JP2003164857A - 半導体製造工程から排出される廃液の処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体製造工程から排出される、レジスト剥離
液のリンス等に使用されたイソプロピルアルコール等の
可燃性有機溶媒を含む廃液、及びレジストの現像に用い
られた水系の現像廃液の処理にあたり、廃棄物の排出量
を低減させるとともに、エネルギーコストも低減させ
る。 【解決手段】可燃性有機溶媒を含む廃液の比抵抗測定等
の物性を測定することにより、蒸留等の精製によって再
利用可能か否かを判定し、再利用不可と判断された可燃
性有機溶媒を含む廃液、精製に伴って発生する精製残、
及び精製したにもかかわらず所定の物性を有す状態にな
らなかった精製有機廃液を燃焼させる。さらに、水系現
像廃液から、該現像液の再生を行なうために除去される
レジスト分をも上記の燃焼と同時に燃焼させ熱エネルギ
ーを回収する。この燃焼により得られた熱エネルギーを
可燃性有機溶媒を含む廃液及び／又は水系現像廃液の精
製（再生）のためのエネルギー源として利用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程から
排出される廃液の処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程ではレジスト剥離液の
リンス、治具洗浄等において各種の有機溶媒が使用され
る。従来、このような目的にはメチレンクロライド等の
ハロゲン系有機溶媒が使用されていたが、近年では環境
負荷や生体への為害性への懸念から、イソプロピルアル
コール等の比較的為害性の少ない可燃性の有機溶媒を使
用することが主流となっている。

【０００３】上記有機溶媒は使用後に廃液として排出さ
れるが、これら半導体製造工程から排出される廃液は、
他の用途に使用された廃液に比較して不純物混入量が少
ないため、溶媒製造業者や回収業者等により回収され、
精製して再利用されている。しかしながら、精製して再
利用しようとする場合でも、半導体製造工程において混
入する不純物の種類や量によっては充分な精製ができ
ず、結局、焼却処分せざるを得ない場合が少なくない。
また、精製を行った場合でも、精製により除去される不
純物等は再利用ができず、これらも焼却処分される。

【０００４】一方、半導体製造工程からは各種の水系廃
液も排出される。代表的には、テトラメチルアンモニウ
ムハイドライド（ＴＭＡＨ）等の有機塩基を含む、半導
体上のレジストパターンを現像する際に排出される水系
現像液の廃液が挙げられる。当該現像廃液は大部分が水
でありながら、強い塩基性を有し、またレジスト溶解物
を含んでいるためそのまま廃棄することができず、一般
には活性汚泥処理等により無害化処理した後に破棄され
ている。また、近年では環境意識等の高まりにより、当
該現像廃液のリサイクル処理も各種提案されている。そ
の一例として、現像廃液として排出されるレジスト分を
不純物として含むＴＭＡＨ廃液を炭酸ガス等により中和
し、溶解しているレジスト分を析出させ、これを濾過除
去する。さらに該濾液をイオン交換樹脂及び活性炭を通
過させることにより、その他の不純物を除去したのち、
電解によりＴＭＡＨを再生する方法がある。また、前記
濾液を加熱することによりＴＭＡＨを熱分解してトリメ
チルアンモニウムとし、当該トリメチルアンモニウムを
ガスとして水と分離・精製した後、さらに、塩化メチル
によりテトラメチルアンモニウムクロリドへ変換、つい
で電解によりＴＡＡＨを再生するという手法もある。

【０００５】他方、近年では製造所から排出される産業
廃棄物をゼロにする、所謂ゼロエミッション化がつよく
求められている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、半導体
製造工程から排出される可燃性有機溶媒を含む廃液は精
製して再利用されるが、完全に再利用されるものではな
く、精製不能として焼却処分される分及び精製残は廃棄
物であり、ゼロエミッションという点で問題があった。
一般にこのようにして焼却処分されるのは排出された可
燃性有機溶媒を含む廃液の２０〜４０％、多い場合には
８０％にも達する。

【０００７】また、水系現像廃液についてはリサイクル
（再生）したとしても精製残としてレジスト残渣等が発
生し、これもまた廃棄物である。そして当該レジスト残
渣等からなる廃棄物の処理方法としては焼却処理がある
が、単独では完全な燃焼が望めないため、揮発油等の燃
焼助剤とともに燃焼させる必要があり、コストの点でも
環境負荷の点でも問題があった。さらには、電解により
再生する際にも、電解効率の点で濃度を２０〜６０質量
％と高濃度にする必要があり、また、現像廃液はその大
部分が水であり、これをそのまま再生すべく輸送する
と、輸送に係わるコストも大きなものとなる。これらの
理由により水系現像廃液を濃縮するためにはなんらかの
エネルギーが必要であり、この点においてもコストがか
かるという問題がある。

【０００８】従って、半導体製造工程から排出される各
種廃液に由来する廃棄物をほぼゼロとし、環境面からも
コスト面からも満足のいく廃液の処理方法が求められて
いた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者等は上記課題を
解決すべく鋭意検討し、半導体製造工程から排出される
可燃性有機溶媒を含む廃液、及び精製残渣は可燃性が高
く、ボイラー等の運転に用いられる揮発油の代りに使用
可能なこと、また、通常半導体製造工程において水系現
像廃液が排出される際には、通常その周辺の工程で上記
可燃性有機溶媒を含む廃液が排出される工程のあること
に着目し、さらに検討を重ねた結果本発明を完成した。

【００１０】すなわち本発明は、ａ）半導体製造工程か
ら排出される可燃性有機溶媒を含む廃液の物性を測定し
て精製により再利用可能な有機溶媒を回収可能か否かを
判定する工程、ｂ）再利用可能な有機溶媒を回収可能と
判定された可燃性有機溶媒を含む廃液を精製し有機溶媒
を得る工程、ｃ）精製された有機溶媒の物性を測定し、
再利用可能な所定の物性を有するか否かを判定する工程
からなり、ａ）工程において精製不能と判定された可燃
性有機溶媒を含む廃液及びｂ）工程において排出される
精製残を燃焼させ、該燃焼により発生する熱エネルギー
を回収し、当該熱エネルギーをｂの工程のためのエネル
ギー源として利用することを特徴とする、半導体製造工
程において排出される廃液の処理方法である。

【００１１】また他の発明は、半導体製造工程から排出
される可燃性有機溶媒を含む廃液を燃焼させて熱エネル
ギーを回収し、該熱エネルギーを用いて半導体製造工程
から排出される水系現像廃液を濃縮することを特徴とす
る、半導体製造工程において排出される廃液の処理方法
である。

【００１２】

【発明の実施の形態】第一の本発明においては、ａ）半
導体製造工程から排出される可燃性有機溶媒を含む廃液
の物性を測定して、該廃液の精製により再利用可能な有
機溶媒を回収可能か否かを判定する工程（以下、判断工
程ともいう）、ｂ）再利用可能な有機溶媒を回収可能と
判定された可燃性有機溶媒を含む廃液を精製し有機溶媒
を得る工程（以下、精製工程ともいう）、ｃ）精製され
た有機溶媒の物性を測定し、再利用可能な所定の物性を
有するか否かを判定する工程（以下、確認工程ともい
う）の３つの工程により再利用可能な有機溶媒が回収さ
れる。

【００１３】当該可燃性有機溶媒を含む廃液としては、
蒸気乾燥、剥離液のリンス、治具洗浄等に使用されたイ
ソプロピルアルコール系廃液、剥離工程等に使用された
ベンゼン、ジメチルスルホキシド、各種アミン系廃液等
の廃液が挙げられ、本発明の処理方法はいずれの廃液に
対しても有効であるが、半導体製造工程において多量に
排出され、また可燃性が高い点でイソプロピルアルコー
ル系廃液の処理に適用することが好ましい。

【００１４】・ａ）判断工程 当該可燃性有機溶媒を含む廃液はまず、判断工程におい
て精製により再利用可能な有機溶媒を回収可能か否かを
判定すべく物性が測定される。当該測定対象物性は特に
限定されず、公知の物性を公知の方法で測定すればよ
い。具体的には、比誘電率、比抵抗、含水量、含金属
量、濁度、密度等が例示される。

【００１５】この測定によって当該廃液が、後述する精
製工程を経ることによって充分に精製でき、再利用可能
な有機溶媒が回収できる廃液（以下、精製可能廃液）で
あるされると判定された場合には精製工程に送り、一
方、精製によっても充分に不純物が除去できない廃液
（以下、精製不能廃液ともいう）であると判定された場
合には、後述するように燃焼させて熱エネルギーとして
回収する。

【００１６】当該測定すべき対象物性や、測定により得
られた物性値とから再利用可能な有機溶媒を回収可能か
否かの判定基準は、後述する精製方法や回収された溶媒
の使用（再利用）目的に応じて種々異なり一概には言え
ないが、測定対象物性としては、測定が簡便で、また半
導体製造工程により混入しやすい不純物の量を判断し易
いという点で、比抵抗を測定することが好ましい。具体
的には、廃液に含まれる可燃性有機溶媒がイソプロピル
アルコールであり、回収再利用の目的がレジスト剥離液
のリンスである場合、上記比抵抗が１０ＭΩ・ｃｍ以下
のときには、精製工程に送り、一方、それより大きい場
合には、燃焼させて熱エネルギーとして回収することに
より効率的な廃液処理が可能である。

【００１７】なお、上記測定対象物性は必要に応じて複
数の測定項目を組み合わせてもよい。

【００１８】・ｂ）精製工程 判断工程で精製により再利用可能な有機溶媒を回収可能
と判定された可燃性有機溶媒を含む廃液は、つづいて精
製工程に送られる。当該精製方法も特に限定されず、再
利用の目的に従って公知の方法で行えばよく、具体的に
は、蒸留、イオン交換処理、キレート剤処理、濾過、乾
燥剤処理、膜分離等が挙げられ、また、これらを複数組
み合わせてもよい。

【００１９】通常、半導体製造工程から排出される可燃
性有機溶媒を含む廃液は、揮発性であり、また、後述す
る回収された熱エネルギーを直接に近いかたちで精製の
ためのエネルギー源として利用でき、さらには単一の精
製操作にてほぼ全ての不純物成分が除去できるという点
で、蒸留により精製することが最も簡便、確実でかつ低
コストであるため好ましい。

【００２０】当該蒸留は、公知の蒸留方法、蒸留装置を
適宜採用すればよく、具体的には、蒸留塔を用いた蒸留
が挙げられる。

【００２１】また、精製工程においては通常、含まれて
いた各種不純物が精製残として得られる。当該精製残は
最初に混入していた不純物に依存しているが、例えば、
レジスト剥離液のリンスに用いたイソプロピルアルコー
ル系廃液を蒸留により精製した場合には、初留としてベ
ンゼン等の低沸点の有機物や水が、また蒸留されない蒸
留残渣としてジメチルスルホキシドやレジスト分等が得
られる。これらの精製残は前記した精製不能廃液と共
に、後述するように燃焼させて熱エネルギーとして回収
する。

【００２２】上記精製工程を経て回収された可燃性有機
溶媒（以下、精製回収液）は、引き続いて確認工程によ
り物性が測定され、再利用可能な所定の物性を有するか
否かを判定（確認）される。

【００２３】・ｃ）確認工程 当該確認工程における測定対象物性も特に制限されず、
再利用の目的に応じて要求される物性を測定すればよ
く、具体的には前記判断工程において例示したのと同様
である。例えば、再利用目的が剥離液のリンス用である
場合には、比抵抗の測定が最も簡便かつ確実で好まし
い。この場合の測定対象物性も必要に応じて複数の項目
を測定してもよい。

【００２４】上記確認工程において、精製回収液が再利
用可能な所定の物性を有すると判定された場合には、当
該精製回収液は各種目的に応じて溶媒として再利用すれ
ばよい。具体的には、剥離液のリンス、治具洗浄等に使
用することができる。

【００２５】一方、確認工程において所定の物性を有さ
ないと判断された精製回収液は、再度精製工程にまわし
再精製を行ってもよいし、あるいは、前記した精製不能
廃液や精製残と共に燃焼させて熱エネルギーとして回収
してもよい。あるいは、判断工程において精製不能廃液
と判定された可燃性有機溶媒を含む廃液と混合すること
により、この混合廃液を精製可能廃液へと変換できる場
合もある。これらの方法の選択は、用いる精製方法にか
かるコストや、再利用溶媒としての価値、判断工程にお
ける物性がどの程度所定の範囲を外れているか等を勘案
し適宜決定すればよいが、通常は燃焼させて熱エネルギ
ーとして回収することが最もコスト的に有利であり、ま
た処理が簡単で好ましい。

【００２６】・燃焼及び熱エネルギー回収 第一の本発明においては、上記判断工程において得られ
る精製不能廃液及び、精製工程において得られる精製残
を燃焼させ、当該燃焼による熱エネルギーを回収、当該
熱エネルギーを精製工程のためのエネルギー源として用
いる点に最大の特徴を有す。

【００２７】即ち、従来このような精製不能廃液や精製
残は単に焼却処分していたため廃棄物であったが、燃焼
させて発生する熱エネルギーを利用することにより、こ
れらは廃棄物ではなくエネルギーとして回収されること
になるため、廃棄物量を低減することができる。さら
に、従来別途調達していた精製工程のためのエネルギー
も節約することができる。

【００２８】また必要に応じて、後述する水系現像廃液
の濃縮等のエネルギー源として利用することも可能であ
る。

【００２９】当該燃焼方法と熱エネルギーの回収方法は
特に制限されず、公知の方法を採用すればよいが、好ま
しくはボイラー等で燃焼させ水蒸気を得、この水蒸気を
前記精製工程のための熱源として蒸留する方法である。

【００３０】上記の水蒸気を発生させ、該水蒸気の有す
る熱を利用して蒸留を行う方法がエネルギー効率がよ
く、また設備が簡単な点で最も好ましいが、その他に
も、採用する精製方法に応じ、熱エネルギーを利用して
発電機を動かして電気エネルギーへと変換して利用する
方法（電気的な精製を行う場合）や、水蒸気の圧力にて
ピストン等の機械的装置を動かしこの運動エネルギーを
利用する方法（圧力をかけて濾過する場合やイオン交換
樹脂、キレート樹脂中を通過させる場合等）を採用する
ことも可能である。

【００３１】半導体製造工程から排出される可燃性有機
溶媒を含む廃液は上記の方法により再利用される溶媒及
び熱エネルギーとしてほぼ完全に回収できる。

【００３２】他方、通常は半導体製造工程からは水系現
像廃液も同時に排出される。前述したように、半導体製
造工程において排出される水系現像廃液は、通常、ＴＭ
ＡＨに代表されるテトラアルキルアンモニウムハイドラ
イド（ＴＡＡＨ）の０．５質量％前後の水溶液であり、
現像処理の際に溶解したレジスト分が０．０１〜１０質
量％程度不純物として存在している。

【００３３】このような水系現像廃液は、通常、炭酸ガ
ス等により中和、レジスト分を析出させて濾過等により
除去、さらに前記したような各種精製によりその他の不
純物を除去した後、得られたテトラアルキルアンモニウ
ムカーボネートもしくはクロライドを電解することによ
りＴＡＡＨ水溶液として再生される。

【００３４】当該中和及び濾過によって濾別されたレジ
スト分はそのままでは廃棄物であるが、該レジスト分は
有機物であるため、前記した可燃性有機溶媒を含む廃液
の処理における精製不能廃液及び精製残を燃焼させる際
に、これらと共に燃焼させることにより熱エネルギーと
して回収することができる。これにより半導体製造工程
から排出される廃棄物排出量をさらに低減させることが
可能となる。また、レジスト分を焼却処分する際に必要
な燃焼助剤（揮発油等）も不要となる。さらに当該濾別
されたレジスト分は多量の水分を含んでおり、圧搾等し
ない限りスラリー状で得られるが、当該水分はボイラー
にて燃焼させる際に吹き込む水蒸気を代替することにも
なる。当該レジスト分をスラリーとして得た場合には、
送液ポンプ等にて配管を通してボイラーの燃焼室へと送
ればよい。

【００３５】中和及び濾過によりレジスト分を除去され
た水系現像廃液は、前述した電解等による再生処理のた
めに、水を一部除去し適度な濃度へと濃縮される。ま
た、濃縮を行なうことは、水系現像廃液の再生処理を半
導体製造工程の行われる場所と異なる（離れた）場所で
行う場合に、輸送コストの点でも有利である。

【００３６】当該濃縮は電解効率の点で、水系現像廃液
中のＴＡＡＨ濃度が２０〜６０質量％となるまで濃縮す
ることが好ましい。当該濃縮方法は特に制限されるもの
ではなく、公知の方法で行えば良い。具体的には加熱に
より水を蒸発させる方法が挙げられる。

【００３７】本発明においては、前述した可燃性有機溶
媒を含む廃液の処理において回収される熱エネルギー
を、該処理における精製工程のエネルギー源として利用
するのみならず、上記水系現像廃液の濃縮のためのエネ
ルギー源としても使用することがさらに好適である。

【００３８】即ち、可燃性有機溶媒を含む廃液の処理工
程における精製不能廃液及び精製残を燃焼させることに
よって得られるエネルギーを、可燃性有機溶媒を含む廃
液の精製工程、及び上記水系現像廃液の濃縮工程の双方
のエネルギー源として使用することにより、精製工程の
ためのエネルギー装置（例えば、水蒸気を発生させるた
めのボイラー）と濃縮のためのエネルギー装置（同じ
く、例えばボイラー）、及びこれらに付随する設備を別
個に設置する必要がなく、設置空間やコストを低減でき
有利である。

【００３９】一方、上記水系現像廃液の濃縮により得ら
れる水はほぼ純粋な水であり、そのまま排水として破棄
することも可能であるが、より好ましくは当該水を工業
用水や衛生用水として再利用することにより、廃棄物排
出量のさらなる低減と各種コストの削減ができる。

【００４０】第二の本発明においては、可燃性有機溶媒
を含む廃液に由来する成分を燃焼させて得た熱エネルギ
ーを、水系現像廃液の濃縮のためのエネルギー源として
使用する廃液の処理方法が提供される。

【００４１】当該処理方法は、前記判断工程、精製工
程、確認工程からなる有機溶媒を含む廃液の処理方法に
おいて、当該精製工程を電気的な方法で行う等し、直接
的に熱エネルギーを用いた精製を行わない場合、あるい
は半導体製造工程から排出される全ての可燃性有機溶媒
を含む廃液を燃焼させて熱エネルギーとして回収し、当
該熱エネルギーをもって、水系現像廃液の濃縮のエネル
ギー源として利用する場合等に採用することができる。

【００４２】上記全ての可燃性有機溶媒を含む廃液を燃
焼させて熱エネルギーとして回収する方法は以下のよう
な場合に、前記した判断工程、精製工程、確認工程を含
む廃液の処理方法に比して有利である。即ち、半導体製
造工程によっては該工程から排出される廃液が常に高濃
度に汚染され、精製工程に送ることが可能であると判断
される割合が２０％以下、場合によっては一桁台である
工程も存在する。さらに精製工程に送ったとしても、精
製残が発生し、また、精製しても再利用可能な物性を有
さないと判断される可能性もある。そのため、このよう
な高濃度に汚染された可燃性有機溶媒を含む廃液を精製
し、有機溶媒を回収することは極めて効率が悪い。一
方、このような半導体製造工程でも前記水系現像廃液は
排出され、当該水系現像廃液の再生又は輸送のために濃
縮することは必要である。従って、排出される全ての可
燃性有機溶媒を含む廃液を燃焼させ、該燃焼により得ら
れる熱エネルギーを水系現像廃液の濃縮のためのエネル
ギー源とすることにより、前記判断工程、精製工程及び
確認工程を省略することができ、また、濃縮のためのエ
ネルギーコストを節減することができ、一方で、可燃性
有機溶媒を含む廃液由来の廃棄物をなくすことができる
という利点は変わらず得られる。

【００４３】なお、再利用可能な有機溶媒の回収量が多
いと期待できるときには、環境負荷の点からみて、前記
した判断工程、精製工程及び確認工程からなる廃液処理
方法を取るほうが好ましい。

【００４４】上記いずれの場合にも、前記したように水
系現像廃液の中和、濾過により濾別回収されるレジスト
分を一緒に燃焼させて熱エネルギーとして回収すること
が好ましい。

【００４５】また、第一の本発明、第二の本発明におけ
るいずれの方法においても、得られる熱エネルギーを上
記した以外の目的のためのエネルギー源にも使用するこ
とが可能である。

【００４６】本発明の廃液処理方法は、半導体製造工程
から排出される可燃性有機溶媒を含む廃液及び水系現像
廃液を、タンクローリー等による長距離の輸送を行わず
に済むよう、半導体製造工程の行われる場所と近似した
場所で行うことが好ましい（以下、同一敷地内）。特
に、可燃性有機溶媒を含む廃液の処理における判断工
程、精製工程並びに確認工程、及び水系現像廃液の処理
における濃縮工程は同一敷地内で行うことが好ましい。

【００４７】半導体製造工程から排出される可燃性有機
溶媒を含む廃液と水系現像廃液は通常、同時に排出され
るため、同一敷地内で行うことにより、前述した両廃液
の処理を密接に関連させて処理する効果が高まり、ま
た、燃焼処理や濃縮処理により容量が低減されるため、
処理された廃液（精製回収液や濃縮された水系現像廃
液）を他の場所で利用したり、またはさらなる処理を行
う場合に輸送コストが低減され有利である。

【００４８】

【実施例】次に、本発明の処理方法の具体的な実施態様
を添付図面を参照しながら説明するが本発明はこれらの
実施例及び添付図面に限定されるものではない。

【００４９】図１は、本発明の処理方法の代表的な実施
態様を示す概略図である。

【００５０】図１において、半導体製造工程（図示しな
い）から排出され、配管１を通して送液される可燃性有
機溶媒を含む廃液は、この配管１に接続された比抵抗測
定装置２ａにより比抵抗が測定され、該測定値から蒸留
による精製を行うことにより再利用可能な有機溶媒が回
収可能な廃液か否かが判定される。配管１はバルブ３を
介して精製用送液配管４及び燃焼用送液配管５ａと接続
されており、上記判定に基づき、貯溜された可燃性廃液
がこれら配管をとおして、蒸留装置６又は燃焼用廃液貯
蔵タンク７へと送られる。なお、いずれに送液するか
は、比抵抗測定装置３の測定結果を確認して手動でバル
ブ３の開閉を行う方法でもよいし、比抵抗測定装置の測
定結果と連動する電子的システムを用いてのバルブ開閉
でもよい。

【００５１】蒸留装置６へ送られた場合は、ボイラー８
で発生させた蒸気を熱源として用いて蒸留が行われる。
蒸留装置６により気化された成分はコンデンサー９を経
て冷却・液化され、留出用配管１０へと送られる。当該
留出用配管１０はバルブ１１を介して回収用配管１２及
び燃焼用送液配管５ｂへと接続されており、本留分（再
利用を目的とする溶媒成分）の留出前に留出する低沸点
成分は燃焼用送液配管５ｂを通して燃焼用廃液貯蔵タン
ク７へと送られる。本留分については留出用配管１０に
接続された比抵抗測定装置２ｂにてその比抵抗を測定
し、所定の比抵抗を有している場合には回収用配管１２
を通して各種タンクや当該溶媒を利用する工程（図示し
ない）へと送られる。留出した本留分が所定の比抵抗を
有していない場合には、燃焼用送液配管５ｂを通して燃
焼用廃液貯蔵タンク７へと送られる。

【００５２】また、本留分の留出後に残る高沸点不純物
は、燃焼用送液配管５ｃを通して燃焼用廃液貯蔵タンク
７へと送られる。

【００５３】各工程から燃焼用送液配管５ａ〜ｃを通し
て燃焼用廃液貯蔵タンク７へと集められた各廃液はボイ
ラー８へと送られ、燃料として燃焼させられる。

【００５４】他方、半導体製造工程から排出された水系
現像廃液は水系廃液貯蔵タンク１３へと貯溜され、そこ
へガス導入管１４を通して炭酸ガスが吹き込まれる。炭
酸ガスにより中和された水系現像廃液からは、レジスト
分が析出してくるため、これを濾過装置１５により濾別
し、濾液を濃縮装置１６へと送る。濃縮装置１６では、
ボイラー８から供給される水蒸気を熱源として、水系現
像廃液の濾液が濃縮される。濃縮された水系現像廃液は
引き続いて所定の方法で再生する（図示しない）。ま
た、濃縮により留出した水も回収され工業用水、衛生用
水等として再利用する。

【００５５】中和及び濾過により水系現像廃液から濾別
されたレジスト分は通常スラリー状であり、これはレジ
スト分送液管１７によりボイラー８へと送付され、可燃
性有機溶媒を含む廃液から得られた成分とともに燃料と
して燃焼させられる。

【００５６】なお、いずれの配管においても、送液は重
力による自然落下を利用するか又は必要に応じて送液ポ
ンプ（図示しない）等の搬送装置を用いる。

【００５７】

【発明の効果】本発明の半導体製造工程から排出される
廃液の処理方法を採用することにより、廃棄物の排出量
をほぼゼロとすることが可能となるため、廃棄物処理の
手間が軽減され、また、一部を熱エネルギーとして回収
することにより、再生に必要なエネルギーコストも削減
することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の廃液処理方法の代表的な実施態様を
示すシステム図

【符号の説明】

１：配管 ２ａ、２ｂ：比抵抗測定装置 ３：バルブ ４：精製用送液配管 ５ａ、５ｂ、５ｃ：燃焼用送液配管 ６：蒸留装置 ７：燃焼用廃液貯蔵タンク ８：ボイラー ９：コンデンサー １０：留出用配管 １１：バルブ １２：回収用配管 １３：水系廃液貯蔵タンク １４：ガス導入管 １５：濾過装置 １６：濃縮装置 １７：レジスト分送液管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０３ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０３Ｃ ５０４ ５０４Ｂ ５０４Ｅ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ 21/027 21/304 ６４８Ｆ 21/304 ６４８ 21/308 Ｇ 21/308 21/30 ５６９Ｚ ５７２Ｚ (72)発明者 井手西 勝己 山口県徳山市御影町１番１号 株式会社ト クヤマ内 Ｆターム(参考） 4D034 AA26 BA01 CA12 DA02 5F043 BB27 CC16 EE33 5F046 LA07 LA19 MA19

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ａ）半導体製造工程から排出される可燃
   性有機溶媒を含む廃液の物性を測定して精製により再利
   用可能な有機溶媒を回収可能か否かを判定する工程、
   ｂ）再利用可能な有機溶媒を回収可能と判断された可燃
   性有機溶媒を含む廃液を精製し有機溶媒を得る工程、
   ｃ）精製された有機溶媒の物性を測定し、再利用可能な
   所定の物性を有するか否かを判定する工程からなり、
   ａ）工程において精製不能と判定された可燃性有機溶媒
   を含む廃液及びｂ）工程において排出される精製残を燃
   焼させ、該燃焼により発生する熱エネルギーを回収し、
   当該熱エネルギーをｂ）工程のためのエネルギー源とし
   て利用することを特徴とする、半導体製造工程において
   排出される廃液の処理方法。
2. 【請求項２】 請求項１におけるｃ）工程において再利
   用不可と判定された有機溶媒をも燃焼させて熱エネルギ
   ーとして回収する請求項１記載の廃液の処理方法。
3. 【請求項３】 半導体製造工程から排出される水系現像
   廃液を中和して析出してきた析出物を濾過し、当該濾過
   残渣物を請求項１又は２において熱エネルギーとして回
   収するために燃焼させられる可燃性有機溶媒を含む廃液
   と共に燃焼させることを特徴とする、半導体製造工程に
   おいて排出される廃液の処理方法。
4. 【請求項４】 半導体製造工程から排出される可燃性有
   機溶媒を含む廃液を燃焼させて熱エネルギーを回収し、
   該熱エネルギーを用いて半導体製造工程から排出される
   水系現像廃液を濃縮することを特徴とする、半導体製造
   工程において排出される廃液の処理方法。