JP2003114362A - Optical fiber array - Google Patents

Optical fiber array

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JP2003114362A
JP2003114362A JP2001336923A JP2001336923A JP2003114362A JP 2003114362 A JP2003114362 A JP 2003114362A JP 2001336923 A JP2001336923 A JP 2001336923A JP 2001336923 A JP2001336923 A JP 2001336923A JP 2003114362 A JP2003114362 A JP 2003114362A
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JP
Japan
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optical fiber
resin layer
core wire
fiber core
substrate
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Application number
JP2001336923A
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Japanese (ja)
Inventor
Kotaro Hayashi
康太郎 林
Naoaki Fujii
直明 藤井
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide such an optical fiber array that, since optical fibers are surely fixed to grooves formed on a substrate with a UV-curing adhesive, the displacement of the optical fibers does not occur and optical signals can be accurately transmitted even when the optical fiber array is connected to optical devices or external force is added to the optical fiber array. SOLUTION: The optical fiber array is composed of a substrate having a plurality of grooves and a holding part of a coating resin layer formed on its upper surface and of an optical fiber ribbon having a plurality of coated optical fibers arranged in parallel and a coating resin layer formed around the fibers. The coated optical fibers are fixed to the grooves with an adhesive and the coated optical fibers and the coating resin layer are fixed with the adhesive to the holding part of the coating resin layer. The adhesive is a hardened product of an epoxy-based or acrylate-based UV-curing resin composition.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】第一および第二の本発明は、
光ファイバアレイに関する。
TECHNICAL FIELD The first and second inventions are
The present invention relates to an optical fiber array.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、通信分野を中心として光ファイバ
に注目が集まっている。特にIT(情報技術)分野にお
いては、高速インターネット網の整備に、光ファイバを
用いた通信技術が必要となる。光ファイバは、低損
失、高帯域、細径・軽量、無誘導、省資源等の
特徴を有しており、この特徴を有する光ファイバを用い
た通信システムでは、従来のメタリックケーブルを用い
た通信システムに比べ、中継器数を大幅に削減すること
ができ、建設、保守が容易になり、通信システムの経済
化、高信頼性化を図ることができる。
2. Description of the Related Art In recent years, attention has been focused on optical fibers mainly in the communication field. Particularly in the IT (information technology) field, communication technology using optical fibers is required to maintain a high-speed Internet network. Optical fiber has the features of low loss, high bandwidth, small diameter / light weight, no induction, resource saving, etc. In the communication system using the optical fiber having this feature, the communication using the conventional metallic cable is used. Compared with the system, the number of repeaters can be greatly reduced, construction and maintenance are facilitated, and the communication system can be made economical and highly reliable.

【0003】また、光ファイバでは、一つの波長の光だ
けでなく、多くの異なる波長の光を1本の光ファイバで
同時に多重伝送することができるため、多様な用途に対
応可能な大容量の伝送路を実現することができ、映像サ
ービス等にも対応することができるという大きな利点を
有する。
Further, in the optical fiber, not only the light of one wavelength but also the light of many different wavelengths can be simultaneously multiplexed and transmitted by one optical fiber, so that it has a large capacity for various purposes. This has a great advantage that a transmission line can be realized and a video service can be supported.

【0004】また、光ファイバ通信において、光ファイ
バを、受光素子、端末機器(パソコン、モバイル、ゲー
ム等)に直接または光導波路等を介して接続するために
は、複数の光ファイバを所定の間隔で離間して配列させ
る必要があり、これを達成するために、光ファイバアレ
イが用いられている。
Further, in optical fiber communication, in order to connect the optical fiber to a light receiving element, a terminal device (personal computer, mobile, game, etc.) directly or through an optical waveguide or the like, a plurality of optical fibers are arranged at predetermined intervals. In order to achieve this, an optical fiber array is used.

【0005】従来、光ファイバアレイとしては、例え
ば、基板に形成された複数のV溝のそれぞれに光ファイ
バが整列して収納され、該光ファイバが接着剤を介して
固定されたものが開示されている。また、光ファイバを
収納した基板上に、さらに、蓋部が形成された光ファイ
バアレイも開示されている。
Conventionally, as an optical fiber array, for example, an optical fiber array is disclosed in which the optical fibers are housed in alignment with each of a plurality of V-grooves, and the optical fibers are fixed via an adhesive. ing. Further, an optical fiber array in which a lid is further formed on a substrate accommodating an optical fiber is also disclosed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような光ファイバ
アレイは、例えば、上面に溝を形成した基板の該溝に、
光ファイバを載置し、その後、光ファイバと溝との間隙
に、基板の側面から未硬化の接着剤を流し込み、さら
に、硬化処理を施して光ファイバを溝に収納、固定する
ことにより製造していた。また、光ファイバアレイとし
て、基板上に蓋部が取り付けられた光ファイバアレイを
製造する場合には、基板の溝に光ファイバを載置した
後、基板上に蓋部を取り付け、その後、基板および蓋部
の側面から、溝と光ファイバとの間隙、および、蓋部と
光ファイバとの間隙に未硬化の接着剤を流し込み、さら
に、硬化処理を施して光ファイバを溝に収納、固定する
ことにより製造していた。
Such an optical fiber array has, for example, a groove formed on the upper surface of a substrate,
It is manufactured by placing an optical fiber, then pouring an uncured adhesive from the side surface of the substrate into the gap between the optical fiber and the groove, and then performing a curing treatment to store and fix the optical fiber in the groove. Was there. Further, in the case of manufacturing an optical fiber array in which a lid is attached on a substrate as an optical fiber array, after placing the optical fiber in the groove of the substrate, the lid is attached on the substrate, and then the substrate and Pouring an uncured adhesive into the gap between the groove and the optical fiber and the gap between the lid and the optical fiber from the side surface of the lid, and then applying a curing treatment to store and fix the optical fiber in the groove. Was manufactured by.

【0007】しかしながら、このような方法で製造した
光ファイバアレイでは、該光ファイバアレイを光学素子
に接続する際や、光ファイバアレイに外部から力が加わ
った際に、光ファイバの位置ズレが発生し、光ファイバ
アレイと受光素子や発光素子等の光学素子との間で接続
不良が発生することがあった。
However, in the optical fiber array manufactured by such a method, the positional displacement of the optical fiber occurs when the optical fiber array is connected to an optical element or when an external force is applied to the optical fiber array. However, a connection failure may occur between the optical fiber array and the optical element such as the light receiving element or the light emitting element.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
鋭意検討した結果、このような光ファイバの位置ズレ
は、溝と光ファイバとの間隙や、蓋部と光ファイバとの
間隙に充分に接着剤が充填されていないことに起因して
発生しており、溝と光ファイバとの間隙等を確実に接着
剤で充填することにより、光ファイバの位置ズレが発生
しないことを見出し、第一および第二の本発明の光ファ
イバアレイを完成した。
Therefore, the present inventors have
As a result of diligent studies, such a positional deviation of the optical fiber is caused by the fact that the gap between the groove and the optical fiber or the gap between the lid and the optical fiber is not sufficiently filled with the adhesive. Therefore, it was found that the positional deviation of the optical fiber does not occur by surely filling the gap between the groove and the optical fiber with the adhesive, and the first and second optical fiber arrays of the present invention were completed.

【0009】すなわち、第一の本発明の光ファイバアレ
イは、その上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部とが形成
された基板と、複数の光ファイバ芯線が並列に配置さ
れ、その周囲に被覆樹脂層が形成された光ファイバリボ
ンとからなる光ファイバアレイであって、上記溝に接着
剤を介して光ファイバ芯線が固定されるとともに、上記
被覆樹脂層保持部に接着剤を介して光ファイバ芯線と被
覆樹脂層とが固定されており、上記接着剤が、エポキシ
系またはアクリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬
化物であることを特徴とする。
That is, in the optical fiber array of the first aspect of the present invention, a substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on the upper surface thereof and a plurality of optical fiber core wires are arranged in parallel, and the periphery thereof is arranged. An optical fiber array comprising an optical fiber ribbon on which a coating resin layer is formed, wherein an optical fiber core wire is fixed to the groove via an adhesive, and an optical fiber is attached to the coating resin layer holding portion via an adhesive. The fiber core wire and the coating resin layer are fixed, and the adhesive is a cured product of an epoxy or acrylate ultraviolet curable resin composition.

【0010】第一の本発明の光ファイバアレイにおい
て、上記紫外線硬化型樹脂組成物の粘度は、200〜2
000mPa・sであることが望ましい。また、第一の
本発明の光ファイバアレイにおいては、上記光ファイバ
芯線を固定する紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が200
〜2000mPa・sであり、上記被覆樹脂層を固定す
る紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が5000〜3000
0mPa・sであることも望ましい。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention, the ultraviolet curable resin composition has a viscosity of 200 to 2
It is desirable that the pressure is 000 mPa · s. Further, in the optical fiber array of the first aspect of the present invention, the viscosity of the ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire is 200.
To 2000 mPa · s, and the viscosity of the ultraviolet curable resin composition for fixing the coating resin layer is 5000 to 3000.
It is also preferable that it is 0 mPa · s.

【0011】第二の本発明の光ファイバアレイは、その
上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部とが形成された基板
と、複数の光ファイバ芯線が並列に配置され、その周囲
に被覆樹脂層が形成された光ファイバリボンとからなる
光ファイバアレイであって、上記溝に接着剤を介して光
ファイバ芯線が固定されるとともに、上記被覆樹脂層保
持部に接着剤を介して光ファイバ芯線と被覆樹脂層とが
固定されており、上記光ファイバ芯線を固定する接着剤
がエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物であ
り、上記被覆樹脂層を固定する接着剤がアクリレート系
またはシリコーン系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物
であることを特徴とする。
In the optical fiber array of the second aspect of the present invention, a substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on the upper surface thereof and a plurality of optical fiber core wires are arranged in parallel, and a coating resin is provided around the substrate. An optical fiber array comprising a layered optical fiber ribbon, wherein an optical fiber core wire is fixed to the groove with an adhesive agent, and an optical fiber core wire is applied to the coating resin layer holding section with an adhesive agent. And the coating resin layer are fixed, the adhesive for fixing the optical fiber core is a cured product of an epoxy-based ultraviolet curable resin composition, and the adhesive for fixing the coating resin layer is an acrylate or silicone. It is characterized in that it is a cured product of an ultraviolet curable resin composition of the system.

【0012】第二の本発明の光ファイバアレイにおい
て、上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物と、上記
アクリレート系またはシリコーン系の紫外線硬化型樹脂
組成物とは、ともにその粘度が200〜2000mPa
・sであることが望ましい。
In the optical fiber array according to the second aspect of the present invention, the epoxy-based UV-curable resin composition and the acrylate- or silicone-based UV-curable resin composition both have a viscosity of 200 to 2000 mPas.
・ S is desirable.

【0013】また、第二の本発明の光ファイバアレイに
おいては、上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の
粘度が200〜2000mPa・sであり、上記アクリ
レート系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が5000〜
30000mPa・sであるか、または、上記シリコー
ン系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が5000〜50
000mPa・sであることも望ましい。
In the optical fiber array according to the second aspect of the present invention, the viscosity of the epoxy-based UV-curable resin composition is 200 to 2000 mPa · s, and the viscosity of the acrylate-based UV-curable resin composition is Is 5000
30,000 mPa · s, or the viscosity of the silicone-based ultraviolet-curable resin composition is 5,000 to 50
It is also desirable that the pressure is 000 mPa · s.

【0014】第一または第二の本発明の光ファイバアレ
イにおいては、上記基板上の少なくとも一部に、光ファ
イバ芯線を覆うように接着剤層を介して蓋部が取り付け
られていることが望ましく、この場合、上記接着剤層
は、上記光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形状
が、上記基板の外縁部に向かって末広がり状であること
が望ましい。さらに、上記蓋部の形状は、光ファイバ芯
線の一部を一括して収納する凹部が形成されている形状
であることが望ましい。
In the optical fiber array according to the first or second aspect of the present invention, it is desirable that a lid is attached to at least a part of the substrate via an adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire. In this case, it is desirable that the adhesive layer has a cross-sectional shape in a direction perpendicular to the axis of the optical fiber core, which is divergent toward the outer edge portion of the substrate. Further, it is desirable that the shape of the lid is such that a recess for accommodating a part of the optical fiber core wire is formed.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】第一の本発明の光ファイバアレイ
は、その上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部とが形成さ
れた基板と、複数の光ファイバ芯線が並列に配置され、
その周囲に被覆樹脂層が形成された光ファイバリボンと
からなる光ファイバアレイであって、上記溝に接着剤を
介して光ファイバ芯線が固定されるとともに、上記被覆
樹脂層保持部に接着剤を介して光ファイバ芯線と被覆樹
脂層とが固定されており、上記接着剤が、エポキシ系ま
たはアクリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物
であることを特徴とする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An optical fiber array according to the first aspect of the present invention comprises a substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on the upper surface thereof, and a plurality of optical fiber core wires arranged in parallel.
An optical fiber array comprising an optical fiber ribbon on which a coating resin layer is formed, wherein an optical fiber core wire is fixed to the groove via an adhesive, and an adhesive is applied to the coating resin layer holding portion. The optical fiber core wire and the coating resin layer are fixed to each other with the adhesive, and the adhesive is a cured product of an epoxy-based or acrylate-based UV-curable resin composition.

【0016】第一の本発明の光ファイバアレイでは、光
ファイバ芯線と被覆樹脂層とが、基板上面に形成された
溝と被覆樹脂層保持部とに、紫外線硬化型組成物の硬化
物(以下、紫外線硬化型接着剤ともいう)を介して確実
に固定されており、該光ファイバアレイを光学素子に接
続する際や、該光ファイバアレイに外部から力が加わっ
た際にも、光ファイバ芯線の位置ズレが発生することが
なく、正確に光信号を伝送することができる。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention, the optical fiber core wire and the coating resin layer, the groove formed on the upper surface of the substrate and the coating resin layer holding portion, are cured products of the ultraviolet curable composition (hereinafter , UV curable adhesive), and the optical fiber core wire is securely connected to the optical fiber array even when the optical fiber array is connected to an optical element or when an external force is applied to the optical fiber array. It is possible to accurately transmit an optical signal without causing a positional deviation.

【0017】第一の本発明の光ファイバアレイについて
図面を参照しながら説明する。図1(a)は、第一の本
発明の光ファイバアレイの一例を模式的に示す部分斜視
図であり、(b)は、(a)のA−A線断面図であり、
(c)は、(a)のB−B線断面図である。
The optical fiber array according to the first aspect of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1A is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the first aspect of the present invention, and FIG. 1B is a sectional view taken along the line AA of FIG.
(C) is a BB line sectional view of (a).

【0018】図1に示すように、光ファイバアレイ10
0では、基板151上面に、複数のV溝157が並列に
形成され、このV溝157のそれぞれに、光ファイバリ
ボン110の光ファイバ芯線115が接着剤159を介
して固定されている。また、基板151上面には、溝1
57とは別に、光ファイバ芯線115と、被覆樹脂層1
13とを固定するための被覆樹脂層保持部158が形成
されており、この被覆樹脂層保持部158に、光ファイ
バ芯線115と被覆樹脂層113とが接着剤159を介
して固定されている。なお、図中、111はコア、11
2はクラッドである。
As shown in FIG. 1, the optical fiber array 10
In No. 0, a plurality of V grooves 157 are formed in parallel on the upper surface of the substrate 151, and the optical fiber core wires 115 of the optical fiber ribbon 110 are fixed to the respective V grooves 157 with an adhesive 159. In addition, the groove 1 is formed on the upper surface of the substrate 151.
Separately from 57, the optical fiber core wire 115 and the coating resin layer 1
A coating resin layer holding portion 158 for fixing the optical fiber core wire 115 and the coating resin layer 113 is fixed to the coating resin layer holding portion 158 with an adhesive 159. In the figure, 111 is a core, 11
2 is a clad.

【0019】また、被覆樹脂層を固定する部分は、溝1
57を形成した溝形成面よりも低くなっており、この溝
形成面と被覆樹脂層を固定する部分との境目は、被覆樹
脂層を固定する部分に向かって下るような傾斜面となっ
ている。溝形成面と被覆樹脂層を固定する部分との境目
は、垂直な壁面であってもよいが、光ファイバ芯線にか
かる負荷を軽減することができる点から、図1に示すよ
うな傾斜面であることが望ましい。なお、本明細書にお
いては、溝形成面と被覆樹脂層保持部との境目の壁面も
被覆樹脂層保持部に含むこととする。
The portion for fixing the coating resin layer is the groove 1
It is lower than the groove forming surface on which 57 is formed, and the boundary between this groove forming surface and the portion for fixing the coating resin layer is an inclined surface that descends toward the portion for fixing the coating resin layer. . The boundary between the groove forming surface and the portion for fixing the coating resin layer may be a vertical wall surface, but since the load applied to the optical fiber core can be reduced, an inclined surface as shown in FIG. 1 is used. Is desirable. In the present specification, the wall surface of the boundary between the groove forming surface and the coating resin layer holding portion is also included in the coating resin layer holding portion.

【0020】また、上記被覆樹脂層保持部の形状は、光
ファイバ芯線をその周囲の被覆樹脂層ごと収納すること
ができる凹形状であってもよい。なお、ここでいう凹形
状としては、例えば、図1に示す被覆樹脂層保持部の側
方外縁部に基板の上面と同一の高さか、または、これよ
りも低い壁面が設けられたような形状等が挙げられる。
Further, the shape of the coating resin layer holding portion may be a concave shape capable of accommodating the optical fiber core wire together with the surrounding coating resin layer. Note that the concave shape referred to here is, for example, a shape in which a wall surface having the same height as the upper surface of the substrate or a lower wall surface than the upper surface of the substrate is provided on the lateral outer edge of the coating resin layer holding portion shown in FIG. Etc.

【0021】光ファイバ芯線および被覆樹脂層を固定す
る接着剤159は、ともにエポキシ系またはアクリレー
ト系の紫外線硬化型接着剤(紫外線硬化型樹脂組成物の
硬化物)である。後述するように、第一の本発明の光フ
ァイバアレイを製造する際に、基板の側面から未硬化の
接着剤を溝と光ファイバ芯線との間隙に流し込むと、表
面張力により該間隙に未硬化の接着剤が充填されること
となるのであるが、上記したエポキシ系またはアクリレ
ート系の紫外線硬化型樹脂組成物を用いることにより、
確実に溝と光ファイバ芯線との間隙が未硬化の接着剤
(紫外線硬化型樹脂組成物)で充填されることとなる。
その結果、光ファイバ芯線が紫外線硬化型接着剤を介し
て溝に固定されることとなり、光ファイバ芯線の位置ズ
レが発生しない。また、この紫外線硬化型接着剤は、被
覆樹脂層を被覆樹脂層保持部に固定する接着剤としても
適している。なお、光ファイバ芯線を固定する接着剤と
は、図1中、159aと示す接着剤であり、被覆樹脂層
を固定する接着剤とは、図1中、159bと示す接着剤
である。
The adhesive 159 for fixing the optical fiber core wire and the coating resin layer is both an epoxy or acrylate ultraviolet curable adhesive (cured product of an ultraviolet curable resin composition). As will be described later, when manufacturing the optical fiber array of the first aspect of the present invention, when an uncured adhesive is poured into the gap between the groove and the optical fiber core wire from the side surface of the substrate, uncured in the gap due to surface tension. The adhesive will be filled, but by using the above epoxy or acrylate ultraviolet curable resin composition,
The gap between the groove and the optical fiber core is surely filled with the uncured adhesive (ultraviolet curable resin composition).
As a result, the optical fiber core wire is fixed in the groove via the ultraviolet curable adhesive, and the positional deviation of the optical fiber core wire does not occur. Further, this ultraviolet curable adhesive is also suitable as an adhesive for fixing the coating resin layer to the coating resin layer holding portion. The adhesive for fixing the optical fiber core wire is an adhesive indicated by 159a in FIG. 1, and the adhesive for fixing the coating resin layer is an adhesive indicated by 159b in FIG.

【0022】また、上記紫外線硬化型接着剤は、その一
部がフッ素化されていることが望ましい。フッ素化する
ことにより、硬化した接着剤で水が生成しにくく、耐湿
性が向上することとなる。また、絶縁性、耐熱性、耐薬
品性等も向上することとなる。
Further, it is desirable that a part of the ultraviolet curable adhesive is fluorinated. By fluorinating, it is difficult for water to be generated by the cured adhesive, and the moisture resistance is improved. In addition, insulation, heat resistance, chemical resistance, etc. are also improved.

【0023】上記紫外線硬化型樹脂組成物の粘度は、2
00〜2000mPa・sが望ましい。上記粘度が20
0mPa・s未満では、粘度が低すぎるため、溝と光フ
ァイバ芯線との間隙に流し込んだ紫外線硬化型樹脂組成
物が硬化前に流出してくるおそれがあり、2000mP
a・sを超えると、溝と光ファイバ芯線との間隙が完全
に充填されないことがある。
The viscosity of the ultraviolet curable resin composition is 2
00 to 2000 mPa · s is desirable. The above viscosity is 20
If the viscosity is less than 0 mPa · s, the viscosity is too low, and thus the UV curable resin composition that has flowed into the gap between the groove and the optical fiber core wire may flow out before curing.
If it exceeds a · s, the gap between the groove and the optical fiber core wire may not be completely filled.

【0024】また、第一の本発明の光ファイバアレイで
は、上記光ファイバ芯線を固定する紫外線硬化型樹脂組
成物の粘度が、200〜2000mPa・sであり、上
記被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型樹脂組成物の粘度
が、5000〜30000mPa・sであることも望ま
しい。また、上記被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型樹
脂組成物の粘度は、5000〜20000mPa・sで
あることがより望ましい。光ファイバ芯線を固定する紫
外線硬化型樹脂組成物として、上記範囲の粘度を有する
樹脂組成物を用いることにより、樹脂組成物が光ファイ
バ芯線と溝との間隙に確実に充填されることとなり、被
覆樹脂層を固定する紫外線硬化型樹脂組成物として、上
記範囲の粘度を有する樹脂組成物を用いる場合には、被
覆樹脂層の周囲に樹脂組成物を塗布しやすい。なお、紫
外線硬化型樹脂組成物の粘度の調整は、溶剤や各種添加
剤の配合量を調整することにより行えばよく、後述する
市販品に溶剤や各種添加剤を配合して粘度を調整したも
のを用いてもよい。また、本明細書において樹脂組成物
の粘度とは、特にことわりのない限り、25℃における
粘度をいう。
In the optical fiber array according to the first aspect of the present invention, the viscosity of the ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core is 200 to 2000 mPa · s, and the ultraviolet curing for fixing the coating resin layer is performed. It is also desirable that the viscosity of the mold resin composition is 5,000 to 30,000 mPa · s. Further, the viscosity of the ultraviolet curable resin composition for fixing the coating resin layer is more preferably 5000 to 20000 mPa · s. By using a resin composition having a viscosity in the above range as the ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire, the resin composition is reliably filled in the gap between the optical fiber core wire and the groove, and the coating When a resin composition having a viscosity in the above range is used as the ultraviolet curable resin composition for fixing the resin layer, it is easy to apply the resin composition around the coating resin layer. The adjustment of the viscosity of the ultraviolet curable resin composition may be carried out by adjusting the blending amount of a solvent and various additives, and the viscosity is adjusted by blending a solvent and various additives in a commercial product described later. May be used. In addition, in the present specification, the viscosity of the resin composition refers to the viscosity at 25 ° C., unless otherwise specified.

【0025】上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物
の具体例としては、例えば、ダイキン工業社製、オプト
ダインUV−1000(粘度:250mPa・s)、オ
プトダインUV−1100(粘度:250mPa・
s)、オプトダインUV−2100(粘度:290mP
a・s)、オプトダインUV−3100(粘度:480
mPa・s)、オプトダインUV−3200(粘度:3
10mPa・s)、オプトダインUV−4000(粘
度:450mPa・s)や、NTTアドバンステクノロ
ジ社製、NA3925M(粘度:185mPa・s)、
AT9390(粘度:600mPa・s)等が挙げられ
る。
Specific examples of the above-mentioned epoxy-based UV-curable resin composition are, for example, Daikin Industries, Ltd., Optodyne UV-1000 (viscosity: 250 mPa · s), Optodyne UV-1100 (viscosity: 250 mPa · s).
s), Optodyne UV-2100 (viscosity: 290 mP
a ・ s), Optodyne UV-3100 (viscosity: 480
mPa · s), Optodyne UV-3200 (viscosity: 3
10 mPa · s), Optodyne UV-4000 (viscosity: 450 mPa · s), NTT Advance Technology's NA3925M (viscosity: 185 mPa · s),
AT9390 (viscosity: 600 mPa · s) and the like can be mentioned.

【0026】上記アクリレート系の紫外線硬化型樹脂組
成物の具体例としては、例えば、ダイキン工業社製、オ
プトダインUV−2000(粘度:360mPa・
s)、オプトダインUV−3000(粘度:1600m
Pa・s)や、NTTアドバンステクノロジ社製、AT
6001 高Tg品(粘度:200〜800mPa・
s)、AT6177(粘度:1470mPa・s)や、
Ablestik社製、Ablelux A4083
(粘度:300mPa・s)、Ablelux A40
65(粘度:850mPa・s)、Ablelux A
4031(粘度:800mPa・s)等が挙げられる。
Specific examples of the acrylate-based UV-curable resin composition include Optodyne UV-2000 (viscosity: 360 mPa.
s), Optodyne UV-3000 (viscosity: 1600 m
Pa · s), NTT Advanced Technology Co., AT
6001 High Tg product (viscosity: 200-800 mPa.
s), AT6177 (viscosity: 1470 mPa · s),
Ablelux A4083 manufactured by Ablestik
(Viscosity: 300 mPa · s), Ablelux A40
65 (viscosity: 850 mPa · s), Ablelux A
4031 (viscosity: 800 mPa · s) and the like.

【0027】また、被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型
樹脂組成物として、粘度が5000〜30000mPa
・sの紫外線硬化型樹脂組成物を用いる場合、例えば、
NTTアドバンステクノロジ社製、AT9575(粘
度:30000mPa・s)等のエポキシ系の紫外線硬
化型樹脂組成物を用いることができ、さらに、例えば、
NTTアドバンステクノロジ社製、AT8083(粘
度:20000mPa・s)や、Ablestik社
製、Ablelux A4088(粘度:15000m
Pa・s)、Ablelux A4025(粘度:50
00mPa・s)等のアクリレート系の紫外線硬化型樹
脂組成物を用いることができる。
The UV curable resin composition for fixing the coating resin layer has a viscosity of 5,000 to 30,000 mPas.
When the ultraviolet curable resin composition of s is used, for example,
An epoxy-based ultraviolet curable resin composition such as AT9575 (viscosity: 30000 mPa · s) manufactured by NTT Advanced Technology can be used, and further, for example,
AT8083 (viscosity: 20000 mPa · s) manufactured by NTT Advanced Technology, or Ablelux A4088 (viscosity: 15000 m) manufactured by Ablestik.
Pa ・ s), Ablelux A4025 (viscosity: 50
An acrylate-based UV-curable resin composition such as 00 mPa · s) can be used.

【0028】また、上記アクリレート系の紫外線硬化型
接着剤の具体例としては、40〜50重量%のアクリレ
ートオリゴマー、1〜10重量%のビニルエステル樹
脂、45〜55重量%のアクリレート系モノマー、およ
び、1〜10重量%の重合開始剤を含む紫外線硬化型樹
脂組成物も挙げられる。
Specific examples of the acrylate-based UV-curable adhesive include 40 to 50% by weight of acrylate oligomer, 1 to 10% by weight of vinyl ester resin, 45 to 55% by weight of acrylate monomer, and An ultraviolet curable resin composition containing 1 to 10% by weight of a polymerization initiator is also included.

【0029】また、上記アクリレートオリゴマーや上記
アクリレート系モノマーは、その一部がフッ素化されて
いることが望ましい。このように、アクリレートオリゴ
マー等の一部がフッ素化されている場合、上述した効果
を得ることができるとともに、紫外線硬化型樹脂組成物
が透光性に優れたものとなるため、紫外線照射時に、樹
脂組成物全体が短時間で硬化することとなる。
Further, it is desirable that a part of the acrylate oligomer or the acrylate-based monomer is fluorinated. As described above, when a part of the acrylate oligomer or the like is fluorinated, the above-described effects can be obtained, and the ultraviolet-curable resin composition has excellent translucency, and therefore, at the time of ultraviolet irradiation, The entire resin composition will be cured in a short time.

【0030】上記紫外線硬化型樹脂組成物は、必要に応
じて、樹脂粒子、無機粒子、金属粒子等の粒子、光沢
剤、反応安定剤等の添加剤を含んでいてもよい。これら
の添加剤を含むことにより、流動性や硬化度の調整等を
図ることができる。
The UV-curable resin composition may contain, if necessary, resin particles, particles such as inorganic particles and metal particles, and additives such as a brightener and a reaction stabilizer. By including these additives, the fluidity and the degree of curing can be adjusted.

【0031】上記樹脂粒子としては、例えば、熱硬化性
樹脂、熱可塑性樹脂等からなるものが挙げられ、具体的
には、例えば、アミノ樹脂(メラミン樹脂、尿素樹脂、
グアナミン樹脂)、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フ
ェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレン樹脂、
ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂、ビスマレイミド−ト
リアジン樹脂等からなるものが挙げられる。これらは単
独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。また、
上記樹脂粒子としては、アクリロニトリル−ブタジエン
ゴム、ポリクロロプレンゴム等のゴムからなる粒子を用
いることもできる。
Examples of the resin particles include those made of thermosetting resin, thermoplastic resin, and the like. Specifically, for example, amino resin (melamine resin, urea resin,
(Guanamine resin), epoxy resin, phenol resin, phenoxy resin, polyimide resin, polyphenylene resin,
Examples include polyolefin resins, fluororesins, bismaleimide-triazine resins, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Also,
As the resin particles, particles made of rubber such as acrylonitrile-butadiene rubber and polychloroprene rubber can also be used.

【0032】上記無機粒子としては、アルミナ、水酸化
アルミニウム等のアルミニウム化合物、炭酸カルシウ
ム、水酸化カルシウム等のカルシウム化合物、炭酸カリ
ウム等のカリウム化合物、マグネシア、ドロマイト、塩
基性炭酸マグネシウム等のマグネシウム化合物、シリ
カ、ゼオライト等のケイ素化合物、チタニア等のチタン
化合物等からなるものが挙げられる。これらは単独で用
いてもよいし、2種以上併用してもよいまた、上記無機
粒子としては、リンやリン化合物からなるものを用いる
こともできる。
Examples of the inorganic particles include aluminum compounds such as alumina and aluminum hydroxide, calcium compounds such as calcium carbonate and calcium hydroxide, potassium compounds such as potassium carbonate, magnesium compounds such as magnesia, dolomite and basic magnesium carbonate, Examples thereof include silicon compounds such as silica and zeolite, titanium compounds such as titania, and the like. These may be used alone or in combination of two or more, and as the above-mentioned inorganic particles, phosphorus or a phosphorus compound may be used.

【0033】上記金属粒子としては、例えば、金、銀、
銅、スズ、亜鉛、ステンレス、アルミニウム、ニッケ
ル、鉄、鉛等からなるものが挙げられる。これらは単独
で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。これらの
粒子を含むことにより、熱膨張係数の調整や難燃性の向
上等を図ることができる。
Examples of the metal particles include gold, silver,
Examples include copper, tin, zinc, stainless steel, aluminum, nickel, iron and lead. These may be used alone or in combination of two or more. By including these particles, adjustment of the thermal expansion coefficient and improvement of flame retardancy can be achieved.

【0034】上記紫外線硬化型樹脂組成物は、硬化後の
屈折率が1.4〜1.6であることが望ましく、硬化後
の光透過率が90%以上であることが望ましい。なお、
本明細書において、屈折率とは、589nmの光を通過
させたときの屈折率をいうこととし、光透過率とは、波
長500〜1600nmの光についての透過率をいうこ
ととする。
The above ultraviolet curable resin composition preferably has a refractive index of 1.4 to 1.6 after curing and a light transmittance of 90% or more after curing. In addition,
In this specification, the refractive index means a refractive index when light of 589 nm is transmitted, and the light transmittance means a transmittance of light having a wavelength of 500 to 1600 nm.

【0035】また、上記紫外線硬化型樹脂組成物は、硬
化後の熱膨張係数が3×10−5〜11×10−5(1
/℃)であることが望ましい。光ファイバアレイを使用
する際、熱膨張等に起因して光ファイバ芯線に位置ズレ
が発生することを防止することができるからである。な
お、本明細書において、熱膨張係数とは、25〜80℃
における平均の熱膨張係数をいうこととする。
The UV curable resin composition has a thermal expansion coefficient of 3 × 10 −5 to 11 × 10 −5 (1) after curing.
/ ° C.) is desirable. This is because when using the optical fiber array, it is possible to prevent the positional deviation of the optical fiber core wire due to thermal expansion or the like. In addition, in this specification, a thermal expansion coefficient is 25-80 degreeC.
The average coefficient of thermal expansion in.

【0036】さらに、上記紫外線硬化型樹脂組成物は、
硬化収縮率が3〜9%であることが望ましい。上記紫外
線硬化型樹脂組成物を硬化させる際、光ファイバ芯線に
位置ズレが発生することを防止することができるからで
ある。
Further, the above ultraviolet curable resin composition is
It is desirable that the curing shrinkage is 3 to 9%. This is because it is possible to prevent the positional deviation from occurring in the optical fiber core wire when the above ultraviolet curable resin composition is cured.

【0037】なお、図1に示す光ファイバアレイ100
においては、4本の光ファイバ芯線が基板上の溝に固定
されているが、第一の本発明の光ファイバアレイにおい
て溝に固定される光ファイバ芯線の本数は4本に限定さ
れるわけではなく、3本以下であってもよいし、5本以
上であってもよい。
The optical fiber array 100 shown in FIG.
In, the four optical fiber core wires are fixed to the groove on the substrate, but the number of the optical fiber core wires fixed to the groove in the optical fiber array of the first aspect of the present invention is not limited to four. Alternatively, the number may be three or less, or may be five or more.

【0038】また、第一の本発明の光ファイバアレイで
は、基板上の少なくとも一部に、光ファイバ芯線を覆う
ように接着剤層を介して蓋部が取り付けられていること
が望ましい。なお、上記接着剤層は、基板の溝に光ファ
イバ芯線を固定する紫外線硬化型接着剤と同一の樹脂組
成物が硬化してなるものであることが望ましい。上記蓋
部の形状は、光ファイバアレイの上面を保護することが
できる形状であれば特に限定されず、例えば、板状体で
あってもよいが、光ファイバ芯線の一部を一括して収納
する凹部が形成されている形状が望ましい。以下、蓋部
を有する光ファイバアレイについて、図面を参照しなが
ら説明する。
Further, in the optical fiber array of the first aspect of the present invention, it is desirable that a lid is attached to at least a part of the substrate via an adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire. The adhesive layer is preferably formed by curing the same resin composition as the ultraviolet curable adhesive that fixes the optical fiber core wire in the groove of the substrate. The shape of the lid is not particularly limited as long as it can protect the upper surface of the optical fiber array, and may be, for example, a plate-like member, but a part of the optical fiber core wire can be stored together. A shape in which a concave portion is formed is desirable. Hereinafter, an optical fiber array having a lid will be described with reference to the drawings.

【0039】図2(a)は、蓋部が取り付けられた第一
の本発明の光ファイバアレイの一例を模式的に示す部分
斜視図であり、(b)は、光ファイバアレイに取り付け
た蓋部のみを示す斜視図であり、(c)は、(a)のA
−A線断面図であり、(d)は、(a)のB−B線断面
図である。図2に示すように光ファイバアレイ101で
は、光ファイバリボン110を収納した基板151上
に、蓋部160が取り付けられており、この蓋部160
には、光ファイバ芯線115の一部(光ファイバ芯線の
うち溝157に収納されなかった部分)を一括して収納
する凹部161が形成されている。また、この凹部16
1と光ファイバ芯線との間隙には接着剤層169が形成
されている。また、基板151の外縁部と蓋部160の
外縁部とは、接着剤層(図示せず)を介して密着してい
る。なお、図中、159は接着剤であり、そのうち、1
59aは、光ファイバ芯線を固定するための紫外線硬化
型接着剤であり、159bは、被覆樹脂層を固定するた
めの紫外線硬化型接着剤である。
FIG. 2 (a) is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the first aspect of the present invention to which a lid is attached, and FIG. 2 (b) is a lid attached to the optical fiber array. It is a perspective view which shows only a part, (c) is A of (a).
FIG. 6A is a sectional view taken along line A-A, and FIG. 7D is a sectional view taken along line BB in FIG. As shown in FIG. 2, in the optical fiber array 101, the lid portion 160 is attached on the substrate 151 that houses the optical fiber ribbon 110.
A recessed portion 161 is formed on one side to collectively accommodate a part of the optical fiber core wire 115 (a portion of the optical fiber core wire which is not accommodated in the groove 157). In addition, the recess 16
An adhesive layer 169 is formed in the gap between the optical fiber 1 and the optical fiber core wire. The outer edge of the substrate 151 and the outer edge of the lid 160 are in close contact with each other via an adhesive layer (not shown). In the figure, 159 is an adhesive, of which 1
Reference numeral 59a is an ultraviolet curable adhesive for fixing the optical fiber core wire, and 159b is an ultraviolet curable adhesive for fixing the coating resin layer.

【0040】ここで、蓋部に形成された凹部と光ファイ
バ芯線の間隙とに充填された接着剤層169もまた、エ
ポキシ系またはアクリレート系の紫外線硬化型接着剤で
あることが望ましく、その具体例としては、上述したよ
うな、基板に形成した溝と光ファイバ芯線との間隙に充
填する紫外線硬化型接着剤と同様のもの等が挙げられ
る。
Here, it is desirable that the adhesive layer 169 filled in the recess formed in the lid portion and the gap between the optical fiber core wires is also an epoxy or acrylate ultraviolet curing adhesive. Examples thereof include the same ones as the above-mentioned UV-curable adhesive that fills the gap between the groove formed in the substrate and the optical fiber core wire as described above.

【0041】また、蓋部の形状を光ファイバ芯線の一部
を一括して収納する凹部を有する形状とする場合、該凹
部の深さは、光ファイバ芯線の直径の95%以下である
ことが望ましい。上記凹部の深さが、光ファイバ芯線の
直径の95%を超えると、基板上面に形成した溝の深さ
によっては、凹部中の光ファイバ芯線の占める部分が少
なく、光ファイバ芯線が上下方向に位置ズレを起すこと
がある。なお、上記凹部の深さは、光ファイバ芯線の該
凹部に収納される部分の高さと同一であることが望まし
い。
When the shape of the lid has a recess for accommodating a part of the optical fiber core wire in a lump, the depth of the recess is 95% or less of the diameter of the optical fiber core wire. desirable. When the depth of the concave portion exceeds 95% of the diameter of the optical fiber core wire, the portion occupied by the optical fiber core wire in the concave portion is small depending on the depth of the groove formed on the upper surface of the substrate, and the optical fiber core wire moves vertically. It may cause misalignment. The depth of the recess is preferably the same as the height of the portion of the optical fiber core wire that is housed in the recess.

【0042】図1および2に示したような第一の本発明
の光ファイバアレイにおいて、被覆樹脂層113、11
4が除去された光ファイバ芯線の表面には、粗化面(図
示せず)が形成されていることが望ましい。光ファイバ
芯線と紫外線硬化型接着剤との密着性が向上することと
なるからである。上記粗化面は、その平均粗度Raが1
〜100nmであることが望ましい。平均粗度Raが、
1nm未満では、光ファイバ芯線と紫外線硬化型接着剤
との密着性はほとんど向上せず、一方、平均粗度Raが
100nmを超えると、光ファイバ芯線の表面の凹凸が
大きくなるため、光ファイバ芯線の断面の形状が円形状
からはずれ、光ファイバ芯線の位置ズレが発生しやすく
なり、光信号の伝送に悪影響を及ぼすことがある。上記
粗化面の平均粗度は、その下限が10nmであることが
より望ましく、その上限が50nmであることがより望
ましい。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention as shown in FIGS. 1 and 2, the coating resin layers 113, 11
It is desirable that a roughened surface (not shown) is formed on the surface of the optical fiber core wire from which 4 has been removed. This is because the adhesion between the optical fiber core wire and the ultraviolet curable adhesive is improved. The roughened surface has an average roughness Ra of 1
It is desirable that the thickness is ˜100 nm. The average roughness Ra is
If it is less than 1 nm, the adhesion between the optical fiber core wire and the ultraviolet curable adhesive is hardly improved, while if the average roughness Ra exceeds 100 nm, the unevenness of the surface of the optical fiber core wire becomes large, so that the optical fiber core wire becomes large. The cross-sectional shape of the optical fiber deviates from the circular shape, the optical fiber core wire is likely to be displaced, and the optical signal transmission may be adversely affected. The lower limit of the average roughness of the roughened surface is more preferably 10 nm, and the upper limit thereof is more preferably 50 nm.

【0043】また、上記粗化面を形成する方法は特に限
定されないが、フッ化物を含む粗化液を用いて形成され
ていることが望ましい。上記範囲の平均粗度Raを有す
る粗化面を、短時間で形成することができるからであ
る。
The method for forming the roughened surface is not particularly limited, but it is preferable that the roughened surface is formed using a roughening liquid containing fluoride. This is because a roughened surface having an average roughness Ra within the above range can be formed in a short time.

【0044】上記フッ化物を含む粗化液としては、例え
ば、HF水溶液、HF−NHF混合液、NaF水溶
液、BaF水溶液、KF水溶液、CaF水溶液、X
eF水溶液等が挙げられる。これらのなかでは、HF
を含む溶液が望ましい。光ファイバリボンに悪影響(光
ファイバ芯線の変形等)を及ぼすことなく、所望の平均
粗度Raを有する粗化面を短時間で形成することができ
るからであり、特に、石英系光ファイバや多成分系光フ
ァイバの表面に粗化面を形成するのに適している。
As the roughening liquid containing the above-mentioned fluoride, for example, HF aqueous solution, HF-NH 4 F mixed liquid, NaF aqueous solution, BaF 2 aqueous solution, KF aqueous solution, CaF 2 aqueous solution, X
Examples include eF 2 aqueous solution. Among these, HF
A solution containing is desirable. This is because a roughened surface having a desired average roughness Ra can be formed in a short time without adversely affecting the optical fiber ribbon (deformation of the optical fiber core wire, etc.). It is suitable for forming a roughened surface on the surface of a component type optical fiber.

【0045】また、図1および2に示す光ファイバアレ
イ100、101においては、複数のV溝157が形成
された基板151に、一端部の被覆樹脂層が除去される
ことにより光ファイバ芯線が露出した光ファイバリボン
110が固定されている。上記光ファイバリボンとして
は特に限定されず、従来公知のものを用いることがで
き、例えば、図1に示すようなコア111とクラッド1
12とからなる光ファイバ芯線115の周囲に一次被覆
樹脂層113が形成され、この一次被覆樹脂層113で
被覆された光ファイバ芯線115が並列に配置された状
態で二次被覆樹脂層114により一括して被覆されてい
る光ファイバリボン110を用いることができる。
Further, in the optical fiber arrays 100 and 101 shown in FIGS. 1 and 2, the optical fiber core wire is exposed by removing the coating resin layer at one end on the substrate 151 on which the plurality of V grooves 157 are formed. The optical fiber ribbon 110 is fixed. The optical fiber ribbon is not particularly limited, and a conventionally known one can be used. For example, the core 111 and the clad 1 as shown in FIG.
A primary coating resin layer 113 is formed around an optical fiber core wire 115 composed of 12 and the optical fiber core wires 115 covered with the primary coating resin layer 113 are arranged in parallel to each other and are collectively covered by the secondary coating resin layer 114. The coated optical fiber ribbon 110 can be used.

【0046】光ファイバリボンを構成する光ファイバ芯
線115としては、例えば、石英ガラス(SiO)を
主成分とする石英系光ファイバ、ソーダ石灰、ガラス、
ホウ硅ガラス等を主成分とする多成分系光ファイバ、シ
リコーン樹脂やアクリル樹脂等のプラスチックを主成分
とするプラスチック系光ファイバ等が挙げられる。これ
らのなかでは、石英系光ファイバが望ましい。
As the optical fiber core wire 115 constituting the optical fiber ribbon, for example, a silica optical fiber containing silica glass (SiO 2 ) as a main component, soda lime, glass,
Examples thereof include a multi-component optical fiber containing borosilicate glass as a main component, a plastic optical fiber containing a plastic such as silicone resin or acrylic resin as a main component, and the like. Of these, quartz optical fiber is desirable.

【0047】一次被覆樹脂層113は、光ファイバ芯線
が傷付いたりすること等を防止する保護層としての役割
を果たしている。また、その材料としては特に限定され
ず、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン
樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィ
ン樹脂、フッ素樹脂等の熱硬化性樹脂や、メタクリル酸
やアクリル酸等を用い、上述した熱硬化性樹脂の熱硬化
基を(メタ)アクリル化反応させた感光性樹脂等が挙げ
られる。なお、上記一次被覆樹脂層の層数は1層に限定
されず、2層以上であってもよい。
The primary coating resin layer 113 serves as a protective layer for preventing the optical fiber core wire from being damaged. Further, the material is not particularly limited, for example, thermosetting resin such as epoxy resin, silicone resin, urethane resin, phenol resin, polyimide resin, polyolefin resin, fluororesin, methacrylic acid or acrylic acid, The photosensitive resin etc. which made the (meth) acrylic reaction of the thermosetting group of the thermosetting resin mentioned above are mentioned. The number of the primary coating resin layers is not limited to one and may be two or more.

【0048】また、二次被覆樹脂層114は、一次被覆
樹脂層がその周囲に形成された光ファイバ芯線を保護す
るとともに、光ファイバ芯線が並列に配置された光ファ
イバリボンの形態を保持する役割を果たしている。ま
た、その材料としては特に限定されず、上記一次被覆樹
脂層の材料と同様の熱硬化性樹脂や感光性樹脂等が挙げ
られる。なお、上記二次被覆樹脂層の層数は1層に限定
されず、2層以上であってもよい。
The secondary coating resin layer 114 serves to protect the optical fiber core wire around which the primary coating resin layer is formed and to maintain the shape of the optical fiber ribbon in which the optical fiber core wires are arranged in parallel. Plays. The material is not particularly limited, and examples thereof include the same thermosetting resin and photosensitive resin as the material of the primary coating resin layer. The number of the secondary coating resin layers is not limited to one and may be two or more.

【0049】また、光ファイバアレイ100、101に
おいては、その一端部の被覆樹脂層が除去された1個の
光ファイバリボンが基板に固定されているが、第一の本
発明の光ファイバアレイを構成する光ファイバリボン
は、複数の光ファイバリボン(例えば、2個)が積み重
ねられた積層光ファイバリボンであってもよい。積層光
ファイバリボンを用いる場合には、基板の溝に、複数の
光ファイバ芯線を高密度で並列に配置することができ
る。
In the optical fiber arrays 100 and 101, one optical fiber ribbon from which the coating resin layer at one end is removed is fixed to the substrate. The constituting optical fiber ribbon may be a laminated optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber ribbons (for example, two pieces) are stacked. When a laminated optical fiber ribbon is used, a plurality of optical fiber core wires can be arranged in parallel at high density in the groove of the substrate.

【0050】図3は、積層光ファイバリボンを用いた第
一の本発明の光ファイバアレイの一例を模式的に示す部
分斜視図である。図3に示すように、光ファイバアレイ
200では、積層光ファイバリボン210の一端部の露
出した光ファイバ芯線235、245が基板251上の
V溝257に紫外線硬化型接着剤259を介して固定さ
れている。また、基板251上面には、溝257とは別
に、光ファイバ芯線235、245と被覆樹脂層とを固
定するための被覆樹脂層保持部258が形成されてお
り、この被覆樹脂層保持部258に、光ファイバ芯線2
35,245と被覆樹脂層とが紫外線硬化型接着剤25
9を介して固定されている。また、このような、積層光
ファイバリボンを用いた光ファイバアレイにおいても、
被覆樹脂層保持部の形状は、光ファイバ芯線をその周囲
の被覆樹脂層ごと固定することができる凹形状であって
もよい。
FIG. 3 is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the first invention using the laminated optical fiber ribbon. As shown in FIG. 3, in the optical fiber array 200, the exposed optical fiber core wires 235 and 245 at one end of the laminated optical fiber ribbon 210 are fixed to the V groove 257 on the substrate 251 via the ultraviolet curable adhesive 259. ing. In addition to the groove 257, a coating resin layer holding portion 258 for fixing the optical fiber core wires 235 and 245 and the coating resin layer is formed on the upper surface of the substrate 251, and the coating resin layer holding portion 258 is provided in the coating resin layer holding portion 258. , Optical fiber core wire 2
35, 245 and the coating resin layer are ultraviolet curable adhesives 25
It is fixed through 9. Also, in such an optical fiber array using a laminated optical fiber ribbon,
The shape of the coating resin layer holding portion may be a concave shape that allows the optical fiber core wire to be fixed together with the surrounding coating resin layer.

【0051】また、積層光ファイバリボン210は、そ
れぞれ一端部の光ファイバ芯線が露出した2本の光ファ
イバリボン230、240が積み重ねられ、下段の光フ
ァイバリボン240の露出した光ファイバ芯線245
と、上段の光ファイバリボン230の露出した光ファイ
バ芯線235とが交互に配置されている。
In the laminated optical fiber ribbon 210, two optical fiber ribbons 230 and 240 each having an exposed optical fiber core wire at one end are stacked, and the exposed optical fiber core wire 245 of the lower optical fiber ribbon 240 is stacked.
And the exposed optical fiber core wires 235 of the upper optical fiber ribbon 230 are alternately arranged.

【0052】また、積層光ファイバリボン210では、
露出した光ファイバ芯線235、245が同一の高さに
配置されるように、露出した光ファイバ芯線235、2
45は、それぞれが、その一部で曲げられている。な
お、積層光ファイバリボン210では、上段の光ファイ
バリボン230の露出した光ファイバ芯線235、およ
び、下段の光ファイバリボン240の露出した光ファイ
バ芯線245のそれぞれの一部が曲げられているが、両
者の光ファイバ芯線を同一の高さに配置することができ
るのであれば、上段の光ファイバリボンの露出した光フ
ァイバ芯線のみが曲げられていてもよいし、下段の光フ
ァイバリボンの露出した光ファイバ芯線のみが曲げられ
ていてもよい。
In the laminated optical fiber ribbon 210,
The exposed optical fiber core wires 235, 2 are arranged so that the exposed optical fiber core wires 235, 245 are arranged at the same height.
Each of 45 is bent at a part thereof. In the laminated optical fiber ribbon 210, a part of each of the exposed optical fiber core wire 235 of the upper optical fiber ribbon 230 and the exposed optical fiber core wire 245 of the lower optical fiber ribbon 240 is bent, If both optical fiber cores can be arranged at the same height, only the exposed optical fiber core of the upper optical fiber ribbon may be bent, or the exposed optical fiber of the lower optical fiber ribbon may be bent. Only the fiber core wire may be bent.

【0053】また、積層光ファイバリボン210におい
ては、上段の光ファイバリボン230と、下段の光ファ
イバリボン240とが、接着剤等を介して固定されてい
ることが望ましい。高密度で並列に配置した光ファイバ
芯線の位置ズレがより発生しにくくなるからである。な
お、ここで光ファイバリボン同士を固定するために用い
る接着剤としては、例えば、上述したエポキシ系または
アクリレート系の紫外線硬化型接着剤等が挙げられる。
また、その他、従来公知の接着剤も用いることができ
る。
In the laminated optical fiber ribbon 210, it is desirable that the upper optical fiber ribbon 230 and the lower optical fiber ribbon 240 are fixed to each other with an adhesive or the like. This is because the positional deviation of the optical fiber core wires arranged in high density in parallel is less likely to occur. Examples of the adhesive used here for fixing the optical fiber ribbons to each other include the above-mentioned epoxy-based or acrylate-based UV-curable adhesive.
In addition, conventionally known adhesives can also be used.

【0054】また、第一の本発明の光ファイバアレイで
は、光ファイバリボン(積層光ファイバリボンを含む)
が用いられているが、上述したような光ファイバリボン
に代えて、並列に並べられた複数本の単心の光ファイバ
が用いられてもよい。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention, an optical fiber ribbon (including a laminated optical fiber ribbon).
However, instead of the optical fiber ribbon as described above, a plurality of single-core optical fibers arranged in parallel may be used.

【0055】次に、第一の本発明の光ファイバアレイの
製造方法について説明する。 (1)上記光ファイバアレイを製造するには、まず、基
板に複数の溝を形成する。上記基板の材料としては特に
限定されず、外形加工を施した際の平坦性に優れ、鏡面
加工を施し易く、かつ、形状保持性に優れるものであれ
ばよい。具体的には、例えば、シリコン、炭化ケイ素、
アルミナ、窒化アルミニウム、ムライト、セラミック、
ガリウム砒素、ジルコニア、石英、ガラス等の無機材
料;銅、鉄、ニッケル等の金属材料;熱硬化性樹脂、熱
可塑性樹脂、感光性樹脂、これらの複合体等の有機材料
やこれらの有機材料にガラス繊維等の補強材を含浸させ
たもの等が挙げられる。
Next, a method of manufacturing the optical fiber array according to the first aspect of the present invention will be described. (1) To manufacture the optical fiber array, first, a plurality of grooves are formed in the substrate. The material of the substrate is not particularly limited as long as it is excellent in flatness when subjected to outer shape processing, easily subjected to mirror surface processing, and excellent in shape retention. Specifically, for example, silicon, silicon carbide,
Alumina, aluminum nitride, mullite, ceramic,
Inorganic materials such as gallium arsenide, zirconia, quartz and glass; metallic materials such as copper, iron and nickel; thermosetting resins, thermoplastic resins, photosensitive resins, organic materials such as composites thereof, and organic materials thereof Examples include those impregnated with a reinforcing material such as glass fiber.

【0056】これらのなかでは、熱や湿度による伸縮
(変形)が少なく、機械的強度に優れる点から無機材料
が望ましい。このような特性を有する無機材料からなる
基板では、光ファイバ芯線を固定した際に、特に、光フ
ァイバ芯線の変形やうねりが発生しにくく、光ファイバ
芯線を介して光信号を伝送する際に特に不都合が発生し
にくいからである。
Among these, an inorganic material is preferable because it is less likely to expand or contract (deform) due to heat or humidity and has excellent mechanical strength. In the substrate made of an inorganic material having such characteristics, when the optical fiber core wire is fixed, in particular, deformation or waviness of the optical fiber core wire is unlikely to occur, and particularly when transmitting an optical signal through the optical fiber core wire. This is because inconvenience is unlikely to occur.

【0057】上記基板に溝を形成する方法としては、例
えば、下記(i)〜(vi)の工程を経る方法等を用いる
ことができる。図4(a)〜(f)は、基板に溝を形成
する方法の一例を示す断面図である。
As a method of forming the groove on the substrate, for example, a method of passing through the following steps (i) to (vi) can be used. 4A to 4F are cross-sectional views showing an example of a method for forming a groove on a substrate.

【0058】(i)まず、基板151上にマスク層15
2(152a、152b)を形成する(図4(a)参
照)。なお、上記マスク層の層数は、図4に示すような
2層に限定されず、1層であってもよいし、3層以上で
あってもよい。
(I) First, the mask layer 15 is formed on the substrate 151.
2 (152a, 152b) are formed (see FIG. 4A). The number of mask layers is not limited to two as shown in FIG. 4 and may be one or three or more.

【0059】マスク層152を形成する方法としては、
例えば、スパッタリング、CVD、めっき等により薄膜
を形成する方法、熱酸化等により酸化膜を形成する方
法、これらを組み合わせた方法等を用いることができ
る。これらのなかでは、例えば、シリコンからなる基板
上にマスク層を形成する場合には、まず、熱酸化により
酸化膜(SiO膜)を形成し、次に、この酸化膜上
に、CVDにより薄膜を形成する方法が望ましい。この
ようなマスク層を形成することにより、後工程で任意の
部分にエッチング処理を施すことにより、任意の形状の
マスクを形成することができる。
As a method of forming the mask layer 152,
For example, a method of forming a thin film by sputtering, CVD, plating or the like, a method of forming an oxide film by thermal oxidation or the like, a method combining these, or the like can be used. Among these, for example, when forming a mask layer on a substrate made of silicon, first an oxide film (SiO 2 film) is formed by thermal oxidation, and then a thin film is formed on this oxide film by CVD. A method of forming is desirable. By forming such a mask layer, it is possible to form a mask having an arbitrary shape by subjecting an arbitrary portion to etching treatment in a later step.

【0060】(ii)次に、マスク層152上にレジスト
用樹脂層154を形成する(図4(b)参照)。具体的
には、予め粘度を調整しておいたレジスト用樹脂組成物
をスピンコータ、カーテンコータ、ロールコータ、印刷
等により塗布する方法や、予めフィルム状に成形してお
いたレジスト用樹脂フィルムを貼り付ける方法等を用い
ることができる。
(Ii) Next, a resist resin layer 154 is formed on the mask layer 152 (see FIG. 4B). Specifically, a method in which a resist resin composition whose viscosity has been adjusted in advance is applied by a spin coater, a curtain coater, a roll coater, printing, or the like, or a resist resin film which has been formed into a film shape in advance is attached. A method of attaching can be used.

【0061】上記レジスト用樹脂組成物やレジスト用樹
脂フィルムとしては、例えば、樹脂成分と、必要に応じ
て配合された硬化剤、粒子、ゴム成分、添加剤、反応安
定剤、溶剤等とからなるものが挙げられる。上記樹脂成
分としては、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感
光性樹脂、熱硬化性樹脂の一部が感光性基で置換された
樹脂、これらの複合樹脂等が挙げられる。
The resin composition for resist and the resin film for resist are composed of, for example, a resin component and a curing agent, particles, a rubber component, an additive, a reaction stabilizer, a solvent and the like which are blended as necessary. There are things. Examples of the resin component include a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photosensitive resin, a resin in which a part of the thermosetting resin is replaced with a photosensitive group, a composite resin of these, and the like.

【0062】具体的には、例えば、エポキシ樹脂、フェ
ノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポ
リフェニレン樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂等
の熱硬化性樹脂;これらの熱硬化性樹脂の熱硬化基(例
えば、エポキシ樹脂におけるエポキシ基)にメタクリル
酸やアクリル酸等を反応させ、アクリル基(感光性基)
を付与した樹脂;フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフ
ォン(PES)、ポリスルフォン(PSF)、ポリフェ
ニレンスルホン(PPS)、ポリフェニレンサルファイ
ド(PPES)、ポリフェニルエーテル(PPE)、ポ
リエーテルイミド(PI)等の熱可塑性樹脂;アクリル
樹脂、紫外線硬化樹脂等の感光性樹脂等が挙げられるこ
れらのなかでは、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリ
イミド樹脂、アクリル樹脂、紫外線硬化樹脂が望まし
い。後工程で、レジスト用樹脂層下のマスク層にエッチ
ング液を用いた処理を施す際に、該エッチング液に対す
る耐性に優れるからである。上記硬化剤としては、イミ
ダゾール系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤
等が挙げられる。
Specifically, for example, a thermosetting resin such as an epoxy resin, a phenol resin, a polyimide resin, a bismaleimide resin, a polyphenylene resin, a polyolefin resin, or a fluororesin; a thermosetting group of these thermosetting resins (for example, , (Epoxy group in epoxy resin) is reacted with methacrylic acid or acrylic acid to form an acrylic group (photosensitive group).
Resins provided with: thermoplastics such as phenoxy resin, polyether sulfone (PES), polysulfone (PSF), polyphenylene sulfone (PPS), polyphenylene sulfide (PPES), polyphenyl ether (PPE), and polyetherimide (PI) Resin: Acrylic resin, photosensitive resin such as ultraviolet curable resin, and the like. Among these, epoxy resin, phenol resin, polyimide resin, acrylic resin, and ultraviolet curable resin are preferable. This is because when the mask layer under the resist resin layer is treated with an etching solution in a later step, the resistance to the etching solution is excellent. Examples of the curing agent include imidazole curing agents, amine curing agents, acid anhydride curing agents, and the like.

【0063】また、上記レジスト用樹脂層の厚さは10
〜50μmが望ましい。また、上記レジスト用樹脂層
は、硬化状態であってもよいし、半硬化状態であっても
よい。具体的には、例えば、後工程で露光、現像処理に
より、基板に形成する溝に相当する部分のレジスト用樹
脂層を除去する場合には、半硬化状態であることが望ま
しく、レーザ処理等により、上記溝に相当する部分のレ
ジスト用樹脂層を除去する場合には、硬化状態であって
もよいし、半硬化状態であってもよい。なお、完全に硬
化した状態や、半硬化状態のレジスト用樹脂層を形成す
る場合、硬化処理は、例えば、70〜200℃に加熱す
ることにより行うことが望ましい。また、段階的に加熱
温度を変化させるステップ硬化を行ってもよい。
The thickness of the resin layer for resist is 10
˜50 μm is desirable. The resist resin layer may be in a cured state or a semi-cured state. Specifically, for example, in the case where the resist resin layer in the portion corresponding to the groove to be formed on the substrate is removed by exposure and development in a later step, it is preferably in a semi-cured state. When the resist resin layer corresponding to the groove is removed, it may be in a cured state or a semi-cured state. In the case of forming a resist resin layer in a completely cured state or a semi-cured state, it is desirable to perform the curing treatment by heating at 70 to 200 ° C, for example. Moreover, you may perform step hardening which changes a heating temperature step by step.

【0064】(iii)次に、レジスト用樹脂層154の
一部、すなわち、基板151に形成する溝に相当する部
分を除去し、エッチングレジスト155とする(図4
(c)参照)。レジスト用樹脂層154の除去は、例え
ば、露光、現像処理により行うことができる。具体的に
は、例えば、半硬化状態のレジスト用樹脂層上にマスク
を載置した後、露光処理を施し、その後、アルカリ溶液
や有機溶剤等の薬液による現像処理を施す。上記現像処
理は、上記薬液中に上記レジスト用樹脂層を形成した基
板を浸漬したり、上記薬液をスプレーしたりすることに
より行うことができる。また、上記マスクとしては、上
記レジスト用樹脂層の除去部分に相当する部分に溝のパ
ターンが描画されたマスクを用いることができる。
(Iii) Next, a part of the resist resin layer 154, that is, a part corresponding to a groove formed in the substrate 151 is removed to obtain an etching resist 155 (FIG. 4).
(See (c)). The resist resin layer 154 can be removed by, for example, exposure and development treatment. Specifically, for example, a mask is placed on the semi-cured resin layer for resist, an exposure process is performed, and then a development process using a chemical solution such as an alkaline solution or an organic solvent is performed. The developing treatment can be performed by immersing the substrate having the resin layer for resist in the chemical solution or spraying the chemical solution. As the mask, it is possible to use a mask in which a groove pattern is drawn in a portion corresponding to the removed portion of the resist resin layer.

【0065】また、レジスト用樹脂層154の除去は、
レーザ処理を用いて行ってもよい。上記レーザ処理に用
いるレーザとしては、例えば、炭酸ガスレーザ、エキシ
マレーザ、UVレーザ、YAGレーザ等が挙げられる。
これらのレーザは、上記レジスト用樹脂層の除去部分の
形状や、上記レジスト用樹脂層の組成等を考慮して使い
分ければよい。なお、この工程で形成するエッチングレ
ジストの形状を調整することにより、後工程を経て形成
する溝の形状を調整することができる。
The removal of the resist resin layer 154 is
Alternatively, laser processing may be used. Examples of the laser used for the laser processing include carbon dioxide gas laser, excimer laser, UV laser, and YAG laser.
These lasers may be selectively used in consideration of the shape of the removed portion of the resist resin layer, the composition of the resist resin layer, and the like. By adjusting the shape of the etching resist formed in this step, it is possible to adjust the shape of the groove formed through the subsequent steps.

【0066】(iv)次に、エッチングレジスト155非
形成部に露出したマスク層152を除去し、基板151
の溝を形成する部分を露出させたマスク156を形成す
る(図4(d)参照)。マスク層152の除去は、例え
ば、酸素プラズマや窒素プラズマ等を用いたプラズマ処
理、コロナ処理、逆スパッタリング等のドライエッチン
グ処理により行うことができる。具体的には、例えば、
真空下または減圧下において、マスク層に酸素プラズマ
を照射することにより行うことができる。このようなド
ライエッチング処理を行うことにより、エッチングレジ
ストに損傷や変形等を発生させることなく、選択的にレ
ジスト非形成部分のマスク層のみを除去することができ
る。
(Iv) Next, the mask layer 152 exposed in the portion where the etching resist 155 is not formed is removed, and the substrate 151 is removed.
A mask 156 is formed by exposing a portion where the groove is formed (see FIG. 4D). The mask layer 152 can be removed by, for example, plasma treatment using oxygen plasma or nitrogen plasma, corona treatment, or dry etching treatment such as reverse sputtering. Specifically, for example,
This can be performed by irradiating the mask layer with oxygen plasma under vacuum or reduced pressure. By performing such a dry etching process, it is possible to selectively remove only the mask layer in the resist non-forming portion without causing damage or deformation of the etching resist.

【0067】また、マスク層152の除去は、例えば、
エッチング液や酸溶液に、マスク層152が形成された
基板を浸漬したり、溶液中に浸漬するとともに超音波処
理を施したり、エッチング液や酸溶液をマスク層にスプ
レーしたりすることによっても行うことができる。具体
的にどのような除去方法を選択するかは、マスク層の材
質や厚さ等を考慮して適宜決定すればよく、例えば、マ
スク層が酸化膜からなる場合には、プラズマ処理やエッ
チング液による処理を選択し、マスク層が金属層からな
る場合には、逆スパッタリングやエッチング液による処
理を選択すればよい。
The mask layer 152 can be removed by, for example,
It is also performed by immersing the substrate on which the mask layer 152 is formed in an etching solution or an acid solution, immersing the substrate in the solution and performing ultrasonic treatment, or spraying the etching solution or the acid solution on the mask layer. be able to. The removal method to be specifically selected may be appropriately determined in consideration of the material and thickness of the mask layer. For example, when the mask layer is made of an oxide film, plasma treatment or etching solution is used. When the mask layer is made of a metal layer, reverse sputtering or a treatment with an etching solution may be selected.

【0068】(v)次に、上記エッチングレジスト15
5を剥離除去する(図4(e)参照)。エッチングレジ
スト155の剥離除去は、NaOH、KOH等のアルカ
リ溶液、硫酸、酢酸、炭酸等の酸溶液、メタノール、エ
タノール等のアルコール類、アミン類、ケトン、アセト
ン等の有機溶剤等を用いて行うことができる。これによ
り、基板151上に、溝を形成する部分に相当する部分
が開口したマスク156のみが形成されることとなる。
(V) Next, the etching resist 15
5 is peeled and removed (see FIG. 4E). The removal of the etching resist 155 should be carried out using an alkaline solution such as NaOH, KOH, an acid solution such as sulfuric acid, acetic acid, carbonic acid, alcohols such as methanol and ethanol, amines, ketones, organic solvents such as acetone, and the like. You can As a result, only the mask 156 having the opening corresponding to the portion where the groove is formed is formed on the substrate 151.

【0069】(f)次に、基板151に溝157を形成
する(図4(f)参照)。溝157は、例えば、基板1
51にマスク156を介して、エッチング液を吹き付け
たり、マスク156が形成された基板151をエッチン
グ液中に浸漬したりすることにより形成することができ
る。上記エッチング液としては、例えば、NaOH、K
OH等のアルカリ、硝酸、燐酸、硫酸等の酸、フッ化水
素、フッ化臭素等のフッ素系化合物、ハロゲン化物、過
酸化水素水、メタノール、エタノール等のアルコール類
等を用いることができる。これらのエッチング液を用い
て溝を形成した場合、溝の断面の形状は、V字状や倒立
台形状、矩形状、これらを組み合わせた形状等となる。
(F) Next, a groove 157 is formed in the substrate 151 (see FIG. 4F). The groove 157 is, for example, the substrate 1
It can be formed by spraying an etching solution on 51 through the mask 156 or by immersing the substrate 151 on which the mask 156 is formed in the etching solution. Examples of the etching solution include NaOH and K
An alkali such as OH, an acid such as nitric acid, phosphoric acid, sulfuric acid, a fluorine-based compound such as hydrogen fluoride or bromine fluoride, a halide, a hydrogen peroxide solution, an alcohol such as methanol or ethanol, or the like can be used. When the groove is formed by using these etching solutions, the cross-sectional shape of the groove is V-shaped, inverted trapezoidal shape, rectangular shape, or a combination thereof.

【0070】上記エッチング液の濃度は、10〜50重
量%が望ましい。上記濃度が、10重量%未満ではエッ
チング処理に長時間を要することがあり、一方、50重
量%を超えてもエッチング速度はほとんど変化しない。
また、上記エッチング液の温度は20〜90℃が望まし
く、エッチング速度は0.5〜5.0μm/分が望まし
い。上記エッチング液の温度が20℃未満では、充分に
エッチングできないことがあり、エッチング液の温度が
90℃を超えてもエッチング量はほとんど変わらず、作
業時の安全性が低下することとなる。
The concentration of the etching solution is preferably 10 to 50% by weight. If the concentration is less than 10% by weight, the etching process may take a long time, while if it exceeds 50% by weight, the etching rate hardly changes.
The temperature of the etching solution is preferably 20 to 90 ° C., and the etching rate is preferably 0.5 to 5.0 μm / min. If the temperature of the etching solution is lower than 20 ° C., the etching may not be sufficiently performed, and even if the temperature of the etching solution exceeds 90 ° C., the etching amount is hardly changed, and the safety during the work is lowered.

【0071】ここで、その材質がシリコンやガリウム砒
素の基板に溝を形成する場合には、KOH等のアルカリ
溶液を用いたエッチング処理を行うことが望ましい。シ
リコンやガリウム砒素からなる基板に、エッチング処理
を行う場合、エッチング面、エッチング液の種類、およ
び、エッチングレジスト非形成部の形状として適宜なも
のを選択することにより、所望の形状の溝を形成するこ
とができる。
Here, when the groove is formed in the substrate whose material is silicon or gallium arsenide, it is desirable to perform etching treatment using an alkaline solution such as KOH. When a substrate made of silicon or gallium arsenide is subjected to etching treatment, a groove having a desired shape is formed by selecting an appropriate etching surface, type of etching solution, and shape of the etching resist non-forming portion. be able to.

【0072】すなわち、KOHを含むエッチング液を用
いてシリコン基板をエッチングする場合、シリコン基板
の(100)面が、(111)面および(110)面に
比べて優先的にエッチングされ、それぞれの結晶面のエ
ッチング速度比がほぼ一定であるため、所望の形状の溝
を形成することができる。具体的には、シリコン基板の
(100)面にエッチング処理を施す場合には、断面の
形状がV字状や倒立台形状の溝を形成することができ、
(110)面にエッチング処理を施す場合には、断面の
形状が矩形状の溝を形成することができる。
That is, when a silicon substrate is etched using an etching solution containing KOH, the (100) plane of the silicon substrate is preferentially etched as compared with the (111) plane and the (110) plane, and the respective crystals are crystallized. Since the etching rate ratio of the surface is almost constant, a groove having a desired shape can be formed. Specifically, when the (100) surface of the silicon substrate is subjected to etching treatment, it is possible to form a groove having a V-shaped or inverted trapezoidal cross section.
When the (110) plane is subjected to etching treatment, a groove having a rectangular cross section can be formed.

【0073】また、KOHを含むエッチング液を用いて
ガリウム砒素基板をエッチングする場合には、(11
1)Ga面のエッチング速度が最も遅く、(111)A
s面のエッチング速度が最も速いことを利用することに
より、所望の形状の溝を形成することができる。
When the gallium arsenide substrate is etched using an etching solution containing KOH, (11
1) The slowest etching rate of Ga surface is (111) A
By utilizing the fact that the s-plane has the highest etching rate, it is possible to form a groove having a desired shape.

【0074】この工程で、エッチング処理を施す際に
は、エッチング液中に界面活性剤等を添加しておいても
よい。エッチング処理時に激しく発泡する場合には、こ
の発泡によりエッチング面に凹凸が形成されることがあ
るが、界面活性剤を添加しておくことによりエッチング
処理時の発泡を抑えることができるからである。また、
上記エッチング処理は、超音波を印加しながら行っても
よい。超音波を印加することによっても発泡を抑えるこ
とができるからである。
When the etching treatment is performed in this step, a surfactant or the like may be added to the etching solution. When the foaming occurs violently during the etching process, irregularities may be formed on the etching surface due to the foaming, but by adding a surfactant, the foaming during the etching process can be suppressed. Also,
The etching process may be performed while applying ultrasonic waves. This is because foaming can also be suppressed by applying ultrasonic waves.

【0075】また、基板をエッチング液中に浸漬してエ
ッチング処理を行う場合には、基板を揺動したり、エッ
チング液を攪拌したりしながらエッチング処理を行って
もよい。このような(i)〜(vi)工程を経ることによ
り、基板に所望の形状の溝を形成することができる。
When the substrate is dipped in the etching solution to perform the etching process, the etching process may be performed while the substrate is rocked or the etching solution is stirred. Through the steps (i) to (vi), a groove having a desired shape can be formed on the substrate.

【0076】また、この(1)の工程では、基材層上に
樹脂層が形成された積層体を基板とし、この積層体の樹
脂層に溝を形成してもよい。上記基材層としては、例え
ば、シリコン、炭化ケイ素、アルミナ、窒化アルミニウ
ム、ムライト、セラミック、ガリウム砒素、ジルコニ
ア、石英、ガラス等の無機材料;銅、鉄、ニッケル等の
金属材料;熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感光性樹脂、
これらの複合体等の有機材料やこれらの有機材料にガラ
ス繊維等の補強材を含浸させたもの等からなるものが挙
げられる。
In the step (1), the laminate having the resin layer formed on the base material layer may be used as the substrate, and the groove may be formed in the resin layer of the laminate. Examples of the base material layer include inorganic materials such as silicon, silicon carbide, alumina, aluminum nitride, mullite, ceramics, gallium arsenide, zirconia, quartz, and glass; metal materials such as copper, iron, and nickel; thermosetting resins. , Thermoplastic resin, photosensitive resin,
Examples thereof include organic materials such as these composites and those obtained by impregnating these organic materials with a reinforcing material such as glass fiber.

【0077】上記樹脂層としては、例えば、熱硬化性樹
脂、熱可塑性樹脂、感光性樹脂、および、熱硬化性樹脂
のうちの一部が感光性基で置換された樹脂のうちの少な
くとも一種を含む樹脂組成物等からなるものが挙げられ
る。上記熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹
脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド
樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ
素樹脂等が挙げられる。
As the resin layer, for example, at least one of thermosetting resin, thermoplastic resin, photosensitive resin, and resin in which a part of the thermosetting resin is replaced with a photosensitive group is used. Examples of the resin composition include: Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, phenol resin, polyimide resin, bismaleimide resin, polyphenylene resin, polyolefin resin, and fluororesin.

【0078】また、上記熱可塑性樹脂としては、例え
ば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン(PE
S)、ポリスルフォン(PSF)、ポリフェニレンスル
ホン(PPS)、ポリフェニレンサルファイド(PPE
S)、ポリフェニルエーテル(PPE)、ポリエーテル
イミド(PI)等が挙げられる。上記感光性樹脂として
は、例えば、アクリル樹脂、紫外線硬化樹脂等が挙げら
れる。また、上記熱硬化性樹脂のうちの一部が感光性基
で置換された樹脂としては、上記熱硬化性樹脂の熱硬化
基に(メタ)アクリル酸等を反応させ、感光性基を付与
した樹脂等が挙げられる。
Examples of the above-mentioned thermoplastic resin include phenoxy resin and polyether sulfone (PE).
S), polysulfone (PSF), polyphenylene sulfone (PPS), polyphenylene sulfide (PPE)
S), polyphenyl ether (PPE), polyether imide (PI) and the like. Examples of the photosensitive resin include acrylic resin and ultraviolet curable resin. As the resin in which a part of the thermosetting resin is substituted with a photosensitive group, a thermosetting group of the thermosetting resin is reacted with (meth) acrylic acid or the like to give a photosensitive group. Resin etc. are mentioned.

【0079】このような基材層と樹脂層とからなる積層
体に溝を形成する方法としては、例えば、露光、現像処
理や、レーザ処理等を用いることができる。具体的に
は、露光、現像処理を行う場合には、例えば、樹脂層上
に、形成する溝に対応したパターンが描画されたマスク
を載置した後、露光処理を施し、その後現像液を用いて
現像処理を施すことにより樹脂層に複数の溝を一括して
形成することができる。なお、露光、現像処理を行う場
合、露光処理前の樹脂層は半硬化状態であること望まし
く、また、現像処理後には、溝が形成された樹脂層を完
全に硬化させるために、加熱処理等を施してもよい。
As a method of forming a groove in the laminate composed of such a base material layer and a resin layer, for example, exposure, development treatment, laser treatment or the like can be used. Specifically, when performing exposure and development processing, for example, after placing a mask on which a pattern corresponding to the groove to be formed is drawn on the resin layer, exposure processing is performed, and then a developing solution is used. A plurality of grooves can be collectively formed in the resin layer by subjecting the resin layer to development processing. When the exposure and development processes are performed, it is desirable that the resin layer before the exposure process is in a semi-cured state, and after the development process, in order to completely cure the resin layer in which the groove is formed, heat treatment or the like is performed. May be given.

【0080】また、レーザ処理を行う場合には、レーザ
としては、例えば、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、
UVレーザ、YAGレーザ等を用いることができる。上
記レーザ処理では、樹脂層の材質を問わず溝を形成する
ことができる。なお、レーザ処理を行う場合、レーザ処
理前の樹脂層は半硬化状態であってもよいし、完全に硬
化した状態であってもよい。
When laser processing is performed, the laser may be, for example, carbon dioxide gas laser, excimer laser,
A UV laser, a YAG laser or the like can be used. In the laser treatment, the groove can be formed regardless of the material of the resin layer. When performing the laser treatment, the resin layer before the laser treatment may be in a semi-cured state or a completely cured state.

【0081】また、この(1)の工程においては、基板
に溝を形成するとともに、光ファイバ芯線と被覆樹脂層
とを固定するための被覆樹脂層保持部を形成する。上記
被覆樹脂層保持部の形成方法としては特に限定されず、
例えば、ダイヤモンド刃を備えた装置を用いる方法等が
挙げられる。また、上記被覆樹脂層保持部の形成は、一
回で行ってもよいし、二回以上に分けて行ってもよい。
Further, in the step (1), the groove is formed in the substrate and the cover resin layer holding portion for fixing the optical fiber core wire and the cover resin layer is formed. The method for forming the coating resin layer holding portion is not particularly limited,
For example, a method using an apparatus equipped with a diamond blade and the like can be mentioned. Further, the formation of the coating resin layer holding portion may be performed once or may be performed twice or more.

【0082】上記被覆樹脂層保持部を形成した際に、該
被覆樹脂層保持部の上面は凹凸を有することがある。こ
の場合、凹凸を平坦化するための研磨処理を行ってもよ
いが、光ファイバリボン等を固定した際に光ファイバリ
ボンが大きく傾いたりするほどの凹凸でなければ、特
に、研磨処理等を施すことなく、そのままにしておくこ
とが望ましい。これは、上記被覆樹脂層保持部に紫外線
硬化型樹脂組成物を塗布し、その後、該樹脂組成物を硬
化して被覆樹脂層を基板(被覆樹脂層保持部)に固定し
た際に、アンカー効果により基板と接着剤との密着性が
向上するからである。また、上記被覆樹脂層保持部に
は、固定する光ファイバリボン等の形状に追従するよう
に、高さの異なる複数の保持面が形成されていてもよ
い。また、基板上に、凹形状の被覆樹脂層保持部を形成
する場合にも、ここで基板に切削加工を施すことにより
凹形状の被覆樹脂層保持部を形成すればよい。
When the coated resin layer holding portion is formed, the upper surface of the coated resin layer holding portion may have irregularities. In this case, a polishing treatment may be performed to flatten the unevenness, but if the unevenness is such that the optical fiber ribbon is largely inclined when the optical fiber ribbon or the like is fixed, the polishing treatment or the like is particularly performed. It is desirable to leave it as it is. This is because when the coating resin layer holding portion is coated with the ultraviolet curable resin composition and then the resin composition is cured to fix the coating resin layer to the substrate (coating resin layer holding portion), the anchor effect is obtained. This improves the adhesion between the substrate and the adhesive. In addition, a plurality of holding surfaces having different heights may be formed on the coating resin layer holding portion so as to follow the shape of the optical fiber ribbon or the like to be fixed. Also, when forming the concave-shaped coating resin layer holding portion on the substrate, the concave-shaped coating resin layer holding portion may be formed by cutting the substrate here.

【0083】(2)ここでは、基板の作製とは別に、一
部の被覆樹脂層が除去され、光ファイバ芯線が露出した
光ファイバリボンを作製する。ここで、除去する被覆樹
脂層は、光ファイバリボンの一端部の被覆樹脂層であっ
てもよいし、光ファイバリボンの両端部以外の一部の被
覆樹脂層であってもよいが、光ファイバリボンの両端部
以外の一部の被覆樹脂層であることが望ましい。このよ
うな両端部以外の一部の被覆樹脂層を除去した光ファイ
バリボンでは、露出した光ファイバ芯線の両端が固定さ
れているため、より光ファイバ芯線の軸方向のバラツキ
が発生しにくく、後工程で、基板に固定するのに適して
いるからである。
(2) Here, apart from the production of the substrate, an optical fiber ribbon in which a part of the coating resin layer is removed and the optical fiber core wire is exposed is produced. Here, the coating resin layer to be removed may be the coating resin layer at one end of the optical fiber ribbon or may be a portion of the coating resin layer other than both ends of the optical fiber ribbon. It is desirable that it is a part of the coating resin layer other than both ends of the ribbon. In such an optical fiber ribbon from which a part of the coating resin layer other than both ends is removed, since both ends of the exposed optical fiber core wire are fixed, variation in the axial direction of the optical fiber core wire is less likely to occur. This is because it is suitable for fixing to the substrate in the process.

【0084】上記被覆樹脂層の除去は、例えば、ストリ
ッパ等の被覆樹脂剥離装置を用いて機械的に除去する方
法や、有機溶剤を用いて被覆樹脂層を溶解することによ
り化学的に除去する方法等を用いることができる。ま
た、レーザ光を照射することにより除去する方法を用い
てもよい。
The above-mentioned coating resin layer can be removed, for example, by a mechanical removal method using a coating resin peeling device such as a stripper or a chemical removal method by dissolving the coating resin layer using an organic solvent. Etc. can be used. Alternatively, a method of removing by irradiation with laser light may be used.

【0085】以下、レーザ光を照射することにより被覆
樹脂層を除去する方法について説明する。上記被覆樹脂
層の除去は、例えば、光ファイバリボンを銅張積層板等
の支持体上に水平に固定した後、レーザ光を照射するこ
とにより行う。
A method of removing the coating resin layer by irradiating with laser light will be described below. The coating resin layer is removed, for example, by horizontally fixing the optical fiber ribbon on a support such as a copper clad laminate and then irradiating it with laser light.

【0086】この場合、まず、光ファイバリボンの主面
に垂直な一の方向からレーザ光を照射し、その後、上記
光ファイバリボンの主面に垂直な一の方向と反対の方向
からレーザ光を照射することが望ましい。レーザ光を光
ファイバリボンの主面に垂直な一の方向からのみ照射す
ると、光ファイバ芯線の影となる部分の被覆樹脂層を充
分に除去することができず、この部分の被覆樹脂層を完
全に除去するには、高出力のレーザ光を長時間照射しな
ければならないため、光ファイバ芯線の表面を傷付ける
おそれが高まることとなり、また、経済的にも不利であ
る。これに対し、上述した方法でレーザ光を照射する場
合には、被覆樹脂層を、確実にかつ効率よく除去するこ
とができ、さらに、除去後の被覆樹脂層の形状、特に、
被覆樹脂層の非除去部分の端面の形状を精度よく制御す
ることができる。
In this case, first, laser light is irradiated from one direction perpendicular to the main surface of the optical fiber ribbon, and then laser light is irradiated from a direction opposite to the one direction perpendicular to the main surface of the optical fiber ribbon. Irradiation is desirable. If the laser light is irradiated only from one direction perpendicular to the main surface of the optical fiber ribbon, the coating resin layer in the shadow of the optical fiber core wire cannot be removed sufficiently and the coating resin layer in this part cannot be completely removed. In order to remove it, it is necessary to irradiate a high-power laser beam for a long time, which increases the risk of damaging the surface of the optical fiber core wire, and is also economically disadvantageous. On the other hand, in the case of irradiating the laser beam by the method described above, the coating resin layer can be reliably and efficiently removed, further, the shape of the coating resin layer after removal, particularly,
The shape of the end surface of the non-removed portion of the coating resin layer can be accurately controlled.

【0087】上記レーザ光の照射は、例えば、CO
ーザ、エキシマレーザ等を用いて行うことができる。こ
れらのなかでは、COレーザを用いることが望まし
い。光ファイバ芯線を傷付けるおそれがより少なく、所
望の部分の被覆樹脂層のみを除去することができるから
である。なお、エキシマレーザを用いて石英系光ファイ
バの被覆樹脂層を剥離する場合にも特に大きな問題は発
生せず、炭酸ガスレーザに比べて、ランニングコストが
安価であるが、被覆樹脂層の剥離後、光ファイバ芯線の
表面に被覆樹脂の炭化物が残るおそれがある。
Irradiation of the above laser light can be performed using, for example, a CO 2 laser, an excimer laser, or the like. Of these, it is desirable to use a CO 2 laser. This is because there is less risk of damaging the optical fiber core wire, and only the coating resin layer at a desired portion can be removed. Incidentally, even when peeling the coating resin layer of the silica-based optical fiber using an excimer laser does not cause a particularly large problem, compared to the carbon dioxide laser, running cost is low, after peeling the coating resin layer, Carbide of the coating resin may remain on the surface of the optical fiber core wire.

【0088】上記COレーザを用いてレーザ光を光フ
ァイバリボンに照射する場合、レーザ光は、連続的に照
射してもよいが、間欠的に照射(以下、パルス照射とい
う)することが望ましい。パルス照射する場合、連続的
に照射する場合に比べて、その出力を高くすることがで
きるため、効率よく被覆樹脂層を除去することができ、
また、被覆樹脂層を徐々に除去するため、その除去状態
を確認しながら加工を行うことができ、光ファイバ芯線
を傷付けるおそれがさらに少ない。
When the optical fiber ribbon is irradiated with laser light by using the CO 2 laser, the laser light may be continuously irradiated, but intermittent irradiation (hereinafter, pulse irradiation) is desirable. . In the case of pulse irradiation, the output can be increased as compared with the case of continuous irradiation, so that the coating resin layer can be efficiently removed,
Further, since the coating resin layer is gradually removed, the processing can be performed while confirming the removal state, and the possibility of damaging the optical fiber core wire is further reduced.

【0089】このようにCOレーザを用いてレーザ光
をパルス照射する場合、そのパルス幅は、10〜100
μsであることが望ましい。パルス幅が10μs未満で
あると、被覆樹脂層を充分に除去するためにレーザ光の
照射回数を増やす必要があり、あまり効率的でなく、一
方、パルス幅が100μsを超えると、光ファイバ芯線
を傷付けるおそれがある。
When the CO 2 laser is used to pulse-irradiate the laser light, the pulse width is 10 to 100.
It is preferably μs. If the pulse width is less than 10 μs, it is necessary to increase the number of times of laser light irradiation in order to sufficiently remove the coating resin layer, which is not very efficient. On the other hand, if the pulse width exceeds 100 μs, the optical fiber core wire May hurt.

【0090】また、COレーザを用いてレーザ光を照
射する場合、その照射条件は、被覆樹脂層の材料、厚さ
等を考慮して適宜選択すればよいが、通常、その積算エ
ネルギーは、2.0〜9.0mJ/cmであることが
望ましい。積算エネルギーが2.0mJ/cm未満で
あると、被覆樹脂層を完全に除去することができない場
合があり、一方、積算エネルギーが9.0mJ/cm
を超えると、光ファイバ芯線を傷付けるおそれがある。
When the CO 2 laser is used to irradiate the laser beam, the irradiation conditions may be appropriately selected in consideration of the material, thickness, etc. of the coating resin layer, but normally the integrated energy is It is desirable that it is 2.0 to 9.0 mJ / cm 2 . If the cumulative energy is less than 2.0 mJ / cm 2 , the coating resin layer may not be completely removed, while the cumulative energy is 9.0 mJ / cm 2.
If it exceeds, the optical fiber core wire may be damaged.

【0091】また、レーザ光の照射回数は、被覆樹脂層
の材料、厚さ、および、COレーザの出力等に応じて
適宜選択すればよく、例えば、クラッド径が125μm
で、隣合うクラッド同士の外縁部の最短距離(以下、ク
ラッド間隔ともいう)が250μmの光ファイバリボン
に、上記した範囲のパルス幅および積算エネルギーでレ
ーザ光を照射する場合には、3〜8回程度であることが
望ましい。上記照射回数が3回未満であると、被覆樹脂
層を完全に除去することが困難な場合があり、一方、8
回を超えると、光ファイバリボンの一の主面にレーザ光
を照射した際にほとんどの被覆樹脂層が除去され、光フ
ァイバリボンの一の主面と反対の面にレーザ光を照射す
る前に光ファイバ芯線がバラバラになってしまい、上記
反対の面にレーザ光を照射することが困難となることが
ある。
The number of times of laser light irradiation may be appropriately selected according to the material and thickness of the coating resin layer, the output of the CO 2 laser, and the like. For example, the clad diameter is 125 μm.
When irradiating an optical fiber ribbon having a shortest distance between outer edges of adjacent clads (hereinafter also referred to as a clad interval) of 250 μm with a laser beam with a pulse width and integrated energy in the above range, 3 to 8 It is desirable to be about once. If the number of irradiations is less than 3, it may be difficult to completely remove the coating resin layer, while 8
Beyond the number of times, most of the coating resin layer is removed when the main surface of the optical fiber ribbon is irradiated with laser light, and before the main surface of the optical fiber ribbon is irradiated with laser light. The optical fiber core wires may be scattered, and it may be difficult to irradiate the opposite surface with laser light.

【0092】図5(a)は、光ファイバリボンの被覆樹
脂層を剥離する方法の一例を模式的に示す正面図であ
り、(b)はその側面図である。図5(a)および
(b)に示すように、レーザ光を照射することにより被
覆樹脂層を剥離する場合、レーザ照射装置20を光ファ
イバリボン110の一の主面の上方に配置し、レーザ照
射装置20から光ファイバリボン110に向かって、光
ファイバリボン110の一の主面に垂直なレーザ光21
を照射して、このレーザ光21を照射した部分の被覆樹
脂層を除去しながら、光ファイバリボン110をその幅
方向に移動させる。
FIG. 5A is a front view schematically showing an example of a method of peeling the coating resin layer of the optical fiber ribbon, and FIG. 5B is a side view thereof. As shown in FIGS. 5A and 5B, when the coating resin layer is peeled off by irradiating with laser light, the laser irradiation device 20 is arranged above one main surface of the optical fiber ribbon 110, and A laser beam 21 perpendicular to one main surface of the optical fiber ribbon 110 is directed from the irradiation device 20 toward the optical fiber ribbon 110.
The optical fiber ribbon 110 is moved in the width direction while removing the coating resin layer of the portion irradiated with the laser beam 21.

【0093】この場合、初めに光ファイバリボン110
の厚さの1/2程度の被覆樹脂層を除去した後、光ファ
イバリボン110を反転してレーザ光21を照射し、残
りの被覆樹脂層を除去することが望ましい。初めに除去
する被覆樹脂層が多すぎると、その時点で、それぞれの
光ファイバ芯線115がバラバラになってしまい、次
に、光ファイバリボン110を反転した後、再度、レー
ザ光21を照射する際に、レーザ光21を正確に照射す
ることが困難となることがあり、また、光ファイバ芯線
115に直接照射されるレーザ光の照射量も多くなり、
光ファイバ芯線115を傷付けるおそれがより高まるこ
ととなるからである。
In this case, first, the optical fiber ribbon 110
After removing the coating resin layer having a thickness of about 1/2, it is desirable to reverse the optical fiber ribbon 110 and irradiate the laser beam 21 to remove the remaining coating resin layer. If there are too many coating resin layers to be removed initially, the respective optical fiber core wires 115 will come apart at that time, and then, after inverting the optical fiber ribbon 110, when irradiating the laser beam 21 again. In some cases, it may be difficult to accurately irradiate the laser light 21, and the irradiation amount of the laser light directly radiated to the optical fiber core wire 115 increases,
This is because the risk of damaging the optical fiber core wire 115 is further increased.

【0094】また、光ファイバリボンの幅方向への移動
は、光ファイバリボン110の厚さの1/4程度の被覆
樹脂層を除去するごとに、レーザ照射エリアの半径分行
うことが望ましい。光ファイバリボンをこのように移動
させることで、初めにレーザ光21を照射した領域と、
次にレーザ光21を照射した領域との重なっている領域
の被覆樹脂層が、光ファイバリボン110の厚さの1/
2程度除去されることとなり、かつ、このような厚さの
被覆樹脂層を、光ファイバリボン110の幅方向の全体
に渡って確実に除去することができるからである。な
お、図5(a)における右端の被覆樹脂層(初めにレー
ザ光を照射する部分)は、レーザ光の照射エリアの半径
分だけ照射し、光ファイバリボンの厚さの1/4程度の
被覆樹脂層を除去しておけばよい。
Further, it is desirable that the movement of the optical fiber ribbon in the width direction is performed by the radius of the laser irradiation area each time the coating resin layer of about ¼ of the thickness of the optical fiber ribbon 110 is removed. By moving the optical fiber ribbon in this manner, the region initially irradiated with the laser light 21 and
Next, the coating resin layer in the area overlapping with the area irradiated with the laser light 21 is 1 / thick of the thickness of the optical fiber ribbon 110.
This is because about 2 is removed, and the coating resin layer having such a thickness can be reliably removed over the entire width direction of the optical fiber ribbon 110. Note that the coating resin layer at the right end in FIG. 5A (the portion where the laser light is first irradiated) is irradiated by the radius of the irradiation area of the laser light, and the coating is about 1/4 of the thickness of the optical fiber ribbon. It is only necessary to remove the resin layer.

【0095】また、上述した方法で光ファイバリボンの
厚さの1/2程度の被覆樹脂層を幅方向に除去した後、
光ファイバリボン110をその軸線方向にズラし、その
厚さの1/2程度の被覆樹脂層を幅方向に除去する工程
を繰り返すことで、レーザ光21の照射径よりも広い領
域の被覆樹脂層を除去することができる。その後、光フ
ァイバリボン110を反転した後、同様に残りの被覆樹
脂層を除去することで、レーザ光21の照射径よりも広
い領域の被覆樹脂層を完全に除去することができる。
After removing the coating resin layer of about ½ of the thickness of the optical fiber ribbon in the width direction by the above method,
By repeating the step of shifting the optical fiber ribbon 110 in the axial direction and removing the coating resin layer having a thickness of about ½ in the width direction, the coating resin layer in a region wider than the irradiation diameter of the laser light 21. Can be removed. Then, after the optical fiber ribbon 110 is turned over, the remaining coating resin layer is similarly removed, whereby the coating resin layer in a region wider than the irradiation diameter of the laser light 21 can be completely removed.

【0096】この場合、先に除去した被覆樹脂層領域
と、後のレーザ光の照射領域とが重ならないように、レ
ーザ照射領域を制御することが望ましい。先に除去した
被覆樹脂層領域と、後のレーザ照射領域とが重なると、
この重なった部分の被覆樹脂層が除去されすぎ、光ファ
イバ芯線がバラバラになってしまうことがあるからであ
る。また、レーザ照射領域の制御は、光ファイバリボン
の位置合わせによって行ってもよいし、マスクやレンズ
等を介してレーザ光を照射することによって行ってもよ
く、また、これらを組み合わせて行ってもよい。
In this case, it is desirable to control the laser irradiation area so that the previously removed coating resin layer area and the subsequent laser light irradiation area do not overlap. When the coating resin layer region removed earlier and the laser irradiation region later overlap,
This is because the coating resin layer in the overlapping portion may be excessively removed, and the optical fiber core wires may be disjointed. Further, the control of the laser irradiation region may be performed by aligning the optical fiber ribbon, by irradiating the laser beam through a mask, a lens, or the like, or by combining these. Good.

【0097】なお、ここでは、光ファイバリボンを移動
させながら被覆樹脂層を除去する方法について説明した
が、レーザ照射装置を移動させながら被覆樹脂層を除去
してもよい。また、被覆樹脂層を除去する領域の大きさ
や、レーザ光の照射径等によっては、被覆樹脂層を除去
する全領域に一度にレーザ光を照射してもよい。
Although the method of removing the coating resin layer while moving the optical fiber ribbon has been described here, the coating resin layer may be removed while moving the laser irradiation device. Further, depending on the size of the area where the coating resin layer is removed, the irradiation diameter of the laser light, and the like, the entire area where the coating resin layer is removed may be irradiated with the laser light at once.

【0098】(3)次に、上記(1)の工程で作製した
基板の溝に、光ファイバリボンの露出した光ファイバ芯
線を収納した後、該光ファイバ芯線を紫外線硬化型接着
剤を介して基板に固定する。ここで、その一端部の被覆
樹脂層が除去された光ファイバリボンを固定する場合、
それぞれの光ファイバ芯線の端面と基板の側面とが揃う
ように固定してもよいし、それぞれの光ファイバ芯線が
基板の側面から一定長さだけ突出するように固定しても
よい。
(3) Next, after the exposed optical fiber core wire of the optical fiber ribbon is housed in the groove of the substrate manufactured in the above step (1), the optical fiber core wire is put through an ultraviolet curable adhesive. Fix to the board. Here, when fixing the optical fiber ribbon from which the coating resin layer at one end is removed,
The optical fibers may be fixed so that the end faces of the optical fiber cores and the side surfaces of the substrate are aligned, or the optical fiber cores may be fixed so as to protrude from the side surface of the substrate by a certain length.

【0099】また、ここで、その両端部以外の一部の被
覆樹脂層が除去された光ファイバリボンを固定した場合
には、光ファイバリボンを固定した後、基板に固定しな
かった光ファイバリボンの一端部を切断除去することと
なる。なお、光ファイバリボンの一端部を切断除去する
場合、それぞれの光ファイバ芯線の端面と基板の端面と
が揃うように切断除去してもよいし、それぞれの光ファ
イバ芯線が基板の端面から一定長さだけ突出するように
切断除去してもよい。上記光ファイバリボンの切断除去
は、カッター等を用いた切削加工により行うことができ
る。また、機械研磨により行ってもよい。
When the optical fiber ribbon from which a part of the coating resin layer other than both ends thereof is removed is fixed, the optical fiber ribbon is not fixed to the substrate after fixing the optical fiber ribbon. Will be cut off at one end. When cutting and removing one end of the optical fiber ribbon, it may be cut and removed so that the end face of each optical fiber core line and the end face of the substrate are aligned, or each optical fiber core line has a constant length from the end face of the substrate. You may cut and remove so that it may protrude only a little. The cutting and removal of the optical fiber ribbon can be performed by cutting using a cutter or the like. Alternatively, mechanical polishing may be performed.

【0100】また、この工程では、光ファイバ芯線を溝
に固定するとともに、上記(1)の工程で形成した被覆
樹脂層保持部に光ファイバ芯線と被覆樹脂層とを紫外線
硬化型接着剤を介して固定する。
In this step, the optical fiber core wire is fixed in the groove, and the optical fiber core wire and the coating resin layer are bonded to the covering resin layer holding portion formed in the above step (1) with an ultraviolet curable adhesive. To fix.

【0101】なお、上記(1)の工程において、上記
(i)〜(vi)の工程を経ることにより溝を形成した場
合には、基板上にマスクが形成されているため、本工程
で光ファイバ芯線を固定する部分は、厳密には、マスク
非形成部分と基板に設けた溝とを合わせた部分である
が、本明細書においては、基板に溝を形成した後には、
この両者を合わせた部分を溝ということとする。
In the step (1), when the groove is formed by going through the steps (i) to (vi), the mask is formed on the substrate, and thus the light is not used in this step. Strictly speaking, the portion for fixing the fiber core wire is a portion where the mask non-forming portion and the groove provided on the substrate are combined, but in the present specification, after forming the groove on the substrate,
The combined portion of these two is called a groove.

【0102】このように、光ファイバ芯線を溝に収納し
た後、該光ファイバ芯線を溝に固定する。具体的には、
例えば、溝の端部からエポキシ系またはアクリレート系
の紫外線硬化型樹脂組成物を流し込み、その後、該紫外
線硬化型樹脂組成物を硬化させ、紫外線硬化型樹脂組成
物の硬化物を介して光ファイバ芯線を溝に固定する。溝
内に光ファイバ芯線を固定する方法としては、予め紫外
線硬化型樹脂組成物を溝内に塗布しておき、光ファイバ
芯線を溝に収納した後、上記紫外線硬化型樹脂組成物を
硬化させることにより光ファイバ芯線を溝に固定する方
法を用いてもよい。このとき、被覆樹脂層保持部にも光
ファイバ芯線を固定する紫外線硬化型樹脂組成物を流し
込み、該紫外線硬化型樹脂組成物を硬化させることによ
り、紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物を介して光ファイ
バ芯線を溝に固定してもよい。また、上記紫外線硬化型
樹脂組成物は、一旦、半硬化させた後、完全に硬化させ
ることとしてもよい。
After accommodating the optical fiber core wire in the groove in this way, the optical fiber core wire is fixed in the groove. In particular,
For example, an epoxy-based or acrylate-based ultraviolet curable resin composition is poured from the end of the groove, the ultraviolet curable resin composition is then cured, and the optical fiber core wire is passed through the cured product of the ultraviolet curable resin composition. Is fixed in the groove. As a method for fixing the optical fiber core wire in the groove, an ultraviolet curable resin composition is applied in advance in the groove, the optical fiber core wire is housed in the groove, and then the ultraviolet curable resin composition is cured. Alternatively, a method of fixing the optical fiber core wire to the groove may be used. At this time, an ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire is also poured into the coating resin layer holding portion, and the ultraviolet curable resin composition is cured, so that the cured product of the ultraviolet curable resin composition is passed through. The optical fiber core wire may be fixed to the groove. Further, the ultraviolet curable resin composition may be semi-cured and then completely cured.

【0103】被覆樹脂層保持部に固定する被覆樹脂層の
周囲には、予め紫外線硬化型樹脂組成物を塗布してお
き、この紫外線硬化型樹脂組成物を硬化させることによ
り、被覆樹脂層を被覆樹脂層保持部に固定する。また、
被覆樹脂層保持部に被覆樹脂層を載置し、その後、被覆
樹脂層保持部上に載置した被覆樹脂層を覆うように紫外
線硬化型樹脂組成物を塗布し、この紫外線硬化型樹脂組
成物を硬化させることにより、被覆樹脂層を被覆樹脂層
保持部に固定してもよい。また、被覆樹脂層保持部に予
め紫外線硬化型樹脂組成物を塗布しておき、該被覆樹脂
層保持部に被覆樹脂層を載置した後、この紫外線硬化型
樹脂組成物を硬化させることにより、被覆樹脂層を被覆
樹脂層保持部に固定してもよい。また、被覆樹脂層保持
部に予め紫外線硬化型樹脂組成物を塗布しておき、該被
覆樹脂層保持部に被覆樹脂層を載置した後、さらに、上
記被覆樹脂層の上面および周囲に紫外線硬化型樹脂組成
物を塗布し、塗布したこれらの紫外線硬化型樹脂組成物
を硬化させることにより、被覆樹脂層を被覆樹脂層保持
部に固定してもよい。
A UV curable resin composition is applied in advance to the periphery of the cover resin layer fixed to the cover resin layer holding portion, and the UV curable resin composition is cured to coat the cover resin layer. It is fixed to the resin layer holder. Also,
The coating resin layer is placed on the coating resin layer holding portion, and thereafter, the ultraviolet curable resin composition is applied so as to cover the coating resin layer placed on the coating resin layer holding portion. The coating resin layer may be fixed to the coating resin layer holding portion by curing. Further, by previously coating the coating resin layer holding portion with an ultraviolet curable resin composition, placing the coating resin layer on the coating resin layer holding portion, and then curing the ultraviolet curable resin composition, You may fix a coating resin layer to a coating resin layer holding part. In addition, after coating the coating resin layer holding portion with an ultraviolet curable resin composition in advance and placing the coating resin layer on the coating resin layer holding portion, further ultraviolet curing is performed on the upper surface and the periphery of the coating resin layer. The coating resin layer may be fixed to the coating resin layer holding portion by applying the mold resin composition and curing the applied ultraviolet curable resin composition.

【0104】被覆樹脂層を被覆樹脂層保持部に固定する
紫外線硬化型樹脂組成物の硬化処理は、光ファイバ芯線
を溝に固定する紫外線硬化型樹脂組成物の硬化処理を終
了した後に行えばよい。なお、場合によっては、これら
の硬化処理を同時におこなってもよい。また、一旦、光
ファイバ芯線を溝に固定する紫外線硬化型樹脂組成物を
半硬化させ、その後、該紫外線硬化型樹脂組成物を完全
に硬化させる際、被覆樹脂層を被覆樹脂層保持部に固定
する紫外線硬化型樹脂組成物の硬化処理を行ってもよ
い。
The curing treatment of the ultraviolet curable resin composition for fixing the coating resin layer to the coating resin layer holding portion may be performed after the curing treatment of the ultraviolet curing resin composition for fixing the optical fiber core wire in the groove is completed. . Depending on the case, these curing treatments may be performed simultaneously. Further, once the ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire to the groove is semi-cured, and then the ultraviolet curable resin composition is completely cured, the covering resin layer is fixed to the covering resin layer holding portion. The ultraviolet curable resin composition may be cured.

【0105】第一の本発明の光ファイバアレイでは、上
述したように、接着剤としてエポキシ系、または、アク
リレート系の紫外線硬化型接着剤を用いている。そのた
め、基板の側面から光ファイバ芯線と溝との間隙に上述
したエポキシ系またはアクリレート系の紫外線硬化型樹
脂組成物を流し込んだ場合、表面張力により光ファイバ
芯線と溝との間隙が紫外線硬化型樹脂組成物で確実に充
填されることとなる。その結果、光ファイバ芯線がエポ
キシ系またはアクリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物
の硬化物を介して溝に確実に固定されることとなり、光
ファイバ芯線の位置ズレが発生しない。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention, as described above, the epoxy-based or acrylate-based UV-curable adhesive is used as the adhesive. Therefore, when the epoxy-based or acrylate-based ultraviolet curable resin composition described above is poured into the gap between the optical fiber core wire and the groove from the side surface of the substrate, the gap between the optical fiber core wire and the groove is caused by the surface tension of the ultraviolet curable resin. It will be reliably filled with the composition. As a result, the optical fiber core wire is surely fixed in the groove via the cured product of the epoxy-based or acrylate-based ultraviolet curable resin composition, and the positional deviation of the optical fiber core wire does not occur.

【0106】また、ここでは、紫外線硬化型樹脂組成物
に紫外線を照射することにより、接着剤を介して光ファ
イバ芯線を固定する。この場合、照射する紫外線の強度
は特に限定されず、紫外線硬化型樹脂組成物の組成等を
考慮して適宜選択すればよい。また、紫外線を照射した
後には、必要に応じて、加熱処理を施してもよい。
Further, here, the optical fiber core wire is fixed through an adhesive by irradiating the ultraviolet curable resin composition with ultraviolet rays. In this case, the intensity of the ultraviolet rays to be applied is not particularly limited and may be appropriately selected in consideration of the composition of the ultraviolet curable resin composition and the like. Moreover, after irradiating with ultraviolet rays, you may heat-process as needed.

【0107】また、上記光ファイバリボンの露出した光
ファイバ芯線を収納、固定した後には、接着剤層を介し
て、少なくとも露出した光ファイバ芯線のうちの溝に固
定した部分を覆う蓋部を取り付けることが望ましい。な
お、上記接着剤層は、基板の溝に光ファイバ芯線を固定
するために用いる紫外線硬化型樹脂組成物と同一の樹脂
組成物を用いて形成することが望ましい。
Further, after the exposed optical fiber core wire of the optical fiber ribbon is housed and fixed, a lid portion which covers at least a portion of the exposed optical fiber core wire fixed to the groove is attached via an adhesive layer. Is desirable. The adhesive layer is preferably formed by using the same resin composition as the ultraviolet curable resin composition used for fixing the optical fiber core wire in the groove of the substrate.

【0108】上記蓋部の形状は、上述したように板状体
であってもよいし、上記基板と対向する面に、それぞれ
の光ファイバ芯線を別々に収納する溝が形成された形状
であってもよいが、上記基板と対向する面に、溝内に固
定されなかった光ファイバ芯線を一括して収納する凹部
が形成された形状であることが望ましい。光ファイバ芯
線を一括して収納するための凹部は、その形成が容易で
あり、また、上記凹部に収納された光ファイバ芯線同士
の間には空隙が存在するため、光ファイバ芯線の相対的
な位置ズレが発生しにくく、さらに、該空隙内には、接
着剤等を充填しやすい。
The shape of the lid portion may be a plate-like body as described above, or is a shape in which a groove for separately accommodating each optical fiber core wire is formed on the surface facing the substrate. However, it is desirable that the surface facing the substrate be formed with a recess for accommodating all the optical fiber core wires not fixed in the groove. The recess for accommodating the optical fiber cores in a lump is easy to form, and since there is a gap between the optical fiber cores housed in the recesses, the relative recesses of the optical fiber cores are Positional deviation is unlikely to occur, and furthermore, an adhesive or the like is easily filled in the void.

【0109】また、光ファイバアレイを製造する際に
は、通常、基板上に蓋部を取り付けた後、この蓋部の端
面と光ファイバ芯線や基板の端面とを揃えるために研磨
処理を施すこととなるが、ここで、蓋部の形状が、光フ
ァイバ芯線を一括して収納する凹部を有する形状である
場合には、光ファイバアレイの側面付近のみが大きく削
り取られたり、光ファイバ芯線の一部が斜めに研磨され
たりすることがなく、光ファイバアレイの端面を所望の
形状に研磨しやすい。
When manufacturing an optical fiber array, usually, after the lid is mounted on the substrate, polishing treatment is performed to align the end face of the lid with the optical fiber core wire or the end face of the substrate. However, here, when the shape of the lid is a shape having a recess for accommodating the optical fiber core wires collectively, only the vicinity of the side surface of the optical fiber array is largely scraped off, The end face of the optical fiber array is easily polished into a desired shape without the parts being polished obliquely.

【0110】また、上記蓋部に光ファイバ芯線を一括し
て収納するための凹部が形成されている場合、該凹部の
形状としては、ほぼ直角に交わる平面のみを組み合わせ
た形状、曲面により形成された形状、平面と曲面とを組
み合わせた形状等が挙げられる。
Further, when the lid portion is formed with a concave portion for accommodating the optical fiber core wires collectively, the concave portion is formed by a curved surface formed by combining planes intersecting at substantially right angles. And a combination of a flat surface and a curved surface.

【0111】上記蓋部の材質としては、例えば、上記基
板の材質と同様のもの等が挙げられ、それらのなかでも
ガラスまたは石英が望ましい。ガラスや石英からなる蓋
部は、紫外線を透過させるため、紫外線硬化型樹脂組成
物と組み合わせて用いるのに適している。なお、上記蓋
部の材質と上記基板の材質とは、同一であってもよい
し、異なっていてもよい。また、上記凹部の形成は、上
記蓋部が無機材料や金属材料からなる場合は、これらか
らなる板状体に切削加工を施すことにより行えばよく、
上記蓋部が有機材料からなる場合には、該有機材料を板
状体に成形した後、露光現像処理やレーザ処理を施した
り、または、完全に硬化した有機材料からなる板状体に
切削加工を施すことにより行えばよい。
Examples of the material of the lid include the same materials as those of the substrate, and among them, glass or quartz is preferable. Since the lid made of glass or quartz allows ultraviolet rays to pass therethrough, it is suitable for use in combination with an ultraviolet curable resin composition. The material of the lid and the material of the substrate may be the same or different. Further, the formation of the concave portion, when the lid portion is made of an inorganic material or a metal material, may be performed by subjecting a plate-like body made of these to a cutting process,
When the lid portion is made of an organic material, the organic material is molded into a plate-like body, and then subjected to exposure and development processing or laser treatment, or cutting into a plate-like body made of a completely cured organic material. It may be performed by applying.

【0112】また、上記蓋部の大きさは、基板の全面を
覆う大きさ(溝を形成した領域および被覆樹脂層保持部
を一体的に覆う大きさ)であってもよい。また、基板上
に、基板の溝を形成した領域のみを覆う形状の蓋部とと
もに、被覆樹脂層保持部のみを覆う形状の蓋部が別途取
り付けられていてもよい。
The size of the lid may be a size that covers the entire surface of the substrate (a size that integrally covers the region where the groove is formed and the coating resin layer holding part). In addition, a lid having a shape that covers only the grooved region of the substrate and a lid that covers only the coating resin layer holding portion may be separately attached on the substrate.

【0113】このような蓋部を基板上に取り付ける場
合、その具体的な方法としては、例えば、以下に説明す
る(A)の方法や、(B)の方法等を用いることができ
る。
When such a lid is mounted on the substrate, the method (A) or the method (B) described below can be used as a specific method.

【0114】すなわち、(A)光ファイバ芯線を基板の
溝に収納した後、光ファイバ芯線を溝に固定する前に、
先に蓋部の形成を行い、該蓋部を治具等により軽く押さ
えながら、例えばディスペンサ等の塗布装置を用いて、
溝と光ファイバ芯線との間隙、および、蓋部(蓋部が凹
部を有する場合は該凹部)と光ファイバ芯線との間隙に
紫外線硬化型樹脂組成物を流し込み、さらに、高圧水銀
ランプ(紫外線照射装置)を用いて上記紫外線硬化型樹
脂組成物に紫外線を照射して半硬化させる。なお、紫外
線の照射は、例えば、その強度が5〜10J/cm
紫外線を10〜30分間照射することにより行えばよ
い。その後、上記蓋部を押さえていた治具を外し、紫外
線を照射して紫外線硬化型樹脂組成物を完全に硬化させ
る。具体的には、例えば、その強度が15〜35J/c
の紫外線を30〜50分間照射すればよい。このよ
うに方法を用いることにより、少なくとも露出した光フ
ァイバ芯線のうちの溝に固定した部分を覆う蓋部を取り
付けることができる。
That is, (A) after housing the optical fiber core wire in the groove of the substrate and before fixing the optical fiber core wire in the groove,
First, the lid is formed, and while lightly pressing the lid with a jig or the like, using a coating device such as a dispenser,
The ultraviolet curable resin composition is poured into the gap between the groove and the optical fiber core wire, and the gap between the lid portion (the concave portion when the lid portion has a concave portion) and the optical fiber core wire. Device) to irradiate the ultraviolet curable resin composition with ultraviolet rays to semi-cure it. The irradiation with ultraviolet rays may be performed by, for example, irradiating with ultraviolet rays having an intensity of 5 to 10 J / cm 2 for 10 to 30 minutes. Then, the jig holding the lid is removed, and ultraviolet rays are irradiated to completely cure the ultraviolet curable resin composition. Specifically, for example, the strength is 15 to 35 J / c.
It suffices to irradiate the ultraviolet ray of m 2 for 30 to 50 minutes. By using the method as described above, it is possible to attach the lid portion that covers at least the portion fixed to the groove of the exposed optical fiber core wire.

【0115】上記(A)の方法では、紫外線硬化型樹脂
組成物を半硬化させるまで、上記蓋部に代えて、仮蓋部
を用いてもよい。すなわち、光ファイバ芯線を基板の溝
に収納した後、溝に収納した光ファイバ芯線を覆うよう
に仮蓋部を取り付け、該仮蓋部を治具等により軽く押さ
えながら、溝と光ファイバ芯線との間隙に紫外線硬化型
樹脂組成物を流し込み、さらに、上記紫外線硬化型樹脂
組成物に紫外線を照射して半硬化させる。上記仮蓋部と
しては、上記紫外線硬化型樹脂組成物が付着しないも
の、例えば、ゴム、フィルム(例えば、シリコーン樹脂
からなるもの等)等からなるものであり、かつ、蓋部と
略同じサイズのもの等が挙げられる。その後、上記治具
と仮蓋部とを外し、半硬化させた紫外線硬化型樹脂組成
物上に、未硬化の紫外線硬化型樹脂組成物を塗布する。
さらに、その上に蓋部を取り付け、紫外線を照射するこ
とにより、半硬化させた紫外線硬化型樹脂組成物と、未
硬化の紫外線硬化型樹脂組成物とを完全に硬化させるこ
とにより蓋部を取りつけてもよい。
In the method (A), a temporary lid may be used in place of the lid until the ultraviolet-curable resin composition is semi-cured. That is, after the optical fiber core wire is housed in the groove of the substrate, a temporary lid is attached so as to cover the optical fiber core wire housed in the groove, and the groove and the optical fiber core wire are lightly pressed by a jig or the like. The ultraviolet-curable resin composition is poured into the gap of, and the ultraviolet-curable resin composition is irradiated with ultraviolet rays to be semi-cured. The temporary lid is made of a material to which the ultraviolet curable resin composition does not adhere, such as rubber or film (for example, made of silicone resin) or the like, and has substantially the same size as the lid. The thing etc. are mentioned. After that, the jig and the temporary lid are removed, and the uncured ultraviolet curable resin composition is applied onto the semi-cured ultraviolet curable resin composition.
Further, by attaching a lid on it and irradiating it with ultraviolet rays, the semi-cured ultraviolet-curable resin composition and the uncured ultraviolet-curable resin composition are completely cured to attach the lid. May be.

【0116】(B)予め基板の溝に紫外線硬化型樹脂組
成物を塗布しておき、上記溝に光ファイバ芯線を収納す
る。その後、蓋部を取り付け、該蓋部を治具等により軽
く押さえながら、例えば、ディスペンサ等の塗布装置を
用いて、該蓋部と上記光ファイバ芯線との間隙に紫外線
硬化型樹脂組成物を流し込み、さらに、高圧水銀ランプ
(紫外線照射装置)を用いて上記紫外線硬化型樹脂組成
物に紫外線を照射して半硬化させる。このとき、上記
(A)の方法と同様の条件により紫外線を照射し、上記
紫外線硬化型樹脂組成物を半硬化させればよい。その
後、上記蓋部を押さえていた治具を外し、紫外線を照射
して紫外線硬化型樹脂組成物を完全に硬化させる。この
とき、上記(A)の方法と同様の条件により紫外線を照
射し、上記紫外線硬化型樹脂組成物を完全に硬化させれ
ばよい。このようにすることにより、少なくとも露出し
た光ファイバ芯線のうちの溝に固定した部分を覆う蓋部
を取り付けることができる。
(B) The ultraviolet curable resin composition is applied to the groove of the substrate in advance, and the optical fiber core wire is housed in the groove. After that, the lid portion is attached, and while the lid portion is lightly pressed by a jig or the like, the ultraviolet curable resin composition is poured into the gap between the lid portion and the optical fiber core wire by using a coating device such as a dispenser. Further, the high pressure mercury lamp (ultraviolet ray irradiation device) is used to irradiate the ultraviolet ray curable resin composition with ultraviolet rays to semi-cure it. At this time, ultraviolet rays may be irradiated under the same conditions as in the method (A) to semi-cure the ultraviolet curable resin composition. Then, the jig holding the lid is removed, and ultraviolet rays are irradiated to completely cure the ultraviolet curable resin composition. At this time, ultraviolet rays may be irradiated under the same conditions as in the method (A) to completely cure the ultraviolet curable resin composition. By doing so, it is possible to attach the lid portion that covers at least the portion fixed to the groove of the exposed optical fiber core wire.

【0117】なお、上記(B)の方法においても、上記
(A)の方法と同様に、紫外線硬化型樹脂組成物を半硬
化させるまで、上記蓋部に代えて、仮蓋部を用いること
ができる。このような(A)および(B)の方法を用い
ることにより、基板の少なくとも一部に、光ファイバ芯
線を覆うように接着剤層を介して蓋部を取り付けること
ができる。
In the method (B), as in the method (A), a temporary lid is used instead of the lid until the UV-curable resin composition is semi-cured. it can. By using such methods (A) and (B), the lid can be attached to at least a part of the substrate via the adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire.

【0118】また、この(3)の工程において、その両
端部以外の一部の被覆樹脂層が除去された光ファイバリ
ボンを固定し、該光ファイバリボンの基板に収納されな
かった部分を切断除去する場合、この切断除去は蓋部を
取り付けた後に行ってもよい。
In the step (3), the optical fiber ribbon from which a part of the coating resin layer other than both ends thereof is removed is fixed, and the portion of the optical fiber ribbon which is not accommodated in the substrate is cut and removed. In this case, this cutting removal may be performed after the lid is attached.

【0119】また、その一端部の光ファイバ芯線が露出
した光ファイバリボンを固定した後や、両端部以外の一
部の露出した光ファイバ芯線の固定と、光ファイバリボ
ンの一端部の切断除去とを行った後には、光ファイバ芯
線の端面に研磨処理を施すことが望ましい。ここで、研
磨処理を施す場合には、光ファイバ芯線、基板および蓋
部の端面に傾斜を持たすように研磨処理を施すことが望
ましい。光信号伝送時のもどり光の発生を抑制すること
ができるからである。また、この場合、光ファイバ芯線
の端面に研磨処理を施すとともに、基板や蓋部の側面に
研磨処理を施してもよい。
After fixing the optical fiber ribbon having the exposed optical fiber core wire at one end, fixing part of the exposed optical fiber core wire other than both ends, and cutting and removing one end of the optical fiber ribbon. After the above step, it is desirable to polish the end face of the optical fiber core wire. Here, when the polishing treatment is performed, it is desirable to perform the polishing treatment so that the end faces of the optical fiber core wire, the substrate and the lid are inclined. This is because it is possible to suppress the generation of return light when transmitting an optical signal. Further, in this case, the end face of the optical fiber core may be subjected to the polishing treatment, and the side faces of the substrate and the lid may be subjected to the polishing treatment.

【0120】このような工程を経ることにより、第一の
本発明の光ファイバアレイを製造することができる。な
お、ここでは、1個の光ファイバリボンを用いて光ファ
イバアレイを製造する方法について説明したが、第一の
本発明の光ファイバアレイは、複数の光ファイバリボン
が積み重ねられた積層光ファイバリボンを用いても製造
することができる。
The optical fiber array according to the first aspect of the present invention can be manufactured through these steps. Here, the method of manufacturing an optical fiber array using one optical fiber ribbon has been described, but the optical fiber array of the first present invention is a laminated optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber ribbons are stacked. Can also be used.

【0121】また、積層光ファイバリボンを用いて光フ
ァイバアレイを製造する場合には、例えば、図6に示す
ような、その一部の被覆樹脂層が除去された積層光ファ
イバリボン300を作製し、その後、この積層光ファイ
バリボンを基板に収納、固定させることにより光ファイ
バアレイを製造することができる。図6は、積層光ファ
イバリボンの一実施形態を模式的に示す部分斜視図であ
る。
When an optical fiber array is manufactured by using the laminated optical fiber ribbon, for example, a laminated optical fiber ribbon 300 in which a part of the coating resin layer is removed is prepared as shown in FIG. After that, the optical fiber array can be manufactured by housing and fixing this laminated optical fiber ribbon on the substrate. FIG. 6 is a partial perspective view schematically showing an embodiment of the laminated optical fiber ribbon.

【0122】図6に示すように、積層光ファイバリボン
300は、その両端部以外の一部の光ファイバ芯線34
5aが露出した第二の光ファイバリボン(下段の光ファ
イバリボン)340の露出した光ファイバ芯線345a
の間に、その一端部の光ファイバ芯線335aが露出し
た第一の光ファイバリボン(上段の光ファイバリボン)
330の露出した光ファイバ芯線335aが配置される
ように、第一の光ファイバリボン330と第二の光ファ
イバリボン340とが積み重ねられている。
As shown in FIG. 6, the laminated optical fiber ribbon 300 has a part of the optical fiber core wire 34 other than both ends thereof.
The exposed optical fiber core wire 345a of the second optical fiber ribbon (lower optical fiber ribbon) 340 in which 5a is exposed
The first optical fiber ribbon (the upper optical fiber ribbon) in which the optical fiber core wire 335a at one end thereof is exposed between
The first optical fiber ribbon 330 and the second optical fiber ribbon 340 are stacked so that the exposed optical fiber core wire 335a of 330 is arranged.

【0123】また、積層光ファイバリボン300では、
露出した光ファイバ芯線335a、345aが同一の高
さに配置されるように、露出した光ファイバ芯線335
a、345aは、それぞれが、その一部で曲げられてい
る。このように、光ファイバ芯線335aおよび光ファ
イバ芯線345aを同一の高さに配置することより、基
板の溝に収納、固定するのに適した形状となる。
In the laminated optical fiber ribbon 300,
The exposed optical fiber core wires 335a and 345a are arranged at the same height so that the exposed optical fiber core wires 335a and 345a are arranged at the same height.
Each of a and 345a is bent at a part thereof. In this way, by arranging the optical fiber core wire 335a and the optical fiber core wire 345a at the same height, it becomes a shape suitable for being housed and fixed in the groove of the substrate.

【0124】なお、積層光ファイバリボン300では、
第一の光ファイバリボン330の露出した光ファイバ芯
線335a、および、第二の光ファイバリボン340の
露出した光ファイバ芯線345aのそれぞれの一部が曲
げられているが、両者の光ファイバ芯線を同一の高さに
配置することができるのであれば、第一の光ファイバリ
ボンの露出した光ファイバ芯線のみが曲げられていても
よいし、第二の光ファイバリボンの露出した光ファイバ
芯線のみが曲げられていてもよい。
In the laminated optical fiber ribbon 300,
A part of each of the exposed optical fiber core wire 335a of the first optical fiber ribbon 330 and the exposed optical fiber core wire 345a of the second optical fiber ribbon 340 is bent, but both optical fiber core wires are the same. Of the first optical fiber ribbon, only the exposed optical fiber core wire of the first optical fiber ribbon may be bent, or only the exposed optical fiber core wire of the second optical fiber ribbon may be bent. It may be.

【0125】また、積層光ファイバリボン300におい
て、第一の光ファイバリボン330と第二の光ファイバ
リボンとは、接着剤を介して固定されていることが望ま
しい。なお、図6に示す積層光ファイバリボン300に
おいては、8本の光ファイバ芯線が同一の高さに配置さ
れているが、積層光ファイバリボンにおける光ファイバ
芯線の本数は8本に限定されず、7本以下であってもよ
いし、9本以上であってもよい。また、上記第一および
第二の光ファイバリボンのそれぞれの光ファイバ芯線の
本数は、図6に示す光ファイバリボンのように同数か、
第一の光ファイバリボンのほうが1本多いか、または、
第二の光ファイバリボンのほうが1本多いことが望まし
い。このような場合、光ファイバ芯線を最も高密度で配
列させることができるからである。
In the laminated optical fiber ribbon 300, it is desirable that the first optical fiber ribbon 330 and the second optical fiber ribbon are fixed to each other with an adhesive. In the laminated optical fiber ribbon 300 shown in FIG. 6, eight optical fiber cores are arranged at the same height, but the number of optical fiber cores in the laminated optical fiber ribbon is not limited to eight. The number may be 7 or less, or 9 or more. Further, the number of optical fiber core wires of each of the first and second optical fiber ribbons is the same as in the optical fiber ribbon shown in FIG.
One more fiber optic ribbon, or
It is desirable that there be one more second optical fiber ribbon. In such a case, the optical fiber core wires can be arranged at the highest density.

【0126】上記積層光ファイバリボンの作製は、例え
ば、まず、光ファイバリボンの一端部の被覆樹脂層を、
上述したような、工具を用いる方法、有機溶剤で溶解さ
せる方法、レーザ光を照射する方法等を用いて除去する
ことにより第一の光ファイバリボンを作製し、これとは
別に、上記と同様の被覆樹脂層の除去方法を用いて、光
ファイバリボンの両端部以外の一部の被覆樹脂層を除去
することにより第二の光ファイバリボンを作製し、次
に、露出した光ファイバ芯線の一部を曲げた後、両者の
光ファイバ芯線が、交互に等間隔で配置されるように、
第一および第二の光ファイバリボンを接着剤を介して積
み重ねることにより行うことができる。
In the production of the laminated optical fiber ribbon, for example, first, the coating resin layer at one end of the optical fiber ribbon is
As described above, a first optical fiber ribbon is produced by removing it by using a method using a tool, a method of dissolving with an organic solvent, a method of irradiating with a laser beam, etc. A second optical fiber ribbon is produced by removing a part of the coating resin layer other than both ends of the optical fiber ribbon by using the method for removing the coating resin layer, and then a part of the exposed optical fiber core wire. After bending, so that the optical fiber core wires of both are alternately arranged at equal intervals,
This can be done by stacking the first and second optical fiber ribbons via an adhesive.

【0127】このような積層光ファイバリボンを基板に
収納、固定させる方法としては、上記(3)の工程で用
いた方法と同様の方法を用いることができる。なお、上
記積層光ファイバリボンを用いて光ファイバアレイを製
造する場合も、上記基板に積層光ファイバリボンを収
納、固定した後、第二の光ファイバリボンの一端部の切
断除去と光ファイバ芯線の端面等の研磨処理とを行う。
このような方法を用いることにより、積層光ファイバリ
ボンを用いた光ファイバアレイを製造することができ
る。
As a method for accommodating and fixing such a laminated optical fiber ribbon on a substrate, the same method as the method used in the step (3) can be used. Even when manufacturing an optical fiber array using the laminated optical fiber ribbon, after accommodating and fixing the laminated optical fiber ribbon on the substrate, cutting and removing one end of the second optical fiber ribbon and the optical fiber core wire Polishing of the end face and the like is performed.
By using such a method, an optical fiber array using a laminated optical fiber ribbon can be manufactured.

【0128】また、上述したような光ファイバリボンに
代えて、並列に並べられた複数本の単心の光ファイバが
用いられた光ファイバアレイを製造する場合は、例え
ば、一端部の被覆樹脂層を剥離した複数本の光ファイバ
を整列器を用いて並列に整列させた後、上記(3)の工
程で、整列器で保持したまま、基板に収納し、その後、
上記した方法と同様の方法を用いて光ファイバの固定や
蓋部の形成等を行うことにより光ファイバアレイを製造
することができる。
When an optical fiber array using a plurality of single-core optical fibers arranged in parallel is used instead of the optical fiber ribbon as described above, for example, the coating resin layer at one end is used. After aligning the plurality of optical fibers separated from each other in parallel by using an aligner, in the step (3), the optical fibers are stored in the substrate while being held by the aligner, and then,
An optical fiber array can be manufactured by fixing an optical fiber, forming a lid, and the like using the same method as described above.

【0129】また、第一の本発明の光ファイバアレイに
おいて、上述したように、上記基板上の少なくとも一部
に、光ファイバ芯線を覆うように接着剤層を介して蓋部
が取り付けられている場合には、上記接着剤層は、その
上記光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形状が、
上記基板の外縁部に向かって末広がり状であることも望
ましい。この場合、製造時に、未硬化の接着剤層が、上
記基板の側面からはみ出ることがないため、硬化処理を
施して形成した接着剤層の側面と基板の側面とを揃える
研磨処理が不要であり、最も外側に収納された光ファイ
バ芯線の表面に傷をつけるおそれがなく、より正確に光
信号を伝送することが可能になる。また、接着剤層を介
して固定した基板と蓋部との接着強度が向上し、特に、
信頼性試験後にも基板と蓋部との接着強度がほとんど低
下しないため、光ファイバアレイとしての信頼性に優れ
ることになる。
In the optical fiber array of the first aspect of the present invention, as described above, the lid is attached to at least a part of the substrate via the adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire. In this case, the adhesive layer has a cross-sectional shape in a direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire,
It is also preferable that the substrate is flared toward the outer edge of the substrate. In this case, since the uncured adhesive layer does not protrude from the side surface of the substrate at the time of manufacturing, it is not necessary to perform a polishing process for aligning the side surface of the adhesive layer and the side surface of the substrate, which are formed by the curing treatment. Thus, there is no risk of damaging the surface of the outermost optical fiber core wire, and it is possible to transmit the optical signal more accurately. In addition, the adhesive strength between the substrate and the lid fixed via the adhesive layer is improved,
Even after the reliability test, the adhesive strength between the substrate and the lid hardly decreases, so that the reliability of the optical fiber array is excellent.

【0130】以下、このような形状の接着剤層を有する
第一の本発明の光ファイバアレイについて図面を参照し
ながら説明する。図11(a)は、第一の本発明の光フ
ァイバアレイの一例を模式的に示す部分斜視図であり、
(b)は、(a)のA−A線断面図であり、(c)は、
(a)のB−B線断面図である。
The optical fiber array of the first invention having the adhesive layer having such a shape will be described below with reference to the drawings. FIG. 11A is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the first present invention,
(B) is the sectional view on the AA line of (a), (c) is
It is the BB sectional drawing of (a).

【0131】図11に示すように、光ファイバアレイ1
100では、基板1151上に、複数のV溝1157が
並列に形成され、このV溝1157のそれぞれに、光フ
ァイバ芯線1115が接着剤1159を介して収納され
ている。また、基板1151上面には、溝1157とは
別に、光ファイバ芯線をその周囲の被覆樹脂層1114
とともに一括して保持するための被覆樹脂層保持部11
58が形成されている。なお、この被覆樹脂層保持部1
158の上面は、溝1157を形成した溝形成面よりも
低くなっている。また、被覆樹脂層1114は、その周
囲の接着剤1159により被覆樹脂層保持部1158に
固定されている。なお、被覆樹脂層保持部1158は、
必要に応じて形成すればよく、基板上にはV溝のみが形
成されていてもよい。また、図中、1110は光ファイ
バリボン、1111はコア、1112はクラッドであ
る。さらに、1159aは、光ファイバ芯線を固定する
接着剤であり、1159bは、被覆樹脂層を固定する接
着剤である。
As shown in FIG. 11, the optical fiber array 1
In 100, a plurality of V grooves 1157 are formed in parallel on the substrate 1151, and an optical fiber core wire 1115 is housed in each of the V grooves 1157 via an adhesive agent 1159. In addition to the groove 1157, an optical fiber core wire is provided on the upper surface of the substrate 1151 to cover the surrounding resin layer 1114.
Together with the coating resin layer holding portion 11 for holding together
58 is formed. In addition, this coating resin layer holding portion 1
The upper surface of 158 is lower than the groove forming surface in which the groove 1157 is formed. Further, the coating resin layer 1114 is fixed to the coating resin layer holding portion 1158 by an adhesive agent 1159 around the coating resin layer 1114. The covering resin layer holding portion 1158 is
It may be formed as needed, and only the V groove may be formed on the substrate. In the figure, 1110 is an optical fiber ribbon, 1111 is a core, and 1112 is a clad. Further, 1159a is an adhesive that fixes the optical fiber core wire, and 1159b is an adhesive that fixes the coating resin layer.

【0132】また、光ファイバ芯線1115を収納する
溝1157を形成した領域上には、接着剤層1169を
介して板状の蓋部1160が取り付けられており、この
接着剤層1169の光ファイバ芯線1115の軸に垂直
な方向の断面形状は、基板1151の外縁部に向かって
末広がり状となっている(図11(b)参照)。
Further, a plate-like lid portion 1160 is attached via an adhesive layer 1169 on the region where the groove 1157 for accommodating the optical fiber core wire 1115 is formed, and the optical fiber core wire of this adhesive layer 1169 is attached. The cross-sectional shape of 1115 in the direction perpendicular to the axis is divergent toward the outer edge of the substrate 1151 (see FIG. 11B).

【0133】接着剤層1169は、図示したように、光
ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の両端部の形状が
外縁部に向かって広がっている形状であればよく、ま
た、接着剤層1169の側面(光ファイバ芯線1115
の軸に沿った側面)は下の凸の曲面であってもよく、上
に凸の曲面であってもよく、また、平面であってもよ
い。また、この接着剤層1169の側面部分の大きさは
特に限定されず、未硬化の接着剤層の粘度や表面張力、
基板や蓋部の大きさ、および、基板と蓋部との間隔等に
より適宜決定される。
As shown in the figure, the adhesive layer 1169 may have any shape as long as the shape of both ends of the cross section in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core is widened toward the outer edge. Side surface of 1169 (optical fiber core wire 1115
The side surface along the axis of 1) may be a curved surface having a convex lower surface, a curved surface having an upward convex surface, or a flat surface. Further, the size of the side surface portion of the adhesive layer 1169 is not particularly limited, and the viscosity and surface tension of the uncured adhesive layer,
It is appropriately determined depending on the size of the substrate and the lid, the distance between the substrate and the lid, and the like.

【0134】また、上記蓋部は、その底面の上記光ファ
イバ芯線の軸に垂直な方向の幅(以下、単に横幅ともい
う)が、上記基板の上面の上記光ファイバ芯線の軸に垂
直な方向の幅(基板の上面の横幅)よりも小さいことが
望ましい。具体的には、上記蓋部の底面の横幅の下限
は、上記基板の上面の横幅の70%であることが望まし
く、85%であることがより望ましい。また、上記蓋部
の底面の横幅の上限は、上記基板の上面の横幅の99%
であることが望ましく、98%であることがより望まし
い。上記蓋部の底面の横幅がこのような大きさである
と、蓋部の側面下部近傍または蓋部底面の側方外縁部近
傍から、基板上面の側方外縁部近傍に向かって、光ファ
イバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形状が末広がり状の
接着剤層を形成することができるからである。
The width of the bottom surface of the lid portion in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire (hereinafter, simply referred to as lateral width) is the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire on the upper surface of the substrate. Is smaller than the width (width of the upper surface of the substrate). Specifically, the lower limit of the horizontal width of the bottom surface of the lid is preferably 70% of the horizontal width of the upper surface of the substrate, and more preferably 85%. The upper limit of the width of the bottom surface of the lid is 99% of the width of the upper surface of the substrate.
Is preferable, and 98% is more preferable. When the width of the bottom surface of the lid portion is such a size, the optical fiber core wire extends from near the lower side surface of the lid portion or near the lateral outer edge portion of the lid bottom surface toward the lateral outer edge portion of the substrate upper surface. This is because it is possible to form an adhesive layer having a cross-sectional shape in a direction perpendicular to the axis of (1).

【0135】また、上記蓋部の横幅(蓋部の底面の横幅
のみならず、すべての部分の横幅)が基板の上面の横幅
よりも小さい場合には、光ファイバアレイの製造時にお
いて、基板に接着剤層を介して該蓋部を取り付けた際
に、未硬化の接着剤の流動性や、硬化時に接着剤に生じ
る応力により、取り付けた蓋部に若干の傾き生じた場合
にも、蓋部の一部が基板側面の上方延長上からはみ出す
ことがないため、後工程でこのはみ出した部分を除去す
るための研磨処理を施す必要がない。
If the lateral width of the lid portion (not only the lateral width of the bottom surface of the lid portion but also the lateral width of all the portions) is smaller than the lateral width of the upper surface of the substrate, the substrate is not manufactured at the time of manufacturing the optical fiber array. When the lid is attached via the adhesive layer, even if the attached lid is slightly inclined due to the fluidity of the uncured adhesive and the stress generated in the adhesive during curing, Does not protrude from the upper extension of the side surface of the substrate, it is not necessary to perform a polishing process to remove the protruding portion in a later step.

【0136】上記蓋部の底面の横幅の下限は、上記基板
の上面の横幅より2mm短いことが望ましく、0.5m
m短いことがより望ましい。また、上記蓋部の底面の横
幅の上限は、上記基板の上面の横幅より0.1mm短い
ことが望ましく、0.2mm短いことがより望ましい。
上記蓋部の底面の横幅が、上記基板の上面の横幅よりも
上記した範囲の長さだけ短いと、接着剤層の光ファイバ
芯線の軸に垂直な方向の断面形状が末広がり状になると
ともに、光ファイバアレイの小型化を図るのに適してい
るからである。なお、この場合、上記基板の上面の横幅
に対する上記蓋部の底面の横幅の比率は、上記した範囲
内にあってもよいし、上記した範囲外にあってもよい。
The lower limit of the lateral width of the bottom surface of the lid is preferably 2 mm shorter than the lateral width of the upper surface of the substrate, and is 0.5 m.
It is more desirable that the length is shorter. The upper limit of the lateral width of the bottom surface of the lid is preferably 0.1 mm shorter than the upper surface of the substrate, and more preferably 0.2 mm shorter.
When the lateral width of the bottom surface of the lid is shorter than the lateral width of the upper surface of the substrate by the length in the above range, the cross-sectional shape in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire of the adhesive layer becomes divergent, This is because it is suitable for downsizing the optical fiber array. In this case, the ratio of the lateral width of the bottom surface of the lid to the lateral width of the upper surface of the substrate may be within the above range or may be outside the above range.

【0137】また、上記蓋部の縦幅は特に限定されず、
例えば、基板の溝を形成した領域の縦幅と同一であって
もよいし、基板全体の縦幅と同一であってもよい。な
お、本明細書において、基板の縦幅および蓋部の縦幅と
は、光ファイバ芯線の軸に平行な方向の長さをいう。
The vertical width of the lid is not particularly limited,
For example, it may be the same as the vertical width of the region in which the groove of the substrate is formed, or may be the same as the vertical width of the entire substrate. In this specification, the vertical width of the substrate and the vertical width of the lid portion refer to the length in the direction parallel to the axis of the optical fiber core wire.

【0138】上記した形状の接着剤層を介して取り付け
られた蓋部は、上記光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の
断面の形状(以下、単に横断面の形状ともいう)が矩形
であることが望ましい。このような形状の蓋部は、上述
した末広がり状の接着剤層を形成するのに適していると
ともに、その形成が容易だからである。
The lid attached via the adhesive layer having the above-described shape has a rectangular cross-sectional shape in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire (hereinafter, also simply referred to as a cross-sectional shape). Is desirable. This is because the lid portion having such a shape is suitable for forming the divergent adhesive layer described above and is easy to form.

【0139】また、上記蓋部の横断面の形状は、矩形の
両方の側方下部が切り取られた形状であることも望まし
い。蓋部をこのような形状とした場合、蓋部の両方の側
方下部に切り取られた形状としたことにより露出した面
(図12に、αと示す部分)から基板上面の側方外縁部
近傍に向かって、上述した形状の接着剤層を形成するこ
とにより、蓋部と接着剤層との接着面積が大きくなるた
め、接着剤層を介して取り付けた基板と蓋部との接着強
度が向上し、これが光ファイバアレイの信頼性の向上に
繋がる。
It is also preferable that the shape of the cross section of the lid portion is a rectangular shape in which both lateral lower portions are cut off. When the lid portion has such a shape, it is formed by cutting into both side lower portions of the lid portion to expose the exposed surface (the portion indicated by α in FIG. 12) from the side outer edge portion of the upper surface of the substrate. By forming the adhesive layer having the above-described shape, the adhesive area between the lid portion and the adhesive layer is increased, so that the adhesive strength between the substrate and the lid portion attached via the adhesive layer is improved. However, this leads to improvement in reliability of the optical fiber array.

【0140】また、蓋部の形状がこのような形状である
場合、上記切り取られた形状は、三角形、四角形、多角
形、円弧と直交する二直線とに囲まれた形状、または、
楕円弧と直交する二直線とに囲まれた形状であることが
望ましい。図12は、上述した形状の接着剤層を有する
第一の本発明の光ファイバアレイにおいて、該光ファイ
バアレイを構成する蓋部の横断面の形状の一例を模式的
に示す断面図である。上記蓋部の横断面の形状として
は、上記切り取られた形状が三角形である場合、例え
ば、図12に示す蓋部1161のような形状が挙げられ
る。なお、上記切り取られた形状が、円弧(楕円弧)と
直交する二直線とに囲まれた形状である場合、この円弧
(楕円弧)の形状は、外側に凸であってもよく、内側に
凸であってもよい。
When the shape of the lid is such a shape, the cut-out shape is a shape surrounded by a triangle, a quadrangle, a polygon, or two straight lines orthogonal to an arc, or
It is desirable that the shape be surrounded by an elliptic arc and two straight lines orthogonal to each other. FIG. 12 is a cross-sectional view schematically showing an example of the cross-sectional shape of the lid portion forming the optical fiber array in the optical fiber array of the first aspect of the present invention having the adhesive layer having the above-described shape. As the shape of the cross section of the lid portion, when the cut-out shape is a triangle, for example, a shape like the lid portion 1161 shown in FIG. 12 can be mentioned. When the cut-out shape is a shape surrounded by two straight lines orthogonal to an arc (elliptic arc), the shape of the arc (elliptic arc) may be convex outward or convex inward. It may be.

【0141】上記蓋部の横断面の形状が、矩形の両方の
側方下部が切り取られた形状である場合、矩形の側方の
切り取る高さ(図12中、Hと示す)は特に限定され
ないが、接着剤層を介して取り付けた基板と蓋部との接
着強度に優れる点から、上記矩形の切り取る高さの下限
は、上記矩形の厚さ(図12中、Hと示す)の1/1
0が望ましく、1/5がより望ましい。また、上記矩形
の切り取る高さの上限は、上記矩形の厚さの1/2が望
ましく、1/3がより望ましい。
When the shape of the cross section of the lid is a shape in which both side lower parts of the rectangle are cut out, the height of the side cut out of the rectangle (indicated by H 1 in FIG. 12) is particularly limited. However, the lower limit of the cut-out height of the rectangle is the thickness of the rectangle (indicated by H 2 in FIG. 12) from the viewpoint of excellent adhesive strength between the substrate and the lid attached via the adhesive layer. 1/1
0 is desirable and 1/5 is more desirable. Further, the upper limit of the cut-out height of the rectangle is preferably 1/2 of the thickness of the rectangle, and more preferably 1/3.

【0142】また、上記矩形の側方の切り取る高さの下
限は、0.1mmが望ましく、0.2mmがより望まし
く、また、上記矩形の側方の切り取る高さの上限は、
0.5mmが望ましく、0.3mmがより望ましい。上
記矩形の側方の切り取る高さが上記範囲内にある場合、
接着剤層を介して取り付けた基板と蓋部との接着強度が
優れたものとなるからである。なお、この場合、上記矩
形の側方の切り取る高さと、上記矩形の厚さとの比率
は、上記した範囲内にあってもよいし、上記した範囲外
にあってもよい。また、上記切り取る高さは、場合によ
っては、蓋部の厚さと同一であってもよい。なお、本明
細書においては、矩形の側方の切り取る高さが蓋部の厚
さと同一の場合も、矩形の両方の側方下部が切り取られ
た形状に含むこととする。
Further, the lower limit of the lateral cutting height of the rectangle is preferably 0.1 mm, more preferably 0.2 mm, and the upper limit of the lateral cutting height of the rectangle is
0.5 mm is preferable, and 0.3 mm is more preferable. If the cutting height of the side of the above rectangle is within the above range,
This is because the adhesive strength between the substrate attached via the adhesive layer and the lid becomes excellent. In this case, the ratio of the height of the side cut out of the rectangle to the thickness of the rectangle may be within the above range or may be outside the above range. In addition, the cut-off height may be the same as the thickness of the lid in some cases. In addition, in the present specification, even when the height of the side portion of the rectangle that is cut out is the same as the thickness of the lid portion, the shape in which both side lower portions of the rectangle are cut out is included.

【0143】上述したように、上記矩形の両方の側方下
部が切り取られた形状の底辺の長さの下限は、上記基板
の上面の横幅の70%が望ましく、85%がより望まし
い。また、上記矩形の両方の側方下部が切り取られた形
状の底辺の長さの上限は、上記基板の上面の横幅の99
%が望ましく、98%がより望ましい。上記蓋部の底面
の横幅の下限は、上記基板の上面の横幅より2mm短い
ことが望ましく、0.5mm短いことがより望ましい。
また、上記蓋部の底面の横幅の上限は、上記基板の上面
の横幅より0.1mm短いことが望ましく、0.2mm
短いことがより望ましい。
As described above, the lower limit of the length of the bottom side of the rectangle in which both lateral lower portions are cut off is preferably 70% of the horizontal width of the upper surface of the substrate, and more preferably 85%. Further, the upper limit of the length of the bottom side of the shape obtained by cutting out both side lower portions of the rectangle is 99 of the lateral width of the upper surface of the substrate.
% Is desirable, and 98% is more desirable. The lower limit of the horizontal width of the bottom surface of the lid is preferably 2 mm shorter than the upper surface of the substrate, and more preferably 0.5 mm shorter.
Further, the upper limit of the lateral width of the bottom surface of the lid is preferably 0.1 mm shorter than the lateral width of the upper surface of the substrate, and is 0.2 mm.
Shorter is more desirable.

【0144】また、上述した末広がり状の接着剤層を有
する第一の本発明の光ファイバアレイにおいても、接着
剤層を介して取り付ける蓋部には、光ファイバ芯線の一
部(光ファイバ芯線の基板に形成した溝に収納されなか
った部分の一部)を一括して収納するための凹部が形成
されていてもよい。このような凹部を有する蓋部が取り
付けられた光ファイバアレイでは、光ファイバ芯線の位
置ズレが発生するおそれがより少なくなるからである。
さらに、上述した末広がり状の接着剤層を介して取り付
けられた蓋部の横断面の形状は、両方の側面の下部が切
り取られ、底面側に光ファイバ芯線の一部を一括して収
納するための凹部が形成された形状であってもよい。
Further, also in the optical fiber array of the first aspect of the present invention having the above-mentioned divergent adhesive layer, a part of the optical fiber core wire (the optical fiber core wire A recess may be formed to collectively store a part of the portion not stored in the groove formed in the substrate. This is because the optical fiber array to which the lid having such a recess is attached is less likely to cause positional deviation of the optical fiber core wire.
Furthermore, the shape of the cross section of the lid part attached via the divergent adhesive layer described above is such that the lower parts of both side faces are cut off, and a part of the optical fiber core wire is housed collectively on the bottom face side. It may have a shape in which the concave portion is formed.

【0145】このような末広がり状の接着剤層を介して
蓋部が取り付けられた光ファイバアレイを製造する方法
としては、光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形
状が基板の外縁部に向かって末広がり状の接着剤層を形
成する以外は、上記した方法と同様の方法を用いて製造
することができる。なお、接着剤層の形状を上記した形
状とするには、溝に光ファイバ芯線を収納した後、この
光ファイバ芯線を覆うように蓋部を載置し、その後、蓋
部と光ファイバとの間隙に未硬化の接着剤を流しこみ、
さらに硬化処理を施すことにより接着剤層を形成する方
法を用いることが望ましい。
As a method of manufacturing an optical fiber array in which the lid is attached via such a divergent adhesive layer, the shape of the cross section in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core is the outer edge of the substrate. It can be manufactured by a method similar to the above-mentioned method except that an adhesive layer having a divergent shape toward the end is formed. Incidentally, in order to make the shape of the adhesive layer the above-mentioned shape, after accommodating the optical fiber core wire in the groove, the lid portion is placed so as to cover the optical fiber core wire, and then the lid portion and the optical fiber Pour uncured adhesive into the gap,
It is desirable to use a method of forming an adhesive layer by further performing a curing treatment.

【0146】このような方法を用いた場合、未硬化の接
着剤は、その表面張力により、光ファイバ芯線、基板お
よび蓋部に沿って流れるのであるが、上述したように、
蓋部の底面の横幅が基板の上面の横幅よりも小さく調整
されていると、基板の最も外側の溝に収納された光ファ
イバ芯線の外側部分に流し込まれて形成された未硬化の
接着剤層は、蓋部の側面下部近傍、または、蓋部底面の
側方外縁部近傍から、基板上面の側方外縁部近傍に向か
って末広がり状に形成される。さらに、上記未硬化の接
着剤の表面張力により、形成された未硬化の接着剤層が
基板の側面からはみ出すことがない。従って、このよう
な形状の未硬化の接着剤層に硬化処理を施すことで、そ
の光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面形状を、末広
がり状とすることができる。また、上述したように接着
剤層の側面の形状は、下に凸の曲面であってもよいし、
上に凸の曲面であってもよいし、平面であってもよい。
なお、どのような形状とするかは、未硬化の接着剤の充
填量を調整することにより選択することができる。
When such a method is used, the uncured adhesive flows along the optical fiber core wire, the substrate and the lid portion due to the surface tension thereof.
If the width of the bottom surface of the lid is adjusted to be smaller than the width of the upper surface of the substrate, an uncured adhesive layer formed by being poured into the outer portion of the optical fiber core wire housed in the outermost groove of the substrate Is formed in a divergent shape from the vicinity of the lower side surface of the lid portion or the vicinity of the lateral outer edge portion of the bottom surface of the lid portion toward the vicinity of the lateral outer edge portion of the substrate upper surface. Further, the surface tension of the uncured adhesive prevents the formed uncured adhesive layer from protruding from the side surface of the substrate. Therefore, by performing a curing treatment on the uncured adhesive layer having such a shape, the cross-sectional shape in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire can be made wider toward the end. Further, as described above, the shape of the side surface of the adhesive layer may be a curved surface convex downward,
It may be a curved surface that is convex upward or a flat surface.
It should be noted that the shape to be formed can be selected by adjusting the filling amount of the uncured adhesive.

【0147】次に、第二の本発明の光ファイバアレイに
ついて説明する。第二の本発明の光ファイバアレイは、
その上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部とが形成された
基板と、複数の光ファイバ芯線が並列に配置され、その
周囲に被覆樹脂層が形成された光ファイバリボンとから
なる光ファイバアレイであって、上記溝に接着剤を介し
て光ファイバ芯線が固定されるとともに、上記被覆樹脂
層保持部に接着剤を介して光ファイバ芯線と被覆樹脂層
とが固定されており、上記光ファイバ芯線を固定する接
着剤がエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物で
あり、上記被覆樹脂層を固定する接着剤がアクリレート
系またはシリコーン系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化
物であることを特徴とする。
Next, the optical fiber array of the second present invention will be described. The optical fiber array of the second invention is
An optical fiber array including a substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on the upper surface thereof and an optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber core wires are arranged in parallel and a coating resin layer is formed around the optical fiber core wires. The optical fiber core wire is fixed to the groove via an adhesive agent, and the optical fiber core wire and the coating resin layer are fixed to the covering resin layer holding portion via an adhesive agent. The adhesive for fixing the core wire is a cured product of an epoxy-based ultraviolet curable resin composition, and the adhesive for fixing the coating resin layer is a cured product of an acrylate-based or silicone-based ultraviolet curable resin composition. Is characterized by.

【0148】第二の本発明の光ファイバアレイでは、光
ファイバ芯線と被覆樹脂層とが、基板上面に形成された
溝と被覆樹脂層保持部とに、紫外線硬化型接着剤を介し
て確実に固定されており、該光ファイバアレイを光学素
子に接続する際や、該光ファイバアレイに外部から力が
加わった際にも、光ファイバ芯線の位置ズレが発生する
ことがなく、正確に光信号を伝送することができる。
In the optical fiber array according to the second aspect of the present invention, the optical fiber core wire and the coating resin layer are securely attached to the groove formed on the upper surface of the substrate and the coating resin layer holding portion via the ultraviolet curable adhesive. The optical fiber array is fixed, and when the optical fiber array is connected to an optical element or when a force is applied to the optical fiber array from the outside, the optical fiber core wire is not displaced and the optical signal is accurately generated. Can be transmitted.

【0149】また、通常、光ファイバアレイの基板上面
の溝に固定された光ファイバ芯線と、光学部品(例え
ば、光スイッチ部品、波長多重部品、光分岐部品等)と
を接続する場合、例えばアクティブアライメント等の方
法により、上記光学部品に対する上記光ファイバ芯線の
位置合わせを行った後、上記光ファイバ芯線と上記光学
部品とを接着剤等により接続する。第二の本発明の光フ
ァイバアレイでは、光ファイバ芯線をヤング率が比較的
大きく、比較的硬いエポキシ系の紫外線硬化型接着剤を
用いて固定しているため、光ファイバ芯線の位置ズレが
より発生しにくく、上述したように位置合わせを行った
状態を確実に維持することが可能になる。
Usually, when connecting the optical fiber core wire fixed to the groove on the upper surface of the substrate of the optical fiber array and the optical component (for example, optical switch component, wavelength multiplexing component, optical branching component, etc.), for example, active After the optical fiber core wire is aligned with the optical component by a method such as alignment, the optical fiber core wire and the optical component are connected by an adhesive or the like. In the optical fiber array of the second aspect of the present invention, the optical fiber core wire is fixed using an epoxy-based ultraviolet curable adhesive having a relatively large Young's modulus and a relatively high hardness, so that the positional deviation of the optical fiber core wire is further reduced. It is unlikely to occur, and it becomes possible to reliably maintain the state of performing the alignment as described above.

【0150】一方、上記基板の溝に収納した側と反対側
の光ファイバ芯線には、通常、オス型の単芯コネクタ
(例えば、SCコネクタ、FCコネクタ等)を取り付
け、該オス型の単芯コネクタを、プリント基板等に取り
付けられたメス型の単芯コネクタに接続することによ
り、上記光ファイバ芯線とプリント基板等とを接続する
こととなる。このとき、被覆樹脂層をヤング率が大き
く、硬い紫外線硬化型接着剤を用いてしっかりと固定し
ていると、被覆樹脂層がほとんど変形することができ
ず、接続プリント基板等と接続する光ファイバ芯線が割
れたり、クラックが生じたりするおそれがある。しかし
ながら、第二の本発明の光ファイバアレイでは、被覆樹
脂層をヤング率が比較的小さく、比較的柔らかいアクリ
レート系またはシリコーン系の紫外線硬化型樹脂接着剤
を用いて固定しているため、被覆樹脂層部分は、光ファ
イバアレイを取り付ける部分の形状等に合わせてある程
度変形することができ、上述したような接続作業時にお
いても、光ファイバ芯線が割れたり、クラックが生じた
りすることがない。
On the other hand, a male-type single-core connector (for example, SC connector, FC connector, etc.) is usually attached to the optical fiber core wire on the side opposite to the side housed in the groove of the substrate, and the male-type single core connector is attached. By connecting the connector to a female single core connector attached to a printed circuit board or the like, the optical fiber core wire and the printed circuit board or the like are connected. At this time, if the coating resin layer is firmly fixed with a hard UV-curable adhesive having a large Young's modulus, the coating resin layer can hardly be deformed and the optical fiber connected to the connection printed circuit board or the like can be obtained. The core wire may be cracked or cracked. However, in the optical fiber array of the second aspect of the present invention, the coating resin layer is fixed by using a relatively soft acrylate-based or silicone-based UV-curable resin adhesive having a relatively small Young's modulus. The layer portion can be deformed to some extent according to the shape of the portion to which the optical fiber array is attached, etc., and the optical fiber core wire is not cracked or cracked even during the connection work as described above.

【0151】第二の本発明の光ファイバアレイは、第一
の本発明の光ファイバアレイと比べて、光ファイバ芯線
と被覆樹脂層とをそれぞれ別の紫外線硬化型樹脂組成物
の硬化物により固定している点が異なるのみで、その
他、光ファイバアレイの構造や光ファイバアレイを構成
する部材等は、第一の本発明の光ファイバアレイと同様
である。従って、ここでは、光ファイバ芯線および被覆
樹脂層のそれぞれを固定する紫外線硬化型樹脂組成物の
硬化物について詳細に説明し、その他、光ファイバアレ
イの構造や光ファイバアレイを構成する部材等について
は、第一の本発明の光ファイバアレイと異なる場合を除
き、その説明を省略することとする。
Compared with the optical fiber array of the first aspect of the present invention, the optical fiber array of the second aspect of the present invention fixes the optical fiber core wire and the coating resin layer by different cured products of the ultraviolet curable resin composition. Other than that, the structure of the optical fiber array, members constituting the optical fiber array, and the like are the same as those of the optical fiber array of the first aspect of the present invention. Therefore, here, the cured product of the ultraviolet curable resin composition for fixing each of the optical fiber core wire and the coating resin layer will be described in detail, and in addition, regarding the structure of the optical fiber array and the members constituting the optical fiber array, etc. The description thereof will be omitted unless it is different from the optical fiber array of the first present invention.

【0152】第二の本発明の光ファイバアレイについて
図面を参照しながら説明する。図7(a)は、第二の本
発明の光ファイバアレイの一例を模式的に示す部分斜視
図であり、(b)は、(a)のA−A線断面図であり、
(c)は、(a)のB−B線断面図である。
The optical fiber array of the second invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7A is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the second aspect of the invention, FIG. 7B is a sectional view taken along line AA of FIG.
(C) is a BB line sectional view of (a).

【0153】図7に示すように、光ファイバアレイ40
0は、基板451上面に、複数のV溝457が並列に形
成され、このV溝457のそれぞれに、光ファイバリボ
ン410の光ファイバ芯線415が紫外線硬化型接着剤
459aを介して固定されている。また、基板451上
面には、溝457とは別に、光ファイバ芯線415と、
被覆樹脂層413とを固定するための被覆樹脂層保持部
458が形成されており、この被覆樹脂層保持部458
に、光ファイバ芯線415と被覆樹脂層413とが紫外
線硬化型接着剤459(459a、459b)を介して
固定されている。また、光ファイバアレイ400におい
て、光ファイバ芯線415を固定する紫外線硬化型接着
剤459aは、エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の
硬化物であり、被覆樹脂層413を固定する紫外線硬化
型接着剤459bは、アクリレート系またはシリコーン
系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物である。なお、図
中、411はコア、412はクラッドである。
As shown in FIG. 7, the optical fiber array 40
In No. 0, a plurality of V grooves 457 are formed in parallel on the upper surface of the substrate 451, and the optical fiber core wire 415 of the optical fiber ribbon 410 is fixed to each of the V grooves 457 via the ultraviolet curable adhesive 459a. . Further, on the upper surface of the substrate 451, apart from the groove 457, the optical fiber core wire 415,
A coating resin layer holding portion 458 for fixing the coating resin layer 413 is formed, and the coating resin layer holding portion 458 is formed.
The optical fiber core wire 415 and the coating resin layer 413 are fixed to each other via an ultraviolet curable adhesive 459 (459a, 459b). Further, in the optical fiber array 400, the ultraviolet curable adhesive 459a that fixes the optical fiber core wire 415 is a cured product of an epoxy-based ultraviolet curable resin composition, and the ultraviolet curable adhesive that fixes the coating resin layer 413. 459b is a cured product of an acrylate-based or silicone-based ultraviolet curable resin composition. In the figure, 411 is a core and 412 is a clad.

【0154】光ファイバアレイ400では、光ファイバ
芯線を固定するための接着剤としてエポキシ系の紫外線
硬化型接着剤が用いられ、被覆樹脂層を固定するための
接着剤としてアクリレート系またはシリコーン系の紫外
線硬化型接着剤が用いられている。上述したように、光
ファイバ芯線を固定するための接着剤として、比較的硬
いエポキシ系の紫外線硬化型接着剤を用いることにより
光ファイバ芯線の位置ズレがより発生しにくくなる。ま
た、被覆樹脂層を固定するための接着剤として、比較的
柔らかいアクリレート系またはシリコーン系の紫外線硬
化型接着剤を用いることにより、被覆樹脂層部分は、光
ファイバアレイを取り付ける部分の形状等に合わせてあ
る程度変形することができることとなる。このように、
被覆樹脂層部分が光ファイバアレイを取り付ける部分の
形状等に合わせてある程度変形することが可能であれ
ば、上述したように、基板の溝に収納した側と反対側の
光ファイバ芯線と、プリント基板等との接続作業時等に
おいても、上記光ファイバ芯線が割れたり、クラックが
生じたりすることがない。
In the optical fiber array 400, an epoxy ultraviolet curing adhesive is used as an adhesive for fixing the optical fiber core, and an acrylate or silicone ultraviolet light is used as an adhesive for fixing the coating resin layer. A curable adhesive is used. As described above, by using a relatively hard epoxy-based ultraviolet-curable adhesive as the adhesive for fixing the optical fiber core wire, the positional deviation of the optical fiber core wire is less likely to occur. Also, by using a relatively soft acrylate-based or silicone-based UV-curable adhesive as the adhesive for fixing the coating resin layer, the coating resin layer portion can be adjusted to the shape of the portion where the optical fiber array is attached. Can be deformed to some extent. in this way,
If the coating resin layer portion can be deformed to some extent according to the shape of the portion to which the optical fiber array is attached, as described above, the optical fiber core wire on the side opposite to the side housed in the groove of the substrate and the printed circuit board The optical fiber core wire will not be cracked or cracked even during connection work with the like.

【0155】また、上記エポキシ系の紫外線硬化型接着
剤や、上記アクリレート系またはシリコーン系の紫外線
硬化型接着剤は、その一部がフッ素化されていることが
望ましい。フッ素化することにより、硬化した接着剤で
水が生成しにくく、耐湿性が向上することとなる。ま
た、絶縁性、耐熱性、耐薬品性等も向上することとな
る。
Further, it is desirable that a part of the above-mentioned epoxy ultraviolet curing adhesive and the above acrylate or silicone ultraviolet curing adhesive be fluorinated. By fluorinating, it is difficult for water to be generated by the cured adhesive, and the moisture resistance is improved. In addition, insulation, heat resistance, chemical resistance, etc. are also improved.

【0156】上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成
物、ならびに、アクリレート系またはシリコーン系の紫
外線硬化型樹脂組成物の粘度は、200〜2000mP
a・sが望ましい。上記粘度が200mPa・s未満で
は、粘度が低すぎるため、溝と光ファイバ芯線との間隙
に流し込んだ紫外線硬化型樹脂組成物が硬化前に流出し
てくるおそれがあり、2000mPa・sを超えると、
溝と光ファイバ芯線との間隙が完全に充填されないこと
がある。従って、特に、上記エポキシ系の紫外線硬化型
樹脂組成物の粘度は上記範囲にあることが望ましい。
The viscosity of the epoxy-based UV-curable resin composition and the acrylate-based or silicone-based UV-curable resin composition is 200 to 2000 mP.
a · s is desirable. If the viscosity is less than 200 mPa · s, the viscosity is too low, so that the ultraviolet curable resin composition poured into the gap between the groove and the optical fiber core may flow out before curing, and if it exceeds 2000 mPa · s. ,
The gap between the groove and the optical fiber core wire may not be completely filled. Therefore, it is particularly desirable that the viscosity of the epoxy ultraviolet curable resin composition is in the above range.

【0157】また、第二の本発明の光ファイバアレイで
は、上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度
が、200〜2000mPa・sであり、上記アクリレ
ート系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が5000〜3
0000mPa・sであるか、または、上記シリコーン
系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が5000〜500
00mPa・sであることも望ましい。エポキシ系の紫
外線硬化型樹脂組成物として、上記範囲の粘度を有する
樹脂組成物を用いることにより、樹脂組成物が光ファイ
バ芯線と溝との間隙に確実に充填されることとなり、ア
クリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物として、上記範
囲の粘度を有する樹脂組成物を用いるか、または、シリ
コーン系の紫外線硬化型樹脂組成物として、上記範囲の
粘度を有する樹脂組成物を用いる場合には、被覆樹脂層
の周囲に樹脂組成物を塗布しやすい。
In the optical fiber array of the second aspect of the present invention, the viscosity of the epoxy-based UV-curable resin composition is 200 to 2000 mPa · s, and the viscosity of the acrylate-based UV-curable resin composition is Is 5000-3
0000 mPa · s, or the viscosity of the silicone-based ultraviolet-curable resin composition is 5000 to 500
It is also desirable that the pressure is 00 mPa · s. By using a resin composition having a viscosity in the above range as the epoxy-based UV-curable resin composition, the resin composition is reliably filled in the gap between the optical fiber core wire and the groove, and the acrylate-based UV light is used. When a resin composition having a viscosity in the above range is used as the curable resin composition, or when a resin composition having a viscosity in the above range is used as the silicone-based UV curable resin composition, a coating resin is used. It is easy to apply the resin composition around the layer.

【0158】上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物
の具体例としては、例えば、ダイキン工業社製、オプト
ダインUV−1000(粘度:250mPa・s)、オ
プトダインUV−1100(粘度:250mPa・
s)、オプトダインUV−2100(粘度:290mP
a・s)、オプトダインUV−3100(粘度:480
mPa・s)、オプトダインUV−3200(粘度:3
10mPa・s)、オプトダインUV−4000(粘
度:450mPa・s)や、NTTアドバンステクノロ
ジ社製、NA3925M(粘度:185mPa・s)、
AT9390(粘度:600mPa・s)等が挙げられ
る。
Specific examples of the above-mentioned epoxy-based UV-curable resin composition include, for example, Optodyne UV-1000 (viscosity: 250 mPa · s), Optodyne UV-1100 (viscosity: 250 mPa · s, manufactured by Daikin Industries, Ltd.).
s), Optodyne UV-2100 (viscosity: 290 mP
a ・ s), Optodyne UV-3100 (viscosity: 480
mPa · s), Optodyne UV-3200 (viscosity: 3
10 mPa · s), Optodyne UV-4000 (viscosity: 450 mPa · s), NTT Advance Technology's NA3925M (viscosity: 185 mPa · s),
AT9390 (viscosity: 600 mPa · s) and the like can be mentioned.

【0159】上記アクリレート系の紫外線硬化型樹脂組
成物の具体例としては、例えば、ダイキン工業社製、オ
プトダインUV−2000(粘度:360mPa・
s)、オプトダインUV−3000(粘度:1600m
Pa・s)や、NTTアドバンステクノロジ社製、AT
6001 高Tg品(粘度:200〜800mPa・
s)、AT6177(粘度:1470mPa・s)や、
Ablestik社製、Ablelux A4083
(粘度:300mPa・s)、Ablelux A40
65(粘度:850mPa・s)、Ablelux A
4031(粘度:800mPa・s)等が挙げられる。
Specific examples of the acrylate-based ultraviolet-curable resin composition include, for example, Optodyne UV-2000 (viscosity: 360 mPa.
s), Optodyne UV-3000 (viscosity: 1600 m
Pa · s), NTT Advanced Technology Co., AT
6001 High Tg product (viscosity: 200-800 mPa.
s), AT6177 (viscosity: 1470 mPa · s),
Ablelux A4083 manufactured by Ablestik
(Viscosity: 300 mPa · s), Ablelux A40
65 (viscosity: 850 mPa · s), Ablelux A
4031 (viscosity: 800 mPa · s) and the like.

【0160】また、被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型
樹脂組成物として、粘度が5000〜30000mPa
・sのアクリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物を用い
る場合、例えば、NTTアドバンステクノロジ社製、A
T8083(粘度:20000mPa・s)や、Abl
estik社製、Ablelux A4088(粘度:
15000mPa・s)、Ablelux A4025
(粘度:5000mPa・s)等を用いることができ
る。
The UV curable resin composition for fixing the coating resin layer has a viscosity of 5,000 to 30,000 mPas.
When using the acrylate-based UV-curable resin composition of s, for example, A manufactured by NTT Advanced Technology Co., Ltd.
T8083 (viscosity: 20000 mPa · s), Abl
Ablelux A4088 manufactured by Estik (viscosity:
15000 mPa · s), Ablelux A4025
(Viscosity: 5000 mPa · s) or the like can be used.

【0161】また、被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型
樹脂組成物として、粘度が5000〜50000mPa
・sのシリコーン系の紫外線硬化型樹脂組成物を用いる
場合、例えば、信越化学工業社製、KJC−7806
(粘度:10000mPa・s)や、ダウコーニング社
製、734(粘度:45000mPa・s)等を用いる
ことができる。
The UV curable resin composition for fixing the coating resin layer has a viscosity of 5,000 to 50,000 mPas.
When using the silicone-based ultraviolet-curable resin composition of s, for example, KJC-7806 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
(Viscosity: 10000 mPa · s), Dow Corning 734 (Viscosity: 45000 mPa · s) or the like can be used.

【0162】上記アクリレート系の紫外線硬化型接着剤
の具体例としては、40〜50重量%のアクリレートオ
リゴマー、1〜10重量%のビニルエステル樹脂、45
〜55重量%のアクリレート系モノマー、および、1〜
10重量%の重合開始剤を含む紫外線硬化型樹脂組成物
も挙げられる。
Specific examples of the acrylate-based UV-curable adhesive include 40 to 50% by weight of acrylate oligomer, 1 to 10% by weight of vinyl ester resin, and 45.
-55 wt% acrylate-based monomer, and 1-
An ultraviolet curable resin composition containing 10% by weight of a polymerization initiator is also included.

【0163】また、上記アクリレートオリゴマーや上記
アクリレート系モノマーは、その一部がフッ素化されて
いることが望ましい。このように、アクリレートオリゴ
マー等の一部がフッ素化されている場合、上述した効果
を得ることができるとともに、アクリレート系の紫外線
硬化型樹脂組成物が透光性に優れたものとなるため、紫
外線照射時に、樹脂組成物全体が短時間で硬化すること
となる。
Further, it is desirable that a part of the acrylate oligomer or the acrylate-based monomer is fluorinated. As described above, when a part of the acrylate oligomer or the like is fluorinated, the above-mentioned effects can be obtained, and the acrylate-based UV-curable resin composition has excellent light-transmitting properties, so that the UV light At the time of irradiation, the entire resin composition will be cured in a short time.

【0164】また、第二の本発明の光ファイバアレイを
製造する場合においても、第一の本発明の光ファイバア
レイを製造する場合と同様、未硬化の接着剤(エポキシ
系の紫外線硬化型樹脂組成物)を基板の側面から溝と光
ファイバ芯線との間隙に流し込むこととなり、この場
合、表面張力により該間隙にエポキシ系の紫外線硬化型
樹脂組成物が充填されることとなるが、上記エポキシ系
の紫外線硬化型樹脂組成物を用いることにより、確実に
溝と光ファイバ芯線との間隙がエポキシ系の紫外線硬化
型樹脂組成物で充填されることとなる。その結果、光フ
ァイバ芯線がエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬
化物を介して溝に確実に固定されることとなり、光ファ
イバ芯線の位置ズレが発生しない。
Further, also in the case of manufacturing the optical fiber array of the second aspect of the present invention, as in the case of manufacturing the optical fiber array of the first aspect of the present invention, an uncured adhesive (epoxy ultraviolet curing resin) is used. The composition) is poured into the gap between the groove and the optical fiber core wire from the side surface of the substrate. In this case, the gap is filled with the epoxy-based UV-curable resin composition. By using the ultraviolet curable resin composition of the system, the gap between the groove and the optical fiber core wire is surely filled with the epoxy curable resin composition of the epoxy system. As a result, the optical fiber core wire is securely fixed to the groove via the cured product of the epoxy-based ultraviolet curable resin composition, and the positional deviation of the optical fiber core wire does not occur.

【0165】また、上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂
組成物や、アクリレート系またはシリコーン系の紫外線
硬化型樹脂組成物は、第一の本発明の光ファイバアレイ
に用いる紫外線硬化型樹脂組成物と同様、必要に応じ
て、樹脂粒子、無機粒子、金属粒子等の粒子、光沢剤、
反応安定剤等の添加剤を含んでいてもよく、この添加材
の具体例としては、第一の本発明の光ファイバアレイに
用いる紫外線硬化型樹脂組成物に含まれる添加材と同様
のもの等が挙げられる。
The epoxy-based UV-curable resin composition and the acrylate-based or silicone-based UV-curable resin composition are the same as the UV-curable resin composition used in the optical fiber array of the first present invention. , As necessary, particles such as resin particles, inorganic particles, and metal particles, a brightener,
It may contain an additive such as a reaction stabilizer, and specific examples of the additive include those similar to the additive contained in the ultraviolet curable resin composition used for the optical fiber array of the first present invention. Is mentioned.

【0166】上記紫外線硬化型樹脂組成物は、第一の本
発明の光ファイバアレイと同様に、硬化後の屈折率が
1.4〜1.6であることが望ましく、硬化後の光透過
率が90%以上であることが望ましい。
Like the optical fiber array according to the first aspect of the present invention, the ultraviolet curable resin composition preferably has a refractive index after curing of 1.4 to 1.6 and a light transmittance after curing. Is preferably 90% or more.

【0167】また、基板の溝に光ファイバ芯線を固定す
る接着剤として用いるエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組
成物は、硬化後の熱膨張係数が3×10−5〜11×1
−5(1/℃)であることが望ましい。光ファイバア
レイを使用する際、熱膨張等に起因して光ファイバ芯線
に位置ズレが発生することを防止することができるから
である。また、上記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成
物は、硬化収縮率が3〜9%であることが望ましい。上
記紫外線硬化型樹脂組成物を硬化させる際、光ファイバ
芯線に位置ズレが発生することを防止することができる
からである。
Further, the epoxy-based ultraviolet curable resin composition used as an adhesive for fixing the optical fiber core wire in the groove of the substrate has a thermal expansion coefficient of 3 × 10 −5 to 11 × 1 after curing.
0 is desirably -5 (1 / ℃). This is because when using the optical fiber array, it is possible to prevent the positional deviation of the optical fiber core wire due to thermal expansion or the like. In addition, the epoxy-based ultraviolet curable resin composition preferably has a curing shrinkage rate of 3 to 9%. This is because it is possible to prevent the positional deviation from occurring in the optical fiber core wire when the above ultraviolet curable resin composition is cured.

【0168】さらに、被覆樹脂層保持部に光ファイバ芯
線と被覆樹脂層を固定する接着剤として、アクリレート
系の紫外線硬化型樹脂組成物を用いる場合、上記アクリ
レート系の紫外線硬化型樹脂組成物は、上述したエポキ
シ系の紫外線硬化型樹脂組成物と同様に、硬化後の熱膨
張係数が3×10−5〜11×10−5(1/℃)であ
ることが望ましく、硬化収縮率が3〜9%であることが
望ましい。
Furthermore, when an acrylate-based UV curable resin composition is used as an adhesive for fixing the optical fiber core wire and the cover resin layer to the cover resin layer holding portion, the acrylate-based UV curable resin composition is Similar to the epoxy-based ultraviolet curable resin composition described above, it is desirable that the thermal expansion coefficient after curing is 3 × 10 −5 to 11 × 10 −5 (1 / ° C.), and the curing shrinkage rate is 3 to. 9% is desirable.

【0169】なお、図7に示す光ファイバアレイ400
においては、基板上の溝に4本の光ファイバ芯線が固定
されているが、第二の本発明の光ファイバアレイにおい
て溝に固定される光ファイバ芯線の本数は4本に限定さ
れるわけではなく、3本以下であってもよいし、5本以
上であってもよい。
The optical fiber array 400 shown in FIG.
In the above, four optical fiber core wires are fixed to the groove on the substrate, but the number of optical fiber core wires fixed to the groove in the optical fiber array of the second invention is not limited to four. Alternatively, the number may be three or less, or may be five or more.

【0170】また、第二の本発明の光ファイバアレイに
おいても、基板上の少なくとも一部に、接着剤層を介し
て、光ファイバ芯線を覆うように蓋部が取り付けられて
いることが望ましく、その形状は、光ファイバ芯線の一
部を一括して収納する凹部が形成されている形状が望ま
しい。また、上記蓋部の材質としては、第一の本発明の
光ファイバアレイに取り付ける蓋部と同様のもの等が挙
げられる。なお、上記接着剤層は、基板の溝に光ファイ
バ芯線を固定する紫外線硬化型接着剤と同一の樹脂組成
物を硬化してなるものが望ましい。
Also in the optical fiber array according to the second aspect of the present invention, it is desirable that a lid is attached to at least a part of the substrate via an adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire. It is desirable that the shape is such that a concave portion for accommodating a part of the optical fiber core wire is formed. Further, as the material of the lid portion, the same material as the lid portion attached to the optical fiber array of the first aspect of the present invention can be cited. The adhesive layer is preferably formed by curing the same resin composition as the ultraviolet curable adhesive that fixes the optical fiber core wire in the groove of the substrate.

【0171】また、蓋部として溝に固定された光ファイ
バ芯線の一部を一括して収納する凹部を有する形状の蓋
部を取り付ける場合、蓋部に形成された凹部と光ファイ
バ芯線との間隙には、エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組
成物の硬化物が充填されていることが望ましい。また、
上記蓋部の大きさは、基板の溝を形成した領域のみを覆
う大きさであってもよいし、基板の全面を覆う大きさで
あってもよい。さらには、基板上に、溝を形成した領域
のみを覆う大きさの蓋部とともに、被覆樹脂層保持部の
みを覆う形状の蓋部が別途取り付けられていてもよい。
Further, in the case where a lid portion having a recessed portion for accommodating a part of the optical fiber core wire fixed in the groove as the lid portion is attached, a gap between the recessed portion formed in the lid portion and the optical fiber core wire is attached. It is desirable that the resin is filled with a cured product of an epoxy-based ultraviolet curable resin composition. Also,
The size of the lid portion may be a size that covers only the region where the groove of the substrate is formed, or a size that covers the entire surface of the substrate. Furthermore, a lid having a size that covers only the region where the groove is formed and a lid that covers only the coating resin layer holding portion may be separately mounted on the substrate.

【0172】光ファイバアレイ400においては、第一
の本発明の光ファイバアレイと同様、その一端部の被覆
樹脂層が除去された1個の光ファイバリボンが基板に固
定されているが、第二の本発明の光ファイバアレイを構
成する光ファイバリボンもまた、複数の光ファイバリボ
ンが積み重ねられた積層光ファイバリボンであってもよ
い。さらに、第二の本発明においても、上述したような
光ファイバリボンに代えて、並列に並べられた複数本の
単心の光ファイバが用いられてもよい。
In the optical fiber array 400, like the optical fiber array of the first aspect of the present invention, one optical fiber ribbon from which the coating resin layer at one end is removed is fixed to the substrate, The optical fiber ribbon forming the optical fiber array of the present invention may also be a laminated optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber ribbons are stacked. Further, also in the second aspect of the present invention, a plurality of single-core optical fibers arranged in parallel may be used instead of the optical fiber ribbon as described above.

【0173】また、このような構成からなる第二の本発
明の光ファイバアレイを製造する方法としては、第一の
本発明の光ファイバアレイを製造する方法の(3)の工
程において、光ファイバ芯線を固定するために上述した
エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物を用い、被覆樹脂
層を固定するために上述したアクリレート系またはシリ
コーン系の紫外線硬化型樹脂組成物を用いる以外は、第
一の本発明の光ファイバアレイを製造する方法と同様の
方法を用いることができる。
Further, as a method of manufacturing the optical fiber array of the second present invention having such a constitution, in the step (3) of the method of manufacturing the optical fiber array of the first present invention, the optical fiber is Other than using the above-mentioned epoxy-based UV-curable resin composition for fixing the core wire and the above-mentioned acrylate- or silicone-based UV-curable resin composition for fixing the coating resin layer, A method similar to the method of manufacturing the optical fiber array of the present invention can be used.

【0174】また、第二の本発明の光ファイバアレイに
おいても、第一の本発明の光ファイバアレイと同様に、
基板の少なくとも一部に光ファイバ芯線を覆うように接
着剤層を介して蓋部が取り付けられている場合、上記接
着剤層の光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形状
が、上記基板の外縁部に向かって末広がり状であること
が望ましい。なお、上記横断面の形状が基板の外縁部に
向かって末広がり状である接着剤層を有する第二の光フ
ァイバアレイは、光ファイバ芯線と被覆樹脂層とをそれ
ぞれ別の紫外線硬化型接着剤により固定している点が、
第一の本発明の光ファイバアレイと異なるのみで、その
他、光ファイバアレイの構造や光ファイバアレイを構成
する部材等は、横断面の形状が基板の外縁部に向かって
末広がり状である接着剤層を有する第一の光ファイバア
レイと同様であるため、ここでの説明は省略することと
する。
Further, also in the optical fiber array of the second present invention, like the optical fiber array of the first present invention,
When the lid is attached to at least a part of the substrate via the adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire, the cross-sectional shape of the adhesive layer in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core wire is the substrate. It is desirable that it is flared toward the outer edge of the. The second optical fiber array having an adhesive layer whose cross-sectional shape is a divergent shape toward the outer edge of the substrate, the optical fiber core wire and the coating resin layer by different ultraviolet curable adhesive respectively. The fixed point is
In addition to the optical fiber array of the first aspect of the present invention, other than that, the structure of the optical fiber array, members constituting the optical fiber array, etc. are adhesives whose cross-sectional shape is divergent toward the outer edge of the substrate. Since it is similar to the first optical fiber array having layers, description thereof will be omitted here.

【0175】[0175]

【実施例】以下、本発明の光ファイバアレイをさらに詳
細に説明する。
The optical fiber array of the present invention will be described in more detail below.

【0176】(実施例1) A.一部の被覆樹脂層が除去された光ファイバリボンの
作製 直径250μmの光ファイバ芯線115が、クラッド間
隔250μmで8本並列に配置され、該光ファイバ芯線
の周囲にアクリレート系紫外線硬化型樹脂からなる被覆
樹脂層(一次被覆層113および二次被覆層114)が
被覆された光ファイバリボン(住友電気工業社製)を準
備し、この光ファイバリボンの一端部から5〜50mm
のところの部分の被覆樹脂層(一次被覆層および二次被
覆層)を被覆樹脂層剥離装置(ストリッパ)を用いて剥
離した(図8(a)参照)。
(Example 1) A. Fabrication of an optical fiber ribbon from which a part of the coating resin layer has been removed Optical fiber core wires 115 having a diameter of 250 μm are arranged in parallel at a clad interval of 250 μm and made of an acrylate-based ultraviolet curable resin around the optical fiber core wires An optical fiber ribbon (manufactured by Sumitomo Electric Industries, Ltd.) coated with a coating resin layer (primary coating layer 113 and secondary coating layer 114) is prepared, and 5 to 50 mm from one end of the optical fiber ribbon.
The coating resin layer (primary coating layer and secondary coating layer) at that portion was peeled off using a coating resin layer peeling device (stripper) (see FIG. 8A).

【0177】B.蓋部の作製 石英ガラスからなる基板に、ダイヤモンドカッターを用
いた切削加工を施すことにより、露出した光ファイバ芯
線の一部を一括して収納するための凹部161を形成
し、蓋部160とした(図9(a)参照)。なお、該凹
部は、その断面の形状が矩形状である。
B. Manufacture of Lid Section A substrate made of quartz glass is subjected to a cutting process using a diamond cutter to form a concave section 161 for accommodating a part of the exposed optical fiber core wire in a batch, thereby forming a lid section 160. (See FIG. 9 (a)). The recess has a rectangular cross section.

【0178】C.光ファイバアレイの作製 (1)その表面に研磨処理を施した厚さ0.7mmのシ
リコン基板151を出発材料とし、このシリコン基板1
51上に下記の方法によりマスク層152を形成した
(図4(a)参照)。すなわち、まず、シリコン基板1
51の表面に熱酸化炉中で、厚さ0.04μmのSiO
膜152aを形成し、次に、このSiO膜上に減圧
CVD法を用いて、厚さ0.1μmのSi膜15
2bを形成することにより、SiO膜152aとSi
膜152bとの2層からなるマスク層152を形
成した。
C. Fabrication of Optical Fiber Array (1) Starting from a silicon substrate 151 having a thickness of 0.7 mm, the surface of which has been subjected to polishing treatment, as a starting material.
A mask layer 152 was formed on 51 by the following method (see FIG. 4A). That is, first, the silicon substrate 1
51 in the thermal oxidation furnace with a thickness of 0.04 μm SiO 2
2 film 152a is formed, and then a Si 3 N 4 film 15 having a thickness of 0.1 μm is formed on the SiO 2 film by using the low pressure CVD method.
By forming 2b, the SiO 2 film 152a and Si
A mask layer 152 composed of two layers including the 3 N 4 film 152b was formed.

【0179】(2)次に、マスク層52上に、厚さ25
μmのレジスト用樹脂フィルムを貼り付けることにより
レジスト用樹脂層154を形成した(図4(b)参
照)。
(2) Next, a thickness of 25 is formed on the mask layer 52.
A resin layer for resist 154 was formed by attaching a resin film for resist having a thickness of μm (see FIG. 4B).

【0180】(3)次に、上記レジスト用樹脂層154
上に溝パターンが描画されたマスクを載置し、800m
J/cmで露光し、その後、アクリル溶液で現像処理
することにより、マスク層上にエッチングレジスト15
5を形成した(図4(c)参照)。
(3) Next, the resist resin layer 154 is formed.
Place a mask with a groove pattern drawn on it, 800m
It is exposed to J / cm 2 and then developed with an acrylic solution to form an etching resist 15 on the mask layer.
5 was formed (see FIG. 4 (c)).

【0181】(4)次に、上記エッチングレジスト15
5非形成部に露出したマスク層を下記の方法により除去
し、基板151の一部を露出させたマスク156を形成
した(図4(d)参照)。すなわち、まず、露出したS
膜を、酸素プラズマを用いたドライエッチング
処理により除去することによりSiO膜を露出させ、
さらに、このSiO 膜をHF系のエッチング液を用い
たウェットエッチング処理により除去し、シリコン基板
を露出させた。
(4) Next, the etching resist 15 is formed.
5 Remove the mask layer exposed in the non-formed area by the following method
Then, a mask 156 exposing a part of the substrate 151 is formed.
(See FIG. 4 (d)). That is, first, the exposed S
iThreeNFourDry etching of the film using oxygen plasma
SiO by removing by treatmentTwoExpose the membrane,
Furthermore, this SiO TwoThe film uses an HF-based etchant
Removed by wet etching process, silicon substrate
Exposed.

【0182】(5)次に、10重量%のNaOH溶液を
用いてエッチングレジストを剥離除去した(図4(e)
参照)。これにより、シリコン基板151上には、溝を
形成する部分に相当する部分が開口したマスク156の
みが形成されていることとなった。
(5) Next, the etching resist was peeled off using a 10% by weight NaOH solution (FIG. 4 (e)).
reference). As a result, on the silicon substrate 151, only the mask 156 having the opening corresponding to the portion where the groove is formed is formed.

【0183】(6)次に、マスク156が形成されたシ
リコン基板151を、KOH濃度25重量%、液温度7
8℃のエッチング液(KOH:100g、HO:30
0g)中に浸漬することにより、深さ90μmのV溝を
8本形成した(図4(f)参照)。その後、基板151
上の一部に光ファイバ芯線と被覆樹脂層とを固定するた
めの被覆樹脂層保持部158(図8(a)参照)を、ダ
イヤモンドカッターを用いた切削加工を施すことにより
形成した。なお、ここで、被覆樹脂層を固定する部分と
基板上の溝形成面との境目が、被覆樹脂層を固定する部
分に向かって下るような傾斜面を有するように被覆樹脂
層保持部を形成した。また、図8に示した基板には、溝
は4本しか形成されていないが、この図は模式図であ
り、実際には、上述したように、基板上に8本の溝を形
成した。
(6) Next, the silicon substrate 151 on which the mask 156 is formed is subjected to KOH concentration of 25% by weight and liquid temperature of 7
8 ° C. etching solution (KOH: 100 g, H 2 O: 30
0 g) to form eight V-grooves having a depth of 90 μm (see FIG. 4 (f)). Then, the substrate 151
A coating resin layer holding portion 158 (see FIG. 8A) for fixing the optical fiber core wire and the coating resin layer to the upper part was formed by performing a cutting process using a diamond cutter. Here, the covering resin layer holding portion is formed such that the boundary between the portion where the covering resin layer is fixed and the groove forming surface on the substrate has an inclined surface that descends toward the portion where the covering resin layer is fixed. did. Further, although only four grooves are formed on the substrate shown in FIG. 8, this figure is a schematic view, and in fact, as described above, eight grooves were formed on the substrate.

【0184】(7)次に、上記Aで作製した光ファイバ
リボン110Aの光ファイバ芯線115の露出した部分
を、V溝157に載置し(図8(a)、(b)参照)、
さらに、上記Bで作製した蓋部160を基板151上に
載置して、治具により蓋部160を軽く押さえ付けた
(図9(a)参照)。その状態を保持しながら、溝15
7と光ファイバ芯線115との間隙、および、蓋部16
0と光ファイバ芯線115との間隙に、粘度1600m
Pa・sの紫外線硬化型樹脂組成物(ダイキン工業社
製、UV−3000)を流し込んだ。また、ここでは、
被覆樹脂層保持部158にも光ファイバ芯線を固定する
紫外線硬化型樹脂組成物を流し込んだ。
(7) Next, the exposed portion of the optical fiber core wire 115 of the optical fiber ribbon 110A produced in the above A is placed in the V groove 157 (see FIGS. 8A and 8B),
Further, the lid 160 manufactured in the above B was placed on the substrate 151, and the lid 160 was lightly pressed by a jig (see FIG. 9A). While maintaining that state, the groove 15
7 and the optical fiber core wire 115, and the lid portion 16
0 and the optical fiber core wire 115 have a viscosity of 1600 m.
An ultraviolet curable resin composition of Pa · s (UV-3000 manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was poured. Also here
The ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire was also poured into the coating resin layer holding portion 158.

【0185】次に、上記紫外線硬化型樹脂組成物に高圧
水銀ランプを用いて、7J/cmの紫外線を20分間
照射することにより、紫外線硬化型樹脂組成物を半硬化
させた。さらに、被覆樹脂層保持部上に載置した被覆樹
脂層を覆うように上記紫外線硬化型樹脂組成物(UV−
3000)を塗布した。その後、蓋部160を押さえて
いた治具を外し、紫外線硬化型樹脂組成物に高圧水銀ラ
ンプを用いて、25J/cmの紫外線を40分間照射
することにより、紫外線硬化型樹脂組成物を完全に硬化
させ、光ファイバ芯線および被覆樹脂層のそれぞれを固
定した(図9(b)参照)。
Next, the ultraviolet curable resin composition was semi-cured by irradiating it with 7 J / cm 2 of ultraviolet rays for 20 minutes using a high pressure mercury lamp. Further, the ultraviolet curable resin composition (UV-) is formed so as to cover the coating resin layer placed on the coating resin layer holding portion.
3000) was applied. After that, the jig holding the lid 160 was removed, and the ultraviolet curable resin composition was irradiated with ultraviolet rays of 25 J / cm 2 for 40 minutes using a high pressure mercury lamp to completely remove the ultraviolet curable resin composition. Then, the optical fiber core wire and the coating resin layer were fixed (see FIG. 9B).

【0186】(8)次に、光ファイバリボン110Aの
一端部の基板に収納、固定しなかった被覆樹脂層114
aと、この被覆樹脂層に覆われた光ファイバ芯線とをダ
イヤモンドカッターにより切断除去し、さらに、光ファ
イバ芯線の端面と、基板および蓋部の側面とが揃うよう
に研磨処理を施し、光ファイバアレイ101を製造した
(図2(a)参照)。なお、上記研磨処理は、光ファイ
バ芯線、基板および蓋部の端面が基板の底面に対して8
°の傾斜を持つように行った。
(8) Next, the coating resin layer 114 that was not housed and fixed in the substrate at one end of the optical fiber ribbon 110A.
a and the optical fiber core wire covered with this coating resin layer are cut and removed by a diamond cutter, and further polishing treatment is performed so that the end surface of the optical fiber core wire and the side surface of the substrate and the lid are aligned, The array 101 was manufactured (see FIG. 2A). In the polishing process, the end faces of the optical fiber core, the substrate and the lid are 8
I went to have a slope of °.

【0187】(実施例2)実施例1の(7)の工程にお
いて、光ファイバ芯線を固定するために、粘度1600
mPa・sの紫外線硬化型樹脂組成物(ダイキン工業社
製、UV−3000)を用い、被覆樹脂層を固定するた
めに、粘度10000mPa・sの紫外線硬化型樹脂組
成物(ダイキン工業社製、UV−3000に無機粒子、
樹脂粒子および金属粒子のうちのいずれかの粒子を配合
することにより粘度を調整した樹脂組成物)を用いた以
外は実施例1と同様にして光ファイバアレイを製造し
た。
Example 2 In the step (7) of Example 1, a viscosity of 1600 was used to fix the optical fiber core wire.
An ultraviolet curable resin composition having a viscosity of 10000 mPa · s (UV, manufactured by Daikin Industries, Ltd., UV, used to fix the coating resin layer is used by using an ultraviolet curable resin composition having a mPa · s (UV-3000, manufactured by Daikin Industries, Ltd.). -3000 to inorganic particles,
An optical fiber array was produced in the same manner as in Example 1 except that a resin composition whose viscosity was adjusted by blending any one of resin particles and metal particles was used.

【0188】(実施例3)実施例1のBの工程(蓋部の
作製)において、硼珪酸ガラス(パイレックス(R))
からなる基板に、ダイヤモンドカッターを用いた切削加
工を施すことにより、深さの異なる、露出した光ファイ
バ芯線の一部を一括して収納するための凹部171と、
光ファイバリボンを被覆樹脂層ごと収納するための凹部
172とを有する蓋部170を作製し(図10(a)参
照)、実施例1のCの(7)の工程において、この蓋部
170を基板に取り付けた以外は、実施例1と同様にし
て光ファイバアレイ102を製造した(図10(b)参
照)。なお、図10中では、紫外線硬化型接着剤を省略
している。
(Example 3) In the step B of Example 1 (preparation of the lid), borosilicate glass (Pyrex (R)) was used.
A concave portion 171 for accommodating a part of the exposed optical fiber core wires having different depths by performing a cutting process using a diamond cutter on the substrate made of
A lid 170 having a recess 172 for accommodating the optical fiber ribbon together with the coating resin layer is produced (see FIG. 10A), and the lid 170 is removed in the step (7) of Example 1C. An optical fiber array 102 was manufactured in the same manner as in Example 1 except that it was attached to the substrate (see FIG. 10B). In addition, in FIG. 10, the ultraviolet curable adhesive is omitted.

【0189】(実施例4) A.一部の被覆樹脂層が除去された積層光ファイバリボ
ンの作製 直径250μmの光ファイバ芯線が、クラッド間隔25
0μmで8本並列に配置され、該光ファイバ芯線の周囲
にアクリレート系紫外線硬化型樹脂からなる被覆樹脂層
(一次被覆層および二次被覆層)が被覆された光ファイ
バリボン(住友電気工業社製)を2本準備し、それぞれ
の光ファイバリボンに下記(i)および(ii)の加工を
施した。
(Example 4) A. Fabrication of laminated optical fiber ribbon from which a part of the coating resin layer has been removed
Optical fiber ribbons (manufactured by Sumitomo Electric Industries, Ltd.) that are arranged in parallel at 0 μm and have a coating resin layer (primary coating layer and secondary coating layer) made of an acrylate-based ultraviolet curable resin around the optical fiber core wire. 2) was prepared, and each of the optical fiber ribbons was subjected to the following processing (i) and (ii).

【0190】(i)まず、光ファイバ芯線の一端部から
30mmまでの部分の被覆樹脂層(一次被覆層および二
次被覆層)を、被覆樹脂層剥離装置(ストリッパ)を用
いて剥離し、光ファイバ芯線を露出させた。
(I) First, the coating resin layer (primary coating layer and secondary coating layer) in the portion from one end of the optical fiber core wire to 30 mm is peeled off using a coating resin layer peeling device (stripper), The fiber core wire was exposed.

【0191】(ii)光ファイバ芯線の一端部から5〜5
0mmのところの部分の被覆樹脂層(一次被覆層および
二次被覆層)を、被覆樹脂層剥離装置(ストリッパ)を
用いて剥離し、光ファイバ芯線を露出させた。
(Ii) 5 to 5 from one end of the optical fiber core wire
The coating resin layer (primary coating layer and secondary coating layer) at the portion at 0 mm was peeled off using a coating resin layer peeling device (stripper) to expose the optical fiber core wire.

【0192】(2)次に、上記(ii)の処理を施した第
二の光ファイバリボン340の上に、上記(i)の処理
を施した第一の光ファイバリボン330を積み重ねた。
さらに、両者の光ファイバ芯線の露出した部分335
a、345aの高さが同一となるように、それぞれの光
ファイバ芯線の一部を曲げ、積層光ファイバリボン30
0とした(図6参照)。
(2) Next, the first optical fiber ribbon 330 treated with the above (i) was stacked on the second optical fiber ribbon 340 treated with the above (ii).
Furthermore, the exposed portion 335 of the optical fiber core wires of both
a and 345a have the same height, a part of each optical fiber core wire is bent to form a laminated optical fiber ribbon 30.
It was set to 0 (refer to FIG. 6).

【0193】なお、この工程で、第一の光ファイバリボ
ン330を第二の光ファイバリボン340上に積み重ね
る際には、光ファイバ芯線の一部を曲げた後、両者の光
ファイバ芯線335、345が、交互に等間隔で配置さ
れるように積み重ねた。また、この工程では、第二の光
ファイバリボン340上に第一の光ファイバリボン33
0を積み重ねる前に、予め、第二の光ファイバリボン3
40の二次被覆樹脂の上面の一部に未硬化の接着剤(図
示せず)を塗布しておき、該接着剤を介して第二の光フ
ァイバリボン340上に第一の光ファイバリボン330
を積み重ね、その後、上記接着剤を硬化させることによ
り、両者を固定した。
In this step, when stacking the first optical fiber ribbon 330 on the second optical fiber ribbon 340, after bending a part of the optical fiber core wire, the optical fiber core wires 335 and 345 of both optical fiber core wires are bent. Were alternately stacked at equal intervals. Further, in this step, the first optical fiber ribbon 33 is placed on the second optical fiber ribbon 340.
Before stacking 0, the second optical fiber ribbon 3
An uncured adhesive (not shown) is applied to a part of the upper surface of the secondary coating resin 40, and the first optical fiber ribbon 330 is placed on the second optical fiber ribbon 340 via the adhesive.
Were stacked, and then the adhesive was cured to fix them.

【0194】B.蓋部の作製 凹部の大きさを、積層光ファイバリボンの露出した光フ
ァイバ芯線の一部を一括して収納することができる大き
さにした以外は、実施例1のBと同様にして蓋部を形成
した。
B. Fabrication of lid part The lid part was prepared in the same manner as in B of Example 1 except that the size of the recessed part was set such that a part of the exposed optical fiber core wire of the laminated optical fiber ribbon could be accommodated together. Was formed.

【0195】C.光ファイバアレイの作製 (1)形成する溝の本数を16本とした以外は、実施例
1のCの(1)〜(6)の工程と同様にして、基板にV
溝を形成し、さらに、基板上の一部に光ファイバ芯線と
被覆樹脂層とを固定する被覆樹脂層保持部を、ダイヤモ
ンドカッターを用いた切削加工を施すことにより形成し
た。
C. Fabrication of optical fiber array (1) V was applied to the substrate in the same manner as in steps (1) to (6) of C of Example 1 except that the number of grooves to be formed was 16.
A groove was formed, and further, a coating resin layer holding portion for fixing the optical fiber core wire and the coating resin layer was formed on a part of the substrate by cutting using a diamond cutter.

【0196】(2)次に、上記Aで作製した積層光ファ
イバリボンの露出した光ファイバ芯線を、V溝に載置
し、さらに、上記Bで作製した蓋部を基板上に載置し
て、治具により蓋部を軽く押さえ付けた。その状態を保
持しながら、溝と光ファイバ芯線との間隙、および、蓋
部と光ファイバ芯線との間隙に、粘度1600mPa・
sの紫外線硬化型樹脂組成物(ダイキン工業社製、UV
−3000)を流し込んだ。また、ここでは、被覆樹脂
層保持部158にも光ファイバ芯線を固定する紫外線硬
化型樹脂組成物を流し込んだ。
(2) Next, the exposed optical fiber core wire of the laminated optical fiber ribbon produced in A above is placed in the V groove, and the lid portion produced in B above is placed on the substrate. Then, the lid was lightly pressed by the jig. While maintaining that state, the viscosity of 1600 mPa · s in the gap between the groove and the optical fiber core wire and the gap between the lid portion and the optical fiber core wire.
UV curable resin composition of s (manufactured by Daikin Industries, Ltd., UV
-3000). Further, here, the ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire was also poured into the coating resin layer holding portion 158.

【0197】次に、上記紫外線硬化型樹脂組成物に高圧
水銀ランプを用いて、7J/cmの紫外線を20分間
照射することにより、紫外線硬化型樹脂組成物を半硬化
させた。さらに、被覆樹脂層保持部上に載置した被覆樹
脂層を覆うように上記紫外線硬化型樹脂組成物(UV−
3000)を塗布した。その後、上記蓋部を押さえてい
た治具を外し、紫外線硬化型樹脂組成物に高圧水銀ラン
プを用いて、25J/cmの紫外線を40分間照射す
ることにより、紫外線硬化型樹脂組成物を完全に硬化さ
せ、光ファイバ芯線および被覆樹脂層のそれぞれを固定
した。
Next, the above ultraviolet curable resin composition was irradiated with ultraviolet rays of 7 J / cm 2 for 20 minutes using a high pressure mercury lamp to semi-cure the ultraviolet curable resin composition. Further, the ultraviolet curable resin composition (UV-) is formed so as to cover the coating resin layer placed on the coating resin layer holding portion.
3000) was applied. Thereafter, the jig holding the lid was removed, and the ultraviolet curable resin composition was irradiated with ultraviolet rays of 25 J / cm 2 for 40 minutes using a high pressure mercury lamp to completely remove the ultraviolet curable resin composition. Then, each of the optical fiber core wire and the coating resin layer was fixed.

【0198】(3)次に、積層光ファイバリボンの一端
部の基板に収納、固定しなかった被覆樹脂層と、この被
覆樹脂層に覆われた光ファイバ芯線とをダイヤモンドカ
ッターにより切断除去し、さらに、光ファイバの端面
と、基板および蓋部の側面とが揃うように研磨処理を施
し、光ファイバアレイを製造した。上記研磨処理は、光
ファイバ芯線、基板および蓋部の端面が基板の底面に対
して8°の傾斜を持つように行った。
(3) Next, the coated resin layer which was not housed and fixed in the substrate at one end of the laminated optical fiber ribbon and the optical fiber core wire covered with this coated resin layer were cut and removed by a diamond cutter, Further, polishing treatment was performed so that the end face of the optical fiber and the side faces of the substrate and the lid portion were aligned with each other to manufacture an optical fiber array. The polishing process was performed so that the end faces of the optical fiber core, the substrate and the lid portion were inclined by 8 ° with respect to the bottom face of the substrate.

【0199】(実施例5)実施例1の(7)の工程にお
いて、光ファイバ芯線を固定するために、粘度480m
Pa・sのエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物(ダイ
キン工業社製、UV−3100)を用い、被覆樹脂層を
固定するために、粘度1600mPa・sのアクリレー
ト系の紫外線硬化型樹脂組成物(ダイキン工業社製、U
V−3000)を用いた以外は実施例1と同様にして光
ファイバアレイを製造した。
(Example 5) In the step (7) of Example 1, a viscosity of 480 m was applied in order to fix the optical fiber core wire.
Using an epoxy-based UV-curable resin composition (UV-3100, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) of Pa · s to fix the coating resin layer, an acrylate-based UV-curable resin composition of viscosity 1600 mPa · s ( U made by Daikin Industries, Ltd.
V-3000) was used to manufacture an optical fiber array in the same manner as in Example 1.

【0200】(実施例6)実施例1の(7)の工程にお
いて、光ファイバ芯線を固定するために、粘度480m
Pa・sのエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物(ダイ
キン工業社製、UV−3100)を用い、被覆樹脂層を
固定するために、粘度7000mPa・sのアクリレー
ト系の紫外線硬化型樹脂組成物(ダイキン工業社製、U
V−3000に無機粒子、樹脂粒子および金属粒子のう
ちのいずれかの粒子を配合することにより粘度を調整し
た樹脂組成物)を用いた以外は実施例1と同様にして光
ファイバアレイを製造した。
Example 6 In the step (7) of Example 1, a viscosity of 480 m was applied to fix the optical fiber core wire.
Using an epoxy-based UV-curable resin composition (UV-3100 manufactured by Daikin Industries, Ltd.) of Pa · s to fix the coating resin layer, an acrylate-based UV-curable resin composition of viscosity 7000 mPa · s ( U made by Daikin Industries, Ltd.
An optical fiber array was manufactured in the same manner as in Example 1 except that V-3000 was used as a resin composition whose viscosity was adjusted by blending any one of inorganic particles, resin particles and metal particles. .

【0201】実施例1〜6で得た光ファイバアレイにつ
いて、光ファイバアレイ側の光ファイバ芯線の端面に検
出器を載置し、光ファイバ芯線の他の端面から発光素子
を用いて光を導入した際の光の検出位置から、光ファイ
バ芯線の収納位置の設計からのズレを算出することによ
り光ファイバ芯線の収納精度を評価した。また、光ファ
イバアレイを上方から20Paの押圧力で20分間押圧
した後、上記と同様にして光ファイバ芯線の収納精度を
測定した。
With respect to the optical fiber arrays obtained in Examples 1 to 6, a detector is placed on the end face of the optical fiber core on the optical fiber array side, and light is introduced from the other end face of the optical fiber core by using a light emitting element. The storage accuracy of the optical fiber core wire was evaluated by calculating the deviation from the design of the storage position of the optical fiber core wire from the detected position of the light. After pressing the optical fiber array from above with a pressing force of 20 Pa for 20 minutes, the accommodating accuracy of the optical fiber core wire was measured in the same manner as above.

【0202】その結果、実施例1〜6の光ファイバアレ
イにおいて、光ファイバ芯線の収納位置の設計からのズ
レは、押圧前、押圧後ともに5%以下であり、光ファイ
バ芯線は高精度で所定の位置に収納されていた。さら
に、実施例1〜6の光ファイバアレイを8個または16
個の受光素子を配設した受光装置に接続し、結合損失を
測定したところ、その結合損失は低く、製品として要求
される品質を充分に満足していた。
As a result, in the optical fiber arrays of Examples 1 to 6, the deviation from the design of the storage position of the optical fiber core wire is 5% or less both before and after pressing, and the optical fiber core wire is highly accurately predetermined. It was stored in the position. Furthermore, eight or 16 optical fiber arrays of Examples 1 to 6 are used.
When the coupling loss was measured by connecting to a light receiving device provided with individual light receiving elements, the coupling loss was low, and the quality required as a product was sufficiently satisfied.

【0203】さらに、上記収納精度および上記結合損失
の測定後、光ファイバアレイ分解したところ、溝と光フ
ァイバ芯線との間隙には、確実に接着剤が充填されてい
た。
Further, when the optical fiber array was disassembled after the measurement of the accommodating accuracy and the coupling loss, the adhesive was surely filled in the gap between the groove and the optical fiber core wire.

【0204】[0204]

【発明の効果】以上説明したように、第一および第二の
本発明の光ファイバアレイは、上述した構成からなるた
め、基板に形成された溝に、エポキシ系またはアクリレ
ート系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物を介して光フ
ァイバ芯線が確実に固定されており、該光ファイバアレ
イを光学素子に接続する際や、該光ファイバアレイに外
部から力が加わった際にも、光ファイバ芯線の位置ズレ
が発生することがなく、正確に光信号を伝送することが
できる。
As described above, the optical fiber arrays according to the first and second aspects of the present invention have the above-mentioned structure, so that the epoxy-based or acrylate-based ultraviolet curable resin is formed in the groove formed in the substrate. The optical fiber core wire is securely fixed through the cured product of the composition, and when connecting the optical fiber array to an optical element, or when a force is externally applied to the optical fiber array, the optical fiber core wire It is possible to accurately transmit an optical signal without causing a positional deviation.

【0205】また、第二の本発明の光ファイバアレイで
は、光ファイバ芯線をヤング率が比較的大きく、比較的
硬いエポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物を用
いて固定しているため、光ファイバ芯線の位置ズレがよ
り発生しにくく、また、被覆樹脂層をヤング率が比較的
小さく、比較的柔らかいアクリレート系またはシリコー
ン系の紫外線硬化型樹脂組成物の硬化物を用いて固定し
ているため、被覆樹脂層部分は光ファイバアレイを取り
付ける部分の形状に合わせてある程度変形することがで
きる。このように、被覆樹脂層部分が光ファイバアレイ
を取り付ける部分の形状等に合わせてある程度変形する
ことが可能であれば、例えば、基板の溝に収納した側と
反対側の光ファイバ芯線と、プリント基板等との接続作
業時等においても、上記光ファイバ芯線が割れたり、ク
ラックが生じたりすることがない。
Further, in the optical fiber array of the second aspect of the present invention, the optical fiber core wire is fixed by using a cured product of an epoxy type ultraviolet curable resin composition having a relatively large Young's modulus and a relatively hardness. The positional deviation of the optical fiber core is less likely to occur, and the coating resin layer is fixed by using a cured product of a relatively soft acrylate-based or silicone-based UV-curable resin composition having a relatively small Young's modulus. Therefore, the coating resin layer portion can be deformed to some extent according to the shape of the portion to which the optical fiber array is attached. In this way, if the coating resin layer portion can be deformed to some extent according to the shape of the portion to which the optical fiber array is attached, for example, the optical fiber core wire on the side opposite to the side housed in the groove of the substrate, and the print The optical fiber core wire is not cracked or cracked even during connection work with a substrate or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は、第一の本発明の光ファイバアレイの
一例を模式的に示す部分斜視図であり、(b)は、
(a)のA−A線断面図であり、(c)は、(a)のB
−B線断面部である。
FIG. 1 (a) is a partial perspective view schematically showing an example of an optical fiber array of the first present invention, and FIG. 1 (b) is
It is the sectional view on the AA line of (a), (c) is B of (a).
-It is a line B section.

【図2】(a)は、蓋部が取り付けられた第一の本発明
の光ファイバアレイの一例を模式的に示す部分斜視図で
あり、(b)は、光ファイバアレイに取り付けた蓋部の
みを示す斜視図であり、(c)は、(a)のA−A線断
面図であり、(d)は、(a)のB−B線断面図であ
る。
FIG. 2 (a) is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the first aspect of the present invention to which a lid is attached, and FIG. 2 (b) is a lid attached to the optical fiber array. It is a perspective view which shows only, (c) is the AA sectional view taken on the line of (a), (d) is the BB sectional view taken on the line of (a).

【図3】積層光ファイバリボンを用いた第一の本発明の
光ファイバアレイの一例を模式的に示す部分斜視図であ
る。
FIG. 3 is a partial perspective view schematically showing an example of an optical fiber array of the first invention using a laminated optical fiber ribbon.

【図4】(a)〜(f)は、基板に溝を形成する方法の
一例を示す断面図である。
4A to 4F are cross-sectional views showing an example of a method for forming a groove in a substrate.

【図5】(a)は、光ファイバリボンの被覆樹脂層を剥
離する方法の一例を模式的に示す正面図であり、(b)
はその側面図である。
FIG. 5A is a front view schematically showing an example of a method for peeling a coating resin layer of an optical fiber ribbon, and FIG.
Is a side view thereof.

【図6】積層光ファイバリボンの一実施形態を模式的に
示す部分斜視図である。
FIG. 6 is a partial perspective view schematically showing an embodiment of a laminated optical fiber ribbon.

【図7】(a)は、第二の本発明の光ファイバアレイの
一例を模式的に示す部分斜視図であり、(b)は、光フ
ァイバアレイに取り付けた蓋部のみを示す斜視図であ
り、(c)は、(a)のA−A線断面図である。
FIG. 7 (a) is a partial perspective view schematically showing an example of the optical fiber array of the second aspect of the present invention, and FIG. 7 (b) is a perspective view showing only a lid part attached to the optical fiber array. Yes, (c) is a sectional view taken along line AA of (a).

【図8】(a)、(b)は、本発明の光ファイバアレイ
の製造工程の一部を模式的に示す斜視図である。
8A and 8B are perspective views schematically showing a part of the manufacturing process of the optical fiber array of the present invention.

【図9】(a)、(b)は、本発明の光ファイバアレイ
の製造工程の一部を模式的に示す斜視図である。
9A and 9B are perspective views schematically showing a part of the manufacturing process of the optical fiber array of the present invention.

【図10】(a)、(b)は、本発明の光ファイバアレ
イの製造工程の一部を模式的に示す斜視図である。
10A and 10B are perspective views schematically showing a part of the manufacturing process of the optical fiber array of the present invention.

【図11】(a)は、光ファイバ芯線の軸に垂直な方向
の断面の形状が基板の外縁部に向かって末広がり状であ
る接着剤層を有する第一の本発明の光ファイバアレイの
一例を模式的に示す部分斜視図であり、(b)は、
(a)のA−A線断面図であり、(c)は、(a)のB
−B線断面図である。
FIG. 11A is an example of the optical fiber array of the first present invention having an adhesive layer in which the cross-sectional shape in the direction perpendicular to the axis of the optical fiber core is divergent toward the outer edge of the substrate. It is a partial perspective view which shows typically, (b) is
It is the sectional view on the AA line of (a), (c) is B of (a).
It is a -B line sectional view.

【図12】光ファイバ芯線の軸に垂直な方向の断面の形
状が基板の外縁部に向かって末広がり状である接着剤層
を有する第一の本発明の光ファイバアレイにおいて、上
記光ファイバアレイを構成する蓋部の断面の形状の一例
を模式的に示す断面図である。
FIG. 12 is an optical fiber array according to a first aspect of the present invention, which has an adhesive layer in which a cross-sectional shape in a direction perpendicular to an axis of an optical fiber core is divergent toward an outer edge portion of a substrate. It is sectional drawing which shows typically an example of the shape of the cross section of the constituting lid part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

115、235、245、415、1115 光ファイ
バ芯線 151、251、451、1151 基板 157、257、457、1157 溝 160、1160 蓋部 100、200、400、1100 光ファイバアレイ 110、410、1110 光ファイバリボン 210 積層光ファイバリボン
115, 235, 245, 415, 1115 Optical fiber core wires 151, 251, 451, 1151 Substrate 157, 257, 457, 1157 Grooves 160, 1160 Lid 100, 200, 400, 1100 Optical fiber array 110, 410, 1110 Optical fiber Ribbon 210 laminated optical fiber ribbon

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 その上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部
とが形成された基板と、複数の光ファイバ芯線が並列に
配置され、その周囲に被覆樹脂層が形成された光ファイ
バリボンとからなる光ファイバアレイであって、前記溝
に接着剤を介して光ファイバ芯線が固定されるととも
に、前記被覆樹脂層保持部に接着剤を介して光ファイバ
芯線と被覆樹脂層とが固定されており、前記接着剤が、
エポキシ系またはアクリレート系の紫外線硬化型樹脂組
成物の硬化物であることを特徴とする光ファイバアレ
イ。
1. A substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on its upper surface, and an optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber core wires are arranged in parallel and a coating resin layer is formed around the optical fiber ribbon. In the optical fiber array consisting of, the optical fiber core wire is fixed to the groove via an adhesive, and the optical fiber core wire and the coating resin layer are fixed to the covering resin layer holding portion via an adhesive. And the adhesive is
An optical fiber array comprising a cured product of an epoxy-based or acrylate-based UV-curable resin composition.
【請求項2】 前記紫外線硬化型樹脂組成物の粘度は、
200〜2000mPa・sである請求項1に記載の光
ファイバアレイ。
2. The viscosity of the ultraviolet curable resin composition is
The optical fiber array according to claim 1, which has a viscosity of 200 to 2000 mPa · s.
【請求項3】 前記光ファイバ芯線を固定する紫外線硬
化型樹脂組成物の粘度が、200〜2000mPa・s
であり、前記被覆樹脂層を固定する紫外線硬化型樹脂組
成物の粘度が、5000〜30000mPa・sである
請求項1に記載の光ファイバアレイ。
3. The ultraviolet curable resin composition for fixing the optical fiber core wire has a viscosity of 200 to 2000 mPa · s.
The optical fiber array according to claim 1, wherein the ultraviolet curable resin composition for fixing the coating resin layer has a viscosity of 5,000 to 30,000 mPa · s.
【請求項4】 その上面に複数の溝と被覆樹脂層保持部
とが形成された基板と、複数の光ファイバ芯線が並列に
配置され、その周囲に被覆樹脂層が形成された光ファイ
バリボンとからなる光ファイバアレイであって、前記溝
に接着剤を介して光ファイバ芯線が固定されるととも
に、前記被覆樹脂層保持部に接着剤を介して光ファイバ
芯線と被覆樹脂層とが固定されており、前記光ファイバ
芯線を固定する接着剤がエポキシ系の紫外線硬化型樹脂
組成物の硬化物であり、前記被覆樹脂層を固定する接着
剤がアクリレート系またはシリコーン系の紫外線硬化型
樹脂組成物の硬化物であることを特徴とする光ファイバ
アレイ。
4. A substrate having a plurality of grooves and a coating resin layer holding portion formed on its upper surface, and an optical fiber ribbon in which a plurality of optical fiber core wires are arranged in parallel and a coating resin layer is formed around the substrate. In the optical fiber array consisting of, the optical fiber core wire is fixed to the groove via an adhesive, and the optical fiber core wire and the coating resin layer are fixed to the covering resin layer holding portion via an adhesive. The adhesive for fixing the optical fiber core wire is a cured product of an epoxy-based ultraviolet curable resin composition, and the adhesive for fixing the coating resin layer is an acrylate-based or silicone-based ultraviolet curable resin composition. An optical fiber array characterized by being a cured product.
【請求項5】 前記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成
物と、前記アクリレート系またはシリコーン系の紫外線
硬化型樹脂組成物とは、ともにその粘度が200〜20
00mPa・sである請求項4に記載の光ファイバアレ
イ。
5. The viscosity of each of the epoxy-based UV-curable resin composition and the acrylate-based or silicone-based UV-curable resin composition is 200 to 20.
The optical fiber array according to claim 4, which is 00 mPa · s.
【請求項6】 前記エポキシ系の紫外線硬化型樹脂組成
物の粘度が、200〜2000mPa・sであり、前記
アクリレート系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が、5
000〜30000mPa・sであるか、または、前記
シリコーン系の紫外線硬化型樹脂組成物の粘度が、50
00〜50000mPa・sである請求項4に記載の光
ファイバアレイ。
6. The epoxy-based UV-curable resin composition has a viscosity of 200 to 2000 mPas, and the acrylate-based UV-curable resin composition has a viscosity of 5 to 5.
3,000 to 30,000 mPa · s, or the viscosity of the silicone-based ultraviolet curable resin composition is 50
The optical fiber array according to claim 4, wherein the optical fiber array has a range of 0 to 50000 mPa · s.
【請求項7】 前記基板上の少なくとも一部に、光ファ
イバ芯線を覆うように接着剤層を介して蓋部が取り付け
られている請求項1〜6のいずれか1に記載の光ファイ
バアレイ。
7. The optical fiber array according to claim 1, wherein a lid is attached to at least a part of the substrate via an adhesive layer so as to cover the optical fiber core wire.
【請求項8】 前記接着剤層は、前記光ファイバ芯線の
軸に垂直な方向の断面の形状が、前記基板の外縁部に向
かって末広がり状である請求項7に記載の光ファイバア
レイ。
8. The optical fiber array according to claim 7, wherein the adhesive layer has a cross-sectional shape in a direction perpendicular to the axis of the optical fiber core, which is divergent toward the outer edge of the substrate.
【請求項9】 前記蓋部の形状は、光ファイバ芯線の一
部を一括して収納する凹部が形成されている形状である
請求項7または8に記載の光ファイバアレイ。
9. The optical fiber array according to claim 7, wherein the shape of the lid is a shape in which a concave portion for accommodating a part of the optical fiber core wire is formed.
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