JP2003130814A - 表示パネルの外観検査方法および外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光透過性の基板表面に付着している異物を検出
することなく、基板の表面に存在する凹状の欠陥のみを
確実に検出することができる。 【解決手段】それぞれが光透過性の表基板２１および裏
基板２２を有する液晶表示パネル２０を、外観検査装置
のステージ１１上に載置して、周囲照度を、表基板の表
面に付着する異物を目視できない状態で、ステージ１１
上に設けられた光源１２から出射される光を、遮光カバ
ー１４の開口部から、表基板２１および裏基板２２の各
側面に照射する。表基板２１および裏基板２２の表面に
凹状の欠陥３２が存在する場合には、その反射光が、表
基板２１の表面から上方に出射されるために、その反射
光を目視することによって、表基板２１および裏基板２
２の表面に存在する凹状の欠陥３２を検出することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示装
置、ＰＡＬＣ（プラズマアドレス液晶）表示装置、エレ
クトロクロミック表示装置、電気泳動表示装置、ＥＬ
（エレクトロルミネッセンス）表示装置、ＰＤＰ（プラ
ズマ表示装置）等の表示パネルの外観検査方法および検
査装置に関する。さらに詳しくは、表示パネルを構成す
る透明な基板の表面に存在するキズ、打痕等の凹状の欠
陥を検出する際に、基板の表面に付着したゴミ、糸くず
などの異物を検出することなく、凹状の欠陥のみを確実
に検出することができる表示パネルの外観検査方法およ
び外観検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置、ＰＡＬＣ表示装置、エレ
クトロクロミック表示装置、電気泳動表示装置、ＥＬ表
示装置、ＰＤＰ等に使用される表示パネルは、通常、一
対の基板を、所定の間隔をあけて対向して配置して、両
基板の間に表示媒体を設けた状態で、両基板同士を相互
に貼り合わせることにより形成されている。画像を観察
する観察者に近接して配置される基板は、通常、ガラス
基板、プラスチック基板等の絶縁性の光透過性基板が使
用される。

【０００３】このような表示パネルを構成する光透過性
の基板では、表面に、キズ、打痕等による凹状の欠陥が
存在すると、表示パネルによって形成される画像の品質
が低下し、観察者に不快感を与えるおそれがある。この
ために、表示パネルを製造する際には、表面に凹状の欠
陥が存在しない光透過性の基板が使用される。しかしな
がら、表示パネルを製造する際には、基板は、電極等を
形成するための成膜工程、フォトリソグラフィー工程、
対向配置される他の基板との貼り合わせ工程、貼り合わ
せられた一対の基板を所定の大きさに分断する分断工程
等の各種の工程に供給され、各工程において、通常、基
板は、所定のステージ上に載置される。このために、基
板が載置されるステージ上に、バリ、ガラス片等の異物
が存在すると、基板の表面にキズ、打痕等の凹状の欠陥
が形成されるおそれがある。

【０００４】このために、光透過性の基板は、電極およ
び配線等が設けられるとともに、対向配置された他の基
板に貼り合わせた状態で、表面に凹状の欠陥が存在しな
いことを、再度、確認するための外観検査を実施する必
要がある。

【０００５】また、透過型の液晶表示パネルでは、光透
過性の一対の基板が対向配置されて、各基板を透過した
光によって画像が形成されるために、各基板の表面それ
ぞれに凹状の欠陥が存在しないことを確認する必要があ
り、そのために、各基板同士が貼り合わせられた状態
で、各基板それぞれの表面に欠陥が存在しないことを確
認するための外観検査が実施される。

【０００６】図５（ａ）および（ｂ）は、一対の光透過
性の基板が貼り合わせられた透過型の液晶表示パネルに
対して実施される外観検査を説明するための模式図であ
る。

【０００７】透過型の液晶表示パネル２０は、光透過性
のガラス基板によって構成された表基板２１と、同様に
光透過性のガラス基板によって構成された裏基板２２と
が相互に貼り合わせられている。

【０００８】表基板２１は、裏基板２２に対向する面
に、共通電極、配線等が設けられて、対向基板とされて
いる。表基板２１には、共通電極等が設けられた面を覆
うようにカラーフィルターが設けられている。また、裏
基板２２は、表基板２１に対向する面に、マトリクス状
に配置された複数の画素電極、各画素電極にそれぞれ接
続されて各画素電極を選択的に駆動する複数の薄膜トラ
ンジスタ、各薄膜トランジスタにそれぞれ接続されるよ
うに格子状に配置された複数の走査線および信号線等が
設けられて、アクティブ基板とされている。

【０００９】表基板２１は、一方のコーナー部を裏基板
２２の一方のコーナー部に整合状態で突き合わせた状態
で、一定の間隔をあけて裏基板２２に対向配置されて、
表基板２１の周縁部が、裏基板２２にシール部材によっ
て貼り合わせられている。そして、表基板２１と裏基板
２２との間に液晶が封入されて、液晶表示パネル２０と
されている。

【００１０】このような液晶表示パネル２０の外観検査
では、まず、光透過性の表基板２１の表面に、光源４１
からの光を照射して、表基板２１の表面を、作業員の肉
眼３１によって目視して、キズ、打痕等の凹状の欠陥３
２が存在するかを検査する。

【００１１】表基板２１の表面に凹状の欠陥３２が存在
する場合には、凹状の欠陥３２からの反射光が肉眼３１
によって目視される。表基板２１の表面に凹状の欠陥が
存在する場合には、検出された凹状の欠陥３２が、表示
される画像に影響を与えるものであるか、判定される。

【００１２】すなわち、表基板２１の表面に存在する凹
状の欠陥３２の幅、長さ、深さ等が小さくて、欠陥３２
が軽微な場合には、表示される画像の品質に影響を与え
ず、実用上は、特に問題がないことがあるために、欠陥
３２が軽微であるかが判定される。この判定では、実用
上問題がある大きさの「不良」欠陥のサンプルが予め準
備されており、この欠陥のサンプルと表基板２１に存在
する欠陥３２とが目視によって比較される。そして、表
基板２１の表面に存在する凹状の欠陥３２が、サンプル
の欠陥と同様の大きさか、あるいはその欠陥のサンプル
よりも大きい場合には、検出された凹状の欠陥３２が、
「不良」であると判定される。

【００１３】このような検査によって、表基板２１の表
面に凹状の欠陥３２が存在しない場合には、図５（ｂ）
に示すように、液晶表示パネル２０が反転されて、表基
板２１の場合と同様にして、裏基板２２の表面に凹状の
欠陥が存在するかが検査される。そして、欠陥が存在し
た場合には、その欠陥が実用上問題がないかが判定され
る。

【００１４】特開平４−３２０９５１号公報には、液晶
表示パネル等に用いられるガラス基板の表面欠陥検査方
法および検査装置が開示されている。この公報に開示さ
れた外観検査方法では、１枚のガラス基板の側面に、ガ
ラス基板の内部において全反射するように光を照射し
て、ガラス基板の表面のキズ、凹凸等によって散乱され
る光を、ガラス基板の表面または裏面から、目視によっ
て観察することにより、あるいは受光器にて検出するこ
とにより、ガラス基板の表面に存在するキズ、凹凸等を
検出するようになっている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】図５に示すように、液
晶表示パネル２０の表基板２１および裏基板２２に対し
て光をそれぞれ照射して、液晶表示パネル２０の表面か
らの反射光を目視することにより、表基板２１および裏
基板２２の表面に存在するキズ、打痕等の凹状の欠陥３
２を検出する方法では、表基板２１および裏基板２２
に、ゴミ、糸くず等の異物３３が付着していると、その
異物３３による反射光も目視されるために、凹状の欠陥
３２による反射光と異物３３による反射光とを区別する
ことができないおそれがある。その結果、表基板２１、
裏基板２２の表面に存在するキズ、打痕等の欠陥３２
を、ゴミ・糸くず等の異物３３と判断する誤検出のおそ
れ、あるいは、表基板２１、裏基板２２の表面に付着し
たゴミ、糸くず等の異物３３を、キズ、打痕等の欠陥３
２と誤判断するおそれがある。

【００１６】また、液晶表示パネル２０は、表基板２１
および裏基板２２のそれぞれの表面に光を照射する必要
があるために、表基板２１の表面に光を照射して検査を
行った後に、裏基板２２の表面に光を照射して検査を行
わなければならない。このように、表基板２１および裏
基板２２のそれぞれに対して個別に検査を行う必要があ
り、作業効率が悪くなるという問題もある。

【００１７】さらに、検出されたキズ、打痕等の欠陥３
２が、実用上問題がない大きさであることも、目視によ
る感応検査によって判断しているために、検査を実施す
る作業員によっては、検査結果が大きく変動し、実用上
問題がない欠陥を「不良」と判定する過剰判定、あるい
は、「不良」の欠陥を実用上問題がないと判定する誤判
定が多発するおそれもある。

【００１８】特開平４−３２０９５１号公報に開示され
たガラス基板の表面検査方法でも、ガラス基板の表面に
ゴミ、糸くず等の異物が付着していると、周囲の光によ
って、その異物からの反射光が検出されるために、ガラ
ス基板の表面のキズ、打痕等の欠陥と区別することがで
きす、誤判定が生じるおそれがある。

【００１９】さらに、この公報に開示された方法では、
表示パネルとされるガラス基板を１枚ずつ外観検査する
ようになっており、従って、透過型の液晶表示パネルの
ように、２枚の光透過性の基板が貼り合わせられている
場合には、貼り合わされた各基板毎に外観検査を行う必
要があり、外観検査の作業性が低下するという問題もあ
る。

【００２０】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、表示パネルを構成する基板の表面
に付着しているゴミ、糸くず等の異物を検出することな
く、基板の表面に存在するキズ、打痕等の欠陥のみを確
実に検出することができる表示パネルの外観検査方法お
よび外観検査装置を提供することにある。

【００２１】本発明の他の目的は、光透過性の一対の基
板が貼り合わせられた表示パネルにおいて、各基板の表
面に存在するキズ、打痕等の欠陥を同時に検出すること
ができる表示パネルの外観検査方法および外観検査装置
を提供することにある。

【００２２】本発明のさらに他の目的は、基板の表面に
存在するキズ、打痕等の欠陥が存在する場合に、実用上
問題がある欠陥のみを確実に検出することができる表示
パネルの外観検査方法および外観検査装置を提供するこ
とにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明の表示パネルの外
観検査方法は、 光透過性の第１の基板を少なくとも有
する表示パネルを、該第１の基板に光が照射されない状
態で、該第１の基板における側面に光を照射し、該第１
の基板の表面から外部に出射される光に基づいて該第１
の基板の表面に存在する凹状の欠陥を検出することを特
徴とするものであり、そのことにより上記目的が達成さ
れる。

【００２４】前記表示パネルの周囲の照度が１０Ｌｘ以
下になっている。

【００２５】前記表示パネルは、前記第１の基板に対向
して配置された光透過性の第２の基板を有しており、該
第２の基板の側面に光を照射して、前記第１の基板の表
面から出射される光に基づいて、該第２の基板の表面に
存在する凹状の欠陥を検出する。

【００２６】前記表示パネルは、前記第１の基板と第２
の基板との間にカラーフィルターが設けられている。

【００２７】前記表示パネルの前記第１の基板の側面お
よび第２の基板の側面に対して、１つの光源から出射さ
れる光が同時に照射される。

【００２８】前記表示パネルの前記第１の基板の側面お
よび第２の基板の側面に対して、１つの光源から出射さ
れる光が、選択的に照射される。

【００２９】前記第１の基板の側面および前記第２の基
板の側面に対して波長または点滅周期の異なる光がそれ
ぞれ照射される。

【００３０】前記第１の基板から出射される光の輝度が
所定値以上になるように、前記第１の基板に照射される
光の強度が調整される。

【００３１】本発明の表示パネルの外観検査装置は、光
透過性の第１の基板を少なくとも有する表示パネルの外
観検査装置であって、前記表示パネルが載置されるステ
ージと、該ステージに載置された表示パネルの側面に光
を照射する光照射手段とを具備し、該光照射手段は、前
記ステージ上に設けられた光源と、前記ステージ上に載
置された表示パネルの側面に対向するように開口部が設
けられて、該開口部を除いて該光源から出射される光が
外部に漏出しないように該光源を覆う遮光カバーとを有
し、前記第１の基板の表面から出射される光に基づい
て、該第１基板の表面に存在する凹状の欠陥を検出する
ことを特徴とするものであり、そのことにより上記目的
が達成される。

【００３２】前記遮光カバーの開口部は、前記表示パネ
ルの厚さにほぼ等しくなっており、該表示パネルの側部
が、該開口部内に挿入されるようになっている。

【００３３】前記光照射手段は、異なる波長の一対の光
または異なる点滅周期の一対の光を照射する。

【００３４】前記光源は、出射される光の強度を調整す
ることができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
図面に基づいて説明する。

【００３６】図１（ａ）は本発明の表示パネルの外観検
査方法の実施に使用される外観検査装置の概略構成図、
図１（ｂ）は、その外観検査装置を分解した状態の概略
構成図である。

【００３７】この外観検査装置は、例えば、表示パネル
である透過型の液晶表示パネル２０の外観検査に使用さ
れる。

【００３８】図２は、この外観検査装置にて外観検査さ
れる透過型の液晶表示パネル２０の要部の断面図であ
る。図２に示すように、透過型の液晶表示パネル２０
は、光透過性の絶縁性基板であるガラス基板によって構
成された表基板２１と、同様に光透過性の絶縁性基板で
あるガラス基板によって構成された裏基板２２とが相互
に貼り合わせられている。

【００３９】表基板２１は、裏基板２２に対向する面
に、共通電極、配線等が設けられて、対向基板になって
いる。表基板２１には、共通電極等が設けられた面を覆
うようにカラーフィルター２３が設けられている。ま
た、裏基板２２は、表基板２１に対向する面に、マトリ
クス状に配置された複数の画素電極、各画素電極にそれ
ぞれ接続されて各画素電極を選択的に駆動する複数の薄
膜トランジスタ、各薄膜トランジスタにそれぞれ接続さ
れるように格子状に配置された複数の走査線および信号
線等が設けられて、アクティブ基板になっている。

【００４０】表基板２１は、一方のコーナー部を裏基板
２２の一方のコーナー部に整合状態で突き合せた状態
で、裏基板２２とは一定の間隔をあけて対向配置され
て、表基板２１の周縁部が裏基板２２にシール部材２４
によって貼り合わせられている。そして、表基板２１と
裏基板２２との間に液晶２５が封入されており、表基板
２１に設けられた共通電極と、裏基板２２に設けられた
各画素電極とによって挟持された液晶２５部分が、それ
ぞれ画素になっている。

【００４１】このような構成の液晶表示パネル２０にお
ける表基板２１および裏基板２２の表面に存在するキ
ズ、打痕等の凹状の欠陥を検出するために、本発明の外
観検査装置が使用される。

【００４２】本発明の外観検査装置は、図１（ａ）およ
び（ｂ）に示すように、液晶表示パネル２０が載置され
るステージ１１を有している。このステージ１１は、金
属板を折り曲げ加工することによって、あるいは、プラ
スチックを成型することによって形成されているが、こ
れらの構成に限定されるものではない。

【００４３】ステージ１１の一方の側部上には、ステー
ジ１１に載置された液晶表示パネル２０の一方の側面に
対して光を照射する光照射手段１３が設けられている。
この光照射手段１３は、ステージ１１の側部に沿って架
設状態で設けられた棒状の光源１２と、この光源１２の
光が外部に漏出しないように覆う遮光カバー１４とを有
している。光源１２は、例えば白色の３波長冷陰極蛍光
管によって構成されているが、このような３波長冷陰極
蛍光管に限定されるものではない。

【００４４】光源１２を覆う遮光カバー１４は、下面が
開放された直方体状に形成されており、ステージ１１の
上面に、光源１２を覆った状態で固定されている。遮光
カバー１４におけるステージ１１の中央側に位置する側
面１４ｂの下縁部には、開口部１４ａが設けられてい
る。遮光カバー１４は、開口部１４ａを除いて、周囲に
光が漏出しないようになっており、液晶表示パネル２０
の一方の側部が、遮光カバー１４の開口部１４ａ内に嵌
合されるように、液晶パネル２０は、ステージ１１上に
配置される。液晶表示パネル２０の一方の側部が全体に
わたって嵌合された際に、表基板２１および裏基板２２
のそれぞれの表面に光が照射されないように、ステージ
１１の表面から液晶表示パネル２０の厚さにほぼ等しい
高さに形成されている。

【００４５】遮光カバー１４は、金属板を折り曲げ加工
することによって、あるいは、プラスチックを成型する
ことによって形成されるが、これらの構成に限定される
ものではない。

【００４６】図３は、本発明の外観検査装置による液晶
表示パネル２０の外観検査の実施状態を示す概略図、図
４は、その場合の液晶表示パネル２０の断面を拡大して
示す概略図である。

【００４７】外観検査装置のステージ１１上には、検査
対象である液晶表示パネル２０が載置される。液晶表示
パネル２０は、一方の側部が、遮光カバー１４の開口部
１４ａ内に挿入されるように、ステージ１１上に載置さ
れる。

【００４８】外観検査装置は、ステージ１１上に液晶表
示パネル２０が載置された状態で、周囲照度が１０Ｌｘ
以下の環境下、例えば暗室内に配置される。

【００４９】このような状態で、光源１２が点灯される
と、光源１２から出射された光は、図３に矢印Ａで示す
ように、遮光カバー１４の開口部１４ａ内に位置された
表基板２１および裏基板２２の各側面から、表基板２１
および裏基板２２のそれぞれの内部に進入する。この場
合、表基板２１および裏基板２２の表面には、光が照射
されない。

【００５０】表基板２１の表面に、キズ、打痕等の凹状
の欠陥３２が存在すると、表基板２１の内部に照射され
た光は、図４に矢印Ｂで示すように、その欠陥３２によ
って反射されて、表基板２１の表面からそれぞれ出射さ
れる。従って、表基板２１の表面から出射される光を、
作業員が肉眼３１によって目視することにより、表基板
２１の表面に存在するキズ、打痕等の凹状の欠陥３２を
検出することができる。

【００５１】裏基板２２の表面に、キズ、打痕等の凹状
の欠陥３２が存在する場合も、裏基板２２の内部に照射
された光が、図４に矢印Ｂで示すように、その欠陥３２
によって反射される。そして、欠陥３２にて反射された
光は、液晶２５、カラーフィルター２３および表基板２
１を通って、表基板２１の表面から出射される。

【００５２】従って、表基板２１の表面から出射される
光を、作業員が肉眼３１によって目視することにより、
表基板２１および裏基板２２の表面に存在するキズ、打
痕等の凹状の欠陥３２を検出することができる。

【００５３】この場合、遮光カバー１４の開口部１４ａ
は、液晶表示パネル２０の厚さに、ほぼ等しい高さにな
っており、光源１２から発せられた光は、液晶表示パネ
ル２０における表基板２１および裏基板２２の各側面か
らそれぞれの内部に照射され、表基板２１および裏基板
２２の表面には照射されるおそれがない。しかも、液晶
表示パネル２０の周囲照度は、１０Ｌｘ以下になってい
るために、表基板２１の表面に、ゴミ、糸くず等の凸状
の異物３３が付着していても、その異物３３に光が照射
されるおそれがなく、従って、表基板２１の表面の異物
３３による反射光を作業員が目視するおそれがない。そ
の結果、表基板２１の表面に付着した異物３３を、凹状
の欠陥３２と誤検出するおそれがない。

【００５４】また、表基板２１に存在する欠陥３２にて
反射されて、表基板２１の表面から出射される光は、光
透過性の表基板２１内を通った外部に出射されるため
に、光源１２から出射された光と同様の白色光になあ
る。これに対して、裏基板２２の表面に存在するキズ、
打痕等の凹状の欠陥３２によって反射された光は、液晶
２５、カラーフィルター２３、表基板２１を通って、表
基板２１の表面から出射されるために、カラーフィルタ
ー２３を通過することによって、カラーフィルター２３
におけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれかの色
に着色された状態になる。

【００５５】従って、表基板２１の表面から出射される
光が白色光の場合には、表基板２１に欠陥３２が存在す
ることが検出され、表基板２１の表面から出射される光
が着色光の場合には、裏基板２２に欠陥３２が存在する
ことが検出される。

【００５６】このように、液晶表示パネル２０の表基板
２１および裏基板２２の各表面に光が照射されないよう
に、液晶表示パネル２０の周囲の照度を低くするととも
に、表基板２１および裏基板２２の側面に光を照射する
ことにより、表基板２１および裏基板２２の表面に、ゴ
ミ、糸くず等の異物３３が付着していても、その異物を
検出することなく、表基板２１および裏基板２２の表面
に存在するキズ、打痕等の凹状の欠陥３２を確実に検出
することができる。

【００５７】特に、カラーフィルター２３が設けられた
液晶表示パネル２０では、表基板２１に存在する欠陥３
２からの反射光と、裏基板２２に存在する欠陥３２から
の反射光とを、白色光と着色光とによって区別すること
ができるために、欠陥３２が表基板２１および裏基板２
２のいずれに存在するかを、容易に判定することができ
る。

【００５８】なお、光源１２から出射される光が、液晶
表示パネル２０における表基板２１および裏基板２２の
各表面に照射されることを確実に防止するために、遮光
カバー１４の開口部１４ａの周縁部に、ゴム、プラスチ
ック等のように弾性または可撓性を有する遮光部材を設
けて、表基板２１の表面に接触させる構成としてもよ
い。また、ステージ１１の表面にも、ゴム、プラスチッ
ク等のように弾性または可撓性を有する遮光性材料から
なるシートを設けて、裏基板２２の表面に接触させるよ
うにしてもよい。この場合には、液晶表示パネル２０の
厚さが一定でない場合にも、表基板２１および裏基板２
２の表面に光が照射されることが確実に防止される。

【００５９】さらには、遮光カバー１４の開口部１４ａ
と、ステージ１１上に配置された液晶表示パネル２０と
の間に、液晶表示パネル２０における表基板２１および
裏基板２２の各側面にのみ、それぞれ光をガイドするガ
イド部材を設けるようにしてもよい。このガイド部材と
しては、アクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂等の透光
性材料によって構成された本体部の表面を、遮光膜によ
って覆って、その遮光膜に、液晶表示パネル２０の厚さ
と同じ幅寸法の光が透過するようにスリットを設けるこ
とにより構成される。このようなガイド部材は、遮光カ
バー１４の開口部１４ａと、ステージ１１上に配置され
た液晶表示パネル２０との間に、光源１２から出射され
る光が、遮光膜に設けられたスリットを通って液晶表示
パネル２０の表基板２１および裏基板２２の各側面にそ
れぞれ入射するように配置される。

【００６０】また、上記実施の形態では、液晶表示パネ
ル２０の外観検査を暗室にて行う場合について説明した
が、これに限定されるものではない。例えば、光を吸収
するように内面を黒色とした遮光板によって、液晶表示
パネルの周囲を覆うことにより、液晶表示パネル２０の
表面に外部から光が照射されない状態として、液晶表示
パネル２０における表基板２１の表面を目視するように
してもよい。

【００６１】また、表基板２１の表面から出射される光
を、作業員の目視によって検出する構成に限らず、受光
素子によって検出するようにしてもよい。

【００６２】さらに、外観検査される液晶表示パネル２
０にカラーフィルター２３が設けられていない場合に
は、表基板２１および裏基板２２のそれぞれに対して、
互いに異なる波長の光、例えば赤色光と白色光とをそれ
ぞれ照射して、表基板２１および裏基板２２の表面にそ
れぞれ存在する凹状の欠陥３２による反射光の色を異な
らせるようにすればよい。これにより、検出される凹状
の欠陥３２が、表基板２１および裏基板２２のいずれに
存在するかを容易に判定することができる。

【００６３】表基板２１および裏基板２２の各側面に対
して、異なる波長の光をそれぞれ照射する場合には、遮
光カバー１４の開口部１４ａ内に、表基板２１および裏
基板２２のいずれか一方の側面に対向するように、カラ
ーフィルターを設けて、いずれか一方の基板に対して、
所定の着色光を照射するようにしてもよい。カラーフィ
ルターとしては、例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネ
イト樹脂等によって構成された赤色のカラーフィルター
等が使用される。

【００６４】また、波長が異なる一対の光源を設けて、
各光源から出射される光を、表基板２１および裏基板２
２の各側面それぞれに照射するようにしてもよい。さら
には、点滅周期の異なる一対の光源を設けて、各光源か
ら出射される点滅周期の異なるそれぞれの光を、表基板
２１および裏基板２２に照射して、凹状の欠陥３２にて
反射された光の点滅周期に基づいて、欠陥３２が表基板
２１および裏基板２２のいずれに存在するかを判定する
ようにしてもよい。

【００６５】さらには、表基板２１および裏基板２２の
一方に、光を選択的に照射して、表基板２１および裏基
板２２の一方に存在する欠陥３２を、選択的に検出する
ようにしてもよい。この場合には、前述した外観検査装
置における遮光カバー１４の開口部１４ａに、シャッタ
ーを設けて、光源１２から出射される光を、表基板２１
および裏基板２２のいずれか一方に選択的に照射する構
成、あるいは、表基板２１および裏基板２２の各側面そ
れぞれに光を照射する一対の光源を設けて、各光源を選
択的に点灯する構成とすればよい。

【００６６】いずれの場合にも、表基板２１および裏基
板２２に存在する欠陥を同時に検出することはできない
が、表基板２１および裏基板２２のいずれに、キズ、打
痕等の欠陥３２が存在するかを確実に検出することがで
きる。

【００６７】さらに、図１に示す外観検査装置におい
て、光源１２から出射される光の強度を調整することに
より、液晶表示パネル２０の表基板２１および裏基板２
２の表面に存在するキズ、打痕等の凹状の欠陥３２が、
液晶表示パネル２０に表示される画像として実用上問題
がないかを判定するようにしてもよい。

【００６８】キズ、打痕等の凹状の欠陥３２の存在は、
欠陥３２にて反射されて表基板２１の表面から出射され
る光を目視することによって検出されるが、凹状の欠陥
３２にて反射される光は、凹状の欠陥３２の深さに比例
する。すなわち、キズ、打痕等の凹状の欠陥３２の深さ
が深くなるほど、光が反射される面積が大きくなり、欠
陥３２による反射光量が増加する。

【００６９】また、凹状の欠陥３２の深さが浅い場合に
は、液晶表示パネル２０にて表示される画像の品質は、
実用上、特に問題にはならない場合がある。

【００７０】このために、キズ、打痕等の凹状の欠陥３
２が存在しても、欠陥３２が浅いことにより、表示画像
の品質としては、実用上、特に問題がない場合に、その
欠陥３２によって反射される光が目視によって検出され
ず、欠陥３２が深くて実用上問題がある場合に、欠陥３
２によって反射される光のみを目視によって確実に検出
できるように、光源１２の強度が調整される。

【００７１】このように、光源１２の強度を調整して、
表示画像において実用上問題となる「不良」の欠陥３２
によって反射されて表基板２１の表面から出射される光
を、確実に目視できるような輝度とし、実用上、特に問
題がない欠陥３２からの反射光については、目視にて検
出できないようにすることにより、検出される欠陥３２
は、常に「不良」であると判定されることになる。その
結果、表示画像において、実用上特に問題がない微小な
欠陥３２が存在しても、その欠陥３２が目視されず、
「不良」と判定される欠陥３２のみを、確実に検出する
ことができる。

【００７２】光源１２の強度は、例えば、光源１２の点
灯回路としてインバータ回路が用いられる場合には、イ
ンバータ回路における間欠駆動のデューティ比（点滅周
期に対する点灯時間の比）を変更することにより調整す
ることができ、また、光源１２の点灯回路の電源電圧を
変更することによっても調整することができる。なお、
光源１２の強度を変更する手段としては、このような構
成に限定されるものではない。

【００７３】表示画像において実用上特に問題がない微
小な欠陥３２による反射光を目視にて検出されず、「不
良」欠陥３２のみを目視によって検出できるようにする
ためには、光が照射される表示パネルの種類、構成等に
応じて、光源１２から出射される光の強度を適宜設定す
る必要がある。このために、検査対象の表示パネルの種
類等に応じた外観検査を予め実施して、光源１２から出
射される光の強度を「不良」の欠陥のみを検出すること
ができるように設定される。

【００７４】液晶表示パネル２０では、欠陥３２にて反
射される光の輝度が、５０００ｃｄ／ｃｍ²程度になる
ように、光源１２から出射される光の強度を設定するこ
とによって、実用上問題となる「不良」の欠陥３２のみ
を検出することができる。

【００７５】なお、上記実施形態においては、透過型ア
クティブマトリクス型の液晶表示パネル２０の外観検査
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、例えば、単純マトリクス型液晶表示パネル、透
過型および反射型を兼用した半透過型の液晶表示パネル
等に対しても適用することができる。また、本発明は、
液晶表示パネルの外観検査に限定されるものではなく、
例えば、ＰＡＬＣ表示装置、エレクトロクロミック表示
装置、電気泳動表示装置等の表示パネルの外観検査にも
適用することができる。さらに、本発明は、反射型液晶
表示装置、ＥＬ表示装置、ＰＤＰ等の表示パネルのよう
に、光透過性の一方の基板の外観検査にも適用すること
ができる。

【００７６】

【発明の効果】本発明の表示パネルの外観検査方法およ
び外観検査装置は、このように、表示パネルを構成する
光透過性の基板表面に、ゴミ、糸くず等の異物が付着し
ていても、その異物を検出することなく、基板表面に存
在するキズ、打痕等の凹状の欠陥のみを確実に検出する
ことができる。従って、基板に存在する欠陥の誤検出を
防止することができる。また、一対の光透過性基板が設
けられた表示パネルでは、各基板の表面にそれぞれ存在
する凹状の欠陥を確実に検出することができる。さら
に、この場合には、各基板の凹状の欠陥を同時に検出す
ることができるために、検査効率を向上させることがで
きる。

【００７７】また、表示パネルに照射される光の強度を
調整することによって、実用上問題となる「不良」の欠
陥のみを検出することができ、これによっても、検査作
業の効率を著しく向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明に係る表示パネルの外観検査
装置の一例を示す概略構成図、（ｂ）は、その外観検査
装置を分解した状態の概略構成図である。

【図２】その外観検査装置によって外観検査される表示
パネルの一例である透過型液晶表示パネルの要部の断面
図である。

【図３】その外観検査装置による透過型液晶表示パネル
の検査状態を示す概略断面図である。

【図４】その要部を拡大して示す断面図である。

【図５】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、従来の表示
パネルの外観検査方法について説明するための概略図で
ある。

【符号の説明】

１１ ステージ １２ 光源 １３ 光照射手段 １４ 遮光カバー １４ａ 開口部 ２０ 液晶表示パネル ２１ 表基板 ２２ 裏基板 ２３ カラーフィルター ２４ シール部材 ２５ 液晶 ３２ 欠陥

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB07 BA01 BA08 BA20 BB01 BB07 BC01 CA11 CC07 EA17

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光透過性の第１の基板を少なくとも有す
   る表示パネルを、該第１の基板に光が照射されない状態
   で、該第１の基板における側面に光を照射し、該第１の
   基板の表面から外部に出射される光に基づいて該第１の
   基板の表面に存在する凹状の欠陥を検出することを特徴
   とする表示パネルの外観検査方法。
2. 【請求項２】 前記表示パネルの周囲の照度が１０Ｌｘ
   以下になっている請求項１に記載の表示パネルの外観検
   査方法。
3. 【請求項３】 前記表示パネルは、前記第１の基板に対
   向して配置された光透過性の第２の基板を有しており、
   該第２の基板の側面に光を照射して、前記第１の基板の
   表面から出射される光に基づいて、該第２の基板の表面
   に存在する凹状の欠陥を検出する、請求項１に記載の表
   示パネルの外観検査方法。
4. 【請求項４】 前記表示パネルは、前記第１の基板と第
   ２の基板との間にカラーフィルターが設けられている請
   求項３に記載の表示パネルの外観検査方法。
5. 【請求項５】 前記表示パネルの前記第１の基板の側面
   および第２の基板の側面に対して、１つの光源から出射
   される光が同時に照射される請求項３に記載の表示パネ
   ルの外観検査方法。
6. 【請求項６】 前記表示パネルの前記第１の基板の側面
   および第２の基板の側面に対して、１つの光源から出射
   される光が、選択的に照射される請求項３に記載の表示
   パネルの外観検査方法。
7. 【請求項７】 前記第１の基板の側面および前記第２の
   基板の側面に対して波長または点滅周期の異なる光がそ
   れぞれ照射される請求項３に記載の表示パネルの外観検
   査方法。
8. 【請求項８】 前記第１の基板から出射される光の輝度
   が所定値以上になるように、前記第１の基板に照射され
   る光の強度が調整される請求項１に記載の表示パネルの
   外観検査方法。
9. 【請求項９】 光透過性の第１の基板を少なくとも有す
   る表示パネルの外観検査装置であって、 前記表示パネルが載置されるステージと、 該ステージに載置された表示パネルの側面に光を照射す
   る光照射手段とを具備し、 該光照射手段は、前記ステージ上に設けられた光源と、
   前記ステージ上に載置された表示パネルの側面に対向す
   るように開口部が設けられて、該開口部を除いて該光源
   から出射される光が外部に漏出しないように該光源を覆
   う遮光カバーとを有し、 前記第１の基板の表面から出射される光に基づいて、該
   第１基板の表面に存在する凹状の欠陥を検出することを
   特徴とする表示パネルの外観検査装置。
10. 【請求項１０】 前記遮光カバーの開口部は、前記表示
    パネルの厚さにほぼ等しくなっており、該表示パネルの
    側部が、該開口部内に挿入されるようになっている請求
    項９に記載の外観検査装置。
11. 【請求項１１】 前記光照射手段は、異なる波長の一対
    の光または異なる点滅周期の一対の光を照射する、請求
    項９に記載の外観検査装置。
12. 【請求項１２】 前記光源は、出射される光の強度を調
    整することができる請求項９に記載の外観検査装置。