JP2003092526A5 - - Google Patents
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Description
【発明の名称】弾性表面波フィルタ、及びそれを用いた通信機器
【特許請求の範囲】
【請求項１】圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子とを備え、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、３つ以上の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記分割ＩＤＴ電極は前記平衡型端子に電気的に接続され、
少なくとも２つの前記分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されており、残りの前記分割ＩＤＴ電極の少なくとも１つの分割ＩＤＴ電極は、前記少なくとも２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２】前記複数の分割ＩＤＴ電極それぞれの電極指の本数の比は、所定のインピーダンス値を有するように予め調整されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】前記複数の分割ＩＤＴ電極はそれぞれ互いに他の前記分割ＩＤＴ電極の電荷を打ち消し合わないように、同相関係及び／または逆相関係に配置されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に同相関系で配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の一方に接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の他方に接続され、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは接続されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に配置されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、
前記第１の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の下部バスバー電極とは接続されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】前記複数の分割ＩＤＴ電極は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極から構成されている請求項３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項７】前記複数の分割ＩＤＴ電極は、前記第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極の順に配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは同相関係で接続されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは、接続されている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項８】前記複数の電極指における、隣接する一対の電極指の実質上全ての組は、それぞれ同相関係にあり、
かつ前記複数の電極指の実質上全ては、それぞれの電荷が互いに他を打ち消し合わないように接続されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項９】前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されており、
前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１０】前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は、前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分と接続されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】前記接続するとは、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の前記電極指のうち前記第２の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分にともに接続し、
一対の前記電極指のうち、前記第３の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とにともに接続することである請求項１０記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１２】３個の前記ＩＤＴ電極は、第１、第２、及び第３のＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極の両側には、それぞれ前記第２のＩＤＴ電極及び前記第３のＩＤＴ電極が配置されており、
前記第２のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側、及び前記第３のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側にそれぞれ前記反射器電極が配置されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】前記第２のＩＤＴ電極の上部バスバー電極は、不平衡型端子に接続されており、その上部バスバー電極は接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の下部バスバー電極は、前記不平衡型端子に接続されており、その下部バスバー電極は接地されている請求項１２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１４】圧電基板と、前記圧電基板上に配置された複数のＩＤＴ電極及び複数の反射器電極とを有する縦モード型の弾性表面波フィルタを複数個備え、
前記複数個の弾性表面波フィルタは、多段に接続されており、
前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタには、請求項１記載の弾性表面波フィルタが用いられており、前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタの前記圧電基板は、請求項１記載の弾性表面波フィルタの圧電基板が用いられている弾性表面波フィルタ。
【請求項１５】前記複数個とは２個であり、
前記複数個の弾性表面波フィルタとは、第１の弾性表面波フィルタ及び第２の弾性表面波フィルタであり、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも３個のＩＤＴ電極から構成されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、縦続きに接続されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも２個のＩＤＴ電極を用いて２箇所で接続されており、
前記ＩＤＴ電極の一方の信号の位相と、前記ＩＤＴ電極の他方の信号の位相とが逆相である請求項１４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１６】２個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
２個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、請求項１記載のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項１７】５個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
５個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、請求項１記載のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項１８】送信波を出力する送信回路と、
受信波を入力する受信回路とを備えた通信機器であって、
前記送信回路および／または前記受信回路には、請求項１記載の弾性表面波フィルタが用いられている通信機器。
【請求項１９】圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子と、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、２つの分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記２つの分割ＩＤＴ電極の一方は上部バスバー電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、前記２つの分割ＩＤＴ電極の他の一方は下部電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、
前記２つの分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２０】前記圧電基板上に配置された不平衡型端子をさらに加え、
前記２つの分割ＩＤＴ電極を挟んで隣接配置された２つのＩＤＴ電極は、前記２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されており、
前記２つのＩＤＴ電極の一方の上部バスバー電極と、前記２つのＩＤＴ電極の他方の下部バスバー電極は前記不平衡型端子と電気的に接続されている請求項１９記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平衡型端子を有する縦モード型弾性表面波フィルタ、及びそれを用いた通信機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波（ＳＡＷ）を用いたエレクトロメカニカル機能部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであり、波のエネルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することからハードウェアの高密度化の流れの中で注目され、インタディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ電極）電極の開発と薄膜作成技術、表面加工技術の進歩によって、レーダ用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタなどに実用化され、現在では、無線通信機器送受信回路のＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されている。
【０００３】
近年、対雑音特性の良好化を目的としてＩＣなどの半導体部品の平衡化が進み、ＲＦ段に使用される弾性表面波フィルタにおいても平衡化が求められている。
また、近年では、前後に配置されるＩＣとのインピーダンス整合の観点から、弾性表面波のインピーダンスを制御することが求められている。従来より、ＲＦ段のフィルタとしては、縦モード型の弾性表面波フィルタが広く用いられている。
【０００４】
以下、従来の平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタについて説明する。
【０００５】
図１９に従来の平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図１９において、弾性表面波フィルタは、圧電基板１００１上に、入力ＩＤＴ電極１００２ａ、１００２ｂと反射器電極１００３ａ、１００３ｂと出力ＩＤＴ電極１００４を形成することにより構成される。入力ＩＤＴ電極１００２ａ、１００２ｂの同じ側の電極指を入力端子ＩＮに接続し、他方を接地する。また、出力ＩＤＴ電極１００４の上側の電極指は一方の出力端子ＯＵＴ１に接続され、出力ＩＤＴ電極１００４の下側の電極指は他方の出力端子ＯＵＴ２に接続される。以上の構成とすることにより平衡型の出力端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０００６】
これに対して、ＩＦ段に使用される横モード型の弾性表面波フィルタにおいては、特開平１０−２６１９３７でインピーダンスの制御が可能となることが示されている。図２０に横モード型弾性表面波フィルタにおける従来の構成を示す。
【０００７】
図２０において、１１０１は圧電基板であり、この圧電基板１１０１の上に、ＩＤＴ電極１１０２ａと反射器電極１１０２ｂ、１１０２ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第１の弾性表面波共振器が形成されている。また、圧電基板１１０１の上には、ＩＤＴ電極１１０３ａと反射器電極１１０３ｂ、１１０３ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第２の弾性表面波共振器が形成されている。第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極１１０３ａは、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ａ、１１０４ｂ及び１１０４ｃの３つのグループの接続により構成されている。第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ａ、１１０４ｂ及び１１０４ｃは、すべて同相に配置されるとともに、第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの上部電極と第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの上部電極が接続され、第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの下部電極と第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの下部電極が接続されることにより、第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極１１０３ａ が形成される。そして、これら２個の第１及び第２の弾性表面波共振器は 近接して配置されており、その間に音響結合が生じることによって、弾性表面波フィルタが構成される。
【０００８】
さらに、ＩＤＴ電極１１０２ａの上部電極および下部電極はそれぞれ平衡型入力端子ＩＮに接続されている。また、ＩＤＴ電極１１０３ａを構成する第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの上部電極および第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの上部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの一方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの下部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続され、第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの上部電極は接地されることにより平衡型入出力端子を形成する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１９の縦モード型の弾性表面波フィルタでは、フィルタ特性が所望のものになるように設計すると、設計したフィルタ特性に応じて平衡側のインピーダンスもほぼ決まってしまい、設計の自由度が少ない。
【００１０】
すなわち、上述の弾性表面波フィルタにおいては、平衡側のインピーダンスは電極指の本数と上下の電極指の交差する長さ等によりほぼ決定されるため、所望のインピーダンスとフィルタ特性を得るのには構造上の限界があるという課題があった。
【００１１】
また、図２０の横モード型の弾性表面波フィルタは狭帯域な特性を有しており、広帯域な特性を必要とするＲＦ段のフィルタには適していない。さらに、上述の構成においては、２個の第１及び第２の弾性表面波共振器を近接配置する必要があるため、平衡型端子をそれぞれの上部電極あるいは下部電極から引き出す必要があり、ＩＤＴ電極を完全な対称構造とすることができなかった。これは、現在、主流となっているＰＤＣやＧＳＭ、あるいはＤＣＳなどの、特に、周波数が８００ＭＨｚ帯や２ＧＨｚ帯のシステムにおけるＲＦ段のフィルタに適用する場合には、この非対称性、及び引き出し電極による寄生成分の影響から平衡型端子の平衡度が劣化するという課題があった。
【００１２】
すなわち、図２０の横モード型弾性表面波フィルタでは、狭帯域のフィルタ特性しか得られず、また、ＲＦ段のフィルタとして用いた場合には平衡度が劣化するという課題があった。
【００１３】
本発明は、上記従来のこのような課題を克服し、良好な平衡度を有し、入出力インピーダンスの制御が可能な弾性表面波フィルタ及び通信機器を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
第一の本発明は、圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子とを備え、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、３つ以上の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記分割ＩＤＴ電極は前記平衡型端子に電気的に接続され、
少なくとも２つの前記分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されており、残りの前記分割ＩＤＴ電極の少なくとも１つの分割ＩＤＴ電極は、前記少なくとも２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続される弾性表面波フィルタである。
【００１５】
第二の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極それぞれの電極指の本数の比は、
所定のインピーダンス値を有するように予め調整されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１６】
第三の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極はそれぞれ互いに他の前記分割ＩＤＴ電極の電荷を打ち消し合わないように、同相関係及び／または逆相関係に配置されている第二の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１７】
第四の本発明は、前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に同相関系で配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の一方に接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の他方に接続され、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは接続されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１８】
第五の本発明は、前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に配置されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、
前記第１の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の下部バスバー電極とは接続されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１９】
第六の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極から構成されている第三の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２０】
第七の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極は、前記第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極の順に配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは同相関係で接続されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは、接続されている第六の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２１】
第八の本発明は、前記複数の電極指における、隣接する一対の電極指の実質上全ての組は、それぞれ同相関係にあり、
かつ前記複数の電極指の実質上全ては、それぞれの電荷が互いに他を打ち消し合わないように接続されている第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２２】
第九の本発明は、前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されており、
前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されてい
る第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２３】
第十の本発明は、前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は、前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分と接続されている第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２４】
第十一の本発明は、前記接続するとは、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の前記電極指のうち前記第２の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分にともに接続し、
一対の前記電極指のうち、前記第３の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とにともに接続することである第十の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２５】
第十二の本発明は、３個の前記ＩＤＴ電極は、第１、第２、及び第３のＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極の両側には、それぞれ前記第２のＩＤＴ電極及び前記第３のＩＤＴ電極が配置されており、
前記第２のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側、及び前記第３のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側にそれぞれ前記反射器電極が配置されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２６】
第十三の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の上部バスバー電極は、不平衡型端子に接続されており、その上部バスバー電極は接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の下部バスバー電極は、前記不平衡型端子に接続されており、その下部バスバー電極は接地されている第十二の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２７】
第十四の本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に配置された複数のＩＤＴ電極及び複数の反射器電極とを有する縦モード型の弾性表面波フィルタを複数個備え、
前記複数個の弾性表面波フィルタは、多段に接続されており、
前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタには、第一の本発明の弾性表面波フィルタが用いられており、前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタの前記圧電基板は、第一の本発明の弾性表面波フィルタの圧電基板が用いられている弾性表面波フィルタである。
【００２８】
第十五の本発明は、前記複数個とは２個であり、
前記複数個の弾性表面波フィルタとは、第１の弾性表面波フィルタ及び第２の弾性表面波フィルタであり、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも３個のＩＤＴ電極から構成されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、縦続きに接続されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも２個のＩＤＴ電極を用いて２箇所で接続されており、
前記ＩＤＴ電極の一方の信号の位相と、前記ＩＤＴ電極の他方の信号の位相とが逆相である第十四の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２９】
第十六の本発明は、２個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
２個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、第一の本発明のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３０】
第十七の本発明は、５個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
５個の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
５個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極は、第五の本発明のインターディジタルトランスデューサのＩＤＴ電極であり、
前記インターディジタルトランスデューサの前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記株ＩＤＴ電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３１】
第十八の本発明は、送信波を出力する送信回路と、
受信波を入力する受信回路とを備えた通信機器であって、
前記送信回路および／または前記受信回路には、第一の本発明の弾性表面波フィルタが用いられている通信機器である。
【００３２】
第十九の本発明は、圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子と、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、２つの分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記２つの分割ＩＤＴ電極の一方は上部バスバー電極で前記平衡型 端子に電気的に接続され、前記２つの分割ＩＤＴ電極の他の一方は下部電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、
前記２つの分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３３】
第二十の本発明は、前記圧電基板上に配置された不平衡型端子をさらに加え、
前記２つの分割ＩＤＴ電極を挟んで隣接配置された２つのＩＤＴ電極は、前記２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されており、
前記２つのＩＤＴ電極の一方の上部バスバー電極と、前記２つのＩＤＴ電極の他方の下部バスバー電極は前記不平衡型端子と電気的に接続されている第十九の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、本発明の実施の形態におけるインターディジタルトランスデューサ（以下ＩＤＴ電極と呼ぶ）についてその概要のみを説明する。
【００３６】
図１に、本発明の実施の形態におけるＩＤＴ電極２１０４を示す。ＩＤＴ電極２１０４は、圧電基板２１０１上に配置されており、圧電基板上を伝搬する弾性表面波を電気信号に変換し、また、電気信号を圧電基板上を伝搬する弾性表面波に変換する電極である。
【００３７】
ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ及び２１０４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのグループの接続により構成されている。
【００３８】
ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃはそれぞれ同相に配置されている。また、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃは接地される。
【００３９】
次に、このような本実施の形態の動作を説明する。
【００４０】
ＩＤＴ電極２１０４は圧電基板上を伝搬する弾性表面波を電気信号に変換して、平衡型出力端子Ｔ１及びＴ２に出力する。
【００４１】
また、これとは逆に平衡型出力端子Ｔ１及びＴ２を入力端子として使用することも出来る。この場合、ＩＤＴ電極２１０４はＴ１及びＴ２から入力された電気信号を圧電基板１０１上を伝搬する弾性表面波に変換する。
【００４２】
このように本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４は、電気信号を弾性表面波に変換することが出来、また弾性表面波を電気信号に変換することが出来る。
【００４３】
本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４を、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃに分割し、さらに第１、第２、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃそれぞれの電極指の本数比を変化させた場合、Ｔ１及びＴ２におけるインピーダンス値は変化するが、ＩＤＴ電極２１０４の周波数特性は殆ど変化しないという特徴を有している。
【００４４】
従ってＩＤＴ電極２１０４の電極指の本数や幅、電極指間の中心間隔などを調整することにより所望の周波数特性が得られた際、さらに、電極指の本数や幅、隣り合う電極指どうしの中心間隔などを固定したままで、ＩＤＴ電極２１０４の第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの電極指の本数比を調整するだけで、得られた所望の周波数特性を実質上変えることなくインピーダンスのみを変更することが出来る。このように本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４は、インピーダンスの制御が可能であるという優れた特徴を有する。
【００４５】
また、図２に、ＩＤＴ電極２１０４とは電極指の配置等が異なったＩＤＴ電極１８３ａを示す。ＩＤＴ１８３ａは、図１のＩＤＴ２１０４と同様に第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃのグループの接続により構成されている。
【００４６】
従って、図２のＩＤＴ電極１８３ａも図１のＩＤＴ２１０４と同様にインピーダンスの制御が可能であるという優れた特徴を有する。
【００４７】
次に、本発明のより詳しい各実施の形態について説明する。
【００４８】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１について説明する。
【００４９】
図３に、実施の形態１における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００５０】
図３において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【００５１】
このような各ＩＤＴ電極は、１対の対向する櫛形電極から構成されおり、各櫛形電極は、電極指と電極指の引き出し元である電極（上部電極または下部電極）とから構成されている。
【００５２】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極は入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの下部電極は接地されている。さらに図１９に示されるように、引き出し電極を用いることなく、出力ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ及び２１０４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃはそれぞれ同相に配置されている。また、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｃは接地される。さらに、図１９に示されるように、引き出し電極を用いることなく、上下バスバー電極に直接信号線を接続することにより、対称性の確保、寄生成分の低減が実現でき、平衡度を改善することができる。
【００５３】
ここで、上述した同相について説明する。
【００５４】
先ず、隣接する２つの電極指（即ち、隣接する一対の電極指）の構造的な配置関係について述べる。
【００５５】
即ち、隣接する２つの電極指が同相関係にあるとは、それら２つの電極指の一方が、上部電極と接続されて上側から下側へ向けて伸びており、他方が下部電極に接続されて下側から上側に向けて伸びている接続関係の状態にあることを言う。ここで、上側と下側の電極の電荷は異なるものとする。又、隣接する２つの電極指間のピッチ（中心間距離）は、１／２×λであるとする。尚、上記電極指間のピッチは、（ｍ＋１／２）×λでもよい。
【００５６】
一方、もしも、上記電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λである場合には上記同相関係は、その意味内容が上記説明と完全に逆転する。すなわち、隣接する２つの電極指が同相関係にあるとは、それらの電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λであり、かつ、それらの電極指の何れもが、上部電極と接続されているか、または隣接する２つの電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λであり、下部電極と接続されている関係にある場合を言う。ここで、λは励起された弾性表面波の波長であり、ｍ＝０，１，２，３，・・・であるとする。
【００５７】
なお、上述したように第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続され、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。このように平衡型出力端子の一端Ｔ１及び他端Ｔ２はそれぞれ上下逆側に接続されているので、上記同相関係にある隣接する２つの電極指がともに平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されている場合には、それぞれの電荷の正負が逆になる。また、上記同相関係にある隣接する２つの電極指のいずれか一方が平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されており、他方が接地されている上部電極または下部電極から引き出されている場合には、接地されている方の上部電極または下部電極から引き出されている電極指の電荷は、平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されている方の電極指の電荷を打ち消すことはない。従って、いずれの場合であっても、このような２つの電極指は、弾性表面波を互いに打ち消し合わないように励起するまたは弾性表面波を互いに打ち消し合わないように励振されることが出来る。
【００５８】
なお、全ての電極指は、実質上同相としているが、これは、間引き等により一部の電極指の配置が異なる場合があってもよいことを意味し、電極指全体として弾性表面波が励振される構成であればよいことを意味している。
【００５９】
また、このことは、実施の形態１のみならず、実施の形態１及び実施の形態１以降の各実施の形態でも同様である。
【００６０】
また、本実施の形態においては入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部電極より同方向に引き出されている構成としているが、この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００６１】
なお、本実施の形態の入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂ、出力ＩＤＴ電極２１０４はそれぞれ本発明のＩＤＴ電極の例であり、本実施の形態の入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂ、出力ＩＤＴ電極２１０４の各ＩＤＴ電極の上部電極及び下部電極はそれぞれ本発明の上部バスバー電極及び下部バスバー電極の例である。
【００６２】
以上のように構成される実施の形態１における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を説明する。
【００６３】
図４は実施の形態１の容量等価回路図であり、Ｃａ、ＣｂおよびＣｃはそれぞれ第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの容量であり、Ｃａ、ＣｂおよびＣｃの合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、以下の式で表される。すなわち、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとが直列に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂがそれらと並列に接続される構成となる。
【００６４】
【数１】
Ｃｏｕｔ＝（Ｃａ・Ｃｂ＋Ｃｂ・Ｃｃ＋Ｃｃ・Ｃａ）／（Ｃａ＋Ｃｃ）
ここで、出力ＩＤＴ電極２１０４に含まれる電極指の対数をＮとし、分割前の容量をＣ０、第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのそれぞれの対数をＮａ、Ｎｂ、Ｎｃとすると、次式が成り立つ。
【００６５】
【数２】
Ｎ＝Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ
Ｃ０＝Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ
Ｃａ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎａ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎａ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
Ｃｂ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎｂ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎｂ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
Ｃｃ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎｃ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎｃ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
よって、分割後の合成容量Ｃｏｕｔは以下のようになる。
【００６６】
【数３】
Ｃｏｕｔ＝Ｃ０×（Ｎａ・Ｎｂ＋Ｎｂ・Ｎｃ＋Ｎｃ・Ｎａ）／｛（Ｎａ＋Ｎｃ）×Ｎ｝
弾性表面波フィルタにおけるインピーダンスはＩＤＴ電極の容量が支配的であるので、すなわち、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃを変えることにより、入力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔを制御し、そして、インピーダンスを制御することが可能になる。
【００６７】
例えば、インピーダンスの制御は次のように行うことが出来る。まず、所望のフィルタ特性を得るために設計時に入力ＩＤＴ電極２１０４の対数Ｎ、電極指のピッチなどを決定する。次に、入力ＩＤＴ電極２１０４の対数Ｎを固定したままで、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃを変化させる。そうすると、数３から弾性表面波フィルタのインピーダンスを求めることが出来る。従って、数３を用いて所望のインピーダンスが得られるようなＮａ、Ｎｂ、Ｎｃを決定することが出来る。このように、Ｎを固定し、Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃの比を変えた場合には、弾性表面波フィルタのフィルタ特性は大きく変化しないことがわかっている。従って、本実施の形態の弾性表面波フィルタを用いることにより、所望のフィルタ特性を得るとともに、所望のインピーダンスを得るようにインピーダンスの制御を行うことが可能である。
【００６８】
例えば、分割前の出力ＩＤＴ電極のインピーダンスをＺ０、容量をＣ０とした場合、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ，２１０４ｃの対数が等しいときには、すなわちＮａ＝Ｎｂ＝Ｎｃとしたときには、Ｃｏｕｔは１／２×Ｃ０となり、Ｃｏｕｔは分割前の半分となる。また、数３から明らかなように、第２の分割ＩＤＴ電極の対数Ｎｂを少なくするにつれて、Ｃｏｕｔは減少し、第２の分割ＩＤＴ電極Ｎｂの対数Ｎｂを零にした場合には、Ｃｏｕｔは１／４×Ｃ０になる。すなわち、この場合にはインピーダンスは分割前のほぼ４倍になる。
【００６９】
従って、分割ＩＤＴ電極の対数比を変えることによりインピーダンスが制御可能な縦モード型の弾性表面波フィルタが得られる。
【００７０】
また、弾性表面波フィルタを実装する場合には、入力端子あるいは出力端子へ接続するためにパッド電極が必要となる。図５に示すのは、パッド電極を有する弾性表面波フィルタの概略図である。入力側パッド電極２３０１は引き回し電極２３０２ａ、２３０２ｂを介して入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂに接続される。また、第１、及び第２の出力側パッド電極２３０３ａ、２３０３ｂはそれぞれ出力ＩＤＴ電極の上側、及び下側に配置される。第１の出力側パッド電極２３０３ａは第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部バスバー電極２１０５ａと第２の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極２１０５ｂに接続され、第２の出力側パッド電極２３０３ｂは第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの下部バスバー電極２１０６ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部バスバー電極２１０６ｃに接続される。このように、出力側の平衡型端子Ｔ１、Ｔ２の構造の対称性を保つことにより、バランス特性の優れた弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【００７１】
なお、それぞれのパッド電極からの取り出しに関しては、ワイヤーを用いて取り出しても、フェースダウン実装によりパッド電極から直接取り出してもかまわない。
【００７２】
なお、図３においては、分割ＩＤＴ電極２１０４ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの電極指本数が同数であり、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部のバスバー電極より同方向に引き出されているとしたが、これは、図６に示すように、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれのバスバー電極から引き出され、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれのバスバー電極から引き出されていても、弾性表面波が打ち消されることなく励振される位置関係であれば、弾性表面波フィルタとしての特性は同様に得られる。
【００７３】
なお、第１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｃの分割対数を同数とし、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの上下の電極指の本数を同数とすれば、平衡型出力端子のそれぞれに接続されるＩＤＴ電極指の対数は同じとなり、このような構成とすることにより、平衡度に優れる弾性表面波フィルタが得られる。
【００７４】
なお、本実施の形態では、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂのそれぞれの上部のバスバー電極は入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂのそれぞれの下部のバスバー電極は接地されているとして説明したが、これに限らない。図１２に示すように、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部のバスバー電極とが入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの下部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部のバスバー電極とが接地されていても構わない。あるいは、逆に入力ＩＤＴ電極２１０２ａの下部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部のバスバー電極とが入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部のバスバー電極とが接地されていても構わない。すなわち、入力端子Ｓからの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び２１０２ｂにおける電極指の配置は弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。
【００７５】
また、図１２においては入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指はそれぞれ上部バスバー電極と下部バスバー電極より交差するように引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部電極より同方向に引き出されている。このため、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａ〜２１０４ｃとの接続が上下逆側となり、バランス特性改善効果が得られている。このような位置関係は電極指の本数などにより変わるものであるが、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００７６】
このような構成にすることにより、入力端子Ｓに接続される入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び２１０２ｂからの引き出し配線と出力端子Ｔ１、Ｔ２に接続されるＩＤＴ電極２１０４からの引き出し配線との空間的な結合による平衡度の劣化を抑えることができ、さらに良好な平衡度を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【００７７】
なお、分割ＩＤＴ電極を出力側として説明したが、これは入力側であっても同じである。この場合には、入力側のインピーダンスの制御が出来るものである。
【００７８】
また、本実施の形態では、出力ＩＤＴ電極２１０４が分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃに分割されているとして説明したが、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び／または入力ＩＤＴ電極２１０２ｂが、分割ＩＤＴ電極に分割されて平衡型端子構成としても構わない。この場合には、入力側と出力側の両方が平衡型端子となりインピーダンスが制御出来るものである。
【００７９】
なお、本実施の形態では、出力ＩＤＴ電極２１０４は、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの３つに分割されているとして説明したが、４つ、５つ、またはそれ以上の個数の分割ＩＤＴ電極に分割されていても構わない。
【００８０】
なお、出力ＩＤＴ電極２１０４が、２つの分割ＩＤＴ電極に分割されている場合、すなわち分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの電極指の本数が零の場合には、上部電極を平衡型端子Ｔ１に接続し、下部電極を平衡型端子Ｔ２に接続することが実現でき、平衡型端子間のアイソレーションを確保することが出来る。すなわち、図１３に出力ＩＤＴ電極２１０４が２つの分割ＩＤＴ電極に分割されている場合を示す。図１３では、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極とが不平衡型端子Ｓに接続される構成とすることにより、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの引き出し配線とＴ１、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの引き出し配線とＴ２の空間的な結合による平衡度の劣化を抑えることが出来る。
【００８１】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタは、出力ＩＤＴ電極２１０４が１個と、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂが２個の合計３個のＩＤＴ電極から構成されているとして説明したが、これに限らない。本実施の形態の弾性表面波フィルタは、２個、５個、７個など任意の個数のＩＤＴ電極から構成されていても構わない。
【００８２】
なお、本実施の形態においては、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの上部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの下部電極を共通化して一つとしてもかまわない。
【００８３】
また、図５に示したように、パッド電極２３０３ａ、２３０３ｂを用いる場合には、第１及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂを直接電気的に接続せず、パッド電極２３０３ａを介して電気的に接続させても構わない。同様に第２及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃを直接電気的に接続せず、パッド電極２３０３ｂを介して電気的に接続させても構わない。
【００８４】
また、分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａの接地の方法に関して、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの接地電極とは分離して、独立に接地しても構わないし、あるいは分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃと分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａとを実際に接地する代わりにそれらを電気的に接続することにより仮想接地としても構わない。なお、仮想接地とする場合とは、図４の容量等価回路で接地を除いた構成に相当する。これらの場合にはＧＮＤからの信号の回り込みによる特性劣化を抑えることが出来る。
【００８５】
また、本実施の形態においては、入力側を不平衡型とし、出力側を平衡型としているので、本実施の弾性表面波フィルタは平衡−不平衡の変換の役割も担うこととなる。すなわち、本実施の形態の弾性表面波フィルタはバランサーとしても機能することが出来る。
【００８６】
以上のように、本実施の弾性表面波フィルタは、平衡型端子を有するとともに、弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスも制御できるものである。
【００８７】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図７に、実施の形態２における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００８８】
図７において、２５０１は圧電基板であり、この圧電基板２５０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２５０１の上には、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂと反射器電極２５０３a、２５０３ｂと出力ＩＤＴ電極２５０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【００８９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２５０２ａの上部電極は一方の入力端子Ｓ１に接続され、入力ＩＤＴ電極２５０２ｂの上部電極は他方の入力端子Ｓ２に接続され、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂの下部電極は接地されている。本実施の形態２は入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂが平衡型となっている点で、実施の形態１と異なる。
【００９０】
また、Ｓ１とＳ２とは平衡型端子を構成し、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂにＳ１及びＳ２からそれぞれ入力される信号は互いに位相が逆相になっている。また、入力ＩＤＴ電極２５０２ａと分割ＩＤＴ電極２５０４ａの隣接する電極指はそれぞれ下部と上部のバスバー電極より交差するように引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２５０２ｂと分割ＩＤＴ電極２５０４ｃの隣接する電極指は上部のバスバー電極より同方向に引き出されている。この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００９１】
さらに、出力ＩＤＴ電極２５０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂ及び２５０４ｃの３つのグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２５０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｃとはそれぞれ同相に配置されている。第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｃは接地される。
【００９２】
以上のように構成される実施の形態２における弾性表面波フィルタは、実施の形態１と、入力端子が平衡型という点と、入力ＩＤＴ電極の配置についてのみ異なるだけであり、出力ＩＤＴ電極における分割の方法やその動作及び、効果に関しては同様である。
【００９３】
さらに、上記の構成においては、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂへの信号は逆相であるため、空間的な結合による特性劣化を抑えることが出来、入力ＩＤＴ２５０２ａ、２５０２ｂと出力ＩＤＴ２５０４との直接的な結合による平衡度の劣化を小さくすることができる。
【００９４】
なお、本実施の形態においては、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの上部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの下部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、実施の形態１と同様にパッド電極を用いる場合には、第１及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂを直接電気的に接続せず、実施の形態１と同様にパッド電極を介して電気的に接続させても構わない。同様に第２及び第３のＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃを実施の形態１と同様に直接電気的に接続せず、パッド電極を介して電気的に接続させても構わない。
【００９５】
また、分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける上部電極２５０５ｃ及び分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａの接地の方法に関して、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂの接地電極とは分離して、独立に接地するか、あるいは分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける上部電極２５０５ｃと分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａとを電気的に接続しても構わない。
【００９６】
このように、本実施の形態に関しては、上述の弾性表面波フィルタを左右対称の構成としても、得られる効果は同様である。
【００９７】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図８に、実施の形態３における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００９８】
図８において、２６０１は圧電基板であり、この圧電基板２６０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２６０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成され、この構成においては実施の形態１で示される弾性表面波フィルタと同様である。
【００９９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極は、反射器電極２６０２ａ、２６０２ｂとＩＤＴ電極２６０３とにより形成される弾性表面波共振子２６０４を直列に介して入力端子Ｓに接続される。さらに、弾性表面波共振子２６０４と入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極の間には、反射器電極２６０５ａ、２６０５ｂとＩＤＴ電極２６０６とにより形成される弾性表面波共振子２６０７が並列に接続され、弾性表面波共振子２６０７の一端は接地されている。
【０１００】
上述の弾性表面波における通過特性を図９に示す。図９（a）に分割前の構成、すなわち出力ＩＤＴ電極として図１９に示す従来構成を用いたときの通過特性を示す。図９（ａ）において、出力ＩＤＴの対数は１８対とし、出力インピーダンスは５０Ωに設計している。図９(ｂ)は、第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数をそれぞれ６対とし、出力インピーダンスを１００Ωと設計した時の特性である。図９の通過特性に関して、出力側のインピーダンスの条件は、（ａ）を５０Ω（ｂ）を１００Ωとして評価したときの結果である。図９（ｂ）において、出力ＩＤＴ電極の合成容量は分割前に比べて１／２の大きさとなり、インピーダンスは２倍の１００Ωとなる設計である。図９（ｂ）より分割ＩＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタの波形は、分割前の図９（ａ）とほぼ同等の通過特性を得ていながら、出力インピーダンスを変化させることを実現している。
【０１０１】
なお、本実施の形態においては、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと入力端子Ｓとの間に直列に弾性表面波共振子２６０４と並列に弾性表面波共振子２６０７を配置しているが、これは、図１０に示すように、縦モード型の弾性表面波フィルタを配置して、２段構成の弾性表面波フィルタとしても構わない。
【０１０２】
図１０において、２８０１は圧電基板であり、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２は入力ＩＤＴ電極２８０３と反射器電極２８０４a、２８０４ｂと出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂによって構成される。入力ＩＤＴ電極２８０３の上部電極は入力端子Ｓに接続され、下部電極は接地されている。出力ＩＤＴ電極２８０５ａの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２８０６の入力ＩＤＴ電極２１０２ａに接続される。また、出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２８０６の入力ＩＤＴ電極２１０２ｂに接続される。ここで、２段目の弾性表面波フィルタ２８０６は実施の形態１で示した図３の構成と同様の構成である。
【０１０３】
すなわち、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２の入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｃの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されている。この場合には、１段目の弾性表面波フィルタ２８０１の出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂからは同相信号が２段目の弾性表面波フィルタ２８０６に伝えられる。
【０１０４】
なお、ここで、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２の入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されているとしたが、これは、入力ＩＤＴ電極２８０５と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれの電極から引き出され、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれの電極から引き出されていても、出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂは弾性表面波が打ち消し合わない位相関係であれば、弾性表面波フィルタとしての特性は同様に得られる。
【０１０５】
また、この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【０１０６】
また、本実施の形態においては、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと入力端子Ｓとの間に直列に弾性表面波共振子２６０４と並列に弾性表面波共振子２６０７を配置しているが、図１１に示すように、縦モード型の弾性表面波フィルタを配置して、２段構成の弾性表面波フィルタとしても構わない。
【０１０７】
図１１において、２９０１は圧電基板であり、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２は入力ＩＤＴ電極２９０３と反射器電極２９０４a、２９０４ｂと出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂによって構成される。入力ＩＤＴ電極２９０３の上部電極は入力端子Ｓに接続され、下部電極は接地されている。出力ＩＤＴ電極２９０５ａの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２９０６の入力ＩＤＴ電極２５０２ａに接続される。また、出力ＩＤＴ電極２９０５ｂの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２９０６の入力ＩＤＴ電極２５０２ｂに接続される。ここで、２段目の弾性表面波フィルタ２９０６は実施の形態２で示した構成と同様の構成である。
【０１０８】
さらに、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂは逆相となるような位置関係となる。すなわち、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂからは逆相信号が２段目の弾性表面波フィルタ２９０６に伝えられる。
【０１０９】
以上のような構成とすることにより、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂからの信号は逆相となるため、２段目の弾性表面波フィルタまでの経路での空間的な結合による特性の劣化を抑えることができ、２段目の弾性表面波フィルタ２９０６における入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂと出力ＩＤＴ２５０４との直接的な結合による平衡度の劣化を小さくすることができる。
【０１１０】
なお、本実施の形態において、１段目と２段目の両方に、分割ＩＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタを配置することにより、入力側と出力側の両方のインピーダンスを制御することが可能となる。
【０１１１】
また、本発明の弾性表面波フィルタはインピーダンスの制御が可能であり、これを移動体通信機器に用いることにより、ＩＣなどのインピーダンス整合がとりやすくなり、高性能な通信機器を実現できる。
【０１１２】
このように、本実施の形態によれば、平衡型端子を有する入出力インピーダンスが制御可能な縦モード型弾性表面波フィルタを提供することができるという長所を有する。
【０１１３】
なお、本発明の弾性表面波フィルタを送信回路及び／または受信回路に用いた通信機器も本発明に属する。
【０１１４】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図１４に、実施の形態４における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１１５】
図１４において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと、出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１１６】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部電極は、ともに不平衡型の入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極はともに接地されている。
【０１１７】
また出力ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の４つに分割されており、４つの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２のグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１と第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃと第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２とは、それぞれ同相に配置されている。
【０１１８】
すなわち、出力ＩＤＴ電極２１０４は、実施の形態１の図１の出力ＩＤＴ電極２１０４の第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂをさらに２つに分割して分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２とし、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２をそれぞれ分割ＩＤＴ電極２１０４ａ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの外側に配置した構成である。
【０１１９】
また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の上部電極２１０５ｂ１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃ、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２は、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａ、及び第４のＩＤＴ電極２１０４ｂ２の下部電極２１０６ｂ２は、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１２０】
そして、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａ及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極は、ともに接地されている。
【０１２１】
以上のように構成される実施の形態４における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を説明する。
【０１２２】
図１５は実施の形態４の容量等価回路図であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、およびＣｂ２はそれぞれ第１、第２、第３、第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の容量であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、及びＣｂ２の合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、以下の式で表される。すなわち、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとが直列に接続され、第１の分割ＩＤＴ電極ｂ１及び第４の分割ＩＤＴ電極がそれぞれ、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとに対して並列に接続される構成となる。
【０１２３】
【数４】
Ｃｏｕｔ＝（Ｃａ・（Ｃｂ１＋Ｃｂ２）＋Ｃｂ・（Ｃｂ１＋Ｃｂ２） ・Ｃｃ＋Ｃｃ・Ｃａ）／（Ｃａ＋Ｃｃ）
ただし、図３の第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの電極指の対数と第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の電極指対の数と第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の電極指対との合計数とが等しいものとする。
【０１２４】
数４は、数１のＣｂの部分を（Ｃｂ１＋Ｃｂ２）に置き換えたものに相当する。従って、実施の形態１で説明したのと同様にして、本実施の形態の弾性表面波フィルタについても分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２それぞれの電極指の対数Ｎｂ１、Ｎａ、Ｎｃ、Ｎｂ２を変えることにより、入力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔを制御する、すなわち、インピーダンスを制御することが可能になる。
【０１２５】
これ以外は実施の形態１と同様であるので説明を省略する。
【０１２６】
なお、実施の形態４においても上記各実施の形態で説明した種々の変形例を適用できることはいうまでもない。
【０１２７】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図１６に、実施の形態５における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１２８】
図１６において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと、出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが実施の形態４と同様に形成されている。
【０１２９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部電極は、ともに不平衡型の入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極はともに接地されている。
【０１３０】
また出力ＩＤＴ電極２１０４は、実施の形態４と同様に第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の４つに分割されており、４つの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２のグループの接続により構成されている。
【０１３１】
また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の上部電極２１０５ｂ１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃ、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２は、電気的に接続されて、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａ、及び第４のＩＤＴ電極２１０４ｂ２の下部電極２１０６ｂ２は、電気的に接続されて、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１３２】
すなわち、実施の形態４とは異なり、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃと第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２とは電気的に接続されてから平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続されている。同様に、実施の形態４とは異なり、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１と第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａとは電気的に接続されてから平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１３３】
さらに、実施の形態４とは異なり、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａから引き出されている電極指のうち第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの電極指に隣接する電極指は、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃにも接続している。そして、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃから引き出されている電極指尾のうち第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの電極指に隣接している電極指は第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａにも接続している。
【０１３４】
すなわち、実施の形態５ではいずれの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２も接地されていない。
【０１３５】
以上のように構成される実施の形態５における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を実施の形態４との相違点を中心に説明する。
【０１３６】
図１７は実施の形態５の容量等価回路図であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、およびＣｂ２はそれぞれ第１、第２、第３、第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の容量であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、及びＣｂ２の合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、これは実施の形態４で示した数４で表される。
【０１３７】
すなわち、実施の形態５では、出力ＩＤＴ電極２１０４のいずれの分割ＩＤＴ電極をも接地しない代わりに、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃとを電気的に接続することによって、仮想接地を実現した。
【０１３８】
従って、実施の形態４と同等の効果を得ることが出来ることに加え、さらに、本実施の形態では、ＩＤＴ電極２１０４のいずれの分割ＩＤＴ電極も接地されていないので、信号の接地からの回り込みによる特性劣化をも防ぐことが出来、特にバランス特性を改善することが出来る。
【０１３９】
なお、実施の形態５においても上記各実施の形態で説明した種々の変形例を適用できることはいうまでもない。
【０１４０】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタを左右対称の構成としても、得られる効果は同様である。
【０１４１】
なお、本発明の圧電基板は、単結晶の圧電材料から形成されるものであっても構わないし、所定の基板上に圧電材料の薄膜を形成した基板であっても構わない。また、単結晶の圧電材料とは、例えば、ＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、水晶や、その他にＬｉ2Ｂ4Ｏ7などを用いることができ、薄膜として用いる圧電材料としては、ＺｎＯ系薄膜、ＡｌＮ等を用いることが出来る。また、所定の基板上に圧電材料の薄膜を形成した基板とは、例えばシリコン基板上にダイアモンド薄膜を形成し、その後ＺｎＯなどの圧電材料をスパッタリングなどにより成膜して圧電材料の薄膜にした基板である。
【０１４２】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６の通信機器について図面を参照にして説明する。
【０１４３】
図１８に示すのは、本発明の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを用いた通信機器１００１のブロック図である。図１８において、送信回路から出力される送信信号は、送信増幅器１００２、送信フィルタ１００３、スイッチ１００４を介してアンテナ１００５より送信される。また、アンテナ１００５より受信された受信信号は、スイッチ１００４、受信フィルタ１００６、受信増幅器１００７を介して受信回路に入力される。
【０１４４】
ここで、送信増幅器１００２は平衡型であり、スイッチ１００４は不平衡型であるので、送信フィルタ１００３は不平衡−平衡型端子を有する構成となる，また，受信増幅器１００７は平衡型であり、スイッチ１００４は不平衡型であるので、受信フィルタ１００６は不平衡−平衡型端子を有する構成となる。
【０１４５】
本発明の実施の形態の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを通信機器１００１の送信フィルタ１００３、または受信フィルタ１００６に適用することにより、バランス特性の劣化による送信時の変調精度劣化を抑えることができ、また．バランス特性の劣化による受信時の感度劣化を抑えることができ、高性能な通信機器を実現することができる。
【０１４６】
なお、本実施の形態６において、送信フィルタ１００３、 受信フィルタ１００６を不平衡−平衡型として説明したが、これはスイッチ１００４が平衡型の場合には、送信フィルタ１００３、受信フィルタ１００６を平衡型とすればよい。
【０１４７】
また、スイッチ１００４が平衡型であり、送信増幅器１００２または受信増幅器１００７が不平衡型の場合には、送信フィルタ１００３または受信フィルタ１００６の平衡型と不平衡型の入出力端子を入れ替えることにより同様の効果が得られる。
【０１４８】
また、通信機器１００１において、送信と受信とを切り換える手段としてスイッチ１００４を用いて説明したが，これは共用器であってもかまわない。
【０１４９】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタは、平衡型端子間に整合回路としてのインダクタンスを付加することなく、インピーダンス整合が可能となる。従って、本実施の形態の弾性表面波フィルタを移動体通信機器に適用することにより移動体通信機器のさらなる小型化を実現することが出来る。
【０１５０】
また、本発明における圧電基板としては、ＳＴカット水晶やＬｉＴａＯ3，ＬｉＮｂＯ3，Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7,Ｌａ3Ｇａ3ＳｉＯ14等を基板として使用することができる。また、電極材料としては、膜厚制御の容易な比較的密度の小さいアルミニウムを用いるのが好ましいが、金電極の使用も可能である。
【０１５１】
さらに、本発明は、上述した様な弾性表面波のみでなく、弾性表面波の一種である、すべり波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｋｉｍｍｉｎｇ Ｂａｌｋ Ｗａｖｅ）や擬似表面波（Ｐｓｅｕｄｏ ｓｕｆａｃｅ ｗａｖｅｓ）等を利用した共振器にも適用できる。
【０１５２】
【発明の効果】
以上説明したところから明らかなように、本発明は、良好な平衡度を有し、入出力インピーダンスの制御が可能な弾性表面波フィルタ及び通信機器を提供することが出来る。
【０１５３】
また、本発明は、所望の入出力インピーダンスを有するインターディジタルトランスデューサ、弾性表面波フィルタ、及び通信機器を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるインターディジタルトランスデューサの概要を示
す構成図
【図２】本発明の実施の形態におけるもう一つのインターディジタルトランスデューサ
の概要を示す構成図
【図３】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成図
【図４】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図５】本発明の実施の形態１におけるパッド電極を有する弾性表面波フィルタの構成
図
【図６】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図７】本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの構成図
【図８】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの構成図
【図９】（ａ）従来の弾性表面波フィルタの構成図
（ｂ）本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの構成図
【図１０】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１１】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１２】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１３】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１４】本発明の実施の形態４における弾性表面波フィルタの構成図
【図１５】本発明の実施の形態４における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図１６】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの構成図
【図１７】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図１８】本発明の実施の形態６における通信機器の構成を示す図
【図１９】従来の弾性表面波フィルタの構成図
【図２０】従来の横モード型弾性表面波フィルタの構成図
【符号の説明】
１８４ａ 第１の分割ＩＤＴ電極
１８４ｂ 第２の分割ＩＤＴ電極
１８４ｃ 第３の分割ＩＤＴ電極
２１０１ 圧電基板
２１０２ａ、２１０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２１０３ａ、２１０３ｂ 反射器電極
２１０４ 出力ＩＤＴ電極
２１０４ａ 第１の分割ＩＤＴ電極
２１０４ｂ 第２の分割ＩＤＴ電極
２１０４ｃ 第３の分割ＩＤＴ電極
２１０５ａ、２１０５ｂ、２１０５ｃ 上部電極
２１０６ａ、２１０６ｂ、２１０６ｃ 下部電極
２３０１ 入力側パッド電極
２３０３ａ 第１の出力側パッド電極
２３０３ｂ 第２の出力側パッド電極
２３０２ａ、２３０２ｂ 引き回し配線
２５０１ 圧電基板
２５０２ａ、２５０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２５０３ａ、２５０３ｂ 反射器電極
２５０４ 出力ＩＤＴ電極
２５０４ａ、２５０４ｂ、２５０４ｃ 分割ＩＤＴ電極
２５０５ａ、２５０５ｂ、２５０５ｃ 上部電極
２５０６ａ、２５０６ｂ、２５０６ｃ 下部電極
２６０１ 圧電基板
２６０２ａ、２６０２ｂ 反射器電極
２６０３ ＩＤＴ電極
２６０４ 弾性表面波共振子
２６０５ａ、２６０５ｂ 反射器電極
２６０６ ＩＤＴ電極
２６０７ 弾性表面波共振子
２８０１ 弾性表面波共振子
２８０２ １段目の弾性表面波フィルタ
２８０３ 入力ＩＤＴ電極
２８０４ａ、２８０４ｂ 反射器電極
２８０５ａ、２８０５ｂ 出力ＩＤＴ電極
２８０６ ２段目の弾性表面波フィルタ
２９０１ 圧電基板
２９０２ １段目の弾性表面波フィルタ
２９０３ 入力ＩＤＴ電極
２９０４ａ、２９０４ｂ 反射器電極
２９０５ａ、２９０５ｂ 出力ＩＤＴ電極
２９０６ ２段目の弾性表面波フィルタ
２５０２ａ、２５０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２５０４ 出力ＩＤＴ電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子とを備え、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、３つ以上の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記分割ＩＤＴ電極は前記平衡型端子に電気的に接続され、
少なくとも２つの前記分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されており、残りの前記分割ＩＤＴ電極の少なくとも１つの分割ＩＤＴ電極は、前記少なくとも２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２】前記複数の分割ＩＤＴ電極それぞれの電極指の本数の比は、所定のインピーダンス値を有するように予め調整されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】前記複数の分割ＩＤＴ電極はそれぞれ互いに他の前記分割ＩＤＴ電極の電荷を打ち消し合わないように、同相関係及び／または逆相関係に配置されている請求項２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に同相関系で配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の一方に接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の他方に接続され、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは接続されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に配置されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、
前記第１の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の下部バスバー電極とは接続されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】前記複数の分割ＩＤＴ電極は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極から構成されている請求項３記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項７】前記複数の分割ＩＤＴ電極は、前記第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極の順に配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは同相関係で接続されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは、接続されている請求項６記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項８】前記複数の電極指における、隣接する一対の電極指の実質上全ての組は、それぞれ同相関係にあり、
かつ前記複数の電極指の実質上全ては、それぞれの電荷が互いに他を打ち消し合わないように接続されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項９】前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されており、
前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１０】前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は、前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分と接続されている請求項７記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】前記接続するとは、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の前記電極指のうち前記第２の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分にともに接続し、
一対の前記電極指のうち、前記第３の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とにともに接続することである請求項１０記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１２】３個の前記ＩＤＴ電極は、第１、第２、及び第３のＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極の両側には、それぞれ前記第２のＩＤＴ電極及び前記第３のＩＤＴ電極が配置されており、
前記第２のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側、及び前記第３のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側にそれぞれ前記反射器電極が配置されている請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１３】前記第２のＩＤＴ電極の上部バスバー電極は、不平衡型端子に接続されており、その上部バスバー電極は接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の下部バスバー電極は、前記不平衡型端子に接続されており、その下部バスバー電極は接地されている請求項１２記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１４】圧電基板と、前記圧電基板上に配置された複数のＩＤＴ電極及び複数の反射器電極とを有する縦モード型の弾性表面波フィルタを複数個備え、
前記複数個の弾性表面波フィルタは、多段に接続されており、
前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタには、請求項１記載の弾性表面波フィルタが用いられており、前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタの前記圧電基板は、請求項１記載の弾性表面波フィルタの圧電基板が用いられている弾性表面波フィルタ。
【請求項１５】前記複数個とは２個であり、
前記複数個の弾性表面波フィルタとは、第１の弾性表面波フィルタ及び第２の弾性表面波フィルタであり、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも３個のＩＤＴ電極から構成されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、縦続きに接続されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも２個のＩＤＴ電極を用いて２箇所で接続されており、
前記ＩＤＴ電極の一方の信号の位相と、前記ＩＤＴ電極の他方の信号の位相とが逆相である請求項１４記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１６】２個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
２個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、請求項１記載のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項１７】５個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
５個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、請求項１記載のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項１８】送信波を出力する送信回路と、
受信波を入力する受信回路とを備えた通信機器であって、
前記送信回路および／または前記受信回路には、請求項１記載の弾性表面波フィルタが用いられている通信機器。
【請求項１９】圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子と、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、２つの分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記２つの分割ＩＤＴ電極の一方は上部バスバー電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、前記２つの分割ＩＤＴ電極の他の一方は下部電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、
前記２つの分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されている弾性表面波フィルタ。
【請求項２０】前記圧電基板上に配置された不平衡型端子をさらに加え、
前記２つの分割ＩＤＴ電極を挟んで隣接配置された２つのＩＤＴ電極は、前記２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されており、
前記２つのＩＤＴ電極の一方の上部バスバー電極と、前記２つのＩＤＴ電極の他方の下部バスバー電極は前記不平衡型端子と電気的に接続されている請求項１９記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平衡型端子を有する縦モード型弾性表面波フィルタ、及びそれを用いた通信機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
弾性表面波（ＳＡＷ）を用いたエレクトロメカニカル機能部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであり、波のエネルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することからハードウェアの高密度化の流れの中で注目され、インタディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ電極）電極の開発と薄膜作成技術、表面加工技術の進歩によって、レーダ用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタなどに実用化され、現在では、無線通信機器送受信回路のＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されている。
【０００３】
近年、対雑音特性の良好化を目的としてＩＣなどの半導体部品の平衡化が進み、ＲＦ段に使用される弾性表面波フィルタにおいても平衡化が求められている。
また、近年では、前後に配置されるＩＣとのインピーダンス整合の観点から、弾性表面波のインピーダンスを制御することが求められている。従来より、ＲＦ段のフィルタとしては、縦モード型の弾性表面波フィルタが広く用いられている。
【０００４】
以下、従来の平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタについて説明する。
【０００５】
図１９に従来の平衡型入出力端子を有する縦モード型の弾性表面波フィルタの構成を示す。図１９において、弾性表面波フィルタは、圧電基板１００１上に、入力ＩＤＴ電極１００２ａ、１００２ｂと反射器電極１００３ａ、１００３ｂと出力ＩＤＴ電極１００４を形成することにより構成される。入力ＩＤＴ電極１００２ａ、１００２ｂの同じ側の電極指を入力端子ＩＮに接続し、他方を接地する。また、出力ＩＤＴ電極１００４の上側の電極指は一方の出力端子ＯＵＴ１に接続され、出力ＩＤＴ電極１００４の下側の電極指は他方の出力端子ＯＵＴ２に接続される。以上の構成とすることにより平衡型の出力端子を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【０００６】
これに対して、ＩＦ段に使用される横モード型の弾性表面波フィルタにおいては、特開平１０−２６１９３７でインピーダンスの制御が可能となることが示されている。図２０に横モード型弾性表面波フィルタにおける従来の構成を示す。
【０００７】
図２０において、１１０１は圧電基板であり、この圧電基板１１０１の上に、ＩＤＴ電極１１０２ａと反射器電極１１０２ｂ、１１０２ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第１の弾性表面波共振器が形成されている。また、圧電基板１１０１の上には、ＩＤＴ電極１１０３ａと反射器電極１１０３ｂ、１１０３ｃとによって構成されるエネルギー閉じこめ型の第２の弾性表面波共振器が形成されている。第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極１１０３ａは、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ａ、１１０４ｂ及び１１０４ｃの３つのグループの接続により構成されている。第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ａ、１１０４ｂ及び１１０４ｃは、すべて同相に配置されるとともに、第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの上部電極と第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの上部電極が接続され、第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの下部電極と第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの下部電極が接続されることにより、第２の弾性表面波共振器を構成するＩＤＴ電極１１０３ａ が形成される。そして、これら２個の第１及び第２の弾性表面波共振器は 近接して配置されており、その間に音響結合が生じることによって、弾性表面波フィルタが構成される。
【０００８】
さらに、ＩＤＴ電極１１０２ａの上部電極および下部電極はそれぞれ平衡型入力端子ＩＮに接続されている。また、ＩＤＴ電極１１０３ａを構成する第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの上部電極および第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの上部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの一方に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極１１０４ｂの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの下部電極は平衡型出力端子ＯＵＴの他方に接続され、第１の分割ＩＤＴ電極１１０４ａの下部電極および第３の分割ＩＤＴ電極１１０４ｃの上部電極は接地されることにより平衡型入出力端子を形成する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１９の縦モード型の弾性表面波フィルタでは、フィルタ特性が所望のものになるように設計すると、設計したフィルタ特性に応じて平衡側のインピーダンスもほぼ決まってしまい、設計の自由度が少ない。
【００１０】
すなわち、上述の弾性表面波フィルタにおいては、平衡側のインピーダンスは電極指の本数と上下の電極指の交差する長さ等によりほぼ決定されるため、所望のインピーダンスとフィルタ特性を得るのには構造上の限界があるという課題があった。
【００１１】
また、図２０の横モード型の弾性表面波フィルタは狭帯域な特性を有しており、広帯域な特性を必要とするＲＦ段のフィルタには適していない。さらに、上述の構成においては、２個の第１及び第２の弾性表面波共振器を近接配置する必要があるため、平衡型端子をそれぞれの上部電極あるいは下部電極から引き出す必要があり、ＩＤＴ電極を完全な対称構造とすることができなかった。これは、現在、主流となっているＰＤＣやＧＳＭ、あるいはＤＣＳなどの、特に、周波数が８００ＭＨｚ帯や２ＧＨｚ帯のシステムにおけるＲＦ段のフィルタに適用する場合には、この非対称性、及び引き出し電極による寄生成分の影響から平衡型端子の平衡度が劣化するという課題があった。
【００１２】
すなわち、図２０の横モード型弾性表面波フィルタでは、狭帯域のフィルタ特性しか得られず、また、ＲＦ段のフィルタとして用いた場合には平衡度が劣化するという課題があった。
【００１３】
本発明は、上記従来のこのような課題を克服し、良好な平衡度を有し、入出力インピーダンスの制御が可能な弾性表面波フィルタ及び通信機器を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
第一の本発明は、圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子とを備え、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、３つ以上の分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記分割ＩＤＴ電極は前記平衡型端子に電気的に接続され、
少なくとも２つの前記分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されており、残りの前記分割ＩＤＴ電極の少なくとも１つの分割ＩＤＴ電極は、前記少なくとも２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続される弾性表面波フィルタである。
【００１５】
第二の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極それぞれの電極指の本数の比は、
所定のインピーダンス値を有するように予め調整されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１６】
第三の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極はそれぞれ互いに他の前記分割ＩＤＴ電極の電荷を打ち消し合わないように、同相関係及び／または逆相関係に配置されている第二の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１７】
第四の本発明は、前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に同相関系で配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の一方に接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが前記平衡型端子の他方に接続され、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは接続されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１８】
第五の本発明は、前記第２の分割ＩＤＴ電極は、前記第１の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極との間に配置されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、かつ前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とが接続され、
前記第１の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極の下部バスバー電極とは接続されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００１９】
第六の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極から構成されている第三の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２０】
第七の本発明は、前記複数の分割ＩＤＴ電極は、前記第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極の順に配置されており、
前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記上部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは同相関係で接続されており、
前記下部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と、前記下部バスバー電極の前記第４の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とは、接続されている第六の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２１】
第八の本発明は、前記複数の電極指における、隣接する一対の電極指の実質上全ての組は、それぞれ同相関係にあり、
かつ前記複数の電極指の実質上全ては、それぞれの電荷が互いに他を打ち消し合わないように接続されている第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２２】
第九の本発明は、前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されており、
前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分は接地されてい
る第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２３】
第十の本発明は、前記上部バスバー電極の前記第２のＩＤＴ電極に対応する部分は、前記下部バスバー電極の前記第３のＩＤＴ電極に対応する部分と接続されている第七の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２４】
第十一の本発明は、前記接続するとは、前記第２の分割ＩＤＴ電極と前記第３の分割ＩＤＴ電極とが隣接する部位の一対の前記電極指のうち前記第２の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分にともに接続し、
一対の前記電極指のうち、前記第３の分割ＩＤＴ電極の電極指を前記下部電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分と前記上部電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分とにともに接続することである第十の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２５】
第十二の本発明は、３個の前記ＩＤＴ電極は、第１、第２、及び第３のＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極の両側には、それぞれ前記第２のＩＤＴ電極及び前記第３のＩＤＴ電極が配置されており、
前記第２のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側、及び前記第３のＩＤＴ電極の前記第１のＩＤＴ電極とは逆側にそれぞれ前記反射器電極が配置されている第一の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２６】
第十三の本発明は、前記第２のＩＤＴ電極の上部バスバー電極は、不平衡型端子に接続されており、その上部バスバー電極は接地されており、
前記第３のＩＤＴ電極の下部バスバー電極は、前記不平衡型端子に接続されており、その下部バスバー電極は接地されている第十二の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２７】
第十四の本発明は、圧電基板と、前記圧電基板上に配置された複数のＩＤＴ電極及び複数の反射器電極とを有する縦モード型の弾性表面波フィルタを複数個備え、
前記複数個の弾性表面波フィルタは、多段に接続されており、
前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタには、第一の本発明の弾性表面波フィルタが用いられており、前記複数個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも入力側の弾性表面波フィルタ及び／または出力側の弾性表面波フィルタの前記圧電基板は、第一の本発明の弾性表面波フィルタの圧電基板が用いられている弾性表面波フィルタである。
【００２８】
第十五の本発明は、前記複数個とは２個であり、
前記複数個の弾性表面波フィルタとは、第１の弾性表面波フィルタ及び第２の弾性表面波フィルタであり、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも３個のＩＤＴ電極から構成されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、縦続きに接続されており、
前記第１、及び第２の弾性表面波フィルタは、それぞれ少なくとも２個のＩＤＴ電極を用いて２箇所で接続されており、
前記ＩＤＴ電極の一方の信号の位相と、前記ＩＤＴ電極の他方の信号の位相とが逆相である第十四の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００２９】
第十六の本発明は、２個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
２個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極には、第一の本発明のＩＤＴ電極が用いられており、
前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の下部バスバー電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３０】
第十七の本発明は、５個の前記ＩＤＴ電極によって構成され、
５個の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
５個の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１個のＩＤＴ電極は、第五の本発明のインターディジタルトランスデューサのＩＤＴ電極であり、
前記インターディジタルトランスデューサの前記ＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第１の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記上部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は平衡型端子の一端に接続されており、
前記ＩＤＴ電極の前記下部バスバー電極の前記第２の分割ＩＤＴ電極に対応する部分及び／またはそのＩＤＴ電極の前記株ＩＤＴ電極の前記第３の分割ＩＤＴ電極に対応する部分は前記平衡型端子の他端に接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３１】
第十八の本発明は、送信波を出力する送信回路と、
受信波を入力する受信回路とを備えた通信機器であって、
前記送信回路および／または前記受信回路には、第一の本発明の弾性表面波フィルタが用いられている通信機器である。
【００３２】
第十九の本発明は、圧電基板と、
前記圧電基板上に配置され、一対の互いに対向して配置された上部バスバー電極及び下部バスバー電極、及びそれぞれ、その上部バスバー電極及び下部バスバー電極のいずれかのバスバー電極から、そのいずれかのバスバー電極とは異なる方のバスバー電極の側に引き出された電極指複数を有するインターディジタルトランスデューサ電極であるＩＤＴ電極複数と、
前記圧電基板上に配置された複数の反射器電極と、
前記圧電基板上に配置された平衡型端子と、
複数の前記ＩＤＴ電極及び複数の前記反射器電極をそれぞれ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置した縦モード型の弾性表面波フィルタであって、
複数の前記ＩＤＴ電極のうち少なくとも１つのＩＤＴ電極は、２つの分割ＩＤＴ電極により構成されており、前記２つの分割ＩＤＴ電極の一方は上部バスバー電極で前記平衡型 端子に電気的に接続され、前記２つの分割ＩＤＴ電極の他の一方は下部電極で前記平衡型端子に電気的に接続され、
前記２つの分割ＩＤＴ電極は、等価的に直列接続されている弾性表面波フィルタである。
【００３３】
第二十の本発明は、前記圧電基板上に配置された不平衡型端子をさらに加え、
前記２つの分割ＩＤＴ電極を挟んで隣接配置された２つのＩＤＴ電極は、前記２つの分割ＩＤＴ電極に並列に接続されており、
前記２つのＩＤＴ電極の一方の上部バスバー電極と、前記２つのＩＤＴ電極の他方の下部バスバー電極は前記不平衡型端子と電気的に接続されている第十九の本発明の弾性表面波フィルタである。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３５】
まず、本発明の実施の形態におけるインターディジタルトランスデューサ（以下ＩＤＴ電極と呼ぶ）についてその概要のみを説明する。
【００３６】
図１に、本発明の実施の形態におけるＩＤＴ電極２１０４を示す。ＩＤＴ電極２１０４は、圧電基板２１０１上に配置されており、圧電基板上を伝搬する弾性表面波を電気信号に変換し、また、電気信号を圧電基板上を伝搬する弾性表面波に変換する電極である。
【００３７】
ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ及び２１０４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのグループの接続により構成されている。
【００３８】
ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃはそれぞれ同相に配置されている。また、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃは接地される。
【００３９】
次に、このような本実施の形態の動作を説明する。
【００４０】
ＩＤＴ電極２１０４は圧電基板上を伝搬する弾性表面波を電気信号に変換して、平衡型出力端子Ｔ１及びＴ２に出力する。
【００４１】
また、これとは逆に平衡型出力端子Ｔ１及びＴ２を入力端子として使用することも出来る。この場合、ＩＤＴ電極２１０４はＴ１及びＴ２から入力された電気信号を圧電基板１０１上を伝搬する弾性表面波に変換する。
【００４２】
このように本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４は、電気信号を弾性表面波に変換することが出来、また弾性表面波を電気信号に変換することが出来る。
【００４３】
本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４を、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃに分割し、さらに第１、第２、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃそれぞれの電極指の本数比を変化させた場合、Ｔ１及びＴ２におけるインピーダンス値は変化するが、ＩＤＴ電極２１０４の周波数特性は殆ど変化しないという特徴を有している。
【００４４】
従ってＩＤＴ電極２１０４の電極指の本数や幅、電極指間の中心間隔などを調整することにより所望の周波数特性が得られた際、さらに、電極指の本数や幅、隣り合う電極指どうしの中心間隔などを固定したままで、ＩＤＴ電極２１０４の第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの電極指の本数比を調整するだけで、得られた所望の周波数特性を実質上変えることなくインピーダンスのみを変更することが出来る。このように本実施の形態のＩＤＴ電極２１０４は、インピーダンスの制御が可能であるという優れた特徴を有する。
【００４５】
また、図２に、ＩＤＴ電極２１０４とは電極指の配置等が異なったＩＤＴ電極１８３ａを示す。ＩＤＴ１８３ａは、図１のＩＤＴ２１０４と同様に第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極１８４ａ、１８４ｂ、１８４ｃのグループの接続により構成されている。
【００４６】
従って、図２のＩＤＴ電極１８３ａも図１のＩＤＴ２１０４と同様にインピーダンスの制御が可能であるという優れた特徴を有する。
【００４７】
次に、本発明のより詳しい各実施の形態について説明する。
【００４８】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１について説明する。
【００４９】
図３に、実施の形態１における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００５０】
図３において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【００５１】
このような各ＩＤＴ電極は、１対の対向する櫛形電極から構成されおり、各櫛形電極は、電極指と電極指の引き出し元である電極（上部電極または下部電極）とから構成されている。
【００５２】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極は入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの下部電極は接地されている。さらに図１９に示されるように、引き出し電極を用いることなく、出力ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ及び２１０４ｃの３つに分割されており、３つの分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃはそれぞれ同相に配置されている。また、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｃは接地される。さらに、図１９に示されるように、引き出し電極を用いることなく、上下バスバー電極に直接信号線を接続することにより、対称性の確保、寄生成分の低減が実現でき、平衡度を改善することができる。
【００５３】
ここで、上述した同相について説明する。
【００５４】
先ず、隣接する２つの電極指（即ち、隣接する一対の電極指）の構造的な配置関係について述べる。
【００５５】
即ち、隣接する２つの電極指が同相関係にあるとは、それら２つの電極指の一方が、上部電極と接続されて上側から下側へ向けて伸びており、他方が下部電極に接続されて下側から上側に向けて伸びている接続関係の状態にあることを言う。ここで、上側と下側の電極の電荷は異なるものとする。又、隣接する２つの電極指間のピッチ（中心間距離）は、１／２×λであるとする。尚、上記電極指間のピッチは、（ｍ＋１／２）×λでもよい。
【００５６】
一方、もしも、上記電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λである場合には上記同相関係は、その意味内容が上記説明と完全に逆転する。すなわち、隣接する２つの電極指が同相関係にあるとは、それらの電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λであり、かつ、それらの電極指の何れもが、上部電極と接続されているか、または隣接する２つの電極指間のピッチが（ｍ＋１）×λであり、下部電極と接続されている関係にある場合を言う。ここで、λは励起された弾性表面波の波長であり、ｍ＝０，１，２，３，・・・であるとする。
【００５７】
なお、上述したように第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続され、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。このように平衡型出力端子の一端Ｔ１及び他端Ｔ２はそれぞれ上下逆側に接続されているので、上記同相関係にある隣接する２つの電極指がともに平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されている場合には、それぞれの電荷の正負が逆になる。また、上記同相関係にある隣接する２つの電極指のいずれか一方が平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されており、他方が接地されている上部電極または下部電極から引き出されている場合には、接地されている方の上部電極または下部電極から引き出されている電極指の電荷は、平衡型端子に接続された上部電極または下部電極から引き出されている方の電極指の電荷を打ち消すことはない。従って、いずれの場合であっても、このような２つの電極指は、弾性表面波を互いに打ち消し合わないように励起するまたは弾性表面波を互いに打ち消し合わないように励振されることが出来る。
【００５８】
なお、全ての電極指は、実質上同相としているが、これは、間引き等により一部の電極指の配置が異なる場合があってもよいことを意味し、電極指全体として弾性表面波が励振される構成であればよいことを意味している。
【００５９】
また、このことは、実施の形態１のみならず、実施の形態１及び実施の形態１以降の各実施の形態でも同様である。
【００６０】
また、本実施の形態においては入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部電極より同方向に引き出されている構成としているが、この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００６１】
なお、本実施の形態の入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂ、出力ＩＤＴ電極２１０４はそれぞれ本発明のＩＤＴ電極の例であり、本実施の形態の入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂ、出力ＩＤＴ電極２１０４の各ＩＤＴ電極の上部電極及び下部電極はそれぞれ本発明の上部バスバー電極及び下部バスバー電極の例である。
【００６２】
以上のように構成される実施の形態１における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を説明する。
【００６３】
図４は実施の形態１の容量等価回路図であり、Ｃａ、ＣｂおよびＣｃはそれぞれ第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの容量であり、Ｃａ、ＣｂおよびＣｃの合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、以下の式で表される。すなわち、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとが直列に接続され、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂがそれらと並列に接続される構成となる。
【００６４】
【数１】
Ｃｏｕｔ＝（Ｃａ・Ｃｂ＋Ｃｂ・Ｃｃ＋Ｃｃ・Ｃａ）／（Ｃａ＋Ｃｃ）
ここで、出力ＩＤＴ電極２１０４に含まれる電極指の対数をＮとし、分割前の容量をＣ０、第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃのそれぞれの対数をＮａ、Ｎｂ、Ｎｃとすると、次式が成り立つ。
【００６５】
【数２】
Ｎ＝Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ
Ｃ０＝Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ
Ｃａ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎａ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎａ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
Ｃｂ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎｂ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎｂ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
Ｃｃ＝（Ｃａ＋Ｃｂ＋Ｃｃ）×Ｎｃ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）＝Ｃ０×Ｎｃ／（Ｎａ＋Ｎｂ＋Ｎｃ）
よって、分割後の合成容量Ｃｏｕｔは以下のようになる。
【００６６】
【数３】
Ｃｏｕｔ＝Ｃ０×（Ｎａ・Ｎｂ＋Ｎｂ・Ｎｃ＋Ｎｃ・Ｎａ）／｛（Ｎａ＋Ｎｃ）×Ｎ｝
弾性表面波フィルタにおけるインピーダンスはＩＤＴ電極の容量が支配的であるので、すなわち、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃを変えることにより、入力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔを制御し、そして、インピーダンスを制御することが可能になる。
【００６７】
例えば、インピーダンスの制御は次のように行うことが出来る。まず、所望のフィルタ特性を得るために設計時に入力ＩＤＴ電極２１０４の対数Ｎ、電極指のピッチなどを決定する。次に、入力ＩＤＴ電極２１０４の対数Ｎを固定したままで、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃを変化させる。そうすると、数３から弾性表面波フィルタのインピーダンスを求めることが出来る。従って、数３を用いて所望のインピーダンスが得られるようなＮａ、Ｎｂ、Ｎｃを決定することが出来る。このように、Ｎを固定し、Ｎａ、Ｎｂ、Ｎｃの比を変えた場合には、弾性表面波フィルタのフィルタ特性は大きく変化しないことがわかっている。従って、本実施の形態の弾性表面波フィルタを用いることにより、所望のフィルタ特性を得るとともに、所望のインピーダンスを得るようにインピーダンスの制御を行うことが可能である。
【００６８】
例えば、分割前の出力ＩＤＴ電極のインピーダンスをＺ０、容量をＣ０とした場合、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ，２１０４ｃの対数が等しいときには、すなわちＮａ＝Ｎｂ＝Ｎｃとしたときには、Ｃｏｕｔは１／２×Ｃ０となり、Ｃｏｕｔは分割前の半分となる。また、数３から明らかなように、第２の分割ＩＤＴ電極の対数Ｎｂを少なくするにつれて、Ｃｏｕｔは減少し、第２の分割ＩＤＴ電極Ｎｂの対数Ｎｂを零にした場合には、Ｃｏｕｔは１／４×Ｃ０になる。すなわち、この場合にはインピーダンスは分割前のほぼ４倍になる。
【００６９】
従って、分割ＩＤＴ電極の対数比を変えることによりインピーダンスが制御可能な縦モード型の弾性表面波フィルタが得られる。
【００７０】
また、弾性表面波フィルタを実装する場合には、入力端子あるいは出力端子へ接続するためにパッド電極が必要となる。図５に示すのは、パッド電極を有する弾性表面波フィルタの概略図である。入力側パッド電極２３０１は引き回し電極２３０２ａ、２３０２ｂを介して入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂに接続される。また、第１、及び第２の出力側パッド電極２３０３ａ、２３０３ｂはそれぞれ出力ＩＤＴ電極の上側、及び下側に配置される。第１の出力側パッド電極２３０３ａは第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部バスバー電極２１０５ａと第２の分割ＩＤＴ電極の上部バスバー電極２１０５ｂに接続され、第２の出力側パッド電極２３０３ｂは第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの下部バスバー電極２１０６ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部バスバー電極２１０６ｃに接続される。このように、出力側の平衡型端子Ｔ１、Ｔ２の構造の対称性を保つことにより、バランス特性の優れた弾性表面波フィルタを実現することが出来る。
【００７１】
なお、それぞれのパッド電極からの取り出しに関しては、ワイヤーを用いて取り出しても、フェースダウン実装によりパッド電極から直接取り出してもかまわない。
【００７２】
なお、図３においては、分割ＩＤＴ電極２１０４ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの電極指本数が同数であり、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部のバスバー電極より同方向に引き出されているとしたが、これは、図６に示すように、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれのバスバー電極から引き出され、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれのバスバー電極から引き出されていても、弾性表面波が打ち消されることなく励振される位置関係であれば、弾性表面波フィルタとしての特性は同様に得られる。
【００７３】
なお、第１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｃの分割対数を同数とし、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの上下の電極指の本数を同数とすれば、平衡型出力端子のそれぞれに接続されるＩＤＴ電極指の対数は同じとなり、このような構成とすることにより、平衡度に優れる弾性表面波フィルタが得られる。
【００７４】
なお、本実施の形態では、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂのそれぞれの上部のバスバー電極は入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂのそれぞれの下部のバスバー電極は接地されているとして説明したが、これに限らない。図１２に示すように、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部のバスバー電極とが入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの下部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部のバスバー電極とが接地されていても構わない。あるいは、逆に入力ＩＤＴ電極２１０２ａの下部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部のバスバー電極とが入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部のバスバー電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部のバスバー電極とが接地されていても構わない。すなわち、入力端子Ｓからの信号経路は構造的に上下逆側からの接続となる。また、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び２１０２ｂにおける電極指の配置は弾性表面波が打ち消し合わないような構成となる。
【００７５】
また、図１２においては入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａの隣接する電極指はそれぞれ上部バスバー電極と下部バスバー電極より交差するように引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂと分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの隣接する電極指は上部電極より同方向に引き出されている。このため、入力ＩＤＴ電極２１０２ａと分割ＩＤＴ電極２１０４ａ〜２１０４ｃとの接続が上下逆側となり、バランス特性改善効果が得られている。このような位置関係は電極指の本数などにより変わるものであるが、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００７６】
このような構成にすることにより、入力端子Ｓに接続される入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び２１０２ｂからの引き出し配線と出力端子Ｔ１、Ｔ２に接続されるＩＤＴ電極２１０４からの引き出し配線との空間的な結合による平衡度の劣化を抑えることができ、さらに良好な平衡度を有する弾性表面波フィルタが得られる。
【００７７】
なお、分割ＩＤＴ電極を出力側として説明したが、これは入力側であっても同じである。この場合には、入力側のインピーダンスの制御が出来るものである。
【００７８】
また、本実施の形態では、出力ＩＤＴ電極２１０４が分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃに分割されているとして説明したが、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び／または入力ＩＤＴ電極２１０２ｂが、分割ＩＤＴ電極に分割されて平衡型端子構成としても構わない。この場合には、入力側と出力側の両方が平衡型端子となりインピーダンスが制御出来るものである。
【００７９】
なお、本実施の形態では、出力ＩＤＴ電極２１０４は、分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの３つに分割されているとして説明したが、４つ、５つ、またはそれ以上の個数の分割ＩＤＴ電極に分割されていても構わない。
【００８０】
なお、出力ＩＤＴ電極２１０４が、２つの分割ＩＤＴ電極に分割されている場合、すなわち分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの電極指の本数が零の場合には、上部電極を平衡型端子Ｔ１に接続し、下部電極を平衡型端子Ｔ２に接続することが実現でき、平衡型端子間のアイソレーションを確保することが出来る。すなわち、図１３に出力ＩＤＴ電極２１０４が２つの分割ＩＤＴ電極に分割されている場合を示す。図１３では、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極と入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極とが不平衡型端子Ｓに接続される構成とすることにより、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの引き出し配線とＴ１、入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの引き出し配線とＴ２の空間的な結合による平衡度の劣化を抑えることが出来る。
【００８１】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタは、出力ＩＤＴ電極２１０４が１個と、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂが２個の合計３個のＩＤＴ電極から構成されているとして説明したが、これに限らない。本実施の形態の弾性表面波フィルタは、２個、５個、７個など任意の個数のＩＤＴ電極から構成されていても構わない。
【００８２】
なお、本実施の形態においては、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの上部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの下部電極を共通化して一つとしてもかまわない。
【００８３】
また、図５に示したように、パッド電極２３０３ａ、２３０３ｂを用いる場合には、第１及び第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂにおける上部電極２１０５ａ、２１０５ｂを直接電気的に接続せず、パッド電極２３０３ａを介して電気的に接続させても構わない。同様に第２及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ、２１０４ｃにおける下部電極２１０６ｂ、２１０６ｃを直接電気的に接続せず、パッド電極２３０３ｂを介して電気的に接続させても構わない。
【００８４】
また、分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａの接地の方法に関して、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの接地電極とは分離して、独立に接地しても構わないし、あるいは分割ＩＤＴ電極２１０４ｃにおける上部電極２１０５ｃと分割ＩＤＴ電極２１０４ａにおける下部電極２１０６ａとを実際に接地する代わりにそれらを電気的に接続することにより仮想接地としても構わない。なお、仮想接地とする場合とは、図４の容量等価回路で接地を除いた構成に相当する。これらの場合にはＧＮＤからの信号の回り込みによる特性劣化を抑えることが出来る。
【００８５】
また、本実施の形態においては、入力側を不平衡型とし、出力側を平衡型としているので、本実施の弾性表面波フィルタは平衡−不平衡の変換の役割も担うこととなる。すなわち、本実施の形態の弾性表面波フィルタはバランサーとしても機能することが出来る。
【００８６】
以上のように、本実施の弾性表面波フィルタは、平衡型端子を有するとともに、弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスも制御できるものである。
【００８７】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図７に、実施の形態２における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００８８】
図７において、２５０１は圧電基板であり、この圧電基板２５０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２５０１の上には、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂと反射器電極２５０３a、２５０３ｂと出力ＩＤＴ電極２５０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【００８９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２５０２ａの上部電極は一方の入力端子Ｓ１に接続され、入力ＩＤＴ電極２５０２ｂの上部電極は他方の入力端子Ｓ２に接続され、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂの下部電極は接地されている。本実施の形態２は入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂが平衡型となっている点で、実施の形態１と異なる。
【００９０】
また、Ｓ１とＳ２とは平衡型端子を構成し、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂにＳ１及びＳ２からそれぞれ入力される信号は互いに位相が逆相になっている。また、入力ＩＤＴ電極２５０２ａと分割ＩＤＴ電極２５０４ａの隣接する電極指はそれぞれ下部と上部のバスバー電極より交差するように引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２５０２ｂと分割ＩＤＴ電極２５０４ｃの隣接する電極指は上部のバスバー電極より同方向に引き出されている。この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【００９１】
さらに、出力ＩＤＴ電極２５０４は、第１、第２および第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂ及び２５０４ｃの３つのグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２５０４ａと第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂと第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｃとはそれぞれ同相に配置されている。第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂは電気的に接続され、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃは電気的に接続され、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｃは接地される。
【００９２】
以上のように構成される実施の形態２における弾性表面波フィルタは、実施の形態１と、入力端子が平衡型という点と、入力ＩＤＴ電極の配置についてのみ異なるだけであり、出力ＩＤＴ電極における分割の方法やその動作及び、効果に関しては同様である。
【００９３】
さらに、上記の構成においては、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂへの信号は逆相であるため、空間的な結合による特性劣化を抑えることが出来、入力ＩＤＴ２５０２ａ、２５０２ｂと出力ＩＤＴ２５０４との直接的な結合による平衡度の劣化を小さくすることができる。
【００９４】
なお、本実施の形態においては、第１、及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの上部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃは電気的に接続されるとしたが、これはそれぞれの下部電極を共通化して一つとしてもかまわない。また、実施の形態１と同様にパッド電極を用いる場合には、第１及び第２の分割ＩＤＴ電極２５０４ａ、２５０４ｂにおける上部電極２５０５ａ、２５０５ｂを直接電気的に接続せず、実施の形態１と同様にパッド電極を介して電気的に接続させても構わない。同様に第２及び第３のＩＤＴ電極２５０４ｂ、２５０４ｃにおける下部電極２５０６ｂ、２５０６ｃを実施の形態１と同様に直接電気的に接続せず、パッド電極を介して電気的に接続させても構わない。
【００９５】
また、分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける上部電極２５０５ｃ及び分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａの接地の方法に関して、入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂの接地電極とは分離して、独立に接地するか、あるいは分割ＩＤＴ電極２５０４ｃにおける上部電極２５０５ｃと分割ＩＤＴ電極２５０４ａにおける下部電極２５０６ａとを電気的に接続しても構わない。
【００９６】
このように、本実施の形態に関しては、上述の弾性表面波フィルタを左右対称の構成としても、得られる効果は同様である。
【００９７】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図８に、実施の形態３における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【００９８】
図８において、２６０１は圧電基板であり、この圧電基板２６０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２６０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成され、この構成においては実施の形態１で示される弾性表面波フィルタと同様である。
【００９９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極は、反射器電極２６０２ａ、２６０２ｂとＩＤＴ電極２６０３とにより形成される弾性表面波共振子２６０４を直列に介して入力端子Ｓに接続される。さらに、弾性表面波共振子２６０４と入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂの上部電極の間には、反射器電極２６０５ａ、２６０５ｂとＩＤＴ電極２６０６とにより形成される弾性表面波共振子２６０７が並列に接続され、弾性表面波共振子２６０７の一端は接地されている。
【０１００】
上述の弾性表面波における通過特性を図９に示す。図９（a）に分割前の構成、すなわち出力ＩＤＴ電極として図１９に示す従来構成を用いたときの通過特性を示す。図９（ａ）において、出力ＩＤＴの対数は１８対とし、出力インピーダンスは５０Ωに設計している。図９(ｂ)は、第１、第２、及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、２１０４ｂ、２１０４ｃの対数をそれぞれ６対とし、出力インピーダンスを１００Ωと設計した時の特性である。図９の通過特性に関して、出力側のインピーダンスの条件は、（ａ）を５０Ω（ｂ）を１００Ωとして評価したときの結果である。図９（ｂ）において、出力ＩＤＴ電極の合成容量は分割前に比べて１／２の大きさとなり、インピーダンスは２倍の１００Ωとなる設計である。図９（ｂ）より分割ＩＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタの波形は、分割前の図９（ａ）とほぼ同等の通過特性を得ていながら、出力インピーダンスを変化させることを実現している。
【０１０１】
なお、本実施の形態においては、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと入力端子Ｓとの間に直列に弾性表面波共振子２６０４と並列に弾性表面波共振子２６０７を配置しているが、これは、図１０に示すように、縦モード型の弾性表面波フィルタを配置して、２段構成の弾性表面波フィルタとしても構わない。
【０１０２】
図１０において、２８０１は圧電基板であり、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２は入力ＩＤＴ電極２８０３と反射器電極２８０４a、２８０４ｂと出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂによって構成される。入力ＩＤＴ電極２８０３の上部電極は入力端子Ｓに接続され、下部電極は接地されている。出力ＩＤＴ電極２８０５ａの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２８０６の入力ＩＤＴ電極２１０２ａに接続される。また、出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２８０６の入力ＩＤＴ電極２１０２ｂに接続される。ここで、２段目の弾性表面波フィルタ２８０６は実施の形態１で示した図３の構成と同様の構成である。
【０１０３】
すなわち、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２の入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｃの隣接する電極指は下部のバスバー電極より同方向に引き出されている。この場合には、１段目の弾性表面波フィルタ２８０１の出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂからは同相信号が２段目の弾性表面波フィルタ２８０６に伝えられる。
【０１０４】
なお、ここで、１段目の弾性表面波フィルタ２８０２の入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されており、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの隣接する電極指は下部電極より同方向に引き出されているとしたが、これは、入力ＩＤＴ電極２８０５と出力ＩＤＴ電極２８０５ａの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれの電極から引き出され、かつ、入力ＩＤＴ電極２８０３と出力ＩＤＴ電極２８０５ｂの隣接する電極指はお互いに交差するようにそれぞれの電極から引き出されていても、出力ＩＤＴ電極２８０５ａ、２８０５ｂは弾性表面波が打ち消し合わない位相関係であれば、弾性表面波フィルタとしての特性は同様に得られる。
【０１０５】
また、この位置関係は電極指の本数などにより変わるものであり、この位置関係とは異なった位置関係であってもよく、弾性表面波がうち消されることなく励振される位相関係でありさえすればよい。
【０１０６】
また、本実施の形態においては、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと入力端子Ｓとの間に直列に弾性表面波共振子２６０４と並列に弾性表面波共振子２６０７を配置しているが、図１１に示すように、縦モード型の弾性表面波フィルタを配置して、２段構成の弾性表面波フィルタとしても構わない。
【０１０７】
図１１において、２９０１は圧電基板であり、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２は入力ＩＤＴ電極２９０３と反射器電極２９０４a、２９０４ｂと出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂによって構成される。入力ＩＤＴ電極２９０３の上部電極は入力端子Ｓに接続され、下部電極は接地されている。出力ＩＤＴ電極２９０５ａの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２９０６の入力ＩＤＴ電極２５０２ａに接続される。また、出力ＩＤＴ電極２９０５ｂの上部電極は接地され、下部電極は２段目の弾性表面波フィルタ２９０６の入力ＩＤＴ電極２５０２ｂに接続される。ここで、２段目の弾性表面波フィルタ２９０６は実施の形態２で示した構成と同様の構成である。
【０１０８】
さらに、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂは逆相となるような位置関係となる。すなわち、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂからは逆相信号が２段目の弾性表面波フィルタ２９０６に伝えられる。
【０１０９】
以上のような構成とすることにより、１段目の弾性表面波フィルタ２９０２の出力ＩＤＴ電極２９０５ａ、２９０５ｂからの信号は逆相となるため、２段目の弾性表面波フィルタまでの経路での空間的な結合による特性の劣化を抑えることができ、２段目の弾性表面波フィルタ２９０６における入力ＩＤＴ電極２５０２ａ、２５０２ｂと出力ＩＤＴ２５０４との直接的な結合による平衡度の劣化を小さくすることができる。
【０１１０】
なお、本実施の形態において、１段目と２段目の両方に、分割ＩＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタを配置することにより、入力側と出力側の両方のインピーダンスを制御することが可能となる。
【０１１１】
また、本発明の弾性表面波フィルタはインピーダンスの制御が可能であり、これを移動体通信機器に用いることにより、ＩＣなどのインピーダンス整合がとりやすくなり、高性能な通信機器を実現できる。
【０１１２】
このように、本実施の形態によれば、平衡型端子を有する入出力インピーダンスが制御可能な縦モード型弾性表面波フィルタを提供することができるという長所を有する。
【０１１３】
なお、本発明の弾性表面波フィルタを送信回路及び／または受信回路に用いた通信機器も本発明に属する。
【０１１４】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図１４に、実施の形態４における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１１５】
図１４において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと、出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが形成されている。
【０１１６】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部電極は、ともに不平衡型の入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極はともに接地されている。
【０１１７】
また出力ＩＤＴ電極２１０４は、第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の４つに分割されており、４つの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２のグループの接続により構成されている。ここで、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１と第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａ、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃと第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２とは、それぞれ同相に配置されている。
【０１１８】
すなわち、出力ＩＤＴ電極２１０４は、実施の形態１の図１の出力ＩＤＴ電極２１０４の第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂをさらに２つに分割して分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２とし、分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２をそれぞれ分割ＩＤＴ電極２１０４ａ及び分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの外側に配置した構成である。
【０１１９】
また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の上部電極２１０５ｂ１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃ、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２は、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａ、及び第４のＩＤＴ電極２１０４ｂ２の下部電極２１０６ｂ２は、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１２０】
そして、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａ及び第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極は、ともに接地されている。
【０１２１】
以上のように構成される実施の形態４における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を説明する。
【０１２２】
図１５は実施の形態４の容量等価回路図であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、およびＣｂ２はそれぞれ第１、第２、第３、第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の容量であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、及びＣｂ２の合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、以下の式で表される。すなわち、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとが直列に接続され、第１の分割ＩＤＴ電極ｂ１及び第４の分割ＩＤＴ電極がそれぞれ、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃとに対して並列に接続される構成となる。
【０１２３】
【数４】
Ｃｏｕｔ＝（Ｃａ・（Ｃｂ１＋Ｃｂ２）＋Ｃｂ・（Ｃｂ１＋Ｃｂ２） ・Ｃｃ＋Ｃｃ・Ｃａ）／（Ｃａ＋Ｃｃ）
ただし、図３の第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂの電極指の対数と第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の電極指対の数と第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の電極指対との合計数とが等しいものとする。
【０１２４】
数４は、数１のＣｂの部分を（Ｃｂ１＋Ｃｂ２）に置き換えたものに相当する。従って、実施の形態１で説明したのと同様にして、本実施の形態の弾性表面波フィルタについても分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２それぞれの電極指の対数Ｎｂ１、Ｎａ、Ｎｃ、Ｎｂ２を変えることにより、入力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔを制御する、すなわち、インピーダンスを制御することが可能になる。
【０１２５】
これ以外は実施の形態１と同様であるので説明を省略する。
【０１２６】
なお、実施の形態４においても上記各実施の形態で説明した種々の変形例を適用できることはいうまでもない。
【０１２７】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５の弾性表面波フィルタについて図面を参照して説明する。図１６に、実施の形態５における弾性表面波フィルタの概略図を示す。
【０１２８】
図１６において、２１０１は圧電基板であり、この圧電基板２１０１の上に、周期構造ストリップライン状に交差する櫛型電極パターンを構成することによって、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板２１０１の上には、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ、２１０２ｂと反射器電極２１０３a、２１０３ｂと、出力ＩＤＴ電極２１０４によって構成される縦モード型の弾性表面波フィルタが実施の形態４と同様に形成されている。
【０１２９】
上述の弾性表面波フィルタにおいて、入力ＩＤＴ電極２１０２ａの上部電極及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの上部電極は、ともに不平衡型の入力端子Ｓに接続され、入力ＩＤＴ電極２１０２ａ及び入力ＩＤＴ電極２１０２ｂの下部電極はともに接地されている。
【０１３０】
また出力ＩＤＴ電極２１０４は、実施の形態４と同様に第１、第２、第３、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の４つに分割されており、４つの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２のグループの接続により構成されている。
【０１３１】
また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の上部電極２１０５ｂ１、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃ、及び第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２は、電気的に接続されて、平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続される。また、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａ、及び第４のＩＤＴ電極２１０４ｂ２の下部電極２１０６ｂ２は、電気的に接続されて、平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１３２】
すなわち、実施の形態４とは異なり、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの上部電極２１０５ｃと第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ２の上部電極２１０５ｂ２とは電気的に接続されてから平衡型出力端子の一端Ｔ１に接続されている。同様に、実施の形態４とは異なり、第１の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１の下部電極２１０６ｂ１と第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの下部電極２１０６ａとは電気的に接続されてから平衡型出力端子の他端Ｔ２に接続されている。
【０１３３】
さらに、実施の形態４とは異なり、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａから引き出されている電極指のうち第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの電極指に隣接する電極指は、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃにも接続している。そして、第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃから引き出されている電極指尾のうち第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの電極指に隣接している電極指は第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａにも接続している。
【０１３４】
すなわち、実施の形態５ではいずれの分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２も接地されていない。
【０１３５】
以上のように構成される実施の形態５における弾性表面波フィルタについて、以下、その動作を実施の形態４との相違点を中心に説明する。
【０１３６】
図１７は実施の形態５の容量等価回路図であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、およびＣｂ２はそれぞれ第１、第２、第３、第４の分割ＩＤＴ電極２１０４ｂ１、２１０４ａ、２１０４ｃ、２１０４ｂ２の容量であり、Ｃｂ１、Ｃａ、Ｃｃ、及びＣｂ２の合成容量が出力ＩＤＴ電極２１０４の総容量Ｃｏｕｔとなり、これは実施の形態４で示した数４で表される。
【０１３７】
すなわち、実施の形態５では、出力ＩＤＴ電極２１０４のいずれの分割ＩＤＴ電極をも接地しない代わりに、第２の分割ＩＤＴ電極２１０４ａの上部電極２１０５ａと第３の分割ＩＤＴ電極２１０４ｃの下部電極２１０６ｃとを電気的に接続することによって、仮想接地を実現した。
【０１３８】
従って、実施の形態４と同等の効果を得ることが出来ることに加え、さらに、本実施の形態では、ＩＤＴ電極２１０４のいずれの分割ＩＤＴ電極も接地されていないので、信号の接地からの回り込みによる特性劣化をも防ぐことが出来、特にバランス特性を改善することが出来る。
【０１３９】
なお、実施の形態５においても上記各実施の形態で説明した種々の変形例を適用できることはいうまでもない。
【０１４０】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタを左右対称の構成としても、得られる効果は同様である。
【０１４１】
なお、本発明の圧電基板は、単結晶の圧電材料から形成されるものであっても構わないし、所定の基板上に圧電材料の薄膜を形成した基板であっても構わない。また、単結晶の圧電材料とは、例えば、ＬｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3、水晶や、その他にＬｉ2Ｂ4Ｏ7などを用いることができ、薄膜として用いる圧電材料としては、ＺｎＯ系薄膜、ＡｌＮ等を用いることが出来る。また、所定の基板上に圧電材料の薄膜を形成した基板とは、例えばシリコン基板上にダイアモンド薄膜を形成し、その後ＺｎＯなどの圧電材料をスパッタリングなどにより成膜して圧電材料の薄膜にした基板である。
【０１４２】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６の通信機器について図面を参照にして説明する。
【０１４３】
図１８に示すのは、本発明の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを用いた通信機器１００１のブロック図である。図１８において、送信回路から出力される送信信号は、送信増幅器１００２、送信フィルタ１００３、スイッチ１００４を介してアンテナ１００５より送信される。また、アンテナ１００５より受信された受信信号は、スイッチ１００４、受信フィルタ１００６、受信増幅器１００７を介して受信回路に入力される。
【０１４４】
ここで、送信増幅器１００２は平衡型であり、スイッチ１００４は不平衡型であるので、送信フィルタ１００３は不平衡−平衡型端子を有する構成となる，また，受信増幅器１００７は平衡型であり、スイッチ１００４は不平衡型であるので、受信フィルタ１００６は不平衡−平衡型端子を有する構成となる。
【０１４５】
本発明の実施の形態の弾性表面波フィルタ、または平衡型フィルタを通信機器１００１の送信フィルタ１００３、または受信フィルタ１００６に適用することにより、バランス特性の劣化による送信時の変調精度劣化を抑えることができ、また．バランス特性の劣化による受信時の感度劣化を抑えることができ、高性能な通信機器を実現することができる。
【０１４６】
なお、本実施の形態６において、送信フィルタ１００３、 受信フィルタ１００６を不平衡−平衡型として説明したが、これはスイッチ１００４が平衡型の場合には、送信フィルタ１００３、受信フィルタ１００６を平衡型とすればよい。
【０１４７】
また、スイッチ１００４が平衡型であり、送信増幅器１００２または受信増幅器１００７が不平衡型の場合には、送信フィルタ１００３または受信フィルタ１００６の平衡型と不平衡型の入出力端子を入れ替えることにより同様の効果が得られる。
【０１４８】
また、通信機器１００１において、送信と受信とを切り換える手段としてスイッチ１００４を用いて説明したが，これは共用器であってもかまわない。
【０１４９】
なお、本実施の形態の弾性表面波フィルタは、平衡型端子間に整合回路としてのインダクタンスを付加することなく、インピーダンス整合が可能となる。従って、本実施の形態の弾性表面波フィルタを移動体通信機器に適用することにより移動体通信機器のさらなる小型化を実現することが出来る。
【０１５０】
また、本発明における圧電基板としては、ＳＴカット水晶やＬｉＴａＯ3，ＬｉＮｂＯ3，Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7,Ｌａ3Ｇａ3ＳｉＯ14等を基板として使用することができる。また、電極材料としては、膜厚制御の容易な比較的密度の小さいアルミニウムを用いるのが好ましいが、金電極の使用も可能である。
【０１５１】
さらに、本発明は、上述した様な弾性表面波のみでなく、弾性表面波の一種である、すべり波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｋｉｍｍｉｎｇ Ｂａｌｋ Ｗａｖｅ）や擬似表面波（Ｐｓｅｕｄｏ ｓｕｆａｃｅ ｗａｖｅｓ）等を利用した共振器にも適用できる。
【０１５２】
【発明の効果】
以上説明したところから明らかなように、本発明は、良好な平衡度を有し、入出力インピーダンスの制御が可能な弾性表面波フィルタ及び通信機器を提供することが出来る。
【０１５３】
また、本発明は、所望の入出力インピーダンスを有するインターディジタルトランスデューサ、弾性表面波フィルタ、及び通信機器を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるインターディジタルトランスデューサの概要を示
す構成図
【図２】本発明の実施の形態におけるもう一つのインターディジタルトランスデューサ
の概要を示す構成図
【図３】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの構成図
【図４】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図５】本発明の実施の形態１におけるパッド電極を有する弾性表面波フィルタの構成
図
【図６】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図７】本発明の実施の形態２における弾性表面波フィルタの構成図
【図８】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの構成図
【図９】（ａ）従来の弾性表面波フィルタの構成図
（ｂ）本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの構成図
【図１０】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１１】本発明の実施の形態３における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１２】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１３】本発明の実施の形態１における弾性表面波フィルタの他の構成図
【図１４】本発明の実施の形態４における弾性表面波フィルタの構成図
【図１５】本発明の実施の形態４における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図１６】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの構成図
【図１７】本発明の実施の形態５における弾性表面波フィルタの容量等価回路図
【図１８】本発明の実施の形態６における通信機器の構成を示す図
【図１９】従来の弾性表面波フィルタの構成図
【図２０】従来の横モード型弾性表面波フィルタの構成図
【符号の説明】
１８４ａ 第１の分割ＩＤＴ電極
１８４ｂ 第２の分割ＩＤＴ電極
１８４ｃ 第３の分割ＩＤＴ電極
２１０１ 圧電基板
２１０２ａ、２１０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２１０３ａ、２１０３ｂ 反射器電極
２１０４ 出力ＩＤＴ電極
２１０４ａ 第１の分割ＩＤＴ電極
２１０４ｂ 第２の分割ＩＤＴ電極
２１０４ｃ 第３の分割ＩＤＴ電極
２１０５ａ、２１０５ｂ、２１０５ｃ 上部電極
２１０６ａ、２１０６ｂ、２１０６ｃ 下部電極
２３０１ 入力側パッド電極
２３０３ａ 第１の出力側パッド電極
２３０３ｂ 第２の出力側パッド電極
２３０２ａ、２３０２ｂ 引き回し配線
２５０１ 圧電基板
２５０２ａ、２５０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２５０３ａ、２５０３ｂ 反射器電極
２５０４ 出力ＩＤＴ電極
２５０４ａ、２５０４ｂ、２５０４ｃ 分割ＩＤＴ電極
２５０５ａ、２５０５ｂ、２５０５ｃ 上部電極
２５０６ａ、２５０６ｂ、２５０６ｃ 下部電極
２６０１ 圧電基板
２６０２ａ、２６０２ｂ 反射器電極
２６０３ ＩＤＴ電極
２６０４ 弾性表面波共振子
２６０５ａ、２６０５ｂ 反射器電極
２６０６ ＩＤＴ電極
２６０７ 弾性表面波共振子
２８０１ 弾性表面波共振子
２８０２ １段目の弾性表面波フィルタ
２８０３ 入力ＩＤＴ電極
２８０４ａ、２８０４ｂ 反射器電極
２８０５ａ、２８０５ｂ 出力ＩＤＴ電極
２８０６ ２段目の弾性表面波フィルタ
２９０１ 圧電基板
２９０２ １段目の弾性表面波フィルタ
２９０３ 入力ＩＤＴ電極
２９０４ａ、２９０４ｂ 反射器電極
２９０５ａ、２９０５ｂ 出力ＩＤＴ電極
２９０６ ２段目の弾性表面波フィルタ
２５０２ａ、２５０２ｂ 入力ＩＤＴ電極
２５０４ 出力ＩＤＴ電極
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