JP2003120611A - 流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 より簡単な構造で３位置以上の位置決めを行
うことができるようにする。 【解決手段】 第１ピストンロッド１３と一体移動する
第１ピストン１２が第１ピストン室２５で位置制御され
ることで、エンドプレート１８が第１位置Ｐ１及び第４
位置Ｐ４に位置決めされる。また、第２ピストンロッド
１５と分離された第２ピストン１４が第１ピストン室２
５に平行に設けられた第２ピストン室３０で位置制御さ
れることで、第２ピストンロッド１５に連結されたエン
ドプレート１８が第１位置Ｐ１及び第４位置Ｐ４の中間
で第３位置Ｐ３に位置決めされる。さらに、第２ピスト
ン室に直列に設けられた第３ピストン室で第３ピストン
が位置制御されることで、第３ピストンロッド１７が当
接する第２ピストン１４を介してエンドプレート１８が
第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との中間で第２位置Ｐ２に
位置決めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、３位置以上に位置
決めすることができる流体圧シリンダに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】上記のような流体圧シリンダとしては、
特開平６−２７２５０１号公報に開示された多段シリン
ダ装置がある。このシリンダ装置では、図１１に示すよ
うに、１つのシリンダボディ８０に、第１ピストン室８
１と第２ピストン室８２とが平行に設けられ、第１ピス
トン室８１に配置された第１ピストン８３と、第２ピス
トン室８２に配置された第２ピストン８４とがそれぞれ
のピストン室８１，８２で位置制御される。そして、各
ピストン８３，８４が位置制御されることによって、第
１ピストン８３と一体移動する第１ピストンロッド８５
と、第２ピストン８４と相対移動可能な第２ピストンロ
ッド８６とを一体移動可能に連結する連結体８７の位置
が３位置で位置決めされる。

【０００３】先ず、第１ピストン室８１の左室８１ａに
のみ作動流体を供給すると、図１２（ａ）に示すよう
に、第１ピストン８３が第１ピストン室８１の右端に配
置される。このとき、第２ピストン８４は、その内部に
設けられたコイルスプリング８８によって第２ピストン
ロッド８６に対する位置関係が弾性的に固定されてい
る。そして、第２ピストン８４は、第２ピストン室８２
の右端に配置される。この状態のとき、両ピストンロッ
ド８５，８６を連結する連結体８７は第１位置Ｐ１に位
置決めされる。

【０００４】次に、第２ピストン室８２の右室８２ａに
のみ作動流体を供給すると、図１２（ｂ）に示すよう
に、第２ピストン８４が第２ピストン室８２を右端から
左端まで移動して停止する。このとき、第２ピストンロ
ッド８６は、コイルスプリング８８の付勢によって第２
ピストン８４との位置関係が固定されたままで左向きに
移動する。そして、第１ピストン８３は、第１ピストン
室８１を右端から左端の手前の中間位置まで移動する。
この状態のとき、連結体８７は、第２ピストン８４の移
動距離だけ第１位置Ｐ１から移動した第２位置Ｐ２に位
置決めされる。

【０００５】次に、第１ピストン室８１の右室８１ｂに
のみ作動流体を供給すると、第１ピストン８３が中間位
置から左端まで移動して停止する。このとき、第２ピス
トン８４は、第２ピストン室８２の左端に配置されたま
まとなり、コイルスプリング８８が圧縮変形して第２ピ
ストンロッド８６が第２ピストン８４に対して相対移動
する。この状態のとき、連結体８７は、第１ピストン８
３の全移動距離から第２ピストン８４の全移動距離を差
し引いた差分距離だけ第２位置Ｐ２から移動した第３位
置Ｐ３に位置決めされる。

【０００６】従って、このシリンダ装置では、第１及び
第２ピストン８３，８４がそれぞれ位置決めされること
で、両ピストンロッド８５，８６を連結する連結体８７
が３位置に位置決めされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記シ
リンダ装置では、第２ピストン８４に対して第２ピスト
ンロッド８６を相対移動可能に連結するためのコイルス
プリング８８を、第２ピストン８４の内部に設けなけれ
ばならず、構造が複雑となっていた。特開平６−２７２
５０１号公報には、４位置に位置決め可能なシリンダ装
置も開示されているが、このシリンダ装置も上記シリン
ダ装置と基本的に同じ技術思想であり、同じようにコイ
ルスプリング８８を用いているため構造が複雑となって
いる。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、より簡単な構造で３位
置以上の位置決めを行うことができる流体圧シリンダを
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、第１ピストン室と、該第
１ピストン室と平行な第２〜第ｎ（ｎは２以上の自然
数）ピストン室とが設けられたシリンダボディと、前記
第１ピストン室に配置された第１ピストンと、前記第１
ピストンと一体移動可能に連結され、第１ピストン室か
らシリンダボディの外部まで延出された第１ピストンロ
ッドと、前記第２〜第ｎピストン室にそれぞれ配置され
た第２〜第ｎピストンと、第２〜第ｎピストンが当接可
能に設けられ、第２〜第ｎピストン室からシリンダボデ
ィの外部まで延出されるとともに第１ピストンロッドに
対し一体移動可能に連結された第２〜第ｎピストンロッ
ドとを備え、前記第２〜第ｎの内の第ｉ（２≦ｉ≦ｎ）
ピストンを第ｉピストンロッドに当接させた状態で第ｉ
ピストン室で第ｉピストンロッド側の移動端に位置させ
たときに、第１ピストンが第１ピストン室における両移
動端の中間位置に配置されることを特徴とする。

【００１０】請求項１に記載の発明によれば、第１ピス
トン室において第１ピストンを第１ピストンロッドと反
対側の移動端まで移動させると、各第ｉピストンロッド
が第ｉピストンを第ｉピストン室の第ｉピストンロッド
と反対側の移動端、又は、この移動端に近い位置に移動
させる。この状態のとき、各ピストンロッドがシリンダ
ボディに最大限没入した状態に位置決めされる。この状
態から第ｉピストン室において第ｉピストンを第ｉピス
トンロッド側に移動させると、第ｉピストンが第ｉピス
トンロッドに当接して移動させ、各ピストンロッドをシ
リンダボディから延出させる。そして、第ｉピストンが
第ｉピストンロッド側の移動端まで移動して停止する
と、各ピストンロッドの延出が停止する。このため、各
ピストンロッドは、第ｉピストンロッドの移動距離だけ
移動した新たな位置に位置決めされる。このとき、第１
ピストンは、第１ピストン室の両移動端間の中間位置に
配置される。さらに、この状態からさらに他の第ｊ（２
≦ｊ≦ｎ）ピストン室において第ｊピストンを第ｊピス
トンロッド側に移動させると、第ｊピストンが第ｊピス
トンロッドに当接して移動させ、各ピストンロッドをシ
リンダボディから延出させる。そして、第ｊピストンが
第ｊピストンロッド側の移動端まで移動して停止する
と、各ピストンロッドの延出が停止する。このため、各
ピストンロッドは、第ｊピストンが当接して第ｊピスト
ンロッドが移動する距離から、第ｉピストンの移動によ
って第ｊピストンロッドが移動する距離を差し引いた距
離だけ移動した新たな位置に位置決めされる。従って、
ピストンの内部に設けたコイルスプリングによってピス
トンに対するピストンロッドの位置関係を切り換える必
要がない。

【００１１】請求項２に記載の発明は、第１ピストン室
と、該第１ピストン室と平行な第２ピストン室とが設け
られたシリンダボディと、前記第１ピストン室に配置さ
れた第１ピストンと、前記第１ピストンに対し一体移動
可能に連結され、第１ピストン室からシリンダボディの
外部まで延出された第１ピストンロッドと、前記第２ピ
ストン室に配置された第２ピストンと、前記第２ピスト
ンが当接可能に設けられ、第２ピストン室からシリンダ
ボディの外部まで延出されるとともに第１ピストンロッ
ドに対し一体移動可能に連結された第２ピストンロッド
とを備え、前記第２ピストンを第２ピストンロッドに当
接させた状態で第２ピストン室で第２ピストンロッド側
の移動端に位置させたときに、第１ピストンが第１ピス
トン室における両移動端の中間位置に位置することを特
徴とする。

【００１２】請求項２に記載の発明によれば、第１ピス
トン室において第１ピストンを第１ピストン側の移動端
に位置させると、第２ピストンロッドが第２ピストンを
第２ピストン室の第２ピストン側の移動端、又は、この
移動端に近い位置に移動させる。このため、両ピストン
ロッドがシリンダボディに最大限没入した状態に位置決
めされる。この状態から第２ピストン室において第２ピ
ストンを第２ピストンロッド側に移動させると、第２ピ
ストンが第２ピストンロッドに当接して移動させる。こ
のため、第１及び第２ピストンロッドがシリンダボディ
から延出する。このとき、第１ピストンロッドと共に第
１ピストンが第１ピストン室を同じ方向に移動する。そ
して、第２ピストンが第２ピストンロッド側の移動端ま
で移動して停止すると、第１及び第２ピストンロッドの
延出が停止する。このため、両ピストンロッドは、第２
ピストンロッドの移動距離だけ移動した新たな位置に位
置決めされる。このとき、第１ピストンは、両移動端間
の中間位置に配置される。次に、第１ピストン室におい
て第１ピストンをそのときの中間位置から第１ピストン
ロッド側に移動させると、第２ピストンロッドが第２ピ
ストンから離れ、第１ピストンロッドと共にシリンダボ
ディからさらに延出する。そして、第１ピストンがその
移動端まで移動して停止すると、両ピストンロッドの延
出が停止する。このため、両ピストンロッドは、第１ピ
ストンの移動距離から第２ピストンロッドの移動距離を
差し引いた距離だけ移動した新たな位置に位置決めされ
る。従って、ピストンの内部に設けたコイルスプリング
によってピストンに対するピストンロッドの位置関係を
切り換える必要がない。その結果、より簡単な構造で３
位置に位置決めすることができる。

【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記第２ピストンが、前記第２ピスト
ンロッドに当接する状態で移動する移動範囲は、前記第
１ピストンの第１ピストン室での移動範囲に含まれるこ
とを特徴とする。

【００１４】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の発明の作用に加えて、第２ピストンが第２ピス
トンロッドに当接する状態で第２ピストン室を移動する
移動範囲が、第１ピストンが第１ピストン室で移動する
移動範囲に含まれるので、第２ピストン室を第１ピスト
ン室に重なるように設けることができる。このため、シ
リンダボディの全長が第１ピストン室の長さによってほ
ぼ決定される。従って、シリンダボディの全長をより短
くすることができる。

【００１５】請求項４に記載の発明は、請求項２又は請
求項３に記載の発明において、前記第１ピストンの第１
ピストンロッド側の受圧面積は、前記第２ピストンの第
２ピストンロッドと反対側の受圧面積よりも小さいこと
を特徴とする。

【００１６】請求項４に記載の発明によれば、請求項２
又は請求項３に記載の発明の作用に加えて、第１ピスト
ンの第１ピストンロッド側の受圧面積が、第２ピストン
の第２ピストンロッドと反対側の受圧面積よりも小さい
ので、第２ピストンを第２ピストンロッド側に移動させ
るために第２ピストン室に供給する気体の圧力と、第１
ピストン室の第１ピストンロッド側に供給する気体の圧
力が同じであっても、第２ピストンが第２ピストンロッ
ド側に移動する。このとき、第１ピストンに気体から加
わる力によって、第２ピストンロッドが第２ピストンに
当接する状態が維持される。このため、第２ピストンが
第２ピストン室の移動端まで移動して停止しても、第２
ピストンロッドが慣性によって引き続き移動することな
く停止する。従って、１つの気体供給源から供給される
気体だけを用いながら、両ピストンロッドをより確実に
位置決めすることができる。

【００１７】請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求
項４のいずれか一項に記載の発明において、前記シリン
ダボディには、前記第２ピストン室と直列に第３ピスト
ン室が設けられ、前記第３ピストン室に配置された第３
ピストンと、前記第３ピストンに対し一体移動可能に連
結され、第３ピストン室から第２ピストン室まで延出さ
れる第３ピストンロッドとを備え、前記第３ピストンロ
ッドを第２ピストンを介して第２ピストンロッドに当接
させた状態で前記第３ピストンを前記第３ピストン室で
第３ピストンロッド側の移動端まで移動させたときに、
第１ピストンが第１ピストン室における第１ピストン側
の移動端と前記中間位置との中間位置まで移動すること
を特徴とする。

【００１８】請求項５に記載の発明によれば、請求項２
〜請求項４のいずれか一項に記載の発明の作用に加え
て、第３ピストン室において第３ピストンが第３ピスト
ンロッドと反対側の移動端に位置する状態から第３ピス
トンロッド側に移動させると、第３ピストンロッドが第
２ピストン室に延出し、第２ピストンに当接して第２ピ
ストンロッドをシリンダボディの外部に延出させる。こ
のとき、第１ピストン室において第１ピストンが第１ピ
ストンロッド側に移動する。そして、第３ピストンが第
３ピストンロッド側の移動端まで移動して停止すると、
第１及び第２ピストンロッドの延出が停止する。このた
め、両ピストンロッドは、第３ピストンによって第２ピ
ストンロッドが移動された距離だけ移動した新たな位置
に位置決めされる。このとき、第１ピストンは第１ピス
トン室の両移動端の中間位置に配置され、第２ピストン
は第２ピストン室の両移動端の中間位置に配置される。
次に、第２ピストンをこのときの中間位置から第２ピス
トンロッド側に移動させると、第１及び第２ピストンロ
ッドがシリンダボディからさらに延出する。そして、第
２ピストンが第２ピストンロッド側の移動端まで移動し
て停止すると、第１及び第２ピストンロッドの延出が停
止する。このため、両ピストンロッドは、第２ピストン
が当接して第２ピストンロッドが移動する距離から、第
３ピストンによって第２ピストンロッドが移動する距離
を差し引いた距離だけ移動した新たな位置に位置決めさ
れる。その結果、軸線方向の投影面積がほぼシリンダ２
組分の流体圧シリンダで、４位置に位置決めすることが
できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明を
エアシリンダに具体化した第１実施形態を図１〜図６に
従って説明する。

【００２０】図１に示すように、流体圧シリンダとして
のエアシリンダ１０は、シリンダボディ１１、第１ピス
トン１２、第１ピストンロッド１３、第２ピストン１
４、第２ピストンロッド１５、第３ピストン１６、第３
ピストンロッド１７、エンドプレート１８等から構成さ
れている。本実施形態では、第２ピストン１４及び第３
ピストン１６がそれぞれ第ｉピストンであり、第２ピス
トンロッド１５及び第３ピストンロッド１７がそれぞれ
第ｉピストンロッドである。

【００２１】シリンダボディ１１は、第１ボディブロッ
ク１９と第２ボディブロック２０とを合体させることで
形成されている。シリンダボディ１１には、その長手方
向に貫通する第１貫通孔２１と第２貫通孔２２とが、そ
の各中心軸線を平行にして設けられている。第１貫通孔
２１と第２貫通孔２２とは同じ内径を備えている。

【００２２】第１貫通孔２１の右中央部には、その左端
側を閉塞するカバー２３と、右端部に設けられたブッシ
ュ２４等によって第１ピストン室２５が形成されてい
る。第１ピストン室２５には、前記第１ピストン１２が
配設されるとともに、前記第１ピストンロッド１３がブ
ッシュ２４を挿通して第１ピストン１２に連結されてい
る。第１ピストン１２は、カバー２３に当接して移動が
規制される左移動端と、ブッシュ２４等に当接して移動
が規制される右移動端との間を移動する。本実施形態で
は、第１ピストン室２５の左移動端から右移動端まで第
１ピストン１２が移動する移動距離Ｌ１は、Ｌ１＝３５
ｍｍとなっている。また、第１ピストン１２の移動範囲
Ｒ１は、移動距離Ｌ１に第１ピストン１２の厚さを加え
た長さを有する。第１ピストンロッド１３は、第１貫通
孔２１の右開口からシリンダボディ１１の外部に延出さ
れている。また、第１ピストン室２５は第１ピストン１
２によって右室２５ａ及び左室２５ｂに区画され、右室
２５ａには第１給排ポート２６を介して、また、左室２
５ｂには第２給排ポート２７を介してそれぞれエアが給
排される。

【００２３】第２貫通孔２２の右中央部には、その左端
部に設けられたロッドメタル２８と、右端部に設けられ
たブッシュ２９等によって第２ピストン室３０が形成さ
れている。

【００２４】第２ピストン室３０には、前記第２ピスト
ン１４が配設されるとともに、前記第２ピストンロッド
１５がブッシュ２９に支持されてその左端側が配置され
ている。第２ピストン１４は、ロッドメタル２８に当接
して移動が規制される左移動端と、ブッシュ２９等に当
接して移動が規制される右移動端との間を移動可能であ
る。本実施形態では、第２ピストン室３０の左端から右
端まで第２ピストン１４が移動する移動距離Ｌ２は、Ｌ
２＝２５ｍｍとなっている。そして、第２ピストン１４
の移動範囲Ｒ２は、移動距離Ｌ２に第２ピストン１４の
厚さを加えた長さを有する。第２ピストン室３０は、第
２ピストン１４の移動範囲Ｒ２が、第１ピストン１２の
移動範囲Ｒ１に含まれるように設けられている。第２ピ
ストンロッド１５は、第２貫通孔２２の右開口部からシ
リンダボディ１１の外部に延出されている。

【００２５】また、第２ピストン室３０は第２ピストン
１４によって右室３０ａ及び左室３０ｂに区画され、右
室３０ａは第１排気ポート３１を介して大気に常時連通
され、左室３０ｂには第３給排ポート３２を介してエア
が給排される。

【００２６】第２ピストン１４は、第１ボディ３３及び
第２ボディ３４が連結ボルト３５によって一体化された
ものである。第２ピストン１４は、第２ピストンロッド
１５に連結されておらず、単独で第２ピストン室３０を
移動可能である。

【００２７】第２ピストンロッド１５は、シリンダボデ
ィ１１の外部に延出するその先端が、エンドプレート１
８によって第１ピストンロッド１３の先端と連結され、
第１ピストンロッド１３と一体移動する。図１に示すよ
うに、第２ピストンロッド１５は、第２ピストン１４が
第２ピストン室３０の左移動端に位置する状態で第２ピ
ストン１４に当接可能であり、この状態において第１ピ
ストン１２を第１ピストン室２５の左移動端に配置す
る。また、図３に示すように、第２ピストンロッド１５
は、第２ピストン１４が第２ピストン室３０を左移動端
から右移動端まで移動したとき、第１ピストン１２を第
１ピストン室２５の左移動端から移動距離Ｌ２だけ右移
動端側に移動させる。

【００２８】第２貫通孔２２の左部には、その左端側を
閉塞するカバー３６と、右端部に設けられたロッドメタ
ル３７とによって第３ピストン室３８が形成されてい
る。第３ピストン室３８には前記第３ピストン１６が配
設されるとともに、前記第３ピストンロッド１７がロッ
ドメタル３７とロッドメタル２８を挿通して第３ピスト
ン１６に連結されている。第３ピストン１６は、カバー
３６に当接して移動が規制される左移動端と、ロッドメ
タル３７に当接して移動が規制される右移動端との間を
移動可能である。本実施形態では、第３ピストン室３８
の左移動端から右移動端まで第３ピストン１６が移動す
る移動距離Ｌ３は、Ｌ３＝１５ｍｍとなっている。図１
に示すように、第３ピストンロッド１７は、第３ピスト
ン１６が第３ピストン室３８の左移動端に位置するとき
には第２ピストン室３０に延出せず、第２ピストン室３
０の左移動端に第２ピストン１４が位置することを許容
する。また、図２に示すように、第３ピストンロッド１
７は、第３ピストン１６が同じく右移動端に位置すると
きには第２ピストン室３０に最大限延出し、第２ピスト
ン１４を移動距離Ｌ３分だけ左移動端から右移動端側に
移動させる。

【００２９】また、第３ピストン室３８は第３ピストン
１６によって右室３８ａ及び左室３８ｂに区画され、右
室３８ａは第２排気ポート３９を介して大気に常時連通
され、左室３８ｂには第４給排ポート４０を介してエア
が給排される。本実施形態では、第２ピストン室３０及
び第３ピストン室３８がそれぞれ第ｉピストン室であ
る。

【００３０】次に、以上のように構成された本実施形態
の作用について説明する。本実施形態のエアシリンダ
は、例えば、図５に示すように、３つの２位置５ポート
電磁切換弁、すなわち、第１電磁弁５０、第２電磁弁５
１及び第３電磁弁５２によって制御される。第１電磁弁
５０は、第１給排ポート２６及び第２給排ポート２７に
対し、エア供給源５３と大気との接続を切り換える。第
２電磁弁５１は、第４給排ポート４０に対し、エア供給
源５３又は大気を接続する。第３電磁弁５２は、第３給
排ポート３２に対し、エア供給源５３又は大気を接続す
る。各電磁弁５０〜５２は、一対の電磁ソレノイドを交
互に動作させることで位置切り換えを行うものであっ
て、各電磁ソレノイドには切換時にのみ通電する。この
ため、長時間の通電が不要である。

【００３１】先ず、第１電磁弁５０に通電して第１給排
ポート２６から第１ピストン室２５の右室２５ａにエア
を供給するとともに第２給排ポート２７を通じて左室２
５ｂを大気に連通させる。また、第３電磁弁５２に通電
して第３給排ポート３２を通じて第２ピストン室３０の
左室３０ｂを大気に連通させ、第２電磁弁５１に通電し
て第４給排ポート４０を通じて第３ピストン室３８の左
室３８ｂを大気に連通させる。すると、図１及び図６
（ａ）に示すように、第１ピストン１２が第１ピストン
室２５の左移動端に配置される。そして、第２ピストン
ロッド１５を介して第２ピストン１４が第２ピストン室
３０の左移動端に配置されるとともに、第２ピストン１
４に当接する第３ピストンロッド１７によって第３ピス
トン１６が第３ピストン室３８の左移動端に配置され
る。その結果、エンドプレート１８は、両ピストンロッ
ド１３，１５が最大限シリンダボディ１１内に没入した
第１位置Ｐ１に位置決めされる。

【００３２】次に、第１ピストン室２５の右室２５ａに
エアを供給するとともに左室２５ｂを大気に連通させ、
また、第２ピストン室３０の左室３０ｂを大気に連通さ
せたままで、第３ピストン室３８の左室３８ｂにエアを
供給する。すると、第３ピストン１６が第３ピストン室
３８を左移動端から右移動端側に移動する。これは、第
１ピストン１２の右室２５ａ側の受圧面積が、第３ピス
トン１６の左室３８ｂ側の受圧面積よりも第１ピストン
ロッド１３の断面積分だけ小さく、第１ピストン１２を
左方向に移動させる力が、第３ピストン１６を右方向に
移動させる力よりも小さいためである。そして、第３ピ
ストンロッド１７に当接されている第２ピストン１４が
第２ピストン室３０を左移動端から右方向に移動配置さ
れる。このとき、第１ピストン室２５の右室２５ａに供
給されているエアから第１ピストン１２に加わる勢力に
よって、第２ピストンロッド１５が第２ピストン１４に
当接する状態が維持される。このため、第２ピストンロ
ッド１５は第２ピストン１４と共に移動し、第２ピスト
ン室３０からシリンダボディ１１の外部に延出する。そ
して、第２ピストンロッド１５と共に第１ピストンロッ
ド１３が右方向に延出し、第１ピストン１２が第１ピス
トン室２５を左移動端から右移動端側に移動する。

【００３３】図２及び図６（ｂ）に示すように、第３ピ
ストン１６が右移動端まで移動して停止すると、第２ピ
ストン１４が第２ピストン室３０の中間位置で停止する
とともに第１ピストン１２が第１ピストン室２５の中間
位置で停止する。そして、第２ピストン１４と共に移動
する第２ピストンロッド１５の延出が停止する。その結
果、エンドプレート１８は、第３ピストン６１の移動距
離Ｌ３だけ第１位置Ｐ１から右方向に移動した第２位置
Ｐ２に位置決めされる。

【００３４】次に、第１ピストン室２５の右室２５ａに
エアを供給するとともに左室２５ｂを大気に連通させた
ままで、第２ピストン室３０の左室３０ｂにエアを供給
し、また、第３ピストン室３８の左室３８ｂを大気に連
通させる。すると、第２ピストン１４が第２ピストン室
３０の中間位置から右移動端側に移動配置され、第２ピ
ストン１４に当接されている第２ピストンロッド１５が
シリンダボディ１１の外部にさらに延出する。そして、
第２ピストンロッド１５と共に第１ピストンロッド１３
がさらに延出し、第１ピストン１２が第１ピストン室２
５の中間位置から右移動端側にさらに移動する。

【００３５】図３及び図６（ｃ）に示すように、第２ピ
ストン１４が右移動端まで移動して停止すると、第２ピ
ストンロッド１５の延出が停止するとともに第１ピスト
ン１２が第１ピストン室２５のより右移動端側の中間位
置に停止する。その結果、エンドプレート１８は、第２
ピストン１４の移動距離Ｌ２から移動距離Ｌ３を差し引
いた差分距離ΔＬ１（＝Ｌ２−Ｌ３）だけ第２位置Ｐ２
から右方向に移動した第３位置Ｐ３に位置決めされる。

【００３６】次に、第３ピストン室３８の左室３８ｂを
大気に連通させたままで、第１ピストン室２５の右室２
５ａを大気に連通させるとともに左室２５ｂにエアを供
給し、また、第２ピストン室３０の左室３０ｂを大気に
連通させる。すると、第１ピストン１２が第１ピストン
室２５の中間位置からさらに右移動端側に移動配置さ
れ、第１ピストンロッド１３及び第２ピストンロッド１
５がシリンダボディ１１の外部にさらに延出される。こ
のとき、第２ピストン１４は右移動端に配置されたまま
となる。

【００３７】図４及び図６（ｄ）に示すように、第１ピ
ストン１２が右移動端まで移動して停止すると、両ピス
トンロッド１３，１５の延出が停止する。その結果、エ
ンドプレート１８は、第１ピストン１２の移動距離Ｌ１
から移動距離Ｌ２を差し引いた差分距離ΔＬ２（＝Ｌ１
−Ｌ２）だけ第３位置Ｐ３から右方向に移動した第４位
置Ｐ４に位置決めされる。

【００３８】反対に、エンドプレート１８を、第４位置
Ｐ４から、第３位置Ｐ３、第２位置Ｐ２さらに第１位置
Ｐ１に位置決めするには、上記と逆の手順で各ピストン
１２，１４，１６を位置制御すればよい。

【００３９】以上詳述した本実施形態のエアシリンダ１
０は、以下に記載する各効果を有する。 （１） 第１ピストンロッド１３と一体移動する第１ピ
ストン１２が第１ピストン室２５で位置制御されること
で、エンドプレート１８が第１位置Ｐ１及び第４位置Ｐ
４に位置決めされる。そして、第２ピストンロッド１５
と分離された第２ピストン１４が第２ピストン室３０で
位置制御されることで、エンドプレート１８が第１位置
Ｐ１及び第４位置Ｐ４の間で第３位置Ｐ３に位置決めさ
れる。

【００４０】従って、従来のシリンダ装置のように、第
２ピストン８４に対して第２ピストンロッド８６を相対
移動可能に弾性的に連結するためのコイルスプリング８
８を必要としない。その結果、より簡単な構造で３位置
以上の位置決めを行うことができる。

【００４１】（２） 第２ピストン１４が第２ピストン
ロッド１５に当接する状態で第２ピストン室３０を移動
する移動範囲Ｒ２が、第１ピストン１２が第１ピストン
室２５を移動する移動範囲Ｒ１に含まれるように、第２
ピストン室３０が第１ピストン室２５に重なるように設
けられている。このため、第３ピストン室３８部分を除
くシリンダボディ１１の全長が、第１ピストン室２５の
長さによってほぼ決定される。従って、シリンダボディ
１１の全長をより短くすることができる。

【００４２】（３） 第１、第２及び第３ピストン室２
５，３０，３８の内径を同一にしたので、第２及び第３
ピストン１４，１６の左室側の受圧面積よりも、第１ピ
ストン１２の右室２５ａ側の受圧面積が小さくなる。こ
のため、第３ピストン室３８の左室３８ｂにエアを供給
して第３ピストン１６を左移動端から右移動端まで移動
させて、エンドプレート１８を第１位置Ｐ１から第２位
置Ｐ２まで移動させるときに、第１ピストン室２５の右
室２５ａに同圧力のエアを供給しておくことにより、各
ピストンロッド１３，１５，１７及びエンドプレート１
８が慣性によってシリンダボディ１１から飛び出さない
ようにすることができる。また、第２ピストン室３０の
左室３０ｂにエアを供給して第２ピストン１４を中間位
置から右移動端まで移動させるときにも飛び出すことが
ない。

【００４３】従って、１つのエア供給源５３だけを用い
ながら、エンドプレート１８を第２位置Ｐ２及び第３位
置Ｐ３により確実に位置決めすることができる。 （４） 第２ピストン室３０と直列に設けた第３ピスト
ン室３８で位置制御される第３ピストン１６が、第３ピ
ストンロッド１７によって第２ピストン１４を位置制御
する。このため、エンドプレート１８は、第１位置Ｐ１
及び第３位置Ｐ３の中間で第２位置Ｐ２に位置決めされ
る。従って、軸線方向の投影面積が２つのシリンダ分だ
けのエアシリンダ１０で、４位置の位置決めを行うこと
ができる。

【００４４】（第２実施形態）次に、本発明をエアシリ
ンダに具体化した第２実施形態を図７〜図１０に従って
説明する。尚、本実施形態は、前記第１実施形態におけ
る第３ピストン１６、第３ピストンロッド１７及び第３
ピストン室３８に換えて、第３ピストン６１、第３ピス
トンロッド６２及び第３ピストン室６３を設けたことの
みが第１実施形態と基本的に異なる。従って、第１実施
形態と同じ構成については、符号を同じにしてその説明
を省略し、第３ピストン６１、第３ピストンロッド６２
及び第３ピストン室６３のみについて詳述する。

【００４５】図７に示すように、流体圧シリンダとして
のエアシリンダ６０は、シリンダボディ１１、第１ピス
トン１２、第１ピストンロッド１３、第２ピストン１
４、第２ピストンロッド１５、第３ピストン６１、第３
ピストンロッド６２、エンドプレート１８等から構成さ
れている。本実施形態では、第２ピストン１４及び第３
ピストン６１がそれぞれ第ｉピストンであり、第２ピス
トンロッド１５及び第３ピストンロッド６２がそれぞれ
第ｉピストンロッドである。

【００４６】シリンダボディ１１には、第１ピストン室
２５及び第２ピストン室３０と平行並列に第３ピストン
室６３が設けられている。第３ピストン室６３には、第
３ピストン６１が配設されるとともに、第３ピストンロ
ッド６２の左端部が配置されている。本実施形態におい
て、第３ピストン室６３の左移動端から右移動端まで第
３ピストン６１が移動する移動距離Ｌ３は、Ｌ３＝１５
ｍｍとなっている。また、第３ピストン６１の移動範囲
Ｒ３は、移動距離Ｌ３に第３ピストン６１の厚さを加え
た長さを有する。第３ピストンロッド６２は、第３ピス
トン室６３からシリンダボディ１１の外部に延出されて
いる。第３ピストン室６３は、第３ピストン６１によっ
て右室６３ａ及び左室６３ｂに区画され、右室６３ａは
図示しない排気ポートを介して大気に常時連通され、左
室６３ｂには図示しない給排ポートを介してエアが給排
される。

【００４７】本実施形態では、第２ピストン室３０及び
第３ピストン室６３がそれぞれ第ｉピストン室である。
第３ピストン６１は、第２ピストン１４と同じ構成であ
り、第３ピストンロッド６２には連結されておらず、単
独で第３ピストン室６３を移動可能である。

【００４８】第３ピストンロッド６２は、シリンダボデ
ィ１１の外部に延出されたその先端が、エンドプレート
１８によって第１及び第２ピストンロッド１３，１５の
各先端と連結され、第１及び第２ピストンロッド１３，
１５と一体移動する。図７に示すように、第３ピストン
ロッド６２は、第３ピストン６１が第３ピストン室６３
の左移動端に位置する状態で当接可能であり、この状態
で第２ピストン１４を第２ピストン室３０の左移動端に
配置するとともに、第１ピストン１２を第１ピストン室
２５の左移動端に配置する。また、図８に示すように、
第３ピストンロッド６２は、第３ピストン６１が第３ピ
ストン室６３を左移動端から右移動端まで移動したと
き、第２ピストンロッド１５を右向きに移動距離Ｌ３だ
け移動させるとともに、第１ピストン１２を第１ピスト
ン室２５の左移動端から移動距離Ｌ３だけ右移動端側に
移動させる。

【００４９】以上のように構成された本実施形態のエア
シリンダ６０は、次のように動作する。先ず、第１ピス
トン室２５の右室２５ａにエアを供給するとともに左室
２５ｂを大気に連通させ、また、第２ピストン室３０の
左室３０ｂと、第３ピストン室６３の左室６３ｂとを大
気に連通させる。すると、図７に示すように、第１ピス
トン１２が第１ピストン室２５の左移動端に配置され、
第２ピストンロッド１５を介して第２ピストン１４が第
２ピストン室３０の左移動端に配置されるとともに第３
ピストンロッド６２を介して第３ピストン６１が第３ピ
ストン室６３の左移動端に配置される。その結果、エン
ドプレート１８は、各ピストンロッド１３，１５，６２
が最大限シリンダボディ１１内に没入した第１位置Ｐ１
に位置決めされる。

【００５０】次に、第１ピストン室２５の右室２５ａに
エアを供給するとともに左室２５ｂを大気に連通させ、
また、第２ピストン室３０の左室３０ｂを大気に連通さ
せたままで、第３ピストン室６３の左室６３ｂにエアを
供給する。すると、第３ピストン６１が第３ピストン室
６３を左移動端から右移動端側に移動する。このとき、
第１ピストン室２５の右室２５ａに供給されているエア
から第１ピストン１２に加わる付勢力によって、第３ピ
ストンロッド６２が第３ピストン６１に当接する状態が
維持される。このため、第３ピストンロッド６２は第３
ピストン６１と共に移動し、第３ピストン室６３からシ
リンダボディ１１の外部に延出する。同時に、第１及び
第２ピストンロッド１３，１５が右向きに移動してシリ
ンダボディ１１の外部に延出するとともに第１ピストン
１２が第１ピストン室２５を左移動端から右移動端側に
移動する。一方、第２ピストン１４は第２ピストン室３
０の左移動端に留まる。

【００５１】図８に示すように、第３ピストン６１が右
移動端まで移動して停止すると、第２ピストンロッド１
５が第２ピストン室３０の中間位置で停止するとともに
第１ピストン１２が第１ピストン室２５の中間位置で停
止する。そして、第３ピストン６１と共に移動する第３
ピストンロッド６２の延出が停止する。その結果、エン
ドプレート１８は、第３ピストン６１の移動距離Ｌ３だ
け第１位置Ｐ１から移動した第２位置Ｐ２に位置決めさ
れる。

【００５２】次に、第１ピストン室２５の右室２５ａに
エアを供給するとともに左室２５ｂを大気に連通させた
ままで、第２ピストン室３０の左室３０ｂにエアを供給
し、また、第３ピストン室６３の左室６３ｂを大気に連
通させる。すると、第２ピストン１４が第２ピストン室
３０の左移動端から右方向に移動して第２ピストンロッ
ド１５の左端に当接し、第２ピストンロッド１５を右方
向に移動させる。このため、各ピストンロッド１３，１
５，６２がシリンダボディ１１の外部にさらに延出し、
エンドプレート１８がさらに右方向に移動配置される。
このとき、第１ピストン１２は、第１ピストン室２５の
中間位置から右移動端側にさらに移動配置される。

【００５３】図９に示すように、第２ピストン１４が第
２ピストン室３０の右移動端まで移動して停止すると、
各ピストンロッド１３，１５，６２の延出が停止し、第
１ピストン１２が第１ピストン室２５のより右移動端側
の中間位置に配置される。その結果、エンドプレート１
８は、移動距離Ｌ２から移動距離Ｌ３を差し引いた差分
距離ΔＬ１だけ第２位置Ｐ２から離れた第３位置Ｐ３に
位置決めされる。

【００５４】次に、第１ピストン室２５の右室２５ａを
大気に連通させるとともに左室２５ｂにエアを供給する
と、第１ピストン１２が第１ピストン室２５の中間位置
から右移動端側にさらに移動配置される。このため、第
１、第２及び第３ピストンロッド６２がさらに右方向に
移動してシリンダボディ１１の外部にさらに延出する。
このとき、第２ピストン１４は右移動端に留まる。

【００５５】図１０に示すように、第１ピストン１２が
第１ピストン室２５の右移動端まで移動して停止する
と、各ピストンロッド１３，１５，６２のシリンダボデ
ィ１１の外部への延出が停止する。その結果、エンドプ
レート１８は、移動距離Ｌ１から移動距離Ｌ２を差し引
いた差分距離ΔＬ２だけ第３位置Ｐ３から移動した第４
位置Ｐ４に位置決めされる。

【００５６】エンドプレート１８を、第４位置Ｐ４から
第３位置Ｐ３、第２位置Ｐ２さらに第１位置Ｐ１に位置
決めするには、上記と逆の手順で各ピストン１２，１
４，６１を位置制御すればよい。

【００５７】以上詳述した本実施形態のエアシリンダ６
０は、前記第１実施形態が有する各効果（１）〜（３）
に加えて、以下に記載する効果を有する。 （５） 第１ピストン室２５と平行に設けられた第３ピ
ストン室で、第３ピストンが位置制御されることで、エ
ンドプレート１８が第１位置Ｐ１及び第３位置Ｐ３の中
間で第２位置Ｐ２に位置決めされる。従って、より簡単
な構造で４位置に位置決めすることができる。

【００５８】（６） 第３ピストン６１が第３ピストン
ロッド６２に当接する状態で第３ピストン室６３を移動
する移動範囲Ｒ３が、第１ピストン１２が第１ピストン
室２５を移動する移動範囲Ｒ１に含まれるように、第３
ピストン室６３が軸線方向で第１ピストン室２５に重な
るように設けられている。このため、シリンダボディ１
１の全長が、第１ピストン室２５の長さによって決定さ
れる。従って、第１実施形態のエアシリンダ１０よりも
シリンダボディ１１の全長をより短くすることができ
る。

【００５９】次に、上記各実施形態以外の実施形態を箇
条書きする。 ・ 前記第１実施形態で、第３ピストン１６の左室３８
ｂ側の受圧面積と、第２ピストン１４の左室３０ｂ側の
受圧面積とが、第１ピストン１２の右室２５ａ側の受圧
面積以下となるように各ピストン１２，１４，１６及び
各ピストン室２５，３０，３８が形成されている構成と
する。この場合には、第１ピストン室２５に給排するエ
ア圧力よりも高い圧力のエアを第３ピストン室３８及び
第２ピストン室３０に供給することで、同様に動作させ
ることができる。このような実施形態も、第１実施形態
の（１），（２），（４）に記載した各効果を有する。

【００６０】・ 前記第１実施形態で、第２ピストン室
３０が、第２ピストン１４の移動範囲Ｒ２の一部又は全
部が、第１ピストン１２の移動範囲Ｒ１に重ならないよ
うに第２ピストン室３０及び第３ピストン室３８が設け
られた構成とする。このような実施形態は、第１実施形
態の（１），（３），（４）の各効果を有する。

【００６１】・ 前記第１実施形態で、第３ピストン１
６が第３ピストン室３８の左移動端から右移動端まで移
動する移動距離Ｌ３が、第３ピストンロッド１７が第２
ピストン１４を第２ピストン室３０の左移動端から右方
向に移動させる距離より短くてもよい。すなわち、第３
ピストン１６の移動によってエンドプレート１８が移動
しない範囲が第３ピストン室３８にあってもよい。

【００６２】さらに、第３ピストンロッド１７によって
第２ピストン１４が第２ピストン室３０の左移動端から
右方向に移動するときに、第２ピストン１４が第２ピス
トンロッド１５に当接しない範囲があってもよい。すな
わち、第２ピストン１４の移動によってエンドプレート
１８が移動しない範囲が第２ピストン室３０にあっても
よい。

【００６３】同様に、第２実施形態において、第３ピス
トン６１の移動によってエンドプレート１８が移動しな
い範囲が第３ピストン室６３にあってもよい。 ・ 前記第１実施形態で、第３ピストン室３８、第３ピ
ストン１６及び第３ピストンロッド１７をなくし、第２
ピストン室３０に配置された第２ピストン１４と、第１
ピストン室２５に配置された第１ピストン１２とでエン
ドプレート１８を３位置に位置決めする構成とする。こ
のような実施形態は、第１実施形態の（１）〜（３）に
記載した各効果を有する。

【００６４】・ 前記第１実施形態で、第３ピストン室
３８が第１貫通孔２１の左部に設けられ、第３ピストン
室３８での第３ピストン１６の移動によって第３ピスト
ンロッド１７が第１ピストン１２を移動距離Ｌ３だけ右
方向に移動させる構成とする。このような実施形態も、
第１実施形態の（１）〜（４）に記載した各効果を有す
る。

【００６５】・ 前記第２実施形態で、第３ピストン室
６３と並列となるように第４ピストン室が設けられ、第
４ピストン室に配置された第４ピストンが、エンドプレ
ート１８に連結されるとともに第４ピストン室に一端が
導入された第４ピストンロッドに当接して第１ピストン
を第１ピストン室の左移動端から移動距離Ｌ３よりも短
い移動距離だけ移動させる構成とする。このような実施
形態によれば、第１実施形態の（１）〜（３）に記載し
た各効果に加えて、５位置に位置決めすることができ
る。

【００６６】同様に、第１ピストン室２５と並列なピス
トン室を単数又は複数新たに設けることにより、シリン
ダボディの長さを長くすることなく、ピストン室の数よ
りも１つ多い複数の位置に位置決めすることができる。

【００６７】・ 前記第１及び第２実施形態で、第２ピ
ストンの一部が第２ピストンロッド側に延出され、第２
ピストンが第２ピストン室の右移動端まで移動したとき
に、その延出部がブッシュ２９の一部に入り込む構成で
あってもよい。このような実施形態も、第１及び第２実
施形態の各効果を有する。

【００６８】・ 流体圧シリンダはエアシリンダ以外の
気体圧シリンダであってもよく、また、例えば油圧シリ
ンダ等の液体圧シリンダであってもよい。 以下、前述した各実施形態から把握される技術的思想を
その効果とともに記載する。

【００６９】（１） 請求項２〜請求項４のいずれか一
項に記載の発明において、前記シリンダボディには、前
記第１ピストン室と平行に第３ピストン室（６３）が設
けられ、前記第３ピストン室に配置された第３ピストン
（６１）と、前記第３ピストンが当接可能に設けられ、
第３ピストン室からシリンダボディの外部まで延出され
るとともに第１ピストンロッドに対し一体移動可能に連
結された第３ピストンロッド（６２）とを備え、前記第
３ピストンを第３ピストンロッドに当接させて第３ピス
トン室で第３ピストンロッド側の移動端まで移動させた
ときに、第１ピストンが第１ピストン室で両移動端の中
間位置に配置されるとともに、第２ピストンロッドが第
２ピストンが両移動端の中間位置で当接可能な位置に配
置されることを特徴とする流体圧シリンダ。このような
構成によれば、より簡単な構造で４位置に位置決めする
ことができる。

【００７０】（２） 上記技術的思想（１）に記載の発
明において、第３ピストンが第３ピストンロッドに当接
する状態で移動する移動範囲（Ｒ３）は、前記第１ピス
トンの移動範囲（Ｒ１）に含まれることを特徴とする流
体圧シリンダ。このような構成によれば、シリンダボデ
ィの全長をより短くすることができる。

【００７１】（３） 請求項１に記載の発明において、
前記第ｉピストン（第２ピストン１４、第３ピストン１
６、第３ピストン６１）が、前記第ｉピストンロッド
（第２ピストンロッド１５、第３ピストンロッド１７、
第３ピストンロッド６３）に当接する状態で移動する移
動範囲（Ｒ２，Ｒ３）は、前記第１ピストンの第１ピス
トン室での移動範囲（Ｒ１）に含まれることを特徴とす
る流体圧シリンダ。このような構成によれば、シリンダ
ボディの全長をより短くすることができる。

【００７２】（４） 請求項１又は上記技術的思想
（３）に記載の発明において、前記第１ピストンの第１
ピストンロッド側の受圧面積は、前記第ｉピストンの第
ｉピストンロッドと反対側の受圧面積よりも小さいこと
を特徴とする流体圧シリンダ。このような構成によれ
ば、１つの気体供給源から供給する気体を用いて各ピス
トンロッドをより確実に位置決めすることができる。

【００７３】

【発明の効果】請求項１〜請求項５に記載の発明によれ
ば、ピストンに対してピストンロッドを相対移動可能に
弾性的に連結するためのコイルスプリングを必要としな
いので、より簡単な構造で３位置以上の位置決めを行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施形態のエアシリンダを示す模式断面
図。

【図２】 同じく模式断面図。

【図３】 同じく模式断面図。

【図４】 同じく模式断面図。

【図５】 エアシリンダの使用状態を示す模式図。

【図６】 （ａ）〜（ｄ）はエアシリンダの動作状態を
示す模式図。

【図７】 他の実施形態のエアシリンダを示す模式断面
図。

【図８】 同じく模式断面図。

【図９】 同じく模式断面図。

【図１０】 同じく模式断面図。

【図１１】 従来のシリンダ装置を示す模式断面図。

【図１２】 （ａ）〜（ｃ）はシリンダ装置の動作状態
を示す模式図。

【符号の説明】

１０…流体圧シリンダとしてのエアシリンダ、１１…シ
リンダボディ、１２…第１ピストン、１３…第１ピスト
ンロッド、１４…第ｉピストンとしての第２ピストン、
１５…第ｉピストンロッドとしての第２ピストンロッ
ド、１６…第ｉとしての第３ピストン、１７…第ｉピス
トンロッドとしての第３ピストンロッド、２５…第１ピ
ストン室、３０…第ｉピストン室としての第２ピストン
室、３８…同じく第３ピストン室、６０…流体圧シリン
ダとしてのエアシリンダ、６１…第ｉピストンとしての
第３ピストン、６２…第ｉピストンロッドとしての第３
ピストンロッド、６３…第ｉピストン室としての第３ピ
ストン室、Ｒ１…（第１ピストンの）移動範囲、Ｒ２…
（第２ピストンの）移動範囲、Ｒ３…（第３ピストン
の）移動範囲。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H081 AA02 AA03 AA05 BB03 CC23 FF04 FF11 FF27 3H089 AA56 BB27 CC01 CC03 CC12 CC13 DB47 DB48 GG03

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１ピストン室と、該第１ピストン室と
   平行な第２〜第ｎ（ｎは２以上の自然数）ピストン室と
   が設けられたシリンダボディと、 前記第１ピストン室に配置された第１ピストンと、 前記第１ピストンと一体移動可能に連結され、第１ピス
   トン室からシリンダボディの外部まで延出された第１ピ
   ストンロッドと、 前記第２〜第ｎピストン室にそれぞれ配置された第２〜
   第ｎピストンと、 第２〜第ｎピストンが当接可能に設けられ、第２〜第ｎ
   ピストン室からシリンダボディの外部まで延出されると
   ともに第１ピストンロッドに対し一体移動可能に連結さ
   れた第２〜第ｎピストンロッドとを備え、 前記第２〜第ｎの内の第ｉ（２≦ｉ≦ｎ）ピストンを第
   ｉピストンロッドに当接させた状態で第ｉピストン室で
   第ｉピストンロッド側の移動端に位置させたときに、第
   １ピストンが第１ピストン室における両移動端の中間位
   置に配置されることを特徴とする流体圧シリンダ。
2. 【請求項２】 第１ピストン室と、該第１ピストン室と
   平行な第２ピストン室とが設けられたシリンダボディ
   と、 前記第１ピストン室に配置された第１ピストンと、 前記第１ピストンに対し一体移動可能に連結され、第１
   ピストン室からシリンダボディの外部まで延出された第
   １ピストンロッドと、 前記第２ピストン室に配置された第２ピストンと、 前記第２ピストンが当接可能に設けられ、第２ピストン
   室からシリンダボディの外部まで延出されるとともに第
   １ピストンロッドに対し一体移動可能に連結された第２
   ピストンロッドとを備え、 前記第２ピストンを第２ピストンロッドに当接させた状
   態で第２ピストン室で第２ピストンロッド側の移動端に
   位置させたときに、第１ピストンが第１ピストン室にお
   ける両移動端の中間位置に位置することを特徴とする流
   体圧シリンダ。
3. 【請求項３】 前記第２ピストンが、前記第２ピストン
   ロッドに当接する状態で移動する移動範囲は、前記第１
   ピストンの第１ピストン室での移動範囲に含まれること
   を特徴とする請求項２に記載の流体圧シリンダ。
4. 【請求項４】 前記第１ピストンの第１ピストンロッド
   側の受圧面積は、前記第２ピストンの第２ピストンロッ
   ドと反対側の受圧面積よりも小さいことを特徴とする請
   求項２又は請求項３に記載の流体圧シリンダ。
5. 【請求項５】 前記シリンダボディには、前記第２ピス
   トン室と直列に第３ピストン室が設けられ、 前記第３ピストン室に配置された第３ピストンと、 前記第３ピストンに対し一体移動可能に連結され、第３
   ピストン室から第２ピストン室まで延出される第３ピス
   トンロッドとを備え、 前記第３ピストンロッドを第２ピストンを介して第２ピ
   ストンロッドに当接させた状態で前記第３ピストンを前
   記第３ピストン室で第３ピストンロッド側の移動端まで
   移動させたときに、第１ピストンが第１ピストン室にお
   ける第１ピストン側の移動端と前記中間位置との中間位
   置まで移動することを特徴とする請求項２〜請求項４の
   いずれか一項に記載の流体圧シリンダ。