JP2003194658A

JP2003194658A - 洩れ検査装置の初期誤差補正方法及び装置

Info

Publication number: JP2003194658A
Application number: JP2001399735A
Authority: JP
Inventors: Akio Furuse; 昭男古瀬; Toshimitsu Furuse; 敏充古瀬
Original assignee: Cosmo Instruments Co Ltd
Current assignee: Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date: 2001-12-28
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2003-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】洩れ検査装置で発生する初期誤差を除去す
る。【解決手段】被検査体の開口部にシール治具を圧接
し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンク
に空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧
力差が発生することを検出して被検査体に洩れが有ると
判定する洩れ検査装置の誤差補正方法において、上記マ
スタタンク側に、擬似的に洩れを発生させこのこの洩れ
量を検査が繰返される毎に漸次低下する特性を付加した
洩れ検査装置の初期誤差補正方法を提案する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は例えばエンジンの
シリンダブロック、或はガス器具の部品、容器等の洩れ
の有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に検査開始直
後に発生する初期誤差を除去する洩れ検査装置の初期誤
差補正方法及び洩れ検査装置を提案しようとするもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】図５に一般的な洩れ検査装置の概略の構
成を示す。図中１１は空気圧源を示す。空気圧源１１で
発生した空気圧は調圧弁１２で調圧され、三方電磁弁１
４を通じて電磁弁１５，１６に印加される。電磁弁１５
の出口側にはシール治具１８を介して被検査体１９が接
続される。また電磁弁１６の出口側にはマスタタンク２
０が接続される。被検査体１９とマスタタンク２０に通
じる配管２１と２２の間に差圧計１７が接続され、被検
査体１９とマスタタンク２０内の空気圧に差が発生する
か否かを計測する。２３はこの差圧計１７で計測した差
圧値に応じて被検査体１９の洩れの有無を判定する検査
装置を示す。

【０００３】すなわち、空気圧源１１で発生した空気圧
は、圧力計１３の指示に従って調圧弁１２を操作し、一
定値に設定される。三方電磁弁１４は常時はＡ−Ｂ間が
導通状態に制御されているが、被検査体１９の検査が終
了する毎にＢ−Ｃ間が導通状態に制御され、被検査体１
９とマスタタンク２０に印加した空気圧を排気口Ｃを通
じて大気に開放させる動作を行なう。電磁弁１５，１６
は常時は閉の状態に維持されるが、被検査体１９の洩れ
の有無を検査する場合は所定の時間（数秒程度）開の状
態に制御され、空気圧源１１で発生した空気圧を被検査
体１９とマスタタンク２０に印加する。所定の圧力印加
時間が経過すると電磁弁１５，１６は閉じた状態に戻さ
れ、その直後から検査装置２３は差圧計１７の計測値を
監視する。この監視期間中に被検査体１９側の内圧が低
下する現象が発生した場合は、検査装置２３はその被検
査体１９に「洩れ有り」と判定する。

【０００４】図６を用いて洩れ検査装置の動作状況を説
明する。先ずシール治具１８に被検査体１９の開口部が
圧接された状態で電磁弁１５，１６が開かれ被検査体１
９とマスタタンク２０に時点ｔ０からｔ１までの間空気
圧を印加する。この期間を加圧期間と称す。加圧期間か
ら所定の時間の平衡期間を経て時点ｔ２から検査期間に
入る。検査期間の開始時に検査装置２３は差圧計１７で
検出している差圧計測値を電気的にゼロにリセットし、
検出感度を上昇させて差圧の発生を監視する。尚、平衡
期間中に大きな差圧が発生した場合は被検査体１９に大
きな洩れが有ると判定し、その被検査体１９に対しては
検査は中止され、被検査体１９の交換作業が行なわれ
る。図中曲線Ａ１とＡ２が差圧発生曲線を示す。曲線Ａ
１は差圧の発生量が小さく「洩れなし」と判定される場
合の差圧発生曲線、曲線Ａ２は差圧の発生量が大きく、
特に設定値ＮＧを越えていることから「洩れ有り」と判
定される場合の差圧発生曲線を示す。

【０００５】ここで図５に示したマスタタンク２０を装
備した洩れ検査装置では被検査体１９に洩れが全く無い
にも係わらず、曲線Ａ１に示すような差圧の発生が見ら
れる。この現象は被検査体１９とマスタタンク２０との
間の熱的なアンバランスによって発生するものと考えら
れている。つまり、マスタタンク２０は被検査体１９の
内容積にほぼ近い内容積に選定されるが、その周面には
放熱用のフィン等が形成され、空気圧の印加毎に蓄積さ
れる熱を放熱させる構造が付加されていたり、また空気
圧の供給用配管２２には接続されたままの状態に維持さ
れており、被検査体１９とは熱的に異なる環境下におか
れている。

【０００６】検査のために被検査体１９とマスタタンク
２０に空気圧を印加すると被検査体１９に洩れが無いに
も係わらずマスタタンク２０との間に空気圧の差が発生
する。このようにして発生する圧力差を一般にドリフト
（誤差）と称し、このドリフトの値が大きいと洩れのな
い被検査体を「洩れ有り」とする誤判定を下すおそれが
ある。本出願人は、このドリフトによる影響を軽減する
方法を種々提案し、解決に至る領域に達している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の洩
れ検査装置で充分長い休止期間（少なくとも数分〜数１
０分程度）の後に検査を開始すると、検査開始直後はド
リフトの発生量が大きく、被検査体を何回か検査する間
に漸次ドリフト量が低下する現象が見られる。この現象
のために検査開始直後の検査結果は信頼性が低い不都合
が生じる。この現象を図７を用いて説明する。図７にお
いて曲線Ｂ１は検査の１回目に発生する差圧発生曲線、
Ｂ２は２回目の検査時に発生する差圧発生曲線、Ｂ３は
３回目の検査時に発生する差圧発生曲線をそれぞれ示
す。被検査体１９として洩れの無い被検査体を用いたと
しても差圧発生曲線がＢ１，Ｂ２，Ｂ３…に示すように
変化し、検査回数が或る回数まで達すると、その差圧の
発生量は或る範囲に収束する現象が見られる。この現象
を以下では初期誤差と称すことにする。

【０００８】図８に実際の検査モードで発生した初期誤
差の様子を示す。時点ｔ０で検査が開始される。この状
態では大きな誤差Ｄ１が発生する。検査が開始される
と、約１０秒間隔程度の周期で検査が繰返される。検査
の回数が増えるに従って誤差はＤ２，Ｄ３，Ｄ４と漸次
低下し、或る値の範囲に収束する。ここで時点ｔ１で検
査を中断し、２分間休止して時点ｔ２で検査を再開する
と、その再開の１回目の検査では誤差が再び大きな値に
なる。更に時点ｔ３では５分間休止し、時点ｔ４で検査
を再開した。この直後の検査では前回の休止時間（２分
間）の場合より初期誤差が大きくなった。

【０００９】この実例から休止時間が入る毎に初期誤差
が発生し、更に休止時間が或る程度の時間（５分程度）
に達すると充分長い時間休止した場合と同じ程度の初期
誤差が発生することが解る。また１０秒程度の時間間隔
で検査を繰返している定常状態では初期誤差の発生量は
小さいことが確認された。初期誤差の発生要因としてはシール治具１８の変形、シール治具部分等に用いたボルト孔への内部洩れ等が考えられる。

【００１０】図９を用いての発生要因を考察する。シ
ール治具１８の構造としては、被検査体１９の開口部分
の構造によって種々の構造が採られるが、図９の構造が
最も一般的なシール治具の構造である。油圧或は空気圧
で動作するシリンダによって移動する圧接具１８Ａに例
えばゴム系の弾性材で構成されるシール部材１８Ｂが装
着され、このシール部材１８Ｂが被試験体１９の開口部
分に圧接される。シール部材１８Ｂの表面は当初（検査
開始時）には平坦面を形成するが、被検査体１９に接触
すると、その接触部分に圧着痕１８Ｃが形成される。圧
着痕１８Ｃは検査が繰返される毎に漸次深くなる傾向を
呈する。つまり、検査開始時には被検査体１９は平面状
のシール部材１８Ｂに接触して加締付けられ、かつ、シ
ール部材１８Ｂにはテスト圧が加わり、そのため変形す
る。洩れ検査中に変形現象が生じると内圧が変化する。
またシール部材１８Ｂは繰り返し圧力が加わるとなじむ
特性を呈する。このような理由から初期誤差が発生する
ものと考えられる。

【００１１】その理由を証明する一つの方法として、図
１１に示すようなシール治具を用いることが考えられ
る。このシール治具は圧接具１８Ａにオーリング１８Ｄ
を装着し、オーリング１８Ｄを被検査体１９に圧接させ
る構造とした場合を示す。このオーリング１８Ｄを用い
た構造によれば、オーリング１８Ｄは凹溝に嵌合してい
るため、圧縮力により変形する量は極くわずかであるこ
とと、加締の最終位置は圧接具１８Ａと被検査体１９と
が直接接触する位置で決められるため、シール治具１８
の加締のストロークは一定量に制限される。従ってシー
ル治具１８を被検査体１９に圧接させた場合に発生する
内容積の変化を最小限に抑えることができる利点があ
り、この構造のシール治具を用いることにより初期誤差
の発生量を抑えることができる。

【００１２】従って、シール治具１８を全てオーリング
１８Ｄを用いた構造とすればよいが、オーリング１８Ｄ
を用いる構造を採るには被検査体１９の接触部分の肉厚
Ｔ（図１１参照）が厚くなくてはならない制約がある。
このような制約が存在するため、どのような被検査体に
対してもオーリング１８Ｄを用いたシール治具を適用す
ることはできない。然も、初期誤差の発生要因はシール
治具以外にも存在することが考えられる。つまり、オー
リングで構成したシール治具を用いた場合でもシール治
具の構造によっては初期誤差が発生することからの発
生要因の存在が考えられる。

【００１３】シール部材１８Ｂを圧接具１８Ａに固定す
るためにボルト或はビス等を用いた場合、ネジ山の空隙
を通じて空気が漏れ、ネジ孔に空気が蓄積される現象が
考えられる。図１２にそのモデルを示す。圧接具１８Ａ
にシール部材１８Ｂをボルト２６で締付けて固定する構
造において、ボルト２６の頭部に接する面に検査のため
の空気圧が印加されるものとすると、ボルト２６のネジ
山の間隙を通じてボルト孔２７に空気が洩れることが考
えられる。ボルト孔２７の内容積がわずかであっても、
このような構造が各所に存在した場合には、その総量の
内容積は大きな値となる。またボルト２６のネジ山を通
じて洩れる空気の量はわずかでも、この洩れの発生個所
の数が多ければ大きな洩れ量となり、誤差の発生要因と
なり得る。

【００１４】このような締付構造は洩れ検査装置では各
所に存在し、締付部分で洩れが発生しないように組立が
行なわれるが、完全に洩れが無い状態に組立てることは
むずかしい。この締付構造において、洩れが発生したと
すると、洩れた空気がボルト孔２７に蓄積される。検査
回数が進むに従ってボルト孔２７内の内圧が上昇し、ボ
ルト孔２７の内圧が洩れ検査に用いる空気圧に達すると
洩れがゼロに至る特性を呈する。従って、この洩れが、
被検査体１９に空気圧を印加する加圧系路に存在したと
すると、被検査体１９の洩れとして検出され、この洩れ
が初期誤差として検査装置２３に検出される。

【００１５】この洩れの発生個所を特定し、洩れの発生
を阻止することはむずかしく、また人手が掛ることから
コストの上昇は避けられない。この発明の目的は初期誤
差を低コストで除去することができる洩れ検査装置の初
期誤差補正方法及び補正装置を提案しようとするもので
ある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この発明では被検査体の
開口部にシール治具を圧接し、被検査体を密封した状態
で被検査体とマスタタンクに空気圧を印加し、被検査体
とマスタタンクとの間に圧力差が発生することを検出し
て被検査体に洩れが有ると判定する洩れ検査装置の誤差
補正方法において、マスタタンク側に、擬似的に洩れを
発生させこの洩れ量を検査が繰返される毎に漸次減少す
る特性を付加した洩れ検査装置の初期誤差補正方法を提
案する。

【００１７】この発明では被検査体の開口部にシール治
具を圧接し、被検査体を密封した状態で被検査体とマス
タタンクに空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクと
の間に圧力差が発生するか否かを計測して被検査体の洩
れの有無を判定する洩れ検査装置において、マスタタン
ク側の内容積に流量制限弁を通じて所定の容積を持つ空
洞を接続し、これら流量制限弁と空洞とによって所定の
時間の範囲内で擬似洩れ量が飽和に至る擬似洩れ発生手
段を構成した洩れ検査装置を提案する。この発明では更
に上記した洩れ検査装置において、流量制限弁の流量又
は空洞の内容積の何れか一方又は双方を任意の値に設定
変更可能な構成とした洩れ検査装置を提案する。

【００１８】この発明では更に上記した洩れ検査装置に
おいて、マスタタンク側に洩れ量が飽和に至る時間が互
に異なる擬似洩れ発生手段を複数設け、これら複数の擬
似洩れ発生手段を開閉弁により選択的にマスタタンク側
に接続できる構成とした洩れ検査装置を提案する。作用この発明によればマスタタンク側に所定の時定数で擬似
洩れ量が飽和する擬似洩れ発生特性を付加したからこの
擬似洩れ発生特性により被検査体側に発生する初期誤差
を打消すことができる。また、特に擬似洩れ特性を任意
の特性に変更し設定することができる構成にすることに
より、どのような特性の初期誤差でも確実に除去するこ
とができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１にこの発明による洩れ検査装
置の初期誤差補正方法を実現することができる洩れ検査
装置の実施例を示す。図５と対応する部分には同一符号
を付して示す。この発明の特徴はマスタタンク２０に擬
似洩れ発生手段３０を設けた構成とした点である。この
擬似洩れ発生手段３０はマスタタンク２０側に擬似的に
洩れを発生させる流量制限弁３１と、この流量制限弁３
１で制限した空気の漏れを蓄える空洞３２とによって構
成することができる。

【００２０】図２にその詳細を示す。空洞３２は配管３
３によりマスタタンク２０に連結される。配管３３の途
中に流量制限弁３１を設ける。流量制限弁３１は絞りの
一方をネジ３１Ａにより出入り自在の構造とし、ネジ３
１Ａによってその突出量を調整して検査時に印加される
圧力に対して所定の流量を得るように設定する。流量制
限弁３１としては例えばマスタタンク２０内の圧力がＰ
_Hの場合、毎分０．５ｍｌ程度の微少な流量に制限する
流量制限特性とする。一方、空洞３２の内容積は初期誤
差が一定値に収束するまでの時間と、流量制限弁３１の
流量に応じて決定される。例えば検査が１０秒間隔で実
行され、６回の検査を実行すると初期誤差がほぼ収束す
るものとすると、検査の総時間は１０秒×６＝６０秒で
ある。この結果、６０秒の間に空洞３２の内圧がマスタ
タンク２０の内圧と等しくなればよいことになる。つま
り、擬似的な洩れの量が毎分０．５ｍｌとした場合１分
間で空洞３２の内圧がマスタタンク２０の内圧にほぼ等
しくなるように空洞３２の内容積を決定すればよい。こ
のようにして流量制限弁３１の流量と空洞３２の内容積
とを決定することにより初期誤差を除去することができ
る。

【００２１】尚、図２において、空洞３２はシリンダ３
２Ａとピストン３２Ｂと、このピストン３２Ｂの位置を
調整する調整ネジ３２Ｃとによって内容積を変化させる
ことができる構造とした場合を示す。従って調整ネジ３
２Ｃをツマミ３２Ｄによって回転操作することにより、
ピストン３２Ｂの位置を移動させることができる。ピス
トン３２Ｂの位置を移動させることにより空洞３２の内
容積を自由に設定し、変更できるように構成した場合を
示す。空洞３２の内容積を変更することにより、空洞３
２の内圧がマスタタンク２０の内圧と等しくなるまでの
時間（時定数）を任意の時間に設定することができる。

【００２２】また流量制限弁３１の流量を調整しても空
洞３２の内圧とマスタタンク２０内の内圧が等しくなる
までの時定数を変更することができる。図３はこの発明
の変形実施例を示す。この実施例ではマスタタンク２０
へ空気圧を供給する配管２２に時定数が異なる値に設定
した擬似洩れ発生手段３０−１と３０−２を設け、これ
ら擬似洩れ発生手段３０−１と３０−２を電磁弁３４−
１と３４−２で選択的に配管２２に接続できる構成とし
た場合を示す。この構成とすることにより、被検査体１
９側で発生する初期誤差の収束時間に合せて、適正な時
定数に設定された擬似洩れ発生手段３０−１，３０−２
を選択して使用することができる。

【００２３】また、これら複数の擬似洩れ発生手段３０
−１と３０−２を同時に接続することにより単体では得
られない他の時定数を持つ擬似洩れ発生手段を構成する
ことができる。また、この図３に示すように、２個の擬
似洩れ発生手段３０−１と３０−２を設けるだけでな
く、更に多くの擬似洩れ発生手段を設けることにより、
初期誤差を補正することを可能とする被検査体の品種を
増すことができる利点が得られる。ここで、上述したこ
の発明の初期誤差補正方法の詳細を数式を用いて説明す
る。図４Ａは被検査体１９側で発生する初期差圧発生特
性、図４Ｂは定常時の差圧発生特性、図４Ｃはこれらの
差を表わし、ここでは内部リークによる差圧をΔＰ１，
ΔＰ２と称す。

【００２４】差圧発生特性ΔＰは次式のように表され
る。 ΔＰ＝Ａ（１−ｅ^-Kt）・・・（１）内部リークΔＰ１とΔＰ２の特性データから減衰定数Ｋ
を求める。 ΔＰ１＝Ａ（１−ｅ^-K(t1+t2))−Ａ(１−ｅ^-Kt1)＝Ａｅ^-Kt1(１−ｅ^-Kt2）・・・（２） ΔＰ２＝Ａｅ^-Kt1(１−ｅ^-2Kt2）・・・（３）（２）と（３）式より、 ΔＰ１／ΔＰ２＝(１−ｅ^-Kt2）／(１−ｅ^-2Kt2）・・・（４）振幅Ａに関しては検出時間を充分長く採り、差圧変化が
なくなったときの差圧がΔＰであれば、Ａ＝ΔＰ・・・（５）マスタタンク側に設ける擬似洩れ発生手段３０は被検査
体１９の初期誤差を補正するものである。被検査体１９
側で発生する初期誤差はシール治具１８に内部リークが
あるとき、或はシール治具に時間的遅れがあるとき、等
価的に内部リークとみなされるのでマスタタンク２０側
にも類似した特性を作り出すことができれば被検査体１
９側の遅れ要素を補正することができる。マスタタンク
２０は実際に使用するときはフィンを等間隔に入れ、温
度的に安定し易い状態で使用する。このときのマスタタ
ンク２０の内容積をＶとする。

【００２５】テスト圧Ｐ_Hにて大気圧洩れ量Ｑ₀の流量
制限弁３１をマスタタンク２０に接続し、流量制限弁３
１の出口側に空洞３２を接続したときのマスタタンク２
０の内圧変化を考える。テスト圧Ｐ_Hがマスタタンク２
０に加わった瞬間は流量制限弁３１に流れる流量は大気
圧に流れる流量と同じである。空洞３２の内圧Ｐが次第
に高くなるため、流量制限弁３１に流れる流量は次第に
小さくなる。空洞３２の内圧がマスタタンク２０の内圧
に等しくなると流量制限弁３１に流れる流量はゼロにな
る。

【００２６】ボイルの法則によりＰ_H×Ｖ＋Ｐ₀×Ｖ_O＝（Ｐ_H−ΔＰ）×Ｖ＋Ｐ×Ｖ₀ ・・・（６） ΔＰ＝（Ｖ₀／Ｖ）×（Ｐ−Ｐ₀）・・・（７）（７）式がマスタタンク２０の差圧変化特性であり、マ
スタタンク２０の内圧は次式で表される。

【００２７】

【数１】（８）式を（７）式に代入

【００２８】

【数２】ここでΔＰ：マスタタンク２０の内圧変化Ｐ_H：初期テスト圧Ｖ：マスタタンク２０の内容積Ｖ₀：空洞３２の内容積Ｐ＝Ｐ（ｔ）：空洞３２の内圧Ｐ₀：大気圧力 α：流量制限弁３１で決まる流量係数ｔ：テスト圧Ｐ_Hを加えた時点からの経過時間（９）式と（１）式を比べると、Ａ＝（Ｖ₀／Ｖ）×（Ｐ_H−Ｐ₀）・・・（10）Ｋ＝α／Ｖ₀ ・・・（11）（１１）式の流量制限弁３１におけるαの値を確定する
には、流量制限弁３１の規定圧力における大気換算流量
と流量係数αの関係が明確になっていなければならな
い。

【００２９】テスト圧Ｐ_Hにおける流量制限弁３１の大
気換算流量をＱ₀とすると、リーク係数とリーク量の関
係は次式が成り立っていると仮定することができる。 α′＝β×Ｑ₀ ・・・（12） βを求めるためには疑似洩れ発生手段３０が付加された
マスタタンク２０の洩れ検査を実行し、（４）式から
Ｋ′を求めＫ′＝（β×Ｑ₀）／Ｖ₀′ ・・・（13） β＝Ｋ′×（Ｖ₀′／Ｑ₀）・・・（14）比例定数βが求まれば、流量制限弁３１のリーク係数α
は（１２）式より求めることができる。

【００３０】既知の流量制限弁３１の流量係数をαと固
定すれば（１１）式より空洞３２の容積Ｖ₀が決まる。
Ｖ₀が決まれば（１０）式よりマスタタンク２０の容積
Ｖを決めることができ、これにより疑似洩れ発生手段３
０の設定条件を決めることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
洩れ検査装置で発生する初期誤差を補正し除去すること
ができる。この結果、検査の初回から信頼性の高い検査
結果を得ることができる利点が得られ、この効果は実用
に供して頗る大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明で提案する洩れ検査装置の一実施例を
説明するためのブロック図。

【図２】この発明の要部の構造を説明するための断面
図。

【図３】この発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図。

【図４】この発明の補正動作を数式を用いて説明するた
めの特性曲線図。

【図５】従来の技術を説明するためのブロック図。

【図６】図５に示した従来の技術の動作を説明するため
のグラフ。

【図７】従来の洩れ検査装置で発生する初期誤差を説明
するためのグラフ。

【図８】図７と同様のグラフ。

【図９】従来の洩れ検査装置で発生する初期誤差の発生
要因を説明するための側面図。

【図１０】図９に示したシール部材に発生する変形を説
明するための拡大断面図。

【図１１】従来の技術で初期誤差の発生を抑えることが
できるシール部材の例を説明するための断面図。

【図１２】洩れ検査装置の内部で発生する洩れの発生要
因を説明するための断面図。

【符号の説明】

１１空気圧源１８シール治具１２調圧弁１９被検査体１３圧力計２０マスタタンク１４三方電磁弁３０擬似洩れ発生
手段１５，１６電磁弁３１流量制
限弁１７差圧計３２空洞

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体の開口部にシール治具を圧接
し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンク
に空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧
力差が発生することを検出して被検査体に洩れが有ると
判定する洩れ検査装置の誤差補正方法において、検査開始の初期状態において上記マスタタンク側に擬似
的に洩れを発生させ、この洩れ量を検査が繰返される毎
に漸次低下する特性を付加したことを特徴とする洩れ検
査装置の初期誤差補正方法。
【請求項２】被検査体の開口部にシール治具を圧接
し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンク
に空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧
力差が発生するか否かを計測して被検査体の洩れの有無
を判定する洩れ検査装置において、上記マスタタンク側の内容積に流量制限弁を通じて所定
の容積を持つ空洞を接続し、これら流量制限弁と上記空
洞とによって所定の時間の範囲内で擬似洩れ量が飽和に
至る擬似洩れ発生手段を構成したことを特徴とする洩れ
検査装置。
【請求項３】請求項２記載の洩れ検査装置において、
流量制限弁の流量又は空洞の内容積の何れか一方又は双
方を任意の値に設定変更可能な構成としたことを特徴と
する洩れ検査装置。
【請求項４】請求項２又は３記載の洩れ検査装置の何
れかにおいて、上記マスタタンク側に上記洩れ量が飽和
に至る時間が互に異なる擬似洩れ発生手段を複数設け、
これら複数の擬似洩れ発生手段を開閉弁により選択的に
上記マスタタンクに接続できる構成としたことを特徴と
する洩れ検査装置。