JP2003124167A

JP2003124167A - ウエハ支持部材及びこれを用いる両頭研削装置

Info

Publication number: JP2003124167A
Application number: JP2001313010A
Authority: JP
Inventors: Akira Isobe; 章磯部; Yoshiyuki Tomita; 良幸冨田; Akio Iwase; 昭雄岩瀬; Kazutaka Hara; 一敬原; Ryuji Furukawa; 竜治古川; Hiroshi Nagata; 浩永田; Shinichiro Tsukahara; 真一郎塚原
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2001-10-10
Filing date: 2001-10-10
Publication date: 2003-04-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】キャリア方式を採用する両頭研削装置に好適
に用いることができ、コスト低減を図りかつ取扱も容易
なウエハ支持部材を提供する。【解決手段】ノッチ部ＷＮを有するウエハＷの外周部
に、分割支持材１０Ａ〜１０Ｃを複数配設して前記ウエ
ハＷを支持するようにしたウエハ支持部材であって、前
記分割支持材１０Ａ〜１０Ｃのうち前記ウエハＷのノッ
チ部ＷＮと係合する突起部１０ａを有するものはキャリ
アに固定され、他の分割支持材１０Ａ〜１０Ｃの少なく
とも１つが移動可能とされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ表面を研削
する際に用いるウエハ支持部材に関し、特にウエハの両
面研削を行う両頭研削装置に好適に用いることができる
ウエハ支持部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、キャリア方式と称される両頭研削
装置が知られている。この種の両頭研削装置では外部か
らの回転駆動力を受けるキャリアを用い、ウエハ支持部
材を介してキャリアの回転力をウエハに伝えるようにな
っている。

【０００３】図１は、従来において、ウエハ支持板を介
して上記キャリア内にセットされたウエハＷの状態を示
した図である。図１（Ａ）はウエハＷを正面側から見た
図、図１（Ｂ）はウエハＷを側面側から見た図である。
なお、キャリアに支持板固定部材を嵌め込むことによ
り、ウエハ支持板がキャリア内に固定される。この支持
板固定部材１１６は図１（Ｂ）にのみ示されている。

【０００４】図１において、ウエハＷは適度な間隙をも
ってウエハ支持板１１０により支持され、さらにウエハ
支持板１１０は支持板固定部材１１６を用いてキャリア
１１５内に固定される。ここで、ウエハＷには外周の一
部を切欠いたノッチ部ＷＮが予め形成されており、この
ノッチ部ＮＷに対応する突起部１１０ａがウエハ支持板
１１０側に形成されている。よって、図示せぬキャリア
に回転力が加わると、ウエハＷはウエハ支持板１１０を
介して、より正確にはウエハ支持板１１０の突起部１１
０ａがウエハＷのノッチ部ＮＷに係合することにより、
所定方向に回転することになる。

【０００５】なお、図１（Ａ）ではウエハＷとウエハ支
持板１１０の間隙αを誇張して示しているが、実際は極
めて小さく、例えば両者の間隙αはウエハＷの直径が約
３００ｍｍのときに０．２ｍｍ程度である。この間隙α
はウエハＷが軸方向（ウエハＷ面に対して垂直な方向）
に自由に動ける状態を確保するために必要である。この
間隙αを確保しないと、ウエハＷに軸方向に歪みが発生
してウエハＷの平坦度を維持できなくなる虞が生じる。
その一方で、上記間隙αが大きくなり過ぎるとノッチ部
ＷＮと突起部１１０ａとの引っ掛かりが少なくなり、突
起部１１０ａが磨耗し易く、研削工程中にウエハＷが踊
ってしまい加工精度が落ちてしまう。

【０００６】なお、ウエハ支持板１１０の厚みは、ウエ
ハＷの外周部を研削する際に問題とならぬように、ウエ
ハＷの厚みよりも薄く形成されている。

【０００７】図２は上記キャリアを用いた従来の両頭研
削装置のウエハ周辺部構成を示した図である。図２
（Ａ）は正面から見た図、図２（Ｂ）は側面から見た図
である。図２で、図１と同様の部位には同一の符号を付
している。また、図２の場合も図２（Ｂ）のみに支持板
固定部材１１６を示している。

【０００８】ウエハＷは、キャリア１１５内のウエハ支
持板１１０により外周を支持され、さらに静圧パッド１
３０で軸方向に拘束されている。この状態で、両側から
カップ状の砥石１２０が接近してウエハＷの両面を研削
する。この両頭研削装置の場合は、キャリア１１５は３
個のローラ１４１、１４２、１４３により支持されてお
り、その内の少なくとも１つが駆動ローラであり、これ
によりキャリア１１５が所定方向へ回転される。

【０００９】この回転を受けて、ウエハ支持板１１０の
突起部１１０ａがウエハＷのノッチ部ＷＮに係合するの
で、ウエハＷがキャリア１１５と一体的に回転する。一
方、砥石１２０はウエハＷの半径より少し大きな直径を
有しており、主軸１２０ＡＸ回りに回転する様になって
いる。よって、ウエハＷの全面かつその両面を研削する
ことができる。

【００１０】なお、図２（Ｂ）では左側は静圧パッド１
３０と砥石１２０がウエハＷに接近した状態を示し、右
側は離れた状態を例示しているが、実際の加工時には右
側もウエハＷに接近した状態となる。

【００１１】さらに、図３は上記ウエハ支持板１１０を
基板ＳＢから板取りする様子を示した図である。図３で
示すように、従来のウエハ支持板１１０は平坦性が高い
樹脂製の基板ＳＢから環状のものを一体に板取りして得
たものである。このウエハ支持板１１０は前述したよう
にウエハＷより薄く、その厚みは例えば０．５ｍｍ程度
であり、さらに所定の強度と平坦性を満たすことが必要
であるため高価である。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ウ
エハ支持板１１０は複数のウエハＷを研削するのに繰返
し使用されるため、突起部１１０ａが磨耗し易い。特
に、前述したようにウエハＷの軸方向の自由度を確保す
るため、ウエハＷとウエハ支持板１１０との間隙αを残
しておく必要があり、時間と共に磨耗することは避けら
れない。よって、突起部１１０ａが磨耗した場合には、
ウエハ支持板１１０を交換することが必要となり、コス
トアップの要因となっている。

【００１３】また、上記間隙αは実際には小さいもので
あり、一定である。さらに、ウエハＷは薄く破損し易
い。そのためウエハＷを破損させないように注意しなが
ら、上記ウエハ支持板１１０の突起部１１０ａに対応す
るようにノッチ部ＮＷを位置決めして、ウエハＷをウエ
ハ支持板１１０内に装填する必要がある。よって、両頭
研削装置へのウエハＷのセッティングが困難であるとい
う問題もある。

【００１４】したがって、本発明の主な目的は、キャリ
ア方式を採用する両頭研削装置に好適に用いることがで
き、コスト低減を図りかつ取扱も容易なウエハ支持部材
を提供することである。また、このような好ましいウエ
ハ支持部材を用いた両頭研削装置を提供することも目的
とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的は請求項１に記
載の如く、ノッチ部を有するウエハの外周部に、分割支
持材を複数配設して前記ウエハを支持するようにしたウ
エハ支持部材であって、前記分割支持材のうち前記ウエ
ハのノッチ部と係合する突起部を有するものはキャリア
に固定され、他の分割支持材の少なくとも１つが移動可
能とされているウエハ支持部材により達成される。

【００１６】本発明によれば、ウエハ支持部材が複数の
分割支持材により構成されているので、突起部が磨耗し
た際には当該分割支持材のみを交換することができる。
また、ウエハ支持部材は従来のように環状の形態で板取
りする必要がないので、面積の小さい基板から効率的に
分割支持材を板取りできる。よって、本ウエハ支持部材
はコストを低減して作製することができる。

【００１７】また、分割支持材のうち突起部を有するも
のがキャリア側に固定され、移動可能である分割支持材
を含んでいるので、ウエハを装填する時にウエハ支持部
材内の空間を広げて容易に作業を行うことができる。

【００１８】また、突起部を有する分割支持材がキャリ
ア側に固定されているので、ウエハを装填した時点で、
突起部とノッチ部とが正確に係合したかの確認を容易に
行える。よって、例えば、設備を自動化して分割支持材
内へのウエハの装填をロボットにより行うようにした場
合、不正確な係合となった時にはこれを検知して、速や
かにウエハの位置を修正することも可能となる。

【００１９】さらに、突起部がノッチ部に係合しながら
回転駆動力を伝えるので、駆動力を受けたときに互いの
位置に遊びがあると、曲げ力、剪断力を受けた突起部が
前述したように磨耗或いは破損し易くなる。しかし、本
発明の場合には、突起部を有する分割支持材がキャリア
側に固定され位置が安定しているので、上記問題の発生
を抑制できる。

【００２０】なお、上記移動可能である分割支持材は、
突起部を有しキャリア側に固定される分割支持材以外の
全てとしてもよいし、一部としてもよい。ウエハを装填
する時にウエハ支持部材内の空間を広げることができ、
ウエハのノッチ部が突起部の対応位置に移動できる状態
が確保されていればよい。

【００２１】前記移動可能な分割支持材は、前記キャリ
アに対し回動可能である回動部材に固定されている構成
とすることができる。

【００２２】また、前記ウエハ支持部材は奇数の分割支
持材で構成する形態を採用でき、この場合は前記ノッチ
部を有してキャリアに固定される分割支持材を間にし、
その左右に前記移動可能な分割支持材が配置されている
形態とすることができる。このような形態であれば、左
右に配設された分割支持材の自由端部側を拡開できるの
で、ウエハを装填しようとするときにウエハ支持部材内
にウエハを簡易に配置し、かつ位置決めできるウエハ支
持部材を実現できる。

【００２３】さらに、前記回動部材の間に間隔調整が可
能な開閉手段を設ければ、ウエハとウエハ支持部材との
間に形成される上記間隙を適宜調整できるのでより好ま
しい。

【００２４】また、前記ウエハ面に対して垂直な方向で
の前記回動部材の動きを規制する規制部材をさらに設け
てもよい。

【００２５】さらに、本発明の範疇には、前述したよう
な好ましいウエハ支持部材をキャリア内に設定して、ウ
エハの両頭研削を行う両頭研削装置も含む。このような
両頭研削装置であれば、コスト低減、作業性向上を図り
つつ、高い歩留で平坦性のあるウエハ加工を実現でき
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施例を説明する。ここで示す実施例は、ウエハ支持部材
の一例としてのウエハ支持板１０を３つの分割支持材１
０Ａ〜１０Ｃで構成した場合について説明する。

【００２７】まず、本実施例に係る分割型のウエハ支持
板１０の板取りについて説明する。図４は、３つの分割
支持材１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃを樹脂製の基板ＳＢか
ら板取りをする様子を示した図である。図４（Ａ）は従
来と同様に環状を成すように配列して板取りをする場合
であり、図４（Ｂ）は基板ＳＢの面積を小さくして分割
支持材１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃを板取りする場合を示
している。

【００２８】本実施例のウエハ支持板１０は、図４
（Ｂ）のように分割して板取りすることができるので、
用いる基板ＳＢの面積を小さくすることができコスト低
減を図ることができる。しかも、従来の場合と異なり、
磨耗し易い突起１０ａが存在する分割支持材１０Ｂのみ
を交換するということができるので、無駄を省くことが
できる。

【００２９】また、図４（Ｂ）では、３種類の分割支持
材１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃを板取りをする場合の例を
示しているが、全てを分割支持材１０Ｂとする板取りを
行うことで交換頻度の高いものを多く準備することもで
きる。

【００３０】図５は、図４の分割型のウエハ支持板をキ
ャリア側に固定するために用いる支持板固定部材と組合
せた様子を示した図である。図５（Ａ）において、支持
板固定部材１６もウエハ支持板１０が分割支持材１０Ａ
〜１０Ｃに分割されていることに対応して、３つの分割
固定材１６Ａ〜１６Ｃにより構成されている。これら分
割固定材１６Ａ〜１６Ｃの各々に分割支持材１０Ａ〜１
０Ｃが固定される。以下の説明で明らかとするが、分割
固定材１６Ａ〜１６Ｃのそれぞれは一対になっており、
その間に分割支持材１０Ａ〜１０Ｃを挟んで固定してい
る。

【００３１】また、図５から明らかなように、分割支持
材１０Ａ〜１０Ｃの面内方向の幅は、分割固定材１６Ａ
〜１６Ｃよりも広く、内周側がウエハＷ側に迫り出した
状態となるので、その内周面でウエハＷを支持すること
になる。

【００３２】ここで、中央に位置する分割固定材１６Ｂ
は、突起１０ａを有する分割支持材１０Ｂを固定してい
る。この分割固定材１６Ｂは、後述するようにキャリア
に固定される。よって、分割支持材１０Ｂは分割固定材
１６Ｂを介して、キャリアの一の位置に固定された状態
となる。

【００３３】次に、上記分割固定材１６Ｂの左右にある
分割固定材１６Ａと分割固定材１６Ｃとは、左右の回動
支点１７を中心に回動自在に設定されている。よって、
分割固定材１６Ａ及び分割固定材１６Ｃの各々に固定さ
れた分割支持材１０Ａ及び１０Ｃは、分割固定材１６Ａ
及び分割固定材１６Ｃが回動するのに伴って移動するこ
とになる。

【００３４】ところで、先に示した図２（Ｂ）では、ウ
エハ支持板１１０をキャリア１１５に固定する従来の支
持板固定部材１１６が開示されている。本実施例の場
合、中央の分割固定材１６Ｂは従来の支持板固定部材と
同様の機能を果たしている。しかし、その両側の分割固
定材１６Ａ及び分割固定材１６Ｃは、ウエハＷの装填を
簡易化するため、その間隔を広げることができるように
形成されている。

【００３５】図５（Ａ）は矢印Ｘ１の方向に分割固定材
１６Ａ及び分割固定材１６Ｃを回動させた場合の様子を
示し、図５（Ｂ）は矢印Ｘ２の方向に分割固定材１６Ａ
及び分割固定材１６Ｃを回動させた場合の様子を示して
いる。

【００３６】図５（Ｂ）のように、分割固定材１６Ａ及
び分割固定材１６Ｃの間隔を広げるとこれに伴い分割支
持材１０Ａ及び１０Ｃの間隔が広がるので、ウエハＷを
内部に装填し易くなる。図５（Ｂ）の下段に、ウエハＷ
のノッチ部ＷＮと分割支持材１０Ｂの突起部１０ａとの
関係を模式的に示している。この図で示すように位置が
ズレている状態でもウエハＷをウエハ支持板１０内に装
填できる。そして、ウエハＷが装填された後は、ノッチ
部ＷＮが突起部１０ａに一致するようにウエハＷがその
自重により僅かに移動するので、位置ズレは自然に解消
される。

【００３７】その後、図５（Ａ）のように、分割固定材
１６Ａ及び分割固定材１６Ｃの間隔を狭めることで、ウ
エハＷのノッチ部ＷＮが突起部１０ａに対応した状態で
位置決めできる。この状態は図５（Ａ）の下段に模式的
に示されている。

【００３８】図６は、図５に示したウエハ支持板１０及
び支持板固定部材１６がキャリア１５内に組込まれた様
子を示した図である。図６（Ａ）はキャリアを正面から
見た図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）でのＹ−Ｙ矢視
図、図６（Ｃ）は図６（Ａ）でのＺ−Ｚ矢視図である。

【００３９】なお、図６（Ａ）では、ウエハＷは図示し
ていない。また、各分割支持材１０Ａ〜１０Ｃは仮想の
二点鎖線により示している。

【００４０】前述したように、分割固定材１６Ａ及び分
割固定材１６Ｃは、ウエハＷの面内方向で回動自在であ
る。しかし、これらがキャリアに組込まれた状態になる
と、一定の規制を受ける。その様子を図６（Ｂ）を用い
て説明する。

【００４１】分割支持材１０Ａは、一対の分割固定材１
６Ａ−１と１６Ａ−２との間に狭持される。分割固定材
１６Ａ−１と１６Ａ−２とは、ボルト１９の締め付けに
より規制され分割支持材１０Ａを挟み込んで固定する。
しかし、分割固定材１６Ａ−１と１６Ａ−２とは、キャ
リア１５に対しては固定されておらず移動可能である。

【００４２】ただし、分割固定材１６Ａ−１及び１６Ａ
−２上面は、間隔ＳＰをもってキャリア１５の下面と対
向している。また、キャリア１５は逆Ｌ字型の断面を有
しており、その立下り部分に段部１５Ａを形成すること
で幅ＭＷの溝が形成されている。そして、分割固定材１
６Ａ−２は上記溝に対応した形状となっている。

【００４３】よって、本実施例の場合、分割固定材１６
Ａは上記溝に遊嵌した状態となり、間隔ＳＰだけ外側に
移動することが許容されていることになる。この間隔Ｓ
Ｐは分割固定材１６Ａから見ると、図６（Ａ）の回動支
点１７を中心として回動できる範囲となる。このように
分割固定材１６Ａが回動することで、分割支持材１０Ａ
も同時に移動するので、前述したウエハＷと分割支持材
１０Ａとの間隙を広めることができる。この間隔ＳＰ
は、ウエハ支持板１０内にウエハＷを装填するのに好適
な長さを適宜設定すればよい。ここでは、分割固定材１
６Ａとキャリア１５の関係について説明したが、分割固
定材１６Ａと対称的に形成される分割固定材１６Ｃにつ
いても同様である。

【００４４】また、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示される参
照符号１８の部材は、分割固定材１６Ａ、１６Ｃの軸方
向での動きを規制する規制部材である。このような規制
部材１８を設けることで、分割固定材１６Ａ、１６Ｃが
軸方向ヘ振れるのを抑制し、分割支持材１０Ａ及び１０
Ｃの軸方向位置を安定化してウエハＷを確実に支持でき
るようにしている。

【００４５】次に、図６（Ｃ）はキャリア１５に固定さ
れる分割固定材１６Ｂ−１及び１６Ｂ−２と、この分割
固定材１６Ｂ−１及び１６Ｂ−２に固定される分割支持
材１０Ｂの状態が示されている。図６（Ｃ）で示すよう
に、この部分のボルト１４はキャリア１５側に固定され
る。このように突起１０ａを有する分割支持材１０Ｂを
固定とすることでウエハＷの位置決めを簡易に行えるよ
うになる。

【００４６】上記図６に基づく説明から明らかなよう
に、キャリア内で分割固定材１６Ａ及び１６Ｃが回動可
能であるので、この各々に固定されている分割支持材１
０Ａ及び１０ＣはウエハＷを受入れる空間を広げること
ができ、簡易にウエハＷを内部に装填できるようにな
る。

【００４７】以上のように本実施例のウエハ支持板１０
では、突起１０ａを有する分割支持材１０Ｂがキャリア
側に固定されているので、ウエハＷを装填した時点で、
突起１０ａとノッチ部ＷＮとが正確に係合したかの確認
を容易に行えることにもなる。さらに、突起１０ａを有
する分割支持材１０Ｂがキャリア側に固定され位置が安
定しているので、ノッチ部に回転駆動力を伝達する際の
磨耗や破損を抑制できる。

【００４８】なお、図６に示した例は、支持板固定部材
１６とキャリア１５とが略同一軸線上にあるが、このよ
うな配置に限定する必要はない。上記分割固定材１６Ａ
及び１６Ｃの回動を規制しない位置に、キャリア１５を
オフセットして配置してもよい。この場合には分割固定
材１６Ａ及び１６Ｃはキャリアにより規制を受けないの
で、大きく広げることができる構成となる。

【００４９】図７から図９は、上記分割固定材１６Ａと
分割固定材１６Ｃとの間隔を調整する機能を備えた開閉
手段の例を示した図である。

【００５０】図７は、開用のバネ３２とトグルリンク３
０とを用いて分割固定材１６Ａと分割固定材１６Ｃとの
開閉を行う様子を示している。図７（Ａ）は開いた状
態、図７（Ｂ）は閉じた状態を示す図である。図７
（Ａ）及び図７（Ｂ）の上段は、下段に示す開閉手段を
側部から見た図である。

【００５１】図７に示す開閉手段は、（Ａ）に示すよう
に開用のバネ３２で分割固定材１６Ａと分割固定材１６
Ｃとが押し広げられ、（Ｂ）に示すようにトグルリンク
３０のレバーを倒し込むことで分割固定材１６Ａと分割
固定材１６Ｃとが閉じられる。

【００５２】そして、分割固定材１６Ｃをなす一方の１
６Ｃ−１側には閉用ストッパ３３が突起状に設けられて
いる。よって、この突起高さにより分割固定材１６Ａと
分割固定材１６Ｃとの間隔が決定される。ここでは、詳
細に示していないがこの突起状の閉用ストッパ３３を例
えばねじ込み式にすることで、分割固定材１６Ａと分割
固定材１６Ｃとの間隔を調整することが可能となる。分
割固定材１６Ａと分割固定材１６Ｃとの間隔を調整する
ことで、ウエハＷとウエハ支持板１０との間に設ける前
述した間隙αを最適範囲に設定できるようになる。

【００５３】図８は、図７に示す開閉手段の変形例につ
いて示している。図７に示したトグルリンク３０はウエ
ハＷの軸方向で動くように設定されているが、図８のト
グルリンク３５はウエハＷの面内方向で動くように設定
されている点が異なる。図７に示すトグルリンク３０を
用いるか、図８に示すトグルリンク３５を用いるかは、
キャリアとの関係や両頭研削装置のスペース等に配慮し
て適切なものを選択すればよい。

【００５４】図７及び図８の開閉手段の場合、リンク３
０或いは３５のレバーを上下させる駆動手段を併設する
ことで自動化して、分割固定材１６Ａ、１６Ｃ間の開閉
を行うことができる。

【００５５】図９は、開閉手段として送りねじ機構４０
を用いた場合を図７と同様に示している。この送りねじ
機構４０は、首振りナット４１と、このナット４１にね
じ込まれる送りねじ４２及びこの送りねじ４２を回すた
めのヘッド部４３を備えている。ヘッド部４３を回転す
ることにより送りねじ４２が、首振りナット４１に対し
て前後するので分割固定材１６Ａ、１６Ｃの間隔を任意
に調整できる。上記ヘッド部４３を歯車或いはクラッチ
として図示せぬ回転駆動源に接続することで、図７及び
図８の開閉手段の場合と同様に自動化することができ
る。

【００５６】以上説明した本実施例のウエハ支持板１０
を両頭研削装置のキャリア１５内に組込めば、ウエハＷ
の装填が円滑に行え、また、ウエハ支持板１０へのウエ
ハＷの位置決めが容易な装置を実現できる。さらに、ウ
エハ支持板１０は分割型であり磨耗し易い突起１０ａが
存在する分割支持材１０Ｂのみを交換可能であるので、
コストを低減してウエハＷを製造することができる。

【００５７】なお、本実施例に関して示した図６ではキ
ャリア１５とウエハ支持板１０との関係までを示した
が、両頭研削装置とした場合の構成は図２に示した従来
装置と同様であるのでここでは重複する説明は省略す
る。

【００５８】なお、上述した実施例ではウエハ支持板１
０を好ましい形態の１つとして、３つの分割支持材１０
Ａ〜１０Ｃで構成し、分割支持材１０Ａ及び１０Ｃを回
動するようにしている。しかし、この分割支持材１０Ａ
及び１０Ｃのいずれか一方のみが移動可能であるように
構成してもよい。要するに、ウエハＷを装填する時にウ
エハ支持板１０内の空間を広げることができ、ウエハＷ
のノッチ部ＷＮが突起部１０ａの対応位置に移動できる
状態が確保されていればよい。

【００５９】また、上記実施例では、ウエハ支持部を３
つに分割した場合を説明したが、２つ或いは４つ以上に
分割してもよい。さらに、上記実施例ではウエハ支持部
材を板状としたがこれに限らず他の形状としてもよい。

【００６０】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【００６１】

【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、本発明によれば、ウエハ支持部材が複数の分割支持
材により構成されているので、突起部が磨耗した際には
当該分割支持材のみを交換することができる。また、ウ
エハ支持部材は従来のように環状の形態で板取りする必
要がないので、従来と比較して面積の小さい基板から効
率的に分割支持材を板取りできる。よって、本ウエハ支
持部材はコストを低減して作製することができる。

【００６２】また、分割支持材のうち突起部を有するも
のがキャリア側に固定され、移動可能である分割支持材
を含んでいるので、ウエハを装填する時にウエハ支持部
材内の空間を広げて容易に作業を行うことができ、さら
にはウエハＷとウエハ支持部材との間隙調整を行うこと
も可能である。

【００６３】また、突起部を有する分割支持材がキャリ
ア側に固定されているので、ウエハを装填した時点で、
突起部とノッチ部とが正確に係合したかの確認を容易に
行える。

【００６４】さらに、本発明の場合には、突起部を有す
る分割支持材がキャリア側に固定されているので、突起
部の磨耗或いは破損を抑制できる。

【００６５】そして、上記のようなウエハ支持部材をキ
ャリア内に設定して、ウエハの両頭研削を行う両頭研削
装置であれば、コスト低減、作業性向上を図りつつ、高
い歩留で平坦性のあるウエハ加工を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来において、ウエハ支持板を介してキャリア
内にセットされたウエハの状態を示した図である。

【図２】キャリアを用いた従来の両頭研削装置のウエハ
周辺部構成を示した図である。

【図３】従来のウエハ支持板を基板から板取りする様子
を示した図である。

【図４】実施例の分割型のウエハ支持板を基板から板取
りする様子を示した図である。

【図５】実施例の分割型のウエハ支持板をキャリア側に
固定するために用いる支持板固定部材と組合せた様子を
示した図である。

【図６】図５に示したウエハ支持板及び支持板固定部材
がキャリアに組込まれた様子を示した図である。

【図７】分割固定材の開閉手段の例を示した図である。

【図８】図７に示した開閉手段の変形例を示した図であ
る。

【図９】分割固定材の開閉手段の他の例を示した図であ
る。

【符号の説明】

１０ウエハ支持板（ウエハ支持部材）１０Ａ〜１０Ｃ分割支持材１０ａ突起部１５キャリア１６支持板固定部材１６Ａ、１６Ｃ分割固定材（回動部材）１７回動支点ＷウエハＷＮノッチ部３０トグルリンク３２開用バネ４０送りねじ機構

フロントページの続き (72)発明者岩瀬昭雄愛媛県新居浜市惣開町５番２号住友重機械工業株式会社新居浜製造所内 (72)発明者原一敬神奈川県横須賀市夏島町19番地住友重機械工業株式会社横須賀製造所内 (72)発明者古川竜治岡山県倉敷市玉島乙島8230番地住重ファインテック株式会社内 (72)発明者永田浩愛媛県新居浜市土橋１丁目３番30号有限会社永田研究所内 (72)発明者塚原真一郎神奈川県横須賀市夏島町19番地住友重機械工業株式会社横須賀製造所内Ｆターム(参考） 3C043 BC07 CC04 CC11 DD05 5F031 CA02 DA01 DA11 DA13 HA09 HA25 HA59 MA22 PA06 PA07 PA09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノッチ部を有するウエハの外周部に、分
割支持材を複数配設して前記ウエハを支持するようにし
たウエハ支持部材であって、前記分割支持材のうち前記ウエハのノッチ部と係合する
突起部を有するものはキャリアに固定され、他の分割支
持材の少なくとも１つが移動可能とされていることを特
徴とするウエハ支持部材。
【請求項２】請求項１に記載のウエハ支持部材におい
て、前記移動可能な分割支持材は、前記キャリアに対し回動
可能である回動部材に固定されていることを特徴とする
ウエハ支持部材。
【請求項３】請求項１又は２に記載のウエハ支持部材
において、前記ノッチ部を有してキャリアに固定される分割支持材
を間にし、その左右に前記移動可能な分割支持材が配置
されていることを特徴とするウエハ支持部材。
【請求項４】請求項２又は３に記載のウエハ支持部材
において、前記回動部材の間に間隔調整が可能な開閉手段を設けた
ことを特徴とするウエハ支持部材。
【請求項５】請求項２から４のいずれかに記載のウエ
ハ支持部材において、前記ウエハ面に対して垂直な方向での前記回動部材の動
きを規制する規制部材をさらに設けたことを特徴とする
ウエハ支持部材。
【請求項６】請求項１から５のいずれかに記載のウエ
ハ支持部材をキャリア内に設定して、ウエハの両頭研削
を行うことを特徴とする両頭研削装置。