JP2003098220A

JP2003098220A - 半導体デバイス用クラムシェルタイプソケットの開閉装置

Info

Publication number: JP2003098220A
Application number: JP2001292051A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Kaneko; 修一金子; Kenji Higashiyama; 健二東山; Kiyoshi Shimizu; 潔清水; Hironori Katayama; 広規片山
Original assignee: Japan Engineering Corp
Current assignee: Japan Engineering Corp
Priority date: 2001-09-25
Filing date: 2001-09-25
Publication date: 2003-04-03

Abstract

(57)【要約】【解決手段】半導体デバイス用クラムシェルタイプソ
ケットのためのソケット蓋開機構は、ソケットのラッチ
の一端を押すためのラッチプッシャーと、ラッチプッシ
ャーに対して閉じる方向に作動されてソケットのラッチ
のラッチ開放操作部に係合しうるツメを有したエアアク
チュエータと、ラッチプッシャーおよびエアアクチュエ
ータをソケットに対して上下動させるための移動手段と
を備える。ソケット蓋閉機構は、ソケット蓋支え機構
と、ソケット蓋押え機構とを備える。【効果】ソケットの損傷のおそれなしにソケットの蓋
を確実に開くことができる。また、ソケットに対する位
置関係をそれほど厳密に設定しなくとも確実にソケット
の蓋を閉じることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
テスト装置に使用されるバーンインボード等に装着され
る半導体デバイス用クラムシェルタイプソケットの開閉
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＩＣ等の半導体デバイスのテスト
装置に使用されるバーンインボード等に装着されてテス
トすべき半導体デバイスのコンタクトを確実に行うソケ
ットの一つの型として、クラムシェルタイプソケットが
ある。このクラムシェルタイプソケットは、一般的に、
添付図面の図３２の下部に断面図にて示すような構造を
有している。

【０００３】図３２に示されるように、このクラムシェ
ルタイプソケット１０は、半導体デバイスを受け入れる
凹部１を有したベース部２と、このベース部２に対して
開閉しうるように取り付けられた蓋部３とを備えてい
る。蓋部３は、ベース部２の一端側で回動軸４を介して
ベース部２に結合されていて、この回動軸４を中心とし
てベース部２に対して開閉しうるものとされている。回
転軸４の周りに設けられた蓋回動用ねじりコイルバネ５
の作用により、蓋部３は、常に開方向への回動力が蓋部
３には与えられている。蓋部３の内側中央部には、押え
用圧縮バネ６およびガイドピン７の協動作用により、半
導体デバイスをベース部２の凹部１内に押圧固定するた
めの押えプレート８が取り付けられている。また、蓋部
３には、回動軸４とは反対側にラッチ８が設けられてい
る。ラッチ８は、蓋部３に対して回動しうるように枢軸
ピン８Ａを介して取り付けられており、一端８Ｂは、蓋
部３との間に設けられたラッチ回転用圧縮バネ９を受け
て、ラッチ８が枢軸ピン８Ａを中心として反時計方向
（図３２において）に回動しうるように常時付勢される
ようにしている。そして、ラッチ８の他端には、爪８Ｃ
が設けられていて、この爪８Ｃは、ベース部２の対応す
る個所に形成された引掛け部２Ａに係合して、蓋部３が
ベース部２に対して閉じた状態に保持されるようにす
る。さらにまた、ラッチ８には、外側に突出したラッチ
開放操作部８Ｄが設けられている。

【０００４】このような構造のクラムシェルタイプソケ
ットを開閉するための従来の開閉装置は、開閉装置を一
箇所に固定しておき、Ｘ−Ｙテーブル上のバーンインボ
ードに在るクラムシェルタイプソケットの蓋を開閉する
ようにするものが一般的であった。また、従来において
は、別の個所に固定設置した吸着機構により、クラムシ
ェルタイプソケットに対するデバイスの挿抜を行ってい
るのが一般的であった。

【０００５】従来のこの種の開閉装置は、バネの力によ
りクラムシェルタイプソケットのラッチ機構にモーメン
トを加えて蓋を開けるようにする構造をとっている。こ
のような従来の蓋開閉装置の構造および動作は次のよう
であった。添付図面の図３２の上部に略示するように、
従来の開閉装置は、バーンインボード等の上に装着され
たクラムシェルタイプソケット１０に対して上下動しう
るロッド２０を備えており、このロッド２０の下端部に
は、下端にツメ２１を有した操作アーム２２と、押え棒
２３と、受け板２４とが取り付けられている。操作アー
ム２２は、枢軸２５を介して回動しうるようにロッド２
０に取り付けられており、また、ツメ部圧縮バネ２６の
作用により、操作アーム２２は、枢軸２５を中心として
反時計方向に回動させられるような偏移力が常時及ぼさ
れている。

【０００６】このような構造の従来の開閉装置の動作に
ついて説明すると、図３２に示すような定常位置におい
ては、ロッド２０の下端に設けられた操作アーム２２、
押え棒２３および受け板２４は、クラムシェルタイプソ
ケット１０の上方で離れた位置にある。このクラムシェ
ルタイプソケット１０の蓋部３を開くために、ソケット
蓋開機構（ロッド２０）を下降させる。すると、図３３
に示すように、操作アーム２２のツメ２１の下面がクラ
ムシェルタイプソケット１０のラッチ８のラッチ開放操
作部８Ｄの上面に接触し始めて、そのカム面の作用によ
り操作アーム２２が枢軸２５を中心としてツメ部圧縮バ
ネ２６の偏移力に抗して時計方向に若干回動し、押え棒
２３の下端がラッチ８の一端８Ｂの上面を押さえるよう
に作用し始める。図３３の状態からさらにロッド２０を
下降させると、図３４に示すように、押え棒２３の下降
により、ラッチ８は、バネ９の偏移力に抗して枢軸ピン
８Ａを中心として時計方向に回動させられて、ラッチ８
の爪８Ｃがベース部２の引掛け部２Ａから外されてソケ
ット１０のラッチが開状態となると同時に、操作アーム
２２のツメ２１がラッチ８のラッチ開放操作部８Ｄを乗
り越えてバネ２６の偏移力によりそこに係合することに
より、ラッチ８の開状態が保持されるようになる。した
がって、図３５に示すように、ロッド２０を上昇させて
も、ラッチ８の爪８Ｃがベース部２の引掛け部２Ａに係
合してしまうようにラッチ８がラッチ状態に戻るような
ことはない。そのままさらにロッド２０を上昇させる
と、図３６に示すように、ラッチ８から押え棒２３の先
端が離れるにしたがい、クラムシェルタイプソケット１
０の蓋部３は、ねじりコイルバネ５の偏移力により、ベ
ース部２に対して開かれた状態とされる。受け板２４
は、この場合において、蓋部３が勢い良く開いてしまう
のを防止するように作用する。

【０００７】また、このようにして開状態とされた蓋部
３を図３２に示したような閉状態とするための従来の蓋
閉装置は、開いた状態の蓋部３を斜め上方から押し込む
ようなロッドを備えたもので、この斜め方向からの押し
込み動作を通して、ラッチ８の爪８Ｃがベース部２の引
掛け部２Ａに係合させられるようにするものであった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
ソケットの蓋開閉およびデバイス挿抜の機構は、それぞ
れの機構が別々の場所に固定的に設置されてしまってい
るので、多チャンネル化した場合、ソケットのピッチと
形状に対応し辛いものであった。

【０００９】前述したような従来の蓋開装置は、操作ア
ームのツメをソケットのラッチに対して比較的に強いバ
ネの偏移力に抗して作用させなければならないものであ
るので、ソケットに余計な負荷を掛けて損傷させてしま
うような恐れのあるものであった。また、操作アームの
ツメの動作をバネの偏移力のみによって制御しているも
のであるので、ソケットのラッチとの関係で相当に厳密
に両者の位置関係やツメの形状等を設計しないと上手く
作動し得なくなってしまうものであった。

【００１０】また、前述したような従来の蓋閉装置もま
た、斜め方向に移動するロッドの一ストロークで蓋を支
える、また上から押せる位置にソケットを回転させるも
のであるので、ソケットに対するロッドの位置関係やス
トローク長を相当に厳密に設定しないと上手く作動し得
ないものとなってしまう。

【００１１】さらにまた、従来の蓋開閉装置は、前述し
たような構造で作動するものであるので、開閉すべきソ
ケットの種類やサイズが異なってくるような場合に対応
し難いものであった。

【００１２】前述したのと同様の理由により、従来の蓋
開閉装置は、複数のソケットの蓋を同時に開閉するよう
な、いわゆる複数のチャンネルの装置として構成し難い
ものであった。

【００１３】さらにまた、従来の蓋開閉装置には、ソケ
ット蓋の開閉の確認をする機構や、蓋の開いたソケット
に対してデバイスが正しく挿着されたかを確認するよう
な機構を組み込むのが容易ではなかった。

【００１４】本発明の目的は、前述したような従来装置
の問題点を解消しうるような半導体デバイス用クラムシ
ェルタイプソケットの開閉装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の一つの観点によ
れば、半導体デバイス用クラムシェルタイプソケットの
ためのソケット蓋開機構において、ソケットのラッチの
一端を押すためのラッチプッシャーと、該ラッチプッシ
ャーに対して閉じる方向に作動されて前記ソケットのラ
ッチのラッチ開放操作部に係合しうるツメを有したエア
アクチュエータと、前記ラッチプッシャーおよびエアア
クチュエータを前記ソケットに対して上下動させるため
の移動手段とを備えたことを特徴とするソケット蓋開機
構が提供される。

【００１６】本発明の一つの実施の形態によれば、前記
ラッチプッシャー、エアアクチュエータおよび移動手段
は、隣接配置された２つのソケットの蓋部を同時に開け
るように２チャンネル分が並置されており、各チャンネ
ルのラッチプッシャーおよびエアアクチュエータは、ユ
ニット化されていて、各チャンネルの移動手段のユニッ
ト取付け部に対して、位置決めジグを介して着脱自在な
ものとされている。

【００１７】本発明の別の観点によれば、半導体デバイ
ス用クラムシェルタイプソケットのためのソケット蓋閉
機構において、ソケット蓋支え機構と、ソケット蓋押え
機構とを備えており、ソケット蓋支え機構は、ソケット
の開いた蓋部を閉じる方向へと支えるようにするソケッ
ト押し車と、該ソケット押し車を前記ソケットの開いた
蓋部の外側面に対峙する位置へと移動させるための第１
の移動手段と、前記ソケット押し車を、前記ソケットの
開いた蓋部の外側面に対峙した位置から該蓋部を閉じる
方向へと押すように移動させるための第２の移動手段と
を備えており、前記ソケット蓋押え機構は、前記ソケッ
ト蓋支え機構によって閉じる方向へと支えられた前記ソ
ケットの蓋部を押さえ込み該ソケットのラッチが掛けら
れるようにするプッシャーと、該プッシャーを前記ソケ
ットに対して上下動させるための移動手段とを備えるこ
とを特徴とするソケット蓋閉機構が提供される。

【００１８】本発明の一つの実施の形態によれば、前記
ソケット蓋支え機構のソケット押し車は、隣接配置され
た２つのソケットの蓋部を同時に閉じるように２チャン
ネル分が並置されており、各チャンネルのソケット押し
車は、前記第２の移動手段のユニット取付け部に対し
て、位置決めジグを介して着脱自在なものとされてお
り、前記ソケット蓋押え機構のプッシャーは、前記隣接
配置された２つのソケットの蓋部を同時に閉じるように
２チャンネル分が並置されており、各チャンネルのプッ
シャーは、前記ソケット蓋押え機構の前記移動手段の取
付け部に対して着脱自在なものとされている。

【００１９】本発明の別の実施の形態によれば、前記ソ
ケット蓋押え機構の前記移動手段は、デュアルロッドシ
リンダにて構成され、該デュアルロッドシリンダの前記
取付け部は、該デュアルロッドシリンダの２つのロッド
が半独立となるような形式にて、各ロッドに前記各チャ
ンネルのプッシャーがそれぞれ着脱自在に取り付けられ
るように構成されている。

【００２０】本発明のさらに別の観点によれば、半導体
デバイス用クラムシェルタイプソケットに対する半導体
デバイスの挿入を行うためのデバイス吸着機構におい
て、ソケットへ挿入すべき半導体デバイスを吸着する吸
着パッドと、前記半導体デバイスが前記ソケット内に正
しく挿入されたか否かを検出するための反射型光電セン
サからなる着座センサと、前記吸着パッドを前記ソケッ
トに対して上下動させるための第１の移動手段と、前記
着座センサを前記検出の位置へと移動させるための第２
の移動手段とを備えることを特徴とするデバイス吸着機
構が提供される。

【００２１】本発明の一つの実施の形態によれば、前記
吸着パッド、着座センサおよび第１の移動手段は、隣接
配置された２つのソケットに対して半導体デバイスを同
時に挿入することができるように２チャンネル分が並置
されており、各チャンネルの吸着パッドおよび着座セン
サは、ユニット化されていて、各チャンネルの第１の移
動手段のユニット取付け部に対して、位置決めジグを介
して着脱自在なものとされている。

【００２２】本発明のさらに別の観点によれば、半導体
デバイス用クラムシェルタイプソケットのための半導体
デバイス挿入抜取システムにおいて、ソケットから半導
体デバイスを抜き取るための抜取ヘッドと、ソケットへ
半導体デバイスを挿入するための挿入ヘッドとを備えて
おり、前記抜取ヘッドは、ソケット蓋開機構とデバイス
吸着機構とを一体として備えており、前記挿入ヘッド
は、ソケット蓋閉機構とデバイス吸着機構とを一体とし
て備えており、前記ソケット蓋開機構は、ソケットのラ
ッチの一端を押すためのラッチプッシャーと、該ラッチ
プッシャーに対して閉じる方向に作動されて前記ソケッ
トのラッチのラッチ開放操作部に係合しうるツメを有し
たエアアクチュエータと、前記ラッチプッシャーおよび
エアアクチュエータを前記ソケットに対して上下動させ
るための移動手段とを備えており、前記抜取ヘッドの前
記デバイス吸着機構は、前記ソケット内の半導体デバイ
スを吸着するための吸着パッドと、該吸着パッドを前記
ソケットに対して上下動させるための移動手段とを備え
ており、ソケット蓋閉機構は、ソケット蓋支え機構と、
ソケット蓋押え機構とを備えており、前記ソケット蓋支
え機構は、ソケットの開いた蓋部を閉じる方向へと支え
るようにするソケット押し車と、該ソケット押し車を前
記ソケットの開いた蓋部の外側面に対峙する位置へと移
動させるための第１の移動手段と、前記ソケット押し車
を、前記ソケットの開いた蓋部の外側面に対峙した位置
から該蓋部を閉じる方向へと押すように移動させるため
の第２の移動手段とを備えており、前記ソケット蓋押え
機構は、前記ソケット蓋支え機構によって閉じる方向へ
と支えられた前記ソケットの蓋部を押さえ込み該ソケッ
トのラッチが掛けられるようにするプッシャーと、該プ
ッシャーを前記ソケットに対して上下動させるための移
動手段とを備えており、前記挿入ヘッドの前記デバイス
吸着機構は、前記ソケットへ挿入すべき半導体デバイス
を吸着する吸着パッドと、前記半導体デバイスが前記ソ
ケット内に正しく挿入されたか否かを検出するための着
座センサと、前記吸着パッドを前記ソケットに対して上
下動させるための第１の移動手段と、前記着座センサを
前記検出の位置へと移動させるための第２の移動手段と
を備えることを特徴とする半導体デバイス挿入抜取シス
テムが提供される。

【００２３】本発明の一つの実施の形態によれば、前記
半導体デバイス挿入抜取システムにおいて、前記着座セ
ンサは、反射型光電センサからなる。

【００２４】本発明の別の実施の形態によれば、前記半
導体デバイス挿入抜取システムにおいて、前記ソケット
蓋開機構の前記ラッチプッシャー、エアアクチュエータ
および移動手段は、隣接配置された２つのソケットの蓋
部を同時に開けるように２チャンネル分が並置されてお
り、各チャンネルのラッチプッシャーおよびエアアクチ
ュエータは、ユニット化されていて、各チャンネルの移
動手段のユニット取付け部に対して、位置決めジグを介
して着脱自在なものとされており、前記抜取ヘッドの前
記デバイス吸着機構の前記吸着パッドおよび移動手段
は、隣接配置された２つのソケットに対して半導体デバ
イスを同時に挿入することができるように２チャンネル
分が並置されており、各チャンネルの吸着パッドは、各
チャンネルの移動手段のユニット取付け部に対して、位
置決めジグを介して着脱自在なものとされており、前記
ソケット蓋支え機構のソケット押し車は、隣接配置され
た２つのソケットの蓋部を同時に閉じるように２チャン
ネル分が並置されており、各チャンネルのソケット押し
車は、前記第２の移動手段のユニット取付け部に対し
て、位置決めジグを介して着脱自在なものとされてお
り、前記ソケット蓋押え機構のプッシャーは、前記隣接
配置された２つのソケットの蓋部を同時に閉じるように
２チャンネル分が並置されており、各チャンネルのプッ
シャーは、前記ソケット蓋押え機構の前記移動手段の取
付け部に対して着脱自在なものとされており、前記挿入
ヘッドの前記デバイス吸着機構の前記吸着パッド、着座
センサおよび第１の移動手段は、隣接配置された２つの
ソケットに対して半導体デバイスを同時に挿入すること
ができるように２チャンネル分が並置されており、各チ
ャンネルの吸着パッドおよび着座センサは、ユニット化
されていて、各チャンネルの第１の移動手段のユニット
取付け部に対して、位置決めジグを介して着脱自在なも
のとされている。

【００２５】本発明のさらに別の実施の形態によれば、
前記半導体デバイス挿入抜取システムにおいて、前記ソ
ケット蓋押え機構の前記移動手段は、デュアルロッドシ
リンダにて構成され、該デュアルロッドシリンダの前記
取付け部は、該デュアルロッドシリンダの２つのロッド
が半独立となるような形式にて、各ロッドに前記各チャ
ンネルのプッシャーがそれぞれ着脱自在に取り付けられ
るように構成されている。

【００２６】

【発明の実施の形態】次に、添付図面の、特に、図１か
ら図３１に基づいて本発明の実施の形態および実施例に
ついて本発明をより詳細に説明する。

【００２７】図１は、本発明の一実施例としての半導体
デバイス用クラムシェルタイプソケットの蓋開機構およ
び蓋閉機構並びに半導体デバイスの吸着機構を組み込ん
だ半導体デバイス挿入抜取システムの全体を概略的に示
す正面図であり、図２は、図１の矢印Ａ−Ａ方向から見
た概略図であり、図３は、図１の矢印Ｂ−Ｂ方向から見
た概略図である。これら図１から図３に示されるよう
に、この半導体デバイス挿入抜取システムは、主とし
て、抜取ヘッド１００と、挿入ヘッド２００と、画像処
理システム（３０万画素カメラ）３００とを備えてい
る。

【００２８】図３によく示されるように、抜取ヘッド１
００は、ベース３０（図１参照）の前後端から立設され
た支持フレーム４０の間に張り渡されたガイドビーム４
２に配設された単軸ロボット１０１上に設置されてお
り、単軸ロボット１０１によりガイドビーム４２の延長
方向にそって移動させられるようになっている。そし
て、この抜取ヘッド１００は、後述するようなソケット
蓋開機構１２０およびデバイス吸着機構１４０を備えて
いる。

【００２９】図２によく示されるように、挿入ヘッド２
００は、ベース３０の前後端に支持フレーム４０と対向
するようにして立設された支持フレーム５０の間に張り
渡されたガイドビーム５１に配設された単軸ロボット２
０１上に設置されており、単軸ロボット２０１によりガ
イドビーム５１の延長方向にそって移動させられるよう
になっている。そして、この挿入ヘッド２００は、後述
するようなソケット蓋閉機構２２０およびデバイス吸着
機構２４０を備えている。

【００３０】図３によく示されるように、画像処理シス
テム３００は、支持フレーム４０の間に張り渡されたガ
イドビーム４１に配設された単軸ロボット３０１上に設
置されており、単軸ロボット３０１によりガイドビーム
４１の延長方向にそって移動させられるようになってい
る。この画像処理システム３００は、不良ソケット確認
等の画像処理のためのものであり、これ自体は従来のも
のでよいので、これ以上は詳述しない。

【００３１】図１によく示されるように、抜取ヘッド１
００および挿入ヘッド２００の下方には、クラムシェル
タイプソケット１０をマトリックス状に多数装着したバ
ーンインボード６０が配置されるようになっており、こ
のバーンインボード６０は、支持フレーム４０の間に張
り渡されたガイドビーム４１および４２および支持フレ
ーム５０の間に張り渡されたガイドビーム５１の延長方
向を横切る方向に移動させられるようになっている。ま
た、図２および図３に示されるように、デバイス吸着機
構１４０および２４０に対する半導体デバイスの給配を
行うためデバイス吸着機構の下方位置と半導体デバイス
分配位置との間に移動しうる位置決めシャトル７０も関
連付けられている。これらバーンインボード６０および
位置決めシャトル７０の構造および動作自体は、従来の
ものと同じであるので、これ以上詳述しない。

【００３２】次に、前述した半導体デバイス挿入抜取シ
ステムの各構成部分の詳細構造および動作について、順
に説明する。

【００３３】先ず、抜取ヘッド１００について説明する
に、この抜取ヘッド１００は、図３に関して前述したよ
うに、単軸ロボット１０１上にソケット蓋開機構１２０
とデバイス吸着機構１４０とを並設してなるものである
が、図示および説明を簡単化するために、ソケット蓋開
機構１２０とデバイス吸着機構１４０とを別々にしたも
のとして以下説明する。

【００３４】図４の（Ａ）は、ソケット蓋開機構１２０
のみを示す正面図であり、図４の（Ｂ）は、ソケット蓋
開機構１２０のみを示す側面図である。図４の（Ｂ）に
よく示されているように、この実施例のソケット蓋開機
構１２０は、並置された２つのクラムシェルタイプソケ
ットの蓋を同時に開くことのできるような２チャンネル
式のものとして構成されている。各チャンネルの蓋開機
構は、同一であるので、以下、１つのチャンネルについ
ての蓋開機構の構造および動作について説明する。各チ
ャンネルの蓋開機構は、図４の（Ａ）によく示されてい
るように、主として、単軸ロボット１０１に取り付けら
れるガイド付きシリンダ１２１と、このガイド付きシリ
ンダ１２１のロッドの下端に取り付けられるエアチャッ
ク等のエアアクチュエータ１２２、ラッチプッシャー１
２３、受け車１２４およびソケット蓋開確認センサ１２
５とを備えている。エアアクチュエータ１２２には、エ
アによって作動されるツメ１２６が設けられている。

【００３５】この実施例では、エアアクチュエータ１２
２、ラッチプッシャー１２３、受け車１２４およびソケ
ット蓋開確認センサ１２５からなるユニットは、バーン
インボード６０上のソケットピッチが変わったような場
合に対応できるように位置決めジグ１２７を介して、ガ
イド付きシリンダ１２１のロッドの下端に取り外し自在
に取り付けられるようになっている。この位置決めジグ
１２７の構造および使用方法について、図５および図６
を特に参照して説明する。

【００３６】図５は、図４に示したソケット蓋開機構１
２０の１チャンネル分と位置決めジグ１２７との関係を
示す平面図であり、図６は、図４に示したソケット蓋開
機構１２０の１チャンネル分と位置決めジグ１２７との
関係を示す側面図である。これら図５および図６によく
示されるように、ガイド付きシリンダ１２１のロッドの
下端には、キー溝１２９を有したユニット取付け部材１
２８が設けられており、このユニット取付け部材１２８
の上面には、２つの位置決め穴１３０が形成されてい
る。位置決めジグ１２７の一端側には、２本の位置決め
ピン１３１が取り付けられており、位置決めジグ１２７
の他端側には、１つの位置決め穴１３２が形成されてい
る。

【００３７】このような位置決めジグ１２７を用いて、
エアアクチュエータ１２２、ラッチプッシャー１２３、
受け車１２４およびソケット蓋開確認センサ１２５から
なるユニットの位置決めを行うには、ユニット取付け部
材１２８のキー溝を介してそこに取り付けられたユニッ
トを、そのキー溝１２９にそって、位置決めジグ１２７
の位置決め穴１３２に対して適当な位置へとスライドさ
せる。次いで、位置決めジグ１２７を、その２本の位置
決めピン１３１がユニット取付け部材１２８に形成され
た２つの位置決め穴１３０にそれぞれ挿着されるように
して、ユニット取付け部材１２８に取り付ける。このと
き、ユニットに設けられた位置決めピン１３３（図４参
照）の上端に位置決めジグ１２７の位置決め穴１３２が
はまり込む。これにより、ユニットの位置決めがなされ
る。この位置決めジグ１２７は、位置決めピン１３１を
位置決め穴１３０に対して挿抜するだけで、ユニット取
付け部材１２８に対して着脱自在なものとされている。

【００３８】前述したような位置決めジグ１２７とし
て、位置決めピン１３１と位置決め穴１３２との相対的
な位置関係を異ならせたものを必要数だけ用意しておく
ことにより、各チャンネル毎に適当な位置決めジグを用
いてユニットを取り付け固定することにより、チャンネ
ル間のユニット配列ピッチを容易に変換することができ
る。

【００３９】また、前述の実施例は、ユニットの配列ピ
ッチの変換を位置決めジグ１２７の交換によって行うも
のであるが、本発明は、これに限らず、各チャンネルの
ユニットの部品自体を交換することによってもピッチ変
換を容易に行える。

【００４０】次に、図７から図１１を参照して、前述し
たようなソケット蓋開機構１２０の動作について説明す
る。図７は、ソケット蓋開機構１２０が定常位置にある
状態を示している。この図７に示すように、この定常位
置においては、ソケット蓋開機構１２０のエアアクチュ
エータ１２２、ラッチプッシャー１２３、受け車１２４
およびソケット蓋開確認センサ１２５からなる各チャン
ネルのユニットは、バーインボード上に装着された各対
応するクラムシェルタイプソケット１０の上方離れた位
置にある。このクラムシェルタイプソケット１０自体
は、図３２から図３６に関して前述した従来構造と同じ
構造を有するものであり、図７の定常位置の状態では、
ソケット１０の蓋部３は閉じた状態にある。すなわち、
ソケット１０のラッチ８の爪８Ｃがベース部２の引掛け
部２Ａに係合していて、ラッチ８が閉状態にある。ま
た、図７の定常位置においては、エアアクチュエータ１
２２は不作動状態であって、したがって、エアアクチュ
エータ１２２のツメ１２６は、ラッチプッシャー１２３
に対して開いた位置にある。

【００４１】この定常位置の状態からソケット１０の蓋
部３を開くため、ガイド付きシリンダ１２１を付勢し
て、シリンダロッドを下降させて、図８に示すように、
ラッチプッシャー１２３が対応するソケット１０のラッ
チ８の一端８Ｂを押すようにする。このとき、ラッチ８
は、ラッチ回転用圧縮バネ９の回転力に抗して時計方向
に回転させられるので、ラッチ８の爪８Ｃがベース部２
の引掛け部２Ａから外される。この状態で、各ソケット
１０のラッチ８が開状態とされる。

【００４２】次いですぐにエアアクチュエータ１２２を
作動して、ツメ１２６をラッチプッシャー１２３に対し
て閉じるようにする。図９は、この状態を示している。
この図９に示されるように、エアアクチュエータ１２２
のツメ１２６が、開状態とされたラッチ８のラッチ開放
操作部８Ｄに係合させられる。したがって、ラッチ８の
開状態は、ラッチプッシャー１２３の押え込みによるだ
けでなく、ツメ１２６のラッチ開放操作部８Ｄに対する
係合によっても保持されることになる。

【００４３】それから、エアアクチュエータ１２２を作
動させたままで、ガイド付きシリンダ１２１を作動させ
てシリンダロッドを上昇させる。図１０は、このように
シリンダロッドを上昇させ始めた直後の状態を示してい
る。この図１０に示されるように、シリンダロッドの上
昇により、ラッチプッシャー１２３の下端がラッチ８の
一端８Ｂから離される状態となったとしても、エアアク
チュエータ１２２のツメ１２６がラッチ８のラッチ開放
操作部８Ｄに係合しているので、ラッチ８の開状態は確
実に保持されているので、蓋回動用ねじりコイルバネ５
の偏移力により、蓋部３がベース部２に対して開かれる
ことになる。

【００４４】図１１は、前述したようにシリンダロッド
が定常位置まで完全に上昇させられて、エアアクチュエ
ータ１２２を不作動とし、ソケット１０の蓋部３が完全
に開いた状態となったところを示している。図１０の蓋
部３の開き始め状態から図１１の蓋部の完全開状態まで
の間において、受け車１２４は、蓋部３の上面を受け止
めて蓋部３が急激に開かれてしまうようなことを防止す
るように作用する。これにより、蓋部３があまりにも勢
い良く開いてしまうことにより、ソケット等に過荷重が
加わりデバイスの着座位置からの飛び出し等の事故の生
ずるようなことを未然に防ぐことができる。

【００４５】次に、抜取ヘッド１００のデバイス吸着機
構１４０および挿入ヘッド２００のデバイス吸着機構２
４０の構造および動作について説明する。抜取ヘッド１
００のデバイス吸着機構１４０は、後述するような着座
センサを備えていない以外は、挿入ヘッド２００のデバ
イス吸着機構２４０と同様であるので、以下、挿入ヘッ
ド２００のデバイス吸着機構２４０についてのみ詳述す
る。

【００４６】図１２は、デバイス吸着機構２４０のみを
示す側面図である。この実施例のデバイス吸着機構２４
０は、並置された２つのクラムシェルタイプソケットに
対して同時に半導体デバイスを挿着できるような２チャ
ンネル式のものとして構成されている。各チャンネルの
デバイス吸着機構は、同一であるので、以下、１つのチ
ャンネルについての吸着機構の構造および動作について
説明する。各チャンネルの吸着機構は、図１２によく示
されているように、主として、単軸ロボット２０１に取
り付けられるガイド付きシリンダ２４１と、このガイド
付きシリンダ２４１のロッドの下端に取り付けられる吸
着パッド２４２と、着座センサ２４３とを備えている。
吸着パッド２４２は、バッファ２４８を介してシリンダ
ロッドの下端に取り付けられている。吸着パッド２４２
の構造および動作自体は、従来のものと同様であるの
で、これ以上詳述しない。

【００４７】着座センサ２４３は、デバイスがソケット
内に正しく挿着されているか否かを確認できるようにす
るもので、この実施例では、反射型の光電センサとして
いる。

【００４８】各チャンネルのガイド付きシリンダ２４１
は、スライドガイド２４４にそって上下に移動しうるよ
うになったスライダ２４７に連結されている。スライダ
２４７は、パルスモータ２４５によって駆動させられる
ボールネジ２４６にネジ係合する部分を有しており、し
たがって、パルスモータ２４５によりボールネジ２４５
が駆動されることに応答して、スライドガイド２４４に
そって上下動させられ、そこに連結されたシリンダ２４
１を上下動させるように構成されている。

【００４９】吸着パッド２４２および着座センサ２４３
からなるユニットは、バーンインボード６０上のソケッ
トピッチが変わったような場合に対応できるように位置
決めジグ２５０を介して、ガイド付きシリンダ２４１の
ロッドの下端に取り外し自在に取り付けられるようにな
っている。この位置決めジグ２５０の構造および使用方
法について、図１２および図１３を特に参照して説明す
る。

【００５０】図１３は、図１２に示したデバイス吸着機
構２４０の１チャンネル分と位置決めジグ２５０との関
係を示す縦断面である。この図１３によく示されるよう
に、ガイド付きシリンダ２４１のロッドの下端には、キ
ー溝２６１を有したユニット取付け部材２６０が設けら
れており、このユニット取付け部材２６０の下面には、
２つの位置決め穴２６３が形成されている。また、この
ユニット取付け部材２６０の側面には、位置決めジグ２
５０を着脱自在に固定保持するためのラッチ１６２が設
けられている。位置決めジグ２５０の一端側には、２本
の位置決めピン２５１が取り付けられており、位置決め
ジグ２５０の他端側には、１つの位置決め穴１５２が形
成されている。

【００５１】このような位置決めジグ２５０を用いて、
吸着パッド２４２および着座センサ２４３からなるユニ
ットの位置決めを行うには、ユニット取付け部材２６０
のキー溝２６１を介してそこに取り付けられたユニット
を、そのキー溝２６１にそって、位置決めジグ２５０の
位置決め穴２５２に対して適当な位置へとスライドさせ
る。次いで、位置決めジグ２５０を、その２本の位置決
めピン２５１がユニット取付け部材２６０に形成された
２つの位置決め穴２６３にそれぞれ挿着されるようにし
て、ユニット取付け部材２６０に取り付ける。このと
き、ユニットの吸着パッド２４２が位置決めジグ２５０
の位置決め穴２５２にはまり込む。これによりユニット
の位置決めがなされ、この状態は、ラッチ２６２を位置
決めジグ２５０に対して掛けることにより、固定保持さ
れる。この位置決めジグ２５０は、ラッチ２６２を操作
し、位置決めピン２５１を位置決め穴２６３に対して挿
抜するだけで、ユニット取付け部材２６０に対して着脱
自在なものとされている。

【００５２】前述したような位置決めジグ２５０とし
て、位置決めピン２５１と位置決め穴２５２との相対的
な位置関係を異ならせたものを必要数だけ用意しておく
ことにより、各チャンネル毎に適当な位置決めジグを用
いてユニットを取り付け固定することにより、チャンネ
ル間のユニット配列ピッチを容易に変換することができ
る。

【００５３】また、前述の実施例は、ユニットの配列ピ
ッチの変換を位置決めジグ２５０の交換によって行うも
のであるが、本発明は、これに限らず、各チャンネルの
ユニットの部品自体を交換することによってもピッチ変
換を容易に行える。

【００５４】次に、図１４から図１９を参照して、前述
したような挿入ヘッド２００のデバイス吸着機構２４０
によるソケット１０へのデバイスの挿入およびデバイス
着座確認における動作について説明する。図１４は、バ
ーンインボード６０上に装着され蓋部３が開かれた状態
の２チャンネル分のソケット１０に対して単軸ロボット
２０１によるトランスファにより挿入位置に移動された
デバイス吸着機構２４０の状態を示している。この図１
４の状態において、各チャンネルのデバイス吸着機構２
４０の吸着パッド２４２には、各ソケット１０へ挿入す
べき半導体デバイスＩＣが通常の仕方により吸着保持さ
れている。この状態から、パルスモータ２４５およびシ
リンダ２４１により吸着パッド２４２を下降させて、デ
バイスＩＣを各チャンネルのソケット１０内へと挿入す
る。この状態を図１５に示している。次に、各吸着パッ
ド２４２による各デバイスＩＣの吸着動作を停止して
後、ボールネジ２４６により、各吸着パッド２４２を、
例えば、２０ｍｍ上昇させる。この状態を、図１６に示
している。この図１６に示されるように、各デバイスＩ
Ｃは、各ソケット１０内に残されることになる。それか
ら、各ソケット１０内にデバイスＩＣが正しく挿入され
たか否かを確認するため、単軸ロボット２０１によるト
ランスファにより、挿入ヘッド２４０を、例えば、１４
ｍｍ移動させる。図１７は、この状態を示している。図
１７に示すように、このデバイス着座確認状態において
は、各チャンネルの着座センサ２４３が各ソケット１０
のデバイスを受け入れる凹部１の真上に位置させられて
いる。

【００５５】ここで、着座センサ２４３によるデバイス
着座確認動作について説明しておく。クラムシェルタイ
プソケットだけに限らず、オープントップタイプソケッ
ト等他のタイプのソケットも同じであるが、吸着パッド
等を含むデバイス搬送装置でＩＣ等の半導体デバイスを
挿入しても確実に挿入できない可能性があるものであ
る。半導体デバイスのソケットへの挿入が正しく行われ
ていない場合には、デバイスのコンタクトができない状
況が生じてしまう。クラムシェルタイプソケットの場合
特に、蓋を閉じたときにＩＣが破損してしまうことがあ
る。デバイスの生産性を上げるために、デバイスを破損
させてしまわないようにすることは重要である。着座セ
ンサ２４３は、このようにデバイスが確実に挿入できて
いない場合（以下、着座ミスという）、それを検出する
ためのものである。この実施例では、着座センサ２４３
として反射型の光電センサを使用し、ソケット内に挿入
されたデバイスに対して投光し、反射され帰ってきた光
量の大きさで、着座ミスしているか否かを判定するよう
にしている。着座ミスがあった時、ほとんどの場合はデ
バイスが傾いた状態になるため、帰ってくる光量は小さ
くなるので、それにより着座ミスを検出することができ
る。図１９は、このような反射型光電センサを着座セン
サ２４３として使用した場合の着座ミス検出原理を説明
するための概略図である。

【００５６】図１９の（Ａ）は、デバイスＩＣがソケッ
ト内に正しく挿着されて傾いていない場合の着座センサ
２４３の受光状態を示しており、図１９の（Ｂ）は、デ
バイスＩＣがソケット内に正しく挿着されずに傾いてい
る場合の着座センサ２４３の受光状態を示している。こ
の図１９の（Ａ）と図１９の（Ｂ）とを比較すると分か
るように、着座ミスがあってデバイスＩＣが傾いている
場合には、着座センサ２４３の受光量が少なくなる。

【００５７】着座ミスがあってもデバイスがそれほど傾
かない場合もあり、その場合には、このような着座ミス
検出方法ではその着座ミスを検出できないことになる
が、このような着座ミスが生ずる頻度は非常に少ないの
で、その着座ミスを見逃しても、ＩＣの生産に響くよう
なことはない。また、着座センサとして変位センサ等精
度のより高いものを使用することも考えられるが、反射
型の光電センサは、非常に安価に装置を構成することが
できる点でより好ましいものである。

【００５８】デバイスＩＣの種類によって、表面の状態
が樹脂モールドされていたり、コーティングされていた
りするため、その度に光電センサの検出距離を変える必
要がある。この実施例では、ボールネジ２４６やシリン
ダ２４１による挿入ヘッド２４０の上下動を利用するこ
とで、このような検出距離の変更を行えるようにしてい
る。

【００５９】デバイス着座確認動作の完了後、シリンダ
２４１を上昇させて、挿入ヘッド２００のソケット蓋閉
機構２２０によって各ソケット１０の蓋部３を閉じる。
図１８は、このような状態を示している。

【００６０】次に、挿入ヘッド２００のソケット蓋閉機
構２２０の構造および動作について説明する。挿入ヘッ
ド２００は、図２に関して前述したように、単軸ロボッ
ト２０１上にソケット蓋閉機構２２０とデバイス吸着機
構２４０とを並設してなるものであるが、図示および説
明を簡単化するために、ソケット蓋閉機構２２０とデバ
イス吸着機構２４０とを別々にしたものとして以下説明
する。デバイス吸着機構２４０については前述したとお
りである。

【００６１】図２０は、ソケット蓋閉機構２２０のみを
示す正面図である。この図２０に示されるように、ソケ
ット蓋閉機構２２０は、ソケット蓋支え機構２７０と、
ソケット蓋押え機構２８０とからなっている。ソケット
蓋閉機構２２０は、２チャンネルであるため、ソケット
蓋支え機構２７０、ソケット蓋押え機構２８０共に２つ
ずつあるのが好ましいが、この実施例では、省スペース
化を計るために、１つのソケット蓋支え機構およびソケ
ット蓋押え機構で２つのソケットの閉処理を行うように
している。

【００６２】先ず、ソケット蓋支え機構２７０について
説明するに、図２０によく示されるように、ソケット蓋
支え機構２７０は、単軸ロボット２０１に取り付けられ
る第１のガイド付きシリンダ２７１と、この第１のガイ
ド付きシリンダ２７１のロッドの下端に水平に取り付け
られる第２のガイド付きシリンダ２７２と、この第２の
ガイド付きシリンダ２７２のロッドの端部に取り付けら
れる２つのソケット押し車２７３とを備えている。各ソ
ケット押し車２７３は、蓋閉め確認センサ２７４と一体
とされてソケット押し車ユニットを構成している。

【００６３】この実施例では、ソケット押し車２７３と
蓋閉め確認センサ２７４とからなるユニットは、バーン
インボード６０上のソケットピッチが変わったような場
合に対応できるように位置決めジグ２７５を介して、ガ
イド付きシリンダ２７２のロッドの端部に取り外し自在
に取り付けられるようになっている。この位置決めジグ
２７５の構造および使用方法について、図２１および図
２２を特に参照して説明する。

【００６４】図２１は、図２０に示したソケット蓋支え
機構２７０のソケット押し車ユニットと位置決めジグ２
７５との関係を示す側面図であり、図２２は、図２０に
示したソケット蓋支え機構２７０のソケット押し車ユニ
ットと位置決めジグ２７５との関係を示す上面図であ
る。これら図２１および図２２によく示されるように、
ガイド付きシリンダ２７２のロッドの端部には、キー溝
（図示していない）を有したユニット取付け部材２７２
Ａが設けられており、このユニット取付け部材２７２Ａ
の上面には、２つの位置決め穴２７６が形成されてい
る。位置決めジグ２７５の一端側には、２本の位置決め
ピン２７７が取り付けられており、位置決めジグ２７５
の他端側には、２つの位置決め穴対２７８が形成されて
いる。一方、各ソケット押し車ユニットの上面には、位
置決めピン対２７９が設けられている。

【００６５】このような位置決めジグ２７５を用いて、
ソケット押し車ユニットの位置決めを行うには、ユニッ
ト取付け部材２７２Ａのキー溝を介してそこに取り付け
られた各ソケット押し車ユニットを、そのキー溝にそっ
て、位置決めジグ２７５の位置決め穴対２７８に対して
適当な位置へとスライドさせる。次いで、位置決めジグ
２７５を、その２本の位置決めピン２７７がユニット取
付け部材２７２Ａに形成された２つの位置決め穴２７６
にそれぞれ挿着されるようにして、ユニット取付け部材
２７２Ａに取り付ける。このとき、ソケット押し車ユニ
ットに設けられた位置決め位置決めピン２７９に位置決
めジグ２７５の位置決め穴対２７８にはまり込む。これ
により、各ソケット押し車ユニットの位置決めがなされ
る。この位置決めジグ２７５は、位置決めピン２７７に
対して挿抜するだけで、ユニット取付け部材２７２Ａに
対して着脱自在なものとされている。

【００６６】前述したような位置決めジグ２７５とし
て、位置決めピン２７７と位置決め穴対２７８との相対
的な位置関係を異ならせたものを必要数だけ用意してお
くことにより、適当な位置決めジグを用いて各ユニット
を取り付け固定することにより、チャンネル間のユニッ
トの配列ピッチを容易に変換することができる。

【００６７】また、前述の実施例は、ユニットの配列ピ
ッチの変換を位置決めジグ２７５の交換によって行うも
のであるが、本発明は、これに限らず、各チャンネルの
ユニットの部品自体を交換することによってもピッチ変
換を容易に行える。

【００６８】次に、ソケット蓋押え機構２８０について
説明するに、図２０によく示されるように、ソケット蓋
押え機構２８０は、単軸ロボット２０１に取り付けられ
るデュアルロッドシリンダ２８１と、このデュアルロッ
ドシリンダ２８１の２本のロッドの下端に取り付けられ
る２つのプッシャー２８２とを備えている。

【００６９】この実施例では、プッシャー２８２は、バ
ーンインボード６０上のソケットピッチが変わったよう
な場合に対応できるように、デュアルロッドシリンダ２
８１のロッドの下端に取り付けられる取付け部２８３に
取り外し自在に取り付けられるようになっている。この
取付け構造および使用方法について、図２３および図２
４を特に参照して説明する。

【００７０】図２３は、２つのプッシャー２８２を取付
け部２８３に取り付けた状態のソケット蓋押え機構２８
０の部分の側面図であり、図２４は、取付け部２８３と
２つのプッシャー２８２のキットとの構造を詳細に示す
ための分解部品配列部分断面図である。図２４の断面図
によく示されるように、取付け部２８３は、デュアルロ
ッドシリンダ２８１の一方のロッドの下端に取り付けら
れた第１部分２８４と、他方のロッドの下端に取り付け
られた第２の部分２８５とからなっている。第１部分２
８４には、ガイドピン２８６が取り付けられており、第
２部分２８５には、第１部分２８４に取り付けられたガ
イドピン２８６を受け入れるすべり軸受け２８７が設け
られている。したがって、これら第１部分２８４と第２
部分２８５とは、互いにロッドの軸線の周りに回転する
ことはないが、ロッドの軸線の方向には互いに若干の相
対的移動が許されるものとされている。すなわち、２本
のロッドが互いに半独立なものとされている。

【００７１】また、第１部分２８４および第２部分２８
５には、プッシャー２８２のチェンジキットを止めるた
めのストッパ２８８が設けられており、また、それぞれ
２つの位置決め穴２８９が設けられている（２つの位置
決め穴２８９は、図２４においては紙面に垂直な方向に
並設されているので、図２４では１つしか現れていな
い）。一方、プッシャー２８２のチェンジキットには、
それぞれ２本の位置決めピン２９０が設けられている
（２本の位置決めピン２９０は、図２４においては紙面
に垂直な方向に並設されているので、図２４では１つし
か現れていない）。

【００７２】各プッシャー２８２を取付け部２８３に取
り付け固定するには、一方のプッシャー２８２の２本の
位置決めピン２９０を第１部分２８４の２つの位置決め
穴２８９のそれぞれに挿着してストッパ２８８でこれを
固定し、他方のプッシャー２８２の２本の位置決めピン
２９０を第２部分２８５の２つの位置決め穴２８９のそ
れぞれに挿着してストッパ２８８でこれを固定すればよ
い。各プッシャー２８２は、位置決めピン２９０を位置
決め穴２８９に対して挿抜するだけで、取付け部２８３
に対して着脱自在なものとされている。

【００７３】前述したようなプッシャー２８２のチェン
ジキットとして、位置決めピン２９０とプッシャー２８
２の中心との相対的な位置関係を異ならせたものを必要
数だけ用意しておくことにより、適当なチェンジキット
を取付け部２８３に取り付け固定することにより、チャ
ンネル間のユニットの配列ピッチを容易に変換すること
ができる。

【００７４】次に、図２５から図３１を参照して、前述
したようなソケット蓋閉機構２２０の動作について説明
する。図２５は、ソケット蓋閉機構２２０が定常位置に
ある状態を示している。この図２５に示すように、この
定常位置においては、ソケット蓋支え機構２７０の各チ
ャンネルのソケット押し車２７３およびソケット蓋押え
機構２８０の各チャンネルのプッシャー２８２は、バー
ンインボード６０上に装着された各対応するクラムシェ
ルタイプソケット１０の上方離れた位置にある。このク
ラムシェルタイプソケット１０自体は、図３２から図３
６に関して前述した従来構造と同じ構造を有するもので
あり、図２５の定常位置の状態では、ソケット１０の蓋
部３は開いた状態にある。すなわち、ソケット１０のラ
ッチ８の爪８Ｃがベース部２の引掛け部２Ａから離脱し
ていて、ラッチ８が閉状態にある。また、図２５の定常
位置においては、ソケット蓋支え機構２７０の第１のガ
イド付きシリンダ（Ｚ軸シリンダ）２７１は、上昇位置
にあり、且つ第２のガイド付きシリンダ（Ｘ軸シリン
ダ）２７２は、前進位置にあり、また、ソケット蓋押え
機構２８０のデュアルロッドシリンダ２８１は上昇位置
にある。

【００７５】この定常位置の状態からソケット１０の蓋
部３を閉じるため、ソケット蓋支え機構２７０の第１の
ガイド付きシリンダ２７１を下降させて、ソケット押し
車２７３がソケット１０の開いた蓋部３と対峙するよう
にする。この状態を図２６に示している。次いで、ソケ
ット蓋支え機構２７０の第２のガイド付きシリンダ２７
２を後退させて、ソケット押し車２７３が各対応するソ
ケット１０の開いた蓋部３を閉じる方向に押すようにす
る。これにより、各ソケット１０の蓋部３は、ベース部
２に対してほとんど閉じた状態となり、ラッチ８の爪８
Ｃがベース部２の引掛け部２Ａに係合する寸前の状態と
させられる。図２７は、この状態を示している。

【００７６】図２７の状態のまま、ソケット蓋押え機構
２８０のデュアルロッドシリンダ２８１を下降させて、
各プッシャー２８２が対応する各ソケット１０の蓋部３
の上面を押さえ込むようにする。これにより、各ソケッ
ト１０の蓋部３は、蓋回動用ねじりコイルバネ５の偏移
力（並びに押え用圧縮バネ６およびこの押え用圧縮バネ
６の作用を受ける押え板による偏移力）に抗してベース
部２に対して完全に閉じた位置へと回動させられると同
時に、ラッチ８は、ラッチ回転用圧縮バネ９の偏移力に
抗して回動させられてその爪８Ｃがベース部２の引掛け
部２Ａに係合させられるようになる。これにより、各ソ
ケット１０の蓋部３は、ベース部２に対して完全に閉じ
られた状態にてラッチされることになる。図２８は、こ
の状態を示している。

【００７７】その後、ソケット蓋押え機構２８０のデュ
アルロッドシリンダ２８１を上昇させる。図２９は、こ
の状態を示している。次いで、ソケット蓋支え機構２７
０の第２のガイド付きシリンダ２７２を前進させて、こ
のとき、蓋閉め確認センサ２７４により各ソケット１０
の蓋部３が確実に閉じられているか否かの確認をする。
図３０は、この状態を示している。最後に、ソケット蓋
支え機構２７０の第１のガイド付きシリンダ２７１を上
昇させて、このソケット蓋閉め動作の１サイクルを完了
する。図３１は、この状態を示している。

【００７８】

【発明の効果】本発明によるソケット蓋開機構によれ
ば、ソケットの損傷のおそれなしにソケットの蓋を確実
に開くことができる。

【００７９】本発明によるソケット蓋閉機構によれば、
ソケットに対する位置関係をそれほど厳密に設定しなく
とも確実にソケットの蓋を閉じることができる。

【００８０】本発明によるデバイス吸着機構によれば、
非常に安価な仕方でソケット内にデバイスが正しく挿着
されたか否かを検出することができる。

【００８１】本発明のソケット蓋開閉装置によれば、複
数のソケットの蓋を同時に開閉するような、いわゆる複
数のチャンネルの装置とすることが容易である。

【００８２】また、ソケットの配列ピッチの変更等に対
しても容易に対応することができる。

【００８３】さらにまた、多チャンネル化が容易にで
き、省スペース、低コスト化に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としての半導体デバイス用ク
ラムシェルタイプソケットの蓋開機構および蓋閉機構並
びに半導体デバイスの吸着機構を組み込んだ半導体デバ
イス挿入抜取システムの全体を概略的に示す正面図であ
る。

【図２】図１の矢印Ａ−Ａ方向から見た概略図である。

【図３】図１の矢印Ｂ−Ｂ方向から見た概略図である。

【図４】図１のシステムにおけるソケット蓋開機構を示
す図である。

【図５】図４に示したソケット蓋開機構の１チャンネル
分と位置決めジグとの関係を示す平面図である。

【図６】図４に示したソケット蓋開機構の１チャンネル
分と位置決めジグとの関係を示す側面図である。

【図７】ソケット蓋開機構が定常位置にある状態を示す
図である。

【図８】ソケット蓋開機構のラッチプッシャーがソケッ
トのラッチの一端を押している状態を示す図である。

【図９】ソケット蓋開機構のエアアクチュエータのツメ
がソケットのラッチのラッチ開放操作部に係合している
状態を示す図である。

【図１０】ソケット蓋開機構によりソケットの蓋部がベ
ース部に対して開かれ始めた状態を示している。

【図１１】ソケット蓋開機構によりソケットの蓋部が完
全に開かれた状態を示す図である。

【図１２】図１のシステムのデバイス吸着機構を示す図
である。

【図１３】図１２のデバイス吸着機構の１チャンネル分
と位置決めジグとの関係を示す縦断面図である。

【図１４】デバイス吸着機構がバーンインボード上のソ
ケットに対するデバイス挿入位置にある状態を示す図で
ある。

【図１５】デバイス吸着機構がソケットへデバイスを挿
入した状態を示す図である。

【図１６】デバイス吸着機構がソケット内へデバイスを
残して吸着パッドを上昇させた状態を示す図である。

【図１７】デバイス吸着機構がデバイス着座確認を行っ
ている状態を示す図である。

【図１８】デバイス吸着機構によるデバイスの挿入完了
後、ソケット蓋閉機構によってソケットの蓋が閉じられ
た状態を示す図である。

【図１９】デバイス吸着機構における着座センサによる
着座ミス検出原理を説明するための図である。

【図２０】図１のシステムのソケット蓋閉機構を示す図
である。

【図２１】図２０のソケット蓋閉機構のソケット蓋支え
機構のソケット押し車ユニットと位置決めジグとの関係
を示す側面図である。

【図２２】図２０のソケット蓋閉機構のソケット蓋支え
機構のソケット押し車ユニットと位置決めジグとの関係
を示す上面図である。

【図２３】図２０のソケット蓋閉機構のソケット蓋押え
機構の側面図である。

【図２４】ソケット蓋押え機構の取付け部とプッシャー
のキットとの構造を詳細に示す分解部品配列部分断面図
である。

【図２５】ソケット蓋閉機構が定常位置にある状態を示
す図である。

【図２６】ソケット蓋閉機構のソケット蓋支え機構のソ
ケット押し車がバーンインボード上のソケットの開いた
蓋部に対峙させられた状態を示す図である。

【図２７】ソケット蓋閉機構のソケット蓋支え機構のソ
ケット押し車がソケットの蓋部をほとんど閉じた状態と
しているところを示す図である。

【図２８】ソケット蓋閉機構のソケット蓋押え機構のプ
ッシャーによりソケットの蓋部が完全に閉じた状態とさ
れたところを示す図である。

【図２９】ソケットの蓋部が閉じられた後、ソケット蓋
閉機構のソケット蓋押え機構のプッシャーを上昇させた
状態を示す図である。

【図３０】ソケットの蓋部が閉じられた後、ソケット蓋
閉機構のソケット蓋支え機構のソケット押し車をソケッ
トの蓋部から後退させた状態を示す図である。

【図３１】ソケット蓋閉機構のソケット蓋閉め動作の完
了後の状態を示す図である。

【図３２】従来の半導体デバイス用クラムシェルタイプ
ソケットの開閉装置の一例を、この開閉装置がクラムシ
ェルタイプソケットの上方に離れた位置にある定常位置
状態を示す概略図である。

【図３３】図３２の開閉装置の押え棒がソケットのラッ
チの一端の上面を押さえるようにし始めた状態を示す概
略図である。

【図３４】図３２の開閉装置の操作アームのツメがソケ
ットのラッチのラッチ開放操作部に係合した状態を示す
概略図である。

【図３５】図３２の開閉装置によりソケットの蓋部が開
かれ始めた状態を示す概略図である。

【図３６】ソケットの蓋部が図３５に示す状態よりさら
に開かれたところを示す概略図である。

【符号の説明】

１半導体デバイス２ベース部３蓋部８ラッチ１０クラムシェルタイプソケット３０ベース４０支持フレーム４１ガイドビーム４２ガイドビーム５０支持フレーム５１ガイドビーム６０バーンインボード７０位置決めシャトル１００抜取ヘッド１２０ソケット蓋開機構１２２エアアクチュエータ１２３ラッチプッシャー１２４受け車１２６ツメ１２７位置決めジグ１４０デバイス吸着機構２００挿入ヘッド２２０ソケット蓋閉機構２４０デバイス吸着機構２４２吸着パッド２４３着座センサ２５０位置決めジグ２７０ソケット蓋支え機構２７３ソケット押し車２７５位置決めジグ２８０ソケット蓋押え機構２８１デュアルロッドシリンダ２８２プッシャー３００画像処理システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者東山健二長野県埴科郡坂城町大字坂城6358 日本エンジニアリング株式会社あさまリサーチセンター内 (72)発明者清水潔長野県埴科郡坂城町大字坂城6358 日本エンジニアリング株式会社あさまリサーチセンター内 (72)発明者片山広規長野県埴科郡坂城町大字坂城6358 日本エンジニアリング株式会社あさまリサーチセンター内Ｆターム(参考） 2G003 AG01 AH00 AH04 AH07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体デバイス用クラムシェルタイプソ
ケットのためのソケット蓋開機構において、ソケットの
ラッチの一端を押すためのラッチプッシャーと、該ラッ
チプッシャーに対して閉じる方向に作動されて前記ソケ
ットのラッチのラッチ開放操作部に係合しうるツメを有
したエアアクチュエータと、前記ラッチプッシャーおよ
びエアアクチュエータを前記ソケットに対して上下動さ
せるための移動手段とを備えたことを特徴とするソケッ
ト蓋開機構。
【請求項２】前記ラッチプッシャー、エアアクチュエ
ータおよび移動手段は、隣接配置された２つのソケット
の蓋部を同時に開けるように２チャンネル分が並置され
ており、各チャンネルのラッチプッシャーおよびエアア
クチュエータは、ユニット化されていて、各チャンネル
の移動手段のユニット取付け部に対して、位置決めジグ
を介して着脱自在なものとされている請求項１に記載の
ソケット蓋開機構。
【請求項３】半導体デバイス用クラムシェルタイプソ
ケットのためのソケット蓋閉機構において、ソケット蓋
支え機構と、ソケット蓋押え機構とを備えており、ソケ
ット蓋支え機構は、ソケットの開いた蓋部を閉じる方向
へと支えるようにするソケット押し車と、該ソケット押
し車を前記ソケットの開いた蓋部の外側面に対峙する位
置へと移動させるための第１の移動手段と、前記ソケッ
ト押し車を、前記ソケットの開いた蓋部の外側面に対峙
した位置から該蓋部を閉じる方向へと押すように移動さ
せるための第２の移動手段とを備えており、前記ソケッ
ト蓋押え機構は、前記ソケット蓋支え機構によって閉じ
る方向へと支えられた前記ソケットの蓋部を押さえ込み
該ソケットのラッチが掛けられるようにするプッシャー
と、該プッシャーを前記ソケットに対して上下動させる
ための移動手段とを備えることを特徴とするソケット蓋
閉機構。
【請求項４】前記ソケット蓋支え機構のソケット押し
車は、隣接配置された２つのソケットの蓋部を同時に閉
じるように２チャンネル分が並置されており、各チャン
ネルのソケット押し車は、前記第２の移動手段のユニッ
ト取付け部に対して、位置決めジグを介して着脱自在な
ものとされており、前記ソケット蓋押え機構のプッシャ
ーは、前記隣接配置された２つのソケットの蓋部を同時
に閉じるように２チャンネル分が並置されており、各チ
ャンネルのプッシャーは、前記ソケット蓋押え機構の前
記移動手段の取付け部に対して着脱自在なものとされて
いる請求項３に記載のソケット蓋閉機構。
【請求項５】前記ソケット蓋押え機構の前記移動手段
は、デュアルロッドシリンダにて構成され、該デュアル
ロッドシリンダの前記取付け部は、該デュアルロッドシ
リンダの２つのロッドが半独立となるような形式にて、
各ロッドに前記各チャンネルのプッシャーがそれぞれ着
脱自在に取り付けられるように構成されている請求項４
に記載のソケット蓋閉機構。
【請求項６】半導体デバイス用クラムシェルタイプソ
ケットに対する半導体デバイスの挿入を行うためのデバ
イス吸着機構において、ソケットへ挿入すべき半導体デ
バイスを吸着する吸着パッドと、前記半導体デバイスが
前記ソケット内に正しく挿入されたか否かを検出するた
めの反射型光電センサからなる着座センサと、前記吸着
パッドを前記ソケットに対して上下動させるための第１
の移動手段と、前記着座センサを前記検出の位置へと移
動させるための第２の移動手段とを備えることを特徴と
するデバイス吸着機構。
【請求項７】前記吸着パッド、着座センサおよび第１
の移動手段は、隣接配置された２つのソケットに対して
半導体デバイスを同時に挿入することができるように２
チャンネル分が並置されており、各チャンネルの吸着パ
ッドおよび着座センサは、ユニット化されていて、各チ
ャンネルの第１の移動手段のユニット取付け部に対し
て、位置決めジグを介して着脱自在なものとされている
請求項６に記載のデバイス吸着機構。
【請求項８】半導体デバイス用クラムシェルタイプソ
ケットのための半導体デバイス挿入抜取システムにおい
て、ソケットから半導体デバイスを抜き取るための抜取
ヘッドと、ソケットへ半導体デバイスを挿入するための
挿入ヘッドとを備えており、前記抜取ヘッドは、ソケッ
ト蓋開機構とデバイス吸着機構とを一体として備えてお
り、前記挿入ヘッドは、ソケット蓋閉機構とデバイス吸
着機構とを一体として備えており、前記ソケット蓋開機
構は、ソケットのラッチの一端を押すためのラッチプッ
シャーと、該ラッチプッシャーに対して閉じる方向に作
動されて前記ソケットのラッチのラッチ開放操作部に係
合しうるツメを有したエアアクチュエータと、前記ラッ
チプッシャーおよびエアアクチュエータを前記ソケット
に対して上下動させるための移動手段とを備えており、
前記抜取ヘッドの前記デバイス吸着機構は、前記ソケッ
ト内の半導体デバイスを吸着するための吸着パッドと、
該吸着パッドを前記ソケットに対して上下動させるため
の移動手段とを備えており、ソケット蓋閉機構は、ソケ
ット蓋支え機構と、ソケット蓋押え機構とを備えてお
り、前記ソケット蓋支え機構は、ソケットの開いた蓋部
を閉じる方向へと支えるようにするソケット押し車と、
該ソケット押し車を前記ソケットの開いた蓋部の外側面
に対峙する位置へと移動させるための第１の移動手段
と、前記ソケット押し車を、前記ソケットの開いた蓋部
の外側面に対峙した位置から該蓋部を閉じる方向へと押
すように移動させるための第２の移動手段とを備えてお
り、前記ソケット蓋押え機構は、前記ソケット蓋支え機
構によって閉じる方向へと支えられた前記ソケットの蓋
部を押さえ込み該ソケットのラッチが掛けられるように
するプッシャーと、該プッシャーを前記ソケットに対し
て上下動させるための移動手段とを備えており、前記挿
入ヘッドの前記デバイス吸着機構は、前記ソケットへ挿
入すべき半導体デバイスを吸着する吸着パッドと、前記
半導体デバイスが前記ソケット内に正しく挿入されたか
否かを検出するための着座センサと、前記吸着パッドを
前記ソケットに対して上下動させるための第１の移動手
段と、前記着座センサを前記検出の位置へと移動させる
ための第２の移動手段とを備えることを特徴とする半導
体デバイス挿入抜取システム。
【請求項９】前記着座センサは、反射型光電センサか
らなる請求項８に記載の半導体デバイス挿入抜取システ
ム。
【請求項１０】前記ソケット蓋開機構の前記ラッチプ
ッシャー、エアアクチュエータおよび移動手段は、隣接
配置された２つのソケットの蓋部を同時に開けるように
２チャンネル分が並置されており、各チャンネルのラッ
チプッシャーおよびエアアクチュエータは、ユニット化
されていて、各チャンネルの移動手段のユニット取付け
部に対して、位置決めジグを介して着脱自在なものとさ
れており、前記抜取ヘッドの前記デバイス吸着機構の前
記吸着パッドおよび移動手段は、隣接配置された２つの
ソケットに対して半導体デバイスを同時に挿入すること
ができるように２チャンネル分が並置されており、各チ
ャンネルの吸着パッドは、各チャンネルの移動手段のユ
ニット取付け部に対して、位置決めジグを介して着脱自
在なものとされており、前記ソケット蓋支え機構のソケ
ット押し車は、隣接配置された２つのソケットの蓋部を
同時に閉じるように２チャンネル分が並置されており、
各チャンネルのソケット押し車は、前記第２の移動手段
のユニット取付け部に対して、位置決めジグを介して着
脱自在なものとされており、前記ソケット蓋押え機構の
プッシャーは、前記隣接配置された２つのソケットの蓋
部を同時に閉じるように２チャンネル分が並置されてお
り、各チャンネルのプッシャーは、前記ソケット蓋押え
機構の前記移動手段の取付け部に対して着脱自在なもの
とされており、前記挿入ヘッドの前記デバイス吸着機構
の前記吸着パッド、着座センサおよび第１の移動手段
は、隣接配置された２つのソケットに対して半導体デバ
イスを同時に挿入することができるように２チャンネル
分が並置されており、各チャンネルの吸着パッドおよび
着座センサは、ユニット化されていて、各チャンネルの
第１の移動手段のユニット取付け部に対して、位置決め
ジグを介して着脱自在なものとされている請求項８また
は９に記載の半導体デバイス挿入抜取システム。
【請求項１１】前記ソケット蓋押え機構の前記移動手
段は、デュアルロッドシリンダにて構成され、該デュア
ルロッドシリンダの前記取付け部は、該デュアルロッド
シリンダの２つのロッドが半独立となるような形式に
て、各ロッドに前記各チャンネルのプッシャーがそれぞ
れ着脱自在に取り付けられるように構成されている請求
項１０に記載の半導体デバイス挿入抜取システム。