JP2003059132A - 電子線情報再生装置 - Google Patents

電子線情報再生装置

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JP2003059132A
JP2003059132A JP2001251302A JP2001251302A JP2003059132A JP 2003059132 A JP2003059132 A JP 2003059132A JP 2001251302 A JP2001251302 A JP 2001251302A JP 2001251302 A JP2001251302 A JP 2001251302A JP 2003059132 A JP2003059132 A JP 2003059132A
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Atsuyuki Watada
篤行 和多田
Kaori Otaka
かをり 大▲高▼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子線情報再生装置の小型化、低コスト化、
媒体交換性が十分でない。 【解決手段】 電子線集束機構3と記録媒体10との間
の電子線の通路に小孔6を配置し、電子線発生機構1、
電子線加速機構2及び電子線集束機構3を小孔6以外で
は記録媒体10と隔離する隔離機構7を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子線情報再生装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】レーザー光により情報を記録再生する光
記録媒体において、光照射によりアモルファス相−結晶
相間の可逆的な相変化が生じる材料を記録層とした書き
換え型の記録媒体がある。この記録媒体は、記録・消去
ができるとともに、既に記録された情報を消去しながら
新たな情報を記録することができる特徴を持っている。
【0003】このような記録媒体は、一般的に、記録層
におけるアモルファス状態を記録状態とし、結晶状態を
消去状態としている。情報の記録は、記録レベルのレー
ザビームを照射し融点以上に加熱した後に急冷すること
でアモルファスマークを形成し、消去は消去レベルのレ
ーザ光を照射し結晶化温度まで昇温した後に徐冷するこ
とでマークを結晶化する。記録情報は、アモルファス−
結晶間での反射率差や位相差による反射光量の変化を検
出し再生することができる。
【0004】この場合、記録密度を上げるには、マーク
長、トラックピッチの縮小が必要になる。書換型もしく
は追記型記録媒体では、記録・再生を同一のレーザービ
ームで行っている。レーザービームの発光パルス長を短
くすることによって、ビーム径より小さいマーク長で記
録できる。しかし、再生できるマーク長は、レーザー発
光波長とレンズのNAによって決まる。また、トラック
ピッチのスケーリングもビーム径で決定される。これ
は、マーク長・ピッチもしくはトラックピッチがビーム
径以下になると、相互干渉が起こり信号強度が減衰する
ためである。
【0005】つまり、記録・再生を同一レーザービーム
で行う場合には、小さいマークが記録できても再生でき
ず、再生限界が媒体の記録密度をりっそくしている。現
在、光ディスクにおいては次世代DVDとして短波長レ
ーザーによる高密度化が進行しているが、何れの世代に
おいても記録密度は再生の制限を受ける。
【0006】そこで、本発明者らは、レーザービームよ
りも空間分解能が格段に高い電子線を用いて再生を行う
ことができれば、記録密度が大幅に向上することに着目
し、電子線により相変化記録マークが再生できることを
示した(99年秋季第60回応用物理学会予稿集3a-ZC
-4)。
【0007】また、特開平9−7240号公報には電子
線を利用した記憶装置が開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、電子
線を用いて相変化形記録媒体の再生を行うことで光(レ
ーザー光)で再生する場合の記録密度の限界を越えた情
報再生装置を得られることが分かったが、実際に電子線
を用いて情報を再生する装置については研究途上であ
る。
【0009】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、電子線を用いた情報再生装置の小型、低コスト化
を図るとともに、記録媒体の交換を容易にすることを目
的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明の請求項1の電子線情報再生装置は、電子線
を集束させる手段と記録媒体の間の電子線の通路に小孔
を配置し、電子線を発生させる手段、電子線を加速する
手段及び電子線を集束させる手段を、小孔以外では記録
媒体と隔離する手段を設けたものである。
【0011】請求項2の電子線情報再生装置は、請求項
1の電子線情報再生装置の小孔は開口面積が1mm2
下であるものである。請求項3の電子線情報再生装置
は、請求項1又は2の電子線情報再生装置において、小
孔と前記記録媒体の距離が1μm以下になるものであ
る。請求項4の電子線情報再生装置は、請求項1乃至3
のいずれかの電子線情報再生装置において、隔離する手
段の内部を略真空にする手段を備えているものである。
請求項5の電子線情報再生装置は、請求項1乃至4のい
ずれかの電子線情報再生装置において、前記隔離する手
段の内壁面に絶縁性材料がコートされているものであ
る。
【0012】請求項6の電子線情報再生装置は、請求項
1乃至5のいずれかの電子線情報再生装置において、小
孔の近傍に電子線を検出するための電極が配置されてい
るものである。請求項7の電子線情報再生装置は、請求
項6の電子線情報再生装置において、電極に、記録媒体
に対してプラスの電圧を印加するもので、請求項8の電
子線情報再生装置は、請求項6の電子線情報再生装置に
おいて、電極以外の部分にマイナスの電圧を印加するも
のである。
【0013】請求項9の電子線情報再生装置は、請求項
1乃至5のいずれかの電子線報再生装置において、隔離
する手段の内部に電子線の通路以外の部分に電子線を検
出する電子線検出手段が配置されているものである。請
求項10の電子線情報再生装置は、請求項9の電子線情
報再生装置において、電子線検出手段に、周りに対して
プラスの電圧を印加するものである。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図1は本発明の第1実施形態
に係る電子線情報再生装置に概略ブロック図である。こ
の電子線情報再生装置は、電子線を発生させる手段であ
る電子線発生機構1と、電子線発生機構1で発生させた
電子線を加速する手段である電子線加速機構2と、電子
線を集束させる手段である電子線集束機構3と、記録媒
体10からの電子を検出する手段である電子線検出機構
4と、電子線検出機構4からの検出結果を復調するデジ
タル信号復調機構5とを備えている。
【0015】そして、電子線集束機構3と記録媒体10
との間の電子線の通路に小孔6を配置し、電子線発生機
構1、電子線加速機構2及び電子線集束機構3を小孔6
以外では記録媒体10と隔離する隔離機構7を備えてい
る。なお、ここでは、隔離機構7内部に電子線検出機構
4も配置しているが、この電子線検出機構4及びディジ
タル復調機構5は何処に配置してもかまわない。
【0016】隔離機構7としては、電子線発生機構1、
電子線加速機構2及び電子線集束機構3を収納する金属
等の容器を用いることができ、この隔離機構7の電子線
が出射する部分に小孔6を形成して、記録媒体10に電
子線を照射できるようにしている。
【0017】ここで、電子線集束機構3としては、例え
ば図2に示すように電界レンズ3aを使用したもの、或
いは図3又は図4に示すように磁界レンズ3bを使用し
たものなどを用いることができる。
【0018】また、小孔6の開口面積を1mm2以下に
することが好ましい。小孔6の形状は円形或いは楕円形
が好ましいが、特に限定されるものではない。円形の小
孔6の場合、図3に示すように、直径Dを略1.1mm
以下にすることが好ましい。この小孔6の大きさ(開口
面積)は小さいほうがよいが、必要以上に小さいと電子
線を効率良く小孔6を通過するようにするのが難しくな
り、コストが高くなり、また、電子線を偏向させる場合
にはある程度の大きさが必要となる。
【0019】さらに、図4に示すように、小孔6(隔離
機構7の外面)と記録媒体10の距離Lは1μm以下に
なるようにすることが好ましい。隔離機構7の記録媒体
10に近接する部分は平坦にする必要がある。また、小
孔6のある部分付近が最も記録媒体10に近接し、その
他の部分は必要以上に近接しないように湾曲させること
が好ましい。
【0020】このように構成した電子線情報再生装置に
おいては、電子線を用いて記録媒体10の情報を読み取
るので、光の回折限界以上の記録密度で記録した相変化
記録メディアの情報を読み取ることが可能になり、相変
化記録メディアの記録密度の向上が図れる。
【0021】そして、電子線発生機構1、電子線加速機
構2及び電子線集束機構3を小孔6以外では記録媒体1
0と隔離する隔離機構7を備えているので、記録媒体の
周辺の真空度が低下、或いは大気圧になっても、電子線
発生機構,電子線加速機構及び電子線集束機構を高真空
に維持することが容易となり、真空ポンプのコスト低
減、装置全体の小型化が可能となる。また、記録媒体を
交換する際も短時間で交換可能となる。
【0022】また、小孔の開口面積を1mm以下にす
ることで、記録媒体の周辺の真空度が低下、或いは大気
圧になっても、電子線発生機構,電子線加速機構及び電
子線集束機構を高真空に維持することが一層容易とな
り、更なる真空ポンプのコスト低減、装置全体の小型化
が可能となる。
【0023】さらに、小孔と記録媒体の距離が1μm以
下になるようにすることで、記録媒体の周りの真空度に
対する要求が緩くなり、記録媒体の周りを真空にする装
置のコスト低減、或いは省略(電子線発生機構,電子線
加速機構,電子線集束機構を高真空に維持する装置を兼
用する。)することが可能となり、一層の装置の小型化
が可能となる。また、記録媒体を交換する際も時間も更
に短時間でよくなる。
【0024】次に、本発明の第2実施形態について図5
を参照して説明する。なお、同図は同実施形態の概略ブ
ロック図である。この実施形態は、隔離機構7の内部を
略真空にする真空ポンプ8を備えたものであり、隔離機
構7の内部を略真空に、外部を大気圧にすることができ
る。これにより、記録媒体10の周りを真空にする装置
は不要となり、記録媒体10を交換する際の真空排気作
業による時間が無くなり、一層装置の小型化、記録媒体
の交換時間の短縮を図れる。
【0025】次に、本発明の第3実施形態について図6
及び図7を参照して説明する。なお、なお、図6は同実
施形態の要部概略構成図、図7は同実施形態の異なる例
を示す要部概略構成図である。この実施形態は、隔離機
構7の内壁面に絶縁性材料9をコートしたものである。
これにより、装置を小型化した場合に電子線を加速する
電圧によっては、異常放電が発生しやすくなるが、これ
を防ぐことができ、安定した情報読み取りを行うことが
できる。
【0026】なお、図7に示すように、必要に応じて、
磁界レンズによる電子線集束機構3b等にも同様の処理
をしても効果が有る場合がある。
【0027】次に、本発明の第4実施形態について図8
及び図9を参照して説明する。なお、図8は同実施形態
の装置の概略ブロック図、図9は同実施形態の要部概略
構成図である。この実施形態は、小孔6の近傍に電子線
を検出するための電極11を配置したものである。ここ
では、隔離機構7の外面側で小孔6の周囲に電極11を
配置している。これにより、低コストで高効率の電子線
の検出を行うことができる。
【0028】ここで、この第4実施形態の他の異なる例
について図10乃至図12を参照して説明する。なお、
各図は同例の要部概略構成図である。図10の例は隔離
機構7の内部で小孔6と電子線集束機構3との間に電子
線の流れの方向と直交する方向で電極11を配置したも
の、図11の例は隔離機構7の内部で小孔6と電子線集
束機構3との間に電子線の流れの方向に沿う方向で電極
11を配置したもの、図12は隔離機構7の内壁面で小
孔6の周囲に電極11を配置したものである。このよう
にしても上記と同様の作用効果が得られるが、電極11
は基本的には隔離機構7の外面側に配置した方がより効
率的な検出を行うことができる。
【0029】次に、本発明の第5実施形態について図1
3を参照して説明する。なお、同図は同実施形態の要部
概略構成図である。この実施形態は、小孔6の近傍に電
子線を検出するための電極11を配置し、この電極11
に、電源13から記録媒体10に対してプラス(+)の
電圧を印加するものである。これにより、電子線の検出
効率がより向上する。
【0030】次に、本発明の第6実施形態の異なる例に
ついて図14及び図15を参照して説明する。なお、各
図は同実施形態の要部概略構成図である。この実施形態
は、小孔6の近傍に電子線を検出するための電極11を
配置し、この電極11以外の部分、すなわち、図14の
例では記録媒体10に、図15の例では電子線集束機構
3に電源13からマイナス(−)の電圧を印加するもの
である。このようにしても、電子線の検出効率がより向
上する。
【0031】次に、本発明の第7実施形態の異なる例に
ついて図16及び図17を参照して説明する。なお、各
図は同実施形態の要部概略構成図である。この実施形態
は、隔離機構7の内部の電子線の通路以外の部分に電子
線検出機構4を配置したものであり、図16の例は電子
線集束機構3よりも電子線の流れの方向(出射方向)で
上流側に電子線検出機構4を配置したもの、図17の例
は電子線集束機構3よりも電子線の流れの方向(出射方
向)で下流側(電子線集束機構3と隔離機構7の小孔6
側内壁面との間)に電子線検出機構4を配置したもので
ある。これにより、高効率の電子線検出器を使用でき
て、信頼性の高い再生装置が得られる。
【0032】次に、本発明の第8実施形態の異なる例に
ついて図18及び図19を参照して説明する。なお、各
図は同実施形態の要部概略構成図である。この実施形態
は、隔離機構7の内部の電子線の通路以外の部分に電子
線検出機構4を配置し、電子線検出機構4の周りに対し
て、すなわち、ここでは電子線集束機構3及び隔離機構
7に対して電源14からプラス(+)の電圧を印加した
ものであり、図18は図16の配置例に適用したもの、
図19は図17の配置例に適用したものである。これに
より、電子線検出器の検出効率が一層向上する。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の電子線
情報再生装置によれば、電子線を集束させる手段と記録
媒体の間の電子線の通路に小孔を配置し、電子線を発生
させる手段、電子線を加速する手段及び電子線を集束さ
せる手段を、小孔以外では記録媒体と隔離する手段を設
けたので、装置の小型化、低コスト化を図れ、記録媒体
の交換時間も短縮できる。
【0034】請求項2の電子線情報再生装置によれば、
請求項1の電子線情報再生装置の小孔は開口面積が1m
2以下であるので、一層、装置の小型化、低コスト化
を図れ、記録媒体の交換時間も短縮できる。
【0035】請求項3の電子線情報再生装置によれば、
請求項1又は2の電子線情報再生装置において、小孔と
前記記録媒体の距離が1μm以下になるので、更なる装
置の小型化、低コスト化を図れるとともに、記録媒体の
交換時間も一層短縮できる。
【0036】請求項4の電子線情報再生装置によれば、
請求項1乃至3のいずれかの電子線情報再生装置におい
て、隔離する手段の内部を略真空にする手段を備えてい
るので、更なる記録媒体の交換時間の短縮を図れる。
【0037】請求項5の電子線情報再生装置によれば、
請求項1乃至4のいずれかの電子線情報再生装置におい
て、隔離する手段の内壁面に絶縁性材料がコートされて
いるので、安定した読み取りを行うことができるととも
に、装置の小型化を図れる。
【0038】請求項6の電子線情報再生装置によれば、
請求項1乃至5のいずれかの電子線情報再生装置におい
て、小孔の近傍に電子線を検出するための電極が配置さ
れているので、低コストで電子線を効率的に検出でき
る。
【0039】請求項7の電子線情報再生装置によれば、
請求項6の電子線情報再生装置において、電極に記録媒
体に対してプラスの電圧を印加するので、請求項8の電
子線情報再生装置によれば、請求項6の電子線情報再生
装置において、電極以外の部分にマイナスの電圧を印加
するので、いずれも電子線の検出効率が向上する。
【0040】請求項9の電子線情報再生装置によれば、
請求項1乃至5のいずれかの電子線報再生装置におい
て、隔離する手段の内部に電子線の通路以外の部分に電
子線を検出する電子線検出手段が配置されているので、
信頼性が向上する。
【0041】請求項10の電子線情報再生装置によれ
ば、請求項9の電子線情報再生装置において、電子線検
出手段に周りに対してプラスの電圧を印加するので、検
出効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る電子線情報再生装
置の概略ブロック図
【図2】同装置の電子線集束機構の一例を説明する要部
概略構成図
【図3】同装置の電子線集束機構の他の例及び小孔の大
きさの説明に供する要部概略構成図
【図4】同装置の小孔と記録媒体の距離の説明に供する
説明図
【図5】本発明の第2実施形態に係る電子線情報再生装
置の概略ブロック図
【図6】本発明の第3実施形態に係る電子線情報再生装
置の要部概略構成図
【図7】同実施形態に係る電子線情報再生装置の他の例
を示す要部概略構成図
【図8】本発明の第4実施形態に係る電子線情報再生装
置の概略ブロック図
【図9】同実施形態の説明に供する要部概略構成図
【図10】同実施形態の他の例の説明に供する要部概略
構成図
【図11】同実施形態の更に他の例の説明に供する要部
概略構成図
【図12】同実施形態の更にまた他の例の説明に供する
要部概略構成図
【図13】本発明の第5実施形態に係る電子線情報再生
装置の要部概略構成図
【図14】本発明の第6実施形態に係る電子線情報再生
装置の要部概略構成図
【図15】同実施形態の他の例の説明に供する要部概略
構成図
【図16】本発明の第7実施形態に係る電子線情報再生
装置の要部概略構成図
【図17】同実施形態の他の例の説明に供する要部概略
構成図
【図18】本発明の第8実施形態に係る電子線情報再生
装置の要部概略構成図
【図19】同実施形態の他の例の説明に供する要部概略
構成図
【符号の説明】
1…電子線発生機構、2…電子線加速機構、3…電子線
集束機構、3a…電界レンズ、3b…磁界レンズ、4…
電子線検出機構、5…デジタル信号復調機構、6…小
孔、7…隔離機構、9…絶縁性材料、11…電極。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子線を発生させる手段と、電子線を加
    速する手段と、電子線を集束させる手段と、記録媒体か
    らの電子を検出する手段とを有する電子線再生装置にお
    いて、前記電子線を集束させる手段と前記記録媒体の間
    の電子線の通路に小孔を配置し、電子線を発生させる手
    段、電子線を加速する手段及び電子線を集束させる手段
    を、前記小孔以外では前記記録媒体と隔離する手段を設
    けたことを特徴とする電子線再生装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の電子線情報再生装置に
    おいて、前記小孔は開口面積が1mm2以下であること
    を特徴とする電子線情報再生装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の電子線情報再生
    装置において、前記小孔と前記記録媒体の距離が1μm
    以下になることを特徴とする電子線情報再生装置。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載の電子
    線情報再生装置において、前記隔離する手段の内部を略
    真空にする手段を備えていることを特徴とする電子線情
    報再生装置。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の電子
    線情報再生装置において、前記隔離する手段の内壁面に
    絶縁性材料がコートされていることを特徴とする電子線
    情報再生装置。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至5のいずれかに記載の電子
    線情報再生装置において、前記小孔の近傍に電子線を検
    出するための電極が配置されていることを特徴とする電
    子線情報再生装置。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の電子線情報再生装置に
    おいて、前記電極に、記録媒体に対してプラスの電圧を
    印加することを特徴とする電子線情報再生装置。
  8. 【請求項8】 請求項6に記載の電子線情報再生装置に
    おいて、前記電極以外の部分にマイナスの電圧を印加す
    ることを特徴とする電子線情報再生装置。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至5のいずれかに記載の電子
    線情報再生装置において、前記隔離する手段の内部に電
    子線の通路以外の部分に電子線を検出する電子線検出手
    段が配置されていることを特徴とする電子線情報再生装
    置。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の電子線情報再生装置
    において、前記電子線検出手段に、周りに対してプラス
    の電圧を印加することを特徴とする電子線情報再生装
    置。
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