JP2003075337A - 集積型表面プラズモン共鳴センサ - Google Patents
集積型表面プラズモン共鳴センサInfo
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- JP2003075337A JP2003075337A JP2001265220A JP2001265220A JP2003075337A JP 2003075337 A JP2003075337 A JP 2003075337A JP 2001265220 A JP2001265220 A JP 2001265220A JP 2001265220 A JP2001265220 A JP 2001265220A JP 2003075337 A JP2003075337 A JP 2003075337A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定精度が良く、複数の試料を効率よく高精
度に計測可能な微細光学素子を有する集積型表面プラズ
モン共鳴センサを提供すること。 【解決手段】 本発明の集積型表面プラズモン共鳴セン
サは、微細光学素子から出射されるレーザ光を回折格子
を介して透明基板内に入射させると共に金属薄膜の試料
搭載領域に照射し、回折格子に隣接する他の回折格子を
介して透明基板から出射される反射光の強度を微細光学
素子で検出することにより、透明基板とシリコン基板と
を相対移動させながら、複数の試料における生化学反応
の発生の有無を順次分析できる。
度に計測可能な微細光学素子を有する集積型表面プラズ
モン共鳴センサを提供すること。 【解決手段】 本発明の集積型表面プラズモン共鳴セン
サは、微細光学素子から出射されるレーザ光を回折格子
を介して透明基板内に入射させると共に金属薄膜の試料
搭載領域に照射し、回折格子に隣接する他の回折格子を
介して透明基板から出射される反射光の強度を微細光学
素子で検出することにより、透明基板とシリコン基板と
を相対移動させながら、複数の試料における生化学反応
の発生の有無を順次分析できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、生化学計測の対象
となる液体試料の微少質量変化を検出するために、表面
プラズモン共鳴現象を利用した表面プラズモン共鳴セン
サ装置に関し、特に、複数の試料を効率よく高精度に計
測可能な微細光学素子である小型ＳＰＲ（Ｓｕｒｆａｃ
ｅ Ｐｌａｓｍｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）センサチッ
プを有する集積型表面プラズモン共鳴センサに関する。
となる液体試料の微少質量変化を検出するために、表面
プラズモン共鳴現象を利用した表面プラズモン共鳴セン
サ装置に関し、特に、複数の試料を効率よく高精度に計
測可能な微細光学素子である小型ＳＰＲ（Ｓｕｒｆａｃ
ｅ Ｐｌａｓｍｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）センサチッ
プを有する集積型表面プラズモン共鳴センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、生化学的反応の進行に伴う物
質の物理化学的な変化量を検出する方法として、表面プ
ラズモン共鳴現象を用いた表面プラズモン共鳴センサ装
置が知られている。これは、例えば、図２に示すよう
に、回折格子を備えた平行ガラス基板（またはガラスプ
リズム）１の表面に金や銀等の金属薄膜２を真空蒸着等
の成膜技術を用いて形成し、ガラス基板１の側から金属
薄膜２との界面に向かって全反射条件を満足する角度で
レーザ光３を照射すると、特定の入射角θの時に、金属
薄膜２に表面プラズモン共鳴が励起されるというもので
ある。
質の物理化学的な変化量を検出する方法として、表面プ
ラズモン共鳴現象を用いた表面プラズモン共鳴センサ装
置が知られている。これは、例えば、図２に示すよう
に、回折格子を備えた平行ガラス基板（またはガラスプ
リズム）１の表面に金や銀等の金属薄膜２を真空蒸着等
の成膜技術を用いて形成し、ガラス基板１の側から金属
薄膜２との界面に向かって全反射条件を満足する角度で
レーザ光３を照射すると、特定の入射角θの時に、金属
薄膜２に表面プラズモン共鳴が励起されるというもので
ある。
【０００３】表面プラズモン共鳴が励起されると、金属
薄膜２上のプラズモン波に光エネルギが吸収されるた
め、ガラス基板１と金属薄膜２との界面で全反射する反
射光５の強度が鋭く低下する。図３に、入射角θと反射
光５の強度との関係を示す。ここで、表面プラズモン共
鳴が生じる入射角θは、金属薄膜２と接触している測定
部４の試料溶液など媒質の密度（すなわち、金属薄膜表
面の質量）に依存するという関係がある。
薄膜２上のプラズモン波に光エネルギが吸収されるた
め、ガラス基板１と金属薄膜２との界面で全反射する反
射光５の強度が鋭く低下する。図３に、入射角θと反射
光５の強度との関係を示す。ここで、表面プラズモン共
鳴が生じる入射角θは、金属薄膜２と接触している測定
部４の試料溶液など媒質の密度（すなわち、金属薄膜表
面の質量）に依存するという関係がある。
【０００４】従って、この光学系から反射され反射光５
が特異的に低下する反射角を求めることにより、表面プ
ラズモン共鳴現象の有無、並びに、表面プラズモン共鳴
現象が生じている時の入射角θを求めることができ、結
果として媒質の密度、すなわち、金属薄膜表面の質量の
変化を求めることが可能となる。
が特異的に低下する反射角を求めることにより、表面プ
ラズモン共鳴現象の有無、並びに、表面プラズモン共鳴
現象が生じている時の入射角θを求めることができ、結
果として媒質の密度、すなわち、金属薄膜表面の質量の
変化を求めることが可能となる。
【０００５】このように、金属薄膜表面の質量の微少変
化は、金属薄膜の表面プラズモン共鳴吸収による大きな
光量変化として鋭敏に検知することができるようにな
る。従って、この表面プラズモン共鳴現象を応用した計
測法では、非常に微少な量を対象として計測が可能とな
り、通常、１ピコグラムの質量変化をも検出できる。そ
れゆえ、一般的な計測方法では計測できない微少量を扱
う生化学計測にも応用されている。例えば、図３に示す
２つの特性のように、測定部４（図２参照）におけるＤ
ＮＡ結合の有無が、反射光５の強度が低下する入射角θ
の違いとなって現れるので、ＤＮＡの結合による質量の
微少変化を検知することができる。
化は、金属薄膜の表面プラズモン共鳴吸収による大きな
光量変化として鋭敏に検知することができるようにな
る。従って、この表面プラズモン共鳴現象を応用した計
測法では、非常に微少な量を対象として計測が可能とな
り、通常、１ピコグラムの質量変化をも検出できる。そ
れゆえ、一般的な計測方法では計測できない微少量を扱
う生化学計測にも応用されている。例えば、図３に示す
２つの特性のように、測定部４（図２参照）におけるＤ
ＮＡ結合の有無が、反射光５の強度が低下する入射角θ
の違いとなって現れるので、ＤＮＡの結合による質量の
微少変化を検知することができる。
【０００６】一般に、上述した表面プラズモン共鳴セン
サ装置は、一つの検出部位で行われる生化学反応を対象
として、個々に計測を行なうものであり、計測の作業効
率が悪いため、多数の試料を計測するための多点検出装
置が開発されている。例えば、図４に示すような表面プ
ラズモンセンサでは、均一な厚さの透明基板１０の一表
面に金属膜１１を形成する一方、この一表面と対面する
他表面上に、それぞれ２次元的に広がる回折格子等の光
入力手段１２および光出力手段１３を形成し、この光入
力手段１２に入射する光ビーム１４を光走査手段１５に
より、該光入力手段１２の広がり方向に２次元的に走査
させて各試料１６に対応する領域の金属薄膜１１に光ビ
ーム１４を照射する。そして試料透明基板１０と金属膜
１１との界面１０ａで全反射して光出力手段１３から透
明基板１０外に出射した光ビーム１７を、光検出手段１
８によって検出する。
サ装置は、一つの検出部位で行われる生化学反応を対象
として、個々に計測を行なうものであり、計測の作業効
率が悪いため、多数の試料を計測するための多点検出装
置が開発されている。例えば、図４に示すような表面プ
ラズモンセンサでは、均一な厚さの透明基板１０の一表
面に金属膜１１を形成する一方、この一表面と対面する
他表面上に、それぞれ２次元的に広がる回折格子等の光
入力手段１２および光出力手段１３を形成し、この光入
力手段１２に入射する光ビーム１４を光走査手段１５に
より、該光入力手段１２の広がり方向に２次元的に走査
させて各試料１６に対応する領域の金属薄膜１１に光ビ
ーム１４を照射する。そして試料透明基板１０と金属膜
１１との界面１０ａで全反射して光出力手段１３から透
明基板１０外に出射した光ビーム１７を、光検出手段１
８によって検出する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回折格
子等からなる光入力手段１２及び光出力手段１３は比較
的サイズが大きく、また、これら光入力手段１２及び光
出力手段１３の間に複数の試料１６が存在するため、各
試料１６を分析するためには、光操作手段１５及び光検
出手段１８を図中左右方向及び紙面を貫通する方向に移
動したり、入射角度を変えるために光学系のアライメン
トを調整しなければならず、分析に手間が掛かり、分析
精度の観点からも簡便かつさらに高精度な装置が望まれ
ているという課題があった。
子等からなる光入力手段１２及び光出力手段１３は比較
的サイズが大きく、また、これら光入力手段１２及び光
出力手段１３の間に複数の試料１６が存在するため、各
試料１６を分析するためには、光操作手段１５及び光検
出手段１８を図中左右方向及び紙面を貫通する方向に移
動したり、入射角度を変えるために光学系のアライメン
トを調整しなければならず、分析に手間が掛かり、分析
精度の観点からも簡便かつさらに高精度な装置が望まれ
ているという課題があった。
【０００８】従って、本発明は、上述した従来の技術の
問題を解決するためになされたもので、測定精度が良
く、複数の試料を効率よく高精度に計測可能な微細光学
素子（小型ＳＰＲセンサチップ）を有する集積型表面プ
ラズモン共鳴センサを提供することを目的とするもので
ある。
問題を解決するためになされたもので、測定精度が良
く、複数の試料を効率よく高精度に計測可能な微細光学
素子（小型ＳＰＲセンサチップ）を有する集積型表面プ
ラズモン共鳴センサを提供することを目的とするもので
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の集積型表面プラ
ズモン共鳴センサは、生化学反応測定用の複数の試料を
搭載する金属薄膜と、第１面に前記金属薄膜が形成さ
れ、第２面に回折格子が形成される平行平板状の透明基
板と、前記透明基板を搭載すると共に、搭載面に微細光
学素子を有するシリコン基板とを備え、前記微細光学素
子から出射されるレーザ光を前記回折格子を介して前記
透明基板内に入射させると共に前記金属薄膜の試料搭載
領域に照射し、前記回折格子に隣接する他の回折格子を
介して前記透明基板から出射される反射光の強度を前記
微細光学素子で検出することにより、前記透明基板と前
記シリコン基板とを相対移動させながら、前記複数の試
料における生化学反応の発生の有無を順次分析できる構
成であり、また、前記微細光学素子は、数ミリ程度の大
きさである構成である。
ズモン共鳴センサは、生化学反応測定用の複数の試料を
搭載する金属薄膜と、第１面に前記金属薄膜が形成さ
れ、第２面に回折格子が形成される平行平板状の透明基
板と、前記透明基板を搭載すると共に、搭載面に微細光
学素子を有するシリコン基板とを備え、前記微細光学素
子から出射されるレーザ光を前記回折格子を介して前記
透明基板内に入射させると共に前記金属薄膜の試料搭載
領域に照射し、前記回折格子に隣接する他の回折格子を
介して前記透明基板から出射される反射光の強度を前記
微細光学素子で検出することにより、前記透明基板と前
記シリコン基板とを相対移動させながら、前記複数の試
料における生化学反応の発生の有無を順次分析できる構
成であり、また、前記微細光学素子は、数ミリ程度の大
きさである構成である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による多
点試料分析用ＳＰＲ分析装置の好適な実施の形態につい
て詳細に説明する。
点試料分析用ＳＰＲ分析装置の好適な実施の形態につい
て詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の集積型表面プラズモンセ
ンサを概略的に示す構成図である。図１において、符号
２１で示されるものは平行平板状の透明基板であるガラ
ス基板であり、このガラス基板２１の第１面には、複数
箇所に金属薄膜２２が形成されている。前記金属薄膜２
２は生化学反応測定用の試料２３ａ〜２３ｃを搭載する
表面２２Ａと、前記ガラス基板中を伝搬するレーザ光を
反射する反射面２２Ｂとを備える。
ンサを概略的に示す構成図である。図１において、符号
２１で示されるものは平行平板状の透明基板であるガラ
ス基板であり、このガラス基板２１の第１面には、複数
箇所に金属薄膜２２が形成されている。前記金属薄膜２
２は生化学反応測定用の試料２３ａ〜２３ｃを搭載する
表面２２Ａと、前記ガラス基板中を伝搬するレーザ光を
反射する反射面２２Ｂとを備える。
【００１２】また、ガラス基板２１の第２面である裏面
２１Ａには、複数の回折格子２１Ｂ 1〜２１Ｂ4が形成さ
れており、相隣接する回折格子２１Ｂ1と２１Ｂ2、２１
Ｂ2と２１Ｂ3、２１Ｂ3と２１Ｂ4の間に１つの試料２３
ａ〜２３ｃがそれぞれ位置するように構成されている。
なお、この回折格子２１Ｂ1〜２１Ｂ4は、ガラスエッチ
ング等により形成されるものであり、平行平板状のガラ
ス基板２１内を伝搬するレーザ光が全反射する条件を満
たすために配設されるものである。
２１Ａには、複数の回折格子２１Ｂ 1〜２１Ｂ4が形成さ
れており、相隣接する回折格子２１Ｂ1と２１Ｂ2、２１
Ｂ2と２１Ｂ3、２１Ｂ3と２１Ｂ4の間に１つの試料２３
ａ〜２３ｃがそれぞれ位置するように構成されている。
なお、この回折格子２１Ｂ1〜２１Ｂ4は、ガラスエッチ
ング等により形成されるものであり、平行平板状のガラ
ス基板２１内を伝搬するレーザ光が全反射する条件を満
たすために配設されるものである。
【００１３】また、前記ガラス基板２１が搭載されてい
るシリコン基板２４は、シリコンの異方性を利用して、
微細アクチュエータ構造によるミラー２５、レンズ２
６、光源２７及び光検出器２８等の微細光学素子からな
るＳＰＲセンサ用の光学系がシリコン基板２４の表面２
４Ａ上の微小領域にエッチングにより形成されている。
るシリコン基板２４は、シリコンの異方性を利用して、
微細アクチュエータ構造によるミラー２５、レンズ２
６、光源２７及び光検出器２８等の微細光学素子からな
るＳＰＲセンサ用の光学系がシリコン基板２４の表面２
４Ａ上の微小領域にエッチングにより形成されている。
【００１４】なお、微細光学素子を構成する各素子（ミ
ラー２５、レンズ２６、光源２７及び光検出器２８）の
それぞれの大きさは、例えば１００μｍ〜数１００μｍ
程度であり、図１中における光源２７から光検出器２８
までの距離は例えば数ｍｍ程度であり、従って、相隣接
する回折格子２１Ｂ1と２１Ｂ2、２１Ｂ2と２１Ｂ3、２
１Ｂ3と２１Ｂ4の間の距離はそれぞれ１ｍｍ〜数ｍｍ程
度となる。
ラー２５、レンズ２６、光源２７及び光検出器２８）の
それぞれの大きさは、例えば１００μｍ〜数１００μｍ
程度であり、図１中における光源２７から光検出器２８
までの距離は例えば数ｍｍ程度であり、従って、相隣接
する回折格子２１Ｂ1と２１Ｂ2、２１Ｂ2と２１Ｂ3、２
１Ｂ3と２１Ｂ4の間の距離はそれぞれ１ｍｍ〜数ｍｍ程
度となる。
【００１５】このような集積型表面プラズモンセンサに
おいて、例えば、シリコン基板２４とガラス基板２１を
接触させ、相隣接する一対の回折格子２１Ｂ2に光源２
７からレーザ光を照射すると、相隣接する回折格子２１
Ｂ2−２１Ｂ3間に存在する１つの試料２３ｂにレーザ光
が照射され、試料２３ｂを搭載している金属薄膜２２ｂ
とガラス基板２１との界面において表面プラズモン共鳴
を励起させることができる。
おいて、例えば、シリコン基板２４とガラス基板２１を
接触させ、相隣接する一対の回折格子２１Ｂ2に光源２
７からレーザ光を照射すると、相隣接する回折格子２１
Ｂ2−２１Ｂ3間に存在する１つの試料２３ｂにレーザ光
が照射され、試料２３ｂを搭載している金属薄膜２２ｂ
とガラス基板２１との界面において表面プラズモン共鳴
を励起させることができる。
【００１６】従って、試料２３ｂに所定の試薬を滴下す
ることにより、試薬の滴下前後における各試料２３ａ〜
２３ｃに対応する金属薄膜２２ａ〜２２ｃとガラス基板
２１との界面における表面プラズモン共鳴の励起の有無
を分析することにより、各試料２３ａ〜２３ｃでの生化
学反応の発生の有無を分析することができる。
ることにより、試薬の滴下前後における各試料２３ａ〜
２３ｃに対応する金属薄膜２２ａ〜２２ｃとガラス基板
２１との界面における表面プラズモン共鳴の励起の有無
を分析することにより、各試料２３ａ〜２３ｃでの生化
学反応の発生の有無を分析することができる。
【００１７】また、ガラス基板２１と光学系のシリコン
基板２４をスライドさせることで複数の試料２３ａ〜２
３ｃにおける屈折率変化を検出でき、複数の試料２３ａ
〜２３ｃでの生化学反応の発生の有無を簡単かつ高精度
に分析することができる。本発明では、単結晶シリコン
からなるシリコン基板２４の表面２４Ａに異方性エッチ
ングによる微細光学素子（ミラー２５〜光検出器２８）
を設け、これらの微細な光学部品を用いて測定を行うの
で、金属薄膜２２ａ〜２２ｃからなるセンサを集積する
ことができ、このような微細光学素子である小型ＳＰＲ
センサチップを有することにより、複数の試料２３を効
率よく分析することができる集積型表面プラズモン共鳴
センサを提供することができる。
基板２４をスライドさせることで複数の試料２３ａ〜２
３ｃにおける屈折率変化を検出でき、複数の試料２３ａ
〜２３ｃでの生化学反応の発生の有無を簡単かつ高精度
に分析することができる。本発明では、単結晶シリコン
からなるシリコン基板２４の表面２４Ａに異方性エッチ
ングによる微細光学素子（ミラー２５〜光検出器２８）
を設け、これらの微細な光学部品を用いて測定を行うの
で、金属薄膜２２ａ〜２２ｃからなるセンサを集積する
ことができ、このような微細光学素子である小型ＳＰＲ
センサチップを有することにより、複数の試料２３を効
率よく分析することができる集積型表面プラズモン共鳴
センサを提供することができる。
【００１８】なお、以上の説明では、３分割された金属
薄膜２２ａ〜２２ｃを用いたが、分割されずに１つの薄
膜からなる金属薄膜をガラス基板上に形成しても良い。
また、以上の説明では３つの試料２３ａ〜２３ｃを分析
するばあいについて説明したが、試料の数は幾つであっ
ても良く、紙面左右方向のみならず、紙面を貫通する方
向に試料を並べて、２次元的に配置しても良い。このよ
うな場合でもガラス基板２１とシリコン基板２４を相対
移動すれば容易に分析が可能である。
薄膜２２ａ〜２２ｃを用いたが、分割されずに１つの薄
膜からなる金属薄膜をガラス基板上に形成しても良い。
また、以上の説明では３つの試料２３ａ〜２３ｃを分析
するばあいについて説明したが、試料の数は幾つであっ
ても良く、紙面左右方向のみならず、紙面を貫通する方
向に試料を並べて、２次元的に配置しても良い。このよ
うな場合でもガラス基板２１とシリコン基板２４を相対
移動すれば容易に分析が可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明の集積型表面プラズモン共鳴セン
サによれば、微細光学素子から出射されるレーザ光を回
折格子を介して透明基板内に入射させると共に金属薄膜
の試料搭載領域に照射し、回折格子に隣接する他の回折
格子を介して透明基板から出射される反射光の強度を微
細光学素子で検出することにより、透明基板とシリコン
基板とを相対移動させながら、複数の試料における生化
学反応の発生の有無を順次分析できるので、測定精度が
良く、複数の試料を効率よく高精度に計測可能な微細光
学素子（小型ＳＰＲセンサチップ）を有する集積型表面
プラズモン共鳴センサを提供することができる。また、
前記微細光学素子は、数ミリ程度の大きさである構成で
あるので、安価かつ高精度な集積型表面プラズモン共鳴
センサを提供することができる。
サによれば、微細光学素子から出射されるレーザ光を回
折格子を介して透明基板内に入射させると共に金属薄膜
の試料搭載領域に照射し、回折格子に隣接する他の回折
格子を介して透明基板から出射される反射光の強度を微
細光学素子で検出することにより、透明基板とシリコン
基板とを相対移動させながら、複数の試料における生化
学反応の発生の有無を順次分析できるので、測定精度が
良く、複数の試料を効率よく高精度に計測可能な微細光
学素子（小型ＳＰＲセンサチップ）を有する集積型表面
プラズモン共鳴センサを提供することができる。また、
前記微細光学素子は、数ミリ程度の大きさである構成で
あるので、安価かつ高精度な集積型表面プラズモン共鳴
センサを提供することができる。
【図１】 本発明の集積型表面プラズモンセンサを概略
的に示す構成図である。
的に示す構成図である。
【図２】 表面プラズモン共鳴を利用して質量変化を検
出するための検出原理を概念的に示す図である。
出するための検出原理を概念的に示す図である。
【図３】 表面プラズモン共鳴を利用した質量変化の検
出における入射角θと反射光の強度との関係を示す特性
図である。
出における入射角θと反射光の強度との関係を示す特性
図である。
【図４】 従来の表面プラズモンセンサのを概略的に示
す構成図である。
す構成図である。
２１ ガラス基板、２１Ａ 裏面、２１Ｂ1〜２１Ｂ4
回折格子、２２ 金属薄膜、２２Ａ 金属薄膜、２２Ｂ
反射面、２３ 試料、２４ シリコン基板、２４Ａ
表面、２５ ミラー、２６ レンズ、２７ 光源、２８
光検出器。
回折格子、２２ 金属薄膜、２２Ａ 金属薄膜、２２Ｂ
反射面、２３ 試料、２４ シリコン基板、２４Ａ
表面、２５ ミラー、２６ レンズ、２７ 光源、２８
光検出器。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 田原 諭
神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１
三菱重工業株式会社基盤技術研究所内
(72)発明者 後藤 崇之
神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１
三菱重工業株式会社基盤技術研究所内
(72)発明者 中山 博之
神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１
三菱重工業株式会社基盤技術研究所内
Ｆターム(参考） 2G059 AA01 BB04 BB12 CC16 EE02
FF11 FF12 GG01 JJ05 JJ11
JJ13 KK01 PP01
Claims (2)
- 【請求項１】 生化学反応測定用の複数の試料を搭載す
る金属薄膜と、 第１面に前記金属薄膜が形成され、第２面に回折格子が
形成される平行平板状の透明基板と、 前記透明基板を搭載すると共に、搭載面に微細光学素子
を有するシリコン基板とを備え、 前記微細光学素子から出射されるレーザ光を前記回折格
子を介して前記透明基板内に入射させると共に前記金属
薄膜の試料搭載領域に照射し、前記回折格子に隣接する
他の回折格子を介して前記透明基板から出射される反射
光の強度を前記微細光学素子で検出することにより、前
記透明基板と前記シリコン基板とを相対移動させなが
ら、前記複数の試料における生化学反応の発生の有無を
順次分析できることを特徴とする集積型表面プラズモン
共鳴センサ。 - 【請求項２】 前記微細光学素子は、数ミリ程度の大き
さであることを特徴とする請求項１記載の集積型表面プ
ラズモン共鳴センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001265220A JP2003075337A (ja) | 2001-09-03 | 2001-09-03 | 集積型表面プラズモン共鳴センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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