JP2003098103A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面欠陥の位置や発生時刻を処理するための
処理手段をそれぞれ独立したモジュールで形成すること
により、一部の処理手段に故障が生じても表面欠陥の生
じた位置を部分的に特定することが可能となる表面欠陥
検査装置を提供すること。 【解決手段】 ウェブａに光を投光し、この透過光や反
射光を受光するとともに、この受光部からの出力信号に
よって、ウェブａの表面の検査を行う表面欠陥検査装置
１において、ウェブａに生じた表面欠陥の位置や発生時
刻を検知して処理するための処理手段をそれぞれ独立し
たモジュールで形成しておく。これにより、一部の処理
手段に故障が生じても、故障が生じていない処理手段か
ら得られる情報から、表面欠陥の生じた位置を部分的に
特定することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば写真用フィ
ルム等のウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラ
インに設置される表面欠陥検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】写真用フィルム等のウェブを連続して搬
送しながら加工する工程においては、ウェブの表面を検
査して、傷や異物付着等の表面欠陥が検知された場合に
は、この表面欠陥の箇所を後の断裁・包装工程において
除去する必要がある。したがって、ウェブの表面欠陥の
大きさ・種類等の情報とともに、表面欠陥の生じた位置
の情報を正確に検知、記録する必要がある。

【０００３】この表面欠陥の検査を行う装置としては、
一般に、光学的にウェブの表面欠陥を検知する装置が知
られている。この装置は、ウェブに白色光やレーザー光
を照射し、その透過光や反射光を受光し、ウェブの正常
部位と欠陥部の相違を出力信号から検出することによ
り、ウェブの表面欠陥を検査する装置である。そして一
般に、ウェブの表面欠陥を検知して表面欠陥の大きさや
種類の情報を抽出する処理を行うとともに、その表面欠
陥の位置の情報を記録して、表面欠陥の発生箇所を除去
したり目印を付けて分別する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来一般の
検査装置においては、巾手や長手といった表面欠陥が発
生した位置の情報を処理する手段、発生した時刻を処理
する手段等は、前記表面欠陥処理手段と同一の処理モジ
ュールで形成されていたり、処理の一部の機能が相互に
密接に連結された電気回路で形成されていた。

【０００５】このため、例えば、欠陥発生の巾手位置の
情報を処理する手段を形成する電気回路に故障が生じる
と、その影響が前記長手位置処理手段や時刻処理手段に
も及び、したがって、表面欠陥の生じた位置を部分的に
も特定できないケースが多々生じていた。この場合、表
面欠陥が生じた部分は一部でも、その位置を部分的にも
特定できないことにより、連続搬送されて製造されるウ
ェブを全体にわたって再度検査したり、廃棄処分とした
りする等の処置を余儀なくされていた。

【０００６】本発明は、前記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、表面欠陥の位置や発生時刻を検知して
処理するための処理手段をそれぞれ独立した電気回路等
のモジュールで形成することにより、前記処理手段の一
部に故障が生じた場合においても、この故障が他の処理
手段に影響を及ぼさず、したがって他の処理手段からの
情報が得られることにより、表面欠陥の位置を部分的に
特定することが可能となる表面欠陥検査装置を提供しよ
うとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項１記載の表面欠陥検査装置は、例えば図１
に示すように、

【０００８】ウェブを連続して搬送しながら、このウェ
ブの表面欠陥を検査するために、投光部からウェブに向
けて投光される光の透過光もしくは反射光を受光部にお
いて受光するとともに、この受光部から出力される検出
信号を処理することでウェブの表面欠陥情報を得る表面
欠陥処理手段を備えた表面欠陥検査装置において、

【０００９】ウェブの巾手方向の位置を検知した検知信
号を処理することで、ウェブの巾手方向の位置情報を得
る巾手位置処理手段と、

【００１０】ウェブの搬送装置の搬送量よりウェブの長
手方向の搬送量に換算することで、ウェブの相対的な長
手方向の位置を検知した検知信号を処理することで、ウ
ェブの相対的な長手方向の位置情報を得る相対長手位置
処理手段と、

【００１１】ウェブの側縁部にウェブの長さ方向に一定
の長さ間隔をもって記録された位置情報を読み取り処理
することで、ウェブの絶対的な長手方向の位置情報を得
る絶対長手位置処理手段と、

【００１２】時刻情報を得る時刻処理手段と、を備える
とともに、少なくとも前記巾手位置処理手段、前記相対
長手位置処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時
刻処理手段はそれぞれ独立したモジュールで構成されて
おり、

【００１３】前記表面欠陥処理手段によって、ウェブの
表面欠陥情報が得られた場合に、この表面欠陥情報に、
前記ウェブの巾手方向の位置情報と、前記ウェブの相対
的な長手方向の位置情報と、前記ウェブの絶対的な長手
方向の位置情報と、前記時刻情報と、のうち得られた情
報を相互に関連付けて結合する欠陥情報結合手段と、

【００１４】これら結合された情報を一括して記録・表
示する情報記録・表示手段と、を備えていることを特徴
としている。

【００１５】請求項１記載の発明によれば、前記表面欠
陥処理手段を備えた前記表面欠陥検査装置は、前記巾手
位置処理手段、前記相対長手位置処理手段、前記絶対長
手位置処理手段、前記時刻処理手段を備えるとともに、
これら処理手段はそれぞれ独立したモジュールで構成し
ている。

【００１６】そして、前記表面欠陥処理手段によって、
ウェブの表面欠陥情報が得られた場合には、この表面欠
陥情報に、前記ウェブの巾手方向の位置情報と、前記ウ
ェブの相対的な長手方向の位置情報と、前記ウェブの絶
対的な長手方向の位置情報と、前記時刻情報と、のうち
得られた情報が、前記欠陥情報結合手段によって相互に
関連付けて結合されるとともに、これら結合された情報
が、前記情報記録・表示手段によって一括して記録・表
示される。

【００１７】この際、少なくとも前記巾手位置処理手
段、前記相対長手位置処理手段、前記絶対長手位置処理
手段、前記時刻処理手段はそれぞれ独立しているため、
これらの処理手段のいずれかに故障が生じた場合におい
ても、この故障が故障が生じていない他の処理手段に影
響しない。これにより、他の故障が生じていない処理手
段によって得られる、ウェブの表面欠陥の位置情報や時
刻情報から、ウェブの表面欠陥の位置が部分的に特定さ
れる。

【００１８】すなわち、例えば、前記巾手位置処理手段
の一部に故障が生じた場合においても、この故障の影響
が及ばない他の処理手段、すなわち、前記相対長手位置
処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻処理手
段等から得られる情報によって、表面欠陥の位置が、ウ
ェブの長手方向において特定される。

【００１９】したがって、ウェブ中の、表面欠陥の位置
として特定された部分のみを後の断裁工程において除去
すればよいため、生産コストを低減させることが可能と
なる。

【００２０】前記ウェブには、例えば、写真用フィルム
等の感光材料の生産工程において形成されるウェブがあ
る。

【００２１】前記表面欠陥検査装置とは、光学的にウェ
ブの表面欠陥を検査する装置である。すなわち、投光部
からウェブに光を投光するとともに、この光の透過光や
反射光を受光部において受光し、ウェブの正常部位と欠
陥部との相違を出力信号から検出することにより、ウェ
ブの表面欠陥を検査する装置である。

【００２２】投光部からウェブに向けて投光される光に
は、例えば、レーザー光、あるいはハロゲンランプによ
る白色光源を使用する。

【００２３】前記受光部としては、例えば、ＣＣＤ（Ｃ
ｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセ
ンサがある。このＣＣＤラインセンサの画素の並びとウ
ェブの巾手方向を略一致させて配置することにより、ウ
ェブの表面状態を映像信号として、巾手方向に１ライン
スキャン毎に取り込むことができる。

【００２４】前記ウェブの絶対的な長手方向の位置、と
は、例えば、ウェブの長手方向に、所定間隔で刻印され
た位置コードや所定間隔で形成された穿孔コード、等に
よって表される。

【００２５】前記ウェブの相対的な長手方向の位置、と
は、連続して搬送されるウェブの位置を、例えば、搬送
ロール等で構成した搬送装置に組み込んだロータリーエ
ンコーダ等から算出された搬送距離によって表される。

【００２６】前記欠陥情報結合手段としては、例えば、
ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎ
ｉｔ）を利用したハードウェア、ソフトウェア処理で実
現できる。

【００２７】また、前期情報記録・表示手段としては、
例えば、ディスク記録媒体、モニタ、プリンタ等があ
る。

【００２８】請求項２記載の発明は、例えば図１に示す
ように、請求項１記載の表面欠陥検査装置において、

【００２９】前記欠陥情報結合手段は、前記表面欠陥処
理手段、前記巾手位置処理手段、前記相対長手位置処理
手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻処理手段に
よって各々の所定の情報が得られない場合には、該各々
の処理手段のエラー情報を付加することを特徴としてい
る。

【００３０】請求項２記載の発明によれば、前記表面欠
陥処理手段、前記巾手位置処理手段、前記相対長手位置
処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻処理手
段によって各々の所定の情報が得られない場合には、該
各々の処理手段のエラー情報が前記欠陥情報結合手段に
よって付加される。

【００３１】すなわち、故障等が生じた処理手段がある
場合には、故障が生じた処理手段とその情報が明確とな
り、欠陥を排除する工程での対応方法を的確に判断する
ことができるため、製品の品質管理を迅速かつ確実に行
うことが可能となる。

【００３２】請求項３記載の発明は、例えば図１、図
３、図４に示すように、請求項１または２記載の表面欠
陥検査装置において、

【００３３】ウェブの表面欠陥の検出信号と、ウェブの
巾手方向の位置の検出信号とを、前記表面欠陥処理手段
と前記巾手位置処理手段とを統合してなる処理手段で処
理することでウェブの表面欠陥情報とウェブの巾手方向
の位置情報とを得ることを特徴としている。

【００３４】請求項３記載の発明によれば、ウェブの表
面欠陥の検出信号とウェブの巾手方向の位置の検出信号
とを、前記表面欠陥処理手段と前記巾手位置処理手段と
を統合してなる処理手段で処理することで、ウェブの表
面欠陥情報とウェブの巾手方向の位置情報とが得られ
る。

【００３５】すなわち、より正確に、表面欠陥の生じ
た、ウェブの巾手方向の位置情報を得ることが可能であ
る。

【００３６】なお、前記検出手段としては、例えば、受
光部として用いられるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐ
ｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサがある。このＣＣ
Ｄラインセンサを、前記したように、ＣＣＤの画素の並
びとウェブの巾手方向とを略一致させて配置する。そし
て、画素クロックによりＣＣＤを駆動すると、画素毎の
蓄積電荷量、すなわち、ＣＣＤの画素毎に受光した光強
度に比例する出力信号が得られ、この信号の強度にウェ
ブの表面欠陥の検出信号が含まれるとともに、前記画素
クロックがウェブの巾手方向の位置に相当するため、欠
陥情報とその巾手位置情報とを同時に検出することがで
きる。

【００３７】請求項４記載の発明は、例えば図１、図
３、図４に示すように、に示すように、請求項１〜３の
いずれかに記載の表面欠陥検査装置において、

【００３８】投光部からウェブに向けて投光される光と
して白色光源を用いるとともに、

【００３９】受光部としてＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏ
ｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサを用いること
を特徴としている。

【００４０】請求項４記載の発明によれば、前記表面欠
陥検査装置は、投光部からウェブに向けて投光される光
として白色光源が用いられるとともに、受光部としてＣ
ＣＤラインセンサが用いられる。

【００４１】白色光源を用いることにより、ウェブの材
質、厚さ等の影響を受けにくくするとともに、装置を安
価に構成することができる。

【００４２】また、前記したように、ＣＣＤラインセン
サは、ＣＣＤの画素の並びとウェブの巾手方向を略一致
させて配置する。そして、画素クロックによりＣＣＤを
駆動すると、画素毎の蓄積電荷量、すなわち、ＣＣＤの
画素毎に受光した光強度に比例する出力信号が得られ、
この信号の強度にウェブの表面欠陥の検出信号が含まれ
るとともに、前記画素クロックがウェブの巾手方向の位
置に相当するため、表面欠陥の情報とその巾手位置の情
報とを同時に検出することができる。

【００４３】なお、ＣＣＤを２次元配列させたＣＣＤカ
メラでも同等の構成を実現できることは勿論である。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下、本発明である表面欠陥検査
装置の実施の形態を詳細に説明する。

【００４５】図１において、符号１は本発明に係る表面
欠陥検査装置を示す。

【００４６】表面検査欠陥装置１は、図１に示すよう
に、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の支持体
を連続して搬送しながら感光層を塗布する生産ラインに
設置される。前記表面欠陥検査装置１によって、ウェブ
ａである支持体および感光層等に生じた傷、気泡、異物
付着物等の表面欠陥を検出して排除するために、ウェブ
ａの表面欠陥の検査が行われる。

【００４７】前記表面欠陥検査装置１は、ウェブａの表
面にハロゲンランプｂ等の白色照明光を投光する投光部
３、この投光部３から投光され、ウェブａを透過した白
色照明光を受光するとともに、ウェブａの表面欠陥を検
知するために、所定のアナログ信号を出力する受光部と
してのＣＣＤラインセンサ４、このＣＣＤラインセンサ
４からのアナログ信号をデジタル信号に変換する、図３
に示すＡ／Ｄ変換器４ａ、前記表面欠陥の絶対的な長手
方向の位置を検知するための長手位置コード検出部５、
前記表面欠陥の相対的な長手方向の位置を検知するため
のロータリーエンコーダ６、時刻を検知するための時刻
検知部である時計７、前記した機器からの出力信号を検
知して所定の情報を出力する、ＣＰＵ等を利用したモジ
ュール２ｂ〜２ｄである表面欠陥検知部、巾手位置検知
部、相対長手位置検知部、絶対長手位置検知部、これら
検知部および前記時計７からの情報を相互に関連付けて
結合するＣＰＵ等を利用したモジュール２ａである欠陥
情報結合部、モジュール２ａから出力される情報を記録
する情報記録部であるディスク記録媒体８、モジュール
２ａから出力される情報を表示する情報表示部であるモ
ニタ９、プリンタ１０、等から概略構成されている。

【００４８】なお、モジュール２ａ〜２ｄは、タイミン
グクロックを作成したり、このタイミングクロックをカ
ウントして位置の情報を作成する、ＣＰＵやその他のハ
ードウェア、ＣＰＵを制御するソフトウェア、電気回
路、等によって構成されている。

【００４９】請求項１における、表面欠陥処理手段は、
投光部３、ＣＣＤラインセンサ４、モジュール２ｂに対
応しており、巾手位置処理手段は、ＣＣＤラインセンサ
４、モジュール２ｂに対応している。

【００５０】また、相対長手位置処理手段は、ロータリ
ーエンコーダ６、モジュール２ｃに対応しており、絶対
長手位置処理手段は、長手位置コード検出部５、モジュ
ール２ｄに対応している。

【００５１】さらに、欠陥情報結合手段は、モジュール
２ａに対応しており、情報記録・表示手段は、ディスク
記録媒体８、モニタ９、プリンタ１０に対応している。

【００５２】なお、前記巾手位置処理手段、前記相対長
手位置処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻
処理手段は、図１に示すように、それぞれ独立した電気
回路等のモジュールによって形成されており、これらの
処理手段の一部に故障が生じたとしても、この故障の影
響が他の処理手段に及ばないようになっている。

【００５３】図２に、前記ロータリーエンコーダ６から
長手方向の位置を検知する実施例を示す。ウェブａの特
定位置、例えば、ウェブａの巻毎を連結する継目等を検
知した情報をモジュール２ｃが受信し、この受信情報に
よって、モジュール２ｃからは、カウンタのリセット
パルスが送信される。そしてこのリセットパルスによっ
て前記カウンタ６ａがリセットされるとともに、ロー
タリーエンコーダ６の回転パルスのカウントが開始され
る。前記カウンタ６ａによってカウントされた回転パ
ルス数がモジュール２ｃに送信され、ロータリーエンコ
ーダ６を取り付けた搬送装置のロール径等の定数ととも
に、このモジュール２ｃによって、表面欠陥の位置が前
記特定位置からの距離として計算されるようになってい
る。

【００５４】図３に、前記ＣＣＤラインセンサ４から表
面欠陥を検知する方法と巾手方向の位置を検知する方法
の実施例を示す。

【００５５】モジュール２ｂが検査開始等の情報を受信
すると、モジュール２ｂからはスタートパルス４ｃお
よび画素クロック４ｄを発生する回路に各信号の発生開
始指令が送信される。そしてこのスタートパルス４
ｃ、画素クロック４ｄにより、ＣＣＤラインセンサ４ｄ
の駆動が開始され、ＣＣＤラインセンサ４からは映像
信号が出力される。この映像信号は、Ａ／Ｄ変換器４ａ
により、デジタル信号化されてモジュール２ｂに送出
される。デジタル信号化された映像信号をモジュール２
ｂによって特徴を抽出するためのフィルター処理等を行
うことにより、表面欠陥を検知する。前記Ａ／Ｄ変換器
４ａもＣＣＤラインセンサ４の駆動と同期を取るため
に、前記スタートパルス４ｃ、画素クロック４ｄにより
タイミング制御される。また、画素クロック４ｄは、画
素クロックカウンタ４ｂによりカウントされ、カウン
ト値は、モジュール２ｂに送信され、モジュール２ｂに
よって、巾手位置のデータに計算される。画素クロック
カウンタ４ｂもスタートパルス４ｃによってリセット処
理等のタイミング制御される。

【００５６】なお、各信号の経路上には、信号伝播上の
遅延補正等の処理回路を配置する場合もあるが、（例え
ば、画素クロック４ｄによりＣＣＤラインセンサ４とＡ
／Ｄ変換器４ａとを制御しているが、両者の間の信号伝
播遅延や素子の応答速度の差を補正する回路を形成する
場合）ここでは省略する。

【００５７】ＣＣＤラインセンサ４は、前記したように
表面欠陥を検知するためのものであるが、ＣＣＤライン
センサ４における画素クロック４ｄは、図４に示すよう
に、ウェブａの巾手方向の位置の情報も同期して含んで
いる。すなわち、前記ＣＣＤラインセンサ４は、ウェブ
ａの巾手方向の位置も検知する。

【００５８】前記長手位置コード検出部５は、ウェブａ
の絶対的な長手方向の位置を検知するためのものであ
り、ウェブａの側縁部に穿孔形成されている、図示しな
い位置コードを読み取る機能を有している。この位置コ
ードを読み取る方法は、例えば、特許１７２１８６２号
公報や特許１９７０９８１号公報等において公知であ
る。そして、検出信号がモジュール２ｄに送信され、こ
のモジュール２ｄによって、表面欠陥の位置が前記位置
コードから検知されるようになっている。

【００５９】以下に表面欠陥検査装置１によるウェブａ
の表面欠陥の検査工程を説明する。

【００６０】この表面欠陥検査装置１によるウェブａの
表面の検査は、ウェブａを断裁する前の工程で、連続し
て搬送されるウェブａの表面にハロゲンランプｂによる
白色照明光を照射して、この透過光の光量変化から表面
欠陥を検知するとともに、この表面欠陥の位置情報を検
知することにより行われる。

【００６１】先ず、透過光を受光する受光部であるＣＣ
Ｄラインセンサ４は、透過光を受光しながら、この透過
光を電子情報、すなわち、画素毎の受光量強度に置換さ
れ、映像信号としてカメラから出力される。すなわち、
透過光量の変化が生じた場合には、その変化がアナログ
信号の形状や強度の変化として検出される。

【００６２】次に、ＣＣＤラインセンサ４から出力され
た映像信号をＡ／Ｄ変換器によって、図５（ａ）に示す
波形１１の基となるデジタル信号に変換する。変換され
たデジタル信号に所定のフィルター処理、例えば、微分
処理や高周波ノイズ成分を除去する処理を施し、図５
（ｂ）に示す波形１２の基となる、特徴が抽出されたデ
ジタル信号となるようにする。

【００６３】次に、前記のようにフィルター処理された
デジタル信号に対して、予め設定された、表面欠陥を検
出するための閾値である表面欠陥信号抽出コンパレータ
１３と比較する。この比較作業はモジュール２ｂによっ
て行われ、表面欠陥の特徴を示す部分１２ａのみでコン
パレータ出力１２ｂが発生することにより、表面欠陥の
発生を検知することができる。

【００６４】ここで、表面欠陥信号抽出コンパレータ１
３は、実験的・経験的に設定されたものであっても、理
論式によって導き出されたものであってもよい。

【００６５】そして、モジュール２ｂによって、表面欠
陥を検知した信号１２ｂが送出された場合には、モジュ
ール２ａは、その時点における、表面欠陥の位置や時刻
の情報を相互に関連付けて結合するとともに、この情報
をディスク記録媒体８に記録する。

【００６６】なお、前記表面欠陥の位置や時刻の情報
は、ＣＣＤラインセンサ４、絶対長手位置検出部５、ロ
ータリーエンコーダ６、時計７等からの検出信号が、モ
ジュール２ｂ〜２ｄにおいて変換された情報である。こ
の際、所定の検出信号を出力しない機器がある場合に
は、モジュール２ａは、その機器からの情報を、例え
ば、空白情報として処理し、速やかにエラー情報と検知
されるようになっている。

【００６７】さらにモジュール２ａは、表面欠陥を表す
情報をリアルタイムでモニタ９に出力するととともに、
連続搬送されるウェブａの一巻が終了するごとに、ある
いは所定時間ごとに、データベース化してモニタ９に出
力したり、ディスク記録媒体８に保存したり、必要に応
じてプリンタ１０に出力したりする。

【００６８】本実施の形態によれば、以下のような効果
を得ることができる。

【００６９】前記表面欠陥処理手段を備えた前記表面
欠陥検査装置１は、前記巾手位置処理手段、前記相対長
手位置処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻
処理手段を備えるとともに、これら処理手段はそれぞれ
独立したモジュールで構成されている。

【００７０】そして、前記表面欠陥処理手段によって、
ウェブａの表面欠陥情報が得られた場合には、この表面
欠陥情報に、前記ウェブａの巾手方向の位置情報と、前
記ウェブａの相対的な長手方向の位置情報と、前記ウェ
ブａの絶対的な長手方向の位置情報と、前記時刻情報
が、モジュール２ａによって相互に関連付けて結合され
るとともに、これら結合された情報が、ディスク記録媒
体８、モニタ９、プリンタ１０によって一括して記録・
表示される。

【００７１】この際、少なくとも前記巾手位置処理手
段、前記相対長手位置処理手段、前記絶対長手位置処理
手段、前記時刻処理手段はそれぞれ独立しているため、
これらの処理手段のいずれかに故障が生じた場合におい
ても、この故障が故障が生じていない他の処理手段に影
響しない。これにより、他の故障が生じていない処理手
段によって得られる、ウェブａの表面欠陥の位置情報や
時刻情報から、ウェブａの表面欠陥の位置が部分的に特
定される。

【００７２】すなわち、例えば、前記巾手位置処理手段
の一部に故障が生じた場合においても、この故障の影響
が及ばない他の処理手段、すなわち、前記相対長手位置
処理手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻処理手
段等から得られる情報によって、表面欠陥の位置が、ウ
ェブａの長手方向は特定することができる。

【００７３】したがって、ウェブａ中の、表面欠陥の長
手位置として特定された部分のみを後の断裁工程におい
て全ての巾を除去すればよいため、万一、検査装置上の
故障が発生しても一巻全てを再検査したり、廃棄したり
する等の処置をする必要がなくなり、生産コストを低減
させることが可能となる。

【００７４】前記表面欠陥処理手段、前記巾手位置処
理手段、前記相対長手位置処理手段、前記絶対長手位置
処理手段、前記時刻処理手段によって所定の情報が得ら
れない場合には、該処理手段のエラー情報がモジュール
２ａによって付加される。

【００７５】すなわち、故障等が生じた処理手段がある
場合には、該処理手段が明確となり、製品の品質管理を
迅速かつ確実に行うことが可能となる。

【００７６】ウェブａの表面欠陥の検出信号とウェブ
ａの巾手方向の位置の検出信号とを同時に検出するＣＣ
Ｄラインセンサ４から出力される検出信号がモジュール
２ｂによって統合されて処理されることで、ウェブａの
表面欠陥情報とウェブａの巾手方向の位置情報とが得ら
れる。

【００７７】すなわち、より簡易な構成で、しかも正確
に、表面欠陥の生じたウェブａの巾手方向の位置情報を
得ることが可能である。

【００７８】前記表面欠陥検査装置１には、投光部か
らウェブに向けて投光される光としてハロゲンランプｂ
等による白色光源が用いられるとともに、受光部として
ＣＣＤラインセンサ４が用いられる。

【００７９】ここで、白色光源を用いることにより、ウ
ェブの材質、厚さ等の影響を受けにくくするとともに、
装置を安価に構成することができる。

【００８０】また、ＣＣＤラインセンサ４は、画素が多
数配列された構造で、一つ一つの画素が受光した光強度
を記憶できるため、強度と受光パターンの広がりやその
特徴を同時に検知することができるため、表面欠陥の検
出のみならず、その特徴抽出が可能となる。

【００８１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ウェブａ
の表面欠陥の位置や発生時刻を処理するための処理手段
の一部に故障が生じた場合においても、この故障の影響
が及ばない他の処理手段から得られる情報によって、表
面欠陥の位置が部分的に特定される。

【００８２】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果が得られることは勿論のこと、故
障等が生じた処理手段がある場合には、故障が生じた処
理手段とその情報が明確となり、欠陥を排除する工程で
の対応方法を的確に判断することができるため、製品の
品質管理を迅速かつ確実に行うことが可能となる。

【００８３】請求項３記載の発明によれば、請求項１ま
たは２記載の発明と同様の効果が得られることは勿論の
こと、より正確に、表面欠陥の生じた、ウェブの巾手方
向の位置情報を得ることが可能である。

【００８４】請求項４記載の発明によれば、請求項１〜
３のいずれかに記載の発明と同様の効果が得られること
は勿論のこと、白色光源を用いることにより、ウェブの
材質、厚さ等の影響を受けにくくするとともに、装置を
安価に構成することができる。

【００８５】また、ＣＣＤラインセンサは、表面欠陥の
情報とその巾手位置の情報とを同時に検出することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面欠陥検査装置の構成を模式的
に示す図である。

【図２】ロータリーエンコーダによって、ウェブに発生
した表面欠陥の相対的な長手方向の位置を検知して処理
する際の情報の流れを示す図である。

【図３】ＣＣＤラインセンサによって、ウェブに発生し
た表面欠陥の巾手方向の位置を検知して処理する際の情
報の流れを示す図である。

【図４】ＣＣＤラインセンサにおける、画素毎の強度信
号（映像信号）と画素クロックとを示す図である。

【図５】受光部から出力される出力信号の波形を示す図
であり、（ａ）は、Ａ／Ｄ変換された直後の波形を示す
図であり、（ｂ）は所定のフィルター処理が行われた後
の波形およびコンパレータ出力後の波形を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 表面欠陥検査装置 ２ａ モジュール（欠陥情報結合手段） ２ｂ モジュール（表面欠陥処理手段、巾手位置処理
手段） ２ｃ モジュール（相対長手位置処理手段） ２ｄ モジュール（絶対長手位置処理手段） ３ 投光部 ４ ＣＣＤラインセンサ（受光部） ４ａ Ａ／Ｄ変換器（表面欠陥処理手段、巾手位置処
理手段） ４ｂ 画素クロックカウンタ（表面欠陥処理手段、巾
手位置処理手段） ４ｃ スタートパルス（表面欠陥処理手段、巾手位置
処理手段） ４ｄ 画素クロック（表面欠陥処理手段、巾手位置処
理手段） ５ 長手コード検出部（絶対長手位置処理手段） ６ ロータリーエンコーダ（相対長手位置処理手
段） ６ａ カウンタ（相対長手位置処理手段） ６ｂ スタートパルス（相対長手位置処理手段） ７ 時計（時刻処理手段） １３ 表面欠陥信号抽出コンパレータ（表面欠陥処理
手段） ａ ウェブ（ウェブ） ｂ ハロゲンランプ（白色光源）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 幸登 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株式 会社内 (72)発明者 別所 邦洋 東京都日野市さくら町１番地 コニカ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB13 BB23 CC02 FF01 FF02 FF46 GG02 HH02 HH13 JJ02 JJ25 MM02 PP16 QQ03 2G051 AA41 AB01 AB02 AB06 CA03 CB01 CB02 DA06 EA14 ED21 FA01

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェブを連続して搬送しながら、このウェ
   ブの表面欠陥を検査するために、投光部からウェブに向
   けて投光される光の透過光もしくは反射光を受光部にお
   いて受光するとともに、この受光部から出力される検出
   信号を処理することでウェブの表面欠陥情報を得る表面
   欠陥処理手段を備えた表面欠陥検査装置において、 ウェブの巾手方向の位置を検知した検知信号を処理する
   ことで、ウェブの巾手方向の位置情報を得る巾手位置処
   理手段と、 ウェブの搬送装置の搬送量よりウェブの長手方向の搬送
   量に換算することで、ウェブの相対的な長手方向の位置
   を検知した検知信号を処理することで、ウェブの相対的
   な長手方向の位置情報を得る相対長手位置処理手段と、 ウェブの側縁部にウェブの長さ方向に一定の長さ間隔を
   もって記録された位置情報を読み取り処理することで、
   ウェブの絶対的な長手方向の位置情報を得る絶対長手位
   置処理手段と、 時刻情報を得る時刻処理手段と、を備えるとともに、少
   なくとも前記巾手位置処理手段、前記相対長手位置処理
   手段、前記絶対長手位置処理手段、前記時刻処理手段は
   それぞれ独立したモジュールで構成されており、 前記表面欠陥処理手段によって、ウェブの表面欠陥情報
   が得られた場合に、この表面欠陥情報に、前記ウェブの
   巾手方向の位置情報と、前記ウェブの相対的な長手方向
   の位置情報と、前記ウェブの絶対的な長手方向の位置情
   報と、前記時刻情報と、のうち得られた情報を相互に関
   連付けて結合する欠陥情報結合手段と、 これら結合された情報を一括して記録・表示する情報記
   録・表示手段と、を備えていることを特徴とする表面欠
   陥検査装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の表面欠陥検査装置におい
   て、 前記欠陥情報結合手段は、前記表面欠陥処理手段、前記
   巾手位置処理手段、前記相対長手位置処理手段、前記絶
   対長手位置処理手段、前記時刻処理手段によって各々の
   所定の情報が得られない場合には、該各々の処理手段の
   エラー情報を付加することを特徴とする表面欠陥検査装
   置。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の表面欠陥検査装置
   において、 ウェブの表面欠陥の検出信号と、ウェブの巾手方向の位
   置の検出信号とを前記表面欠陥処理手段と前記巾手位置
   処理手段とを統合してなる処理手段で処理することでウ
   ェブの表面欠陥情報とウェブの巾手方向の位置情報とを
   得ることを特徴とする表面欠陥検査装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の表面欠陥
   検査装置において、 投光部からウェブに向けて投光される光として白色光源
   を用いるとともに、 受光部としてＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ
   Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサを用いることを特徴とする
   表面欠陥検査装置。