Изобретение относитс к оптическому приборостроению, конкретнее к оптическим приборам дл исследовани спектров поглош ,ени и отражени , и может быть использовано , например, дл контрол качества полупрозрачных зеркал, идентификаци зонной структуры полупроводников и т.д. Известно устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов, содержащее источник излучени , полупрозрачное зеркало и три приемника излучени 1. Недостатками известного устройства вл ютс сложность конструкции и большие габариты вследствие наличи большого количества рабочих элементов. Наиболее близким к изобретению вл етс устройство дл измерени спектров пропускани и отражени плоскопараллельных образцов, содержащее источник потока монохроматического излучени , установленные по ходу излучени линзовую систему, регулируемую щель,-фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью и подвижную каретку дл исследуемого образца 2. Недостатком этого устройства вл етс невысока точность, св занна с необходимостью калибровки отражательной способности поверхности кремниевого фотогальванического приемника светового излучени . Кроме того, функциональное разделение циклов измерени отражени и пропускани исследуемого образца приводит к тому, что в каждом из этих случаев световое п тно мен ет свое положение на поверхности исследуемого образца.Это не позвол ет проводить измерени - дл одного и того же участка образца, что в случае большой оптической неоднородности материала сказываетс на точности полученных результатов . Целью изобретени вл етс повышение точности локального измерени коэффициентов пропускани и отражени . Эта цель достигаетс тем, что устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельпых образцов, содержапдее источник потока монохроматического излучени , установленные по ходу излучени линзовую систему, регулируемую щель, фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью и подвижную каретку дл исследуемого д,- разца, снабжено дополнительны.м фотоприемником с полностью поглощающей приемной поверхностью, при этом фотоприемник с частично отражающей приемной поверхностью расположен между регулируемой щелью и подвижной кареткой дл исследуемого образца под углом к оси потока излучени так, чтобы отраженный от него поток излучени был перпендикул рен фотоприемнику с полностью поглощающей приемной поверхностью, который установлен за подвижной кареткой. На чертеже представлена схема устройства . Устройство дл измерени коэффициентов пропускани и отражени плоскопараллельных образцов содержит источник 1 монохроматического излучени , линзовую систему 2, регулируемую щель 3, фотоприемник 4счастично отражающей приемной поверхностью , фотоприемпик 5 с полностью поглощающей приемной поверхностью, подвижную каретку 6 дл исследуемого образца 7. Коэффициент отражени фотоприемника 4 лежит в пределах 35-50%. Устройство работает следующим образом . Излучение от источника 1 проходит через линзовую систему 2 и регулируемую щель 3. Линзова система 2 позвол ет создавать как параллельный, так и сход щийс и расход щийс световые пучки. Регулируема щель 3 выдел ет из пучка определенную часть его, обеспечива работу с энергетически нормированным пучком. ПройД регулируемую щель 3, световой поток под углом 45-55° попадает на фотоприемник 4. Если подвижна каретка 6 с исследуемым образцом 7 выведена из светового пучка , то после отражени от фотоприемника 4 этот пучек поступит на фотоприемник 5, где поглотитс . Принимаем показани фотоприемника 5 в этом случае за единицу. Поскольку этот фотоприемпик не отражает световой поток, а фотоприемник 4 обладает на этой длине волны коэффициентом отражени R то, подающий поток равен ) -ii- --1 0 R - Р Фотоприемник 4 зарегистрируе- поток п о- h 1.(2) Таки.м образом, R -jr-r(3) При введении исследуемого образца 7, обладающего па данной длине волны коэффициентом пропускани TX, и коэффициентом отражени Rx в световой пучок, поток 1, частично поглотитс исследуемым образцом 7, частично (I) пройдет сквозь него и зарегистрируетс фотоприемником 5. Отраженна от исследуемого образца 7 часть этого потока 1з Htlj Rx попадет снова на отражающую поверхность фотоприемни . ..J. - ка 4, котора отразит поток 1 R-I.. R,-R в направлении, противоположном первоначальному пучку 1о. Обозначим пок-азани фотоприе.мников 5 и 4 в этом случае соответственно через р и ш. Тогда m (1о - У + (Ij - Ij) п + п + Дк(1-К);(4) Р I2 I
т.е. показани фотоприемника 5 дает непосредственно величину коэффициента пропускани исследуемого образца 7. Учитыва , что R 4t получаем
m п + R jiTi;(6)
Rx(m -n) (1 +-J-). (7). Таким образом, при введении и выведении исследуемого образца 7 из светового пучка по показани м фотоприемника 4 можно определить величину коэффициента отражени исследуемого образца, а при выведении его из светового пучка - по показани м фотоприемника 5 величину коэффициента пропускани .
Использование изобретени позволит повысить точность определени коэффициентов пропускани и отражени по сравнению с существующими устройствами за счет исключени необходимости проведени калибровки отражательной способност-и фотоприемников и совмещени процессов определени коэффициентов пропускани и отражени .