JP5256005B2

JP5256005B2 - Leak detector

Info

Publication number: JP5256005B2
Application number: JP2008300778A
Authority: JP
Inventors: 幸一米沢; 進遠藤; 勝機高橋
Original assignee: 株式会社Ｆｕｓｏ
Priority date: 2008-11-26
Filing date: 2008-11-26
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2028-11-26
Also published as: JP2010127688A

Description

本発明は、リークディテクタに関する。 The present invention relates to a leak detector.

従来、配管等にトレーサガスを加圧封入して、この配管等の溶接部や繋ぎ目等からトレーサガスが漏れているか否か（リークの有無）をセンサで検知するリークディテクタが知られている（例えば、特許文献１参照）。このリークディテクタの測定法の一つであるチャンバ法（別名：グロスリークチェック法）は、トレーサガスを検知するガスセンサと、測定対象物を密閉する閉鎖室とで概略構成される。そして、リークディテクタは、閉鎖室内に測定対象物から漏れたトレーサガスを蓄積し、ガスセンサで検知する。 Conventionally, a leak detector is known that pressurizes and encloses a tracer gas in a pipe or the like, and detects whether or not the tracer gas is leaking from a welded part or a joint of the pipe or the like (presence or absence of leak). (For example, refer to Patent Document 1). A chamber method (also known as a gross leak check method), which is one of the leak detector measurement methods, is roughly composed of a gas sensor for detecting a tracer gas and a closed chamber for sealing a measurement object. The leak detector accumulates the tracer gas leaked from the measurement object in the closed chamber and detects it with the gas sensor.

特開２００５−１６４５２５号公報JP 2005-164525 A

しかしながら、特許文献１に記載のリークディテクタでは、測定対象物のリークの有無を検知した（以下、測定と記載）後、閉鎖室内に残留したトレーサガス（以下、残留ガスと記載）を積極的に除去していない。このため、測定時において、前回の測定時における閉鎖室内の残留ガスをガスセンサが検知するおそれがあり、測定精度が不安定なものとなってしまう、という問題がある。
また、一般的な半導体センサでは、残留ガスの濃度が高い場合には、測定開始時において、濃度の高い残留ガスにガスセンサが晒されることで、センサ出力が飽和してしまい、測定精度が低下してしまう傾向にある。このようにガスセンサの測定精度が低下した場合には、ガスセンサの測定精度が復帰するまでに所定の時間を要することとなる。
また、更に濃度の高い残留ガスにセンサが晒された場合には、ガスセンサの性能の劣化や、最悪の場合には復帰不能となってしまう可能性がある。 However, the leak detector described in Patent Document 1 actively detects tracer gas remaining in the closed chamber (hereinafter referred to as residual gas) after detecting the presence or absence of leakage of the measurement object (hereinafter referred to as measurement). Not removed. For this reason, at the time of a measurement, there exists a possibility that a gas sensor may detect the residual gas in a closed chamber at the time of the last measurement, and there exists a problem that a measurement precision will become unstable.
Moreover, in the case of a general semiconductor sensor, when the concentration of residual gas is high, the sensor output is saturated and the measurement accuracy is reduced by exposing the gas sensor to the residual gas with high concentration at the start of measurement. It tends to end up. As described above, when the measurement accuracy of the gas sensor is lowered, a predetermined time is required until the measurement accuracy of the gas sensor is restored.
In addition, when the sensor is exposed to a residual gas having a higher concentration, there is a possibility that the performance of the gas sensor is deteriorated, and in the worst case, it cannot be restored.

本発明の目的は、ガスセンサの性能を良好に維持できるとともに、測定精度を向上できるリークディテクタを提供することにある。 The objective of this invention is providing the leak detector which can improve the measurement precision while being able to maintain the performance of a gas sensor favorably.

本発明のリークディテクタは、測定対象物にトレーサガスを加圧封入し、前記測定対象物から漏れたトレーサガスを検知するリークディテクタであって、前記測定対象物を覆い、前記測定対象物から漏れたトレーサガスを蓄積するチャンバと、前記チャンバ内部に連通する第１流路内に配設され、トレーサガスを検知するガスセンサと、前記第１流路を介して、前記チャンバ内部の空気を吸引する吸引ポンプと、前記チャンバ内部に連通する第２流路を介して、前記チャンバ内部に外部空気を供給する供給ポンプと、前記第１流路または前記第２流路に切り換える第１の切換バルブとを備えることを特徴とする。 The leak detector of the present invention is a leak detector that pressurizes and encloses a tracer gas in a measurement object, and detects the tracer gas leaked from the measurement object. The leak detector covers the measurement object and leaks from the measurement object. A chamber for accumulating tracer gas, a gas sensor disposed in a first flow path communicating with the inside of the chamber, and detecting the tracer gas, and air in the chamber is sucked through the first flow path. A suction pump; a supply pump for supplying external air into the chamber through a second flow path communicating with the chamber; and a first switching valve for switching to the first flow path or the second flow path. It is characterized by providing.

本発明によれば、吸引ポンプにてチャンバ内部の空気を吸引するための第１流路と、供給ポンプにてチャンバ内部に外部空気を供給するための第２流路とを第１の切換バルブで切り換えることができる。このことにより、例えば、測定開始前においては、第１の切換バルブにより第２流路に切り換えることで、供給ポンプから第２流路を介してチャンバ内部に外部空気を供給させ、チャンバ内部の残留ガスを除去し、チャンバ内部をリフレッシュできる。また、測定開始後、第１の切換バルブにより第１流路に切り換えることで、吸引ポンプにより第１流路を介してチャンバ内部の空気を吸引させ、第１流路内に配設されたガスセンサにてトレーサガスを検知させることができる。 According to the present invention, the first switching valve includes a first flow path for sucking air inside the chamber with the suction pump and a second flow path for supplying external air into the chamber with the supply pump. Can be switched with. Thus, for example, before starting the measurement, by switching to the second flow path by the first switching valve, external air is supplied from the supply pump to the inside of the chamber through the second flow path. The gas can be removed and the inside of the chamber can be refreshed. In addition, after the measurement is started, the first switching valve is switched to the first flow path so that the air in the chamber is sucked through the first flow path by the suction pump, and the gas sensor disposed in the first flow path. Tracer gas can be detected at

従って、チャンバ内部の残留ガスを除去してから測定するので、前回の測定時における残留ガスをガスセンサが検知することがなく、測定精度を向上できる。
また、残留ガスの濃度が高い場合であっても、チャンバ内部の残留ガスを除去してから測定するので、測定開始時において、濃度の高い残留ガスにガスセンサが晒されることがなく、ガスセンサの性能を良好に維持できる。
さらに、測定開始前において、供給ポンプ周辺（測定環境）の外部空気をチャンバ内部に供給するため、測定時において、ガスセンサがトレーサガスを検知する際のバックグラウンドを実際の測定環境の外部空気のレベルとすることができ、測定精度をより向上できる。
さらに、供給ポンプにより外部空気を供給することで、積極的にチャンバ内部の残留ガスを除去するので、チャンバ内部の残留ガスが完全に無くなるまで待つ必要がなく、次の測定を開始できるため、測定開始までの待ち時間を短縮できる。 Therefore, since the measurement is performed after removing the residual gas inside the chamber, the gas sensor does not detect the residual gas at the previous measurement, and the measurement accuracy can be improved.
Even if the concentration of the residual gas is high, the measurement is performed after removing the residual gas inside the chamber, so the gas sensor is not exposed to the residual gas with a high concentration at the start of measurement. Can be maintained well.
In addition, since the external air around the supply pump (measurement environment) is supplied into the chamber before the measurement is started, the background when the gas sensor detects the tracer gas at the time of measurement is the level of the external air in the actual measurement environment. The measurement accuracy can be further improved.
Furthermore, since the residual gas inside the chamber is positively removed by supplying external air from the supply pump, the next measurement can be started without having to wait until the residual gas inside the chamber is completely exhausted. The waiting time until the start can be shortened.

本発明のリークディテクタにおいて、前記ガスセンサは、筐体内部に配設されてセンサユニットとして構成され、前記第２流路の一部は、前記筐体内部に配設され、前記第２流路に沿って流通する外部空気の一部を前記筐体内部に排出する分岐流路を有し、前記第１流路の一部は、前記筐体内部に配設され、前記チャンバ内部の空気を前記ガスセンサに向けて流通させるチャンバ側流路と、前記筐体内部の前記外部空気を前記ガスセンサに向けて流通させる筐体側流路とを有し、前記センサユニットは、前記チャンバ側流路または前記筐体側流路に切り換える第２の切換バルブを備えている。 In the leak detector according to the aspect of the invention, the gas sensor is disposed as a sensor unit inside the housing, and a part of the second flow path is disposed inside the housing, and is disposed in the second flow path. A branch flow path for discharging a part of the external air flowing along the inside of the housing; a part of the first flow path is disposed inside the housing; A chamber-side flow path that circulates toward the gas sensor; and a housing-side flow path that circulates the external air inside the casing toward the gas sensor. The sensor unit includes the chamber-side flow path or the casing. and a second switching valve for switching the side channel.

この発明によれば、第２流路から分岐する分岐流路を有しているので、供給ポンプから第２流路に流通する外部空気の一部を筐体内部に排出できる。また、第１流路の一部は、チャンバ内部の空気をガスセンサに向けて流通させるチャンバ側流路、および筐体内部の外部空気をガスセンサに向けて流通させる筐体側流路を備え、第２の切換バルブがこれらの流路を切り換えることができる。このことにより、例えば、チャンバ内部のリフレッシュを行っている際に、第２の切換バルブにて筐体側流路に切り換えれば、分岐流路から筐体内部に排出された外部空気を筐体側流路からガスセンサに向けて取り込むことができる。すなわち、チャンバ内部のみならず、第１流路におけるガスセンサが配設される空間をも同時にリフレッシュすることができ、上述したガスセンサの性能を良好に維持できるとともに、測定精度を向上できるという効果をさらに好適に図れる。 According to the invention, than you are have a branch flow path branched from the second flow path can be discharged a part of the external air flowing from the supply pump to the second flow path in the housing. In addition, a part of the first flow path includes a chamber side flow path for flowing air inside the chamber toward the gas sensor, and a housing side flow path for flowing external air inside the case toward the gas sensor, These switching valves can switch these flow paths. For this reason, for example, when the interior of the chamber is refreshed, if the second switching valve is used to switch to the housing side flow path, the external air discharged from the branch flow path into the housing is flown into the housing side flow. It can take in toward the gas sensor from the road. That is, not only the inside of the chamber but also the space in which the gas sensor is disposed in the first flow path can be refreshed at the same time, and the performance of the above-described gas sensor can be maintained well and the measurement accuracy can be improved. This is possible.

本発明のリークディテクタにおいて、前記センサユニットは、複数の前記ガスセンサ、および前記複数のガスセンサに応じた複数の前記第２の切換バルブを備えることが好ましい。 In the leak detector according to the aspect of the invention, it is preferable that the sensor unit includes a plurality of the gas sensors and a plurality of the second switching valves corresponding to the plurality of gas sensors.

この発明によれば、複数のガスセンサ、および各ガスセンサに応じた複数の第２の切換バルブを備えるので、一方のガスセンサに対応する第２の切換バルブにてチャンバ側流路から筐体側流路に切り換えて、筐体側流路を介して筐体内部の外部空気を前記一方のガスセンサに向けて取り込んで、前記一方のガスセンサを待機状態とする。これと同時に、他方のガスセンサに対応する第２の切換バルブを筐体側流路からチャンバ側流路に切り換えて、チャンバ側流路を介してトレーサガスを前記他方のガスセンサに向けて取り込んで、前記他方のガスセンサを測定可能な状態とする。従って、測定時において、一方のガスセンサがガス濃度の高いトレーサガスに晒された場合には、第２の切換バルブが他方のガスセンサに切り換えるため、一方のガスセンサの復帰時間を待つことなく、他方のガスセンサにて測定を開始でき、測定開始までの待ち時間を短縮できる。 According to this invention, since the plurality of gas sensors and the plurality of second switching valves corresponding to each gas sensor are provided, the chamber-side flow path is changed from the chamber-side flow path to the housing-side flow path by the second switching valve corresponding to one gas sensor. By switching, external air inside the housing is taken toward the one gas sensor via the housing-side flow path, and the one gas sensor is set in a standby state. At the same time, the second switching valve corresponding to the other gas sensor is switched from the housing side channel to the chamber side channel, and the tracer gas is taken in toward the other gas sensor via the chamber side channel, The other gas sensor is in a measurable state. Therefore, when one gas sensor is exposed to a tracer gas having a high gas concentration during measurement, the second switching valve switches to the other gas sensor, so that the other gas sensor does not have to wait for the return time of the other gas sensor. Measurement can be started with a gas sensor, and the waiting time until the measurement can be shortened.

本発明のリークディテクタにおいて、前記ガスセンサおよび前記第１の切換バルブを保持するブロック状の保持部材を備え、前記第１の切換バルブは、空気を流入出する第１から第３流入出ポートを有し、前記第１流入出ポートおよび前記第２流入出ポート間の接続、または前記第２流入出ポートおよび前記第３流入出ポート間の接続に切り換えることで、前記第１流路または前記第２流路に切り換え、前記保持部材は、前記ガスセンサを内部に収納する収納部を有するとともに、外面にて前記第１の切換バルブを保持し、前記保持部材には、前記第１流路の一部を構成し、前記第１流入出ポートに接続するとともに前記収納部内部に連通して前記第１の切換バルブを介した前記チャンバ内部の空気を前記収納部内部に向けて流通させる第１連通孔と、前記第１流路および前記第２流路の一部を構成し、前記第２流入出ポートに接続して前記チャンバ内部の空気を前記第１の切換バルブに向けて流通、または、前記第１の切換バルブを介した前記外部空気を前記チャンバ内部に向けて流通させる第２連通孔と、前記第２流路の一部を構成し、前記第３流入出ポートに接続して前記供給ポンプからの前記外部空気を前記第１の切換バルブへ流通させる第３連通孔とが形成されていることが好ましい。 The leak detector according to the present invention includes a block-shaped holding member that holds the gas sensor and the first switching valve, and the first switching valve has first to third inlet / outlet ports through which air flows in and out. By switching to the connection between the first inflow / outflow port and the second inflow / outflow port, or the connection between the second inflow / outflow port and the third inflow / outflow port, the first flow path or the second The holding member has a storage portion that stores the gas sensor therein, and holds the first switching valve on an outer surface, and the holding member includes a part of the first flow path. And is connected to the first inflow / outlet port and communicates with the inside of the housing portion to circulate air inside the chamber through the first switching valve toward the inside of the housing portion. A part of the through-hole and the first flow path and the second flow path, and connected to the second inflow / outflow port to flow air inside the chamber toward the first switching valve, or A second communication hole through which the external air through the first switching valve flows toward the inside of the chamber, and a part of the second flow path, and connected to the third inflow / outflow port; It is preferable that a third communication hole for allowing the external air from the supply pump to flow to the first switching valve is formed.

この発明によれば、保持部材の内部に第１〜第３連通孔が形成されているので、供給ポンプからの第３連通孔を流通した外部空気は、第３流入出ポートを介して第１の切換バルブに流入する。そして、第１の切換バルブが、第２流入出ポートおよび第３流入出ポート間の接続に切り換えることで、前記外部空気は、第２流入出ポートから第２連通孔に流通し、チャンバ内部へ供給されることとなる。また、第１の切換バルブが、第１流入出ポートおよび第２流入出ポート間の接続に切り換えることで、チャンバ内部の空気は、第２連通孔を流通して、第２流入出ポートを介して、第１の切換バルブに流入し、第１流入出ポートから第１連通孔を通って、収納部内部に吸引される。
従って、これらの構成をブロック状の保持部材に集約したことで、チューブ等を引き回して流路を確保する必要が無いので、第１流路および第２流路を短くすることができ、流路内の残留ガスを大幅に減少することができ、測定精度をより一層向上できる。 According to the present invention, since the first to third communication holes are formed inside the holding member, the external air that has circulated through the third communication hole from the supply pump passes through the third inflow / outflow port. Into the switching valve. The first switching valve switches the connection between the second inflow / outflow port and the third inflow / outflow port, so that the external air flows from the second inflow / outflow port to the second communication hole and enters the chamber. Will be supplied. In addition, the first switching valve switches the connection between the first inflow / outflow port and the second inflow / outflow port, so that the air inside the chamber flows through the second communication hole and passes through the second inflow / outflow port. Then, it flows into the first switching valve, and is sucked into the storage portion from the first inflow / outflow port through the first communication hole.
Therefore, since these structures are integrated into the block-shaped holding member, there is no need to secure a flow path by drawing a tube or the like, so that the first flow path and the second flow path can be shortened. The residual gas in the inside can be greatly reduced, and the measurement accuracy can be further improved.

本発明のリークディテクタにおいて、前記第１流路内には、前記ガスセンサの流路前段側に、前記トレーサガスを検知する補助ガスセンサが設けられていることが好ましい。
この発明によれば、補助ガスセンサをガスセンサの前段に設けることで、事前に補助ガスセンサが高濃度ガスであるかを検知できる。そして、高濃度ガスを事前に検知した場合には、例えば、第１の切換バルブまたは第２の切換バルブを切り換えることで、ガスセンサへ高濃度ガスを流通させることを確実に防止する。従って、ガスセンサが高濃度のトレーサガスに晒されることを防止でき、ガスセンサの性能の劣化や、復帰不能を確実に防止できる。 In the leak detector according to the present invention, it is preferable that an auxiliary gas sensor for detecting the tracer gas is provided in the first flow path on the upstream side of the flow path of the gas sensor.
According to the present invention, it is possible to detect in advance whether the auxiliary gas sensor is a high-concentration gas by providing the auxiliary gas sensor in the preceding stage of the gas sensor. When the high-concentration gas is detected in advance, for example, by switching the first switching valve or the second switching valve, the high-concentration gas is reliably prevented from flowing to the gas sensor. Therefore, it is possible to prevent the gas sensor from being exposed to the high-concentration tracer gas, and it is possible to surely prevent the performance of the gas sensor from being deteriorated or unrecoverable.

本発明のリークディテクタにおいて、前記チャンバは、前記測定対象物の一部を覆うように形成され、前記チャンバ、前記ガスセンサ、および前記第１の切換バルブは、検出ユニットとしてユニット化され、前記検出ユニットは、複数、設けられていることが好ましい。
この発明によれば、チャンバ、ガスセンサ、および第１の切換バルブで構成される検出ユニットを複数備えているので、複数の検出ユニットを用いて、測定対象物における複数位置のリークの有無を並行して同時に検知できる。 In the leak detector of the present invention, the chamber is formed so as to cover a part of the measurement object, and the chamber, the gas sensor, and the first switching valve are unitized as a detection unit, and the detection unit It is preferable that a plurality is provided.
According to the present invention, since a plurality of detection units including the chamber, the gas sensor, and the first switching valve are provided, the presence / absence of leaks at a plurality of positions in the measurement target is paralleled using the plurality of detection units. Can be detected simultaneously.

本発明のリークディテクタにおいて、前記吸引ポンプは、単体で構成され、前記複数の検出ユニット毎の各前記第１流路を介して、各前記チャンバ内部の空気を一括して吸引し、前記供給ポンプは、単体で構成され、前記複数の検出ユニット毎の各前記第２流路を介して、前記各チャンバ内部に外部空気を一括して供給することが好ましい。
この発明によれば、供給ポンプおよび吸引ポンプをそれぞれ単体で構成できるので、検出ユニットを複数設けた場合であっても、リークディテクタが大型化することがない。 In the leak detector according to the present invention, the suction pump is configured as a single unit, and collectively sucks air inside each chamber through each first flow path for each of the plurality of detection units, and supplies the supply pump. Is configured as a single unit, and external air is preferably supplied into the chambers collectively through the second flow paths of the plurality of detection units.
According to the present invention, since the supply pump and the suction pump can be configured as a single unit, the leak detector does not increase in size even when a plurality of detection units are provided.

本発明のリークディテクタにおいて、前記供給ポンプは、前記複数の検出ユニット毎にそれぞれ設けられていることが好ましい。
この発明によれば、供給ポンプが検出ユニット毎に設けられているので、測定対象物における複数の各測定位置近傍に供給ポンプをそれぞれ配設すれば、各供給ポンプ周辺の外部空気と、各測定位置における実際の測定環境の外部空気とを略同一の空気とすることができる。
従って、実際の測定環境の外部空気と略同一の空気を各チャンバ内部等に供給でき、ガスセンサがトレーサガスを検知する際のバックグラウンドを実施の測定環境により近い外部空気のレベルとすることができ、測定精度をより一層向上できる。 In the leak detector according to the present invention, it is preferable that the supply pump is provided for each of the plurality of detection units.
According to the present invention, since the supply pump is provided for each detection unit, if the supply pump is disposed in the vicinity of each of the plurality of measurement positions in the measurement object, the external air around each supply pump and each measurement are measured. The air outside the actual measurement environment at the position can be substantially the same air.
Therefore, it is possible to supply substantially the same air as the external air in the actual measurement environment to the inside of each chamber, etc., and the background when the gas sensor detects the tracer gas can be set to a level of external air that is closer to the actual measurement environment. Measurement accuracy can be further improved.

[第１実施形態]
以下、本発明に係る第１実施形態を図面に基づいて説明する。
〔リークディテクタの概略構成〕
図１は、本発明の第１実施形態に係るリークディテクタ１を示す概略図である。
リークディテクタ１は、トレーサガス漏れの有無（リークの有無）を検知する測定対象物にトレーサガスを加圧封入し、この測定対象物からトレーサガスの漏れを検知する試験装置である。本実施形態でのトレーサガスには、水素５％と窒素９５％との混合ガスである希薄水素が使用される。
このリークディテクタ１は、図１に示すように、チャンバ２と、装置本体３と、センサユニット４とで構成される。 [First embodiment]
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment according to the invention will be described with reference to the drawings.
[Schematic configuration of leak detector]
FIG. 1 is a schematic view showing a leak detector 1 according to the first embodiment of the present invention.
The leak detector 1 is a test apparatus that pressurizes and encloses a tracer gas in a measurement object that detects the presence or absence of a tracer gas leak (the presence or absence of a leak), and detects the leak of the tracer gas from the measurement object. As the tracer gas in this embodiment, dilute hydrogen which is a mixed gas of 5% hydrogen and 95% nitrogen is used.
As shown in FIG. 1, the leak detector 1 includes a chamber 2, an apparatus main body 3, and a sensor unit 4.

チャンバ２は、測定対象物を覆うように測定対象物の上方側に設置され、測定対象物から漏れたトレーサガスを蓄積して、高濃度化する容器である。本実施形態では、チャンバ２は、例えば、椀型に形成されている。
なお、チャンバ２としては、椀型の形状に限らず、測定対象物を内部に収納する容器と、容器の開口部分を閉塞する蓋体とで構成した略密閉構造のチャンバを採用しても構わない。チャンバ２は、チャンバ２内部に連通するチューブ５を介してセンサユニット４に接続される。 The chamber 2 is a container that is installed above the measurement object so as to cover the measurement object, accumulates the tracer gas leaked from the measurement object, and increases the concentration. In the present embodiment, the chamber 2 is formed in a bowl shape, for example.
The chamber 2 is not limited to the bowl shape, and may be a chamber having a substantially hermetic structure including a container that houses the measurement object and a lid that closes the opening of the container. Absent. The chamber 2 is connected to the sensor unit 4 via a tube 5 communicating with the inside of the chamber 2.

〔装置本体の構成〕
装置本体３は、図１に示すように、供給ポンプ６と、吸引ポンプ７と、制御部８とを備える。この他に、具体的な図示は省略したが、装置本体３には、リークディテクタ１を稼働させる電源スイッチや、漏れ試験を開始する測定開始ボタン等が配置される。
供給ポンプ６は、供給流路２１およびチューブ５を介して、外部空気（以下、フレッシュエア）をチャンバ２内部やセンサユニット４の筐体４１内部に供給するものである。
供給流路２１は、内部に後述する補助センサとしての第１水素センサ１２が配設されチューブ５と後述する保持部材９とを接続する前段流路２２と、保持部材９内部に形成される流路と、保持部材９と供給ポンプ６とを接続する第２後段流路２３とで構成される。また、第２後段流路２３は、センサユニット４の筐体４１内で分岐する分岐流路１９を有している。 [Configuration of the device body]
As shown in FIG. 1, the apparatus main body 3 includes a supply pump 6, a suction pump 7, and a control unit 8. In addition, although not specifically shown, the apparatus main body 3 is provided with a power switch for operating the leak detector 1, a measurement start button for starting a leak test, and the like.
The supply pump 6 supplies external air (hereinafter referred to as fresh air) into the chamber 2 and the housing 41 of the sensor unit 4 via the supply flow path 21 and the tube 5.
The supply flow path 21 includes a first flow path 22 for connecting a tube 5 and a holding member 9 to be described later, and a flow formed in the holding member 9. And a second downstream flow path 23 connecting the holding member 9 and the supply pump 6. Further, the second rear-stage channel 23 has a branch channel 19 that branches in the housing 41 of the sensor unit 4.

吸引ポンプ７は、チューブ５および吸引流路２０を介して、チャンバ２内部に蓄積された空気を吸引するものである。
吸引流路２０は、前記前段流路２２と、保持部材９内部に形成される流路と、吸引ポンプ７とセンサユニット４とを接続する第１後段流路２４と、第１後段流路２４から分岐して保持部材９に接続される第１分岐流路２５および第２分岐流路２６とで構成される。
そして、上述した供給流路２１およびチューブ５が、本発明の第２流路Ｂに相当し、吸引流路２０およびチューブ５が、本発明の第１流路Ａに相当する。
本実施形態では、上述した前段流路２２およびチューブ５は、第１流路Ａ、および第２流路Ｂの双方の流路の一部を構成している。
制御部８は、センサユニット４との間で信号を出入力するものであり、構成の詳細は後述する。 The suction pump 7 sucks air accumulated in the chamber 2 through the tube 5 and the suction flow path 20.
The suction flow path 20 includes the front flow path 22, a flow path formed inside the holding member 9, a first rear flow path 24 that connects the suction pump 7 and the sensor unit 4, and a first rear flow path 24. The first branch flow path 25 and the second branch flow path 26 are branched and connected to the holding member 9.
The supply channel 21 and the tube 5 described above correspond to the second channel B of the present invention, and the suction channel 20 and the tube 5 correspond to the first channel A of the present invention.
In the present embodiment, the preceding-stage flow path 22 and the tube 5 described above constitute a part of both the first flow path A and the second flow path B.
The control unit 8 inputs and outputs signals to and from the sensor unit 4, and details of the configuration will be described later.

〔センサユニットの構成〕
センサユニット４は、図１に示すように、筐体４１内に、保持部材９と、流量制御弁１０Ａ，１０Ｂと、流量計１１Ａ，１１Ｂと、第１水素センサ１２とを備える。
保持部材９は、第１の切換バルブとしての第１切換バルブ１３と、第２の切換バルブとしての第２切換バルブ１４および第３切換バルブ１５と、ガスセンサとしての第２水素センサ１６と、およびガスセンサとしての第３水素センサ１７とを保持する。そして、保持部材９には、上述したように供給流路２１および吸引流路２０の一部が形成され、保持部材９は、保持した各切換バルブ１３〜１５、および第２，第３水素センサ１６，１７に空気を流通させる。
ここで、本実施形態で用いられる第１切換バルブ１３〜第３切換バルブ１５は、マイクロバルブであり、例えば、３方弁式のデジタル・ソレノイド・バルブである。本実施形態では、Ｘ−ＶＡＬＶＥ（Parker Hannifin社製）が使用されている。
なお、保持部材９の内部構造の詳細は後述する。 [Configuration of sensor unit]
As shown in FIG. 1, the sensor unit 4 includes a holding member 9, flow control valves 10 A and 10 B, flow meters 11 A and 11 B, and a first hydrogen sensor 12 in a housing 41.
The holding member 9 includes a first switching valve 13 as a first switching valve, a second switching valve 14 and a third switching valve 15 as a second switching valve, a second hydrogen sensor 16 as a gas sensor, and A third hydrogen sensor 17 as a gas sensor is held. The holding member 9 is formed with a part of the supply channel 21 and the suction channel 20 as described above, and the holding member 9 includes the held switching valves 13 to 15 and the second and third hydrogen sensors. Let air flow through 16 and 17.
Here, the first switching valve 13 to the third switching valve 15 used in the present embodiment are microvalves, for example, three-way valve type digital solenoid valves. In the present embodiment, X-VALVE (manufactured by Parker Hannifin) is used.
The details of the internal structure of the holding member 9 will be described later.

流量制御弁１０Ａ，１０Ｂは、ニードルバルブであり、それぞれ第１分岐流路２５、および第２分岐流路２６に配設される。流量制御弁１０Ａ，１０Ｂは、制御部８が出力する流量信号Ｑ_１，Ｑ_２により、流量制御弁１０Ａ，１０Ｂを通過するガス流量が一定となるように制御される。 The flow control valves 10 A and 10 B are needle valves and are disposed in the first branch flow path 25 and the second branch flow path 26, respectively. The flow rate control valves 10A and 10B are controlled by the flow rate signals Q ₁ and Q ₂ output from the control unit 8 so that the gas flow rate passing through the flow rate control valves 10A and 10B is constant.

流量計１１Ａ，１１Ｂは、第１分岐流路２５、および第２分岐流路２６の途中にそれぞれ配設され、流量制御弁１０Ａ，１０Ｂの後段側（吸引ポンプ７側）に位置する。流量計１１Ａ，１１Ｂは、流量を測定し、制御部８に測定した流量に応じた信号Ｆ_１，Ｆ_２を出力する。
第１水素センサ１２は、後述する第２，第３水素センサ１６，１７とは異なるセンサであり、例えば、接触型半導体センサである。この接触型半導体センサは、高感度、高反応速度、高濃度ガス（水素濃度が高い）に耐えうる機能を有している。そして、第１水素センサ１２は、チャンバ２内部から吸引した水素の濃度を測定し、測定信号を制御部８に出力する。 The flow meters 11A and 11B are respectively arranged in the middle of the first branch flow path 25 and the second branch flow path 26, and are located on the rear stage side (the suction pump 7 side) of the flow control valves 10A and 10B. The flow meters 11A and 11B measure the flow rate and output signals F ₁ and F ₂ corresponding to the measured flow rate to the control unit 8.
The first hydrogen sensor 12 is a sensor different from second and third hydrogen sensors 16 and 17 described later, and is, for example, a contact semiconductor sensor. This contact-type semiconductor sensor has a function capable of withstanding high sensitivity, high reaction speed, and high concentration gas (high hydrogen concentration). Then, the first hydrogen sensor 12 measures the concentration of hydrogen sucked from the inside of the chamber 2 and outputs a measurement signal to the control unit 8.

第１切換バルブ１３、第２切換バルブ１４、および第３切換バルブ１５は、三方式切換弁である。
第１切換バルブ１３は、前段流路２２、吸引流路２０、および供給流路２１にそれぞれ接続され、制御部８からの切換信号に応じて、吸引流路２０または供給流路２１を選択して、吸引流路２０または供給流路２１を前段流路２２に連通させる。より具体的には、第１切換バルブ１３は、第１流入出ポート１３１〜第３流入出ポート１３３（図４〜図６の二点鎖線）を有し、切換信号に応じて第２流入出ポート１３２、第３流入出ポート１３３間の接続（以下、ＮＯ（Normal Open）側と記載）、または第１流入出ポート１３１、第２流入出ポート１３２間の接続（以下、ＮＣ（Normal Close）側と記載）に切り換わる。 The first switching valve 13, the second switching valve 14, and the third switching valve 15 are three-way switching valves.
The first switching valve 13 is connected to the upstream flow path 22, the suction flow path 20, and the supply flow path 21, and selects the suction flow path 20 or the supply flow path 21 according to the switching signal from the control unit 8. Thus, the suction channel 20 or the supply channel 21 is communicated with the upstream channel 22. More specifically, the first switching valve 13 has a first inflow / outflow port 131 to a third inflow / outflow port 133 (two-dot chain lines in FIGS. 4 to 6), and the second inflow / outflow in accordance with the switching signal. Connection between the port 132 and the third inflow / outflow port 133 (hereinafter referred to as NO (Normal Open) side), or connection between the first inflow / outflow port 131 and the second inflow / outflow port 132 (hereinafter referred to as NC (Normal Close)) Switch to the side).

第２，第３切換バルブ１４，１５は、吸引流路２０の途中に配設され、第１切換バルブ１３の後段側（吸引ポンプ７側）に配置される。
第２，第３切換バルブ１４，１５は、第１切換バルブ１３と同様に、第１流入出ポート１４１，１５１〜第３流入出ポート１４３，１５３（図４〜図６の二点鎖線）を有し、切換信号に応じて、ＮＣ側に切り換わると、第１流入出ポート１４１，１５１および第２流入出ポート１４２，１５２間が接続、またはＮＯ側に切り換わると、第２流入出ポート１４２，１５２および第３流入出ポート１４３，１５３間が接続する。 The second and third switching valves 14 and 15 are disposed in the middle of the suction flow path 20 and are disposed on the rear stage side (the suction pump 7 side) of the first switching valve 13.
Similarly to the first switching valve 13, the second and third switching valves 14 and 15 are connected to the first inflow / outflow ports 141 and 151 to the third inflow / outflow ports 143 and 153 (two-dot chain lines in FIGS. 4 to 6). And, when switched to the NC side according to the switching signal, the first inflow / outflow ports 141, 151 and the second inflow / outflow ports 142, 152 are connected, or when switched to the NO side, the second inflow / outflow ports 142, 152 and the third inflow / outlet ports 143, 153 are connected.

第２水素センサ１６および第３水素センサ１７は、酸化スズ半導体ガスセンサであり、吸引流路２０の途中に配設され、第２，第３切換バルブ１４，１５の後段側（吸引ポンプ７側）に位置する。第２水素センサ１６および第３水素センサ１７は、チャンバ２内部から吸引した水素の濃度を測定し、測定信号を制御部８へ出力する。また、第２水素センサ１６および第３水素センサ１７のいずれか一方は、待機状態となるように、第２切換バルブ１４または第３切換バルブ１５を切り換えて設定される。 The second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 are tin oxide semiconductor gas sensors and are arranged in the middle of the suction flow path 20 and are located on the rear stage side (the suction pump 7 side) of the second and third switching valves 14 and 15. Located in. The second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 measure the concentration of hydrogen sucked from the inside of the chamber 2 and output a measurement signal to the control unit 8. Further, one of the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 is set by switching the second switching valve 14 or the third switching valve 15 so as to be in a standby state.

〔制御部の構成〕
図２は、装置本体３の制御部８のブロック図である。
制御部８は、図２に示すように、記憶部８１、水素濃度算出部８２、比較部８３、流路切換制御部８４、および流量制御部８５を備える。
記憶部８１は、チャンバ２内部の水素が高濃度であるか否かを判断する第１閾値、中濃度であるか否かを判断する第２閾値、およびリーク有無を判断するガス濃度の基準値を記憶している。第１閾値がこれらの数値の中で最大で、次に第２閾値、基準値の順に設定されている。
水素濃度算出部８２は、第１水素センサ１２、第２水素センサ１６、および第３水素センサ１７から測定信号Ｓ_１，Ｓ_２，Ｓ_３が入力され、ガス濃度を算出する。
比較部８３は、水素濃度算出部８２で算出されたガス濃度と記憶部８１に記憶された基準値等と比較して、リークの有無を判断したり、高濃度ガスであるか否か、または中濃度ガスであるか否かを判断する。 (Configuration of control unit)
FIG. 2 is a block diagram of the control unit 8 of the apparatus body 3.
As shown in FIG. 2, the control unit 8 includes a storage unit 81, a hydrogen concentration calculation unit 82, a comparison unit 83, a flow path switching control unit 84, and a flow rate control unit 85.
The storage unit 81 includes a first threshold value for determining whether or not hydrogen in the chamber 2 has a high concentration, a second threshold value for determining whether or not the hydrogen concentration is medium, and a gas concentration reference value for determining whether there is a leak. Is remembered. The first threshold value is the largest of these numerical values, and is then set in the order of the second threshold value and the reference value.
The hydrogen concentration calculator 82 receives the measurement signals S ₁ , S ₂ , S ₃ from the first hydrogen sensor 12, the second hydrogen sensor 16, and the third hydrogen sensor 17 and calculates the gas concentration.
The comparison unit 83 compares the gas concentration calculated by the hydrogen concentration calculation unit 82 with the reference value stored in the storage unit 81 to determine whether there is a leak, whether the gas is a high concentration gas, It is determined whether the gas is a medium concentration gas.

流路切換制御部８４は、電源ボタンからの電源信号、測定開始ボタンからの開始信号、または比較部８３の判断結果に応じて、各切換バルブ１３〜１５をＮＯ側またはＮＣ側に切り換える切換信号Ｖ_１，Ｖ_２，Ｖ_３を各切換バルブ１３〜１５に出力する。また、測定開始ボタンからの開始信号が入力後、一定時間経過した場合には、第２または第３切換バルブ１４，１５に切換信号Ｖ_２，Ｖ_３を出力する。
流量制御部８５は、流量計１１Ａ，１１Ｂから出力される信号Ｆ_１，Ｆ_２に応じて、流量制御弁１０Ａ，１０Ｂを通過するガス流量を一定でかつ共に等しくなるように、流量信号Ｑ_１，Ｑ_２を流量制御弁１０Ａ，１０Ｂに出力する。 The flow path switching control unit 84 switches the switching valves 13 to 15 to the NO side or the NC side according to the power signal from the power button, the start signal from the measurement start button, or the determination result of the comparison unit 83. V ₁ , V ₂ , V ₃ are output to each switching valve 13-15. In addition, when a predetermined time has elapsed after the start signal from the measurement start button is input, the switching signals V ₂ and V ₃ are output to the second or third switching valves 14 and 15.
The flow rate controller 85 determines the flow rate signal Q ₁ so that the gas flow rates passing through the flow rate control valves 10A and 10B are constant and equal in accordance with the signals F ₁ and F ₂ output from the flow meters 11A and 11B. , and it outputs a _{Q 2} the flow control valve 10A, the 10B.

〔保持部材の内部構造〕
図３は、保持部材９の斜視図、図４は、図３でのIV−IV線断面図、図５は、図３でのV−V線断面図、図６は、図３でのVI−VI線断面図、図７は、保持部材９の底面図である。なお、以下で記載する「上」、「下」、「左」、「右」は、図３における図面視において、上下左右に相当するものである。また、以下で記載する「前面」、「背面」も、図３における前面側、背面側に相当するものである。 [Internal structure of holding member]
3 is a perspective view of the holding member 9, FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3, FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 3, and FIG. FIG. 7 is a bottom view of the holding member 9. Note that “upper”, “lower”, “left”, and “right” described below correspond to upper, lower, left, and right in the drawing view of FIG. In addition, “front” and “back” described below correspond to the front side and the back side in FIG.

保持部材９は、図３に示すようにブロック状に形成され、図４〜図６に示すように側面視断面Ｌ字状に形成されている。
なお、以下では、説明の便宜上、保持部材９の各外面を、図３に示すように、第１前面部９Ａ、第２前面部９Ｂ、右側面部９Ｃ、左側面部９Ｄ、下面部９Ｅ、背面部９Ｆ、第１上面部９Ｇ、および第２上面部９Ｈとする。 The holding member 9 is formed in a block shape as shown in FIG. 3, and is formed in a L-shaped cross-sectional view as shown in FIGS. 4 to 6.
In the following, for convenience of explanation, each outer surface of the holding member 9 is, as shown in FIG. 3, a first front surface portion 9A, a second front surface portion 9B, a right side surface portion 9C, a left side surface portion 9D, a lower surface portion 9E, and a back surface portion. 9F, the first upper surface portion 9G, and the second upper surface portion 9H.

第１前面部９Ａには、後述する収納部９８Ａ，９８Ｂに連通する吸引孔９１Ａ，９１Ｂが形成されている。そして、吸引孔９１Ａ，９１Ｂには、第１分岐流路２５、第２分岐流路２６がそれぞれ接続される。
右側面部９Ｃには、本発明の第１流路Ａの一部を構成する側面側連通孔９２が形成されている。この側面側連通孔９２は、図７に示すように、右側面部９Ｃに対して略直交して延出する。そして、側面側連通孔９２の一端（右側面部９Ｃ側）は、皿ねじ（図示略）で封止される。 Suction holes 91A and 91B communicating with storage portions 98A and 98B described later are formed in the first front surface portion 9A. The first branch flow path 25 and the second branch flow path 26 are connected to the suction holes 91A and 91B, respectively.
The right side surface portion 9C is formed with a side surface side communication hole 92 that constitutes a part of the first flow path A of the present invention. As shown in FIG. 7, the side surface side communication hole 92 extends substantially orthogonal to the right side surface portion 9C. Then, one end (the right side surface portion 9C side) of the side surface side communication hole 92 is sealed with a countersunk screw (not shown).

下面部９Ｅには、各切換バルブ１３〜１５を保持する部分である。この下面部９Ｅには、図７に示すように、背面側連通孔９３Ａ〜９３Ｃ、センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂ、Ｌ字状連通孔９５、前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃが形成されている。
背面側連通孔９３Ａ〜９３Ｃは、図４〜図７に示すように、側面側連通孔９２と連通する。
センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂは、本発明の第１流路Ａの一部を構成し、収納部９８Ａ，９８Ｂと連通する。
また、Ｌ字状連通孔９５は、図６に示すように、本発明の第１流路Ａおよび第２流路Ｂの一部を構成し、背面部９Ｆと連通する。そして、Ｌ字状連通孔９５には、前段流路２２が接続される。
前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃは、図４〜図６に示すように、本発明の第２流路Ｂの一部を構成し、第２上面部９Ｈと連通する。
ここで、側面側連通孔９２およびセンサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂが、本発明に係る第１連通孔に相当し、Ｌ字状連通孔９５が、本発明に係る第２連通孔に相当する。また、前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃが、本発明に係る第３連通孔に相当する。 The lower surface portion 9E is a portion that holds the switching valves 13-15. As shown in FIG. 7, rear surface side communication holes 93A to 93C, sensor side communication holes 94A and 94B, L-shaped communication holes 95, and front surface side communication holes 96A to 96C are formed in the lower surface portion 9E.
The rear side communication holes 93 A to 93 C communicate with the side surface side communication holes 92, as shown in FIGS. 4 to 7.
The sensor side communication holes 94A and 94B constitute a part of the first flow path A of the present invention and communicate with the storage portions 98A and 98B.
Further, as shown in FIG. 6, the L-shaped communication hole 95 constitutes a part of the first flow path A and the second flow path B of the present invention and communicates with the back surface portion 9F. The upstream flow path 22 is connected to the L-shaped communication hole 95.
As shown in FIGS. 4 to 6, the front side communication holes 96 A to 96 C constitute a part of the second flow path B of the present invention and communicate with the second upper surface portion 9 H.
Here, the side-side communication hole 92 and the sensor-side communication holes 94A and 94B correspond to the first communication hole according to the present invention, and the L-shaped communication hole 95 corresponds to the second communication hole according to the present invention. The front side communication holes 96A to 96C correspond to the third communication hole according to the present invention.

背面側連通孔９３Ａ、Ｌ字状連通孔９５、および前面側連通孔９６Ａには、第１切換バルブ１３（図４〜図６での２点鎖線）の各流入出ポート１３１〜１３３が装着される。
また、背面側連通孔９３Ｂ、センサ側連通孔９４Ａ、および前面側連通孔９６Ｂには、第２切換バルブ１４（図４〜図６での２点鎖線）の各流入出ポート１４１〜１４３が装着される。
背面側連通孔９３Ｃ、センサ側連通孔９４Ｂ、および前面側連通孔９６Ｃには、第３切換バルブ１５（図４〜図６での２点鎖線）の各流入出ポート１５１〜１５３が装着される。
すなわち、各切換バルブ１３〜１５の第１流入出ポート１３１，１４１，１５１は、図４〜図６に示すように、側面側連通孔９２と連通する。 Respective inflow / outlet ports 131 to 133 of the first switching valve 13 (two-dot chain line in FIGS. 4 to 6) are attached to the rear side communication hole 93 A, the L-shaped communication hole 95, and the front side communication hole 96 A. The
The back side communication hole 93B, the sensor side communication hole 94A, and the front side communication hole 96B are fitted with the inflow / outflow ports 141 to 143 of the second switching valve 14 (two-dot chain line in FIGS. 4 to 6). Is done.
Respective inflow / outflow ports 151 to 153 of the third switching valve 15 (two-dot chain line in FIGS. 4 to 6) are attached to the rear side communication hole 93C, the sensor side communication hole 94B, and the front side communication hole 96C. .
That is, the first inflow / outflow ports 131, 141, 151 of the switching valves 13-15 communicate with the side surface side communication holes 92 as shown in FIGS.

第１上面部９Ｇには、第２、第３水素センサ１６，１７を収納する収納部９８Ａ，９８Ｂが形成されている。この収納部９８Ａ，９８Ｂは、図３〜図６に示すように円柱状に形成されている。
すなわち、第２，第３切換バルブ１４，１５の第２流入出ポート１４２，１５２は、センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂを介して各収納部９８Ａ，９８Ｂと連通する。 Storage portions 98A and 98B for storing the second and third hydrogen sensors 16 and 17 are formed on the first upper surface portion 9G. The storage portions 98A and 98B are formed in a columnar shape as shown in FIGS.
That is, the second inflow / outflow ports 142 and 152 of the second and third switching valves 14 and 15 communicate with the storage portions 98A and 98B via the sensor side communication holes 94A and 94B.

例えば、第１切換バルブ１３がＮＣ側に切り換わり、かつ、第２，第３切換バルブ１４，１５がＮＣ側に切り換わった場合には、図４〜図６に示す吸引ポンプ７が、チャンバ２内部の空気を吸引する流路Ｃ（破線矢印）が構成される。流路Ｃは、流路Ｃ１〜Ｃ３を有する。
流路Ｃ１は、図６に示すように、前段流路２２を辿った空気を、Ｌ字状連通孔９５〜第１切換バルブ１３（第２流入出ポート１３２〜第１流入出ポート１３１）〜背面側連通孔９３Ａ〜側面側連通孔９２を辿って流通させる流路である。
流路Ｃ２，Ｃ３は、図４，５に示すように、流路Ｃ１を辿った空気を、背面側連通孔９３Ｂ，９３Ｃ〜第２，３切換バルブ１４，１５（第１流入出ポート１４１，１５１〜第２流入出ポート１４２，１５２）〜センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂ〜収納部９８Ａ，９８Ｂ（第２水素センサ１６、第３水素センサ１７）〜吸引孔９１Ａ，９１Ｂを辿って、第１分岐流路２５、第２分岐流路２６に流通させる流路である。
ここで、チューブ５、前段流路２２、流路Ｃ１、および背面側連通孔９３Ｂ，９３Ｃが、本発明に係るチャンバ側流路に相当する。
なお、図１では、説明の便宜上、第２，第３切換バルブ１４，１５がＮＣ側に切り換わった状態をチャンバ側流路１４Ａ，１５Ａとして図示している。 For example, when the first switching valve 13 is switched to the NC side and the second and third switching valves 14 and 15 are switched to the NC side, the suction pump 7 shown in FIGS. 2 constitutes a flow path C (broken arrow) for sucking air inside. The channel C has channels C1 to C3.
As shown in FIG. 6, the flow path C 1 allows the air that has traced the preceding flow path 22 to flow from the L-shaped communication hole 95 to the first switching valve 13 (second inflow / outflow port 132 to first inflow / outflow port 131). This is a flow path that circulates along the rear side communication hole 93 A to the side surface communication hole 92.
As shown in FIGS. 4 and 5, the flow paths C2 and C3 allow the air following the flow path C1 to flow from the rear side communication holes 93B and 93C to the second and third switching valves 14 and 15 (first inflow / outflow ports 141 and 151 to the second inflow / outflow ports 142 and 152) to the sensor side communication holes 94A and 94B to the storage portions 98A and 98B (the second hydrogen sensor 16, the third hydrogen sensor 17) to the suction holes 91A and 91B. This is a flow path that circulates in the branch flow path 25 and the second branch flow path 26.
Here, the tube 5, the front-stage flow path 22, the flow path C1, and the rear side communication holes 93B and 93C correspond to the chamber-side flow path according to the present invention.
In FIG. 1, for convenience of explanation, the state where the second and third switching valves 14 and 15 are switched to the NC side is illustrated as chamber-side flow paths 14A and 15A.

第２上面部９Ｈには、下面部９Ｅと連通する前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃが形成され、この前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃには、管部材１８Ａ〜１８Ｃが嵌合している。
すなわち、各切換バルブ１３〜１５の第３流入出ポート１３３，１４３，１５３は、前面側連通孔９６Ａ〜９６Ｃに連通する。
管部材１８Ｂには、供給ポンプ６と連通する第２後段流路２３が接続される。
管部材１８Ａ，１８Ｃには、特段、何も接続されない。すなわち、各切換バルブ１４，１５の第３流入出ポート１４３，１５３は、筐体４１内部に連通する。 Front side communication holes 96A to 96C communicating with the lower surface part 9E are formed in the second upper surface part 9H, and pipe members 18A to 18C are fitted in the front side communication holes 96A to 96C.
That is, the third inflow / outlet ports 133, 143, 153 of the switching valves 13-15 communicate with the front side communication holes 96A-96C.
A second downstream flow path 23 that communicates with the supply pump 6 is connected to the pipe member 18B.
In particular, nothing is connected to the pipe members 18A and 18C. That is, the third inflow / outlet ports 143 and 153 of the switching valves 14 and 15 communicate with the inside of the housing 41.

例えば、各切換バルブ１４，１５がＮＯ側に切り換わった場合には、図４、図５に示す吸引ポンプ７が、筐体４１内部のフレッシュエアを収納部９８Ａ，９８Ｂへ供給する流路Ｄ（破線矢印）が構成される。
流路Ｄは、図４，５に示すように、筐体４１内部の空気を、管部材１８Ａ，１８Ｃ〜前面側連通孔９６Ｂ，９６Ｃ〜第２，３切換バルブ１４，１５（第３流入出ポート１４３，１５３〜第２流入出ポート１４２，１５２）〜センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂ〜収納部９８Ａ，９８Ｂ（第２水素センサ１６、第３水素センサ１７）〜吸引孔９１Ａ，９１Ｂを辿って、第１分岐流路２５、第２分岐流路２６に流通させる流路である。
ここで、管部材１８Ａ，１８Ｃおよび前面側連通孔９６Ｂ，９６Ｃが、本発明に係る筐体側流路に相当する。
なお、図１では、説明の便宜上、第２，第３切換バルブ１４，１５がＮＯ側に切り換わった状態を筐体側流路１４Ｂ，１５Ｂとして図示している。 For example, when the switching valves 14 and 15 are switched to the NO side, the suction pump 7 shown in FIGS. 4 and 5 supplies the fresh air inside the housing 41 to the storage units 98A and 98B. (Broken arrow) is constructed.
As shown in FIGS. 4 and 5, the flow path D allows the air inside the casing 41 to flow from the pipe members 18 A and 18 C to the front side communication holes 96 B and 96 C to the second and third switching valves 14 and 15 (third inflow / outflow). Ports 143 and 153 to second inlet / outlet ports 142 and 152) to sensor side communication holes 94A and 94B to storage portions 98A and 98B (second hydrogen sensor 16, third hydrogen sensor 17) to suction holes 91A and 91B. , A flow path that circulates through the first branch flow path 25 and the second branch flow path 26.
Here, the pipe members 18A and 18C and the front-side communication holes 96B and 96C correspond to the housing-side flow channel according to the present invention.
In FIG. 1, for convenience of explanation, the state where the second and third switching valves 14 and 15 are switched to the NO side is illustrated as the casing-side flow paths 14B and 15B.

また、第１切換バルブ１３がＮＯ側に切り換わった場合には、図６に示す供給ポンプ６が、フレッシュエアをチャンバ２内部へ供給する流路Ｅ（破線矢印）が構成される。
流路Ｅは、図６に示すように、第２後段流路２３を辿ったフレッシュエアを、管部材１８Ｂ〜前面側連通孔９６Ａ〜第１切換バルブ１３（第３流入出ポート１３３〜第２流入出ポート１３２）〜Ｌ字状連通孔９５を辿って、前段流路２２に流通させる流路である。 When the first switching valve 13 is switched to the NO side, the supply pump 6 shown in FIG. 6 forms a flow path E (broken arrow) for supplying fresh air into the chamber 2.
As shown in FIG. 6, the flow path E allows the fresh air that has traced the second rear-stage flow path 23 to flow from the pipe member 18 B to the front-side communication hole 96 A to the first switching valve 13 (third inflow / outflow ports 133 to 2nd. Inflow / outflow ports 132) to L-shaped communication holes 95 are flow paths that flow through the upstream flow path 22.

図８、図９は、リークディテクタ１の動作を示すフローチャートである。
図８および図９を参照して、上述したリークディテクタ１の動作を説明する。
先ず、測定対象物の測定位置にチャンバ２が設置され、装置本体３の電源スイッチがＯＮされると、リークディテクタ１は以下に示すように、動作する。
すなわち、電源スイッチからの電源信号が制御部８の流路切換制御部８４に出力され、流路切換制御部８４は、切換信号Ｖ_１，Ｖ_２，Ｖ_３を各切換バルブ１３〜１５に出力し、各切換バルブ１３〜１５をＮＯ側に切り換える（ステップＳ１）。 8 and 9 are flowcharts showing the operation of the leak detector 1.
The operation of the above-described leak detector 1 will be described with reference to FIGS.
First, when the chamber 2 is installed at the measurement position of the measurement object and the power switch of the apparatus body 3 is turned on, the leak detector 1 operates as described below.
That is, the power signal from the power switch is output to the flow path switching control unit 84 of the control unit 8, and the flow path switching control unit 84 outputs the switching signals V ₁ , V ₂ , V ₃ to the switching valves 13-15. Then, the switching valves 13 to 15 are switched to the NO side (step S1).

また、電源スイッチのＯＮにより、供給ポンプ６および吸引ポンプ７が駆動する。
供給ポンプ６からのフレッシュエアは、供給流路２１に沿って流通し、第２後段流路２３を介して、流路Ｅに流通して、前段流路２２およびチューブ５を介して、チャンバ２内部に供給される。これにより、フレッシュエアがチャンバ２内部の残留ガスを除去し、チャンバ２内部をリフレッシュする。 Further, the supply pump 6 and the suction pump 7 are driven by turning on the power switch.
Fresh air from the supply pump 6 flows along the supply flow path 21, flows through the second rear-stage flow path 23 to the flow path E, and passes through the front-stage flow path 22 and the tube 5 to the chamber 2. Supplied inside. Thereby, fresh air removes the residual gas inside the chamber 2 and refreshes the inside of the chamber 2.

第２後段流路２３を流通するフレッシュエアの一部は、分岐流路１９からセンサユニット４の筐体４１内部に供給される。このフレッシュエアは、吸引ポンプ７の駆動により、流路Ｄに流通して、収納部９８Ａ，９８Ｂに供給される。これにより、筐体側流路１４Ｂ，１５Ｂ、センサ側連通孔９４Ａ，９４Ｂ、および収納部９８Ａ，９８Ｂの残留ガスが除去される。 Part of the fresh air flowing through the second rear-stage channel 23 is supplied from the branch channel 19 into the housing 41 of the sensor unit 4. The fresh air flows through the flow path D by driving the suction pump 7 and is supplied to the storage units 98A and 98B. As a result, residual gases in the housing-side flow paths 14B and 15B, the sensor-side communication holes 94A and 94B, and the storage portions 98A and 98B are removed.

次に、測定対象物にトレーサガスが加圧封入され、制御部８は、装置本体３の測定開始ボタンがＯＮされているか否かを判断し（ステップＳ２）、リークディテクタ１は、以下に示すように、動作する。
すなわち、測定開始ボタンからの開始信号が流路切換制御部８４に出力されると、流路切換制御部８４は、第１切換バルブ１３をＮＣ側へ切り換える（ステップＳ３）。
ステップＳ３から一定時間経過後、流路切換制御部８４は、第２切換バルブ１４をＮＣ側へ切り換える（ステップＳ４）。
ステップＳ４において、第１切換バルブ１３および第２切換バルブ１４は、ＮＣ側に切り換わっているため、前段流路２２は、流路Ｃ１、流路Ｃ２、および吸引孔９１Ａを介して、第１分岐流路２５と接続する。これにより、チャンバ２内部の空気は、上記流路を辿って、吸引ポンプ７に吸引される。 Next, the measurement object is pressurized and sealed with the tracer gas, and the control unit 8 determines whether or not the measurement start button of the apparatus main body 3 is turned on (step S2). The leak detector 1 is shown below. To work.
That is, when the start signal from the measurement start button is output to the flow path switching control unit 84, the flow path switching control unit 84 switches the first switching valve 13 to the NC side (step S3).
After a predetermined time has elapsed from step S3, the flow path switching control unit 84 switches the second switching valve 14 to the NC side (step S4).
In step S4, since the first switching valve 13 and the second switching valve 14 are switched to the NC side, the upstream channel 22 is connected to the first channel via the channel C1, the channel C2, and the suction hole 91A. It connects with the branch flow path 25. As a result, the air inside the chamber 2 follows the flow path and is sucked into the suction pump 7.

ステップＳ４の後、第１水素センサ１２は、チューブ５を介して吸引された水素の濃度を測定し、測定信号Ｓ_１を制御部８の水素濃度算出部８２に出力する。制御部８の比較部８３は、水素濃度算出部８２にて算出された算出値と記憶部８１に記憶された第１閾値とを比較する（ステップＳ５）。 After step S4, first the hydrogen sensor 12 measures the concentration of aspirated hydrogen through the tube 5, and outputs the measurement signals S ₁ to the hydrogen concentration calculating unit 82 of the control unit 8. The comparison unit 83 of the control unit 8 compares the calculated value calculated by the hydrogen concentration calculation unit 82 with the first threshold value stored in the storage unit 81 (step S5).

ステップＳ５において、比較部８３により算出値が第１閾値より大きい高濃度であると判断された場合には、比較部８３は、リーク有りと判断して測定を終了し、ステップＳ１に戻る（ステップＳ６）。 In step S5, when the comparison unit 83 determines that the calculated value is higher than the first threshold, the comparison unit 83 determines that there is a leak, ends the measurement, and returns to step S1 (step S1). S6).

一方、ステップＳ５において、比較部８３により算出値が第１閾値より小さく高濃度ではないと判断された場合には、第１切換バルブ１３をＮＣ側のままにしておく。すなわち、上述したように、吸引ポンプ７によりチャンバ２内部の空気を吸引し、第２水素センサ１６に向けて流通させる（ステップＳ４の状態）。
そして、第２水素センサ１６は、この吸引された空気を測定し、測定信号Ｓ_２を水素濃度算出部８２に出力する。比較部８３は、水素濃度算出部８２にて算出された算出値と記憶部８１に記憶された基準値とを比較する（ステップＳ７）。 On the other hand, if the comparison unit 83 determines in step S5 that the calculated value is smaller than the first threshold and is not high, the first switching valve 13 is left on the NC side. That is, as described above, the air inside the chamber 2 is sucked by the suction pump 7 and circulated toward the second hydrogen sensor 16 (state of step S4).
Then, the second hydrogen sensor 16 measures the sucked air and outputs a measurement signal S ₂ to the hydrogen concentration calculation unit 82. The comparison unit 83 compares the calculated value calculated by the hydrogen concentration calculation unit 82 with the reference value stored in the storage unit 81 (step S7).

ステップＳ７において、比較部８３は、算出値が基準値よりも低い場合には、リーク無しと判断して測定を終了し、ステップＳ１に戻る（ステップＳ８）。
一方、ステップＳ７において、比較部８３は、算出値が基準値よりも高い場合には、リーク有りと判断し（ステップＳ９）、算出値と記憶部８１に記憶された第２閾値とを比較する（ステップＳ１０）。なお、ステップＳ９においてリーク有りと判断したガス濃度は、Ｓ６でのリーク有りと判断したガス濃度より低い。 In step S7, when the calculated value is lower than the reference value, the comparison unit 83 determines that there is no leak, ends the measurement, and returns to step S1 (step S8).
On the other hand, in step S7, when the calculated value is higher than the reference value, the comparing unit 83 determines that there is a leak (step S9), and compares the calculated value with the second threshold value stored in the storage unit 81. (Step S10). Note that the gas concentration determined to have a leak in step S9 is lower than the gas concentration determined to have a leak in S6.

ステップＳ１０において、比較部８３は、算出値が第２閾値よりも低い場合には、測定を終了して、ステップＳ１に戻る。
一方、ステップＳ１０において、比較部８３により算出値が第２閾値よりも高く中濃度であると判断された場合には、流路切換制御部８４は、第１〜第３切換バルブ１３〜１５をＮＯ側へ切り換える（ステップＳ１１）。これにより、第２水素センサ１６を待機状態とし、待機状態であった第３水素センサ１７を次の測定に備える状態となるとともに、フレッシュエアがチャンバ２内部の残留ガスを除去し、チャンバ２内部をリフレッシュして、測定を終了する。 In step S10, when the calculated value is lower than the second threshold value, the comparison unit 83 ends the measurement and returns to step S1.
On the other hand, in step S10, when the comparison unit 83 determines that the calculated value is higher than the second threshold value and the medium concentration, the flow path switching control unit 84 turns the first to third switching valves 13 to 15 on. Switch to NO side (step S11). As a result, the second hydrogen sensor 16 is set in a standby state, and the third hydrogen sensor 17 in the standby state is prepared for the next measurement, and fresh air removes residual gas in the chamber 2, To complete the measurement.

次に、前述したステップＳ２と同様に、測定対象物にトレーサガスが加圧封入され、制御部８は、装置本体３の測定開始ボタンがＯＮされているか否かを判断し（ステップＳ１２）する。測定開始ボタンがＯＮされていれば、流路切換制御部８４は、第１切換バルブ１３をＮＣ側へ切り換える（ステップＳ１３）。ステップＳ１３から一定時間経過後、流路切換制御部８４は、第３切換バルブ１５をＮＣ側へ切り換える（ステップＳ１４）。
この後のリークディテクタ１が動作するフローは、前述したステップＳ５〜Ｓ１０に相当するステップＳ１５〜Ｓ２０であるため、ここでの説明は省略する。そして、ステップＳ２０の後は、測定を終了して、ステップＳ１に戻ることとなる。 Next, similarly to step S2 described above, the tracer gas is pressurized and sealed in the measurement object, and the control unit 8 determines whether or not the measurement start button of the apparatus body 3 is turned on (step S12). . If the measurement start button is ON, the flow path switching control unit 84 switches the first switching valve 13 to the NC side (step S13). After a predetermined time has elapsed from step S13, the flow path switching control unit 84 switches the third switching valve 15 to the NC side (step S14).
Since the subsequent flow of operation of the leak detector 1 is steps S15 to S20 corresponding to the above-described steps S5 to S10, description thereof is omitted here. And after step S20, a measurement will be complete | finished and it will return to step S1.

上述した第１実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）測定開始前に、フレッシュエアがチャンバ２内部に供給されるので、チャンバ２内部の残留ガスを積極的に除去できる。従って、前回測定時における残留ガスを第２水素センサ１６や第３水素センサ１７が検知することがなく、測定精度を向上できる。
（２）また、残留ガスの濃度が高い場合であっても、チャンバ２内部の残留ガスを除去してから測定するので、測定開始時において、濃度の高い残留ガスに第２水素センサ１６や第３水素センサ１７が晒されることがなく、第２水素センサ１６や第３水素センサ１７の性能を良好に維持できる。
（３）
また、吸引ポンプ７で筐体４１内部のフレッシュエアを吸引し、収納部９８Ａ，９８Ｂに送り込まれ、第２水素センサ１６および第３水素センサ１７近辺の残留ガスを除去できる。 According to the first embodiment described above, the following effects can be achieved.
(1) Since fresh air is supplied into the chamber 2 before the measurement is started, the residual gas inside the chamber 2 can be positively removed. Accordingly, the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 do not detect the residual gas at the time of the previous measurement, and the measurement accuracy can be improved.
(2) Even when the concentration of the residual gas is high, the measurement is performed after removing the residual gas inside the chamber 2, so that at the start of measurement, the second hydrogen sensor 16 and the second hydrogen sensor 16 The performance of the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 can be favorably maintained without the 3 hydrogen sensor 17 being exposed.
(3)
In addition, fresh air inside the casing 41 is sucked by the suction pump 7 and sent to the storage portions 98A and 98B, so that residual gas in the vicinity of the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 can be removed.

（４）測定開始前において、供給ポンプ６周辺（測定環境）の外部空気をチャンバ２内部や収納部９８Ａ，９８Ｂ等に供給するため、測定時において、第２水素センサ１６や第３水素センサ１７がトレーサガスを検知する際のバックグラウンドを実際の測定環境の外部の空気のレベルとすることができ、測定精度をより向上できる。
（５）供給ポンプ６や吸引ポンプ７により積極的にチャンバ２内部、第２水素センサ１６や第３水素センサ１７近辺の残留ガスを除去するので、残留ガスを完全に無くなるまで待つ必要がなく、次の測定を開始できるため、測定開始までの待ち時間を短縮できる。 (4) Before the measurement is started, since the external air around the supply pump 6 (measurement environment) is supplied to the inside of the chamber 2 and the storage units 98A and 98B, the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 are used at the time of measurement. The background when the tracer gas is detected can be the air level outside the actual measurement environment, and the measurement accuracy can be further improved.
(5) Since the residual gas in the chamber 2 and the vicinity of the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 is positively removed by the supply pump 6 and the suction pump 7, there is no need to wait until the residual gas is completely eliminated. Since the next measurement can be started, the waiting time until the measurement is started can be shortened.

（６）センサユニット４内に内部に流路を有するブロック状の保持部材９を設けたので、筐体４１内部でチューブ等を引き回して流路を確保し、測定する必要が無い。また、保持部材９は小型に製造され、各連通孔９２〜９６が短縮して設計されている。そのため、これらの連通孔９２〜９６内の残留ガスを大幅に低減できるとともに、残留ガスを除去する時間を短縮できる。従って、測定開始するまでの待ち時間を短縮化でき、測定精度も向上できる。
（７）第２水素センサ１６および第３水素センサ１７の一方のセンサを待機状態に設定されているので、他方のセンサが濃度の高いガスに晒されてしまった場合でも、第２、第３切換バルブ１４，１５を切り換えて待機状態のセンサを測定状態にでき、センサ出力が初期状態になるまでの復帰時間を待つことがないので、測定開始するまでの待ち時間を短縮化できる。
（８）第１水素センサ１２を保持部材９のチューブ５側に配置したので、高濃度なガスを予め検知し、第１切換バルブ１３を切り換えることで、第２水素センサ１６や第３水素センサ１７に高濃度ガスが流れることがないため、これらのセンサの性能が劣化することを確実に防止できる。 (6) Since the block-shaped holding member 9 having a flow path inside is provided in the sensor unit 4, there is no need to secure the flow path by drawing a tube or the like inside the housing 41 and perform measurement. Further, the holding member 9 is manufactured in a small size, and each communication hole 92 to 96 is designed to be shortened. Therefore, the residual gas in these communication holes 92 to 96 can be greatly reduced, and the time for removing the residual gas can be shortened. Therefore, the waiting time until the measurement is started can be shortened, and the measurement accuracy can be improved.
(7) Since one of the second hydrogen sensor 16 and the third hydrogen sensor 17 is set in a standby state, even if the other sensor is exposed to a gas having a high concentration, the second and third sensors By switching the switching valves 14 and 15, the sensor in the standby state can be set to the measurement state, and the return time until the sensor output becomes the initial state is not waited. Therefore, the waiting time until the measurement is started can be shortened.
(8) Since the first hydrogen sensor 12 is disposed on the tube 5 side of the holding member 9, the second hydrogen sensor 16 or the third hydrogen sensor is detected by detecting the high-concentration gas in advance and switching the first switching valve 13. Since high-concentration gas does not flow through 17, it is possible to reliably prevent the performance of these sensors from deteriorating.

[第２実施形態]
図１０は、本発明の第２実施形態に係るリークディテクタ１を示す概略図である。図の説明にあたって、前記実施形態と同一構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態では、リークディテクタ１には、複数の検出ユニット４２が構成され、この検出ユニット４２は、チャンバ２と、センサユニット４とを含んで構成される。すなわち、本実施形態でのリークディテクタ１は、装置本体３が単数であるのに対して、検出ユニット４２を複数備える。供給ポンプ６は、検出ユニット４２毎の供給流路２１を介して、各チャンバ２内部に一括してフレッシュエアを供給し、吸引ポンプ７は、検出ユニット４２毎の吸引流路２０を介して、各チャンバ２内部の空気を一括して吸引する。
なお、図１０では、説明の便宜上、２つのみの検出ユニット４２を図示しているが、３つ以上、検出ユニット４２を設けても構わない。本実施形態のチャンバ２は、測定対象物の一部を覆うように形成されている。 [Second Embodiment]
FIG. 10 is a schematic view showing a leak detector 1 according to the second embodiment of the present invention. In the description of the drawings, the same components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
In the present embodiment, the leak detector 1 includes a plurality of detection units 42, and the detection unit 42 includes the chamber 2 and the sensor unit 4. That is, the leak detector 1 according to this embodiment includes a plurality of detection units 42 while the apparatus main body 3 is single. The supply pump 6 collectively supplies fresh air into each chamber 2 via the supply flow path 21 for each detection unit 42, and the suction pump 7 passes through the suction flow path 20 for each detection unit 42. The air inside each chamber 2 is sucked together.
In FIG. 10, for convenience of explanation, only two detection units 42 are illustrated, but three or more detection units 42 may be provided. The chamber 2 of the present embodiment is formed so as to cover a part of the measurement object.

上述した第２実施形態によれば、測定対象物の複数位置のリークの有無を検知する場合に、複数の検出ユニット４２を用いて、同時に複数の測定を並行して行うことができる。従って、従来では、測定対象物が大きい場合において、大きなチャンバを必要としていたが、本実施形態によれば、測定対象物を分割して複数に分けることで、測定対象物は小さめのチャンバ２内部に配置されて、チャンバ２内部にトレーサガスが蓄積する時間を短縮でき、測定までの待ち時間を短縮できる。 According to the second embodiment described above, when detecting the presence or absence of leaks at a plurality of positions of the measurement object, a plurality of measurements can be performed simultaneously in parallel using the plurality of detection units 42. Therefore, conventionally, when the measurement object is large, a large chamber is required. However, according to the present embodiment, the measurement object is divided into a plurality of parts so that the measurement object is contained in the smaller chamber 2. The time for accumulating the tracer gas in the chamber 2 can be shortened, and the waiting time until measurement can be shortened.

[第３実施形態]
図１１は、本発明の第３実施形態に係るリークディテクタ１を示す概略図である。図の説明にあたって、前記各実施形態と同一構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態では、リークディテクタ１は、第２実施形態での検出ユニット４２と、検出ユニット４２の数に応じた供給ポンプ６と、装置本体３１とを備える。装置本体３１には、一つの吸引ポンプ７と、一つの制御部８とが設けられている。すなわち、それぞれの供給ポンプ６がそれぞれのチャンバ２および筐体４１内部にフレッシュエアを供給する構成となっており、装置本体３１は単数で構成されている。
なお、図１１では、図１０と同様に、説明の便宜上、２つのみの検出ユニット４２を図示しているが、３つ以上、検出ユニット４２を設けても構わない。 [Third embodiment]
FIG. 11 is a schematic view showing a leak detector 1 according to the third embodiment of the present invention. In the description of the drawings, the same components as those of the above-described embodiments are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
In the present embodiment, the leak detector 1 includes the detection unit 42 in the second embodiment, the supply pump 6 corresponding to the number of the detection units 42, and the apparatus main body 31. The apparatus main body 31 is provided with one suction pump 7 and one control unit 8. That is, each supply pump 6 is configured to supply fresh air into each chamber 2 and housing 41, and the apparatus main body 31 is configured as a single unit.
In FIG. 11, as in FIG. 10, only two detection units 42 are illustrated for convenience of explanation, but three or more detection units 42 may be provided.

上述した第３実施形態によれば、複数の検出ユニット４２を備えるので、一つの測定対象物に対して測定対象箇所が複数ある場合には、並行して同時に測定できる。
また、検出ユニット４２毎に供給ポンプ６がそれぞれ設けられているので、測定開始前において、複数の測定箇所における各チャンバ２内部に供給されるフレッシュエア、および各センサユニット４の筐体４１内に供給されるフレッシュエアが各測定場所周辺のフレッシュエアと常時同一にできる。従って、第２，第３水素センサ１６，１７は、チャンバ２内部と同じフレッシュエアに晒されることになり、リークの有無を判断する精度を向上できる。 According to the third embodiment described above, since the plurality of detection units 42 are provided, when there are a plurality of measurement target portions for one measurement target, the measurement can be performed simultaneously in parallel.
In addition, since the supply pump 6 is provided for each detection unit 42, the fresh air supplied into each chamber 2 at a plurality of measurement locations and the housing 41 of each sensor unit 4 before the start of measurement. The supplied fresh air can always be the same as the fresh air around each measurement location. Therefore, the second and third hydrogen sensors 16 and 17 are exposed to the same fresh air as the inside of the chamber 2, and the accuracy of determining the presence or absence of a leak can be improved.

なお、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。 The best configuration, method, and the like for carrying out the present invention have been disclosed above, but the present invention is not limited to this.

例えば、前記各実施形態では、第１切換バルブ１３は、三方式の切換弁であったが、四方式の切換弁であってもよい。これによれば、第２，第３切換バルブ１４，１５を設ける必要が無く、構成を簡素化できる。
また、前記各実施形態では、第１水素センサ１２が高濃度ガスを検知した場合に、第１切換バルブ１３を切り換えていたが、第２切換バルブ１４および第３切換バルブ１５を切り換えてもよい。この場合でも、高濃度ガスが第２，第３水素センサ１６，１７に流入することを防止できる。
前記各実施形態では、流量制御弁１０Ａ，１０Ｂを制御部８で制御することで流量を一定にしていたが、手動により流量制御弁１０Ａ，１０Ｂを絞り調整することで流量を一定にしてもよい。 For example, in each of the embodiments, the first switching valve 13 is a three-way switching valve, but may be a four-way switching valve. According to this, it is not necessary to provide the second and third switching valves 14 and 15, and the configuration can be simplified.
In each of the above embodiments, the first switching valve 13 is switched when the first hydrogen sensor 12 detects a high-concentration gas. However, the second switching valve 14 and the third switching valve 15 may be switched. . Even in this case, the high concentration gas can be prevented from flowing into the second and third hydrogen sensors 16 and 17.
In each of the above embodiments, the flow rate is made constant by controlling the flow rate control valves 10A, 10B with the control unit 8, but the flow rate may be made constant by manually adjusting the flow rate control valves 10A, 10B. .

前記各実施形態では、第２，第３水素センサ１６，１７の切り換えをガス濃度の算出値と第２閾値とを比較し、算出値が第２閾値を超えた場合に第２，第３水素センサ１６，１７のいずれかの待機センサに切り換える設定であったが、制御部８にタイマーを設けて切り換え設定してもよい。すなわち、第２，第３水素センサ１６，１７のいずれかの測定に使用されたセンサの出力が、測定後一定時間、リークの有無を判断する基準値より小さくならない場合に待機センサに切り換えるものである。これにより、センサの出力が初期状態にまで低下するのを待つことなく、次の測定が行えるので、測定開始までの待ち時間を短縮できる。 In each of the above embodiments, the second and third hydrogen sensors 16 and 17 are switched by comparing the calculated value of the gas concentration with the second threshold value, and when the calculated value exceeds the second threshold value, the second and third hydrogen sensors are compared. Although the setting is made to switch to one of the standby sensors of the sensors 16 and 17, a timer may be provided in the control unit 8 for switching setting. In other words, when the output of the sensor used for the measurement of either the second or third hydrogen sensor 16 or 17 does not become smaller than the reference value for determining whether or not there is a leak for a certain time after the measurement, the sensor is switched to the standby sensor. is there. As a result, the next measurement can be performed without waiting for the output of the sensor to fall to the initial state, so that the waiting time until the start of measurement can be shortened.

本発明のリークディテクタは、リークの有無を検知する試験装置に好適に利用できる。 The leak detector of the present invention can be suitably used for a test apparatus that detects the presence or absence of a leak.

本発明の第１実施形態に係るリークディテクタの概略図。1 is a schematic diagram of a leak detector according to a first embodiment of the present invention. 前記リークディテクタのコントローラのブロック図。The block diagram of the controller of the said leak detector. 前記リークディテクタの流路切換部材の斜視図。The perspective view of the flow-path switching member of the said leak detector. 図３のＩＶ−ＩＶ線断面図。IV-IV sectional view taken on the line of FIG. 図３のＶ−Ｖ線断面図。VV sectional view taken on the line of FIG. 図３のＶＩ−ＶＩ線断面図。VI-VI sectional view taken on the line of FIG. 前記流路切換部材の底面図。The bottom view of the said flow-path switching member. 前記リークディテクタの動作フロー。The operation flow of the leak detector. 前記リークディテクタの動作フロー。The operation flow of the leak detector. 第２実施形態に係るリークディテクタの概略図。Schematic of the leak detector according to the second embodiment. 第３実施形態に係るリークディテクタの概略図。Schematic of the leak detector according to the third embodiment.

Explanation of symbols

１…リークディテクタ、２…チャンバ、４…センサユニット、６…供給ポンプ、７…吸引ポンプ、９…保持部材、９Ｅ…下面部（外面）、１２…第１水素センサ（補助ガスセンサ）、１３…第１切換バルブ（第１の切換バルブ）、１４…第２切換バルブ（第２の切換バルブ）、１５…第３切換バルブ（第２の切換バルブ）、１４Ａ，１５Ａ…チャンバ側流路、１４Ｂ，１５Ｂ…筐体側流路、１６…第２水素センサ（ガスセンサ）、１７…第３水素センサ（ガスセンサ）、１９…分岐流路、４１…筐体、４２…検出ユニット、９２…側面側連通孔（第１連通孔）、９４Ａ，９４Ｂ…センサ側連通孔（第１連通孔）、９５…Ｌ字状連通孔（第２連通孔）、９６Ａ〜９６Ｃ…前面側連通孔（第３連通孔）、９８Ａ，９８Ｂ…収納部、１３１…第１流入出ポート、１３２…第２流入出ポート、１３３…第３流入出ポート、Ａ…第１流路、Ｂ…第２流路。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Leak detector, 2 ... Chamber, 4 ... Sensor unit, 6 ... Supply pump, 7 ... Suction pump, 9 ... Holding member, 9E ... Lower surface part (outer surface), 12 ... 1st hydrogen sensor (auxiliary gas sensor), 13 ... 1st switching valve (1st switching valve), 14 ... 2nd switching valve (2nd switching valve), 15 ... 3rd switching valve (2nd switching valve), 14A, 15A ... Chamber side flow path, 14B , 15B ... Case side flow path, 16 ... Second hydrogen sensor (gas sensor), 17 ... Third hydrogen sensor (gas sensor), 19 ... Branch flow path, 41 ... Case, 42 ... Detection unit, 92 ... Side side communication hole (First communication hole), 94A, 94B ... sensor side communication hole (first communication hole), 95 ... L-shaped communication hole (second communication hole), 96A to 96C ... front side communication hole (third communication hole) , 98A, 98B ... storage part, 131 ... first flow Outflow port, 132 ... second inflow outflow port, 133 ... third inflow outflow port, A ... first flow channel, B ... second flow path.

Claims

A leak detector that pressurizes and encloses a tracer gas in a measurement object, and detects the tracer gas leaked from the measurement object,
A chamber that covers the measurement object and accumulates tracer gas leaked from the measurement object;
A gas sensor disposed in a first flow path communicating with the interior of the chamber and detecting a tracer gas;
A suction pump for sucking air inside the chamber through the first flow path;
A supply pump for supplying external air into the chamber via a second flow path communicating with the chamber;
A first switching valve for switching to the first flow path or the second flow path ,
The gas sensor is configured as a sensor unit disposed inside the housing,
A part of the second flow path has a branch flow path that is disposed inside the casing and discharges a part of the external air flowing along the second flow path to the inside of the casing.
A part of the first flow path is disposed inside the casing, and a chamber-side flow path for allowing the air inside the chamber to flow toward the gas sensor, and the external air inside the casing to the gas sensor. A housing-side flow channel that circulates toward the
The sensor unit includes a second switching valve that switches to the chamber-side flow path or the housing-side flow path.

The leak detector according to claim 1 .
The sensor unit includes a plurality of the gas sensors and a plurality of the second switching valves corresponding to the plurality of gas sensors.

In the leak detector according to claim 1 or 2 ,
A block-shaped holding member that holds the gas sensor and the first switching valve;
The first switching valve has first to third inflow / outflow ports through which air flows in and out, and a connection between the first inflow / outflow ports and the second inflow / outflow ports, or the second inflow / outflow ports and By switching to the connection between the third inflow and outflow ports, switching to the first flow path or the second flow path,
The holding member has a storage portion that stores the gas sensor therein, and holds the first switching valve on an outer surface;
In the holding member,
A part of the first flow path is configured, connected to the first inflow / outlet port, and communicated with the inside of the storage portion, so that the air inside the chamber via the first switching valve enters the storage portion. A first communication hole that circulates toward the
A part of the first flow path and the second flow path is configured and connected to the second inflow / outflow port so that air inside the chamber flows toward the first switching valve, or the first flow path A second communication hole through which the external air passes through the switching valve, and flows toward the inside of the chamber;
A third communication hole is formed that constitutes a part of the second flow path and is connected to the third inflow / outflow port to allow the external air from the supply pump to flow to the first switching valve. Leak detector characterized by that.

The leak detector according to any one of claims 1 to 3 , wherein an auxiliary gas sensor that detects the tracer gas is provided in the first flow path on the upstream side of the flow path of the gas sensor. Leak detector featured.

In the leak detector according to any one of claims 1 to 4 ,
The chamber is formed to cover a part of the measurement object,
The chamber, the gas sensor, and the first switching valve are unitized as a detection unit,
A leak detector, wherein a plurality of the detection units are provided.

The leak detector according to claim 5 .
The suction pump is configured as a single unit, and sucks the air inside each chamber collectively through each first flow path for each of the plurality of detection units,
The leak detector according to claim 1, wherein the supply pump is configured as a single unit, and external air is collectively supplied into the chambers through the second flow paths for the plurality of detection units.

The leak detector according to claim 5 .
The leak detector, wherein the supply pump is provided for each of the plurality of detection units.