JP2003116262A - リニア同期モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 中空移動コイル(コイル部材)２は、駆動
電流によって励磁される磁束の方向を移動方向に一致さ
せ、かつ、この移動方向に並べて配列され、上サイドヨ
ーク３及び下サイドヨーク４は、上記複数個の中空移動
コイル２を挟んで配置され、上記移動方向に延び、セン
ターヨーク５は、上記中空移動コイル２の中空部に挿通
され上記移動方向に延び、永久磁石６は、上記上サイド
ヨーク３及び下サイドヨーク４の中空移動コイル２側の
面に、上記移動方向に並べて配列され界磁磁束を形成
し、かつ、上記移動方向にみて隣接する全ての磁極が、
相互に反対方向に向けられている永久磁石６とを備え
る。 【効果】小型化、大推力化、高制御化が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品装着装置
などに用いられるリニア同期モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品装着装置（通称チップマウン
タ）に用いられているリニア同期モータについて説明す
る。図５は、従来のリニア同期モータの構成図である。
図５より、従来のリニア同期モータ１０１は、上サイド
ヨーク１０２と下サイドヨーク１０３から成るコの字型
ヨーク１０４、移動体取り付け部１０８の両面に補強板
１０５と共に固着されている中空移動コイル１０６、上
記上サイドヨーク１０２と下サイドヨーク１０３の中空
移動コイル側の面に並べて配置され界磁磁束を形成する
永久磁石１０７とを備える。

【０００３】コの字型ヨーク１０４は、中空移動コイル
１０６の移動（図上矢印Ａの方向）をガイドする部分で
ある。この上サイドヨーク１０２と下サイドヨーク１０
３の中空移動コイル側の面には、中空移動コイル１０６
の移動方向に整列して永久磁石１０７が配置されてい
る。その極性は、上記矢印方向Ａに見て、対応する位置
にある上記上サイドヨーク１０２側の永久磁石１０７と
下サイドヨーク１０３側の永久磁石１０７とが、それぞ
れに同じ方向に磁極が向けられている。

【０００４】更に、上記矢印方向Ａに見て隣接する全て
の永久磁石１０７は、それぞれ反対方向に磁極が向けら
れている。この永久磁石１０７によってリニア同期モー
タの界磁磁束が生成される。中空移動コイル１０６は、
駆動電流が供給された時に上記界磁磁束によって上記矢
印方向Ａに駆動されるリニア同期モータの移動子であ
る。この中空移動コイル１０６の構成について図を用い
て詳細に説明する。

【０００５】図６は、従来の電子部品装着装置用リニア
同期モータの断面図である。図６に示すように中空移動
コイル１０６は、扁平型のコイルであって補強板１０５
と共に移動体取り付け部１０８の両面に固着されてい
る。この中空移動コイル１０６では、駆動電流によって
励磁される磁束が、永久磁石１０７によって生成される
界磁磁束の方向と一致している。次に中空移動コイル１
０６の構造について詳細に説明する。

【０００６】図７は、中空移動コイルの説明図である。
図７に示すように中空移動コイル１０６は、補強板１０
５を挟んで矢印方向Ａにそれぞれ所定の間隔Ｋ１離れて
配置される。この中空移動コイル１０６は、ウエット巻
きで作成されている。ウエット巻きとは、巻き線を巻き
込んで所定のコイルの形状を形作った巻き線間に、エポ
キシ樹脂などを浸透させてコイル形状を維持したままで
固着させる巻き線方法である。

【０００７】上記中空移動コイル１０６は、扁平形状な
ので鉛直方向への強度を補強するために補強板１０５が
用いられている。又中空移動コイル１０６の位置決めの
ために凸部１１０が設けられている。更に、補強板１０
５に中空移動コイル１０６を挿入したときに全体として
整列した中空移動コイル１０６の水平面に凹凸が出来な
いようにコイルの厚さＤ１と等しい深さＤ２の窪みが設
けられている。

【０００８】以上説明したように、従来の電子部品装着
装置用リニア同期モータに用いられる中空移動コイル１
０６は、扁平型のコイルである。更に、駆動電流によっ
て励磁される磁束は、永久磁石１０７によって生成され
る界磁磁束の方向に一致している。この状態で、上記矢
印方向Ａに整列して配置されている。かかる構成のリニ
ア同期モータには、どのような解決課題があるのかにつ
いて以下に説明する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の技
術には、次のような解決すべき課題があった。 課題１ 図７に示すように中空移動コイル１０６では、Ｌ１部分
（通常約８ｍｍ）がリニア同期モータの推力発生に寄与
していないので巻き線の利用効率が悪くなる。その結果
所望の推力を得るためにはコイルの容積が大きくなって
しまい、結果としてリニア同期モータが大型化してしま
う。

【００１０】課題２ 上記のように中空移動コイル１０６が扁平形状なので鉛
直方向への強度を補強するために補強板１０５が必要に
成ってくる。この補強板１０５は非磁性体なので磁気抵
抗が大きく界磁磁束が弱められるため効率が低下する。
その結果所望の推力を得るためのコイルの容積は大きく
なり、結果としてリニア同期モータが大型化してしま
う。

【００１１】課題３ 中空移動コイル１０６に供給される駆動電流によって発
生する磁束の方向が界磁磁束の方向と一致しているので
界磁磁束が乱される。即ち回転機器における電機子反作
用と同様の現象が発生し、電流対推力のリニアリティが
悪くなる。結果として制御性能が悪化して、ときには振
動が発生する場合もある。

【００１２】課題４ 中空移動コイル１０６に起因する漏洩磁束が大きいた
め、コの字型ヨーク１０４（図５）内で渦電流が発生し
て装置の温度上昇を促す。その結果永久磁石１０７（図
５）の起磁力が弱まり界磁磁束が小さくなりリニア同期
モータの推力を低下させる。

【００１３】以上説明した４つの課題が解決されていな
かったため、従来のリニア同期モータは、大型で小推
力、かつ、制御性が悪くならざるを得なかった。本発明
は、上記課題を解決して、リニア同期モータの小型化、
大推力化、高制御性能化を図ることを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は以上の点を解決
するため次の構成を採用する。 〈構成１〉駆動電流によって励磁される磁束の方向を移
動方向に一致させ、かつ、この移動方向に並べて配列さ
れる４Ｎ（Ｎは整数）個のコイル部材と、上記４Ｎ（Ｎ
は整数）個のコイル部材を挟んで配置され、上記移動方
向に延びる上サイドヨーク及び下サイドヨークと、上記
コイル部材の中空部に挿通され上記移動方向に延びるセ
ンターヨークと、上記上サイドヨーク及び下サイドヨー
クのコイル部材側の面に、上記移動方向にみて対応する
位置に並べて配列され、上記上サイドヨーク側と上記下
サイドヨーク側に、それぞれ反対方向に磁極が向けら
れ、かつ、上記移動方向にみて隣接する全ての磁極が、
相互に反対方向に向けられている永久磁石とを備えるこ
とを特徴とするリニア同期モータ。

【００１５】〈構成２〉構成１に記載のリニア同期モー
タにおいて、上記移動方向に並ぶ永久磁石３個を一組と
して上記移動方向への位置角が３πに設定されたとき
に、上記複数個のコイル部材は、４個一組とした上記移
動方向への長さが上記位置角３πに等しく設定されてい
ることを特徴とするリニア同期モータ。

【００１６】〈構成３〉構成１に記載のリニア同期モー
タにおいて、４個一組とした上記コイル部材には、端か
ら順に隣接するコイル部材間で、それぞれ、π、−π／
２、π、の位相差がある交流駆動電流が供給されること
を特徴とするリニア同期モータ。

【００１７】〈構成４〉構成３に記載の上記４個一組と
したコイル部材をＮ(Ｎは整数)個従属接続したことを特
徴とするリニア同期モータ。

【００１８】〈構成５〉構成１に記載のリニア同期モー
タにおいて、４個一組とした上記コイル部材には、端か
ら順に隣接するコイル部材間で、それぞれ、π、π／
２、π、の位相差がある交流駆動電流が供給されること
を特徴とするリニア同期モータ。

【００１９】〈構成６〉構成５に記載の上記４個一組と
したコイル部材をＮ(Ｎは整数)個従属接続したことを特
徴とするリニア同期モータ。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
例を用いて説明する。 〈具体例の構成〉図１は、本発明によるリニア同期モー
タの構成図である。図１より、本発明によるリニア同期
モータ１は、中空移動コイル（コイル部材）２、上サイ
ドヨーク３、下サイドヨーク４、センターヨーク５、永
久磁石６、ヨーク８、移動体取り付け部９とを備える。

【００２１】中空移動コイル（コイル部材）２は、図示
していない外部回路によって駆動電流が供給される部分
である。駆動電流と、後に説明する永久磁石６が生成す
る界磁磁束との鎖交によってフレミング左手の法則に基
づく推力を発生する部分である。図を用いて詳細に説明
する。

【００２２】図２は、中空移動コイルの説明図である。
図２に示すように、駆動電流によって励磁される磁束の
方向Ｘに絶縁スペーサ２２を介して４の整数倍（４×
Ｎ）個のコイル部材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ
２）が積層状態に固着されて構成される。このコイル部
材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）は、エナメル線
等の巻き線を中空部２３を設けた状態に多層巻きして構
成される。所定のコイルの形状を形作った後、巻き線間
にエポキシ樹脂などが浸透され、コイル形状を維持した
ままで固着させる。通称ウエット巻きといわれる。尚、
駆動電流の相配列については、後に永久磁石６の磁極配
列と共に図を用いて説明する。

【００２３】ここで留意すべき点は以下の通りである。
図６より、従来技術の中空移動コイル１０６は、扁平型
のコイルであって補強板１０５と共に移動体取り付け部
１０８の両面に固着されている。また、この中空移動コ
イル１０６では駆動電流によって励磁される磁束は、永
久磁石１０７によって生成される界磁磁束の方向と一致
している。

【００２４】これに対して本発明に用いられる中空移動
コイル２は、駆動電流によって励磁される磁束の方向を
後に説明する自己の移動方向（Ｘ方向）に一致させ、か
つ、この移動方向に積層状態に並べて配列されている。
従って、上記、課題1に記した推力発生に寄与していな
い部分が無くなる。又上記、課題２に記した補強板の必
要が無くなる。更に、上記、課題３に記した電機子反作
用と同様の現象も発生しにくくなる。

【００２５】上サイドヨーク３及び下サイドヨーク４
は、上記中空移動コイル２を挟んで配置され、上記移動
方向（Ｘ方向）に延びている部分である。後に説明する
センターヨーク５と共に上記中空移動コイル２を支持す
る部分である。上サイドヨーク３及び下サイドヨーク４
の内側（中空移動コイル側の面）には、中空移動コイル
２の移動方向（Ｘ方向）に後に説明する永久磁石６が並
べて配列されている。上サイドヨーク３及び下サイドヨ
ーク４は、通常、断面形状コの字型のヨーク８として一
体化されている。

【００２６】センターヨーク５は、上記中空移動コイル
２の中空部２３（図２）に挿通され、上記、上サイドヨ
ーク３及び下サイドヨーク４と共に上記中空移動コイル
２の動きを支持して上記移動方向Ｘに延びる部分であ
る。

【００２７】永久磁石６は、界磁磁束を発生させる永久
磁石である。この永久磁石６の極性配列について図を用
いて説明する。図３は、磁極配列説明図である。図３が
示す通り、永久磁石６は、上記移動方向Ｘに見て対応す
る位置にある、上サイドヨーク３側の永久磁石６と下サ
イドヨーク４側の永久磁石６とが、それぞれ磁極が反対
方向に向けられている。

【００２８】即ち、磁極の極性が反転させて配置されて
いる。更に上記移動方向Ｘにみて隣接する全ての永久磁
石６は、それぞれ反対方向に磁極が向けられている。本
発明によるリニア同期モータでは、６個の永久磁石６
と、４個のコイル部材からなる中空移動コイル２が１組
として構成されている。この理由については後に動作の
説明の項で詳細に説明する。

【００２９】更に、中空移動コイル２には、交流駆動電
流が所定の位相角に基づいて供給される。一例としてコ
イル部材３Ａ１にＩａ＝Ｉｍ・ＣＯＳωＴ、コイル部材
３Ａ２にＩｂ＝−Ｉｍ・ＣＯＳωＴ、コイル部材３Ｂ１
にＩｃ＝Ｉｍ・ＳＩＮωＴ、コイル部材３Ｂ２にＩｄ＝
−Ｉｍ・ＳＩＮωＴ、が供給されている。即ち、端から
順に隣接するコイル部材間で、それぞれ、π、−π／
２、π位相差のある交流駆動電流がそれぞれ供給され
る。ここでは、図上左端を基準にして位相差を設定した
が、右端を基準にして同様の位相差を設定してもよい。

【００３０】かかる位相差によって、コイル部材３Ａ１
に発生する漏洩磁束とコイル部材３Ａ２に発生する漏洩
磁束が逆方向になって打ち消される。同様にコイル部材
３Ｂ１に発生する漏洩磁束とコイル部材３Ｂ２に発生す
る漏洩磁束が逆方向になって打ち消される。その結果、
上記課題４が解決されヨーク８内部での渦電流の発生を
最低限度に食い止めることが可能になる。

【００３１】センターヨーク５は、上記中空移動コイル
２の中空部２３（図２）に挿通され、上記、上サイドヨ
ーク３及び下サイドヨーク４と共に上記中空移動コイル
２の動きを支持し上記移動方向Ｘに延びる部分である。

【００３２】移動体取り付け部９は、部品吸着ヘッド７
を取り付ける部分である。ここでは、電子部品装着装置
を想定して説明しているので移動体取り付け部９には、
部品吸着ヘッド７が取り付けられるが、他の装置を想定
する場合には、その装置に固有のものが装着されるのは
言うまでもない。以上で本発明に用いられるリニア同期
モータ１の構成の説明を終了したので、次に動作につい
て説明する。

【００３３】〈具体例の動作〉図４は、リニア同期モー
タの動作原理説明図である。図３を用いて、既に説明し
たように、本発明によるリニア同期モータは、６個の永
久磁石６と、４個のコイル部材からなる中空移動コイル
２を動作単位として構成されている。ここでは基本原理
を説明するために図４に示すように永久磁石６を６−２
〜６−４の３個（又は６−８〜６−１０の３個）と、一
体となって移動する４個のコイル部材（３Ａ１、３Ａ
２、３Ｂ１、３Ｂ２）を一組の動作単位とする。

【００３４】図に示す通り、永久磁石６−３から出力さ
れた磁束はセンターヨーク５を経由して、永久磁石６−
２、あるいは、永久磁石６−２乃至永久磁石６−４に入
力される。又永久磁石６−９から出力された磁束はセン
ターヨーク５を経由して、永久磁石６−８、あるいは、
永久磁石６−８、乃至永久磁石６−１０に入力される。
同様にして永久磁石６−５から出力された磁束はセンタ
ーヨーク５を経由して、永久磁石６−４、あるいは、永
久磁石６−４乃至永久磁石６−６に入力される。又永久
磁石６−１１から出力された磁束はセンターヨーク５を
経由して、永久磁石６−１０、あるいは、永久磁石６−
１０乃至永久磁石６−１２に入力される。

【００３５】永久磁石６−２及び永久磁石６−８の左側
を起点として位置角（磁場の位相角）を設定する。位置
角は、隣接する永久磁石１個毎にπ進むものと定める。
又永久磁石６−２及び永久磁石６−８の左側を起点とし
て右方向（Ｘ軸方向）へ一体となって移動する４個のコ
イル部材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）の移動す
る距離をｘと定める。

【００３６】コイル部材（３Ａ１）が距離ｘだけＸ軸方
向へ移動したときに鎖交する磁束数は(１式)となる。 Ｂａ＝Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ）・・・・・・・・・・・（１式） コイル部材（３Ａ２）が距離ｘだけＸ軸方向へ移動した
ときに鎖交する磁束数は(２式)となる。 Ｂｂ＝Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋３π／４）・・・・・・（２式） コイル部材（３Ｂ１）が距離ｘだけＸ軸方向へ移動した
ときに鎖交する磁束数は、(３式)となる。 Ｂｃ＝Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋６π／４）・・・・・・（３式） コイル部材（３Ｂ２）が距離ｘだけＸ軸方向へ移動した
ときに鎖交する磁束数は、(４式)となる Ｂｄ＝Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋９π／４）・・・・・・（４式） ここでＢｍは、永久磁石の最大磁束密度とし、各コイル
部材毎の位置ズレを上記位置角（３π／４、６π／４、
９π／４）で表している。

【００３７】図に示すようにコイル部材（３Ａ１、３Ａ
２、３Ｂ１、３Ｂ２）に以下に記す駆動電流がそれぞれ
供給される。コイル部材（３Ａ１）には、(５式)の駆動
電流が供給される。 Ｉａ＝Ｉｍ・ＣＯＳ（ωＴ）・・・・・・・・・・（５式） コイル部材（３Ａ２）には、(６式)の駆動電流が供給さ
れる。 Ｉｂ＝−Ｉｍ・ＣＯＳ（ωＴ）・・・・・・・・・（６式） コイル部材（３Ｂ１）には、(７式)の駆動電流が供給さ
れる。 Ｉｃ＝Ｉｍ・ＳＩＮ（ωＴ）・・・・・・・・・・（７式） コイル部材（３Ｂ２）には、(８式)の駆動電流が供給さ
れる。 Ｉｄ＝−Ｉｍ・ＳＩＮ（ωＴ）・・・・・・・・・（８式）

【００３８】以上求めた（１式）〜（８式）から永久磁
石６−１〜６−５の界磁磁束とコイル部材に流れる電流
が鎖交することによって４個のコイル部材（３Ａ１、３
Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）に働く推力Ｆは次式で表され
る。 Ｆ＝Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ）×Ｉｍ・ＣＯＳ（ωＴ） −Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋３π／４）×Ｉｍ・ＣＯＳ（ωＴ） ＋Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋６π／４）×Ｉｍ・ＳＩＮ（ωＴ） −Ｂｍ・ＳＩＮ（ｘ＋９π／４）×Ｉｍ・ＳＩＮ（ωＴ） ＝Ｂｍ・Ｉｍ［{ＳＩＮ(ｘ)−ＳＩＮ(ｘ＋３π／４)}ＣＯＳ(ωＴ) ＋{ＳＩＮ(ｘ＋６π／４)−ＳＩＮ(ｘ＋９π／４)}ＳＩＮ(ωＴ)］ ＝２Ｂｍ・Ｉｍ・ＳＩＮ(−３π／８) ×{ＣＯＳ(ｘ＋３π／８)・ＣＯＳωＴ ＋ＣＯＳ(ｘ＋１５π／８)・ＳＩＮωＴ}・・・(９式) (９式)にＣＯＳ(ｘ＋１５π／８)＝ＳＩＮ(ｘ＋３π／８)を代入すると Ｆ＝α・ＳＩＮ(−３π／８)［ＣＯＳ{ｘ＋(３π／８)−ωＴ)} ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(１０式)となる。 ここでα・は、定数{α＝２Ｂｍ・Ｉｍ・ＳＩＮ(−３π
／８)}である。（１０式）より{ｘ＋(３π／８)−ω
Ｔ})＝２Ｎπ・・・・(１１式)の時、Ｆは、以下に記
す、最大値Ｆｍａｘをとる。ここでＮは、Ｎ＝０、１、
２・・である。 Ｆｍａｘ＝２Ｂｍ・Ｉｍ・ＳＩＮ(−３π／８)×ＳＩＮ(−３π／８) ＝２Ｂｍ・Ｉｍ・(−１／２){ＣＯＳ(−３π／４)−１} ＝{１−ＣＯＳ(３π／４)}・Ｂｍ・Ｉｍ 又、（１１式）を時間Ｔで微分すると −ω＋ｄｘ／ｄＴ＝０ ゆえにＸ軸上での位相速度ｄｘ／ｄＴは、ｄｘ／ｄＴ＝
ω・・・・・・・・・・・・（１２式）となる。

【００３９】（１２式）は、移動可能な４個のコイル部
材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）が位置角で表さ
れた位相速度ωでＸ軸方向への移動するかぎり、コイル
部材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）が界磁磁束か
ら受ける推力は常に一定となることを意味している。
又、(１２式)は、同期リニア同期モータの前提条件とな
るωＴ＝±ｘを満足している。

【００４０】即ち、４個一組のコイル部材（３Ａ１、３
Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）をそれぞれ位置角にして（３／
４）π離し、かつ、それぞれに端から順に隣接するコイ
ル部材間で、それぞれ、π、−π／２、π、位相差があ
る交流駆動電流が供給されると、その駆動電流の角周波
数ωで表される位相速度で４個のコイル部材（３Ａ１、
３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）が移動することになる。

【００４１】以上、永久磁石６−１〜６−５の界磁磁束
と４個コイル部材（３Ａ１、３Ａ２、３Ｂ１、３Ｂ２）
に流れる電流が鎖交する事によって発生する推力につい
て説明した。尚、４個のコイル部材（３Ａ１、３Ａ２、
３Ｂ１、３Ｂ２）には、永久磁石６−７〜６−１１の界
磁磁束との鎖交によっても推力が同一の方向に働くが、
同様の理論なので説明を割愛する。

【００４２】上記説明では、一例としてコイル部材３Ａ
１、コイル部材３Ａ２、コイル部材３Ｂ１、コイル部材
３Ｂ２にそれぞれ、π、−π／２、π、位相差のある交
流駆動電流がそれぞれ供給される場合について説明した
が、本発明はこの例に限定されるものではない。

【００４３】即ち、コイル部材３Ａ１、コイル部材３Ａ
２、コイル部材３Ｂ１、コイル部材３Ｂ２にそれぞれ、
π、π／２、π、位相差のある交流駆動電流が供給され
ても良い。この場合には移動方向が反対方向となる。従
って、本発明のリニア同期モータでは、供給電流の位相
差を、π、−π／２、π、又はπ、π／２、π、に変更
することによって所望の制御が可能となる。又、すでに
具体例の構成で説明した通り、上記位相差は、従属接続
されているコイル部材の左端を基準にして上記位相差に
設定される場合のみでなく、右端を基準にして上記位相
差に設定されてもよい。

【００４４】更に、上記位相差のコイル部材３Ａ１、コ
イル部材３Ａ２、コイル部材３Ｂ１、コイル部材３Ｂ２
からなる中空移動コイル２を複数個従属接続することも
可能である。この場合、従属される複数個全ての中空移
動コイル２には、位相差、π、−π／２、π、又はπ、
π／２、π、のいずれか一方が供給される。

【００４５】

【発明の効果】以上説明した本発明によるリニア同期モ
ータは、以下の効果を有する。 １．リニア同期モータの巻き線の利用効率が良くなるの
で所望の推力を得るための容積が小さくなる。 ２．中空移動コイルを補強するための非磁性体の補強板
が必要無くなるので磁気抵抗が小さくなりリニア同期モ
ータの効率が良くなる。 ３．中空移動コイルに印加される駆動電流によって発生
する磁束の方向が界磁磁束の方向と一致しないので界磁
磁束が乱されることがなくなる。即ち回転機器における
電機子反作用と同様の現象が発生しにくくなる。その結
果、電流対推力のリニアリティが良くなり制御性能が向
上する。 ４．中空移動コイルに起因する漏洩磁束が小さくなるた
め、コの字型ヨーク内での渦電流の発生が少なくなる。
その結果界磁磁束の減少を防止出来るのでリニア同期モ
ータの推力低下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるリニア同期モータの構成図であ
る。

【図２】中空移動コイルの説明図である。

【図３】磁極配列説明図である。

【図４】リニア同期モータの動作原理説明図である。

【図５】従来のリニア同期モータの構成図である。

【図６】従来の電子部品装着装置用リニア同期モータの
断面図である。

【図７】中空移動コイルの説明図である。

【符号の説明】

１ リニア同期モータ ２ 中空移動コイル(コイル部材) ３ 上サイドヨーク ４ 下サイドヨーク ５ センターヨーク ６ 永久磁石 ７ 部品装着ヘッド ８ ヨーク ９ 移動体取り付け部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 勝見 健一 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 成吉 郁馬 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 赤間 助広 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 小久保 修 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者 内田 公夫 神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１ 号 昭和電線電纜株式会社内 Ｆターム(参考） 5H641 BB06 BB18 GG03 GG05 GG07 GG12 HH02 HH05 HH12

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動電流によって励磁される磁束の方向
   を移動方向に一致させ、かつ、この移動方向に並べて配
   列される４Ｎ（Ｎは整数）個のコイル部材と、 前記４Ｎ（Ｎは整数）個のコイル部材を挟んで配置さ
   れ、前記移動方向に延びる上サイドヨーク及び下サイド
   ヨークと、 前記コイル部材の中空部に挿通され前記移動方向に延び
   るセンターヨークと、 前記上サイドヨーク及び下サイドヨークのコイル部材側
   の面に、前記移動方向にみて対応する位置に並べて配列
   され、前記上サイドヨーク側と前記下サイドヨーク側
   に、それぞれ反対方向に磁極が向けられ、かつ、前記移
   動方向にみて隣接する全ての磁極が、相互に反対方向に
   向けられている永久磁石とを備えることを特徴とするリ
   ニア同期モータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のリニア同期モータにお
   いて、 前記移動方向に並ぶ永久磁石３個を一組として前記移動
   方向への位置角が３πに設定されたときに、 前記複数個のコイル部材は、 ４個一組とした前記移動方向への長さが前記位置角３π
   に等しく設定されていることを特徴とするリニア同期モ
   ータ。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のリニア同期モータにお
   いて、 ４個一組とした前記コイル部材には、端から順に隣接す
   るコイル部材間で、それぞれ、π、−π／２、π、の位
   相差がある交流駆動電流が供給されることを特徴とする
   リニア同期モータ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の前記４個一組としたコ
   イル部材をＮ(Ｎは整数)個従属接続したことを特徴とす
   るリニア同期モータ。
5. 【請求項５】 請求項１に記載のリニア同期モータにお
   いて、 ４個一組とした前記コイル部材には、端から順に隣接す
   るコイル部材間で、それぞれ、π、π／２、π、の位相
   差がある交流駆動電流が供給されることを特徴とするリ
   ニア同期モータ。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の前記４個一組としたコ
   イル部材をＮ(Ｎは整数)個従属接続したことを特徴とす
   るリニア同期モータ。