JP2003185597A5 - - Google Patents
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- シートの厚み方向に複数の貫通孔を有し、該貫通孔にゲルを保持したキャピラリー・アレイ・シートの検査方法であって、
受光装置の対物レンズの光軸上に、照明装置を配置し、
該受光装置と照明装置の間に、キャピラリー・アレイ・シートをその表面が光軸と直交するように配置し、
受光装置を光軸上で相対的に移動させ、複数の位置でキャピラリー・アレイ・シートを透過した透過光の光量パターンを読み取ること、
を含む、検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001385035A JP4002097B2 (ja) | 2001-12-18 | 2001-12-18 | キャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001385035A JP4002097B2 (ja) | 2001-12-18 | 2001-12-18 | キャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003185597A JP2003185597A (ja) | 2003-07-03 |
| JP2003185597A5 true JP2003185597A5 (ja) | 2005-07-28 |
| JP4002097B2 JP4002097B2 (ja) | 2007-10-31 |
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ID=27594610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001385035A Expired - Fee Related JP4002097B2 (ja) | 2001-12-18 | 2001-12-18 | キャピラリー・アレイ・シートの検査装置及び検査方法 |
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| JP (1) | JP4002097B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008076223A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 円筒状透明体の検査方法とそれに用いる検査装置 |
| JP5198820B2 (ja) * | 2006-09-26 | 2013-05-15 | 三菱レイヨン株式会社 | キャピラリー・アレイ・シート検査装置及び検査方法 |
| JP5845601B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2016-01-20 | 三菱レイヨン株式会社 | ゲル濃度測定用チップ、ゲルの濃度を測定する方法、およびゲル濃度測定装置 |
| CN105548179A (zh) * | 2015-12-04 | 2016-05-04 | 深圳市赛尔生物技术有限公司 | 一种基于透射光或自发光测定生物芯片的方法及系统 |
| CN110095491B (zh) * | 2019-05-09 | 2021-08-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台 |
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2001
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