JP2003203843A - マーク合わせ装置 - Google Patents
マーク合わせ装置Info
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- JP2003203843A JP2003203843A JP2002000932A JP2002000932A JP2003203843A JP 2003203843 A JP2003203843 A JP 2003203843A JP 2002000932 A JP2002000932 A JP 2002000932A JP 2002000932 A JP2002000932 A JP 2002000932A JP 2003203843 A JP2003203843 A JP 2003203843A
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- mark
- wafer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子ビーム露光装置内のウエハの位置・角度
を特定方向に一致させて固定することを可能とするマー
ク合わせ装置を提供すること。 【解決手段】 複数枚のウエハを載置するための試料台
と、試料台を水平面内で移動させるためのステージと、
試料台の移動方向とステージの駆動方向とを一致させる
ための試料台固定部と、試料台固定部の下部に設けたマ
ーク検出器とでマーク合わせ装置を構成し、試料台とス
テージと試料台固定部の各々に光を通過させるための穴
部を設け、試料台固定部の隣接する２つの端面をウエハ
上に設けられたマークの位置を検出するための基準面と
して予め定め、試料台の隣接する２つの端面と、試料台
固定部に設けられた基準面とが互いに密接するように固
定し、マーク検出器によりマークの基準面からの相対位
置を検出し、その相対位置が所望の値となるようにステ
ージを駆動させてウエハの位置と角度を調整するように
した。
を特定方向に一致させて固定することを可能とするマー
ク合わせ装置を提供すること。 【解決手段】 複数枚のウエハを載置するための試料台
と、試料台を水平面内で移動させるためのステージと、
試料台の移動方向とステージの駆動方向とを一致させる
ための試料台固定部と、試料台固定部の下部に設けたマ
ーク検出器とでマーク合わせ装置を構成し、試料台とス
テージと試料台固定部の各々に光を通過させるための穴
部を設け、試料台固定部の隣接する２つの端面をウエハ
上に設けられたマークの位置を検出するための基準面と
して予め定め、試料台の隣接する２つの端面と、試料台
固定部に設けられた基準面とが互いに密接するように固
定し、マーク検出器によりマークの基準面からの相対位
置を検出し、その相対位置が所望の値となるようにステ
ージを駆動させてウエハの位置と角度を調整するように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、マーク合わせ装
置に関し、より詳細には、電子ビーム露光装置内のウエ
ハの位置・角度を特定方向に一致させて固定することを
可能とするマーク合わせ装置に関する。
置に関し、より詳細には、電子ビーム露光装置内のウエ
ハの位置・角度を特定方向に一致させて固定することを
可能とするマーク合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ等の微細なパタン形成には電子ビ
ーム露光法が採用される。
ーム露光法が採用される。
【０００３】図５は、従来の電子ビーム露光を行なう際
の電子ビーム露光装置とウエハの様子を説明するための
図で、複数のウエハ５が露光面を上にしてパレット４上
に載置され、その状態で電子ビーム露光装置の真空容器
１内にセットされる。真空容器１内は真空ポンプ３によ
って排気されて所望の真空度に維持される。
の電子ビーム露光装置とウエハの様子を説明するための
図で、複数のウエハ５が露光面を上にしてパレット４上
に載置され、その状態で電子ビーム露光装置の真空容器
１内にセットされる。真空容器１内は真空ポンプ３によ
って排気されて所望の真空度に維持される。
【０００４】電子ビーム鏡筒２には、図示しない電子銃
が備えられており、この電子銃から射出される電子ビー
ムが、電子ビーム鏡筒２内に設けられた数段の電磁レン
ズによって露光対象であるウエハ５上に照射されること
により露光が行なわれる。この露光は、電子的にＣＡＤ
ソフト等で作製された描画データに従って電子ビームを
走査させることが可能で、かつ、収束された電子ビーム
を高精度にコントロール可能なことから微細パタン形成
がなされる。
が備えられており、この電子銃から射出される電子ビー
ムが、電子ビーム鏡筒２内に設けられた数段の電磁レン
ズによって露光対象であるウエハ５上に照射されること
により露光が行なわれる。この露光は、電子的にＣＡＤ
ソフト等で作製された描画データに従って電子ビームを
走査させることが可能で、かつ、収束された電子ビーム
を高精度にコントロール可能なことから微細パタン形成
がなされる。
【０００５】電子ビーム露光を高精度で行なうために
は、ウエハ上に形成されたマークを検出し、そのマーク
を基準としてウエハの位置・回転を認識し、これに合わ
せて電子ビームの位置を補正しつつ描画する。すなわ
ち、補正描画によって、電子ビームをウエハ上の描画し
たい位置にパタンを高い位置精度で描画できるように制
御することで、例え、下地にパタンが形成されているウ
エハに露光する場合であっても、下地パタンの上から別
のパタンを重ね合わせて描画することが可能となり、そ
のような重ね合わせ描画を繰り返すことにより、描画精
度を向上させたり、トランジスタデバイス等の製造がな
されている。
は、ウエハ上に形成されたマークを検出し、そのマーク
を基準としてウエハの位置・回転を認識し、これに合わ
せて電子ビームの位置を補正しつつ描画する。すなわ
ち、補正描画によって、電子ビームをウエハ上の描画し
たい位置にパタンを高い位置精度で描画できるように制
御することで、例え、下地にパタンが形成されているウ
エハに露光する場合であっても、下地パタンの上から別
のパタンを重ね合わせて描画することが可能となり、そ
のような重ね合わせ描画を繰り返すことにより、描画精
度を向上させたり、トランジスタデバイス等の製造がな
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一旦、
ウエハを電子ビーム露光装置の真空容器内にセットして
真空引きを行なった後に、ウエハの位置・角度が所定の
位置・角度とずれており調整を要することが判明した場
合には、真空容器内をリークさせ、再度ウエハの位置・
角度調整を行って、再び真空引きを行なうことが必要と
なるために作業時間の増大を招いてしまい、スループッ
トが低下してしまうという問題があった。
ウエハを電子ビーム露光装置の真空容器内にセットして
真空引きを行なった後に、ウエハの位置・角度が所定の
位置・角度とずれており調整を要することが判明した場
合には、真空容器内をリークさせ、再度ウエハの位置・
角度調整を行って、再び真空引きを行なうことが必要と
なるために作業時間の増大を招いてしまい、スループッ
トが低下してしまうという問題があった。
【０００７】また、ウエハの位置・角度が所定の位置・
角度とずれている場合には、ウエハ上に形成されたマー
クを検出して電子ビームの軌道を補正するまでに長時間
を要する結果となり、露光時間が長くなり露光工程のス
ループットが低下するという問題もあった。
角度とずれている場合には、ウエハ上に形成されたマー
クを検出して電子ビームの軌道を補正するまでに長時間
を要する結果となり、露光時間が長くなり露光工程のス
ループットが低下するという問題もあった。
【０００８】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、電子ビーム露光装
置内のウエハの位置・角度を特定方向に一致させて固定
することを可能とするマーク合わせ装置を提供すること
にある。
たもので、その目的とするところは、電子ビーム露光装
置内のウエハの位置・角度を特定方向に一致させて固定
することを可能とするマーク合わせ装置を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ウエハ
上に設けられたマークを露光装置内の所定の位置に設定
するためのマーク合わせ装置であって、複数枚のウエハ
を載置するための方形の試料台と、該試料台を水平面内
で移動させるためのステージと、前記試料台の移動方向
と前記ステージの駆動方向とを一致させるための方形の
試料台固定手段と、該試料台固定手段の下部に設けられ
たマーク検出手段とを備え、前記試料台と前記ステージ
と前記試料台固定手段の各々は、光を通過させるための
穴部を有し、前記試料台固定手段の隣接する２つの端面
は、前記ウエハ上に設けられたマークの位置を検出する
ための基準面として予め定められており、前記試料台と
前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣接する２つの
端面と、前記試料台固定手段に設けられた基準面とが互
いに密接されて固定され、前記ウエハ上に設けられたマ
ークを、前記マーク検出手段により前記穴部を通して観
察して該マークの前記基準面からの相対位置を検出し、
該相対位置が所望の値となるように前記ステージを駆動
させて前記ウエハの位置と角度を調整することを特徴と
する。
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ウエハ
上に設けられたマークを露光装置内の所定の位置に設定
するためのマーク合わせ装置であって、複数枚のウエハ
を載置するための方形の試料台と、該試料台を水平面内
で移動させるためのステージと、前記試料台の移動方向
と前記ステージの駆動方向とを一致させるための方形の
試料台固定手段と、該試料台固定手段の下部に設けられ
たマーク検出手段とを備え、前記試料台と前記ステージ
と前記試料台固定手段の各々は、光を通過させるための
穴部を有し、前記試料台固定手段の隣接する２つの端面
は、前記ウエハ上に設けられたマークの位置を検出する
ための基準面として予め定められており、前記試料台と
前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣接する２つの
端面と、前記試料台固定手段に設けられた基準面とが互
いに密接されて固定され、前記ウエハ上に設けられたマ
ークを、前記マーク検出手段により前記穴部を通して観
察して該マークの前記基準面からの相対位置を検出し、
該相対位置が所望の値となるように前記ステージを駆動
させて前記ウエハの位置と角度を調整することを特徴と
する。
【００１０】また、請求項２に記載の発明は、ウエハ上
に設けられたマークを露光装置内の所定の位置に設定す
るためのマーク合わせ装置であって、複数枚のウエハを
載置するための方形の試料台と、該試料台の下部に設け
られ、該試料台に載置されたウエハの位置と角度を調整
するためのウエハ位置角度調整手段と、該試料台を水平
面内で移動させるためのステージと、前記試料台の移動
方向と前記ステージの駆動方向とを一致させるための方
形の試料台固定手段と、該試料台の上部に設けられたマ
ーク検出手段とを備え、前記試料台固定手段の隣接する
２つの端面は、前記ウエハ上に設けられたマークの位置
を検出するための基準面として予め定められており、前
記試料台と前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣接
する２つの端面と、前記試料台固定手段に設けられた基
準面とが互いに密接されて固定され、前記ウエハ上に設
けられたマークを、前記マーク検出手段により観察して
該マークの前記基準面からの相対位置を検出し、該相対
位置が所望の値となるように前記ウエハ位置角度調整手
段を駆動させて前記ウエハの位置と角度を調整すること
を特徴とする。
に設けられたマークを露光装置内の所定の位置に設定す
るためのマーク合わせ装置であって、複数枚のウエハを
載置するための方形の試料台と、該試料台の下部に設け
られ、該試料台に載置されたウエハの位置と角度を調整
するためのウエハ位置角度調整手段と、該試料台を水平
面内で移動させるためのステージと、前記試料台の移動
方向と前記ステージの駆動方向とを一致させるための方
形の試料台固定手段と、該試料台の上部に設けられたマ
ーク検出手段とを備え、前記試料台固定手段の隣接する
２つの端面は、前記ウエハ上に設けられたマークの位置
を検出するための基準面として予め定められており、前
記試料台と前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣接
する２つの端面と、前記試料台固定手段に設けられた基
準面とが互いに密接されて固定され、前記ウエハ上に設
けられたマークを、前記マーク検出手段により観察して
該マークの前記基準面からの相対位置を検出し、該相対
位置が所望の値となるように前記ウエハ位置角度調整手
段を駆動させて前記ウエハの位置と角度を調整すること
を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１２】（実施例１）図１は、本発明のマーク位置
合わせ装置の構成例を説明するための図で、試料台であ
るパレット４と、パレット４を載置するためのパレット
固定装置１２と、パレット固定装置１２をＸＹ方向に移
動させるためのＸＹステージ８と、ＸＹステージ８を固
定するためのステージ台１４と、ＸＹステージ８の下部
に設けられたマーク検出器９とで構成されている。
合わせ装置の構成例を説明するための図で、試料台であ
るパレット４と、パレット４を載置するためのパレット
固定装置１２と、パレット固定装置１２をＸＹ方向に移
動させるためのＸＹステージ８と、ＸＹステージ８を固
定するためのステージ台１４と、ＸＹステージ８の下部
に設けられたマーク検出器９とで構成されている。
【００１３】このマーク位置合わせ装置のパレット４は
方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で直線状
に加工された突き当て面６が設けられており、パレット
面内には略円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以
上セットすることが可能なように設計されている。
方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で直線状
に加工された突き当て面６が設けられており、パレット
面内には略円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以
上セットすることが可能なように設計されている。
【００１４】パレット固定装置１２は、ＸＹステージ８
の移動方向であるＸ方向とＹ方向に一致する方向の辺を
有する方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で
直線状に加工された突き当て面７が設けらており、この
突き当て面７と、パレット４に設けられた突き当て面６
とが一致するようにパレット４がパレット固定装置１２
に固定される。これにより、ＸＹステージ８の移動方向
と、パレット固定装置１２に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。また、パレ
ット固定装置１２は、パレット４を載置するための載置
面を有する一方、その内側には略方形の穴を備えてお
り、パレット４にセットされたウエハ５のマークが望め
るようになっている。
の移動方向であるＸ方向とＹ方向に一致する方向の辺を
有する方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で
直線状に加工された突き当て面７が設けらており、この
突き当て面７と、パレット４に設けられた突き当て面６
とが一致するようにパレット４がパレット固定装置１２
に固定される。これにより、ＸＹステージ８の移動方向
と、パレット固定装置１２に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。また、パレ
ット固定装置１２は、パレット４を載置するための載置
面を有する一方、その内側には略方形の穴を備えてお
り、パレット４にセットされたウエハ５のマークが望め
るようになっている。
【００１５】マーク検出装置９は、ＸＹステージ８に設
けられた穴をとおしてウエハ５の面上に形成されたマー
ク１０を検出するためのもので、例えば、マーク検出装
置９として顕微鏡を使用する場合には、顕微鏡の光軸と
ウエハ５上に形成された十字マークとを一致させること
で、マークの位置と回転角を計測することが可能である
から、ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に
載置されているかを検出することができる。
けられた穴をとおしてウエハ５の面上に形成されたマー
ク１０を検出するためのもので、例えば、マーク検出装
置９として顕微鏡を使用する場合には、顕微鏡の光軸と
ウエハ５上に形成された十字マークとを一致させること
で、マークの位置と回転角を計測することが可能である
から、ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に
載置されているかを検出することができる。
【００１６】すなわち、このマーク合わせ装置は、複数
枚のウエハを載置するための方形の試料台と、試料台を
水平面内で移動させるためのステージと、試料台の移動
方向とステージの駆動方向とを一致させるための方形の
試料台固定部と、試料台固定部の下部に設けられたマー
ク検出器とを備え、試料台とステージと試料台固定部の
各々は、光を通過させるための穴部を有し、試料台固定
部の隣接する２つの端面は、ウエハ上に設けられたマー
クの位置を検出するための基準面として予め定められて
おり、試料台と試料台固定部とは、試料台の隣接する２
つの端面と、試料台固定部に設けられた基準面とが互い
に密接されて固定され、ウエハ上に設けられたマーク
を、マーク検出器により穴部を通して観察してマークの
基準面からの相対位置を検出し、相対位置が所望の値と
なるようにステージを駆動させてウエハの位置と角度を
調整するように構成されている。
枚のウエハを載置するための方形の試料台と、試料台を
水平面内で移動させるためのステージと、試料台の移動
方向とステージの駆動方向とを一致させるための方形の
試料台固定部と、試料台固定部の下部に設けられたマー
ク検出器とを備え、試料台とステージと試料台固定部の
各々は、光を通過させるための穴部を有し、試料台固定
部の隣接する２つの端面は、ウエハ上に設けられたマー
クの位置を検出するための基準面として予め定められて
おり、試料台と試料台固定部とは、試料台の隣接する２
つの端面と、試料台固定部に設けられた基準面とが互い
に密接されて固定され、ウエハ上に設けられたマーク
を、マーク検出器により穴部を通して観察してマークの
基準面からの相対位置を検出し、相対位置が所望の値と
なるようにステージを駆動させてウエハの位置と角度を
調整するように構成されている。
【００１７】以下に、このマーク合わせ装置を用いてマ
ーク合わせを行なう手順を説明する。先ず、ＸＹステー
ジに載置したパレットに、ウエハ上に形成したマークの
位置がＸＹステージの移動方向と所定の関係（例えば、
マークを結ぶ直線とステージの移動方向とが一致する方
向）となるようにウエハをセットする。次に、マーク検
出器によりマーク位置を検出し、ＸＹステージを移動さ
せてマークを基準にしてウエハ位置・方向をＸＹステー
ジ移動方向を基準にしながら位置を固定する。所定の枚
数のウエハについて、同一の基準で位置・方向の固定を
繰り返す。この作業によって、全てのウエハの位置・方
向の固定が完了する。
ーク合わせを行なう手順を説明する。先ず、ＸＹステー
ジに載置したパレットに、ウエハ上に形成したマークの
位置がＸＹステージの移動方向と所定の関係（例えば、
マークを結ぶ直線とステージの移動方向とが一致する方
向）となるようにウエハをセットする。次に、マーク検
出器によりマーク位置を検出し、ＸＹステージを移動さ
せてマークを基準にしてウエハ位置・方向をＸＹステー
ジ移動方向を基準にしながら位置を固定する。所定の枚
数のウエハについて、同一の基準で位置・方向の固定を
繰り返す。この作業によって、全てのウエハの位置・方
向の固定が完了する。
【００１８】このようにしてウエハを固定したパレット
を露光装置内に導入し、露光装置内に設けた突き当て面
を基準にしてパレットを固定する。この操作により、ウ
エハの位置・回転方向が露光装置内の基準面に対して一
定の関係に固定されることとなり、再度大気中に取り出
して調整する必要がなくなって作業時間が短縮されると
ともに、描画時間も短縮されることとなる。
を露光装置内に導入し、露光装置内に設けた突き当て面
を基準にしてパレットを固定する。この操作により、ウ
エハの位置・回転方向が露光装置内の基準面に対して一
定の関係に固定されることとなり、再度大気中に取り出
して調整する必要がなくなって作業時間が短縮されると
ともに、描画時間も短縮されることとなる。
【００１９】なお、パレット固定装置の突き当て面の替
わりに、図２に示すように、パレットの隣接する各辺に
一直線上に並べられたピンを適当な本数だけ設けること
としても良い。
わりに、図２に示すように、パレットの隣接する各辺に
一直線上に並べられたピンを適当な本数だけ設けること
としても良い。
【００２０】（実施例２）図３は、本発明のマーク位置
合わせ装置の第２の構成例を説明するための図で、パレ
ット４と、パレット４を載置するためのパレット固定装
置１２と、パレット固定装置１２をＸＹ方向に移動させ
るためのＸＹステージ８と、ＸＹステージ８上に設けら
れたマーク検出装置９とで構成されている。
合わせ装置の第２の構成例を説明するための図で、パレ
ット４と、パレット４を載置するためのパレット固定装
置１２と、パレット固定装置１２をＸＹ方向に移動させ
るためのＸＹステージ８と、ＸＹステージ８上に設けら
れたマーク検出装置９とで構成されている。
【００２１】このマーク位置合わせ装置のパレット４は
方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で直線状
に加工された突き当て面６が設けられており、パレット
面内には略円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以
上セットすることが可能なように設計されている。
方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で直線状
に加工された突き当て面６が設けられており、パレット
面内には略円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以
上セットすることが可能なように設計されている。
【００２２】パレット固定装置１２は、ＸＹステージ８
の移動方向であるＸ方向とＹ方向に一致する方向の辺を
有する方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で
直線状に加工された突き当て面７が設けらており、この
突き当て面７と、パレット４に設けられた突き当て面６
とが一致するようにパレット４がパレット固定装置１２
に固定される。これにより、ＸＹステージ８の移動方向
と、パレット固定装置１２に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。また、パレ
ット固定装置１２は、パレット４を載置するための載置
面を有する一方、その内側には略方形の穴を備えてお
り、パレット４にセットされたウエハ５のマークが望め
るようになっている。
の移動方向であるＸ方向とＹ方向に一致する方向の辺を
有する方形を有し、その隣接する２辺には高い面精度で
直線状に加工された突き当て面７が設けらており、この
突き当て面７と、パレット４に設けられた突き当て面６
とが一致するようにパレット４がパレット固定装置１２
に固定される。これにより、ＸＹステージ８の移動方向
と、パレット固定装置１２に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。また、パレ
ット固定装置１２は、パレット４を載置するための載置
面を有する一方、その内側には略方形の穴を備えてお
り、パレット４にセットされたウエハ５のマークが望め
るようになっている。
【００２３】マーク検出装置９は、パレット固定装置１
２に設けられた穴をとおしてウエハ５の面上に形成され
たマーク１０を検出するためのもので、ＸＹステージ８
を移動させながらウエハ５のマークを検出し、マーク検
出位置が、突き当て面６からどれだけずれているかが計
測可能であり、この計測結果を元にして、ウエハ５の位
置・回転角を修正し、固定することが可能となってい
る。所定の枚数のウエハについて、同一の基準で位置・
方向の固定を繰り返す。この作業によって、全てのウエ
ハの位置・方向の固定が完了する。
２に設けられた穴をとおしてウエハ５の面上に形成され
たマーク１０を検出するためのもので、ＸＹステージ８
を移動させながらウエハ５のマークを検出し、マーク検
出位置が、突き当て面６からどれだけずれているかが計
測可能であり、この計測結果を元にして、ウエハ５の位
置・回転角を修正し、固定することが可能となってい
る。所定の枚数のウエハについて、同一の基準で位置・
方向の固定を繰り返す。この作業によって、全てのウエ
ハの位置・方向の固定が完了する。
【００２４】このマーク検出装置９は、例えば、顕微鏡
を用いて構成することが可能で、顕微鏡の光軸とウエハ
５上に形成された十字マークとを一致させることで、マ
ークの位置と回転角を計測することが可能であるから、
ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に載置さ
れているかを検出することができる。
を用いて構成することが可能で、顕微鏡の光軸とウエハ
５上に形成された十字マークとを一致させることで、マ
ークの位置と回転角を計測することが可能であるから、
ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に載置さ
れているかを検出することができる。
【００２５】（実施例３）図４は、本発明のマーク位置
合わせ装置の第３の構成例を説明するための図で、試料
台であるパレット４と、パレット４の下部に装着され、
外部からの電気信号に応答してウエハ５の位置・回転合
わせを行なうためのウエハ位置角度調整装置であるウエ
ハ位置回転合わせ装置１３と、ウエハ位置回転合わせ装
置１３の下部に設けられるパレット固定装置１２と、ウ
エハ位置回転合わせ装置１３をＸＹ方向に移動させるた
めのＸＹステージ８と、パレット４の上部に設けられた
マーク検出器９とで構成されている。
合わせ装置の第３の構成例を説明するための図で、試料
台であるパレット４と、パレット４の下部に装着され、
外部からの電気信号に応答してウエハ５の位置・回転合
わせを行なうためのウエハ位置角度調整装置であるウエ
ハ位置回転合わせ装置１３と、ウエハ位置回転合わせ装
置１３の下部に設けられるパレット固定装置１２と、ウ
エハ位置回転合わせ装置１３をＸＹ方向に移動させるた
めのＸＹステージ８と、パレット４の上部に設けられた
マーク検出器９とで構成されている。
【００２６】このマーク位置合わせ装置のパレット４と
ウエハ位置回転合わせ装置１３は同一の方形を有し、各
々の隣接する２辺には高い面精度で直線状に加工された
突き当て面６が設けられており、パレット４面内には略
円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以上セットす
ることが可能なように設計されている。
ウエハ位置回転合わせ装置１３は同一の方形を有し、各
々の隣接する２辺には高い面精度で直線状に加工された
突き当て面６が設けられており、パレット４面内には略
円形の穴が複数設けられ、ウエハ５を１枚以上セットす
ることが可能なように設計されている。
【００２７】ＸＹステージ８は、その移動方向であるＸ
方向とＹ方向に一致する方向の辺を有する方形を有し、
その隣接する２辺には高い面精度で直線状に加工された
突き当て面７が設けらており、この突き当て面７と、パ
レット４及びウエハ位置回転合わせ装置１３に設けられ
た突き当て面６とが一致するようにパレット４が固定さ
れる。これにより、ＸＹステージ８の移動方向と、ウエ
ハ位置回転合わせ装置１３に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。
方向とＹ方向に一致する方向の辺を有する方形を有し、
その隣接する２辺には高い面精度で直線状に加工された
突き当て面７が設けらており、この突き当て面７と、パ
レット４及びウエハ位置回転合わせ装置１３に設けられ
た突き当て面６とが一致するようにパレット４が固定さ
れる。これにより、ＸＹステージ８の移動方向と、ウエ
ハ位置回転合わせ装置１３に固定されるパレット４の突
き当て面６の方向とが一致することとなる。
【００２８】マーク検出装置９は、パレット５にセット
されたウエハ５の面上に形成されたマーク１０を検出す
るためのもので、ウエハ位置回転合わせ装置１３を用い
てウエハ５の位置・回転角を修正し、固定することが可
能となっている。所定の枚数のウエハについて、同一の
基準で位置・方向の固定を繰り返す。この作業によっ
て、全てのウエハの位置・方向の固定が完了する。
されたウエハ５の面上に形成されたマーク１０を検出す
るためのもので、ウエハ位置回転合わせ装置１３を用い
てウエハ５の位置・回転角を修正し、固定することが可
能となっている。所定の枚数のウエハについて、同一の
基準で位置・方向の固定を繰り返す。この作業によっ
て、全てのウエハの位置・方向の固定が完了する。
【００２９】すなわち、このマーク合わせ装置は、複数
枚のウエハを載置するための方形の試料台と、試料台の
下部に設けられ、試料台に載置されたウエハの位置と角
度を調整するためのウエハ位置角度調整装置と、試料台
を水平面内で移動させるためのステージと、試料台の移
動方向とステージの駆動方向とを一致させるための方形
の試料台固定部と、試料台の上部に設けられたマーク検
出器とを備え、試料台固定部の隣接する２つの端面は、
ウエハ上に設けられたマークの位置を検出するための基
準面として予め定められており、試料台と試料台固定部
とは、試料台の隣接する２つの端面と、試料台固定部に
設けられた基準面とが互いに密接されて固定され、ウエ
ハ上に設けられたマークを、マーク検出部により観察し
てマークの基準面からの相対位置を検出し、相対位置が
所望の値となるようにウエハ位置角度調整装置を駆動さ
せてウエハの位置と角度を調整するように構成されてい
る。
枚のウエハを載置するための方形の試料台と、試料台の
下部に設けられ、試料台に載置されたウエハの位置と角
度を調整するためのウエハ位置角度調整装置と、試料台
を水平面内で移動させるためのステージと、試料台の移
動方向とステージの駆動方向とを一致させるための方形
の試料台固定部と、試料台の上部に設けられたマーク検
出器とを備え、試料台固定部の隣接する２つの端面は、
ウエハ上に設けられたマークの位置を検出するための基
準面として予め定められており、試料台と試料台固定部
とは、試料台の隣接する２つの端面と、試料台固定部に
設けられた基準面とが互いに密接されて固定され、ウエ
ハ上に設けられたマークを、マーク検出部により観察し
てマークの基準面からの相対位置を検出し、相対位置が
所望の値となるようにウエハ位置角度調整装置を駆動さ
せてウエハの位置と角度を調整するように構成されてい
る。
【００３０】なお、マーク検出装置９は、例えば、顕微
鏡を用いて構成することが可能で、顕微鏡の光軸とウエ
ハ５上に形成された十字マークとを一致させることで、
マークの位置と回転角を計測することが可能であるか
ら、ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に載
置されているかを検出することができる。
鏡を用いて構成することが可能で、顕微鏡の光軸とウエ
ハ５上に形成された十字マークとを一致させることで、
マークの位置と回転角を計測することが可能であるか
ら、ウエハ５がどのような位置・角度でパレット４に載
置されているかを検出することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のマーク
合わせ装置によれば、複数のウエハを同一基準に対して
正確に位置・回転合わせを行なうことが大気中で可能と
なるため、真空中での位置・回転合わせ作業の労力が軽
減されるとともに、各ウエハに対する電子ビーム描画動
作の補正時間も短縮されるため、露光作業効率を大幅に
向上させることが可能となる。
合わせ装置によれば、複数のウエハを同一基準に対して
正確に位置・回転合わせを行なうことが大気中で可能と
なるため、真空中での位置・回転合わせ作業の労力が軽
減されるとともに、各ウエハに対する電子ビーム描画動
作の補正時間も短縮されるため、露光作業効率を大幅に
向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマーク合わせ装置の第1の構成例を説
明するための図である。
明するための図である。
【図２】突き当てをピンで形成するパレット固定装置の
構成例を説明するための図である。
構成例を説明するための図である。
【図３】本発明のマーク合わせ装置の第２の構成例を説
明するための図である。
明するための図である。
【図４】本発明のマーク合わせ装置の第３の構成例を説
明するための図である。
明するための図である。
【図５】従来の露光方法を説明するための図である。
１ 真空容器
２ 電子ビーム鏡筒
３ 真空ポンプ
４ パレット
５ ウエハ
６、７ 突き当て面
８ ＸＹステージ
９ マーク検出装置
１０ マーク
１１ 突き当てピン
１２ パレット固定装置
１３ ウエハ位置・回転合わせ装置
１４ ステージ台
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｚ
(72)発明者 三好 一功
東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ
ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株
式会社内
(72)発明者 佐藤 紀夫
東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 エ
ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株
式会社内
Ｆターム(参考） 2H097 AA03 CA16 KA03 KA13 KA23
LA10
5F046 CC01 CC08 CD01 EA02 EB01
EB10 FA17
5F056 BD02 BD05 EA14 EA15 FA06
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハ上に設けられたマークを露光装置
内の所定の位置に設定するためのマーク合わせ装置であ
って、 複数枚のウエハを載置するための方形の試料台と、 該試料台を水平面内で移動させるためのステージと、 前記試料台の移動方向と前記ステージの駆動方向とを一
致させるための方形の試料台固定手段と、 該試料台固定手段の下部に設けられたマーク検出手段と
を備え、 前記試料台と前記ステージと前記試料台固定手段の各々
は、光を通過させるための穴部を有し、 前記試料台固定手段の隣接する２つの端面は、前記ウエ
ハ上に設けられたマークの位置を検出するための基準面
として予め定められており、 前記試料台と前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣
接する２つの端面と、前記試料台固定手段に設けられた
基準面とが互いに密接されて固定され、 前記ウエハ上に設けられたマークを、前記マーク検出手
段により前記穴部を通して観察して該マークの前記基準
面からの相対位置を検出し、 該相対位置が所望の値となるように前記ステージを駆動
させて前記ウエハの位置と角度を調整することを特徴と
するマーク合わせ装置。 - 【請求項２】 ウエハ上に設けられたマークを露光装置
内の所定の位置に設定するためのマーク合わせ装置であ
って、 複数枚のウエハを載置するための方形の試料台と、 該試料台の下部に設けられ、該試料台に載置されたウエ
ハの位置と角度を調整するためのウエハ位置角度調整手
段と、 該試料台を水平面内で移動させるためのステージと、 前記試料台の移動方向と前記ステージの駆動方向とを一
致させるための方形の試料台固定手段と、 該試料台の上部に設けられたマーク検出手段とを備え、 前記試料台固定手段の隣接する２つの端面は、前記ウエ
ハ上に設けられたマークの位置を検出するための基準面
として予め定められており、 前記試料台と前記試料台固定手段とは、前記試料台の隣
接する２つの端面と、 前記試料台固定手段に設けられた基準面とが互いに密接
されて固定され、 前記ウエハ上に設けられたマークを、前記マーク検出手
段により観察して該マークの前記基準面からの相対位置
を検出し、 該相対位置が所望の値となるように前記ウエハ位置角度
調整手段を駆動させて前記ウエハの位置と角度を調整す
ることを特徴とするマーク合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000932A JP2003203843A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | マーク合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000932A JP2003203843A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | マーク合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003203843A true JP2003203843A (ja) | 2003-07-18 |
Family
ID=27641175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002000932A Pending JP2003203843A (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | マーク合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003203843A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012129231A (ja) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Ushio Inc | 露光装置および露光方法 |
| JP2014027044A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Ulvac Japan Ltd | トレイ、基板の位置調整システム、及び露光装置 |
| CN104483815A (zh) * | 2014-12-08 | 2015-04-01 | 上海核电装备焊接及检测工程技术研究中心（筹） | 一种射线源对中支撑装置及其固定射线源装置的方法 |
| CN110896037A (zh) * | 2018-09-12 | 2020-03-20 | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 | 一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法 |
-
2002
- 2002-01-07 JP JP2002000932A patent/JP2003203843A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012129231A (ja) * | 2010-12-13 | 2012-07-05 | Ushio Inc | 露光装置および露光方法 |
| CN102566305A (zh) * | 2010-12-13 | 2012-07-11 | 优志旺电机株式会社 | 曝光装置及曝光方法 |
| JP2014027044A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Ulvac Japan Ltd | トレイ、基板の位置調整システム、及び露光装置 |
| CN104483815A (zh) * | 2014-12-08 | 2015-04-01 | 上海核电装备焊接及检测工程技术研究中心（筹） | 一种射线源对中支撑装置及其固定射线源装置的方法 |
| CN110896037A (zh) * | 2018-09-12 | 2020-03-20 | 东泰高科装备科技（北京）有限公司 | 一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040415 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051031 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070601 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071002 |