JP2003080716A - ノズルプレート及びノズルプレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明はインクの噴射方向にラウンド形状にそ
の径の小さくなるノズルの形成されたノズルプレート及
び当該ノズルプレートを簡単かつ精度よく製造するノズ
ルプレートの製造方法を提供する。 【解決手段】インクジェットヘッド１は、インクの充填
される複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノズ
ル２が形成され、ノズル２は、その径２ｒが、インク流
入部２ｉからインク吐出部２ｏへと小さくなるととも
に、その断面形状が、滑らかなラウンド形状に形成され
ている。特に、ノズル２は、Ｒ形状部の端部−端部間の
厚さＤの３／５地点での径ｎをインク吐出部２ｏの径Ｎ
ｏで除算した値ｘ(ｘ＝ｎ／Ｎｏ)が１．３≦ｘ≦１．７
の範囲で、かつ、インク吐出部２ｏの径Ｎｏとインク流
入部２ｉの径Ｎｉの比が３以上となるＲ形状に形成され
ている。したがって、低駆動電圧で充分な高粘度インク
吐出を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルプレート及
びノズルプレートの製造方法に関し、詳細には、インク
の噴射方向にその径の小さくなるラウンド形状（Ｒ形
状）を形成したノズルプレート及び当該ノズルプレート
を簡単かつ精度よく製造するノズルプレートの製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、現像・定着
等のプロセスを必要とせず、非接触で記録を行うことが
できるために、カラー化が容易であること、記録時の騒
音が極めて小さいこと、高速印字が可能であること、イ
ンクの自由度が高く、安価な普通紙を使用できることな
ど多くの利点を有していることから、プリンタ、複写装
置及びファクシミリ装置等の画像形成装置に普及してい
る。

【０００３】このインクジェット方式の中でも、印字記
録の必要なときにのみインク滴を吐出するいわゆるドロ
ップオンデマンド型が記録に不要なインク液滴の回収を
必要としないため現在主流となっている。

【０００４】このようなインクジェット記録装置は、一
般に、複数のノズルの形成されたノズルプレートと、各
ノズルが連通するインク液室と、各ノズルに対応して配
設されたアクチュエータとを有し、アクチュエータの変
位や発熱等によってインク液室内のインクを加圧してノ
ズル孔からインク液滴を吐出させて、紙等の記録材へ記
録を行っている。

【０００５】ところが、最近のインクジェット記録装置
には、高速・高印字品質が求められており、特に、高印
字品質化の面では、特定の専用紙でなくても、高品質な
画像を得ることのできるインクジェット記録装置が要望
されている。

【０００６】高印字品質化については、圧電素子あるい
は電機熱変換素子を利用したインクジェットのどちらの
場合でも、ノズル形状による吐出性能の影響が大きく、
ノズル形状のさらなる改善が求められている。ノズル内
の形状がインクの吐出に与える影響については、エネル
ギー発生手段からインクへのエネルギー伝播の仕方やイ
ンクがノズルを通ってインク滴となる過程に影響して、
結果として、画像品質に大きな影響を及ぼす。したがっ
て、高品質な画像を得るためには、飛翔するインク滴の
形状を一定にコントルールしながら、一方向にのみ吐出
させる必要がある。

【０００７】このインク滴の形状を一定にコントルール
しながら、一方向にのみ吐出するためのノズルの構造と
しては、ノズル内部をテーパーとする方法がある。スト
レートノズルの安価な形成手段としては、ノズルに相当
するドライフィルムレジストをパターニングした導電性
基板上に電鋳を実施し、その後、基板及びドライフィル
ムレジストを剥離して形成する方法などがある。そし
て、露光量条件等の変量によって、ノズルの内部にさら
に大きなテーパーを設ける場合、多数個のノズルに対し
て径の精度とテーパー角度の制御との両面において安定
してノズルを形成することが困難である。

【０００８】一方、低粘度なインクを普通紙に吐出して
印字した場合、インクのにじみなどの異常画像が見られ
るが、その原因としては、インクの粘度が低く紙の繊維
に沿ってインクが浸透すること等が挙げられ、その現象
については、紙へのインク浸透現象を表したＬｕｃａｓ
−Ｗａｓｈｂａｕｒｎの式などからも説明される。

【０００９】したがって、表面処理剤等を含む専用紙以
外の普通紙を用いた場合であっても、高品質な画像を出
力するためには、粘度の高いインクの採用が必要とな
る。

【００１０】ところが、５ｍＰａ・ｓ以上もの高粘度な
インクを吐出するためには、流体抵抗の低いノズル構成
が要求され、例えば、ノズル内部がストレート形状の場
合、または、テーパー角度が５゜以下程度のほぼストレ
ートであるノズル形状の場合には、小さな駆動電圧によ
り高粘度なインクの吐出を行うのは困難である。

【００１１】そして、従来、レーザビームの照射により
開口する孔の傾斜角度が異なる複数の異種材料の板状体
を前記傾斜角度が小さいものから順次積層し、その積層
体の傾斜角度が小さい板状体の側からレーザビームを照
射し、開口された孔の断面形状を、各材料層内のテーパ
ー角度が次第に大きくした開口を形成し、この開口をノ
ズルとするインクジェット記録ヘッドのノズル板の製造
方法が提案されている（特開平１１−９１１１４号公報
参照）。

【００１２】すなわち、このインクジェット記録ヘッド
のノズル板の製造方法は、レーザービームの照射により
ノズルを開口するに際して、ノズル形成部材を孔開口時
に発生する傾斜角度が異なるプレート材料を組み合わせ
ることで、ノズル断面形状を概略Ｒ形状に形成して、イ
ンクに対する流体抵抗を十分に小さくし、インクの吐出
効率を向上させようとしている。

【００１３】また、従来、特開平８−１３２６１４号公
報、特開平８−２７６５８９号公報及び特開平１０−５
８６７９号公報には、電鋳によりノズルを作製する方法
が開示されており、電析膜が電気絶縁性の被膜表面上で
せり出すことを利用して、電析膜のＲ形状にノズル形状
を形成しようとしている。また、特開平８−１３２６１
４号公報及び特開平８−２７６５８９号公報では、電鋳
によるＲ形状内部を樹脂によりコーティングすること
で、その内部の形状をコントロールすることが開示され
ている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
公報記載の技術では、小さなエネルギーで吐出特性の良
好なノズルプレートを製造する上で、なお改良の必要が
あった。

【００１５】すなわち、特開平１１−９１１１４号公報
記載のインクジェット記録ヘッドのノズル板の製造方法
にあっては、ノズル内部断面に少なくともいくつかの不
連続な箇所が生じ、ノズルの中でのインクのメニスカス
の変動等に悪影響が生じてインク噴射特性が悪化するお
それがあるとともに、異種材料間の界面の強度的な面で
の問題が発生する可能性が高い。

【００１６】また、特開平８−１３２６１４号公報、特
開平８−２７６５８９号公報及び特開平１０−５８６７
９号公報記載の技術では、電鋳を用いてノズル内部にＲ
形状を作製しようとしても、Ｒ形状を吐出性能を向上さ
せるだけ高精度に制御することはできず、安定して同じ
プロフィールのノズル形状を作成することができない。
その結果、ノズル孔間で形状が異なる結果となり、噴射
特性が悪化するおそれがあるという問題があった。

【００１７】さらに、特開平８−１３２６１４号公報及
び特開平８−２７６５８９号公報では、電鋳によるＲ形
状内部を樹脂によりコーティングすることで、その内部
の形状をコントロールしようとしているが、電鋳による
Ｒ形状を精度良くコントロールすることができないた
め、樹脂のコーティングによって内部形状を一定に作製
することは困難である。

【００１８】そこで、請求項１記載の発明は、粘度が５
ｍＰａ・ｓ以上のインクの充填される複数の液室に対し
てそれぞれ連通する複数のノズルが形成され、液室の一
部に形成されアクチュエータで変形される振動板の復元
力によって発生する液室内の圧力変化で当該液室内のイ
ンクをノズルから吐出させるノズルプレートのノズル
を、その径が、液室内のインクが流入するインク流入側
から当該流入したインクを吐出させるインク吐出側へと
小さくなるとともに、その断面形状が、滑らかなラウン
ド形状に形成されたものとすることにより、ノズルを流
体抵抗が小さく、かつ、連続した面として、インクの粘
度が５ｍＰａ・ｓ以上の高粘度インクであっても、比較
的小さな駆動電圧で充分なインク吐出を可能とするとと
もに、インク吐出性能を向上させて、省電力化、高速印
字及び高印字品質の可能なノズルプレートを提供するこ
とを目的としている。

【００１９】請求項２記載の発明は、ノズルを、インク
吐出側からインク注入側の方向であって、ラウンド形状
部の端部から端部までの厚さの３／５の位置での径をイ
ンク吐出部の径で除算した値ｘが、１．３≦ｘ≦１．７
の範囲のラウンド形状とするとともに、インク吐出側の
径とインク注入側の径の比が３以上とすることにより、
インクのメニスカスの保持力を高めて、外乱に対して強
いインク吐出を可能し、また、メニスカスのリフィルを
早くし、より一層高速印字及び高印字品質を安定して実
現可能なノズルプレートを提供することを目的としてい
る。

【００２０】請求項３記載の発明は、粘度が５ｍＰａ・
ｓ以上のインクの充填される複数の液室に対してそれぞ
れ連通する複数のノズルが形成され、液室の一部に形成
されアクチュエータで変形される振動板の復元力によっ
て発生する液室内の圧力変化で液室内のインクをノズル
から吐出させるノズルプレートを製造するに際して、所
定の基板上のノズルとなる部分に電気絶縁皮膜を形成
し、当該基板表面上に、硫黄元素を分子内に有する有機
添加剤またはベンゼン環骨格を有する有機添加剤、ある
いは、ベンゼン環骨格を有する有機添加剤の含有しため
っき液を用いた電鋳を実施した後、電気絶縁皮膜を除去
して、基板から電析膜を剥離し、当該電析膜を、その径
が液室内のインクが流入するインク流入側から当該流入
したインクを吐出させるインク吐出側へと小さくなるノ
ズルが形成されるとともに、当該ノズルの断面形状が滑
らかなラウンド形状に形成されているノズルプレートと
することにより、駆動力を効果的インクに伝播するイン
ク注入側からメニスカスの安定性及び加速的移動をもた
らすインク吐出側へと滑らかに連続するラウンド形状を
容易に作製するとともに、電析膜の横方向への成長を抑
制して、ノズル吐出孔の寸法安定性を向上させ、かつ、
硫黄成分でニッケル酸化皮膜のインクに対する耐腐食性
が向上して、高濃度・高粘度のインクに対してもインク
吐出精度が良好で、画像品質の良好なノズルプレートを
簡単かつ高精度に製造することのできるノズルプレート
の製造方法を提供することを目的としている。

【００２１】請求項４記載の発明は、ノズルプレートの
インク吐出側の表面にニッケル-テフロン（登録商標）
等の所定の撥水皮膜の共析めっきを施すことにより、ノ
ズルプレートのインク吐出部周囲にインクが付着するこ
とを防止し、安定的に高画像品質を得ることのできるノ
ズルプレートを簡単かつ高精度に製造することのできる
ノズルプレートの製造方法を提供することを目的として
いる。

【００２２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のノ
ズルプレートは、粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充
填される複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノ
ズルが形成され、前記液室の一部に形成されアクチュエ
ータで変形される振動板の復元力によって発生する前記
液室内の圧力変化で当該液室内のインクを前記ノズルか
ら吐出させるノズルプレートにおいて、前記ノズルは、
その径が、前記液室内のインクが流入するインク流入側
から当該流入したインクを吐出させるインク吐出側へと
小さくなるとともに、その断面形状が、滑らかなラウン
ド形状に形成されていることにより、上記目的を達成し
ている。

【００２３】上記構成によれば、粘度が５ｍＰａ・ｓ以
上のインクの充填される複数の液室に対してそれぞれ連
通する複数のノズルが形成され、液室の一部に形成され
アクチュエータで変形される振動板の復元力によって発
生する液室内の圧力変化で当該液室内のインクをノズル
から吐出させるノズルプレートのノズルを、その径が、
液室内のインクが流入するインク流入側から当該流入し
たインクを吐出させるインク吐出側へと小さくなるとと
もに、その断面形状が、滑らかなラウンド形状に形成さ
れたものとしているので、ノズルを流体抵抗が小さく、
かつ、連続した面として、インクの粘度が５ｍＰａ・ｓ
以上の高粘度インクであっても、比較的小さな駆動電圧
で充分なインク吐出を可能とすることできるとともに、
インク吐出性能を向上させて、省電力化、高速印字及び
高印字品質の駆動を行うことができる。

【００２４】この場合、例えば、請求項２に記載するよ
うに、前記ノズルは、前記インク吐出側から前記インク
注入側の方向であって、前記ラウンド形状部の端部から
端部までの厚さの３／５の位置での径ｎをインク吐出部
の径Ｎｏで除算した値をｘ(＝ｎ／Ｎｏ)とすると、当該
ｘ値が、１．３≦ｘ≦１．７の範囲であって、かつ、イ
ンク吐出側の径とインク注入側の径の比が３以上であっ
てもよい。

【００２５】上記構成によれば、ノズルを、インク吐出
側からインク注入側の方向であって、ラウンド形状部の
端部から端部までの厚さの３／５の位置での径をインク
吐出部の径で除算した値ｘが、１．３≦ｘ≦１．７の範
囲のラウンド形状とするとともに、インク吐出側の径と
インク注入側の径の比が３以上としているので、インク
のメニスカスの保持力を高めて、外乱に対して強いイン
ク吐出を可能とすることができ、また、メニスカスのリ
フィルを早くすることができ、より一層高速印字及び高
印字品質を安定して実現することができる。

【００２６】請求項３記載の発明のノズルプレートの製
造方法は、粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充填され
る複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノズルが
形成され、前記液室の一部に形成されアクチュエータで
変形される振動板の復元力によって発生する前記液室内
の圧力変化で当該液室内のインクを前記ノズルから吐出
させるノズルプレートの製造方法において、所定の基板
上の前記ノズルとなる部分に電気絶縁皮膜を形成し、当
該基板表面上に、硫黄元素を分子内に有する有機添加剤
またはベンゼン環骨格を有する有機添加剤、あるいは、
ベンゼン環骨格を有する有機添加剤の含有しためっき液
を用いた電鋳を実施した後、電気絶縁皮膜を除去して、
前記基板から電析膜を剥離し、当該電析膜を、その径が
前記液室内のインクが流入するインク流入側から当該流
入したインクを吐出させるインク吐出側へと小さくなる
前記ノズルが形成されるとともに、当該ノズルの断面形
状が滑らかなラウンド形状に形成されているノズルプレ
ートとすることにより、上記目的を達成している。

【００２７】上記構成によれば、粘度が５ｍＰａ・ｓ以
上のインクの充填される複数の液室に対してそれぞれ連
通する複数のノズルが形成され、液室の一部に形成され
アクチュエータで変形される振動板の復元力によって発
生する液室内の圧力変化で液室内のインクをノズルから
吐出させるノズルプレートを製造するに際して、所定の
基板上のノズルとなる部分に電気絶縁皮膜を形成し、当
該基板表面上に、硫黄元素を分子内に有する有機添加剤
またはベンゼン環骨格を有する有機添加剤、あるいは、
ベンゼン環骨格を有する有機添加剤の含有しためっき液
を用いた電鋳を実施した後、電気絶縁皮膜を除去して、
基板から電析膜を剥離し、当該電析膜を、その径が液室
内のインクが流入するインク流入側から当該流入したイ
ンクを吐出させるインク吐出側へと小さくなるノズルが
形成されるとともに、当該ノズルの断面形状が滑らかな
ラウンド形状に形成されているノズルプレートとしてい
るので、駆動力を効果的インクに伝播するインク注入側
からメニスカスの安定性及び加速的移動をもたらすイン
ク吐出側へと滑らかに連続するラウンド形状を容易に作
製することができるとともに、電析膜の横方向への成長
を抑制して、ノズル吐出孔の寸法安定性を向上させこと
ができ、かつ、硫黄成分でニッケル酸化皮膜のインクに
対する耐腐食性が向上して、高濃度・高粘度のインクに
対してもインク吐出精度が良好で、画像品質の良好なノ
ズルプレートを簡単かつ高精度に製造することができ
る。

【００２８】この場合、例えば、請求項４に記載するよ
うに、前記ノズルプレートの製造方法は、前記ノズルプ
レートの前記インク吐出側の表面に所定の撥水皮膜の共
析めっきを施してもよい。

【００２９】上記構成によれば、ノズルプレートのイン
ク吐出側の表面にニッケル-テフロン等の所定の撥水皮
膜の共析めっきを施しているので、ノズルプレートのイ
ンク吐出部周囲にインクが付着することを防止すること
ができ、安定的に高画像品質を得ることのできるノズル
プレートを簡単かつ高精度に製造することができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００３１】図１〜図３は、本発明のノズルプレート及
びノズルプレートの製造方法の一実施の形態を示す図で
あり、図１は、本発明のノズルプレート及びノズルプレ
ートの製造方法の一実施の形態を適用したノズルプレー
トの正面断面図である。

【００３２】図１において、ノズルプレート１は、ニッ
ケル、コバルト、マンガン、銅、鉄、亜鉛等の金属で形
成されており、ノズルプレート１には、図１では、１個
のみしか示していないが、複数のノズル２が形成されて
いる。ノズル２は、その径２ｒが、インク流入部２ｉか
らインク吐出部２ｏに向かって小さくなる円形状に形成
されており、ノズル２は、その内部壁面が、インク流入
側２ｉからインク吐出側２ｏに向かって滑らかに連続す
るＲ形状（ラウンド形状）に形成されている。特に、ノ
ズル２は、図２に示すように、その断面形状が、インク
吐出部２ｏ付近において、円柱形状に近い略円錐台形状
に形成されている。

【００３３】そして、ノズル２は、そのＲ形状におい
て、インク吐出部２ｏからインク流入部２ｉの方向であ
ってＲ形状部の端部−端部間の厚さＤの３／５地点での
径ｎを、インク吐出部２ｏの径Ｎｏで除算した値をｘ
(ｘ＝ｎ／Ｎｏ)とすると、値ｘが１．３≦ｘ≦１．７の
範囲であって、かつ、インク吐出部２ｏの径Ｎｏとイン
ク流入部２ｉの径Ｎｉの比（Ｎｉ／Ｎｏ）が３以上（Ｎ
ｉ／Ｎｏ≧３）となるＲ形状に形成されており、特に、
図２に示すように、インク吐出部２ｏの径Ｎｏとインク
流入部２ｉの径Ｎｉの比（Ｎｉ／Ｎｏ）が大きい方がイ
ンク吐出性能が向上する。

【００３４】そして、このノズルプレート１におけるノ
ズル２は、以下の製造工程により製造される。すなわ
ち、まず、図３に示すように、基板１０として、少なく
とも表面に導電性を有する部材、例えば、ステンレス
（ＳＵＳ）を用い、基板１０は、後述するＮｉ電析によ
り生じる応力に対して変形することのない十分な厚みを
有している。

【００３５】この基板１０上に、図３に示すように、ド
ライフィルムレジスト（ＤＦＲ）等の電気絶縁皮膜１１
をパターン形成し、その表面上にＮｉ電鋳等の電鋳を実
施した後、電気絶縁皮膜１１を除去する。さらに、基板
１０から電析膜１２を剥離して、電析膜１２をノズル２
の形成されたノズルプレート１とする。そして、ノズル
プレート１の材質としては、上述のように、ニッケル、
コバルト、マンガン、銅、鉄、亜鉛等の金属を用いるこ
とができる。

【００３６】なお、上記ノズルプレート１の製造方法で
は、電鋳を行う方法を示したが、プレス等の方法でノズ
ル２を形成したノズルプレート１を製造してもよい。

【００３７】そして、上記ノズルプレート１の製造方法
において、ノズル２の内部にＲ形状をしたノズル２を少
なくとも電鋳をその工程の一部として用いて製造する場
合、Ｓ（硫黄）元素を分子内に有する有機添加剤、ある
いは、ベンゼン環骨格を有する有機添加剤を含むめっき
液を用いる。この硫黄元素を分子内に有する有機添加剤
あるいはベンゼン環骨格を有する有機添加剤としては、
スルフォン酸系、スルフォンアミド系、スルフォンイミ
ド系、クマリンやサッカリンの類及びその塩類等を用い
ることができる。これらの硫黄元素を分子内に有する有
機物、あるいは、ベンゼン環骨格を有する有機添加剤を
めっき液中に添加すると、有機添加剤の電析面への吸着
が生じ、膜厚方向への結晶成長の抑制と、電流密度分布
の緩和と高電流密度部の集中析出の抑制が行われる。さ
らに、ノズル２の外周の接線方向に歪んでいるめっき応
力により、ノズル２の中心方向への歪みもＲ形状に影響
する。したがって、例えば、図３のように、ノズルプレ
ート１を電鋳により作製する場合に、電気絶縁皮膜１１
上へせり出すことによりノズル吐出部２ｏ側を形成する
部分の電析が抑制され、結果として、インク注入部２ｉ
側からインク吐出部２ｏ側へとＲ形状の傾斜がきつく、
略円柱状に近い略円錐台形状が形成される。また、ノズ
ルプレート１を上記条件により電鋳で作製する場合、電
気絶縁皮膜１１上への電析のせり出しが抑制されること
によって、電気絶縁皮膜１１の径に対する電析のせり出
す量が減り、せり出し時に生じ易い異形が発生しにくく
なって、ノズル２の形状が安定化し、高品質の画像形成
が可能となる。

【００３８】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態のノズルプレート１は、ニッケル、コバル
ト、マンガン、銅、鉄、亜鉛等の金属で形成されてお
り、ノズルプレート１には、その径２ｒが、インク流入
部２ｉからインク吐出部２ｏに向かって小さくなる円形
状のノズル２が形成されており、ノズル２は、その内部
壁面がインク流入部２ｉ側からインク吐出部２ｏ側に向
かって滑らかに連続するＲ形状に形成されている。特
に、ノズル２は、図２に示すように、その断面形状が、
インク吐出部２ｏ付近において、円柱形状に近い略円錐
台形状に形成されている。

【００３９】さらに、ノズル２は、そのＲ形状におい
て、インク注入部２ｉからインク吐出部２ｏ側にかけて
のＲ形状を示す値として、インク吐出部２ｏの径Ｎｏと
ノズル２の内部側の径との比を用いて評価し、Ｒ形状部
の端部−端部間の厚さＤの３／５地点での径ｎを、イン
ク吐出部２ｏの径Ｎｏで除算した値をｘ(ｘ＝ｎ／Ｎｏ)
とすると、後述するように、値ｘが１．３≦ｘ≦１．７
の範囲であって、かつ、インク吐出部２ｏの径Ｎｏとイ
ンク流入部２ｉの径Ｎｉの比（Ｎｉ／Ｎｏ）が３以上
（Ｎｉ／Ｎｏ≧３）である場合に、インク吐出部２ｏで
のインク滴の体積Ｍｊとインク滴の吐出速度Ｖｊが安定
し、安定かつ高品質な画像、さらには、高速印字記録が
可能となるため、図２に示すように、インク吐出部２ｏ
の径ＮｏをＲ形状部の端部−端部間の厚さＤの３／５地
点での径ｎで除算した値ｘが、１．３≦ｘ≦１．７の範
囲であって、かつ、インク吐出部２ｏの径Ｎｏとインク
流入部２ｉの径Ｎｉの比（Ｎｉ／Ｎｏ）が３以上となる
Ｒ形状に形成されている。

【００４０】したがって、本実施の形態のノズルプレー
ト１は、インク吐出部側からインク注入部側にかけてそ
の内部がストレートになっているノズルプレートに比較
して、流体抵抗が少なく、さらに、駆動素子に対するイ
ンク接触面積を大きくすることができ、駆動力の弱い静
電気力による振動板の変位エネルギーをノズルプレート
１のインク注入部２ｉのインクへ充分に伝播することが
できる。さらに、ノズル２のＲ形状が滑らかにインク吐
出部２ｏ側からインク注入部２ｉ側へと連続してすぼま
っているため、その断面形状に不連続な点が存在せず、
粘度が５ｍＰａ・ｓ以上の高粘度インクであっても、安
定したインクの吐出を行うことができる。

【００４１】すなわち、ノズルプレート１のノズル２の
形状がインク滴の特性に大きな影響を及ぼすことは従来
から分かっており、例えば、インク吐出部２ｏの径Ｎｏ
がインク滴の体積Ｍｊとインク滴の吐出速度Ｖｊに大き
な影響を与え、ノズル２内部の形状はインク滴の吐出方
向や吐出安定性に大きな影響を及ぼす。

【００４２】このノズル２の内部形状がインク滴の吐出
に大きな影響を及ぼすのは、ノズル２の内部で形成され
るインクのメニスカスの状態変化によるところが大き
く、特に、インクのリフィル（インクのメニスカスを初
期位置まで再び満たすこと）は、画像品質及び記録速度
に影響する。インクのメニスカスは、ノズル２の最小径
部に形成され、ノズル２からインクが吐出された後は、
インクのメニスカス位置は、大きくインク注入部２ｉ側
に引き込まれた状態へと変化するが、このインクがノズ
ル２の内部に引き込まれたると、次のインク滴を吐出す
るまでに初期のメニスカス位置に戻ることが要求され
る。インクメニスカスが充分戻りきらないうちに、次の
インク滴を吐出するための駆動信号が入力されると、イ
ンク滴の体積Ｍｊが小さくなり、インク滴の吐出速度Ｖ
ｊが速くなる。そして、上述のように、インク滴の体積
Ｍｊ及びインク滴の吐出速度Ｖｊは、ドロップオンデマ
ンド型のインクジェットヘッドにおいて、出力画像に大
きな影響を与え、これらのインク滴の体積Ｍｊ及びイン
ク滴の吐出速度Ｖｊが不安定であると、出力画像の品質
が低下する。また、インクのメニスカスをより速いタイ
ミングで初期位置に戻すことにより、インク滴の吐出の
駆動周波数を高くすることができ、記録速度を高速化す
ることができる。

【００４３】ここで、インクのメニスカスの初期位置へ
の復帰速度を制御する方法には、次のような方法があ
る。まず、最初の方法は、ノズル内の毛管力の大きさで
あって、ノズルの内部の径を小さくすることで、毛管力
が大きくなり、メニスカスの復帰速度を速くすることが
できる。ところが、ノズルの内部の径を小さくして毛管
力をコントロールしようとすると、インク滴の体積Ｍｊ
が小さくなるという不具合が生じる。

【００４４】そして、インク滴の体積Ｍｊを小さくする
ことなく毛管力を向上させるには、ノズルの内部形状
を、本実施の形態のノズルプレート１のノズル２のよう
に、インク吐出部２ｏ側に向かって連続的に絞り込んだ
形状とすることが好ましい。ノズル２の形状のインクジ
ェットヘッドの性能に及ぼす影響としては、上記のよう
なインクのリフィル能力の変化と、インクのリフィル能
力の変化による画像品質及び記録速度の変化の他に、種
々の外乱に対する強さがある。例えば、ノズルプレート
１には、印字の際に往復運動することによって生じる振
動、隣接するノズル２の駆動による残留振動等の種々の
外乱が起こる可能性があり、このような外乱が生じた場
合に、インクのメニスカスに影響し、出力画像に乱れが
生じ易くなる。ノズルをこのような外乱に強いノズルと
するためには、インクのメニスカスが変動しない状況に
することが好ましく、そのためには、ノズルの内部形状
をメニスカス形成部とほぼ同一の略円柱状とすること
で、対応することができる。

【００４５】すなわち、高品質画像と高速印字記録、さ
らには、外乱に強く常に安定した画像形成を行うために
は、本実施の形態のノズルプレート１のノズル２のよう
に、その断面形状が、Ｒ形状、特に、図２に示したよう
に、インク吐出部２ｏの付近において円柱形状に近い略
円錐台形状であることが望ましい。

【００４６】そして、実験の結果、ノズル２のＲ形状に
おいて、インク注入部２ｉ側からインク吐出部２ｏ側へ
かけてのＲ形状を示す値として、上述のように、インク
吐出部２ｏの径Ｎｏとノズル２の内部側の径との比を用
いて評価し、インク吐出部２ｏからインク流入部２ｉの
方向であってＲ形状部の端部−端部間の厚さＤの３／５
地点での径ｎを、インク吐出部２ｏの径Ｎｏで除算した
値をｘ(ｘ＝ｎ／Ｎｏ)とすると、値ｘが１．３≦ｘ≦
１．７の範囲であって、かつ、インク吐出部２ｏの径Ｎ
ｏとインク流入部２ｉの径Ｎｉの比（Ｎｉ／Ｎｏ）が３
以上（Ｎｉ／Ｎｏ≧３）である場合に、インク吐出部２
ｏでのインク滴の体積Ｍｊとインク滴の吐出速度Ｖｊが
安定し、粘度が５ｍＰａ・ｓ以上の高粘度インクであっ
ても、安定かつ高品質な画像、さらには、高速印字記録
が可能となる。例えば、図１のノズル２のＲ形状と図２
のノズル２のＲ形状を比較した場合、図２のノズル２の
Ｒ形状の方が、安定したインク滴の体積Ｍｊ及びインク
滴の吐出速度Ｖｊを得ることができ、粘度が５ｍＰａ・
ｓ以上の高粘度インクであっても、高品質画像と高速印
字記録、さらには、外乱に強く常に安定した画像形成を
行うことができる。

【００４７】なお、本実施の形態のノズルプレート１に
おいて、ノズルプレート１のインク吐出部２ｏ側の表面
に、ニッケル―テフロン（登録商標）等の撥水皮膜の共
析めっきを施してもよい。

【００４８】このようにすると、ノズルプレート１のイ
ンク吐出部２ｏの周囲にインクが付着することを防止す
ることができ、安定的に高画像品質を得ることができ
る。

【００４９】

【実施例】〈比較例１〉比較例１として、ストレート形
状のノズルを有するノズルプレートを作成して、圧電素
子型駆動アクチュエータに接合してインクジェットヘッ
ドとした。

【００５０】このノズルプレートは、膜厚が、５０μｍ
であり、ノズルは、その径が、２０μｍで、ストレート
形状に形成されて、６００ｄｐｉとなるように配列され
ている。ノズルプレートは、ノズルに相当するドライフ
ィルムレジストをパターニングしたＳＵＳ基板上にニッ
ケルを電鋳し、その後、基板及びドライフィルムレジス
トを剥離して、ストレート形状のノズルの形成されてい
るノズルプレートを形成した。また、ノズルのストレー
ト形状は、ドライフィルムパターニングの条件により、
約５゜のテーパを設けている。

【００５１】このノズルプレートを取り付けたインクジ
ェットヘッドを使用して駆動し、評価するに際して、イ
ンク滴の体積Ｍｊを２４ｐｌとし、インクの吐出速度Ｖ
ｊが７ｍ／ｓとなるように設定して、１パルスで行った
ところ、駆動に要した電圧は、図４に示すように、２６
Ｖであり、このノズルプレートを用いたインク滴を吐出
させたところ、１プレート内の径精度が、±１．５μｍ
（図４参照）であった。なお、図４において、ｘ値は、
インク吐出側よりインク注入側の方向にノズルのＲ部の
端部−端部間の厚さの３／５の位置での径ｎを、インク
吐出部の径Ｎｏで除した値（＝ｎ／Ｎｏ）である。

【００５２】また、１６ＫＨｚの駆動周波数に対する対
応については、インクの吐出速度Ｖｊが所定の変動値
（±１ｍ／ｓ）の近辺で変動し、やや不安定であった。

【００５３】〈比較例２〉比較例２として、比較例１と
同様のノズルプレートを用い、評価に使用するインク粘
度を８ｓｍＰａ・ｓとして、同様の評価を行った。

【００５４】その際の駆動に要した駆動電圧は、図４に
示すように、３４Ｖであったが、インクの吐出は、非常
に不安定であり、駆動周波数に対応できるレベルではな
かった。また、１プレート内の径精度は、±１．５μｍ
であった。

【００５５】〈実施例１〉実施例１として、ラウンド形
状のノズルを有するノズルプレートを作成して、圧電素
子型駆動アクチュエータに接合してインクジェットヘッ
ドとした。

【００５６】このノズルプレートは、ドライフィルムレ
ジストを膜厚１．１μｍにパターニングしたＳＵＳ基板
上へニッケル電鋳を行い、その後、ＳＵＳ基板とレジス
トを剥離して形成した。そして、このノズルプレートに
は、６００ｄｐｉでノズルが形成されている。

【００５７】この際、ノズルの形状は、ドライフィルム
レジストのパターンにならうものではなく、電析膜がド
ライフィルム表面上でせり出し成長することで、ラウン
ド形状とした。電析の膜厚は、比較例１と同様に、５０
μｍ程度とした。この際、ノズル径が、３０μｍとなる
ように、膜厚を調整した。使用しためっき液は、以下の
もので、めっき液：スルファミン酸ニッケルめっき、表
面張力：４１ｄｙｎｅ／ｃｍ、ｐＨ：４．０（ホウ酸お
よびスルファミン酸により調整）である。

【００５８】このとき、ノズルのＲ部の端部−端部間の
厚さの３／５の地点での径ｎを、インク吐出部の径Ｎｏ
で除した値ｘは、２．０（ｘ＝２．０）（図４参照）で
あって、インク吐出側の径とインク注入側の径の比は、
４．５であった。

【００５９】このノズルプレートを静電型駆動のインク
ジェットヘッドに取り付けて比較例２と同様に、インク
粘度を８ｍＰａ・ｓとして、評価したところ、駆動に要
した電圧は、図４に示すように、２２Ｖであり、比較例
２のストレートノズルの場合に比較して、８Ｖも低下さ
せることができ、１６ＫＨｚの駆動周波数に対しても良
好な結果が得られた。

【００６０】また、１プレート内の径精度は、±０．６
μｍと向上し、さらに、ノズルプレートの高粘度インク
に対する耐腐食試験でも良好な結果を得ることができ
た。

【００６１】〈実施例２〉実施例２として、ラウンド形
状のノズルを有するノズルプレートを作成して、圧電素
子型駆動アクチュエータに接合してインクジェットヘッ
ドとした。

【００６２】このノズルプレートは、実施例１と同様
に、６００ｄｐｉのノズルが形成されている。

【００６３】このノズルプレートは、実施例１と同様の
作製方法で作成したが、めっき液に硫黄元素を分子内に
有する有機添加剤（ナフタレン−１，３，６−トリスル
フォン酸トリナトリウム）を加え、濃度を０．９ｇ／ｌ
に調製して、ラウンド形状のノズルを有するノズルプレ
ートを作製した。

【００６４】この際、ノズルのＲ部の端部−端部間の厚
さの３／５の地点での径ｎを、インク吐出部の径Ｎｏに
より除した値ｘは、１．７（ｘ＝１．７）（図４参照）
であって、インク吐出側の径とインク注入側の径の比
は、５．０であった。

【００６５】このノズルプレートを圧電素子型駆動のイ
ンクジェットヘッドに取り付けて比較例２と同様に評価
するに際して、インク粘度を５ｓｍＰａ・ｓとなるよう
に設定したところ、駆動に要した電圧は、図４に示すよ
うに、実施例１と同様に、Ｖｊ７ｍ／ｓを得るための駆
動に要した電圧は、２２Ｖであり、１６ｋＨｚの駆動周
波数対応についても良好な結果が得られた。

【００６６】また、１プレート内の径精度は、±０．６
μｍ（図４参照）とさらに向上し、さらに、ノズルプレ
ートの高粘度インクに対する耐腐食試験でも良好な結果
を得ることができた。

【００６７】〈実施例３〉実施例３として、実施例２と
同様のラウンド形状のノズルを有するノズルプレートを
作成して、圧電素子型駆動アクチュエータに接合してイ
ンクジェットヘッドとした。

【００６８】このノズルプレートは、実施例１と同様
に、６００ｄｐｉのノズルが形成されている。

【００６９】このノズルプレートは、実施例１と同様の
作製方法で作成したが、めっき液に硫黄元素を分子内に
有する有機添加剤を３．０ｇ／ｌに調製して、ラウンド
形状のノズルを有するノズルプレートを作製した。

【００７０】この際、ノズルのＲ部の端部−端部間の厚
さの３／５の地点での径ｎを、インク吐出部の径Ｎｏに
より除した値ｘは、１．５（ｘ＝１．５）（図４参照）
でって、インク吐出側の径とインク流入側の径の比は、
４．０であった。

【００７１】このノズルプレートを圧電素子型駆動のイ
ンクジェットヘッドに取り付けて実施例１と同様に評価
するに際して、インク粘度を５ｍＰａ・ｓとして、イン
ク吐出速度Ｖｊが７ｍ／ｓとなるように設定したとこ
ろ、駆動に要した電圧は、図４に示すように、実施例１
と同程度の２４Ｖであり、１６ｋＨｚの駆動周波数対応
についても良好な結果が得られた。

【００７２】また、１プレート内の径精度は、±０．４
μｍ（図４参照）と良好であり、さらに、ノズルプレー
トの高粘度インクに対する耐腐食試験でも良好な結果を
得ることができた。

【００７３】〈実施例４〉実施例４として、実施例２の
ラウンド形状のノズルを有するノズルプレートを作成し
て、圧電素子型駆動アクチュエータに接合してインクジ
ェットヘッドとした。

【００７４】このノズルプレートは、実施例２と同様の
作製方法で作成したが、めっき液に硫黄元素を分子内に
有する有機添加剤を７．０ｇ／ｌに調製して、ラウンド
形状のノズルを有するノズルプレートを作製した。

【００７５】この際、ノズルのＲ部の端部−端部間の厚
さの３／５の地点での径ｎを、インク吐出部の径Ｎｏに
より除した値ｘは、１．３（ｘ＝１．３）（図４参照）
であって、インク吐出側の径とインク注入側の径の比
は、３．８であった。

【００７６】このノズルプレートを圧電素子型駆動のイ
ンクジェットヘッドに取り付けて実施例１と同様に評価
するに際して、インク粘度を５ｍＰａ・ｓとして、イン
ク吐出速度Ｖｊが７ｍ／ｓとなるように設定したとこ
ろ、駆動に要した電圧は、図４に示すように、実施例１
よりもやや大きい２６Ｖであり、１６ｋＨｚの駆動周波
数対応についても良好な結果が得られた。

【００７７】また、１プレート内の径精度は、±０．４
μｍ（図４参照）と良好であり、さらに、ノズルプレー
トの高粘度インクに対する耐腐食試験でも良好な結果を
得ることができた。

【００７８】〈実施例５〉実施例５として、実施例２の
ラウンド形状のノズルを有するノズルプレートを作成し
て、圧電素子型駆動アクチュエータに接合してインクジ
ェットヘッドとした。

【００７９】このノズルプレートは、実施例２と同様の
作製方法で作成したが、めっき液に硫黄元素を分子内に
有する有機添加剤を７．０ｇ／ｌに調製して、ラウンド
形状のノズルを有するノズルプレートを作製した。

【００８０】なお、ドライフィルムレジストのパターニ
ング径を、φ９０μｍ、膜厚を、１．１μｍとし、ノズ
ルの膜厚を３０μｍ程度、ノズル径が３０μｍとなるよ
うに作製した。

【００８１】この際、ノズルのＲ部の端部−端部間の厚
さの３／５の地点での径ｎを、インク吐出部の径Ｎｏに
より除した値ｘは、１．３（ｘ＝１．３）（図４参照）
であって、インク吐出側の径とインク注入側の径の比
は、３．０であった。

【００８２】このノズルプレートを圧電素子型駆動のイ
ンクジェットヘッドに取り付けて実施例１と同様に評価
するに際して、インク粘度を５ｍＰａ・ｓとして、イン
ク吐出速度Ｖｊが７ｍ／ｓとなるように設定したとこ
ろ、駆動に要した電圧は、図４に示すように、実施例１
よりもやや大きい２５Ｖであり、１プレート内の径精度
は、±０．４μｍ（図４参照）と良好であった。

【００８３】また、駆動周波数特性については、Ｖｊが
±１ｍ／ｓ以内の変動となる領域の駆動周波数が、１８
ｋＨｚであった。

【００８４】そして、上記実施例１から実施例５のノズ
ル表面には、Ｎｉ−ＰＴＦＥの共析めっき膜によりめっ
きコーティングが施してあり、インクの付着残さがな
く、安定したインク吐出が可能であった。

【００８５】〈実施例６〉実施例６として、実施例２の
ラウンド形状のノズルを有するノズルプレートを作成し
て、圧電素子型駆動アクチュエータに接合してインクジ
ェットヘッドとした。

【００８６】このノズルプレートは、実施例２と同様の
作製方法で作成したが、ドライフィルムレジストのパタ
ーニング径が、φ１２０μｍ、膜厚が、１．１μｍと
し、電析膜圧が、５０μｍとなるように作製した。

【００８７】この際、めっき液に添加する硫黄元素を分
子内に有する有機添加剤の濃度を変量し、ノズルのイン
ク吐出側の径とインク注入側の径を測定したところ、硫
黄元素を分子内に有する有機添加剤の濃度に対して、イ
ンク注入側の径／インク吐出側の径の比率は、図５に示
すように変化した。

【００８８】図５から分かるように、硫黄元素を分子内
に有する有機添加剤の濃度が高くなるほどインク注入側
の径／インク吐出側の径の比率は小さくなり、せり出し
量が小さくなることを確認することができた。そして、
インク注入側の径／インク吐出側の径の比率が小さくな
るに従ってノズルの寸法が安定した。

【００８９】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【００９０】

【発明の効果】請求項１記載の発明のノズルプレートに
よれば、粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充填される
複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノズルが形
成され、液室の一部に形成されアクチュエータで変形さ
れる振動板の復元力によって発生する液室内の圧力変化
で当該液室内のインクをノズルから吐出させるノズルプ
レートのノズルを、その径が、液室内のインクが流入す
るインク流入側から当該流入したインクを吐出させるイ
ンク吐出側へと小さくなるとともに、その断面形状が、
滑らかなラウンド形状に形成されたものとしているの
で、ノズルを流体抵抗が小さく、かつ、連続した面とし
て、インクの粘度が５ｍＰａ・ｓ以上の高粘度インクで
あっても、比較的小さな駆動電圧で充分なインク吐出を
可能とすることできるとともに、インク吐出性能を向上
させて、省電力化、高速印字及び高印字品質の駆動を行
うことができる。

【００９１】請求項２記載の発明のノズルプレートによ
れば、ノズルを、インク吐出側からインク注入側の方向
であって、ラウンド形状部の端部から端部までの厚さの
３／５の位置での径をインク吐出部の径で除算した値ｘ
が、１．３≦ｘ≦１．７の範囲のラウンド形状とすると
ともに、インク吐出側の径とインク注入側の径の比が３
以上としているので、インクのメニスカスの保持力を高
めて、外乱に対して強いインク吐出を可能とすることが
でき、また、メニスカスのリフィルを早くすることがで
き、より一層高速印字及び高印字品質を安定して実現す
ることができる。

【００９２】請求項３記載の発明のノズルプレートの製
造方法によれば、粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充
填される複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノ
ズルが形成され、液室の一部に形成されアクチュエータ
で変形される振動板の復元力によって発生する液室内の
圧力変化で液室内のインクをノズルから吐出させるノズ
ルプレートを製造するに際して、所定の基板上のノズル
となる部分に電気絶縁皮膜を形成し、当該基板表面上
に、硫黄元素を分子内に有する有機添加剤またはベンゼ
ン環骨格を有する有機添加剤、あるいは、ベンゼン環骨
格を有する有機添加剤の含有しためっき液を用いた電鋳
を実施した後、電気絶縁皮膜を除去して、基板から電析
膜を剥離し、当該電析膜を、その径が液室内のインクが
流入するインク流入側から当該流入したインクを吐出さ
せるインク吐出側へと小さくなるノズルが形成されると
ともに、当該ノズルの断面形状が滑らかなラウンド形状
に形成されているノズルプレートとしているので、駆動
力を効果的インクに伝播するインク注入側からメニスカ
スの安定性及び加速的移動をもたらすインク吐出側へと
滑らかに連続するラウンド形状を容易に作製することが
できるとともに、電析膜の横方向への成長を抑制して、
ノズル吐出孔の寸法安定性を向上させことができ、か
つ、硫黄成分でニッケル酸化皮膜のインクに対する耐腐
食性が向上して、高濃度・高粘度のインクに対してもイ
ンク吐出精度が良好で、画像品質の良好なノズルプレー
トを簡単かつ高精度に製造することができる。

【００９３】請求項４記載の発明のノズルプレートの製
造方法によれば、ノズルプレートのインク吐出側の表面
にニッケル-テフロン等の所定の撥水皮膜の共析めっき
を施しているので、ノズルプレートのインク吐出部周囲
にインクが付着することを防止することができ、安定的
に高画像品質を得ることのできるノズルプレートを簡単
かつ高精度に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のノズルプレート及びノズルプレートの
製造方法の一実施の形態を適用したノズルプレートのノ
ズル部の正面拡大断面図。

【図２】図１のノズルプレートのノズルが円柱形状に近
い略円錐台形状の場合の正面拡大断面図。

【図３】図１のノズルプレートの製造過程を示す基板上
に電気絶縁皮膜を形成して電析でノズルプレートを製造
している状態を示す正面断面図。

【図４】比較例と実施例１から実施例５のノズル形状、
インク粘度、ｘ値、径の比、駆動電力、駆動周波数及び
径精度を比較して示す図。

【図５】めっき液に添加する硫黄元素を分子内に有する
有機添加剤の濃度とノズルの注入側径／吐出側径の比率
の関係を示す図。

【符号の説明】

１ ノズルプレート ２ ノズル ２ｉ インク流入部 ２ｏ インク吐出部 ２ｒ ノズル径 １０ 基板 １１ 電気絶縁皮膜 １２ 電析膜

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充填さ
   れる複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノズル
   が形成され、前記液室の一部に形成されアクチュエータ
   で変形される振動板の復元力によって発生する前記液室
   内の圧力変化で当該液室内のインクを前記ノズルから吐
   出させるノズルプレートにおいて、前記ノズルは、その
   径が、前記液室内のインクが流入するインク流入側から
   当該流入したインクを吐出させるインク吐出側へと小さ
   くなるとともに、その断面形状が、滑らかなラウンド形
   状に形成されていることを特徴とするノズルプレート。
2. 【請求項２】前記ノズルは、前記インク吐出側から前記
   インク注入側の方向であって、前記ラウンド形状部の端
   部から端部までの厚さの３／５の位置での径ｎをインク
   吐出部の径Ｎｏで除算した値をｘ(＝ｎ／Ｎｏ)とする
   と、当該ｘ値が、１．３≦ｘ≦１．７の範囲であって、
   かつ、インク吐出側の径とインク注入側の径の比が３以
   上であることを特徴とする請求項１記載のノズルプレー
   ト。
3. 【請求項３】粘度が５ｍＰａ・ｓ以上のインクの充填さ
   れる複数の液室に対してそれぞれ連通する複数のノズル
   が形成され、前記液室の一部に形成されアクチュエータ
   で変形される振動板の復元力によって発生する前記液室
   内の圧力変化で当該液室内のインクを前記ノズルから吐
   出させるノズルプレートの製造方法において、所定の基
   板上の前記ノズルとなる部分に電気絶縁皮膜を形成し、
   当該基板表面上に、硫黄元素を分子内に有する有機添加
   剤またはベンゼン環骨格を有する有機添加剤、あるい
   は、ベンゼン環骨格を有する有機添加剤の含有しためっ
   き液を用いた電鋳を実施した後、電気絶縁皮膜を除去し
   て、前記基板から電析膜を剥離し、当該電析膜を、その
   径が前記液室内のインクが流入するインク流入側から当
   該流入したインクを吐出させるインク吐出側へと小さく
   なる前記ノズルが形成されるとともに、当該ノズルの断
   面形状が滑らかなラウンド形状に形成されているノズル
   プレートとすることを特徴とするノズルプレートの製造
   方法。
4. 【請求項４】前記ノズルプレートの製造方法は、前記ノ
   ズルプレートの前記インク吐出側の表面に所定の撥水皮
   膜の共析めっきを施すことを特徴とする請求項３記載の
   ノズルプレートの製造方法。