JP5826126B2 - Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object - Google Patents
Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object Download PDFInfo
- Publication number
- JP5826126B2 JP5826126B2 JP2012148810A JP2012148810A JP5826126B2 JP 5826126 B2 JP5826126 B2 JP 5826126B2 JP 2012148810 A JP2012148810 A JP 2012148810A JP 2012148810 A JP2012148810 A JP 2012148810A JP 5826126 B2 JP5826126 B2 JP 5826126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- inspection
- gas
- airtightness
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 210
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 167
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 55
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 42
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 24
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 23
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 132
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 11
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 9
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000013101 initial test Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 229910052987 metal hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 nickel metal hydride Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
本発明は、検査対象物から該検査対象物に封入されている内容物が漏出していることを検知することにより、検査対象物の気密性を検査する気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法に関する。 The present invention relates to an airtightness inspection apparatus for inspecting the airtightness of an inspection object by detecting that the contents enclosed in the inspection object are leaking from the inspection object, and the airtightness of the inspection object The present invention relates to a method for inspecting sex.
従来から、リチウムイオン電池の製造工程において、その気密性が充分に保たれていることを確認する気密性検査が実施されている。通常、リチウムイオン電池は、有機電解液などの電解質が密封された密封容器を備えている。ピンホールなどの不良がこの密封容器にあると、密封容器の気密性は不足する。そして、この密封容器の内部に封入された電解液が漏れ出す可能性が高まる。 Conventionally, in a manufacturing process of a lithium ion battery, an airtightness check for confirming that the airtightness is sufficiently maintained has been performed. In general, a lithium ion battery includes a sealed container in which an electrolyte such as an organic electrolyte is sealed. If there are defects such as pinholes in this sealed container, the hermeticity of the sealed container is insufficient. And possibility that the electrolyte solution enclosed inside this sealed container will leak increases.
特許文献１には、この気密性検査を実施するための気密性検査装置が開示されている。この気密性検査装置は、電池を内部に収容可能な密閉容器と、該密閉容器に接続される真空排気管とを備える。検査対象物が密閉容器に収容され、真空排気管が密閉容器の内部のガスを排気し、その排気されたガスを検査することにより、その検査対象物の気密性が検査される。
この検査対象物が製造ライン方式により自動で生産される場合、気密性検査もこの製造ラインに組み込まれて自動で実施されることが望ましい。しかし、特許文献１に記載された気密性検査装置では、製造ライン方式に対応していない。
When the inspection object is automatically produced by the production line method, it is desirable that the airtightness inspection is also automatically performed by being incorporated in the production line. However, the airtightness inspection apparatus described in
本発明は、かかる事情に鑑み、製造ラインに組み込むことができ且つ自動で検査対象物を検査できる気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法を提供することを課題とする。 This invention makes it a subject to provide the method of inspecting the airtightness of the airtightness testing apparatus which can be integrated in a manufacturing line and can test | inspect a test object automatically, and the test target object in view of this situation.
本発明に係る気密性検査装置は、ガス雰囲気中で気密性検査の対象となる検査対象物を外部から閉塞された状態で格納する格納部と、前記格納部を閉塞した際に前記検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスであって、前記検査対象物から漏出した漏出物が含まれる残留ガスを収容可能に構成され、該残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出部と、前記格納部から前記検出部に前記残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部とを備える気密性検査装置であって、前記格納部は、前記検査対象物を格納する格納容器と、該格納容器の内部に前記検査対象物を格納するために前記格納容器に開けられた開口と、一検査ごとに前記検査対象物を前記開口から前記格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部とを備え、前記検出部は、前記吸引部によって前記格納部から吸引された残留ガスを収容する複数のガス収容部と、前記複数のガス収容部のそれぞれに接続された複数の配管であって、それぞれが前記格納部に対して接続可能に構成され且つ接続された格納部からガス収容部に前記残留ガスを流通させる複数の配管と、各配管に設けられるとともに前記ガス収容部内に配置される複数のガス検知部であって、前記配管を流通する残留ガスに含まれる漏出物を検出する複数のガス検知部とを備え、前記検査をするにあたって前記吸引部によって前記格納部から吸引された前記残留ガスを収容させる前記ガス収容部が前記複数のガス収容部の中から少なくとも一つ選択され、前記格納部に接続される配管が該選択されたガス収容部に接続される配管に切り替えられることによって、一検査ごとに先の検査で使用されたガス収容部から別のガス収容部に変更可能に構成されていることを特徴とする。 An airtightness inspection apparatus according to the present invention includes a storage unit that stores an inspection target to be subjected to an airtightness inspection in a gas atmosphere in a state of being closed from the outside, and the inspection target when the storage unit is closed. And a detection unit configured to be able to accommodate residual gas that is residual gas remaining in the storage unit and includes leaked material leaked from the inspection object, and that detects the leaked material contained in the residual gas; An airtightness inspection apparatus comprising a suction part that repeatedly sucks the residual gas from the storage part to the detection part for each inspection, wherein the storage part stores the inspection object; and An opening opened in the storage container for storing the inspection object inside the storage container, and the inspection object is stored in the storage container through the opening for each inspection, and the storage container is closed. And a blocking portion that Serial detection unit includes a plurality of gas storage portion for storing residual gas sucked from the storage unit by the suction unit, a plurality of pipes connected to each of the prior SL plurality of gas receiving part, respectively A plurality of pipes configured to be connectable to the storage unit and flowing the residual gas from the connected storage unit to the gas storage unit, and a plurality of gases provided in each pipe and disposed in the gas storage unit A plurality of gas detectors for detecting leakage contained in the residual gas flowing through the pipe, and the residual gas sucked from the storage portion by the suction portion when performing the inspection. the gas storage portion for accommodating at least one selected from the plurality of gas receiving part, switch to piping pipe connected to the storage unit is connected to the selected gas receiving part By being, characterized in that it is configured to be changed from the gas storage unit used in the previous test per one examination to another gas receiving part.
かかる構成によれば、格納部は、検査対象物の気密性検査を行うに当たり格納容器の開口を閉塞部によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納することができる。そして、格納容器の内部の残留ガスが吸引部によって検出部に吸引され、検出部が自動で漏出物を検出し、検査対象物の気密性が検査される。 According to such a configuration, the storage unit closes the opening of the storage container with the closing part when performing the airtightness inspection of the inspection object, and at the same time, removes the inspection object received from the production line from the opening of the storage container. Can be stored. Then, the residual gas inside the storage container is sucked into the detection unit by the suction unit, and the detection unit automatically detects the leaked substance, and the airtightness of the inspection object is inspected.
本発明に係る気密性検査装置は、ガス雰囲気中で気密性検査の対象となる検査対象物を外部から閉塞された状態で格納する格納部であって、検査対象物を格納する格納容器と、該格納容器の内部に検査対象物を格納するために格納容器に開けられた開口と、一検査ごとに検査対象物を開口から格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部とを有する格納部と、格納部を閉塞した際に検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスであって、検査対象物から漏出した漏出物が含まれる残留ガスを収容可能に構成され、該残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出部と、格納部から検出部に残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部と、検査対象物を保持して閉塞部に搬送する搬送部とを備え、閉塞部は、検査対象物との間に隙間が開くように検査対象物を支持する１又は複数の支持部を備え、開口が閉塞された状態にする閉塞位置と、開口が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置とに位置変更可能に設けられ、搬送部は、閉塞部が閉塞解除位置にあるときに、検査対象物を受け取る受取位置と検査対象物を閉塞部に設置する設置位置との間を移動する第１の搬送部と、閉塞部が閉塞解除位置にあるときに、検査対象物を閉塞部から取り外す取外位置と検査対象物を引き渡す引渡位置との間を移動する第２の搬送部と、第１の搬送部が受取位置にあるときに第２の搬送部が取外位置にあり、第１の搬送部が設置位置にあるときに第２の搬送部が引渡位置にあるように第１の搬送部及び第２の搬送部を保持する保持部とを備えることを特徴とする。 An airtightness inspection apparatus according to the present invention is a storage unit that stores an inspection object to be subjected to an airtightness inspection in a gas atmosphere in a state of being closed from the outside, and a storage container for storing the inspection object; An opening opened in the storage container for storing the inspection object inside the storage container, and a closing portion for storing the inspection object from the opening into the storage container for each inspection and closing the storage container And a residual gas that remains inside the storage unit together with the inspection target when the storage unit is closed, and is configured to be able to store residual gas that leaks from the inspection target. , A detection unit for detecting leakage contained in the residual gas, a suction unit for repeatedly sucking residual gas from the storage unit to the detection unit for each inspection, and a transport unit for holding the inspection object and transporting it to the closing unit with the door, the closure unit, the test object To include one or more support portions for supporting the test object to open a gap, and a closed position to a state in which the opening is closed, the opening is repositionable in the unblocking position for releasing the state of being closed A first conveyance unit that moves between a receiving position for receiving the inspection object and an installation position for installing the inspection object in the obstruction portion when the obstruction portion is in the obstruction release position; A second transport unit that moves between a removal position for removing the inspection object from the closure unit and a delivery position for delivering the inspection object when the closing unit is at the closing release position; and a first transport unit, The second transport unit is in the removal position when in the receiving position, and the second transport unit and the second transport unit are in the delivery position when the first transport unit is in the installation position. characterized in that it comprises a holding portion for holding a transport unit.
かかる構成によれば、格納部は、検査対象物の気密性検査を行うに当たり格納容器の開口を閉塞部によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納することができる。そして、格納容器の内部の残留ガスが吸引部によって検出部に吸引され、検出部が自動で漏出物を検出し、検査対象物の気密性が検査される。
更に、先の検査で検査し終えた検査対象物を閉塞部から取り外す工程と、続けて検査を行う検査対象物を閉塞部に設置する工程とを同時に行うことができ、格納容器に検査対象物を搬出入する時間を短縮することができる。
本発明によれば、開口は、検査対象物が格納容器の下側から格納容器の内部に格納されるように格納容器の下部に設けられ、閉塞部は、格納容器の下側に配置され、開口に向かって上昇することが好ましい。
かかる構成によれば、格納部は、格納容器の下側から閉塞部を上昇させることによって
格納容器の開口を閉塞する。格納部は、同時に、検査対象物を格納容器の開口から閉塞部
によって格納容器に格納することができる。
According to such a configuration, the storage unit closes the opening of the storage container with the closing part when performing the airtightness inspection of the inspection object, and at the same time, removes the inspection object received from the production line from the opening of the storage container. Can be stored. Then, the residual gas inside the storage container is sucked into the detection unit by the suction unit, and the detection unit automatically detects the leaked substance, and the airtightness of the inspection object is inspected.
Furthermore, the process of removing the inspection object that has been inspected in the previous inspection from the closed part and the process of subsequently installing the inspection object to be inspected in the closed part can be performed simultaneously. Time to carry in / out can be shortened.
According to the present invention, the opening is provided in the lower part of the storage container so that the inspection object is stored in the storage container from the lower side of the storage container, and the closing part is disposed on the lower side of the storage container, It is preferable to rise toward the opening.
According to such a configuration, the storage unit raises the closed part from the lower side of the storage container.
Close the containment opening. At the same time, the containment unit removes the inspection object from the opening of the containment vessel.
Can be stored in a storage container.
本発明に係る検査対象物の気密性を検査する方法は、前述の気密性検査装置を用いて、検査対象物から該検査対象物に封入されている内容物が漏出していることを検知することにより、該検査対象物の気密性を検査する方法であって、格納部に検査対象物が設置され、開口を閉塞部によって閉塞することと、ガス検知部によって残留ガスに含まれる漏出物を検知することにより、検査対象物の気密性を検査することとを備えることを特徴とする。 The method for inspecting the airtightness of an inspection object according to the present invention detects that the content enclosed in the inspection object is leaking from the inspection object using the above-described airtightness inspection apparatus. by a method for inspecting the airtightness of the test object, is installed inspection object in the storage unit, and be closed by the closing portion of the opening, spillage contained in the residual gas by the gas sensing portion And detecting the airtightness of the inspection object by detecting.
かかる構成によれば、格納部は、検査対象物の気密性検査を行うに当たり格納容器の開口を閉塞部によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った検査対象物を格納容器の開口から閉塞部によって格納することができる。そして、格納容器の内部の残留ガスが吸引部によって検出部に吸引され、検出部が漏出物を検出し、検査対象物の気密性が検査される。 According to such a configuration, the storage unit closes the opening of the storage container with the closing part when performing the airtightness inspection of the inspection object, and at the same time, removes the inspection object received from the production line from the opening of the storage container. Can be stored. Then, the residual gas inside the containment vessel is sucked into the detection unit by the suction unit, the detection unit detects the leaked substance, and the airtightness of the inspection object is inspected.
以上の如く、本発明に係る気密性検査装置及び検査対象物の気密性を検査する方法によれば、製造ラインに組み込むことができ且つ自動で検査対象物を検査できるという優れた効果を奏する。 As described above, according to the airtightness inspection apparatus and the method for inspecting the airtightness of the inspection object according to the present invention, there is an excellent effect that it can be incorporated into a production line and the inspection object can be automatically inspected.
本発明の一実施形態に係る気密性検査装置について、図面を参照しつつ説明する。まず、同実施形態に係る気密性検査装置の構成について説明する。 An airtightness inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the configuration of the airtightness inspection apparatus according to the embodiment will be described.
同実施形態に係る気密性検査装置１は、検査対象物に封入された内容物の漏出を検知することによりその検査対象物の気密性を検査する検査装置である。本実施形態では、検査対象物をリチウムイオン電池とする例を説明する。リチウムイオン電池には、正極や負極などと共に、希硫酸などの水溶液やアルコール系の有機電解液などの電解液（電解質）が密封容器に封入される。この密封容器にピンホールや亀裂などの不良箇所があると、この電解液がこの不良箇所から漏出する。そこで、この気密性検査装置は、この密封容器の不良箇所から電解液をガス状にして漏出させ、この電解液が検出されるか否かによって密封容器の気密性の良否を判断する。なお、このガス状の電解液は、本発明の「漏出物」に相当する。
The
気密性検査装置１は、図１に示すように、リチウムイオン電池（以下、単に「電池」と略する）Ｂを搬送する搬送装置（コンベア）Ｃの搬送ライン上に設けられる。具体的には、気密性検査装置１は、検査前の電池Ｂを搬送する第１のコンベアＣ１と、気密性検査装置１で検査し終えた電池Ｂを出荷場所に搬送する第２のコンベアＣ２との間に位置する。第１のコンベアＣ１は、ローラコンベアである。第２のコンベアＣ２は、ベルトコンベアである。
As shown in FIG. 1, the
気密性検査装置１は、図２〜図９に示すように、気密性検査を実施する検査装置本体２と、該検査装置本体２に電池Ｂを搬出入する搬出入装置３と、検査装置本体２と搬出入装置３とを一体に格納する筐体４（図１参照）とを備える。
As shown in FIGS. 2 to 9, the
検査装置本体２は、図３に示すように、ガス雰囲気中で電池Ｂを外部から閉塞された状態で格納する格納部５と、該格納部５を閉塞した際に電池Ｂと共に格納部５の内部に残留する残留ガスを収容して、該残留ガスに含まれ得るガス化した電解液を検出する検出部６と、格納部５から検出部６に残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部７（図１参照）と、気密性検査を行うべく各部を制御する検査制御部８（図１０参照）とを備える。
As shown in FIG. 3, the inspection apparatus
格納部５は、図３〜図６及び図８に示すように、電池Ｂを格納する格納容器５０と、該格納容器５０の内部に電池Ｂを格納するために格納容器５０に開けられた開口５１と、一検査ごとに電池Ｂを開口５１から格納容器５０の内部に格納して該格納容器５０を閉塞する閉塞部５２と、開口５１を閉塞した際に格納容器５０の内部に残留される残留ガスを格納容器５０から検出部６に吸引するための吸引口５３と、格納容器５０の内部に電池Ｂが格納された際に該電池Ｂの上面が押し付けられる押付部材５４と、減圧された格納容器５０を大気開放する大気開放弁５５と、格納容器５０の内部の圧力を計測する圧力計５６とを備える。
As shown in FIGS. 3 to 6 and 8, the
格納容器５０は、その内部に電池Ｂを格納可能な空間を有する。格納容器５０は、外部と隔絶可能な密閉構造を有する。そのため、格納容器５０の残留ガスを外部に吸引すると、その内部は、減圧雰囲気又は真空となる。
The
開口５１は、電池Ｂが格納容器５０の下側から搬入されるように格納容器５０の下部に設けられる。具体的には、開口５１は、格納容器５０の下面（底面）全面に開けられている。
The
閉塞部５２は、図４及び５に示すように、開口５１を塞ぐ板状の蓋５２ａと、該蓋５２ａを上下方向に支持する支持部５２ｂと、蓋５２ａを上下方向に案内する案内部５２ｃと、支持部５２ｂを介して、蓋５２ａを上下方向に駆動する駆動部５２ｄとを備える。
As shown in FIGS. 4 and 5, the closing
蓋５２ａは、格納容器５０の下端部に押し当てて開口５１を閉塞させる蓋本体５２ｅと、電池Ｂとの間に隙間が開くように電池Ｂを支持する１又は複数の支持部５２ｆとを備える。蓋５２ａと格納容器５０との接合面には、更に密封装置が設けられてもよい。
The
支持部５２ｂは、閉塞部５２の下面の略中央部に設けられる。支持部５２ｂは、蓋本体５２ｅを支持する軸部５２ｇと、該軸部５２ｇを蓋本体５２ｅに連結する連結部５２ｈとを備える。軸部５２ｇは、駆動部５２ｄに接続されて軸芯方向に可動する。連結部５２ｈは、軸部５２ｇの先端に結合される軸端部５２ｉと、該軸端部５２ｉを当接させる当接面５２ｊと、軸端部５２ｉを覆う被覆部５２ｋとを備える。
The
軸端部５２ｉは、当接面５２ｊを１点で接触させるために先端側を球面形状に形成されている。軸端部５２ｉの基端側は、凸形状に形成されている。その凸部の先端には、軸部５２ｇの先端が連結される。当接面５２ｊは、略平面状に形成されている。被覆部５２ｋは、軸端部５２ｉの基端及び側面との間に隙間が開くように軸端部５２ｉを被覆する。また、被覆部５２ｋと軸端部５２ｉの基端側の凸部との間にも隙間が設けられている。被覆部５２ｋは、閉塞部５２側に固定され、閉塞部５２と共に可動する。そして、被覆部５２ｋのこれらの隙間は、閉塞部５２が傾斜する際に軸端部５２ｉに対して被覆部５２ｋが移動する範囲を制限する。被覆部５２ｋと軸端部５２ｉの基端及び側部が接触するまで、被覆部５２ｋは、軸端部５２ｉに対して移動することを許容されており、つまり、蓋本体５２ｅは、軸端部５２ｉに対して傾斜することを許容されている。
The shaft end portion 52i is formed in a spherical shape on the tip end side so that the
案内部５２ｃは、支持部５２ｂが軸部５２ｇに対して閉塞部５２を傾斜可能に設けられているため、閉塞部５２が所定範囲の角度を超えて傾いた状態で上下動しないように蓋５２ａの水平方向の所定範囲で移動を規制し、上下方向の移動を許容する。
Since the
駆動部５２ｄは、計装用空気でピストンを往復動させるエアシリンダであり、そのピストンの往復方向にロッドを移動させる。そのロッドの先端には、軸部５２ｇが接続される。なお、駆動部５２ｄには、エアシリンダ以外にも油圧シリンダや電動シリンダなどが採用されてもよい。
The
なお、閉塞部５２の位置には、図１５〜図１９に示すように、開口５１が閉塞された状態にする閉塞位置ＬＡ１と、開口５１が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置ＬＡ２とがある。閉塞解除位置ＬＡ２は、電池Ｂを蓋５２ａに受け渡す位置でもある。具体的には、閉塞解除位置ＬＡ２には、電池Ｂを蓋５２ａに受け渡す受渡位置ＬＡ２１と、電池Ｂを受け渡す際に搬出入装置３との干渉を避けるために蓋５２ａを退避させる退避位置ＬＡ２２とがある。
As shown in FIGS. 15 to 19, the
吸引口５３は、図４に示すように、格納容器５０の内部の残留ガスを格納容器５０から検出部６に吸引するために設けられる。吸引口５３は、格納容器５０の上下方向に貫通する孔である。この吸引口５３の形状は、格納容器５０の内側が広く、外側が狭くなるように、円錐状に形成されている。
As shown in FIG. 4, the
押付部材５４は、電池Ｂの上面に当接し得る当接板５４ａと、該当接板５４ａを支持する支持部５４ｂと、該支持部５４ｂを内部に挿入する方向に後退させて電池Ｂと当接板５４ａとの接触時の衝撃を緩和する緩衝部５４ｃとを備える。押付部材５４は、電池Ｂを格納容器５０の内部に格納された際、電池Ｂが変形している場合、その電池Ｂの上面に接触してその変形を矯正し、電池Ｂから漏出物が漏出されるのを促進する役割がある。
The pressing
大気開放弁５５は、格納容器５０の内部の圧力を大気圧に戻すために設けられる。大気開放弁５５は、格納容器５０から電池Ｂを搬出する際に、閉塞部５２を格納容器５０から離間させやすくするために設けられる。
The
圧力計５６は、格納容器５０の内部の圧力を計測しており、計測された結果は、検査制御部８にデジタル出力又はアナログ出力される。
The
検出部６は、図４，図６及び図７に示すように、残留ガスに含まれ得る漏出物を検出する複数の検出器６０，…と、格納容器５０と該複数の検出器６０，…とを接続する配管６１（図１２参照）とを備える。
4, 6 and 7, the
複数の検出器６０，…は、１つの格納部５に対して複数設けられている。複数の検出器６０，…は、本実施形態では、３つ設けられている。複数の検出器６０，…は、格納容器５０の内部の残留ガスを一時的に収容するガス収容器６２と、残留ガスの流量を調整する流量調整部６３と、残留ガスに含まれる漏出物を検出するガス検知部６４と、ガス収容器６２を大気開放する大気開放弁６５とをそれぞれに備える。
A plurality of
各ガス収容器６２は、円筒形状の収容器本体６２ａと、格納容器５０と収容器本体６２ａとを連通させるための複数の連通口６２ｂ，…と、格納容器５０の内部のガスを吸引するための吸引口６２ｃと、複数の連通口６２ｂ，…に格納容器５０からの配管を接続する接続部６２ｄとを備える。
Each
収容器本体６２ａは、内部に格納容器５０から複数の連通口６２ｂ，…を通過した残留ガスを一時的に貯留する空間を備える。収容器本体６２ａが収容可能なガス容量は、１回の気密性検査で必要な容量以上である。
The container
複数の連通口６２ｂは、本実施形態では、１つの収容器本体６２ａにつき２箇所設けられている。複数の連通口６２ｂのうち一方の連通口（以下、「第１の連通口」と称する）６２ｂ１には、流量調整部６３が取り付けられる。複数の連通口６１のうち他方の連通口（以下、「第２の連通口」と称する）６２ｂ２には、ガス検知部６４が取り付けられる。第２の連通口６２ｂ２には、更に、該第２の連通口６２ｂ２を通過するガス流量を減らすために、１又は複数の貫通孔を有する蓋６２ｂ３が設けられる。
In the present embodiment, the plurality of
吸引口６２ｃは、格納容器５０の内部の残留ガスを格納容器５０から吸引するために設けられている。
The
接続部６２ｄは、複数の連通口６２ｂ，…をすべて覆う略円筒形に形成されている。格納容器５０から吸引されてきたガスは、この接続部６２ｄで複数の連通口６２ｂ，…に分配される。
The connecting
流量調整部６３は、第１の連通口６２ｂ１を閉じて該第１の連通口６２ｂ１を通過する残留ガスを遮断することにより、ガス収容器６２に流入するガスの流量を調整する。具体的には、流量調整部６３は、ガス遮断弁である。以下、符号６３は、ガス遮断弁に対しても同一の符号を付す。
The flow
ガス検知部６４は、漏出物である有機溶媒（ガス化した電解液）を検知可能な半導体方式のガスセンサである。ガス検知部６４は、本実施形態では、酸化スズ半導体ガスセンサを用いた例を説明する。この半導体方式のガスセンサは、金属酸化物半導体素子の表面に漏出物が付着することにより電気伝導度が変化することを利用して、その電気伝導度を計測することにより、漏出物の有無を検知する。このガスセンサは、更には、その漏出物の漏出量を検知する。ガス検知部６４は、図７に示すように、ガスを排気する排気口６４ａを２箇所備える。排気口６４ａは、吸引方向に対して直交する方向に設けられる。その一方の排気口６４ａは、吸引口６２ｃに対向して設けられ、他方の排気口６４ａは、その一方の排気口６４ａと反対側に設けられる。
The
配管６１は、図１２に示すように、格納部５から吸引する残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出器６０を選択する第１の検出器選択ユニット６６及び第２の検出器選択ユニット６７と、ガス収容器６２を大気開放するための大気開放ユニット６８とを備える。
As shown in FIG. 12, the piping 61 includes a first
第１の検出器選択ユニット６６は、図３及び図１２に示すように、格納部５と複数のガス収容器６２，…との間をつなぐ配管６６ａと、該配管６６ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる収容検出器選択電磁弁６６ｂ，…とを備える。各ガス収容器６２，…が格納部５に対して均等に配置されており、配管６６ａも複数のガス収容器６２，…のそれぞれと格納部５との間の距離が略均等となるような配管経路が採用されている。
As shown in FIGS. 3 and 12, the first
第２の検出器選択ユニット６７は、図３，図７及び図１２に示すように、吸引部７と複数のガス収容器６２，…との間をつなぐ配管６７ａと、該配管６７ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる吸引検出器選択電磁弁６７ｂ，…とを備える。各ガス収容器６２，…が格納部５に対して均等に配置されており、配管６７ａも複数のガス収容器６２，…のそれぞれと吸引部７との間の距離が略均等となるような配管経路が採用されている。
As shown in FIGS. 3, 7 and 12, the second
大気開放ユニット６８は、図１２に示すように、複数のガス収容器６２，…を大気開放させる配管６８ａと、該配管６８ａ上の複数のガス収容器６２，…側のそれぞれに設けられる開放検出器選択電磁弁６８ｂ，…とを備える。
As shown in FIG. 12, the
吸引部７は、図１及び図１２に示すように、格納容器５０の残留ガスを吸引する真空ポンプなどの吸引装置７０と、各ガス収容器６２の吸引口６２ｃから残留ガスを吸引装置７０に誘導する主配管７１と、該主配管７１の途中に設けられ、主配管７１を流れる残留ガスをバイパスするバイパス配管７２と、吸引装置７０に吸引される残留ガスのルートを切り換える流路切換弁７３と、バイパス配管７２に設けられ、通過する残留ガスの流量を調整可能な流量調整弁７４とを備える。
As shown in FIG. 1 and FIG. 12, the
検査制御部８は、図１０に示すように、電池Ｂを格納容器５０に格納するために閉塞部５２を開閉制御する開閉制御部８０と、複数の検出器６０，…のうち検査で使用する検出器６０を選択する検出器選択部８１と、該検出器選択部８１で選択された検出器６０を制御する検出器制御部８２と、気密性検査の結果等を報知する検査結果報知部８３とを備える。なお、これらの構成は、各制御を可能とする制御プログラムを記憶する不揮発性のメモリであるＲＯＭと、各装置からの入出力信号などを記憶する揮発性のメモリであるＲＡＭと、各種演算処理を行う演算部とにより実現される。
As shown in FIG. 10, the inspection control unit 8 is used in the inspection among the opening / closing control unit 80 that controls the opening / closing of the
開閉制御部８０は、閉塞部５２の駆動部５２ｄを制御して、閉塞部５２の位置を閉塞位置ＬＡ１と閉塞解除位置ＬＡ２（受渡位置ＬＡ２１，退避位置ＬＡ２２）との間の位置制御を行う。
The opening / closing control unit 80 controls the
検出器選択部８１は、検出器６０のガス検知部６４の検知感度の復旧状態より検査可能な状態にある検出器６０を選択する。更に、検出器選択部８１は、配管６１の各ユニットを制御して、複数の検出器６０，…のうち検査で使用する検出器６０に配管経路を切り換える。
The detector selection unit 81 selects the
検出器制御部８２は、格納容器５０の内部のガス圧力を制御する圧力検査制御部８２ａと、格納容器５０の内部の状態を監視する状態監視部８２ｂと、ガス検知部６４のセンサ出力電圧により電池Ｂの気密性を判定する気密性判定部８２ｃとを備える。
The detector control unit 82 is based on a pressure inspection control unit 82 a that controls the gas pressure inside the
検査結果報知部８３は、格納容器５０の内部のガス圧力を表示する圧力表示計８３ａと、気密性判定部８２ｃによる電池Ｂの気密性の判定結果を報知する判定表示部８３ｂとを備える。
The test result notification unit 83 includes a pressure indicator 83a that displays the gas pressure inside the
搬出入装置３は、図２〜図４，図６〜図９に示すように、第１のコンベアＣ１から検査前の電池Ｂを受け取る受取部１００と、検査後の電池Ｂを第２のコンベアＣ２に引き渡す引渡部１０１と、受取部１００にある電池Ｂを検査装置本体２に搬送し、且つ検査装置本体２にある電池Ｂを引渡部１０１に搬送する搬送部１０２と、搬送装置Ｃと検査装置本体２との間の電池Ｂの受け渡しを制御し、電池Ｂを検査装置本体２に搬出入する搬出入制御部１０３（図１０参照）とを備える。
As shown in FIGS. 2 to 4 and 6 to 9, the carry-in / out device 3 includes a receiving
受取部１００は、図６に示すように、第１のコンベアＣ１から搬送されてくる電池Ｂを載置する載置台１００ａと、該載置台１００ａを昇降させる昇降機構１００ｂとを備える。載置台１００ａは、電池Ｂを所定位置まで誘導するために所定間隔空けて設けられる複数のローラ１００ｃ，…と、該複数のローラ１００ｃ，…を軸支して保持するフレーム１００ｄとを備える。昇降機構１００ｂは、載置台１００ａを上下動させる軸部１００ｅと、載置台１００ａを軸支する支持部１００ｆと、載置台１００ａを軸部１００ｅの軸芯方向に案内する案内部１００ｇと、軸部１００ｅを軸芯方向に駆動する駆動部１００ｈとを備える。
As shown in FIG. 6, the receiving
引渡部１０１も図６に示すように、受取部１００と同様の構成を備える。
The
搬送部１０２は、図３，図９及び図１５〜図１９に示すように、蓋５２ａが閉塞解除位置ＬＡ２にあるときに、電池Ｂを受取部１００から受け取る受取位置ＬＢ１と電池Ｂを蓋５２ａに設置する設置位置ＬＢ２との間を水平方向に移動して電池Ｂを蓋５２ａに設置する設置用搬送部１０２ａと、蓋５２ａが閉塞解除位置ＬＡ２にあるときに、電池Ｂを蓋５２ａから取り外す取外位置ＬＢ３と電池Ｂを引渡部１０１に引き渡す引渡位置ＬＢ４との間を水平方向に移動して蓋５２ａに設置されている電池Ｂを蓋５２ａから取り外す取外用搬送部１０２ｂと、設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１にあるときに取外用搬送部１０２ｂが取外位置ＬＢ３にあり、設置用搬送部１０２ａが設置位置ＬＢ２にあるときに取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４にあるように設置用搬送部１０２ａ及び取外用搬送部１０２ｂを保持する保持部１０２ｃとを備える。なお、本実施形態においては、設置位置ＬＢ２と取外位置ＬＢ３とは同じ位置である。
As shown in FIGS. 3, 9 and 15 to 19, the
設置用搬送部１０２ａは、受取部１００の複数のローラ１００ｃ，…間の隙間に挿入可能な複数の突出部１０２ｄ１，…を有する一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄと、該一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに複数の突出部１０２ｄ１，…の先端を対向させて離接する方向にチャック１０２ｄ，１０２ｄを駆動する駆動部１０２ｅ（図１０参照）と、チャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに離接させる方向に案内する案内部１０２ｆとをそれぞれ１対備える。
The
取外用搬送部１０２ｂも設置用搬送部１０２ａと同様の構成を備える。
The
保持部１０２ｃは、一対の設置用搬送部１０２ａ及び一対の取外用搬送部１０２ｂの一方をそれぞれ搭載する一対のベース１０２ｇ，１０２ｇと、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが互いに離接する方向に対して直交する方向にする該一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄとの間を一定に保たれるように一対のベース１０２ｇのそれぞれを駆動する一対の駆動部１０２ｈ，１０２ｈとを備える。
The holding
搬出入制御部１０３は、図１０に示すように、第１のコンベアＣ１から検査前の電池Ｂを受け取るために受取部１００を制御する受取制御部１０３ａと、検査後の電池Ｂを第２のコンベアＣ２に引き渡すために引渡部１０１を制御する引渡制御部１０３ｂと、受取部１００にある電池Ｂを検査装置本体２に搬送し、且つ検査装置本体２にある電池Ｂを引渡部１０１に搬送するために搬送部１０２を制御する搬送制御部１０３ｃとを備える。なお、これらの構成は、各制御を可能とする制御プログラムを記憶する不揮発性のメモリであるＲＯＭと、各装置からの入出力信号などを記憶する揮発性のメモリであるＲＡＭと、各種演算処理を行う演算部とにより実現される。
As shown in FIG. 10, the carry-in / out control unit 103 includes a receiving control unit 103 a that controls the receiving
筐体４は、図１に示すように、検査装置本体２の格納部５及び検出部６と搬出入装置３とを覆うカバー４１と、これらの載せる架台４２とを備える。
As shown in FIG. 1, the housing 4 includes a
次に、本実施形態に係る気密性検査装置１を用いた電池Ｂの気密性を検査する方法について、図１３及び図１４を参照しつつ詳細に説明する。まず、気密性検査の工程は、図１３に示すように、主に第１のコンベアＣ１から電池Ｂを受け取り、気密性検査装置１に搬入する搬入工程Ｓ１と、電池Ｂの気密性を検査する検査工程Ｓ２と、検査が完了した電池Ｂを気密性検査装置１から搬出し、第２のコンベアＣ２に引き渡して搬出する搬出工程Ｓ３とからなる。
Next, a method for inspecting the airtightness of the battery B using the
まず、搬入工程Ｓ１について、主に、図１３及び図１５〜図１９を参酌しつつ説明する。気密性検査を実施する電池Ｂは、第１のコンベアＣ１の上流側から気密性検査装置１に向かって搬送される。その検査前の電池Ｂを受取部１００が第１のコンベアＣ１から受け取る（Ｓ１０１，図９及び図１５参照）。具体的には、受取制御部１０３ａが複数のローラ１００ｃ，…を駆動させて、電池Ｂを第１のコンベアＣ１から載置台１００ａの上に移動させる。電池Ｂが載置台１００ａの上の適当な位置に到達すると、受取制御部１０３ａは、複数のローラ１００ｃ，…を停止させる。
First, the carrying-in process S1 will be described mainly with reference to FIGS. 13 and 15 to 19. The battery B that performs the airtightness inspection is conveyed toward the
次に、搬送制御部１０３ｃが載置台１００ａの上にある電池Ｂを検査装置本体２の閉塞部５２に搬送させる（Ｓ１０２，図９及び図１６〜図１９参照）。具体的には、搬送制御部１０３ｃは、設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１に位置するようにベース１０２ｇを移動させる。設置用搬送部１０２ａが受取位置ＬＢ１に到達すると、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの間に電池Ｂが位置するように配置される。そこで、搬送制御部１０３ｃは、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに接近する方向に移動させ、受取部１００の複数のローラ１００ｃ，…間の隙間に挿入させる。一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄは、その突出部１０２ｄ１，…の上面が電池Ｂの下面に面するように配置されている（図１６参照）。受取制御部１０３ａは、駆動部１００ｈを駆動させて載置台１００ａを下降させ、電池Ｂの下面を支えていたローラ１００ｃ，…を一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄより更に下降させることにより、電池Ｂを一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄに移す（図１７参照）。その後、搬送制御部１０３ｃは、設置用搬送部１０２ａが設置位置ＬＢ２に位置するようにベース１０２ｇを移動させる（図１８参照）。電池Ｂが蓋５２ａの上方に位置すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを受渡位置ＬＡ２１まで上昇させ、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの複数の突出部１０２ｄ１，…の間の隙間から支持部５２ｆを通過させ、電池Ｂの下面を押し上げる。電池Ｂの下面が一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄから離間する（図１９参照）と、搬送制御部１０３ｃは、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに離間する方向に移動させる。
Next, the transport control unit 103c transports the battery B on the mounting table 100a to the
次に、開閉制御部８０は、電池Ｂを格納容器５０に格納して、開口５１を閉塞する（Ｓ１０３，図１６〜図１９参照）。具体的には、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが完全に蓋５２ａの上面から退避すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを閉塞位置ＬＡ１まで上昇させ、格納容器５０の内部に電池Ｂを格納し、開口５１を蓋５２ａで閉塞させる（図１５参照）。一方、電池Ｂを蓋５２ａに設置し終えた設置用搬送部１０２ａは、搬送制御部１０３ｃによって、次の電池Ｂを受け取るために再び受取位置ＬＢ１に戻る。同時に、取外用搬送部１０２ｂは、検査し終えた電池Ｂを蓋５２ａから取り外すために、取外位置ＬＢ３まで移動する。
Next, the opening / closing control unit 80 stores the battery B in the
次に、検査工程Ｓ２について、図１４を参酌しつつ説明する。気密性検査は、電池Ｂから電解液が漏出可能な条件にすべく、格納容器５０を所定の圧力まで減圧する減圧段階と、格納容器５０の残留ガスから電解液を検知するガス検知部６４のセンサ出力信号から電池Ｂの気密性の良否を判定する判定段階とに分けて実施される。
Next, the inspection process S2 will be described with reference to FIG. In the airtightness inspection, in order to make the electrolyte solution leakable from the battery B, the decompression stage for decompressing the
気密性検査の減圧段階では、まず、検出器選択部８１が複数の検出器６０，…の中から検査に使用する検出器６０を選択する（Ｓ２０１）。具体的な検出器６０の選択方法について、検出器選択部８１は、複数の電池Ｂを検査する気密性検査を連続して行う際に、先の検査で使用した検出器６０とは別の検出器６０であって、ガス検知部６４の検知感度が復旧している状態にある検出器６０を選択する。本実施形態における検出器選択部８１は、図１１に示すように、検査に使用する３つの検出器６０，…を順番に使用するように設定している。各検出器６０，…が使用された後、ガス検知部６４の検知感度が復旧するのに約２１秒かかるため、最低３つの検出器６０，…があれば、検査は、ガス検知部６４の検知感度が復旧するのを待つこと無く、連続して繰り返し実施することができる。
In the pressure reduction stage of the airtightness inspection, first, the detector selection unit 81 selects the
また、具体的な３つの検出器６０，…の切換方法について、検出器選択部８１は、図１２に示すように、選択された検出器６０側の収容検出器選択電磁弁６６ｂ及び吸引検出器選択電磁弁６７ｂを「開」にして、残りの収容検出器選択電磁弁６６ｂ，…及び吸引検出器選択電磁弁６７ｂ，…を「閉」にすることにより切り換える。大気開放ユニット６８の開放検出器選択電磁弁６８ｂ，…は、ガス検知部６４の検知感度の復旧中にある検出器６０を除き、「閉」のままとなっている。
In addition, regarding a specific switching method of the three
圧力検査制御部８２ａは、ガス遮断弁６３を制御して、格納部５の残留ガスが主に第１の連通口６２ｂ１からガス収容器６２に収容されるように調整する。つまり、圧力検査制御部８２ａは、ガス遮断弁６３を「開」にする（Ｓ２０２）。また、圧力検査制御部８２ａは、流路切換弁７３を主配管７１側に流れるように切り換える。つまり、圧力検査制御部８２ａは、流路切換弁７３を「開」にする。（Ｓ２０３）。その後、圧力検査制御部８２ａは、吸引装置７０を駆動させる（Ｓ２０４）。吸引装置７０は、ガス収容器６２を介して格納容器５０の残留ガスを吸引する。このようにして、格納部５は、減圧され始める。状態監視部８２ｂでは、格納容器５０及びガス収容器６２の内部のガス圧力を格納部５の圧力計５６から入力される計測信号に基づき監視している。そして、状態監視部８２ｂは、そのガス圧力を計測した計測信号を圧力検査制御部８２ａ及び検査結果報知部８３に出力している。
The pressure inspection control unit 82a controls the gas shut-off
圧力検査制御部８２ａが状態監視部８２ｂから入力された圧力信号に基づき格納部５の圧力が所定圧力に達したと判定する（Ｓ２０５でＹＥＳ）と、気密性検査は、電池Ｂから電解液が漏出可能な条件となったため、検知段階に移行する。なお、ここでいう所定圧力とは、電池Ｂから電解液を漏出させるために必要な圧力である。以下、この圧力を「判定開始圧力」と称する。本実施形態では、この判定開始圧力は、２０［ｋＰａ］／１５０［Ｔｏｒｒ］とする。検知段階では、圧力検査制御部８２ａは、残留ガスがバイパス配管７２を経由して吸引されるように流路切換弁７３を「閉」にする（Ｓ２０６）。圧力検査制御部８２ａは、更に、ガス遮断弁６３を「閉」にする（Ｓ２０７）。その後、ガス検知部６４のある第２の連通口６２ｂ２に残留ガスが通過し、残留ガスに含まれ得る電解液の検出が行われる。
When the pressure inspection control unit 82a determines that the pressure in the
気密性判定部８２ｃでは、ガス検知部６４のセンサ出力信号の入力を受け付けているが、判定開始圧力に達した約７秒後から、ピンホール等があれば、センサ出力電圧（信号）が上昇し始める。気密性判定部８２ｃは、格納部５内のガス圧力が判定開始圧力に達してから所定の時間が経過したとき（Ｓ２０８でＹＥＳ）のガス検知部６４のセンサ出力電圧が所定の電圧以下であるか否かでその漏出物の気密性の良否を判定する（Ｓ２０９）。
The air tightness determination unit 82c accepts the input of the sensor output signal of the
なお、ここでいう所定の時間とは、ガス検知部６４が気密性の判定においてその気密性の良否を判別可能な閾値まで電解液を漏出させるのに必要な時間である。この所定の時間は、以下、「漏出検知時間」と称する。また、ここでいう所定の電圧とは、判定開始圧力から漏出検知時間に達したときのその気密性の良否を判別可能な閾値となるセンサ出力電圧である。この所定の電圧は、以下、「気密性判定電圧」と称する。この気密性判定電圧は、電池Ｂに形成されたピンホールの規模（大きさ）によって、電圧値が異なっている。
The predetermined time referred to here is a time required for the
気密性判定部８２ｃは、センサ出力電圧がこの気密性判定電圧以下であった場合、気密性に異常はなく、気密性が保たれていると判定する（Ｓ２０９でＹＥＳ，Ｓ２１０）。一方、気密性判定部８２ｃは、センサ出力電圧がこの気密性判定電圧を超えた場合、気密性に異常があり、気密性が充分に保たれていないと判定する（Ｓ２０９でＮＯ，Ｓ２１１）。気密性判定部８２ｃは、これらの判定結果（判定結果信号）を検査結果報知部８３に出力する（Ｓ２１２）。検査結果報知部８３では、判定表示部８３ｂでその結果を報知する。 When the sensor output voltage is equal to or lower than the airtightness determination voltage, the airtightness determining unit 82c determines that there is no abnormality in the airtightness and the airtightness is maintained (YES in S209, S210). On the other hand, if the sensor output voltage exceeds the airtightness determination voltage, the airtightness determining unit 82c determines that the airtightness is abnormal and the airtightness is not sufficiently maintained (NO in S209, S211). The airtightness determination unit 82c outputs these determination results (determination result signals) to the inspection result notification unit 83 (S212). In the inspection result notification unit 83, the determination display unit 83b notifies the result.
つまり、吸引部７を吸引させることにより、格納部５の内部のガスがガス収容器６２に吸引される。このとき、電池Ｂから漏出した電解液は、残留ガスと共にガス収容器６２に吸引され、ガス検知部６４に誘導される。ガス検知部６４では、その残留ガスに含まれ得る電解液の有無を検知する。そのため、気密性検査装置１は、短時間で電池Ｂの気密性を検査することができる。
That is, by sucking the
なお、検出部６は、検出器６０，…を複数備えるため、検知部６４ａのセンサ出力（電圧）が検査初期の電圧に戻ったものから順次使用することができる。よって、常にセンサ感度が安定化した検出器６０，…を使用することができる。また、１つの電池Ｂを検査するのにかかる検査時間は、複数の検出器６０，…を組み合わせることにより、センサ感度が安定化するまでの復旧時間が無視することができるようになり、他の製造工程から決定される製造ラインの速度に合わせて検査時間を容易に短縮することができる。
Since the
最後に、搬出工程について、図９，図１３及び図１５〜図１９に戻って説明する。判定結果が出て、気密性検査が完了すると、開閉制御部８０が格納容器５０を開放して、電池Ｂを搬出する（Ｓ３０１）。具体的には、まず、圧力検査制御部８２ａが大気開放弁５５および使用されている検出器６０の開放検出器選択電磁弁６８ｂを開放して、格納容器５０を大気開放し、格納容器５０の内部を大気圧に戻す。
Finally, the carry-out process will be described with reference back to FIGS. 9, 13 and 15 to 19. When the determination result is obtained and the airtightness inspection is completed, the opening / closing control unit 80 opens the
格納容器５０の圧力が大気圧まで戻ると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを閉塞解除位置ＬＡ２まで下降させ、格納容器５０から電池Ｂを搬出する（図１６参照）。具体的には、開閉制御部８０は、蓋５２ａを受渡位置ＬＡ２１まで下降させる。次に、搬送制御部１０３ｃが取外用搬送部１０２ｂの一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄを互いに接近する方向に移動させる。一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄが電池Ｂの下方に到達すると、開閉制御部８０は、蓋５２ａを退避位置ＬＡ２２まで下降させ、電池Ｂの下面を支えていた支持部５２ｆを一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄの突出部１０２ｄ１，…の間の隙間を通過させつつ下降させて、電池Ｂの下面の支えを支持部５２ｆから一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄに移す（図１７参照）。その後、搬送制御部１０３ｃは、取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４に位置するようにベース１０２ｇを移動させる（図１８参照）。
When the pressure in the
取外用搬送部１０２ｂが引渡位置ＬＢ４に到達すると、引渡制御部１０３ｂは、駆動部１００ｈを駆動させて載置台１００ａを上昇させ、複数のローラ１００ｃ，…を一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄのそれぞれの突出部１０２ｄ１，…の間の隙間を通過させる。複数のローラ１００ｃ，…が電池Ｂの下面を押し上げて、一対のチャック１０２ｄ，１０２ｄから電池Ｂが引渡部１０１に移動する（図１９参照）。引渡部１０１は、駆動部１００ｈを制御して、複数のローラ１００ｃ，…を駆動させ、第２のコンベアＣ２に電池Ｂを移動させる。
When the
このようにして、格納部５は、電池Ｂの気密性検査を行うに当たり格納容器５０の開口５１を閉塞部５２によって閉塞する際、同時に、製造ラインから受け取った電池Ｂを格納容器５０の開口５１から閉塞部５２によって格納することができる。そして、格納部５の内部の残留ガスが吸引部７によって検出部６に吸引され、検出部６が電解液を検出し、電池Ｂの気密性が検査される。
In this way, the
また、格納部５は、格納容器５０の下側から閉塞部５２を上下動することによって開口５１を閉塞する。格納部５は、同時に、電池Ｂを開口５１から閉塞部５２によって格納容器５０に格納することができる。
In addition, the
また、搬送部１０２は、電池Ｂを保持して閉塞部５２まで搬送し、電池Ｂを閉塞部５２の支持部５２ｆに設置する。その際、電池Ｂと蓋５２ａとの間に隙間を開けた状態で支持部５２ｆに設置することができ、搬送部１０２によるどのような電池Ｂの保持の形態にも対応できる。つまり、電池Ｂの保持の形態が電池Ｂを載置することによる場合であれば、搬送部１０２は、電池Ｂと蓋５２ａとの間の隙間を利用して、支持部５２ｆに載置された電池Ｂの下面から引き抜くことができるようになる。なお、電池Ｂの保持の形態が電池Ｂの側面を把持することによる場合であっても、搬送部１０２は、側面の全面を把持して搬送することができるようになる。電池Ｂの保持の形態が電池Ｂの上下面を把持することによる場合であっても、搬送部１０２は、電池Ｂを把持したまま、電池Ｂを支持部５２ｆに載置し、引く抜くことができるようになる。
In addition, the
また、搬送部１０２が設置用搬送部１０２ａと取外用搬送部１０２ｂとを独立して備えているため、先の検査で検査し終えた電池Ｂを蓋５２ａから取り外す工程と、続けて検査を行う電池Ｂを蓋５２ａに設置する工程とを同時に行うことができ、格納容器５０に電池Ｂを搬出入する時間を短縮することができる。
Moreover, since the
なお、本発明に係る気密性検査装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。 In addition, the airtightness inspection apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、リチウムイオン電池Ｂに適用する例を説明したが、この用途に限定されるものではない。例えば、本発明に係る気密性検査装置は、リチウムイオン電池以外のニッケル水素電池などのように、放電後に再充電して繰り返し使用可能な二次電池（いわゆる、充電池）や、アルカリ乾電池やマンガン乾電池のような一次電池などの電池に対しても適用することができる。また、これらの電池と同じように密封構造の容器を有する検査対象物にも適用することができる。例えば、電解コンデンサも陽極電極と、陰極電極と、当該両電極間に浸透される電解液とを有している検査対象物にも適用することができる。
Although the airtightness test |
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、ガス検知部６４が酸化スズ半導体ガスセンサである例を説明したが、これに限定されるものではない。ガス検知部は、本発明の気密性検査装置が検査する検査対象物に合わせて漏出物を選択し、この漏出物の検知に適したセンサであれば、どのようなセンサであってもよい。なお、上記実施形態で開示したガス検知部の特性は、一例である。ガス検知部の特性は、漏出物に合わせて選択したセンサの特性に合わせて適宜、センサの特性を確認し、センサごとに適した制御が行われなくてはならないことは言うまでもない。
Although the gas
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、吸引装置７０の吸引能力を一定のまま、流量調整弁７４によって格納容器５０の内部のガスを吸引する流量を調整する例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、吸引装置は、その吸引能力を調整又は多段切換してガスの流量を調整可能な真空ポンプであってもよい。
In the
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、閉塞部５２の支持部５２ｆが電池Ｂの下面を支持する例を説明したが、これに限定されるものではない。支持部は、閉塞部上で適当な位置に位置決めするために、電池Ｂの側面に当接して電池Ｂを所望の姿勢に案内する傾斜面若しくは段部を備えていてもよい。また、支持部は、電池Ｂに位置決めのための凹部又は貫通孔が設けられている場合であれば、その凹部又は貫通孔に挿入可能なピンを備えることにより電池Ｂを位置決めしてもよい。
Although the airtightness test |
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、搬送部１０２のチャック１０２ｄ，…に電池Ｂを載置して水平方向に移動させる例を説明したが、これに限定されるものではない。搬送部１０２のチャック１０２ｄ，…は、その突出部１０２ｄ１，…に段部を設けて、電池Ｂの水平方向の位置決めできるようにしてもよい。この段部は、チャック１０２ｄが搬送方向に対して直交する方向及び並行する方向に位置決めできるようにすることが好ましい。
In the
上記実施形態に係る気密性検査装置１は、検出器６０，…が３つあり、各等間隔となるように正三角形状に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、検出部は４つあり、正方形状に配置されていてもよい。このように配置することにより、どの検出部を使用しても、吸引条件を同一にすることができる。
The
１…気密性検査装置、２…検査装置本体、３…搬出入装置、４…筐体、５…格納部、６…検出部、７…吸引部、８…検査制御部、４１…カバー、４２…架台、５０…格納容器、５１…開口、５２…閉塞部、５２ａ…蓋、５２ｂ…支持部、５２ｃ…案内部、５２ｄ…駆動部、５２ｅ…蓋本体、５２ｆ…支持部、５２ｇ…軸部、５２ｈ…連結部、５２ｉ…軸端部、５２ｊ…当接面、５２ｋ…被覆部、５３…吸引口、５４…押付部材、５４ａ…当接板、５４ｂ…支持部、５４ｃ…緩衝部、５５…大気開放弁、５６…圧力計、６０…検出器、６１…配管、６２…ガス収容器、６２ａ…収容器本体、６２ｂ…連通口、６２ｂ１…第１の連通口、６２ｂ２…第２の連通口、６２ｂ３…蓋、６２ｃ…吸引口、６２ｄ…接続部、６３…流量調整部（ガス遮断弁）、６４…ガス検知部、６４ａ…排気口、６５…大気開放弁、６６…第１の検出器選択ユニット、６６ａ…配管、６６ｂ…収容検出器選択電磁弁、６７…第２の検出器選択ユニット、６７ａ…配管、６７ｂ…吸引検出器選択電磁弁、６８…大気開放ユニット、６８ａ…配管、６８ｂ…開放検出器選択電磁弁、７０…吸引装置、７１…主配管、７２…バイパス配管、７３…流路切換弁、７４…流量調整弁、８０…開閉制御部、８１…検出器選択部、８２…検出器制御部、８２ａ…圧力検査制御部、８２ｂ…状態監視部、８２ｃ…気密性判定部、８３…検査結果報知部、８３ａ…圧力表示計、８３ｂ…判定表示部、１００…受取部、１００ａ…載置台、１００ｂ…昇降機構、１００ｃ…ローラ、１００ｄ…フレーム、１００ｅ…軸部、１００ｆ…支持部、１００ｇ…案内部、１００ｈ…駆動部、１０１…引渡部、１０２…搬送部、１０２ａ…設置用搬送部、１０２ｂ…取外用搬送部、１０２ｃ…保持部、１０２ｄ…チャック、１０２ｄ１…突出部、１０２ｅ…駆動部、１０２ｆ…案内部、１０２ｇ…ベース、１０２ｈ…駆動部、１０３…搬出入制御部、１０３ａ…受取制御部、１０３ｂ…引渡制御部、１０３ｃ…搬送制御部、Ｂ…リチウムイオン電池（電池）、Ｃ…搬送装置、Ｃ１…第１のコンベア、Ｃ２…第２のコンベア、ＬＡ１…閉塞位置、ＬＡ２…閉塞解除位置、ＬＡ２１…受渡位置、ＬＡ２２…退避位置、ＬＢ１…受取位置、ＬＢ２…設置位置、ＬＢ３…取外位置、ＬＢ４…引渡位置
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記格納部を閉塞した際に前記検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスであって、前記検査対象物から漏出した漏出物が含まれる残留ガスを収容可能に構成され、該残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出部と、
前記格納部から前記検出部に前記残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部とを備える気密性検査装置であって、
前記格納部は、
前記検査対象物を格納する格納容器と、
該格納容器の内部に前記検査対象物を格納するために前記格納容器に開けられた開口と、
一検査ごとに前記検査対象物を前記開口から前記格納容器の内部に格納して該格納容器を閉塞する閉塞部と
を備え、
前記検出部は、
前記吸引部によって前記格納部から吸引された残留ガスを収容する複数のガス収容部と、
前記複数のガス収容部のそれぞれに接続された複数の配管であって、それぞれが前記格納部に対して接続可能に構成され且つ接続された格納部からガス収容部に前記残留ガスを流通させる複数の配管と、
各配管に設けられるとともに前記ガス収容部内に配置される複数のガス検知部であって、前記配管を流通する残留ガスに含まれる漏出物を検出する複数のガス検知部と
を備え、
前記検査をするにあたって前記吸引部によって前記格納部から吸引された前記残留ガスを収容させる前記ガス収容部が前記複数のガス収容部の中から少なくとも一つ選択され、前記格納部に接続される配管が該選択されたガス収容部に接続される配管に切り替えられることによって、一検査ごとに先の検査で使用されたガス収容部から別のガス収容部に変更可能に構成されていることを特徴とする気密性検査装置。 A storage unit for storing an inspection object to be subjected to an airtightness inspection in a gas atmosphere in a state of being blocked from the outside;
A residual gas that remains in the storage unit together with the inspection object when the storage unit is closed, and is configured to be able to store a residual gas that includes a leakage leaked from the inspection object, A detector for detecting leakage contained in the gas;
An airtightness inspection apparatus comprising a suction part that repeatedly sucks the residual gas from the storage part to the detection part for each inspection;
The storage unit
A storage container for storing the inspection object;
An opening opened in the storage container for storing the inspection object inside the storage container;
The inspection object is stored in the inside of the storage container from the opening for each inspection, and includes a closing portion that closes the storage container,
The detector is
A plurality of gas storage portions for storing residual gas sucked from the storage portion by the suction portion;
A plurality of pipes connected to each of the prior SL plurality of gas receiving part, circulate the residual gas from the storage unit each of which is connectable to be configured and connected to the storage unit in the gas storage unit Multiple pipes,
A plurality of gas detectors provided in each pipe and disposed in the gas storage unit, the gas detectors including a plurality of gas detectors for detecting leakage contained in residual gas flowing through the pipe;
Piping connected to the storage unit by selecting at least one of the plurality of gas storage units from among the plurality of gas storage units to store the residual gas sucked from the storage unit by the suction unit when performing the inspection Is switched to a pipe connected to the selected gas storage unit so that the gas storage unit used in the previous inspection can be changed to another gas storage unit for each inspection. Airtightness inspection device.
前記格納部を閉塞した際に前記検査対象物と共に該格納部の内部に残留する残留ガスであって、前記検査対象物から漏出した漏出物が含まれる残留ガスを収容可能に構成され、該残留ガスに含まれる漏出物を検出する検出部と、
前記格納部から前記検出部に前記残留ガスを一検査ごとに繰り返し吸引する吸引部と、
前記検査対象物を保持して前記閉塞部に搬送する搬送部と
を備え、
前記閉塞部は、前記検査対象物との間に隙間が開くように前記検査対象物を支持する１又は複数の支持部を備え、前記開口が閉塞された状態にする閉塞位置と、前記開口が閉塞された状態を解除する閉塞解除位置とに位置変更可能に設けられ、
前記搬送部は、
前記閉塞部が前記閉塞解除位置にあるときに、前記検査対象物を受け取る受取位置と前記検査対象物を前記閉塞部に設置する設置位置との間を移動する第１の搬送部と、
前記閉塞部が前記閉塞解除位置にあるときに、前記検査対象物を前記閉塞部から取り外す取外位置と前記検査対象物を引き渡す引渡位置との間を移動する第２の搬送部と、
前記第１の搬送部が受取位置にあるときに前記第２の搬送部が取外位置にあり、前記第１の搬送部が設置位置にあるときに前記第２の搬送部が引渡位置にあるように前記第１の搬送部及び前記第２の搬送部を保持する保持部とを備えることを特徴とする気密性検査装置。 A storage unit for storing an inspection object to be subjected to an airtightness inspection in a gas atmosphere in a state of being closed from the outside, the storage container storing the inspection object, and the inspection object inside the storage container A storage section having an opening opened in the storage container for storing an object, and a closing section for storing the inspection object from the opening into the storage container for each inspection and closing the storage container When,
A residual gas that remains in the storage unit together with the inspection object when the storage unit is closed, and is configured to be able to store a residual gas that includes a leakage leaked from the inspection object, A detector for detecting leakage contained in the gas;
A suction unit that repeatedly sucks the residual gas from the storage unit to the detection unit for each inspection;
A transport unit that holds the inspection object and transports it to the closing unit;
The closed portion includes one or a plurality of support portions that support the inspection target so that a gap is opened between the inspection target and a closed position where the opening is closed; It is provided so that the position can be changed to the closure release position that releases the blocked state,
The transport unit is
A first transport unit that moves between a receiving position for receiving the inspection object and an installation position for installing the inspection object in the closing part when the closing part is in the blocking release position;
A second transport unit that moves between a removal position for removing the inspection object from the obstruction part and a delivery position for delivering the inspection object when the obstruction part is in the obstruction release position;
When the first transport unit is at the receiving position, the second transport unit is at the removal position, and when the first transport unit is at the installation position, the second transport unit is at the delivery position. An airtightness inspection apparatus comprising: a holding unit that holds the first transfer unit and the second transfer unit.
前記閉塞部は、前記格納容器の下側に配置され、前記開口に向かって上昇する請求項１又は請求項２に記載の気密性検査装置。 The opening is provided in a lower part of the storage container so that the inspection object is stored in the storage container from below the storage container,
The hermeticity inspection apparatus according to claim 1 or 2 , wherein the blocking portion is disposed below the storage container and rises toward the opening.
前記格納部に前記検査対象物が設置され、前記開口を前記閉塞部によって閉塞することと、
前記ガス検知部によって前記残留ガスに含まれる前記漏出物を検知することにより、前記検査対象物の気密性を検査することと
を備えることを特徴とする検査対象物の気密性を検査する方法。 Using airtight inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, by the contents enclosed in the said test object from the test object is detected that the leakage , A method for inspecting the airtightness of the inspection object,
The inspection object is installed in the storage unit, and the opening is closed by the closing unit;
Inspecting the airtightness of the inspection object by detecting the leaking substance contained in the residual gas by the gas detection unit, The method for inspecting the airtightness of the inspection object.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012148810A JP5826126B2 (en) | 2012-07-02 | 2012-07-02 | Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012148810A JP5826126B2 (en) | 2012-07-02 | 2012-07-02 | Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014010119A JP2014010119A (en) | 2014-01-20 |
| JP5826126B2 true JP5826126B2 (en) | 2015-12-02 |
Family
ID=50106929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012148810A Active JP5826126B2 (en) | 2012-07-02 | 2012-07-02 | Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5826126B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113432814B (en) * | 2021-08-30 | 2021-11-30 | 山东高质新能源检测有限公司 | Dry-wet sealing performance detecting instrument for new energy battery box body |
| WO2024111559A1 (en) * | 2022-11-25 | 2024-05-30 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Detection system and detection method |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3203528B2 (en) * | 1993-03-16 | 2001-08-27 | 株式会社生野製作所 | Airtightness inspection method and device |
| JP2922091B2 (en) * | 1993-06-30 | 1999-07-19 | 株式会社 九電工 | Food packaging leak detector |
| JPH07325004A (en) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Horie Metal Co Ltd | Leakage check method and leakage check device |
| JP4574092B2 (en) * | 2001-09-28 | 2010-11-04 | 島津システムソリューションズ株式会社 | Leak detector |
| JP5256005B2 (en) * | 2008-11-26 | 2013-08-07 | 株式会社Ｆｕｓｏ | Leak detector |
-
2012
- 2012-07-02 JP JP2012148810A patent/JP5826126B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2014010119A (en) | 2014-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102273782B1 (en) | Apparatus for leak detection of battery cell and method for leak detection of battery cell | |
| KR101678898B1 (en) | Method for bringing substrate into contact with probe card | |
| TWI732968B (en) | Leakage inspection method, leakage inspection device, electrolytic plating method, and electrolytic plating device | |
| JP6409579B2 (en) | Purge stocker and operation method of purge stocker | |
| TWI732043B (en) | Substrate inspection device | |
| CN113305841B (en) | Correction method of mechanical arm | |
| WO2012117887A1 (en) | Airtightness inspection apparatus | |
| JP5826126B2 (en) | Airtightness inspection apparatus and method for inspecting airtightness of inspection object | |
| KR20180111122A (en) | Leak inpection system for secondary cell | |
| CN114975195B (en) | Wafer cassette, wafer transfer apparatus, wafer transfer control method, electric apparatus, and storage medium | |
| CN115346903A (en) | Substrate transfer apparatus and substrate transfer method | |
| CN114823445A (en) | Wafer transmission device, wafer pre-pumping device and rapid transmission piece system | |
| KR102420042B1 (en) | Leakage Sensing Device for Square Shaped Secondary Battery Case | |
| JP2003106930A (en) | Leak detector | |
| JPH10232179A (en) | Method for inspecting leak of fine part and apparatus for inspecting leak using the same | |
| JP4091367B2 (en) | Leak inspection method | |
| CN114783924B (en) | Wafer carrying device, wafer carrying control method, electric device, and storage medium | |
| KR20200071672A (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
| CN216284115U (en) | Fuel cell bipolar plate air tightness detection device and bipolar plate production equipment | |
| CN217006233U (en) | Detection device | |
| CN110261044B (en) | Air tightness detection equipment | |
| TW202209535A (en) | Wafer cassette device, semiconductor processing machine and wafer detecting method characterized by identifying in real time the abnormal conditions of the wafer in the wafer cassette to reduce the crash rate and greatly improving the yield of wafers | |
| KR20110133748A (en) | Leak testing apparatus and method | |
| JP2011191203A (en) | Air-tightness inspection method and inspection system of container | |
| KR20230152279A (en) | Damage inspecting apparatus for secondary battery and damage inspecting method using the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140423 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140502 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140620 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141121 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150219 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150302 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20150515 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151013 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5826126 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |