JP2003207282A - トラップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス流中の固化温度や液化温度の低い物質も
確実に回収でき、回転部に対するシールも１個所で済む
トラップ装置を提供する。 【解決手段】 一方の側壁部にガス流入口４をそなえ他
方の側壁部にガス流出口５をそなえ頂部を蓋板３で閉鎖
された外槽２と、外槽２内に配置されて冷却媒体Ｃを収
容する有底円筒状の容器部１１の上部に支軸部１２を突
設して成り、蓋板３を貫通する支軸部１２を蓋板３に回
転自在に支持された内槽１０と、支軸部１２を回転駆動
する回転駆動装置２０と、容器部１１に収容された冷却
媒体Ｃ内に浸漬された熱交換器３０と、支軸部１２を貫
通して設けられ、熱交換器３０に冷媒Ｒを供給する供給
路３１および該熱交換器から流出する吸熱した冷媒を排
出する排出路３２、および容器部１１に冷却媒体Ｃを供
給する供給口とを具備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は気体中に含まれる
ミストまたは蒸発気化成分を、冷却により凝縮液化また
は固化させて回収するトラップ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば産業廃棄物を真空下で加熱して
金属などの有用物質を回収するのに用いられる真空加熱
炉や、金属粉末の焼結品を製造する真空焼結炉などの真
空加熱装置においては、真空ポンプに至る排気系路中
に、排ガス流を冷却して該ガス中の蒸発成分を液化ある
いは固化させて回収するトラップ装置が設けられる。

【０００３】この真空加熱炉用のトラップ装置として
は、たとえば特開平１０ー２８７９３３号公報に開示さ
れているように、排ガス流に直交する水平方向に延びる
水冷式回転ローラと、この回転ローラと平行に配置され
た回転式のスクレーパをそなえた回収装置があるが、上
記回転ローラは水冷式のため表面温度が０℃以上であ
り、蒸気亜鉛の回収はできるとしても、この亜鉛より固
化温度の低い物質の回収は効率よくおこなうことは困難
であり、また真空焼結炉の排ガス中に含まれる樟脳など
のバインダ蒸発成分も、亜鉛よりは固化温度が大巾に低
いため、上記回収装置では回収が困難である。そして排
ガス中に含まれる未回収成分は、真空ポンプ部において
固化して真空ポンプ故障の原因となる。

【０００４】また上記回収装置においては、回転ローラ
は両端部がケーシングを貫通しているため、この２個所
の貫通部において回転ローラとケーシング間を真空シー
ルする必要があり、構造上および保守上、好ましくな
い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この発明は上記従来の
問題点を解決しようとするもので、排ガス流との接触面
を回転駆動しつつ低温に冷却・維持でき、ガス流中の固
化温度や液化温度の低い物質も確実に回収でき、回転部
に対するシールも１個所で済むトラップ装置を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載のトラップ装置は、一方の側壁部にガス
流入口をそなえるとともに他方の側壁部にガス流出口を
そなえ頂部を蓋板で閉鎖された外槽と、前記外槽内に配
置されて冷却媒体を収容する有底円筒状の容器部の上部
に該容器部と同心の支軸部を突設して成り、前記蓋板を
貫通する前記支軸部を前記蓋板に回転自在に支持された
内槽と、前記支軸部を回転駆動する回転駆動装置と、前
記容器部に収容された冷却媒体内に浸漬された熱交換器
と、前記支軸部を貫通して設けられ、前記熱交換器に冷
媒を供給する供給路および該熱交換器から流出する吸熱
した冷媒を排出する排出路、および前記容器部に冷却媒
体を供給する供給口とを、具備したことを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の手段によれば、先ず内槽は
外槽の蓋部を貫通して片持状態で回転支持されているの
で、回転部と外槽とのシール部は１個所ですむ。そして
低温の冷媒（たとえば−６０℃のフロン）を熱交換器に
供給して、この冷媒温度より凝固点の低い容器部内の冷
却媒体（たとえばエタノール）を介して、容器部の外面
を０℃以下の所望の低温に冷却・維持でき、回転駆動装
置により回転駆動されているこの低温の容器部外面との
接触により、外槽内に流入するガス流中のミストまたは
蒸発気化成分を冷却し凝縮液化または固化させて、外面
付着物として確実に回収できる。特に冷媒は熱交換器部
を流通させるだけでよいので、加圧状態の冷媒の使用に
対しても熱交換器部のみの耐圧強度を確保すればよく、
容器部は薄肉構造としてガス流に対する良好な冷却能力
を確保できるとともに、加圧冷媒を使用できるので、所
望の冷却温度を得るための冷媒を容易に選択採用でき
る。

【０００８】また請求項２記載のトラップ装置は、一方
の側壁部にガス流入口をそなえるとともに他方の側壁部
にガス流出口をそなえ頂部を蓋板で閉鎖された外槽と、
前記外槽内に配置されて冷媒を収容する有底円筒状の容
器部の上部に該容器部と同心の支軸部を突設して成り、
前記蓋板を貫通する前記支軸部を前記蓋板に回転自在に
支持された内槽と、前記支軸部を回転駆動する回転駆動
装置と、前記支軸部を貫通して設けられ前記容器部に冷
媒を供給する供給路および該容器部から流出する吸熱し
た冷媒を排出する排出路とを、具備したことを特徴とす
る。

【０００９】この請求項２記載の手段によれば、回転部
と外槽とのシール部は１個所ですむ点は請求項１の手段
と同じである。そして低温の冷媒（たとえば−１９０℃
の液体窒素）を内槽内に供給して容器部の外面を氷点以
下のかなりの低温に冷却・維持でき、この低温の容器部
外面との接触により、外槽内に流入するガス流中のミス
トまたは蒸発気化成分を冷却し凝縮液化または固化させ
て、外面付着物として確実に回収できる。また冷媒は内
槽に供給して熱交換器を介することなく直接容器部を冷
却するので、装置が簡潔である。

【００１０】請求項１，２記載のトラップ装置は、ガス
流中の回収物質を液体の状態で回収する場合には格別の
付着物掻落し具を設けることなく使用できるが、請求項
１または２記載のトラップ装置において、請求項３記載
の発明のように、前記内槽の前記容器部の外面に沿って
上下方向に延び、先端縁部が前記外面に対して少量のす
きまをへだてた固定位置に保持される付着物掻落し具を
具備した構成とすれば、容器部の外面に固化した付着物
を、付着物掻落し具により掻落して容器部の外面をガス
流に対する冷却能力の高い状態に維持でき、また内槽を
回転駆動するだけでこの掻落しができ付着物掻落し具の
回転駆動は不要なので、装置の構造が簡潔で保守も容易
である。

【００１１】上記請求項３記載のトラップ装置における
付着物掻落し具は、たとえば外槽の内面部に取付けるこ
とにより固定位置に保持させてもよいが、請求項４記載
のトラップ装置のように、前記内槽の上部および下部に
おいて基部が該内槽の回転中心軸線のまわりに回転自在
に支持され側方に延びる上部アームと下部アームによ
り、前記付着物掻落し具が保持され、前記外槽に前記内
槽回転時に前記掻落し具を所定の停止位置に保持するス
トッパを設けた構成とすれば、上部アームおよび下部ア
ームに対して付着物掻落し具を位置決め調節することに
より、該掻落し具は内槽の回転中心、従って容器部の外
面に対して位置決めされるので、容器部外面と掻落し具
の先端縁部とのすきまの調節が容易であるとともに、容
器部外面の全周だけでなく上下方向に対しても上記すき
まを所望の一定量に調節して、容器部外面各部に対して
均一な付着物掻落しをおこなうことができる。

【００１２】またこの発明は、大気圧に近い圧力の処理
室からの排気系内に設置するトラップ装置にも適用でき
るものであるが、請求項５記載の発明のように、請求項
１〜４記載のトラップ装置が、真空処理室から真空ポン
プに至る真空排気系内に設置されるトラップ装置である
場合には、排ガス中の固化成分回収不足により未回収成
分が真空ポンプ部で固化して真空ポンプが故障するのを
防止できるとともに、回転部と外槽との真空シール部が
１個所で済み、装置の構造が簡潔であり、損耗しやすい
真空シール部の点検・保守が容易である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下図１〜図３に示す第１例によ
り、この発明の実施の形態を説明する。図中、１はトラ
ップ装置で、２はその外殻部を形成する外槽であり、有
底筒状体の頂部を蓋板３で閉鎖し、一方の側壁部にガス
流入口４を、これに対向する他方の側壁部にガス流出口
５をそなえている。６は外槽２の底部に設けた排出口で
ある。

【００１４】１０は内槽で、外槽２内に配置され冷却媒
体Ｃを収容する有底円筒状の容器部１１の上部に、この
容器部１１と同心で上方に延びる支軸部１２の下部を、
Ｏリング等を介してボルト締め又は溶接により一体に結
合して成る。容器部１１は熱伝導率の高いステンレスや
アルミ合金などで構成するのが好ましい。また支軸部１
２は、中心に穴１３をそなえた管状を呈し、この穴１３
は容器部１１に冷却媒体Ｃを供給する供給口として用い
られる。

【００１５】この支軸部１２は、蓋板３のボス部３ａを
貫通し、軸受１４，１５を介してボス部３ａに回転自在
に支持されている。１６はボス部３ａの内周と支軸部１
２の間に介装され両者間を真空シールするＯリングなど
から成るパッキンである。

【００１６】容器部１１に収容される冷却媒体Ｃは、こ
の中に浸漬される後述の熱交換器３０と容器部１１の壁
面部との間の伝熱媒体として機能するものであり、この
冷却媒体Ｃとしては、後述の冷媒Ｒにより冷却された熱
交換器３０の表面温度（たとえば−６０℃）よりも凝固
温度の低いたとえば、エタノール，イソプロピルアルコ
ール，高沸点フロンなどの、各種液状媒体を用いること
ができる。

【００１７】２０は支軸部１２（従ってこれと一体の内
槽１０全体）を回転駆動する回転駆動装置で、蓋板３上
に取付けた減速モータ２１の出力軸に取付けた駆動スプ
ロケット２２と、支軸部１２に取付けた従動スプロケッ
ト２３との間にチェーン２４を巻掛けて成る。

【００１８】３０は内槽１０の容器部１１に収容された
冷却媒体Ｃ内に浸漬された熱交換器で、この例ではたと
えば銅やステンレスなどの金属管をコイル状に巻回して
成り、その両端部を上方に延長して支軸部１２の穴１３
を貫通させ、熱交換器３０に冷媒を供給する供給路３１
および該熱交換器３０から流出する吸熱した冷媒Ｒを排
出する排出路３２としたものである。

【００１９】供給路３１および排出路３２の上部は、蓋
板３上に固設したブラケット３３に固定取付けされ、こ
れによって熱交換器３０はブラケット３３により吊下げ
られた形で固定位置に保持されている。３４は支軸部１
２の穴１３に少量のすきまをもって嵌合するキャップ
で、これを貫通する供給路３１および排出路３２によっ
て固定位置に保持されている。

【００２０】熱交換器３０に供給される熱交換用の冷媒
Ｒとしては、所望の冷却温度に応じてアンモニア，フロ
ン等の各種冷媒を用いることができ、これらの冷媒Ｒ
は、たとえば圧縮機３５と冷却器３６をそなえた冷凍装
置からなる冷媒供給装置３７により低温気体として熱交
換器３０に供給され、吸熱し液状となって排出路３２か
ら冷媒供給装置３７へと還流されて循環使用される。な
お冷媒Ｒとしてたとえば液体窒素や液体窒素により冷却
された窒素ガスなどを使用する場合には、排出路３２か
らの排出ガスは大気中等へそのまま放出させたり他の冷
却装置へ冷却用ガスとして供給してもよい。

【００２１】一方４０は、容器部１１の外面に沿って上
下方向に延びる付着物掻落し具で、金属板の先端部（容
器部１１の外面寄りの端部）にすくい面４０ａ（図３参
照）を形成して成る。この掻落し具の支持構造として、
内槽１０の支軸部１２に基部が嵌合して該支軸部のまわ
りに回転自在に支持されて側方に延びる上部アーム４１
と、容器部１１の下面中心部に突設固着した短軸４２に
基部が嵌合して該短軸のまわりに回転自在に支持されて
側方に延びる下部アーム４３の各先端部に、上下方向に
延びる支持杆４４の上下端部を固定取付けしてある。

【００２２】そしてこの支持杆４４の側面部に、付着物
掻落し具４０がボルト４５により取付位置調節可能に締
付けてあり、この掻落し具の先端縁部と容器部１１の外
面との間のすきまは、該外面に固着する回収物の硬さや
脆さなどに応じて、たとえば０．２〜１mm程度の少量の
すきまになるよう調節されている。

【００２３】４７，４７は外槽２の内面部に固設したス
トッパで、内槽１０の回転時に上部アーム４１および下
部アーム４３の先端部の側部に当接して、付着物掻落し
具４０を停止位置に保持するものである。なおこのスト
ッパ４７は、支持杆４４の側部や、付着物掻落し具４０
の形状等によっては該掻落し具の側部等に、当接する位
置に設けてもよい。

【００２４】また４８，４８は、外槽２に基端部を固定
取付けした仕切板で、外槽２の上端部から容器部１１の
下端部付近にわたって上下方向に延びており、その先端
縁部と容器部１１との間には、容器部１１表面に付着す
る固化回収物と干渉しない程度の数mmのすきまを設けて
ある。この仕切板４８の付設により、ガス流入口４から
外槽２内へ流入したガスは下向き流として外槽２内を流
れたのち外槽下部で反転して上向き流として流れガス流
出口５から流出するので、該ガスと内槽の容器部１１と
の接触による熱交換が促進されて冷却が良好におこなわ
れるものであるが、さらに仕切板４８の枚数を増し取付
位置をずらすなどして、ガス流反転回数を増やすなどし
てもよい。

【００２５】上記構成のトラップ装置１を用いて、粉末
金属を焼結する真空焼結炉の排ガスから、そのバインダ
成分である樟脳を回収する場合の使用例について説明す
る。トラップ装置１は、図示しない真空焼結炉から真空
ポンプに至る真空排気系５０内に設置し、真空焼結炉の
排ガスＧをガス流入口４に流入させ、トラップ装置１内
を通過した排ガスを真空ポンプ側へ流出させるよう配管
接続する。

【００２６】トラップ装置１においては、冷媒供給装置
３７により約−６０℃に冷却したフロンから成る冷媒Ｒ
を供給路３１から熱交換器３０へ流入させ、内槽１０の
容器部１１内のエタノールから成る冷却媒体Ｃを約−４
０℃に冷却するとともに、回転駆動装置２０により内槽
１０の中心軸線のまわりに低速度（たとえば毎分１回
転）で回転させる。

【００２７】この状態で真空焼結炉からの温度約２００
℃の排ガスＧを外槽２内に流入させると、内槽１０の低
温の容器部１１の外面との接触により、排ガスＧは急冷
され、該ガス中の気化状態の樟脳（固化温度＝約１７９
℃）が固化して上記外面に付着する。

【００２８】このとき内槽１０は中心軸線のまわりに回
転しているので、排ガスＧと容器部外面との接触は局部
的に集中することなく外面各部にほぼ均等に接触すると
ともに、内槽１０の回転に伴って、ストッパ４７により
固定位置に保持された付着物掻落し具４０によって、容
器部１１の外面に付着堆積した樟脳が掻落され、付着物
の厚い層によりガス流の冷却が阻害されることがないの
で、排ガスＧ中の樟脳の固化回収は能率よく確実におこ
なわれ、未回収分が真空ポンプ側へ流出して該ポンプ部
で樟脳が固化してポンプ故障をひきおこすのを防止でき
るのである。

【００２９】掻落された樟脳は、外槽２の底部に溜まる
ので、排出口６に接続した真空仕切弁等の操作により適
時下方へ排出すればよい。

【００３０】上記の付着物掻落し具４０は、内槽１０の
回転中心軸線のまわりに回転自在に支持された上部アー
ム４１と下部アーム４３（およびこの例では両アームを
連結する支持杆４４）により、内槽１０に一体に保持さ
れているので、この一体品を外槽２から取出した状態で
ボルト４５を操作して付着物掻落し具４０の取付位置を
調節することにより、容器部１１の外面と付着物掻落し
具４０の先端縁部とのすきまを容易に、且つ掻落し具全
長にわたってほぼ同一値に調節できるのである。

【００３１】なお上記の支持杆４４を用いずに、付着物
掻落し具４０の延長端部を、直接上部アーム４１と下部
アーム４３に取付けたり、両アーム部に突設固着した取
付片部に取付けたりしても、同様なすきま調節作用が得
られる。またガス流中の成分を専ら液体の状態で回収す
る場合には、付着物掻落し具４０およびストッパ４７の
付設は、省略してよい。

【００３２】また上記の熱交換器３０は、供給路３１お
よび排出路３２を介してブラケット３３により外槽２に
固定保持されているので、内槽１０の回転に伴って容器
部１１と共に回転する冷却媒体Ｃが上記固定状態の熱交
換器３０によってゆるやかに撹拌され、熱交換器３０と
冷却媒体Ｃ間の熱交換が促進されるという効果が得られ
るものであるが、熱交換器３０を内槽１０に固定取付け
して、供給路３１および排出路３２はロータリージョイ
ント等を介して外部管路と接続するようにしてもよい。

【００３３】次に図４に示す第２例により、この発明の
実施の形態を説明する。この例のトラップ装置６１は、
前記第１例のトラップ装置１における熱交換器３０を省
略して冷媒Ｒを直接内槽１０内に供給するようにしたも
のであり、その他は第１例と同構成を有するので、図１
と同一または相当部分には同一符号を付して図示し、そ
れらの部分の詳細な説明は省略する。

【００３４】すなわち、トラップ装置６１において、パ
イプ材からなる供給路６２および排出路６３は、ブラケ
ット３３により吊下保持され、その下端部は容器部１１
内および支軸部１２の穴１３内に開口しており、供給路
６２は冷媒供給装置６４に接続され、排出路６３の上端
部はこの例では大気中に開口している。冷媒Ｒとして
は、たとえば液体窒素や低温に冷却された窒素ガスなど
を好適に使用することができる。

【００３５】上記構成のトラップ装置６１を用いて、第
１例と同じ真空焼結炉の排ガスから樟脳を回収するに
は、トラップ装置６１を第１例と同じく真空排気系５０
内に設置し、液体窒素貯蔵タンクと開閉弁等をそなえた
冷媒供給装置６４から、約−１９０℃の液体窒素を冷媒
Ｒとして内槽１０内へ供給し容器部１１に収容・貯留さ
せるとともに、回転駆動装置２０により内槽１０を第１
例と同様に回転駆動する。

【００３６】これによって容器部１１は低温（たとえば
−１７０℃）に冷却され、この低温で回転している容器
部１１の外面との接触により、外槽２内に流入した排ガ
スＧは急冷され、第１例と同様に排ガスＧ中の樟脳成分
を容器部外面に固化付着させ、付着物掻落し具４０によ
り掻落して回収する。

【００３７】このようにこの例では、冷媒Ｒを内槽内へ
供給して容器部を直接冷却するようにしたので、前記熱
交換器３０を必要としない点で第１例のトラップ装置よ
り装置が簡単で済む。

【００３８】なお容器部１１内で吸熱し気化した窒素ガ
スは、排出路６３から大気中へ排出したり他の冷却装置
用の冷却用気体などとして利用してもよいが、内槽１０
を耐圧容器として製作し支軸部１２の穴１３も気密シー
ルする構造とした場合は、冷媒Ｒは第１例と同様に冷凍
装置で冷却しつつ循環使用してもよく、さらにこの場合
は窒素系以外に第１例と同様な各種の冷媒Ｒを使用する
ことができる。

【００３９】この発明は上記各例に限定されるものでは
なく、装置各部の具体的形状や、冷媒Ｒおよび冷却媒体
Ｃは上記以外のものを使用してもよい。またこの発明の
トラップ装置は、上記の真空焼結炉からの排ガス中の蒸
発成分の回収のほか、たとえば産業廃棄物の真空加熱装
置からの排ガス中の有用物質あるいは有害物質の回収
や、炉内圧が大気圧や若干加圧された状態で焼結品のバ
インダーを脱脂処理する加圧式脱脂炉の排ガス中のバイ
ンダー成分の回収など、加熱や脱脂その他の各種の処理
をおこなう処理装置の排ガス中の所望成分の回収に、広
く使用できるものである。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
排ガス流との接触面である容器部外面を、回転駆動しつ
つ低温に冷却・維持でき、ガス流中の固化温度や液化温
度の低い物質も確実に回収でき、回転部に対するシール
も１個所で済み保守が容易なトラップ装置が得られる。

【００４１】上記の効果に加えて、請求項１記載の発明
によれば、加圧冷媒が流通せず冷却媒体の収容にのみ使
用される内筒の容器部を薄肉構造として良好な冷却能力
を得ることができ、また請求項２記載の発明によれば、
熱交換器を用いることなく容器部を直接冷媒により冷却
するので、装置の構造が簡潔化される。

【００４２】また上記の効果に加えて、請求項３記載の
発明によれば、内槽を回転駆動するだけで、容器部の外
面の付着固化物を付着物掻落し具により掻落して外面を
冷却能力の高い状態に維持でき、さらにこれに加えて請
求項４記載の発明によれば、付着物掻落し具の先端縁部
と容器部外面とのすきまを、容易にかつ掻落し具全長に
わたって均一なすきま量に調節できる。

【００４３】また上記の効果に加えて、請求項５記載の
発明によれば、排ガス中の未回収成分の真空ポンプ部に
おける固化による真空ポンプの故障を防止できるととも
に、回転部の真空シール部が１個所で済み、構造簡潔で
保守が容易な真空排気系用トラップ装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態の第１例を示すトラップ
装置の縦断面図（図３におけるＢ−Ｂ線断面図）であ
る。

【図２】図１のトラップ装置の平面図である。

【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】この発明の実施の形態の第２例を示す図１相当
図である。

【符号の説明】

１…トラップ装置、２…外槽、３…蓋板、４…ガス流入
口、５…ガス流出口、１０…内槽、１１…容器部、１２
…支軸部、１３…穴、２０…回転駆動装置、３０…熱交
換器、３１…供給路、３２…排出路、３７…冷媒供給装
置、４０…付着物掻落し具、４１…上部アーム、４２…
短軸、４３…下部アーム、４４…支持杆、４７…ストッ
パ、５０…真空排気系、６１…トラップ装置、６２…供
給路、６３…排出路、６４…冷媒供給装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 健二郎 愛知県名古屋市南区滝春町９番地 大同特 殊鋼株式会社機械事業部滝春テクノセンタ ー内 (72)発明者 松本 則幸 愛知県名古屋市南区滝春町９番地 大同特 殊鋼株式会社機械事業部滝春テクノセンタ ー内 Ｆターム(参考） 4D076 BC04 BE04 CB02 CB06 CB07 CB08 JA03 4K056 AA09 AA11 BA04 DB05 DB26

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方の側壁部にガス流入口をそなえると
   ともに他方の側壁部にガス流出口をそなえ頂部を蓋板で
   閉鎖された外槽と、 前記外槽内に配置されて冷却媒体を収容する有底円筒状
   の容器部の上部に該容器部と同心の支軸部を突設して成
   り、前記蓋板を貫通する前記支軸部を前記蓋板に回転自
   在に支持された内槽と、 前記支軸部を回転駆動する回転駆動装置と、 前記容器部に収容された冷却媒体内に浸漬された熱交換
   器と、 前記支軸部を貫通して設けられ、前記熱交換器に冷媒を
   供給する供給路および該熱交換器から流出する吸熱した
   冷媒を排出する排出路、および前記容器部に冷却媒体を
   供給する供給口とを、具備したことを特徴とするトラッ
   プ装置。
2. 【請求項２】 一方の側壁部にガス流入口をそなえると
   ともに他方の側壁部にガス流出口をそなえ頂部を蓋板で
   閉鎖された外槽と、 前記外槽内に配置されて冷媒を収容する有底円筒状の容
   器部の上部に該容器部と同心の支軸部を突設して成り、
   前記蓋板を貫通する前記支軸部を前記蓋板に回転自在に
   支持された内槽と、 前記支軸部を回転駆動する回転駆動装置と、 前記支軸部を貫通して設けられ前記容器部に冷媒を供給
   する供給路および該容器部から流出する吸熱した冷媒を
   排出する排出路とを、具備したことを特徴とするトラッ
   プ装置。
3. 【請求項３】 前記内槽の前記容器部の外面に沿って上
   下方向に延び、先端縁部が前記外面に対して少量のすき
   まをへだてた固定位置に保持される付着物掻落し具を具
   備した請求項１または２記載のトラップ装置。
4. 【請求項４】 前記内槽の上部および下部において基部
   が該内槽の回転中心軸線のまわりに回転自在に支持され
   側方に延びる上部アームと下部アームにより、前記付着
   物掻落し具が保持され、前記外槽に前記内槽回転時に前
   記掻落し具を所定の停止位置に保持するストッパを設け
   た請求項３記載のトラップ装置。
5. 【請求項５】 前記トラップ装置が、真空処理室から真
   空ポンプに至る真空排気系内に設置されるトラップ装置
   である請求項１または２または３または４記載のトラッ
   プ装置。