JP2003149142A - 赤外ａｔｒ測定アタッチメント - Google Patents
赤外ａｔｒ測定アタッチメントInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価で測定効率の良い赤外ＡＴＲ測定アタッ
チメントを提供する。 【解決手段】 赤外線ＡＴＲ装置における赤外光の光路
に挿入される赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは、ＡＴＲ
プリズム１１がプリズム保持部材１２によって保持さ
れ、例えば三角柱状をしており、その材質は例えばゲル
マニウムである。また三角柱状ＡＴＲプリズムの断面は
二等辺三角形をしており、その三角形の底面に試料１３
が置かれる。三角柱状ＡＴＲプリズムの底面と側面が赤
外線ＡＴＲ装置の光軸と平行に配置される。すなわち、
ＡＴＲプリズム１１は入射光軸１４と出射光軸１５が試
料面１６に平行となるように配置される。
チメントを提供する。 【解決手段】 赤外線ＡＴＲ装置における赤外光の光路
に挿入される赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは、ＡＴＲ
プリズム１１がプリズム保持部材１２によって保持さ
れ、例えば三角柱状をしており、その材質は例えばゲル
マニウムである。また三角柱状ＡＴＲプリズムの断面は
二等辺三角形をしており、その三角形の底面に試料１３
が置かれる。三角柱状ＡＴＲプリズムの底面と側面が赤
外線ＡＴＲ装置の光軸と平行に配置される。すなわち、
ＡＴＲプリズム１１は入射光軸１４と出射光軸１５が試
料面１６に平行となるように配置される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、全反射測定法（Ａ
ＴＲ法）により物質の赤外線吸収スペクトルを測定する
ために用いられる赤外ＡＴＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ
Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）測定アタッチメン
トに関するものである。
ＴＲ法）により物質の赤外線吸収スペクトルを測定する
ために用いられる赤外ＡＴＲ（Ａｔｔｅｎｕａｔｅｄ
Ｔｏｔａｌ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）測定アタッチメン
トに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】全反射を利用した赤外ＡＴＲ測定法は、
高分子材料など有機物をはじめ、種々の物質の定性分析
や定量分析などに広く利用されるものであり、赤外線吸
収ペクトルを測定する方法の一つとして知られている。
物質に赤外線を照射すると、ある波長の光が選択的に吸
収をうける。物質を透過した赤外線の強さを縦軸に波数
を横軸にとって記録すると赤外吸収スペクトルが得られ
る。ＡＴＲ法では屈折率の大きいＡＴＲプリズムを試料
に密着させ、ＡＴＲプリズムをとおして赤外光を試料に
照射し、ＡＴＲプリズムからの出射光を測定する。
高分子材料など有機物をはじめ、種々の物質の定性分析
や定量分析などに広く利用されるものであり、赤外線吸
収ペクトルを測定する方法の一つとして知られている。
物質に赤外線を照射すると、ある波長の光が選択的に吸
収をうける。物質を透過した赤外線の強さを縦軸に波数
を横軸にとって記録すると赤外吸収スペクトルが得られ
る。ＡＴＲ法では屈折率の大きいＡＴＲプリズムを試料
に密着させ、ＡＴＲプリズムをとおして赤外光を試料に
照射し、ＡＴＲプリズムからの出射光を測定する。
【０００３】図４は、この種の測定を行うための赤外線
ＡＴＲ装置の一構成例を示す概略図である。図におい
て、赤外光源４０から出射された赤外光は、光学系４１
を介して平行光束となり、光学系４２によってマイケル
ソン干渉計に導入される。この光束はビームスプリッタ
４３により半分は反射されて固定鏡４４に向かい、半分
は透過して移動鏡４５に向かう。赤外光は固定鏡４４お
よび移動鏡４５にそれぞれ反射され、合成されたのち光
学系４６および光学系４７を介して検出器４８に集光す
る。図示のように、光学系４７における１つの光路に
は、赤外ＡＴＲ測定アタッチメント４９が配置される。
このアタッチメントに測定対象である試料が保持されて
いる。
ＡＴＲ装置の一構成例を示す概略図である。図におい
て、赤外光源４０から出射された赤外光は、光学系４１
を介して平行光束となり、光学系４２によってマイケル
ソン干渉計に導入される。この光束はビームスプリッタ
４３により半分は反射されて固定鏡４４に向かい、半分
は透過して移動鏡４５に向かう。赤外光は固定鏡４４お
よび移動鏡４５にそれぞれ反射され、合成されたのち光
学系４６および光学系４７を介して検出器４８に集光す
る。図示のように、光学系４７における１つの光路に
は、赤外ＡＴＲ測定アタッチメント４９が配置される。
このアタッチメントに測定対象である試料が保持されて
いる。
【０００４】本例の赤外線ＡＴＲ装置では、ビームスプ
リッタ４３と固定鏡４４、移動鏡４５までの距離にδ／
２の差があると、移動鏡４５で反射された光波と固定鏡
４４で反射された光波との間にδの光路差を生じ、その
ため合成波は打消し合ったり強め合ったりする。こうし
て検出器４９からの出力はδの関数となり、これが干渉
曲線を与える。この信号をフーリエ変換することにより
赤外スペクトルを得ることができる。
リッタ４３と固定鏡４４、移動鏡４５までの距離にδ／
２の差があると、移動鏡４５で反射された光波と固定鏡
４４で反射された光波との間にδの光路差を生じ、その
ため合成波は打消し合ったり強め合ったりする。こうし
て検出器４９からの出力はδの関数となり、これが干渉
曲線を与える。この信号をフーリエ変換することにより
赤外スペクトルを得ることができる。
【０００５】図３は、上述のような赤外線ＡＴＲ装置に
用いられる、従来の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントの一
例を示す図である。本例のアタッチメントは、図示のよ
うに、ＡＴＲプリズム３１と、入射光３３を効率よくＡ
ＴＲプリズム３１に入射するための凹面鏡や鏡などの光
学部品３４ａ、３４ｂと、出射光３５を分光計に効率よ
く導入するための凹面鏡や鏡などの光学部品３４ｃ、３
４ｄからなる。また図示はしないがこの種の光学部品に
は微調整装置が付属しており、赤外線の透過率が最大に
なるようにＡＴＲ測定アタッチメントを調整することが
できるようにされている。ＡＴＲプリズム３１の上面に
は試料３２が載せられている。測定時において、入射光
３３は、光学部品３４ａ、３４ｂをそれぞれ介してＡＴ
Ｒプリズム１に入射される。入射光３３はプリズム内部
で複数回全反射したのち、プリズムから出射される。出
射光３５は光学部品３４ｃ、３４ｄをそれぞれ介して図
示しない検出器に導入される。
用いられる、従来の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントの一
例を示す図である。本例のアタッチメントは、図示のよ
うに、ＡＴＲプリズム３１と、入射光３３を効率よくＡ
ＴＲプリズム３１に入射するための凹面鏡や鏡などの光
学部品３４ａ、３４ｂと、出射光３５を分光計に効率よ
く導入するための凹面鏡や鏡などの光学部品３４ｃ、３
４ｄからなる。また図示はしないがこの種の光学部品に
は微調整装置が付属しており、赤外線の透過率が最大に
なるようにＡＴＲ測定アタッチメントを調整することが
できるようにされている。ＡＴＲプリズム３１の上面に
は試料３２が載せられている。測定時において、入射光
３３は、光学部品３４ａ、３４ｂをそれぞれ介してＡＴ
Ｒプリズム１に入射される。入射光３３はプリズム内部
で複数回全反射したのち、プリズムから出射される。出
射光３５は光学部品３４ｃ、３４ｄをそれぞれ介して図
示しない検出器に導入される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の赤外ＡＴＲ測定
アタッチメントは、入射光を効率よくＡＴＲプリズムに
入射するための光学部品および出射光を検出器に効率よ
く導入するための光学部品をそれぞれ必要とするため、
赤外ＡＴＲ測定アタッチメントが高額であった。また、
使用されている凹面鏡や鏡などの光学部品の劣化により
鏡の反射率が低下すると透過光量が減少して測定データ
のＳ／Ｎが低下してくるという問題があった。さらに、
光学系が狂い透過する光量が低下することがあり、この
場合には赤外光の透過率を最大にするために光学系を調
整する必要があるという問題があった。
アタッチメントは、入射光を効率よくＡＴＲプリズムに
入射するための光学部品および出射光を検出器に効率よ
く導入するための光学部品をそれぞれ必要とするため、
赤外ＡＴＲ測定アタッチメントが高額であった。また、
使用されている凹面鏡や鏡などの光学部品の劣化により
鏡の反射率が低下すると透過光量が減少して測定データ
のＳ／Ｎが低下してくるという問題があった。さらに、
光学系が狂い透過する光量が低下することがあり、この
場合には赤外光の透過率を最大にするために光学系を調
整する必要があるという問題があった。
【０００７】本発明の目的は、上記問題点を解決し、安
価で測定効率の良い赤外ＡＴＲ測定アタッチメントを提
供することにある。
価で測定効率の良い赤外ＡＴＲ測定アタッチメントを提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的は、赤外線ＡＴ
Ｒ装置における赤外光の光路に挿入される赤外ＡＴＲ測
定アタッチメントであって、入射光軸と出射光軸が試料
面に平行となるように配置されたプリズムを有する赤外
ＡＴＲ測定アタッチメントにより達成される。
Ｒ装置における赤外光の光路に挿入される赤外ＡＴＲ測
定アタッチメントであって、入射光軸と出射光軸が試料
面に平行となるように配置されたプリズムを有する赤外
ＡＴＲ測定アタッチメントにより達成される。
【０００９】ここで前記プリズムは三角柱状とすること
ができる。三角柱状のプリズムの頂角は６０度以上１６
０度以下であることが好ましい。また、前記プリズムに
おける全反射回数は１回とすることができる。前記プリ
ズムへの入射光の入射角は３０度以上８５度以下である
ことが好ましい。さらに、前記三角柱状のプリズムの角
部は破損防止のためカットしておくことが好ましい。ま
た前記三角柱状のプリズムの柱の高さは入射光の直径の
１５０％から３０％の範囲にあることが好ましく、その
プリズムの三角形の高さは入射光の直径の２００％から
４０％の範囲にあることが好ましい。
ができる。三角柱状のプリズムの頂角は６０度以上１６
０度以下であることが好ましい。また、前記プリズムに
おける全反射回数は１回とすることができる。前記プリ
ズムへの入射光の入射角は３０度以上８５度以下である
ことが好ましい。さらに、前記三角柱状のプリズムの角
部は破損防止のためカットしておくことが好ましい。ま
た前記三角柱状のプリズムの柱の高さは入射光の直径の
１５０％から３０％の範囲にあることが好ましく、その
プリズムの三角形の高さは入射光の直径の２００％から
４０％の範囲にあることが好ましい。
【００１０】このように構成することにより、従来のよ
うな凹面鏡や鏡などの光学部品をなくすることができ、
したがってこの種の光学部品の劣化による影響を排除す
ることができ、また光学系の調整を簡易に行うことがで
きので、安価で測定効率の良い赤外ＡＴＲ測定アタッチ
メントを得ることができる。
うな凹面鏡や鏡などの光学部品をなくすることができ、
したがってこの種の光学部品の劣化による影響を排除す
ることができ、また光学系の調整を簡易に行うことがで
きので、安価で測定効率の良い赤外ＡＴＲ測定アタッチ
メントを得ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る赤外ＡＴＲ測
定アタッチメントの好ましい実施形態について詳細に説
明する。本発明の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは、上
述した図４に示すような赤外線ＡＴＲ装置に好適に用い
ることができる。
定アタッチメントの好ましい実施形態について詳細に説
明する。本発明の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは、上
述した図４に示すような赤外線ＡＴＲ装置に好適に用い
ることができる。
【００１２】（実施例１）図１は本発明に係る赤外ＡＴ
Ｒ測定アタッチメントの第１の実施例を示す図である。
赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは赤外線ＡＴＲ装置の試
料室に設置可能に作製される。本実施例では、ＡＴＲプ
リズム１１はプリズム保持部材１２によって保持されて
いる。また本実施例では、ＡＴＲプリズム１１は三角柱
状をしており、その材質はゲルマニウムである。三角柱
状ＡＴＲプリズムの断面は二等辺三角形をしており、そ
の三角形の底面に試料１３が置かれる。三角柱状ＡＴＲ
プリズムの底面と側面が赤外線ＡＴＲ装置の光軸と平行
に配置される。すなわち、ＡＴＲプリズム１１は入射光
軸１４と出射光軸１５が試料面１６に平行となるように
配置される。二等辺三角形の頂角は１１４度、底辺は約
３０ｍｍで高さ１０ｍｍである。三角柱の高さは８ｍｍ
である。
Ｒ測定アタッチメントの第１の実施例を示す図である。
赤外ＡＴＲ測定アタッチメントは赤外線ＡＴＲ装置の試
料室に設置可能に作製される。本実施例では、ＡＴＲプ
リズム１１はプリズム保持部材１２によって保持されて
いる。また本実施例では、ＡＴＲプリズム１１は三角柱
状をしており、その材質はゲルマニウムである。三角柱
状ＡＴＲプリズムの断面は二等辺三角形をしており、そ
の三角形の底面に試料１３が置かれる。三角柱状ＡＴＲ
プリズムの底面と側面が赤外線ＡＴＲ装置の光軸と平行
に配置される。すなわち、ＡＴＲプリズム１１は入射光
軸１４と出射光軸１５が試料面１６に平行となるように
配置される。二等辺三角形の頂角は１１４度、底辺は約
３０ｍｍで高さ１０ｍｍである。三角柱の高さは８ｍｍ
である。
【００１３】次に動作を説明する。赤外分光光度計の試
料測定位置近傍に置かれた三角柱状のＡＴＲプリズム１
１に入射した赤外光は、スネルの法則に従い屈折してプ
リズム底面に到達する。プリズム底面への入射角は臨界
角より大きいので、光は底面で１回全反射し、プリズム
の他の面、すなわち出射面に到達する。出射面では光は
入射面と同様に屈折し、入射時と平行な光軸をたどって
図示しない検出器に到達し検出される。ＡＴＲプリズム
１１は光路中にＡＴＲプリズムに使用した高屈折率の板
を挿入した場合に相当する効果を主に示すだけなので、
従来の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントに用いられている
凹面鏡や鏡などの光学部品なしで、十分な赤外線の透過
率が得られる。固体試料の場合は試料をＡＴＲプリズム
の底面に密着させることにより、また液体試料の場合は
これまでのＡＴＲ測定アタッチメントと同様の液体測定
用アダプターを使用することにより、赤外線吸収スペク
トルを測定することができる。
料測定位置近傍に置かれた三角柱状のＡＴＲプリズム１
１に入射した赤外光は、スネルの法則に従い屈折してプ
リズム底面に到達する。プリズム底面への入射角は臨界
角より大きいので、光は底面で１回全反射し、プリズム
の他の面、すなわち出射面に到達する。出射面では光は
入射面と同様に屈折し、入射時と平行な光軸をたどって
図示しない検出器に到達し検出される。ＡＴＲプリズム
１１は光路中にＡＴＲプリズムに使用した高屈折率の板
を挿入した場合に相当する効果を主に示すだけなので、
従来の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントに用いられている
凹面鏡や鏡などの光学部品なしで、十分な赤外線の透過
率が得られる。固体試料の場合は試料をＡＴＲプリズム
の底面に密着させることにより、また液体試料の場合は
これまでのＡＴＲ測定アタッチメントと同様の液体測定
用アダプターを使用することにより、赤外線吸収スペク
トルを測定することができる。
【００１４】このアタッチメントをパーキンエルマー社
フーリエ変換赤外分光光度計に設置して使用したとこ
ろ、赤外線の透過率は３３．６％であり、標準のＡＴＲ
測定アタッチメントでの赤外線の透過率２６．５％より
良い値であった。本アタッチメントを用いることにより
高分子フィルムのＡＴＲスペクトルを良好に測定するこ
とができた。
フーリエ変換赤外分光光度計に設置して使用したとこ
ろ、赤外線の透過率は３３．６％であり、標準のＡＴＲ
測定アタッチメントでの赤外線の透過率２６．５％より
良い値であった。本アタッチメントを用いることにより
高分子フィルムのＡＴＲスペクトルを良好に測定するこ
とができた。
【００１５】（実施例２）図２は本発明に係る赤外ＡＴ
Ｒ測定アタッチメントの第２の実施例を示す図である。
本実施例では、ＡＴＲプリズム２１はプリズム保持部材
２２によって保持されている。また本実施例では、ＡＴ
Ｒプリズム２１は三角柱状をしており、その材質はＺｎ
−Ｓｅである。三角柱状ＡＴＲプリズムの断面は二等辺
三角形をしており、その三角形の底面に試料２３が置か
れる。三角柱状ＡＴＲプリズムの底面と側面が赤外分光
光度計の光軸と平行に配置される。すなわち、ＡＴＲプ
リズム２１は入射光軸２４と出射光軸２５が試料面２６
に平行となるように配置される。プリズムの頂角は試料
面への入射角が約４５度になるように１３４度とした。
ＡＴＲプリズムの破損を避けるためにプリズムの各角部
はカットされており、カット面の幅は約１ｍｍになるよ
うにしてある。本実施例の場合も第１の実施例の場合と
同様に、本アタッチメントを用いることにより高分子フ
ィルムのＡＴＲスペクトルを良好に測定することができ
た。
Ｒ測定アタッチメントの第２の実施例を示す図である。
本実施例では、ＡＴＲプリズム２１はプリズム保持部材
２２によって保持されている。また本実施例では、ＡＴ
Ｒプリズム２１は三角柱状をしており、その材質はＺｎ
−Ｓｅである。三角柱状ＡＴＲプリズムの断面は二等辺
三角形をしており、その三角形の底面に試料２３が置か
れる。三角柱状ＡＴＲプリズムの底面と側面が赤外分光
光度計の光軸と平行に配置される。すなわち、ＡＴＲプ
リズム２１は入射光軸２４と出射光軸２５が試料面２６
に平行となるように配置される。プリズムの頂角は試料
面への入射角が約４５度になるように１３４度とした。
ＡＴＲプリズムの破損を避けるためにプリズムの各角部
はカットされており、カット面の幅は約１ｍｍになるよ
うにしてある。本実施例の場合も第１の実施例の場合と
同様に、本アタッチメントを用いることにより高分子フ
ィルムのＡＴＲスペクトルを良好に測定することができ
た。
【００１６】なお、ＡＴＲ測定アタッチメントの赤外光
透過率を高くするために、通常は円形であるフーリエ変
換赤外分光光度計の試料設置位置での赤外光を遮らない
大きさのＡＴＲプリズムを使用することが望ましい。す
なわち、三角柱状ＡＴＲプリズムの柱の高さは赤外光の
直径の１５０％から３０％の範囲にすることが好まし
く、また三角形の高さは赤外光の直径の２００％から４
０％の範囲にすることが好ましい。
透過率を高くするために、通常は円形であるフーリエ変
換赤外分光光度計の試料設置位置での赤外光を遮らない
大きさのＡＴＲプリズムを使用することが望ましい。す
なわち、三角柱状ＡＴＲプリズムの柱の高さは赤外光の
直径の１５０％から３０％の範囲にすることが好まし
く、また三角形の高さは赤外光の直径の２００％から４
０％の範囲にすることが好ましい。
【００１７】三角柱状ＡＴＲプリズムの材料としては上
述のゲルマニウムやＺｎ−Ｓｅのほか、シリコンやＫＲ
Ｓ５など、これまでＡＴＲプリズムに使用されている物
質を使用することができる。また、三角柱状のＡＴＲプ
リズムの頂角は、上述の実施例における角度に限定され
ず、６０度以上１６０度以下とすることができる。ま
た、ＡＴＲプリズムへの入射光の入射角は３０度以上８
５度以下とすることができる。
述のゲルマニウムやＺｎ−Ｓｅのほか、シリコンやＫＲ
Ｓ５など、これまでＡＴＲプリズムに使用されている物
質を使用することができる。また、三角柱状のＡＴＲプ
リズムの頂角は、上述の実施例における角度に限定され
ず、６０度以上１６０度以下とすることができる。ま
た、ＡＴＲプリズムへの入射光の入射角は３０度以上８
５度以下とすることができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、赤外ＡＴＲ測定アタッ
チメントを安価に作製することができる。また測定時に
光学系調整が不要であり、簡単に赤外吸収スペクトルを
測定することができるようになり、測定効率を向上する
ことができる。
チメントを安価に作製することができる。また測定時に
光学系調整が不要であり、簡単に赤外吸収スペクトルを
測定することができるようになり、測定効率を向上する
ことができる。
【図１】本発明に係る赤外ＡＴＲ測定アタッチメントの
第１の実施例を示す図である。
第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明に係る赤外ＡＴＲ測定アタッチメントの
第２の実施例を示す図である。
第２の実施例を示す図である。
【図３】従来の赤外ＡＴＲ測定アタッチメントの一例を
示す図である。
示す図である。
【図４】赤外線ＡＴＲ装置の一構成例を示す概略図であ
る。
る。
１１ ＡＴＲプリズム
１２ プリズム保持部材
１３ 試料
１４ 入射光軸
１５ 出射光軸
１６ 試料面
Claims (8)
- 【請求項１】 赤外線ＡＴＲ装置における赤外光の光路
に挿入される赤外ＡＴＲ測定アタッチメントであって、
入射光軸と出射光軸が試料面に平行となるように配置さ
れたプリズムを有することを特徴とする赤外ＡＴＲ測定
アタッチメント。 - 【請求項２】 前記プリズムが三角柱状であることを特
徴とする請求項１記載の赤外ＡＴＲ測定アタッチメン
ト。 - 【請求項３】 前記プリズムの頂角が６０度以上１６０
度以下であることを特徴とする請求項２記載の赤外ＡＴ
Ｒ測定アタッチメント。 - 【請求項４】 前記プリズムにおける全反射回数が１回
であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載
の赤外ＡＴＲ測定アタッチメント。 - 【請求項５】 前記プリズムへの入射光の入射角が３０
度以上８５度以下であることを特徴とする請求項１〜４
のいずれかに記載の赤外ＡＴＲ測定アタッチメント。 - 【請求項６】 前記三角柱状のプリズムの角部がカット
されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに
記載の赤外ＡＴＲ測定アタッチメント。 - 【請求項７】 前記三角柱状のプリズムの柱の高さが入
射光の直径の１５０％から３０％の範囲にあることを特
徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の赤外ＡＴＲ測
定アタッチメント。 - 【請求項８】 前記三角柱状のプリズムの三角形の高さ
が入射光の直径の２００％から４０％の範囲にあること
を特徴とする請求項２〜７のいずれかに記載の赤外ＡＴ
Ｒ測定アタッチメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001349396A JP2003149142A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 赤外ａｔｒ測定アタッチメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001349396A JP2003149142A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 赤外ａｔｒ測定アタッチメント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149142A true JP2003149142A (ja) | 2003-05-21 |
Family
ID=19162074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001349396A Pending JP2003149142A (ja) | 2001-11-14 | 2001-11-14 | 赤外ａｔｒ測定アタッチメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003149142A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109253991A (zh) * | 2017-07-12 | 2019-01-22 | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 | 光学传感器 |
-
2001
- 2001-11-14 JP JP2001349396A patent/JP2003149142A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109253991A (zh) * | 2017-07-12 | 2019-01-22 | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 | 光学传感器 |
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