JP4574092B2

JP4574092B2 - Leak detector

Info

Publication number: JP4574092B2
Application number: JP2001298897A
Authority: JP
Inventors: 統西口; 嗣郎杭田; 博士前川; 和成竹内; 英生庄司
Original assignee: Otsuka Pharmaceutical Co Ltd
Current assignee: Otsuka Pharmaceutical Co Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2010-11-04
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP2003106930A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、包装パック等の包装品バリア袋に生じるリーク（ガス漏れ）の有無を検出するリーク検出装置に関し、詳細には製品を多数個収納した段ボール箱（製品の最終出荷姿）の外側より多数個の内部製品を一括してリーク検査するリーク検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば医薬品では雑菌の侵入防止や腐敗防止のため、薬品においては組成変化の防止のため、それらを収容した製品（バリア袋）には、保護ガス（ヘリウムガス、その他の不活性ガス）が封入されているものが多い。
【０００３】
そのため、包装のバリア袋にピンホール等によるガス漏れが無いかどうか検査を行っている。例えば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）を順に搬送するコンベヤの上部に、真空容器が上下移動機構により上下動可能に設置され、この真空容器に配管系を介して真空弁及び真空引きポンプが接続され、配管系に分析計が設けられた装置を用いてリークの有無を検出している。
【０００４】
この装置では、真空容器が上昇した状態で真空容器の直下に被検査体を位置させ、真空容器を下降させて真空容器を密閉した後、真空引きポンプにより真空引きして真空容器内部を真空状態とし、被検査体、即ち段ボール箱内の個々の製品から保護ガスが漏れていないかどうかを検査する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の装置では、被検査体から漏れた保護ガスを吸引するガス吸引口は真空容器内の被検査体よりも離れた所の或る箇所にだけ設けられているため、実際にガス漏れがあった場合に、被検査体からの漏洩ガスがガス吸引口から分析計に到達するまでに時間が掛かり、分析結果が出るまでに時間を要し、応答性が悪くなるという問題がある。
【０００６】
また、ガス漏れが微量である場合には、漏洩ガスがガス吸引口から吸引されるまでに真空容器内で拡散してしまうので、漏洩ガスの濃度が低下し、それにより分析計でのガス漏れ検知の感度が低下し、しかも応答時間が長く掛かるという問題がある。
【０００７】
この発明は、そのような問題点に着目してなされたものであって、素早い応答（リーク検査の時間短縮）、ガス漏れ検知感度の向上を実現するリーク検出装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明の請求項１記載のリーク検出装置は、被検査体から漏れたガスを吸引するガス吸引口を有すると共に被検査体を出入自在とした真空容器と、この真空容器を真空引きする真空手段と、真空容器内で真空引きされた被検査体からのガス漏れを検知する分析計とを備えたものにおいて、複数個の排出口を有するとともに新鮮な空気を導入するためのパージ配管が前記真空容器の内壁に沿って配置され、このパージ配管の内側に、前記真空引き時に被検査体の膨張を抑えるために被検査体の少なくとも１面を押圧できるように被検査体に対して進退可能な押さえ板が配置され、複数個の前記ガス吸引口を有するとともにガス漏れ検査のための吸引及びクリーニング用ガスの排出を行うためのサンプリング配管が前記押さえ板及び当該押さえ板以外の真空容器内に付設され、前記分析計が前記サンプリング配管に接続され、前記分析計によりガス漏れが検知された場合は、前記真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
この装置では、押さえ板により被検査体を押圧することで、サンプリング配管の複数個のガス吸引口が被検査体の周りに位置することになるので、真空容器内に被検査体を配置して真空引きしたとき、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮されるだけでなく、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するのでガス漏れの検知感度が向上する。
【００１０】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【００１１】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。
【００１２】
押さえ板を使用する場合、押さえ板は被検査体の上面側及び側面側にそれぞれ配置することとすれば、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）において、収納されたどの製品で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体からガス吸引口に吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【００１３】
一方、サンプリング配管と分析計とを連絡する配管系に前記真空手段とは別個の漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段を設け、予め真空手段により被検査体を真空引きし、その後にサンプリング配管の複数個のガス吸引口から低真空漏洩ガス吸引手段により吸引し、被検査体からのガス漏れを分析計により検知するようにすることで、即ち真空引きを真空手段により行うのとは別途に、リーク検査のためのガス吸引を低真空漏洩ガス吸引手段で行うことで、ガス漏れ検査を効率良く行うことができる。
【００１４】
他方、この種の装置ではリーク検査を繰り返し行うため、ガス漏れが有った場合は、真空容器内及びガス吸引口から分析計に至る配管系に漏洩ガスが残留し、この残留ガスの影響を受け易くなる。そこで、分析計によりガス漏れが検知された場合は、真空手段により真空容器を真空引きしながら真空容器内及びサンプリング配管から分析計の手前までの配管系内にクリーニング用のガスを導入してクリーニングを行い、その後に真空容器を大気開放するとともにサンプリング配管を通じてクリーニング用ガスを真空容器内に導入し、大気開放の終了後にパージ配管を通じて新鮮な空気を真空容器内に導入するようにしている。これにより、１回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態により、この発明を更に詳細に説明する。
【００１６】
その一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図を図１（真空容器及び配管系の一部）、図２（真空容器の一部及び配管系の残部）、図３（配管系の残部）及び図４（配管系の残部）に示す。
【００１７】
まず図１において、被検査体（多数個の製品を収納した段ボール箱）１００を出入自在とする真空容器１は、底部が開口したもので、真空容器昇降用のエアシリンダ３のピストンロッド３ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ３により上下動可能に支持されている。この真空容器１に対向して、その下方には被試験計測台５が配置されている。また、真空容器１の下部周囲端面には環状のパッキン７が設けられると共に、被試験計測台５の対応部分にも環状のパッキン８が設けられている。従って、真空容器１が下降して被試験計測台５に接触することで、パッキン７，８同士が密着し、真空容器１と被試験計測台５による密閉空間が形成される。但し、パッキン７，８に代えて、真空容器１の下部周囲端面にのみＯリングを設けてもよい。
【００１８】
真空容器１の内側には、新鮮な空気を導入するためのパージ配管１０が真空容器１の内壁に沿って適当なパターンで配置され、パージ配管１０は一定間隔毎に複数個の排出口１０ａを有する。このパージ配管１０の更に内側には、真空引き時に被検査体１００の膨張を抑えるために被検査体１００の上面を押圧するための平板状の押さえ板２０が配置されている。押さえ板２０は、押さえ板駆動用の２個のエアシリンダ２５のピストンロッド２５ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ２５により上下動可能である。
【００１９】
この押さえ板２０には、被検査体１００に封入されたガス（例えばヘリウムガス）の漏れ検査のための吸引及びクリーニングのためのＮ₂ガス排出を行うためのサンプリング配管２１が縦横に付設され、その一部は真空容器１の底部開口に向かって延びている。サンプリング配管２１は、押さえ板２０以外の部分及び押さえ板２０の部分にそれぞれ一定間隔を置いて複数個のガス吸引口２１ａ，２１ｂを有する。
【００２０】
なお、図１では、押さえ板２０とサンプリング配管２１は、便宜上離して示されているが、押さえ板２０上のサンプリング配管２１部分は、実際には押さえ板２０に固定されている。押さえ板２０とサンプリング配管２１との固定関係は、押さえ板２０内部にサンプリング配管２１を埋設し、そのガス吸引口２１ｂを押さえ板２０の表面（下面）から露出させてもよいし、或いは押さえ板２０の下面にサンプリング配管２１を付設してもよい。また、押さえ板２０にガス吸引口２１ｂが示されているが、これも便宜上のもので、実際にはサンプリング配管２１のガス吸引口２１ｂが押さえ板２０から現出している。
【００２１】
一方、被試験計測台５側においても、一定間隔毎に複数個の排出口１１ａを有するパージ配管１１が、被試験計測台５の上壁に沿って適当なパターンで配置されている。このパージ配管１１の更に上側には、コンベヤ（図示せず）により順に搬送されてくる被検査体１００を載せる平板状の支持板３０が配置されている。支持板３０は、支持板駆動用の２個のエアシリンダ３５のピストンロッド３５ａの先端部に取付けられ、エアシリンダ３５により上下動可能である。
【００２２】
この支持板３０にも、上記押さえ板２０と同様に、一定間隔毎に複数個のガス吸引口２２ａを有するサンプリング配管２２が縦横に付設されている。ここでも、支持板３０とサンプリング配管２２は離して示されているが、前記と同様に実際にはサンプリング配管２２は支持板３０に固定されており、ガス吸引口２２ａが支持板３０の上面から現出する。
【００２３】
パージ配管１０，１１は同じ配管系Ａ（エア配管系，図３及び図４参照）に接続され、その配管系Ａにそれぞれエアパージ弁５０，５１が設けられている。この配管系Ａとは別系統でサンプリング配管２１，２２は配管系Ｂ（測定配管系、図３及び図４参照）に接続され、その配管系Ｂにそれぞれサンプリング弁６０，６１が設けられている。また、真空容器１の内部の真空圧を測定するための真空計３５が設けられている。
【００２４】
図２において、真空容器１の内部を真空引きする真空ポンプ（真空手段）４０が設けられ、真空ポンプ４０は、この真空ポンプ４０の真空元の真空圧を測定するための真空計４１と、粗引弁（真空弁）４２を介して真空容器１の内部に接続されている。更に、真空容器１は、大気開放弁（リーク弁）４４を介して外部（屋外）に連通すると共に、大気維持弁（パージ保持用弁）４６と大気維持圧調整用絞りボール式弁４７を介しても屋外に連通している。
【００２５】
図３及び図４において、真空容器１の昇降用エアシリンダ３はエアシリンダ駆動パイロット弁５３に接続され、エアシリンダ駆動パイロット弁５３は、パージ配管１０，１１が接続された配管系Ａに接続されている。その配管系Ａには、パージ圧を測定する圧力計５４、パージ用減圧調圧弁５５、空気圧元減圧調圧弁５６が設けられ、外部装置（図示せず）により空気圧が供給される。また、配管系Ａには、空気圧パージ監視流量計５７が設けられている。
【００２６】
一方、サンプリング配管２１，２２が接続された配管系Ｂでは、ストップ弁６３とサンプリングポンプ（漏洩ガス検出用の低真空漏洩ガス吸引手段）６４が直列接続され、これと並列にＮ₂パージバイパス弁６５が接続されている。更に、配管系Ｂには、パージ切換弁６６及びスニファ弁６７を介して、漏洩ヘリウムガスを吸い込むためのスニファユニット（スニファとポンプで構成されたもの）７０及びヘリウムガスの有無を検知するための分析計（Ｈｅリークデテクタ）７１が設けられている。
【００２７】
また、パージ切換弁６６とスニファ弁６７との間には、スニファ用として大気吸込み流量調整用絞り弁６８が設けられている。スニファユニット７０は、サンプリング確認流量計７３を介して屋外に接続されている。
【００２８】
ストップ弁６３とサンプリングポンプ６４との間からは、Ｎ₂ガスパージ用の配管系Ｂ′が分岐し、その配管系Ｂ′には、クリーニング弁８０、パージ監視用流量計８１、Ｎ₂ガスパージ圧を測定する圧力計８２を介して、Ｎ₂ガスパージ用ボンベ（図示せず）が接続されている。
【００２９】
次に、上記のように構成したリーク検出装置の動作について、図５及び図６の動作概念図と図７及び図８のタイムチャートを参照して説明する。但し、ここでは、被検査体１００のマーカーガスとしてヘリウムガスを、クリーニング用のガスとしてＮ₂ガスを使用するものとする。また、図６に示された時間（ＳＥＣ）を表す数値は一例であり、これに限定されない。
【００３０】
なお、図５の動作概念図において、＊注１は、クリーニング時間を表し、クリーニングは分析計７１が漏洩ヘリウムガスを計測しきい値のα％以上検出したとき動作し、漏洩ヘリウムガスを検知したとき（ＮＧ判定したとき）動作する。＊注３は、クリーニング時間の後半の時間、即ち真空容器１が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間を表す。＊注４は、ＮＧ判定した時のＮＧ処理時間とＮＧ多漏れ時の処理時間を表す。＊注２は無い。
【００３１】
真空容器昇降用のエアシリンダ３により真空容器１が上昇して上限に位置し、支持板昇降用のエアシリンダ３５により支持板３０が下降した状態において、コンベヤにより被検査体１００が搬送され、支持板３０上に載せられると、検査（テスト）が開始する。まずエアシリンダ３により真空容器１が下降し、被試験計測台５に接触する。これにより、真空容器１のパッキン７と被試験計測台５のパッキン８が密接し、真空容器１と被試験計測台５により閉鎖空間が形成される。
このとき、大気維持弁４６が開いているので、真空容器１を被試験計測台５に接触させるときに空気抵抗は受けない。
【００３２】
真空容器１の下降が終了すると、粗引弁４２が開き、真空ポンプ４０により真空容器１が真空引きされる。この段階では、まだ大気維持弁４６が開いたままであるが、絞りボール式弁４７により真空容器１の内部は低い真空の状態になる（大気維持時間）。
【００３３】
大気維持時間が終了すると、エアパージ弁５０，５１が開から閉に、サンプリング弁６０，６１も開から閉に切り換わると共に、大気維持弁４６が閉じる。これにより、真空容器１は完全な密閉状態になり、真空容器１が真空引きされる。
また、ストップ弁６３が開き、Ｎ₂パージバイパス弁６５が閉じ、サンプリングポンプ６４がＯＮになる。
【００３４】
これと併行して、押さえ板２０が押さえ板昇降用エアシリンダ２５により下降し、押さえ板２０が被検査体１００の上面を適度の力で押圧し、真空引きによる被検査体１００の膨張が阻止される。この状態で真空引きが続行され、真空容器１の真空圧が真空計３５の測定により所定値に達すると、ガス漏れ検査が開始する。
【００３５】
ガス漏れ検査が開始すると、粗引弁４２が閉じ、真空ポンプ４０に係る真空引き回路が閉止し、サンプリング弁６０，６１が閉から開に変わり、スニファ弁６７が開く。但し、真空ポンプ４０は運転を継続する。この状態のまま、しばらくは計測時間のうちの検出開始時間となる。
【００３６】
検出開始時間が終了した後の計測時間中は、真空容器１内のガス（空気や被検査体１００から漏れたヘリウムガス）は、サンプリング配管２１のガス吸引口２１ａ，２１ｂとサンプリング配管２２のガス吸引口２２ａから吸引され、配管系Ｂを通じて分析計７１に到達する。即ち、ガスは、配管系Ｂにおいて、ストップ弁６３、サンプリングポンプ６４、パージ切換弁６６、スニファ弁６７を順に通過し、スニファユニット７０に達し、更に分析計７１に至る。
【００３７】
被検査体１００からヘリウムガスが外に漏れ出した場合は、分析計７１によりヘリウムガスが検知されるので、リーク有（ガス漏れＮＧ）と判定される。この場合は、ＮＧ処理（＊注１）が行われる。このＮＧ処理は、ヘリウムガスの室内飛散防止と配管系Ｂのクリーニングを目的として、真空容器１の密閉状態で装置内の漏れたヘリウムガスを室外に放出するために行われる。ここでは、Ｎ₂ガスを装置内に取り込み、真空引きによりＮ₂ガスでヘリウムガスを追い出すようにする。なお、ＮＧ処理時間は１０〜２０秒程度である。
【００３８】
つまり、ＮＧ処理を行うときは、粗引弁４２が開、大気開放弁４４が開、大気維持弁４６が開となる。また、ストップ弁６３が閉、Ｎ₂パージバイパス弁６５が開、サンプリングポンプ６４がＯＦＦ、クリーニング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉、スニファ弁６７が閉となる。この状態で、真空ポンプ４０による真空引きが行われると、配管系Ｂから分岐する配管系Ｂ′を通じてＮ₂ガスがＮ₂パージ用ボンベから装置内に導入される。
【００３９】
Ｎ₂ガスは、配管系Ｂ′において、パージ監視用流量計８１、クリーニング弁８０を通過して配管系Ｂに流入し、更に配管系Ｂにおいて、サンプリングポンプ６４、Ｎ₂パージバイパス弁６５を通過し、サンプリング配管２１のガス吸引口２１ａ，２１ｂとサンプリング配管２２のガス吸引口２２ａから真空容器１内に噴射される。真空容器１内に入ったＮ₂ガスは、更に真空容器１内から粗引弁４２を通って真空ポンプ４０により屋外に排出される。このＮ₂ガスが屋外に排出されることで、Ｎ₂ガスにより配管系Ｂ、サンプリング配管２１，２２及び真空容器１内部がクリーニングされ、それらに残留する漏洩ヘリウムガスが屋外に排出される。
【００４０】
ＮＧ処理が終了すると、換言するとヘリウムガスの漏れが検出されない場合は、ＧＯＯＤ判定となり、大気開放と同時にクリーニングが行われる。このクリーニング時には、粗引弁４２が閉、大気開放弁４４が開、大気維持弁４６が開、ストップ弁６３が閉、Ｎ₂パージバイパス弁６５が開、サンプリングポンプ６４がＯＦＦ、クリーニング弁８０が開、パージ切換弁６６が閉となる。
【００４１】
このクリーニングでは、粗引弁４２が閉じ、真空ポンプ４０による真空引きは行われず、大気開放弁４４及び大気維持弁４６が共に開状態であるため、真空容器１は大気開放され、大気圧と平衡する。同時に、Ｎ₂パージ用ボンベからのＮ₂ガスは、ＮＧ処理と同様に配管系Ｂ′から配管系Ｂに流入し、サンプリング配管２１，２２から真空容器１内に入る。このＮ₂ガスによるクリーニングは、上記ＮＧ処理に比べて、真空ポンプ４０による真空引きが行われない点だけが異なる。
【００４２】
クリーニング中に、大気開放時間が終わると、真空容器１がエアシリンダ３により上昇し始める。真空容器１が上限位置に達すると、大気開放弁４４が閉、エアパージ弁５０，５１が開、大気維持弁４６が閉となる。これにより、空気が配管系Ａに導入される。即ち、配管系Ａにおいて、空気は空気圧元減圧調圧弁５６、パージ用減圧調圧弁５５、エアパージ弁５０，５１を順に通過し、パージ配管１０の排出口１０ａとパージ配管１１の排出口１１ａから噴射される。また、押さえ板２０がエアシリンダ２５により上昇する。
【００４３】
真空容器１が上限位置に達してから、パージ切換弁６６が開き、更にその後にクリーニングが終了する。但し、真空容器１が上限に位置してからクリーニングが終了するまでの時間（＊注２）は、真空容器１が上昇してからクリーニング設定時間がタイムアップするまでの時間である。
【００４４】
また、真空容器１が上限位置に達した後、支持板３０上の被検査体１００が搬出されると共に、次の新たな被検査体が搬入され、支持板３０上に載せられる。
そして、前記したリーク検出動作が同様に繰り返される。
【００４５】
このリーク検出装置では、真空ポンプ４０による真空引きを行った後、サンプリングポンプ６４により真空容器１内のガスを引くとき、特にサンプリング配管２１，２２が被検査体１００の周囲に位置するので、被検査体１００からヘリウムガスが漏れている場合、ヘリウムガスは、真空容器１内で拡散することなく直ちにガス吸引口２１ａ，２１ｂ，２２ａから吸引され、配管系Ｂの分析計７１に達する。このため、ヘリウムガス漏れが有った場合に、分析計７１による分析結果が早く出ることになり、応答が早くなり、リーク検査に要する時間が短縮され、リーク検査を効率良く繰り返すことができる。しかも、被検査体１００からのヘリウムガスが薄められずに分析計７１に到達するので、ヘリウムガス漏れの検知感度が向上する。
【００４６】
また、押さえ板２０及び支持板３０が被検査体１００に接触し、押さえ板２０及び支持板３０にガス吸引口２１ｂ，２２ａが有るので、即ちガス吸引口２１ｂ，２２ａが被検査体１００に接するので、ヘリウムガス漏れが有る場合に、ヘリウムガスがより素早く分析計７１まで到達するようになり、応答が一層早くなり、検知感度も更に高まる。
【００４７】
更には、押さえ板２０が昇降可能であるので、ガス吸引口２１ａ，２１ｂも被検査体１００に対して進退可能であり、被検査体１００の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口２１ａ，２１ｂを被検査体１００に近接させることができる。
【００４８】
上記実施形態では、押さえ板２０は被検査体１００の上面（１面）側だけに配置されているが、上面側以外にも配置してもよい。その一例を図９に示す。図９では、被検査体１００の両側面（２面）側にも押さえ板９０が配置されている。
押さえ板９０は、エアシリンダ９５のピストンロッド９５ａの先端部に取付けられ、横方向に移動可能である。勿論、押さえ板９０にもサンプリング配管２１が付設され、そのガス吸引口２１ｂが押さえ板９０から現出している。その他の構成は上記実施形態と同じである。
【００４９】
この場合、被検査体１００（多数個の製品を収納した段ボール箱）において、収納されたどの製品で（段ボール箱内のどの箇所で）ガス漏れが起きても、漏洩ガスが被検査体１００からガス吸引口２１ｂに吸い込まれる時間がより一様になり、各被検査体１００にかかわらず、応答の安定性が更に増し、検知感度が一層安定する。
【００５０】
他方、上記実施形態では、エア配管系Ａと測定配管系Ｂは別系統になっているが、配管系Ｂに切換弁を設け、配管系Ｂを介して空気を送るようにしてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１記載のリーク検出装置によれば、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているので、被検査体からガス漏れがあると、被検査体から出た漏洩ガスが直ちにガス吸引口から吸引され、分析計でガス漏れが検知される。従って、漏洩ガスが真空容器内で拡散せずに分析計に取り込まれるので、ガス漏れが有った場合の応答が早くなり、延いてはリーク検査の時間が短縮される。また、被検査体からの漏洩ガスが薄められずに分析計に到達するので、ガス漏れの検知感度が向上する。
【００５２】
また、サンプリング配管が付設された押さえ板が被検査体に対して進退可能であるので、被検査体の形状や大きさにかかわらず、ガス吸引口を被検査体に近接させることができる。
【００５３】
更に、複数個のガス吸引口を有するサンプリング配管が被検査体に対して進退可能な押さえ板に付設されているため、押さえ板により被検査体の膨張が抑えられて被検査体からガスが出やすくなり、低真空でもガスをよく絞り出すことができる。しかも、ガス漏れが有る場合に被検査体からの漏洩ガスがより素早く分析計まで到達するようになり、応答が一層早くなり、ガス漏れの検知感度も更に高まる。その上、押さえ板により被検査体の外装にダメージを与えなくなる。更にまた、１回毎のリーク検査を効率良く行え、測定時間サイクルを短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図（真空容器及び配管系の一部）である。
【図２】同リーク検出装置の概略構成図（真空容器の一部及び配管系の残部）である。
【図３】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残部）である。
【図４】同リーク検出装置の概略構成図（配管系の残部）である。
【図５】同リーク検出装置の動作概念図（一部）である。
【図６】図５の動作概念図に続く図（残部）である。
【図７】同リーク検出装置の動作のタイムチャート（一部）である。
【図８】図７のタイムチャートに続くチャート（残部）である。
【図９】別実施形態に係るリーク検出装置の概略構成図（真空容器及び配管系の一部）である。
【符号の説明】
１真空容器
３，２５，３５エアシリンダ
５被試験計測台
１０，１１パージ配管
１０ａ，１１ａ排出口
２０，９０押さえ板
２１，２２サンプリング配管
２１ａ，２１ｂガス吸引口
２２ａガス吸引口
３０支持板
４０真空ポンプ（真空手段）
６４サンプリングポンプ（低真空漏洩ガス吸引手段）
７１分析計
１００被検査体
Ａ，Ｂ，Ｂ′ 配管系[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a leak detection device that detects the presence or absence of leaks (gas leaks) occurring in a packaged bag such as a packaging pack, and more specifically, from the outside of a cardboard box (the final product shipping form) containing a large number of products. The present invention relates to a leak detection apparatus that performs a leak inspection on a large number of internal products.
[0002]
[Prior art]
For example, in order to prevent invasion and spoilage of germs in medicines and to prevent changes in composition in medicines, protective products (helium gas and other inert gases) are sealed in the products (barrier bags) containing them. There are many things.
[0003]
Therefore, the package barrier bag is inspected for gas leakage due to pinholes or the like. For example, a vacuum vessel is installed on the upper part of a conveyor that sequentially conveys an object to be inspected (a cardboard box containing a large number of products) so that it can be moved up and down by a vertical movement mechanism. A vacuum valve is connected to the vacuum vessel via a piping system. And the presence or absence of a leak is detected using the apparatus with which the vacuum pump was connected and the analyzer was provided in the piping system.
[0004]
In this device, the object to be inspected is positioned directly under the vacuum container with the vacuum container raised, the vacuum container is lowered and the vacuum container is sealed, and then the vacuum container is evacuated by vacuuming the vacuum container. Then, it is inspected whether the protective gas is leaking from the inspected object, that is, the individual products in the cardboard box.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional apparatus, the gas suction port for sucking the protective gas leaking from the object to be inspected is provided only at a certain location in the vacuum vessel away from the object to be inspected. When there is a leak, it takes time for the leaked gas from the object to reach the analyzer from the gas suction port, and it takes time to obtain the analysis result, resulting in poor response. .
[0006]
In addition, if the gas leak is very small, the leaked gas diffuses in the vacuum container before it is sucked from the gas suction port, so that the concentration of the leaked gas is reduced, thereby causing the gas leak in the analyzer. There is a problem that the sensitivity of detection is lowered and the response time is long.
[0007]
The present invention has been made paying attention to such problems, and an object of the present invention is to provide a leak detection device that realizes quick response (leakage time reduction) and improved gas leak detection sensitivity. .
[0008]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, a leak detection apparatus according to claim 1 of the present invention includes a vacuum container having a gas suction port for sucking a gas leaked from an object to be inspected and allowing the object to be inspected freely. Equipped with a vacuum means for evacuating the vacuum vessel and an analyzer for detecting gas leaks from the object being evacuated in the vacuum vessel, it has multiple outlets and introduces fresh air A purge pipe is disposed along the inner wall of the vacuum vessel, and inside the purge pipe, at least one surface of the object to be inspected can be pressed so as to suppress expansion of the object to be inspected during the evacuation. A holding plate that can be moved back and forth with respect to the test object is disposed, and has a plurality of gas suction ports and a sampling pipe for performing suction and cleaning gas discharge for gas leak inspection. Is attached to the serial holding plate and the vacuum container other than the pressing plate, the analyzer is connected to the sampling pipeWhen a gas leak is detected by the analyzer, a cleaning gas is introduced into the vacuum container and the piping system from the sampling pipe to the front of the analyzer while evacuating the vacuum container by the vacuum means. After cleaning, the vacuum vessel was opened to the atmosphere, and a cleaning gas was introduced into the vacuum vessel through the sampling pipe, and fresh air was introduced into the vacuum vessel through the purge pipe after the opening to the atmosphere.It is characterized by that.
[0009]
  In this device,By pressing the object to be inspected by the holding plate, a plurality of gas suction ports of the sampling pipe are positioned around the object to be inspected.Therefore, when the object to be inspected is placed in the vacuum container and evacuated, if there is a gas leak from the object to be inspected, the leaked gas from the object to be inspected is immediately sucked from the gas suction port, and the analyzer leaks the gas. Is detected. Therefore, since the leaked gas is taken into the analyzer without diffusing in the vacuum vessel, the response when there is a gas leak is quickened, and not only the leak inspection time is shortened, but also the inspection target Gas leakage detection sensitivity is improved because the leaked gas from the body reaches the analyzer without being diluted.
[0010]
  In addition, the holding plate with sampling piping can be moved back and forth with respect to the object to be inspected.Regardless of the shape and size of the object to be inspected, the gas suction port can be brought close to the object to be inspected.
[0011]
  Furthermore, a sampling pipe having a plurality of gas suction ports is attached to a holding plate that can be moved back and forth with respect to the object to be inspected.The expansion of the object to be inspected is suppressed by the holding plate.TheGas can be easily emitted from the object to be inspected, and gas can be squeezed out well even at low vacuum.Moreover,When there is a gas leak, the leaked gas from the object to be inspected reaches the analyzer more quickly, the response becomes faster, and the detection sensitivity of the gas leak is further increased.MoreoverThe press plate prevents damage to the exterior of the object to be inspected.
[0012]
When using a pressure plate, if the pressure plate is placed on the top and side surfaces of the object to be inspected, any product stored in the object to be inspected (a cardboard box containing a large number of products) Even if a gas leak occurs (anywhere in the cardboard box), the time for the leaked gas to be sucked into the gas suction port from the object to be inspected becomes more uniform, and the response is stable regardless of each object to be inspected. Further, the detection sensitivity is further stabilized.
[0013]
  on the other hand,Sampling pipingA low vacuum leak gas suction means for detecting a leak gas separate from the vacuum means is provided in a piping system that communicates with the analyzer, and the object to be inspected is evacuated by the vacuum means in advance.Sampling pipingSeparately from suction by a low vacuum leak gas suction means from a plurality of gas suction ports and detection of gas leak from the object to be inspected by an analyzer, that is, vacuuming by vacuum means, By performing the gas suction for the leak inspection by the low vacuum leak gas suction means, the gas leak inspection can be performed efficiently.
[0014]
  On the other hand, since this type of device repeatedly performs leak inspection, if there is a gas leak, the leaked gas will remain in the vacuum vessel and the piping system from the gas suction port to the analyzer. It becomes easy to receive. Therefore, if a gas leak is detected by the analyzer, a cleaning gas is introduced into the vacuum container and the piping system from the sampling pipe to the front of the analyzer while vacuuming the vacuum container by vacuum means. After that, the vacuum vessel is opened to the atmosphere, and the cleaning gas is introduced into the vacuum vessel through the sampling pipe, and fresh air is introduced into the vacuum vessel through the purge pipe after the opening to the atmosphere.is doing.As a result, each leak inspection can be performed efficiently and the measurement time cycle can be shortened.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments.
[0016]
FIG. 1 (a part of the vacuum vessel and the piping system), FIG. 2 (a part of the vacuum vessel and the remaining part of the piping system), and FIG. 3 (the remaining part of the piping system). And FIG. 4 (the remainder of the piping system).
[0017]
First, in FIG. 1, a vacuum container 1 that allows an object to be inspected (a cardboard box containing a large number of products) 100 to freely enter and exit has an opening at the bottom, and the piston rod 3 a of the air cylinder 3 for raising and lowering the vacuum container. It is attached to the tip and is supported by the air cylinder 3 so as to be movable up and down. Opposite to the vacuum vessel 1, a measurement table 5 to be tested is disposed below the vacuum vessel 1. An annular packing 7 is provided on the lower peripheral end surface of the vacuum vessel 1, and an annular packing 8 is also provided on a corresponding portion of the measuring table 5 to be tested. Therefore, when the vacuum vessel 1 is lowered and comes into contact with the measuring table 5 to be tested, the packings 7 and 8 are brought into close contact with each other, and a sealed space is formed by the vacuum vessel 1 and the measuring table 5 to be tested. However, instead of the packings 7 and 8, an O-ring may be provided only on the lower peripheral end surface of the vacuum vessel 1.
[0018]
Inside the vacuum vessel 1, a purge pipe 10 for introducing fresh air is arranged in an appropriate pattern along the inner wall of the vacuum vessel 1, and the purge pipe 10 has a plurality of discharge ports 10a at regular intervals. Have. Further inside the purge pipe 10, a flat pressing plate 20 for pressing the upper surface of the device under test 100 is arranged in order to suppress the expansion of the device under test 100 during evacuation. The pressing plate 20 is attached to the tip end portions of the piston rods 25 a of the two air cylinders 25 for driving the pressing plates, and can be moved up and down by the air cylinder 25.
[0019]
The holding plate 20 has N for suction and cleaning for leakage inspection of gas (for example, helium gas) sealed in the object 100 to be inspected.₂Sampling pipes 21 for discharging gas are attached vertically and horizontally, and a part thereof extends toward the bottom opening of the vacuum vessel 1. The sampling pipe 21 has a plurality of gas suction ports 21 a and 21 b at a predetermined interval in a portion other than the pressing plate 20 and a portion of the pressing plate 20.
[0020]
In FIG. 1, the holding plate 20 and the sampling pipe 21 are shown apart from each other for convenience, but the sampling pipe 21 portion on the holding plate 20 is actually fixed to the holding plate 20. The fixing relationship between the holding plate 20 and the sampling pipe 21 may be that the sampling pipe 21 is embedded in the holding plate 20 and the gas suction port 21b is exposed from the surface (lower surface) of the holding plate 20, or the holding plate. A sampling pipe 21 may be attached to the lower surface of 20. Further, although the gas suction port 21 b is shown in the press plate 20, this is also for convenience, and the gas suction port 21 b of the sampling pipe 21 actually appears from the press plate 20.
[0021]
On the other hand, the purge pipe 11 having a plurality of discharge ports 11a at regular intervals is also arranged in an appropriate pattern along the upper wall of the measurement table 5 on the measurement table 5 side. On the upper side of the purge pipe 11, a flat plate-like support plate 30 on which the object 100 to be inspected that is sequentially conveyed by a conveyor (not shown) is placed. The support plate 30 is attached to the tip end portions of the piston rods 35 a of the two air cylinders 35 for driving the support plate, and can be moved up and down by the air cylinder 35.
[0022]
Similarly to the pressing plate 20, the support plate 30 is also provided with sampling pipes 22 having a plurality of gas suction ports 22 a at regular intervals vertically and horizontally. Here, the support plate 30 and the sampling pipe 22 are shown apart from each other. However, the sampling pipe 22 is actually fixed to the support plate 30 in the same manner as described above, and the gas suction port 22a extends from the upper surface of the support plate 30. Appear.
[0023]
The purge pipes 10 and 11 are connected to the same pipe system A (air pipe system, see FIGS. 3 and 4), and air purge valves 50 and 51 are provided in the pipe system A, respectively. Sampling pipes 21 and 22 are connected to a piping system B (measurement piping system, see FIGS. 3 and 4), and sampling valves 60 and 61 are provided in the piping system B, respectively. . A vacuum gauge 35 for measuring the vacuum pressure inside the vacuum vessel 1 is also provided.
[0024]
In FIG. 2, a vacuum pump (vacuum means) 40 for evacuating the inside of the vacuum vessel 1 is provided. The vacuum pump 40 includes a vacuum gauge 41 for measuring the vacuum pressure of the vacuum source of the vacuum pump 40, It is connected to the inside of the vacuum vessel 1 through a pulling valve (vacuum valve) 42. Further, the vacuum vessel 1 communicates with the outside (outdoors) via an atmosphere release valve (leak valve) 44, and via an atmosphere maintenance valve (purge holding valve) 46 and an atmosphere maintenance pressure adjusting throttle ball valve 47. Even communicates outdoors.
[0025]
3 and 4, the air cylinder 3 for raising and lowering the vacuum vessel 1 is connected to an air cylinder driving pilot valve 53, and the air cylinder driving pilot valve 53 is connected to a piping system A to which purge pipes 10 and 11 are connected. ing. The piping system A is provided with a pressure gauge 54 for measuring a purge pressure, a purge pressure reducing pressure adjusting valve 55, and a pneumatic pressure reducing pressure adjusting valve 56, and air pressure is supplied from an external device (not shown). The piping system A is provided with a pneumatic purge monitoring flow meter 57.
[0026]
On the other hand, in the piping system B to which the sampling pipes 21 and 22 are connected, a stop valve 63 and a sampling pump (low vacuum leak gas suction means for detecting leak gas) 64 are connected in series, and N is connected in parallel therewith.₂A purge bypass valve 65 is connected. Further, in the piping system B, through the purge switching valve 66 and the sniffer valve 67, a sniffer unit (comprising a sniffer and a pump) 70 for sucking in leaked helium gas and the presence or absence of helium gas are detected. An analyzer (He leak detector) 71 is provided.
[0027]
In addition, an air suction flow rate adjusting throttle valve 68 is provided between the purge switching valve 66 and the sniffer valve 67 as a sniffer. The sniffer unit 70 is connected to the outside via a sampling confirmation flow meter 73.
[0028]
N between the stop valve 63 and the sampling pump 64₂A piping system B ′ for gas purge branches, and the piping system B ′ includes a cleaning valve 80, a purge monitoring flow meter 81, N₂Via a pressure gauge 82 that measures the gas purge pressure, N₂A gas purge cylinder (not shown) is connected.
[0029]
Next, the operation of the leak detection apparatus configured as described above will be described with reference to the operation concept diagrams of FIGS. 5 and 6 and the time charts of FIGS. 7 and 8. However, here, helium gas is used as the marker gas for the object 100 and N is used as the cleaning gas.₂Gas shall be used. Moreover, the numerical value showing the time (SEC) shown in FIG. 6 is an example, and is not limited to this.
[0030]
In the operation conceptual diagram of FIG. 5, * Note 1 represents the cleaning time, and cleaning is performed when the analyzer 71 detects leaking helium gas at α% or more of the measurement threshold value, and leaking helium gas is detected. When (when judged NG). * Note 3 represents the second half of the cleaning time, that is, the time from when the vacuum vessel 1 is raised until the cleaning set time is up. * Note 4 represents the NG processing time when an NG judgment is made and the processing time when there are many NG leaks. * Note 2 is not available.
[0031]
In a state where the vacuum vessel 1 is raised and positioned at the upper limit by the air cylinder 3 for raising and lowering the vacuum vessel, and the support plate 30 is lowered by the air cylinder 35 for raising and lowering the support plate, the object to be inspected 100 is conveyed and supported by the conveyor. When placed on the plate 30, an inspection (test) is started. First, the vacuum vessel 1 is lowered by the air cylinder 3 and comes into contact with the measurement table 5 to be tested. As a result, the packing 7 of the vacuum container 1 and the packing 8 of the measurement target table 5 are in close contact with each other, and a closed space is formed by the vacuum container 1 and the measurement target table 5.
At this time, since the air maintenance valve 46 is open, no air resistance is received when the vacuum vessel 1 is brought into contact with the measurement base 5.
[0032]
When the lowering of the vacuum vessel 1 is completed, the roughing valve 42 is opened, and the vacuum vessel 1 is evacuated by the vacuum pump 40. At this stage, the atmosphere maintaining valve 46 is still open, but the inside of the vacuum vessel 1 is brought into a low vacuum state by the throttle ball valve 47 (atmosphere maintaining time).
[0033]
When the atmospheric maintenance time ends, the air purge valves 50 and 51 are switched from open to closed, the sampling valves 60 and 61 are switched from open to closed, and the atmospheric maintenance valve 46 is closed. As a result, the vacuum container 1 is completely sealed and the vacuum container 1 is evacuated.
In addition, the stop valve 63 opens and N₂The purge bypass valve 65 is closed and the sampling pump 64 is turned on.
[0034]
At the same time, the presser plate 20 is lowered by the presser plate raising / lowering air cylinder 25, and the presser plate 20 presses the upper surface of the device under test 100 with an appropriate force, thereby preventing the device under test 100 from expanding due to evacuation. Is done. In this state, evacuation is continued, and when the vacuum pressure in the vacuum vessel 1 reaches a predetermined value as measured by the vacuum gauge 35, a gas leak inspection is started.
[0035]
When the gas leak inspection starts, the roughing valve 42 is closed, the vacuuming circuit related to the vacuum pump 40 is closed, the sampling valves 60 and 61 are changed from closed to open, and the sniffer valve 67 is opened. However, the vacuum pump 40 continues to operate. In this state, the detection start time is included in the measurement time for a while.
[0036]
During the measurement time after the detection start time ends, the gas in the vacuum vessel 1 (air or helium gas leaked from the object 100) is gas in the gas suction ports 21a and 21b of the sampling pipe 21 and the sampling pipe 22. The air is sucked from the suction port 22a and reaches the analyzer 71 through the piping system B. That is, in the piping system B, the gas sequentially passes through the stop valve 63, the sampling pump 64, the purge switching valve 66, and the sniffer valve 67, reaches the sniffer unit 70, and further reaches the analyzer 71.
[0037]
When helium gas leaks out of the inspection object 100, the helium gas is detected by the analyzer 71, so it is determined that there is a leak (gas leak NG). In this case, NG processing (* Note 1) is performed. This NG treatment is performed to discharge the helium gas leaking in the apparatus to the outside in the sealed state of the vacuum vessel 1 for the purpose of preventing the helium gas from scattering indoors and cleaning the piping system B. Here, N₂Gas is taken into the device, and N₂Try to expel helium gas with gas. The NG processing time is about 10 to 20 seconds.
[0038]
That is, when performing the NG process, the roughing valve 42 is opened, the atmosphere release valve 44 is opened, and the atmosphere maintenance valve 46 is opened. Also, stop valve 63 is closed, N₂The purge bypass valve 65 is opened, the sampling pump 64 is turned off, the cleaning valve 80 is opened, the purge switching valve 66 is closed, and the sniffer valve 67 is closed. In this state, when evacuation is performed by the vacuum pump 40, N is passed through the piping system B 'branched from the piping system B.₂Gas is N₂It is introduced into the apparatus from a purge cylinder.
[0039]
N₂In the piping system B ′, the gas passes through the purge monitoring flow meter 81 and the cleaning valve 80 and flows into the piping system B, and further in the piping system B, the sampling pump 64, N₂The gas passes through the purge bypass valve 65 and is injected into the vacuum vessel 1 from the gas suction ports 21 a and 21 b of the sampling pipe 21 and the gas suction port 22 a of the sampling pipe 22. N in vacuum vessel 1₂The gas is further discharged from the vacuum vessel 1 through the roughing valve 42 to the outside by the vacuum pump 40. This N₂As the gas is discharged outdoors, N₂The piping system B, sampling pipes 21 and 22, and the inside of the vacuum vessel 1 are cleaned by the gas, and leaked helium gas remaining in them is discharged to the outdoors.
[0040]
When the NG process ends, in other words, when no helium gas leak is detected, a GOOD determination is made, and cleaning is performed simultaneously with the release to the atmosphere. During this cleaning, the roughing valve 42 is closed, the air release valve 44 is opened, the air maintenance valve 46 is opened, the stop valve 63 is closed, N₂The purge bypass valve 65 is opened, the sampling pump 64 is turned off, the cleaning valve 80 is opened, and the purge switching valve 66 is closed.
[0041]
In this cleaning, the roughing valve 42 is closed, the vacuum pump 40 is not evacuated, and the atmosphere release valve 44 and the atmosphere maintenance valve 46 are both open, so that the vacuum vessel 1 is opened to the atmosphere and balanced with atmospheric pressure. To do. At the same time, N₂N from purge cylinder₂The gas flows into the piping system B from the piping system B ′ and enters the vacuum vessel 1 through the sampling pipings 21 and 22 as in the case of the NG treatment. This N₂The cleaning with gas is different from the above NG processing only in that evacuation by the vacuum pump 40 is not performed.
[0042]
During the cleaning, when the air release time ends, the vacuum container 1 starts to rise by the air cylinder 3. When the vacuum container 1 reaches the upper limit position, the atmosphere release valve 44 is closed, the air purge valves 50 and 51 are opened, and the atmosphere maintenance valve 46 is closed. Thereby, air is introduced into the piping system A. That is, in the piping system A, air sequentially passes through the air pressure source pressure reducing valve 56, the purge pressure reducing pressure adjusting valve 55, and the air purge valves 50 and 51, and is injected from the outlet 10a of the purge pipe 10 and the outlet 11a of the purge pipe 11. Is done. Further, the holding plate 20 is raised by the air cylinder 25.
[0043]
After the vacuum vessel 1 reaches the upper limit position, the purge switching valve 66 is opened, and then the cleaning is finished. However, the time from when the vacuum vessel 1 is positioned at the upper limit to the end of cleaning (* Note 2) is the time from when the vacuum vessel 1 is moved up until the cleaning set time is up.
[0044]
In addition, after the vacuum container 1 reaches the upper limit position, the inspection object 100 on the support plate 30 is unloaded, and the next new inspection object is loaded and placed on the support plate 30.
The leak detection operation described above is repeated in the same manner.
[0045]
In this leak detection device, when the gas in the vacuum vessel 1 is drawn by the sampling pump 64 after the vacuum pump 40 is evacuated, the sampling pipes 21 and 22 are located around the object 100 to be inspected. When helium gas leaks from the test object 100, the helium gas is immediately sucked from the gas suction ports 21a, 21b, and 22a without diffusing in the vacuum vessel 1, and reaches the analyzer 71 of the piping system B. For this reason, when helium gas leaks, the analysis result by the analyzer 71 is obtained quickly, the response is quick, the time required for the leak test is shortened, and the leak test can be repeated efficiently. In addition, since the helium gas from the inspected object 100 reaches the analyzer 71 without being diluted, the detection sensitivity of the helium gas leak is improved.
[0046]
Further, since the presser plate 20 and the support plate 30 are in contact with the device under test 100 and the presser plate 20 and the support plate 30 have the gas suction ports 21b and 22a, that is, the gas suction ports 21b and 22a are in contact with the device under test 100. Therefore, when there is a helium gas leak, the helium gas reaches the analyzer 71 more quickly, the response becomes faster, and the detection sensitivity is further increased.
[0047]
Furthermore, since the holding plate 20 can be moved up and down, the gas suction ports 21a and 21b can be moved back and forth with respect to the device under test 100, and the gas suction ports 21a and 21a, 21b can be brought close to the device under test 100.
[0048]
In the embodiment described above, the pressing plate 20 is disposed only on the upper surface (one surface) side of the device 100 to be inspected. An example is shown in FIG. In FIG. 9, the pressing plates 90 are also arranged on both side surfaces (two surfaces) of the device under test 100.
The holding plate 90 is attached to the tip of the piston rod 95a of the air cylinder 95 and is movable in the lateral direction. Of course, the holding plate 90 is also provided with the sampling pipe 21, and the gas suction port 21 b appears from the press plate 90. Other configurations are the same as those in the above embodiment.
[0049]
In this case, in the inspected object 100 (corrugated cardboard box in which a large number of products are stored), no matter which product is stored (anywhere in the cardboard box), gas leaks from the inspected object 100. The time taken into the gas suction port 21b becomes more uniform, and the stability of the response is further increased and the detection sensitivity is further stabilized regardless of each inspection object 100.
[0050]
On the other hand, in the above-described embodiment, the air piping system A and the measurement piping system B are separate systems, but a switching valve may be provided in the piping system B so that air is sent through the piping system B.
[0051]
【The invention's effect】
  As explained above, according to the leak detection device of claim 1 of the present invention,A sampling pipe having a plurality of gas suction ports is attached to a holding plate that can be moved back and forth with respect to the object to be inspected.Therefore, if there is a gas leak from the object to be inspected, the leaked gas from the object to be inspected is immediately sucked from the gas suction port, and the gas leak is detected by the analyzer. Accordingly, since the leaked gas is taken into the analyzer without diffusing in the vacuum vessel, the response when there is a gas leak is accelerated, and the leak inspection time is shortened. Moreover, since the leaked gas from the object to be inspected reaches the analyzer without being diluted, the gas leak detection sensitivity is improved.
[0052]
  In addition, the holding plate with sampling piping can be moved back and forth with respect to the object to be inspected.Regardless of the shape and size of the object to be inspected, the gas suction port can be brought close to the object to be inspected.
[0053]
  Furthermore, since a sampling pipe having a plurality of gas suction ports is attached to a holding plate that can be moved back and forth with respect to the object to be inspected, expansion of the object to be inspected is suppressed by the holding plate and gas is discharged from the object to be inspected. It becomes easy and can squeeze out gas well even in a low vacuum. In addition, when there is a gas leak, the leaked gas from the object to be inspected reaches the analyzer more quickly, the response becomes faster, and the detection sensitivity of the gas leak is further enhanced. In addition, the pressing plate does not damage the exterior of the object to be inspected.Furthermore, each leak inspection can be performed efficiently and the measurement time cycle can be shortened.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram (a part of a vacuum vessel and a piping system) of a leak detection apparatus according to an embodiment.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of the leak detection device (a part of the vacuum vessel and the remaining part of the piping system).
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the leak detection apparatus (remaining part of the piping system).
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the leak detection device (remaining part of the piping system).
FIG. 5 is an operation conceptual diagram (part) of the leak detection apparatus;
6 is a diagram (remaining part) following the conceptual diagram of operation in FIG. 5;
FIG. 7 is a time chart (partial) of the operation of the leak detection apparatus.
FIG. 8 is a chart (remainder) following the time chart of FIG. 7;
FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a leak detection apparatus according to another embodiment (a part of a vacuum vessel and a piping system).
[Explanation of symbols]
1 Vacuum container
3, 25, 35 Air cylinder
5 Test table under test
10, 11 Purge piping
10a, 11a outlet
20, 90 holding plate
21, 22 Sampling piping
21a, 21b Gas suction port
22a Gas suction port
30 Support plate
40 Vacuum pump (vacuum means)
64 Sampling pump (low vacuum leakage gas suction means)
71 analyzer
100 Inspected object
A, B, B 'Piping system

Claims

A vacuum container having a gas suction port for sucking gas leaked from the object to be inspected and allowing the object to be inspected freely, a vacuum means for evacuating the vacuum container, and an object to be inspected that is evacuated in the vacuum container In a leak detection apparatus equipped with an analyzer for detecting gas leakage from
A purge pipe having a plurality of discharge ports and introducing fresh air is disposed along the inner wall of the vacuum vessel,
Inside this purge pipe, a pressing plate that can be advanced and retracted with respect to the object to be inspected is arranged so that at least one surface of the object to be inspected can be pressed in order to suppress the expansion of the object to be inspected during the evacuation.
A sampling pipe having a plurality of the gas suction ports and performing suction for the gas leak inspection and discharge of the cleaning gas is attached in the vacuum vessel other than the pressure plate and the pressure plate,
The analyzer is connected to the sampling pipe ;
If gas leak is detected by the analyzer, clean by introducing a cleaning gas into the vacuum container and the piping system from the sampling pipe to the front of the analyzer while evacuating the vacuum container by the vacuum means. After that, the vacuum container is opened to the atmosphere, and a cleaning gas is introduced into the vacuum container through the sampling pipe, and fresh air is introduced into the vacuum container through the purge pipe after the opening to the atmosphere. Leak detection device.