CN220933343U - 超高压紫外曝光光源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃，球泡玻璃内腔的一端设置有光源阳极，球泡玻璃内腔的另一端设置有光源阴极，光源阳极的放电端与光源阴极的放电端相对，光源阳极与光源阴极相背的一端均固定连接有钨杆绕丝，钨杆绕丝固封于球泡玻璃的内部，钨杆绕丝包括钨杆和钨丝，钨丝固定缠绕于钨杆的外部，球泡玻璃固定套设有钼片，球泡玻璃的两端均固定连接有钼丝。本实用新型利用球泡玻璃、光源阳极、光源阴极、触发线、钼片、钼丝和钨杆绕丝的配合使用方式，钨杆绕丝是由钨杆外部缠绕钨丝组合而成，封固电极钨杆部分进行纯钨缠绕，缩小电极与玻璃紧密接触面积，缓和发生在玻璃界面上应力，从而防止产生裂痕。
Description
技术领域
本实用新型涉及曝光光源领域，特别涉及超高压紫外曝光光源。
背景技术
近年来，在电路板、液晶基板、半导体等制造工序中，通过使用较大功率紫外光源，实现处理时间缩短，大面积曝光处理物均匀曝光等，因此，作为输入紫外光源中要求放出更高亮度，曝光装置光源过大，易导致设备安装难，并且存在爆裂危险，导致设备损坏。
但是超高压曝光灯电极与玻璃紧密接触在形成封固中产生裂痕，电极与玻璃紧密接触面积越大，现象越显著，这是由于在超高压放电灯反复点灯闪烁，在电极膨胀收缩与玻璃膨胀收缩之间产生热膨胀系数之差，在玻璃中产生应力，不便于对电机与玻璃封装时进行防护。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供超高压紫外曝光光源，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃，所述球泡玻璃内腔的一端设置有光源阳极，所述球泡玻璃内腔的另一端设置有光源阴极，所述光源阳极的放电端与光源阴极的放电端相对；
所述光源阳极与光源阴极相背的一端均固定连接有钨杆绕丝，所述钨杆绕丝固封于球泡玻璃的内部；
所述钨杆绕丝包括钨杆和钨丝，所述钨丝固定缠绕于钨杆的外部。
优选的，所述球泡玻璃的两端均固定套设有钼片，所述球泡玻璃的两端均固定连接有钼丝，所述钼片的一侧与钨杆绕丝固定连接，所述钼片的另一侧与钼丝固定连接。
优选的，所述球泡玻璃的外部设置有触发线，所述触发线的两端分别缠绕于球泡玻璃外壁的两端，所述触发线的一端与其中一个钼丝固定连接。
优选的，所述光源阳极与光源阴极之间放电形成电弧，光源阳极与光源阴极材料均为纯钨，所述光源阴极的体积小于光源阳极的体积，所述光源阴极的前端为圆锥形状。
优选的，所述光源阴极的外部开设有多个凹槽，所述光源阳极与球泡玻璃封口端口距离为4.5mm-5.5mm，所述光源阳极与光源阴极之间距离为1.1mm-1.5mm。
优选的，所述球泡玻璃为石英玻璃，所述球泡玻璃的内部封入水银、稀有气体和卤素气体，所述球泡玻璃形状为椭球形。
本实用新型的技术效果和优点：
本实用新型利用球泡玻璃、光源阳极、光源阴极、触发线、钼片、钼丝和钨杆绕丝的配合使用方式，钨杆绕丝是由钨杆外部缠绕钨丝组合而成，封固电极钨杆部分进行纯钨缠绕，缩小电极与玻璃紧密接触面积，缓和发生在玻璃界面上应力，从而防止产生裂痕。
附图说明
图1为本实用新型正面内部结构示意图。
图2为本实用新型光源阳极和光源阴极放电结构示意图。
图3为本实用新型光源阳极结构示意图。
图4为本实用新型光源阴极结构示意图。
图5为本实用新型未封装球泡玻璃结构示意图。
图中：1、球泡玻璃；2、光源阳极；3、光源阴极；4、触发线；5、钼片；6、钼丝；7、钨杆绕丝；8、电弧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-5所示的超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃1，球泡玻璃1内腔的一端设置有光源阳极2，球泡玻璃1内腔的另一端设置有光源阴极3，光源阳极2的放电端与光源阴极3的放电端相对，光源阳极2与光源阴极3相背的一端均固定连接有钨杆绕丝7，钨杆绕丝7固封于球泡玻璃1的内部，钨杆绕丝7包括钨杆和钨丝，钨丝固定缠绕于钨杆的外部，且钨杆和钨丝固定于球泡玻璃1上，从而在钨杆和钨丝的作用下，缩小光源阳极2与光源阴极3与球泡玻璃1紧密接触面积，缓和发生在玻璃界面上应力，从而防止产生裂痕，球泡玻璃1的两端均固定套设有钼片5，球泡玻璃1的两端均固定连接有钼丝6，钼片5的一侧与钨杆绕丝7固定连接，钼片5的另一侧与钼丝6固定连接，钼片5与钼丝6和钨杆绕丝7固定连接的方式为焊接，且钼丝6引出与外部电路连接。
进一步的，球泡玻璃1的外部设置有触发线4，触发线4的两端分别缠绕于球泡玻璃1外壁的两端，触发线4的一端与其中一个钼丝6固定连接，触发线4能够在启动器向电极之间施加击穿电压时，有助于将灯点亮。
具体的，光源阳极2与光源阴极3之间放电形成电弧8，光源阳极2与光源阴极3材料均为纯钨，光源阴极3的体积小于光源阳极2的体积，光源阴极3的前端为圆锥形状，当长时间点亮曝光灯时，由于从光源阳极2到光源阴极3电流值一直减少，导致光源阴极3产生的热量比光源阳极2产生的热量减少比较多，为了维持放电在光源阴极3前端上形成高温的热电子发射区域，保证放电电弧8在光源阴极3附近部分收缩，光源阴极3的外部开设有多个凹槽，确保电极散热，光源阳极2与球泡玻璃1封口端口距离为4.5mm-5.5mm，光源阳极2与光源阴极3之间距离为1.1mm-1.5mm，曝光灯的额定电压为45V-65V，额定功率150W-300W，球泡玻璃1为石英玻璃，球泡玻璃1的内部封入水银、稀有气体和卤素气体，球泡玻璃1形状为椭球形，球泡玻璃1厚度范围2.5mm-3.5mm，水银是为了得到所需曝光紫外波段，从310nm-436nm紫外光，内部空间约为150-250mm3，封入汞量约为20mg-40mg，通过封入水银量，能够保证曝光时的水银蒸气压力超过200个大气压，保证曝光光源输出高功率紫外光，封入惰性气体，包含氩气或者氪气或者氙气，如氩气，可充入12kp-14kp，即可增加和汞原子碰撞并使之激发，并可以有效改善曝光启动特性，封入卤素气体为了与电极挥发出钨发生反应，防止钨沉积到泡壳壁上，导致石英管壁黑芯、失透现象，导致寿命过短。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃(1)，所述球泡玻璃(1)内腔的一端设置有光源阳极(2)，所述球泡玻璃(1)内腔的另一端设置有光源阴极(3)，所述光源阳极(2)的放电端与光源阴极(3)的放电端相对；
其特征在于：所述光源阳极(2)与光源阴极(3)相背的一端均固定连接有钨杆绕丝(7)，所述钨杆绕丝(7)固封于球泡玻璃(1)的内部；
所述钨杆绕丝(7)包括钨杆和钨丝，所述钨丝固定缠绕于钨杆的外部。
2.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的两端均固定套设有钼片(5)，所述球泡玻璃(1)的两端均固定连接有钼丝(6)，所述钼片(5)的一侧与钨杆绕丝(7)固定连接，所述钼片(5)的另一侧与钼丝(6)固定连接。
3.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的外部设置有触发线(4)，所述触发线(4)的两端分别缠绕于球泡玻璃(1)外壁的两端，所述触发线(4)的一端与其中一个钼丝(6)固定连接。
4.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述光源阳极(2)与光源阴极(3)之间放电形成电弧(8)，光源阳极(2)与光源阴极(3)材料均为纯钨，所述光源阴极(3)的体积小于光源阳极(2)的体积，所述光源阴极(3)的前端为圆锥形状。
5.根据权利要求4所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述光源阴极(3)的外部开设有多个凹槽，所述光源阳极(2)与球泡玻璃(1)封口端口距离为4.5mm-5.5mm，所述光源阳极(2)与光源阴极(3)之间距离为1.1mm-1.5mm。
6.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)为石英玻璃，所述球泡玻璃(1)的内部封入水银、稀有气体和卤素气体，所述球泡玻璃(1)形状为椭球形。
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