JP2003132840A - 超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置 - Google Patents
超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置Info
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- JP2003132840A JP2003132840A JP2001332869A JP2001332869A JP2003132840A JP 2003132840 A JP2003132840 A JP 2003132840A JP 2001332869 A JP2001332869 A JP 2001332869A JP 2001332869 A JP2001332869 A JP 2001332869A JP 2003132840 A JP2003132840 A JP 2003132840A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 点灯寿命を長くし、しかも照度むらの発生を
抑制すること。 【解決手段】 発光管の中央に位置し上下非対称の略た
まご型の発光部であって、その発光部の長手方向の長さ
をＬ、発光部の上端部から最大径部までの長さをＬ１と
した場合に、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たす発
光部と、この発光部から上下方向に伸びて形成された封
止管部と、上記発光部内で上側に配設された陰極と、こ
の陰極に対向して配設され、陽極と陰極との電極間の中
心が９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となるように配設された
陽極と、上記封止管部に埋設され上記陰極及び陽極にそ
れぞれ接続される内部リード棒と、これら内部リード棒
にそれぞれ電気的に接続される金属箔とを具備した。
抑制すること。 【解決手段】 発光管の中央に位置し上下非対称の略た
まご型の発光部であって、その発光部の長手方向の長さ
をＬ、発光部の上端部から最大径部までの長さをＬ１と
した場合に、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たす発
光部と、この発光部から上下方向に伸びて形成された封
止管部と、上記発光部内で上側に配設された陰極と、こ
の陰極に対向して配設され、陽極と陰極との電極間の中
心が９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となるように配設された
陽極と、上記封止管部に埋設され上記陰極及び陽極にそ
れぞれ接続される内部リード棒と、これら内部リード棒
にそれぞれ電気的に接続される金属箔とを具備した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハの露
光用の光源として使用される超高圧水銀ランプ及びそれ
を用いた半導体露光装置に関する。
光用の光源として使用される超高圧水銀ランプ及びそれ
を用いた半導体露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ショートアーク水銀ランプのような超高
圧水銀ランプは、光化学産業、半導体製造、映像分野等
多くの分野で広く用いられている。例えば、半導体製造
産業においては、超高圧水銀ランプから放射される紫外
線を用いて半導体ウェハの露光が行なわれている。
圧水銀ランプは、光化学産業、半導体製造、映像分野等
多くの分野で広く用いられている。例えば、半導体製造
産業においては、超高圧水銀ランプから放射される紫外
線を用いて半導体ウェハの露光が行なわれている。
【０００３】近年、超高圧水銀ランプの長寿命化が要求
されている。このような超高圧水銀ランプの長寿命化を
達成するために、石英バルブを上下対称の紡錘形とした
ものや、石英バルブを上下非対称の防錘形としたものが
実公平６−４１３３６号公報で知られている。この公報
の超高圧水銀ランプによれば、石英バルブの最大径部が
アーク中心より上側に変位して上下非対称の略たまご型
をした形状とし、石英バルブの最大径部の位置がバルブ
の上下方向の長さを１：２〜２：３に按分する位置とし
ている。つまり、石英バルブの最大径部の位置は、石英
バルブの上下方向の長さの１／３（0.33…）〜２／５
（0.4）の位置にくるように設定されていた。このよう
に、石英バルブの上側内壁の表面積を大きくすることに
より石英バルブの中央部までランプ黒化するまでの時間
を長くするようにして、超高圧水銀ランプの点灯寿命を
長くしている。
されている。このような超高圧水銀ランプの長寿命化を
達成するために、石英バルブを上下対称の紡錘形とした
ものや、石英バルブを上下非対称の防錘形としたものが
実公平６−４１３３６号公報で知られている。この公報
の超高圧水銀ランプによれば、石英バルブの最大径部が
アーク中心より上側に変位して上下非対称の略たまご型
をした形状とし、石英バルブの最大径部の位置がバルブ
の上下方向の長さを１：２〜２：３に按分する位置とし
ている。つまり、石英バルブの最大径部の位置は、石英
バルブの上下方向の長さの１／３（0.33…）〜２／５
（0.4）の位置にくるように設定されていた。このよう
に、石英バルブの上側内壁の表面積を大きくすることに
より石英バルブの中央部までランプ黒化するまでの時間
を長くするようにして、超高圧水銀ランプの点灯寿命を
長くしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の上下対
称紡錘形の超高圧水銀ランプにおいては、ランプ点灯中
にバルブ上部の温度が８００℃を超えるような高温にな
り、ランプ点灯中の温度分布バランスが非常に悪い状態
となっていた。また、実公平６−４１３３６号公報で知
られる上下非対称のバルブのものでは、点灯中のバルブ
温度分布バランスがまだ十分とはいえなかった。このよ
うに温度分布バランスが悪いとバルブに歪みが生じると
いう問題が発生する。このように、バルブに歪みが生じ
ると超高圧水銀ランプの点灯寿命を短くする原因となっ
ていた。
称紡錘形の超高圧水銀ランプにおいては、ランプ点灯中
にバルブ上部の温度が８００℃を超えるような高温にな
り、ランプ点灯中の温度分布バランスが非常に悪い状態
となっていた。また、実公平６−４１３３６号公報で知
られる上下非対称のバルブのものでは、点灯中のバルブ
温度分布バランスがまだ十分とはいえなかった。このよ
うに温度分布バランスが悪いとバルブに歪みが生じると
いう問題が発生する。このように、バルブに歪みが生じ
ると超高圧水銀ランプの点灯寿命を短くする原因となっ
ていた。
【０００５】さらに、上下非対称のバルブに配設された
陰極と陽極との電極間中心を上側あるいは下側に配置し
すぎると、照度むらが発生するという問題があった。こ
のような照度むらが発生すると、超高圧水銀ランプを例
えば半導体露光装置の光源として使用するのに適してい
なくなる。
陰極と陽極との電極間中心を上側あるいは下側に配置し
すぎると、照度むらが発生するという問題があった。こ
のような照度むらが発生すると、超高圧水銀ランプを例
えば半導体露光装置の光源として使用するのに適してい
なくなる。
【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、点灯寿命を長くし、照度むらの発生を
抑制することができる超高圧水銀ランプ及びそれを用い
た半導体露光装置を提供することにある。
で、その目的は、点灯寿命を長くし、照度むらの発生を
抑制することができる超高圧水銀ランプ及びそれを用い
た半導体露光装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の超高圧水
銀ランプは、発光管の中央に位置し上下非対称の略たま
ご型の発光部であって、その発光部の長手方向の長さを
Ｌ、発光部の上端部から最大径部までの長さをＬ１とし
た場合に、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たす発光
部と、この発光部から上下方向に伸びて形成された封止
管部と、上記発光部内で上側に配設された陰極と、この
陰極に対向して配設され、陽極と陰極との電極間の中心
が９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となるように配設された陽
極と、上記封止管部に埋設され上記陰極及び陽極にそれ
ぞれ接続される内部リード棒と、これら内部リード棒に
それぞれ電気的に接続される金属箔とを具備したことを
特徴とする。
銀ランプは、発光管の中央に位置し上下非対称の略たま
ご型の発光部であって、その発光部の長手方向の長さを
Ｌ、発光部の上端部から最大径部までの長さをＬ１とし
た場合に、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たす発光
部と、この発光部から上下方向に伸びて形成された封止
管部と、上記発光部内で上側に配設された陰極と、この
陰極に対向して配設され、陽極と陰極との電極間の中心
が９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となるように配設された陽
極と、上記封止管部に埋設され上記陰極及び陽極にそれ
ぞれ接続される内部リード棒と、これら内部リード棒に
それぞれ電気的に接続される金属箔とを具備したことを
特徴とする。
【０００８】このように発光部の最大径位置を０＜Ｌ１
／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させる
ようにしたので、発光部の上側の容積を大きくとること
ができる。つまり、電極のタングステンが蒸発し、発光
部の内壁に付着して黒化しても、有効利用範囲まで黒化
するまでに要する時間を長くすることができる。したが
って、超高圧水銀ランプの点灯寿命が尽きる主要原因で
ある発光管の有効利用範囲の黒化に至るまでの時間を長
くしたので、点灯寿命を長くすることができる。
／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させる
ようにしたので、発光部の上側の容積を大きくとること
ができる。つまり、電極のタングステンが蒸発し、発光
部の内壁に付着して黒化しても、有効利用範囲まで黒化
するまでに要する時間を長くすることができる。したが
って、超高圧水銀ランプの点灯寿命が尽きる主要原因で
ある発光管の有効利用範囲の黒化に至るまでの時間を長
くしたので、点灯寿命を長くすることができる。
【０００９】さらに、発光部の最大径位置を０＜Ｌ１／
Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させるよ
うにしたので、温度分布バランスを良くすることがで
き、発光部の歪みの発生を抑制することができる。
Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させるよ
うにしたので、温度分布バランスを良くすることがで
き、発光部の歪みの発生を抑制することができる。
【００１０】さらに、陽極と陰極との電極間の中心が発
光部のほぼ中央、つまり９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０とし
たので、照度むらを抑制することができる。
光部のほぼ中央、つまり９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０とし
たので、照度むらを抑制することができる。
【００１１】請求項２記載の超高圧水銀ランプは、請求
項1記載の陽極側にはゲッターが取り付けられているこ
とを特徴とする。
項1記載の陽極側にはゲッターが取り付けられているこ
とを特徴とする。
【００１２】上側の空間を広くとった上下非対称の発光
部を有する超高圧水銀ランプにおいて、陰極側にゲッタ
ーを取り付けていると、点灯初期においてゲッターから
アーク放電が起こりやすい。しかし、請求項２記載の超
高圧水銀ランプは陽極側にゲッターを取り付けているの
で、上側の空間を広くとった上下非対称の発光部を有す
る超高圧水銀ランプにおいても点灯初期のゲッターから
のアーク放電を発生することを防止できる。
部を有する超高圧水銀ランプにおいて、陰極側にゲッタ
ーを取り付けていると、点灯初期においてゲッターから
アーク放電が起こりやすい。しかし、請求項２記載の超
高圧水銀ランプは陽極側にゲッターを取り付けているの
で、上側の空間を広くとった上下非対称の発光部を有す
る超高圧水銀ランプにおいても点灯初期のゲッターから
のアーク放電を発生することを防止できる。
【００１３】請求項３記載の超高圧水銀ランプを用いた
半導体露光装置は、請求項1記載の超高圧水銀ランプ
と、この超高圧水銀ランプに供給される電源と、上記超
高圧水銀ランプから放射される光を半導体ウェハ上に照
射する光学レンズとを具備したことを特徴とする。
半導体露光装置は、請求項1記載の超高圧水銀ランプ
と、この超高圧水銀ランプに供給される電源と、上記超
高圧水銀ランプから放射される光を半導体ウェハ上に照
射する光学レンズとを具備したことを特徴とする。
【００１４】この請求項３記載の半導体露光装置は、光
源として点灯寿命の長く、照度むらの発生を抑制した超
高圧水銀ランプを使用しているので、長寿命で照度むら
のない高い性能な装置とすることがでる。
源として点灯寿命の長く、照度むらの発生を抑制した超
高圧水銀ランプを使用しているので、長寿命で照度むら
のない高い性能な装置とすることがでる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態について説明する。図１は消費電力が１ＫＷで
あり、半導体やプリント基板の焼き付けなどに使用され
るショートアーク型の超高圧水銀ランプを示す。図１に
おいて、１は石英ガラス製の発光管である。この発光管
１の中央は膨んでおり、その膨らんだ部分は発光部１０
として機能する。発光部１０は最大径位置が発光部の中
心より上側に変位した略たまご型形状をしている。この
発光管１内には、水銀（Ｈｇ）が約６５０mgとアルゴン
（Ａｒ）が約６６．６kpaが封入されている。この発光
部１０の上下方向の長さはＬ（mm）であり、肉厚は２．
７mmである。発光部１０の最大径は３０mmであり、その
最大径位置は発光部１０の上端部からＬ１（mm）位置に
設定されている。つまり、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関
係を満たすように発光部１０の最大径位置が決定され
る。
施の形態について説明する。図１は消費電力が１ＫＷで
あり、半導体やプリント基板の焼き付けなどに使用され
るショートアーク型の超高圧水銀ランプを示す。図１に
おいて、１は石英ガラス製の発光管である。この発光管
１の中央は膨んでおり、その膨らんだ部分は発光部１０
として機能する。発光部１０は最大径位置が発光部の中
心より上側に変位した略たまご型形状をしている。この
発光管１内には、水銀（Ｈｇ）が約６５０mgとアルゴン
（Ａｒ）が約６６．６kpaが封入されている。この発光
部１０の上下方向の長さはＬ（mm）であり、肉厚は２．
７mmである。発光部１０の最大径は３０mmであり、その
最大径位置は発光部１０の上端部からＬ１（mm）位置に
設定されている。つまり、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関
係を満たすように発光部１０の最大径位置が決定され
る。
【００１６】このように発光部１０の最大径位置を０＜
Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置さ
せるようにしたので、発光部１０の上側の容積を大きく
とることができる。つまり、電極のタングステンが蒸発
し、発光部の内壁に付着して黒化しても、有効利用範囲
まで黒化するまでに要する時間を長くすることができ
る。したがって、超高圧水銀ランプの点灯寿命が尽きる
主要原因である発光管の有効利用範囲の黒化に至るまで
の時間を長くしたので、点灯寿命を長くすることができ
る。
Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置さ
せるようにしたので、発光部１０の上側の容積を大きく
とることができる。つまり、電極のタングステンが蒸発
し、発光部の内壁に付着して黒化しても、有効利用範囲
まで黒化するまでに要する時間を長くすることができ
る。したがって、超高圧水銀ランプの点灯寿命が尽きる
主要原因である発光管の有効利用範囲の黒化に至るまで
の時間を長くしたので、点灯寿命を長くすることができ
る。
【００１７】さらに、発光部１０の最大径位置を０＜Ｌ
１／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させ
るようにしたので、温度分布バランスを良くすることが
でき、発光部の歪みの発生を抑制することができる。
１／Ｌ≦０．３０の関係を満たすように上側に位置させ
るようにしたので、温度分布バランスを良くすることが
でき、発光部の歪みの発生を抑制することができる。
【００１８】発光部１０の上側には円筒状の封止管部２
が伸びて形成されると共に、その下側には円筒状の封止
管部３が伸びて形成されている。封止管部２、３の肉厚
は約２mmに設定されている。
が伸びて形成されると共に、その下側には円筒状の封止
管部３が伸びて形成されている。封止管部２、３の肉厚
は約２mmに設定されている。
【００１９】封止管部２の発光部１０側端部の内壁には
石英製のホールド管１１が配設されると共に、封止管部
３の発光部１０側端の内壁には石英製のホールド管１２
が配設されている。
石英製のホールド管１１が配設されると共に、封止管部
３の発光部１０側端の内壁には石英製のホールド管１２
が配設されている。
【００２０】ホールド管１１には内部リード棒１３が貫
通されており、ホールド管１２には内部リード棒１４が
貫通されている。内部リード棒１３の発光部１０内の端
部にはタングステン製の陰極１５が設けられている。さ
らに、内部リード棒１４の発光部１０内の端部にはタン
グステン製の陽極１６が設けられている。陰極１５と陽
極１６は互いに対向して配置され、陰極１５と陽極１６
との間の中心位置Ｃは発光部１０の上下方向長さＬの９
Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となる位置に配置されている。
通されており、ホールド管１２には内部リード棒１４が
貫通されている。内部リード棒１３の発光部１０内の端
部にはタングステン製の陰極１５が設けられている。さ
らに、内部リード棒１４の発光部１０内の端部にはタン
グステン製の陽極１６が設けられている。陰極１５と陽
極１６は互いに対向して配置され、陰極１５と陽極１６
との間の中心位置Ｃは発光部１０の上下方向長さＬの９
Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となる位置に配置されている。
【００２１】このように、陽極と陰極との電極間の中心
が発光部１０のほぼ中央、つまり９Ｌ／２０〜１１Ｌ／
２０としたので、照度むらを抑制することができる。
が発光部１０のほぼ中央、つまり９Ｌ／２０〜１１Ｌ／
２０としたので、照度むらを抑制することができる。
【００２２】内部リード棒１４の陽極１６側近傍には点
灯中に発生する不純物ガスを吸収するゲッター１７が巻
き付けられている。
灯中に発生する不純物ガスを吸収するゲッター１７が巻
き付けられている。
【００２３】２１は両面に扁平面を有する石英ガラス製
のセパレータである。このセパレータ２１の扁平面と封
止管部２との間には、扁平面に沿って２枚の金属箔２２
ａ、２２ｂが配設されている。
のセパレータである。このセパレータ２１の扁平面と封
止管部２との間には、扁平面に沿って２枚の金属箔２２
ａ、２２ｂが配設されている。
【００２４】そして、内部リード棒１３の他端はセパレ
ータ２１の端部に当接される。従って、内部リード棒１
３と金属箔２２ａ、２２ｂは電気的に接続される。さら
に、外部リード棒２４の一端はセパレータ２１の端部に
当接される。
ータ２１の端部に当接される。従って、内部リード棒１
３と金属箔２２ａ、２２ｂは電気的に接続される。さら
に、外部リード棒２４の一端はセパレータ２１の端部に
当接される。
【００２５】従って、外部リード棒２４と金属箔２２
ａ、２２ｂは電気的に接続される。この外部リード棒２
４の他端は図示しない外部リード線を介して上側口金２
５に電気的に接続される。
ａ、２２ｂは電気的に接続される。この外部リード棒２
４の他端は図示しない外部リード線を介して上側口金２
５に電気的に接続される。
【００２６】３１は両面に扁平面を有する石英ガラス製
のセパレータである。このセパレータ３１の扁平面と封
止管部３との間には、扁平面に沿って２枚の金属箔３２
ａ、３２ｂが配設されている。
のセパレータである。このセパレータ３１の扁平面と封
止管部３との間には、扁平面に沿って２枚の金属箔３２
ａ、３２ｂが配設されている。
【００２７】そして、内部リード棒１４の他端はセパレ
ータ３１の端部に当接される。従って、内部リード棒１
４と金属箔３２ａ、３２ｂは電気的に接続される。さら
に、外部リード棒３４の一端はセパレータ３１の端部に
当接される。
ータ３１の端部に当接される。従って、内部リード棒１
４と金属箔３２ａ、３２ｂは電気的に接続される。さら
に、外部リード棒３４の一端はセパレータ３１の端部に
当接される。
【００２８】従って、外部リード棒３４と金属箔３２
ａ、３２ｂは電気的に接続される。この外部リード棒２
４の他端は図示しない外部リード線を介して下側口金３
５に電気的に接続される。
ａ、３２ｂは電気的に接続される。この外部リード棒２
４の他端は図示しない外部リード線を介して下側口金３
５に電気的に接続される。
【００２９】封止管部２の陰極１５側端部の外周面には
保温膜４１が設けられ、この保温膜４１は図示しない接
続線によって陰極１５と電気的に接続される。これによ
って、保温膜４１が陰極と同電位となるため、電界強度
が実質的零となるので、石英ガラス中の不純物の金属陽
イオンが陰極１５の方向に移動しなくなる。従って、石
英ホールド管１１あるいはセパレータ２１が失透しにく
くなり、箔浮き現象が防止されて、封止管部２のクラッ
ク発生に起因する放電灯の爆発事故を防止することがで
きる。
保温膜４１が設けられ、この保温膜４１は図示しない接
続線によって陰極１５と電気的に接続される。これによ
って、保温膜４１が陰極と同電位となるため、電界強度
が実質的零となるので、石英ガラス中の不純物の金属陽
イオンが陰極１５の方向に移動しなくなる。従って、石
英ホールド管１１あるいはセパレータ２１が失透しにく
くなり、箔浮き現象が防止されて、封止管部２のクラッ
ク発生に起因する放電灯の爆発事故を防止することがで
きる。
【００３０】次に、図２を参照して図１に示した超高圧
水銀ランプを使用した半導体露光装置について説明す
る。図２において、発光管１の両端には電源５１が接続
される。５２は発光管１から放射される光を反射するミ
ラーである。発光管１から反射された光及びミラー５１
で反射された光はレンズ５３を介して半導体ウェハ５４
上に照射される。
水銀ランプを使用した半導体露光装置について説明す
る。図２において、発光管１の両端には電源５１が接続
される。５２は発光管１から放射される光を反射するミ
ラーである。発光管１から反射された光及びミラー５１
で反射された光はレンズ５３を介して半導体ウェハ５４
上に照射される。
【００３１】このような半導体露光装置に用いられる光
源として、図１に示した超高圧水銀ランプを使用してい
るので、半導体露光装置の寿命を長くすることができる
と共に、照度むらの発生を抑制することができる。超高
圧水銀ランプの照度むらを抑制することにより、半導体
ウェハに対する露光処理の性能を向上させることができ
る。
源として、図１に示した超高圧水銀ランプを使用してい
るので、半導体露光装置の寿命を長くすることができる
と共に、照度むらの発生を抑制することができる。超高
圧水銀ランプの照度むらを抑制することにより、半導体
ウェハに対する露光処理の性能を向上させることができ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、点
灯寿命を長くし、しかも照度むらの発生を抑制すること
ができる超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光
装置を提供することができる。
灯寿命を長くし、しかも照度むらの発生を抑制すること
ができる超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光
装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る超高圧水銀ランプ
の正面図。
の正面図。
【図２】超高圧水銀ランプを使用した半導体露光装置を
示す図。
示す図。
１０…発光部、
１１，１２…ホールド管、
１３，１４…内部リード棒、
１５…陰極、
１６…陽極、
１７…ゲッター、
２１，３１…セパレータ、
２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ…金属箔、
２４，３４…外部リード棒。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5C039 HH03 HH04
5C043 AA04 AA07 BB02 CC02 CD01
DD03 EA02
5F046 CA02
Claims (3)
- 【請求項１】 発光管の中央に位置し上下非対称の略た
まご型の発光部であって、その発光部の長手方向の長さ
をＬ、発光部の上端部から最大径部までの長さをＬ１と
した場合に、０＜Ｌ１／Ｌ≦０．３０の関係を満たす発
光部と、 この発光部から上下方向に伸びて形成された封止管部
と、 上記発光部内で上側に配設された陰極と、 この陰極に対向して配設され、陽極と陰極との電極間の
中心が９Ｌ／２０〜１１Ｌ／２０となるように配設され
た陽極と、 上記封止管部に埋設され上記陰極及び陽極にそれぞれ接
続される内部リード棒と、 これら内部リード棒にそれぞれ電気的に接続される金属
箔とを具備したことを特徴とする超高圧水銀ランプ。 - 【請求項２】 上記陽極側にはゲッターが取り付けられ
ていることを特徴とする請求項1記載の超高圧水銀ラン
プ。 - 【請求項３】 請求項1記載の超高圧水銀ランプと、 この超高圧水銀ランプに供給される電源と、 上記超高圧水銀ランプから放射される光を半導体ウェハ
上に照射する光学レンズとを具備したことを特徴とする
半導体露光装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001332869A JP2003132840A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332869A JP2003132840A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003132840A true JP2003132840A (ja) | 2003-05-09 |
Family
ID=19148229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001332869A Pending JP2003132840A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 超高圧水銀ランプ及びそれを用いた半導体露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003132840A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011119151A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Ushio Inc | キセノン水銀放電ランプおよび光照射装置 |
| JP2011119150A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Ushio Inc | キセノン水銀放電ランプおよび光照射装置 |
-
2001
- 2001-10-30 JP JP2001332869A patent/JP2003132840A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011119151A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Ushio Inc | キセノン水銀放電ランプおよび光照射装置 |
| JP2011119150A (ja) * | 2009-12-04 | 2011-06-16 | Ushio Inc | キセノン水銀放電ランプおよび光照射装置 |
| CN102110576A (zh) * | 2009-12-04 | 2011-06-29 | 优志旺电机株式会社 | 氙气水银放电灯及光照射装置 |
| CN102110576B (zh) * | 2009-12-04 | 2015-08-05 | 优志旺电机株式会社 | 氙气水银放电灯及光照射装置 |
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