SU1075124A1 - Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов - Google Patents

Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов Download PDF

Info

Publication number
SU1075124A1
SU1075124A1 SU823424157A SU3424157A SU1075124A1 SU 1075124 A1 SU1075124 A1 SU 1075124A1 SU 823424157 A SU823424157 A SU 823424157A SU 3424157 A SU3424157 A SU 3424157A SU 1075124 A1 SU1075124 A1 SU 1075124A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
receiving surface
movable carriage
radiation
photodetector
sample
Prior art date
Application number
SU823424157A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Иванович Зюбрик
Иван Владимирович Савицкий
Олег Иосифович Шпотюк
Андрей Орестович Матковский
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8525
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8525 filed Critical Предприятие П/Я В-8525
Priority to SU823424157A priority Critical patent/SU1075124A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1075124A1 publication Critical patent/SU1075124A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПРОПУСКАНИЯ И ОТРАЖЕНИЯ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ, содержащее источник потока монохроматического излучени , установленные по ходу излучени  I линзовую систему, регулируемую щель, фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью и подвижную каретку дл  исследуемого образца, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  точности локального измерени , оно снабжено дополнительным фотоприемником с полностью поглощающей приемной поверхностью, при этом фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью расположен между регулируемой щелью и подвижной кареткой дл  исследуемого образца под углом к оси цотока излучени  так, чтобы отраженный от него поток излучени  был перпендикул рен фотоприемнику с полностью поглощающей приемной поверхностью, который установлен за подвижной кареткой. В (Л п ел to ;

Description

Изобретение относитс  к оптическому приборостроению, конкретнее к оптическим приборам дл  исследовани  спектров поглош ,ени  и отражени , и может быть использовано , например, дл  контрол  качества полупрозрачных зеркал, идентификаци  зонной структуры полупроводников и т.д. Известно устройство дл  измерени  коэффициентов пропускани  и отражени  плоскопараллельных образцов, содержащее источник излучени , полупрозрачное зеркало и три приемника излучени  1. Недостатками известного устройства  вл ютс  сложность конструкции и большие габариты вследствие наличи  большого количества рабочих элементов. Наиболее близким к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  спектров пропускани  и отражени  плоскопараллельных образцов, содержащее источник потока монохроматического излучени , установленные по ходу излучени  линзовую систему, регулируемую щель,-фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью и подвижную каретку дл  исследуемого образца 2. Недостатком этого устройства  вл етс  невысока  точность, св занна  с необходимостью калибровки отражательной способности поверхности кремниевого фотогальванического приемника светового излучени . Кроме того, функциональное разделение циклов измерени  отражени  и пропускани  исследуемого образца приводит к тому, что в каждом из этих случаев световое п тно мен ет свое положение на поверхности исследуемого образца.Это не позвол ет проводить измерени - дл  одного и того же участка образца, что в случае большой оптической неоднородности материала сказываетс  на точности полученных результатов . Целью изобретени   вл етс  повышение точности локального измерени  коэффициентов пропускани  и отражени . Эта цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  коэффициентов пропускани  и отражени  плоскопараллельпых образцов, содержапдее источник потока монохроматического излучени , установленные по ходу излучени  линзовую систему, регулируемую щель, фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью и подвижную каретку дл  исследуемого д,- разца, снабжено дополнительны.м фотоприемником с полностью поглощающей приемной поверхностью, при этом фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью расположен между регулируемой щелью и подвижной кареткой дл  исследуемого образца под углом к оси потока излучени  так, чтобы отраженный от него поток излучени  был перпендикул рен фотоприемнику с полностью поглощающей приемной поверхностью, который установлен за подвижной кареткой. На чертеже представлена схема устройства . Устройство дл  измерени  коэффициентов пропускани  и отражени  плоскопараллельных образцов содержит источник 1 монохроматического излучени , линзовую систему 2, регулируемую щель 3, фотоприемник 4счастично отражающей приемной поверхностью , фотоприемпик 5 с полностью поглощающей приемной поверхностью, подвижную каретку 6 дл  исследуемого образца 7. Коэффициент отражени  фотоприемника 4 лежит в пределах 35-50%. Устройство работает следующим образом . Излучение от источника 1 проходит через линзовую систему 2 и регулируемую щель 3. Линзова  система 2 позвол ет создавать как параллельный, так и сход щийс  и расход щийс  световые пучки. Регулируема  щель 3 выдел ет из пучка определенную часть его, обеспечива  работу с энергетически нормированным пучком. ПройД  регулируемую щель 3, световой поток под углом 45-55° попадает на фотоприемник 4. Если подвижна  каретка 6 с исследуемым образцом 7 выведена из светового пучка , то после отражени  от фотоприемника 4 этот пучек поступит на фотоприемник 5, где поглотитс . Принимаем показани  фотоприемника 5 в этом случае за единицу. Поскольку этот фотоприемпик не отражает световой поток, а фотоприемник 4 обладает на этой длине волны коэффициентом отражени  R то, подающий поток равен ) -ii- --1 0 R - Р Фотоприемник 4 зарегистрируе- поток п о- h 1.(2) Таки.м образом, R -jr-r(3) При введении исследуемого образца 7, обладающего па данной длине волны коэффициентом пропускани  TX, и коэффициентом отражени  Rx в световой пучок, поток 1, частично поглотитс  исследуемым образцом 7, частично (I) пройдет сквозь него и зарегистрируетс  фотоприемником 5. Отраженна  от исследуемого образца 7 часть этого потока 1з Htlj Rx попадет снова на отражающую поверхность фотоприемни . ..J. - ка 4, котора  отразит поток 1 R-I.. R,-R в направлении, противоположном первоначальному пучку 1о. Обозначим пок-азани  фотоприе.мников 5 и 4 в этом случае соответственно через р и ш. Тогда m (1о - У + (Ij - Ij) п + п + Дк(1-К);(4) Р I2 I
т.е. показани  фотоприемника 5 дает непосредственно величину коэффициента пропускани  исследуемого образца 7. Учитыва , что R 4t получаем
m п + R jiTi;(6)
Rx(m -n) (1 +-J-). (7). Таким образом, при введении и выведении исследуемого образца 7 из светового пучка по показани м фотоприемника 4 можно определить величину коэффициента отражени  исследуемого образца, а при выведении его из светового пучка - по показани м фотоприемника 5 величину коэффициента пропускани .
Использование изобретени  позволит повысить точность определени  коэффициентов пропускани  и отражени  по сравнению с существующими устройствами за счет исключени  необходимости проведени  калибровки отражательной способност-и фотоприемников и совмещени  процессов определени  коэффициентов пропускани  и отражени .

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕ- для исследуемого образца под углом к оси
    НИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПРОПУСКА- потока излучения так, чтобы отраженный
    НИЯ И ОТРАЖЕНИЯ ПЛОСКОПАРАЛ- от него поток излучения был перпендикуляЛЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ, содержащее ис- рен фотоприемнику с полностью поглощаточник потока монохроматического излу- ющей приемной поверхностью, который успения, установленные по ходу излучения тановлен за подвижной кареткой.
SU823424157A 1982-01-27 1982-01-27 Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов SU1075124A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823424157A SU1075124A1 (ru) 1982-01-27 1982-01-27 Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823424157A SU1075124A1 (ru) 1982-01-27 1982-01-27 Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1075124A1 true SU1075124A1 (ru) 1984-02-23

Family

ID=21006973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823424157A SU1075124A1 (ru) 1982-01-27 1982-01-27 Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1075124A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Патент JP № 54-25826, кл. III Fj опублик. 1979. 2. Патент GB № 1502613, кл. G Ь, опублик. 1978. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3985441A (en) Multi-channel spectral analyzer for liquid chromatographic separations
US5106196A (en) Single adjustment specular reflection accessory for spectroscopy
US4451147A (en) Refractometer
CN109115690A (zh) 实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪及光学常数测量方法
SU1075124A1 (ru) Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов
CN208847653U (zh) 一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪
CN211877754U (zh) 一种气体浓度检测的高光谱系统
Karabegov Metrological and technical characteristics of total internal reflection refractometers
US3635563A (en) Apparatus for detecting small rotations
US4035086A (en) Multi-channel analyzer for liquid chromatographic separations
US3369446A (en) Reflectance accessory
JPH11101739A (ja) エリプソメトリ装置
RU2427814C1 (ru) Способ измерения коэффициента пропускания объективов
RU1825418C (ru) Фотометр
SU823989A1 (ru) Устройство дл измерени абсолют-НыХ КОэффициЕНТОВ ОТРАжЕНи и пРОпуС-КАНи
SU654853A1 (ru) Бесконтактный фотометрический способ измерени высоты шероховатости поверхности непрозрачных образцов
SU1067449A1 (ru) Когерентный оптический анализатор пространственных спектров двумерных сигналов
SU1672312A1 (ru) Оптическое измерительное устройство
RU1824547C (ru) Рефлектометр дл вогнутых зеркал
RU2018112C1 (ru) Устройство для измерения коэффициентов отражения и пропускания
SU1476353A1 (ru) Способ измерени оптических посто нных поглощающих сред
SU1122940A1 (ru) Устройство дл измерени показател преломлени поглощающих сред
SU1543308A1 (ru) Устройство дл измерени абсолютных коэффициентов зеркального отражени
RU2109256C1 (ru) Способ определения коэффициента линейной поляризации света при отражении и устройство для его осуществления
SU1383108A1 (ru) Спектрофотометр