JP2003112179A - 紫外線照射装置及び紫外線光源 - Google Patents
紫外線照射装置及び紫外線光源Info
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- Physical Water Treatments (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 紫外線光源の外面に配置される外面電極を損
傷することなく、該紫外線光源を洗浄できるようにす
る。 【解決手段】 被処理液と接液し、該被処理液に紫外線
を照射する紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容
器１の外面に配置される電圧印加用の電極１２を該被処
理液と接液しないように光透過性の被覆部１３によって
被覆してなる紫外線光源２と、前記紫外線光源の前記被
処理液と接液する前記被覆部の表面を洗浄する洗浄具５
とを具える。
傷することなく、該紫外線光源を洗浄できるようにす
る。 【解決手段】 被処理液と接液し、該被処理液に紫外線
を照射する紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容
器１の外面に配置される電圧印加用の電極１２を該被処
理液と接液しないように光透過性の被覆部１３によって
被覆してなる紫外線光源２と、前記紫外線光源の前記被
処理液と接液する前記被覆部の表面を洗浄する洗浄具５
とを具える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、紫外線照射によ
り被処理液中の細菌等の殺菌、消毒、あるいは微量有機
物の酸化分解あるいは難分解性有機物の分解等の処理を
行う紫外線照射装置に関し、特に、被処理液と接液し、
該被処理液に紫外線を照射する紫外線光源を洗浄するこ
とのできる紫外線照射装置及び紫外線光源に関する。
り被処理液中の細菌等の殺菌、消毒、あるいは微量有機
物の酸化分解あるいは難分解性有機物の分解等の処理を
行う紫外線照射装置に関し、特に、被処理液と接液し、
該被処理液に紫外線を照射する紫外線光源を洗浄するこ
とのできる紫外線照射装置及び紫外線光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】紫外線照射により被処理液中の細菌及び
消毒等の処理を行う紫外線照射装置又はシステムは、半
導体工業純水製造ラインや、製薬工業無菌水製造ライ
ン、食品工業用水の殺菌ライン、水産・養殖用水殺菌ラ
イン、排水・下水処理ライン、プール水処理ライン、冷
却塔循環水処理ラインなど、様々な分野で応用されてい
る。この種の紫外線照射装置として、従来、被処理液を
通す密閉管内に液密に配置されてなる光透過性の光源保
護管に紫外線光源を内挿し、該保護管の内側から紫外線
光源によって密閉管内の被処理液に紫外線を照射する内
照式の紫外線照射装置が知られている。
消毒等の処理を行う紫外線照射装置又はシステムは、半
導体工業純水製造ラインや、製薬工業無菌水製造ライ
ン、食品工業用水の殺菌ライン、水産・養殖用水殺菌ラ
イン、排水・下水処理ライン、プール水処理ライン、冷
却塔循環水処理ラインなど、様々な分野で応用されてい
る。この種の紫外線照射装置として、従来、被処理液を
通す密閉管内に液密に配置されてなる光透過性の光源保
護管に紫外線光源を内挿し、該保護管の内側から紫外線
光源によって密閉管内の被処理液に紫外線を照射する内
照式の紫外線照射装置が知られている。
【０００３】上記の従来知られた内照式紫外線照射装置
では、紫外線光源と被処理液とが光透過性の保護管を介
して隔てられているため、被処理液の処理を継続してい
ると、該保護管の被処理液との接触面すなわち外面にス
ケール（被処理液中のカルシウム、マグネシウム、鉄、
アルミニウム、リン、有機物など）、油分、浮遊物質な
どの汚れが徐々に付着する。保護管の外面に付着した汚
れは、紫外線光源から放射される紫外線を遮蔽するの
で、紫外線の被処理液への殺菌効率、光分解効率、光反
応効率等が低下する。そこで、紫外線照射装置に洗浄装
置を設け、該洗浄装置によって保護管の外面を被処理液
の通水中に定期的に洗浄することが行われている。
では、紫外線光源と被処理液とが光透過性の保護管を介
して隔てられているため、被処理液の処理を継続してい
ると、該保護管の被処理液との接触面すなわち外面にス
ケール（被処理液中のカルシウム、マグネシウム、鉄、
アルミニウム、リン、有機物など）、油分、浮遊物質な
どの汚れが徐々に付着する。保護管の外面に付着した汚
れは、紫外線光源から放射される紫外線を遮蔽するの
で、紫外線の被処理液への殺菌効率、光分解効率、光反
応効率等が低下する。そこで、紫外線照射装置に洗浄装
置を設け、該洗浄装置によって保護管の外面を被処理液
の通水中に定期的に洗浄することが行われている。
【０００４】図３に、洗浄装置を備える紫外線照射装置
の一例を示す。図３において、シリンダー３１は、その
両端がシール部３１ａ及び３１ｂによって水密に密閉さ
れており、処理水流入口３８から取り入れた被処理液を
シリンダー３１内に通し、処理水排出口３９から排出す
る。シリンダー３１内には、石英ガラス製の光透過性の
光源保護管３２をシール部３１ａ及び３１ｂにシール材
３４ａ及び３４ｂを介して水密に設置し、該保護管３２
に紫外線光源として低圧水銀ランプ３３が内挿される。
低圧水銀ランプ３３は、ランプ管の内部に充填した水銀
蒸気に電子が衝突し、励起したときのエネルギーを紫外
線光として放出することで短波長紫外線を生成する。上
記の低圧水銀ランプ３３によってシリンダー３１内を通
る被処理液に紫外線を照射することで、該被処理液中の
細菌等の殺菌及び消毒等の処理を行う。保護管３２に
は、当該保護管３２の外面を被処理液の処理中に洗浄す
るため、例えば、ブラシ等からなるリング状の洗浄具３
５が配置される。洗浄具３５には、シリンダー３１のシ
ール部３１ａにシール材３７を介して水密に設置した洗
浄ロッド３６が連結される。保護管３２の外面を洗浄す
るには、洗浄ロッド３６を保護管３２の長軸方向に上下
に移動し、洗浄具３５で保護管３２の外面を擦り洗いし
て当該保護管３２の外面に付着している汚れを除去す
る。洗浄具３５の駆動手段としては、手動によるものの
他に、洗浄具３５を自動的に駆動するピストン、モータ
ー等が適宜使用される。
の一例を示す。図３において、シリンダー３１は、その
両端がシール部３１ａ及び３１ｂによって水密に密閉さ
れており、処理水流入口３８から取り入れた被処理液を
シリンダー３１内に通し、処理水排出口３９から排出す
る。シリンダー３１内には、石英ガラス製の光透過性の
光源保護管３２をシール部３１ａ及び３１ｂにシール材
３４ａ及び３４ｂを介して水密に設置し、該保護管３２
に紫外線光源として低圧水銀ランプ３３が内挿される。
低圧水銀ランプ３３は、ランプ管の内部に充填した水銀
蒸気に電子が衝突し、励起したときのエネルギーを紫外
線光として放出することで短波長紫外線を生成する。上
記の低圧水銀ランプ３３によってシリンダー３１内を通
る被処理液に紫外線を照射することで、該被処理液中の
細菌等の殺菌及び消毒等の処理を行う。保護管３２に
は、当該保護管３２の外面を被処理液の処理中に洗浄す
るため、例えば、ブラシ等からなるリング状の洗浄具３
５が配置される。洗浄具３５には、シリンダー３１のシ
ール部３１ａにシール材３７を介して水密に設置した洗
浄ロッド３６が連結される。保護管３２の外面を洗浄す
るには、洗浄ロッド３６を保護管３２の長軸方向に上下
に移動し、洗浄具３５で保護管３２の外面を擦り洗いし
て当該保護管３２の外面に付着している汚れを除去す
る。洗浄具３５の駆動手段としては、手動によるものの
他に、洗浄具３５を自動的に駆動するピストン、モータ
ー等が適宜使用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の洗浄装置を
備える紫外線照射装置では、紫外線光源として、低圧水
銀ランプを使用しているので、例えば、上水等の被処理
液を殺菌処理するような場合には、洗浄具による保護管
外面の洗浄中に、該保護管が破損しないように注意する
必要がある。保護管が破損した場合には、洗浄具が保護
管内の低圧水銀ランプに当たって破損することが予想さ
れ、この場合、水銀が漏出してしまう。そこで、紫外線
光源として、水銀を使用せずに紫外線を生成できるエキ
シマランプを用いることが考えられる。
備える紫外線照射装置では、紫外線光源として、低圧水
銀ランプを使用しているので、例えば、上水等の被処理
液を殺菌処理するような場合には、洗浄具による保護管
外面の洗浄中に、該保護管が破損しないように注意する
必要がある。保護管が破損した場合には、洗浄具が保護
管内の低圧水銀ランプに当たって破損することが予想さ
れ、この場合、水銀が漏出してしまう。そこで、紫外線
光源として、水銀を使用せずに紫外線を生成できるエキ
シマランプを用いることが考えられる。
【０００６】エキシマランプは、誘電体バリア放電を利
用して紫外線を生成するものであり、紫外線放電用の放
電容器の外面と内部とに配置された電極間に所定の高電
圧を印加して、該放電容器内に放電プラズマを発生さ
せ、該放電容器内に充填されたキセノン等のガスにエキ
シマ発光を生じさせることによって紫外線光を得るもの
である。また、エキシマランプは、低圧水銀ランプのよ
うに水温の影響を受けないで安定して紫外線を放射する
ことが知られていることから、被処理液内に直接浸漬し
て使用することができる。しかし、エキシマランプを被
処理液内に直接浸漬して使用すると、放電容器の被処理
液との接触面すなわち外面に上述したようなスケール、
油分、浮遊物質などの汚れが付着して、紫外線の被処理
液への殺菌効率、光分解効率、光反応効率等が低下する
ことになるので、被処理液の通水中に放電容器の外面を
洗浄具によって定期的に洗浄する必要がある。
用して紫外線を生成するものであり、紫外線放電用の放
電容器の外面と内部とに配置された電極間に所定の高電
圧を印加して、該放電容器内に放電プラズマを発生さ
せ、該放電容器内に充填されたキセノン等のガスにエキ
シマ発光を生じさせることによって紫外線光を得るもの
である。また、エキシマランプは、低圧水銀ランプのよ
うに水温の影響を受けないで安定して紫外線を放射する
ことが知られていることから、被処理液内に直接浸漬し
て使用することができる。しかし、エキシマランプを被
処理液内に直接浸漬して使用すると、放電容器の被処理
液との接触面すなわち外面に上述したようなスケール、
油分、浮遊物質などの汚れが付着して、紫外線の被処理
液への殺菌効率、光分解効率、光反応効率等が低下する
ことになるので、被処理液の通水中に放電容器の外面を
洗浄具によって定期的に洗浄する必要がある。
【０００７】しかしながら、エキシマランプにおいて
は、放電容器の外面に電極が配置されているので、該放
電容器の外面を洗浄具によって洗浄しようとすると、そ
の外面電極を洗浄具によって直接擦ることになるので、
該外面電極が破損することが予想される。また、外面電
極が被処理液と接触するので、該被処理液による電極材
料の腐食や漏れ電流が発生することが予想される。
は、放電容器の外面に電極が配置されているので、該放
電容器の外面を洗浄具によって洗浄しようとすると、そ
の外面電極を洗浄具によって直接擦ることになるので、
該外面電極が破損することが予想される。また、外面電
極が被処理液と接触するので、該被処理液による電極材
料の腐食や漏れ電流が発生することが予想される。
【０００８】本発明は、上記の点に鑑みて為されたもの
で、被処理液と接液し、該被処理液に紫外線を照射する
紫外線光源の外面に配置される外面電極を損傷すること
なく、該紫外線光源を洗浄することのできる紫外線照射
装置、及び該外面電極の被処理液による腐食や漏れ電流
の発生を防止することのできる紫外線光源を提供しよう
とするものである。
で、被処理液と接液し、該被処理液に紫外線を照射する
紫外線光源の外面に配置される外面電極を損傷すること
なく、該紫外線光源を洗浄することのできる紫外線照射
装置、及び該外面電極の被処理液による腐食や漏れ電流
の発生を防止することのできる紫外線光源を提供しよう
とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る紫外線光源
は、被処理液と接液し、該被処理液に紫外線を照射する
紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容器と、該放
電容器の外面に配置される電圧印加用の電極と、該電極
を該被処理液と接液しないように被覆する光透過性の被
覆部とを具えたものである。これによれば、電極は光透
過性の被覆部によって被処理液と接液しないように被覆
されるので、被処理液による電極材料の腐食や漏れ電流
が発生することがない。また、本発明に係る紫外線照射
装置は、上述した紫外線光源と、前記紫外線光源の前記
被処理液と接液する前記被覆部の表面を洗浄する洗浄具
とを具えたものである。これによれば、紫外線光源の放
電容器の外面に配置される電極を光透過性の被覆部によ
って保護することができると共に、該被覆部の表面を洗
浄具によって洗浄することができるので、紫外線光源の
外面電極を損傷することなく、該紫外線光源を洗浄する
ことができる。
は、被処理液と接液し、該被処理液に紫外線を照射する
紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容器と、該放
電容器の外面に配置される電圧印加用の電極と、該電極
を該被処理液と接液しないように被覆する光透過性の被
覆部とを具えたものである。これによれば、電極は光透
過性の被覆部によって被処理液と接液しないように被覆
されるので、被処理液による電極材料の腐食や漏れ電流
が発生することがない。また、本発明に係る紫外線照射
装置は、上述した紫外線光源と、前記紫外線光源の前記
被処理液と接液する前記被覆部の表面を洗浄する洗浄具
とを具えたものである。これによれば、紫外線光源の放
電容器の外面に配置される電極を光透過性の被覆部によ
って保護することができると共に、該被覆部の表面を洗
浄具によって洗浄することができるので、紫外線光源の
外面電極を損傷することなく、該紫外線光源を洗浄する
ことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図面に
従って説明する。図１は、本発明に係る紫外線照射装置
の一実施例を示す縦断面概略構成図である。この実施の
形態に示す紫外線照射装置は、図１に示されるように、
例えば、被処理液を通すシリンダー１と、該シリンダー
１の内部に内挿された紫外線光源であるエキシマランプ
２と、該エキシマランプ２の外面を洗浄する洗浄装置３
などを含んで構成され、シリンダー１内を通る被処理液
にエキシマランプ２によって紫外線を照射する内照式の
紫外線照射装置に適用される。
従って説明する。図１は、本発明に係る紫外線照射装置
の一実施例を示す縦断面概略構成図である。この実施の
形態に示す紫外線照射装置は、図１に示されるように、
例えば、被処理液を通すシリンダー１と、該シリンダー
１の内部に内挿された紫外線光源であるエキシマランプ
２と、該エキシマランプ２の外面を洗浄する洗浄装置３
などを含んで構成され、シリンダー１内を通る被処理液
にエキシマランプ２によって紫外線を照射する内照式の
紫外線照射装置に適用される。
【００１１】図１において、シリンダー１は、その両端
がシール部１ａ及び１ｂによって水密に密閉されてお
り、処理水流入口８から取り入れた被処理液をシリンダ
ー１内に通し、処理水排出口９から排出する。シリンダ
ー１には、追って説明するエキシマランプ２の放電容器
１０が内挿され、該放電容器１０の両端部がシール部１
ａ及び１ｂにシール材４ａ及び４ｂを介して水密に支持
されている。
がシール部１ａ及び１ｂによって水密に密閉されてお
り、処理水流入口８から取り入れた被処理液をシリンダ
ー１内に通し、処理水排出口９から排出する。シリンダ
ー１には、追って説明するエキシマランプ２の放電容器
１０が内挿され、該放電容器１０の両端部がシール部１
ａ及び１ｂにシール材４ａ及び４ｂを介して水密に支持
されている。
【００１２】エキシマランプ２は、誘電体材料からなる
密閉管状の光透過性の紫外線放電用の放電容器１０と、
該放電容器１０の内部に長軸方向に沿って配置された線
状の内部電極１１と、該放電容器１０の外面に長軸方向
に沿って配置された線状の複数の外面電極１２と、該外
面電極１２を放電容器１０の外面上で被処理液と接触し
ないように被覆する光透過性の被覆部１３などを含んで
構成される。放電容器１０は、上述したように、シリン
ダー１内に内挿され、該放電容器１０の両端部がシリン
ダー１のシール部１ａ及び１ｂにシール材４ａ及び４ｂ
を介して水密に支持される。従って、放電容器１０は、
シリンダー１のシール部１ａ及び１ｂによって支持され
る両端部を除いて被処理液と接液する。エキシマランプ
２では、例えば、放電容器１０の内部にキセノン等のガ
スが充填され、内部電極１１及び外面電極１２に図示し
ない電源を通じて給電回路から所定の電圧が印加される
ことにより該両電極１１，１２間に放電プラズマが発生
する。これによって、充填ガスにエキシマ発光が生じ、
該充填ガスに応じた波長の紫外線（例えば、３００ｎｍ
以下の短波長紫外線）を発生する。この紫外線は、放電
容器１０、被覆部１３を透過して被処理液に照射され、
該被処理液中の細菌等の殺菌及び消毒等の処理を行う。
密閉管状の光透過性の紫外線放電用の放電容器１０と、
該放電容器１０の内部に長軸方向に沿って配置された線
状の内部電極１１と、該放電容器１０の外面に長軸方向
に沿って配置された線状の複数の外面電極１２と、該外
面電極１２を放電容器１０の外面上で被処理液と接触し
ないように被覆する光透過性の被覆部１３などを含んで
構成される。放電容器１０は、上述したように、シリン
ダー１内に内挿され、該放電容器１０の両端部がシリン
ダー１のシール部１ａ及び１ｂにシール材４ａ及び４ｂ
を介して水密に支持される。従って、放電容器１０は、
シリンダー１のシール部１ａ及び１ｂによって支持され
る両端部を除いて被処理液と接液する。エキシマランプ
２では、例えば、放電容器１０の内部にキセノン等のガ
スが充填され、内部電極１１及び外面電極１２に図示し
ない電源を通じて給電回路から所定の電圧が印加される
ことにより該両電極１１，１２間に放電プラズマが発生
する。これによって、充填ガスにエキシマ発光が生じ、
該充填ガスに応じた波長の紫外線（例えば、３００ｎｍ
以下の短波長紫外線）を発生する。この紫外線は、放電
容器１０、被覆部１３を透過して被処理液に照射され、
該被処理液中の細菌等の殺菌及び消毒等の処理を行う。
【００１３】図２に、図１に示されるエキシマランプ２
の横断面図を示す。図２において、エキシマランプ２
は、放電容器１０内のほぼ中央に内部電極１１を有し、
該放電容器１０の外面に複数の外面電極（図示例では、
８つの外部電極）１２を等間隔に有する。そして、外面
電極１２が放電容器１０の外面上で石英ガラス若しくは
フッ素樹脂などを材質とする被覆部１３によって被覆さ
れている。被覆部１３の材質として石英ガラスを用いる
場合には、３００ｎｍ以下の短波長紫外線を効率よく透
過する材質の透明石英ガラス、または合成石英ガラス
（東芝電興製：Ｔ−１０３０，２０３０，４０４０、ゼ
ネラルエレクトリック社製：ＧＥ−２１４など）などを
使用する。石英ガラスからなる被覆部１３によって外面
電極１２を放電容器１０の外面に被覆するには、例え
ば、放電容器１０を成型する際に、該放電容器１０の外
面に外面電極１２を透明石英ガラスや合成石英ガラスな
どで埋め込むか、または、放電容器１０の外面に外面電
極１２を設置した後に、該外面電極１２を透明石英ガラ
スや合成石英ガラスなどの粉末でコーティングし、その
粉末を焼成仕上げする。一方、被覆部１３の材質として
フッ素樹脂を用いる場合には、３００ｎｍ以下の短波長
紫外線を効率よく透過する、例えば、光透過性フッ素樹
脂材料（ＦＥＰなど）を使用する。フッ素樹脂からなる
被覆部１３によって外面電極１２を放電容器１０の外面
に被覆するには、放電容器１０の外面に外面電極１２を
設置した後に、該放電容器１０の外面を光透過性フッ素
樹脂製の熱収縮チューブで被覆し、該熱収縮チューブの
加熱成型を行う。この場合、熱収縮チューブ厚が厚すぎ
ると、熱収縮チューブによる紫外線の吸収割合が増えて
被処理液への紫外線の照射効率が低下するため、熱収縮
チューブ厚は外面電極１２の被覆強度を考慮して、０．
３〜０．５ｍｍ程度とすることが好ましい。
の横断面図を示す。図２において、エキシマランプ２
は、放電容器１０内のほぼ中央に内部電極１１を有し、
該放電容器１０の外面に複数の外面電極（図示例では、
８つの外部電極）１２を等間隔に有する。そして、外面
電極１２が放電容器１０の外面上で石英ガラス若しくは
フッ素樹脂などを材質とする被覆部１３によって被覆さ
れている。被覆部１３の材質として石英ガラスを用いる
場合には、３００ｎｍ以下の短波長紫外線を効率よく透
過する材質の透明石英ガラス、または合成石英ガラス
（東芝電興製：Ｔ−１０３０，２０３０，４０４０、ゼ
ネラルエレクトリック社製：ＧＥ−２１４など）などを
使用する。石英ガラスからなる被覆部１３によって外面
電極１２を放電容器１０の外面に被覆するには、例え
ば、放電容器１０を成型する際に、該放電容器１０の外
面に外面電極１２を透明石英ガラスや合成石英ガラスな
どで埋め込むか、または、放電容器１０の外面に外面電
極１２を設置した後に、該外面電極１２を透明石英ガラ
スや合成石英ガラスなどの粉末でコーティングし、その
粉末を焼成仕上げする。一方、被覆部１３の材質として
フッ素樹脂を用いる場合には、３００ｎｍ以下の短波長
紫外線を効率よく透過する、例えば、光透過性フッ素樹
脂材料（ＦＥＰなど）を使用する。フッ素樹脂からなる
被覆部１３によって外面電極１２を放電容器１０の外面
に被覆するには、放電容器１０の外面に外面電極１２を
設置した後に、該放電容器１０の外面を光透過性フッ素
樹脂製の熱収縮チューブで被覆し、該熱収縮チューブの
加熱成型を行う。この場合、熱収縮チューブ厚が厚すぎ
ると、熱収縮チューブによる紫外線の吸収割合が増えて
被処理液への紫外線の照射効率が低下するため、熱収縮
チューブ厚は外面電極１２の被覆強度を考慮して、０．
３〜０．５ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００１４】洗浄装置３は、図１に示されるように、エ
キシマランプ２において、被処理液と接液する放電容器
１０の被覆部１３の表面を洗浄する洗浄具５と、該洗浄
具５を放電容器１０の長軸方向に移動する洗浄ロッド６
などを有して構成される。洗浄具５は、放電容器１０の
被覆部１３の表面に付着するスケール（被処理液体中の
カルシウム、マグネシウム、鉄、アルミニウム、リン、
有機物など）、油分、浮遊物質などの汚れを適切に除去
できるものであればどのような構造のものであっても良
い。しかしながら、洗浄具５を選定するに当たり、耐紫
外線性、洗浄装置３のコンパクト化、洗浄作動の安定性
などを考慮する必要がある。本例では、洗浄具５は、放
電容器１０の被覆部１３の表面に接するスクレーパー部
５ａを有してなり、該スクレーパー部５ａは、耐紫外線
性のテフロン（登録商標）、ゴムなどの材質（ＰＦＡ、
ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＰＤＭなど）を用いて、該被覆部
１３の表面に密接するようにリング状に形成される。し
かし、被覆部１３の表面に外部電極１２ａ〜１２ｈによ
って凹凸が生じる場合には、該被覆部１３の表面にリン
グ状のスクレーパー部５ａを密接させることができない
ので、この場合には、洗浄具はブラシ状のスクレーパー
部を具備するように形成される。洗浄ロッド６は、一端
が洗浄具５に連結され、他端がシリンダー１のシール部
１ａにシール材７を介して水密に支持されている。この
洗浄ロッド６は、シリンダー１のシール部１ａに対して
他端を手動で放電容器１０の長軸方向に上下動すること
によって、洗浄具５を放電容器１０の長軸方向に上下に
移動させることができる。洗浄装置３としては、上述し
た手動によるものに限られず、エアシリンダー、モータ
ーとボールネジ軸との組み合わせ等による駆動源によっ
て洗浄ロッド６を駆動することにより、洗浄具５を放電
容器１０の長軸方向に上下に移動させる自動洗浄運転も
可能である。
キシマランプ２において、被処理液と接液する放電容器
１０の被覆部１３の表面を洗浄する洗浄具５と、該洗浄
具５を放電容器１０の長軸方向に移動する洗浄ロッド６
などを有して構成される。洗浄具５は、放電容器１０の
被覆部１３の表面に付着するスケール（被処理液体中の
カルシウム、マグネシウム、鉄、アルミニウム、リン、
有機物など）、油分、浮遊物質などの汚れを適切に除去
できるものであればどのような構造のものであっても良
い。しかしながら、洗浄具５を選定するに当たり、耐紫
外線性、洗浄装置３のコンパクト化、洗浄作動の安定性
などを考慮する必要がある。本例では、洗浄具５は、放
電容器１０の被覆部１３の表面に接するスクレーパー部
５ａを有してなり、該スクレーパー部５ａは、耐紫外線
性のテフロン（登録商標）、ゴムなどの材質（ＰＦＡ、
ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＥＰＤＭなど）を用いて、該被覆部
１３の表面に密接するようにリング状に形成される。し
かし、被覆部１３の表面に外部電極１２ａ〜１２ｈによ
って凹凸が生じる場合には、該被覆部１３の表面にリン
グ状のスクレーパー部５ａを密接させることができない
ので、この場合には、洗浄具はブラシ状のスクレーパー
部を具備するように形成される。洗浄ロッド６は、一端
が洗浄具５に連結され、他端がシリンダー１のシール部
１ａにシール材７を介して水密に支持されている。この
洗浄ロッド６は、シリンダー１のシール部１ａに対して
他端を手動で放電容器１０の長軸方向に上下動すること
によって、洗浄具５を放電容器１０の長軸方向に上下に
移動させることができる。洗浄装置３としては、上述し
た手動によるものに限られず、エアシリンダー、モータ
ーとボールネジ軸との組み合わせ等による駆動源によっ
て洗浄ロッド６を駆動することにより、洗浄具５を放電
容器１０の長軸方向に上下に移動させる自動洗浄運転も
可能である。
【００１５】本実施の形態に示す紫外線照射装置におい
て、被処理液の処理中に、エキシマランプ２の放電容器
１０の被覆部１３の表面に付着したスケール、油分、浮
遊物質などの汚れを洗浄する場合、洗浄ロッド６を手動
若しくは駆動源によって上下動して、洗浄具５を放電容
器１０の長軸方向に移動させる。このとき、外面電極１
２が被覆部１３によって被覆されているので、洗浄具５
は、該被覆部１３の表面をスクレーパー部５ａによって
擦りながら移動し、該被覆部１３の表面に付着している
スケール、油分、浮遊物質などの汚れを除去して、該被
覆部１３の表面を洗浄する。このように、紫外線照射装
置では、放電容器１０の外面に配置された外面電極１２
を被覆部１３によって保護するので、該外面電極１２の
損傷を防止できると共に、該被覆部１３の表面を洗浄具
５によって洗浄することができる。これによって、被処
理液を長時間、効率良く紫外線照射処理することができ
る。また、エキシマランプ２では、外面電極１２が光透
過性の被覆部１３によって被処理液と接液しないように
被覆されているので、被処理液による電極材料の腐食や
漏れ電流が発生することがない。
て、被処理液の処理中に、エキシマランプ２の放電容器
１０の被覆部１３の表面に付着したスケール、油分、浮
遊物質などの汚れを洗浄する場合、洗浄ロッド６を手動
若しくは駆動源によって上下動して、洗浄具５を放電容
器１０の長軸方向に移動させる。このとき、外面電極１
２が被覆部１３によって被覆されているので、洗浄具５
は、該被覆部１３の表面をスクレーパー部５ａによって
擦りながら移動し、該被覆部１３の表面に付着している
スケール、油分、浮遊物質などの汚れを除去して、該被
覆部１３の表面を洗浄する。このように、紫外線照射装
置では、放電容器１０の外面に配置された外面電極１２
を被覆部１３によって保護するので、該外面電極１２の
損傷を防止できると共に、該被覆部１３の表面を洗浄具
５によって洗浄することができる。これによって、被処
理液を長時間、効率良く紫外線照射処理することができ
る。また、エキシマランプ２では、外面電極１２が光透
過性の被覆部１３によって被処理液と接液しないように
被覆されているので、被処理液による電極材料の腐食や
漏れ電流が発生することがない。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る紫
外線照射装置によれば、紫外線光源の放電容器の外面に
配置される電極を光透過性の被覆部によって保護すると
共に、該被覆部の表面を洗浄具によって洗浄するように
したので、紫外線光源の外面電極を損傷することなく、
該紫外線光源を洗浄することができる。これによって、
被処理液を長時間、効率良く紫外線照射処理できる、と
いう優れた効果を奏する。また、本発明に係る紫外線光
源によれば、電極は光透過性の被覆部によって被処理液
と接液しないように被覆されるので、被処理液による電
極材料の腐食や漏れ電流が発生することがない。
外線照射装置によれば、紫外線光源の放電容器の外面に
配置される電極を光透過性の被覆部によって保護すると
共に、該被覆部の表面を洗浄具によって洗浄するように
したので、紫外線光源の外面電極を損傷することなく、
該紫外線光源を洗浄することができる。これによって、
被処理液を長時間、効率良く紫外線照射処理できる、と
いう優れた効果を奏する。また、本発明に係る紫外線光
源によれば、電極は光透過性の被覆部によって被処理液
と接液しないように被覆されるので、被処理液による電
極材料の腐食や漏れ電流が発生することがない。
【図１】 本発明に係る紫外線照射装置の一実施例を示
す縦断面概略構成図。
す縦断面概略構成図。
【図２】 図１に示される紫外線照射装置におけるエキ
シマランプの横断面図。
シマランプの横断面図。
【図３】 従来の紫外線照射装置の縦断面概略構成図。
１ シリンダー
１ａ，１ｂ シール部
２ エキシマランプ
３ 洗浄装置
４ａ，４ｂ シール材
５ 洗浄具
６ 洗浄ロッド
７ シール材
８ 処理水入口
９ 処理水出口
１０ 放電容器
１１ 内部電極
１２ 外面電極
１３ 被覆部
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｊ 65/00 Ｈ０１Ｊ 65/00 Ｄ
Ｆターム(参考） 3B116 AA47 AB53 BA02 BA03 BA22
BA33
4D037 AA03 AA08 AA11 AB03 BA18
CA11
4D050 AA01 AA08 AA12 AB06 AB07
BB01 BC09 BD02
4G075 AA02 AA57 CA33 EA01 EB21
EB32
Claims (4)
- 【請求項１】 被処理液と接液し、該被処理液に紫外線
を照射する紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容
器と、該放電容器の外面に配置される電圧印加用の電極
と、該電極を該被処理液と接液しないように被覆する光
透過性の被覆部とを備える紫外線光源と、 前記紫外線光源の前記被処理液と接液する前記被覆部の
表面を洗浄する洗浄具とを具えた紫外線照射装置。 - 【請求項２】 前記紫外線光源は、前記放電容器に電圧
印加用の他の電極をさらに備え、該他の電極と前記電極
とに電圧を印加することによって紫外線を生成するエキ
シマランプである請求項１に記載の紫外線照射装置。 - 【請求項３】 前記被覆部の材質は、石英ガラス若しく
はフッ素樹脂である請求項１又は２に記載の紫外線照射
装置。 - 【請求項４】 被処理液と接液し、該被処理液に紫外線
を照射する紫外線光源であって、紫外線放電用の放電容
器と、該放電容器の外面に配置される電圧印加用の電極
と、該電極を該被処理液と接液しないように被覆する光
透過性の被覆部とを具えた紫外線光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001309260A JP2003112179A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 紫外線照射装置及び紫外線光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001309260A JP2003112179A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 紫外線照射装置及び紫外線光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003112179A true JP2003112179A (ja) | 2003-04-15 |
Family
ID=19128446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001309260A Pending JP2003112179A (ja) | 2001-10-04 | 2001-10-04 | 紫外線照射装置及び紫外線光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003112179A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008506565A (ja) * | 2004-07-19 | 2008-03-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 医薬品包装のための接着性プラスチックフィルムラミネートにおける防犯タガント（追跡用添加物） |
| JP2008142593A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線光による不活化処理方法 |
| KR100855201B1 (ko) * | 2008-04-28 | 2008-09-01 | 박세준 | 자외선살균장치 |
| WO2011153388A3 (en) * | 2010-06-04 | 2012-05-10 | Access Business Group International Llc | Wirelessly powered dielectric barrier discharge lamp, and base station for a wirelessly powered fluid treatment system |
| KR101249269B1 (ko) * | 2005-06-08 | 2013-04-01 | 사이머 인코포레이티드 | 이온이 ｅｕｖ 광원의 내부 컴포넌트에 닿는 것을방지하도록 플라즈마-생성된 이온을 편향시키기 위한시스템 및 방법 |
| WO2013081054A1 (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-06 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
| JP2013118072A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Ushio Inc | 紫外線放電ランプ |
-
2001
- 2001-10-04 JP JP2001309260A patent/JP2003112179A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008506565A (ja) * | 2004-07-19 | 2008-03-06 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 医薬品包装のための接着性プラスチックフィルムラミネートにおける防犯タガント（追跡用添加物） |
| KR101249269B1 (ko) * | 2005-06-08 | 2013-04-01 | 사이머 인코포레이티드 | 이온이 ｅｕｖ 광원의 내부 컴포넌트에 닿는 것을방지하도록 플라즈마-생성된 이온을 편향시키기 위한시스템 및 방법 |
| JP2008142593A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線光による不活化処理方法 |
| JP4691004B2 (ja) * | 2006-12-07 | 2011-06-01 | 株式会社東芝 | 紫外線光による不活化処理方法 |
| KR100855201B1 (ko) * | 2008-04-28 | 2008-09-01 | 박세준 | 자외선살균장치 |
| WO2011153388A3 (en) * | 2010-06-04 | 2012-05-10 | Access Business Group International Llc | Wirelessly powered dielectric barrier discharge lamp, and base station for a wirelessly powered fluid treatment system |
| CN103026457A (zh) * | 2010-06-04 | 2013-04-03 | 捷通国际有限公司 | 感应耦合介电屏障放电灯 |
| CN103026457B (zh) * | 2010-06-04 | 2016-10-26 | 捷通国际有限公司 | 流体处理系统和操作灯组件的方法 |
| US9493366B2 (en) | 2010-06-04 | 2016-11-15 | Access Business Group International Llc | Inductively coupled dielectric barrier discharge lamp |
| WO2013081054A1 (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-06 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
| JP2013118072A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Ushio Inc | 紫外線放電ランプ |
| US9159545B2 (en) | 2011-12-02 | 2015-10-13 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Excimer lamp |
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