JP2003080182A - 部品洗浄乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄乾燥槽の開閉蓋に加熱手段を附設するこ
となく、その天井面から結露が落下することを防止し
て、真空乾燥工程において被処理物への輪シミの付着を
防止する。 【解決手段】 洗浄乾燥槽３内に被処理物２を収容する
と共に、洗浄乾燥槽３内を減圧し、洗浄溶剤の加熱蒸気
を導入して被処理物２を蒸気洗浄し、蒸気洗浄の完了後
に被処理物２の乾燥を行う部品洗浄乾燥装置１であっ
て、洗浄乾燥槽３の上部開口部５を覆う開閉蓋７の少な
くとも天井面７ａを下り傾斜させて設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、油脂系の汚れ等が
付着した機械部品やメッキ部品等を洗浄し乾燥する部品
洗浄乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属製機械部品、メッキ部品、電子部品
等の各種部品には、その製造工程や組立工程等におい
て、切削油等の工作油脂、フラックス、塵埃等をはじめ
として様々な汚れが付着する。このような汚れが付着し
た機械部品や電子部品等の被処理物の清浄は、従来、例
えば炭化水素系、塩素系等の金属洗浄溶剤を使用して、
被処理物を洗浄溶剤に浸漬して超音波による振動を与え
て洗浄する浸漬洗浄工程を行ない、次に、洗浄溶剤の蒸
気を噴霧して洗浄を行う蒸気洗浄工程を行なうことによ
り成されている。そして、真空乾燥工程を行うことによ
り、蒸気洗浄後の被処理物を乾燥している。

【０００３】洗浄に使用した洗浄溶剤には被処理物に付
着していた各種汚れが混入するが、これらの汚れ成分は
洗浄装置に設けてあるフィルタ等を通しただけでは除去
しきれない。このため、従来は、汚れた洗浄溶剤はその
まま廃棄することも少なくなかったが、省資源および環
境保護の観点から洗浄溶剤の使用量の低減および再生利
用が求められており、実際、再生装置により再生して使
用することも行なわれている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の浸漬
洗浄工程、蒸気洗浄工程、及び真空乾燥工程は、図４に
示すように、被処理物５１を洗浄乾燥槽５２内に収容
し、該洗浄乾燥槽５２内を真空ポンプ５３により炭化水
素等の可燃性洗浄溶剤の爆発下限界以下まで減圧して行
われる。

【０００５】しかし、従来の洗浄乾燥槽５２は、その上
部開口部５４及びこれを覆う開閉蓋５５が水平に形成さ
れているため、洗浄溶剤が付着した被処理物５１を真空
乾燥すると、気化した溶剤ガスが開閉蓋５５の天井面に
付着して結露し、液滴５６として被処理物５１上に滴下
し、そのまま乾燥すると、折角洗浄した被処理物５１に
輪シミとして痕跡が残ってしまう。

【０００６】そのため、従来は洗浄乾燥槽５２の開閉蓋
５５に電気プレートヒータ等の加熱手段を附設して、開
閉蓋５５の天井面に溶剤蒸気が結露しないような工夫を
しているが、結露を防止するには７０℃〜８０℃に保持
しなければならず、省エネルギーの観点から得策とはい
えない。

【０００７】また、開閉蓋５５は、被処理物５１の搬入
搬出時に、通常手の触れる場所であり、上記加熱手段に
より高温になっている開閉蓋５５を接触可能な温度にま
で低下させるには、厚い断熱材が必要となる。

【０００８】さらに、洗浄溶剤として石油系溶剤等の可
燃性洗浄溶剤を使用する場合には、電気プレートヒータ
等の裸火の加熱手段を附設することは、引火を防止する
という安全上の観点から好ましくない。

【０００９】そこで、本発明は、洗浄乾燥槽の開閉蓋に
加熱手段を附設することなく、その天井面からの結露の
落下を防止して、真空乾燥工程において被処理物への輪
シミの付着を防止することができる部品洗浄乾燥装置を
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記に鑑み提
案されたもので、請求項１に記載のものは、洗浄乾燥槽
内に被処理物を収容すると共に、該洗浄乾燥槽内を減圧
し、洗浄溶剤の加熱蒸気を導入して被処理物を蒸気洗浄
し、蒸気洗浄の完了後に被処理物の乾燥を行う部品洗浄
乾燥装置において、上記洗浄乾燥槽の上部開口部を覆う
開閉蓋の少なくとも天井面を傾斜させて設けることを特
徴とする部品洗浄乾燥装置である。

【００１１】請求項２に記載のものは、前記洗浄乾燥槽
の底部が傾斜していることを特徴とする請求項１に記載
の部品洗浄乾燥装置である。

【００１２】請求項３に記載のものは、前記洗浄乾燥槽
の傾斜底部の最下部に、排液系が接続されていることを
特徴とする請求項１または請求項２に記載の部品洗浄乾
燥装置である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本実施形態の部品洗浄乾燥
装置１における洗浄乾燥槽３を示す斜視図、図２はその
側面形状を示す概略図、図３は本発明に係る部品洗浄乾
燥装置１の系統構成を示す概略図である。

【００１４】図３に示すように、工作油脂等の汚れが付
着した機械部品や電子部品等の被処理物２の洗浄及び乾
燥は、洗浄乾燥槽３内にバスケット４に入れた複数の被
処理物２を収容して行われる。この洗浄乾燥槽３内で
は、例えば石油系溶剤を洗浄溶剤として使用し、被処理
物２を洗浄溶剤に浸漬して超音波による振動を与えて洗
浄する浸漬洗浄工程を行ない、浸漬洗浄工程が終了する
と、洗浄溶剤を排液してから洗浄溶剤の蒸気を導入して
被処理物２の仕上げ洗浄を行う蒸気洗浄工程を行ない、
さらに蒸気洗浄後の被処理物２を真空乾燥工程を行って
乾燥する。

【００１５】洗浄溶剤としては、炭化水素系溶剤（パラ
フィン、ナフテン）、塩素系溶剤（トリクロロエチレ
ン、テトラクロロエチレン）、臭素系溶剤（ノルマルプ
ロピルブロマイド）、フッ素系溶剤（ＨＦＣ、ＨＦＥ、
ＨＣＦＣ）等が挙げられるが、環境保護の観点から炭化
水素系が好ましく、その内でも石油系溶剤が最適であ
る。

【００１６】図１及び図２において、洗浄乾燥槽３は上
部が開閉可能な中空箱体状の耐圧容器であり、上部開口
部５に形成されたフランジ部５ａにはシール材６を介し
て、該開口部５を密閉して覆う開閉蓋７が設けられてい
る。この開閉蓋７は、少なくともその天井面７ａ（即
ち、下面）が傾斜するように洗浄乾燥槽３の上部開口部
５に開閉自在に設けられる。開閉蓋７の天井面７ａを傾
斜させて設ける理由は、この開閉蓋７の天井面７ａに溶
剤ガスが結露した場合に、結露した溶剤液滴を該天井面
７ａを伝わらせて傾斜下端側へと流下させるためであ
り、傾斜下端側に集められた溶剤液滴は洗浄乾燥槽３の
内側側壁面３ｂを伝って流下し、底面３ａへと流下する
ことになる。

【００１７】本実施形態では、開閉蓋７が等厚の矩形平
板状によって形成されているため、洗浄乾燥槽３の上部
開口部５及びフランジ部５ａが、例えば前面下方（図２
において、左側下方）へ下り傾斜するように形成されて
おり、該フランジ部５ａ上に平板状の開閉蓋７を載置す
ることにより、その天井面７ａが前面下方へ傾斜するよ
うに構成されている。このように洗浄乾燥槽３の上部開
口部５及びフランジ部５ａの前面側（作業者の立つ側）
が奥側よりも低くなるように形成したのは、被処理物２
を入れたバスケット４の洗浄乾燥槽３内への搬入搬出作
業が容易になるようにするためであり、具体的には開閉
蓋７の天井面７ａの傾斜角θが３°以上３０°以下の範
囲となるように設定することが好ましい。開閉蓋７の天
井面７ａの傾斜角を３°以上に設定するのは、３°未満
であると、結露した溶剤液滴が傾斜側へ流下し難くいか
らであり、傾斜角を３０°以下に設定するのは、３０°
を超えると開閉蓋７が上部開口部５のフランジ部５ａ上
からずれ易くなるからである。

【００１８】なお、本実施形態では、開閉蓋７が等厚の
矩形平板状に形成されているため、洗浄乾燥槽３の上部
開口部５及びフランジ部５ａを傾斜させて形成したが、
これに限るものではなく、開閉蓋７の板厚を順次変化さ
せたり断面楔形のプレートを付加するなど、開閉蓋７に
改造を施して、その天井面７ａを傾斜させてもよい。

【００１９】また、洗浄乾燥槽３の底部３ａは、開閉蓋
７の天井面７ａの傾斜方向に合わせて傾斜するように形
成されている。本実施形態では、開閉蓋７の天井面７ａ
が前面下方へ傾斜するように設けられるので、この傾斜
方向に合わせて洗浄乾燥槽３の底部３ａも前面下方へ傾
斜するように形成されている。上述したように、開閉蓋
７の天井面７ａに結露した溶剤液滴は、該天井面７ａを
伝わって傾斜側である前面側へと流下して集まり、集ま
った溶剤液滴は前面側において洗浄乾燥槽３の側壁面３
ｂから底面３ａへと流下し、洗浄乾燥槽３の底部３ａの
前面側が奥側よりも低くなっているので、当該底部３ａ
の前面側に溜まることになる。なお、この洗浄乾燥槽３
の本体に加熱手段（図示せず）を附設すると、該加熱手
段の加熱により、洗浄乾燥槽３の底部３ａに滴下した溶
剤液滴を再度気化することができる。

【００２０】また、洗浄乾燥槽３の底部３ａの傾斜は、
必ずしも天井面７ａの傾斜方向に合わせる必要はない
が、いずれかに向けて傾斜させると、被処理物２を洗浄
溶剤に浸漬して超音波による振動を与えて洗浄する浸漬
洗浄工程の完了後における排液操作に有効であり、した
がって、洗浄乾燥槽３の傾斜底部３ａの最下部には、後
述する溶剤タンクに至る排液系８を接続し、該排液系８
にはこれを開閉する排液弁９を介設する。

【００２１】上述の浸漬洗浄工程、蒸気洗浄工程、及び
真空乾燥工程は、被処理物２を収容する洗浄乾燥槽３内
を炭化水素等の可燃性洗浄溶剤の爆発下限界以下まで減
圧して行われる。したがって、洗浄乾燥槽３には、真空
ポンプ１０に至る排気系１１が接続されており、該排気
系１１にはこれを開閉する洗浄乾燥槽真空弁１２が介設
されている。

【００２２】また、図３に示すように、上記洗浄乾燥槽
３には、その内部に洗浄溶剤を供給して被処理物２を浸
漬洗浄するために、溶剤タンク１３に至る浸漬洗浄系１
４が接続されており、該浸漬洗浄系１４にはこれを開閉
する浸漬洗浄弁１５が介設されている。洗浄乾燥槽３に
は、その内部に流入された洗浄溶剤のレベルを検出する
ためのレベルスイッチ１６が備えられている。浸漬洗浄
工程は、前述したように被処理物２を洗浄溶剤に浸漬し
て超音波による振動を与えて洗浄する工程であり、した
がって、本実施形態の洗浄乾燥槽３には、超音波振動装
置３ｃが備えられている。なお、溶剤タンク１３は、上
部が覆われた密閉容器であり、後述する分岐排気系を介
して真空ポンプ１０により減圧される。

【００２３】浸漬洗浄工程の完了後、洗浄乾燥槽３内の
洗浄溶剤は、前述したように、上記排液弁９を開放する
ことにより、洗浄乾燥槽３の傾斜底部３ａの最下部に接
続された排液系８を通じて溶剤タンク１３へと排液され
る。

【００２４】溶剤タンク１３から洗浄乾燥槽３への洗浄
溶剤の注入、及び洗浄乾燥槽３から溶剤タンク１３への
排液は、溶剤タンク１３と洗浄乾燥槽３との圧力差によ
り行われる。したがって、洗浄乾燥槽３には、前述した
ように、真空ポンプ１０に至る排気系１１が接続されて
いる。洗浄乾燥槽３にはその内部圧力を表示する洗浄乾
燥槽内圧力計１７が備えられており、排気系１１の洗浄
乾燥槽真空弁１２の上流側（洗浄乾燥槽側）には洗浄乾
燥槽３の内部圧力を大気開放して調整する洗浄乾燥槽大
気開放弁１８が分岐介設されている。

【００２５】また、洗浄乾燥槽３との相対関係において
溶剤タンク１３の内部圧力を調整する必要があるため、
排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２の下流側（真空ポン
プ側）は分岐され、溶剤タンク１３に至る分岐排気系１
９が接続され、この分岐排気系１９には溶剤タンク減圧
弁２０が介設されている。さらに溶剤タンク１３には、
その内部圧力を表示する溶剤タンク圧力計２１が備えら
れており、その内部圧力を大気開放して調整する溶剤タ
ンク大気開放弁２２が備えられている。

【００２６】浸漬洗浄工程の完了後、排液弁９を開放す
ることにより、洗浄乾燥槽３内の使用済み洗浄溶剤が排
液系８を通じて溶剤タンク１３へと排液されるが、洗浄
に使用した洗浄溶剤には被処理物２に付着していた各種
の汚れが混入している。これらの汚れ成分は洗浄乾燥槽
３や排液系８に設けるフィルタ等を通しただけでは除去
しきれず、省資源および環境保護の観点から洗浄溶剤を
再生して使用する。したがって、溶剤タンク１３には、
使用済み溶剤を蒸留して凝縮し、再生溶剤として貯留す
るリザーブタンク２３に至る再生処理系２４が接続され
ており、この再生処理系２４には蒸留器２５及びコンデ
ンサ２６が順次介設されている。

【００２７】蒸留器２５は、例えば耐熱・耐圧性を有す
る概略円筒体状の竪型容器であり、本実施形態では蒸留
器２５の下部を収納する状態で、加熱機構２５ａが備え
られている。この加熱機構２５ａは、例えばオイル加熱
ユニットであり、熱源として電気ヒータを備えており、
該ヒータにより加熱媒体としての耐熱オイルを加熱し、
この加熱オイルを介して蒸留器２５を加熱することによ
り、この蒸留器２５内を流通する汚れ成分を含む洗浄溶
剤を加熱して蒸発する。

【００２８】再生処理系２４の蒸留器２５よりも下流側
には、この蒸留器２５によって蒸留した溶剤蒸気を凝縮
して液化するためのコンデンサ２６が介設されている。
このコンデンサ２６の本体は、例えば概略円筒体状の竪
型または横型の容器であり、その内部に冷却水を通す冷
却細管２６ａを収納した熱交換器である。コンデンサ２
６を通過する溶剤蒸気は冷却細管２６ａに接触して凝縮
され、液化した再生溶剤としてリザーブタンク２３内へ
貯溜されることになる。コンデンサ２６とリザーブタン
ク２３との間の再生処理系２４には、循環ポンプ２７ａ
により再生溶剤を循環させて水分分離器２７ｂに通して
水分を分離してからリザーブタンク２３に供給すると共
に、コンデンサ２６からの再生溶剤をエゼクタ２７ｃに
より循環流路内に吸引合流する水分分離機構が介設され
ており、リザーブタンク２３には再生溶剤の貯溜量を検
出するレベルスイッチ２８が備えられている。なお、上
記エゼクタ２７ｃは、蒸留器２５内を減圧して蒸留効率
を高めている。

【００２９】また、リザーブタンク２３には、上記洗浄
乾燥槽３へ溶剤蒸気を導入して、該洗浄乾燥槽３内に収
容された被処理物２の蒸気洗浄工程を行うために、該洗
浄乾燥槽３に至る蒸気洗浄系２９が接続されている。こ
の蒸気洗浄系２９には、リザーブタンク２３から導入さ
れる再生溶剤を溶剤蒸気として気化させるための熱交換
器３０が介設されており、リザーブタンク２３から熱交
換器３０への再生溶剤の導入、熱交換器３０から洗浄乾
燥槽３への溶剤蒸気の導入は、リザーブタンク２３と洗
浄乾燥槽３との圧力差により行われ、熱交換器３０より
も上流側の蒸気洗浄系２９にはこれを開閉するための蒸
気洗浄補助弁３１が介設され、熱交換器３０よりも下流
側の蒸気洗浄系２９にはこれを開閉するための蒸気洗浄
弁３２が介設されている。

【００３０】熱交換器３０の本体は、例えば概略円筒体
状の竪型または横型の容器であり、その内部に加熱媒体
を通す加熱細管３０ａを収納しており、該熱交換器３０
を通過する再生溶剤は加熱細管３０ａに接触して気化さ
れ、溶剤蒸気として洗浄乾燥槽３に導入されることにな
る。熱交換器３０の加熱細管３０ａに通す加熱媒体とし
ては、電気ヒータ等の加熱手段により加熱したオイルが
挙げられる。また、熱交換器３０の導入口には、この熱
交換器３０内へ再生溶剤を霧状にして噴出させるための
スプレーノズル３３が設けられており、該熱交換器３０
内へ再生溶剤を噴霧することにより発生する溶剤蒸気を
確実にガス化することができる。

【００３１】次に、本発明の部品洗浄乾燥装置１の操作
を説明する。準備段階として、洗浄乾燥槽大気開放弁１
８を開放した後、洗浄乾燥槽３の開閉蓋７を開放して、
機械部品等の被処理物２を複数個入れたバスケット４を
載置部上に載置し、開閉蓋７をシール部材６を介して密
閉状態で閉成すると共に、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を
閉成する。

【００３２】このような準備が整ったら、まず、洗浄乾
燥槽３へ洗浄溶剤の給液を行う。給液操作は、溶剤タン
ク大気開放弁２２を開放して溶剤タンク１３の内部圧力
を溶剤タンク圧力計２１が爆発下限界以下の５００Ｐａ
を指示するまで大気方向へと戻して、溶剤タンク大気開
放弁２２を閉成し、浸漬洗浄系１４の浸漬洗浄弁１５、
及び排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２を開放すると共
に、真空ポンプ１０を駆動する。すると、洗浄乾燥槽３
と溶剤タンク１３との圧力差により、ヒータ１３ａを備
えた溶剤タンク１３内から加熱された洗浄溶剤が洗浄乾
燥槽３へと給液される。このとき、溶剤タンク減圧弁２
０、蒸気洗浄弁３２、蒸気洗浄補助弁３１、及び排液弁
９は閉成されている。そして、洗浄乾燥槽３のレベルス
イッチ１６の上限レベル検出により、浸漬洗浄弁１５及
び洗浄乾燥槽真空弁１２を閉成する。

【００３３】そして、真空浸漬洗浄工程を行う。この浸
漬洗浄工程では被処理物２が加熱溶剤内に浸漬している
状態で、超音波発生装置３ｃにより超音波振動を与えて
浸漬洗浄（超音波洗浄）を行う。

【００３４】浸漬洗浄の完了後に、洗浄乾燥槽３内の汚
れ成分を含む溶剤を排液する。排液操作は、洗浄乾燥槽
大気開放弁１８を開放し、洗浄乾燥槽３の内部圧力を洗
浄乾燥槽圧力計１７が爆発下限界以下の５００Ｐａを指
示するまで大気方向へと戻して、洗浄乾燥槽大気開放弁
１８を閉成し、排液系８の排液弁、及び分岐排気系１９
の溶剤タンク減圧弁２０を開放すると共に、真空ポンプ
１０を駆動する。すると、洗浄乾燥槽３と溶剤タンク１
３との圧力差により、洗浄乾燥槽３内から汚れ成分を含
む溶剤が溶剤タンク１３へと排液される。

【００３５】排液操作の完了後、仕上げ蒸気洗浄工程に
移行する。蒸気洗浄工程では、真空ポンプ１０は既に駆
動状態にあり、排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２を開
放した後、蒸気洗浄系２９の蒸気洗浄弁３２及び蒸気洗
浄補助弁３１を開放する。蒸気洗浄弁３２及び蒸気洗浄
補助弁３１の開放タイミングは、洗浄乾燥槽３の洗浄乾
燥槽圧力計１７が１００Ｐａ以下の減圧状態を指示した
ときである。すると、洗浄乾燥槽３とリザーブタンク２
３との圧力差により、リザーブタンク２３から熱交換器
３０を介して加熱された溶剤蒸気が洗浄乾燥槽３へと導
入され、被洗浄物処理物２の蒸気洗浄を行う。この蒸気
洗浄において、洗浄乾燥槽３内に溶剤蒸気が導入され、
この溶剤蒸気が開閉蓋７の天井面７ａに接触して冷却さ
れ、これにより結露となったとしても、天井面７ａの傾
斜により落下することなく側壁面３ｂに導かれる。した
がって、被処理物２上に結露が落下してシミとなる不都
合を確実に防止できる。

【００３６】蒸気洗浄を所定の時間行った後、蒸気洗浄
弁３２及び蒸気洗浄補助弁３１を閉成して蒸気洗浄工程
を完了し、真空乾燥工程へと移行する。真空ポンプ１０
は継続して駆動状態であり、排気系１１の洗浄乾燥槽真
空弁１２を開放したままであるが、所定時間ごとに洗浄
乾燥槽大気開放弁１８を開放して洗浄乾燥槽圧力計１７
が爆発下限界以下の５００Ｐａを指示するまで大気方向
へと戻し、再度洗浄乾燥槽大気開放弁１８を閉成して真
空ポンプ限界値まで減圧する操作を複数回繰り返す。

【００３７】真空乾燥を行うと、被処理物２に付着した
溶剤が気化するときに、気化熱を奪い、被処理物２の表
面温度が低下し、乾燥効率が低下する。そこで、洗浄乾
燥槽３の内部圧力を所定時間ごとに爆発下限界以下の５
００Ｐａまで大気方向へと戻して（復圧して）、被処理
物２が保有する芯熱を表面に呼び戻すことができ、再び
真空方向へと減圧することにより乾燥効率を向上させ
る。

【００３８】真空乾燥工程が完了したら、洗浄乾燥槽大
気開放弁１８を開放して、洗浄乾燥槽３の内部圧力を大
気開放し、全工程の終了を報知する。そして、洗浄乾燥
槽３の開閉蓋７を開放すれば、バスケット４と共に洗浄
乾燥された複数の被処理物２を取り出すことができる。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の部品洗浄乾燥装置によれば、以下の効果を奏する。請
求項１の発明によれば、洗浄乾燥槽の上部開口部を覆う
開閉蓋の少なくとも天井面を傾斜させて設けるので、開
閉蓋の天井面に溶剤ガスが結露した場合に、結露した溶
剤液滴を該天井面を伝わらせて傾斜側へと流下させ、傾
斜側に集められた溶剤液滴を洗浄乾燥槽の底面へと流下
させることにより、洗浄乾燥槽の開閉蓋に加熱手段を附
設することなく、その天井面への結露を防止して、真空
乾燥工程において被処理物への輪シミの付着を防止する
ことができる。

【００４０】請求項２の発明によれば、洗浄乾燥槽の底
部が傾斜しているので、浸漬洗浄工程において使用した
汚れ成分を含む溶剤を洗浄乾燥槽の底部における傾斜側
に導入することができる。

【００４１】請求項３の発明によれば、洗浄乾燥槽の傾
斜底部の最下部に、排液系が接続されているので、浸漬
洗浄工程の完了後に、洗浄乾燥槽内に汚れ成分を含む溶
剤を残溜させることなく、確実に排液することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態の部品洗浄乾燥装置における洗浄乾
燥槽を示す斜視図である。

【図２】本実施形態の部品洗浄乾燥装置における洗浄乾
燥槽の側面形状を示す概略図である。

【図３】本発明に係る部品洗浄乾燥装置の系統構成を示
す概略図である。

【図４】従来の部品洗浄乾燥装置における洗浄乾燥槽の
側面形状を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 部品洗浄乾燥装置 ２ 被処理物 ３ 洗浄乾燥槽 ３ａ 底面 ３ｂ 側壁面 ３ｃ 超音波発生装置 ４ バスケット ５ 上部開口部 ５ａ フランジ部 ６ シール材 ７ 開閉蓋 ７ａ 開閉蓋の天井面 ８ 排液系 ９ 排液弁 １０ 真空ポンプ １１ 排気系 １２ 洗浄乾燥槽真空弁 １３ 溶剤タンク １４ 浸漬洗浄系 １５ 浸漬洗浄弁 １６ レベルスイッチ １７ 洗浄乾燥槽内圧力計 １８ 洗浄乾燥槽大気開放弁 １９ 分岐排気系 ２０ 溶剤タンク減圧弁 ２１ 溶剤タンク圧力計 ２２ 溶剤タンク大気開放弁 ２３ リザーブタンク ２４ 再生処理系 ２５ 蒸留器 ２６ コンデンサ ２６ａ 冷却細管 ２７ａ 循環ポンプ ２７ｂ 水分分離器 ２７ｃ エゼクタ ２８ レベルスイッチ ２９ 蒸気洗浄系 ３０ 熱交換器 ３０ａ 加熱細管 ３１ 蒸気洗浄補助弁 ３２ 蒸気洗浄弁 ３３ スプレーノズル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄乾燥槽内に被処理物を収容すると共
   に、該洗浄乾燥槽内を減圧し、洗浄溶剤の加熱蒸気を導
   入して被処理物を蒸気洗浄し、蒸気洗浄の完了後に被処
   理物の乾燥を行う部品洗浄乾燥装置において、 上記洗浄乾燥槽の上部開口部を覆う開閉蓋の少なくとも
   天井面を傾斜させて設けることを特徴とする部品洗浄乾
   燥装置。
2. 【請求項２】 前記洗浄乾燥槽の底部が傾斜しているこ
   とを特徴とする請求項１に記載の部品洗浄乾燥装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄乾燥槽の傾斜底部の最下部に、
   排液系が接続されていることを特徴とする請求項１また
   は請求項２に記載の部品洗浄乾燥装置。