JP2003057432A - カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置及びその方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置及びその方法Info
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- JP2003057432A JP2003057432A JP2001322718A JP2001322718A JP2003057432A JP 2003057432 A JP2003057432 A JP 2003057432A JP 2001322718 A JP2001322718 A JP 2001322718A JP 2001322718 A JP2001322718 A JP 2001322718A JP 2003057432 A JP2003057432 A JP 2003057432A
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- B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
- B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material
Abstract
(57)【要約】
【課題】位置決めをリアルタイムに行え、カラーフィル
タ基板にインクドロップを均等且つ迅速にジェットプリ
ントできるカラーフィルタの製造用インクジェットプリ
ント装置及びその方法を提供する。 【解決手段】本発明の装置は、主にプリントヘッドモジ
ュール（１１）と、運動テーブル（１６）と、エアジェ
ットモジュール（１２）と、光学感知システムと制御シ
ステムを備える。前記モジュール（１１）は基板（１
７）にインクドロップを射出するために、少なくとも一
つのノズルとプリントヘッドを有する。また前記モジュ
ール（１２）はインクドロップにホットエアを噴射する
ことによって、その分布の均等化と乾燥を同時に実現す
ることができる。更に光学感知システムはカラーフィル
タ基板（１７）とノズル（６２）の相対位置をリアルタ
イムに感知でき、位置決めを精密に行える。よって、本
発明の方法と併せて、インクジェットプリントの高品質
と迅速化をより一層向上することができる。
タ基板にインクドロップを均等且つ迅速にジェットプリ
ントできるカラーフィルタの製造用インクジェットプリ
ント装置及びその方法を提供する。 【解決手段】本発明の装置は、主にプリントヘッドモジ
ュール（１１）と、運動テーブル（１６）と、エアジェ
ットモジュール（１２）と、光学感知システムと制御シ
ステムを備える。前記モジュール（１１）は基板（１
７）にインクドロップを射出するために、少なくとも一
つのノズルとプリントヘッドを有する。また前記モジュ
ール（１２）はインクドロップにホットエアを噴射する
ことによって、その分布の均等化と乾燥を同時に実現す
ることができる。更に光学感知システムはカラーフィル
タ基板（１７）とノズル（６２）の相対位置をリアルタ
イムに感知でき、位置決めを精密に行える。よって、本
発明の方法と併せて、インクジェットプリントの高品質
と迅速化をより一層向上することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ント装置と方法に係り、特に位置決めをリアルタイムに
行うと共に、カラーフィルタ基板にインクを直接ジェッ
トプリントすることができるカラーフィルタの製造用イ
ンクジェットプリント装置と方法に関するものである。
ント装置と方法に係り、特に位置決めをリアルタイムに
行うと共に、カラーフィルタ基板にインクを直接ジェッ
トプリントすることができるカラーフィルタの製造用イ
ンクジェットプリント装置と方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルタ（color filter）の主な
応用分野としては、次の三つがある。第一分野として
は、電荷結合デバイス（Charge Coupled Device, CCD）
等のイメージセンサーに使用される。また第二分野は、
クリスタルシャッター（crystalshutter）等のリニアセ
ンサー（line sensor）に応用される。更に第三分野と
しては、例えば、交差式（Twisted Nematic, TN）、ス
ーパー交差式（Super Twisted Nematic, STN）及び薄フ
ィルムトランジスタ（Thin Film Transistor, TFT）の
液晶ディスプレー装置（Liquid Crystal Display, LC
D）等のディスプレー装置に広く応用されている。これ
らの製品の需要量が増大するに伴い、カラーフィルタに
対するニーズも益々増える一方。そして、カラーフィル
タをより安く製造することは非常に重要な課題となって
いる。
応用分野としては、次の三つがある。第一分野として
は、電荷結合デバイス（Charge Coupled Device, CCD）
等のイメージセンサーに使用される。また第二分野は、
クリスタルシャッター（crystalshutter）等のリニアセ
ンサー（line sensor）に応用される。更に第三分野と
しては、例えば、交差式（Twisted Nematic, TN）、ス
ーパー交差式（Super Twisted Nematic, STN）及び薄フ
ィルムトランジスタ（Thin Film Transistor, TFT）の
液晶ディスプレー装置（Liquid Crystal Display, LC
D）等のディスプレー装置に広く応用されている。これ
らの製品の需要量が増大するに伴い、カラーフィルタに
対するニーズも益々増える一方。そして、カラーフィル
タをより安く製造することは非常に重要な課題となって
いる。
【０００３】ところで、従来のカラーフィルタを製造す
るには、四つのプロセスがある。即ち、着色、クリー
ン、乾燥及びエッチングの四つのプロセスである。これ
らのプロセスが全て複雑であるため、製造コストの低減
を図ることは困難である。
るには、四つのプロセスがある。即ち、着色、クリー
ン、乾燥及びエッチングの四つのプロセスである。これ
らのプロセスが全て複雑であるため、製造コストの低減
を図ることは困難である。
【０００４】一方、製造コストを低減するためには、イ
ンクジェットプリント方法が使われる。この方法は、カ
ラーフィルタ基板において、ブラックマトリックス（Bl
ackMatrix）より構成した複数の空洞にインクドロップ
を直接スプレーするものであり、即ち、フィルタに異色
のインクドロップをスプレーして、異なるタイプのカラ
ーフィルタが形成される。この場合は、赤、緑及び青色
を基本セル（Cell）として広く使われている。この方法
は、他の半導体の製造方法に比較して装置自体とその製
造方法が安価であるというメリットがある。
ンクジェットプリント方法が使われる。この方法は、カ
ラーフィルタ基板において、ブラックマトリックス（Bl
ackMatrix）より構成した複数の空洞にインクドロップ
を直接スプレーするものであり、即ち、フィルタに異色
のインクドロップをスプレーして、異なるタイプのカラ
ーフィルタが形成される。この場合は、赤、緑及び青色
を基本セル（Cell）として広く使われている。この方法
は、他の半導体の製造方法に比較して装置自体とその製
造方法が安価であるというメリットがある。
【０００５】他方、前記方法において、インクドロップ
を所定位置に射出するためには、精密な位置決めを行う
必要がある。その他、仮に前記空洞内へのインクドロッ
プの射出が不完全又は不良であれば、前記空洞間に白欠
陥（White Omission）が生成されるという問題が生じ
る。この問題を解決するためには、前記基板とインク塗
料層との間に、吸収層が設けられる方法が採用されてい
る。この吸収層によって、インクドロップを事前に決め
られた位置のみに拡散させて、更に光学的方法を用い
て、より正確に位置決めを行う工夫もなされている。
を所定位置に射出するためには、精密な位置決めを行う
必要がある。その他、仮に前記空洞内へのインクドロッ
プの射出が不完全又は不良であれば、前記空洞間に白欠
陥（White Omission）が生成されるという問題が生じ
る。この問題を解決するためには、前記基板とインク塗
料層との間に、吸収層が設けられる方法が採用されてい
る。この吸収層によって、インクドロップを事前に決め
られた位置のみに拡散させて、更に光学的方法を用い
て、より正確に位置決めを行う工夫もなされている。
【０００６】
【本発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
の従来の装置及び方法には、以下のような問題がある。 ＜イ＞先ず、吸収層を設けることは製造プロセスを増加
するばかりではなく、全体の製造コストの高騰を招くと
いう欠点がある。また、前記吸収層によって、余分なイ
ンクドロップが完全に吸収されることができず、前記空
洞間に白欠陥又はカラーミキシング（Color Mixing）が
形成されるため、カラーフィルタの品質保証には限界が
ある。 ＜ロ＞リアルタイム位置決めについて、光学的位置決め
方法とアナログ信号分析方法を併用した従来の方法で
は、プリントヘッドに光位置感知センサーを取り付け
て、これによって各フィルタ要素の中心部を感知すると
共に、拡散対象とする空洞又はスリットを通した光強度
の分布（波山や波谷等）に基づき、インクジェットヘッ
ドの位置を決定することがなされている。しかし、光強
度の分布は光源と感知センサーとの相対位置によって、
ずれが生じる恐れがあり、特に光が前記スリットを通過
するときに、回折現象が起きり、光のピーク位置にずれ
が発生するため、精密な位置決めが期待できない。
の従来の装置及び方法には、以下のような問題がある。 ＜イ＞先ず、吸収層を設けることは製造プロセスを増加
するばかりではなく、全体の製造コストの高騰を招くと
いう欠点がある。また、前記吸収層によって、余分なイ
ンクドロップが完全に吸収されることができず、前記空
洞間に白欠陥又はカラーミキシング（Color Mixing）が
形成されるため、カラーフィルタの品質保証には限界が
ある。 ＜ロ＞リアルタイム位置決めについて、光学的位置決め
方法とアナログ信号分析方法を併用した従来の方法で
は、プリントヘッドに光位置感知センサーを取り付け
て、これによって各フィルタ要素の中心部を感知すると
共に、拡散対象とする空洞又はスリットを通した光強度
の分布（波山や波谷等）に基づき、インクジェットヘッ
ドの位置を決定することがなされている。しかし、光強
度の分布は光源と感知センサーとの相対位置によって、
ずれが生じる恐れがあり、特に光が前記スリットを通過
するときに、回折現象が起きり、光のピーク位置にずれ
が発生するため、精密な位置決めが期待できない。
【０００７】その他、光感知センサーとインクジェット
ヘッドをプリントヘッド一体に取り付けたため、製造コ
ストが高くなるだけではなく、インクジェットヘッドノ
ズルの清掃が非常に困難となると共に、ノズルの利用率
も低下する等の問題が残されている。
ヘッドをプリントヘッド一体に取り付けたため、製造コ
ストが高くなるだけではなく、インクジェットヘッドノ
ズルの清掃が非常に困難となると共に、ノズルの利用率
も低下する等の問題が残されている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係る請求項１は、プリントヘッドモジュ
ール（１１）と、運動テーブル（１６）と、エアジェッ
トモジュール（１２）と、光学感知システムと制御シス
テムを備えるカラーフィルタの製造用インクジェットプ
リント装置であって、プリントヘッドモジュール（１
１）はカラーフィルタ基板（１７）にインクドロップを
スプレーするために、少なくとも一つのノズル（６２）
を有ると共に、各色のインクを独自に射出するプリント
ヘッド（６１）を有し、運動テーブル（１６）はカラー
フィルタ基板（１７）を支持すると共に、プリントヘッ
ドモジュール（１１）に対して移動可能に設置され、エ
アジェットモジュール（１２）はプリントヘッドモジュ
ール（１１）の一側に設けられる一方、カラーフィルタ
基板（１７）上にスプレーされたインクドロップにエア
を吹き込むことによってその均等化を図り、光学感知シ
ステムはカラーフィルタ基板（１７）とノズル（６２）
の相対位置を感知するために設けられ、制御システムは
プリントヘッドモジュール（１１）と、運動テーブル
（１６）と、エアジェットモジュール（１２）及び光学
感知システムを制御するために設けられることを特徴と
する、カラーフィルタの製造用インクジェットプリント
装置を提供する。
めに、本発明に係る請求項１は、プリントヘッドモジュ
ール（１１）と、運動テーブル（１６）と、エアジェッ
トモジュール（１２）と、光学感知システムと制御シス
テムを備えるカラーフィルタの製造用インクジェットプ
リント装置であって、プリントヘッドモジュール（１
１）はカラーフィルタ基板（１７）にインクドロップを
スプレーするために、少なくとも一つのノズル（６２）
を有ると共に、各色のインクを独自に射出するプリント
ヘッド（６１）を有し、運動テーブル（１６）はカラー
フィルタ基板（１７）を支持すると共に、プリントヘッ
ドモジュール（１１）に対して移動可能に設置され、エ
アジェットモジュール（１２）はプリントヘッドモジュ
ール（１１）の一側に設けられる一方、カラーフィルタ
基板（１７）上にスプレーされたインクドロップにエア
を吹き込むことによってその均等化を図り、光学感知シ
ステムはカラーフィルタ基板（１７）とノズル（６２）
の相対位置を感知するために設けられ、制御システムは
プリントヘッドモジュール（１１）と、運動テーブル
（１６）と、エアジェットモジュール（１２）及び光学
感知システムを制御するために設けられることを特徴と
する、カラーフィルタの製造用インクジェットプリント
装置を提供する。
【０００９】また本発明に係る請求項２は、エアジェッ
トモジュール（１２）とプリントヘッドモジュール（１
１）とを統合して構成したことを特徴とする、請求項１
に記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプリン
ト装置である。また本発明に係る請求項３は、エアジェ
ットモジュール（１２）には、空気を加熱すると共に、
そのホットエアでインクドロップを乾燥させるための加
熱部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の
カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置で
ある。また発明に係る請求項４は、エアジェットモジュ
ール（１２）には、円形のノズル（６２）が形成される
ことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタの
製造用インクジェットプリント装置である。また本発明
に係る請求項５は、エアジェットモジュール（１２）に
は、スリット状のノズル（６３）が形成されることを特
徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタの製造用イ
ンクジェットプリント装置である。また本発明に係る請
求項６は、光学感知システムは、カラーフィルタ基板の
位置を感知するための第一光学モジュール（１３）と、
インクドロップとカラーフィルタ基板との相対位置をリ
アルタイムに感知するための第二光学モジュール（１
０）とを有すると共に、この相対位置をカラーフィルタ
基板の下方における光源から照射される光の強度を測定
して行うことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント装置である。さ
らに本発明に係る請求項７は、第二光学モジュール（１
０）は、インクドロップとカラーフィルタ基板上のカラ
ー部の中心との相対位置を感知し、前記カラー部は、カ
ラーフィルタ基板上の格子構造を有するフレームである
と共に、前記格子構造はブラックマトリクスによって形
成されることを特徴とする、請求項６に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント装置である。
トモジュール（１２）とプリントヘッドモジュール（１
１）とを統合して構成したことを特徴とする、請求項１
に記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプリン
ト装置である。また本発明に係る請求項３は、エアジェ
ットモジュール（１２）には、空気を加熱すると共に、
そのホットエアでインクドロップを乾燥させるための加
熱部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の
カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置で
ある。また発明に係る請求項４は、エアジェットモジュ
ール（１２）には、円形のノズル（６２）が形成される
ことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタの
製造用インクジェットプリント装置である。また本発明
に係る請求項５は、エアジェットモジュール（１２）に
は、スリット状のノズル（６３）が形成されることを特
徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタの製造用イ
ンクジェットプリント装置である。また本発明に係る請
求項６は、光学感知システムは、カラーフィルタ基板の
位置を感知するための第一光学モジュール（１３）と、
インクドロップとカラーフィルタ基板との相対位置をリ
アルタイムに感知するための第二光学モジュール（１
０）とを有すると共に、この相対位置をカラーフィルタ
基板の下方における光源から照射される光の強度を測定
して行うことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント装置である。さ
らに本発明に係る請求項７は、第二光学モジュール（１
０）は、インクドロップとカラーフィルタ基板上のカラ
ー部の中心との相対位置を感知し、前記カラー部は、カ
ラーフィルタ基板上の格子構造を有するフレームである
と共に、前記格子構造はブラックマトリクスによって形
成されることを特徴とする、請求項６に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント装置である。
【００１０】また本発明に係る請求項８は、（ａ）カラ
ーフィルタ基板（１７）と一つのノズル（６２）を設置
するステップと、（ｂ）インクドロップとカラーフィル
タ基板（１７）上のカラー部の中心との相対位置をリア
ルタイムに追跡するステップと、（ｃ）カラーフィルタ
基板上のカラー部にインクドロップを射出するステップ
と、（ｄ）インクドロップにエアを吹き込んでその均等
化を行うステップと、からなることを特徴とする、カラ
ーフィルタの製造用インクジェットプリント方法であ
る。
ーフィルタ基板（１７）と一つのノズル（６２）を設置
するステップと、（ｂ）インクドロップとカラーフィル
タ基板（１７）上のカラー部の中心との相対位置をリア
ルタイムに追跡するステップと、（ｃ）カラーフィルタ
基板上のカラー部にインクドロップを射出するステップ
と、（ｄ）インクドロップにエアを吹き込んでその均等
化を行うステップと、からなることを特徴とする、カラ
ーフィルタの製造用インクジェットプリント方法であ
る。
【００１１】また本発明に係る請求項９は、カラー部
を、カラーフィルタ基板上の格子構造を有するフレーム
とすると共に、格子構造をブラックマトリクスによって
形成することを特徴とする、請求項８に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント方法である。ま
た本発明に係る請求項１０は、上記ステップ（ｂ）は、
カラーフィルタ基板の下方における光源から照射される
光の強度を測定して行うことを特徴とする、請求項８に
記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプリント
方法である。さらに本発明に係る請求項１１は、前記ス
テップ（ｄ）には、更にインクドロップを乾燥させるス
テップを付加することを特徴とする、請求項８に記載の
カラーフィルタの製造用インクジェットプリント方法で
ある。
を、カラーフィルタ基板上の格子構造を有するフレーム
とすると共に、格子構造をブラックマトリクスによって
形成することを特徴とする、請求項８に記載のカラーフ
ィルタの製造用インクジェットプリント方法である。ま
た本発明に係る請求項１０は、上記ステップ（ｂ）は、
カラーフィルタ基板の下方における光源から照射される
光の強度を測定して行うことを特徴とする、請求項８に
記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプリント
方法である。さらに本発明に係る請求項１１は、前記ス
テップ（ｄ）には、更にインクドロップを乾燥させるス
テップを付加することを特徴とする、請求項８に記載の
カラーフィルタの製造用インクジェットプリント方法で
ある。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の好適な実施の形態を詳細に説明する。
の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１３】＜イ＞装置
図１に示すように、本発明に係るカラーフィルタの製造
用インクジェットプリント装置（以下、本発明の装置を
いう）はプリントヘッドモジュール（１１）と、運動テ
ーブル（１６）と、エアジェットモジュール（１２）
と、光学感知システムと制御システムから構成される。
プリントヘッドモジュール（１１）は、少なくとも一つ
のノズルを有する。各ノズルは一色を備えると共に（通
常は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）と青（Ｂ）の三色を有す
る）、カラーフィルタ基板（１７）にインクドロップを
ジェットプリントする。運動テーブル（１６）はカラー
フィルタ基板（１７）を支持すると共に、プリントヘッ
ドモジュール（１１）に対して移動可能に設置され、従
って、プリントヘッドモジュール（１１）はカラーフィ
ルタ基板（１７）にインクドロップをジェットプリント
することができる。
用インクジェットプリント装置（以下、本発明の装置を
いう）はプリントヘッドモジュール（１１）と、運動テ
ーブル（１６）と、エアジェットモジュール（１２）
と、光学感知システムと制御システムから構成される。
プリントヘッドモジュール（１１）は、少なくとも一つ
のノズルを有する。各ノズルは一色を備えると共に（通
常は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）と青（Ｂ）の三色を有す
る）、カラーフィルタ基板（１７）にインクドロップを
ジェットプリントする。運動テーブル（１６）はカラー
フィルタ基板（１７）を支持すると共に、プリントヘッ
ドモジュール（１１）に対して移動可能に設置され、従
って、プリントヘッドモジュール（１１）はカラーフィ
ルタ基板（１７）にインクドロップをジェットプリント
することができる。
【００１４】又、運動テーブル（１６）上にプリントヘ
ッドモジュール（１１）を設置するための支持フレーム
（１４）が設けられると共に、駆動モーター（１５）に
よってプリントヘッドモジュール（１１）に対してカラ
ーフィルタ基板（１７）をＸ−Ｙ−θの方向に移動する
ことができる。ここで、Ｘ方向は、支持フレーム（１
４）と平行する方向であり、Ｙ方向は支持フレーム（１
４）と垂直する方向であり、θ方向はＸ-Ｙ軸からなる
平面に基づいてカラーフィルタ基板（１７）を回転させ
る角度方向である。また、支持フレーム（１４）に取り
付けられる全てのパーツ（１０、１１、１２、１３）は
位置調整ができるようにしている。なお、上記本発明の
装置は、振動を吸収できる四つの振動絶縁体を備える堅
固なベースによって支持される。また、コンピューター
を基にするコントローラー（図示せず）によって、全て
の製造プロセスの操作が制御される。
ッドモジュール（１１）を設置するための支持フレーム
（１４）が設けられると共に、駆動モーター（１５）に
よってプリントヘッドモジュール（１１）に対してカラ
ーフィルタ基板（１７）をＸ−Ｙ−θの方向に移動する
ことができる。ここで、Ｘ方向は、支持フレーム（１
４）と平行する方向であり、Ｙ方向は支持フレーム（１
４）と垂直する方向であり、θ方向はＸ-Ｙ軸からなる
平面に基づいてカラーフィルタ基板（１７）を回転させ
る角度方向である。また、支持フレーム（１４）に取り
付けられる全てのパーツ（１０、１１、１２、１３）は
位置調整ができるようにしている。なお、上記本発明の
装置は、振動を吸収できる四つの振動絶縁体を備える堅
固なベースによって支持される。また、コンピューター
を基にするコントローラー（図示せず）によって、全て
の製造プロセスの操作が制御される。
【００１５】光学感知システムは、カラーフィルタ基板
（１７）の位置を感知するための第一光学モジュール
（１３）と、カラーフィルタ基板（１７）とプリントヘ
ッドモジュール（１１）との相対位置を感知するための
第二光学モジュール（１０）とを有する。第一光学モジ
ュール（１３）としては、例えば、エリア電荷結合デバ
イス（Area CCD）を使用する。さらに、具体的に言え
ば、第二光学モジュール（１０）はプリントヘッドモジ
ュール（１１）のノズル（６２）と基板のカラー部上に
射出されたインクドッドとの相対位置を感知し、例え
ば、リニア電荷結合デバイス（linear CCD）を使用す
る。要するに、本発明において、初期位置の校正には、
第一光学モジュール（１３）を使用する一方、リアルタ
イム、且つ精密な位置同定（又は位置追跡）には、第二
光学モジュール（１０）を使用する。
（１７）の位置を感知するための第一光学モジュール
（１３）と、カラーフィルタ基板（１７）とプリントヘ
ッドモジュール（１１）との相対位置を感知するための
第二光学モジュール（１０）とを有する。第一光学モジ
ュール（１３）としては、例えば、エリア電荷結合デバ
イス（Area CCD）を使用する。さらに、具体的に言え
ば、第二光学モジュール（１０）はプリントヘッドモジ
ュール（１１）のノズル（６２）と基板のカラー部上に
射出されたインクドッドとの相対位置を感知し、例え
ば、リニア電荷結合デバイス（linear CCD）を使用す
る。要するに、本発明において、初期位置の校正には、
第一光学モジュール（１３）を使用する一方、リアルタ
イム、且つ精密な位置同定（又は位置追跡）には、第二
光学モジュール（１０）を使用する。
【００１６】エアジェットモジュール（１２）は、カラ
ーフィルタ基板（１７）にスプレーされたインクドロッ
プにエアを吹き込んでその分布を正確且つ均等にするも
のである。図５に示すように、エアジェットモジュール
（１２）はエア供給器（５１）と、エアフィルタ（５
２）と、圧力制御弁（５３）とエアノズル（５４）から
構成される。エア供給器（５１）は、空気と空気を吹き
込むための圧力を供給し、他方エアフィルタ（５２）
は、前記空気中に含まれる水分や不純物を濾過して除去
することによって、インクドロップへの汚染を防止す
る。また、圧力制御弁（５３）は、所定空気圧力を制御
し、そして、エアノズル（５４）は空気を吹き出す。一
方、制御システムは、プリントヘッドモジュール（１
１）、運動テーブル（１６）、エアジェットモジュール
（１２）、光学感知システムなどの各ユニットの移動
を、コンピューター制御システムによって制御する（図
示せず）。
ーフィルタ基板（１７）にスプレーされたインクドロッ
プにエアを吹き込んでその分布を正確且つ均等にするも
のである。図５に示すように、エアジェットモジュール
（１２）はエア供給器（５１）と、エアフィルタ（５
２）と、圧力制御弁（５３）とエアノズル（５４）から
構成される。エア供給器（５１）は、空気と空気を吹き
込むための圧力を供給し、他方エアフィルタ（５２）
は、前記空気中に含まれる水分や不純物を濾過して除去
することによって、インクドロップへの汚染を防止す
る。また、圧力制御弁（５３）は、所定空気圧力を制御
し、そして、エアノズル（５４）は空気を吹き出す。一
方、制御システムは、プリントヘッドモジュール（１
１）、運動テーブル（１６）、エアジェットモジュール
（１２）、光学感知システムなどの各ユニットの移動
を、コンピューター制御システムによって制御する（図
示せず）。
【００１７】＜ロ＞方法及び詳細な構成
図２に示すように、先ず、ステップ１０１は初期化を行
う。即ち、着色対象とする基板を運搬装置（図示せず）
上に載せて運ぶ。その後、前記基板を本発明の装置の初
期位置にセットしておく。
う。即ち、着色対象とする基板を運搬装置（図示せず）
上に載せて運ぶ。その後、前記基板を本発明の装置の初
期位置にセットしておく。
【００１８】次に、ステップ（１０２）は、第一光学モ
ジュール（１３）によって、カラーフィルタ基板（１
７）の初期位置決めを行う。即ち、カラーフィルタ基板
（１７）上に予め設置された直線状のマークの位置を読
み取ってから、載荷による前記基板（１７）の位置オフ
セットを算定する。その後、駆動モーターによって、Ｘ
−Ｙ−θステージを移動しながら、前記基板（１７）の
直線性を調整する。
ジュール（１３）によって、カラーフィルタ基板（１
７）の初期位置決めを行う。即ち、カラーフィルタ基板
（１７）上に予め設置された直線状のマークの位置を読
み取ってから、載荷による前記基板（１７）の位置オフ
セットを算定する。その後、駆動モーターによって、Ｘ
−Ｙ−θステージを移動しながら、前記基板（１７）の
直線性を調整する。
【００１９】ステップ（１０２）を終了後、ステップ
（１０３）のプレプリントを行う。このステップにおい
て、参照ノズル（reference nozzle）の位置決めを行う
と共に、カラーフィルタ基板（１７）における特定のブ
ランク・テスト・エリアにインクドロップを射出して、
プリントの状況等を事前に確認しておく。ここで、各プ
リントヘッドに対して、前記参照ノズルを用いて、位置
決めを事前に行う。また、所定のカラーフィルタパター
ンに基づき、インクドロップの射出状況の良否を確認し
ておく。
（１０３）のプレプリントを行う。このステップにおい
て、参照ノズル（reference nozzle）の位置決めを行う
と共に、カラーフィルタ基板（１７）における特定のブ
ランク・テスト・エリアにインクドロップを射出して、
プリントの状況等を事前に確認しておく。ここで、各プ
リントヘッドに対して、前記参照ノズルを用いて、位置
決めを事前に行う。また、所定のカラーフィルタパター
ンに基づき、インクドロップの射出状況の良否を確認し
ておく。
【００２０】次はステップ（１０４）を行う。本ステッ
プにおいて、前記基板（１７）に対するプリントヘッド
との相対位置や角度を正確に調整すると共に、前記参照
ノズルから射出されたインクドロップの状況の良否を確
認する。次にステップ（１０５）へ移る。ここで、プロ
セッシング・イメージ・データにより、前記基板（１
７）上にノズルから射出されたインクドットの状態の良
否をチェックする。その状態が良好であれば、次のステ
ップへ進む。一方、不合格の状態であれば、位置等の調
整、ノズル等の清掃及びプリントヘッド等の交換を行
う。即ち、合格な状態になるまでは、上記ステップ（１
０３）からステップ（１０５）までを繰り返して行う。
プにおいて、前記基板（１７）に対するプリントヘッド
との相対位置や角度を正確に調整すると共に、前記参照
ノズルから射出されたインクドロップの状況の良否を確
認する。次にステップ（１０５）へ移る。ここで、プロ
セッシング・イメージ・データにより、前記基板（１
７）上にノズルから射出されたインクドットの状態の良
否をチェックする。その状態が良好であれば、次のステ
ップへ進む。一方、不合格の状態であれば、位置等の調
整、ノズル等の清掃及びプリントヘッド等の交換を行
う。即ち、合格な状態になるまでは、上記ステップ（１
０３）からステップ（１０５）までを繰り返して行う。
【００２１】図３（ａ）は、プリント・プロセスにおい
て、位置オフセットを校正するためのリアルタイム追跡
スキームを示すものである。同図には、ブラックマトリ
クスを有する格子窓構造（３２）と、赤、緑と青の三色
を有するカラー部（３３）を示す。これらの基本要素の
組み合わせによって、カラーフィルタを形成する。一
方、前記カラーフィルタに対して、前記基板（１７）が
相対移動されると、インクジェットヘッドは前記フィル
タの基本要素をプリントする。その際、基板（１７）
は、第二光学モジュール（１０）に対して、右側から左
側へ移動されると共に、第二光学モジュール（１０）
は、スキャン・データ・アレー（Ｔ１１〜Ｔ１４）を順
次捕捉する。ここで、ブラックマトリクスを有する格子
窓構造、又はフレーム（３２）と、カラー部（３３）か
ら得られる感知信号が異なるため、第二光学モジュール
（１０）のリニア電荷結合デバイス（linear CCD）によ
って判明することができる。
て、位置オフセットを校正するためのリアルタイム追跡
スキームを示すものである。同図には、ブラックマトリ
クスを有する格子窓構造（３２）と、赤、緑と青の三色
を有するカラー部（３３）を示す。これらの基本要素の
組み合わせによって、カラーフィルタを形成する。一
方、前記カラーフィルタに対して、前記基板（１７）が
相対移動されると、インクジェットヘッドは前記フィル
タの基本要素をプリントする。その際、基板（１７）
は、第二光学モジュール（１０）に対して、右側から左
側へ移動されると共に、第二光学モジュール（１０）
は、スキャン・データ・アレー（Ｔ１１〜Ｔ１４）を順
次捕捉する。ここで、ブラックマトリクスを有する格子
窓構造、又はフレーム（３２）と、カラー部（３３）か
ら得られる感知信号が異なるため、第二光学モジュール
（１０）のリニア電荷結合デバイス（linear CCD）によ
って判明することができる。
【００２２】第二光学モジュール（１０）は、カラーフ
ィルタ基板（１７）下における光源から照出され、且つ
前記基板（１７）を透過される光を受光してその強度を
測定することができる。第一、二光学モジュールの光源
としては、点光源又は背光源を使用してよい。具体的
に、第二光学モジュールでは、受光されたアナログ信号
をデジタル信号へ変換され、例えば、光の強度が閾値よ
り大きい場合、デジタル信号が１とし（カラー部（３
３）と対応）、閾値より小さい場合、デジタル信号が０
とセットする（格子構造又はフレーム（３２）と対
応）。なお、光源から照出される光がカラーフィルタ基
板（１７）を透過する場合は、その光が前記格子構造
（３２）を通過できないが、前記カラー部（３３）を通
過できる。
ィルタ基板（１７）下における光源から照出され、且つ
前記基板（１７）を透過される光を受光してその強度を
測定することができる。第一、二光学モジュールの光源
としては、点光源又は背光源を使用してよい。具体的
に、第二光学モジュールでは、受光されたアナログ信号
をデジタル信号へ変換され、例えば、光の強度が閾値よ
り大きい場合、デジタル信号が１とし（カラー部（３
３）と対応）、閾値より小さい場合、デジタル信号が０
とセットする（格子構造又はフレーム（３２）と対
応）。なお、光源から照出される光がカラーフィルタ基
板（１７）を透過する場合は、その光が前記格子構造
（３２）を通過できないが、前記カラー部（３３）を通
過できる。
【００２３】一方、第二光学モジュール（１０）によっ
て、異なる時間で捕捉される信号はＴ１１、Ｔ１２、Ｔ
１３、とＴ１４の順となる。また、格子構造（３２）が
固定なものであるため、予め所定の臨界値を設定するこ
とにより、カラー部（３３）と格子構造（３２）の所在
を識別することができる。例えば、感知追跡中の信号０
が前記臨界値の６０％より大きくなると、格子構造（３
２）のフレーム又は辺縁（Ｔ１１）を認定することがで
きる。また、図３（ａ）に示すようなフレーム（Ｔ１
１）とフレーム（１３）との間のエリアは、前記信号０
が前記臨界値より大きくなれば、カラー部（３３）と認
定される。更に、他の感知信号Ｔ１２、Ｔ１３を用い
て、前記格子構造（３２）の偏移角度を決定する。な
お、前記格子構造は、二次元ブラックマトリクスとす
る。
て、異なる時間で捕捉される信号はＴ１１、Ｔ１２、Ｔ
１３、とＴ１４の順となる。また、格子構造（３２）が
固定なものであるため、予め所定の臨界値を設定するこ
とにより、カラー部（３３）と格子構造（３２）の所在
を識別することができる。例えば、感知追跡中の信号０
が前記臨界値の６０％より大きくなると、格子構造（３
２）のフレーム又は辺縁（Ｔ１１）を認定することがで
きる。また、図３（ａ）に示すようなフレーム（Ｔ１
１）とフレーム（１３）との間のエリアは、前記信号０
が前記臨界値より大きくなれば、カラー部（３３）と認
定される。更に、他の感知信号Ｔ１２、Ｔ１３を用い
て、前記格子構造（３２）の偏移角度を決定する。な
お、前記格子構造は、二次元ブラックマトリクスとす
る。
【００２４】図３（ｂ）に示すように、第二光学モジュ
ール（１０）により感知された信号は、ブラックエリア
が０となる。即ち、通過される光の強度は閾値又は臨界
値より弱いことが分かる。一方、Ｔ１２とＴ１３におけ
る信号が０となる位置を判定することによって、前記格
子構造（３２）の傾斜角（δ）を知ることができる（図
４を参照）。ここで、リニアＣＣＤの光度は１μｍ/ピ
クセル、Ｔ１２とＴ１３間の時間差はΔｔ、前記基板
（１７）の移動速度はＶｍｍ/ｓとする場合、前記傾斜
角δは、式のsin-1（オフセットカウント×（１μｍ/ピ
クセル）/（Δｔ×Ｖｍｍ/ｓ））により算定することが
できる。なお、前記オフセットカウントは、Ｔ１２から
Ｔ１３へシフトによる微小値である。また、前述した校
正の際、制御システムによって、前記基板（１７）をＹ
方向に移動させると共に、各カラー部の中心を射出ノズ
ルと合わせて位置決めの校正を行う。
ール（１０）により感知された信号は、ブラックエリア
が０となる。即ち、通過される光の強度は閾値又は臨界
値より弱いことが分かる。一方、Ｔ１２とＴ１３におけ
る信号が０となる位置を判定することによって、前記格
子構造（３２）の傾斜角（δ）を知ることができる（図
４を参照）。ここで、リニアＣＣＤの光度は１μｍ/ピ
クセル、Ｔ１２とＴ１３間の時間差はΔｔ、前記基板
（１７）の移動速度はＶｍｍ/ｓとする場合、前記傾斜
角δは、式のsin-1（オフセットカウント×（１μｍ/ピ
クセル）/（Δｔ×Ｖｍｍ/ｓ））により算定することが
できる。なお、前記オフセットカウントは、Ｔ１２から
Ｔ１３へシフトによる微小値である。また、前述した校
正の際、制御システムによって、前記基板（１７）をＹ
方向に移動させると共に、各カラー部の中心を射出ノズ
ルと合わせて位置決めの校正を行う。
【００２５】上記校正とテスト・プリントを終了後、ジ
ェットプリントのステップ（１０６）を行う（図２を参
照）。本ステップにおいて、ノズルによって、事前に決
定されたフィルム要素（カラー部（３３））の所定位置
に、又は格子構造（３２）内にインクドロップを射出さ
せる。その後、エアジェットモジュール（１２）によっ
て、空気を吹き込み、インクドロップ分布の均等化と乾
燥のステップ（１０７）を行う。
ェットプリントのステップ（１０６）を行う（図２を参
照）。本ステップにおいて、ノズルによって、事前に決
定されたフィルム要素（カラー部（３３））の所定位置
に、又は格子構造（３２）内にインクドロップを射出さ
せる。その後、エアジェットモジュール（１２）によっ
て、空気を吹き込み、インクドロップ分布の均等化と乾
燥のステップ（１０７）を行う。
【００２６】図６に示すように、インクドロップ（５
６）が先ず基板（１７）上にジェットプリントされる。
その後、ノズル（５４）によって、前記インクドロップ
（５６）に空気を吹き込むと共に、その均等化を図る。
図７には、上記の吹き込まれた空気の圧力分布を示す。
基板の表面に作用する垂直力（Ｆ）は、式Ｆ＝ρＵ２Ｂ
により表わすことができる。ここで、ρは空気の密度、
Ｕは空気の速度、Ｂはジェット出口の面積である。そし
て、適切な空気の圧力が前記式と圧力制御弁（５３）に
よって得られる。同時に、エアジェットモジュール（１
２）に加熱部を付加することで、加熱されたホットエア
をインクドロップ（５６）を吹き込み、その分布の均等
化と乾燥を同時に実現することができる。
６）が先ず基板（１７）上にジェットプリントされる。
その後、ノズル（５４）によって、前記インクドロップ
（５６）に空気を吹き込むと共に、その均等化を図る。
図７には、上記の吹き込まれた空気の圧力分布を示す。
基板の表面に作用する垂直力（Ｆ）は、式Ｆ＝ρＵ２Ｂ
により表わすことができる。ここで、ρは空気の密度、
Ｕは空気の速度、Ｂはジェット出口の面積である。そし
て、適切な空気の圧力が前記式と圧力制御弁（５３）に
よって得られる。同時に、エアジェットモジュール（１
２）に加熱部を付加することで、加熱されたホットエア
をインクドロップ（５６）を吹き込み、その分布の均等
化と乾燥を同時に実現することができる。
【００２７】所定のインクドロップを全部射出した後、
最後に仕上げの色彩を確認するステップ（１０８）を行
う。
最後に仕上げの色彩を確認するステップ（１０８）を行
う。
【００２８】その他、ステップ（１０１）〜ステップ
（１０６）を行いながら、第二光学モジュール（１０）
を用いて、リアルタイム校正を実施する。特に、ステッ
プ（１０６）において、より精密に位置決めを行う必要
がある。また、エアジェットモジュール（１２）とプリ
ントヘッドモジュール（１１）とは、一体に統合して構
成することができる。
（１０６）を行いながら、第二光学モジュール（１０）
を用いて、リアルタイム校正を実施する。特に、ステッ
プ（１０６）において、より精密に位置決めを行う必要
がある。また、エアジェットモジュール（１２）とプリ
ントヘッドモジュール（１１）とは、一体に統合して構
成することができる。
【００２９】図８（ａ）と（ｂ）に示すように、プリン
トヘッド、又はインクジェットヘッド（６１）には、イ
ンクジェットノズル（６２）とエアジェットノズル（６
３）が夫々設けられる。そして、インクジェットノズル
（６２）によって、インクドロップを射出した後に、エ
アジェットノズル（６３）を用いて、インクドロップの
均等化を行う。なお、エアジェットノズル（６３）は効
果が同一であれば、円形、又はスリット状でも良い。
トヘッド、又はインクジェットヘッド（６１）には、イ
ンクジェットノズル（６２）とエアジェットノズル（６
３）が夫々設けられる。そして、インクジェットノズル
（６２）によって、インクドロップを射出した後に、エ
アジェットノズル（６３）を用いて、インクドロップの
均等化を行う。なお、エアジェットノズル（６３）は効
果が同一であれば、円形、又はスリット状でも良い。
【００３０】
【発明の効果】本発明は以上説明したようになるから、
次のような効果を得ることができる。 ＜イ＞従来の吸収層を設置する必要がないため、製造コ
ストの低減と製造プロセスの簡素化を図ることができ
る。また、エアジェットを併用することによって、イン
クドロップの均等分布が得られる。 ＜ロ＞本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、光源が
基板の下方に設けられ、その光が基板を透過できるた
め、従来の技術と比較して、光の反射に伴う測定誤差が
生じない。 ＜ハ＞また本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、位
置同定がリアルタイムに行えるため、ジェットプリント
に必要な高精密度を確保することができる。 ＜ニ＞また本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、ブ
ラックマトリクスとカラー部の識別がデジタル信号によ
って識別されるため、従来のアナログ技術と比較して、
光の回折によるエラーシフトの現象を回避することがで
きる。 ＜ホ＞光学感知システムとプリントヘッドモジュールと
を独立に設けられるため、インクジェットヘッドの清掃
が容易となる。 ＜ヘ＞エアジェットモジュールに加熱部を付設されるこ
とにより、ホットエアの吹き込みが可能となるため、イ
ンクドロップ分布の均等化を実現すると共に、その乾燥
をより迅速に行うことができる。
次のような効果を得ることができる。 ＜イ＞従来の吸収層を設置する必要がないため、製造コ
ストの低減と製造プロセスの簡素化を図ることができ
る。また、エアジェットを併用することによって、イン
クドロップの均等分布が得られる。 ＜ロ＞本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、光源が
基板の下方に設けられ、その光が基板を透過できるた
め、従来の技術と比較して、光の反射に伴う測定誤差が
生じない。 ＜ハ＞また本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、位
置同定がリアルタイムに行えるため、ジェットプリント
に必要な高精密度を確保することができる。 ＜ニ＞また本発明の光学感知（ＣＣＤ）システムは、ブ
ラックマトリクスとカラー部の識別がデジタル信号によ
って識別されるため、従来のアナログ技術と比較して、
光の回折によるエラーシフトの現象を回避することがで
きる。 ＜ホ＞光学感知システムとプリントヘッドモジュールと
を独立に設けられるため、インクジェットヘッドの清掃
が容易となる。 ＜ヘ＞エアジェットモジュールに加熱部を付設されるこ
とにより、ホットエアの吹き込みが可能となるため、イ
ンクドロップ分布の均等化を実現すると共に、その乾燥
をより迅速に行うことができる。
【図１】本発明に係るカラーフィルタの製造用インクジ
ェットプリント装置の概略斜視図である。
ェットプリント装置の概略斜視図である。
【図２】本発明に係るカラーフィルタの製造用インクジ
ェットプリント方法のフローチャートである。
ェットプリント方法のフローチャートである。
【図３】（ａ）〜（ｂ）本発明における格子構造の位置
を第二光学感知システムによって感知する第一実施形態
を示す説明図である。
を第二光学感知システムによって感知する第一実施形態
を示す説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｂ）本発明における格子構造の位置
を第二光学感知システムによって感知する第二実施形態
を示す説明図である。
を第二光学感知システムによって感知する第二実施形態
を示す説明図である。
【図５】本発明のエアジェットモジュールの構成を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）本発明の基板上におけるインク
ドロップの形成及びその均等化を示す説明図である。
ドロップの形成及びその均等化を示す説明図である。
【図７】本発明における射出中の空気流の分布状態を示
す概念図である。
す概念図である。
【図８】（ａ）〜（ｂ）本発明のエアジェットノズルの
実施形態を示す説明図である。
実施形態を示す説明図である。
１０ 第二光学モジュール
１１ プリントヘッドモジュール
１２ エアジェットモジュール
１３ 第一光学モジュール
１４ 支持フレーム
１５ 駆動モーター
１６ 運動テーブル
１７ カラーフィルタ基板
Ｔ１１〜Ｔ１４ 感知信号
３２ 格子構造又はそれを有するフレーム
３３ カラー部
５１ エア供給器
５２ エアフィルタ
５３ 圧力制御弁
５４ エアノズル
５６ インクドロップ
６１ プリント又はインクジェットヘッド
６２ （インクジェット）ノズル
６３ （エアジェット）ノズル
フロントページの続き
(72)発明者 胡紀平
台湾新竹市長春街158巷１弄４号４樓
Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FB01
2H048 BA02 BA11 BA64 BB02 BB42
BB46
2H091 FC05 FC12 FC29 LA12 LA15
Claims (11)
- 【請求項１】プリントヘッドモジュール（１１）と、運
動テーブル（１６）と、エアジェットモジュール（１
２）と、光学感知システムと制御システムを備えるカラ
ーフィルタの製造用インクジェットプリント装置であっ
て、 プリントヘッドモジュール（１１）はカラーフィルタ基
板（１７）にインクドロップをスプレーするために、少
なくとも一つのノズルを有ると共に、各色のインクを独
自に射出するプリントヘッドを有し、 運動テーブル（１６）はカラーフィルタ基板（１７）を
支持すると共に、プリントヘッドモジュール（１１）に
対して移動可能に設置され、 エアジェットモジュール（１２）はプリントヘッドモジ
ュール（１１）の一側に設けられる一方、カラーフィル
タ基板（１７）上にスプレーされたインクドロップにエ
アを吹き込むことによって、その均等化を図り、 光学感知システムはカラーフィルタ基板（１７）とノズ
ルの相対位置を感知するために設けられ、 制御システムはプリントヘッドモジュール（１１）と、
運動テーブル（１６）と、エアジェットモジュール（１
２）及び光学感知システムを制御するために設けられる
ことを特徴とする、 カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置。 - 【請求項２】エアジェットモジュール（１２）とプリン
トヘッドモジュール（１１）とを統合して構成したこと
を特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタの製造
用インクジェットプリント装置。 - 【請求項３】エアジェットモジュール（１２）には、空
気を加熱すると共に、そのホットエアでインクドロップ
を乾燥させるための加熱部が形成されることを特徴とす
る、 請求項１に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント装置。 - 【請求項４】エアジェットモジュール（１２）には、円
形のノズルが形成されることを特徴とする、請求項１に
記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプリント
装置。 - 【請求項５】エアジェットモジュール（１２）には、ス
リット状のノズルが形成されることを特徴とする、請求
項１に記載のカラーフィルタの製造用インクジェットプ
リント装置。 - 【請求項６】光学感知システムは、カラーフィルタ基板
の位置を感知するための第一光学モジュール（１３）
と、インクドロップとカラーフィルタ基板との相対位置
をリアルタイムに感知するための第二光学モジュール
（１０）とを有すると共に、この相対位置をカラーフィ
ルタ基板の下方における光源から照射される光の強度を
測定して行うことを特徴とする、 請求項１に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント装置。 - 【請求項７】第二光学モジュール（１０）は、インクド
ロップとカラーフィルタ基板上のカラー部の中心との相
対位置を感知し、前記カラー部は、カラーフィルタ基板
上の格子構造を有するフレームであると共に、前記格子
構造はブラックマトリクスによって形成されることを特
徴とする、 請求項６に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント装置。 - 【請求項８】（ａ）カラーフィルタ基板（１７）と一つ
のノズル（６２）を設置するステップと、 （ｂ）インクドロップとカラーフィルタ基板（１７）上
のカラー部の中心との相対位置をリアルタイムに追跡す
るステップと、 （ｃ）カラーフィルタ基板上のカラー部にインクドロッ
プを射出するステップと、 （ｄ）インクドロップにエアを吹き込んでその均等化を
行うステップと、からなることを特徴とする、 カラーフィルタの製造用インクジェットプリント方法。 - 【請求項９】カラー部を、カラーフィルタ基板上の格子
構造を有するフレームとすると共に、格子構造をブラッ
クマトリクスによって形成することを特徴とする、 請求項８に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント方法。 - 【請求項１０】前記ステップ（ｂ）は、カラーフィルタ
基板の下方における光源から照射される光の強度を測定
して行うことを特徴とする、 請求項８に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント方法。 - 【請求項１１】前記ステップ（ｄ）には、更にインクド
ロップを乾燥させるステップを付加することを特徴とす
る、 請求項８に記載のカラーフィルタの製造用インクジェッ
トプリント方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW090119416 | 2001-08-08 | ||
| TW090119416A TW512242B (en) | 2001-08-08 | 2001-08-08 | Manufacturing process and apparatus for ink injecting method of color filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003057432A true JP2003057432A (ja) | 2003-02-26 |
Family
ID=21679004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001322718A Pending JP2003057432A (ja) | 2001-08-08 | 2001-10-19 | カラーフィルタの製造用インクジェットプリント装置及びその方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030030715A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003057432A (ja) |
| TW (1) | TW512242B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100811330B1 (ko) | 2006-02-17 | 2008-03-07 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 컬러 필터층 제조방법 및 이 컬러 필터층 제조에 사용되는컬러 필터층 제조장치 |
| US9799712B2 (en) | 2016-01-15 | 2017-10-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing light-emitting display device with reduced pressure drying |
Families Citing this family (44)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7011529B2 (en) * | 2004-03-01 | 2006-03-14 | Anritsu Company | Hermetic glass bead assembly having high frequency compensation |
| CN1938878B (zh) * | 2004-04-05 | 2010-05-12 | 统宝光电股份有限公司 | 给基底提供印刷的图案的方法 |
| US20050253917A1 (en) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | Quanyuan Shang | Method for forming color filters in flat panel displays by inkjetting |
| US20050255253A1 (en) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | White John M | Apparatus and methods for curing ink on a substrate using an electron beam |
| JP4059231B2 (ja) * | 2004-07-07 | 2008-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタとその製造方法及び電気光学装置並びに電子機器 |
| US20070042113A1 (en) * | 2004-11-04 | 2007-02-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays using pattern data |
| US20060093751A1 (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-04 | Applied Materials, Inc. | System and methods for inkjet printing for flat panel displays |
| US20060092218A1 (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-04 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for inkjet printing |
| US20060109296A1 (en) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Bassam Shamoun | Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays |
| US7556334B2 (en) * | 2004-11-04 | 2009-07-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for aligning print heads |
| US7413272B2 (en) * | 2004-11-04 | 2008-08-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for precision control of print head assemblies |
| US20060159843A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-20 | Applied Materials, Inc. | Method of substrate treatment for manufacturing of color filters by inkjet printing systems |
| US20060185587A1 (en) * | 2005-02-18 | 2006-08-24 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for reducing ink conglomerates during inkjet printing for flat panel display manufacturing |
| US7837310B2 (en) * | 2005-07-13 | 2010-11-23 | Dimatix, Inc. | Fluid deposition device |
| US20070015847A1 (en) * | 2005-07-15 | 2007-01-18 | Applied Materials, Inc. | Red printing ink for color filter applications |
| US7544723B2 (en) * | 2005-07-15 | 2009-06-09 | Applied Materials, Inc. | Blue printing ink for color filter applications |
| KR20070014986A (ko) * | 2005-07-28 | 2007-02-01 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 동시적인 잉크젯 프린팅 및 결함 검사를 위한 방법 및 장치 |
| US20070070132A1 (en) * | 2005-09-27 | 2007-03-29 | Fan-Cheung Sze | Inkjet delivery module |
| TW200728100A (en) * | 2005-09-29 | 2007-08-01 | Applied Materials Inc | Methods and apparatus for adjusting pixel fill profiles |
| US20070070109A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-03-29 | White John M | Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning |
| US20070076040A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration |
| US7611217B2 (en) * | 2005-09-29 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems for inkjet drop positioning |
| US20080018677A1 (en) * | 2005-09-29 | 2008-01-24 | White John M | Methods and apparatus for inkjet print head cleaning using an inflatable bladder |
| US20070068560A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-03-29 | Quanyuan Shang | Methods and apparatus for inkjet print head cleaning |
| US20070184363A1 (en) * | 2006-02-04 | 2007-08-09 | Kim Sung-Woong | Method of manufacturing a black matrix of color filter |
| JP2007298950A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-11-15 | Applied Materials Inc | カラーフィルタのムラ不整を低減するための方法及び装置 |
| US20070263026A1 (en) * | 2006-04-29 | 2007-11-15 | Quanyuan Shang | Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures |
| US20070256709A1 (en) * | 2006-04-29 | 2007-11-08 | Quanyuan Shang | Methods and apparatus for operating an inkjet printing system |
| US20070252863A1 (en) * | 2006-04-29 | 2007-11-01 | Lizhong Sun | Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures with spray mechanisms |
| GB2438233B (en) | 2006-05-15 | 2011-08-24 | Cametrics Ltd | Ink jet printing systems |
| US7992956B2 (en) * | 2006-06-07 | 2011-08-09 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for calibrating inkjet print head nozzles using light transmittance measured through deposited ink |
| US20080024548A1 (en) * | 2006-07-26 | 2008-01-31 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for purging a substrate during inkjet printing |
| US20080024532A1 (en) * | 2006-07-26 | 2008-01-31 | Si-Kyoung Kim | Methods and apparatus for inkjet printing system maintenance |
| WO2008013902A2 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for improved manufacturing of color filters |
| US20080204501A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-08-28 | Shinichi Kurita | Inkjet print head pressure regulator |
| US7857413B2 (en) | 2007-03-01 | 2010-12-28 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for controlling and testing jetting stability in inkjet print heads |
| US7637587B2 (en) * | 2007-08-29 | 2009-12-29 | Applied Materials, Inc. | System and method for reliability testing and troubleshooting inkjet printers |
| WO2009076249A2 (en) * | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for measuring deposited ink in pixel wells on a substrate using a line scan camera |
| US20090185186A1 (en) * | 2007-12-06 | 2009-07-23 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for improving measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate |
| EP2257435B1 (en) * | 2008-03-01 | 2014-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Flexible circuit for fluid-jet precision-dispensing device cartridge assembly |
| US20090251504A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for wet in-situ calibration using measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate |
| TWI347863B (en) | 2008-08-21 | 2011-09-01 | Univ Nat Taiwan | Capillary tube coating device and method |
| TWI484301B (zh) * | 2012-10-26 | 2015-05-11 | Nat Univ Tsing Hua | 形成連續性三維結構的噴墨方法 |
| EP2768023B1 (en) * | 2013-02-19 | 2019-10-09 | ams AG | Method of producing a radiation sensor semiconductor device comprising a multiple colour filter |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08220335A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-30 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及びカラーフイルター |
| JPH09277571A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-28 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
| JPH1027543A (ja) * | 1996-05-09 | 1998-01-27 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および形成方法 |
| JPH1164626A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-05 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 |
| JP2000028820A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造用インク及びカラーフィルター |
| JP2001015023A (ja) * | 1996-05-09 | 2001-01-19 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布方法および蛍光体層形成システム |
| JP2001330720A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Canon Inc | ヘッドユニット、該ヘッドユニットを備えたカラーフィルタの製造装置、その製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び該表示装置を具備した装置の製造方法 |
| JP2002082216A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置及び該装置のノズル位置調整方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2952143B2 (ja) * | 1993-12-21 | 1999-09-20 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| FR2716010B1 (fr) * | 1994-02-04 | 1996-04-19 | Toxot Science & Appl | Dispositif et procédés de fabrication et de réparation de filtres colorés. |
| JP3376169B2 (ja) * | 1994-06-17 | 2003-02-10 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ |
| JP2001228320A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-24 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及び製造装置 |
| US6281912B1 (en) * | 2000-05-23 | 2001-08-28 | Silverbrook Research Pty Ltd | Air supply arrangement for a printer |
-
2001
- 2001-08-08 TW TW090119416A patent/TW512242B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-10-11 US US09/973,705 patent/US20030030715A1/en not_active Abandoned
- 2001-10-19 JP JP2001322718A patent/JP2003057432A/ja active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08220335A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-30 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及びカラーフイルター |
| JPH09277571A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-28 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
| JPH1027543A (ja) * | 1996-05-09 | 1998-01-27 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および形成方法 |
| JP2001015023A (ja) * | 1996-05-09 | 2001-01-19 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布方法および蛍光体層形成システム |
| JP2001015022A (ja) * | 1996-05-09 | 2001-01-19 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置および蛍光体塗布方法並びに基板構体の製造方法 |
| JPH1164626A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-05 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 |
| JP2000028820A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造用インク及びカラーフィルター |
| JP2001330720A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Canon Inc | ヘッドユニット、該ヘッドユニットを備えたカラーフィルタの製造装置、その製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び該表示装置を具備した装置の製造方法 |
| JP2002082216A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-03-22 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置及び該装置のノズル位置調整方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100811330B1 (ko) | 2006-02-17 | 2008-03-07 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 컬러 필터층 제조방법 및 이 컬러 필터층 제조에 사용되는컬러 필터층 제조장치 |
| US9799712B2 (en) | 2016-01-15 | 2017-10-24 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing light-emitting display device with reduced pressure drying |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW512242B (en) | 2002-12-01 |
| US20030030715A1 (en) | 2003-02-13 |
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