JP2003083783A - フローモニター - Google Patents

フローモニター

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JP2003083783A
JP2003083783A JP2001273566A JP2001273566A JP2003083783A JP 2003083783 A JP2003083783 A JP 2003083783A JP 2001273566 A JP2001273566 A JP 2001273566A JP 2001273566 A JP2001273566 A JP 2001273566A JP 2003083783 A JP2003083783 A JP 2003083783A
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Japan
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straight pipe
flow monitor
rod
shaped
ring
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JP2001273566A
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English (en)
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Kimihito Sasao
起美仁 笹尾
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Advance Denki Kogyo KK
Original Assignee
Advance Denki Kogyo KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造加工が簡単かつ容易で精度が高く、分解
して洗浄等のメンテナンスや部品交換も容易で、フッ素
系樹脂による加工も可能で、加えて不純物の溶出や微塵
の混入がない新規な構造のフローモニターを提供する。 【解決手段】 流体Fが下方から上方へ流通するように
上下方向に配置された直管11内に、上側に行くに従っ
て断面積が小さくなる形状変化部21を有する棒状部材
20を立設し、棒状部材の外周に流体内で上下動自在な
輪状フロート30を配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、流体の流通の確
認又はその流量を測定するフローモニターに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば配管内を流れる液体や気体からな
る流体の流れを確認しまたはその量を測定するために、
図14に示すような、フローモニター200が流体の配
管P中に付設される。このフローモニター200は、流
体Fの流れ方向(上側)が広くなるテーパー管210内
にフロート220を配置し下側流入部202から上側流
出部203へ流体Fを流し、テーパー管210内に生ず
る差圧を利用してフロート220を該テーパー管210
内に浮上させ、その浮上位置によって流体の流れを確認
したりその流量を測定するものである。図において符号
201はカバー体、204はフロート220の座205
を有する下側封止部材、206はフロート220の上昇
限度を規定するストッパ、207は上側封止部材、20
8は流量を調節するためのニードルバルブである。
【0003】このフローモニター200に用いられるテ
ーパー管210は、その加工精度がモニターの精度に直
接関わるものであるから、合成樹脂の射出成形加工や切
削加工したものが多く用いられているが、テーパー状の
管体加工は容易ではなく煩雑でコスト高となる嫌いがあ
る。なお、ガラス製のテ−パー管が使用されることもあ
るが、上の加工上の問題に加えてガラス製は衝撃に弱く
その取り扱いに相当な注意が必要となる。一方におい
て、図示のように、テーパー管210の上下には封止部
材204,207を設ける必要があり、構造上接着や溶
接を必要とするため、分解して洗浄等のメンテナンスや
部品交換ができないという問題がある。
【0004】ところで、超純水や高純度薬液、医薬品等
の流体にあっては、その配管ラインには耐液性・耐蝕性
に優れるフッ素系樹脂が用いられるが、前記のような接
着や溶接を必要とする構造では、フッ素系樹脂を用いる
ことができない。また、これらの流体にあっては、不純
物の溶出や微塵の混入がない構造が望まれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この発明はこのような
状況に鑑みて提案されたものであって、製造加工が簡単
かつ容易で精度が高く、分解して洗浄等のメンテナンス
や部品交換も容易で、フッ素系樹脂による加工も可能
で、加えて不純物の溶出や微塵の混入がない新規な構造
のフローモニターを提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1の発
明は、流体が下方から上方へ流通するように上下方向に
配置された直管内に、上側に行くに従って断面積が小さ
くなる形状変化部を有する棒状部材を立設し、前記棒状
部材の外周に前記流体内で上下動自在な輪状フロートを
配置したことを特徴とするフローモニターに係る。
【0007】また、請求項2の発明は、請求項1におい
て、前記直管が透明又は半透明材よりなり、前記輪状フ
ロートの上下方向の移動位置が前記直管の外部から目視
できるフローモニターに係る。
【0008】さらに、請求項3の発明は、請求項1又は
2において、前記棒状部材を前記直管のほぼ中心位置に
保持する一又は複数の保持部材を有するフローモニター
に係る。
【0009】請求項4の発明は、請求項3において、前
記保持部材を前記直管外部から締付固定する外側締付固
定部材を有するフローモニターに係る。
【0010】請求項5の発明は、請求項1ないし4のい
ずれかにおいて、前記直管の端部が配管部材に連結され
該連結部において前記棒状部材が固定保持されているフ
ローモニターに係る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図1はこの発明の一実施例に係るフ
ローモニターを示す取付全体断面図、図2はフローモニ
ターの直管内の部品を分解して示す斜視図、図3は棒状
部材の他の例を示す図、図4は輪状フロートの他の例を
示す一部切欠断面図、図5は輪状フロートの外周に突部
を設けた例を示す平面図、図6は輪状フロートの下部に
回転用切欠部を設けた斜視図、図7は別の実施例におけ
る輪状フロートと保持部材の斜視図、図8は棒状部材の
形状と流量の関係を表したグラフ、図9はフローモニタ
ーの取付状態を示す部分断面図、図10はフローモニタ
ーの別の取付例を示す部分断面図、図11はフローモニ
ターのさらに別の取付例を示す部分断面図、図12はフ
ローモニターの配置例を示す側面図、図13はフローモ
ニターの他の配置例を示す斜視図である。
【0012】図1に示したように、この発明のフローモ
ニター10は、流体Fが下方から上方へ流通するように
上下方向に配置された直管11内に、上側に行くに従っ
て断面積が小さくなる形状変化部21を有する棒状部材
20を立設し、前記棒状部材20の外周に前記流体内で
上下動自在な輪状フロート30を配置したことを特徴と
する。図示したフローモニター10は、特に半導体製造
や医薬品製造あるいはバイオ関連分野で用いられる超純
水や医薬品のためのもので、流体に接する部材が4フッ
化エチレン樹脂等のフッ素系樹脂から構成され、かつ不
純物の溶出や微塵の発生を防止した構造となっている。
【0013】直管11は、一定の内径を有し、流体が下
方から上方へ流通するように上下方向に配置されるもの
であればどのようなものでもよく、一般的な押し出し成
形のチューブあるいはガラス管でもよい。実施例では、
耐食性に優れた4フッ化エチレン樹脂等のフッ素系樹脂
からなる直管を用いている。
【0014】この直管11は、請求項2の発明として規
定するように、透明又は半透明材よりなり輪状フロート
30の上下方向の位置移動が該直管11の外部から目視
できるようにしてもよい。また、直管11の外面に目盛
等を設けた場合には流量計として簡単にフロート30の
位置を把握できる。なお、センシングとして適宜のセン
サー装置等により前記輪状フロート30の移動を読みと
る場合には、特にフロート30の動きは目視できる構造
である必要はない。
【0015】棒状部材20は、例えば4フッ化エチレン
樹脂等のフッ素系樹脂からなり、図2の分解図からもよ
く解るように、上側に行くに従って断面積が小さくなる
形状変化部21を有する。図示の実施例では、円形の横
断面の直径が漸次小さくなる円錐(台)形状に形成され
ている。この例の棒状部材20の形状変化部21である
円錐形状の外周は直線状に変化するが(なお、図8の
(8A)参照)、これに限るものではなく曲線状にその
径を変えていくもの(なお、図8の(8B)の棒状部材
20Aの形状変化部21A参照)でもよい。
【0016】なお、上側に行くに従って断面積が小さく
なる形状変化部の構造としては、例えば図3に図示の棒
状部材20Xの形状変化部21Xのように、直棒状の棒
状部材20に深さや幅の違う溝27等を形成することに
よっても同様の作用を得ることができる。また、必要に
より、断面積が急激に変化する段差部(なお、図8の
(8C)の棒状部材20Bの形状変化部21Bの段差部
24参照)を設けてもよい。上に述べたような棒状部材
20,20A,20B,20Xにおける形状変化部2
1,21A,21B,21Xのバリエーションは、型成
形や切削加工等により容易に製作することができる。
【0017】図8各図は、棒状部材の形状変化部を流通
する流体の流量(Q)と輪状フロートの位置移動量
(Y)と関係を示すグラフである。図の(8A)は断面
積が直線状に変化する形状変化部21を有する棒状部材
20の例で、流体の流量(Q)と輪状フロートの位置移
動量(Y)との相関関係は図のような曲線状となる。図
の(8B)は流体の流量(Q)に応じて輪状フロートの
位置移動量(Y1)が直線状つまり正比例関係となるよ
うに、棒状部材20Aの形状変化部21Aの断面積を曲
線状に変化させたものである。図の(8C)は棒状部材
20Bの形状変化部21Bに段差部24を設けるととも
にその断面積の変化率を変えて、流体の一定の流量(Q
1)の前後で輪状フロートの変動量Y2が大きく変わる
ようにしたものである。
【0018】次に、棒状部材20の保持について説明す
ると、図1に図示の実施例では、請求項3の発明として
規定したように、棒状部材20を前記直管11のほぼ中
心位置に保持する一又は複数の保持部材40を有する。
すなわち、この例において、棒状部材20は両端に下側
挿入部23及び上側挿入部24が形成されていて、それ
ぞれ下側保持部材40(40A)及び上側保持部材40
(40B)のほぼ中心に形成された中心孔45,45に
保持されている。なお、この例では、棒状部材20の下
側挿入部23及び上側挿入部24は同一径に構成されて
いて、下側保持部材40Aと上側保持部材40Bは同一
構成の保持部材40が使用できるようになっている。
【0019】実施例の上側及び下側保持部材40は、図
示のように、前記直管11の内径より小さい外径を有す
る小径部42と前記直管11の内径より大きい外径を有
する膨出部43よりなる本体41を備え、該小径部42
と膨出部43とを貫通する中心孔45が穿設されてい
る。そして、図のように、小径部42を直管11の内側
方向として膨出部43を直管11内に圧入して本体41
を直管11内部に取付固定する。小径部42側の中心孔
45の開口46には前記したように棒状部材20の下側
挿入部23、上側挿入部24がそれぞれ挿入保持され
る。なお、保持部材40の膨出部43を直管11内に圧
入するには、公知のフレア加工治具を用いればよい。
【0020】保持部材40の小径部42には、中心孔4
5と連通する流通孔47が形成されていて、中心孔45
を介して流体を直管11内外に流通させる。なお、この
例では、棒状部材20の上下両端を保持部材40によっ
て保持したが、確実な保持が可能であればどちらか一方
だけを保持部材によって保持してもよい。
【0021】棒状部材20の外周に上下動自在に配置さ
れる輪状フロート30は、その外周31が直管11の内
径より小さくかつその内周32が棒状部材20の最大外
径よりも大きく構成され、棒状部材20に遊嵌されるも
のである。なお、輪状フロート30の外周31が直管1
1の内周にガイドされてスムーズに移動するような大き
さや形状とすることが好ましくすすめられる。
【0022】実施例の輪状フロート30は、輪部の縦断
面が矩形のリング状部材が使用されている。これに対し
て、図4に示す輪状フロート30Aのように輪部の縦断
面が三角形状のもの、あるいは輪状フロート30Bのよ
うに輪部の縦断面が円形(又は楕円形)のものを用いて
もよい。例えば流体が気体である場合において、結露等
で輪状フロート又は直管内面あるいは棒状部材が濡れる
と、該フロートの上下動の抵抗となり影響が出ることが
懸念されるような際には、それらとの接触面積の少ない
形状が選択される。
【0023】同様に、図5に図示した輪状フロート30
Cのように、外面に突起部33を設けてもよい。図示し
ないが、溝部を設けることもできる。また、図6に図示
した輪状フロート30Dのように、下側に部分螺旋溝か
らなる回転用切欠部34を形成して輪状フロート30D
の上下動に回転を付与することもできる。この場合に
は、直管11内での輪状フロート30の揺れ(ぶれ)を
減らすことができる。図示しないが、輪状フロートの外
面にフィン状の突起物を設けても同様の作用が得られ
る。さらに、図7に図示の輪状フロート30Eのよう
に、下面側に凹凸部35を形成して、初期状態における
フロート下側に対する流体の受圧面積を大きくするよう
にしてもよい。この場合には、前記した下側保持部材4
0Aの先端にも凹凸部48を形成してもよい。
【0024】図示した実施例においては、前記棒状部材
20に輪状フロート30の上昇限度位置を規制するスト
ッパ部25が設けられている。ストッパ部は上側保持部
材40Bに設けることもできる。この実施例では、棒状
部材20の上昇限度位置に輪状フロート30の内径より
も大きく形成されたストッパ部25が形成されている。
ストッパ部25は輪状フロート30の当接時に流体のス
ムーズな流通を妨げないようにするために、図示のよう
な切欠部26を設けることが望ましい。
【0025】次に、この発明のフローモニター10の取
付接続構成について説明する。図1の実施態様は、請求
項4の発明として規定したように、前記した保持部材4
0(この例では下側保持部材40A)を直管11の外部
から締め付け固定する外側締付固定部材50を有する。
と同時に、請求項5の発明として規定したように、直管
11の端部(この例では上端)が配管部材(この例では
エルボ継ぎ手60)に連結され該連結部において前記棒
状部材20が固定保持されている。
【0026】まず、請求項4の外側締付固定部材50に
ついて説明すると、これは、直管11の外部から棒状部
材20を保持する保持部材40を締付固定することによ
って、特別な接合部材等の構成部品を用いることなく簡
単かつ容易に、しかも流体と接する他の構成部品をなく
することによって不純物の溶出や微塵の混入のない取付
構造としたものである。
【0027】図1の例では、外側締付固定部材50は本
体部材51と袋ナット55よりなる。直管11内に圧入
された保持部材40Aは、直管11の外側に取り付けら
れた本体部材51の外ねじ部52が同じく直管11の外
側に取り付けられた袋ナット55の内ねじ部56と螺着
して緊締されることによって、直管11の外側から強く
圧締される。符号53は本体部材51の内顎部、57は
袋ナット55の内顎部57であり、これらの内顎部5
3,57によって、棒状部材20を保持する保持部材4
0Aは直管11内にしっかりと固定される。と同時に、
直管11にフローモニター10が形成される。この例で
は、外側締付固定部材50は下側保持部材40Aに取り
付けているが、上側保持部材40Bに同様に取り付けて
もよい。
【0028】また、請求項5の配管部材連結部の構造に
ついて説明すると、この場合には、直管11の端部(こ
こでは上端)を配管部材(エルボ継ぎ手60)に直接連
結することによって、特別な接合部材等の構成部品を用
いることなく簡単かつ容易に、しかも流体と接する他の
構成部品をなくすることによって不純物の溶出や微塵の
混入のない取付構造としたものである。なお、ここで
は、図1に図示のように、直管11の端部内に上側保持
部材40Bを圧入した例について述べる。
【0029】図1の例では、配管部材連結部Jはエルボ
継ぎ手本体部材61と袋ナット65よりなる。保持部材
40Bが圧入された直管11の端部の外周には袋ナット
65及びエルボ継ぎ手本体部材61が装着される。エル
ボ継ぎ手本体部材61の外ねじ部62と袋ナット65の
内ねじ部66と螺着して緊締することによって、直管1
1はその外側から強く圧締され、エルボ継ぎ手本体部材
61の内顎部63及び袋ナット65の内顎部67によっ
て、棒状部材20を保持する保持部材40Bは直管11
内にしっかりと固定される。と同時に、フローモニター
10を有する直管11が配管部材であるエルボ継ぎ手に
連結される。この例では、配管部材連結部Jは直管11
の上端(上側保持部材40B)に形成されているが、直
管11の下端(下側保持部材40A)にも全く同様に形
成することもできる。
【0030】この例では継ぎ手部材としてエルボ継ぎ手
を用いたが、後述するように、この他にチーズ継ぎ手あ
るいはクロス継ぎ手等各種の継ぎ手や、流体の配管や制
御に使用される各種配管部材やバルブ類(例えばマニホ
ールドバルブ)等の連結も可能であることはいうまでも
ない。なお、図示の配管部材連結部Jにおいて、配管部
材は直管11に連結されるものであることより、その連
結方向は直管11端部に対して360度方向に自在であ
る。これはこの発明の大きな特徴でありかつ実用性の高
い効果である。
【0031】図9は、この発明のフローモニター10の
他の取付例である。図示は配管部材である機器本体70
の接続部70Jにフローモニター10を直接取り付け形
成するものである。フローモニター10の直管11の下
端には外側へ折り返し(フレア)加工されたフレア曲面
部11Fを有し、直管11の内側に棒状部材20を保持
する中心孔を有する下側保持部材40Xが装置される。
この下側保持部材40Xは、機器本体70の本体流路7
1を縮径したテーパ状の取付面72に係止される。機器
本体70には、本体流路71よりも大径に形成された内
周ネジ部73が刻設され、該内周ネジ部73の内側には
小径の環状部74と該小径環状部74よりも内側でかつ
前記本体流路71の外側に形成された環状圧着部75と
が形成されている。
【0032】図示のように、直管11のフレア曲面部1
1Fの内側にウエッジリング76を装着して、前記機器
本体70の内周ネジ部73に螺着する外周ネジ部78を
有する固定部材77を螺着前進させて前記ウエッジリン
グ76を押圧すると、直管11のフレア曲面部11Fは
環状圧着部75に圧着されるとともに、前記折り返し曲
面部11Fの自由端部11E近傍が前記小径環状部74
に圧接され、高いシール構造とすることができる。と同
時に、テーパ状の取付面72に係止された下側保持部材
40Xをしっかりと取付固定する。
【0033】また、図10は、別の取付例を示し、ここ
では、直管11の端縁が圧嵌される圧入部82を有する
突出先端部81と直管11先端部近傍を外方へ膨出させ
る膨出部83とを備えたインナーリング80に、フロー
モニター10の棒状部材20を保持する中心孔84が形
成される。符号85は流通孔である。図示のように、直
管11の先端部をインナーリング80に保持した状態
で、機器本体90の内周ネジ部92に螺着する外周ネジ
部96を有する固定部材95を螺着前進させて押圧する
と、インナーリング80に保持された直管11は機器本
体90の小径環状部93に圧接され、高いシール構造と
することができる。と同時に、フローモニター10の棒
状部材20を保持するインナーリング80もしっかりと
取付固定される。図の符号91は本体流路、94はイン
ナーリング80先端の圧着部である。
【0034】さらに、図11はフローモニター10の直
管11と同径の他の管体19とを連結する例である。こ
のような連結構造には各種のものがあるが、ここでは中
間のガスケット部材100と、これを挟むように配置さ
れる2つのアウターリング110,111及び2つの押
圧部材120,121と、これらを圧締する圧締部材1
30とからなる例について説明する。なお、この例では
直管11の端部及び他の管体19の端部には前記したフ
レア曲面部11F,19Fが形成される。
【0035】フローモニター10を形成する直管11端
部の内側には棒状部材20を保持する中心孔45を有す
る下側保持部材40Yが装置される。この下側保持部材
40Yは、ガスケット部材100の中心開口101の縁
部102に係止される。ガスケット部材100は流体を
流通する中心開口101を有する面状体で、その両面側
に直管11のフレア曲面部11F及び他の管体19のフ
レア曲面部19Fとそれぞれ当接する第1環状凹面部1
03及び第2環状凹面部104が形成されている。符号
105,106はガスケット部材100の外周面に突設
された突条部である。そして、前記直管11のフレア曲
面部11Fの内側には第1アウターリング110が、ま
た他の管体19のフレア曲面部19Fの内側には第2ア
ウターリング111がそれぞれ挿入される。各アウター
リング110,111の後部は被押圧部112,113
とされ、各フレア曲面部11F、19Fより外方へ露出
している。
【0036】押圧部材120,121は直管11及び管
体19の外周にそれぞれ装着されて、前記ガスケット部
材100への圧着部122,123と前記アウターリン
グ110,111後部の被押圧部112,113を前方
へ押圧するアウターリング押圧部124,125を有す
る。そして、圧締部材130によって、これらの2つの
押圧部材120,121を一体に緊締すると、図のよう
に、その圧着部122,123がガスケット部材100
へ圧着されるとともに、アウターリング押圧部124,
125によってアウターリング110,111を互いに
前方へ押圧して直管11及び管体19の各各フレア曲面
部11F、19Fをガスケット部材100の環状凹面部
103,104に強く圧着し、これによって、直管11
と他の管体19とが一体に連結されると同時に、これら
の連結部にフローモニター10が形成される。なお、前
記図9から図11で示した取付例は、フローモニターの
下側保持部材周辺についてのみ示したものであるが、他
端側においてはこの種取付例の他、適宜方法をもって取
り付けられることができる。
【0037】図12及び図13は、上述した取付連結構
造によって、フローモニター10を配置した例を示すも
のである。図12は、継ぎ手部材を用いて2つのフロー
モニター10,10を配置したもので、符号151はチ
ーズ継ぎ手、152,153はエルボ継ぎ手、154は
異径ユニオンを表し、管体155から流入される流体F
はチーズ継ぎ手151を介して管体156から流出する
経路K1と、連結管158を介して管体157から流出
する経路K2とに分岐され、各経路K1,K2への流通
を各フローモニター10,10によって確認(監視)す
ることができる。なお、管体157は細径の管体である
ので異径ユニオン154が使用されている。
【0038】図13は電磁弁171,172,173に
よって複数の経路K3,K4,K5に選択流通するいわ
ゆるマニホールド弁160へのフローモニター10の適
用例であって、管体161から流入する流体Fの選択さ
れた管体162,163,164への流出を各フローモ
ニター10,10,10によって確認(監視)すること
ができる。
【0039】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
フローモニターによれば、直管内に上側に行くに従って
断面積が小さくなる形状変化部を有する棒状部材を立設
し、前記棒状部材の外周に流体内で上下動自在な輪状フ
ロートを配置した構造であるため、従来煩雑かつ困難で
コスト高になり嫌いのあったテーパ管の製造が不要とな
り、フローモニターの製造加工が簡単かつ容易とするこ
とができるようになった。また、形状変化部を有する棒
状部材や輪状フロートの製作は容易に行うことができ、
様々なバリエーションで精度の高いフローモニターを提
供することができる。
【0040】さらに、接着や溶接を不要にすることがで
きるので、分解して洗浄等のメンテナンスや部品交換も
容易で、必要により測定範囲の変更も容易に行うことが
できるのみならず、フッ素系樹脂による加工も可能で、
加えて不純物の溶出や微塵の混入が防止できる。
【0041】また、この発明のフローモニターの取付に
際しては、直管外部から締付固定したり、あるいは配管
部材の連結部において固定保持することが可能であるか
ら、取付上の利点、便利さは極めて大きく、この発明の
フローモニターは実際上極めて大きな有利性を有するも
のである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係るフローモニターを示
す取付全体断面図である。
【図2】フローモニターの直管内の部品を分解して示す
斜視図である。
【図3】棒状部材の他の例を示す図である。
【図4】輪状フロートの他の例を示す一部切欠断面図で
ある。
【図5】輪状フロートの外周に突部を設けた例を示す平
面図である。
【図6】輪状フロートの下部に回転用切欠部を設けた斜
視図である。
【図7】別の実施例における輪状フロートと保持部材の
斜視図である。
【図8】棒状部材の形状と流量の関係を表したグラフで
ある。
【図9】フローモニターの取付状態を示す部分断面図で
ある。
【図10】フローモニターの別の取付例を示す部分断面
図である。
【図11】フローモニターのさらに別の取付例を示す部
分断面図である。
【図12】フローモニターの配置例を示す側面図であ
る。
【図13】フローモニターの他の配置例を示す斜視図で
ある。
【図14】従来のフローモニターの一例を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
10 フローモニター 11 直管 20 棒状部材 21 形状変化部 23 下側挿入部 24 上側挿入部 25 ストッパ部 30 輪状フロート 40 保持部材 42 小径部 43 膨出部 45 中心孔 47 流通孔 50 外側締付固定部材 51 本体部材 55 袋ナット

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 流体が下方から上方へ流通するように上
    下方向に配置された直管内に、上側に行くに従って断面
    積が小さくなる形状変化部を有する棒状部材を立設し、
    前記棒状部材の外周に前記流体内で上下動自在な輪状フ
    ロートを配置したことを特徴とするフローモニター。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記直管が透明又は
    半透明材よりなり、前記輪状フロートの上下方向の移動
    位置が前記直管の外部から目視できるフローモニター。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において、前記棒状部材
    を前記直管のほぼ中心位置に保持する一又は複数の保持
    部材を有するフローモニター。
  4. 【請求項4】 請求項3において、前記保持部材を前記
    直管外部から締付固定する外側締付固定部材を有するフ
    ローモニター。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかにおいて、
    前記直管の端部が配管部材に連結され該連結部において
    前記棒状部材が固定保持されているフローモニター。
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