JP2003121401A - 電気抵抗体とこの電気抵抗体の製造方法とこの電気抵抗体を用いた漏液センサ - Google Patents

電気抵抗体とこの電気抵抗体の製造方法とこの電気抵抗体を用いた漏液センサ

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JP2003121401A
JP2003121401A JP2001311375A JP2001311375A JP2003121401A JP 2003121401 A JP2003121401 A JP 2003121401A JP 2001311375 A JP2001311375 A JP 2001311375A JP 2001311375 A JP2001311375 A JP 2001311375A JP 2003121401 A JP2003121401 A JP 2003121401A
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resistor
electric resistor
electric
liquid
conductive particles
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JP2001311375A
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Fumihiko Fukusato
文彦 福里
Takashi Tadatsu
孝 忠津
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Omron Corp
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Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械設備の高圧パイプの継ぎ手に装着するこ
とが難しく、この継ぎ手からミスト状に吹き出す油漏れ
や、微量の油漏れをいち早く検出するができない。 【解決手段】 検出対象液体に触れることにより、その
電気抵抗値を変化させる電気抵抗体1を有し、この電気
抵抗体1の両面を検出対象液体を透過する水不透過部材
2で覆い、電気抵抗体1及び水不透過部材2を、検出対
象液体を透過する保護フイルム4で包んで構成するよう
にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気抵抗体と、こ
の電気抵抗体の製造方法と、この電気抵抗体を用いた、
液体、例えば、油、化学薬液等の漏液等を検出する漏液
センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】漏液検出を行う漏液センサとしては、図
8に示すセンサ部30を有する漏液検出器、漏液のエリ
ア検出を行う漏液検知帯、漏液の点検出を行う漏液検出
器等がある。
【0003】図8に示す漏液検出器におけるセンサ部3
0は、板状で硬質な基板31の表面に、串形状の導電パ
ターンよりなる一方の電極32と、串形状の導電パター
ンよりなる他方の電極33とを、隙間を存して互い違い
に噛み合わせて構成されている。
【0004】そして、機器本体(アンプ部)の信号送出
回路から一方の電極32に送出用漏液検出信号を送り、
漏液34が発生していない場合、送出用漏液検出信号は
遮断状態にあり、一方及び他方の電極間は開ループにな
る。
【0005】漏液が発生して一方の電極32と他方の電
極33とが漏液で短絡状態になると、送出用漏液検出信
号は漏液34を経由して他方の電極33に流れ、機器本
体(アンプ部)に入力される。この入力された漏液検出
用出力信号の電圧は漏液34の抵抗率により変化するた
めに、この漏液検出用出力信号は、比較部において、設
定部で設定された検出レベルと比較され、この比較の結
果、漏液34と判断された場合には表示部が点灯し、ま
た、漏液出力部がオン作動もしくはオフ作動するように
なる。
【0006】また、従来の漏液センサとしては、静電容
量を利用したもの、超音波を利用したもの、光を利用し
たもの等もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の漏液センサでは、機械設備の高圧パイプの継ぎ
手に装着することが難しく、この継ぎ手からミスト状に
吹き出す油漏れや、微量の油漏れをいち早く検出するが
できず、漏れて流れ出した油をドレインパンや防油堤で
一端受け止め、ある程度溜まった状態でないと漏れ油を
検出できないという問題点があった。
【0008】特に、事故につながる可能性の高い油圧ブ
レーキの油漏れや、衛生問題に発展する可能性のある食
品設備の油圧装置の油漏れの検出に最適な漏液センサの
出現が要請されていた。
【0009】本発明は、上記の問題点に着目して成され
たものであって、その第1の目的とするところは、検出
対象液体の有無を検出する検出体として有効に使用する
ことができる電気抵抗体を提供することである。
【0010】また、本発明の第2の目的とするところ
は、電気抵抗体を容易に且つ能率よく作成することがで
きる電気抵抗体の製造方法を提供することである。
【0011】また、本発明の第3の目的とするところ
は、電気抵抗体の抵抗値を常時監視し、漏液による抵抗
値の上昇を検出することで漏液を検出し得て、ミスト状
に吹き出す油漏れや、微量の油漏れをいち早く検出する
ことができ、事故につながる可能性の高い油圧ブレーキ
の油漏れや、衛生問題に発展する可能性のある食品設備
の油圧装置の油漏れ等の検出に最適な漏液センサを提供
することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の第1の目的を達成
するために、本発明に係る電気抵抗体は、抵抗体形成基
材に多数の導電性粒子を付着させて構成してある。
【0013】そして、抵抗体形成基材が、紙、布、不織
布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
あることが好ましい。
【0014】また、導電性粒子が、グラファイト、ブラ
ックカーボン及びグラファイトとブラックカーボンとの
混合物のいずれかであることが好ましい。
【0015】また、グラファイトは、その平均粒子径が
0.05〜100μmであって、フレーク天然黒鉛、ア
モルフアス天然黒鉛、人造黒鉛のいずれかを含み、ブラ
ックカーボンは、その平均粒子径が0.05〜100μ
mであって、アセチレンブラック、ケッチェンブラッ
ク、導電性オイルファーネスブラックのいずれかを含む
ことが好ましい。
【0016】また、グラファイトとブラックカーボンと
の配合比は、9:1〜1:9程度であることが好まし
い。
【0017】かかる構成により、導電性粒子は、検出対
象液体、例えば漏れ油に触れると、油膜で覆われるため
に、導電性粒子間の電気的結合が急激に弱くなり、初期
抵抗値が急激に低下する性質があり、この性質を利用し
て電気抵抗体を構成することができる。
【0018】したがって、漏れ油のない通常状態におい
て電気抵抗体の抵抗値は低抵抗値であり、漏れ油に触れ
た時に、高抵抗値に変化する電気抵抗体の抵抗値を、例
えばアンプ部等で常時監視することで、漏れ油の有無を
検出する検出体として有効に使用することができる。
【0019】また、上記の第2の目的を達成するため
に、本発明に係る電気抵抗体の製造方法は、導電性粒子
を混入したバインダー中に抵抗体形成基材を浸漬する抵
抗体形成基材浸漬工程と、バインダー及び抵抗体形成基
材に超音波を照射する超音波照射工程と、超音波照射に
より抵抗体形成基材に導電性粒子を付着させる導電性粒
子付着工程と、抵抗体形成基材をバインダーから引き出
して乾燥させる乾燥工程とを備えたものである。
【0020】そして、抵抗体形成基材が、紙、布、不織
布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
あることが好ましい。
【0021】また、導電性粒子が、グラファイト、ブラ
ックカーボン及びグラファイトとブラックカーボンとの
混合物のいずれかであることが好ましい。
【0022】したがって、導電性粒子を混入したバイン
ダー中に抵抗体形成基材を浸漬して、バインダー及び抵
抗体形成基材に超音波を照射することで、抵抗体形成基
材に導電性粒子を付着させ、この抵抗体形成基材をバイ
ンダーから引き出して乾燥させて電気抵抗体を作成する
ことができ、この電気抵抗体を容易に且つ能率よく作成
することができる。
【0023】また、上記の第2の目的を達成するため
に、本発明に係る電気抵抗体の製造方法は、導電性粒子
を粒子担持材に担持させて導電性粒子塗布材を作り、こ
の導電性粒子塗布材を抵抗体形成基材に塗布するように
したものである。
【0024】ここで、粒子担持材とは、例えばジェル状
(水性又は油性など)の液体が該当し、この粒子担持材
に導電性粒子を混入して導電性粒子塗布材が形成され
る。
【0025】したがって、電気抵抗体を容易に且つ能率
よく作成することができる。
【0026】また、本発明に係る電気抵抗体の製造方法
は、上記した本発明に係る電気抵抗体の製造方法におい
て、粒子担持材と導電性粒子の量、又は導電性粒子塗布
材に加わる圧力の状態を調整することで導電性粒子の電
気的結合状態を制御するようにした。
【0027】したがって、粒子担持材と導電性粒子の
量、又は圧力状態を調整することにより、電気抵抗体の
導電性粒子の電気的結合状態を、通常は電気的結合が強
くなるように(抵抗値が低い状態)、液体にふれると電
気的結合が弱くなるように(抵抗値が高い状態)制御す
ることができる。
【0028】また、本発明に係る電気抵抗体の製造方法
は、上記した本発明に係る電気抵抗体の製造方法におい
て、導電性粒子塗布材の塗布厚みを調整することで、抵
抗値を調整するようにした。
【0029】したがって、塗布時に厚みを調整すること
で(例えば、スティック状に厚みを持たせたり、面積を
広くするなど)、抵抗値を調整することができる。
【0030】また、上記の第3の目的を達成するため
に、本発明に係る漏液センサは、検出対象液体に触れる
ことにより、その電気抵抗値を変化させる電気抵抗体を
有し、電気抵抗体を、検出対象液体を透過する保護部材
で包んで構成するようにしたものである。
【0031】そして、抵抗体形成基材が、紙、布、不織
布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
あることが好ましい。
【0032】また、導電性粒子が、グラファイト、ブラ
ックカーボン及びグラファイトとブラックカーボンとの
混合物のいずれかであることが好ましい。
【0033】かかる構成により、電気抵抗体の抵抗値を
常時監視し、漏液による抵抗値の上昇を検出することで
漏液を検出し得る漏液センサが提供できる。
【0034】このために、漏液センサ自身や、漏液セン
サまでの配線が断線した場合、漏液とは異なる抵抗値の
変化を見せるので断線などの検出と漏液の検出を見分け
ることができ、漏液センサの設備の点検や、設備全体の
定期点検などを少なくすることができる。
【0035】また、本発明に係る漏液センサは、上記し
た本発明に係る漏液センサにおいて、電気抵抗体の両面
を検出対象液体を透過する水不透過部材で覆い、電気抵
抗体及び水不透過部材を、検出対象液体を透過する保護
部材で包んで構成するようにしてもよい。
【0036】かかる構成により、電気抵抗体の両面を検
出対象液体を透過する水不透過部材で覆うことにより、
湿気などによる抵電気抵抗体の電気的結合の不安定さを
除くことができて、液体でも、油は検出するが水は検出
しないセンサが実施可能になる。
【0037】また、本発明に係る漏液センサは、上記し
た本発明に係る漏液センサにおいて、漏液の検出箇所を
点とするスポット検出タイプと、漏液の検出箇所を面と
するエリア検出タイプとを有する。
【0038】かかる構成により、漏液センサがスポット
検出タイプとエリア検出タイプとを有しているために、
漏液センサを漏れる可能性のある部分、例えば高圧パイ
プの継ぎ手部分にテープ状に巻くことができ、また、機
械設備の適宜箇所に点々と設置することができて、ミス
ト状に吹き出す油漏れや、微量の油漏れをいち早く検出
することができる。このために、事故につながる可能性
の高い油圧ブレーキの油漏れや、衛生問題に発展する可
能性のある食品設備の油圧装置の油漏れの検出に最適な
ものになる。
【0039】上記した漏れ油検出と同様にして、エンジ
ン発電機の燃料漏れ検出、エンジン関係のエンジンオイ
ルの漏れの検出、缶詰の封止設備の油圧設備のオイル漏
れの検出、半導体製造装置の絶縁性液体漏れの検出、ト
ランスなどの絶縁油の漏れ検出、油圧ブレーキの油圧漏
れの検出等を行うことができる。
【0040】また、漏液センサがスポット検出タイプと
エリア検出タイプとを有しているために、スポット的な
小型のものから広範囲な大型のものまで、それぞれに漏
液を検出できる。
【0041】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【0042】(実施の形態1)本発明に係る漏液センサ
の実施の形態1を図1乃至図5に示す。
【0043】図1は本発明に係る漏液センサの実施の形
態1の斜視図、図2は同漏液センサの分解状態の斜視
図、図3は同漏液センサにおける電気抵抗体の製造工程
説明図、図4は電気抵抗体の概略的な断面図、図5は同
漏液センサの配置説明図である。
【0044】本発明に係る漏液センサ(実施の形態1)
Aは、スポット検出タイプの漏液センサである。この漏
液センサAは、電気抵抗体1と、この電気抵抗体1の両
面を覆う水不透過部材2と、水不透過部材2に重ねられ
る耐液性(耐油性)の保護部材である保護フイルム3と
を備えている。
【0045】そして、漏液センサの検出対象液体は、化
石系油(原油、重油、ガソリン、軽油、灯油、ナフサ、
その他)、鉱石系油(絶縁油、潤滑油、油圧作動油、そ
の他)、植物系油(菜種油、ごま油、オリーブ油、椿
油、コーン油、その他)、動物系油(ラード、バター、
魚油、その他)、絶縁性薬品(フロリナート、ガルベ
ン、その他)である。
【0046】そして、電気抵抗体1は、図3、図4に示
すように導電性粒子11を混入したバインダー中に抵抗
体形成基材12を浸漬する抵抗体形成基材浸漬工程と、
バインダー及び抵抗体形成基材12に超音波を照射する
超音波照射工程と、超音波照射により抵抗体形成基材1
2に導電性粒子11を付着させる導電性粒子付着工程
と、抵抗体形成基材12をバインダーから引き出して乾
燥させる乾燥工程とを経ることにより製造される。
【0047】したがって、導電性粒子11を混入したバ
インダー中に抵抗体形成基材12を浸漬して、バインダ
ー及び抵抗体形成基材12に超音波を照射することで、
抵抗体形成基材12に導電性粒子11を付着させ、この
抵抗体形成基材12をバインダーから引き出して乾燥さ
せて電気抵抗体1を作成することができ、この電気抵抗
体1を容易に且つ能率よく作成することができる。
【0048】そして、抵抗体形成基材12としては、紙
・布・不織布・連続気泡を持つ樹脂シート・フエルトな
どが用いられる。
【0049】また、導電性粒子(導電材料)11として
は、グラファイト(平均粒子径0.05〜100μ
m)、例えばフレーク天然黒鉛・アモルフアス天然黒鉛
・人造黒鉛等、また、カーボン(平均粒子径0.013
〜0.06μm)、例えばアセチレンブラック、ケッチ
ェンブラック、導電性オイルファーネスブラック(導電
性面からケッチェンブラックが良い)等である。
【0050】グラファイトとカーボンは単独でも使える
が適量混合した方が良い。最適な配合比はセンサーサイ
ズにもよるが、9:1〜1:9程度である。
【0051】バインダー13には有機バインダーと無機
バインダーとがあり、有機バインダーとしては、例えば
有機ポリマーとしてビニル系樹脂(ポリ塩化ビニル、ポ
リ酢酸ビニル、ポリビニルアクリレート、ポリ塩化ビニ
リデン、アクリル樹脂)、ポリエステル、ウレタン樹
脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート、メラミン樹脂、
ポリブチラール、ポリイミド、ポリフェニレンオキサイ
ド、たんぱく質類(カゼイン、ゼラチン)、セルロース
系ポリマー(酢酸セルロース)、シリコーン系ポリマー
等が用いられる。なお、これらのポリマーになる前のモ
ノマーやオリゴマーなども使える。
【0052】無機バインダーとしては、無機ポリマー
(酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、シリカ、酸化
スズなどの金属酸化物のゾル)、有機金属化合物(アル
コキシド、カルボン酸塩、アセチルアセトン錯体など有
機金属錯体)が用いられる。
【0053】そして、電気抵抗体1を所定の形状、例え
ば図2に示す疑似円環状に形成して、その両端部に電極
部4、5を形成し、電極4、5にはリード線6、7を有
する配線8が接続される。
【0054】また、電気抵抗体1は、導電性粒子(例:
ブラックカーボンなど)11をジェル状(水性又は油性
など)の液体からなる粒子担持体に混入させて導電性粒
子塗布材を形成し、この導電性粒子塗布材を抵抗体形成
基材12に塗布して作成してもよい。ここで使用するジ
ェルは液体にふれると粘着力が急激に弱くなるような性
質のものを使用する。
【0055】電気抵抗体1の導電性粒子11の電気的結
合状態を、通常は電気的結合が強くなるように(抵抗値
が低い状態)、液体にふれると電気的結合が弱くなるよ
うに(抵抗値が高い状態)に粒子担持体(ジェル)と導
電性粒子11の量、又は圧力状態を調整する。
【0056】また、塗布時に厚みを調整することで(例
えば、スティック状に厚みを持たせたり、面積を広くす
るなど)、抵抗値を調整することができる。
【0057】上記した電気抵抗体1に検出対象液体がか
かると、導電性粒子11が検出対象液体の膜で覆われる
ために、導電性粒子11の電気的結合が急激に弱くなる
ので、電気抵抗体1の初期抵抗値が検出対象液体にふれ
ることにより急激に低下する。この性質を利用し、検出
対象液体のない通常状態において電気抵抗体1の抵抗値
は低抵抗値(例えば、5〜10kΩ)であり、検出対象
液体が触れた時に、高抵抗値(例えば、50〜60k
Ω)に変化する電気抵抗体1の抵抗値を常時監視するこ
とにより、検出対象液体の有無を検出する検出センサと
なる。
【0058】また、ジェルを使用せず圧力だけで導電性
粒子11を固めて電気抵抗体1にする場合もある。
【0059】水不透過部材2は、検出対象液体(例えば
油)より分子の大きい水を透過させずに、検出対象液体
の分子のみを透過させるシート状の密度の高い素材(高
分子紙)である。電気抵抗体1を水不透過部材2で包む
ことにより、湿気などによる電気抵抗体1の電気的結合
の不安定さを除くことができる。なお、高分子紙におけ
る高分子組成を高くすると水分は通さず、検出対象液体
のみ透過する性質がある。
【0060】耐液性(例えば耐油性)の保護フイルム3
は、耐液性フイルム素材13に、複数の液通過用孔部1
4を形成して構成してある。
【0061】そして、電気抵抗体1の両面を水不透過部
材2で覆い、この水不透過部材2に保護フイルム3を重
ねて、これらを導電性接着剤を用いての接着などの固着
手段で一体にして、スポット検出タイプの漏液センサA
が構成してある。
【0062】次に、上記のように構成された漏液センサ
Aの使用方法を説明する。
【0063】漏液センサAはスポット検出タイプである
ために、この漏液センサAを、例えば、図5に示す油圧
設備15の高圧オイルパイプ16の継ぎ手17の付近等
に配置され、漏液センサAの電極4、5に接続された配
線8は機器本体(アンプ部)(図示せず)に接続され
る。
【0064】そして、油圧設備15の高圧オイルパイプ
16の継ぎ手17から油が漏れて、この漏れ油がミスト
となって飛散した場合、漏れ油は漏液センサAの保護フ
イルム3の複数の液通過用孔部14から水不透過部材2
を透過して、電気抵抗体1に染み込む。
【0065】電気抵抗体1が漏れ油に触れると、導電性
粒子11が油膜で覆われるために、導電性粒子11間の
電気的結合が急激に弱くなり、電気抵抗体1の初期抵抗
値が急激に低下する。
【0066】漏れ油のない通常状態において電気抵抗体
1の抵抗値は低抵抗値(例えば、5〜10kΩ)であ
り、漏れ油に触れた時に、高抵抗値(例えば、50〜6
0kΩ)に変化する電気抵抗体1の抵抗値を機器本体
(アンプ部)で常時監視して漏れ油の有無を検出する。
【0067】上記した漏れ油検出と同様にして、エンジ
ン発電機の燃料漏れの検出、エンジン関係のエンジンオ
イルの漏れの検出、缶詰の封止設備の油圧設備のオイル
漏れの検出、半導体製造装置の絶縁性液体漏れの検出、
トランスなどの絶縁油の漏れの検出、油圧ブレーキの油
圧漏れの検出等が行われる。
【0068】本実施の形態に係る漏液センサAによれ
ば、電気抵抗体1の抵抗値を常時監視し、漏液による抵
抗値の上昇を検出することで漏液を検出し得る。
【0069】また、漏液センサAは常時抵抗値を監視
し、漏れ油(漏液)による抵抗値の上昇を検出すること
が特徴なので、漏液センサA自身や、漏液センサAまで
の配線が断線した場合、漏液とは異なる抵抗値の変化を
見せるので断線などの検出と漏液の検出を見分けること
ができ、漏液センサAの設備の点検や、設備全体の定期
点検などを少なくすることができる。
【0070】本実施の形態に係る電気抵抗体によれば、
抵抗体形成基材12に多数の導電性粒子12を付着させ
て構成してある。すなわち、導電性粒子11は、検出対
象液体、例えば漏れ油に触れると、油膜で覆われるため
に、導電性粒子11間の電気的結合が急激に弱くなり、
初期抵抗値が急激に低下する性質があり、この性質を利
用して電気抵抗体1を構成することができる。
【0071】また、本実施の形態に係る電気抵抗体の製
造方法によれば、導電性粒子11を混入したバインダー
中に抵抗体形成基材12を浸漬して、バインダー及び抵
抗体形成基材12に超音波を照射することで、抵抗体形
成基材12に導電性粒子11を付着させ、この抵抗体形
成基材12をバインダーから引き出して乾燥させて電気
抵抗体1を作成することができ、この電気抵抗体1を容
易に且つ能率よく作成することができる。
【0072】(実施の形態2)本発明に係る漏液センサ
の実施の形態2を図6及び図7に示す。
【0073】本発明に係る漏液センサ(実施の形態2)
A−1は、エリア検出タイプの漏液センサである。この
漏液センサA−1は、電気抵抗体21と、この電気抵抗
体21の両面を覆う水不透過部材22と、水不透過部材
22に重ねられる耐液性(耐油性)の保護フイルム23
とを備えている。
【0074】そして、電気抵抗体21は、上記した本実
施の形態1における電気抵抗体1と同じ構成ではある
が、エリア検出用であるために、凸と凹を交互に繰り返
す連続体であり、その両端部に電極部24、25を形成
し、電極24、25にはリード線26、27が接続され
る。
【0075】水不透過部材22は、上記した本実施の形
態1における水不透過部材2と同じ構成ではあるが、エ
リア検出用であるために長方形状に形成してある。
【0076】また、保護フイルム23は、上記した本実
施の形態1における保護フイルム3と同じ構成ではある
が、エリア検出用であるために長方形状であり、長方形
状のフイルム素材28に、複数の液通過用孔部29を形
成して構成してある。
【0077】そして、電気抵抗体21の両面を水不透過
部材22で覆い、この水不透過部材22に保護フイルム
23を重ねて、これらを導電性接着剤を用いての接着な
どの固着手段で一体にして、テープ状(短冊状)のエリ
ア検出タイプの漏液センサA−1が構成してある。
【0078】次に、上記のように構成された漏液センサ
A−1の使用方法を説明する。
【0079】漏液センサA−1の電極部24、25に接
続されたリード線26、27は機器本体(アンプ部)
(図示せず)に接続される。漏液センサA−1はエリア
検出タイプであってテープ状であるために、長さにより
抵抗値が変化するので、機器本体(アンプ部)側にセン
サ長さ設定部(図示せず)を設け、検知帯の長さにより
検出感度を変更するか、設置後のティーチング機能を付
加する。
【0080】そして、漏液センサAー1を、例えば、図
5に示す油圧設備15の高圧オイルパイプ16の継ぎ手
17に巻き付けるようにして取付けられる。
【0081】そして、油圧設備15の高圧オイルパイプ
16の継ぎ手17から油が漏れて、この漏れ油がミスト
となって飛散した場合、漏れ油は漏液センサA−1の保
護フイルム23の複数の液通過用孔部29から水不透過
部材22を透過して、電気抵抗体21に染み込む。
【0082】電気抵抗体21が漏れ油に触れると、導電
性粒子11が油膜で覆われるために、導電性粒子11間
の電気的結合が急激に弱くなり、電気抵抗体21の初期
抵抗値が急激に低下する。
【0083】漏れ油のない通常状態において電気抵抗体
1の抵抗値は低抵抗値(例えば、5〜10kΩ)であ
り、漏れ油に触れた時に、高抵抗値(例えば、50〜6
0kΩ)に変化する電気抵抗体21の抵抗値を機器本体
(アンプ部)で常時監視して漏れ油の有無を検出する。
【0084】上記した漏れ油検出と同様にして、エンジ
ン発電機の燃料漏れの検出、エンジン関係のエンジンオ
イルの漏れの検出、缶詰の封止設備の油圧設備のオイル
漏れの検出、半導体製造装置の絶縁性液体漏れの検出、
トランスなどの絶縁油の漏れの検出、油圧ブレーキの油
圧漏れの検出等が行われる。
【0085】上記したように漏液センサA−1は、高圧
パイプ16の継ぎ手17部分にテープ状に巻くことがで
きて、ミスト状に吹き出す油漏れや、微量の油漏れをい
ち早く検出することができる。このために、事故につな
がる可能性の高い油圧ブレーキの油漏れや、衛生問題に
発展する可能性のある食品設備の油圧装置の油漏れの検
出に最適なものになる。
【0086】また、漏液センサAー1は常時抵抗値を監
視し、漏れ油(漏液)による抵抗値の上昇を検出するこ
とが特徴なので、漏液センサA−1自身や、漏液センサ
A−1までの配線が断線した場合、漏液とは異なる抵抗
値の変化を見せるので断線などの検出と漏液の検出を見
分けることができ、漏液センサA−1の設備の点検や、
設備全体の定期点検などを少なくすることができる。
【0087】なお、上記した本実施の形態1、2では、
漏液センサA(A−1)を電気抵抗体1(21)の両面
を検出対象液体を透過する水不透過部材2(22)で覆
い、電気抵抗体1(21)及び水不透過部材2(22)
を、検出対象液体を透過する保護フイルム3(23)で
包んで構成するようにしたが、電気抵抗体1(21)を
直接保護フイルム3(23)で包んで構成するようにし
てもよい。
【0088】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電気
抵抗体によれば、導電性粒子の、検出対象液体に触れる
と、導電性粒子間の電気的結合が急激に弱くなり、初期
抵抗値が急激に低下する性質を利用しており、良好な電
気抵抗体が提供できる。
【0089】また、本発明に係る電気抵抗体の製造方法
によれば、電気抵抗体を容易に且つ能率よく作成するこ
とができる。
【0090】また、本発明に係る漏液センサによれば、
電気抵抗体の抵抗値を常時監視し、漏液による抵抗値の
上昇を検出することで漏液を検出し得て、ミスト状に吹
き出す油漏れや、微量の油漏れをいち早く検出すること
ができ、事故につながる可能性の高い油圧ブレーキの油
漏れや、衛生問題に発展する可能性のある食品設備の油
圧装置の油漏れの検出に最適なものになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る漏液センサの実施の形態1の斜視
図である。
【図2】同漏液センサの分解状態の斜視図である。
【図3】同漏液センサにおける電気抵抗体の製造工程説
明図である。
【図4】電気抵抗体の概略的な断面図である。
【図5】同漏液センサの配置説明図である。
【図6】本発明に係る漏液センサの実施の形態2の斜視
図である。
【図7】同漏液センサの分解状態の斜視図である。
【図8】従来の漏液センサの斜視図である。
【符号の説明】
A 漏液センサ(スポット検出タイプ) A−1 漏液センサ(エリア検出タイプ) 1 電気抵抗体 2 水不透過部材 3 保護フイルム(保護部材) 4 電極部 5 電極部 6 リード線 7 リード線 8 配線 11 導電性粒子 12 抵抗体形成基材 13 耐液性フイルム素材 14 液通過用孔部 15 油圧設備 16 高圧オイルパイプ 17 継ぎ手 21 電気抵抗体 22 水不透過部材 23 保護フイルム(保護部材) 24 電極部 25 電極部 26 リード線 27 リード線 28 フイルム素材 29 液通過用孔部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G046 AA34 BA09 BB04 BD03 BF03 DC13 EA04 EA08 EA12 EB09 FB00 FC06 FE00 2G060 AC02 AE13 AF07 AG06 AG08 AG10 AG15 JA06

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 抵抗体形成基材に多数の導電性粒子を付
    着させて構成したことを特徴とする電気抵抗体。
  2. 【請求項2】 前記抵抗体形成基材が、紙、布、不織
    布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
    ある請求項1に記載の電気抵抗体。
  3. 【請求項3】 前記導電性粒子が、グラファイト、ブラ
    ックカーボン及び前記グラファイトと前記ブラックカー
    ボンとの混合物のいずれかである請求項1又は請求項2
    に記載の電気抵抗体。
  4. 【請求項4】 前記グラファイトは、その平均粒子径が
    0.05〜100μmであって、フレーク天然黒鉛、ア
    モルフアス天然黒鉛、人造黒鉛のいずれかを含み、 前記ブラックカーボンは、その平均粒子径が0.05〜
    100μmであって、アセチレンブラック、ケッチェン
    ブラック、導電性オイルファーネスブラックのいずれか
    を含む請求項3に記載の電気抵抗体。
  5. 【請求項5】 前記グラファイトと前記ブラックカーボ
    ンとの配合比は、9:1〜1:9程度である請求項3に
    記載の電気抵抗体。
  6. 【請求項6】 導電性粒子を混入したバインダー中に抵
    抗体形成基材を浸漬する抵抗体形成基材浸漬工程と、 前記バインダー及び前記抵抗体形成基材に超音波を照射
    する超音波照射工程と、 超音波照射により前記抵抗体形成基材に前記導電性粒子
    を付着させる導電性粒子付着工程と、 前記抵抗体形成基材を前記バインダーから引き出して乾
    燥させる乾燥工程とを備えたことを特徴とする電気抵抗
    体の製造方法。
  7. 【請求項7】 導電性粒子を粒子担持材に担持させて導
    電性粒子塗布材を作り、この導電性粒子塗布材を抵抗体
    形成基材に塗布するようにしたことを特徴とする電気抵
    抗体の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記粒子担持材と前記導電性粒子の量、
    又は前記導電性粒子に加える圧力の状態を調整すること
    で前記導電性粒子の電気的結合状態を制御するようにし
    た請求項7に記載の電気抵抗体の製造方法。
  9. 【請求項9】 前記導電性粒子塗布材の塗布厚みを調整
    することで、電気抵抗体の抵抗値を調整するようにした
    請求項7又は請求項8に記載の電気抵抗体の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記抵抗体形成基材が、紙、布、不織
    布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
    ある請求項6乃至請求項9のいずれかの一に記載の電気
    抵抗体の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記導電性粒子が、グラファイト、ブ
    ラックカーボン及び前記グラファイトと前記ブラックカ
    ーボンとの混合物のいずれかである請求項6乃至請求項
    10のいずれかの一に記載の電気抵抗体の製造方法。
  12. 【請求項12】 検出対象液体に触れることにより、そ
    の電気抵抗値を変化させる電気抵抗体を有し、前記電気
    抵抗体を、前記検出対象液体を透過する保護部材で包ん
    で構成するようにしたことを特徴とする漏液センサ。
  13. 【請求項13】 前記電気抵抗体の両面を前記検出対象
    液体を透過する水不透過部材で覆い、前記電気抵抗体及
    び前記水不透過部材を、前記検出対象液体を透過する保
    護部材で包んで構成するようにした請求項12の記載の
    漏液センサ。
  14. 【請求項14】 前記抵抗体形成基材が、紙、布、不織
    布、連続気泡を持つ樹脂シート、フエルトのいずれかで
    ある請求項12又は請求項13に記載の漏液センサ。
  15. 【請求項15】 前記導電性粒子が、グラファイト、ブ
    ラックカーボン及び前記グラファイトと前記ブラックカ
    ーボンとの混合物のいずれかである請求項12乃至請求
    項14のいづれかの一に記載の漏液センサ。
  16. 【請求項16】 漏液の検出箇所を点とするスポット検
    出タイプと、前記漏液の検出箇所を面とするエリア検出
    タイプとを有する請求項12乃至請求項15のいづれか
    の一に記載の漏液センサ。
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