JP2003139808A - 静電容量測定方法及び静電容量測定装置 - Google Patents
静電容量測定方法及び静電容量測定装置Info
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- JP2003139808A JP2003139808A JP2001332640A JP2001332640A JP2003139808A JP 2003139808 A JP2003139808 A JP 2003139808A JP 2001332640 A JP2001332640 A JP 2001332640A JP 2001332640 A JP2001332640 A JP 2001332640A JP 2003139808 A JP2003139808 A JP 2003139808A
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- JP
- Japan
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- capacitance
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- measuring
- channels
- electrostatic capacitance
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は静電容量測定方法及び静電容量測定
装置に関し、各電極間の静電容量を正確に測定すること
ができる静電容量測定方法及び静電容量測定装置を提供
することを目的としている。 【解決手段】 複数チャネルを並列して測定する静電容
量測定方法において、並列して静電容量測定を行なう複
数の測定信号ラインを互いに離して配置するように構成
する。また、測定信号ラインに同軸ケーブルを使用する
ようにする。更に、隣接するチャネルについて渡り配線
をもつようにする。このように構成した結果、各チャネ
ル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうことが
できる。
装置に関し、各電極間の静電容量を正確に測定すること
ができる静電容量測定方法及び静電容量測定装置を提供
することを目的としている。 【解決手段】 複数チャネルを並列して測定する静電容
量測定方法において、並列して静電容量測定を行なう複
数の測定信号ラインを互いに離して配置するように構成
する。また、測定信号ラインに同軸ケーブルを使用する
ようにする。更に、隣接するチャネルについて渡り配線
をもつようにする。このように構成した結果、各チャネ
ル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうことが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は静電容量測定方法及
び静電容量測定装置に関し、更に詳しくはインクジェッ
トヘッドの電極間の容量等を測定する静電容量測定方法
及び静電容量測定装置に関する。
び静電容量測定装置に関し、更に詳しくはインクジェッ
トヘッドの電極間の容量等を測定する静電容量測定方法
及び静電容量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットヘッドからインクを吐出
させる場合には、ＰＺＴに電界を印加し、ＰＺＴの伸び
縮みを利用してインクを吐出させている。図６はインク
ヘッド１０の外観構成図である。図のＡ面がインク吐出
面であり、ノズル（図示せず）が設けられている。図に
示すように、ノズルの前段には、電界を印加するための
電極１が設けられており、この電極１に与える電界を制
御してインク滴２をノズルから吐出している。
させる場合には、ＰＺＴに電界を印加し、ＰＺＴの伸び
縮みを利用してインクを吐出させている。図６はインク
ヘッド１０の外観構成図である。図のＡ面がインク吐出
面であり、ノズル（図示せず）が設けられている。図に
示すように、ノズルの前段には、電界を印加するための
電極１が設けられており、この電極１に与える電界を制
御してインク滴２をノズルから吐出している。
【０００３】図７はインク吐出の原理説明図である。図
において、４はＰＺＴ、５は該ＰＺＴ４の表面に形成さ
れた金属蒸着膜である。該金属蒸着膜５に電界（交流電
界）を印加すると、ＰＺＴ４は（ａ）に示すように湾曲
する。そして、印加していた電界を０にすると、ＰＺＴ
４は（ｂ）に示すように元の位置に戻る。ＰＺＴ４が
（ａ）の状態から（ｂ）の状態に移行すると、その時の
物理的圧力の変化によりノズル３からインクが吐出す
る。
において、４はＰＺＴ、５は該ＰＺＴ４の表面に形成さ
れた金属蒸着膜である。該金属蒸着膜５に電界（交流電
界）を印加すると、ＰＺＴ４は（ａ）に示すように湾曲
する。そして、印加していた電界を０にすると、ＰＺＴ
４は（ｂ）に示すように元の位置に戻る。ＰＺＴ４が
（ａ）の状態から（ｂ）の状態に移行すると、その時の
物理的圧力の変化によりノズル３からインクが吐出す
る。
【０００４】このようなインク吐出制御において、各ノ
ズルから均等なインク滴２が吐出されるためには、図７
に示すようなＰＺＴ部分の形状精度が各ノズル毎に揃っ
ている必要がある。ＰＺＴ部分の形状が揃っている場
合、電極間の静電容量はほぼ等しくなる。このことか
ら、ＰＺＴ部分の形状を調べるために、電極間の静電容
量を測ることが行われている。
ズルから均等なインク滴２が吐出されるためには、図７
に示すようなＰＺＴ部分の形状精度が各ノズル毎に揃っ
ている必要がある。ＰＺＴ部分の形状が揃っている場
合、電極間の静電容量はほぼ等しくなる。このことか
ら、ＰＺＴ部分の形状を調べるために、電極間の静電容
量を測ることが行われている。
【０００５】従来、電極間の静電容量を測定するため
に、複数の測定チャネルを持つ測定対象物において、高
速に静電容量測定を行なう方法として、マルチプローブ
を使用して電極を一括コンタクトし、異なる測定用交流
信号周波数をもつ複数の測定系列により同時並列に測定
を行なう方法が知られている。
に、複数の測定チャネルを持つ測定対象物において、高
速に静電容量測定を行なう方法として、マルチプローブ
を使用して電極を一括コンタクトし、異なる測定用交流
信号周波数をもつ複数の測定系列により同時並列に測定
を行なう方法が知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の測定方
法では、同時並列測定する各系列間で測定用信号として
印加する交流信号の周波数による干渉が発生し、測定値
が変動したり、各測定周波数毎で測定レベルが異なった
りする現象が発生することがある。
法では、同時並列測定する各系列間で測定用信号として
印加する交流信号の周波数による干渉が発生し、測定値
が変動したり、各測定周波数毎で測定レベルが異なった
りする現象が発生することがある。
【０００７】このため、実際の測定に際しては、前記の
変動や測定レベルの差異を回避するような手段を設ける
必要があった。本発明は、このような課題に鑑みてなさ
れたものであって、各電極間の静電容量を正確に測定す
ることができる静電容量測定方法及び静電容量測定装置
を提供することを目的としている。
変動や測定レベルの差異を回避するような手段を設ける
必要があった。本発明は、このような課題に鑑みてなさ
れたものであって、各電極間の静電容量を正確に測定す
ることができる静電容量測定方法及び静電容量測定装置
を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】（１）請求項１記載の発
明は、複数チャネルを並列して測定する静電容量測定方
法において、並列して静電容量測定を行なう複数の測定
信号ラインを互いに離して配置することを特徴とする。
明は、複数チャネルを並列して測定する静電容量測定方
法において、並列して静電容量測定を行なう複数の測定
信号ラインを互いに離して配置することを特徴とする。
【０００９】このように構成すれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （２）請求項２記載の発明は、前記測定信号ラインに同
軸ケーブルを使用することを特徴とする。
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （２）請求項２記載の発明は、前記測定信号ラインに同
軸ケーブルを使用することを特徴とする。
【００１０】このように構成すれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （３）請求項３記載の発明は、隣接するチャネルについ
て渡り配線を持つことを特徴とする。
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （３）請求項３記載の発明は、隣接するチャネルについ
て渡り配線を持つことを特徴とする。
【００１１】このように構成すれば、測定器側端子をず
らすことなしに測定が可能となる。 （４）請求項４記載の発明は、複数チャネルを並列して
測定する静電容量測定装置において、並列して静電容量
測定を行なう複数の測定信号ラインを互いに離して配置
することを特徴とする。
らすことなしに測定が可能となる。 （４）請求項４記載の発明は、複数チャネルを並列して
測定する静電容量測定装置において、並列して静電容量
測定を行なう複数の測定信号ラインを互いに離して配置
することを特徴とする。
【００１２】このように構成すれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （５）請求項５記載の発明は、前記測定信号ラインに同
軸ケーブルを使用することを特徴とする。
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。 （５）請求項５記載の発明は、前記測定信号ラインに同
軸ケーブルを使用することを特徴とする。
【００１３】このように構成すれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の
形態例を示す構成図である。図９と同一のものは、同一
の符号を付して示す。図において、１１は電極に接する
ためのプローブ（探針）が取り付けられたプローブカー
ド、１２は該プローブカード１１を支持する支持治具で
ある。本発明では複数の電極列をマルチプローバ２０で
一括接触している。１０はインク吐出用のノズルが形成
されたヘッドで、各電極間にプローブカード１１から容
量測定用信号が与えられるようになっている。
施の形態例を詳細に説明する。図１は本発明の一実施の
形態例を示す構成図である。図９と同一のものは、同一
の符号を付して示す。図において、１１は電極に接する
ためのプローブ（探針）が取り付けられたプローブカー
ド、１２は該プローブカード１１を支持する支持治具で
ある。本発明では複数の電極列をマルチプローバ２０で
一括接触している。１０はインク吐出用のノズルが形成
されたヘッドで、各電極間にプローブカード１１から容
量測定用信号が与えられるようになっている。
【００１５】１３は該ヘッド１０が載置されたＸＹＺ方
向に移動可能なＸＹＺステージ、１４は該ステージ１３
をＸＹＺ方向に移動させるドライバである。該ドライバ
１４は、パソコン５０から位置制御信号を受けて、ＸＹ
Ｚステージ１３を所定方向に所定位置だけ移動させるよ
うになっている。２０はマルチプローバで、プローブカ
ード１１、支持治具１２、ヘッド１０、ＸＹＺステージ
１３及びドライバ１４より構成されている。
向に移動可能なＸＹＺステージ、１４は該ステージ１３
をＸＹＺ方向に移動させるドライバである。該ドライバ
１４は、パソコン５０から位置制御信号を受けて、ＸＹ
Ｚステージ１３を所定方向に所定位置だけ移動させるよ
うになっている。２０はマルチプローバで、プローブカ
ード１１、支持治具１２、ヘッド１０、ＸＹＺステージ
１３及びドライバ１４より構成されている。
【００１６】１５はプローブカード１１とＳＷ（スイッ
チ）コントロールユニット３０間を１対１に接続するケ
ーブル、３０は所定の電極数単位でスキャニングを行う
スキャナ機能を具備するＳＷコントロールユニット、４
０は電極間容量を測定するＬＣＲメータである。ここ
で、ケーブル１５は、本発明では、互いに離して配置さ
れている。ＬＣＲメータは、インダクタンスＬ、キャパ
シタンスＣ、及び抵抗Ｒを測定することができるように
なっている。図に示す例の場合は、例えばピン数（電極
数）７０として、Ｎｏ．１〜１２ピン、Ｎｏ．１２〜２
３ピン、Ｎｏ．２３〜３４ピン、Ｎｏ．３４〜４５ピ
ン、Ｎｏ．４５〜５６ピン、Ｎｏ．５６〜７０ピンにグ
ループ分け（系列化）されている。このグループ分けさ
れた６つのグループ毎にそれぞれスキャンされ、ＬＣＲ
メータ４０で静電容量が測定される。グループに対応し
て、ＬＣＲメータ４０もグループ数だけ（即ち６台）設
けられている。これらグループ毎に並列動作が行なわ
れ、ＬＣＲメータ４０で並列に静電容量測定が行なわれ
る。
チ）コントロールユニット３０間を１対１に接続するケ
ーブル、３０は所定の電極数単位でスキャニングを行う
スキャナ機能を具備するＳＷコントロールユニット、４
０は電極間容量を測定するＬＣＲメータである。ここ
で、ケーブル１５は、本発明では、互いに離して配置さ
れている。ＬＣＲメータは、インダクタンスＬ、キャパ
シタンスＣ、及び抵抗Ｒを測定することができるように
なっている。図に示す例の場合は、例えばピン数（電極
数）７０として、Ｎｏ．１〜１２ピン、Ｎｏ．１２〜２
３ピン、Ｎｏ．２３〜３４ピン、Ｎｏ．３４〜４５ピ
ン、Ｎｏ．４５〜５６ピン、Ｎｏ．５６〜７０ピンにグ
ループ分け（系列化）されている。このグループ分けさ
れた６つのグループ毎にそれぞれスキャンされ、ＬＣＲ
メータ４０で静電容量が測定される。グループに対応し
て、ＬＣＲメータ４０もグループ数だけ（即ち６台）設
けられている。これらグループ毎に並列動作が行なわ
れ、ＬＣＲメータ４０で並列に静電容量測定が行なわれ
る。
【００１７】５０は各ＬＣＲメータ４０の出力を受け
て、静電容量を測定して静電容量の正常性を判断する
他、ドライバ１４にステージ駆動用信号を与えるパソコ
ン（パーソナル・コンピュータ）である。このように構
成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
て、静電容量を測定して静電容量の正常性を判断する
他、ドライバ１４にステージ駆動用信号を与えるパソコ
ン（パーソナル・コンピュータ）である。このように構
成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００１８】プローブカード１１の探針（プローブ）を
ヘッド１０の電極に確実に接触させる。この結果、ヘッ
ド１０の電極とケーブル１５とは１対１で繋がることに
なる。ＳＷコントロールユニット３０は、各グループ毎
にスキャンして、特定の電極間を選択し、ＬＣＲメータ
４０に入力する。ＬＣＲメータ４０は、特定の電極間の
静電容量を測定し、パソコン５０に与える。この場合に
おいて、本発明では、ケーブル１５が互いに離して配置
されている。
ヘッド１０の電極に確実に接触させる。この結果、ヘッ
ド１０の電極とケーブル１５とは１対１で繋がることに
なる。ＳＷコントロールユニット３０は、各グループ毎
にスキャンして、特定の電極間を選択し、ＬＣＲメータ
４０に入力する。ＬＣＲメータ４０は、特定の電極間の
静電容量を測定し、パソコン５０に与える。この場合に
おいて、本発明では、ケーブル１５が互いに離して配置
されている。
【００１９】図２はスキャナの動作説明図である。図に
示すように電極１が例えば１〜７０まで設けられてい
る。スイッチＳＷは、図に示すように先ず１−２、３−
４、５−６というように接点を接続していき、最後に６
９−７０間の接続を行ない、それぞれの電極間の静電容
量の測定を行なう。次に、パソコン５０がドライバ１４
に駆動信号を送り、ＸＹＺステージ１３を少しだけ移動
させ、２−３、４−５というように位相がずれた接点間
の静電容量の測定を行なう。ここで、電極１−２間、３
−４間等をチャネルと呼ぶことにする。
示すように電極１が例えば１〜７０まで設けられてい
る。スイッチＳＷは、図に示すように先ず１−２、３−
４、５−６というように接点を接続していき、最後に６
９−７０間の接続を行ない、それぞれの電極間の静電容
量の測定を行なう。次に、パソコン５０がドライバ１４
に駆動信号を送り、ＸＹＺステージ１３を少しだけ移動
させ、２−３、４−５というように位相がずれた接点間
の静電容量の測定を行なう。ここで、電極１−２間、３
−４間等をチャネルと呼ぶことにする。
【００２０】このようにして、合計７０ピン（全６９チ
ャネル）の静電容量測定が終了すると、パソコン５０が
ドライバ１４を駆動して、ＸＹＺステージ１３を移動さ
せて、次の７１〜１４０までの電極間の静電容量を、前
述した要領で測定していく。同様の操作を電極の数だけ
繰り返す。
ャネル）の静電容量測定が終了すると、パソコン５０が
ドライバ１４を駆動して、ＸＹＺステージ１３を移動さ
せて、次の７１〜１４０までの電極間の静電容量を、前
述した要領で測定していく。同様の操作を電極の数だけ
繰り返す。
【００２１】このような一連の測定の中で、ケーブル１
５を互いに離して配置している。このため、互いのチャ
ネルの干渉を最小限に抑えることができ、正確な静電容
量の測定を行なうことが可能となる。
５を互いに離して配置している。このため、互いのチャ
ネルの干渉を最小限に抑えることができ、正確な静電容
量の測定を行なうことが可能となる。
【００２２】また、ケーブル１５を同軸ケーブルとする
ことで、各チャネル間の干渉を最小限に抑えて正確な静
電容量の測定を行なうことができる。図３はスキャナの
渡り配線の説明図である。この配線においては、１〜５
までの測定電極をもつヘッドに対して、測定器の測定端
子Ａ１〜Ａ２、Ｂ１〜Ｂ２、Ｃ１〜Ｃ２、Ｄ１〜Ｄ２の
測定端子或いは切り替えスキャナの端子をもつ測定構成
において、図に示すように、各チャネル間には※１〜※
３までの渡り配線が設けられている。このように、渡り
配線を設けることにより、隣り合う電極間の測定を、測
定ラインの切り替えを行なうこと無しに異なる測定端子
に出力することが可能となる。例えば、１〜２電極間、
２〜３電極間は隣り合うが、それぞれＡ１〜Ａ２、Ｂ１
〜Ｂ２の異なる端子間へ出力することが可能であり、こ
れにより測定信号線の切り替えを行なうこと無しに隣接
する電極間の測定が可能となる。
ことで、各チャネル間の干渉を最小限に抑えて正確な静
電容量の測定を行なうことができる。図３はスキャナの
渡り配線の説明図である。この配線においては、１〜５
までの測定電極をもつヘッドに対して、測定器の測定端
子Ａ１〜Ａ２、Ｂ１〜Ｂ２、Ｃ１〜Ｃ２、Ｄ１〜Ｄ２の
測定端子或いは切り替えスキャナの端子をもつ測定構成
において、図に示すように、各チャネル間には※１〜※
３までの渡り配線が設けられている。このように、渡り
配線を設けることにより、隣り合う電極間の測定を、測
定ラインの切り替えを行なうこと無しに異なる測定端子
に出力することが可能となる。例えば、１〜２電極間、
２〜３電極間は隣り合うが、それぞれＡ１〜Ａ２、Ｂ１
〜Ｂ２の異なる端子間へ出力することが可能であり、こ
れにより測定信号線の切り替えを行なうこと無しに隣接
する電極間の測定が可能となる。
【００２３】図４はＬＣＲメータの容量測定原理説明図
である。４つの端子Ｈｃ、Ｈｐ、Ｌｃ、Ｌｐ間にインピ
ーダンス６１が接続される。このインピーダンス６１が
電極間容量を表わす。４つの端子Ｈｃ、Ｈｐ、Ｌｃ、Ｌ
ｐが容量測定端子に該当する。インピーダンス６１の値
をＺとする。インピーダンスＺは、実数分と虚数分の加
算値としてＲｏ＋ｊＸで表わすことができる。端子Ｈｐ
とＬｐ間には電圧測定器６２が接続される。そして、周
波数源６０から周波数ｆｍの信号が印加される。
である。４つの端子Ｈｃ、Ｈｐ、Ｌｃ、Ｌｐ間にインピ
ーダンス６１が接続される。このインピーダンス６１が
電極間容量を表わす。４つの端子Ｈｃ、Ｈｐ、Ｌｃ、Ｌ
ｐが容量測定端子に該当する。インピーダンス６１の値
をＺとする。インピーダンスＺは、実数分と虚数分の加
算値としてＲｏ＋ｊＸで表わすことができる。端子Ｈｐ
とＬｐ間には電圧測定器６２が接続される。そして、周
波数源６０から周波数ｆｍの信号が印加される。
【００２４】この結果、インピーダンス６１には電流が
流れる。この電流はオペアンプＵと帰還抵抗Ｒよりなる
回路を流れる。この結果、オペアンプＵの出力ＶｉはＡ
／Ｄ変換器６３によりディジタルデータに変換され、続
く同期検波回路６４で検波される。同期検波回路６４の
サンプリング周波数はｆｓであるものとする。このよう
に構成された回路の動作を説明すれば、以下の通りであ
る。
流れる。この電流はオペアンプＵと帰還抵抗Ｒよりなる
回路を流れる。この結果、オペアンプＵの出力ＶｉはＡ
／Ｄ変換器６３によりディジタルデータに変換され、続
く同期検波回路６４で検波される。同期検波回路６４の
サンプリング周波数はｆｓであるものとする。このよう
に構成された回路の動作を説明すれば、以下の通りであ
る。
【００２５】端子間に接続されたインピーダンス６１に
は、電流Ｉが流れる。この電流が帰還抵抗Ｒを流れるこ
とにより、出力電圧Ｖｉが発生するので、Ｉ＝Ｖｉ／Ｒ
と表わすことができる。一方、電圧測定器６２で測定さ
れた電圧をＶとすると、インピーダンスＺはＺ＝Ｖ／Ｉ
と表わすことができ、 Ｚ＝Ｖ／Ｉ＝Ｖ／（Ｖｉ／Ｒ）＝Ｒ・Ｖ／Ｖｉ と表され、インピーダンスを測定することができる。イ
ンピーダンスＺが測定できれば、静電容量を知ることが
できる。このようにして、電極間の静電容量を測定して
いる。
は、電流Ｉが流れる。この電流が帰還抵抗Ｒを流れるこ
とにより、出力電圧Ｖｉが発生するので、Ｉ＝Ｖｉ／Ｒ
と表わすことができる。一方、電圧測定器６２で測定さ
れた電圧をＶとすると、インピーダンスＺはＺ＝Ｖ／Ｉ
と表わすことができ、 Ｚ＝Ｖ／Ｉ＝Ｖ／（Ｖｉ／Ｒ）＝Ｒ・Ｖ／Ｖｉ と表され、インピーダンスを測定することができる。イ
ンピーダンスＺが測定できれば、静電容量を知ることが
できる。このようにして、電極間の静電容量を測定して
いる。
【００２６】図５は並列同時測定時の回路図である。図
４と同一のものは、同一の符号を付して示す。図４に示
す回路が複数個で構成されている。この場合において、
個々の容量測定器の測定用周波数ｆｍを、互いの同期検
波回路６４のサンプリング周波数に対して影響を小さく
できる関係、即ち前述したように各系列での測定周波数
を互いに整数の公約数を持たない周波数となるように設
定しておくことが好ましい。この結果、容量測定時の干
渉を小さくすることができる。
４と同一のものは、同一の符号を付して示す。図４に示
す回路が複数個で構成されている。この場合において、
個々の容量測定器の測定用周波数ｆｍを、互いの同期検
波回路６４のサンプリング周波数に対して影響を小さく
できる関係、即ち前述したように各系列での測定周波数
を互いに整数の公約数を持たない周波数となるように設
定しておくことが好ましい。この結果、容量測定時の干
渉を小さくすることができる。
【００２７】上述の実施の形態例では、インクヘッドの
電極間容量を測定する場合を例にとったが、本発明はこ
れに限るものではなく、他の種類の機器の電極間の容量
を測定する場合にも同様に適用することができる。
電極間容量を測定する場合を例にとったが、本発明はこ
れに限るものではなく、他の種類の機器の電極間の容量
を測定する場合にも同様に適用することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、以下の効果が得られる。 （１）請求項１記載の発明によれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
ば、以下の効果が得られる。 （１）請求項１記載の発明によれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
【００２９】（２）請求項２記載の発明によれば、各チ
ャネル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうこ
とができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、測定器側端子をず
らすことなしに測定が可能となる。
ャネル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうこ
とができる。 （３）請求項３記載の発明によれば、測定器側端子をず
らすことなしに測定が可能となる。
【００３０】（４）請求項４記載の発明によれば、各チ
ャネル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうこ
とができる。 （５）請求項５記載の発明によれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
ャネル間の干渉の影響を排除して正確な測定を行なうこ
とができる。 （５）請求項５記載の発明によれば、各チャネル間の干
渉の影響を排除して正確な測定を行なうことができる。
【図１】本発明の一実施の形態例を示す構成図である。
【図２】スキャナの動作説明図である。
【図３】スキャナの渡り配線の説明図である。
【図４】ＬＣＲメータの容量測定原理説明図である。
【図５】並列同時測定時の回路図である。
【図６】インクヘッドの外観構成図である。
【図７】インク吐出の原理説明図である。
１０ ヘッド
１１ プローブカード
１２ 支持治具
１３ ＸＹＺステージ
１４ ドライバ
１５ ケーブル
２０ マルチプローバ
３０ ＳＷコントロールユニット
４０ ＬＣＲメータ
５０ パソコン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 森川 雅弘
東京都八王子市石川町2970番地 コニカ株
式会社内
Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AP82
2G028 AA01 BE10 CG07 DH05 KQ01
Claims (5)
- 【請求項１】 複数チャネルを並列して測定する静電容
量測定方法において、 並列して静電容量測定を行なう複数の測定信号ラインを
互いに離して配置することを特徴とする静電容量測定方
法。 - 【請求項２】 前記測定信号ラインに同軸ケーブルを使
用することを特徴とする請求項１記載の静電容量測定方
法。 - 【請求項３】 隣接するチャネルについて渡り配線を持
つことを特徴とする請求項１記載の静電容量測定方法。 - 【請求項４】 複数チャネルを並列して測定する静電容
量測定装置において、 並列して静電容量測定を行なう複数の測定信号ラインを
互いに離して配置することを特徴とする静電容量測定装
置 - 【請求項５】 前記測定信号ラインに同軸ケーブルを使
用することを特徴とする請求項４記載の静電容量測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332640A JP2003139808A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 静電容量測定方法及び静電容量測定装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001332640A JP2003139808A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 静電容量測定方法及び静電容量測定装置 |
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| JP2003139808A true JP2003139808A (ja) | 2003-05-14 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2001332640A Pending JP2003139808A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 静電容量測定方法及び静電容量測定装置 |
Country Status (1)
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2001
- 2001-10-30 JP JP2001332640A patent/JP2003139808A/ja active Pending
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