JP2003065952A - 溶存オゾン濃度計 - Google Patents
溶存オゾン濃度計Info
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- JP2003065952A JP2003065952A JP2001254759A JP2001254759A JP2003065952A JP 2003065952 A JP2003065952 A JP 2003065952A JP 2001254759 A JP2001254759 A JP 2001254759A JP 2001254759 A JP2001254759 A JP 2001254759A JP 2003065952 A JP2003065952 A JP 2003065952A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造の簡素化を図れるとともに低コストで製
造でき、また、セル内におけるパッキンからの不純物の
溶出のおそれがなく、さらに、干渉フィルタを不要とす
る溶存オゾン濃度計を提供する。 【解決手段】 ２９０ｎｍ付近に波長を有する光を放射
する光源１と、前記光を透過する材料からなる可撓性の
チューブ２と、前記チューブ２内を透過した前記光を受
光する透過光検出器３と、前記光を前記チューブ２内に
通すことなく直接受光する参照光検出器４とを備えてい
る。
造でき、また、セル内におけるパッキンからの不純物の
溶出のおそれがなく、さらに、干渉フィルタを不要とす
る溶存オゾン濃度計を提供する。 【解決手段】 ２９０ｎｍ付近に波長を有する光を放射
する光源１と、前記光を透過する材料からなる可撓性の
チューブ２と、前記チューブ２内を透過した前記光を受
光する透過光検出器３と、前記光を前記チューブ２内に
通すことなく直接受光する参照光検出器４とを備えてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水や薬液（フッ
酸，酢酸，硫酸）などの流体中のオゾン濃度を測定する
ための溶存オゾン濃度計に関する。
酸，酢酸，硫酸）などの流体中のオゾン濃度を測定する
ための溶存オゾン濃度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の溶存オゾン濃度計として、図４に
示すように、低圧水銀灯からなる光源１２と、この光源
１２からの光が照射され、かつ前記光源１２からの測定
対象波長の光を透過する材料からなる２つの透過窓１
３，１３を対向させた状態で有する吸収セル１４と、前
記光源１２から照射される光のうち波長が２５４ｎｍの
輝線を選択的に吸収セル１４側へと通過させるための干
渉フィルタ１５と、前記吸収セル１４を透過した光源１
２からの光を受光する透過光検出器１６と、前記干渉フ
ィルタ１５を通過した光源１２からの光の一部を分岐さ
せて参照光検出器１７へと向かわせるためのハーフミラ
ー１８とを備えたものがある。
示すように、低圧水銀灯からなる光源１２と、この光源
１２からの光が照射され、かつ前記光源１２からの測定
対象波長の光を透過する材料からなる２つの透過窓１
３，１３を対向させた状態で有する吸収セル１４と、前
記光源１２から照射される光のうち波長が２５４ｎｍの
輝線を選択的に吸収セル１４側へと通過させるための干
渉フィルタ１５と、前記吸収セル１４を透過した光源１
２からの光を受光する透過光検出器１６と、前記干渉フ
ィルタ１５を通過した光源１２からの光の一部を分岐さ
せて参照光検出器１７へと向かわせるためのハーフミラ
ー１８とを備えたものがある。
【０００３】上記の構成からなる溶存オゾン濃度計は、
流体中のオゾン濃度を測定するために用いられていた
が、測定対象とする流体の溶存オゾン濃度が高い場合に
は、光源からの光のほとんどが吸収セル１４内の高濃度
のオゾンに吸収されてしまうことから、飽和を考慮する
と吸収セル１４内における前記光源１２からの光の光路
長（以下、セル長という）を数ミリメートルにまで小さ
くして設計する必要があった。
流体中のオゾン濃度を測定するために用いられていた
が、測定対象とする流体の溶存オゾン濃度が高い場合に
は、光源からの光のほとんどが吸収セル１４内の高濃度
のオゾンに吸収されてしまうことから、飽和を考慮する
と吸収セル１４内における前記光源１２からの光の光路
長（以下、セル長という）を数ミリメートルにまで小さ
くして設計する必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
前記セル長が短いと、それに伴って吸収セル１４を通過
できる流体の流量が限定されることになるが、前記吸収
セル１４を全量通過型のセルとする場合には、全ての流
体が吸収セル１４内を必ず通るようにしたままである
と、十分な流量の流体を流すことができなくなることか
ら、吸収セル１４を通過するラインに対して、十分な流
量の流体が流通可能なバイパスラインを設けるなどの必
要が生じ、溶存オゾン濃度計の構造が複雑になるという
問題があった。
前記セル長が短いと、それに伴って吸収セル１４を通過
できる流体の流量が限定されることになるが、前記吸収
セル１４を全量通過型のセルとする場合には、全ての流
体が吸収セル１４内を必ず通るようにしたままである
と、十分な流量の流体を流すことができなくなることか
ら、吸収セル１４を通過するラインに対して、十分な流
量の流体が流通可能なバイパスラインを設けるなどの必
要が生じ、溶存オゾン濃度計の構造が複雑になるという
問題があった。
【０００５】また、通常、前記吸収セル１４に設ける紫
外線を透過させるための透過窓１３には、高価な石英ガ
ラスが使用され、前記流体中にフッ酸が含まれる場合に
は、前記透過窓１３にサファイアガラスを使用する必要
があり、さらに高価になるという欠点があった。
外線を透過させるための透過窓１３には、高価な石英ガ
ラスが使用され、前記流体中にフッ酸が含まれる場合に
は、前記透過窓１３にサファイアガラスを使用する必要
があり、さらに高価になるという欠点があった。
【０００６】さらに、前記透過窓１３には、パッキンに
よるシールが必要であるが、濃硫酸とオゾンの混合液な
どに対して長期に耐えられるエラストマー材料が無いた
め、透過窓１３ひいては溶存オゾン濃度計全体について
の自由な形状構造の実現が難しいという問題があった。
また、前記パッキンを用いていることから、パッキンか
ら溶出する不純物に対しての危惧が必然的に生じ、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があった。
よるシールが必要であるが、濃硫酸とオゾンの混合液な
どに対して長期に耐えられるエラストマー材料が無いた
め、透過窓１３ひいては溶存オゾン濃度計全体について
の自由な形状構造の実現が難しいという問題があった。
また、前記パッキンを用いていることから、パッキンか
ら溶出する不純物に対しての危惧が必然的に生じ、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があった。
【０００７】また、上記の構成からなる従来の溶存オゾ
ン濃度計では、低圧水銀灯からの輝線を選択する前記干
渉フィルタ１５が必要であり、この干渉フィルタ１５は
高価な部品である上、その波長選択性能がオゾン計の性
能を左右する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡
れると全くその性能を失うという脆弱な点が問題となっ
ていた。
ン濃度計では、低圧水銀灯からの輝線を選択する前記干
渉フィルタ１５が必要であり、この干渉フィルタ１５は
高価な部品である上、その波長選択性能がオゾン計の性
能を左右する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡
れると全くその性能を失うという脆弱な点が問題となっ
ていた。
【０００８】この発明は上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、構造の簡素化を図れるとともに低
コストで製造でき、また、セル内におけるパッキンから
の不純物の溶出のおそれがなく、さらに、干渉フィルタ
を不要とする溶存オゾン濃度計を提供することにある。
もので、その目的は、構造の簡素化を図れるとともに低
コストで製造でき、また、セル内におけるパッキンから
の不純物の溶出のおそれがなく、さらに、干渉フィルタ
を不要とする溶存オゾン濃度計を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の溶存オゾン濃度計は、２９０ｎｍ付近に
波長を有する光を放射する光源と、前記光を透過する材
料からなる可撓性のチューブと、前記チューブ内を透過
した前記光を受光する透過光検出器と、前記光を前記チ
ューブ内に通すことなく直接受光する参照光検出器とを
備えている（請求項１）。
に、この発明の溶存オゾン濃度計は、２９０ｎｍ付近に
波長を有する光を放射する光源と、前記光を透過する材
料からなる可撓性のチューブと、前記チューブ内を透過
した前記光を受光する透過光検出器と、前記光を前記チ
ューブ内に通すことなく直接受光する参照光検出器とを
備えている（請求項１）。
【００１０】上記の構成からなる溶存オゾン濃度計で
は、オゾンの吸光度が、２５４ｎｍの波長の光の約１／
５程度となる２９０ｎｍ付近の波長の光を用いることか
ら、セル長を極端に短くする必要が生じないため、チュ
ーブ内に十分な量のサンプルを流すことができ、チュー
ブを全量通過型のセルとして用いる場合であっても、バ
イパスラインなど別途ラインを設けなくてよく、溶存オ
ゾン濃度計の構造が複雑になるということがなく、ひい
ては、構造の簡素化を図ることが可能となる。
は、オゾンの吸光度が、２５４ｎｍの波長の光の約１／
５程度となる２９０ｎｍ付近の波長の光を用いることか
ら、セル長を極端に短くする必要が生じないため、チュ
ーブ内に十分な量のサンプルを流すことができ、チュー
ブを全量通過型のセルとして用いる場合であっても、バ
イパスラインなど別途ラインを設けなくてよく、溶存オ
ゾン濃度計の構造が複雑になるということがなく、ひい
ては、構造の簡素化を図ることが可能となる。
【００１１】また、上記の構成からなる溶存オゾン濃度
計では、セルとしての役割を果たすチューブに紫外線を
透過させるための透過窓を設ける必要がなく、チューブ
が紫外線を透過させる材料から形成されていることか
ら、従来のように、紫外線を透過させる透過窓を高価な
石英ガラスで構成したり、チューブ内にフッ酸を含むサ
ンプルを流す場合に、サファイアガラスを使用したりす
る必要がなく、コストを抑えることが可能となる。
計では、セルとしての役割を果たすチューブに紫外線を
透過させるための透過窓を設ける必要がなく、チューブ
が紫外線を透過させる材料から形成されていることか
ら、従来のように、紫外線を透過させる透過窓を高価な
石英ガラスで構成したり、チューブ内にフッ酸を含むサ
ンプルを流す場合に、サファイアガラスを使用したりす
る必要がなく、コストを抑えることが可能となる。
【００１２】さらに、前記透過窓を用いないことから、
パッキンによるシールを行う必要がなく、可撓性のある
チューブがそのまま透過窓の役割を担うことから、濃硫
酸とオゾンの混合液などに対して長期に耐えられるパッ
キンを構成するためのエラストマー材料が無くても、透
過窓ひいては溶存オゾン濃度計全体についての自由な形
状構造の実現に何ら差し障りがないのである。さらに、
前記パッキンを用いていないことから、パッキンから溶
出する不純物に対しての危惧が生じず、従来では、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があったが、本発明の溶存オゾン濃度計で
は、そのような溶出データの採取をせずとも、十分な信
頼性が得られるのである。
パッキンによるシールを行う必要がなく、可撓性のある
チューブがそのまま透過窓の役割を担うことから、濃硫
酸とオゾンの混合液などに対して長期に耐えられるパッ
キンを構成するためのエラストマー材料が無くても、透
過窓ひいては溶存オゾン濃度計全体についての自由な形
状構造の実現に何ら差し障りがないのである。さらに、
前記パッキンを用いていないことから、パッキンから溶
出する不純物に対しての危惧が生じず、従来では、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があったが、本発明の溶存オゾン濃度計で
は、そのような溶出データの採取をせずとも、十分な信
頼性が得られるのである。
【００１３】また、前記光源および透過光検出器が、前
記チューブを挟む位置に設けられており、前記チューブ
を、前記光源側および透過光検出器側の両側から挟み変
形させることにより、チューブ内における光源からの光
の光路長を調節するとしてもよい（請求項２）。
記チューブを挟む位置に設けられており、前記チューブ
を、前記光源側および透過光検出器側の両側から挟み変
形させることにより、チューブ内における光源からの光
の光路長を調節するとしてもよい（請求項２）。
【００１４】上記の構成からなる溶存オゾン濃度計で
は、前記チューブを、前記光源側と透過光検出器側との
両側から挟み変形させることにより、チューブ内におけ
る光源からの光の光路長を調節することができるのであ
り、チューブ内を通過するサンプルの溶存オゾン濃度に
応じて、自由にそのセル長を変えるようにすれば、汎用
性に極めて優れたものとなる。
は、前記チューブを、前記光源側と透過光検出器側との
両側から挟み変形させることにより、チューブ内におけ
る光源からの光の光路長を調節することができるのであ
り、チューブ内を通過するサンプルの溶存オゾン濃度に
応じて、自由にそのセル長を変えるようにすれば、汎用
性に極めて優れたものとなる。
【００１５】さらに、前記光源が、螢光光源であるとし
た場合には（請求項３）、光源として、２９０ｎｍ付近
の波長の光を主に放射し、干渉フィルタを不要とする単
色性が高い螢光光源を用いることから、従来の溶存オゾ
ン濃度計のように、低圧水銀灯からの輝線を選択するた
めの干渉フィルタを必要としない。すなわち、高価な部
品である上、その波長選択性能がオゾン計の性能を左右
する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡れると全
くその性能を失うという脆弱な点を有する前記干渉フィ
ルタを用いないことから、本発明の溶存オゾン濃度計
は、より低コストで実現できるとともに、干渉フィルタ
の脆弱さに左右されず、安定した性能を発揮するのであ
る。
た場合には（請求項３）、光源として、２９０ｎｍ付近
の波長の光を主に放射し、干渉フィルタを不要とする単
色性が高い螢光光源を用いることから、従来の溶存オゾ
ン濃度計のように、低圧水銀灯からの輝線を選択するた
めの干渉フィルタを必要としない。すなわち、高価な部
品である上、その波長選択性能がオゾン計の性能を左右
する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡れると全
くその性能を失うという脆弱な点を有する前記干渉フィ
ルタを用いないことから、本発明の溶存オゾン濃度計
は、より低コストで実現できるとともに、干渉フィルタ
の脆弱さに左右されず、安定した性能を発揮するのであ
る。
【００１６】すなわち、上記の構成からなる本発明で
は、構造の簡素化を図れるとともに低コストで製造で
き、また、セル内におけるパッキンからの不純物の溶出
のおそれがなく、さらに、干渉フィルタを不要とする溶
存オゾン濃度計を提供することが可能となる。
は、構造の簡素化を図れるとともに低コストで製造で
き、また、セル内におけるパッキンからの不純物の溶出
のおそれがなく、さらに、干渉フィルタを不要とする溶
存オゾン濃度計を提供することが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を、図を
参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の一
実施例に係る溶存オゾン濃度計Ｄの構成を概略的に示す
説明図および斜視図である。溶存オゾン濃度計Ｄは、２
９０ｎｍ付近に波長を有する光を放射する光源１と、前
記光を透過する紫外線透過材料からなり、測定対象とす
るサンプルを内部に通す配管となるとともに、溶存オゾ
ン濃度を測定するためのセルともなる可撓性のチューブ
２と、前記チューブ２内を透過した前記光を受光する透
過光検出器３と、前記光をチューブ２内に通すことなく
直接受光する参照光検出器４とを備えている。
参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の一
実施例に係る溶存オゾン濃度計Ｄの構成を概略的に示す
説明図および斜視図である。溶存オゾン濃度計Ｄは、２
９０ｎｍ付近に波長を有する光を放射する光源１と、前
記光を透過する紫外線透過材料からなり、測定対象とす
るサンプルを内部に通す配管となるとともに、溶存オゾ
ン濃度を測定するためのセルともなる可撓性のチューブ
２と、前記チューブ２内を透過した前記光を受光する透
過光検出器３と、前記光をチューブ２内に通すことなく
直接受光する参照光検出器４とを備えている。
【００１８】なお、前記光源１および透過光検出器３
は、前記チューブ２を挟む位置に設けられている。
は、前記チューブ２を挟む位置に設けられている。
【００１９】前記光源１は、例えば、２９０ｎｍ付近
（２７０ｎｍ〜３００ｎｍ）の波長の光をおもに放射
し、干渉フィルタを不要とする単色性が高い紫外螢光灯
などの螢光光源である。
（２７０ｎｍ〜３００ｎｍ）の波長の光をおもに放射
し、干渉フィルタを不要とする単色性が高い紫外螢光灯
などの螢光光源である。
【００２０】前記チューブ２は、例えば、ＰＦＡ（四フ
ッ化エチレンパーフロロアルキルビニルエーテル共重合
体）またはＦＥＰ（四フッ化エチレン六フッ化プロピレ
ン共重合体）などの材料からなり、直径が３／４インチ
である円筒形状をした部材である。
ッ化エチレンパーフロロアルキルビニルエーテル共重合
体）またはＦＥＰ（四フッ化エチレン六フッ化プロピレ
ン共重合体）などの材料からなり、直径が３／４インチ
である円筒形状をした部材である。
【００２１】ここで、前記溶存オゾン濃度計Ｄによって
チューブ２内のサンプルの溶存オゾン濃度を計測すると
き、前記チューブ２を円筒形状の状態のままで用いても
よいが、チューブ２内における前記光源１からの光の光
路長（いわゆるセル長）を短くしたい場合には、後述す
る整形装置５によってチューブ２をその前記光源１側お
よび透過光検出器３側の両側から挟んで変形させ、前記
光源１からの光が透過するチューブ２の２つの透過面、
すなわち前記光源１側の透過面２ａおよび透過光検出器
３側の透過面２ｂが互いにほぼ平行となり、かつ前記光
源１からの光の光路に対してほぼ垂直となる状態にして
用いてもよい。なお、前記透過面２ａ，２ｂは、必ずし
も互いに平行である必要はなく、また、必ずしも前記光
源１からの光の光路に対してほぼ垂直である必要もな
い。
チューブ２内のサンプルの溶存オゾン濃度を計測すると
き、前記チューブ２を円筒形状の状態のままで用いても
よいが、チューブ２内における前記光源１からの光の光
路長（いわゆるセル長）を短くしたい場合には、後述す
る整形装置５によってチューブ２をその前記光源１側お
よび透過光検出器３側の両側から挟んで変形させ、前記
光源１からの光が透過するチューブ２の２つの透過面、
すなわち前記光源１側の透過面２ａおよび透過光検出器
３側の透過面２ｂが互いにほぼ平行となり、かつ前記光
源１からの光の光路に対してほぼ垂直となる状態にして
用いてもよい。なお、前記透過面２ａ，２ｂは、必ずし
も互いに平行である必要はなく、また、必ずしも前記光
源１からの光の光路に対してほぼ垂直である必要もな
い。
【００２２】前記整形装置５は、互いに平行となるよう
に保持される２枚の保持板６，７と、２枚の保持板６，
７の間隔を調整するための調整手段８と、２枚の保持板
６，７の間隔をあける方向に保持板６，７に付勢を加え
る付勢手段９とを備えている。
に保持される２枚の保持板６，７と、２枚の保持板６，
７の間隔を調整するための調整手段８と、２枚の保持板
６，７の間隔をあける方向に保持板６，７に付勢を加え
る付勢手段９とを備えている。
【００２３】前記保持板６および７は、前記チューブ２
に対して光源１側および透過光検出器３側から当接する
板状体の部材であり、それぞれチューブ２に当接したと
きに前記光源１から透過光検出器３側へと向かう光の光
路を妨げないように、適宜の位置が切り欠かれた形状を
している。
に対して光源１側および透過光検出器３側から当接する
板状体の部材であり、それぞれチューブ２に当接したと
きに前記光源１から透過光検出器３側へと向かう光の光
路を妨げないように、適宜の位置が切り欠かれた形状を
している。
【００２４】例えば、保持板６，７はともに、正面視が
コの字形状となっており、また、保持板６，７のいずれ
か一方（例えば、保持板６）には、その下部に他方の保
持板（この場合には保持板７）側へ向けて折り曲げら
れ、チューブ２が保持板６，７の間から滑り落ちること
を防止するための係止部１０が設けられている。
コの字形状となっており、また、保持板６，７のいずれ
か一方（例えば、保持板６）には、その下部に他方の保
持板（この場合には保持板７）側へ向けて折り曲げら
れ、チューブ２が保持板６，７の間から滑り落ちること
を防止するための係止部１０が設けられている。
【００２５】前記調整手段８は、前記保持板６，７のい
ずれか一方（例えば、保持板６）に設けられた雌ねじ部
８ａと、他方（この場合は保持板７）に設けられた貫通
孔８ｂと、その軸心回りに回動可能な状態で前記貫通孔
８ｂに対して保持され、かつ前記雌ねじ部８ａに螺合す
る雄ねじ部８ｃを有する調節ネジ体１１とからなる。な
お、前記調節ネジ体１１は、その軸心回りに回動させる
ために作業者が操作するつまみ部１１ａを有している。
ずれか一方（例えば、保持板６）に設けられた雌ねじ部
８ａと、他方（この場合は保持板７）に設けられた貫通
孔８ｂと、その軸心回りに回動可能な状態で前記貫通孔
８ｂに対して保持され、かつ前記雌ねじ部８ａに螺合す
る雄ねじ部８ｃを有する調節ネジ体１１とからなる。な
お、前記調節ネジ体１１は、その軸心回りに回動させる
ために作業者が操作するつまみ部１１ａを有している。
【００２６】上記の構成からなる調整手段８では、前記
調節ネジ体１１を回動操作すると、調節ネジ体１１の雄
ねじ部８ｃと螺合する雌ねじ部８ａを有する保持板６が
雄ねじ部８ｃの軸心方向に移動するのであり、これによ
って保持板６，７間の距離を調節することができる。
調節ネジ体１１を回動操作すると、調節ネジ体１１の雄
ねじ部８ｃと螺合する雌ねじ部８ａを有する保持板６が
雄ねじ部８ｃの軸心方向に移動するのであり、これによ
って保持板６，７間の距離を調節することができる。
【００２７】前記付勢手段９は、前記保持板６，７のい
ずれか一方（例えば、保持板６）に設けられた貫通孔９
ａと、他方（この場合は保持板７）に一端が固定され、
かつ前記貫通孔９ａを挿通する状態で設けられる棒状体
９ｂと、この棒状体９ｂをガイドし、前記一方（保持板
６）にその一端が固定され、他方（保持板７）に向けて
延びるように設けられた筒形状のガイド体９ｃと、前記
棒状体９ｂの外周面に沿って棒状体９ｂの軸心方向に伸
縮自在に保持され、かつ一端が前記他方（保持板７）ま
たは棒状体９ｂの一端部に常に当接し、他端が前記ガイ
ド体９ｃの他端に常に当接するように設けられたバネ部
材９ｄとからなる。
ずれか一方（例えば、保持板６）に設けられた貫通孔９
ａと、他方（この場合は保持板７）に一端が固定され、
かつ前記貫通孔９ａを挿通する状態で設けられる棒状体
９ｂと、この棒状体９ｂをガイドし、前記一方（保持板
６）にその一端が固定され、他方（保持板７）に向けて
延びるように設けられた筒形状のガイド体９ｃと、前記
棒状体９ｂの外周面に沿って棒状体９ｂの軸心方向に伸
縮自在に保持され、かつ一端が前記他方（保持板７）ま
たは棒状体９ｂの一端部に常に当接し、他端が前記ガイ
ド体９ｃの他端に常に当接するように設けられたバネ部
材９ｄとからなる。
【００２８】なお、前記付勢手段９は、図２に示すよう
に、２つ設けられていてもよいが、１つのみまたは３つ
以上設けられていてもよい。
に、２つ設けられていてもよいが、１つのみまたは３つ
以上設けられていてもよい。
【００２９】上記の構成からなる付勢手段９では、前記
調節手段８による保持板６，７間の距離の調節が行わ
れ、保持板６，７間の距離が変化した場合、前記棒状体
９ｂがガイド体９ｃ内を摺動することになるが、前記バ
ネ部材９ｄの弾性により、２枚の保持板６，７に対して
保持板６，７の間隔をあける方向に常に付勢が加わり、
これによって、保持板６，７が常に互いに平行な状態で
保たれることになる。
調節手段８による保持板６，７間の距離の調節が行わ
れ、保持板６，７間の距離が変化した場合、前記棒状体
９ｂがガイド体９ｃ内を摺動することになるが、前記バ
ネ部材９ｄの弾性により、２枚の保持板６，７に対して
保持板６，７の間隔をあける方向に常に付勢が加わり、
これによって、保持板６，７が常に互いに平行な状態で
保たれることになる。
【００３０】そして、上記の構成からなる整形装置５を
用いれば、前記チューブ２を、前記光源１側と透過光検
出器３側との両側から挟み変形させることにより、チュ
ーブ２内における光源１からの光の光路長を調節するこ
とができるのであり、チューブ２内を通過するサンプル
の溶存オゾン濃度に応じて、自由にそのセル長を変える
ようにすれば、本発明の溶存オゾン濃度計Ｄは、汎用性
に極めて優れたものとなる。
用いれば、前記チューブ２を、前記光源１側と透過光検
出器３側との両側から挟み変形させることにより、チュ
ーブ２内における光源１からの光の光路長を調節するこ
とができるのであり、チューブ２内を通過するサンプル
の溶存オゾン濃度に応じて、自由にそのセル長を変える
ようにすれば、本発明の溶存オゾン濃度計Ｄは、汎用性
に極めて優れたものとなる。
【００３１】上記の構成からなる溶存オゾン濃度計Ｄで
は、波長が２９０ｎｍ付近の光を用いて溶存オゾン濃度
の測定を行っているのであり、波長が２５４ｎｍの輝線
を利用していた従来の場合に比して、図３に示すよう
に、オゾンの吸収が少ないことから、光路長を極端に短
くする必要がない。なお、図３は、オゾンと酢酸の吸収
スペクトルを概略的に示すグラフであり、縦軸に吸光度
が、横軸に波長がそれぞれとられている。
は、波長が２９０ｎｍ付近の光を用いて溶存オゾン濃度
の測定を行っているのであり、波長が２５４ｎｍの輝線
を利用していた従来の場合に比して、図３に示すよう
に、オゾンの吸収が少ないことから、光路長を極端に短
くする必要がない。なお、図３は、オゾンと酢酸の吸収
スペクトルを概略的に示すグラフであり、縦軸に吸光度
が、横軸に波長がそれぞれとられている。
【００３２】すなわち、オゾン濃度が高い（例えば、１
００ｍｇ／Ｌ以上）サンプルが測定対象である場合、２
５４ｎｍの波長では、セル長を３ｍｍ程度など極端に短
くする必要が生じるため、前記整形装置５によるチュー
ブ２の変形量が大きくなるとともに、チューブ２の配管
抵抗も増加してしまうことから、本発明の溶存オゾン濃
度計Ｄへの適用が困難となる。しかし、本発明では、オ
ゾンの吸光度が、２５４ｎｍの波長の光の約１／５程度
となる２９０ｎｍ付近の波長の光を用いることから、セ
ル長を極端に短くする必要が生じないため、整形装置５
によるチューブ２の変形量がそれほど大きくはならず、
また、配管抵抗もそれほど増加しないのである。
００ｍｇ／Ｌ以上）サンプルが測定対象である場合、２
５４ｎｍの波長では、セル長を３ｍｍ程度など極端に短
くする必要が生じるため、前記整形装置５によるチュー
ブ２の変形量が大きくなるとともに、チューブ２の配管
抵抗も増加してしまうことから、本発明の溶存オゾン濃
度計Ｄへの適用が困難となる。しかし、本発明では、オ
ゾンの吸光度が、２５４ｎｍの波長の光の約１／５程度
となる２９０ｎｍ付近の波長の光を用いることから、セ
ル長を極端に短くする必要が生じないため、整形装置５
によるチューブ２の変形量がそれほど大きくはならず、
また、配管抵抗もそれほど増加しないのである。
【００３３】さらに、２５４ｎｍの波長の輝線では、図
３に示すように、その波長付近で吸光度が高い酢酸の干
渉影響を大幅に受けてしまうが、酢酸の吸光度が低い２
９０ｎｍ付近の波長を用いる本発明では、酢酸の干渉影
響を受けないのであり、測定対象とする薬液として、高
濃度の酢酸を選択することも可能である。
３に示すように、その波長付近で吸光度が高い酢酸の干
渉影響を大幅に受けてしまうが、酢酸の吸光度が低い２
９０ｎｍ付近の波長を用いる本発明では、酢酸の干渉影
響を受けないのであり、測定対象とする薬液として、高
濃度の酢酸を選択することも可能である。
【００３４】また、上述したように、上記の構成からな
る溶存オゾン濃度計Ｄでは、チューブ２のセル長を極端
に短くする必要が無いことから、チューブ２内に十分な
量のサンプルを流すことができるため、チューブ２を全
量通過型のセルとして用いる場合であっても、バイパス
ラインなど別途ラインを設けなくてよく、溶存オゾン濃
度計Ｄの構造が複雑になるということがない。
る溶存オゾン濃度計Ｄでは、チューブ２のセル長を極端
に短くする必要が無いことから、チューブ２内に十分な
量のサンプルを流すことができるため、チューブ２を全
量通過型のセルとして用いる場合であっても、バイパス
ラインなど別途ラインを設けなくてよく、溶存オゾン濃
度計Ｄの構造が複雑になるということがない。
【００３５】また、上記の構成からなる溶存オゾン濃度
計Ｄでは、セルとしての役割を果たすチューブ２に紫外
線を透過させるための透過窓を設ける必要がなく、チュ
ーブ２が紫外線を透過させる材料から形成されているこ
とから、従来のように、紫外線を透過させる透過窓を高
価な石英ガラスで構成したり、チューブ２内にフッ酸を
含むサンプルを流す場合に、サファイアガラスを使用し
たりする必要がなく、コストを抑えることが可能とな
る。
計Ｄでは、セルとしての役割を果たすチューブ２に紫外
線を透過させるための透過窓を設ける必要がなく、チュ
ーブ２が紫外線を透過させる材料から形成されているこ
とから、従来のように、紫外線を透過させる透過窓を高
価な石英ガラスで構成したり、チューブ２内にフッ酸を
含むサンプルを流す場合に、サファイアガラスを使用し
たりする必要がなく、コストを抑えることが可能とな
る。
【００３６】また、前記透過窓を用いないことから、パ
ッキンによるシールを行う必要がなく、可撓性のあるチ
ューブがそのまま透過窓の役割を担うことから、濃硫酸
とオゾンの混合液などに対して長期に耐えられるパッキ
ンを構成するためのエラストマー材料が無くても、透過
窓ひいては溶存オゾン濃度計Ｄ全体についての自由な形
状構造の実現に何ら差し障りがないのである。さらに、
前記パッキンを用いていないことから、パッキンから溶
出する不純物に対しての危惧が生じず、従来では、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があったが、本発明の溶存オゾン濃度計Ｄ
では、そのような溶出データの採取をせずとも、十分な
信頼性が得られるのである。
ッキンによるシールを行う必要がなく、可撓性のあるチ
ューブがそのまま透過窓の役割を担うことから、濃硫酸
とオゾンの混合液などに対して長期に耐えられるパッキ
ンを構成するためのエラストマー材料が無くても、透過
窓ひいては溶存オゾン濃度計Ｄ全体についての自由な形
状構造の実現に何ら差し障りがないのである。さらに、
前記パッキンを用いていないことから、パッキンから溶
出する不純物に対しての危惧が生じず、従来では、時間
と費用とをかけてパッキンからの不純物の溶出データを
採取する必要があったが、本発明の溶存オゾン濃度計Ｄ
では、そのような溶出データの採取をせずとも、十分な
信頼性が得られるのである。
【００３７】また、上記の構成からなる溶存オゾン濃度
計Ｄでは、光源１として、２９０ｎｍ付近の波長の光を
おもに放射し、干渉フィルタを不要とする単色性が高い
紫外螢光灯などの螢光光源を用いており、従来の溶存オ
ゾン濃度計のように、低圧水銀灯からの輝線を選択する
ための干渉フィルタを必要としない。すなわち、高価な
部品である上、その波長選択性能がオゾン計の性能を左
右する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡れると
全くその性能を失うという脆弱な点を有する前記干渉フ
ィルタを用いないことから、本発明の溶存オゾン濃度計
Ｄは、より低コストで実現できるとともに、干渉フィル
タの脆弱さに左右されず、安定した性能を発揮するので
ある。しかし、前記干渉フィルタを用いることで、測定
精度をより上昇させることもできる。
計Ｄでは、光源１として、２９０ｎｍ付近の波長の光を
おもに放射し、干渉フィルタを不要とする単色性が高い
紫外螢光灯などの螢光光源を用いており、従来の溶存オ
ゾン濃度計のように、低圧水銀灯からの輝線を選択する
ための干渉フィルタを必要としない。すなわち、高価な
部品である上、その波長選択性能がオゾン計の性能を左
右する重要な要素であるにもかかわらず、水に濡れると
全くその性能を失うという脆弱な点を有する前記干渉フ
ィルタを用いないことから、本発明の溶存オゾン濃度計
Ｄは、より低コストで実現できるとともに、干渉フィル
タの脆弱さに左右されず、安定した性能を発揮するので
ある。しかし、前記干渉フィルタを用いることで、測定
精度をより上昇させることもできる。
【００３８】なお、上記の構成からなる溶存オゾン濃度
計Ｄは、インライン型として、例えば、液晶，半導体の
洗浄ラインなどで使用でき、フッ酸や酢酸を含む薬液を
測定対象とした場合に、特に効果が高いものとなる。
計Ｄは、インライン型として、例えば、液晶，半導体の
洗浄ラインなどで使用でき、フッ酸や酢酸を含む薬液を
測定対象とした場合に、特に効果が高いものとなる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
構造の簡素化を図れるとともに低コストで製造でき、ま
た、セル内におけるパッキンからの不純物の溶出のおそ
れがなく、さらに、干渉フィルタを不要とする溶存オゾ
ン濃度計を提供することが可能となる。
構造の簡素化を図れるとともに低コストで製造でき、ま
た、セル内におけるパッキンからの不純物の溶出のおそ
れがなく、さらに、干渉フィルタを不要とする溶存オゾ
ン濃度計を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る溶存オゾン濃度計の構
成を概略的に示す説明図である。
成を概略的に示す説明図である。
【図２】上記実施例の構成を概略的に示す斜視図であ
る。
る。
【図３】オゾンと酢酸の吸収スペクトルを概略的に示す
グラフである。
グラフである。
【図４】従来の溶存オゾン濃度計の構成を概略的に示す
説明図である。
説明図である。
１…光源、２…チューブ、３…透過光検出器、４…参照
光検出器、Ｄ…溶存オゾン濃度計。
光検出器、Ｄ…溶存オゾン濃度計。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G057 AA01 AA04 AB03 AC01 BA05
BB06 BC01 DA15 DC07
2G059 AA01 BB04 CC08 DD12 EE01
GG10 HH03 HH06 KK01 LL03
NN10 PP10
Claims (3)
- 【請求項１】 ２９０ｎｍ付近に波長を有する光を放射
する光源と、前記光を透過する材料からなる可撓性のチ
ューブと、前記チューブ内を透過した前記光を受光する
透過光検出器と、前記光を前記チューブ内に通すことな
く直接受光する参照光検出器とを備えていることを特徴
とする溶存オゾン濃度計。 - 【請求項２】 前記光源および透過光検出器が、前記チ
ューブを挟む位置に設けられており、前記チューブを、
前記光源側および透過光検出器側の両側から挟み変形さ
せることにより、チューブ内における光源からの光の光
路長を調節する請求項１に記載の溶存オゾン濃度計。 - 【請求項３】 前記光源が、螢光光源である請求項１ま
たは２に記載の溶存オゾン濃度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001254759A JP2003065952A (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 溶存オゾン濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001254759A JP2003065952A (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 溶存オゾン濃度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003065952A true JP2003065952A (ja) | 2003-03-05 |
Family
ID=19082872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001254759A Pending JP2003065952A (ja) | 2001-08-24 | 2001-08-24 | 溶存オゾン濃度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003065952A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006234663A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kurabo Ind Ltd | フローセル、フローセルの製造方法、及び流体濃度測定装置 |
| CN102792148A (zh) * | 2010-03-04 | 2012-11-21 | 优尼森索股份公司 | 柔性样本容器 |
| US8367120B1 (en) * | 2007-10-31 | 2013-02-05 | Reoxcyn Discoveries Group, Inc. | Method and apparatus for producing a stablized antimicrobial non-toxic electrolyzed saline solution exhibiting potential as a therapeutic |
| JP2013148521A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 試料測定用セル、物性測定装置、および物性測定方法 |
| JP2013543132A (ja) * | 2010-11-19 | 2013-11-28 | クラウス スヴェン | ガスを光学的に分析するためのガスセル |
| US8663705B2 (en) | 2007-10-30 | 2014-03-04 | Reoxcyn Discoveries Group, Inc. | Method and apparatus for producing a stabilized antimicrobial non-toxic electrolyzed saline solution exhibiting potential as a therapeutic |
| WO2014170985A1 (ja) * | 2013-04-18 | 2014-10-23 | ニプロ株式会社 | 流体濃度測定装置 |
| JP2014209063A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 横河電機株式会社 | 分光分析装置 |
-
2001
- 2001-08-24 JP JP2001254759A patent/JP2003065952A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4677251B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2011-04-27 | 倉敷紡績株式会社 | フローセル、フローセルの製造方法、及び流体濃度測定装置 |
| JP2006234663A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kurabo Ind Ltd | フローセル、フローセルの製造方法、及び流体濃度測定装置 |
| US8663705B2 (en) | 2007-10-30 | 2014-03-04 | Reoxcyn Discoveries Group, Inc. | Method and apparatus for producing a stabilized antimicrobial non-toxic electrolyzed saline solution exhibiting potential as a therapeutic |
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| JP2013521477A (ja) * | 2010-03-04 | 2013-06-10 | ユニセンサー エ エス | 可撓性試料容器 |
| US9250176B2 (en) | 2010-03-04 | 2016-02-02 | Koninklijke Philips N.V. | Flexible sample container |
| JP2013543132A (ja) * | 2010-11-19 | 2013-11-28 | クラウス スヴェン | ガスを光学的に分析するためのガスセル |
| JP2013148521A (ja) * | 2012-01-20 | 2013-08-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 試料測定用セル、物性測定装置、および物性測定方法 |
| JP2014209063A (ja) * | 2013-04-16 | 2014-11-06 | 横河電機株式会社 | 分光分析装置 |
| WO2014170985A1 (ja) * | 2013-04-18 | 2014-10-23 | ニプロ株式会社 | 流体濃度測定装置 |
| US9562858B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-02-07 | Nipro Corporation | Fluid concentration measuring device |
| JPWO2014170985A1 (ja) * | 2013-04-18 | 2017-02-16 | ニプロ株式会社 | 流体濃度測定装置 |
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