JP2003205262A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 塗布液を塗布するための塗布装置であって、塗布液供給部から該装置に塗布液を供給するための、装置幅方向に少なくとも２個所設けられた供給配管と、該供給配管に連通された整流スリット部と、該整流スリット部に連通されたマニホールド部と、該マニホールド部に連結され、塗布液を吐出する吐出用スリット部とを有し、前記供給配管が開口度を調節するためのバルブを備えていることを特徴とする塗布装置。
2. 前記整流スリット部、マニホールド部および吐出用スリット部が、下記式（１）、
   ０＜Ｙ−（Ｘ／ｔａｎα） （１）
   （式中、ＸおよびＹは、夫々、マニホールド部における吐出用スリット部形成位置と整流スリット部形成位置との間の装置奥行き方向距離および装置高さ方向距離であり、αは吐出用スリット部の吐出方向と整流スリット部の放出方向とがなす角度である）
   で表される関係を満足するよう配置されている請求項１記載の塗布装置。
3. 磁気記録媒体の製造において、磁性塗布液、非磁性塗布液およびバックコート塗布液を塗布するために用いられる請求項１または２記載の塗布装置。
4. 塗布液を塗布する押し出し塗布方法において、請求項１〜３のうちいずれか一項記載の塗布装置を用い、少なくとも２個所の前記供給配管の開口度を前記バルブにより調節して塗布することを特徴とする塗布方法。
5. オンライン膜厚計の測定値に基づいて、前記供給配管の選択および前記開口度の調節を行う請求項４記載の塗布方法。
6. 乾燥後の膜厚が０．３μｍ以下の超薄層塗布を行う場合において、前記オンライン膜厚計として波長分散型蛍光Ｘ線装置を用いる請求項５記載の塗布方法。