JP2003181697A - Vacuum press apparatus - Google Patents

Vacuum press apparatus

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JP2003181697A
JP2003181697A JP2001382559A JP2001382559A JP2003181697A JP 2003181697 A JP2003181697 A JP 2003181697A JP 2001382559 A JP2001382559 A JP 2001382559A JP 2001382559 A JP2001382559 A JP 2001382559A JP 2003181697 A JP2003181697 A JP 2003181697A
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JP
Japan
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vacuum
substrate
lower pressure
film
rods
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Pending
Application number
JP2001382559A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiichi Miyake
栄一 三宅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
San Ei Giken Inc
Original Assignee
San Ei Giken Inc
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum press apparatus capable of bonding a film-like material on even a substrate having a deep recessed part on its surface without leaving bubbles in the recessed part. <P>SOLUTION: The vacuum press apparatus 1 is provided with a vacuum chamber 1. The chamber 1 is provided with an upper housing member 2 and a lower housing member 3. An upper pressurizing block 17 and a lower pressurizing block 18 are provided in the chamber 1. The blocks 17, 18 have heater plates 20, 23 respectively. A mechanical driving device 29 is provided to allow one of the blocks 17, 18 to approach and separate from the other. The device 29 has a plurality of rods 25 extending so as to pierce upper and lower housing members 2, 3. By the operation of the device 29, the substrate 14 holding the film-like material on its surface can be sandwiched between the blocks 17 and 18. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、凹凸のあるプリン
ト回路用基板等の表面にフィルム状材料を密着させるた
めの真空プレス装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pressing device for bringing a film material into close contact with the surface of a printed circuit board or the like having irregularities.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント回路用基板で、導電性パターン
を成形するなどの理由により表面に凹凸が生じているも
のがある。このような基板の表面にフィルム状の絶縁材
や感光材のようなフィルム状材料を貼り付ける場合、通
常のラミネータを用いると、基板表面の凹部に気泡が残
りやすく、不良品を多く発生させることになる。そこ
で、真空中でフィルム状材料を基板表面に貼り付ける真
空プレス装置が用いられている。真空プレス装置を用い
る前に、フィルム状材料は基板上に軽く押さえつけられ
るようにして保持される。この作業は通常のラミネータ
を用いて行われる。
2. Description of the Related Art Some printed circuit boards have an uneven surface due to a conductive pattern or the like. When a film-shaped material such as a film-shaped insulating material or a photosensitive material is attached to the surface of such a substrate, if a normal laminator is used, bubbles are likely to remain in the concave portion of the substrate surface, and many defective products are generated. become. Therefore, a vacuum press device for sticking a film-like material on the substrate surface in vacuum is used. Prior to using the vacuum press, the film material is held lightly against the substrate. This work is performed using a normal laminator.

【0003】真空プレス装置として最も重要な機能は、
基板表面の凹部内に気泡を残すことなくフィルム状材料
を埋め込むことである。そのために必要なのは、第一
に、フィルム状材料が基板表面上の凹部内に埋め込まれ
る前に該凹部内の空気が十分に排気されること、第二
に、フィルム状材料が基板表面の凹凸部に沿って隙間な
く密着するようにフィルム状材料を所定の温度に均一に
加熱し、最適な柔らかさ(流動性)が得られるようにす
ること、第三に、同じくフィルム状材料が基板表面の凹
凸部に沿って隙間なく密着するように、フィルム状材料
が基板全面にわたって十分な力で且つ均一に押さえつけ
られることである。
The most important function of a vacuum press machine is
It is to embed a film-like material in the recesses on the substrate surface without leaving bubbles. For that purpose, firstly, the air in the recess is sufficiently exhausted before the film-like material is embedded in the recess on the substrate surface, and secondly, the film-like material is formed on the substrate surface. The film-like material is uniformly heated to a predetermined temperature so that it adheres closely to each other along the edge so that optimum softness (fluidity) is obtained. That is, the film-shaped material is uniformly and uniformly pressed over the entire surface of the substrate so that the film-shaped material is closely adhered to the uneven portion without a gap.

【0004】従来、一般的に広く使用されている真空プ
レス装置においては、フィルム状材料を保持した基板
が、真空プレス装置のハウジング内の弾性平板部材上に
置かれた後、ハウジングを密封して内部を十分に排気
し、基板表面の凹凸部にもほとんど空気が残らないよう
にする。基板は、平板部材に設けられたヒータによって
加熱され、それによってフィルム状材料は軟化する。し
かるのち、基板の上方に配置された弾性の膜を気体によ
って押圧し、該膜を基板に押しつけるようにする。フィ
ルム状材料を保持した基板は、膜と平板部材との間に挟
み込まれるようにして加圧され、軟化したフィルム状材
料が基板上の凹凸面にほぼ密着するように貼り付けられ
る。
In a vacuum pressing apparatus that has been widely used in the past, a substrate holding a film material is placed on an elastic flat plate member in the housing of the vacuum pressing apparatus, and then the housing is sealed. Exhaust the interior sufficiently so that almost no air remains on the irregularities on the substrate surface. The substrate is heated by the heater provided on the flat plate member, whereby the film material is softened. After that, the elastic film arranged above the substrate is pressed by the gas to press the film against the substrate. The substrate holding the film-like material is pressed so as to be sandwiched between the film and the flat plate member, and the softened film-like material is attached so as to be substantially in close contact with the uneven surface on the substrate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】かかる従来の真空プレ
ス装置においては、上述した第三の点で改善の余地があ
った。すなわち、基板を膜と平板部材との間に挟み、気
体の圧力によって加圧する方式では、軟化したフィルム
状材料を基板表面の深い凹部にまで埋め込んで隙間なく
密着させることが難しかった。
In such a conventional vacuum press machine, there is room for improvement in the above-mentioned third point. That is, in the method in which the substrate is sandwiched between the film and the flat plate member and pressurized by the pressure of gas, it is difficult to embed the softened film-shaped material even in the deep recesses on the surface of the substrate so that the film-shaped material is brought into close contact with no gap.

【0006】そこで本発明が解決しようとする課題は、
表面に深い凹部を有する基板に対しても、該凹部内に気
泡を残すことなくフィルム状材料を密着させることので
きる真空プレス装置を提供することにある。
[0006] Therefore, the problem to be solved by the present invention is
It is an object of the present invention to provide a vacuum press device capable of adhering a film-like material to a substrate having a deep concave portion on the surface without leaving bubbles in the concave portion.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、フィルム状材料を基板表面に密着
させるための真空プレス装置であって、上側ハウジング
部材および下側ハウジング部材を備えてなる真空チャン
バにして、該上側および下側ハウジング部材を互いに密
封係合させて内部を排気することにより真空状態を作り
出すことができ、該上側および下側ハウジング部材を互
いに分離することにより基板の出入口用の開口を形成す
ることができる真空チャンバと、該真空チャンバ内に配
置された上側および下側加圧ブロックにして、それぞれ
がヒータプレートを有しており、フィルム状材料を表面
に保持した基板を間に挟持可能な上側および下側加圧ブ
ロックと、該上側および下側加圧ブロックの一方を他方
に対して近接および離反させるための機械的な駆動装置
にして、前記上側および下側加圧ブロックの一方に一端
を取り付けられ、且つ、前記上側および下側ハウジング
部材の一方を貫通して延びる複数のロッドを有する駆動
装置と、を備える真空プレス装置が提供される。
In order to solve the above problems, according to the present invention, there is provided a vacuum pressing device for bringing a film-like material into close contact with the surface of a substrate, which comprises an upper housing member and a lower housing member. To form a vacuum chamber by creating a vacuum state by sealingly engaging the upper and lower housing members with each other and evacuating the inside, and separating the upper and lower housing members from each other to remove the substrate. A vacuum chamber capable of forming an opening for an entrance and an outlet, and upper and lower pressure blocks arranged in the vacuum chamber, each having a heater plate and holding a film-like material on the surface An upper side and a lower side pressure block capable of sandwiching the substrate therebetween, and one side of the upper side and the lower side pressure block close to the other side and A mechanical drive device for reciprocating, the drive having a plurality of rods, one end of which is attached to one of the upper and lower pressure blocks, and which extends through one of the upper and lower housing members. An apparatus and a vacuum pressing apparatus are provided.

【0008】前記駆動装置が、前記複数のロッドのそれ
ぞれの他端を取り付けた支持板と、該支持板を挟んで前
記それぞれのロッドの反対側に設けられた複数のシリン
ダ装置と、を有するものとし、真空プレス装置が、前記
支持板の上下動を案内する案内手段をさらに備えるよう
にすることもできる。
The driving device includes a support plate to which the other ends of the plurality of rods are attached, and a plurality of cylinder devices provided on opposite sides of the rods with the support plate sandwiched therebetween. In addition, the vacuum press device may further include guide means for guiding the vertical movement of the support plate.

【0009】あるいはまた、前記駆動装置が、前記複数
のロッドのそれぞれを含む複数のシリンダ装置を有する
ものとし、真空プレス装置が、前記上側および下側加圧
ブロックの前記一方の上下動を案内する案内手段をさら
に備えるようにすることもできる。
Alternatively, the drive unit may include a plurality of cylinder units each including the plurality of rods, and a vacuum press unit guides the vertical movement of the one of the upper and lower pressure blocks. It is also possible to further provide a guide means.

【0010】前記上側および下側ハウジング部材の前記
一方とこれを貫通して延びる前記ロッドとの間は、種々
の封止手段により封止することができる。前記上側およ
び下側加圧ブロックの少なくとも一方が、加圧面側にダ
イヤフラムを備えていることが好ましい。
A space between the one of the upper and lower housing members and the rod extending therethrough can be sealed by various sealing means. At least one of the upper and lower pressure blocks preferably includes a diaphragm on the pressure surface side.

【0011】前記複数のロッドは、前記上側および下側
加圧ブロックの前記一方の、該ロッドを取り付ける面に
て、基板に均一な加圧力を与え得るように配置すること
ができる。
The plurality of rods may be arranged so that uniform pressing force can be applied to the substrate on the surface of the one of the upper and lower pressure blocks to which the rods are attached.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1は本発明による真空プレス装
置の一実施例の側面図であり、一部断面をとってある。
真空プレス装置は、真空チャンバ1を備えている。真空
チャンバ1は、上側ハウジング部材2および下側ハウジ
ング部材3から構成されている。上側ハウジング2は、
支持ブロック4に取り付けられている。該支持ブロック
4の四隅を貫通して案内ロッド5が延びている。案内ロ
ッド5の上方はねじ部5aとされている。支持ブロック
4の上面側には回転ナット6が設けられており、該ナッ
ト6が案内ロッド5のねじ部5aと螺合している。した
がって、支持ブロック4に取り付けられた上側ハウジン
グ部材2は、ナット6を介して案内ロッド5に支持され
る。真空プレス装置の通常の使用時には、上側ハウジン
グ部材2は静止状態とされる。しかしながらメンテナン
ス時には、ナット6を回転させることにより、上側ハウ
ジング部材2を支持ブロック4とともに案内ロッド5の
ねじ部5aに沿って上昇させることができる。
1 is a side view of an embodiment of a vacuum pressing apparatus according to the present invention, which is a partial cross section.
The vacuum press device includes a vacuum chamber 1. The vacuum chamber 1 is composed of an upper housing member 2 and a lower housing member 3. The upper housing 2 is
It is attached to the support block 4. Guide rods 5 extend through the four corners of the support block 4. The upper part of the guide rod 5 is a screw part 5a. A rotary nut 6 is provided on the upper surface side of the support block 4, and the nut 6 is screwed with the threaded portion 5 a of the guide rod 5. Therefore, the upper housing member 2 attached to the support block 4 is supported by the guide rod 5 via the nut 6. During normal use of the vacuum press device, the upper housing member 2 is stationary. However, at the time of maintenance, the upper housing member 2 can be raised along with the support block 4 along the threaded portion 5a of the guide rod 5 by rotating the nut 6.

【0013】真空チャンバ1の下側ハウジング部材3
は、その下面の左右2箇所以上にてエアシリンダ7のロ
ッド端8によって支持されている。エアシリンダ7のシ
リンダ端はベース9に取り付けられている。下側ハウジ
ング部材3の下面とロッド端8との間には、案内部材1
0の一端が介在している。案内部材10の他端は、案内
ロッド5にスライド可能に取り付けられている。したが
って、エアシリンダ7を作動させることにより、下側ハ
ウジング部材3は安定した状態で昇降することができ
る。
Lower housing member 3 of vacuum chamber 1
Is supported by the rod end 8 of the air cylinder 7 at two or more positions on the left and right of the lower surface. The cylinder end of the air cylinder 7 is attached to the base 9. The guide member 1 is provided between the lower surface of the lower housing member 3 and the rod end 8.
One end of 0 is interposed. The other end of the guide member 10 is slidably attached to the guide rod 5. Therefore, by operating the air cylinder 7, the lower housing member 3 can be raised and lowered in a stable state.

【0014】上側ハウジング部材2の下端周縁部および
下側ハウジング部材3の上端周縁部には、それぞれ封止
部材11,12が設けられている。下側ハウジング部材
3が上昇せしめられると、封止部材11,12が互いに
係合し、真空チャンバ1の内部は密封状態となる。この
状態で、真空チャンバ1に設けた排気口(図示せず)か
ら内部空気を排気すると、真空チャンバ1内を真空状態
にすることができる。一方、図1に示すように下側ハウ
ジング部材3を下降させると、封止部材11,12が互
いに分離し、基板14の出入口用の開口13が形成され
る。
Sealing members 11 and 12 are provided on the lower end peripheral portion of the upper housing member 2 and the upper end peripheral portion of the lower housing member 3, respectively. When the lower housing member 3 is raised, the sealing members 11 and 12 are engaged with each other, and the inside of the vacuum chamber 1 is sealed. In this state, when the internal air is exhausted from the exhaust port (not shown) provided in the vacuum chamber 1, the inside of the vacuum chamber 1 can be put into a vacuum state. On the other hand, when the lower housing member 3 is lowered as shown in FIG. 1, the sealing members 11 and 12 are separated from each other, and the opening 13 for the entrance and exit of the substrate 14 is formed.

【0015】基板14は、真空プレス装置よる作業を行
う前に、通常のオートカットラミネータを用いて片面ま
たは両面にフィルム状材料(例えばプラスチック製ベー
スフィルムに付着された絶縁材料または感光材料)を保
持させておく。表面にフィルム状材料を保持した基板1
4は、真空チャンバ1の前後に配置された案内ローラ1
5上を走行する2枚のウェブ16間に挟持されるように
して搬送される。ウェブ16は、開いた真空チャンバ1
を通って走行することにより、真空チャンバ1に対して
基板14を搬入および搬出することができる。ウェブ1
6は薄いので、下側ハウジング部材3が上昇せしめられ
て封止部材11,12がウェブ16を挟むようにして互
いに押し付け合うとき、密封状態は十分に維持される。
このように、2枚のウェブ16は、基板搬送装置として
機能する。
The substrate 14 holds a film-like material (for example, an insulating material or a photosensitive material attached to a plastic base film) on one side or both sides by using an ordinary auto-cut laminator before performing the work by the vacuum pressing device. I will let you. Substrate 1 holding a film material on the surface
4 is a guide roller 1 arranged in front of and behind the vacuum chamber 1.
5 is conveyed so as to be sandwiched between two webs 16 traveling on the upper side of the upper part 5. The web 16 has an open vacuum chamber 1
The substrate 14 can be loaded into and unloaded from the vacuum chamber 1 by traveling through the vacuum chamber 1. Web 1
Since 6 is thin, when the lower housing member 3 is raised and the sealing members 11 and 12 press the web 16 against each other, the sealed state is sufficiently maintained.
Thus, the two webs 16 function as a substrate transfer device.

【0016】真空チャンバ1内には、上側加圧ブロック
17および下側加圧ブロック18が配置されている。上
側加圧ブロック17は、上側ハウジング部材2に取り付
けられており、断熱材19を介して内側にヒータプレー
ト20を有している。ヒータプレート20の、基板側を
向いた面すなわち加圧面側は、ダイヤフラム21に覆わ
れている。
An upper pressure block 17 and a lower pressure block 18 are arranged in the vacuum chamber 1. The upper pressure block 17 is attached to the upper housing member 2 and has a heater plate 20 on the inside via a heat insulating material 19. The surface of the heater plate 20 facing the substrate, that is, the pressure surface side is covered with the diaphragm 21.

【0017】下側加圧ブロック18も上側加圧ブロック
17と同様の構造をしている。すなわち、断熱材22を
介して内側にヒータプレート23を有しており、ヒータ
プレート23の、基板側すなわち加圧面側を向いた面は
ダイヤフラム24に覆われている。しかしながら、ダイ
ヤフラム21および24のうち一方を省略することもで
きる。また、ダイヤフラム21,24によって上側およ
び下側加圧ブロック17,18は密閉構造とされ、その
内部空間を真空状態にしたり加圧状態にしたりできる機
能が設けられていることが望ましい。下側加圧ブロック
18は、下側ハウジング部材3に取り付けられてはおら
ず、下側ハウジング部材3を貫通して延びる複数のロッ
ド25の上端に取り付けられている。複数のロッド25
は、下側加圧ブロック18の下面にて、基板14に均一
な加圧力を与え得るよう、基板の四隅と中央とに対応す
る位置に合計5本が配置されている。このようにして下
側加圧ブロック18の下面に上端を取り付けられたロッ
ド25の下端は、案内支持板26に取り付けられてい
る。案内支持板26の四隅は、案内ロッド5にスライド
可能に取り付けられ、案内ロッド5とともに案内手段を
構成する。ロッド25が貫通する下側ハウジング部材3
の孔27の周囲とロッド25との間には、真空チャンバ
1内の気密性を保つため、封止手段としてベローズ28
が設けられている。他の封止手段として、ベローズ28
に代え、ダイヤフラム、パッキング(詰め物)なども使
用できる。案内支持板26を挟んでそれぞれのロッド2
5の反対側になる位置には、シリンダ装置29が配置さ
れている。各シリンダ装置29のピストンロッド30の
上端が、各ロッド25の真下に当たる位置で案内支持板
26に取り付けられている。シリンダ装置29は、望ま
しくは油圧シリンダ装置とされる。ロッド25,案内支
持板26およびシリンダ装置29は、下側加圧ブロック
18を上側加圧ブロック17に対して近接および離反さ
せるための機械的な駆動装置を構成する。
The lower pressure block 18 has the same structure as the upper pressure block 17. That is, the heater plate 23 is provided inside via the heat insulating material 22, and the surface of the heater plate 23 facing the substrate side, that is, the pressing surface side is covered with the diaphragm 24. However, one of the diaphragms 21 and 24 may be omitted. Further, it is desirable that the upper and lower pressure blocks 17 and 18 have a hermetically sealed structure by the diaphragms 21 and 24, and that the internal space thereof be provided with a function of making a vacuum state or a pressure state. The lower pressure block 18 is not attached to the lower housing member 3, but is attached to the upper ends of a plurality of rods 25 extending through the lower housing member 3. Multiple rods 25
On the lower surface of the lower pressure block 18, a total of five are arranged at positions corresponding to the four corners and the center of the substrate so that uniform pressure can be applied to the substrate 14. The lower end of the rod 25, whose upper end is attached to the lower surface of the lower pressure block 18 in this manner, is attached to the guide support plate 26. The four corners of the guide support plate 26 are slidably attached to the guide rod 5, and together with the guide rod 5, form guide means. Lower housing member 3 through which the rod 25 penetrates
Between the periphery of the hole 27 and the rod 25, in order to maintain the airtightness in the vacuum chamber 1, a bellows 28 is used as a sealing means.
Is provided. As another sealing means, bellows 28
Alternatively, a diaphragm, packing, etc. can be used. Each rod 2 with the guide support plate 26 in between.
A cylinder device 29 is arranged at a position opposite to 5. The upper end of the piston rod 30 of each cylinder device 29 is attached to the guide support plate 26 at a position directly below each rod 25. The cylinder device 29 is preferably a hydraulic cylinder device. The rod 25, the guide support plate 26, and the cylinder device 29 constitute a mechanical drive device for causing the lower pressure block 18 to approach and separate from the upper pressure block 17.

【0018】図2に基づいて、本発明による真空プレス
装置の作用を説明する。まず、エアシリンダ7を短縮し
て下側ハウジング部材3を下降させ、図2(1)に示す
ように真空チャンバ1を開いて基板14のための出入口
用の開口13を形成する。表面にフィルム状材料を保持
した基板14を挟んだ2枚のウェブ16が、開いた真空
チャンバ1内を走行し、基板14を真空チャンバ1内の
中央部に位置付ける。
The operation of the vacuum pressing device according to the present invention will be described with reference to FIG. First, the air cylinder 7 is shortened to lower the lower housing member 3, and the vacuum chamber 1 is opened to form an opening 13 for a substrate 14 as shown in FIG. 2A. Two webs 16 sandwiching the substrate 14 holding the film-like material on the surface run in the open vacuum chamber 1 and position the substrate 14 in the central portion of the vacuum chamber 1.

【0019】次に、図2(2)に示すように、エアシリ
ンダ7を伸長して下側ハウジング部材3を上昇させ、真
空チャンバ1を閉じる。このようにして真空チャンバ1
を密閉状態にしたのち、排気口31を通して排気を行
う。また、上下のヒータプレート20,23により基板
14を加熱し、基板表面に保持されたフィルム状材料を
十分に軟化させる。
Next, as shown in FIG. 2B, the air cylinder 7 is extended to raise the lower housing member 3, and the vacuum chamber 1 is closed. In this way, the vacuum chamber 1
After the airtight is closed, the gas is exhausted through the exhaust port 31. Further, the upper and lower heater plates 20 and 23 heat the substrate 14 to sufficiently soften the film material held on the substrate surface.

【0020】次に、図2(3)に示すように、引き続き
排気および加熱を行いながら、シリンダ装置29を伸長
させ、案内支持板26および複数のロッド25を介して
下側加圧ブロック18を上昇させる。基板14は、真空
雰囲気の中で加熱されながら、上側加圧ブロック17と
下側加圧ブロック18との間に挟まれて十分な力で加圧
される。基板14に均一な加圧力を与えるため、複数の
シリンダ装置29による力を個別に調節することができ
る。このようにして、たとえ基板14の表面が、深い凹
部を有する凹凸形状をしていても、軟化したフィルム状
材料が十分な力で深い凹部内に押し込まれ、基板表面の
凹凸形状に隙間なく密着することができる。
Next, as shown in FIG. 2C, the cylinder device 29 is extended while continuing exhausting and heating, and the lower pressurizing block 18 is inserted through the guide supporting plate 26 and the plurality of rods 25. To raise. While being heated in a vacuum atmosphere, the substrate 14 is sandwiched between the upper pressure block 17 and the lower pressure block 18 and pressed with sufficient force. Since a uniform pressing force is applied to the substrate 14, the forces exerted by the plurality of cylinder devices 29 can be individually adjusted. In this way, even if the surface of the substrate 14 has an uneven shape with deep recesses, the softened film-like material is pushed into the deep recesses with sufficient force and adheres closely to the uneven shape of the substrate surface. can do.

【0021】図3は、本発明による真空プレス装置の変
形例における下方部分を示す側面図である。図3の実施
例が図1の実施例と異なる点は、図1における案内支持
板26が省略され、シリンダ装置29のピストンロッド
30が下側ハウジング部材3を貫通して延び、該ピスト
ンロッド30の上端が下側加圧ブロック18に直接取り
付けられていることである。図3の実施例の場合、下側
加圧ブロック3の上下動を案内する案内手段となるの
は、案内シリンダ装置32である。案内シリンダ装置3
2は、シリンダ部33が下側ハウジング部材3に取り付
けられ、ピストンロッド部34の上端を下側加圧ブロッ
ク18の下面に取り付けられている。
FIG. 3 is a side view showing a lower portion of a modified example of the vacuum pressing apparatus according to the present invention. The embodiment of FIG. 3 differs from the embodiment of FIG. 1 in that the guide support plate 26 in FIG. 1 is omitted, and the piston rod 30 of the cylinder device 29 extends through the lower housing member 3 and the piston rod 30 Is attached directly to the lower pressure block 18. In the case of the embodiment shown in FIG. 3, the guide cylinder device 32 serves as the guide means for guiding the vertical movement of the lower pressure block 3. Guide cylinder device 3
2, the cylinder portion 33 is attached to the lower housing member 3, and the upper end of the piston rod portion 34 is attached to the lower surface of the lower pressure block 18.

【0022】これまで述べてきた実施例においては、通
常作動時に下側ハウジング部材3および下側加圧ブロッ
ク18が上下動する構成とされている。しかしながら、
上側ハウジング部材2が上下動することにより真空チャ
ンバ1を開閉するような構成としてもよいし、上側加圧
ブロック17が上下動して基板14に加圧力を与えるよ
うな構成としてもよい。これらの変形例の構成は、上述
した記述から容易に考えられるものなので、詳細な説明
は省略する。
In the above-described embodiments, the lower housing member 3 and the lower pressure block 18 are vertically moved during normal operation. However,
The vacuum chamber 1 may be opened and closed by moving the upper housing member 2 up and down, or the upper pressure block 17 may be moved up and down to apply a pressing force to the substrate 14. Since the configurations of these modified examples can be easily considered from the above description, detailed description thereof will be omitted.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明の真空プレス装置によれば、複数
のロッドを有する機械的な駆動装置を用いて、基板を上
下の加圧ブロック間に挟持するようにして加圧するの
で、基板上に保持されたフィルム状材料を十分な力で押
さえつけることができ、その結果、フィルム状材料は基
板表面の深い凹部内にも埋め込まれ、凹凸形状に沿って
隙間なく密着することができる。
According to the vacuum pressing apparatus of the present invention, a mechanical driving device having a plurality of rods is used to press the substrate so as to be sandwiched between the upper and lower pressure blocks. The held film-like material can be pressed down with a sufficient force, and as a result, the film-like material can be embedded also in the deep recesses on the substrate surface and can be adhered along the uneven shape without gaps.

【0024】また、機械的な駆動装置として複数のシリ
ンダ装置を用いることにより、基板の全面にわたって加
圧力の制御が容易になり、フィルム状材料を基板に対し
て確実に均一に押さえつけることができる。
Further, by using a plurality of cylinder devices as the mechanical driving device, it becomes easy to control the pressing force over the entire surface of the substrate and the film material can be surely and uniformly pressed against the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明による真空プレス装置の一実施例の側
面図であり、真空チャンバのハウジング部材、案内支持
板および中央のベローズについては断面で示してある。
また、手前側の案内ロッドは図示省略してある。
FIG. 1 is a side view of an embodiment of a vacuum pressing apparatus according to the present invention, in which a housing member of a vacuum chamber, a guide support plate, and a central bellows are shown in cross section.
Further, the guide rod on the front side is not shown.

【図2】 本発明による真空プレス装置の一実施例で基
板にフィルム状材料を密着させる工程を順を追って説明
するための断片側面図であり、真空チャンバのハウジン
グ部材は断面で示してある。
FIG. 2 is a fragmentary side view for sequentially explaining a step of bringing a film-like material into close contact with a substrate in an embodiment of a vacuum pressing apparatus according to the present invention, in which a housing member of a vacuum chamber is shown in cross section.

【図3】 本発明による真空プレス装置の別実施例にお
ける下方部分を示す側面図であり、真空チャンバの下側
ハウジング部材および中央のベローズは断面で示してあ
る。
FIG. 3 is a side view of the lower portion of another embodiment of the vacuum pressing apparatus according to the present invention, with the lower housing member of the vacuum chamber and the central bellows shown in cross section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空チャンバ、2 上側ハウジング部材、3 下側
ハウジング部材、4 支持ブロック、5 案内ロッド、
5a ねじ部、6 回転ナット、7 エアシリンダ、8
ロッド端、9 ベース、10 案内部材、11 封止
部材、12 封止部材、13 開口、14 基板、15
案内ローラ、16 ウェブ、17 上側加圧ブロッ
ク、18 下側加圧ブロック、19 断熱材、20 ヒ
ータプレート、21 ダイヤフラム、22 断熱材、2
3 ヒータプレート、24 ダイヤフラム、25 ロッ
ド、26 案内支持板、27 孔、28 ベローズ、2
9 シリンダ装置、30 ピストンロッド、31 排気
口、32 案内シリンダ装置、33 シリンダ部、34
ピストンロッド部。
1 vacuum chamber, 2 upper housing member, 3 lower housing member, 4 support block, 5 guide rod,
5a screw part, 6 rotating nut, 7 air cylinder, 8
Rod end, 9 base, 10 guiding member, 11 sealing member, 12 sealing member, 13 opening, 14 substrate, 15
Guide rollers, 16 webs, 17 upper pressure block, 18 lower pressure block, 19 heat insulating material, 20 heater plate, 21 diaphragm, 22 heat insulating material, 2
3 heater plate, 24 diaphragm, 25 rod, 26 guide support plate, 27 hole, 28 bellows, 2
9 cylinder device, 30 piston rod, 31 exhaust port, 32 guide cylinder device, 33 cylinder part, 34
Piston rod part.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B29L 7:00 B29L 7:00 9:00 9:00 Fターム(参考) 4E090 AA08 AB02 DA09 DB01 HA10 4F211 AD08 AG01 AG03 AH36 AM28 AM32 TA03 TC02 TD11 TH02 TH06 TJ14 TJ16 TJ30 TN07 TQ04 TQ07 TQ08 5E314 AA24 BB02 BB06 BB11 BB12 CC15 EE03 FF01 GG11 5E339 CC10 CD01 CE11 CE16 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) // B29L 7:00 B29L 7:00 9:00 9:00 F term (reference) 4E090 AA08 AB02 DA09 DB01 HA10 4F211 AD08 AG01 AG03 AH36 AM28 AM32 TA03 TC02 TD11 TH02 TH06 TJ14 TJ16 TJ30 TN07 TQ04 TQ07 TQ08 5E314 AA24 BB02 BB06 BB11 BB12 CC15 EE03 FF01 GG11 5E339 CC10 CD01 CE11 CE16

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フィルム状材料を基板表面に密着させる
ための真空プレス装置であって、 上側ハウジング部材および下側ハウジング部材を備えて
なる真空チャンバにして、該上側および下側ハウジング
部材を互いに密封係合させて内部を排気することにより
真空状態を作り出すことができ、該上側および下側ハウ
ジング部材を互いに分離することにより基板の出入口用
の開口を形成することができる真空チャンバと、 該真空チャンバ内に配置された上側および下側加圧ブロ
ックにして、それぞれがヒータプレートを有しており、
フィルム状材料を表面に保持した基板を間に挟持可能な
上側および下側加圧ブロックと、 該上側および下側加圧ブロックの一方を他方に対して近
接および離反させるための機械的な駆動装置にして、前
記上側および下側加圧ブロックの一方に一端を取り付け
られ、且つ、前記上側および下側ハウジング部材の一方
を貫通して延びる複数のロッドを有する駆動装置と、 を備える真空プレス装置。
1. A vacuum pressing device for bringing a film-like material into close contact with a substrate surface, which is a vacuum chamber including an upper housing member and a lower housing member, and seals the upper and lower housing members with each other. A vacuum chamber in which a vacuum state can be created by engaging and exhausting the inside, and an opening for entrance and exit of a substrate can be formed by separating the upper and lower housing members from each other; In the upper and lower pressure blocks arranged inside, each has a heater plate,
Upper and lower pressure blocks capable of sandwiching a substrate having a film-shaped material on its surface, and a mechanical drive device for bringing one of the upper and lower pressure blocks close to and away from the other And a drive device having a plurality of rods, one end of which is attached to one of the upper and lower pressure blocks and which extends through one of the upper and lower housing members.
【請求項2】 請求項1に記載の真空プレス装置におい
て、 前記駆動装置が、前記複数のロッドのそれぞれの他端を
取り付けた支持板と、該支持板を挟んで前記それぞれの
ロッドの反対側に設けられた複数のシリンダ装置と、を
有しており、 前記支持板の上下動を案内する案内手段をさらに備える
ことを特徴とする真空プレス装置。
2. The vacuum pressing apparatus according to claim 1, wherein the drive device has support plates to which the other ends of the plurality of rods are attached, and opposite sides of the support plates sandwiching the support plates. A plurality of cylinder devices provided in the vacuum press device, further comprising guide means for guiding the vertical movement of the support plate.
【請求項3】 請求項1に記載の真空プレス装置におい
て、 前記駆動装置が、前記複数のロッドのそれぞれを含む複
数のシリンダ装置を有しており、 前記上側および下側加圧ブロックの前記一方の上下動を
案内する案内手段をさらに備えることを特徴とする真空
プレス装置。
3. The vacuum pressing apparatus according to claim 1, wherein the drive device has a plurality of cylinder devices each including the plurality of rods, and the one of the upper and lower pressure blocks. A vacuum press device further comprising guide means for guiding the vertical movement of the vacuum press.
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載の真
空プレス装置において、 前記上側および下側ハウジング部材の前記一方とこれを
貫通して延びる前記ロッドとの間が封止手段により封止
されていることを特徴とする真空プレス装置。
4. The vacuum pressing apparatus according to claim 1, wherein a sealing means seals between the one of the upper and lower housing members and the rod extending therethrough. The vacuum press device is characterized in that
【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに記載の真
空プレス装置において、 前記上側および下側加圧ブロックの少なくとも一方が、
加圧面側にダイヤフラムを備えていることを特徴とする
真空プレス装置。
5. The vacuum pressing apparatus according to claim 1, wherein at least one of the upper and lower pressure blocks is
A vacuum press device having a diaphragm on the pressurizing surface side.
【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかに記載の真
空プレス装置において、 前記複数のロッドが、前記上側および下側加圧ブロック
の前記一方の、該ロッドを取り付ける面にて、基板に均
一な加圧力を与え得るように配置されていることを特徴
とする真空プレス装置。
6. The vacuum pressing apparatus according to claim 1, wherein the plurality of rods are attached to a substrate at a surface of the one of the upper and lower pressure blocks to which the rods are attached. A vacuum press device characterized in that it is arranged so as to be able to apply a uniform pressing force.
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