JP2003183898A - めっき液濃度自動調整装置及び方法 - Google Patents
めっき液濃度自動調整装置及び方法Info
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- JP2003183898A JP2003183898A JP2001387286A JP2001387286A JP2003183898A JP 2003183898 A JP2003183898 A JP 2003183898A JP 2001387286 A JP2001387286 A JP 2001387286A JP 2001387286 A JP2001387286 A JP 2001387286A JP 2003183898 A JP2003183898 A JP 2003183898A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 めっき液の金属濃度の検出に時間遅れを生じ
ることがなく、ｐＨの低い領域でも精度高くめっき液の
濃度を自動調整する。 【解決手段】 ヒーター１０を具備する温度調節計１１
と、電磁導電率検出器４と、入口と出口とを回収タンク
１と連結し回収タンク１内の使用めっき液を循環させる
循環管２２と、使用めっき液受入れ配管とを備えた回収
タンク１と；補給めっき液を貯留する補給タンク７と；
めっき槽に供給するめっき液を貯留する供給タンク９
と；循環管２２に介装した切替弁３及び６と；前記電磁
導電率検出器４の信号を取り込み回収タンク１に供給す
る補給めっき液供給量を制御すると共に、回収タンク１
内のめっき液中の金属濃度が所定値に達した時に回収タ
ンク１内のめっき液を供給タンク９に送る信号を切替弁
６に送る制御部５と；を有するめっき液濃度自動調整装
置。
ることがなく、ｐＨの低い領域でも精度高くめっき液の
濃度を自動調整する。 【解決手段】 ヒーター１０を具備する温度調節計１１
と、電磁導電率検出器４と、入口と出口とを回収タンク
１と連結し回収タンク１内の使用めっき液を循環させる
循環管２２と、使用めっき液受入れ配管とを備えた回収
タンク１と；補給めっき液を貯留する補給タンク７と；
めっき槽に供給するめっき液を貯留する供給タンク９
と；循環管２２に介装した切替弁３及び６と；前記電磁
導電率検出器４の信号を取り込み回収タンク１に供給す
る補給めっき液供給量を制御すると共に、回収タンク１
内のめっき液中の金属濃度が所定値に達した時に回収タ
ンク１内のめっき液を供給タンク９に送る信号を切替弁
６に送る制御部５と；を有するめっき液濃度自動調整装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、めっき液の電磁導
電率を計測することによりめっき液中の金属濃度を検出
し、めっき液の電磁導電率が所定の範囲となるよう追液
の補給を制御してめっき液の濃度を自動的に調整するめ
っき液濃度自動調整装置及びその方法に関する。
電率を計測することによりめっき液中の金属濃度を検出
し、めっき液の電磁導電率が所定の範囲となるよう追液
の補給を制御してめっき液の濃度を自動的に調整するめ
っき液濃度自動調整装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】工業的にめっきを行う際にめっき液の濃
度を自動で管理する方法としては、例えば、めっき液の
ｐＨを測定して炭酸ニッケルを補給する方法（特開平６
−３３６６９９号公報記載）、めっき液の通電量を測定
して積算通電量から算出した理論ニッケル量を炭酸ニッ
ケル粉末として補給する方法（特開２０００−２７３７
００号公報記載）等が挙げられる。
度を自動で管理する方法としては、例えば、めっき液の
ｐＨを測定して炭酸ニッケルを補給する方法（特開平６
−３３６６９９号公報記載）、めっき液の通電量を測定
して積算通電量から算出した理論ニッケル量を炭酸ニッ
ケル粉末として補給する方法（特開２０００−２７３７
００号公報記載）等が挙げられる。
【０００３】しかしながら、これらの方法はいずれも欠
点を有するものであった。すなわち、前者の方法は、ｐ
Ｈとニッケルイオン濃度とは必ずしも相関関係があるわ
けではなく、特にｐＨの低い領域ではめっきによりニッ
ケルイオンが減少しているにもかかわらずｐＨの変化は
ほとんどみられないなど精度が低いという問題がある。
また、後者の方法は、積算通電量を算出するため、一定
の時間めっき液の通電量をモニタリングしなければなら
ず、時間遅れが生じてしまうという問題が避けられなか
った。
点を有するものであった。すなわち、前者の方法は、ｐ
Ｈとニッケルイオン濃度とは必ずしも相関関係があるわ
けではなく、特にｐＨの低い領域ではめっきによりニッ
ケルイオンが減少しているにもかかわらずｐＨの変化は
ほとんどみられないなど精度が低いという問題がある。
また、後者の方法は、積算通電量を算出するため、一定
の時間めっき液の通電量をモニタリングしなければなら
ず、時間遅れが生じてしまうという問題が避けられなか
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、めっき液の金属濃度の検出に時間遅れを生じること
がなく、ｐＨが低い領域でも精度良くめっき液の濃度を
自動調整することができるめっき液濃度自動調整装置及
びその方法を提供することにある。
は、めっき液の金属濃度の検出に時間遅れを生じること
がなく、ｐＨが低い領域でも精度良くめっき液の濃度を
自動調整することができるめっき液濃度自動調整装置及
びその方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、以下に記載するものである。
明は、以下に記載するものである。
【０００６】〔１〕 ヒーターを具備する温度調節計
と、電磁導電率検出器と、入口と出口とを回収タンクと
連結し回収タンク内の使用めっき液を循環させる循環管
と、使用めっき液受入れ配管とを備えた回収タンクと；
補給めっき液を貯留する補給タンクと；めっき槽に供給
するめっき液を貯留する供給タンクと；循環管に介装し
た切替弁と；前記電磁導電率検出器の信号を取り込み回
収タンクに供給する補給めっき液供給量を制御すると共
に、回収タンク内のめっき液中の金属濃度が所定値に達
したときに回収タンク内のめっき液を供給タンクに送る
信号を切替弁に送る制御部と；を有するめっき液濃度自
動調整装置。
と、電磁導電率検出器と、入口と出口とを回収タンクと
連結し回収タンク内の使用めっき液を循環させる循環管
と、使用めっき液受入れ配管とを備えた回収タンクと；
補給めっき液を貯留する補給タンクと；めっき槽に供給
するめっき液を貯留する供給タンクと；循環管に介装し
た切替弁と；前記電磁導電率検出器の信号を取り込み回
収タンクに供給する補給めっき液供給量を制御すると共
に、回収タンク内のめっき液中の金属濃度が所定値に達
したときに回収タンク内のめっき液を供給タンクに送る
信号を切替弁に送る制御部と；を有するめっき液濃度自
動調整装置。
【０００７】〔２〕 制御部が電磁導電率検出器の測定
値を温度補正する手段を有する〔１〕記載のめっき液濃
度自動調整装置。
値を温度補正する手段を有する〔１〕記載のめっき液濃
度自動調整装置。
【０００８】〔３〕 回収タンクがｐＨ指示計又は酸化
還元電位計を備えた〔１〕又は〔２〕記載のめっき液濃
度自動調整装置。
還元電位計を備えた〔１〕又は〔２〕記載のめっき液濃
度自動調整装置。
【０００９】〔４〕 めっき槽でめっきに使用しためっ
き液を回収タンクへ送り、温度調節された回収タンクの
めっき液の電磁導電率を計測することによりめっき液の
金属濃度を検出して、金属濃度が所定の範囲となるまで
補給タンクから追液を補給することにより回収タンクの
めっき液の金属濃度を調整し、金属濃度が調整されため
っき液を供給タンクに貯留し、必要時にめっき液を供給
タンクからめっき槽へ供給するめっき液濃度自動調整方
法。
き液を回収タンクへ送り、温度調節された回収タンクの
めっき液の電磁導電率を計測することによりめっき液の
金属濃度を検出して、金属濃度が所定の範囲となるまで
補給タンクから追液を補給することにより回収タンクの
めっき液の金属濃度を調整し、金属濃度が調整されため
っき液を供給タンクに貯留し、必要時にめっき液を供給
タンクからめっき槽へ供給するめっき液濃度自動調整方
法。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明のめっき液濃度自
動調整装置の一例を示す概略図である。
動調整装置の一例を示す概略図である。
【００１１】回収タンク１は、電磁導電率計検出器４、
ヒーター１０を具備する温度調節計１１及びｐＨ計又は
酸化還元電位計１２を備えている。また、回収タンク１
の底部には、循環管２２の一端側入口２２ａが連結して
あり、循環管２２の他端側出口２２ｂは回収タンク１の
上方に配設してある。なお、前記循環管２２には、入口
２２ａから順次回収・送液切替弁３、回収・送液ポンプ
２、及び循環・送液切替弁６を介装している。送液管２
１はめっき槽３０及び回収・送液切替弁３の流路ａと連
結している。送液管２３は、循環・送液切替弁６の流路
ｂと供給タンク９と連結している。送液管２４は補給タ
ンク７と回収タンク１を連結し、補給ポンプ８を介装し
ている。
ヒーター１０を具備する温度調節計１１及びｐＨ計又は
酸化還元電位計１２を備えている。また、回収タンク１
の底部には、循環管２２の一端側入口２２ａが連結して
あり、循環管２２の他端側出口２２ｂは回収タンク１の
上方に配設してある。なお、前記循環管２２には、入口
２２ａから順次回収・送液切替弁３、回収・送液ポンプ
２、及び循環・送液切替弁６を介装している。送液管２
１はめっき槽３０及び回収・送液切替弁３の流路ａと連
結している。送液管２３は、循環・送液切替弁６の流路
ｂと供給タンク９と連結している。送液管２４は補給タ
ンク７と回収タンク１を連結し、補給ポンプ８を介装し
ている。
【００１２】回収タンク１に備えられる電磁導電率計検
出器４としては、特開平８−２２００３６号公報記載の
検出器を用いるのが好ましい。
出器４としては、特開平８−２２００３６号公報記載の
検出器を用いるのが好ましい。
【００１３】めっき槽３０内の使用されためっき液は、
回収・送液切替弁３の流路ａ、及び循環・送液切替弁６
の流路ａが開くことにより、回収・送液ポンプ２の作動
により、めっき槽から送液管２１、循環管２２を通って
回収タンク１へ送られる。一旦回収タンク１内に貯留さ
れためっき液は、回収・送液切替弁３の流路ｂ、及び循
環・送液切替弁６の流路ａを開くことにより回収・送液
ポンプ２の作動により循環管２２を循環させる。めっき
液が循環管２２を循環することで、回収タンク１内のめ
っき液は攪拌される。
回収・送液切替弁３の流路ａ、及び循環・送液切替弁６
の流路ａが開くことにより、回収・送液ポンプ２の作動
により、めっき槽から送液管２１、循環管２２を通って
回収タンク１へ送られる。一旦回収タンク１内に貯留さ
れためっき液は、回収・送液切替弁３の流路ｂ、及び循
環・送液切替弁６の流路ａを開くことにより回収・送液
ポンプ２の作動により循環管２２を循環させる。めっき
液が循環管２２を循環することで、回収タンク１内のめ
っき液は攪拌される。
【００１４】循環管２２を循環するめっき液は、循環・
送液切替弁６の流路ａが閉じられ流路ｂが開くことによ
り供給タンク９に貯留される。回収タンク１に貯留され
循環管２２を通って循環しているめっき液は、温度調節
計１１に接続されたヒーター１０により温められ、温度
調節計１１によりめっき液の温度が所定の範囲となるよ
う調節されている。補給タンク７に貯留されている追液
は、補給ポンプ８の作動により回収タンク１に補給され
る。
送液切替弁６の流路ａが閉じられ流路ｂが開くことによ
り供給タンク９に貯留される。回収タンク１に貯留され
循環管２２を通って循環しているめっき液は、温度調節
計１１に接続されたヒーター１０により温められ、温度
調節計１１によりめっき液の温度が所定の範囲となるよ
う調節されている。補給タンク７に貯留されている追液
は、補給ポンプ８の作動により回収タンク１に補給され
る。
【００１５】回収タンク１に備えられた電磁導電率計検
出器４により検出された電磁導電率のデータは制御部５
に送られる。制御部５は、電磁導電率計検出器４から送
られたデータと、下記のプログラムに従い回収・送液切
替弁３、循環・送液切替弁６、回収・送液ポンプ２、及
び補給ポンプ８を制御する。
出器４により検出された電磁導電率のデータは制御部５
に送られる。制御部５は、電磁導電率計検出器４から送
られたデータと、下記のプログラムに従い回収・送液切
替弁３、循環・送液切替弁６、回収・送液ポンプ２、及
び補給ポンプ８を制御する。
【００１６】本発明のめっき濃度自動調整装置の制御部
５において実行されるプログラムのフロー図を図２に示
す。まず、回収・送液切替弁３の流路ａ及び循環・送液
切替弁６の流路ａが開き、回収・送液ポンプ２が作動す
ることにより、めっき槽で使用されためっき液は、めっ
き槽から回収タンク１へ送られる。回収・送液ポンプ２
は一定の時間が経過した後、タイマーにより送液を自動
的にストップし、めっき槽から回収タンク１への送液が
停止する。回収タンク１内のめっき液の温度を測定し、
温度が所定の範囲であれば、所定時間経過後に電磁導電
率計検出器４で電磁導電率を計測する。電磁導電率計検
出器４で計測が開始されるとともに、回収・送液切替弁
３の流路ｂが開かれ、回収・送液ポンプ３が作動し、回
収タンク１内に貯留されためっき液は循環管２２を循環
する。電磁導電率計検出器４の測定値が予め設定された
下限値よりも低い場合には、補給ポンプ８が作動し、補
給タンク７から追液が補給される。補給ポンプ８はタイ
マーにより一定の時間が経過した後自動的にストップさ
れる。追液が補給された回収タンク１では再び温度が測
定され、温度が所定の範囲であれば、電磁導電率計検出
器４で電磁導電率が計測されるというルーチンを繰返
す。電磁導電率計検出器４の測定値が所定の範囲内であ
れば、循環・送液切替弁３の流路ｂが開き、めっき液は
循環管２２の循環を停止し、供給タンク９に貯留され
る。回収・送液ポンプ２は一定の時間が経過した後タイ
マーにより自動的にストップし、回収タンク１から供給
タンク９への送液は停止する。
５において実行されるプログラムのフロー図を図２に示
す。まず、回収・送液切替弁３の流路ａ及び循環・送液
切替弁６の流路ａが開き、回収・送液ポンプ２が作動す
ることにより、めっき槽で使用されためっき液は、めっ
き槽から回収タンク１へ送られる。回収・送液ポンプ２
は一定の時間が経過した後、タイマーにより送液を自動
的にストップし、めっき槽から回収タンク１への送液が
停止する。回収タンク１内のめっき液の温度を測定し、
温度が所定の範囲であれば、所定時間経過後に電磁導電
率計検出器４で電磁導電率を計測する。電磁導電率計検
出器４で計測が開始されるとともに、回収・送液切替弁
３の流路ｂが開かれ、回収・送液ポンプ３が作動し、回
収タンク１内に貯留されためっき液は循環管２２を循環
する。電磁導電率計検出器４の測定値が予め設定された
下限値よりも低い場合には、補給ポンプ８が作動し、補
給タンク７から追液が補給される。補給ポンプ８はタイ
マーにより一定の時間が経過した後自動的にストップさ
れる。追液が補給された回収タンク１では再び温度が測
定され、温度が所定の範囲であれば、電磁導電率計検出
器４で電磁導電率が計測されるというルーチンを繰返
す。電磁導電率計検出器４の測定値が所定の範囲内であ
れば、循環・送液切替弁３の流路ｂが開き、めっき液は
循環管２２の循環を停止し、供給タンク９に貯留され
る。回収・送液ポンプ２は一定の時間が経過した後タイ
マーにより自動的にストップし、回収タンク１から供給
タンク９への送液は停止する。
【００１７】供給タンク９で上記のように濃度を調整し
ためっき液を貯留しておき、貯留していためっき液を必
要時にめっき槽へ送液することによりめっき液の金属濃
度を自動調整することができる。
ためっき液を貯留しておき、貯留していためっき液を必
要時にめっき槽へ送液することによりめっき液の金属濃
度を自動調整することができる。
【００１８】電磁導電率計検出器４により検出される電
磁導電率は、めっき液の温度により値が変化するので、
検出した測定値は制御部５に設けた温度補正する手段に
より補正する。
磁導電率は、めっき液の温度により値が変化するので、
検出した測定値は制御部５に設けた温度補正する手段に
より補正する。
【００１９】また、めっきによりめっき液中の金属イオ
ンが消費されるが、補給タンク７から補給される追液は
金属塩を溶解させた溶液であるので、対イオンが消費さ
れずにめっき液中に残る。したがって、回収タンク１内
のめっき液のｐＨ又は酸化還元電位を測定し、適宜ｐＨ
又は酸化還元電位を調整するのが好ましい。
ンが消費されるが、補給タンク７から補給される追液は
金属塩を溶解させた溶液であるので、対イオンが消費さ
れずにめっき液中に残る。したがって、回収タンク１内
のめっき液のｐＨ又は酸化還元電位を測定し、適宜ｐＨ
又は酸化還元電位を調整するのが好ましい。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、めっき液の電磁導電率
を測定することにより金属濃度を検出して、めっき槽に
必要な濃度のめっき液を供給するようにしたので、めっ
き液を長期間に亘り安定に使用できる。更に、電磁導電
率計はめっき液と非接触で測定するので、検出器の損傷
がなく、長期運転に耐える。従って従来の電極を用いて
導電率を測定する場合のように電極に金属が析出したり
電極材料がめっき液に溶出してめっき液を汚染したりす
ることがないうえ、時間遅れが生じることなくめっき液
の金属濃度を制御することができる。
を測定することにより金属濃度を検出して、めっき槽に
必要な濃度のめっき液を供給するようにしたので、めっ
き液を長期間に亘り安定に使用できる。更に、電磁導電
率計はめっき液と非接触で測定するので、検出器の損傷
がなく、長期運転に耐える。従って従来の電極を用いて
導電率を測定する場合のように電極に金属が析出したり
電極材料がめっき液に溶出してめっき液を汚染したりす
ることがないうえ、時間遅れが生じることなくめっき液
の金属濃度を制御することができる。
【図１】図１は、本発明のめっき液濃度自動調整装置の
一例を示す概略図である。
一例を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明のめっき液濃度自動調整装置の
制御部で行うプログラムを示すフロー図である。
制御部で行うプログラムを示すフロー図である。
１ 回収タンク
２ 回収・送液ポンプ
３ 回収・送液切替弁
４ 電磁導電率計検出器
５ 制御部
６ 循環・送液切替弁
７ 補給タンク
８ 補給ポンプ
９ 供給タンク
１０ ヒーター
１１ 温度調節計
１２ ｐＨ計又は酸化還元電位計
２１ 送液管
２２、２２ａ、２２ｂ 循環管
２３ 送液管
３０ めっき槽
フロントページの続き
(72)発明者 吉田 英夫
東京都東村山市久米川町５−33−６
(72)発明者 曽根 正人
東京都小金井市本町３−11−８
Claims (4)
- 【請求項１】 ヒーターを具備する温度調節計と、電磁
導電率検出器と、入口と出口とを回収タンクと連結し回
収タンク内の使用めっき液を循環させる循環管と、使用
めっき液受入れ配管とを備えた回収タンクと；補給めっ
き液を貯留する補給タンクと；めっき槽に供給するめっ
き液を貯留する供給タンクと；循環管に介装した切替弁
と；前記電磁導電率検出器の信号を取り込み回収タンク
に供給する補給めっき液供給量を制御すると共に、回収
タンク内のめっき液中の金属濃度が所定値に達したとき
に回収タンク内のめっき液を供給タンクに送る信号を切
替弁に送る制御部と；を有するめっき液濃度自動調整装
置。 - 【請求項２】 制御部が電磁導電率検出器の測定値を温
度補正する手段を有する請求項１記載のめっき液濃度自
動調整装置。 - 【請求項３】 回収タンクがｐＨ指示計又は酸化還元電
位計を備えた請求項１又は２記載のめっき液濃度自動調
整装置。 - 【請求項４】 めっき槽でめっきに使用しためっき液を
回収タンクへ送り、温度調節された回収タンクのめっき
液の電磁導電率を計測することによりめっき液の金属濃
度を検出して、金属濃度が所定の範囲となるまで補給タ
ンクから追液を補給することにより回収タンクのめっき
液の金属濃度を調整し、金属濃度が調整されためっき液
を供給タンクに貯留し、必要時にめっき液を供給タンク
からめっき槽へ供給するめっき液濃度自動調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001387286A JP2003183898A (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | めっき液濃度自動調整装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001387286A JP2003183898A (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | めっき液濃度自動調整装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003183898A true JP2003183898A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27596170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001387286A Pending JP2003183898A (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | めっき液濃度自動調整装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003183898A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012102098A1 (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-02 | 東京エレクトロン株式会社 | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 |
| CN103334150A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-10-02 | 皆利士多层线路版(中山)有限公司 | 自动定量添加系统 |
| WO2016059833A1 (ja) * | 2014-10-17 | 2016-04-21 | ディップソール株式会社 | 銅－ニッケル合金電気めっき装置 |
| CN111962135A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-20 | 饶胜 | 一种自平衡式电镀储液设备及使用方法 |
-
2001
- 2001-12-20 JP JP2001387286A patent/JP2003183898A/ja active Pending
Cited By (8)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2016079460A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | ディップソール株式会社 | 銅−ニッケル合金電気めっき装置 |
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