JP2003205274A - Fixture for holding package - Google Patents

Fixture for holding package

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JP2003205274A
JP2003205274A JP2002006293A JP2002006293A JP2003205274A JP 2003205274 A JP2003205274 A JP 2003205274A JP 2002006293 A JP2002006293 A JP 2002006293A JP 2002006293 A JP2002006293 A JP 2002006293A JP 2003205274 A JP2003205274 A JP 2003205274A
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package
holding
nest
cleaning
wall
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Yumiko Asai
裕美子 浅井
Koichi Kawamura
耕一 河村
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Towa Corp
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Towa Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fixture for holding a package which is used for cleaning and drying the cut package, shortens a cleaning and drying time and reduces the remained foreign matter. <P>SOLUTION: This fixture for holding package is provided with side walls 7 which are grid-shapedly disposed on a nest 6, an outer frame 15 which is on the outermost side among the side walls 7, storage parts 8 which are quadrilateral spaces surrounded by side walls 7 themselves or by the side wall 7 and outer frame 15 and store the package 19, holding walls 16 which are one part of the side walls 7 and have retreated wall surfaces, shelf parts 17 which are disposed on the root of the holding walls 16 and restrain the package 19 and notched parts 18 which are disposed near the central part of the respective holding walls 16. Thereby, cleaning liquid in the case of the cleaning process of the package 19 and dry air in the case of a drying process respectively flow into the surrounding of the package 19 through the notched parts 18 and easily flow out. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のチップ状の
電子部品(以下、チップという。)が樹脂封止された樹
脂封止済基板を切断することによりチップを含む個片か
らなるパッケージを形成した後に使用される、パッケー
ジの保持用治具に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package including individual chips including chips by cutting a resin-sealed substrate in which a plurality of chip-shaped electronic components (hereinafter referred to as chips) are resin-sealed. The present invention relates to a package holding jig that is used after being formed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のパッケージの保持用治具につい
て、図4を参照しながら説明する。図4(A),
(B),(C)は、従来のパッケージの保持用治具と吸
着用治具とを組み合わせて使用して、樹脂封止済基板を
切断する工程と、各パッケージを保持する工程と、各パ
ッケージを洗浄・乾燥させる工程とをそれぞれ示す部分
断面図である。図4(A)に示されているように、パッ
ケージの保持用治具であるネスト50は、格子状の側壁
51と、外枠52と、側壁51同士及び側壁51と外枠
52とに囲まれた空間からなる収容部53と、側壁51
及び外枠52の一部からなり壁面が後退している保持壁
54と、保持壁54の根元にある棚部55とから構成さ
れる。また、吸着用治具であるプラットホーム56は、
各パッケージに対応して突出する吸着部57と、吸着部
57の上部に設けられた凹部58と、凹部58に設けら
れた吸引口59とを有する。
2. Description of the Related Art A conventional jig for holding a package will be described with reference to FIG. FIG. 4 (A),
(B) and (C) show a process of cutting the resin-sealed substrate, a process of holding each package, and a process of using each of the conventional package holding jig and suction jig in combination. It is a fragmentary sectional view showing a process of washing and drying a package, respectively. As shown in FIG. 4A, the nest 50, which is a jig for holding a package, is surrounded by a grid-shaped side wall 51, an outer frame 52, side walls 51 themselves, and the side wall 51 and the outer frame 52. And the side wall 51
And a holding wall 54 which is a part of the outer frame 52 and whose wall surface is retracted, and a shelf 55 at the base of the holding wall 54. In addition, the platform 56, which is a suction jig,
It has a suction part 57 protruding corresponding to each package, a recess 58 provided in the upper part of the suction part 57, and a suction port 59 provided in the recess 58.

【0003】従来のパッケージの保持用治具、すなわち
ネスト50は、次のようにして使用される。まず、図4
(A)に示すように、ネスト50とプラットホーム56
とを組み合わせ、吸引口59を介して樹脂封止済基板6
0を吸着した後に、ブレード61により樹脂封止済基板
60を切断する。次に、図4(B)に示すように、樹脂
封止済基板60をすべてのパッケージ62に切断し終わ
ると、吸着を解除した後にネスト50を上昇させる。こ
のことにより、各パッケージ62は、ネスト50の各収
容部53において、棚部55に係止されるとともに、保
持壁54によって図の水平方向に大きく移動しないよう
にして保持される。そして、各パッケージ62を図の垂
直方向に大きく移動しないようにして保持するために、
ふた63を下降させる。ここで、ふた63のパッケージ
押さえ部64がパッケージ62の角部の上方に位置し、
ふた63のネスト押さえ部65がネスト50の外枠52
の上方に位置するようにして、ふた63を下降させる。
また、ふた63には、パッケージ62の中央部上方に開
口66が設けられている。
A conventional package holding jig, that is, the nest 50 is used as follows. First, FIG.
As shown in (A), nest 50 and platform 56
And the resin-sealed substrate 6 through the suction port 59.
After adsorbing 0, the resin-sealed substrate 60 is cut by the blade 61. Next, as shown in FIG. 4B, when the resin-sealed substrate 60 has been cut into all the packages 62, the nest 50 is lifted after releasing the suction. As a result, each package 62 is held by the shelf 55 in each accommodation portion 53 of the nest 50, and is held by the holding wall 54 so as not to largely move in the horizontal direction in the drawing. Then, in order to hold each package 62 so as not to move largely in the vertical direction of the drawing,
Lower the lid 63. Here, the package pressing portion 64 of the lid 63 is located above the corner of the package 62,
The nest pressing portion 65 of the lid 63 is the outer frame 52 of the nest 50.
The lid 63 is lowered so that the lid 63 is positioned above.
Further, the lid 63 is provided with an opening 66 above the central portion of the package 62.

【0004】次に、図4(C)に示すように、ネスト押
さえ部65と外枠52とを圧接させる。これにより、パ
ッケージ62は、角部においてパッケージ押さえ部64
から所定の間隙をおいて、図の垂直方向に大きく移動し
ないように保持される。この状態で、ネスト50を、洗
浄槽の中に入れて洗浄液によりパッケージ62を洗浄
し、更に乾燥機の中に入れてドライエア等によりパッケ
ージ62を乾燥させる。そして、図中の太い矢印で示す
ように、洗浄工程では洗浄液が、乾燥工程ではドライエ
アが、それぞれ、ふた63・パッケージ62間、保持壁
54・パッケージ62間、棚部55・パッケージ62間
の狭い空間を流動する。
Next, as shown in FIG. 4C, the nest pressing portion 65 and the outer frame 52 are brought into pressure contact with each other. As a result, the package 62 has the package pressing portion 64 at the corner.
From the above, a predetermined gap is maintained so that the vertical direction of the drawing does not significantly move. In this state, the nest 50 is put in a washing tank to wash the package 62 with a washing liquid, and then put in a dryer to dry the package 62 with dry air or the like. Then, as indicated by the thick arrow in the figure, the cleaning liquid in the cleaning process and the dry air in the drying process are narrow between the lid 63 and the package 62, between the holding wall 54 and the package 62, and between the shelf portion 55 and the package 62, respectively. Flow through space.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のパッケージの保持用治具によれば、保持壁54と棚
部55とがつながるコーナー部67においては、次のよ
うな問題が発生するおそれがある。まず、コーナー部6
7とパッケージ62との間においては、溜まった洗浄液
が流出しにくく、また、ドライエアが流入しにくいの
で、洗浄・乾燥時間が長くなる。更に、コーナー部67
とパッケージ62との間には洗浄の際に異物が残留しや
すく、このような異物が後工程での不良を引き起こす。
However, according to the above-described conventional package holding jig, the following problem may occur at the corner portion 67 connecting the holding wall 54 and the shelf portion 55. is there. First, the corner 6
Between the package 7 and the package 62, it is difficult for the accumulated cleaning liquid to flow out and dry air does not easily flow in, so that the cleaning / drying time becomes long. Further, the corner portion 67
A foreign substance is likely to remain between the package 62 and the package 62 during cleaning, and such a foreign substance causes a defect in a post process.

【0006】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであり、洗浄・乾燥時間を短縮させるととも
に、異物の残留を低減させるパッケージの保持用治具を
提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a jig for holding a package which shortens the cleaning / drying time and reduces the residual of foreign matters. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上述の技術的課題を解決
することを目的として、本発明に係るパッケージの保持
用治具は、複数のチップ状の電子部品が樹脂封止された
樹脂封止済基板を切断することによって電子部品を含む
個片からなるパッケージを形成した後に該パッケージを
洗浄し又は乾燥させる際に使用され、パッケージが各々
収容され側壁に囲まれた格子状の収容部と、側壁の一部
からなり壁面が後退しているとともにパッケージを保持
する保持壁と、保持壁の根元にあってパッケージが係止
される棚部とを有するパッケージの保持用治具であっ
て、保持壁には切り欠きが形成されていることを特徴と
する。
For the purpose of solving the above technical problems, a package holding jig according to the present invention is a resin-sealing method in which a plurality of chip-shaped electronic components are resin-sealed. A grid-shaped accommodating portion that is used when each package is accommodated and surrounded by side walls, which is used when cleaning or drying the package that is formed of individual pieces including electronic components by cutting the finished substrate, A holding jig for a package, comprising: a holding wall that is formed of a part of a side wall and has a recessed wall and holds the package; and a shelf portion that is at the base of the holding wall and that holds the package. It is characterized in that a notch is formed in the wall.

【0008】これによれば、保持用治具に保持された状
態でパッケージが洗浄される際に、パッケージの周囲に
おいて、洗浄液が切り欠きを経由して速やかに流入し流
出する。したがって、洗浄液が充分に流動するので、洗
浄効果が向上するとともに洗浄時間が短縮される。ま
た、パッケージの周囲において、乾燥に使用される気体
が、切り欠きを経由して速やかに流入し流出する。した
がって、気体が充分に流動するので、乾燥時間が短縮さ
れる。
According to this, when the package is washed while being held by the holding jig, the cleaning liquid quickly flows in and out around the package through the notch. Therefore, since the cleaning liquid flows sufficiently, the cleaning effect is improved and the cleaning time is shortened. Further, around the package, the gas used for drying quickly flows in and out via the notch. Therefore, the gas flows sufficiently and the drying time is shortened.

【0009】また、本発明に係るパッケージの保持用治
具は、上述のパッケージの保持用治具において、切り欠
きは保持壁同士がつながっている部分以外に設けられて
いることを特徴とする。
Further, a package holding jig according to the present invention is characterized in that, in the above-mentioned package holding jig, the notch is provided in a portion other than a portion where the holding walls are connected to each other.

【0010】これによれば、収容部を取り囲む各保持壁
同士がつながっている部分以外に切り欠きが設けられる
ので、保持壁の強度が確保される。
According to this, since the notch is provided in a portion other than the portion where the holding walls that surround the accommodating portion are connected to each other, the strength of the holding wall is ensured.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るパッケージの
保持用治具を、図1〜図3を参照して説明する。図1
は、本発明に係るパッケージの保持用治具、すなわちネ
ストが使用される状態を概略的に示す斜視図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A jig for holding a package according to the present invention will be described below with reference to FIGS. Figure 1
FIG. 3 is a perspective view schematically showing a state where a jig for holding a package according to the present invention, that is, a nest is used.

【0012】図1に示されるように、切断される対象と
なる樹脂封止済基板1は、プリント基板やリードフレー
ム等からなる基板本体2と、封止樹脂3とにより構成さ
れている。基板本体2には、切断位置であるダイシング
ライン4が仮想的に設けられている。各ダイシングライ
ン4によって囲まれた部分は、切断後に各パッケージに
なるべきパッケージ領域5である。
As shown in FIG. 1, a resin-sealed substrate 1 to be cut is composed of a substrate body 2 made of a printed circuit board, a lead frame and the like, and a sealing resin 3. The substrate body 2 is virtually provided with a dicing line 4 which is a cutting position. A portion surrounded by each dicing line 4 is a package region 5 that should become each package after cutting.

【0013】本発明に係るパッケージの保持用治具、す
なわちネスト6は、格子状に設けられた側壁7と、側壁
7に囲まれた四辺形の空間であってパッケージ(図示な
し)が収容される収容部8とを有する。なお、図1で
は、図が込み入ってくることからネスト6については一
部を省略して、省略した部分については後述する。
The package holding jig, ie, the nest 6 according to the present invention is a lattice-shaped side wall 7 and a quadrilateral space surrounded by the side wall 7 in which a package (not shown) is housed. And an accommodating portion 8 for In FIG. 1, a part of the nest 6 is omitted because the drawing is complicated, and the omitted part will be described later.

【0014】プラットホーム9は、ネスト6と組み合わ
せて使用される吸着用治具であり、テーブル10に固定
されている。また、プラットホーム9において、吸着部
11は、各パッケージを吸着して保持する凸状の部分で
ある。また、凹部12は、吸着部11の上面に設けられ
た吸着用の空間である。また、吸引口13は、凹部12
に設けられ真空ポンプ14につながる吸着用管路の出口
である。
The platform 9 is a suction jig used in combination with the nest 6, and is fixed to the table 10. Further, in the platform 9, the suction portion 11 is a convex portion that sucks and holds each package. The recess 12 is a suction space provided on the upper surface of the suction unit 11. Further, the suction port 13 is
Is an outlet of an adsorption pipe line that is connected to the vacuum pump 14.

【0015】図1に示されたネスト6の形状を、図1で
省略した部分も含めて、図2を参照して説明する。図2
(A)は図1のネストの形状を示す部分斜視図,(B)
はネストがパッケージを保持する状態を(A)のA−A
線に沿って示す部分断面図である。
The shape of the nest 6 shown in FIG. 1, including the parts omitted in FIG. 1, will be described with reference to FIG. Figure 2
(A) is a partial perspective view showing the shape of the nest of FIG. 1, (B)
Shows the state in which the nest holds the package (A) AA
It is a fragmentary sectional view shown along a line.

【0016】図2(A)に示されるように、ネスト6に
おいて、側壁7のうち最も外側にある外枠15には、そ
の外枠15の一部であって壁面が後退している保持壁1
6が設けられている。同様に、外枠15の内側に設けら
れた側壁7には、その側壁7の一部であって壁面が後退
している保持壁16が設けられている。これらの保持壁
16は、図1では省略されている。保持壁16の根元、
すなわち側壁7とつながる部分には、棚部17が設けら
れている。各保持壁16の中央部付近には、切り欠き1
8が設けられている。図2(B)に示されるように、各
パッケージ19は、この棚部17に係止されるととも
に、各保持壁16により水平方向に大きく移動しないよ
うにして保持される。
As shown in FIG. 2 (A), in the nest 6, the outermost outer frame 15 of the side walls 7 is a holding wall which is a part of the outer frame 15 and whose wall surface is retracted. 1
6 is provided. Similarly, the side wall 7 provided inside the outer frame 15 is provided with a holding wall 16 which is a part of the side wall 7 and whose wall surface is retracted. These retaining walls 16 are omitted in FIG. The base of the retaining wall 16,
That is, the shelf portion 17 is provided at a portion connected to the side wall 7. A notch 1 is provided near the center of each holding wall 16.
8 are provided. As shown in FIG. 2B, each package 19 is held by the shelf 17 and is held by each holding wall 16 so as not to largely move in the horizontal direction.

【0017】本発明に係るパッケージの保持用治具、す
なわちネスト6が使用される工程について、図3を参照
して説明する。図3(A),(B),(C)は、プラッ
トホームとネストとを組み合わせて使用して、樹脂封止
済基板を切断する工程と、各パッケージを保持する工程
と、各パッケージを洗浄・乾燥させる工程とをそれぞれ
示す部分断面図である。
A process of using the jig for holding the package according to the present invention, that is, the nest 6, will be described with reference to FIG. 3A, 3B, and 3C show a process of cutting a resin-sealed substrate, a process of holding each package, and a process of cleaning / cleaning each package by using a platform and a nest in combination. It is a partial cross section which respectively shows the process of drying.

【0018】図3において、ブレード20は、樹脂封止
済基板1を切断するための回転刃である。ふた21は、
ネスト6を覆うとともに各パッケージ19の大きな移動
を抑制する部材であって、格子状のリブからなるパッケ
ージ押さえ部22と、外周部におけるリブからなるネス
ト押さえ部23とを有する。ネスト押さえ部23は、パ
ッケージ押さえ部22よりも下方まで突出するように設
けられている。また、ふた21の天井板には、各パッケ
ージ19の中央部上方に相当する部分に開口24が設け
られている。また、ネスト6のコーナー部25は、保持
壁16と棚部17とがつながる部分である。
In FIG. 3, a blade 20 is a rotary blade for cutting the resin-sealed substrate 1. The lid 21 is
The member is a member that covers the nest 6 and suppresses large movement of each package 19, and has a package pressing portion 22 formed of a grid-like rib and a nest pressing portion 23 formed of a rib on the outer peripheral portion. The nest pressing portion 23 is provided so as to protrude below the package pressing portion 22. Further, the ceiling plate of the lid 21 is provided with an opening 24 at a portion corresponding to the upper center portion of each package 19. The corner portion 25 of the nest 6 is a portion where the holding wall 16 and the shelf portion 17 are connected.

【0019】まず、図3(A)に示すように、ネスト6
とプラットホーム9とを組み合わせて、吸引口13を介
して樹脂封止済基板1を吸着した後に、ブレード20に
より樹脂封止済基板1を切断する。
First, as shown in FIG. 3A, the nest 6
And the platform 9 are combined to adsorb the resin-sealed substrate 1 through the suction port 13, and then the resin-sealed substrate 1 is cut by the blade 20.

【0020】次に、図3(B)に示すように、樹脂封止
済基板1をすべてのパッケージ19に切断し終わると、
吸着を解除した後にネスト6を上昇させる。これによ
り、各パッケージ19は、ネスト6の各収容部8におい
て、棚部17に係止されるとともに、保持壁16によっ
て図の水平方向に大きく移動しないようにして保持され
る。そして、ふた21を下降させて、各パッケージ19
を図の垂直方向に大きく移動しないようにして保持す
る。ここで、ふた21のパッケージ押さえ部22がパッ
ケージ19の角部の上方に位置し、ふた21のネスト押
さえ部23がネスト6の外枠15の上方に位置するよう
にして、ふた21を下降させる。
Next, as shown in FIG. 3B, when the resin-sealed substrate 1 is cut into all the packages 19,
After releasing the suction, the nest 6 is raised. As a result, each package 19 is held by the shelf 17 in each housing 8 of the nest 6 and is held by the holding wall 16 so as not to move largely in the horizontal direction of the drawing. Then, the lid 21 is lowered and each package 19
Hold it so that it does not move significantly in the vertical direction of the figure. Here, the package pressing portion 22 of the lid 21 is positioned above the corner portion of the package 19, and the nest pressing portion 23 of the lid 21 is positioned above the outer frame 15 of the nest 6 to lower the lid 21. .

【0021】次に、図3(C)に示すように、ネスト押
さえ部23と外枠15とを圧接させる。これにより、パ
ッケージ19は、角部においてパッケージ押さえ部22
から所定の間隙をおいて、図の垂直方向に大きく移動し
ないように保持される。言い換えれば、パッケージ19
は、それぞれ、ネスト6との間、及びふた21との間に
設けられたわずかな間隙において移動できる状態で、保
持される。
Next, as shown in FIG. 3C, the nest pressing portion 23 and the outer frame 15 are brought into pressure contact with each other. As a result, the package 19 has the package pressing portion 22 at the corner.
From the above, a predetermined gap is maintained so that the vertical direction of the drawing does not significantly move. In other words, package 19
Are held movably in a small gap provided between the nest 6 and the lid 21, respectively.

【0022】この状態のままで、ネスト6を洗浄槽の中
に入れて、洗浄液によりパッケージ19を洗浄する。更
に、ネスト6を乾燥機の中に入れて、ドライエア等によ
りパッケージ19を乾燥させる。そして、図中の太い矢
印で示すように、洗浄工程では洗浄液が、乾燥工程では
ドライエアが、それぞれ切り欠き18を経由して、ふた
21・パッケージ19間、保持壁16・パッケージ19
間、棚部17・パッケージ19間の狭い空間を流動す
る。これにより、コーナー部25とパッケージ19との
間においても、洗浄液及びドライエアが、それぞれ切り
欠き18を経由して流入し、流出する。
In this state, the nest 6 is put in the cleaning tank and the package 19 is cleaned with the cleaning liquid. Further, the nest 6 is put in a dryer and the package 19 is dried by dry air or the like. Then, as indicated by the thick arrow in the figure, the cleaning liquid in the cleaning process and the dry air in the drying process respectively pass through the notches 18 between the lid 21 and the package 19 and between the holding wall 16 and the package 19.
Meanwhile, it flows in a narrow space between the shelf 17 and the package 19. As a result, the cleaning liquid and the dry air also flow in and out between the corner portion 25 and the package 19 via the notches 18, respectively.

【0023】ここで、本発明に係るパッケージの保持用
治具、すなわちネスト6の特徴は、各保持壁16の中央
部付近に切り欠き18が設けられていることである。こ
れにより、洗浄工程では洗浄液が、乾燥工程ではドライ
エアが、それぞれ切り欠き18を経由して、パッケージ
19の周囲に流入し、かつ流出しやすくなる。したがっ
て、洗浄・乾燥時間を短縮させることができるととも
に、コーナー部25における異物の残留を低減させるこ
とができる。
A feature of the holding jig for the package according to the present invention, that is, the nest 6, is that the notch 18 is provided in the vicinity of the central portion of each holding wall 16. Accordingly, the cleaning liquid in the cleaning process and the dry air in the drying process easily flow into and out of the package 19 via the notches 18, respectively. Therefore, the cleaning / drying time can be shortened, and the foreign matter remaining in the corner portion 25 can be reduced.

【0024】なお、上述の説明では、各保持壁16の中
央部付近に切り欠き18を設けて、保持壁16の強度を
確保している。これに代えて、切り欠き18を、保持壁
16同士がつながっている部分に設けることもできる。
この場合には、平面視した収容部8において、各辺の中
央部付近に保持壁16が設けられるので、保持壁16の
強度を充分に保つ必要がある。一方、洗浄水及びドライ
エアが最も流動しにくく、異物が最も残留しやすい部
分、すなわち平面視した収容部8の四隅付近で、切り欠
きが設けられることになる。したがって、洗浄・乾燥時
間の短縮と、残留する異物の低減とを、いっそう効果的
に行うことができる。
In the above description, the notch 18 is provided near the center of each holding wall 16 to secure the strength of the holding wall 16. Alternatively, the cutout 18 may be provided in a portion where the holding walls 16 are connected to each other.
In this case, since the holding wall 16 is provided in the vicinity of the central portion of each side in the housing portion 8 viewed from above, it is necessary to sufficiently maintain the strength of the holding wall 16. On the other hand, the cutouts are provided in the portions where the wash water and the dry air are most unlikely to flow and the foreign substances are most likely to remain, that is, in the vicinity of the four corners of the housing portion 8 in plan view. Therefore, it is possible to more effectively reduce the cleaning / drying time and the residual foreign matter.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、保持用治具に保持され
た状態でパッケージが洗浄される場合に、パッケージの
周囲で洗浄液が充分に流動するので、洗浄効果が向上す
るとともに洗浄時間が短縮される。また、パッケージが
乾燥される場合に、パッケージの周囲で気体が充分に流
動するので、乾燥時間が短縮される。したがって、本発
明は、洗浄・乾燥時間を短縮させるとともに、異物の残
留を低減させるパッケージの保持用治具を提供するとい
う、優れた実用的な効果を奏するものである。
According to the present invention, when the package is cleaned while being held by the holding jig, the cleaning liquid flows sufficiently around the package, so that the cleaning effect is improved and the cleaning time is improved. Shortened. Also, when the package is dried, the gas flows sufficiently around the package, thus reducing the drying time. Therefore, the present invention has an excellent and practical effect of providing a jig for holding a package that shortens cleaning / drying time and reduces residual foreign matter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るパッケージの保持用治具、すなわ
ちネストが使用される状態を概略的に示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a state in which a jig for holding a package according to the present invention, that is, a nest is used.

【図2】(A)は図1のネストの形状を示す部分斜視
図,(B)はネストがパッケージを保持する状態を
(A)のA−A線に沿って示す部分断面図である。
2A is a partial perspective view showing the shape of the nest of FIG. 1, and FIG. 2B is a partial cross-sectional view showing a state in which the nest holds a package along the line AA of FIG.

【図3】(A),(B),(C)は、プラットホームと
ネストとを組み合わせて使用して、樹脂封止済基板を切
断する工程と、各パッケージを保持する工程と、各パッ
ケージを洗浄・乾燥させる工程とをそれぞれ示す部分断
面図である。
3 (A), (B), and (C) show a process of cutting a resin-sealed substrate, a process of holding each package, and a process of using each package by using a platform and a nest in combination. It is a fragmentary sectional view showing the process of washing and drying, respectively.

【図4】(A),(B),(C)は、従来のパッケージ
の保持用治具と吸着用治具とを組み合わせて使用して、
樹脂封止済基板を切断する工程と、各パッケージを保持
する工程と、各パッケージを洗浄・乾燥させる工程とを
それぞれ示す部分断面図である。
4 (A), (B), and (C) are a combination of a conventional package holding jig and a suction jig,
FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a step of cutting the resin-sealed substrate, a step of holding each package, and a step of washing and drying each package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 樹脂封止済基板 2 基板本体 3 封止樹脂 4 ダイシングライン 5 パッケージ領域 6 ネスト(保持用治具) 7 側壁 8 収容部 9 プラットホーム 10 テーブル 11 吸着部 12 凹部 13 吸引口 14 真空ポンプ 15 外枠(側壁) 16 保持壁 17 棚部 18 切り欠き部 19 パッケージ 20 ブレード 21 ふた 22 パッケージ押さえ部 23 ネスト押さえ部 24 開口 25 コーナー部 1 Resin-sealed substrate 2 Board body 3 Sealing resin 4 dicing line 5 Package area 6 Nest (holding jig) 7 Side wall 8 accommodation 9 platforms 10 tables 11 Adsorption part 12 recess 13 Suction port 14 Vacuum pump 15 Outer frame (side wall) 16 retaining wall 17 shelves 18 Notch 19 packages 20 blades 21 lid 22 Package holder 23 Nest holding part 24 openings 25 corners

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のチップ状の電子部品が樹脂封止さ
れた樹脂封止済基板を切断することにより前記電子部品
を含む個片からなるパッケージを形成した後に該パッケ
ージを洗浄し又は乾燥させる際に使用され、前記パッケ
ージが各々収容され側壁に囲まれた格子状の収容部と、
前記側壁の一部からなり壁面が後退しているとともに前
記パッケージを保持する保持壁と、前記保持壁の根元に
あって前記パッケージが係止される棚部とを有するパッ
ケージの保持用治具であって、 前記保持壁には切り欠きが形成されていることを特徴と
するパッケージの保持用治具。
1. A resin-sealed substrate in which a plurality of chip-shaped electronic components are resin-sealed is cut to form a package including individual pieces containing the electronic components, and then the packages are washed or dried. A lattice-shaped accommodating portion that is used in the case of accommodating each of the packages and is surrounded by side walls,
A jig for holding a package having a holding wall which is formed of a part of the side wall and has the wall retracted, and which holds the package, and a shelf portion at the base of the holding wall to which the package is locked. A holding jig for a package, characterized in that a cutout is formed in the holding wall.
【請求項2】 請求項1記載のパッケージの保持用治具
において、前記切り欠きは前記保持壁同士がつながって
いる部分以外に設けられていることを特徴とするパッケ
ージの保持用治具。
2. The package holding jig according to claim 1, wherein the notch is provided in a portion other than a portion where the holding walls are connected to each other.
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