JP2003203449A - ヘッド支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高記録密度化および高速回転化のさらなる展
開がなされている情報記録装置において、記録媒体に対
するスライダの浮上特性およびストップ・アンド・ゴー
移動特性を改善し、ヘッドの位置決め応答性を向上す
る。 【解決手段】 スライダ支持ビーム１１、たわみ部１
３、スライダ支持部１４および配線構造体１２が、金属
材料２１、絶縁材料２２および導電性材料２３の積層シ
ート２０に対するエッチング処理に基づいて形成されて
いる。積層シート２０の金属材料２１からスライダ支持
ビーム１１が構成され、絶縁材料２２からたわみ部１３
およびスライダ支持部１４が構成され、配線構造体１２
および支点突起１５が導電性材料２３から構成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上型の記録／再
生用のヘッドを有する情報記録装置（例えば磁気ディス
ク装置、光ディスク装置、光磁気ディスク装置等）に装
着されるヘッド支持機構（サスペンション）に関する。
より詳しくは、スライダ支持ビームと、前記スライダ支
持ビームに可撓性をもって支持されるたわみ部と、前記
たわみ部に連設されたスライダ支持部と、前記スライダ
支持ビームの先端側に設けられた支点突起と、記録／再
生用のヘッドを有して前記スライダ支持部に一部が固定
され前記支点突起に回動自在に支持されたスライダと、
前記スライダ支持ビーム、たわみ部およびスライダ支持
部に敷設されて前記スライダに接続される配線系とを備
えたヘッド支持機構にかかわり、特には、軽量化を図り
ながら、サスペンションの剛性を高めるための技術に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置の記録密度は、
ＧＭＲヘッドの採用により大幅に改善されてきた（高記
録密度化）。その結果、ディスク枚数を１枚とする低コ
ストタイプの磁気ディスク装置を実現することが可能と
なっている。さらに、高記録密度化に伴って、ディスク
の直径を小さくかつ厚みを極限まで小さくして、装置の
小型化を実現する方向に向かうと考えられる。

【０００３】ヘッド支持機構は、記録／再生用のヘッド
を搭載するスライダを、高速回転するディスク状の記録
媒体の表面に対して数ナノないし数十ナノメートル浮上
させて位置決めするディスクドライブ内のばね構造体で
ある。

【０００４】以下に従来のヘッド支持機構について説明
する。

【０００５】図８は従来のヘッド支持機構（サスペンシ
ョン）の一例についてその分解状態の斜視図を示す（特
開平１０−５５６３４号公報参照）。

【０００６】図８において、１０１は図示しない剛性の
あるアクチュエータアームの先端側に取り付けられるベ
ースプレート、１０２はベースプレート１０１に取り付
けられるスライダ支持ビーム（ロードビーム）、１０３
はスライダ支持ビーム１０２の先端側に取り付けられる
たわみ部（フレキシブル配線基板）、１０４はたわみ部
１０３におけるジンバル部、１０５は記録／再生用のヘ
ッドを搭載したスライダであり、このスライダ１０５は
ジンバル部１０４に取り付けられている。スライダ支持
ビーム１０２の先端に凹ませることによって反対側に突
出させた支点突起１０６を設けてあり、この支点突起１
０６がスライダ１０５をその中心で支持する。これによ
り、スライダ１０５はピッチング方向Ｄｐおよびローリ
ング方向Ｄrで自由に動く。たわみ部１０３は、スライ
ダ１０５上のヘッドに対する配線機能を兼ねている。

【０００７】ヘッド支持機構は、ヘッドを搭載するスラ
イダ１０５をスライダ支持ビーム１０２の先端の支点突
起１０６で１点支持し、スライダ支持ビーム１０２の弾
性に基づく所定の付勢力をスライダ１０５に与え、スラ
イダ１０５をディスク状記録媒体表面の方へ押し付け
る。高速回転する記録媒体には、その表面に沿って空気
流が発生し、記録媒体表面に接近するスライダ１０５に
対して微小な揚力を与える。この揚力に抗してスライダ
支持ビーム１０２がそのばね作用によりスライダ１０５
に記録媒体側へ押圧付勢する力を与える。この揚力と押
圧付勢力とが均衡することによって、スライダ１０５を
正確な離間寸法で記録媒体表面上に浮上させる。

【０００８】ヘッド支持機構は、２つのばね構造体、す
なわち、スライダ支持ビーム１０２とジンバル部１０４
を有するたわみ部１０３とを注意深く釣り合わせた結合
体である。スライダ支持ビーム１０２は剛性領域を担
い、たわみ部１０３またはそのジンバル部１０４は可撓
性ばね領域を担っている。

【０００９】スライダ支持ビーム１０２は、そのビーム
面に沿った方向の曲げに対して高い剛性を有し、ビーム
面に垂直で記録媒体表面に対する遠近方向に沿って弾性
を発現する。スライダ支持ビーム１０２は、支点突起１
０６を介してスライダ１０５に必要な負荷（ロード）を
加えるように調整されている。この負荷により、スライ
ダ１０５と支点突起１０６との間に摩擦力が生じるの
で、ピッチング方向Ｄｐでもローリング方向Ｄｒでも自
由度をもたせる状態でスライダ１０５を１点支持するこ
とができる。

【００１０】ジンバル部１０４は、スライダ支持ビーム
１０２の先端部に対してスライダ１０５をフレキシブル
に支持する可撓性要素である。ジンバル部１０４は、ス
ライダ支持ビーム１０２が撓んだり捻れたりする場合で
も、スライダ１０５を記録媒体表面に対して適正な浮動
姿勢、適正な浮上距離で位置保持するための要素であ
る。

【００１１】上記のように構成されたヘッド支持機構が
剛性のアクチュエータアーム（図示せず）に取り付けら
れてヘッドアクチュエータを構成している。ヘッドアク
チュエータは、ディスク状記録媒体の半径方向にほぼ沿
って、ヘッド支持機構を急速移動させ、続いて急停止さ
せる（ストップ・アンド・ゴー移動）。そのようなヘッ
ド支持機構の移動と記録媒体の回転の組み合わせによっ
て、スライダ上のヘッドを記録媒体表面上のいずれのト
ラック、いずれのセクタにも迅速に到達させることがで
きる。

【００１２】このときの急激なストップ・アンド・ゴー
移動によってヘッド支持機構には非常に大きな応力が発
生する。

【００１３】上記した従来のヘッド支持機構の構造的特
徴として、スライダ１０５をフレキシブルに支持するジ
ンバル部１０４をたわみ部１０３において構成し、かつ
スライダ支持ビーム１０２の先端部の支点突起１０６で
ジンバル部１０４およびスライダ１０５を支える構成を
挙げることができる。

【００１４】ジンバル部１０４と支点突起１０６との間
には、スライダ１０５が記録媒体から受ける空気流浮上
力とスライダ支持ビーム１０２の押圧付勢力とが均衡す
るときの摩擦力が作用するため、スライダ１０５および
ジンバル部１０４とスライダ支持ビーム１０２とが相対
的に捻れても、１点支持となっている支点突起１０６と
スライダ１０５との位置関係にズレは生じない。

【００１５】トラッキングサーボ動作の結果、スライダ
上の記録／再生用のヘッドが目標トラックに接近する
と、そのときの慣性（勢い）で目標トラックを通り越す
オーバーシュートが生じる。このオーバーシュート誤差
が実質的にゼロとなれば、理想的なヘッド支持機構とな
る。

【００１６】しかし、近時の記録媒体の高記録密度化に
伴って、オーバーシュート誤差を実質的にゼロにするこ
との困難さが増している。ヘッド支持機構の質量が大き
いほど、ヘッド支持機構の回動に伴う慣性量ひいてはオ
ーバーシュート誤差は大きくなる。オーバーシュート誤
差を低減するためには、ヘッド支持機構の質量を軽減す
る必要がある。

【００１７】しかしながら、上記した従来技術のヘッド
支持機構にあっては、配線機能を兼ねた状態でスライダ
をフレキシブルに支持するたわみ部と、スライダに押圧
付勢力を与えつつ全体を支えるスライダ支持ビームと
が、互いに別体構成の２部材で構成されているため、ヘ
ッド支持機構の質量軽減に自ずと一定の限界をもたらし
ている。また、別体構成は、高精度な組み立てが要求さ
れるために、製造の歩留まりが良くなく、生産コストを
厳しくする要因となっている。

【００１８】ヘッド支持機構の軽量化を図る従来技術と
して、特開平９−１５３２６３号公報に開示されたもの
が知られている。それは、金属材料（構造金属材料）、
絶縁材料および導電性材料の積層シートを出発材料とし
て、この積層シートに対するエッチング処理によって、
スライダ支持ビーム、ジンバル部、スライダ支持部、配
線系を一体の状態で作り込むものである。

【００１９】図９は特開平９−１５３２６３号公報に開
示のヘッド支持機構の先端部の詳細を示す。このヘッド
支持機構においては、スライダ支持ビーム２０１の先端
部に開口部２０２が形成され、スライダ支持ビーム２０
１上に敷設した配線系２０３の延長として実質的に十字
形をなす配線ジンバル部２０４が構成され、この配線ジ
ンバル部２０４にスライダ２０５を機械的かつ電気的に
接続してある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】上記特開平９−１５３
２６３号公報のヘッド支持機構は、金属材料、絶縁材料
および導電性材料の積層シートからスライダ支持ビー
ム、ジンバル部、スライダ支持部、配線系を一体の状態
で作り込んだものであり、これは、たわみ部とスライダ
支持ビームを一体化したものに相当している。

【００２１】しかしながら、単に、たわみ部とスライダ
支持ビームを一体化しただけのものでは、支点突起とジ
ンバル部によるスライダ支持構成を採用することができ
ない。すなわち、支点突起がスライダを支持することに
より、ピッチング方向およびローリング方向での充分に
大きな自由度をもってスライダを１点支持するという構
成を採用することができない。そのため、サスペンショ
ン自体は、剛性の小さい構成しか実現できなくなる。

【００２２】すなわち、ジンバル部の柔軟性を持たせる
ために構造材料の板厚を少なくすると、ヘッド支持機構
全体の剛性が低下してしまうという問題を有している。

【００２３】大容量のための高記録密度化および高速ア
クセスのための高速回転化のさらなる展開は進められて
いる情報記録装置において、上記の特開平９−１５３２
６３号公報のヘッド支持機構では、スライダ支持ビーム
の剛性が低く、かつスライダの自由度が低いことから、
記録媒体に対するスライダの浮上特性、ストップ・アン
ド・ゴー移動特性の面で不充分であり、ヘッドの位置決
め応答性の改善が必要となる。

【００２４】このような事情に鑑みて、本発明は、高記
録密度化および高速回転化のさらなる展開がなされてい
る情報記録装置において、スライダ支持ビームのさらな
る高剛性化と軽量化を実現し、併せてスライダに高い自
由度をもたせることにより、記録媒体に対するスライダ
の浮上特性およびストップ・アンド・ゴー移動特性を改
善し、ヘッドの位置決め応答性を向上することを目的と
している。

【００２５】

【課題を解決するための手段】ヘッド支持機構について
の本発明は、次のような手段を講じることにより、上記
の課題を解決する。すなわち、基本的構成として、スラ
イダ支持ビームと、スライダ支持ビームに可撓性をもっ
て支持されるたわみ部と、たわみ部に連設されたスライ
ダ支持部と、スライダ支持ビームの先端側に設けられた
支点突起と、記録／再生用のヘッドを有していてスライ
ダ支持部に一部が固定されているとともに支点突起に回
動自在に支持されたスライダと、スライダ支持ビーム、
たわみ部およびスライダ支持部に敷設されてスライダに
接続される配線系とを備えている。このような構成のヘ
ッド支持機構において、本発明は、金属材料、絶縁材料
および導電性材料を積層してなる積層シートを出発材料
とし、この積層シートに対するエッチング処理に基づい
て、スライダ支持ビーム、たわみ部スライダ支持部、配
線系および支点突起を形成している。スライダ支持ビー
ムは積層シートにおける金属材料から構成され、たわみ
部およびスライダ支持部は積層シートにおける絶縁材料
から構成され、配線系および支点突起は積層シートにお
ける導電性材料から構成されている。

【００２６】スライダ支持ビームと、たわみ部およびス
ライダ支持部と、配線系との３者が互いに別体構成であ
れば、それぞれが単品的に取り扱われる関係で、自ずと
一定以上の肉厚を有していなければならない。このこと
が軽量化する上で１つの障害になっていたところ、本発
明は、前記３者をその出発材料から一体化したものであ
る。すなわち、スライダ支持ビームを構成する金属材料
と、たわみ部およびスライダ支持部を構成する絶縁材料
と、配線系および支点突起を構成する導電性材料とが、
あらかじめ積層シートの形態で一体化されている。この
３者の構成材料をあらかじめ積層状態で一体化して積層
シートとなしてあり、この積層シートを出発材料とし、
エッチング処理を行う。

【００２７】積層シートにおける金属材料に対するエッ
チングによりスライダ支持ビームを形成し、金属材料の
上の絶縁材料に対するエッチングにより、たわみ部およ
びスライダ支持部を形成し、これによって、スライダ支
持ビーム上にたわみ部の一部を位置させて連設するとと
もに、たわみ部の残りの部分をスライダ支持ビームから
延出させる。また、たわみ部からの延長の状態でスライ
ダ支持部を形成する。そして、絶縁材料からなるたわみ
部およびスライダ支持部の上において、導電性材料に対
するエッチングにより配線系を形成するとともに、スラ
イダ支持ビームの先端側において絶縁材料上の導電性材
料に対するエッチング処理により支点突起を形成する。

【００２８】記録／再生用のヘッドを搭載するスライダ
は別体であるが、このスライダを、その一部においてス
ライダ支持部に取り付け、別の部分をスライダ支持ビー
ム先端側の支点突起によって回動自在に支持する。この
回動自在な支持は、スライダをピッチング方向およびロ
ーリング方向で自由に首振り運動が行えるような支持と
する。

【００２９】金属材料からなるスライダ支持ビームに
は、そのビーム面に垂直な方向で弾性をもたせるととも
に、ビーム面に沿った方向では剛性をもたせる。絶縁材
料からなるたわみ部には、ピッチング方向およびローリ
ング方向での可撓性をもたせる。たわみ部およびスライ
ダ支持部には導電性材料からなる配線系を敷設する。ス
ライダ支持部にスライダを支持させ、スライダ支持部上
の電極にスライダを電気的に接続し、スライダ支持ビー
ムの先端部の支点突起にスライダを１点支持させる。

【００３０】以上において、スライダを除く主要メンバ
ーのスライダ支持ビーム、支点突起、たわみ部、スライ
ダ支持部および配線系が積層シートという単品でのエッ
チング処理で一体的に構成されているので、ヘッド支持
機構の全体の質量の軽量化を大きく進めることができ
る。

【００３１】それでいて、スライダ支持ビームには高い
剛性をもたせてオーバーシュートを防止しながら急峻な
ストップ・アンド・ゴー移動の機能を充分に発揮させる
ことができる。しかも、スライダを支点突起で１点支持
する構成となっているので、スライダにピッチング方向
およびローリング方向で高い自由度を発揮させることが
できる。

【００３２】以上のように、本発明のヘッド支持機構に
よれば、高記録密度化および高速回転化のさらなる展開
がなされている情報記録装置において、スライダ支持ビ
ームのさらなる高剛性化と軽量化を実現し、併せてスラ
イダに高い自由度をもたせることにより、記録媒体に対
するスライダの浮上特性およびストップ・アンド・ゴー
移動特性を改善し、ヘッドの位置決め応答性を向上する
ことができる。

【００３３】上記において、好ましい態様として、次の
ような構成を挙げることができる。すなわち、前記のた
わみ部が、前記積層シートの絶縁材料に形成されたスリ
ットと、前記絶縁材料をもって前記スリットの両側に配
された一対の線状部とによって構成されていることであ
る。

【００３４】このように構成すると、軽量化とともにス
ライダの自由度向上とを同時に促進することができる。

【００３５】また、上記において、好ましい態様は、前
記の支点突起が、前記たわみ部における前記スリットに
おいて突出しているとともに、前記たわみ部における一
対の線状部が、前記支点突起に関して対称に配されてい
ることである。

【００３６】このように構成すると、一対の線状部が支
点突起の一側を迂回するような配置形態に比べて、形状
が対称的であるため、無駄な材料使用がなく、さらなる
軽量化を有利に展開でき、また重量バランスが良好とな
る。

【００３７】また、上記において、好ましい態様は、前
記の一対の線状部における、前記スライダ支持ビームか
ら自由な部分が一対の弾性ヒンジ部に構成されているこ
とである。

【００３８】このように構成すると、それぞれ細長い線
状の弾性ヒンジ部が弾性的に変形するので、サーボトラ
ッキング動作におけるヘッド位置決めの応答性をさらに
向上することができる。

【００３９】また、上記において、好ましい態様は、前
記の配線系が、この配線系を構成する前記導電性材料を
被覆するカバーコートによって保護されていることであ
る。

【００４０】このように構成すると、積層シートのエッ
チング処理により上記のとおりの高剛性化と軽量化とを
もたらしつつ、配線系の耐久性を確保することができ
る。

【００４１】また、上記において、好ましい態様は、前
記のスライダ支持部が、前記導電性材料で構成された少
なくとも一対の電極パッドを有し、前記各電極パッドに
連なる前記導電性材料からなる配線系が前記一対の線状
部において対称的に配されていることである。

【００４２】このように構成すると、一対の線状部（弾
性ヒンジ部）がスライダに対するジンバル部と配線系の
配置箇所を兼ねるとともに、その形状が対称的であるゆ
えに、軽量化とともにスライダの自由度の向上を促進す
ることができる。

【００４３】また、上記において、好ましい態様は、前
記のスライダ支持部における前記電極パッドと前記スラ
イダにおける配線端子とが電気的かつ機械的に接合され
ていることである。

【００４４】この構成は、１点支持のスライダの高速応
答性に寄与する。

【００４５】また、上記において、好ましい態様は、前
記のスライダ支持ビームが、その両側に一体的に折り曲
げて形成した補強リブを備えていることである。

【００４６】このように構成すると、スライダ支持ビー
ムの軽量化と高剛性化とを矛盾なく進めることができ
る。

【００４７】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかわるヘッド支
持機構の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明
する。

【００４８】図１はヘッド支持機構（サスペンション）
Ａの構成を示す斜視図、図２は図１のヘッド支持機構の
構造を分かりやすくするためにあえて分解して示した状
態の斜視図である。これらの図において、符号の１０は
ベースプレート、１１はスライダ支持ビーム、１２は配
線構造体、１３は配線構造体１２における先端側のたわ
み部、１４は配線構造体１２のさらに先端部のスライダ
支持部、１５はスライダ支持ビーム１１の先端側に設け
られた支点突起、１６はスライダである。

【００４９】ベースプレート１０はスライダ支持ビーム
１１をスポット溶接などにより固定されている。スライ
ダ支持ビーム１１は、ベースプレート１０に固定される
基端部１１ａと、基端部１１ａの近傍の開口部１１ｂ
と、開口部１１ｂの両サイドのバネ部１１ｃ，１１ｃ
と、高剛性のビーム主部１１ｄと、ビーム主部１１ｄの
先端に連なる先端突部１１ｅと、先端突部１１ｅに設け
られた支点突起１５と、ビーム主部１１ｄの両サイドを
折り曲げて形成した補強リブ１１ｆ，１１ｆとを備えて
いる。

【００５０】スライダ支持ビーム１１は配線構造体１２
を保持している。配線構造体１２は、大きく分けて、前
部１２Ａ、中間部１２Ｂ、後部１２Ｃからなり、前部１
２Ａはたわみ部１３とスライダ支持部１４からなる。配
線構造体１２は、後述する積層シート２０を素材として
作製されるが、その素材の段階からスライダ支持ビーム
１１と一体である。図２はあえて分離して描いている。
実体は図１に近く、スライダ支持ビーム１１と配線構造
体１２とは不可分に密着している。ベースプレート１０
は、スライダ支持ビーム１１に対して後付けである。ス
ライダ１６は、スライダ支持ビーム１１およびスライダ
支持部１４に対して後付けである。

【００５１】配線構造体１２の前部１２Ａのたわみ部１
３はスライダ支持ビーム１１の先端部に位置している。
配線構造体１２のさらに先端部のスライダ支持部１４
は、スライダ支持ビーム１１によっては直接には支持さ
れておらず、可撓性のあるたわみ部１３を介してスライ
ダ支持ビーム１１に連設されている。たわみ部１３に
は、その中央にスリット１３ａが形成されており、スリ
ット１３ａの両サイドは細長い一対の線状部１３ｂ，１
３ｂとなっている。一対の線状部１３ｂ，１３ｂにおい
て、スライダ支持ビーム１１によっては支持されていな
い部分が一対の弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃとなってい
る（図５参照）。スライダ支持ビーム１１の先端部に設
けた支点突起１５がスリット１３ａ内で突出している。
一対の弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃは、支点突起１５に
関して対称に配されている。一対の弾性ヒンジ部１３
ｃ，１３ｃは、その弾性的に変形により、スライダ１６
がスライダ支持部１４とともに自由に揺動することを可
能にする。

【００５２】図６はスライダ支持部１４によって支持さ
れるべきスライダ１６を示す。図６（ａ）はスライダ１
６を表面側から見た斜視図、図６（ｂ）はスライダ１６
を裏面側から見た斜視図である。スライダ１６の表面側
とは、図示しない磁気ディスクに対面する側である。

【００５３】図６に示すように、スライダ１６の前部側
面に書き込みヘッドと読み取りヘッドとの複合タイプの
磁気ヘッド１７が搭載されており、その磁気ヘッド１７
に対する配線のための複数の配線端子１８a…がスライ
ダ１６の裏面に形成されている。スライダ１６の表面に
はエアーギャップ１９が形成されている。エアーギャッ
プ１９は、高速回転する磁気ディスクの表面で発生する
空気流を通流させることにより、磁気ディスク表面に対
してスライダ１６を浮上させる。

【００５４】スライダ支持部１４には、スライダ１６の
配線端子１８a…に対応して複数の電極パッド１４ａ…
が形成されている。この電極パッド１４ａ…は配線構造
体１２における配線の端部に形成されている。

【００５５】スライダ１６の重心部がスライダ支持ビー
ム１１の先端の支点突起１５の頂点に当接して１点支持
され、かつ、スライダ１６の下面の一部がスライダ支持
部１４に支持されている。その支持は、スライダ支持部
１４の複数の電極パッド１４ａ…にスライダ１６の配線
端子１８a…が超音波溶着等で接続されていることであ
る。これは、電気的かつ機械的な接続である。

【００５６】図示しない磁気ディスクに対向するスライ
ダ１６に対して、スライダ支持ビーム１１におけるバネ
部１１ｃ，１１ｃは所定のロード荷重を与える。

【００５７】ベースプレート１０、スライダ支持ビーム
１１、配線構造体１２をもってスライダ１６に対するサ
スペンションＡを構成しているが、このサスペンション
Ａにおけるベースプレート１０が図示しないアクチュエ
ータアームにスポット溶接等で取り付けられるようにな
っている。なお、アクチュエータアームに対して複数の
サスペンションＡを取り付ける場合もあるし、１つだけ
取り付ける場合もある。アクチュエータアームは、ボイ
スコイルモータによって旋回駆動される。

【００５８】図７は積層シート２０の構造および積層シ
ート２０をエッチング処理してサスペンションＡを作製
する様子を示す。

【００５９】図７（ａ）に示すように、積層シート２０
は、ステンレス鋼等の金属材料（構造金属材料）２１、
絶縁材料２２および銅合金等の導電性材料２３の３つの
薄膜層を積層し、接着剤によって接合一体化したもので
ある。

【００６０】図７（ｂ）に示すように、積層シート２０
に対してフォトリソグラフィ技術とエッチング処理技術
とを用いて、絶縁材料２２の層の上に導電性材料２３か
らなるヘッド配線２３ａ…を形成し、同時に先端側にお
いて、導電性材料２３によって支点突起１５を形成する
（図４、図５（ｂ）参照）。さらに、ヘッド配線２３ａ
…の上にカバーコート２４を施す。また、金属材料２１
に対してエッチング処理を施し、図１、図２に示すよう
な形状の基端部１１ａ、開口部１１ｂ、一対のバネ部１
１ｃ，１１ｃ、ビーム主部１１ｄ、先端突部１１ｅおよ
び補強リブ１１ｆ，１１ｆを有するスライダ支持ビーム
１１を金属材料２１から構成する。

【００６１】図３は図１におけるＸ−Ｘ線での断面図で
ある。スライダ支持ビーム１１は金属材料２１によって
構成されている。スライダ支持ビーム１１の上の配線構
造体１２は、第１絶縁層３１、配線層３２および第２絶
縁層３３からなり、第１絶縁層３１は絶縁材料２２によ
ってスライダ支持ビーム１１の上に構成され、配線層３
２は導電性材料２３によって第１絶縁層３１の上に構成
され、配線層３２を被覆する第２絶縁層３３はカバーコ
ート２４によって構成されている。配線層３２は、電極
パッド１４ａ…に連なる複数のヘッド配線２３ａ…を有
している。

【００６２】図４は図１におけるＹ−Ｙ線での断面図で
ある。スライダ支持ビーム１１における先端突部１１ｅ
は金属材料２１によって構成されている。先端突部１１
ｅの上に絶縁層４１があり、絶縁層４１の上にスライダ
１６を１点支持する支点突起１５がある。絶縁層４１は
絶縁材料２２によって構成され、支点突起１５は導電性
材料２３によって構成されている。支点突起１５は、ヘ
ッド配線２３ａ…と同時に、かつ、ヘッド配線２３ａ…
と同一材料すなわち導電性材料２３でエッチング処理に
より構成されている。

【００６３】先端突部１１ｅの両サイドにおいて、たわ
み部１３における弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃが位置し
ている。たわみ部１３において、先端突部１１ｅの直上
はスリット１３ａとなっている。弾性ヒンジ部１３ｃ，
１３ｃの上にヘッド配線２３ａ…があり、ヘッド配線２
３ａ…が絶縁層４２で被覆されている。弾性ヒンジ部１
３ｃ，１３ｃは絶縁材料２２によって構成され、ヘッド
配線２３ａ…は導電性材料２３によって構成され、絶縁
層４２はカバーコート２４によって構成されている。

【００６４】図５（ａ）はスライダ支持部１４の近傍を
拡大して示す平面図、図５（ｂ）はその側方断面図であ
る。ビーム主部１１ｄの先端側に先端突部１１ｅが一体
的に連設されている。ビーム主部１１ｄの両サイドには
折り曲げ加工によって補強リブ１１ｆ，１１ｆが一体的
に形成されている。補強リブ１１ｆ，１１ｆは、ビーム
主部１１ｄの剛性、とりわけ先端突部１１ｅの近傍の剛
性を高めている。

【００６５】配線構造体１２におけるスリット１３ａの
両サイドの線状部１３ｂ，１３ｂは、その大部分がビー
ム主部１１ｄに直接に支持されているが、末端部はビー
ム主部１１ｄおよび先端突部１１ｅの外側に配置され、
自由に撓む一対の弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃに構成さ
れている。一対の弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃは支点突
起１５に関して対称な位置関係および対称な形状となっ
ている。

【００６６】一対の弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃに一体
連設の状態でスライダ支持部１４があり、このスライダ
支持部１４に複数の電極パッド１４ａ…が形成されてい
る。

【００６７】一対の線状部１３ｂ，１３ｂにはそれぞれ
複数のヘッド配線２３ａ…が配設されている。このヘッ
ド配線２３ａ…は弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃにも配設
され、さらにスライダ支持部１４に延設され、電極パッ
ド１４ａ…に連なっている。一方の線状部１３ｂにおけ
るヘッド配線２３ａ…の本数、配置は、他方の線状部１
３ｂにおけるヘッド配線２３ａ…の本数、配置と同数、
対称的である。

【００６８】図５において、スライダ１６は一点鎖線で
示されているが、スライダ１６の裏面の配線端子１８a
…がスライダ支持部１４の電極パッド１４ａ…に超音波
溶着等で電気的かつ機械的に接合され、さらに、スライ
ダ１６の裏面の重心が支点突起１５の頂点によって支持
されている。スライダ１６に対する連結は、支点突起１
５での１点支持と、配線端子１８ａ…の電極パッド１４
ａ…に対する連結とである。スライダ支持部１４はスラ
イダ支持ビーム１１に対して一対の弾性ヒンジ部１３
ｃ，１３ｃで連結されており、弾性ヒンジ部１３ｃ，１
３ｃには３次元の自由度があるので、支点突起１５の頂
点を中心として、スライダ１６はピッチング方向Ｄｐお
よびローリング方向Ｄrで自由に姿勢を可変することが
できる。

【００６９】図５においては、補強リブ１１ｆ，１１ｆ
を含むビーム主部１１ｄおよび先端突部１１ｅは金属材
料２１によって形成されている。弾性ヒンジ部１３ｃ，
１３ｃを含む一対の線状部１３ｂ，１３ｂおよびスライ
ダ支持部１４は絶縁材料２２によって形成されている。
一対の線状部１３ｂ，１３ｂの上のヘッド配線２３ａ
…、弾性ヒンジ部１３ｃ，１３ｃの上のヘッド配線２３
ａ…、スライダ支持部１４の上のヘッド配線２３ａ…お
よびスライダ支持部１４の上の電極パッド１４ａ…は、
導電性材料２３によって形成されている。

【００７０】以上のように、本発明の実施の形態の一体
型リードサスペンションによれば、軽量化、低コスト化
を図ることができるとともに、スライダを１点支持する
構成が取れ、サスペンションの剛性を高めることができ
る。これにより、従来のサスペンションに比べてより高
い共振特性を得ることができる。

【００７１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、高記録
密度化および高速回転化のさらなる展開がなされている
情報記録装置において、スライダ支持ビームのさらなる
高剛性化と軽量化を実現し、併せてスライダに高い自由
度をもたせることにより、記録媒体に対するスライダの
浮上特性およびストップ・アンド・ゴー移動特性を改善
し、ヘッドの位置決め応答性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態のヘッド支持機構（サス
ペンション）の構成を示す斜視図

【図２】 図１のヘッド支持機構の構造を分かりやすく
するためにあえて分解して示した状態の斜視図

【図３】 図１におけるＸ−Ｘ線での断面図

【図４】 図１におけるＹ−Ｙ線での断面図

【図５】 本発明の実施の形態のヘッド支持機構におい
てスライダ支持部の近傍を拡大して示す平面図（ａ）と
その側方断面図（ｂ）

【図６】 本発明の実施の形態のヘッド支持機構におけ
るスライダを表面側から見た斜視図（ａ）とスライダを
裏面側から見た斜視図（ｂ）

【図７】 本発明の実施の形態のヘッド支持機構におい
てサスペンションを構成する積層シートの構造および積
層シートをエッチング処理してサスペンションを作製す
る様子を示す概略の断面図

【図８】 従来のヘッド支持機構の一例の分解状態を示
す斜視図

【図９】 従来のヘッド支持機構の別の例の要部の斜視
図

【符号の説明】

Ａ サスペンション（ヘッド支持機構） １０ ベースプレート １１ スライダ支持ビーム １１ａ 基端部 １１ｂ 開口部 １１ｃ バネ部 １１ｄ ビーム主部 １１ｅ 先端突部 １１ｆ 補強リブ １２ 配線構造体 １３ たわみ部 １３ａ スリット １３ｂ 線状部 １３ｃ 弾性ヒンジ部 １４ スライダ支持部 １４ａ 電極パッド １５ 支点突起 １６ スライダ １７ 磁気ヘッド １８ａ 配線端子 １９ エアーギャップ ２０ 積層シート ２１ 金属材料 ２２ 絶縁材料 ２３ 導電性材料 ２３ａ ヘッド配線 ２４ カバーコート

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダ支持ビームと、前記スライダ支
   持ビームに可撓性をもって支持されるたわみ部と、前記
   たわみ部に連設されたスライダ支持部と、前記スライダ
   支持ビームの先端側に設けられた支点突起と、記録／再
   生用のヘッドを有して前記スライダ支持部に一部が固定
   され前記支点突起に回動自在に支持されたスライダと、
   前記スライダ支持ビーム、たわみ部およびスライダ支持
   部に敷設されて前記スライダに接続される配線系とを備
   えたヘッド支持機構において、 前記スライダ支持ビーム、たわみ部、スライダ支持部、
   配線系および支点突起が、金属材料、絶縁材料および導
   電性材料の積層シートに対するエッチング処理に基づい
   て形成されており、 前記スライダ支持ビームは前記積層シートの金属材料か
   ら構成され、かつ、前記たわみ部およびスライダ支持部
   は前記積層シートの絶縁材料から構成され、前記配線系
   および前記支点突起は前記積層シートの導電性材料から
   構成されていることを特徴とするヘッド支持機構。
2. 【請求項２】 前記たわみ部は、前記積層シートの絶縁
   材料に形成されたスリットと、前記絶縁材料をもって前
   記スリットの両側に配された一対の線状部とによって構
   成されている請求項１に記載のヘッド支持機構。
3. 【請求項３】 前記支点突起は、前記たわみ部における
   前記スリットにおいて突出しているとともに、前記たわ
   み部における一対の線状部は、前記支点突起に関して対
   称に配されている請求項２に記載のヘッド支持機構。
4. 【請求項４】 前記一対の線状部は、前記スライダ支持
   ビームから自由な部分が一対の弾性ヒンジ部に構成され
   ている請求項２または請求項３に記載のヘッド支持機
   構。
5. 【請求項５】 前記配線系は、この配線系を構成する前
   記導電性材料を被覆するカバーコートによって保護され
   ている請求項１から請求項４までのいずれかに記載のヘ
   ッド支持機構。
6. 【請求項６】 前記スライダ支持部は、前記導電性材料
   で構成された少なくとも一対の電極パッドを有し、前記
   各電極パッドに連なる前記導電性材料からなる配線系が
   前記一対の線状部において対称的に配されている請求項
   ２から請求項５までのいずれかに記載のヘッド支持機
   構。
7. 【請求項７】 前記スライダ支持部における前記電極パ
   ッドと前記スライダにおける配線端子とが電気的かつ機
   械的に接合されている請求項６に記載のヘッド支持機
   構。
8. 【請求項８】 前記スライダ支持ビームは、その両側に
   一体的に折り曲げて形成した補強リブを備えている請求
   項１から請求項７までのいずれかに記載のヘッド支持機
   構。