JP2003200278A - ファイバー光学部品アレイ及びその製作方法 - Google Patents
ファイバー光学部品アレイ及びその製作方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】精確に整列させることが可能なファイバー光学
部品アレイ及びその製作方法を提供する。 【解決手段】ファイバー光学部品アレイは、ファイバー
光学部品アレイの整列を援助する精密な認識マークを有
する。ファイバー光学部品アレイを含む媒体における反
対の面に認識マークを書き込むために使用する、ファイ
バー光学部品アレイに隣接する追加の光学的特徴を形成
する。認識マークは、光の高い強度のコリメートされた
ビームが、光学的特徴を通じて透明な媒体の処理された
部分へ向けられるときに形成される。
部品アレイ及びその製作方法を提供する。 【解決手段】ファイバー光学部品アレイは、ファイバー
光学部品アレイの整列を援助する精密な認識マークを有
する。ファイバー光学部品アレイを含む媒体における反
対の面に認識マークを書き込むために使用する、ファイ
バー光学部品アレイに隣接する追加の光学的特徴を形成
する。認識マークは、光の高い強度のコリメートされた
ビームが、光学的特徴を通じて透明な媒体の処理された
部分へ向けられるときに形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には、マイ
クロレンズアレイの分野に関する。より詳しくは、本発
明は、マイクロレンズアレイを含む光学系において精確
な整列を要求する光学製品に認識マークを形成すること
に関係する。
クロレンズアレイの分野に関する。より詳しくは、本発
明は、マイクロレンズアレイを含む光学系において精確
な整列を要求する光学製品に認識マークを形成すること
に関係する。
【０００２】
【従来の技術】撮像系、電気通信デバイス、マイクロ光
学系、マイクロ機械系などのような光学系は、典型的に
は、所望の光学性能を与えるいくつかの異なるレンズ及
び光学製品で構築される。光学系における大きな全体的
損失を回避するために、後のレンズ及び光学製品を備え
た各々のレンズ及び光学製品の整列が、非常に精確であ
ることが重要である。認識マークは、しばしば、整列の
間に基準点として役立つ光学エリアの外側でレンズ及び
光学製品に作成される。認識マークは、整列の活動の間
にレンズの中心を識別することが困難である非球面のレ
ンズ及びレンズアレイの場合には特に重要である。ま
た、認識マークは、多数の特徴が、全ての光学的特徴に
関係して精確に位置させる、分割された整列の基準に対
する要求を規定する、ファイバー光学部品アレイ及びレ
ーザーアレイに関しても非常に重要である。光学系が、
電気通信及び光センサーのように、ファイバー光学部品
の用途に関してより小さくなると、光学構成部品の精確
な整列及び関連した認識マークの確度に対する要求が増
加する。ここで、二（２）ミクロンの整列の仕様は、サ
ブミクロンの整列の確度を与える要望と共通である。結
果として、認識マークを、１ミクロン又はそれより良好
な確度で位置させることは重要である。
学系、マイクロ機械系などのような光学系は、典型的に
は、所望の光学性能を与えるいくつかの異なるレンズ及
び光学製品で構築される。光学系における大きな全体的
損失を回避するために、後のレンズ及び光学製品を備え
た各々のレンズ及び光学製品の整列が、非常に精確であ
ることが重要である。認識マークは、しばしば、整列の
間に基準点として役立つ光学エリアの外側でレンズ及び
光学製品に作成される。認識マークは、整列の活動の間
にレンズの中心を識別することが困難である非球面のレ
ンズ及びレンズアレイの場合には特に重要である。ま
た、認識マークは、多数の特徴が、全ての光学的特徴に
関係して精確に位置させる、分割された整列の基準に対
する要求を規定する、ファイバー光学部品アレイ及びレ
ーザーアレイに関しても非常に重要である。光学系が、
電気通信及び光センサーのように、ファイバー光学部品
の用途に関してより小さくなると、光学構成部品の精確
な整列及び関連した認識マークの確度に対する要求が増
加する。ここで、二（２）ミクロンの整列の仕様は、サ
ブミクロンの整列の確度を与える要望と共通である。結
果として、認識マークを、１ミクロン又はそれより良好
な確度で位置させることは重要である。
【０００３】認識マークは、多層の半導体を製作するた
めの重要な道具として半導体製造産業において周知であ
る。この場合において、認識マークは、半導体回路の平
面図の一部として組み込まれる。多層の半導体を製作す
ることに使用される半導体層の薄さ（５０−１００ミク
ロン）により、多数の半導体層の認識マークを、高い倍
率の顕微鏡を使用して、同時に目視することができる。
高い倍率の顕微鏡は、整列の工程の間に、別の半導体層
の認識マークより上における一つの半導体層の認識マー
クを位置決めすることを援助する。
めの重要な道具として半導体製造産業において周知であ
る。この場合において、認識マークは、半導体回路の平
面図の一部として組み込まれる。多層の半導体を製作す
ることに使用される半導体層の薄さ（５０−１００ミク
ロン）により、多数の半導体層の認識マークを、高い倍
率の顕微鏡を使用して、同時に目視することができる。
高い倍率の顕微鏡は、整列の工程の間に、別の半導体層
の認識マークより上における一つの半導体層の認識マー
クを位置決めすることを援助する。
【０００４】光学製品に認識マークを形成することは、
光学面が、典型的には比較的厚く、しばしば厚さで１０
００ミクロンを十分超えるという点で特別な挑戦を提起
する。これは、直径でミリメートルより十分下にあるマ
イクロレンズを有するマイクロレンズアレイにおける場
合でさえもある。マイクロレンズアレイの厚さは、光学
的な制限により、マイクロレンズアレイを通じて見るこ
とによって認識マークを正確に位置させることを事実上
不可能にする。反対に、マイクロレンズアレイの材料を
通過する屈折された光によって認識マークを変位させる
ので、光学製品に対する認識マークの場所の確度は、制
限される。さらに、マイクロレンズアレイの厚さは、マ
イクロレンズアレイを識別するために使用される顕微鏡
を、認識マークにどれくらい接近して位置決めすること
ができるかを制限する。結果として、より低い倍率の顕
微鏡のみを、認識物を見るために使用することができ
る。従って、光学製品用に、非常に正確に位置させた認
識マークを、光学製品に対して対向する側に付ける方法
が必要とされる。
光学面が、典型的には比較的厚く、しばしば厚さで１０
００ミクロンを十分超えるという点で特別な挑戦を提起
する。これは、直径でミリメートルより十分下にあるマ
イクロレンズを有するマイクロレンズアレイにおける場
合でさえもある。マイクロレンズアレイの厚さは、光学
的な制限により、マイクロレンズアレイを通じて見るこ
とによって認識マークを正確に位置させることを事実上
不可能にする。反対に、マイクロレンズアレイの材料を
通過する屈折された光によって認識マークを変位させる
ので、光学製品に対する認識マークの場所の確度は、制
限される。さらに、マイクロレンズアレイの厚さは、マ
イクロレンズアレイを識別するために使用される顕微鏡
を、認識マークにどれくらい接近して位置決めすること
ができるかを制限する。結果として、より低い倍率の顕
微鏡のみを、認識物を見るために使用することができ
る。従って、光学製品用に、非常に正確に位置させた認
識マークを、光学製品に対して対向する側に付ける方法
が必要とされる。
【０００５】“Ｍｅｔｈｏｄ Ｏｆ Ａｒｒａｎｇｉｎ
ｇ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ Ｍａｒｋｓ”と題された１９
９９年１２月２１日のＴｓｕｊｉ等による米国特許にお
いて、半導体デバイスを製作する方法は、認識マークに
よって占有されるエリアを減少させると共に製造の生産
力を対応して増加させるような方法で、多数の認識マー
クを使用する（特許文献１参照）。この特許が、半導体
デバイスを製作することに関する到達水準を記載すると
同時に、そこに記載された整列の工程は、レンズアレイ
のような光学製品には適切ではない。上述のように、レ
ンズアレイにおいて、様々なレンズの顕著な厚さは、レ
ンズの材料の厚さによって付与された間隔の距離によ
り、同時に多数の光学製品からの認識マークを目視する
ことを不可能にする。
ｇ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ Ｍａｒｋｓ”と題された１９
９９年１２月２１日のＴｓｕｊｉ等による米国特許にお
いて、半導体デバイスを製作する方法は、認識マークに
よって占有されるエリアを減少させると共に製造の生産
力を対応して増加させるような方法で、多数の認識マー
クを使用する（特許文献１参照）。この特許が、半導体
デバイスを製作することに関する到達水準を記載すると
同時に、そこに記載された整列の工程は、レンズアレイ
のような光学製品には適切ではない。上述のように、レ
ンズアレイにおいて、様々なレンズの顕著な厚さは、レ
ンズの材料の厚さによって付与された間隔の距離によ
り、同時に多数の光学製品からの認識マークを目視する
ことを不可能にする。
【０００６】また、“Ｍｅｔｈｏｄ Ｏｆ Ｍａｋｉｎ
ｇ ＬＣＤ Ｄｅｖｉｃｅ Ｈａｖｉｎｇ Ａｌｉｇｎ
ｍｅｎｔ Ｍａｒｋ Ｍａｄｅ Ｏｆ Ｓａｍｅ Ｍａ
ｔｅｒｉａｌ Ａｎｄ Ｆｏｒｍｅｄ Ａｔ Ｓａｍｅ
Ｔｉｍｅ Ａｓ Ｍｉｃｒｏｌｅｎｓｅｓ”と題され
た１９８８年１２月１５日のＯｃｈｉ等による米国特
許、及び“ＬＣＤ Ｄｅｖｉｃｅ Ｗｉｔｈ ａｎ Ａ
ｌｉｇｈｎｍｅｎｔ Ｍａｒｋ Ｈａｖｉｎｇ Ｓａｍ
ｅ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ａｓ Ｍｉｃｒｏｌｅｎｓｅ
ｓ”と題された１９９８年６月２３日のＯｃｈｉ等によ
る米国特許は、各々、液晶表示デバイスに使用されるマ
イクロレンズスクリーンへ認識マークを成形する工程を
記載する（特許文献２、３参照）。これらの特許におい
て、認識マークの形状もまた詳細に記載されている。記
載されたような認識マークは、マイクロレンズと同じ側
に位置する十字又はいくつかの他の変形物の形状におけ
る突起である。反射顕微鏡で見たとき、突起の間の溝
が、暗線として目立つ限り、突起は、断面における半円
形、又は別の形状であり得る。それら参照文献は、厚さ
のようなレンズの特性が、下にある認識マークを識別す
る能力を妨げることを認識している。さらに、それら参
照文献は、認識マークの有用な幾何学に関する、及びマ
イクロレンズアレイと一緒に成形された認識マークに関
する、いくつかの用途を示す。 しかしながら、それら
特許のどちらも、マイクロレンズアレイにおいて光学面
に対向する側に付けられる認識マークに対する認識を示
してない。さらに、参照文献のいずれによっても、レン
ズの特性を有する成形された認識マークと共に利点を得
ることができるという認識はない。
ｇ ＬＣＤ Ｄｅｖｉｃｅ Ｈａｖｉｎｇ Ａｌｉｇｎ
ｍｅｎｔ Ｍａｒｋ Ｍａｄｅ Ｏｆ Ｓａｍｅ Ｍａ
ｔｅｒｉａｌ Ａｎｄ Ｆｏｒｍｅｄ Ａｔ Ｓａｍｅ
Ｔｉｍｅ Ａｓ Ｍｉｃｒｏｌｅｎｓｅｓ”と題され
た１９８８年１２月１５日のＯｃｈｉ等による米国特
許、及び“ＬＣＤ Ｄｅｖｉｃｅ Ｗｉｔｈ ａｎ Ａ
ｌｉｇｈｎｍｅｎｔ Ｍａｒｋ Ｈａｖｉｎｇ Ｓａｍ
ｅ Ｍａｔｅｒｉａｌ Ａｓ Ｍｉｃｒｏｌｅｎｓｅ
ｓ”と題された１９９８年６月２３日のＯｃｈｉ等によ
る米国特許は、各々、液晶表示デバイスに使用されるマ
イクロレンズスクリーンへ認識マークを成形する工程を
記載する（特許文献２、３参照）。これらの特許におい
て、認識マークの形状もまた詳細に記載されている。記
載されたような認識マークは、マイクロレンズと同じ側
に位置する十字又はいくつかの他の変形物の形状におけ
る突起である。反射顕微鏡で見たとき、突起の間の溝
が、暗線として目立つ限り、突起は、断面における半円
形、又は別の形状であり得る。それら参照文献は、厚さ
のようなレンズの特性が、下にある認識マークを識別す
る能力を妨げることを認識している。さらに、それら参
照文献は、認識マークの有用な幾何学に関する、及びマ
イクロレンズアレイと一緒に成形された認識マークに関
する、いくつかの用途を示す。 しかしながら、それら
特許のどちらも、マイクロレンズアレイにおいて光学面
に対向する側に付けられる認識マークに対する認識を示
してない。さらに、参照文献のいずれによっても、レン
ズの特性を有する成形された認識マークと共に利点を得
ることができるという認識はない。
【０００７】さらに、“Ｍｅｔｈｏｄ Ｏｆ Ｄｉｃｉ
ｎｇ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｌｅｍｅｎｔ
ｓ”と題された２０００年８月１日のＨａｒｄｅｎ等に
よる米国特許は、ダイシングより先に多数のウエハーの
互いのボンディング中に、ウエハーにおけるマイクロレ
ンズの整列を援助するための認識物の使用を開示する
（特許文献４参照）。この特許は、ウエハーを互いに結
合するために使用する接着剤及び半田の厚さを制御する
ことを助ける特徴を備えた、統合された多数の光学素子
を製作することをおおよそ教示する。認識マークの効果
的な使用を記載すると同時に、ウエハーの他方の側にお
ける光学素子と一方の側における認識マークの整列を改
善する方法の言及は絶対にない。その特許に記載されて
いる認識マークを型押しする及び成形する技術は、両方
ともに、プラス又はマイナス十（１０）ミクロン程度の
一方の側から他方の側までの場所の誤差を欠点としても
つ。成形されたマイクロレンズ及びマイクロレンズアレ
イにおいて、この誤差は、許容可能ではない。
ｎｇ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ
Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｌｅｍｅｎｔ
ｓ”と題された２０００年８月１日のＨａｒｄｅｎ等に
よる米国特許は、ダイシングより先に多数のウエハーの
互いのボンディング中に、ウエハーにおけるマイクロレ
ンズの整列を援助するための認識物の使用を開示する
（特許文献４参照）。この特許は、ウエハーを互いに結
合するために使用する接着剤及び半田の厚さを制御する
ことを助ける特徴を備えた、統合された多数の光学素子
を製作することをおおよそ教示する。認識マークの効果
的な使用を記載すると同時に、ウエハーの他方の側にお
ける光学素子と一方の側における認識マークの整列を改
善する方法の言及は絶対にない。その特許に記載されて
いる認識マークを型押しする及び成形する技術は、両方
ともに、プラス又はマイナス十（１０）ミクロン程度の
一方の側から他方の側までの場所の誤差を欠点としても
つ。成形されたマイクロレンズ及びマイクロレンズアレ
イにおいて、この誤差は、許容可能ではない。
【０００８】さらに、“Ｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｏｆ Ｆ
ｅａｔｕｒｅｓ Ｉｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍａｔｅｒｉ
ａｌ”と題された１９８６年７月１日のＦｉｓｃｈｅｒ
等による米国特許は、制御された様式で光学材料を取り
除くためのレーザーの使用を記載する（特許文献５参
照）。レーザーへの連結を増強するために、レーザー
を、光学材料において直接使用することができるか、又
は、融蝕性吸収体材料の層を、光学材料の面へ置くこと
ができる。この融蝕性の技術は、整列用の認識タイプの
マークを製作することによく適合する。しかしながら、
その参照文献は、認識マークに対する所望の位置と反対
側に位置するレンズアレイとレーザーを整列させる仕方
に関する認識を示していない。
ｅａｔｕｒｅｓ Ｉｎ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｍａｔｅｒｉ
ａｌ”と題された１９８６年７月１日のＦｉｓｃｈｅｒ
等による米国特許は、制御された様式で光学材料を取り
除くためのレーザーの使用を記載する（特許文献５参
照）。レーザーへの連結を増強するために、レーザー
を、光学材料において直接使用することができるか、又
は、融蝕性吸収体材料の層を、光学材料の面へ置くこと
ができる。この融蝕性の技術は、整列用の認識タイプの
マークを製作することによく適合する。しかしながら、
その参照文献は、認識マークに対する所望の位置と反対
側に位置するレンズアレイとレーザーを整列させる仕方
に関する認識を示していない。
【０００９】
【特許文献１】米国特許第６，００５，２９４号明細書
【特許文献２】米国特許第５，８５０，２７６号明細書
【特許文献３】米国特許第５，７７１，０８５号明細書
【特許文献４】米国特許第６，０９６，１５５号明細書
【特許文献５】米国特許第４，５９８，０３９号明細書
【発明が解決しようとする課題】従って、その製品及び
光学アレイの精確な整列を可能にする、光学製品の面に
対向する面において光学製品及び光学アレイに認識マー
クを形成する方法に関する要求が当技術において存続し
ている。さらに、際立った確度での対向する面への認識
マークの形成を可能にする、光学製品又は光学アレイの
対向する面に光を集束させるための光学面と一緒に成形
される特別な光学的特徴に対するやむにやまれない要求
がある。
光学アレイの精確な整列を可能にする、光学製品の面に
対向する面において光学製品及び光学アレイに認識マー
クを形成する方法に関する要求が当技術において存続し
ている。さらに、際立った確度での対向する面への認識
マークの形成を可能にする、光学製品又は光学アレイの
対向する面に光を集束させるための光学面と一緒に成形
される特別な光学的特徴に対するやむにやまれない要求
がある。
【００１０】従って、本発明の目的は、アレイにおける
ファイバー光学部品ユニットが、ファイバー光学部品ユ
ニットの面に対向する面に形成される認識マークによっ
て精確に整列される、ファイバー光学部品アレイ及び方
法を提供することである。
ファイバー光学部品ユニットが、ファイバー光学部品ユ
ニットの面に対向する面に形成される認識マークによっ
て精確に整列される、ファイバー光学部品アレイ及び方
法を提供することである。
【００１１】本発明のさらなる目的は、ファイバー光学
部品アレイの面に対向する面へ光の高い強度のビームを
集束させることによって認識マークを形成するファイバ
ー光学部品アレイと併せて製作される光学的特徴を利用
することである。
部品アレイの面に対向する面へ光の高い強度のビームを
集束させることによって認識マークを形成するファイバ
ー光学部品アレイと併せて製作される光学的特徴を利用
することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のこれら及び他の
目的、特徴、及び利点を達成するために、本発明の第一
の態様において、複数のファイバー光学部品を有するフ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法が、複数の開口
を有する媒体を提供することを含み、各々の開口が、媒
体の第一の面を通じて少なくとも部分的に通過すること
を提供する。この実施例において、媒体は、第一の面に
対向する第二の面を有する。媒体における複数の開口
は、複数のファイバー光学部品における一つのファイバ
ー光学部品を支持するように構成される。ファイバー光
学部品の各々一つは、媒体における複数の開口の一つへ
配置される。少なくとも二つの光学的特徴は、ファイバ
ー光学部品アレイに隣接する媒体の第一の面に形成され
る。光学的特徴を識別するために、媒体の第二の面の少
なくとも一部分を変える。本発明のこの実施例におい
て、次に少なくとも二つの認識マークは、第一及び第二
の光学的特徴の各々一つに精確に対応する第二の面の変
えた部分に形成される。
目的、特徴、及び利点を達成するために、本発明の第一
の態様において、複数のファイバー光学部品を有するフ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法が、複数の開口
を有する媒体を提供することを含み、各々の開口が、媒
体の第一の面を通じて少なくとも部分的に通過すること
を提供する。この実施例において、媒体は、第一の面に
対向する第二の面を有する。媒体における複数の開口
は、複数のファイバー光学部品における一つのファイバ
ー光学部品を支持するように構成される。ファイバー光
学部品の各々一つは、媒体における複数の開口の一つへ
配置される。少なくとも二つの光学的特徴は、ファイバ
ー光学部品アレイに隣接する媒体の第一の面に形成され
る。光学的特徴を識別するために、媒体の第二の面の少
なくとも一部分を変える。本発明のこの実施例におい
て、次に少なくとも二つの認識マークは、第一及び第二
の光学的特徴の各々一つに精確に対応する第二の面の変
えた部分に形成される。
【００１３】本発明の別の態様において、ファイバー光
学部品アレイは、透明な媒体の第一の面に支持されて配
置される複数のファイバー光学部品を有する。透明な媒
体は、第一の面に対向する第二の面を有する。少なくと
も二つの光学的特徴は、複数のファイバー光学部品に隣
接する透明な媒体の第一の面に配置される。この実施例
において、光学的特徴の各々の一つに精確に対応する認
識マークは、ファイバー光学部品アレイにおけるファイ
バー光学部品の精確な整列を提供するために、透明な媒
体の第二の面に形成される。
学部品アレイは、透明な媒体の第一の面に支持されて配
置される複数のファイバー光学部品を有する。透明な媒
体は、第一の面に対向する第二の面を有する。少なくと
も二つの光学的特徴は、複数のファイバー光学部品に隣
接する透明な媒体の第一の面に配置される。この実施例
において、光学的特徴の各々の一つに精確に対応する認
識マークは、ファイバー光学部品アレイにおけるファイ
バー光学部品の精確な整列を提供するために、透明な媒
体の第二の面に形成される。
【００１４】結果として、本発明は、それは、認識マー
クの精密な位置設定に帰着すること、それは、アレイに
光学製品を整列させるはるかに優れた方法であること、
及びそれは、全ての要求される光学的特徴を同じ形成工
程で形成するので、実施することが著しくより容易であ
ること、を含む先行技術の開発を超える多数の利点を有
する。
クの精密な位置設定に帰着すること、それは、アレイに
光学製品を整列させるはるかに優れた方法であること、
及びそれは、全ての要求される光学的特徴を同じ形成工
程で形成するので、実施することが著しくより容易であ
ること、を含む先行技術の開発を超える多数の利点を有
する。
【００１５】
【発明の実施の形態】この発明の前述のものも他の目
的、特徴、及び利点も、添付した図からより明らかにな
ると思われるが、ここで同様な符号は、同様の素子を表
示する。
的、特徴、及び利点も、添付した図からより明らかにな
ると思われるが、ここで同様な符号は、同様の素子を表
示する。
【００１６】典型的な先行技術のマイクロレンズアレイ
２を、比較の目的のために図１ａで説明する。図１ａに
従って、マイクロレンズアレイ２は、実装フランジ３に
一致して実装される多数のマイクロレンズを有する。認
識マーク７は、マイクロレンズ１の面６に対向する実装
フランジ３の面５に位置する。認識マーク７は、面５へ
直接成形されるかもしれないか、又は実装フランジ３の
反対側から光学面の縁を基準とした後に付けられるかも
しれないか、いずれかである。認識マーク７の直接的な
成形の場合には、成形された分割線にわたる整列ピンに
おけるクリアランスによる型の整列不良は、認識マーク
７の確度をおおよそ１５ミクロン又はそれ以上に制限す
るかもしれない。縁を基準にする技術を使用して、経験
は、各測定が、おおよそ２−５ミクロンの誤差を導入す
ることを教示してきた。最小の三（３）つの測定が、丸
いレンズの縁を識別するために要求されるので、合計の
誤差は、認識マーク７を置くためには最小の６−１５ミ
クロンである。この誤差は、大きな光学製品には通常許
容可能であると同時に、ファイバー光学部品のような用
途に関する光学部品の大きさが、１０００ミクロン以下
に小さくなると、要求される整列の確度は、同様に小さ
くなる。結果として、マイクロレンズの整列の確度が、
２ミクロンの整列を要するいくつかの用途で５ミクロン
又はそれより良好であることはまれではない。明らか
に、認識マーク７の確度が、要求される整列の確度より
も良好であることは重要である。
２を、比較の目的のために図１ａで説明する。図１ａに
従って、マイクロレンズアレイ２は、実装フランジ３に
一致して実装される多数のマイクロレンズを有する。認
識マーク７は、マイクロレンズ１の面６に対向する実装
フランジ３の面５に位置する。認識マーク７は、面５へ
直接成形されるかもしれないか、又は実装フランジ３の
反対側から光学面の縁を基準とした後に付けられるかも
しれないか、いずれかである。認識マーク７の直接的な
成形の場合には、成形された分割線にわたる整列ピンに
おけるクリアランスによる型の整列不良は、認識マーク
７の確度をおおよそ１５ミクロン又はそれ以上に制限す
るかもしれない。縁を基準にする技術を使用して、経験
は、各測定が、おおよそ２−５ミクロンの誤差を導入す
ることを教示してきた。最小の三（３）つの測定が、丸
いレンズの縁を識別するために要求されるので、合計の
誤差は、認識マーク７を置くためには最小の６−１５ミ
クロンである。この誤差は、大きな光学製品には通常許
容可能であると同時に、ファイバー光学部品のような用
途に関する光学部品の大きさが、１０００ミクロン以下
に小さくなると、要求される整列の確度は、同様に小さ
くなる。結果として、マイクロレンズの整列の確度が、
２ミクロンの整列を要するいくつかの用途で５ミクロン
又はそれより良好であることはまれではない。明らか
に、認識マーク７の確度が、要求される整列の確度より
も良好であることは重要である。
【００１７】ここで図１ｂに戻って、本発明の方法を使
用して、屈折レンズアレイ１１のような、光学製品のア
レイに形成された認識マーク１３を説明する。この実施
例において、認識マーク１３は、屈折レンズアレイ１１
及びレーザーアレイ９を含む光学的な群集８を整列させ
るために使用される。本発明に記載するように、追加の
光学的特徴１６は、光学的手段を通じて認識マーク１３
を作成するために使用される。図１ｂに従って、レンズ
アレイ１１における認識マーク１３は、レンズアレイ１
１の対向する面１１ｂに精確に位置する。光学的な群集
８の精確な整列を保証するために、レーザーアレイ９に
形成された複数の精密な貫通孔１５の各々一つを、レン
ズアレイ１１における対応する認識マーク１３に対して
整列可能に中心を一致させる。この工程は、屈折レンズ
アレイ１１における屈折レンズ１１ａとレーザーアレイ
９におけるレーザー９ａの各々を整列させる。光学的な
群集８を整列させた後、それは、典型的には適切な接着
性の材料に注封することによって硬く貼られる。認識マ
ーク１３に対する精密な貫通孔１５の精確な整列は、工
程を自動化するためにコンピューター化された位置決め
システムに連結させたしばしばコンピューター化された
視角システムを備えた高い出力の顕微鏡（示してない）
で達成される。
用して、屈折レンズアレイ１１のような、光学製品のア
レイに形成された認識マーク１３を説明する。この実施
例において、認識マーク１３は、屈折レンズアレイ１１
及びレーザーアレイ９を含む光学的な群集８を整列させ
るために使用される。本発明に記載するように、追加の
光学的特徴１６は、光学的手段を通じて認識マーク１３
を作成するために使用される。図１ｂに従って、レンズ
アレイ１１における認識マーク１３は、レンズアレイ１
１の対向する面１１ｂに精確に位置する。光学的な群集
８の精確な整列を保証するために、レーザーアレイ９に
形成された複数の精密な貫通孔１５の各々一つを、レン
ズアレイ１１における対応する認識マーク１３に対して
整列可能に中心を一致させる。この工程は、屈折レンズ
アレイ１１における屈折レンズ１１ａとレーザーアレイ
９におけるレーザー９ａの各々を整列させる。光学的な
群集８を整列させた後、それは、典型的には適切な接着
性の材料に注封することによって硬く貼られる。認識マ
ーク１３に対する精密な貫通孔１５の精確な整列は、工
程を自動化するためにコンピューター化された位置決め
システムに連結させたしばしばコンピューター化された
視角システムを備えた高い出力の顕微鏡（示してない）
で達成される。
【００１８】図２及び３を参照して、透明な基板１２の
対向する面３０に形成された正確に位置した認識マーク
２４、２８を有する光学アレイ１０を説明する。図２及
び３に従って、マイクロレンズアレイ２２、３２のよう
な光学製品は、面３０に対向する透明な基板１２の実装
面１４で支持される。本発明にとって重要であるのは、
追加の光学的特徴２０（以下に記載する）は、焦点２
４、２８で認識マーク２５、２９を精確に形成すること
を援助するためにマイクロレンズアレイ２２、３２に隣
接して形成される。図２に従って、次に、（認識マーク
２５に対応する）焦点２４は、光の高い強度のコリメー
トされたビーム２６で生成される。図３に示すように、
このような高い強度の光２６を生成させるために、レー
ザー源２７を使用してもよい。追加の光学的特徴２０
は、レーザー源２７から光２６のコリメートされたビー
ムを受け、マイクロレンズアレイ１０の対向する面３０
へそれを精確に集束させる２８。また、焦点２４、２８
に認識マーク２５、２９を形成するより先に、透明な基
板１２の面３０を、認識マーク２５、２９が形成される
ことになっているエリア３１で変えるか又は処理するこ
とは、本発明にとって重要である。面３０を変えるか又
は処理する目的は、集束した高い強度の光２６に露出し
たとき、適切に目に見える認識マーク２５、２９を製作
することである。適切な面を変える技術は、とりわけ、
浸漬被覆、荒加工、スピンコーティング、真空メッキ、
金属被覆を含む。
対向する面３０に形成された正確に位置した認識マーク
２４、２８を有する光学アレイ１０を説明する。図２及
び３に従って、マイクロレンズアレイ２２、３２のよう
な光学製品は、面３０に対向する透明な基板１２の実装
面１４で支持される。本発明にとって重要であるのは、
追加の光学的特徴２０（以下に記載する）は、焦点２
４、２８で認識マーク２５、２９を精確に形成すること
を援助するためにマイクロレンズアレイ２２、３２に隣
接して形成される。図２に従って、次に、（認識マーク
２５に対応する）焦点２４は、光の高い強度のコリメー
トされたビーム２６で生成される。図３に示すように、
このような高い強度の光２６を生成させるために、レー
ザー源２７を使用してもよい。追加の光学的特徴２０
は、レーザー源２７から光２６のコリメートされたビー
ムを受け、マイクロレンズアレイ１０の対向する面３０
へそれを精確に集束させる２８。また、焦点２４、２８
に認識マーク２５、２９を形成するより先に、透明な基
板１２の面３０を、認識マーク２５、２９が形成される
ことになっているエリア３１で変えるか又は処理するこ
とは、本発明にとって重要である。面３０を変えるか又
は処理する目的は、集束した高い強度の光２６に露出し
たとき、適切に目に見える認識マーク２５、２９を製作
することである。適切な面を変える技術は、とりわけ、
浸漬被覆、荒加工、スピンコーティング、真空メッキ、
金属被覆を含む。
【００１９】当業者は、記載したような追加の光学的特
徴２０を含む、光学アレイ１０のような光学製品を製作
するための型を形成するために使用してもよい、いくつ
かの工程があることを認識すると思われる。このような
工程は、石版印刷、インクジェット印刷、押し込み、ダ
イヤモンド旋削、及びダイヤモンドミリングを含み、そ
れらの各々は、０．２５ミクロンの位置の確度に対して
位置を与えることができる。重要なことは、本発明の方
法は、また、焦点２４、２８に認識マーク２５、２９を
精確に位置させる追加の光学的特徴２０を形成するため
の、マイクロレンズアレイ３２を形成するための工程を
独自に使用する。
徴２０を含む、光学アレイ１０のような光学製品を製作
するための型を形成するために使用してもよい、いくつ
かの工程があることを認識すると思われる。このような
工程は、石版印刷、インクジェット印刷、押し込み、ダ
イヤモンド旋削、及びダイヤモンドミリングを含み、そ
れらの各々は、０．２５ミクロンの位置の確度に対して
位置を与えることができる。重要なことは、本発明の方
法は、また、焦点２４、２８に認識マーク２５、２９を
精確に位置させる追加の光学的特徴２０を形成するため
の、マイクロレンズアレイ３２を形成するための工程を
独自に使用する。
【００２０】図４及び５を参照して、屈折又は回折のレ
ンズを備えた様々な構成を有する光学的特徴を、様々な
形状の認識マークを作成するために使用することができ
る。図４に従って、レンズアレイ４０は、透明な媒体４
４の第一の面４６に形成された複数のレンズ４１を有す
る。おおよそ丸い屈折レンズの特徴４５を、透明な媒体
４４の第一の面４６に対向する、透明な媒体４４の第二
の面４８の処理された部分４９におおよそ丸い認識マー
ク４２を製作するために使用することができる。さら
に、おおよそ線形の認識マークを生成させるために、お
およそ線形のレンズの特徴が要求される（示してな
い）。図５に従って、おおよそ交差した線形の屈折レン
ズの特徴５０を、おおよそ交差した形状の（Ｘ形状の）
認識マーク５２を生成させるために使用する。ここで当
業者は、光学的特徴に対する他のパターンを、屈折及び
回折の光学的特徴の組み合わせによって生成させること
ができることを認識すると思われる。
ンズを備えた様々な構成を有する光学的特徴を、様々な
形状の認識マークを作成するために使用することができ
る。図４に従って、レンズアレイ４０は、透明な媒体４
４の第一の面４６に形成された複数のレンズ４１を有す
る。おおよそ丸い屈折レンズの特徴４５を、透明な媒体
４４の第一の面４６に対向する、透明な媒体４４の第二
の面４８の処理された部分４９におおよそ丸い認識マー
ク４２を製作するために使用することができる。さら
に、おおよそ線形の認識マークを生成させるために、お
およそ線形のレンズの特徴が要求される（示してな
い）。図５に従って、おおよそ交差した線形の屈折レン
ズの特徴５０を、おおよそ交差した形状の（Ｘ形状の）
認識マーク５２を生成させるために使用する。ここで当
業者は、光学的特徴に対する他のパターンを、屈折及び
回折の光学的特徴の組み合わせによって生成させること
ができることを認識すると思われる。
【００２１】図６ａ及び６ｂを参照して、本発明の別の
実施例において、両側光学アレイ５８、５９を説明す
る。図６ａに従って、両側光学アレイ５８は、透明な媒
体６１における対向する面６１ａ、６１ｂのいずれかに
光学製品６０、６２の配置を有する。認識マーク６９、
６６は、上述した認識マーキング工程を繰り返すことに
よって、それぞれ、対向する面６１ａ及び６１ｂの処理
された部分６３、６４に形成される。図６ｂに従って、
代わりに、両側光学アレイ５９は、透明な媒体７０の対
向する面７０ａ、７０ｂに実装される光学的特徴７２、
８０を有する。この実施例において、認識マーク７８、
８３の二組みは、面７０ａに対向する面７０ｂの処理さ
れた区画７６でのみ形成され、よって二つの光学製品７
２、８０の間における整列不良を、容易に決定すること
ができるかもしれない。
実施例において、両側光学アレイ５８、５９を説明す
る。図６ａに従って、両側光学アレイ５８は、透明な媒
体６１における対向する面６１ａ、６１ｂのいずれかに
光学製品６０、６２の配置を有する。認識マーク６９、
６６は、上述した認識マーキング工程を繰り返すことに
よって、それぞれ、対向する面６１ａ及び６１ｂの処理
された部分６３、６４に形成される。図６ｂに従って、
代わりに、両側光学アレイ５９は、透明な媒体７０の対
向する面７０ａ、７０ｂに実装される光学的特徴７２、
８０を有する。この実施例において、認識マーク７８、
８３の二組みは、面７０ａに対向する面７０ｂの処理さ
れた区画７６でのみ形成され、よって二つの光学製品７
２、８０の間における整列不良を、容易に決定すること
ができるかもしれない。
【００２２】図６ａを再び参照して、両側光学アレイ５
８は、より詳しくは、第二の複数のレンズ６２に合致し
た第一の複数のレンズ６０を有し、両方は、透明な媒体
６１の対向する面６１ａ、６１ｂに実装される。追加の
光学的特徴６５、６８の二つの好意的な組みは、それぞ
れ、対向する面６１ａ、６１ｂのいずれかに形成され
る。光学的特徴６５、６８は、それぞれ、対向する面６
１ｂ、６１ａに認識マーク６６、６９を形成するために
使用される。図６ａに示すように、光学的特徴６５は、
対向する面６１ｂにおおよそ丸い形状の認識マーク６６
を形成する、おおよそ丸い形状を有する。同じ代替の両
側光学アレイ５８において、面６１ｂに形成されたおお
よそ環状の光学的特徴６８は、おおよそ環状の認識マー
ク６９を生成させる。代わりに、光学的特徴６５、６８
からの認識マーク６６、６９の相対的な中心合わせを測
定することによって、面６１ａ、６１ｂにおける光学製
品６０、６２の相対的な整列を測定するための合致する
基準マークとして、認識マーク６６、６９、及び光学的
特徴６８、６５を使用することができる。
８は、より詳しくは、第二の複数のレンズ６２に合致し
た第一の複数のレンズ６０を有し、両方は、透明な媒体
６１の対向する面６１ａ、６１ｂに実装される。追加の
光学的特徴６５、６８の二つの好意的な組みは、それぞ
れ、対向する面６１ａ、６１ｂのいずれかに形成され
る。光学的特徴６５、６８は、それぞれ、対向する面６
１ｂ、６１ａに認識マーク６６、６９を形成するために
使用される。図６ａに示すように、光学的特徴６５は、
対向する面６１ｂにおおよそ丸い形状の認識マーク６６
を形成する、おおよそ丸い形状を有する。同じ代替の両
側光学アレイ５８において、面６１ｂに形成されたおお
よそ環状の光学的特徴６８は、おおよそ環状の認識マー
ク６９を生成させる。代わりに、光学的特徴６５、６８
からの認識マーク６６、６９の相対的な中心合わせを測
定することによって、面６１ａ、６１ｂにおける光学製
品６０、６２の相対的な整列を測定するための合致する
基準マークとして、認識マーク６６、６９、及び光学的
特徴６８、６５を使用することができる。
【００２３】追加の光学レンズの特徴において屈折及び
回折レンズの両方を使用することによって、種々様々な
認識マークの形状を、異なる要件に適合するように作成
することができることは、本発明の経験である。また、
光学アレイによって使用されるものとは異なる波長で動
作する光源を使用して認識マーキングを行なうことがで
きるとすれば、追加の光学レンズの特徴を、異なる波長
に対して設計することもできる。
回折レンズの両方を使用することによって、種々様々な
認識マークの形状を、異なる要件に適合するように作成
することができることは、本発明の経験である。また、
光学アレイによって使用されるものとは異なる波長で動
作する光源を使用して認識マーキングを行なうことがで
きるとすれば、追加の光学レンズの特徴を、異なる波長
に対して設計することもできる。
【００２４】図６ｂを再び参照して、両側光学アレイ５
９の別の実施例を説明する。上述したように、光学アレ
イ５９における第一の複数のレンズ７２は、透明な基板
７０の面７０ａに形成された追加のおおよそ丸い光学的
特徴７４を有する。光学的特徴７４は、対向する面７０
ｂの処理された部分７６におおよそ丸い認識マーク７８
を形成する、対向する面７０ｂへ光のコリメートされた
ビーム（図２）の精確な集束を提供する。この実施例に
おいて、第二の複数のレンズ８０は、透明な媒体７０の
対向する面７０ｂに形成される。さらに、おおよそ正方
形の認識マーク８３は、面７０ｂの処理された部分７６
にレンズ８０と一緒に生成されてきた。第二の複数のレ
ンズ８０に対する第一の複数のレンズ７２の整列は、好
ましくは、偏心の大きさ及び方向、即ち、認識マーク７
８の認識マークへのレンズを通過する想像上の中心線か
ら認識マーク８３までの距離、を測定することによって
決定される。
９の別の実施例を説明する。上述したように、光学アレ
イ５９における第一の複数のレンズ７２は、透明な基板
７０の面７０ａに形成された追加のおおよそ丸い光学的
特徴７４を有する。光学的特徴７４は、対向する面７０
ｂの処理された部分７６におおよそ丸い認識マーク７８
を形成する、対向する面７０ｂへ光のコリメートされた
ビーム（図２）の精確な集束を提供する。この実施例に
おいて、第二の複数のレンズ８０は、透明な媒体７０の
対向する面７０ｂに形成される。さらに、おおよそ正方
形の認識マーク８３は、面７０ｂの処理された部分７６
にレンズ８０と一緒に生成されてきた。第二の複数のレ
ンズ８０に対する第一の複数のレンズ７２の整列は、好
ましくは、偏心の大きさ及び方向、即ち、認識マーク７
８の認識マークへのレンズを通過する想像上の中心線か
ら認識マーク８３までの距離、を測定することによって
決定される。
【００２５】図７及び８において、本発明の二つの追加
の実施例を説明する。図７に従って、レーザー９０を有
するレーザーアレイ１１０は、対向する面９６ｂの処理
された部分９７に十字（Ｘ）の形態における認識マーク
９４を生成させる、二つの追加の光学的特徴又は交差し
た線形のレンズ９２を含む。レーザー９０を、透明な媒
体９６における開口に配置してもよいか、又はそれら
を、透明な媒体９６の第一の面９６ａに結合させてもよ
い。図８に従って、透明な基板１０６に形成されたファ
イバー光学部品ユニット１００を有するファイバー光学
部品アレイ１２０は、ファイバー光学部品アレイ１２０
の対向する面１０６ｂの処理された部分１０７に認識マ
ーク１０４を生成させるために使用される、ファイバー
光学部品ユニット１００に隣接する追加の光学的特徴１
０２を含む。ファイバー光学部品ユニット１００を、透
明な基板１０６に形成してもよいか、又はそれらを、第
一の面１０６ａに結合させてもよい。認識マーク９４、
１０４を形成するための上述の同じ工程を、本発明の本
実施例で使用する。
の実施例を説明する。図７に従って、レーザー９０を有
するレーザーアレイ１１０は、対向する面９６ｂの処理
された部分９７に十字（Ｘ）の形態における認識マーク
９４を生成させる、二つの追加の光学的特徴又は交差し
た線形のレンズ９２を含む。レーザー９０を、透明な媒
体９６における開口に配置してもよいか、又はそれら
を、透明な媒体９６の第一の面９６ａに結合させてもよ
い。図８に従って、透明な基板１０６に形成されたファ
イバー光学部品ユニット１００を有するファイバー光学
部品アレイ１２０は、ファイバー光学部品アレイ１２０
の対向する面１０６ｂの処理された部分１０７に認識マ
ーク１０４を生成させるために使用される、ファイバー
光学部品ユニット１００に隣接する追加の光学的特徴１
０２を含む。ファイバー光学部品ユニット１００を、透
明な基板１０６に形成してもよいか、又はそれらを、第
一の面１０６ａに結合させてもよい。認識マーク９４、
１０４を形成するための上述の同じ工程を、本発明の本
実施例で使用する。
【００２６】前記少なくとも二つの光学的特徴が、予め
決められた構成を有する、ファイバー光学部品アレイ。
決められた構成を有する、ファイバー光学部品アレイ。
【００２７】前記予め決められた構成が、おおよそ円形
の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
【００２８】前記予め決められた構成が、おおよそ線形
の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
【００２９】前記予め決められた構成が、おおよそ交差
した線形の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
した線形の形状である、ファイバー光学部品アレイ。
【００３０】前記少なくとも二つの光学的特徴が、屈折
マイクロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
マイクロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
【００３１】前記少なくとも二つの光学的特徴が、回折
マイクロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
マイクロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
【００３２】前記屈折マイクロレンズが、非球面のマイ
クロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
クロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
【００３３】前記屈折マイクロレンズが、球面のマイク
ロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
ロレンズを含む、ファイバー光学部品アレイ。
【００３４】前記光のコリメートされたビームが、レー
ザーによって生成される、ファイバー光学部品アレイを
製造する方法。
ザーによって生成される、ファイバー光学部品アレイを
製造する方法。
【００３５】前記少なくとも二つの光学的特徴が、各々
予め決められた構成を有する、ファイバー光学部品アレ
イを製造する方法。
予め決められた構成を有する、ファイバー光学部品アレ
イを製造する方法。
【００３６】前記予め決められた構成が、おおよそ円形
であることによって、前記第二の面におおよそ円形の認
識マークを形成する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
であることによって、前記第二の面におおよそ円形の認
識マークを形成する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
【００３７】前記予め決められた構成が、おおよそ線形
であることによって、前記第二の面におおよそ線形の認
識マークを形成する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
であることによって、前記第二の面におおよそ線形の認
識マークを形成する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
【００３８】前記予め決められた構成が、おおよそ交差
した線形であることによって、前記第二の面におおよそ
交差した線形の認識マークを形成する、ファイバー光学
部品アレイを製造する方法。
した線形であることによって、前記第二の面におおよそ
交差した線形の認識マークを形成する、ファイバー光学
部品アレイを製造する方法。
【００３９】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を融蝕して、それに形成された少な
くとも二つの認識マークを識別するステップを含む、フ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法。
記少なくとも一部分を融蝕して、それに形成された少な
くとも二つの認識マークを識別するステップを含む、フ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法。
【００４０】前記少なくとも二つの光学的特徴を形成す
る前記ステップが、ダイヤモンドミリングによって前記
少なくとも二つの光学的特徴を形成するステップを含
む、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
る前記ステップが、ダイヤモンドミリングによって前記
少なくとも二つの光学的特徴を形成するステップを含
む、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
【００４１】前記少なくとも二つの光学的特徴を形成す
る前記ステップが、ダイヤモンド旋削によって前記少な
くとも二つの光学的特徴を形成するステップを含む、フ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法。
る前記ステップが、ダイヤモンド旋削によって前記少な
くとも二つの光学的特徴を形成するステップを含む、フ
ァイバー光学部品アレイを製造する方法。
【００４２】前記少なくとも二つの光学的特徴を形成す
る前記ステップが、押し込みの工程によって前記少なく
とも二つの光学的特徴を形成するステップを含む、ファ
イバー光学部品アレイを製造する方法。
る前記ステップが、押し込みの工程によって前記少なく
とも二つの光学的特徴を形成するステップを含む、ファ
イバー光学部品アレイを製造する方法。
【００４３】前記少なくとも二つの光学的特徴の前記予
め決められた構成が、おおよそ回折素子を含むことによ
って、おおよそ複雑な形状の少なくとも二つの認識マー
クを生成させる、ファイバー光学部品アレイを製造する
方法。
め決められた構成が、おおよそ回折素子を含むことによ
って、おおよそ複雑な形状の少なくとも二つの認識マー
クを生成させる、ファイバー光学部品アレイを製造する
方法。
【００４４】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を塗装するステップを含むことで、
それに形成された前記少なくとも二つの認識マークを識
別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
記少なくとも一部分を塗装するステップを含むことで、
それに形成された前記少なくとも二つの認識マークを識
別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
【００４５】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を金属被覆するステップを含むこと
で、それに形成された前記少なくとも二つの認識マーク
を識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
記少なくとも一部分を金属被覆するステップを含むこと
で、それに形成された前記少なくとも二つの認識マーク
を識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
【００４６】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を真空メッキするステップを含むこ
とで、それに形成された前記少なくとも二つの認識マー
クを識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
記少なくとも一部分を真空メッキするステップを含むこ
とで、それに形成された前記少なくとも二つの認識マー
クを識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
【００４７】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を荒加工するステップを含むこと
で、それに形成された前記少なくとも二つの認識マーク
を識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
記少なくとも一部分を荒加工するステップを含むこと
で、それに形成された前記少なくとも二つの認識マーク
を識別する、ファイバー光学部品アレイを製造する方
法。
【００４８】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分をスピンコーティグするステップを
含むことで、それに形成された前記少なくとも二つの認
識マークを識別する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
記少なくとも一部分をスピンコーティグするステップを
含むことで、それに形成された前記少なくとも二つの認
識マークを識別する、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
【００４９】前記変えるステップが、前記第二の面の前
記少なくとも一部分を浸漬被覆するステップを含み、そ
れに形成された前記少なくとも二つの認識マークを識別
する、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
記少なくとも一部分を浸漬被覆するステップを含み、そ
れに形成された前記少なくとも二つの認識マークを識別
する、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
【００５０】前記第一の面に前記少なくとも二つの光学
的特徴を形成する前記ステップが、ダイヤモンドミリン
グのステップを含む、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
的特徴を形成する前記ステップが、ダイヤモンドミリン
グのステップを含む、ファイバー光学部品アレイを製造
する方法。
【００５１】前記第一の面に前記少なくとも二つの光学
的特徴を形成する前記ステップが、ダイヤモンド旋削の
ステップを含む、ファイバー光学部品アレイを製造する
方法。
的特徴を形成する前記ステップが、ダイヤモンド旋削の
ステップを含む、ファイバー光学部品アレイを製造する
方法。
【００５２】前記第一の面に前記少なくとも二つの光学
的特徴を形成する前記ステップが、エッチングのステッ
プを含む、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
的特徴を形成する前記ステップが、エッチングのステッ
プを含む、ファイバー光学部品アレイを製造する方法。
【図１ａ】レンズ面に対向する側に位置する認識マーク
を備えた先行技術のレンズアレイの透視図である。
を備えた先行技術のレンズアレイの透視図である。
【図１ｂ】本発明で使用される方法に従って製作された
光学系の透視図である。
光学系の透視図である。
【図２】本発明の方法に従って形成された光学的特徴を
有する透明な媒体に設定されたマイクロレンズアレイの
立面の側面図である。
有する透明な媒体に設定されたマイクロレンズアレイの
立面の側面図である。
【図３】透明な媒体の対向する面に認識マークを形成す
るために配置された認識マークを形成する手段を備えた
透明な媒体に設定されたマイクロレンズアレイの立面の
側面図である。
るために配置された認識マークを形成する手段を備えた
透明な媒体に設定されたマイクロレンズアレイの立面の
側面図である。
【図４】光学製品に対向する面におおよそ円形の認識マ
ークを有する光学製品の透視図である。
ークを有する光学製品の透視図である。
【図５】光学製品に対向する面におおよそ線形の交差し
た認識マークを有する本発明で使用される光学製品の透
視図である。
た認識マークを有する本発明で使用される光学製品の透
視図である。
【図６ａ】光学製品に対向する透明な媒体において対向
する面における対応する認識マークを備えた透明な媒体
の片面に複数の光学製品を有する本発明の代替の実施例
の透視図である。
する面における対応する認識マークを備えた透明な媒体
の片面に複数の光学製品を有する本発明の代替の実施例
の透視図である。
【図６ｂ】光学製品に対向する透明な媒体において対向
する面における対応する認識マークを備えた透明な媒体
の片面に複数の光学製品を有する本発明の代替の実施例
の透視図である。
する面における対応する認識マークを備えた透明な媒体
の片面に複数の光学製品を有する本発明の代替の実施例
の透視図である。
【図７】レーザーアレイを含む本発明の代替の実施例の
透視図である。
透視図である。
【図８】ファイバー光学部品アレイを含む本発明の別の
実施例の透視図である。
実施例の透視図である。
１ マイクロレンズ
２ 先行技術のマイクロレンズアレイ
３ 実装フランジ
５ 実装フランジ３の面
６ マイクロレンズ１を支持する実装フランジ３の面
７ 対向する面５における認識マーク
８ 光学的な群集
９ レーザーアレイ
９ａ レーザーアレイ９におけるレーザー
１０ 光学アレイ
１１ 屈折レンズアレイ
１１ａ 屈折レンズアレイ１１における屈折レンズ
１１ｂ 認識マーク用の面
１２ 透明な基板
１３ 屈折レンズアレイ１１用の認識マーク
１４ 実装面
１５ 精密な貫通孔
１６ 認識マーク１３を形成するために使用する追加
の光学的特徴 ２０ 追加の光学的特徴 ２２ マイクロレンズアレイ ２４ マイクロレンズアレイに対して反対の面におけ
る追加の光学的特徴２０の焦点 ２５、２９ 認識マーク ２６ 光の高い強度のコリメートされたビーム ２７ レーザー源 ２８ 追加の光学的特徴２０を通過するコリメートさ
れた光２６によって生じた焦点 ３０ マイクロレンズアレイ２２の反対側における認
識マーキングエリア ３１ 面３０における処理されたエリア ３２ マルチプルレンズの屈折レンズアレイ ４０ レンズアレイ ４１ 複数のレンズ ４２ おおよそ丸い認識マーク ４４ 透明な媒体 ４５ おおよそ丸い屈折レンズの特徴 ４６ 透明な媒体４４の第一の面 ４８ 透明な媒体４４の第二の面 ４９ 面４８の処理されたエリア ５０ 交差した線形の屈折レンズの特徴 ５２ 十字形状の認識マーク ５８、５９ 代替の両側光学アレイ ６０ 光学製品（光学アレイ５８における第一の複数
のレンズ） ６１、７０ 透明な媒体 ６１ａ、６１ｂ 透明な媒体６１における対向する面 ６２ 光学製品（光学アレイ５８における第二の複数
のレンズ） ６３ 面６１ａの処理された部分 ６４ 面６１ｂの処理された部分 ６５ 丸い上側の追加の光学的特徴 ６６ 見出された認識マーク ６８ 環状の下側の追加の光学的特徴 ６９ 環状の認識マーク ７０ａ、７０ｂ 透明な媒体７０における対向する面 ７２ 光学的特徴（レンズアレイ５９における第一の
複数のレンズ） ７４ 丸い追加の光学的特徴 ７６ 対向する面７０ｂの処理された部分 ７８ 丸いスポットの認識マーク ８０ 光学的特徴（レンズアレイ５９における第二の
複数のレンズ） ８３ 正方形の認識マーク ９０ レーザー ９２ レーザーアレイ１１０における交差した線形の
レンズ ９４、１０４ 下側の面におけるＸ形状の認識マーク ９６ レーザーアレイ１１０の透明な媒体 ９６ａ 透明な媒体９６の第一の面 ９６ｂ 透明な媒体９６の第二の面 ９７ 面９６ｂの処理された部分 １００ ファイバー光学部品ユニット １０２ 追加の光学的特徴 １０６ ファイバー光学部品アレイ１２０の透明な媒
体 １０６ａ 透明な媒体１０６の第一の面 １０６ｂ 透明な媒体１０６の対向する面 １０７ 面１０６ｂの処理された部分 １１０ レーザーアレイ １２０ ファイバー光学部品アレイ
の光学的特徴 ２０ 追加の光学的特徴 ２２ マイクロレンズアレイ ２４ マイクロレンズアレイに対して反対の面におけ
る追加の光学的特徴２０の焦点 ２５、２９ 認識マーク ２６ 光の高い強度のコリメートされたビーム ２７ レーザー源 ２８ 追加の光学的特徴２０を通過するコリメートさ
れた光２６によって生じた焦点 ３０ マイクロレンズアレイ２２の反対側における認
識マーキングエリア ３１ 面３０における処理されたエリア ３２ マルチプルレンズの屈折レンズアレイ ４０ レンズアレイ ４１ 複数のレンズ ４２ おおよそ丸い認識マーク ４４ 透明な媒体 ４５ おおよそ丸い屈折レンズの特徴 ４６ 透明な媒体４４の第一の面 ４８ 透明な媒体４４の第二の面 ４９ 面４８の処理されたエリア ５０ 交差した線形の屈折レンズの特徴 ５２ 十字形状の認識マーク ５８、５９ 代替の両側光学アレイ ６０ 光学製品（光学アレイ５８における第一の複数
のレンズ） ６１、７０ 透明な媒体 ６１ａ、６１ｂ 透明な媒体６１における対向する面 ６２ 光学製品（光学アレイ５８における第二の複数
のレンズ） ６３ 面６１ａの処理された部分 ６４ 面６１ｂの処理された部分 ６５ 丸い上側の追加の光学的特徴 ６６ 見出された認識マーク ６８ 環状の下側の追加の光学的特徴 ６９ 環状の認識マーク ７０ａ、７０ｂ 透明な媒体７０における対向する面 ７２ 光学的特徴（レンズアレイ５９における第一の
複数のレンズ） ７４ 丸い追加の光学的特徴 ７６ 対向する面７０ｂの処理された部分 ７８ 丸いスポットの認識マーク ８０ 光学的特徴（レンズアレイ５９における第二の
複数のレンズ） ８３ 正方形の認識マーク ９０ レーザー ９２ レーザーアレイ１１０における交差した線形の
レンズ ９４、１０４ 下側の面におけるＸ形状の認識マーク ９６ レーザーアレイ１１０の透明な媒体 ９６ａ 透明な媒体９６の第一の面 ９６ｂ 透明な媒体９６の第二の面 ９７ 面９６ｂの処理された部分 １００ ファイバー光学部品ユニット １０２ 追加の光学的特徴 １０６ ファイバー光学部品アレイ１２０の透明な媒
体 １０６ａ 透明な媒体１０６の第一の面 １０６ｂ 透明な媒体１０６の対向する面 １０７ 面１０６ｂの処理された部分 １１０ レーザーアレイ １２０ ファイバー光学部品アレイ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ジョン クロード パルヴァー
アメリカ合衆国 ニューヨーク 14559
スペンサーポート ソーンクリフ・ロード
５
(72)発明者 モーガン エイ スミス
アメリカ合衆国 ニューヨーク 14607
ロチェスター プリーム・ストリート 33
Ｆターム(参考） 2H037 CA11 DA11
4E068 AB01 CA11 DA00
Claims (3)
- 【請求項１】 透明な媒体の第一の面に支持されて配置
される複数のファイバー光学部品を含み、 前記透明な媒体は、前記第一の面に対向する第二の面を
有し、 前記複数のファイバー光学部品に隣接する前記透明な媒
体の前記第一の面に配置される少なくとも二つの光学的
特徴、及び前記透明な媒体の前記第二の面に形成される
前記少なくとも二つの光学的特徴の各々一つに精確に対
応する認識マークを含む、ファイバー光学部品アレイ。 - 【請求項２】 前記少なくとも二つの光学的特徴の各々
一つに対応する前記認識マークは、前記透明な媒体の前
記第二の面の処理された部分に形成される請求項１記載
のファイバー光学部品アレイ。 - 【請求項３】 複数のファイバー光学部品を有するファ
イバー光学部品アレイを製造する方法であって、 複数の開口を有する媒体を提供するステップを含み、 前記複数の開口の各々一つは、前記媒体の第一の面を少
なくとも部分的に通過し、 前記媒体は、前記第一の面に対向する第二の面を有し、 前記複数の開口は、前記複数のファイバー光学部品にお
ける一つのファイバー光学部品を支持するように構成さ
れ、 前記複数のファイバー光学部品の各々一つを前記複数の
開口の一つへ配置するステップを含み、 前記光学部品アレイに隣接する前記媒体の前記第一の面
に少なくとも二つの光学的特徴を形成するステップを含
み、 前記媒体の前記第二の面の少なくとも一部分を変えるス
テップを含み、 前記少なくとも二つの光学的特徴を通じて前記第二の面
の前記少なくとも一部分へ光のコリメートされたビーム
を向けるステップを含み、 前記少なくとも二つの光学的特徴は、前記第二の面の前
記少なくとも一部分へ前記光のコリメートされたビーム
を集束させて、それに精確に位置する少なくとも二つの
認識マークを形成する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US027748 | 2001-12-20 | ||
| US10/027,748 US6748145B2 (en) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | Fiber optic array and method of making same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003200278A true JP2003200278A (ja) | 2003-07-15 |
Family
ID=21839557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002368243A Pending JP2003200278A (ja) | 2001-12-20 | 2002-12-19 | ファイバー光学部品アレイ及びその製作方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6748145B2 (ja) |
| EP (1) | EP1321784A3 (ja) |
| JP (1) | JP2003200278A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008153140A1 (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | Nec Corporation | 光モジュール及びその製造方法 |
| JP2011149973A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光コネクタ装置 |
| US8366325B2 (en) | 2008-01-16 | 2013-02-05 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical module and method of manufacturing thereof |
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| US9063323B2 (en) | 2009-10-19 | 2015-06-23 | Pixar | Super light-field lens and image processing methods |
| US9197799B2 (en) * | 2009-10-19 | 2015-11-24 | Pixar | Super light field lens with focus control and non spherical lenslet arrays |
| US9063345B2 (en) * | 2009-10-19 | 2015-06-23 | Pixar | Super light-field lens with doublet lenslet array element |
| US8262297B2 (en) * | 2010-07-30 | 2012-09-11 | Tyco Electronics Corporation | Body having a dedicated lens for imaging an alignment feature |
| US8977088B2 (en) | 2010-07-30 | 2015-03-10 | Tyco-Electronics Corporation | Interposer with alignment features |
| US8757758B2 (en) * | 2011-08-25 | 2014-06-24 | Eastman Kodak Company | Multiple sided media pattern registration system |
| TWI461775B (zh) * | 2012-09-26 | 2014-11-21 | Delta Electronics Inc | 光通訊模組及其耦光組接方法 |
| US11892701B2 (en) | 2020-04-17 | 2024-02-06 | Apple Inc. | Lens mounting structures for head-mounted devices |
Family Cites Families (14)
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| US4904087A (en) * | 1987-07-06 | 1990-02-27 | American Telephone & Telegraph Co., At&T Bell Laboratories | Method for aligning photomasks |
| US5728324A (en) * | 1995-01-31 | 1998-03-17 | Digital Optics Corporation | Molding diffractive optical elements |
| US5850276A (en) | 1995-11-06 | 1998-12-15 | Sony Corporation | Method of making LCD device having alignment mark made of same material and formed at same time as microlenses |
| JP3405087B2 (ja) | 1995-11-06 | 2003-05-12 | ソニー株式会社 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
| JPH09311253A (ja) * | 1996-05-20 | 1997-12-02 | Fujitsu Ltd | 光結合構造とその製造方法 |
| US6005294A (en) | 1996-05-29 | 1999-12-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of arranging alignment marks |
| US6096155A (en) | 1996-09-27 | 2000-08-01 | Digital Optics Corporation | Method of dicing wafer level integrated multiple optical elements |
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| US6515800B1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-02-04 | Eastman Kodak Company | Microlens array |
-
2001
- 2001-12-20 US US10/027,748 patent/US6748145B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-12-09 EP EP02080197A patent/EP1321784A3/en not_active Withdrawn
- 2002-12-19 JP JP2002368243A patent/JP2003200278A/ja active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1321784A3 (en) | 2004-04-28 |
| US20030118290A1 (en) | 2003-06-26 |
| US6748145B2 (en) | 2004-06-08 |
| EP1321784A2 (en) | 2003-06-25 |
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