JP2003093989A - ウォーターハンマー洗浄器 - Google Patents

ウォーターハンマー洗浄器

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 配管の内部に損傷を与えず配管内部の異物を
洗浄できるウォーターハンマー洗浄器を提供する。 【解決手段】ウォーターハンマー洗浄器は、洗浄液を加
圧するためのポンプ３０が設けられた洗浄液供給配管Ｐ
２と、一端部には空気圧縮機１０が設けられ、他端部は
洗浄液タンク４０と洗浄される配管Ｐ４を連通する洗浄
液供給配管Ｐ２に選択的に連通される空気配管Ｐ１と、
空気配管Ｐ１に設けられ、その開閉を選択的に自動操作
される自動開閉弁Ｖｍと、所定値に基づき空気圧縮機１
０から加圧空気が吐出される空気配管Ｐ１を周期的また
は非周期的に断続する水撃器２０と、自動開閉弁Ｖｍ、
水撃器２０及びその他の弁を所定の作業手順に従って選
択的に制御する制御手段とを備える。水撃器２０により
断続された加圧空気が加圧洗浄液に影響を及ぼして水撃
波を発生させ、配管Ｐ４内部の異物を洗浄する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は配管の内部に狭窄、
沈澱または残留する異物を取り除くウォーターハンマー
洗浄器に係り、特に、半導体製造ラインの微細な配管、
例えばウェーハ洗浄装備や半導体組立ラインの洗浄装備
などを冷却する微細な配管に残留する異物を取り除くウ
ォーターハンマー洗浄器に関する。
【０００２】
【従来の技術】配管は流体が流動する通路であって、そ
の流体により空気配管、水配管、オイル配管または化学
薬品配管などに分類される。このような配管が装置に連
結されて使用される際、配管自体の材質問題、流体、ま
たは装置の用途により配管内部に異物が付着することが
避けられなかった。
【０００３】このような配管内部の残存する異物は、全
体的な装置の効率を低下させる問題を引き起こし、特に
半導体製造ラインの場合は極めて深刻な収率低下をもた
らす。半導体製造ラインの特性上、インラインに設けら
れた装備の一部の配管に異物が残留すれば、最悪の場合
は装備が汚染されたり配管が閉塞されることによりイン
ライン装備の稼働が中止され莫大な経済的な損失を引き
起こす。また、このような異物を取り除いて再び正常的
な運転になるよう用意する段階までには、長期間がかか
る問題点があった。
【０００４】このような問題点を解消しようして提案さ
れた方策としては、洗浄液を配管内部に流し込んで自然
的な洗浄力で洗浄したり、人為的な器具を配管内部に投
入して異物を取り除く技術があった。しかし、このよう
な技術は配管の洗浄時間が長時間かかることは勿論、機
械的な摩擦により配管内部が損傷され、異物残留よりさ
らに深刻な問題を引き起こす虞があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述したよう
な問題点を解決するために案出されたもので、その目的
は、配管の内部に損傷を与えず配管内部の異物を洗浄で
きるウォーターハンマー洗浄器を提供するところにあ
る。
【０００６】また、本発明の他の目的は、異物が残存し
た配管の内部を洗浄するにあたって洗浄時間を短縮でき
るウォーターハンマー洗浄器を提供するところにある。
そして、本発明のさらに他の目的は、配管内部の異物を
水撃波を用いて配管の内部を損傷せず短時間内に洗浄で
きるウォーターハンマー洗浄器を提供するところにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ための本発明に係るウォーターハンマー洗浄器は、洗浄
液タンクと洗浄される配管との間を洗浄液が選択的に循
環されるよう閉回路で構成され、前記洗浄液を加圧する
ようポンプが設けられた洗浄液供給配管と、一端部には
空気圧縮機が設けられており、他端部は前記洗浄液タン
クと洗浄される配管を連通する洗浄液供給配管に選択的
に連通される空気配管と、前記空気配管に設けられ前記
空気配管Ｐ１を閉鎖する第１位置と、開放する第２位置
間で選択的に自動操作される自動開閉弁と、前記空気圧
縮機と前記自動開閉弁との間に設けられ、前記自動開閉
弁が第２位置に調節された場合、予め入力された値によ
り前記空気圧縮機から加圧空気が吐出される前記空気配
管Ｐ１を周期的または非周期的に断続する水撃器と、前
記自動開閉弁、前記水撃器及び前記各配管に設けられる
弁を予め入力された作業手順に従って選択的に制御する
制御手段と、を備えるところに特徴がある。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の望ましい実施形態を詳述する。図１は本発明に係る
ウォーターハンマー洗浄器の系統図である。
【０００９】図１に示すように、本発明に係るウォータ
ーハンマー洗浄器は、水撃現象を用いて配管の内部に狭
窄、沈澱、または漂流する残存異物(以下"異物"と称す
る)を、配管の内部を損傷せず短時間内に除去する。空
気配管Ｐ１には、空気圧縮機１０、及び空気配管Ｐ１を
予め制御された時間毎に断続する水撃器２０が設けら
れ、空気配管Ｐ１は洗浄液供給配管Ｐ２と連通される。
【００１０】ここで、配管の内部に残存する虞のある異
物は、鉄バクテリアスライム(steelbacteria slime)、
錆び、有機物及び無機物などを含む。洗浄液を循環させ
て配管Ｐ４を洗浄する洗浄液供給配管Ｐ２には、洗浄液
を加圧するポンプ３０が設けられる。洗浄液タンク４０
に充填された洗浄液は、前記ポンプ３０により加圧さ
れ、洗浄される配管Ｐ４の内部に残存する異物を取り除
くために循環される。ここで、外部から洗浄液を洗浄液
タンク４０に貯蔵するために、ポンプ３０と洗浄液タン
ク４０を連通する分岐管Ｐ３が設けられる。前記分岐管
Ｐ３には第１弁Ｖ１が設けられ、第１弁Ｖ１は外部から
洗浄液が洗浄液タンク４０に流入されることを断続す
る。
【００１１】して、前記洗浄液タンク４０の両端に連通
された洗浄液供給配管Ｐ２には第２弁Ｖ２と第３弁Ｖ３
が設けられ、該弁Ｖ２、Ｖ３は、洗浄される配管Ｐ４に
対する洗浄工程により自動開閉されたり手動開閉された
りする。そして、ポンプ３０と洗浄される配管Ｐ４の一
端部との間の洗浄液供給配管Ｐ２には、洗浄液が洗浄さ
れる配管Ｐ４内に流入されることを開閉する第４弁Ｖ４
が設けられ、第４弁Ｖ４は前述したように洗浄工程によ
り自動開閉または手動開閉される。また、後述する空気
配管Ｐ１から加圧された空気により洗浄液が逆流するこ
とを遮断するため、ポンプ３０と第４弁Ｖ４との間には
第１チェック弁ＣＶ１が設けられている。
【００１２】洗浄液を外部から洗浄される配管Ｐ４内に
流入させたり、あるいは洗浄液タンク４０に洗浄液を貯
蔵するよう、第６弁Ｖ６が端部に設けられた洗浄液注入
管Ｐ０は、洗浄液供給配管Ｐ２の第２弁Ｖ２とポンプ３
０との間に連通されている。ここで、第６弁Ｖ６も前述
した他の弁のように、制御手段により自動開閉されたり
手動開閉されたりする。
【００１３】本発明の構造において、洗浄液の水撃波を
形成させてさらに望ましい配管の洗浄を具現するため
に、一端部に空気圧縮機１０の設けられた空気配管Ｐ１
の他端部が、洗浄液供給配管Ｐ２の第４弁Ｖ４と洗浄さ
れる配管Ｐ４の一端部との間に連通されている。ここ
で、実際に洗浄液に水撃波を発生させるための水撃器２
０は、空気圧縮機１０と空気配管Ｐ１の他端部との間に
設けられる。空気圧縮機１０から吐出される空気の圧力
を示すために、空気圧縮機１０と水撃器２０の間には第
１圧力計５０が設けられている。通常、空気圧縮機１０
から吐出される空気圧は、７-８ｋｇｆ/ｃｍ2が望まし
い。
【００１４】水撃器２０において、制御手段(図示せず)
に予め入力されたプログラムによりＷ．Ｈ．Ａピストン
が１秒当り１〜１０回ほど往復動する。従って、前記空
気圧縮機１０から吐出された空気は水撃器２０を通過し
つつ流動が制限され、最終的に、このような加圧空気が
洗浄液供給配管Ｐ２内を流動する洗浄液に一定に断続さ
れた圧力を加えて洗浄液に水撃波を発生させる。
【００１５】そして、洗浄液供給配管Ｐ２内に流入され
る加圧空気の圧力を所望の圧力に維持するため、第２圧
力計６０と連結されたレギュレ-タ７０が水撃器２０と
空気配管Ｐ１の他端部との間に設けられる。洗浄される
配管Ｐ４の情況により、加圧空気の圧力値は制御手段に
より可変される。前記レギュレ-タ７０と空気配管Ｐ１
の他端部との間には、全体的な空気配管Ｐ１を制御手段
により自動的に断続する自動開閉弁Ｖｍが設けられてお
り、前記自動開閉弁Ｖｍと空気配管Ｐ１の他端部との間
には制御手段により自動開閉されたり、手動操作の可能
な第５弁Ｖ５が設けられている。
【００１６】ここで、前記自動開閉弁Ｖｍは、前述した
通り、平常時は空気配管Ｐ１を閉鎖する基本位置である
第１位置と、制御手段の信号に応じて空気配管Ｐ１を連
通させる第２位置との間で自動操作される。そして、洗
浄液が空気配管Ｐ１に逆流することを遮断するために、
自動開閉弁Ｖｍと第５弁Ｖ５との間には第２チェック弁
ＣＶ２が設けられる。
【００１７】本発明に係るウォーターハンマー洗浄器の
作動関係を下記の表１に基づき簡単に述べ、本構造は下
記の作動関係に限らず、多様に変形され作動されうる。
【００１８】
【表１】 １．洗浄液吸入 洗浄液は、外部の洗浄液供給手段から洗浄液注入管Ｐ０
を通して洗浄液供給配管Ｐ２に流入された後、ポンプ３
０により加圧され、第４弁Ｖ４が閉鎖されているため洗
浄液タンク４０に貯蔵される。
【００１９】２．洗浄液還収(または循環) 洗浄液供給配管Ｐ２と洗浄される配管Ｐ４内に存する洗
浄液は、ポンプ３０の作動により洗浄液タンク４０に回
収される。
【００２０】３．洗浄液吸入、吐出 まず、洗浄液を洗浄液供給配管Ｐ２と洗浄される配管Ｐ
４の内部に充填させる。
【００２１】４．洗浄液還収、吐出 洗浄液を閉回路間に循環させ、水撃波が発生した洗浄液
により配管Ｐ４が洗浄される。
【００２２】ここで、洗浄工程が完了すれば、第２及び
第６弁Ｖ２、Ｖ６のみを開放して洗浄液を外部にドレイ
ンさせたりポンプ３０を稼働させドレインすることがで
きる。
【００２３】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明においては、水
撃器により断続された加圧空気が加圧洗浄液に影響を及
ぼして水撃波を発生させ、配管内部の異物を洗浄液によ
る洗浄効果と共に、水撃による衝撃波ないし振動により
一層望ましい洗浄効果が具現できる。
【００２４】通常、６〜８時間の洗浄時間がかかる半導
体装備の洗浄時間を本発明によっては３０分内外に短縮
でき、洗浄の全過程が全自動になされるため、作業が簡
便になる特徴がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るウォーターハンマー洗浄器の系
統図。
【符号の説明】
１０: 空気圧縮機 ２０: 水撃器 ３０: ポンプ ４０: 洗浄液タンク ５０: 第１圧力計 ６０: 第２圧力計 ７０: レギュレ-タ Ｐ１: 空気配管 Ｐ２: 洗浄液供給配管 Ｐ０: 洗浄液注入管 Ｐ３: 分岐管 Ｐ４: 洗浄される配管 Ｖ１〜Ｖ６: 第１〜第６弁 Ｖｍ: 自動開閉弁 ＣＶ１: 第１チェック弁 ＣＶ２: 第２チェック弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朴 光 辰 大韓民国 ソウル市 松坡区 芳▲夷▼洞 漢陽３次 アパートメント ２棟 1007 号 Ｆターム(参考） 3B116 AA13 AB53 BB88 BB90

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 洗浄液タンク（４０）と洗浄される配管
    （Ｐ４）との間を洗浄液が選択的に循環するよう閉回路
    により構成され、前記洗浄液を加圧するようポンプ（３
    ０）が設けられた洗浄液供給配管（Ｐ２）と、 一端部には空気圧縮機（１０）が設けられており、他端
    部は前記洗浄液タンク（４０）と洗浄される配管（Ｐ
    ４）とを連通する洗浄液供給配管Ｐ２に選択的に連通さ
    れる空気配管（Ｐ１）と、 前記空気配管（Ｐ１）に設けられ、前記空気配管（Ｐ
    １）を閉鎖する第１位置と、開放する第２位置位置との
    間で選択的に自動操作される自動開閉弁（Ｖｍ）と、 前記空気圧縮機（１０）と前記自動開閉弁（Ｖｍ）の間
    に設けられ、前記自動開閉弁（Ｖｍ）が前記第２位置に
    調節された場合、予め入力された値により前記空気圧縮
    機（１０）から加圧空気が吐出される前記空気配管（Ｐ
    １）を周期的または非周期的に断続する水撃器（２０）
    と、 前記自動開閉弁（Ｖｍ）、前記水撃器（２０）及び前記
    各配管（Ｐ１，Ｐ２）に設けられる弁（Ｖ２，Ｖ３，Ｖ
    ４，Ｖ５）を予め入力された作業手順に従って選択的に
    制御する制御手段と、を備えることを特徴とするウォー
    ターハンマー洗浄器。
  2. 【請求項２】 前記洗浄液が前記空気配管（Ｐ１）に逆
    流しないように前記自動開閉弁（Ｖｍ）と前記空気配管
    （Ｐ１）の他端部との間に第２チェック弁（ＣＶ２）を
    さらに備えることを特徴とする請求項１に記載のウォー
    ターハンマー洗浄器。
  3. 【請求項３】 前記空気圧縮機（１０）から加圧された
    空気が所望の一定圧力を維持するよう前記水撃器（２
    ０）と前記自動開閉弁（Ｖｍ）との間にレギュレ-タ
    （７０）をさらに備えることを特徴とする請求項１に記
    載のウォーターハンマー洗浄器。
  4. 【請求項４】 前記洗浄液が前記洗浄液供給配管（Ｐ
    ２）のポンプ（３０）側に逆流されないよう前記ポンプ
    （３０）と前記洗浄液供給配管（Ｐ２）の他端部との間
    に第１チェック弁（ＣＶ１）をさらに備えることを特徴
    とする請求項１に記載のウォーターハンマー洗浄器。
  5. 【請求項５】 外部から供給される洗浄液を前記洗浄液
    タンク４０に充填するよう前記ポンプ（３０）と前記第
    １チェック弁（ＣＶ１）との間と、前記ポンプ（３０）
    と前記洗浄液タンク（４０）との間を選択的に連通する
    分岐管（Ｐ３）をさらに備えることを特徴とする請求項
    ４に記載のウォーターハンマー洗浄器。
  6. 【請求項６】 一端部は外部の洗浄液供給手段と連通さ
    れ、他端部は前記洗浄液タンク（４０）に隣接した前記
    洗浄液供給配管（Ｐ２）と選択的に連通する洗浄液注入
    管（Ｐ０）をさらに備えることを特徴とする請求項１に
    記載のウォーターハンマー洗浄器。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004321842A (ja) * 2003-04-21 2004-11-18 Hokken Engineering Kk 給水管洗浄装置
JP2007319772A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Univ Nihon 藻類破砕装置
JP2012206119A (ja) * 2007-03-08 2012-10-25 Coca-Cola Co パイプ清掃システム
KR101435986B1 (ko) * 2013-02-15 2014-09-02 박종석 공기압 충격파를 이용한 배관세정장치

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2975928B1 (fr) * 2011-06-06 2014-12-19 Prodose Procede de nettoyage dynamique des canalisations d'eau d'un vehicule et dispositif permettant de le mettre en oeuvre
DE102011117060A1 (de) * 2011-10-27 2013-05-02 Manfred Völker Spülanlage
US9067246B2 (en) 2012-09-14 2015-06-30 R 2 Solutions LLC Water service line repair
SE1751050A1 (en) * 2017-09-01 2019-03-02 Scania Cv Ab Method and system for cleaning a heat exchanger
WO2019199963A1 (en) * 2018-04-11 2019-10-17 Nordson Corporation Systems and methods for flushing a tool
RU189125U1 (ru) * 2018-12-18 2019-05-13 Юрий Иванович Шаршапин Устройство для очистки внутренней поверхности трубопровода от загрязнений
EP3782742A1 (de) * 2019-08-23 2021-02-24 wattec GmbH Reinigungsvorrichtung und reinigungsverfahren

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4919154A (en) * 1988-02-29 1990-04-24 Engle Thomas B Pipe purging assembly and method therefor
JP2602880B2 (ja) * 1988-03-05 1997-04-23 忠弘 大見 シリンダーキャビネット配管装置
JPH0539355Y2 (ja) * 1988-03-16 1993-10-05
US5265629A (en) * 1991-05-10 1993-11-30 Applied Hydro Dynamics, Inc. Universal cleaning system utilizing cavitating fluid
US5674323A (en) * 1993-02-12 1997-10-07 American International, Inc. Method and apparatus for cleaning columns by inducing vibrations in fouling material and the column
US5660201A (en) * 1993-12-21 1997-08-26 Lockheed Martin Idaho Technologies Company Multiple source/multiple target fluid transfer apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004321842A (ja) * 2003-04-21 2004-11-18 Hokken Engineering Kk 給水管洗浄装置
JP2007319772A (ja) * 2006-05-31 2007-12-13 Univ Nihon 藻類破砕装置
JP2012206119A (ja) * 2007-03-08 2012-10-25 Coca-Cola Co パイプ清掃システム
KR101435986B1 (ko) * 2013-02-15 2014-09-02 박종석 공기압 충격파를 이용한 배관세정장치

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