけるヘリウムガスの有無の検出によって前記パイプPの円周溶接継手wの気密性の良否を判定する。   Subsequently, the helium gas supply unit 26 is operated to open the opening / closing valve 35b, and the helium gas whose pressure is adjusted to a predetermined value by the pressure reducing valve 35a from the helium cylinder 34 passes through the pipe 25 and the helium in the pressurizing unit 19. The gas is introduced from the gas introduction hole 18 into the annular gap e2. At this time, since the pressure of the pressurized gas supplied into the annular grooves 15 and 15 is set slightly higher than the pressure of the helium gas supplied to the annular gap e2, the helium gas is discharged from the annular gap e2. There is no leakage to the outside of the annular packing 16. Simultaneously with the introduction of helium gas into the annular gap e2, the roughing exhaust pump unit 28 is operated to open the on-off valve 37a. The roughing exhaust pump 36 causes the vacuum vessel 8 to pass through the suction pipe 37 and the pipe 27. The gas in the annular space E is sucked to start the helium leak test. When the vacuum degree of the annular space E reaches a set value by the suction of the roughing exhaust pump 36, the automatic switching valve 38a is opened by the vacuum indicator 40 and the on-off valve 37a is closed to stop the roughing exhaust pump. Is done. At the same time, the leak detector 41 causes the leak detector 41 to evacuate the gas in the annular space E by an internal vacuum pump through the suction pipe 42 in which the on-off valve 42a is opened in advance, and whether or not helium gas exists in the suction gas. By detecting this, the quality of the airtightness of the circumferential weld joint w of the pipe P is determined.

上記において、ヘリウムリーク試験部の上流側にソープションポンプユニット48を備えている場合(図6参照)には、前記環状空間Eからヘリウムリークディテクタ41に吸引されるガスは、途中のソープションポンプ49,49によって吸引排気速度を高めて空気等の不純ガスを吸着除去することができるので、真空容器8の環状パッキン7,7が破損して多量の空気が前記環状空間Eに侵入した場合でも、前記リークディテクタ41の検出部が故障するのを避けることができると共に、ヘリウムディテクタ41によるリーク試験を一層正確に行うことができる。前記ソープションポンプ49,49は、その前後の開閉弁50a,50aの切換によって片方ずつ交互に、または必要に応じて両方を同時に作動させる。交互に作動させる場合には、一方が作動中、他方を再生させるように運用することができる。   In the above description, when the sorption pump unit 48 is provided on the upstream side of the helium leak test section (see FIG. 6), the gas sucked from the annular space E to the helium leak detector 41 is the sorption pump on the way. 49 and 49 can increase the suction / exhaust speed to adsorb and remove impure gases such as air, so that even when the annular packings 7 and 7 of the vacuum vessel 8 are damaged and a large amount of air enters the annular space E. In addition, it is possible to avoid failure of the detection unit of the leak detector 41 and to perform a leak test using the helium detector 41 more accurately. The sorption pumps 49, 49 are operated one by one alternately by switching the on-off valves 50a, 50a before and after them, or simultaneously when necessary. When operating alternately, it can be operated such that one is in operation and the other is regenerated.

前記ヘリウムリークディテクタ41による吸引ガス中にヘリウムガスが検出されないで判定結果が良好であった場合には、加圧ガス供給ユニット24の開閉弁33bとヘリウムガス供給ユニット26の開閉弁35bを閉じて、加圧ガスとヘリウムガスのヘリウムリーク試験ユニット1への供給が停止されてヘリウムリーク試験を終了する。
なお、ヘリウムリーク試験を終了するときは、加圧ガス供給ユニット24によって前記ヘリウムリーク試験ユニット1の加圧ガス導入孔12,17に加圧ガスを供給した状態で、ヘリウムガス供給ユニット26の開閉弁35dを開いて配管25内と加圧ユニット19の加圧ガス導入孔18と前記環状間隙e2内のヘリウムガスの圧力を開放した後に、加圧ガス供給ユニット24の開閉弁33dを開いて、配管23,分岐管23a,23b内の加圧ガスの圧力を開放して、前記環状パッキン7,16のパイプPに対する押圧を解除する。これにより、環状パッキン7,16は弾力的に復元してパイプPから離れて環状溝6,15内に収納された状態となる。そして、次回のヘリウムリーク試験に備える。
If helium gas is not detected in the suction gas by the helium leak detector 41 and the determination result is good, the on-off valve 33b of the pressurized gas supply unit 24 and the on-off valve 35b of the helium gas supply unit 26 are closed. The supply of pressurized gas and helium gas to the helium leak test unit 1 is stopped, and the helium leak test is terminated.
When the helium leak test is ended, the helium gas supply unit 26 is opened and closed while the pressurized gas is supplied to the pressurized gas introduction holes 12 and 17 of the helium leak test unit 1 by the pressurized gas supply unit 24. After opening the valve 35d to release the pressure of the helium gas in the pipe 25, the pressurized gas introduction hole 18 of the pressurizing unit 19 and the annular gap e2, the on-off valve 33d of the pressurized gas supply unit 24 is opened, The pressure of the pressurized gas in the pipe 23 and the branch pipes 23a and 23b is released, and the pressure on the pipe P of the annular packings 7 and 16 is released. As a result, the annular packings 7 and 16 are elastically restored to be separated from the pipe P and accommodated in the annular grooves 6 and 15. And prepare for the next helium leak test.

なお、前記のように、ヘリウムガス供給ユニット26の開閉弁35dを開くと、配管25内からヘリウムガスが排出されるが、このヘリウムガスの排出は、ヘリウムリーク試験ユニット1が搭載されてヘリウムリーク試験を行う一方の架台55aから後方(図7で右方)へ十分に離れた位置においてヘリウム供給ユニット26が搭載された他方の架台55bの場所で行われるので、次回のリーク試験を行う際に排出されたヘリウムガスが悪影響することはない。
前記パイプPに複数の円周溶接継手wがある場合には、次の円周溶接継手wの位置が前記各台車54a,54bの移動ストロークの範囲内にあれば、台車54a,54bを図7で左方へ前進移動させ、移動ストロークの範囲内に無ければ、パイプPを後方の台車54b側に移動させる等により、リーク試験を継続して行うことができる。このように、各架台55a,55bをガイドレール52a,52aに沿って移動させることによって、ヘリウムリーク試験ユニット1をパイプPの溶接部wに的確に移動させることができ、複数の溶接部wがあるパイプPでも能率よくリーク試験を行うことができる。
また、リーク試験作業中は、ヘリウムリーク試験装置を構成する機器が架台55a,55bに纏めて搭載されているので、床上に前記機器を設置する必要がなくて、試験装置の回りの作業場を広く確保できて作業が安全、円滑に行える。
As described above, when the opening / closing valve 35d of the helium gas supply unit 26 is opened, helium gas is discharged from the pipe 25. This helium gas is discharged by installing the helium leak test unit 1 on the helium leak test. Since the test is performed at the position of the other base 55b on which the helium supply unit 26 is mounted at a position sufficiently away from one base 55a to be tested rearward (rightward in FIG. 7), the next leak test is performed. The discharged helium gas has no adverse effect.
When there are a plurality of circumferential welded joints w in the pipe P, if the position of the next circumferential welded joint w is within the moving stroke range of each of the carriages 54a and 54b, the carriages 54a and 54b are shown in FIG. If it is moved forward to the left and is not within the range of the moving stroke, the leak test can be continued by moving the pipe P toward the rear carriage 54b. Thus, by moving each mount 55a, 55b along the guide rails 52a, 52a, the helium leak test unit 1 can be accurately moved to the welded portion w of the pipe P, and a plurality of welded portions w are formed. Even a certain pipe P can perform a leak test efficiently.
In addition, during the leak test work, since the equipment constituting the helium leak test apparatus is mounted on the pedestals 55a and 55b, it is not necessary to install the equipment on the floor, and the work area around the test apparatus is widened. It can be secured and work can be performed safely and smoothly.

なお、最初の被試験体としてのパイプPの試験開始前と最後の試験終了時には、前記標準リークユニット31を使用して、開閉弁45a,44aを開いて前記ヘリウム容器46から流出するヘリウムガスの標準リーク量をリークディテクタを備えた真空ポンプ43で吸引して測定した後、開閉弁45aを閉じ開閉弁44aを開いて配管30を真空容器8の環状空間E内のガスを真空ポンプ43で真空吸引した場合の測定値の割合から、漏洩試験を実施する設備としての真空容器8の真空吸引系の感度を確認し、ヘリウムリーク試験部41の感度校正を行う。これにより、ヘリウムリーク試験部41によるパイプPの溶接部におけるリーク試験を的確に行うことができる。感度の確認後は前記開閉弁44aを閉じる。   The standard leak unit 31 is used to open the on-off valves 45a and 44a before the start of the test of the pipe P as the first object to be tested, and at the end of the test. After the standard leak amount is measured by sucking with a vacuum pump 43 equipped with a leak detector, the on-off valve 45a is closed, the on-off valve 44a is opened, and the piping 30 is evacuated with the gas in the annular space E of the vacuum vessel 8 by the vacuum pump 43. The sensitivity of the vacuum suction system of the vacuum vessel 8 as equipment for performing the leak test is confirmed from the ratio of the measured values when sucked, and the sensitivity calibration of the helium leak test unit 41 is performed. Thereby, the leak test in the weld part of the pipe P by the helium leak test part 41 can be accurately performed. After confirming the sensitivity, the on-off valve 44a is closed.

以上説明したように、実施の形態に係るヘリウムリーク試験方法は、筒状部材4の両端部に固着したフランジ3,3のパイプ挿通穴2,2の内周部に環状溝6,6を設け、この環状溝6,6に断面U字状の第1の環状パッキン7,7を配置した真空容器8と、軸状部材14の両端部に設けた環状溝15,15に断面U字状の第2の環状パッキン16,16を配置した加圧ユニット19とを備え、前記真空容器8の各パイプ挿通穴2,2に被試験体である溶接部wを有するパイプPを該溶接部wが各フランジ3,3の相互間に位置するまで挿入すると共に、該パイプP内に前記加圧ユニット19を挿入した後に、前記各フランジ3,3と前記軸状部材14に設けた加圧ガス導入孔17から、前記各環状溝6,15の内部に加圧ガスを導入することにより前記第1、第2の環状パッキン7,16を押圧して、前記パイプPの外周と前記フランジ3,3の内周との間および前記パイプPの内周と前記軸状部材14の外周との間を密封し、しかる後に、前記軸状部材14に設けた試験ガス導入孔18から、第2の環状パッキン16,16によって密封された前記パイプPの内周面と軸状部材14の外周面との間の環状間隙e2内にヘリウムガスを導入すると共に、前記第1の環状パッキン7,7によって密封された前記筒状部材4の内側と前記パイプPの外周との間の環状空間Eをヘリウムリークディテクタ41により真空排気する構成とされている。   As described above, in the helium leak test method according to the embodiment, the annular grooves 6 and 6 are provided in the inner peripheral portions of the pipe insertion holes 2 and 2 of the flanges 3 and 3 fixed to both ends of the cylindrical member 4. The vacuum vessel 8 in which the first annular packings 7 and 7 having a U-shaped cross section are arranged in the annular grooves 6 and 6 and the annular grooves 15 and 15 provided at both ends of the shaft-like member 14 have a U-shaped cross section. And a pressurizing unit 19 in which second annular packings 16 and 16 are arranged, and the welded part w is a pipe P having a welded part w as a test object in each pipe insertion hole 2 and 2 of the vacuum vessel 8. After inserting the flanges 3 and 3 until they are located between the flanges 3 and 3 and inserting the pressurizing unit 19 into the pipe P, the pressurized gas introduced into the flanges 3 and 3 and the shaft member 14 is introduced. A pressurized gas is introduced into the annular grooves 6 and 15 from the holes 17. By pressing the first and second annular packings 7 and 16, between the outer periphery of the pipe P and the inner periphery of the flanges 3 and 3, and the inner periphery of the pipe P and the outer periphery of the shaft-like member 14 After that, from the test gas introduction hole 18 provided in the shaft-shaped member 14, the inner peripheral surface of the pipe P sealed by the second annular packing 16, 16 and the shaft-shaped member 14 are sealed. An helium gas is introduced into the annular gap e2 between the outer peripheral surface and an annular space between the inner side of the cylindrical member 4 and the outer periphery of the pipe P sealed by the first annular packings 7,7. E is evacuated by a helium leak detector 41.

したがって、実施の形態に係るヘリウムリーク試験方法によれば、加圧ユニット19と真空容器8とにより被試験体であるパイプPの溶接部wの内外周部に気密の環状間隙e2と環状空間Eとを、容易、確実に形成することができ、前記パイプPの内側の環状間隙e2に供給されたヘリウムガスが前記溶接部wからパイプPの外側の環状空間Eに漏洩した場合には、該環状空間Eを真空排気することによってその漏洩をヘリウムディテクタ41で確実に検出することができ、加圧スニファー法によるパイプPの溶接部wのリーク試験を容易にかつ確実に行うことができる。   Therefore, according to the helium leak test method according to the embodiment, an airtight annular gap e2 and an annular space E are formed in the inner and outer peripheral portions of the welded portion w of the pipe P, which is a test object, by the pressurizing unit 19 and the vacuum vessel 8. When the helium gas supplied to the annular gap e2 inside the pipe P leaks from the welded part w to the annular space E outside the pipe P, the By evacuating the annular space E, the leakage can be reliably detected by the helium detector 41, and the leak test of the welded portion w of the pipe P by the pressure sniffer method can be easily and reliably performed.

また、実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニット1は、パイプ挿通穴2を設けたフランジ3,3が両端に気密に固着され、前記各フランジ3,3のパイプ挿通穴2に挿通された溶接部wを有するパイプPとの間に環状空間Eを形成する筒状部材4と、前記各フランジ3,3の内周部に設けた環状溝6、6内に配置され、内周部を前記パイプPの外周面側に向けた横断面がU字状で中空あるいは中実の弾性部材からなる第1の環状パッキン7,7と、前記各フランジ3,3に設けられ前記各環状溝6,6の内部に第1の環状パッキン7,7を前記パイプPの外周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔12,17と、前記筒状部材4に設けられ前記環状空間Eのガスを排気する真空排気口13とを設けた真空容器8を備えると共に、両端部の外周に環状溝15,15が設けられ前記パイプPの内部に挿通される軸状部材14と、該軸状部材14の環状溝15,15内に配置され、外周部を前記パイプPの内周面側に向けた横断面がU字状で中空あるいは中実の弾性部材からなる第2の環状パッキン16,16と、前記軸状部材14に設けられ該軸状部材14の環状溝15,15の内部に第2の環状パッキン16,16を前記パイプPの内周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔17と、前記軸状部材14に設けられ各第2の環状パッキン16,16の相互間において軸状部材14の外周面と前記パイプPの内周面との環状間隙にヘリウムガスを導入する試験ガス導入孔18とを設けた加圧ユニット19を備えた構成とされている。   Further, in the helium leak test unit 1 according to the embodiment, the flanges 3 and 3 provided with the pipe insertion holes 2 are hermetically fixed to both ends, and the welded parts are inserted into the pipe insertion holes 2 of the flanges 3 and 3. a cylindrical member 4 that forms an annular space E with the pipe P having w, and annular grooves 6 and 6 provided in the inner peripheral portions of the flanges 3 and 3; The first annular packing 7, 7 made of a hollow or solid elastic member having a U-shaped cross section toward the outer peripheral surface side of P, and the annular grooves 6, 6 provided in the flanges 3, 3. Of the annular space E provided in the tubular member 4 and the pressurized gas introduction holes 12 and 17 for introducing the pressurized gas for pressing the first annular packings 7 and 7 against the outer peripheral surface of the pipe P. A vacuum vessel 8 provided with a vacuum exhaust port 13 for exhausting gas is provided. Annular grooves 15 and 15 are provided on the outer periphery of both ends, and the shaft-like member 14 inserted into the pipe P is disposed in the annular grooves 15 and 15 of the shaft-like member 14. A second annular packing 16, 16 made of a hollow or solid elastic member having a U-shaped cross section toward the inner peripheral surface side, and an annular groove of the shaft-shaped member 14 provided on the shaft-shaped member 14. 15 and 15, the second annular packings 16 and 16 are provided in the pressurized gas introduction hole 17 for introducing the pressurized gas that presses the inner circumferential surface of the pipe P, and the shaft-like member 14 is provided in each second. A pressurizing unit 19 provided with a test gas introduction hole 18 for introducing helium gas into an annular gap between the outer peripheral surface of the shaft-like member 14 and the inner peripheral surface of the pipe P between the annular packings 16 and 16 is provided. It has been configured.

したがって、実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニットによれば、筒状部材4の端部のフランジ3,3の内側に加圧ガスの供給でパイプPの外周面に押圧される環状パッキン7,7を装着した真空容器8により、パイプPの溶接部wを囲む環状空間Eに気密空間を確実に形成することできると共に、両端外周に加圧ガスの供給で前記パイプの内周面に押圧される環状パッキン16,16を装着した加圧ユニット19により、前記パイプPの内周部にヘリウムガスを導入する環状間隙e2に気密空間を確実に形成することができる。これにより、前記パイプPの内側の環状間隙e2に供給されたヘリウムガスが該環状間隙e2からパイプPの溶接部wを経て外側へ漏洩すれば、漏洩したヘリウムガスは微小であっても前記真空容器の環状空間Eの内部で確実に捉えることができ、この環状空間Eのガスを真空排気してヘリウムリークディテクタで検査することにより、前記ヘリウムリーク試験方法を確実に実施することができる。   Therefore, according to the helium leak test unit according to the embodiment, the annular packings 7 and 7 are pressed against the outer peripheral surface of the pipe P by supplying pressurized gas to the inside of the flanges 3 and 3 at the end of the tubular member 4. The airtight space can be surely formed in the annular space E surrounding the welded portion w of the pipe P by the vacuum vessel 8 to which the pipe P is attached, and is pressed against the inner peripheral surface of the pipe by supplying pressurized gas to the outer ends of both ends. An airtight space can be reliably formed in the annular gap e2 for introducing helium gas into the inner peripheral portion of the pipe P by the pressurizing unit 19 to which the annular packings 16 and 16 are attached. As a result, if the helium gas supplied to the annular gap e2 inside the pipe P leaks outside through the welded portion w of the pipe P from the annular gap e2, even if the leaked helium gas is minute, the vacuum The helium leak test method can be reliably implemented by evacuating the gas in the annular space E and inspecting with a helium leak detector.

実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置22,47,51は、前記ヘリウムリーク試験ユニット1における真空容器8と加圧ユニット19の各加圧ガス導入孔12,17に、加圧ガスを供給する加圧ガス供給ユニット24が配管23、分岐管23a,23bを介して接続されると共に、前記加圧ユニット19の試験ガス導入孔18にヘリウムガスを供給すヘリウムガス供給ユニット26が配管25を介して接続され、前記真空容器8の真空排気口13に粗引排気ポンプ36とヘリウムリークディテクタ41が配管27を介して接続された構成とされている。   The helium leak test apparatus 22, 47, 51 according to the embodiment is configured to add pressurized gas to the pressurized gas introduction holes 12, 17 of the vacuum vessel 8 and the pressurized unit 19 in the helium leak test unit 1. A pressure gas supply unit 24 is connected via a pipe 23 and branch pipes 23 a and 23 b, and a helium gas supply unit 26 that supplies helium gas to the test gas introduction hole 18 of the pressurizing unit 19 is provided via a pipe 25. The rough exhaust pump 36 and the helium leak detector 41 are connected to the vacuum exhaust port 13 of the vacuum vessel 8 via a pipe 27.

したがって、実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置22、47,51によれば、溶接部wを有するパイプPを真空容器8と加圧ユニット19の間に挿通した後に、加圧ガス供給ユニット26から真空容器8と加圧ユニット19の加圧ガス導入孔12,17に加圧ガスを供給することにより、真空容器8の内部におけるパイプPの外側に形成された気密の環状空間Eと、パイプPの内部における加圧ユニット19の外側に形成された気密の環状間隙e2とを形成した後に、加圧ユニット19の試験ガス導入孔18にヘリウムガス供給ユニット26からヘリウムガスを供給すると共に、粗引排気ポンプ36によって真空排気口13から真空容器8の前記環状空間Eを真空排気することにより、パイプPの溶接部から漏れる微小なヘリウムガスの有無をも迅速、確実にヘリウムリークディテクタ41で検出して、リーク試験を容易に、能率よく行うことができる。
しかも、前記加圧ユニット19の外側の前記環状間隙e2に試験ガス導入孔18から供給するヘリウムガスは、前記環状間隙e2の容積(真空排気の容積)が非常に小さいため極めて少量で足り、ヘリウムガスの消費量を可及的に少なくすることができる、また、加圧スニファー法によりヘリウムリーク試験を行うにあたり、従来のように、パイプPの溶接部wの周囲にビニール等でマスキングを施す作業を行う必要がないので、作業性が極めて良い。
Therefore, according to the helium leak test apparatus 22, 47, 51 according to the embodiment, the pipe P having the welded portion w is inserted between the vacuum vessel 8 and the pressurizing unit 19, and then from the pressurized gas supply unit 26. By supplying pressurized gas to the pressurized gas introduction holes 12 and 17 of the vacuum vessel 8 and the pressure unit 19, an airtight annular space E formed outside the pipe P inside the vacuum vessel 8, and the pipe P After forming a gas-tight annular gap e2 formed outside the pressurizing unit 19 inside the gas, helium gas is supplied from the helium gas supply unit 26 to the test gas introduction hole 18 of the pressurizing unit 19 and roughing is performed. A minute helium gas leaking from the welded portion of the pipe P by evacuating the annular space E of the vacuum vessel 8 from the vacuum exhaust port 13 by the exhaust pump 36. Whether quicker and to reliably detected with helium leak detector 41, easily leak test can be performed efficiently.
In addition, helium gas supplied from the test gas introduction hole 18 to the annular gap e2 outside the pressurizing unit 19 is very small because the volume of the annular gap e2 (volume of vacuum exhaust) is very small, and helium is sufficient. Gas consumption can be reduced as much as possible. Also, when performing a helium leak test by the pressurized sniffer method, masking is performed with vinyl or the like around the welded portion w of the pipe P as in the past. Therefore, workability is extremely good.

なお、前記実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニット1は、前記溶接部を有するパイプが円形断面の場合に好ましく適用することができるが、円形断面のパイプに限らず、楕円形断面、矩形断面、その他の多角形断面のパイプにも適用することができる。多角形断面の場合には各角部に丸みを持たせることが好ましい。その場合には、真空容器8のパイプ挿通穴2と加圧ユニット19の軸状部材14の横断面形状、環状パッキン7,16のリング外径は、パイプPの横断面形状と相似形とされる。   The helium leak test unit 1 according to the embodiment can be preferably applied when the pipe having the welded portion has a circular cross section, but is not limited to a pipe having a circular cross section, an elliptical cross section, a rectangular cross section, It can also be applied to pipes having other polygonal cross sections. In the case of a polygonal cross section, it is preferable to round each corner. In that case, the cross-sectional shape of the pipe insertion hole 2 of the vacuum vessel 8 and the shaft-like member 14 of the pressure unit 19 and the ring outer diameter of the annular packings 7 and 16 are similar to the cross-sectional shape of the pipe P. The

本発明の一実施の形態に係るヘリウムリーク試験ユニットを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the helium leak test unit which concerns on one embodiment of this invention. 図1のイ視図である。FIG. 2 is a perspective view of FIG. 1. 図1のロ−ロ断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 図1のハ−ハ断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 本発明の第1の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置を示す系統図である。1 is a system diagram showing a helium leak test apparatus according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置を示す系統図である。It is a systematic diagram which shows the helium leak test apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態に係るヘリウムリーク試験装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the helium leak test apparatus based on the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ヘリウムリーク試験ユニット
2 パイプ挿通穴
3 フランジ
4 筒状部材
6,15 環状溝
7,16 環状パッキン
8 真空容器
11,20 キャスタ
12,17 加圧ガス導入孔
13 真空排気口
14 軸状部材
18 試験ガス導入孔
19 加圧ユニット
22,47,51 ヘリウムリーク試験装置
24 加圧ガス供給ユニット
26 ヘリウムガス供給ユニット
28 粗引排気ポンプユニット
29 ヘリウムリーク試験部
31 標準リークユニット
32 ガスボンベ
34 ヘリウムボンベ
36 粗引排気ポンプ
41 ヘリウムリークディテクタ
48 ソープションポンプユニット
49 ソープションポンプ
52a ガイドレール(案内部材)
54a,54b 台車
55a,55b 架台
E 環状空間
e1,e2 環状間隙
P パイプ
w パイプの溶接部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Helium leak test unit 2 Pipe insertion hole 3 Flange 4 Cylindrical member 6,15 Annular groove 7,16 Annular packing 8 Vacuum vessel 11,20 Caster 12,17 Pressurized gas introduction hole 13 Vacuum exhaust port 14 Shaft-shaped member 18 Test Gas introduction hole 19 Pressurization unit 22, 47, 51 Helium leak test device 24 Pressurized gas supply unit 26 Helium gas supply unit 28 Rough exhaust pump unit 29 Helium leak test section 31 Standard leak unit 32 Gas cylinder 34 Helium cylinder 36 Rough exhaust Exhaust pump 41 helium leak detector 48 sorption pump unit 49 sorption pump 52a guide rail (guide member)
54a, 54b Bogie 55a, 55b Mount E Annular space e1, e2 Annular gap P Pipe w Pipe weld

Claims (10)

真空容器と加圧ユニットを備え、
前記真空容器は、パイプ挿通穴を設けたフランジが両端部に固着された筒状部材と、前記各フランジの内周部に設けられた環状溝に配置された弾性部材からなる第1の環状パッキンと、を有し、
前記加圧ユニットは、軸状部材と、該軸状部材の両端部の外周に設けられた環状溝に配置された弾性部材からなる第2の環状パッキンと、を有しているヘリウムリーク試験ユニットを用いたヘリウムリーク試験方法であって、
前記真空容器の各パイプ挿通穴に被試験体である溶接部を有するパイプを該溶接部が各フランジの相互間に位置するまで挿入する工程と、
前記各フランジと前記軸状部材に設けた加圧ガス導入孔から、前記各環状溝の内部に加圧ガスを導入することにより前記第1の環状パッキンと前記第2の環状パッキンを押圧して前記パイプの外周と前記フランジの内周との間および前記パイプの内周と前記軸状部材の外周との間を密封する工程と、
前記軸状部材に設けた試験ガス導入孔から、第2の環状パッキンによって密封された前記パイプの内周面と軸状部材の外周面との間の環状間隙内にヘリウムガスを導入すると共に、前記第1の環状パッキンによって密封された前記筒状部材の内側と前記パイプの外周との間の環状空間を真空排気する工程と、を有することを特徴とするヘリウムリーク試験方法。
Equipped with a vacuum vessel and a pressure unit,
The vacuum vessel includes a first annular packing comprising a cylindrical member having flanges provided with pipe insertion holes fixed to both ends, and an elastic member disposed in an annular groove provided in an inner peripheral portion of each flange. And having
The pressurizing unit has a shaft-shaped member and a second annular packing made of an elastic member disposed in an annular groove provided on the outer periphery of both end portions of the shaft-shaped member. A helium leak test method using
Each pipe insertion hole of the vacuum vessel, inserting a pipe having a welded portion which is the test object, until the weld is positioned between each other of each flange,
The first annular packing and the second annular packing are pressed by introducing pressurized gas into the annular grooves from the pressurized gas introduction holes provided in the flanges and the shaft-shaped member. a step of sealing between the outer periphery of the inner periphery and the shaft-shaped member between the inner periphery of the outer peripheral of the pipe flange and the pipe,
Helium gas is introduced into the annular gap between the inner peripheral surface of the pipe sealed by the second annular packing and the outer peripheral surface of the shaft-shaped member from the test gas introduction hole provided in the shaft-shaped member, And a step of evacuating an annular space between the inside of the cylindrical member sealed by the first annular packing and the outer periphery of the pipe.
前記軸状部材に設けた前記加圧ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた加圧ガス導入孔部と、前記加圧ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、The pressurized gas introduction hole provided in the shaft-shaped member includes a pressurized gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member, and the shaft-shaped member communicating with the pressurized gas introduction hole. And a communication hole provided in the radial direction of
前記軸状部材に設けた前記試験ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた試験ガス導入孔部と、前記試験ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、The test gas introduction hole provided in the shaft-shaped member includes a test gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member, and a radial direction of the shaft-shaped member communicating with the test gas introduction hole. And a communication hole provided in the
前記第1の環状パッキンおよび前記第2の環状パッキンが、断面U字状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のヘリウムリーク試験方法。The helium leak test method according to claim 1, wherein the first annular packing and the second annular packing are formed in a U-shaped cross section.
真空容器と加圧ユニットを備えたヘリウムリーク試験ユニットであって、
前記真空容器は、パイプ挿通穴を設けたフランジが両端に気密に固着され、各フランジのパイプ挿通穴に挿通された溶接部を有するパイプとの間に環状空間を形成する筒状部材と
前記各フランジの内周部に設けた環状溝内に配置された弾性部材からなる第1の環状パッキンと
前記各フランジに設けられ前記各環状溝の内部に第1の環状パッキンを前記パイプの外周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔と
前記筒状部材に設けられ、前記環状空間のガスを排気する真空排気口と、を備え、
前記加圧ユニットは、両端部の外周に環状溝が設けられ前記パイプの内部に挿通される軸状部材と
該軸状部材の環状溝内に配置された弾性部材からなる第2の環状パッキンと
前記軸状部材に設けられ、該軸状部材の環状溝の内部に第2の環状パッキンを前記パイプの内周面に押圧する加圧ガスを導入する加圧ガス導入孔と
前記軸状部材に設けられ各第2の環状パッキンの相互間において軸状部材の外周面と前記パイプの内周面との環状間隙にヘリウムガスを導入する試験ガス導入孔と、を備え、
前記軸状部材に設けた前記加圧ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた加圧ガス導入孔部と、前記加圧ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、
前記軸状部材に設けた前記試験ガス導入孔は、前記軸状部材の軸方向に沿って設けられた試験ガス導入孔部と、前記試験ガス導入孔部と連通する前記軸状部材の半径方向に設けられた連通孔と、から構成されており、
前記第1の環状パッキンおよび前記第2の環状パッキンが、断面U字状に形成されていることを特徴とするヘリウムリーク試験ユニット。
A helium leak test unit comprising a vacuum vessel and a pressurizing unit,
The vacuum vessel has a cylindrical member that forms an annular space between a flange having a pipe insertion hole and airtightly fixed at both ends and a pipe having a welded portion that is inserted into the pipe insertion hole of each flange ;
A first annular packing made of an elastic member disposed in an annular groove provided in the inner peripheral portion of each flange ;
Wherein provided in each flange, said the inside first annular packing pressurized gas introduction hole for introducing a pressurized gas that presses the outer peripheral surface of the pipe in each annular groove,
A vacuum exhaust port provided in the cylindrical member and exhausting the gas in the annular space ;
The pressure unit is provided with an annular groove on the outer periphery of both ends , and a shaft-shaped member inserted into the pipe ;
A second annular packing made of an elastic member disposed in the annular groove of the shaft-shaped member ;
A pressurized gas introduction hole that is provided in the shaft-shaped member and introduces a pressurized gas that presses the second annular packing against the inner peripheral surface of the pipe inside the annular groove of the shaft-shaped member ;
Wherein provided on the shaft member, and a test gas inlet for introducing a helium gas into the annular gap between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the pipe shaft-like member between each other the second annular packing,
The pressurized gas introduction hole provided in the shaft-shaped member includes a pressurized gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member, and the shaft-shaped member communicating with the pressurized gas introduction hole. And a communication hole provided in the radial direction of
The test gas introduction hole provided in the shaft-shaped member includes a test gas introduction hole provided along the axial direction of the shaft-shaped member, and a radial direction of the shaft-shaped member communicating with the test gas introduction hole. And a communication hole provided in the
The helium leak test unit, wherein the first annular packing and the second annular packing are formed in a U-shaped cross section .
前記真空容器の軸方向の端部には、転動部の先端を前記パイプの外周面に当接してパイプの軸心に前記フランジのパイプ挿通穴の軸心を合わせた状態で前記真空容器をパイプの軸方向に案内する複数のキャスタが、パイプ挿通穴の周方向に間隔をあけて設けられていることを特徴とする請求項3に記載のヘリウムリーク試験ユニット。 At the end of the vacuum vessel in the axial direction, the vacuum vessel is placed in a state where the tip of the rolling portion is in contact with the outer peripheral surface of the pipe and the axis of the pipe insertion hole of the flange is aligned with the axis of the pipe. The helium leak test unit according to claim 3, wherein a plurality of casters for guiding in the axial direction of the pipe are provided at intervals in the circumferential direction of the pipe insertion hole. 前記軸状部材の軸方向の端部には、転動部の先端を前記パイプの内周面に当接してパイプの軸心に前記軸状部材の軸心を合わせた状態で軸状部材をパイプの軸方向に案内する複数のキャスタが、軸状部材の周方向に間隔をあけて設けられていることを特徴とする請求項3に記載のヘリウムリーク試験ユニット   At the axial end of the shaft-shaped member, the shaft-shaped member is placed in a state where the tip of the rolling portion is in contact with the inner peripheral surface of the pipe and the axis of the shaft-shaped member is aligned with the axis of the pipe. The helium leak test unit according to claim 3, wherein a plurality of casters for guiding in the axial direction of the pipe are provided at intervals in the circumferential direction of the shaft-like member. 請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載のヘリウムリーク試験ユニットにおける真空容器と加圧ユニットの各加圧ガス導入孔に、加圧ガスを供給する加圧ガス供給ユニットが配管を介して接続されると共に、前記加圧ユニットの試験ガス導入孔にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給ユニットが配管を介して接続され
前記軸状部材に連結された支持管の内部に、加圧ガスを供給する前記配管とヘリウムガスを供給する前記配管が配置され、
前記真空容器の真空排気口に粗引排気ポンプとヘリウムリークディテクタが配管を介して接続されていることを特徴とするヘリウムリーク試験装置。
A pressurized gas supply unit that supplies pressurized gas to each pressurized gas introduction hole of the vacuum vessel and the pressurized unit in the helium leak test unit according to any one of claims 3 to 5 via a pipe. And a helium gas supply unit for supplying helium gas to the test gas introduction hole of the pressurization unit is connected via a pipe ,
The pipe for supplying pressurized gas and the pipe for supplying helium gas are arranged inside a support pipe connected to the shaft-shaped member,
A helium leak test apparatus characterized in that a roughing exhaust pump and a helium leak detector are connected to a vacuum exhaust port of the vacuum vessel via a pipe.
前記真空排気口とヘリウムリークディテクタとを接続する配管にソープションポンプが設けられていることを特徴とする請求項6に記載のヘリウムリーク試験装置。   The helium leak test apparatus according to claim 6, wherein a sorption pump is provided in a pipe connecting the vacuum exhaust port and the helium leak detector. 前記真空容器の前記環状空間に配管を介して標準リークユニットが連絡されていることを特徴とする請求項6または請求項7に記載のヘリウムリーク試験装置。 The helium leak test apparatus according to claim 6 or 7 , wherein a standard leak unit is connected to the annular space of the vacuum vessel via a pipe. 前記加圧ユニットの軸方向に所定距離をあけて配置され連結部材によって連結された一方の架台と他方の架台とを備えヘリウムリーク試験ユニット、ヘリウムリークディテクタ、粗引排気ポンプ一方の架台に搭載され、加圧ガス供給ユニットとヘリウムガス供給ユニットが他方の架台に搭載され、前記支持管が他方の架台に固定されていることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載のヘリウムリーク試験装置。 Are arranged at a predetermined distance in the axial direction of the pressure unit, and a one frame and the other frame which is connected by a connecting member, a helium leak test unit, helium leak detectors, crude引排air pump of one frame The pressurized gas supply unit and the helium gas supply unit are mounted on the other gantry, and the support tube is fixed to the other gantry. The helium leak test apparatus according to the item . 前記一方の架台と他方の架台は、案内部材に支持されて前記パイプに対してその軸方向に移動自在に設けられていることを特徴とする請求項9に記載のヘリウムリーク試験装置。   The helium leak test apparatus according to claim 9, wherein the one base and the other base are supported by a guide member and are movable in the axial direction with respect to the pipe.
JP2005325855A 2005-11-10 2005-11-10 Helium leak test method and apparatus Active JP4644100B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005325855A JP4644100B2 (en) 2005-11-10 2005-11-10 Helium leak test method and apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005325855A JP4644100B2 (en) 2005-11-10 2005-11-10 Helium leak test method and apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007132784A JP2007132784A (en) 2007-05-31
JP4644100B2 true JP4644100B2 (en) 2011-03-02

Family

ID=38154573

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005325855A Active JP4644100B2 (en) 2005-11-10 2005-11-10 Helium leak test method and apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4644100B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2461873B (en) * 2008-07-15 2010-06-02 Siemens Magnet Technology Ltd Inspection sealing port device
KR101949077B1 (en) * 2018-02-01 2019-02-15 박지은 Leakage test method of tube sheet joint at gas cooler
KR101921257B1 (en) * 2018-06-27 2018-11-22 (주)백천정밀 Internal pressure test device for pipes
CN112697354B (en) * 2020-12-03 2023-04-07 四川航天长征装备制造有限公司 Valve helium leak detection tool and leak detection method
CN112710438B (en) * 2020-12-31 2022-12-20 核工业西南物理研究院 Detachable connector device for hot helium leak detection test and leak detection method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0481032U (en) * 1990-11-28 1992-07-15
JP2001194036A (en) * 2000-01-13 2001-07-17 Honda Motor Co Ltd Method and apparatus for inspecting leakage of outdoor unit of air conditioner
JP2003214972A (en) * 2002-01-28 2003-07-30 Ishinomaki Seiki Seisakusho:Kk Gastightness tester for circular cylinder weld zone and gastightness testing method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5099188A (en) * 1973-12-28 1975-08-06

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0481032U (en) * 1990-11-28 1992-07-15
JP2001194036A (en) * 2000-01-13 2001-07-17 Honda Motor Co Ltd Method and apparatus for inspecting leakage of outdoor unit of air conditioner
JP2003214972A (en) * 2002-01-28 2003-07-30 Ishinomaki Seiki Seisakusho:Kk Gastightness tester for circular cylinder weld zone and gastightness testing method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007132784A (en) 2007-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4644100B2 (en) Helium leak test method and apparatus
CN205352639U (en) Dress powder canning leak hunting device
JP2009198431A (en) Apparatus and method of inspecting leakage
CN200996885Y (en) Helium leak detection mass spectrum auxiliary platform of metal bellows
JP2011237294A (en) Leakage inspection apparatus and connecting hose for leakage inspection
JP2005164525A (en) System and method for measuring sealing performance of object
JP2010271094A (en) Gas leakage inspection device
US11624672B2 (en) Apparatus and method for automatic leak detection
CN115031169A (en) Steam guide pipe expansion joint pressing checking method and steam guide pipe expansion joint pressing device
JP4614654B2 (en) Coupler
KR20050098930A (en) Method and device for recognizing leaks
JP2000055769A (en) Leakage-testing device
JP2650475B2 (en) Airtight test equipment
JP5918526B2 (en) Leak test chamber and leak test apparatus
JP2013019868A (en) Gas type leakage inspection device
JP2010060542A (en) Method and device for inspecting defect of airtight component
CN111120878A (en) Pipeline air tightness detection device
KR102633347B1 (en) Leak inspection system for high pressure gas fuel supply system and method of the same
CN114646432B (en) Component partition leak detection box body assembly, combined assembly, leak detection system and leak detection method
JP4978955B2 (en) Mounting structure
JP2005315784A (en) Leak detecting method, and detector therefor
JPH10213516A (en) Helium leakage detector
JP3385536B2 (en) Gas supply source
JP2018087713A (en) Helium leak detector nozzle and helium leak detector system
JPH10104112A (en) Leakage test apparatus, seal method and seal structure

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080827

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100810

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101109

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101203

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4644100

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250