JP2003069137A - 波長可変モード同期レーザ及びその作製方法 - Google Patents
波長可変モード同期レーザ及びその作製方法Info
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Abstract
用いた場合の十分な分散耐力を与え、モード同期の周波
数に対する制限を緩やかにする。 【解決手段】 波長可変モード同期レーザの分布ブラッ
ググレーティング148は、発振波長λ1〜λNの各々
の光を反射するN個の回折領域を備え、N個の回折領域
の各々は、第nの回折領域(1≦n≦N、nは整数)の
場合に、発振波長λnに対応するピッチを中心に連続的
に変化するピッチを有し発振波長λnの光を反射する回
折格子(148の各回折格子)を備え、且つ、アポダイ
ゼーション143が適用されている。
Description
期レーザ及びその作製方法に関し、より詳しくは、高速
波長変換および波長ルーティングを利用した光通信ネッ
トワーク等に利用できる波長可変モード同期レーザ及び
その作製方法に関する。
波数(すなわちレーザの繰り返し)を変化させることに
よって、発振波長が可変される波長可変モード同期レー
ザがある。
連する文献としては、下記のものがある。 [1] P.A.Morton, V.Mizrahi, P.A.Andrekson, T.Ta
nbun-Ek, R.A.Logan, P.Lemaire, D.L.Coblentz, A.M.S
ergent, K.W.Wecht, and P.F.Sciortino Jr, "Mode-loc
ked hybrid soliton pulse souce with extremely wide
operating frequency range," IEEE Photon.Technol.L
ett., vol.5, pp.28-31, Jan.(1993). [2] J.Yu, D.Huhse, M.Schell, M.Schulze, D.Bimb
erg, J.A.R.Williams, L.Zhang, and I.Bennion, "Four
ier-transform-limited 2.5 ps light pulses with ele
ctrically tunable wavelength (15 nm) by hybridly m
odelocking a semiconductor laser in a chirped Brag
g grating fibre external cavity," Electron.Lett.,
vol.31, pp.2008-2009, November 9(1995). [3] S.Li and K.T.Chan, "Electrical wavelength-
tunable actively mode-locked fiber ring laser with
a linearly chirped fiber Bragg, grating," IEEE Ph
oton.Technol.Lett., vol.10, pp.799-801, June(199
8). [4] B.Fischer, O.Shapira, B Levit, and A.Bekke
r, "Cavity-resonance-activated wavelength-selectab
le fiber and diode lasers," in Tech, Dig. 1999 Con
f.Lasers And Electro-Optics, paper Ctu J6, May(199
9). [5] K.R.Tamura, T.Komukai, and M.Nakazawa, "A
new optical rauting technique with a subcarrier cl
ock controlled wavelength converter," IEEEPhoton.T
echnol.Lett., vol.11, pp.1491-1493, November(199
9).
で、高速に波長可変が可能で、また容易に波長選択が可
能であるという、いくつかの利点がある。
ーザの一般構成の例を示す図である。共振器10が半導
体光増幅器14、光変調器13、N波長(Nは正の整
数)の分布ブラッググレーティング(distributed Brag
g grating:DBG)15、および出力手段19(図1
の場合、DBG15を透過した光を用いている)から成
っている。
ァイバまたはシリコン基板上の石英導波路)上に設計さ
れている。共振器10の片側が高反射面11により終端
されており、もう片側がDBG15により終端されてい
る。半導体光増幅器14の出力側に表面反射を抑圧する
手段12が用いられており、半導体の部分と光導波路ま
たは光ファイバ間の接続がカップリング手段110によ
り実現されている。
を示す図である。図中符号21は従来の一定なピッチの
DBGを複数個並べた構成のDBGを作製するための位
相マスクの例であり、22は位相マスク21の長さによ
るピッチの変化、23はDBGを作製する時に適用する
アポダイゼーションプロファイル、24は位相マスク2
1およびアポダイゼーション23によるDBGの反射ス
ペクトル、25はDBGの反射スペクトル24の波長に
よる反射遅延特性である。
隔がΔλである。各波長バンドに対応する反射遅延は、
DBGを作製する時に用いる位相マスク21の設計によ
り設定されている。図2に示すDBGの場合、反射遅延
特性が波長により徐々に増加している。
明する。DC(direct current)電源17により、半導
体光増幅器14の利得が設定されている。RF(radio
frequencies)シンセサイザー16を用いて、モード同
期を掛けるための変調信号を得ている。光変調器13を
レーザの基本繰り返し周波数fの整数k倍(k>0)で
変調することによって、モード同期発振が実現され、繰
り返し周波数kfでパルス列が出力手段19から出力さ
れる。
器長とそれに対応する繰り返し周波数fが波長により異
なる。この場合、所望の波長に対応する周波数で光変調
器13を変調した際、その波長のみでモード同期発振が
実現されるが、他の波長では発振が起きない。すなわ
ち、クロック周波数を変化させることによって、発振波
長を選択することができる。
ード同期レーザの出力スペクトルの例を示す図である。
図中符号31は、N波長の内の一つが発振していること
を示している。クロック周波数と発振波長の対応性は、
DBGの波長と遅延の対応性で設定することができる
が、図2に示すDBGを用いた場合、モード同期周波数
を徐々に減少させることによって、レーザの発振波長が
長波長側に変化する。
が、DBGをサーキュレータと組み合わせることによっ
て、原理的に同じ動作をリング型の共振器で実現するこ
とができる。
法を用いることが有効である。図2において、DBGの
反射スペクトル24及びDBGの反射スペクトルの反射
遅延特性25で示す特性のDBGを実現するために用い
る位相マスク21の特性を、以下に示す。
ッチの部分から成っており、長さによるピッチの変化を
図中符号22に示す。DBGを光導波路に書き込む際、
23で示すようなアポダイゼーション(apodization、
ピッチに対応する短周期の屈折率変化より遅く変化する
エンベロープ成分)を適用することによって、反射遅延
のリップル(変動)が低減される。
述べるような問題がある。まず、一定なピッチの位相マ
スク21は製造後に調整することができないため、ピッ
チの絶対値、ピッチの間隔、および各一定ピッチの部分
の物理的な長さが固定である。このため、その位相マス
ク21を用いてDBGを作製する際、DBGの波長、波
長間隔、および反射遅延量を調整する自由度がほぼ存在
しない。
の波長を得るときに問題になる。例えば、所望の波長を
得るために必要な位相マスク21のピッチは、DBGを
書き込む媒体(すなわち、光ファイバまたは光導波路)
の屈折率に依存している。位相マスク21のピッチはマ
スクの製造後に調整することができないため、媒体の屈
折率nがδn変化した場合、波長が所望の値から変化す
る。
反射波長の変化を説明する図である。波長244nmの
光41を位相マスク42に透過させ、光ファイバ43に
放射させることによってDBG44がファイバのコア部
分に書き込まれる。光ファイバ43の屈折率がnである
場合、DBG44の反射スペクトルは図中符号45に示
すようになるが、屈折率がn+δnに変化した場合、4
6に示すように反射波長が変化され、所望の波長に対応
しなくなる。屈折率は、ファイバによって僅かに異なる
ことと同時に、DBGの製造中に変化する。このため、
所望の波長を得るために、複数の位相マスクをあらかじ
め準備しておく必要がある。
いたレーザにモード同期を掛ける際、レーザが安定に発
振するRF周波数範囲が狭いという問題が生じる。図5
は、図2のDBGを用いたレーザの、安定なモード同期
発振が起きるRF周波数範囲を説明する図である。図5
の縦軸51はレーザの出力光のSN比(signal-to-nois
e ratio)であり、点線52以上のところで安定な発振
を得ることを示している。SN比のRF周波数依存性を
図中符号53で示しており、安定に動作する周波数範囲
54が狭いことを示している。この原因は、各波長に対
応するDBGの反射遅延量が一定であることであり(図
2)、精密なRF周波数設定が必要、また共振器長の変
化によって発振が不安定になるという問題を起こす。
チが連続的にチャープ(chirp)した広帯域なDBGを
用いる方法がある(前述の文献1〜3)。
性の関係を示す図である。このようなDBGを作製する
時に用いる位相マスクを図中符号61に、および位相マ
スク61の長さによるピッチの変化(十分連続的に変化
している)を62に示す。ピッチが連続的に変化してい
るため、63に示すようなアポダイゼーションが通常適
用される。本位相マスク61およびアポダイゼーション
63による、DBGの反射スペクトルを64に、および
DBGの反射スペクトル64の反射遅延特性を65に示
す。
5が連続的であるため、連続的な波長可変が可能にな
る。従って、モード同期周波数を調整することによって
所望の波長で発振を実現することができる。また、反射
遅延特性65が連続的に変化するため、全てのRF周波
数値で安定なモード同期を実現することができる(図
7)。図7において、SN比71のRF周波数依存性7
3が、点線72以上の常に安定な領域に存在する。チャ
ープDBGを用いた場合、広いRF周波数範囲で安定な
発振を得ることができる。
下に述べるような問題が存在する。図8において、DB
Gの反射帯域82が広いため、レーザの発振スペクトル
81が広くなる。この場合、選択可能なN種の波長のう
ち、隣接するλnとλmの波長間隔を狭めるのが困難に
なると同時に、レーザを伝送に用いた場合の分散耐力が
劣化する。
一定のピッチのDBGを用いた波長可変モード同期レー
ザは、位相マスク法を用いて製造した場合、波長の調整
が困難である。また、安定なモード同期を実現できるR
F周波数範囲が狭いという課題がある。この二つの課題
を解決するためにチャープDBGを用いることができる
が、従来のチャープDBGの場合、レーザの発振スペク
トルが広くなるため、狭い波長間隔を実現することが困
難であると同時に、伝送に用いる時の分散耐力が劣化す
るという解決すべき課題が従来技術にはあった。
たもので、その目的とするところは、伝送に用いた場合
の十分な分散耐力を有し、モード同期の周波数に対する
制限が緩やかな波長可変モード同期レーザ及びその作製
方法を提供することにある。
るために、請求項1に記載の発明は、共振器(121)
内に分布ブラッググレーティング(125)が挿入され
ており、モード同期の周波数を変更することにより、出
力する光を発振波長λ1〜λN(Nは正の整数)のN種
類に変更可能な波長可変モード同期レーザにおいて、前
記分布ブラッググレーティングは、前記発振波長λ1〜
λNの各々の光を反射するN個の回折領域(148の各
回折領域)を備え、該N個の回折領域の各々は、第nの
回折領域(1≦n≦N、nは整数)の場合に、発振波長
λnに対応するピッチを中心に連続的に変化するピッチ
を有し前記発振波長λnの光を反射する回折格子(14
8の各回折格子)を備え、アポダイゼーションが適用さ
れている(143、図14(a)の屈折率プロファイ
ル)ことを特徴とする。
の波長可変モード同期レーザにおいて、前記分布ブラッ
ググレーティングは、1≦m<n≦N(mは整数)の場
合に、前記発振波長λ1〜λNがλm<λnの関係を満
たすことを特徴とする(図9、図14(b))。
1)内に分布ブラッググレーティング(125)を有
し、モード同期の周波数を変更することにより、出力す
る光を発振波長λ1〜λN(Nは正の整数)のN種類に
変更可能な波長可変モード同期レーザの作製方法におい
て、前記分布ブラッググレーティングを形成するための
部材(144)に対して、連続的にピッチが変化する位
相マスク(142)とN個の回折領域(148の各回折
領域)を規定するためのアポダイゼーションマスク(1
43)とを用いて露光し、前記N個の回折領域の各々に
ついて、第nの回折領域(1≦n≦N、nは整数)の場
合に、発振波長λnに対応するピッチを中心に連続的に
変化するピッチを有し前記発振波長λnの光を反射する
回折格子(148の各回折格子)を形成すると共に、ア
ポダイゼーション(図14(a)の屈折率プロファイ
ル)を適用し、前記発振波長λ1〜λNの各々の光を反
射する前記N個の回折領域を有する前記分布ブラッググ
レーティングを形成することを特徴とする。
の波長可変モード同期レーザの作製方法において、前記
部材に対して露光を行うに際し、1≦m<n≦N(mは
整数)の場合に、前記発振波長λ1〜λNがλm<λn
の関係を満たす前記分布ブラッググレーティングを形成
する前記位相マスクを使用することを特徴とする。
に記載の波長可変モード同期レーザの作製方法におい
て、前記部材に対して露光を行うに際し、前記アポダイ
ゼーションマスクの前記N個の回折領域の規定の仕方を
調整することによって(図14(a)、(b))、前記
波長可変モード同期レーザの出力する光の発振波長、発
振波長間隔、及び前記分布ブラッググレーティングの反
射帯域を調整することを特徴とする。
ーザの最短発振波長に対応するピッチから最長波長に対
応するピッチまで、連続的にピッチが増加する長さL
TOTのチャープ位相マスク(91、142)に、N個
の所望の波長に対応する部分のみに、長さLLOC≪L
TOTのアポダイゼーション(93、図14(a)の屈
折率プロファイル)を適用された分布ブラッググレーテ
ィングを用いたものである。
分的にアポダイゼーションを適用することによって、媒
体の屈折率が変化した場合にでも、同じ位相マスクを用
いてアポダイゼーションを適用する部分を調整すること
により、所望の波長で発振するレーザを実現することが
できる。部分的なアポダイゼーションを適用するため、
各反射バンドの帯域が制限されるため、レーザの発振ス
ペクトルが細くなり分散耐力が改善される。
ができなくなるが、反射遅延特性(95)が一定でない
ため、ピッチが一定の分布ブラッググレーティングを用
いた時と比較して、各波長で安定に発振するモード同期
周波数範囲が拡大される(図11)。
は、N波長の分布ブラッググレーティングの反射帯域内
のピッチが連続的に変化している(チャープしている)
ものである。この場合、この分布ブラッググレーティン
グの特性を実現するための作製法は、位相マスク法を用
いた作製法に限定されない。
る実施形態の構成部の図中の符号を()で示す。ただ
し、特許請求の範囲に記載した構成要素は上記()部の
実施形態の構成部に限定されるものではない。
施形態を詳細に説明する。最初に、本実施形態の波長可
変モード同期レーザにおいて使用するチャープDBGの
作製と特性の関係を説明する。
製と特性の関係を示す図である。本実施形態のチャープ
DBGを作製する時に用いる位相マスクを図中符号91
に、および位相マスク91の長さによるピッチの変化
(十分連続的に変化している)を92に示す。
応する部分のみにアポダイゼーション93を適用するこ
とによってDBGを作製し、波長可変モード同期レーザ
に挿入する。本実施形態のDBGの反射スペクトルを9
4に、及び反射遅延特性を95に示す。
な点を、図10および図11を用いて説明する。図10
は、図9のDBGを用いた本実施形態の波長可変モード
同期レーザの出力スペクトルの例を示す図である。図1
1は、本実施形態の波長可変モード同期レーザが、安定
にモード同期動作をするRF周波数可変範囲を説明する
図である。
長の内の一つが発振していることを示している。反射ス
ペクトル101に所望な波長帯で帯域を制限する反射率
の変化が生じるため、所望の波長帯で発振するレーザの
出力スペクトル102が狭くなる。
ザの出力光のSN比であり、点線112以上のところで
安定な発振を得ることを示している。SN比のRF周波
数依存性を図中符号113で示しており、各反射バンド
内でピッチがチャープしているため、安定なモード同期
発振を得られるRF周波数範囲114が拡大される。
ーザについて説明する。図12は、本実施形態の波長可
変モード同期レーザの構成図である。図12において、
共振器121は、半導体光増幅器123、電界吸収型光
変調器122、光サーキュレータ124、及びDBG1
25を有する。
23の利得が設定されており、RFシンセサイザー12
6から得たクロック信号により、モード同期発振が実現
されている。電界吸収型光変調器122のバイアス設定
は、電源127により設定されている。
ーザの作製方法について説明する。DBGの作製に用い
る位相マスクの構成図の例を図13に示し、アポダイゼ
ーションを適用するために用いるシャドーマスクの設計
例を図14(a)に示す。
mmであり、ピッチがステップ的に変化している。ステ
ップ数が400であり、ステップiのピッチは、式
(6.1)で表せる。 ピッチi=(1542+0.05i)/1.447 nm i=1〜400 (6.1 )
(single mode fiber−SMF)では、反射波長帯域1
540−1560nmのDBGに対応する。DBGを作
製する時に用いる実験系を、図14(b)に示す。図1
4(a)に示すアポダイゼーションマスクを図中符号1
46のマスク1、147のマスク2の順番で適用するこ
とによって、図に示すDBGの屈折率プロファイルが実
現される。
ポダイゼーションであり、屈折率n aに対してDC成分
が存在しないこと(即ち、na付近で平均の変化が零で
あること。nfは光ファイバの屈折率)が、DBGの反
射バンドの両側に生じる反射サイドバンドを抑圧させる
ために必要である。
光141を位相マスク142及びアポダイゼーションマ
スク143に透過させ、光ファイバ144に放射させる
ことによってDBG148がファイバのコア部分に書き
込まれる。光ファイバ144の屈折率がnfである場
合、DBG148の反射スペクトルは図中符号145に
示すようになる。
のアポダイゼーションマスクには、N個の幅w、長さL
LOCの穴が周期LPERで空けられていることであ
り、穴の位置を位相マスク上の所望なピッチの部分に対
応させることによって、所望な波長で反射するDBGを
作製できることである。このようなマスクを用いること
によって、波長可変モード同期レーザの作製上、波長、
波長間隔、反射帯域などを柔軟に調整する自由度が得ら
れる。
ゼーションマスク143をz方向に移動することによっ
て、光ファイバ144に書き込まれるDBG148の波
長を波長軸上で変化させることができる。またさらに、
穴の間隔を調整することによって、DBG148の波長
間隔を調整することができ、穴の長さを調整することに
よって、DBG148の反射バンドの帯域を調整するこ
とができる。
製が必要になるが、上記の調整は全てを同じ位相マスク
142を用いて実現することができるため、高価な位相
マスクを複数用意する必要が無い。
ーザの特性について説明する。図15(a)、(b)
は、上記の作製法によるDBGを用いたレーザから得た
出力スペクトルとRF周波数と波長(チャネル)の関係
を示す。図15(a)は、本実施形態によるレーザの出
力スペクトルを示し、図15(b)は、RF周波数と本
実施形態によるレーザの出力スペクトルの波長(チャネ
ル)との関係を示す。
述べており、アポダイゼーションマスクは、穴数が9、
w=3mm、LLOC=2.283mm、LPER=
2.283mmである。穴の形は正弦波で表せる。平均
の繰り返しが5GHz帯、波長間隔が1.4nmであ
り、9波長での波長可変動作を示している。
レーザの出力スペクトルであり、図15(a)と比較し
た場合、本実施形態の図15(a)の方がスペクトル幅
が狭くなったことを示している。スペクトル幅が細いた
め、より狭い波長間隔での発振が可能である。
従来のチャープDBGを用いたレーザの出力光を、2.
48832Gbpsのデータで変調し、長さ25kmの
SMFで伝送させた結果を示す。この場合、レーザの繰
り返しが7GHz帯であり、波長1551nmで伝送を
行った。SMFの波長分散により誤り率にパワーペナル
ティーが生じるが、図中符号171の本実施形態による
レーザを用いた場合は、スペクトル幅が細いため、パワ
ーペナルティーが、172の従来のチャープDBGを用
いた場合より小さな値となる。
いたレーザが安定に動作するRF周波数範囲を測定した
結果、従来の一定のピッチのDBGを用いたレーザの3
倍程度に拡大されている。
振器内に分布ブラッググレーティングを有し、モード同
期の周波数を変更することにより、出力する光を発振波
長λ1〜λN(Nは正の整数)のN種類に変更可能な波
長可変モード同期レーザは、分布ブラッググレーティン
グに発振波長λ1〜λNの各々の光を反射するN個の回
折領域を備え、N個の回折領域の各々は、第nの回折領
域(1≦n≦N、nは整数)の場合に、発振波長λnに
対応するピッチを中心に連続的に変化するピッチを有し
発振波長λnの光を反射する回折格子を備え、且つ、ア
ポダイゼーションが適用されている。
いる回折格子の各々にアポダイゼーションを適用するこ
とによりDBGを作製し、このDBGを波長可変モード
同期レーザの共振器内に挿入することによって、狭いス
ペクトル幅の光を出力し、安定に動作するRF周波数範
囲が拡大された波長可変モード同期レーザを実現するこ
とができる。
す図である。
る。
ザの出力スペクトルの例を示す図である。
化を説明する図である。
同期発振が起きるRF周波数範囲を説明する図である。
す図である。
ザの、安定なモード同期発振が起きるRF周波数範囲を
示す図である。
ーザの出力スペクトルの例を示す図である。
特性の関係を示す図である。
ーザの出力スペクトルの例を示す図である。
ーザが安定にモード同期動作をするRF周波数可変範囲
を説明する図である。
ザの構成図である。
構成図の例である。
の説明図で、(a)はアポダイゼーションマスクの構成
図および出来上がったDBGの屈折率変動プロファイ
ル、(b)はDBGの作製に用いる系の説明図である。
いたレーザから得た、出力スペクトルとRF周波数と波
長(チャネル)の関係を示す図で、(a)はレーザの出
力スペクトル、(b)はRF周波数とレーザの出力スペ
クトルの波長(チャネル)との関係を示す図である。
波長可変スペクトルを示す図である。
プDBGを用いたレーザの出力光を、2.48832G
bpsのデータで変調し、長さ25kmのSMFで伝送
させた結果を示す図である。
のDBGを作製するための位相マスク 22 位相マスク21の長さによるピッチの変化 23 DBGを作製する時に適用するアポダイゼーショ
ンプロファイル 24 位相マスク21およびアポダイゼーション23に
よるDBGの反射スペクトル 25 DBG24の反射遅延特性 61 従来のチャープDBGを作製するための位相マス
ク 62 位相マスク61の長さによるピッチの変化 63 DBGを作製する時に適用するアポダイゼーショ
ンプロファイル 64 位相マスク61およびアポダイゼーション63に
よるDBGの反射スペクトル 65 DBG64の反射遅延特性 91 チャープDBGを作製するための位相マスク 92 位相マスク91の長さによるピッチの変化 93 DBGを作製する時に適用するアポダイゼーショ
ンプロファイル 94 位相マスク91およびアポダイゼーション93に
よるDBGの反射スペクトル 95 DBG94の反射遅延特性 124 光サーキュレータ
Claims (5)
- 【請求項1】 共振器内に分布ブラッググレーティング
を有し、モード同期の周波数を変更することにより、出
力する光を発振波長λ1〜λN(Nは正の整数)のN種
類に変更可能な波長可変モード同期レーザにおいて、 前記分布ブラッググレーティングは、前記発振波長λ1
〜λNの各々の光を反射するN個の回折領域を備え、 該N個の回折領域の各々は、 第nの回折領域(1≦n≦N、nは整数)の場合に、発
振波長λnに対応するピッチを中心に連続的に変化する
ピッチを有し前記発振波長λnの光を反射する回折格子
を備え、 アポダイゼーションが適用されていることを特徴とする
波長可変モード同期レーザ。 - 【請求項2】 請求項1に記載の波長可変モード同期レ
ーザにおいて、前記分布ブラッググレーティングは、1
≦m<n≦N(mは整数)の場合に、前記発振波長λ1
〜λNがλm<λnの関係を満たすことを特徴とする波
長可変モード同期レーザ。 - 【請求項3】 共振器内に分布ブラッググレーティング
を有し、モード同期の周波数を変更することにより、出
力する光を発振波長λ1〜λN(Nは正の整数)のN種
類に変更可能な波長可変モード同期レーザの作製方法に
おいて、 前記分布ブラッググレーティングを形成するための部材
に対して、連続的にピッチが変化する位相マスクとN個
の回折領域を規定するためのアポダイゼーションマスク
とを用いて露光し、 前記N個の回折領域の各々について、第nの回折領域
(1≦n≦N、nは整数)の場合に、発振波長λnに対
応するピッチを中心に連続的に変化するピッチを有し前
記発振波長λnの光を反射する回折格子を形成すると共
に、アポダイゼーションを適用し、 前記発振波長λ1〜λNの各々の光を反射する前記N個
の回折領域を有する前記分布ブラッググレーティングを
形成することを特徴とする波長可変モード同期レーザの
作製方法。 - 【請求項4】 請求項3に記載の波長可変モード同期レ
ーザの作製方法において、前記部材に対して露光を行う
に際し、1≦m<n≦N(mは整数)の場合に、前記発
振波長λ1〜λNがλm<λnの関係を満たす前記分布
ブラッググレーティングを形成する前記位相マスクを使
用することを特徴とする波長可変モード同期レーザの作
製方法。 - 【請求項5】 請求項3又は4に記載の波長可変モード
同期レーザの作製方法において、前記部材に対して露光
を行うに際し、前記アポダイゼーションマスクの前記N
個の回折領域の規定の仕方を調整することによって、前
記波長可変モード同期レーザの出力する光の発振波長、
発振波長間隔、及び前記分布ブラッググレーティングの
反射帯域を調整することを特徴とする波長可変モード同
期レーザの作製方法。
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JP2011091107A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体回折格子素子、及び、半導体レーザ |
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