JP2003065728A - 対象物高さ測定方法 - Google Patents
対象物高さ測定方法Info
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- JP2003065728A JP2003065728A JP2001260097A JP2001260097A JP2003065728A JP 2003065728 A JP2003065728 A JP 2003065728A JP 2001260097 A JP2001260097 A JP 2001260097A JP 2001260097 A JP2001260097 A JP 2001260097A JP 2003065728 A JP2003065728 A JP 2003065728A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金等で形成された微細なバンプに対しても安
定に高さを測定することのできるバンプ高さ測定方法を
提供することにある。 【解決手段】 測定対象であるバンプに斜め上からレー
ザ光を照射し、その反射光を位置検出素子で受光し、該
位置検出素子上での受光位置から三角測量法によりバン
プ高さを測定する方法において、バンプを測定位置に対
し相対的に移動させながら高さ測定し、得られる連続し
た高さデータに基づきバンプの高さを測定するようにし
たものである。
定に高さを測定することのできるバンプ高さ測定方法を
提供することにある。 【解決手段】 測定対象であるバンプに斜め上からレー
ザ光を照射し、その反射光を位置検出素子で受光し、該
位置検出素子上での受光位置から三角測量法によりバン
プ高さを測定する方法において、バンプを測定位置に対
し相対的に移動させながら高さ測定し、得られる連続し
た高さデータに基づきバンプの高さを測定するようにし
たものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＣＤ用ドライバ
等の回路上に形成されるバンプの高さを測定する方法に
関する。
等の回路上に形成されるバンプの高さを測定する方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】三角測量方式によるレーザ変位計を用い
てバンプの高さを測定する従来の測定方法としては、多
数のバンプを形成した回路基板等のワークを移動ステー
ジ上に搭載し、予め設定しておいたバンプ頂点位置を一
定速度で走査するようステージを移動させると共に、一
定時間間隔でレーザ変位計による高さ変位データを測定
し、測定したデータ中のあらかじめ設定したバンプ中心
位置の高さ変位データをバンプ頂点高さとして測定する
ものがある。
てバンプの高さを測定する従来の測定方法としては、多
数のバンプを形成した回路基板等のワークを移動ステー
ジ上に搭載し、予め設定しておいたバンプ頂点位置を一
定速度で走査するようステージを移動させると共に、一
定時間間隔でレーザ変位計による高さ変位データを測定
し、測定したデータ中のあらかじめ設定したバンプ中心
位置の高さ変位データをバンプ頂点高さとして測定する
ものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ハン
ダで形成された高さ１００μｍ程度のバンプを対象とし
ていた。 それに対して、金等で形成された高さ２０μ
ｍ程度の微細なバンプの場合、高精度で安定した高さ測
定が要求されているが、バンプ上面の状態によりレーザ
光が散乱し、十分な測定安定性が得られない。本発明の
目的は、金等で形成された微細なバンプに対しても安定
に高さを測定することのできるバンプ高さ測定方法を提
供することにある。
ダで形成された高さ１００μｍ程度のバンプを対象とし
ていた。 それに対して、金等で形成された高さ２０μ
ｍ程度の微細なバンプの場合、高精度で安定した高さ測
定が要求されているが、バンプ上面の状態によりレーザ
光が散乱し、十分な測定安定性が得られない。本発明の
目的は、金等で形成された微細なバンプに対しても安定
に高さを測定することのできるバンプ高さ測定方法を提
供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、三角測量法により測定する対象物の高さを計
測する方法において、上記対象物を測定位置に対し相対
的に移動させながら高さ測定し、得られる連続した高さ
データに基づき対象物の高さを測定するようにしたもの
である。また、測定により得られる高さデータを、隣接
するｎ個(ｎは２以上の整数)の対象物の高さデータの平
均値(移動平均)に基づき補正し、当該対象物の高さを測
定するものである。また、測定対象であるバンプに斜め
上からレーザ光を照射し、その反射光を位置検出素子で
受光し、該位置検出素子上での受光位置から三角測量法
によりバンプ高さを測定する方法において、上記バンプ
を測定位置に対し相対的に移動させながら高さ測定し、
得られる連続した高さデータに基づきバンプの高さを測
定するようにしたものである。また、測定により得られ
たバンプ高さデータを、隣接バンプの高さと平均処理
(移動平均処理)して、バンプの高さを測定するものであ
る。その結果、本発明による測定方法では、散乱的なバ
ンプ高さを、隣接バンプの高さデータから補正すること
により、微細なバンプに対しても安定に高さを測定する
ことが可能となる。
するため、三角測量法により測定する対象物の高さを計
測する方法において、上記対象物を測定位置に対し相対
的に移動させながら高さ測定し、得られる連続した高さ
データに基づき対象物の高さを測定するようにしたもの
である。また、測定により得られる高さデータを、隣接
するｎ個(ｎは２以上の整数)の対象物の高さデータの平
均値(移動平均)に基づき補正し、当該対象物の高さを測
定するものである。また、測定対象であるバンプに斜め
上からレーザ光を照射し、その反射光を位置検出素子で
受光し、該位置検出素子上での受光位置から三角測量法
によりバンプ高さを測定する方法において、上記バンプ
を測定位置に対し相対的に移動させながら高さ測定し、
得られる連続した高さデータに基づきバンプの高さを測
定するようにしたものである。また、測定により得られ
たバンプ高さデータを、隣接バンプの高さと平均処理
(移動平均処理)して、バンプの高さを測定するものであ
る。その結果、本発明による測定方法では、散乱的なバ
ンプ高さを、隣接バンプの高さデータから補正すること
により、微細なバンプに対しても安定に高さを測定する
ことが可能となる。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の対象となるバン
プ測定装置の一実施例を示す概略構成図であり、以下、
詳細に説明する。本発明の対象となるバンプ測定装置
は、測定対象であるバンプ１０が多数形成されたワーク
１を搭載する移動ステージ２０と、一定の時間間隔で、
計測データ(高さ変位データ)３２を出力する検出部３０
と、該高さ変位データを取り込み、測定処理を実行する
処理部４０と、制御信号５１を送出し、測定装置各部の
制御を行う制御処理部５０により構成される。本発明の
対象となる測定装置では、測定対象であるバンプ１０の
ワーク１における位置を予め記憶しておき、検出部３０
より照射されたレーザ光３１が、ワーク１上のバンプ１
０の中央部を走査するように、移動ステージ２０を一定
速度で移動させると共に、検出部３０から一定時間間隔
で計測した高さデータ３２を、処理部４０に取り込みバ
ンプ高さを測定する。
プ測定装置の一実施例を示す概略構成図であり、以下、
詳細に説明する。本発明の対象となるバンプ測定装置
は、測定対象であるバンプ１０が多数形成されたワーク
１を搭載する移動ステージ２０と、一定の時間間隔で、
計測データ(高さ変位データ)３２を出力する検出部３０
と、該高さ変位データを取り込み、測定処理を実行する
処理部４０と、制御信号５１を送出し、測定装置各部の
制御を行う制御処理部５０により構成される。本発明の
対象となる測定装置では、測定対象であるバンプ１０の
ワーク１における位置を予め記憶しておき、検出部３０
より照射されたレーザ光３１が、ワーク１上のバンプ１
０の中央部を走査するように、移動ステージ２０を一定
速度で移動させると共に、検出部３０から一定時間間隔
で計測した高さデータ３２を、処理部４０に取り込みバ
ンプ高さを測定する。
【０００６】次に、図２のフローチャートを用いて、本
発明の測定方法を詳細に説明する。データ取り込みステ
ップ４１は、制御部５０の制御信号５１に従って、ステ
ージ移動中に高さデータ３２を取り込む処理である。バ
ンプ頂点高さ測定ステップ４２は、データ取り込みステ
ップ４１で取り込まれた高さデータ３２と予め記憶して
いたバンプ位置からバンプ高さを求める処理であり、こ
の処理を一列のバンプについて実行する。そして、一列
のバンプ高さが求められた後、ステップ４３で隣接バン
プの高さから、バンプ高さの再計算(移動平均処理)を行
い、これを全バンプについて実行する。図３は、バンプ
頂点高さ測定ステップ４２により求められた３回の測定
データと、各測定高さの差(ＲＡＮＧＥ)を表すグラフで
ある。 図４は、高さの再計算(移動平均処理)ステップ
４３から求められた３回の測定データと、各測定高さの
差（ＲＡＮＧＥ）のグラフである。図４から明らかなよ
うに、移動平均処理による高さの再計算ステップ４３か
ら求められた３回の測定データと各測定高さの差に基づ
き、バンプ高さを算出しているため、微細なバンプに対
しても安定した高さデータが得られる。
発明の測定方法を詳細に説明する。データ取り込みステ
ップ４１は、制御部５０の制御信号５１に従って、ステ
ージ移動中に高さデータ３２を取り込む処理である。バ
ンプ頂点高さ測定ステップ４２は、データ取り込みステ
ップ４１で取り込まれた高さデータ３２と予め記憶して
いたバンプ位置からバンプ高さを求める処理であり、こ
の処理を一列のバンプについて実行する。そして、一列
のバンプ高さが求められた後、ステップ４３で隣接バン
プの高さから、バンプ高さの再計算(移動平均処理)を行
い、これを全バンプについて実行する。図３は、バンプ
頂点高さ測定ステップ４２により求められた３回の測定
データと、各測定高さの差(ＲＡＮＧＥ)を表すグラフで
ある。 図４は、高さの再計算(移動平均処理)ステップ
４３から求められた３回の測定データと、各測定高さの
差（ＲＡＮＧＥ）のグラフである。図４から明らかなよ
うに、移動平均処理による高さの再計算ステップ４３か
ら求められた３回の測定データと各測定高さの差に基づ
き、バンプ高さを算出しているため、微細なバンプに対
しても安定した高さデータが得られる。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金等により形成された微細なバンプに対しても、安定し
たバンプ高さ測定結果が得られる。
金等により形成された微細なバンプに対しても、安定し
たバンプ高さ測定結果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の対象となる測定装置の一実施例の構造
を示す図
を示す図
【図２】本発明の測定処理の流れを示すフローチャート
【図３】バンプ高さ測定測定データと各測定高さの差を
示すグラフ
示すグラフ
【図４】本発明の移動平均処理による高さの再計算の測
定データと、かく測定高さの差を示すグラフ
定データと、かく測定高さの差を示すグラフ
１：ワーク、１０：バンプ、２０：移動ステージ、３
０：検出部、３２：計測データ(高さ変位データ)、４
０：処理部、５０：制御部。
０：検出部、３２：計測データ(高さ変位データ)、４
０：処理部、５０：制御部。
Claims (4)
- 【請求項１】 三角測量法により測定する対象物の高さ
を計測する方法において、上記対象物を測定位置に対し
相対的に移動させながら高さ測定し、得られる連続した
高さデータに基づき上記対象物の高さを測定することを
特徴とする対象物高さ測定方法。 - 【請求項２】 請求項１において、上記測定により得ら
れる高さデータを、隣接するｎ個(ｎは２以上の整数)の
対象物の高さデータの平均値(移動平均)に基づき補正
し、当該対象物の高さを測定することを特徴とする対象
物高さ測定方法。 - 【請求項３】 測定対象であるバンプに斜め上からレー
ザ光を照射し、その反射光を位置検出素子で受光し、該
位置検出素子上での受光位置から三角測量法によりバン
プ高さを測定する方法において、上記バンプを測定位置
に対し相対的に移動させながら高さ測定し得られる連続
した高さデータに基づき、上記バンプの高さを測定する
ことを特徴とするバンプ高さ測定方法。 - 【請求項４】 請求項３において、上記測定により得ら
れたバンプ高さデータを、隣接バンプの高さと平均処理
(移動平均処理)して、上記バンプの高さを測定すること
を特徴とするバンプ高さ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001260097A JP2003065728A (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | 対象物高さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001260097A JP2003065728A (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | 対象物高さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003065728A true JP2003065728A (ja) | 2003-03-05 |
Family
ID=19087348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001260097A Pending JP2003065728A (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | 対象物高さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003065728A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103063141A (zh) * | 2011-10-21 | 2013-04-24 | 东莞富强电子有限公司 | 基于激光测距的零件高度的测量方法 |
| KR101773873B1 (ko) | 2016-04-25 | 2017-09-01 | 서일성 | 휴대전화 모듈 접착상태 측정장치 및 판별방법 |
| CN108180880A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 多头测量设备量测点位自动分配方法 |
| CN111521153A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-08-11 | 上海雄程海洋工程股份有限公司 | 沉桩过程中的桩参数的测量方法 |
| US11959961B2 (en) | 2022-04-08 | 2024-04-16 | Orbotech Ltd. | Method of determining an X and Y location of a surface particle |
-
2001
- 2001-08-29 JP JP2001260097A patent/JP2003065728A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103063141A (zh) * | 2011-10-21 | 2013-04-24 | 东莞富强电子有限公司 | 基于激光测距的零件高度的测量方法 |
| KR101773873B1 (ko) | 2016-04-25 | 2017-09-01 | 서일성 | 휴대전화 모듈 접착상태 측정장치 및 판별방법 |
| CN108180880A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 多头测量设备量测点位自动分配方法 |
| WO2019128981A1 (zh) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 多头测量设备及其量测点位自动分配方法 |
| CN108180880B (zh) * | 2017-12-27 | 2020-05-12 | 武汉华星光电技术有限公司 | 多头测量设备量测点位自动分配方法 |
| CN111521153A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-08-11 | 上海雄程海洋工程股份有限公司 | 沉桩过程中的桩参数的测量方法 |
| CN111521153B (zh) * | 2020-07-02 | 2022-09-13 | 上海雄程海洋工程股份有限公司 | 沉桩过程中的桩参数的测量方法 |
| US11959961B2 (en) | 2022-04-08 | 2024-04-16 | Orbotech Ltd. | Method of determining an X and Y location of a surface particle |
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