JP2003152270A - 半導体レーザ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体レーザをパルセーション制御しつつ光
量指令信号に対して正確にして高速な発光量制御を両立
させることができる半導体レーザ駆動装置を提供する。 【解決手段】 この半導体レーザ駆動装置は、入力され
た光量指令信号に基づいて、半導体レーザ６０を駆動す
るとともに該半導体レーザから発せられるレーザ光の光
量を制御し、レーザ光の光量をモニタし該光量に応じた
帰還信号を出力する光量モニタ部５０と、光量指令信号
と帰還信号との偏差に応じて半導体レーザ駆動信号を出
力する駆動信号部１０，２０と、半導体レーザ駆動信号
に線形対応した半導体レーザ駆動電流を出力する線形駆
動部３０と、半導体レーザ駆動信号に非線形対応した半
導体レーザ駆動電流を出力する非線形駆動部４０と、半
導体レーザに対応して設けられた負荷１００と半導体レ
ーザとに交互に半導体レーザ駆動電流を流す動作をくり
返す駆動電流制御部３００とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光走査記録装置の
ごとき露光装置または計測装置等に用いられる半導体レ
ーザを駆動する駆動回路に関し、特に、半導体レーザの
光出力を高速にアナログ強度変調するとともに、このア
ナログ強度変調とは独立して信号源及び周波数により半
導体レーザの発光を高速にパルセーション駆動すること
が可能な半導体レーザ駆動回路に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば、光走査記録装置のご
とき露光装置において、半導体レーザから発生する光ビ
ームを感光性記録材料上で走査し該記録材料にデータの
記録を行う装置が実用化されている。

【０００３】これら光走査記録装置等で使用される半導
体レーザは、連続濃度階調の画像を担持させるようにレ
ーザ光出力を半導体レーザに注入する電流を制御するこ
とにより直接変調することが可能である。このレーザ駆
動電流を制御する回路は、通常、外部から入力された光
量指令信号によって設定される所望の光出力が半導体レ
ーザから正確に発生するように、ＡＰＣ（Automatic Po
wer Control）回路を設けて光出力を安定にするような
制御を行うことが多い。ＡＰＣ回路は、半導体レーザか
ら出射する光出力の一部を受光素子で取り出し、負帰還
するフィードバック制御等で実現できる。一方、半導体
レーザは、図５に示すように、駆動電流に対する光出力
特性が、ＬＤ発光域（レーザ発光域）とＬＥＤ発光域
（自然発光域）とで著しく変化するため、０（ゼロ）近
くの光量から最大光量に至るまで、安定且つ高速にＡＰ
Ｃ動作を制御する駆動回路は、非常に困難であった。

【０００４】このような課題を解決する駆動回路を有す
る装置として、上記二つの発光域にそれぞれ対応した線
形駆動部と非線形駆動部とを有し、半導体レーザの光量
をモニタして光量に応じた帰還信号を出力させ、帰還信
号と装置の入力となる光量指令信号との偏差に応じて、
線形駆動電流と非線形駆動電流とを適宜出力する半導体
レーザ駆動装置を、本願の発明者の１人が他の発明者と
ともに特開平１０−２００１７９号公報で提案した。

【０００５】また、従来、光走査記録装置では、感光材
料に代表される、記録媒体上に形成する画像品質を向上
させるために、画像の濃度を制御する露光光源である半
導体レーザの発光強度の制御と共に発光時間の制御を組
み合わせて使用したい場合がある。更に、半導体レーザ
の駆動電流に数１００ＭＨｚ以上の高周波を重畳するこ
とにより、レーザ発振を多モード化して、半導体レーザ
のモードホップノイズを低減させたり、光学系の光路に
配置した光学部品や記録媒体自体による光学的な干渉ノ
イズを抑制する。感光材料を記録媒体とする場合は、露
光光源を多モード化して、記録媒体の感度の光源波長の
依存性の影響を受け難くする場合もある。即ち、半導体
レーザの出力をパルス化するパルセーション的な発光制
御の要求がある。

【０００６】ところが、半導体レーザの発光量を正確に
高速に制御するＡＰＣ回路とパルセーションを単純に組
み合わせようとしても、パルセーションの駆動信号等
が、ノイズとして前記ＡＰＣ回路の動作を不安定にする
等の障害を引き起こし、両者の制御を両立することが困
難であった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題に鑑み、半導体レーザの発光時間制御や単純な
高周波重畳法を用いた装置と同様に半導体レーザをパル
セーション制御しつつ光量指令信号に対して正確にして
高速な発光量制御を両立させることができる半導体レー
ザ駆動装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の半導体レーザ駆動装置は、入力された光量
指令信号に基づいて、半導体レーザを駆動するとともに
該半導体レーザから発せられるレーザ光の光量を制御す
る半導体レーザ駆動装置において、前記レーザ光の光量
をモニタし該光量に応じた帰還信号を出力する光量モニ
タ部と、前記光量指令信号と前記帰還信号との偏差に応
じて半導体レーザ駆動信号を出力する駆動信号部と、前
記半導体レーザ駆動信号に線形対応した半導体レーザ駆
動電流を出力する線形駆動部と、前記半導体レーザ駆動
信号に非線形対応した半導体レーザ駆動電流を出力する
非線形駆動部と、前記半導体レーザに対応して設けられ
た電流経路と前記半導体レーザとに交互に前記半導体レ
ーザ駆動電流を流す動作をくり返す駆動電流制御部と、
を有することを特徴とする。

【０００９】この構成により、パルセーション制御と高
速ＡＰＣ制御とを両立させることができ、光走査記録装
置における例えば半導体レーザのモードホップノイズに
よる記録画像上のノイズ等を防止することができ、かつ
光量指令信号に従った正確な画像形成を実現できる。

【００１０】ここで、駆動電流制御部は、半導体レーザ
と併設された電流経路とに交互に通電するための制御信
号を発生する制御信号発生部と、該制御信号を用いて半
導体レーザと電流経路とに半導体レーザ駆動電流を交互
に流す動作をくり返す駆動回路部とを有することができ
る。この構成により、ＡＰＣ（Automatic Power Contro
l）回路上の制御ループと駆動電流制御部が独立した周
波数により制御できるため互いの回路ブロック間の電気
的な干渉を抑制でき、記録画像のノイズ発生等を防止で
きる。

【００１１】また、駆動回路部は、半導体レーザと対応
して設けられた電流経路の各々に設けられた電流駆動用
トランジスタを互いに逆相の信号で駆動させるように構
成することができるし、また、半導体レーザと対応して
設けられた電流経路の各々に設けられた電流駆動用トラ
ンジスタの一方に固定バイアス回路を設け、他方に交互
通電するための制御信号を入力させるように構成しても
よい。また、電流駆動用トランジスタの代わりにアナロ
グスイッチ素子を用いて構成することもできる。

【００１２】駆動回路部の半導体レーザに対応して設け
られた電流経路に負荷やインピーダンス素子を設けるこ
とができる。この構成により、使用する周波数領域に適
当な特性を有するインピーダンスを選択したり、更に半
導体レーザの温度上昇などによる状態変化に対応した適
当なインピーダンス変化を持たせることにより、補正を
働かせレーザ駆動電流を安定化することもできる。負荷
としては、制御対象の半導体レーザと同一または同等の
特性の半導体レーザを用いたり、また抵抗を使用でき
る。

【００１３】さらに、前記半導体レーザ駆動電流を前記
電流経路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の単位
時間あたりの繰り返し数に相当する周波数が、前記駆動
電流制御部から前記半導体レーザ及び前記光量モニタ部
を経由して前記帰還信号が前記駆動電流制御部の入力に
至る一巡の閉ループの周波数応答帯域の２倍以上である
ことが好ましい。また、前記半導体レーザ駆動電流を前
記電流経路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の単
位時間あたりの繰り返し数に相当する周波数が、前記光
量指令信号の周波数の２倍以上であることが好ましい。
かかる構成により、ＡＰＣのメインの制御ループと駆動
電流制御部が作動する周波数を大きく異ならしめること
ができるから、互いの干渉が生じにくくなり、また、互
いの干渉を除去する処置を簡易に構成することができ
る。

【００１４】また、本発明による別の半導体レーザ駆動
装置は、入力された光量指令信号に基づいて、半導体レ
ーザを駆動するとともに該半導体レーザから発せられる
レーザ光の光量を制御する半導体レーザ駆動装置におい
て、前記レーザ光の光量をモニタする受光素子と、該光
量に応じた帰還信号を出力する受光アンプと、フィルタ
とを有する光量モニタ部と、前記光量指令信号と前記帰
還信号との偏差に応じて半導体レーザ駆動信号を出力す
る駆動信号部と、前記半導体レーザ駆動信号に線形対応
した半導体レーザ駆動電流を出力する線形駆動部と、前
記半導体レーザ駆動信号に非線形対応した半導体レーザ
駆動電流を出力する非線形駆動部と、前記半導体レーザ
に対応して設けられた電流経路と前記半導体レーザとに
交互に前記半導体レーザ駆動電流を流す動作をくり返す
駆動電流制御部と、を有し、前記フィルタは、前記半導
体レーザ駆動電流を前記電流経路と前記半導体レーザと
に交互に流す動作の単位時間あたりのくり返し数に相当
する周波数帯域を遮断するものであることを特徴とす
る。

【００１５】この構成により、上述の半導体レーザ駆動
回路において光量モニタ部を介して高周波的変調の影響
がフィードバックされるのを防ぐことができ、平均的な
光量に基づいたＡＰＣによりレーザ駆動信号を変調する
ことが可能になる。

【００１６】さらには、前記半導体レーザ駆動電流を前
記電流経路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の使
用もしくは不使用に対応して、前記光量モニタ部から出
力される帰還信号に対しゲインを変更するゲイン調整部
を有することが好ましい。この構成により、駆動電流制
御部を使用しない場合、即ち、パルセーション的な駆動
を停止する場合は、ＡＰＣ回路の帰還信号が相対的に増
加することをゲイン調整部で補正し、ＡＰＣ回路のルー
プゲインをほぼ一定に保つことができる。その結果、パ
ルセーションの使用・不使用に拘わらず、安定した光量
制御が可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態に
ついて図面を用いて説明する。図１に本発明の実施の一
形態である半導体レーザ駆動装置を示す。

【００１８】図１において、半導体レーザ駆動回路２０
０はパルセーション駆動を行っていない公知のＡＰＣ回
路が用いられたものであり、具体的にはフィルタ及びＦ
Ｂゲイン変更回路を除いて特開平１０−２００１７９号
公報にほぼ同等の回路が開示されている。

【００１９】光量指令信号Ｓは、半導体レーザから必要
とされる光出力を得るために入力される信号であって、
図示しない制御用コンピュータ等からこれも図示しない
入力端子を経由して半導体レーザ駆動回路２００に入力
される。光量指令信号Ｓの例を図２に示す。

【００２０】図１の加減算器１０と偏差信号増幅回路２
０とが本発明の駆動信号部の例を構成する。加減算器１
０は、光量モニタ部からフィードバックされた受光信号
Ｍと光量指令信号Ｓが入力されると、それらの偏差を示
す偏差信号を出力し、偏差信号増幅回路２０に送る。偏
差信号増幅回路２０は、加減算器１０からの偏差信号を
増幅してレーザ駆動信号を線形駆動電流出力回路３０と
非線形駆動電流出力回路４０に送る。

【００２１】線形駆動電流出力回路３０と非線形駆動電
流出力回路４０は、本発明の駆動部の例であり、偏差信
号増幅回路２０からのレーザ駆動信号を電圧電流変換し
て半導体レーザを駆動する電流を出力する。線形駆動電
流出力回路３０は、光量指令信号の増減に対応して線形
な駆動電流を出力する。非線形駆動電流出力回路４０
は、半導体レーザの自然発光領域におけるレーザ駆動電
流に対する非線形な光出力特性を補償するための非線形
駆動電流出力を行い、両者を合わせて光量指令信号と光
出力の線形応答を実現して広い光出力のダイナミックレ
ンジで確保している。線形駆動電流出力回路３０と非線
形駆動電流出力回路４０から出力されたレーザ駆動電流
は、合わせて交互駆動電流制御回路３００に送られて半
導体レーザ６０を駆動する。

【００２２】フォトダイオード５０、フィルタ７０、受
光信号増幅回路８０およびフィードバックゲイン変更回
路９０は、本発明の光量モニタ部の例を構成する。フォ
トダイオード（ＰＤ）５０は、半導体レーザ（ＬＤ）６
０から発せられる前方出射光の一部を受光して電流信号
に変換しフィルタ７０に送る。フォトダイオード５０
は、前方出射光の一部が受光可能な位置に光軸調整され
た状態で配置されている。フィルタ７０はローパスフィ
ルタであり、電流信号に含まれる高周波成分を遮断し、
受光信号増幅回路８０に送る。受光信号増幅回路８０で
は、高周波成分がカットされた電流信号を電流電圧変換
して電圧出力を所定の電圧レベルまで増幅し、フィード
バックゲイン変更回路９０に送る。

【００２３】フィードバックゲイン変更回路９０は、ゲ
イン調整部の例である。この回路は、後述する交互駆動
電流制御回路３００を使用する場合と使用しない場合と
で、フィードバックゲインを切り替えるためのものであ
る。交互駆動制御回路３００を使用する場合は、半導体
レーザ６０は半導体レーザに対置して設けられた電流経
路上の負荷１００と交互に通電されることになり平均光
量が減少する。そこで、光量指令信号Ｓに対応する一定
の光量を確保するために、交互駆動電流制御回路３００
を使用しない場合と比較してフィードバックゲインを高
く設定する。フィードバックゲイン変更回路９０で調整
された受光信号Ｍは、加減算器１０に送られ、閉ループ
が完成する。なお、交互駆動電流制御回路３００を使用
する時のフィードバックゲインを基準として、交互駆動
電流制御回路３００を使用しない場合のフィードバッグ
ゲインを低く設定するようにフィードバッグゲイン変更
回路９０を作用させても良い。

【００２４】上記の構成によれば、受光信号およびレー
ザ駆動信号に交互駆動制御回路３００における高周波的
な変調の影響が及びにくく、光量指令信号に基づいた半
導体レーザの発光量の直接変調が交互駆動に依存しない
ように時間的に平均された光出力によるフィードバック
に基づいて行われて、発光量の制御が安定化する。

【００２５】次に、図１の交互駆動電流制御回路３００
について説明する。交互駆動電流制御回路３００は、本
発明の駆動電流制御部の例を構成する。

【００２６】交互駆動電流制御回路３００は、半導体レ
ーザ６０に対置された電流経路と、半導体レーザ及び対
置された電流経路の各々に通電するための電流駆動用ト
ランジスタ１１０、１２０と、インバータ１３０および
バッファゲート１４０からなる駆動回路部と、発振器か
らなる制御信号発生回路１５０とを有する。図１では、
半導体レーザ６０に対置する電流経路に負荷１００が設
けられている。

【００２７】線形駆動電流出力回路３０と非線形駆動電
流制御回路４０との出力を合成して得られるレーザ駆動
電流ＩＬは、制御信号発生回路１５０の制御信号によ
り、交互に半導体レーザ６０、負荷１００のいずれかに
流すことになり、負荷１００は、半導体レーザ６０の代
わりとなるダミーとしての負荷として作用する。そのた
め、負荷１００の一端は、半導体レーザ６０と同じく正
電源に接続されている。負荷１００の他端は、電流駆動
用トランジスタ１２０のコレクタに接続されている。図
１の例における負荷１００は抵抗素子が使用されてい
る。

【００２８】電流駆動用トランジスタ１１０のベースは
バッファゲート１４０の出力ピンに接続されており、エ
ミッタは線形駆動電流出力回路３０と非線形駆動電流出
力回路４０に接続されている。また、コレクタは半導体
レーザ６０に接続されている。

【００２９】電流駆動用トランジスタ１２０のベースは
インバータ１３０の出力ピンに接続され、エミッタは電
流駆動用トランジスタ１１０と同様に線形駆動電流出力
回路３０と非線形駆動電流出力回路４０に接続されてい
る。また、コレクタは負荷１００に接続されている。

【００３０】制御信号発生回路１５０は、半導体レーザ
６０と負荷１００に交互に通電するための基準となる信
号を発生するための発振器である。発振周波数は、光量
指令信号Ｓが有する周波数の約１０倍になるように設定
されている。制御信号発生回路１５０の一端は接地さ
れ、他端は、インバータ１３０とバッファゲート１４０
の入力ピンに接続されている。

【００３１】制御信号発生回路１５０から図３（Ａ）に
示す基準信号が発振されると、図３（Ｂ）に示すように
バッファゲート１４０で同位相の増幅された信号が電流
駆動用トランジスタ１１０に伝えられる。また、基準信
号は、図３（Ｃ）に示すようにインバータ１３０で逆位
相に反転され、電流駆動用トランジスタ１２０に伝えら
れる。電流駆動用トランジスタ１１０，１２０は互いに
逆の位相で半導体レーザ６０と負荷１００に交互に通電
する動作を繰り返す。

【００３２】そして、半導体レーザ６０と負荷１００に
流れるレーザ駆動電流は、もともと図２に示した光量指
令信号Ｓに対応しているから、結局、半導体レーザ６０
の出力は、図２の信号を図３（Ｂ）の信号でオン・オフ
された図３（Ｄ）の状態となる。即ち、パルセーション
駆動される。しかし、半導体レーザ６０と負荷１００に
流れる電流を合わせたレーザ駆動電流ＩＬは、図２の信
号に対応するに過ぎないから、ＡＰＣ回路にはそのよう
なパルス的な変調の影響は及ばない。つまり、本実施の
形態における高速アナログ変調においてパルセーション
駆動に伴うノイズ等の影響は、半導体レーザ駆動回路２
００に及ばない。これにより、半導体レーザ駆動回路２
００にパルセーションに伴う高周波ノイズが生じない
し、回路の制御も安定化し光出力も正確に制御される。
その結果、記録画像のノイズ等の故障が生じない。

【００３３】次に、図４に交互駆動制御回路の別の例を
示す。図４の交互駆動制御回路では、負荷１００へ通電
する回路として固定バイアス回路３２０を採用してお
り、制御信号発生回路１５０からの信号がバッファゲー
ト１４０を介して電流駆動用トランジスタ１１０に入力
し、半導体レーザ６０が駆動されるようになっている。
図４の交互駆動制御回路により図１と同様の効果を得る
ことができる。なお、図４において、固定バイアス回路
を半導体レーザ６０へ通電する回路に適用し、制御信号
発生回路１５０からの信号を負荷１００側の電流駆動用
トランジスタ１２０へ入力するようにしてもよく、同様
の効果を得ることができる。更に、電流駆動用トランジ
スタ１１０，１２０は、アナログスイッチＩＣに置き換
えても同様の効果を得ることができる。

【００３４】以上のように本発明を実施の形態により説
明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、
本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能であ
る。例えば、本発明で使用するＡＰＣ回路は、線形駆動
電流出力回路３０、非線形駆動電流出力回路４０を要素
として含んでいるが、図５に例を示した半導体レーザの
駆動電流対光出力特性において、自然発光領域が極端に
少ない半導体レーザに適用する場合は、非線形駆動電流
出力回路４０の機能を省いたり、その機能を簡易的な手
段に置き換えることも可能である。また、アプリケーシ
ョシ上、使用したい光出力が、レーザ発光領域だけの場
含も、同様に、非線形駆動電流出力回路４０の機能を省
いたり、簡易的な手段に置き換えることができる。

【００３５】また、駆動電流制御部における各々の電流
駆動用トランジスタとバッファゲートおよびインバータ
との結合を、ＡＣカップリングと適当なバイアス回路と
の組み合わせとしても良い。

【００３６】また、ローパスフィルタの代わりに、上限
と下限にはされた一定の中間帯域を遮断するノッチフィ
ルタ（バンドリジェクションフィルタ）を用いても良
い。また、半導体レーザと対置して用いる負荷は、単な
る抵抗ではなくコンデンサーやコイル等を併用したイン
ピーダンス素子としても良い。また、半導体レーザと負
荷に交互に流す動作の単位時間あたりのくり返し数に相
当する周波数を、レーザ駆動電流を生成する閉ループに
おける周波数を基準として定めても良い。

【００３７】更に、フィルタ７０は、帰還ループ内に挿
入されれば同様の効果が得られるため、例えば、図１の
受光信号増幅回路８０にフィルタ要素を併設したり、受
光信号増幅回路８０に包含して実現することもできる。
また、ＦＢゲイン変更回路９０は、ＡＰＣの一巡の閉ル
ープ内のいずれの箇所に挿入しても、同様の作用を得る
ことはできるが、パルセーションの有無に伴いフィード
バックする平均光量のゲインが異なることを補正するた
め、本発明に記載の通り、フィードバック経路に挿入す
ることが、実際の制御回路を構成する際に、閉ループ内
の各エレメントに対する影響が少なく抑え、簡単な構成
で目的の効果を得ることが可能となる。

【００３８】

【発明の効果】本発明の半導体レーザ駆動装置によれ
ば、パルセーション的なレーザ駆動と半導体レーザのＡ
ＰＣ制御による直接変調とを両立させることができる。
また、高周波パルセーション的な変調により光走査記録
装置における記録画像の画像品質を向上させたり、半導
体レーザのモードホッッピングノイズ等による画像ムラ
や画像ノイズの発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による半導体レーザ駆動装
置の概略図である。

【図２】光量指令信号の例を示す概念図である。

【図３】交互駆動制御における各段階の発振信号例の概
念図である。 （Ａ）基準となる発振信号例の概念図である。 （Ｂ）バッファゲートの出力ピンに現れる信号例の概念
図である。 （Ｃ）インバータの出力ピンに現れる信号例の概念図で
ある。 （Ｄ）半導体レーザに印可される駆動電流例の概念図で
ある。

【図４】交互駆動制御回路の別の例を示す概略図であ
る。

【図５】半導体レーザの駆動電流対光出力特性を概略的
に示す図である。

【符号の説明】

１０ 加減算器 ２０ 偏差信号増幅回路 ３０ 線形駆動電流出力回路 ４０ 非線形駆動電流出力回路 ５０ フォトダイオード ６０ 半導体レーザ ７０ ローパスフィルタ ８０ 受光信号増幅回路 ９０ フィードバックゲイン変更回路 １００ 負荷 １１０ 電流駆動用トランジスタ １２０ 電流駆動用トランジスタ １３０ インバータ １４０ バッファゲート １５０ 基準信号発振器 ２００ 半導体レーザ駆動回路 ３００ 交互駆動電流制御回路 ３１０ 交互駆動制御回路 ３２０ 固定バイアス回路 ＩＬ レーザ駆動電流

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 錦亨 埼玉県狭山市上広瀬591−７ コニカ株式 会社内 Ｆターム(参考） 5D119 AA10 AA24 FA05 HA12 HA36 HA68 5D789 AA10 AA24 FA05 HA12 HA36 HA68 5F073 BA04 BA09 EA14 EA15 FA01 GA02 GA12

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力された光量指令信号に基づいて、半
   導体レーザを駆動するとともに該半導体レーザから発せ
   られるレーザ光の光量を制御する半導体レーザ駆動装置
   において、 前記レーザ光の光量をモニタし該光量に応じた帰還信号
   を出力する光量モニタ部と、 前記光量指令信号と前記帰還信号との偏差に応じて半導
   体レーザ駆動信号を出力する駆動信号部と、 前記半導体レーザ駆動信号に線形対応した半導体レーザ
   駆動電流を出力する線形駆動部と、 前記半導体レーザ駆動信号に非線形対応した半導体レー
   ザ駆動電流を出力する非線形駆動部と、 前記半導体レーザに対応して設けられた電流経路と前記
   半導体レーザとに交互に前記半導体レーザ駆動電流を流
   す動作をくり返す駆動電流制御部と、を有することを特
   徴とする半導体レーザ駆動装置。
2. 【請求項２】 前記駆動電流制御部が、前記電流経路と
   前記半導体レーザとに交互に通電するための制御信号を
   発生する制御信号発生部と、該制御信号を用いて前記半
   導体レーザと前記電流経路とに前記半導体レーザ駆動電
   流を交互に流す動作をくり返す駆動回路部と、を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザ駆動装
   置。
3. 【請求項３】 前記駆動回路部が、前記半導体レーザと
   前記電流経路の各々に設けられた電流駆動用トランジス
   タを互いに逆相の信号で駆動させるように構成されたこ
   とを特徴とする請求項２に記載の半導体レーザ駆動装
   置。
4. 【請求項４】 前記駆動回路部が、前記半導体レーザと
   前記電流経路の各々に設けられた電流駆動用トランジス
   タの一方に固定バイアス回路を設け、他方に前記制御信
   号発生部から出力される制御信号を入力させるように構
   成されたことを特徴とする請求項２に記載の半導体レー
   ザ駆動装置。
5. 【請求項５】 前記電流経路に負荷を設けたことを特徴
   とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の半導体レ
   ーザ駆動装置。
6. 【請求項６】 前記電流経路にインピーダンス素子を設
   けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に
   記載の半導体レーザ駆動装置。
7. 【請求項７】 前記半導体レーザ駆動電流を前記電流経
   路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の単位時間あ
   たりの繰り返し数に相当する周波数が、前記駆動電流制
   御部から前記半導体レーザ及び前記光量モニタ部を経由
   して前記帰還信号が前記駆動電流制御部の入力に至る一
   巡の閉ループの周波数応答帯域の２倍以上であることを
   特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導
   体レーザ駆動装置。
8. 【請求項８】 前記半導体レーザ駆動電流を前記電流経
   路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の単位時間あ
   たりの繰り返し数に相当する周波数が、前記光量指令信
   号の周波数の２倍以上であることを特徴とする請求項１
   乃至７のいずれか１項に記載の半導体レーザ駆動装置。
9. 【請求項９】 入力された光量指令信号に基づいて、半
   導体レーザを駆動するとともに該半導体レーザから発せ
   られるレーザ光の光量を制御する半導体レーザ駆動装置
   において、 前記レーザ光の光量をモニタする受光素子と、該光量に
   応じた帰還信号を出力する受光アンプと、フィルタとを
   有する光量モニタ部と、 前記光量指令信号と前記帰還信号との偏差に応じて半導
   体レーザ駆動信号を出力する駆動信号部と、 前記半導体レーザ駆動信号に線形対応した半導体レーザ
   駆動電流を出力する線形駆動部と、 前記半導体レーザ駆動信号に非線形対応した半導体レー
   ザ駆動電流を出力する非線形駆動部と、 前記半導体レーザに対応して設けられた電流経路と前記
   半導体レーザとに交互に前記半導体レーザ駆動電流を流
   す動作をくり返す駆動電流制御部と、を有し、 前記フィルタは、前記半導体レーザ駆動電流を前記電流
   経路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の単位時間
   あたりのくり返し数に相当する周波数帯域を遮断するも
   のであることを特徴とする半導体レーザ駆動装置。
10. 【請求項１０】 前記半導体レーザ駆動電流を前記電流
    経路と前記半導体レーザとに交互に流す動作の使用もし
    くは不使用に対応して、前記光量モニタ部から出力され
    る帰還信号に対しゲインを変更するゲイン調整部を有す
    る請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体レーザ
    駆動装置。