JP2003198191A - 作業ヘッドの移動方法 - Google Patents
作業ヘッドの移動方法Info
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- JP2003198191A JP2003198191A JP2002356427A JP2002356427A JP2003198191A JP 2003198191 A JP2003198191 A JP 2003198191A JP 2002356427 A JP2002356427 A JP 2002356427A JP 2002356427 A JP2002356427 A JP 2002356427A JP 2003198191 A JP2003198191 A JP 2003198191A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 位置決め精度を確保することができる作業ヘ
ッドの移動装置および移動方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ２つの平行な直動ガイド部に沿って水平
面内でＹ方向に移動するスライドガイドを連結し、モー
タ１０、送りねじ１１より成る直動駆動機構によって駆
動される連結部８によって作業ヘッドを移動させる作業
ヘッドの移動装置において、２つのスライドガイドのＹ
方向の位置ＹＲ，ＹＬをリニアスケール１７Ａ，１７Ｂ
によって検出し、リニアスケール１７Ａ，１７Ｂの配設
ピッチＰ、作業ヘッドの位置ＸおよびＹＲ，ＹＬに基づ
いて、作業ヘッドのＹ方向の位置ずれ誤差Δｙを求め、
位置補正する。これにより、直動駆動機構が連結部８の
重心位置に配置されていない場合においても作業ヘッド
の位置決め精度を確保することができる。
ッドの移動装置および移動方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 ２つの平行な直動ガイド部に沿って水平
面内でＹ方向に移動するスライドガイドを連結し、モー
タ１０、送りねじ１１より成る直動駆動機構によって駆
動される連結部８によって作業ヘッドを移動させる作業
ヘッドの移動装置において、２つのスライドガイドのＹ
方向の位置ＹＲ，ＹＬをリニアスケール１７Ａ，１７Ｂ
によって検出し、リニアスケール１７Ａ，１７Ｂの配設
ピッチＰ、作業ヘッドの位置ＸおよびＹＲ，ＹＬに基づ
いて、作業ヘッドのＹ方向の位置ずれ誤差Δｙを求め、
位置補正する。これにより、直動駆動機構が連結部８の
重心位置に配置されていない場合においても作業ヘッド
の位置決め精度を確保することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装用装
置に用いられ、電子部品移載ヘッドなどの作業ヘッドを
直動方向に移動させる作業ヘッドの移動方法に関するも
のである。
置に用いられ、電子部品移載ヘッドなどの作業ヘッドを
直動方向に移動させる作業ヘッドの移動方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品実装用装置においては、電子部
品を移送する移載ヘッドなどの各種の作業ヘッドが用い
られ、これらの作業ヘッドは一般に移動テーブルによっ
て駆動される。これらの移動テーブルの大部分は直線状
のスライドガイドによる直動機構を備えている。この直
動機構によって駆動される作業ヘッドなどの被駆動部が
直動方向と直交する方向に長いスパンを有する場合に
は、直動機構には通常複数のスライドガイドが用いられ
る。そしてこの被駆動部を、ボールねじなどの直動駆動
機構によって駆動することにより、作業ヘッドが複数の
スライドガイドによってガイドされ直動方向に移動す
る。
品を移送する移載ヘッドなどの各種の作業ヘッドが用い
られ、これらの作業ヘッドは一般に移動テーブルによっ
て駆動される。これらの移動テーブルの大部分は直線状
のスライドガイドによる直動機構を備えている。この直
動機構によって駆動される作業ヘッドなどの被駆動部が
直動方向と直交する方向に長いスパンを有する場合に
は、直動機構には通常複数のスライドガイドが用いられ
る。そしてこの被駆動部を、ボールねじなどの直動駆動
機構によって駆動することにより、作業ヘッドが複数の
スライドガイドによってガイドされ直動方向に移動す
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記複数のス
ライドガイドを用いた直動機構においては、直動駆動手
段を必ずしも被駆動部の重心位置、すなわちスライドガ
イドに対する直動負荷が均一となる位置に配置できない
場合が発生する。このような場合には、各スライドガイ
ドに作用する荷重が不均一となる結果、直動方向に対し
て被駆動部は水平面内でわずかに傾いた状態で移動す
る。このため、直動駆動機構への位置指示値と作業ヘッ
ドの実際の位置とは正しく一致せず、位置決め精度が低
下することとなっていた。
ライドガイドを用いた直動機構においては、直動駆動手
段を必ずしも被駆動部の重心位置、すなわちスライドガ
イドに対する直動負荷が均一となる位置に配置できない
場合が発生する。このような場合には、各スライドガイ
ドに作用する荷重が不均一となる結果、直動方向に対し
て被駆動部は水平面内でわずかに傾いた状態で移動す
る。このため、直動駆動機構への位置指示値と作業ヘッ
ドの実際の位置とは正しく一致せず、位置決め精度が低
下することとなっていた。
【０００４】そこで本発明は、位置決め精度を確保する
ことができる作業ヘッドの移動方法を提供することを目
的とする。
ことができる作業ヘッドの移動方法を提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の作業ヘッ
ドの移動方法は、電子部品実装用装置において作業ヘッ
ドを水平面内で移動させる作業ヘッドの移動方法であっ
て、前記水平面内の第１方向に相互に平行に配列された
第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平
面内で移動する第１直動スライド部および第２直動スラ
イド部の第１方向の位置をそれぞれ第１位置検出手段お
よび第２位置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結
合され前記第１直動スライド部および第２直動スライド
部を連結する連結部を第１直動駆動機構によって前記第
１方向に駆動する際に、前記位置検出結果に基づいて第
１直動駆動機構を制御することにより前記作業ヘッドの
第１方向の位置ずれ誤差を補正する。
ドの移動方法は、電子部品実装用装置において作業ヘッ
ドを水平面内で移動させる作業ヘッドの移動方法であっ
て、前記水平面内の第１方向に相互に平行に配列された
第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平
面内で移動する第１直動スライド部および第２直動スラ
イド部の第１方向の位置をそれぞれ第１位置検出手段お
よび第２位置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結
合され前記第１直動スライド部および第２直動スライド
部を連結する連結部を第１直動駆動機構によって前記第
１方向に駆動する際に、前記位置検出結果に基づいて第
１直動駆動機構を制御することにより前記作業ヘッドの
第１方向の位置ずれ誤差を補正する。
【０００６】請求項２記載の作業ヘッドの移動方法は、
請求項１記載の作業ヘッドの移動方法であって、前記作
業ヘッドは前記連結部に備えられ前記第１方向と直交す
る第２方向に移動する第２直動駆動機構によって第２方
向に移動可能となっており、前記第１方向の位置ずれ誤
差補正量を作業ヘッドの第２方向の位置に応じて変え
る。
請求項１記載の作業ヘッドの移動方法であって、前記作
業ヘッドは前記連結部に備えられ前記第１方向と直交す
る第２方向に移動する第２直動駆動機構によって第２方
向に移動可能となっており、前記第１方向の位置ずれ誤
差補正量を作業ヘッドの第２方向の位置に応じて変え
る。
【０００７】本発明によれば、相互に平行に配列された
第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平
面内で移動する第１直動スライド部および第２直動スラ
イド部の位置をそれぞれ第１位置検出手段および第２位
置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結合され前記
第１直動スライド部および第２直動スライド部を連結す
る連結部を第１直動駆動手段によって前記第１方向に駆
動する際に、位置検出結果に基づいて直動駆動手段を制
御して前記作業ヘッドの第１方向の位置ずれ誤差を補正
することにより、直動駆動機構が被駆動部の重心位置に
配置されていない場合においても作業ヘッドの位置決め
精度を確保することができる。
第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平
面内で移動する第１直動スライド部および第２直動スラ
イド部の位置をそれぞれ第１位置検出手段および第２位
置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結合され前記
第１直動スライド部および第２直動スライド部を連結す
る連結部を第１直動駆動手段によって前記第１方向に駆
動する際に、位置検出結果に基づいて直動駆動手段を制
御して前記作業ヘッドの第１方向の位置ずれ誤差を補正
することにより、直動駆動機構が被駆動部の重心位置に
配置されていない場合においても作業ヘッドの位置決め
精度を確保することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】まず本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の平面図、図２、図３は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置の移載ヘッド移動機構の位置補
正の説明図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の平面図、図２、図３は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置の移載ヘッド移動機構の位置補
正の説明図である。
【０００９】まず図１、図２を参照して電子部品実装装
置について説明する。図１において、基台１の中央部に
は、Ｘ方向に搬送路２が配設されている。搬送路２は、
基板３を搬送し位置決めする位置決め部となっている。
搬送路２の手前側には、電子部品の供給部４が配置され
ており、供給部４にはテーピングされた電子部品を供給
するテープフィーダ５が多数並設されている。
置について説明する。図１において、基台１の中央部に
は、Ｘ方向に搬送路２が配設されている。搬送路２は、
基板３を搬送し位置決めする位置決め部となっている。
搬送路２の手前側には、電子部品の供給部４が配置され
ており、供給部４にはテーピングされた電子部品を供給
するテープフィーダ５が多数並設されている。
【００１０】基台１上面の両端部には、それぞれガイド
レール６Ａ，６ＢがＹ方向に水平に配設されている。ガ
イドレール６Ａ，６Ｂは、それぞれ第１方向（Ｙ方向）
に相互に平行に配列された第１直動ガイド部および第２
直動ガイド部となっている。ガイドレール６Ａ，６Ｂに
は、それぞれスライドブロック７Ａ，７Ｂが摺動自在に
嵌合している。スライドブロック７Ａ，７Ｂは、第１直
動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平面内で
移動する第１直動スライド部および第２直動スライド部
となっている。
レール６Ａ，６ＢがＹ方向に水平に配設されている。ガ
イドレール６Ａ，６Ｂは、それぞれ第１方向（Ｙ方向）
に相互に平行に配列された第１直動ガイド部および第２
直動ガイド部となっている。ガイドレール６Ａ，６Ｂに
は、それぞれスライドブロック７Ａ，７Ｂが摺動自在に
嵌合している。スライドブロック７Ａ，７Ｂは、第１直
動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平面内で
移動する第１直動スライド部および第２直動スライド部
となっている。
【００１１】スライドブロック７Ａ，７Ｂは、連結部８
によって連結されており、連結部８には中心線から左側
に偏った位置に、ナット部材９が結合されており、ナッ
ト部材９にはモータ１０によって回転駆動される送りね
じ１１が螺合している。したがって、モータ１０を駆動
することにより連結部８はＹ方向に移動する。モータ１
０、送りねじ１１及びナット部材９は、連結部８を第１
方向に駆動する第１直動駆動機構となっている。
によって連結されており、連結部８には中心線から左側
に偏った位置に、ナット部材９が結合されており、ナッ
ト部材９にはモータ１０によって回転駆動される送りね
じ１１が螺合している。したがって、モータ１０を駆動
することにより連結部８はＹ方向に移動する。モータ１
０、送りねじ１１及びナット部材９は、連結部８を第１
方向に駆動する第１直動駆動機構となっている。
【００１２】ガイドレール６Ａ，６Ｂに沿って、リニア
スケール１７Ａ，１７Ｂが配設されており、リニアスケ
ール１７Ａ，１７Ｂは、スライドブロック７Ａ，７Ｂの
Ｙ方向の位置をそれぞれ検出する。したがってリニアス
ケール１７Ａ，１７Ｂは、それぞれ第１直動スライド部
および第２直動スライド部の第１方向の位置を検出する
第１位置検出手段、第２位置検出手段となっている。リ
ニアスケール１７Ａ，１７Ｂは、原点位置が厳密に一致
するように設定され、機械座標系に対して正しいＹ方向
の位置を検出できるようになっている。位置検出結果
は、制御部１８（制御手段）に送られる。制御部１８
は、これらの位置検出結果に基づいて、モータ１０を制
御する。
スケール１７Ａ，１７Ｂが配設されており、リニアスケ
ール１７Ａ，１７Ｂは、スライドブロック７Ａ，７Ｂの
Ｙ方向の位置をそれぞれ検出する。したがってリニアス
ケール１７Ａ，１７Ｂは、それぞれ第１直動スライド部
および第２直動スライド部の第１方向の位置を検出する
第１位置検出手段、第２位置検出手段となっている。リ
ニアスケール１７Ａ，１７Ｂは、原点位置が厳密に一致
するように設定され、機械座標系に対して正しいＹ方向
の位置を検出できるようになっている。位置検出結果
は、制御部１８（制御手段）に送られる。制御部１８
は、これらの位置検出結果に基づいて、モータ１０を制
御する。
【００１３】連結部８にはＸ方向にスライド自在に移動
ブロック１２が設けられており、移動ブロック１２には
作業ヘッドである移載ヘッド１６が装着されている。移
動ブロック１２を挿通して設けられたナット部材１３に
は、モータ１５によって回転駆動される送りねじ１４が
螺合している。モータ１５を駆動することにより、移載
ヘッド１６はＸ方向に移動する。したがって、モータ１
５、送りねじ１４及びナット部材１３は、連結部８に備
えられ、移載ヘッド１６をＸ方向（第２方向）に移動さ
せる第２直動駆動機構となっている。
ブロック１２が設けられており、移動ブロック１２には
作業ヘッドである移載ヘッド１６が装着されている。移
動ブロック１２を挿通して設けられたナット部材１３に
は、モータ１５によって回転駆動される送りねじ１４が
螺合している。モータ１５を駆動することにより、移載
ヘッド１６はＸ方向に移動する。したがって、モータ１
５、送りねじ１４及びナット部材１３は、連結部８に備
えられ、移載ヘッド１６をＸ方向（第２方向）に移動さ
せる第２直動駆動機構となっている。
【００１４】上記構成により、移載ヘッド１６は供給部
４及び搬送路２上をＸＹ方向に移動し、供給部４のテー
プフィーダ５から電子部品を取り出して、搬送路２上に
位置決めされた基板３上に移動し、基板３の実装点に電
子部品を実装する実装動作が可能となっている。この実
装動作において、移載ヘッド１６がＹ方向に移動する際
には、連結部８の左側部分に偏って結合された第１直動
駆動機構によって駆動される。このため、Ｙ方向の直動
駆動力は、連結部８が連結されたスライドブロック７
Ａ，７Ｂに対して左右対称には伝達されない。
４及び搬送路２上をＸＹ方向に移動し、供給部４のテー
プフィーダ５から電子部品を取り出して、搬送路２上に
位置決めされた基板３上に移動し、基板３の実装点に電
子部品を実装する実装動作が可能となっている。この実
装動作において、移載ヘッド１６がＹ方向に移動する際
には、連結部８の左側部分に偏って結合された第１直動
駆動機構によって駆動される。このため、Ｙ方向の直動
駆動力は、連結部８が連結されたスライドブロック７
Ａ，７Ｂに対して左右対称には伝達されない。
【００１５】この結果図２に示すように、スライドブロ
ック７Ａ，７ＢのＹ方向の位置ＹＬ，ＹＲは必ずしも一
致せず、連結部８に結合された移載ヘッド１６の実際の
位置は、指令位置からΔｙだけずれる。この位置ずれ
は、スライドブロック７Ａ，７Ｂとガイドレール６Ａ，
６Ｂとの嵌合隙間に起因するガタや、連結部８の撓み変
形などによって生じるものである。
ック７Ａ，７ＢのＹ方向の位置ＹＬ，ＹＲは必ずしも一
致せず、連結部８に結合された移載ヘッド１６の実際の
位置は、指令位置からΔｙだけずれる。この位置ずれ
は、スライドブロック７Ａ，７Ｂとガイドレール６Ａ，
６Ｂとの嵌合隙間に起因するガタや、連結部８の撓み変
形などによって生じるものである。
【００１６】この位置ずれを補正するため、本実施の形
態では以下に説明する方法で位置補正を行う。すなわ
ち、モータ１０を駆動して移載ヘッド１６のＹ方向移動
を行う際には、リニアスケール１７Ａ，１７Ｂによって
スライドブロック７Ａ，７Ｂの位置ＹＬ，ＹＲを検出
し、位置検出結果を制御部１８に送る。制御部１８は、
モータ１５に設けられたエンコーダからのパルス信号に
よって移載ヘッド１６のＸ方向の位置Ｘを常に把握して
おり、Ｙ方向の位置計測点間寸法、すなわちリニアスケ
ール１７Ａ，１７Ｂの配設ピッチＰと、これらの位置検
出結果ＹＬ，ＹＲ，Ｘから、（数１）によって移載ヘッ
ド１６のＹ方向の位置補正量Δｙを計算によって求め
る。
態では以下に説明する方法で位置補正を行う。すなわ
ち、モータ１０を駆動して移載ヘッド１６のＹ方向移動
を行う際には、リニアスケール１７Ａ，１７Ｂによって
スライドブロック７Ａ，７Ｂの位置ＹＬ，ＹＲを検出
し、位置検出結果を制御部１８に送る。制御部１８は、
モータ１５に設けられたエンコーダからのパルス信号に
よって移載ヘッド１６のＸ方向の位置Ｘを常に把握して
おり、Ｙ方向の位置計測点間寸法、すなわちリニアスケ
ール１７Ａ，１７Ｂの配設ピッチＰと、これらの位置検
出結果ＹＬ，ＹＲ，Ｘから、（数１）によって移載ヘッ
ド１６のＹ方向の位置補正量Δｙを計算によって求め
る。
【００１７】
【数１】
【００１８】そしてモータ１０を駆動して、求められた
位置補正量Δｙだけスライドブロック７Ａ、７Ｂを移動
させる。すなわち移載ヘッド１６が結合された連結部８
をモータ１０を駆動してＹ方向に駆動する際に、前記位
置検出結果に基づいてモータ１０を制御部１８によって
制御することにより、移載ヘッド１６のＹ方向の位置ず
れ誤差を補正する。これにより、駆動力の伝達位置が左
右対称でないことによるＹ方向の位置ずれを正しく補正
することができる。
位置補正量Δｙだけスライドブロック７Ａ、７Ｂを移動
させる。すなわち移載ヘッド１６が結合された連結部８
をモータ１０を駆動してＹ方向に駆動する際に、前記位
置検出結果に基づいてモータ１０を制御部１８によって
制御することにより、移載ヘッド１６のＹ方向の位置ず
れ誤差を補正する。これにより、駆動力の伝達位置が左
右対称でないことによるＹ方向の位置ずれを正しく補正
することができる。
【００１９】上記実施の形態では、移載ヘッド１６は連
結部８に備えられた第２直動駆動機構によってＸ方向に
移動可能となっており、Ｙ方向の位置ずれ誤差の補正量
は、移載ヘッド１６のＸ方向の位置に応じて自動的に変
えられるようになっている。移載ヘッド１６が連結部８
に固定的に結合されている場合には、上記Ｘ寸法は固定
寸法となる。
結部８に備えられた第２直動駆動機構によってＸ方向に
移動可能となっており、Ｙ方向の位置ずれ誤差の補正量
は、移載ヘッド１６のＸ方向の位置に応じて自動的に変
えられるようになっている。移載ヘッド１６が連結部８
に固定的に結合されている場合には、上記Ｘ寸法は固定
寸法となる。
【００２０】なお、上記実施の形態では、位置検出手段
として２つのリニアスケール１７Ａ，１７Ｂを用いる例
を示したが、連結部８における第１直動駆動機構の配設
位置が、いずれかのスライドブロックに近接して設けら
れている場合には、モータ１０のエンコーダからのパル
ス信号をＹ方向の位置検出手段からの検出信号の代用と
して用いてもよい。
として２つのリニアスケール１７Ａ，１７Ｂを用いる例
を示したが、連結部８における第１直動駆動機構の配設
位置が、いずれかのスライドブロックに近接して設けら
れている場合には、モータ１０のエンコーダからのパル
ス信号をＹ方向の位置検出手段からの検出信号の代用と
して用いてもよい。
【００２１】すなわち、図３に示すように、送りねじ１
１とリニアスケール１７Ｂとの距離Ｐ’、送りねじ１１
と移載ヘッド１６との距離Ｘ’を、それぞれ前述のＰ，
Ｘとして置き換える。これにより、Ｙ方向位置検出用の
リニアスケールはモータ１０による直動駆動機構の反対
側のみに設ければよく、機構の簡略化を図ることができ
る。
１とリニアスケール１７Ｂとの距離Ｐ’、送りねじ１１
と移載ヘッド１６との距離Ｘ’を、それぞれ前述のＰ，
Ｘとして置き換える。これにより、Ｙ方向位置検出用の
リニアスケールはモータ１０による直動駆動機構の反対
側のみに設ければよく、機構の簡略化を図ることができ
る。
【００２２】なお、上記実施の形態では、作業ヘッドと
して電子部品実装装置における移載ヘッドの例を示した
が、本発明の適用対象はこれに限定されず、ボンド塗布
装置や印刷装置など、直動機構を備えた装置であればよ
い。
して電子部品実装装置における移載ヘッドの例を示した
が、本発明の適用対象はこれに限定されず、ボンド塗布
装置や印刷装置など、直動機構を備えた装置であればよ
い。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、相互に平行に配列され
た第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水
平面内で移動する第１直動スライド部および第２直動ス
ライド部の位置をそれぞれ第１位置検出手段および第２
位置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結合され第
１直動スライド部および第２直動スライド部を連結する
連結部を直動駆動手段によって第１方向に駆動する際
に、位置検出結果に基づいて直動駆動手段を制御して作
業ヘッドの第１方向の位置ずれ誤差を補正するようにし
たので、直動駆動手段が被駆動部の重心位置に配置され
ていない場合においても作業ヘッドの位置決め精度を確
保することができる。
た第１直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水
平面内で移動する第１直動スライド部および第２直動ス
ライド部の位置をそれぞれ第１位置検出手段および第２
位置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結合され第
１直動スライド部および第２直動スライド部を連結する
連結部を直動駆動手段によって第１方向に駆動する際
に、位置検出結果に基づいて直動駆動手段を制御して作
業ヘッドの第１方向の位置ずれ誤差を補正するようにし
たので、直動駆動手段が被駆動部の重心位置に配置され
ていない場合においても作業ヘッドの位置決め精度を確
保することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平
面図
面図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移
載ヘッド移動機構の位置補正の説明図
載ヘッド移動機構の位置補正の説明図
【図３】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移
載ヘッド移動機構の位置補正の説明図
載ヘッド移動機構の位置補正の説明図
６Ａ，６Ｂ ガイドレール
７Ａ，７Ｂ スライドブロック
８ 連結部
９ ナット
１０ モータ
１１ 送りねじ
１６ 移載ヘッド
１８ 制御部
Claims (2)
- 【請求項１】電子部品実装用装置において作業ヘッドを
水平面内で移動させる作業ヘッドの移動方法であって、
前記水平面内の第１方向に相互に平行に配列された第１
直動ガイド部および第２直動ガイド部に沿って水平面内
で移動する第１直動スライド部および第２直動スライド
部の第１方向の位置をそれぞれ第１位置検出手段および
第２位置検出手段によって検出し、作業ヘッドが結合さ
れ前記第１直動スライド部および第２直動スライド部を
連結する連結部を第１直動駆動機構によって前記第１方
向に駆動する際に、前記位置検出結果に基づいて第１直
動駆動機構を制御することにより前記作業ヘッドの第１
方向の位置ずれ誤差を補正することを特徴とする作業ヘ
ッドの移動方法。 - 【請求項２】前記作業ヘッドは前記連結部に備えられ前
記第１方向と直交する第２方向に移動する第２直動駆動
機構によって第２方向に移動可能となっており、前記第
１方向の位置ずれ誤差補正量を作業ヘッドの第２方向の
位置に応じて変えることを特徴とする請求項１記載の作
業ヘッドの移動方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002356427A JP4080315B2 (ja) | 2002-12-09 | 2002-12-09 | 作業ヘッドの移動方法 |
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Publications (2)
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|---|---|
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| JP4080315B2 JP4080315B2 (ja) | 2008-04-23 |
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|---|---|---|---|
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