JP2003192356A - 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反応容器それ自体の熱膨張によって生じる反
応容器の歪みや破損を防止できる優れた多孔質ガラス母
材の製造装置及びこれを用いた製造方法を提供する。 【解決手段】 反応容器１内で、水平に配置されたコア
母材の表面に沿って複数のガラス微粒子生成用バーナを
部分的に順次移動させ、ガラス微粒子を堆積させる多孔
質ガラス母材の製造装置において、前記反応容器１を支
持する複数の支持部のうち、１箇所のみを底面又は基台
２上に固定し、他の支持部４を底面又は基台２上に滑動
自在とした多孔質ガラス母材の製造装置である。
応容器の歪みや破損を防止できる優れた多孔質ガラス母
材の製造装置及びこれを用いた製造方法を提供する。 【解決手段】 反応容器１内で、水平に配置されたコア
母材の表面に沿って複数のガラス微粒子生成用バーナを
部分的に順次移動させ、ガラス微粒子を堆積させる多孔
質ガラス母材の製造装置において、前記反応容器１を支
持する複数の支持部のうち、１箇所のみを底面又は基台
２上に固定し、他の支持部４を底面又は基台２上に滑動
自在とした多孔質ガラス母材の製造装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの原材
料として使用されるガラス母材を製造するための多孔質
ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法に関す
る。
料として使用されるガラス母材を製造するための多孔質
ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、太径のガラス母材（イン
ゴット）を延伸加工したガラスロッド、いわゆる、光フ
ァイバプリフォームを線引きして製造される。このガラ
ス母材は、軸付け法（ＣＶＤ法）や外付け法（ＯＶＤ
法）と呼ばれる一般に知られている方法で、多孔質ガラ
ス母材を製造した後、それを熱処理により透明ガラス化
して得られるものである。この太径の多孔質ガラス母材
の製造について、その生産性を向上させるため、様々な
提案がされている。
ゴット）を延伸加工したガラスロッド、いわゆる、光フ
ァイバプリフォームを線引きして製造される。このガラ
ス母材は、軸付け法（ＣＶＤ法）や外付け法（ＯＶＤ
法）と呼ばれる一般に知られている方法で、多孔質ガラ
ス母材を製造した後、それを熱処理により透明ガラス化
して得られるものである。この太径の多孔質ガラス母材
の製造について、その生産性を向上させるため、様々な
提案がされている。
【０００３】その中で、コア母材に沿って複数のガラス
微粒子生成用バーナ（以下、単にバーナと略称する）を
部分的に移動させ、高速でガラス微粒子を堆積する方法
（以下、部分トラバース法と略称する）が提案されてい
る（特許第２６１２９４９号公報参照）。この方法は、
従来の光ファイバ母材として有効となる領域部分以上に
バーナを往復移動させる方法（以下、全域トラバース法
と略称する）に比べ、不要部を増やすことなくバーナの
本数が増やせ、堆積速度を飛躍的に速くすることができ
る。
微粒子生成用バーナ（以下、単にバーナと略称する）を
部分的に移動させ、高速でガラス微粒子を堆積する方法
（以下、部分トラバース法と略称する）が提案されてい
る（特許第２６１２９４９号公報参照）。この方法は、
従来の光ファイバ母材として有効となる領域部分以上に
バーナを往復移動させる方法（以下、全域トラバース法
と略称する）に比べ、不要部を増やすことなくバーナの
本数が増やせ、堆積速度を飛躍的に速くすることができ
る。
【０００４】この部分トラバース法は、製品となる有効
な範囲乃至それ以上の範囲に亘ってバーナを並べ、その
有効な範囲より短い範囲でバーナを移動させる方法であ
り、全域トラバース法のように並べたバーナの範囲分に
対応して生じる不要部を作ることなく、移動距離に対応
した不要部ができるだけであり、この不要部は、バーナ
本数には依存しない。このため、バーナ本数を増やして
も不要部が増えず、バーナ本数の増加分の生産性向上が
可能となる。
な範囲乃至それ以上の範囲に亘ってバーナを並べ、その
有効な範囲より短い範囲でバーナを移動させる方法であ
り、全域トラバース法のように並べたバーナの範囲分に
対応して生じる不要部を作ることなく、移動距離に対応
した不要部ができるだけであり、この不要部は、バーナ
本数には依存しない。このため、バーナ本数を増やして
も不要部が増えず、バーナ本数の増加分の生産性向上が
可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バーナ
本数を増やすということは、投入熱量も増え、移動方法
の違いにより、加熱範囲に違いが生じる。ここで、全域
トラバース法及び部分トラバース法について、概略を説
明する。図５及び図６は、それぞれ全域トラバース法及
び部分トラバース法の反応容器内の概略図である。図５
に示すように、全域トラバース法による製造装置は、反
応容器１１内に、ガラス微粒子堆積体１９が配置され、
コア用ロッド１６がロッド把持具１５によって挟持さ
れ、回転するように構成されている。また、比較的少数
のバーナ１７が矢印方向に移動しながら、原料ガス等を
供給する構造となっている。なお、反応容器１１の上部
には、排気フード１８が設置されている。また、図６に
示すように、部分トラバース法による製造装置は、多数
のバーナを配置し、バーナの移動範囲を短く設定するこ
とで、不要部を短くしている。
本数を増やすということは、投入熱量も増え、移動方法
の違いにより、加熱範囲に違いが生じる。ここで、全域
トラバース法及び部分トラバース法について、概略を説
明する。図５及び図６は、それぞれ全域トラバース法及
び部分トラバース法の反応容器内の概略図である。図５
に示すように、全域トラバース法による製造装置は、反
応容器１１内に、ガラス微粒子堆積体１９が配置され、
コア用ロッド１６がロッド把持具１５によって挟持さ
れ、回転するように構成されている。また、比較的少数
のバーナ１７が矢印方向に移動しながら、原料ガス等を
供給する構造となっている。なお、反応容器１１の上部
には、排気フード１８が設置されている。また、図６に
示すように、部分トラバース法による製造装置は、多数
のバーナを配置し、バーナの移動範囲を短く設定するこ
とで、不要部を短くしている。
【０００６】図７（ａ）〜（ｃ）は、全域トラバース法
による反応容器が受ける熱とバーナ配置との関係を概念
的に示したものであり、図８（ａ），（ｂ）は、部分ト
ラバース法による場合を示している。図７及び図８から
明らかなように、部分トラバース法は、全域トラバース
法に比べ、バーナ本数が多いため加熱範囲が広く、バー
ナが一部分しか移動しないため、加熱源が常に特定の範
囲に存在することになり、反応容器の熱を受ける範囲は
大きくなる。このように部分トラバース法では、熱を受
ける範囲が大きくなり、反応容器自体の熱膨張が大きく
なっていた。
による反応容器が受ける熱とバーナ配置との関係を概念
的に示したものであり、図８（ａ），（ｂ）は、部分ト
ラバース法による場合を示している。図７及び図８から
明らかなように、部分トラバース法は、全域トラバース
法に比べ、バーナ本数が多いため加熱範囲が広く、バー
ナが一部分しか移動しないため、加熱源が常に特定の範
囲に存在することになり、反応容器の熱を受ける範囲は
大きくなる。このように部分トラバース法では、熱を受
ける範囲が大きくなり、反応容器自体の熱膨張が大きく
なっていた。
【０００７】この反応容器は、通常、それを囲む装置フ
レームに固定されるか、あるいは図９に示すように、反
応容器１１の下部に設けられた複数の支持部１３、１
３、１３…によって床面１２等に固定される。しかし、
部分トラバース法において、反応容器１１を完全に拘束
することは、熱膨張の逃げ場を無くすことになり、熱膨
張によって生じた応力により、反応容器の歪みや破損を
招くという不利があった。そこで、本発明は、反応容器
それ自体の熱膨張によって生じる反応容器の歪みや破損
を防止できる優れた多孔質ガラス母材の製造装置及びこ
れを用いた製造方法を提供することを課題とする。
レームに固定されるか、あるいは図９に示すように、反
応容器１１の下部に設けられた複数の支持部１３、１
３、１３…によって床面１２等に固定される。しかし、
部分トラバース法において、反応容器１１を完全に拘束
することは、熱膨張の逃げ場を無くすことになり、熱膨
張によって生じた応力により、反応容器の歪みや破損を
招くという不利があった。そこで、本発明は、反応容器
それ自体の熱膨張によって生じる反応容器の歪みや破損
を防止できる優れた多孔質ガラス母材の製造装置及びこ
れを用いた製造方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を解決するため、鋭意研究を重ねた結果、実用上極めて
望ましい多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた
製造方法を見出し、本発明を完成させた。すなわち、本
発明は、反応容器内で、水平に配置されたコア母材の表
面に沿って複数のバーナを部分的に順次移動させ、ガラ
ス微粒子を堆積させる多孔質ガラス母材の製造装置にお
いて、前記反応容器を支持する複数の支持部のうち、１
箇所のみを底面又は基台上に固定し、他の支持部を底面
又は基台上に滑動自在とした多孔質ガラス母材の製造装
置である。また、本発明の多孔質ガラス母材の製造装置
は、コア母材を回転させる回転駆動部を、反応容器の外
に設置させる構造とすることが好ましい。その理由は、
回転機構間、つまり把持具間の距離が熱膨張により変化
することを防ぐためである。さらに、本発明の多孔質ガ
ラス母材の製造装置は、底面又は基台上に固定される１
箇所のみの支持部が、角部以外の位置に形成されること
によって、反応容器の熱膨張の方向を分散でき、伸縮量
を少なくすることができることに加えて、熱膨張を意図
した方向に誘導することができる。本発明は、このよう
な構成からなる製造装置を用いることにより、装置に大
きな負荷をかけることなく、高速に製造することが可能
となる。
を解決するため、鋭意研究を重ねた結果、実用上極めて
望ましい多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた
製造方法を見出し、本発明を完成させた。すなわち、本
発明は、反応容器内で、水平に配置されたコア母材の表
面に沿って複数のバーナを部分的に順次移動させ、ガラ
ス微粒子を堆積させる多孔質ガラス母材の製造装置にお
いて、前記反応容器を支持する複数の支持部のうち、１
箇所のみを底面又は基台上に固定し、他の支持部を底面
又は基台上に滑動自在とした多孔質ガラス母材の製造装
置である。また、本発明の多孔質ガラス母材の製造装置
は、コア母材を回転させる回転駆動部を、反応容器の外
に設置させる構造とすることが好ましい。その理由は、
回転機構間、つまり把持具間の距離が熱膨張により変化
することを防ぐためである。さらに、本発明の多孔質ガ
ラス母材の製造装置は、底面又は基台上に固定される１
箇所のみの支持部が、角部以外の位置に形成されること
によって、反応容器の熱膨張の方向を分散でき、伸縮量
を少なくすることができることに加えて、熱膨張を意図
した方向に誘導することができる。本発明は、このよう
な構成からなる製造装置を用いることにより、装置に大
きな負荷をかけることなく、高速に製造することが可能
となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。本発明の製造装置に使用される反応
容器は、通常用いられるものであればよく、フレーム，
内壁，断熱材，外装板とから主に構成され、例えば、格
子状に組まれたフレームに内壁となる部材を溶接などで
固定し、室内への熱の放出を防ぐ目的で断熱材と外装板
が内壁の外側に取り付けられる。
て詳細に説明する。本発明の製造装置に使用される反応
容器は、通常用いられるものであればよく、フレーム，
内壁，断熱材，外装板とから主に構成され、例えば、格
子状に組まれたフレームに内壁となる部材を溶接などで
固定し、室内への熱の放出を防ぐ目的で断熱材と外装板
が内壁の外側に取り付けられる。
【００１０】反応容器の形状は、図１に示すような箱型
が主に採用されるが、この他にも種々の形状が挙げら
れ、バーナ及びコア母材が内部に収容できる形状であれ
ば特に制限はない。また、反応容器の材質としては、例
えば、ＳＵＳステンレス鋼あるいは一部にＳＵＳステン
レス鋼が使用されたものが挙げられるが、バーナの加熱
温度に耐え得ることができ、反応ガスに耐性を有してい
れば、特に制限はない。反応容器の支持部は床面又は基
台上に設置される。この支持部は、通常、４箇所または
５箇所に設置されるが、反応容器が大きい場合には、例
えば、６箇所、７箇所、８箇所、９箇所など、必要に応
じて設置箇所を適宜選択すればよい。
が主に採用されるが、この他にも種々の形状が挙げら
れ、バーナ及びコア母材が内部に収容できる形状であれ
ば特に制限はない。また、反応容器の材質としては、例
えば、ＳＵＳステンレス鋼あるいは一部にＳＵＳステン
レス鋼が使用されたものが挙げられるが、バーナの加熱
温度に耐え得ることができ、反応ガスに耐性を有してい
れば、特に制限はない。反応容器の支持部は床面又は基
台上に設置される。この支持部は、通常、４箇所または
５箇所に設置されるが、反応容器が大きい場合には、例
えば、６箇所、７箇所、８箇所、９箇所など、必要に応
じて設置箇所を適宜選択すればよい。
【００１１】本発明は、図１に示すように、反応容器１
の設置時に支持部が固定される部分、すなわち、床面又
は基台２との接点の内、１箇所の支持部３のみを固定
し、残りの支持部を固定せずに滑動自在（可動化）な可
動支持部４、４…にすることが重要であって、このよう
な構造とすることによって、内壁及びフレームの受ける
熱膨張を反応容器１の伸びとして逃がすことができ、熱
膨張及びその熱膨張の繰り返しによる、反応容器の恒久
的な変形や破損を防止することができる。
の設置時に支持部が固定される部分、すなわち、床面又
は基台２との接点の内、１箇所の支持部３のみを固定
し、残りの支持部を固定せずに滑動自在（可動化）な可
動支持部４、４…にすることが重要であって、このよう
な構造とすることによって、内壁及びフレームの受ける
熱膨張を反応容器１の伸びとして逃がすことができ、熱
膨張及びその熱膨張の繰り返しによる、反応容器の恒久
的な変形や破損を防止することができる。
【００１２】上記で固定される支持部３の固定場所とし
ては、特に角部以外の位置に形成するのが好ましい。例
えば、図２乃至図４に示す位置が挙げられる。なお、こ
れらの図は、いずれも図１に示す反応容器の平面概略図
である。図２に示す例は、反応容器下面の中心位置近傍
に支持部３を設けて固定する場合であり、反応容器１の
熱膨張とともに、可動支持部４、４…は支持部３を中心
として放射状に矢印の方向に滑動し、熱膨張を放射状に
逃がすことができる。これによって、反応容器１の伸縮
量を従来よりも大幅に少なくすることができる。
ては、特に角部以外の位置に形成するのが好ましい。例
えば、図２乃至図４に示す位置が挙げられる。なお、こ
れらの図は、いずれも図１に示す反応容器の平面概略図
である。図２に示す例は、反応容器下面の中心位置近傍
に支持部３を設けて固定する場合であり、反応容器１の
熱膨張とともに、可動支持部４、４…は支持部３を中心
として放射状に矢印の方向に滑動し、熱膨張を放射状に
逃がすことができる。これによって、反応容器１の伸縮
量を従来よりも大幅に少なくすることができる。
【００１３】また、図３に示す例は、反応容器１の縁部
の略中央部に支持部３を設けて固定し、反応容器１の角
部及び縁部の５箇所に可動支持部４、４…を設ける場合
であり、反応容器１の熱膨張とともに、可動支持部４、
４…は、支持部３を中心として熱膨張を矢印の方向に大
きく滑動して逃すことができる。さらに、図４に示す例
は、反応容器１の中心からやゝ右側に寄った位置に支持
部３を設けて固定し、反応容器１の角部及び縁部の６箇
所に可動支持部４、４…を設ける場合であり、反応容器
１の熱膨張とともに、可動支持部４、４…は支持部３を
中心として熱膨張を放射状に矢印の方向、特に左方に大
きく滑動して逃がすことができる。このように、支持部
３の固定位置によって熱膨張を逃がす方向を選択するこ
とができるため、固定される支持部３の位置は、反応容
器１の設置位置、まわりの機器や作業スペース等を考慮
して決めることができる。
の略中央部に支持部３を設けて固定し、反応容器１の角
部及び縁部の５箇所に可動支持部４、４…を設ける場合
であり、反応容器１の熱膨張とともに、可動支持部４、
４…は、支持部３を中心として熱膨張を矢印の方向に大
きく滑動して逃すことができる。さらに、図４に示す例
は、反応容器１の中心からやゝ右側に寄った位置に支持
部３を設けて固定し、反応容器１の角部及び縁部の６箇
所に可動支持部４、４…を設ける場合であり、反応容器
１の熱膨張とともに、可動支持部４、４…は支持部３を
中心として熱膨張を放射状に矢印の方向、特に左方に大
きく滑動して逃がすことができる。このように、支持部
３の固定位置によって熱膨張を逃がす方向を選択するこ
とができるため、固定される支持部３の位置は、反応容
器１の設置位置、まわりの機器や作業スペース等を考慮
して決めることができる。
【００１４】この際、可動支持部４、４…の形態は、表
面を平滑にした基材上を滑らせる構造でも、車やころな
どを用いて、床面又は基台２上を箱型の反応容器１が滑
る構造でもよい。ただし、その構造は熱膨張の方向に滑
動できるようにすることが重要である。また、転倒防止
の目的で可動化機構の高さ方向に制限を加えてもよい。
さらに、支持部の形状は、通常、用いられているもので
あれば、特に制限はない。
面を平滑にした基材上を滑らせる構造でも、車やころな
どを用いて、床面又は基台２上を箱型の反応容器１が滑
る構造でもよい。ただし、その構造は熱膨張の方向に滑
動できるようにすることが重要である。また、転倒防止
の目的で可動化機構の高さ方向に制限を加えてもよい。
さらに、支持部の形状は、通常、用いられているもので
あれば、特に制限はない。
【００１５】本発明に用いられる製造装置において、回
転駆動部は独立させた構成とするのがよく、回転部に取
り付けられている把持具間の距離が反応容器の熱膨張に
左右されることなく、一定とすることができる。
転駆動部は独立させた構成とするのがよく、回転部に取
り付けられている把持具間の距離が反応容器の熱膨張に
左右されることなく、一定とすることができる。
【００１６】本発明の製造方法は、このような製造装置
を用いて、多孔質ガラス母材を製造することにあり、バ
ーナのガス条件等は、通常行なわれている方法の条件で
行なえばよく、これによって、反応容器の歪みや破損を
効果的に解消することができる。
を用いて、多孔質ガラス母材を製造することにあり、バ
ーナのガス条件等は、通常行なわれている方法の条件で
行なえばよく、これによって、反応容器の歪みや破損を
効果的に解消することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の具体的態様を実施例に基づい
て説明するが、本発明はこの実施例の記載に限定される
ものではない。 ［実施例１］図１に示すような反応容器を用いて、以下
のように堆積を行なった。四方に設置した支持部（中心
位置を含め５本）の内、中心位置の１本をアンカー止め
にして床面に固定し、支持部より面積の広い厚さ３０ｍ
ｍの金属板を床面２の上に敷き、表面にグリスを塗布し
た後、この金属板上に他の４本の支持部を載せた。床に
敷いた金属板は、動かぬよう、アンカー止めとし、この
金属板上を支持部が滑り、熱膨張を逃がす構造とした。
なお、反応容器は、横３．５ｍ、高さ２ｍ、奥行き１．
５ｍで、バーナ用の開口部と排気用の開口部を有する。
この反応容器内において、以下の条件で堆積を行なっ
た。
て説明するが、本発明はこの実施例の記載に限定される
ものではない。 ［実施例１］図１に示すような反応容器を用いて、以下
のように堆積を行なった。四方に設置した支持部（中心
位置を含め５本）の内、中心位置の１本をアンカー止め
にして床面に固定し、支持部より面積の広い厚さ３０ｍ
ｍの金属板を床面２の上に敷き、表面にグリスを塗布し
た後、この金属板上に他の４本の支持部を載せた。床に
敷いた金属板は、動かぬよう、アンカー止めとし、この
金属板上を支持部が滑り、熱膨張を逃がす構造とした。
なお、反応容器は、横３．５ｍ、高さ２ｍ、奥行き１．
５ｍで、バーナ用の開口部と排気用の開口部を有する。
この反応容器内において、以下の条件で堆積を行なっ
た。
【００１８】バーナのガス条件は、堆積初期において、
Ｈ2ガス５０Ｎｌ／ｍｉｎ・バーナ、Ｏ2 ガス３０Ｎｌ
／ｍｉｎ・バーナ、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ4）３．
５ｇ／ｍｉｎ・バーナとし、堆積終了時にＨ2 ガス１０
０Ｎｌ／ｍｉｎ・バーナ、Ｏ 2 ガス５０Ｎｌ／ｍｉｎ・
バーナ、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ4）２３ｇ／ｍｉｎ
・バーナとなるように、スート外径の成長に合わせ調整
した。バーナの横移動速度は、高速移動軸について１０
００ｍｍ／ｍｉｎ、低速移動軸について２０ｍｍ／ｍｉ
ｎとし、移動距離はそれぞれ１５０ｍｍとした。また、
バーナは、１０本を１５０ｍｍ間隔で設置し、スートと
の距離が一定となるように堆積中調整した。堆積中、反
応容器の状態を観察し、その結果は以下のとおりであっ
た。 （結果）堆積中の反応容器の温度は、従来通りであった
が、堆積後の反応容器の内壁に歪みは見られなかった。
この時の反応容器の変形量は、支持部の部分の移動量で
１０ｍｍであった。このように、支持部を滑動自在にす
ることで熱膨張が逃がせ、反応容器の歪みを解消でき
た。
Ｈ2ガス５０Ｎｌ／ｍｉｎ・バーナ、Ｏ2 ガス３０Ｎｌ
／ｍｉｎ・バーナ、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ4）３．
５ｇ／ｍｉｎ・バーナとし、堆積終了時にＨ2 ガス１０
０Ｎｌ／ｍｉｎ・バーナ、Ｏ 2 ガス５０Ｎｌ／ｍｉｎ・
バーナ、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ4）２３ｇ／ｍｉｎ
・バーナとなるように、スート外径の成長に合わせ調整
した。バーナの横移動速度は、高速移動軸について１０
００ｍｍ／ｍｉｎ、低速移動軸について２０ｍｍ／ｍｉ
ｎとし、移動距離はそれぞれ１５０ｍｍとした。また、
バーナは、１０本を１５０ｍｍ間隔で設置し、スートと
の距離が一定となるように堆積中調整した。堆積中、反
応容器の状態を観察し、その結果は以下のとおりであっ
た。 （結果）堆積中の反応容器の温度は、従来通りであった
が、堆積後の反応容器の内壁に歪みは見られなかった。
この時の反応容器の変形量は、支持部の部分の移動量で
１０ｍｍであった。このように、支持部を滑動自在にす
ることで熱膨張が逃がせ、反応容器の歪みを解消でき
た。
【００１９】［比較例１］反応容器を支持する支持部が
全てアンカー止めで固定された図６に示す反応容器を用
いて、実施例と同じ条件で、堆積を行なったところ、以
下のような結果が得られた。 （結果）堆積中の反応容器は、内壁温度が最高３００℃
を超え、堆積後の反応容器は、熱膨張の逃げ場がなく、
内壁に歪みが生じていた。この歪みは中央部の方が大き
かった。
全てアンカー止めで固定された図６に示す反応容器を用
いて、実施例と同じ条件で、堆積を行なったところ、以
下のような結果が得られた。 （結果）堆積中の反応容器は、内壁温度が最高３００℃
を超え、堆積後の反応容器は、熱膨張の逃げ場がなく、
内壁に歪みが生じていた。この歪みは中央部の方が大き
かった。
【００２０】［評価の結果］上記の結果からも明らかな
ように、本発明の製造装置では、複数の支持部のうち１
箇所のみを固定し、他の支持部を滑動自在としたことに
より、熱膨張を放射状に逃すことができ、反応容器の歪
みを解消できるのに対し、比較例の製造装置では、全て
の支持部を固定していたため、熱膨張によって、反応容
器に歪みが生じ、不都合が発生していた。
ように、本発明の製造装置では、複数の支持部のうち１
箇所のみを固定し、他の支持部を滑動自在としたことに
より、熱膨張を放射状に逃すことができ、反応容器の歪
みを解消できるのに対し、比較例の製造装置では、全て
の支持部を固定していたため、熱膨張によって、反応容
器に歪みが生じ、不都合が発生していた。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、反応容器を支持する支
持部が、床面又は基台との複数の接点のうち、１箇所の
みで固定され、残りを滑動自在とすることによって、反
応容器の熱膨張を逃がすことができ、反応容器の熱応力
による破損を軽減することができる。このとき、固定さ
れる支持部の位置を反応容器の底面中心近傍とする場合
には、熱膨張を放射状に分散でき、最も伸縮量を小さく
抑えることができる。また、本発明によれば、熱膨張を
逃がす方向を任意に設定することができるため、固定さ
れる支持部の位置を反応容器の設置位置、まわりの機器
や作業スペース等を考慮して決めることができる。
持部が、床面又は基台との複数の接点のうち、１箇所の
みで固定され、残りを滑動自在とすることによって、反
応容器の熱膨張を逃がすことができ、反応容器の熱応力
による破損を軽減することができる。このとき、固定さ
れる支持部の位置を反応容器の底面中心近傍とする場合
には、熱膨張を放射状に分散でき、最も伸縮量を小さく
抑えることができる。また、本発明によれば、熱膨張を
逃がす方向を任意に設定することができるため、固定さ
れる支持部の位置を反応容器の設置位置、まわりの機器
や作業スペース等を考慮して決めることができる。
【図１】 本発明の製造装置に用いられる反応容器の一
例を示す概略説明図である。
例を示す概略説明図である。
【図２】 図１の反応容器の概略平面図である。
【図３】 本発明の製造装置に用いられる反応容器の他
の例を示す概略平面図である。
の例を示す概略平面図である。
【図４】 本発明の製造装置に用いられる反応容器のさ
らに他の例を示す概略平面図である。
らに他の例を示す概略平面図である。
【図５】 全域トラバース法による反応容器内を示す概
略説明図である。
略説明図である。
【図６】 部分トラバース法による反応容器内を示す概
略説明図である。
略説明図である。
【図７】 （ａ）〜（ｃ）は、全域トラバース法の加熱
範囲を示す概略説明図である。
範囲を示す概略説明図である。
【図８】 （ａ）及び（ｂ）は、部分トラバース法の加
熱範囲を示す概略説明図である。
熱範囲を示す概略説明図である。
【図９】 従来の反応容器の一例を示す概略説明図であ
る。
る。
１，１１ 反応容器
２，１２ 床面又は基台
３，１３ 支持部
４ 可動支持部
１５ ロッド把持具（回転部は図示せず）
１６ コア用ロッド（コア母材）
１７ バーナ
１８ 排気フード
１９ ガラス微粒子堆積体
フロントページの続き
(72)発明者 島田 忠克
群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化
学工業株式会社精密機能材料研究所内
(72)発明者 横川 清
群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化
学工業株式会社精密機能材料研究所内
Ｆターム(参考） 4G014 AH14
4G021 EA03 EB11
Claims (4)
- 【請求項１】 反応容器内で、水平に配置されたコア母
材の表面に沿って複数のガラス微粒子生成用バーナを部
分的に順次移動させ、ガラス微粒子を堆積させる多孔質
ガラス母材の製造装置において、前記反応容器を支持す
る複数の支持部のうち、１箇所のみを底面又は基台上に
固定し、他の支持部を底面又は基台上に滑動自在とした
ことを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項２】 コア母材を回転させる回転駆動部を、前
記反応容器の外に設置する請求項１に記載の多孔質ガラ
ス母材の製造装置。 - 【請求項３】 底面又は基台上に固定される１箇所のみ
の支持部が、角部以外の位置に形成される請求項１に記
載の多孔質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の装置
を用いて多孔質ガラス母材を製造することを特徴とする
多孔質ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001396363A JP2003192356A (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 |
| DE60239504T DE60239504D1 (de) | 2001-05-08 | 2002-05-07 | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von einer Vorform für optische Fasern durch Abscheidung |
| EP02090166A EP1256553B1 (en) | 2001-05-08 | 2002-05-07 | Apparatus and method for producing a glass preform for optical fibres by deposition |
| US10/140,436 US20020194879A1 (en) | 2001-05-08 | 2002-05-08 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
| US11/987,538 US20080087048A1 (en) | 2001-05-08 | 2007-11-30 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
| US14/054,571 US20140144188A1 (en) | 2001-05-08 | 2013-10-15 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001396363A JP2003192356A (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003192356A true JP2003192356A (ja) | 2003-07-09 |
Family
ID=27602478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001396363A Pending JP2003192356A (ja) | 2001-05-08 | 2001-12-27 | 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003192356A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006231383A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| WO2009066535A1 (ja) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | 燃料電池システム |
| JP2012066973A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 |
-
2001
- 2001-12-27 JP JP2001396363A patent/JP2003192356A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006231383A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
| JP4628137B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-02-09 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
| WO2009066535A1 (ja) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | 燃料電池システム |
| US9029035B2 (en) | 2007-11-20 | 2015-05-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| JP2012066973A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置及びこれを用いた製造方法 |
| US8561432B2 (en) | 2010-09-24 | 2013-10-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for fabricating porous glass preform |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060313 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060420 |
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