JP2003057301A - Inspection device, method of inspecting circuit board, computer program, and computer-readable recording medium - Google Patents

Inspection device, method of inspecting circuit board, computer program, and computer-readable recording medium

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JP2003057301A
JP2003057301A JP2001242489A JP2001242489A JP2003057301A JP 2003057301 A JP2003057301 A JP 2003057301A JP 2001242489 A JP2001242489 A JP 2001242489A JP 2001242489 A JP2001242489 A JP 2001242489A JP 2003057301 A JP2003057301 A JP 2003057301A
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JP
Japan
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inspection
circuit
procedure
integrated circuit
inspecting
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JP2001242489A
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Japanese (ja)
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Hideji Yamaoka
秀嗣 山岡
Seigo Ishioka
聖悟 石岡
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OHT Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a circuit inspection device and a circuit inspection method capable of inspecting easily and contactlessly the quality of the whole board including a wiring pattern of a board mounted with an integrated circuit. SOLUTION: This inspection device transmits a control procedure for an IC 100, makes an 8PIN connected to a D/A circuit 37 and an A/D circuit 38, and connects a 15PIN to grounding level signal lines of the D/A circuit 37 and the A/D circuit 38. Then, a 1PIN and a 2PIN of the IC 100 are connected foldedly in a control procedure for an IC 200. The A/D circuit of the IC 100 is connected thereafter to a constant current circuit (an ID code + an external device ID code + a closingly contacting SW number) to supply an inspection signal, the 15PIN of the IC 100 is connected to an in-measuring-circuit GND (the ID code + the external device ID code + the closingly contacting SW number), the constant current circuit of the IC 100 is turned on (the ID code + the external device ID code + a D/A operation mode + a D/A output mode), and A/D measurement is indicated to an IC 1 (the ID code + the external device ID code + an A/D operation mode + an A/D measurement executing command) to detect the signal for inspection from wiring for connection inspection.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の搭載さ
れた基板の状態を検査することが可能な検査装置、基板
の検査方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection device capable of inspecting the state of a substrate on which an integrated circuit is mounted and a substrate inspection method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の基板検査装置は、基板を検査装置
に装着して通電し、基板端子の信号変化を検出して正常
動作しているか否かを検査していた。あるいは、基板に
実装された集積回路端子に測定ピンを接触させて集積回
路の入出力信号の状態を検出して動作の良否を検査して
いた。
2. Description of the Related Art A conventional board inspection apparatus mounts a board on an inspection apparatus and energizes it to detect a signal change at a board terminal to inspect whether or not the board is operating normally. Alternatively, the measuring pins are brought into contact with the integrated circuit terminals mounted on the board to detect the state of the input / output signals of the integrated circuit to inspect the quality of the operation.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板に
電気を供給して基板の入出力端子に動作信号を供給して
動作状態を検査しなければならず、大がかりとなること
が防げなかった。また、基板の入出力単位と電気的に接
続状態とする必要があり、検査システムを個別に作らな
ければならず、汎用性もなかった。
However, it is necessary to supply electricity to the substrate and supply operation signals to the input / output terminals of the substrate to inspect the operating state, which cannot be prevented from becoming a large scale. Further, it is necessary to establish an electrically connected state with the input / output unit of the board, and the inspection system has to be individually manufactured, which is not versatile.

【0004】また、基板全体としての動作の良否は検査
できるが、不良箇所の検出はほとんど不可能であり、具
体的な不良箇所を検出しようとした場合には、基板上の
配線パターン部や集積回路端子や実装部品端子に検査プ
ローブを接触させなければならず、基板の製造工場で専
用の検査装置を備えなければ検査が困難であった。
Although it is possible to inspect whether the operation of the entire board is good or bad, it is almost impossible to detect a defective portion. Therefore, when a specific defective portion is to be detected, a wiring pattern portion or an integrated circuit on the substrate can be detected. The inspection probe has to be brought into contact with the circuit terminal and the mounted component terminal, and the inspection has been difficult unless a dedicated inspection device is provided at the board manufacturing factory.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は上述した課題を
解決することを目的としてなされたもので、上述した課
題を解決し、例えば非接触で検査でき、製造元のみなら
ず、基板納入先であっても、容易に良否検査が可能で、
且つ検査結果を容易に取り出せる検査装置、基板の検査
方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made for the purpose of solving the above-mentioned problems, and solves the above-mentioned problems. For example, non-contact inspection is possible, and not only the manufacturer but also the board delivery destination. Even if there is, it is possible to easily pass or fail,
Moreover, it is an object of the present invention to provide an inspection device and a substrate inspection method that can easily take out inspection results.

【0006】係る目的を達成する一手段として例えば以
下の構成を備える。
As one means for achieving the above object, for example, the following configuration is provided.

【0007】即ち、回路の状態を検査する回路検査部を
組み込んだ固有のID番号を有する集積回路が実装され
た回路基板を検査可能な検査装置であって、前記回路基
板に実装された集積回路の前記回路検査部に前記ID番
号で特定した検査制御手順を無線送出して集積回路毎に
個別の制御手順を実行させる制御手順送出手段と、前記
制御手順送出手段で送出した制御手順に従った検査結果
情報を前記集積回路の少なくとも1つより受領する検査
結果受領手段と、前記検査結果受領手段で受領した検査
結果より回路基板の状態を検査することを特徴とする。
[0007] That is, an inspection device capable of inspecting a circuit board on which an integrated circuit having a unique ID number, which incorporates a circuit inspection unit for inspecting the state of the circuit, is inspected, and the integrated circuit mounted on the circuit board. According to the control procedure transmitting means for wirelessly transmitting the inspection control procedure specified by the ID number to the circuit inspection section and executing the individual control procedure for each integrated circuit, and the control procedure transmitted by the control procedure transmitting means. It is characterized in that the state of the circuit board is inspected from the inspection result receiving means for receiving inspection result information from at least one of the integrated circuits and the inspection result received by the inspection result receiving means.

【0008】そして例えば、前記制御手順送出手段は、
少なくとも2つの集積回路間の回路基板パターンの良否
を検査するために一方の集積回路部の前記回路検査部を
制御して当該一方の集積回路内回路検査部で2つの回路
基板パターン間を接続状態とする制御手順を送出し、他
方の集積回路の前記回路検査部を制御して接続状態の回
路基板パターンに前記検査信号を出力させる制御手順を
送出し、前記検出信号の検出結果を無線送信させる制御
手順を送出することを特徴とする。
And, for example, the control procedure sending means is
In order to inspect the quality of the circuit board pattern between at least two integrated circuits, the circuit inspection section of one integrated circuit section is controlled so that the circuit inspection section in the one integrated circuit connects the two circuit board patterns. And sending the control procedure for controlling the circuit inspection unit of the other integrated circuit to output the inspection signal to the circuit board pattern in the connected state, and wirelessly transmitting the detection result of the detection signal. A feature is that the control procedure is transmitted.

【0009】また例えば、前記集積回路に電磁波を放射
して前記集積回路に駆動電力を非接触で供給する電力供
給手段を備えることを特徴とする。
Further, for example, it is characterized in that the integrated circuit is provided with a power supply means for radiating an electromagnetic wave to supply driving power to the integrated circuit in a non-contact manner.

【0010】また、検査手順に従って各種機能を実現す
る回路検査部を組み込んだ集積回路が実装され、前記集
積回路に動作電力及び動作制御手順情報を供給する検査
装置とで構成される検査システムにおいて、前記集積回
路の回路検査部は、集積回路に固有のID番号を保持す
る保持手段と、無線送信される前記保持手段で保持され
ているID番号で指定される回路の状態を検査するため
の検査手順を受信して記録する検査手順記録手段と、前
記受信検査手順に従って回路パターン間の接続/非接続
を制御可能なスイッチング手段と、回路の状態を検査す
るための検査信号を生成する信号生成手段と、前記信号
生成手段で生成した検査信号を前記受信検査手順に従っ
て回路パターンの所定部分に供給する供給手段と、前記
供給手段で供給した検査信号を前記回路パターンの供給
部位とは異なる他のパターン部分で検出して回路パター
ン間の状態を検査可能とする検出手段と、前記検出手段
による検出結果を無線送信する検出結果送信手段とを備
え、前記検査装置は、前記集積回路の実装状態を基に作
成した検査手順をID番号で実行させるべき集積回路と
特定して実行順に送信する検査手順送信手段と、前記検
査手順送信手段で送信した検査手順に従った検査結果を
受信する検査結果受信手段とを備え、前記検査手順送信
手段は、少なくとも2つの集積回路間の回路基板パター
ンの良否を検査するために一方の集積回路部の前記回路
検査部に当該一方の集積回路内回路検査部で2つの回路
基板パターン間を接続状態とする検査手順を送出し、他
方の集積回路の前記回路検査部に接続状態の回路基板パ
ターンに前記検査信号を出力させる検査手順を送出し、
前記他方の集積回路の回路検査部に前記検出信号の検出
結果を無線送信させる検査手順を送信することを特徴と
する。
Further, in an inspection system including an inspection device in which an integrated circuit incorporating a circuit inspection unit for realizing various functions according to the inspection procedure is mounted and which supplies operation power and operation control procedure information to the integrated circuit, The circuit inspection unit of the integrated circuit is an inspection device for inspecting a state of a holding unit that holds an ID number unique to the integrated circuit and a circuit designated by the ID number that is held by the holding unit that is wirelessly transmitted. Inspection procedure recording means for receiving and recording a procedure, switching means capable of controlling connection / disconnection between circuit patterns according to the reception inspection procedure, and signal generating means for generating an inspection signal for inspecting the state of the circuit Supplying means for supplying the inspection signal generated by the signal generating means to a predetermined portion of the circuit pattern according to the reception inspection procedure, and supplying by the supplying means. A detection means for detecting the inspection signal at another pattern portion different from the supply portion of the circuit pattern to inspect the state between the circuit patterns; and a detection result transmission means for wirelessly transmitting the detection result by the detection means. The inspection apparatus includes an inspection procedure transmitting unit that transmits an inspection procedure created based on a mounting state of the integrated circuit to an integrated circuit to be executed by an ID number and transmits the inspection sequence in an execution order, and an inspection procedure transmitting unit. An inspection result receiving means for receiving an inspection result according to the inspection procedure described above, wherein the inspection procedure transmitting means is arranged to detect the quality of a circuit board pattern between at least two integrated circuits. The circuit inspecting section sends out an inspection procedure in which the circuit inspecting section in one of the integrated circuits establishes a connection state between the two circuit board patterns, and connects to the circuit inspecting section of the other integrated circuit. Wherein sending an inspection procedure for outputting an inspection signal to the circuit board pattern in,
An inspection procedure for wirelessly transmitting the detection result of the detection signal is transmitted to the circuit inspection unit of the other integrated circuit.

【0011】更にまた、回路の状態を検査する回路検査
部を組み込んだ固有のID番号を有する集積回路が実装
された回路基板の検査方法であって、前記回路基板に実
装された集積回路の前記回路検査部に前記ID番号で特
定した検査制御手順を無線送出して集積回路毎に個別の
制御手順を実行させ、前記制御手順に従った検査結果情
報を前記集積回路の少なくとも1つより受領し、受領し
た検査結果より回路基板の状態を検査することを特徴と
する。
Furthermore, there is provided a method for inspecting a circuit board on which an integrated circuit having a unique ID number, which incorporates a circuit inspecting section for inspecting a circuit state, is mounted. The inspection control procedure specified by the ID number is wirelessly transmitted to the circuit inspection section to execute an individual control procedure for each integrated circuit, and the inspection result information according to the control procedure is received from at least one of the integrated circuits. The circuit board is inspected based on the received inspection result.

【0012】そして例えば、前記制御手順の送出は、少
なくとも2つの集積回路間の回路基板パターンの良否を
検査するために一方の集積回路部の前記回路検査部を制
御して当該一方の集積回路内回路検査部で2つの回路基
板パターン間を接続状態とする制御手順を送出し、他方
の集積回路の前記回路検査部を制御して接続状態の回路
基板パターンに前記検査信号を出力させる制御手順を送
出し、前記検出信号の検出結果を無線送信させる制御手
順を送出することを特徴とする。
[0012] For example, the control procedure is transmitted by controlling the circuit inspecting section of one integrated circuit section to inspect whether the circuit board pattern between at least two integrated circuits is good or bad. The circuit inspection unit sends a control procedure for connecting two circuit board patterns to each other, and controls the circuit inspection unit of the other integrated circuit to output the inspection signal to the circuit board pattern in the connected state. A control procedure for transmitting the detection result of the detection signal by radio is transmitted.

【0013】また、検査手順に従って各種機能を実現す
る回路検査部を組み込んだ集積回路が実装され、前記集
積回路に動作電力及び動作制御手順情報を供給する検査
装置とで構成される検査システムへの格納コンピュータ
プログラムであって、前記集積回路の回路検査部は、回
路の状態を検査するための検査信号を生成する信号生成
手段を有し、保持されている集積回路に固有のID番号
で指定される回路の状態を検査するための検査手順を受
信して記録する検査手順記録プログラム列と、前記受信
検査手順に従って回路パターン間の接続/非接続を制御
するスイッチングプログラム列と、前記信号生成手段で
生成した検査信号を前記受信検査手順に従って回路パタ
ーンの所定部分への供給制御を行う供給プログラム列
と、前記供給プログラム列により供給される検査信号を
前記回路パターンの供給部位とは異なる他のパターン部
分で検出して回路パターン間の状態を検査させる検出プ
ログラム列と、前記検出プログラム列による検出結果を
無線送信する検出結果送信プログラム列とを備え、前記
検査装置は、前記集積回路の実装状態を基に作成した検
査手順をID番号で実行させるべき集積回路を特定して
実行順に送信する検査手順送信プログラム列と、前記検
査手順送信プログラム列で送信した検査手順に従った検
査結果を受信する検査結果受信プログラム列とを備え、
前記検査手順送信プログラム列は、少なくとも2つの集
積回路間の回路基板パターンの良否を検査するために一
方の集積回路部の前記回路検査部に当該一方の集積回路
内回路検査部で2つの回路基板パターン間を接続状態と
する検査手順を送出し、他方の集積回路の前記回路検査
部に接続状態の回路基板パターンに前記検査信号を出力
させる検査手順を送出し、前記他方の集積回路の回路検
査部に前記検出信号の検出結果を無線送信させる検査手
順を送信することを特徴とするコンピュータプログラム
を実行可能な検査システムとする。
An integrated circuit incorporating a circuit inspection unit for realizing various functions according to the inspection procedure is mounted, and an inspection system including an inspection device for supplying operation power and operation control procedure information to the integrated circuit is provided. A stored computer program, wherein the circuit inspection unit of the integrated circuit has signal generation means for generating an inspection signal for inspecting the state of the circuit, and is designated by an ID number unique to the held integrated circuit. An inspection procedure recording program sequence for receiving and recording an inspection procedure for inspecting the state of a circuit, a switching program sequence for controlling connection / disconnection between circuit patterns according to the reception inspection procedure, and the signal generation means. A supply program sequence for controlling the supply of the generated inspection signal to a predetermined portion of the circuit pattern according to the reception inspection procedure; A detection program sequence for detecting the inspection signal supplied by the memory sequence in another pattern portion different from the supply part of the circuit pattern and inspecting the state between the circuit patterns, and the detection result by the detection program sequence is wirelessly transmitted. A detection result transmission program sequence, wherein the inspection apparatus identifies an integrated circuit to execute an inspection procedure created based on the mounting state of the integrated circuit by an ID number, and transmits the inspection procedure transmission program sequence; An inspection result reception program sequence for receiving an inspection result according to the inspection procedure transmitted by the inspection procedure transmission program sequence,
The inspection procedure transmission program sequence includes two circuit boards in the circuit inspection unit of one integrated circuit unit for inspecting the quality of the circuit board pattern between at least two integrated circuits. An inspection procedure for sending a connection state between the patterns is sent, and an inspection procedure for outputting the inspection signal to the circuit board pattern in the connected state is sent to the circuit inspection unit of the other integrated circuit, and a circuit inspection of the other integrated circuit is performed. An inspection system capable of executing a computer program characterized by transmitting an inspection procedure for wirelessly transmitting the detection result of the detection signal to the unit.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る一発明の実施の形態例を詳細に説明する。本実施の形
態例においては、検査対象の集積回路を設計する際に、
予め集積回路の構成や回路規模などに応じた検査回路設
計を行い、設計した検査回路を集積回路中に組み込み、
集積回路の外部との入出力端である接続パッド部と検査
回路の外部端子とを電気的に接続した状態とする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the present embodiment, when designing an integrated circuit to be inspected,
The inspection circuit is designed beforehand according to the configuration and circuit scale of the integrated circuit, and the designed inspection circuit is incorporated into the integrated circuit.
The connection pad portion, which is the input / output terminal with the outside of the integrated circuit, and the external terminal of the inspection circuit are electrically connected.

【0015】(第1の実施の形態例)本実施の形態例の
検査回路が組み込まれた集積回路の構成例を図1を参照
して説明する。図1は本発明に係る一発明の実施の形態
例の検査回路を組み込んだ集積回路の構成を説明するた
めの図である。
(First Embodiment) A configuration example of an integrated circuit in which the inspection circuit of the present embodiment is incorporated will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of an integrated circuit incorporating an inspection circuit according to an embodiment of the present invention.

【0016】図1において、10が集積回路(IC)チ
ップ(ダイ)、11がICチップ10上に設けられた接
続パッド、15はIC回路用配線、20は集積回路(I
C回路)、30は検査回路、40は検査用配線である。
In FIG. 1, 10 is an integrated circuit (IC) chip (die), 11 is a connection pad provided on the IC chip 10, 15 is an IC circuit wiring, and 20 is an integrated circuit (I).
C circuit), 30 is an inspection circuit, and 40 is an inspection wiring.

【0017】なお、図1においては、あたかも検査回路
30がIC回路20とまったく別に構成されているかの
ように記載されているが、実際にはIC回路中にIC回
路の一部の領域を専有して検査回路パターンを他のIC
回路パターンとは別に形成している。但し、まったく別
のチップに搭載したものであってもよいことは勿論であ
る。
In FIG. 1, the inspection circuit 30 is shown as if it is constructed completely different from the IC circuit 20, but in reality, a part of the IC circuit is occupied in the IC circuit. And inspect circuit pattern to other IC
It is formed separately from the circuit pattern. However, it goes without saying that it may be mounted on a completely different chip.

【0018】そして、図1に示されているように、すべ
ての接続パッド11近傍においてIC回路用配線と検査
用配線とを接続している。
Then, as shown in FIG. 1, the IC circuit wiring and the inspection wiring are connected in the vicinity of all the connection pads 11.

【0019】本実施の形態例の検査回路の詳細構成を図
2に示す。図2は本実施の形態例の検査回路の詳細構成
及び検査装置の概略構成を示す図である。本実施の形態
例の検査回路30は、単独でIC回路などより動作電力
の供給を受けることなく検査を行うことが可能であり、
例えばIC回路を基板に実装後であっても、基板単独で
良否を検査可能である。
FIG. 2 shows the detailed structure of the inspection circuit of this embodiment. FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of the inspection circuit and a schematic configuration of the inspection device according to the present embodiment. The inspection circuit 30 of the present embodiment can perform an inspection independently without being supplied with operating power from an IC circuit or the like.
For example, even after the IC circuit is mounted on the board, the board alone can inspect the quality.

【0020】図2において、31は受電受信部であり、
電磁波を受信して検査回路駆動電力を生成して検査回路
30の各構成に供給する受電機能と、詳細を後述する検
査回路動作制御手順情報を受信する受信機能とを備えて
いる。
In FIG. 2, reference numeral 31 is a power reception unit.
It has a power receiving function of receiving an electromagnetic wave to generate inspection circuit driving power and supplying it to each component of the inspection circuit 30, and a receiving function of receiving inspection circuit operation control procedure information described in detail later.

【0021】受電受信部31は、このため電磁波を受信
する受信アンテナ部(例えば所定周波数の電磁波を選択
受信するコイルを含む共振回路を含む)を有している。
即ち、受電機能は、電磁誘導、静電結合などにより不図
示の検査装置の給電・送受信アンテナからの電磁波、例
えば所定周波数の高周波(マイクロ波、ミリ波、サブミ
リ波など)信号を受け取ってそのエネルギーを電力に変
換し検査回路の駆動電力として利用している。更に、受
信機能は、不図示の検査装置からの動作シーケンス指令
情報、検査回路固有のコード情報などを受信してデコー
ダ32に出力している。
For this reason, the power receiving / receiving section 31 has a receiving antenna section for receiving an electromagnetic wave (for example, including a resonance circuit including a coil for selectively receiving an electromagnetic wave of a predetermined frequency).
That is, the power receiving function receives an electromagnetic wave from a power supply / transmission / reception antenna of an inspection device (not shown) such as a high frequency (microwave, millimeter wave, submillimeter wave) signal of a predetermined frequency by electromagnetic induction, electrostatic coupling, etc. Is converted into electric power and used as driving power for the inspection circuit. Further, the receiving function receives the operation sequence command information from the inspection device (not shown), the code information unique to the inspection circuit, etc., and outputs it to the decoder 32.

【0022】32は受電受信部31で受信した検査回路
動作制御手順情報を受信してデコードし、制御ロジック
33に出力するデコーダであり、受電受信部31で受信
したコード情報が自回路に予め割り当てられた固有のコ
ードであった場合に、制御ロジック33を起動し、続い
て受信される制御手順情報をデコードして制御ロジック
に送る。
Reference numeral 32 denotes a decoder which receives and decodes the inspection circuit operation control procedure information received by the power receiving / receiving unit 31 and outputs it to the control logic 33. The code information received by the power receiving / receiving unit 31 is pre-allocated to its own circuit. If the received code is the unique code, the control logic 33 is activated, and subsequently received control procedure information is decoded and sent to the control logic.

【0023】33はデコーダ32よりの動作制御手順情
報を受け取って制御手順に従った制御を行うとともに、
受け取る制御手順が複雑で多くの制御を一括して行うよ
うな場合には制御手順格納部34に格納するとともに、
制御手順格納部34に格納された制御手順に従って検査
回路30の全体制御を司ることも可能である。
Reference numeral 33 receives the operation control procedure information from the decoder 32 and performs control according to the control procedure.
When the control procedure to be received is complicated and a large number of controls are collectively performed, the control procedure is stored in the control procedure storage unit 34.
It is also possible to control the entire control of the inspection circuit 30 according to the control procedure stored in the control procedure storage unit 34.

【0024】35は制御ロジック33よりの検査回路3
0での検査結果を受取り、エンコードして送信部39よ
り不図示の検査装置宛てに例えば検査回路の割り当てら
れた周波数のマイクロ波により送信させるエンコーダ、
36は制御ロジック33の制御に従って各検査用配線4
0の個々の配線毎に接続/非接続制御可能なアナログス
イッチ(アナログSW)である。
Reference numeral 35 is an inspection circuit 3 from the control logic 33.
An encoder that receives and encodes the inspection result of 0 and transmits from the transmission unit 39 to an inspection device (not shown), for example, by a microwave of a frequency assigned to the inspection circuit,
36 is each inspection wiring 4 under the control of the control logic 33.
It is an analog switch (analog SW) capable of controlling connection / disconnection for each individual wiring of 0.

【0025】37は制御ロジック33よりデジタル信号
として出力される検査用配線40への検査信号情報を対
応するアナログ信号に変換してアナログスイッチ36に
より閉接されている(接続状態にある)検査用配線に出
力するデジタル−アナログ変換器(D/A)である。
Reference numeral 37 is a test signal which is output from the control logic 33 as a digital signal to the test signal line 40 and is converted into a corresponding analog signal to be closed (connected) by the analog switch 36. It is a digital-analog converter (D / A) that outputs to wiring.

【0026】38は検査用配線40からアナログスイッ
チ36を介して受信される検査用信号に対応するアナロ
グ信号を制御ロジック33の制御に従って対応するデジ
タル信号に変換して制御ロジック33に出力するアナロ
グ−デジタル変換器(A/D)、39はエンコーダ35
から出力される検査結果情報などを無線信号として送信
する送信部である。
An analog signal 38 converts an analog signal corresponding to the inspection signal received from the inspection wiring 40 through the analog switch 36 into a corresponding digital signal under the control of the control logic 33 and outputs the digital signal to the control logic 33. Digital converter (A / D), 39 is encoder 35
It is a transmission unit that transmits inspection result information and the like output from the device as a wireless signal.

【0027】また、200は検査装置本体であり、検査
装置本体200には検査指示や検査結果などを表示可能
な表示部210、各種指示入力を行う操作部220、検
査回路に電磁波、例えば高周波(マイクロ波、ミリ波、
サブミリ波など)信号を出射し、無接触で検査回路動作
電力及び検査回路動作制御指示コマンドの送信を行い、
検査回路よりの検査結果情報を受信する給電・送受信ア
ンテナ230などを備えている。
Reference numeral 200 denotes an inspection apparatus main body. The inspection apparatus main body 200 has a display section 210 capable of displaying inspection instructions and inspection results, an operation section 220 for inputting various instructions, an electromagnetic wave such as a high frequency ( Microwave, millimeter wave,
(E.g. submillimeter wave) signal is emitted and inspection circuit operation power and inspection circuit operation control instruction command are transmitted without contact,
The power supply / transmission antenna 230 for receiving the inspection result information from the inspection circuit is provided.

【0028】以上の構成を備える検査回路30は、以下
の手順で集積回路に組み込まれる。まず、集積回路の設
計・製造を行うICメーカは、集積回路を設計する際
に、集積回路の設計を行った後に検査回路作成側に検査
回路組み込みの依頼(コード申請)を行う。
The inspection circuit 30 having the above configuration is incorporated in an integrated circuit by the following procedure. First, when designing and manufacturing an integrated circuit, an IC maker, who designs and manufactures the integrated circuit, requests the inspection circuit creator to install the inspection circuit (code application) after designing the integrated circuit.

【0029】この検査回路組み込みの依頼(コード申
請)を受けた検査回路作成側では、集積回路に組み込む
検査回路パターンを設計し、検査対象集積回路の出力端
子部分に接続したパターン及び当該検査回路に固有のI
Dコードを発行する。
Upon receipt of this request (code application) for incorporating the inspection circuit, the inspection circuit creating side designs an inspection circuit pattern to be incorporated in the integrated circuit, and the pattern connected to the output terminal portion of the integrated circuit to be inspected and the inspection circuit concerned. Peculiar I
Issue D code.

【0030】これにより図1に示す検査回路が集積回路
に組み込まれた状態となる。これにより集積回路の検査
が可能となり、例えばパッケージの検査も可能となる。
As a result, the inspection circuit shown in FIG. 1 is incorporated in the integrated circuit. This makes it possible to inspect an integrated circuit, for example, a package.

【0031】なお、以上のICメーカからのコード申請
は直接に手渡しで、あるいは郵便で行うことができる
が、例えばインターネットを介したオンラインで行うこ
とも可能に構成されている。この場合には、暗号化して
各種情報を送信することにより他人の不正利用を避ける
ことができる。
The above code application from the IC maker can be made by hand or by mail, but it can also be made online, for example, via the Internet. In this case, it is possible to avoid unauthorized use by others by encrypting and transmitting various information.

【0032】以上の構成を備える本実施の形態例の検査
回路30による集積回路検査方法を図3のフローチャー
ト及び図4を参照して以下に説明する。図3は本実施の
形態例の検査回路を利用した集積回路検査制御を説明す
るためのフローチャート、図4は本実施の形態例の検査
回路30による集積回路検査方法を説明するための図で
ある。
An integrated circuit inspection method using the inspection circuit 30 of the present embodiment having the above configuration will be described below with reference to the flowchart of FIG. 3 and FIG. FIG. 3 is a flow chart for explaining integrated circuit inspection control using the inspection circuit of the present embodiment, and FIG. 4 is a diagram for explaining an integrated circuit inspection method by the inspection circuit 30 of the present embodiment. .

【0033】図4に置いて、40はICチップ10上に
設けられた接続パッド11と集積回路パッケージ100
の出力端子110への接続パターン間を電気的に接続す
るワイヤーボンディングであり、図4の例は、例えば出
力端子6(6ピン)と出力端子7(7ピン)間が短絡し
ている例を示している。
In FIG. 4, reference numeral 40 denotes the connection pad 11 provided on the IC chip 10 and the integrated circuit package 100.
4 is an example of wire bonding for electrically connecting the connection patterns to the output terminal 110 of FIG. 4, and the example of FIG. 4 is an example in which the output terminal 6 (6 pin) and the output terminal 7 (7 pin) are short-circuited. Shows.

【0034】図3のフローチャートに従って以下本実施
の形態例の上述したコード申請に従って設計された監査
回路30を組み込んだ集積回路検査方法を説明する。
An integrated circuit inspection method incorporating the inspection circuit 30 designed according to the above-mentioned code application of the present embodiment will be described below with reference to the flowchart of FIG.

【0035】まずステップS1において、検査装置を制
御して例えば図1に示す集積回路に対して所望周波数の
電磁波、例えば高周波(マイクロ波、ミリ波、サブミリ
波など)信号を出射する。この高周波信号は検査回路3
0の受電受信部31にて受電され、検査回路30の駆動
電力として各構成、例えばデコーダ32などに供給され
検査回路30を動作可能状態とする。
First, in step S1, the inspection apparatus is controlled to emit an electromagnetic wave having a desired frequency, for example, a high frequency (microwave, millimeter wave, submillimeter wave) signal to the integrated circuit shown in FIG. This high frequency signal is the inspection circuit 3
The power is received by the power reception unit 31 of 0 and is supplied to each component, for example, the decoder 32 as driving power of the inspection circuit 30 to make the inspection circuit 30 operable.

【0036】次にステップS2において、検査装置20
0は検査しようとする集積回路設計時のコード申請に対
応して発行された各集積回路に固有のコードを組み込ん
だ集積回路に対する通信可否信号(通信可否コマンド)
を送信する。
Next, in step S2, the inspection device 20
0 is a communication enable / disable signal (communication enable / disable command) for an integrated circuit incorporating a code unique to each integrated circuit issued in response to a code application at the time of designing the integrated circuit to be inspected.
To send.

【0037】なお、以後この検査回路への情報には当該
検査回路に固有のコードを付加して送信し、検査回路は
自回路で認識している固有のコード情報と検査装置20
0からの情報の中で自回路を認識するコードと一致した
コード情報を含む情報を自回路宛ての情報として取り込
むことになる。
It is to be noted that, thereafter, a code unique to the inspection circuit is added to the information to the inspection circuit and transmitted, and the inspection circuit recognizes the unique code information and the inspection device 20.
In the information from 0, the information including the code information that matches the code for recognizing the own circuit is fetched as the information addressed to the own circuit.

【0038】そして本実施の形態例の検査装置200
は、続くステップS3において、通信可否信号を受信し
た固有のコードが割り当てられている検査回路からの応
答を監視する。ステップS1で給電を開始された集積回
路に組み込まれた検査回路30のデコーダ32は、受電
受信部31で受信される情報中に、自回路に固有に割り
当てられたコード情報が含まれているか(コードが検出
されるか)を監視しており、受電受信部31で受信され
る情報中に、自回路に固有に割り当てられたコード情報
が含まれている場合には制御ロジック33を起動し、制
御ロジックはエンコーダ35を起動して自回路が起動さ
れ検査装置200からの指示に従った検査が可能である
ことを報知するための検査回路通信可能応答を作成して
送信部39より送信する。
Then, the inspection device 200 of the present embodiment example
In the subsequent step S3, monitors the response from the inspection circuit to which the unique code that received the communication enable / disable signal is assigned. In the decoder 32 of the inspection circuit 30 incorporated in the integrated circuit whose power supply is started in step S1, does the information received by the power receiving / receiving unit 31 include the code information uniquely assigned to the circuit itself ( Whether the code is detected) is monitored, and if the information received by the power reception unit 31 includes code information uniquely assigned to the own circuit, the control logic 33 is activated, The control logic activates the encoder 35 to generate an inspection circuit communicable response for notifying that the own circuit is activated and the inspection according to the instruction from the inspection apparatus 200 is possible, and transmits it from the transmission unit 39.

【0039】検査装置200はステップS3で対象とな
る検査回路20より所定時間内に検査回路通信可能応答
が送られてこない場合には、検査回路に給電できていな
いなど、検査回路が稼働しない何らかの原因があるとし
てステップS4に進み、エラー処理を行う。
If the inspection circuit 200 does not send the inspection circuit communicable response from the target inspection circuit 20 within the predetermined time in step S3, the inspection circuit is not powered, or the inspection circuit does not operate. Assuming that there is a cause, the process proceeds to step S4 and error processing is performed.

【0040】一方、検査装置200は、ステップS3で
対象となる検査回路20より所定時間内に検査回路通信
可能応答が送られてきた場合にはステップS5に進み、
応答してきた検査回路に、最初は端部の検査用配線及び
隣接する配線を接続する旨を指示する接続コマンドを送
信する。
On the other hand, the inspection apparatus 200 proceeds to step S5 when an inspection circuit communicable response is sent from the target inspection circuit 20 in step S3 within a predetermined time.
To the responding inspection circuit, a connection command for instructing to connect the end inspection wiring and the adjacent wiring is first transmitted.

【0041】この指示を受け取った対応する検査回路の
制御ロジック33では、受信コマンドを必要に応じて制
御手順格納部34に格納して受信コマンドに従った制御
手順を実行するモードに移行する。これは他のコマンド
受信時も同じである。
Upon receipt of this instruction, the control logic 33 of the corresponding inspection circuit stores the received command in the control procedure storage unit 34 as necessary and shifts to the mode for executing the control procedure according to the received command. This is the same when other commands are received.

【0042】この場合には、アナログSW36に指示し
て同時に端部の検査用配線及び当該検査用配線に隣接す
る未検査配線端部の検査用配線に接続されているスイッ
チ回路を閉接して検査回路と導通状態に制御する。例え
ば、図4の例では6ピンへの接続配線と7ピンへの接続
配線のスイッチ回路を閉接している。
In this case, the analog SW 36 is instructed to simultaneously close and inspect the switch circuit connected to the inspection wiring at the end and the inspection wiring at the end of the uninspected wiring adjacent to the inspection wiring. Control the circuit to be in conduction. For example, in the example of FIG. 4, the switch circuit of the connection wiring to the 6th pin and the connection wiring to the 7th pin are closed.

【0043】検査装置200は続くステップS6で接続
検査用配線に検査信号を出力するように指示する。この
指示を受け取った検査回路では、検査用配線をD/A回
路37に接続して接続した検査用配線に例えば所定周波
数の発振信号を供給する。図4の例では6ピンをD/A
回路37に接続してD/A回路37から検査信号を出力
する制御を行う。
The inspection apparatus 200 instructs the connection inspection wiring to output an inspection signal in the subsequent step S6. In the inspection circuit that receives this instruction, the inspection wiring is connected to the D / A circuit 37, and an oscillation signal of a predetermined frequency is supplied to the connected inspection wiring. In the example of FIG. 4, pin 6 is D / A
Control is performed by connecting to the circuit 37 and outputting a test signal from the D / A circuit 37.

【0044】続いて検査装置200はステップS7で一
定時間待った後検査回路に対して検査用配線よりの検査
用信号検出指示コマンドを送信する。これを受けた検査
回路では、受信コマンドを必要に応じて制御手順格納部
30に格納して受信コマンドに対応した処理を実行す
る。例えば、制御ロジック33は受信コマンドに従って
A/D回路38をD/A回路37と同じく端部の検査用
配線に接続し、同時に、当該検査用配線に隣接する未検
査配線(図4の例では7ピン接続配線)をD/A回路3
7(及びA/D回路38)の回路ない接地線(GND)
に接続する。これにより検査用配線よりの検査信号を検
出可能とする。そして、A/D回路38を起動して接続
検査用配線よりの検査信号検出処理を実行する。
Subsequently, the inspection apparatus 200 waits for a certain period of time in step S7, and then transmits an inspection signal detection instruction command from the inspection wiring to the inspection circuit. The inspection circuit which receives this stores the received command in the control procedure storage unit 30 as necessary, and executes the process corresponding to the received command. For example, the control logic 33 connects the A / D circuit 38 to the inspection wiring at the end similarly to the D / A circuit 37 according to the received command, and at the same time, connects the uninspected wiring adjacent to the inspection wiring (in the example of FIG. 4, 7 pin connection wiring) to D / A circuit 3
7 (and A / D circuit 38) circuit-less ground wire (GND)
Connect to. This makes it possible to detect the inspection signal from the inspection wiring. Then, the A / D circuit 38 is activated to execute the inspection signal detection processing from the connection inspection wiring.

【0045】なお、配線を各回路に接続する処理はステ
ップS5、ステップS6のいずれかで、あるいはまたが
って行ってもよい。A/D回路38を起動する前に検査
可能状態に制御されていれば良い。
The process of connecting the wiring to each circuit may be carried out at any one of step S5 and step S6, or may be performed astride. It suffices that the A / D circuit 38 be controlled to be in the inspectable state before being activated.

【0046】検査装置200は次にステップS8で検出
に必要な時間経過後に検査用信号出力停止指示コマンド
を送信する。これを受けた検査回路では、受信コマンド
を必要に応じて制御手順格納部30に格納して受信コマ
ンドに対応した処理を実行する。ここでは、制御ロジッ
ク33は受信コマンドに従ってD/A回路37より接続
検査用配線への検査信号の出力を停止させる処理を実行
する。
The inspection apparatus 200 then transmits an inspection signal output stop instruction command after the time required for detection has elapsed in step S8. The inspection circuit which receives this stores the received command in the control procedure storage unit 30 as necessary, and executes the process corresponding to the received command. Here, the control logic 33 executes a process of stopping the output of the inspection signal from the D / A circuit 37 to the connection inspection wiring according to the received command.

【0047】そして検査装置200はステップS9で検
査回路にステップS7で送信した指示コマンドに従って
行った検査用信号検出処理での検出結果を自装置に送信
させることを指示する検査結果送信指示コマンドを送信
する。
In step S9, the inspection device 200 transmits an inspection result transmission instruction command instructing the inspection circuit to transmit the detection result of the inspection signal detection processing performed according to the instruction command transmitted in step S7 to the device itself. To do.

【0048】これを受けた検査回路では、受信コマンド
を必要に応じて制御手順格納部30に格納して受信コマ
ンドに対応した処理を実行する。この場合には、制御ロ
ジック33はA/D回路38よりの出力信号レベルを確
認し、検査用配線よりの検査信号検出結果(検出レベル
情報を含む)をエンコーダ35、送信部39を介して送
信する。この送信情報には自回路に固有のコード情報を
付加して送信する。
Upon receipt of this, the inspection circuit stores the received command in the control procedure storage unit 30 as necessary and executes the processing corresponding to the received command. In this case, the control logic 33 confirms the output signal level from the A / D circuit 38, and transmits the inspection signal detection result (including the detection level information) from the inspection wiring via the encoder 35 and the transmission unit 39. To do. Code information unique to the own circuit is added to this transmission information and transmitted.

【0049】検査装置では続くステップS10で先のス
テップS9での送信指示コマンドに応じて対応する検査
回路から送られてくる検出結果情報を受信する。この情
報を受信すると検査回路に指示してD/A回路37を消
勢して検査信号の出力を停止させる。
In the next step S10, the inspection device receives the detection result information sent from the corresponding inspection circuit in response to the transmission instruction command in the previous step S9. When this information is received, the inspection circuit is instructed to deactivate the D / A circuit 37 and stop the output of the inspection signal.

【0050】その後、検査回路からの検査信号出力に応
じた検査用配線からの受信出力された信号を調べ、検査
用配線と隣接する配線間の抵抗値を測定する。そして所
定抵抗値以下(ほぼ導通状態)か否かを判断する。所定
値以下の場合にはステップS11に進み、A/D回路3
8の接地レベルに制御される検査用配線と隣接する配線
とD/A回路37に接続されている検査用配線とが短絡
(ショート)していると判定してステップS13に進
む。
After that, the signal received and output from the inspection wiring corresponding to the inspection signal output from the inspection circuit is examined, and the resistance value between the inspection wiring and the adjacent wiring is measured. Then, it is determined whether or not the resistance value is equal to or lower than a predetermined resistance value (almost conductive). If it is less than the predetermined value, the process proceeds to step S11, and the A / D circuit 3
It is determined that the inspection wiring controlled to the ground level of 8 and the adjacent wiring and the inspection wiring connected to the D / A circuit 37 are short-circuited (short circuit), and the process proceeds to step S13.

【0051】一方、ステップS10で隣接した配線より
検査信号が検出されている場合には検査用配線と隣接す
る配線との短絡はないとしてステップS13に進む。
On the other hand, if the inspection signal is detected from the adjacent wiring in step S10, it is determined that there is no short circuit between the inspection wiring and the adjacent wiring, and the process proceeds to step S13.

【0052】ステップS13では検査回路のすべての検
査用配線に(検査回路が組み込まれている集積回路のす
べての端子に)検査信号を出力したか否かを判断する。
検査回路のすべての検査用配線に検査信号を出力した場
合には当該検査回路に対する検査が終了したため当該処
理を終了し、検査用配線間の短絡などがあれば回路不良
と判断することになる。
In step S13, it is determined whether or not the inspection signal has been output to all the inspection wirings of the inspection circuit (to all the terminals of the integrated circuit incorporating the inspection circuit).
When the inspection signal is output to all the inspection wirings of the inspection circuit, the inspection of the inspection circuit is completed, so the processing is terminated, and if there is a short circuit between the inspection wirings, it is determined that the circuit is defective.

【0053】一方、ステップS13で検査回路のすべて
の検査用配線に検査信号を出力していない場合にはステ
ップS14に進み、検査回路に対して接続されている未
検査の検査用配線、即ち、次に検査するべき検査用配線
に隣接する検査されていない検査用配線を検査回路内に
接続するように指示する接続コマンドを送信する。
On the other hand, when the inspection signal is not output to all the inspection wirings of the inspection circuit in step S13, the process proceeds to step S14 and the uninspected inspection wirings connected to the inspection circuit, that is, Next, a connection command instructing to connect an uninspected inspection wiring adjacent to the inspection wiring to be inspected into the inspection circuit is transmitted.

【0054】この指示を受け取った対応する検査回路の
制御ロジック33では、受信コマンドを必要に応じて制
御手順格納部34に格納して受信コマンドに従った制御
手順を実行するモードに移行する。この場合には、アナ
ログSW40を制御して次に検査するべき検査用配線に
対応するスイッチ回路を閉接する。例えば図4の8ピン
が制御対象配線となる。
Upon receipt of this instruction, the control logic 33 of the corresponding inspection circuit stores the received command in the control procedure storage unit 34 as necessary and shifts to the mode for executing the control procedure according to the received command. In this case, the analog SW 40 is controlled to close the switch circuit corresponding to the inspection wiring to be inspected next. For example, pin 8 in FIG. 4 is the control target wiring.

【0055】続いてステップS15で、検査装置200
は、検査回路のD/A回路37に接続されている検査済
みの検査用配線の開放を指示する接続開放指示コマンド
を送信する。
Then, in step S15, the inspection device 200
Transmits a connection opening instruction command for instructing the opening of the inspected inspection wiring connected to the D / A circuit 37 of the inspection circuit.

【0056】この指示コマンドを受け取った対応する検
査回路の制御ロジック33では、受信コマンドを必要に
応じて制御手順格納部34に格納して受信コマンドに従
った制御手順を実行するモードに移行する。この場合に
はアナログSW36に指示して検査済みの検査用配線
(図4の例では6ピン接続配線)に接続されているスイ
ッチ回路を開放して検査回路内と非接続状態とする。
Upon receipt of this instruction command, the control logic 33 of the corresponding inspection circuit stores the received command in the control procedure storage unit 34 as necessary and shifts to the mode for executing the control procedure according to the received command. In this case, the analog SW 36 is instructed to open the switch circuit connected to the inspection wiring that has been inspected (6-pin connection wiring in the example of FIG. 4) to bring the inside of the inspection circuit into a disconnected state.

【0057】そして続くステップS16で検査装置20
0は、検査済み配線に隣接する未検査の検査用配線を新
たな検査用配線に設定するコマンドを送信する。このコ
マンドを受け取った対応する検査回路の制御ロジック3
3では、受信コマンドを必要に応じて制御手順格納部3
4に格納し、同時に受信コマンドに従った制御手順を実
行するモードに移行する。この場合にはアナログSW3
6に指示して検査済み配線に隣接する未検査の検査用配
線(図4の例では7ピン)を図4の6ピン接続配線のよ
うに、D/A回路37に接続する。そしてステップS6
に進む。
Then, in the subsequent step S16, the inspection device 20
0 transmits a command for setting an uninspected inspection wiring adjacent to the inspected wiring as a new inspection wiring. Control logic 3 of the corresponding inspection circuit that received this command
3, the received command is sent to the control procedure storage unit 3 as necessary.
4 and simultaneously shifts to a mode in which a control procedure according to the received command is executed. In this case, analog SW3
6, the uninspected inspection wiring (7 pins in the example of FIG. 4) adjacent to the inspected wiring is connected to the D / A circuit 37 like the 6-pin connection wiring of FIG. And step S6
Proceed to.

【0058】以上説明したように本実施の形態例によれ
ば、集積回路に予め検査回路を組み込んで検査回路に固
有のコードを割り当て、検査回路の駆動電力及び検査制
御手順を全て外部から非接触で供給可能とし、検査回路
は供給された駆動電力により動作を開始し、自回路宛て
に供給される制御手順を受取り、受け取った制御手順に
従った検査が行える。
As described above, according to the present embodiment, a test circuit is incorporated in the integrated circuit in advance, a unique code is assigned to the test circuit, and the driving power of the test circuit and the test control procedure are all externally contactless. Then, the inspection circuit starts its operation by the supplied drive power, receives the control procedure supplied to its own circuit, and can perform the inspection according to the received control procedure.

【0059】このため、検査装置側で検査対象の状態に
応じた制御手順を検査回路に供給して実行させることが
でき、いかなる検査対象に対しても、あるいは検査対象
の周囲状況が変化しても、臨機応変に対応できる最適の
検査が実現する。
Therefore, the inspection apparatus can supply the inspection circuit with a control procedure corresponding to the state of the inspection object and execute the inspection procedure. Also, the optimum inspection that can respond flexibly will be realized.

【0060】更に、回路不良が発見された場合であって
も、場合によっては回路状態に応じた異なる検査制御を
実行することが可能となり、汎用性に優れた集積回路検
査が可能となる。
Further, even if a circuit defect is found, different inspection control depending on the circuit state can be executed in some cases, and an integrated circuit inspection excellent in versatility can be performed.

【0061】また、検査回路の動作電力を直接検査回路
に供給可能であることにより、検査対象集積回路に電源
が供給されていない場合であっても、問題なく検査をす
ることができ、集積回路単独で電源などに何ら接続され
ていなくても検査可能であることは勿論である。
Since the operating power of the inspection circuit can be directly supplied to the inspection circuit, the inspection can be performed without any problem even when the integrated circuit to be inspected is not supplied with power, and the integrated circuit can be inspected. Of course, it is possible to inspect even if it is not connected to a power source or the like independently.

【0062】したがって、検査装置を持ち込めば、生産
工場のみならず、顧客先であっても、あるいは販売店舗
などでも検査対象の検査が可能となる。
Therefore, if the inspection device is brought in, the inspection target can be inspected not only at the production plant but also at the customer's place or the sales store.

【0063】更に、接触することなく検査が可能である
ことにより、検査対象の位置決めなどがほとんど不要と
なる。更に、検査回路ごとに固有のコードを予め割り当
て、この固有のコードに従って特定の検査回路のみを抽
出して検査でき、例えば流れ作業での回路検査なども可
能となる。
Further, since the inspection can be carried out without contact, positioning of the inspection object becomes almost unnecessary. Furthermore, a unique code is assigned in advance to each inspection circuit, and only a specific inspection circuit can be extracted and inspected according to this unique code. For example, circuit inspection in a flow operation is also possible.

【0064】(第2の実施の形態例)以上の説明は、集
積回路に組み込まれた検査回路による集積回路単独での
検査例を説明した。しかし本発明は以上の例に限定され
るものではない。例えば、集積回路ごとに非接触で検査
に必要な電力を供給でき、しかも複数の集積回路の各検
査回路単位で異なる検査制御が可能であり、複数の検査
回路間で協同して検査回路間の電気回路の良否検査も可
能である。
(Second Embodiment) The above description has described the example of the inspection of the integrated circuit alone by the inspection circuit incorporated in the integrated circuit. However, the present invention is not limited to the above examples. For example, electric power required for inspection can be supplied to each integrated circuit in a non-contact manner, and different inspection control can be performed for each inspection circuit unit of a plurality of integrated circuits. It is also possible to inspect the quality of the electric circuit.

【0065】また、検査回路の集積回路制御手順も検査
回路外部より任意のものが供給可能である。このため、
集積回路単独での検査に加え、複数の集積回路が基板上
に実装された後であっても複数の集積回路に組み込まれ
た各検査回路が協同して(一体となって)基板の実装配
線パターンを含めての良否を判断できる。
Further, the integrated circuit control procedure of the inspection circuit can be supplied from the outside of the inspection circuit. For this reason,
In addition to the inspection by the integrated circuit alone, the inspection circuits incorporated in the integrated circuits work together (integrated) even after the integrated circuits are mounted on the board. The quality including the pattern can be judged.

【0066】本発明に係る第2の実施の形態例の検査回
路が共同してアッセンブル基板を含めた検査を行う検査
回路システムを図5を参照して以下に説明する。図5は
本発明に係る第2の実施の形態例の検査回路が共同して
アッセンブル基板を含めた検査を行う検査回路システム
の全体概念図である。
An inspection circuit system in which the inspection circuits of the second embodiment according to the present invention jointly perform an inspection including the assembly substrate will be described below with reference to FIG. FIG. 5 is an overall conceptual diagram of an inspection circuit system in which the inspection circuits of the second embodiment according to the present invention jointly perform an inspection including the assembly substrate.

【0067】図5に示すように第2の実施の形態例でも
集積回路に検査回路を組み込むまでの手順は上述した第
1の実施の形態例の場合とまったく同様でよく、集積回
路を設計して製造するICメーカが集積回路を設計した
ときに、設計した集積回路の回路パターンなどを提示し
た検査回路組み込みの依頼(コード申請)を検査回路メ
ーカに申請する。
As shown in FIG. 5, in the second embodiment as well, the procedure until the inspection circuit is incorporated in the integrated circuit may be exactly the same as in the case of the first embodiment described above, and the integrated circuit is designed. When an IC maker manufactured by designing an integrated circuit designs an integrated circuit, a request (code application) for incorporating an inspection circuit that presents a circuit pattern of the designed integrated circuit is applied to the inspection circuit maker.

【0068】このコード申請を受けた検査回路メーカ
は、図2に示すIC内に組み込む検査回路を設計すると
ともに、当該検査回路に固有のIDコードを付与し、検
査回路パターンとIDコードとをICメーカに発行す
る。
The inspection circuit maker who has received this code application designs an inspection circuit to be incorporated in the IC shown in FIG. 2 and gives a unique ID code to the inspection circuit, so that the inspection circuit pattern and the ID code are integrated into the IC. Issue to the manufacturer.

【0069】ICメーカでは発行された検査回路パター
ンを集積回路中に組み込んで(作りこんで)集積回路設
計を終了して製品化する。そしてIDコードで特定され
る検査回路が組み込まれた集積回路として製品化する。
そして上述した第1の実施の形態例の制御で集積回路単
体の検査(パッケージ検査)が可能となる。
The IC manufacturer incorporates (makes) the issued inspection circuit pattern into the integrated circuit, completes the integrated circuit design, and commercializes it. Then, it is commercialized as an integrated circuit in which the inspection circuit specified by the ID code is incorporated.
The control of the above-described first embodiment makes it possible to inspect the integrated circuit alone (package inspection).

【0070】この集積回路を購入するなどして所望の機
能を有する電子回路基板を製作するアッセンブリメーカ
は、実装する集積回路種別を選択決定し、選択した集積
回路を使用して回路基板を設計する。そして、回路基板
の設計がほぼ完成した段階で当該電子回路基板の構成、
回路パターン情報、実装部品情報などを添付して検査回
路メーカに回路パターンを勘案した回路基板検査データ
の発行を申請する。
An assembly maker that manufactures an electronic circuit board having a desired function by purchasing this integrated circuit selects and determines the type of integrated circuit to be mounted, and designs the circuit board using the selected integrated circuit. . Then, when the design of the circuit board is almost completed, the configuration of the electronic circuit board,
Apply to the inspection circuit maker to issue the circuit board inspection data considering the circuit pattern with the circuit pattern information and mounted component information attached.

【0071】アッセンブリメーカよりのコード申請を受
け付けた検査回路メーカでは、アッセンブル基板の全体
構成、各集積回路間の配線状況などを解析して当該アッ
センブル基板の検査方法を調べ、各集積回路の検査回路
をどのように動作させて基板の検査を行うかを検討して
基板検査手順を決定して基板検査方法を確立する。そし
て確立した基板検査方法に従ったそれぞれの集積回路ご
との検査制御手順を作成する。
The inspection circuit maker that has received the code application from the assembly maker analyzes the entire structure of the assembly substrate, the wiring condition between the integrated circuits, and the like to check the inspection method of the assembly substrate, and checks the inspection circuit of each integrated circuit. The board inspection method is established by examining how to operate the board to determine the board inspection procedure. Then, an inspection control procedure is created for each integrated circuit according to the established board inspection method.

【0072】そして、作成した各集積回路毎に個別に異
なるに検査制御手順を実行させる基板検査実行手順情
報、検査結果の情報などを含む検査データをアッセンブ
リメーカに発行送信する。
Then, the inspection data including the board inspection execution procedure information for executing the inspection control procedure differently for each created integrated circuit and the inspection result information is issued and transmitted to the assembly maker.

【0073】この検査制御手順を含む検査データを受け
取ったアッセンブリメーカは、受け取った検査データを
検査装置に格納し、実際の検査実行時に順次検査対象集
積回路ごとにIDコードで指定してそれぞれの集積回路
毎に独自の検査手順を出力し、検査手順に従った検査回
路制御を行う。
The assembly maker, which has received the inspection data including the inspection control procedure, stores the received inspection data in the inspection device and sequentially specifies the ID code for each integrated circuit to be inspected at the time of actually executing the inspection. Each circuit outputs its own inspection procedure and controls the inspection circuit according to the inspection procedure.

【0074】この場合には、検査対象基板に実装されて
いる各集積回路が連動して回路の検査を実行することに
なる。上記したように、検査対象基板の実行手順は、検
査処置のアンテナより無線送信され、指定IDと同じI
Dが割り当てられた集積回路でのみ受信され、必要に応
じて記録され実行される。
In this case, each integrated circuit mounted on the board to be inspected interlocks to execute the circuit inspection. As described above, the execution procedure of the board to be inspected is wirelessly transmitted from the antenna of the inspection procedure and is the same as the designated ID.
It is received only by the integrated circuit to which D is assigned, and is recorded and executed as needed.

【0075】なお、以上のアッセンブリメーカからのコ
ード申請はインターネットを介したオンラインで行うこ
とも可能に構成されている。この場合には、暗号化して
各種情報を送信することにより他人の不正利用を避ける
ことができる。直接に手渡しで、あるいは郵便で行うこ
とができることは勿論である。
The above code application from the assembly maker can also be made online via the Internet. In this case, it is possible to avoid unauthorized use by others by encrypting and transmitting various information. Of course, it can be done by hand or by mail.

【0076】複数の集積回路が基板上に実装された後で
あっても複数の集積回路に組み込まれた各検査回路が協
同して(一体となって)基板の実装配線パターンを含め
ての良否を判断できる本発明に係る第2の実施の形態例
を図6を参照して以下に説明する。図6は本発明に係る
第2の実施の形態例の基板パターンを含む良否検査を説
明するための図である。
Even after the plurality of integrated circuits are mounted on the substrate, the inspection circuits incorporated in the plurality of integrated circuits cooperate (integrate) with each other to determine whether or not the mounting wiring pattern of the substrate is included. A second embodiment according to the present invention which can judge whether or not is described below with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram for explaining the quality inspection including the substrate pattern according to the second embodiment of the present invention.

【0077】図6の例では、説明の簡略化のために集積
回路100と集積回路200とが協同して回路検査を行
い、両抵抗間に抵抗300が配設されている場合を例と
して説明する。しかし、第2の実施の形態例はあらゆる
回路配線に適用できることは勿論である。
In the example of FIG. 6, a case where the integrated circuit 100 and the integrated circuit 200 perform a circuit test in cooperation with each other for simplification of the description, and the resistor 300 is arranged between both resistors will be described as an example. To do. However, it goes without saying that the second embodiment can be applied to any circuit wiring.

【0078】第2の実施の形態例においても、ここの集
積回路への検査制御手順の供給は上述した第1の実施の
形態例の図3に示す制御と同様の制御である。
Also in the second embodiment, the supply of the inspection control procedure to the integrated circuit is the same as the control shown in FIG. 3 of the first embodiment.

【0079】図6の検査を行う場合には、検査装置は集
積回路100に対する制御手順を送信して、アナログス
イッチ36に対して8ピンとD/A回路37とA/D回
路38を第1の実施の形態例と同様にして接続し、ま
た、15ピンをD/A回路37とA/D回路38の接地
レベル信号線に接続する。
When the inspection shown in FIG. 6 is performed, the inspection apparatus transmits a control procedure for the integrated circuit 100 to cause the analog switch 36 to have 8 pins, the D / A circuit 37, and the A / D circuit 38 as the first. Connection is made in the same manner as in the embodiment, and pin 15 is connected to the ground level signal lines of the D / A circuit 37 and A / D circuit 38.

【0080】続いて、集積回路200に対する制御手順
において、アナログスイッチ36に対して集積回路10
0の3ピンに抵抗300を介して接続されている1ピン
と、集積回路100のピンに接続されている2ピンを接
続し、折り返すように制御する。
Then, in the control procedure for the integrated circuit 200, the integrated circuit 10 is set to the analog switch 36.
The 1 pin connected to the 3 pin of 0 via the resistor 300 and the 2 pin connected to the pin of the integrated circuit 100 are connected and controlled to be folded.

【0081】検査装置による2つの集積回路を使用した
図6に示す回路の検査制御の詳細手順を図7を参照して
以下に説明する。図7は第2の実施の形態例の実装基板
の検査制御を説明するためのフローチャートである。
The detailed procedure of the inspection control of the circuit shown in FIG. 6 using the two integrated circuits by the inspection device will be described below with reference to FIG. FIG. 7 is a flow chart for explaining the inspection control of the mounting board according to the second embodiment.

【0082】ステップS21で両集積回路(以下「I
C」という)を中心とした基板上のICに非接触で電磁
波を供給して給電を開始する。これにより各IC内の検
査回路は動作状態となり、自回路IDを含む制御手順な
どの受信に備える。
In step S21, both integrated circuits (hereinafter referred to as "I
Electromagnetic waves are supplied to the ICs on the substrate centering on "C") in a non-contact manner to start feeding. As a result, the inspection circuit in each IC is brought into an operating state, and is prepared for reception of a control procedure including its own circuit ID.

【0083】続いてステップS22において、IC10
0に通信可否確認信号(IC100のIDコード+外部
装置IDコード+受信可否コマンド)を送信する。これ
を受けたIC100では通信が可能であれば通信可能応
答(外部装置のIDコード+IC1IDコード+動作可
能応答コード)を送信する。このため続くステップS2
3でこの通信可能応答が送られてくるのを監視する。一
定時間内に送られてこない場合にはステップS24に進
み、所定のエラー処理を行う。
Subsequently, in step S22, the IC10
A communication availability confirmation signal (ID code of IC 100 + external device ID code + reception availability command) is transmitted to 0. If the IC 100 that receives the request sends a communication enable response (external device ID code + IC1 ID code + operation enable response code) if communication is possible. Therefore, the subsequent step S2
At 3, the reception of this communication enable response is monitored. If it is not sent within the fixed time, the process proceeds to step S24, and a predetermined error process is performed.

【0084】一方、ステップS23でIC100よりの
通信可能応答を確認するとステップS25に進み、IC
200に通信可否確認信号(IDコード+外部装置ID
コード+受信可否コマンド)を送信する。これを受けた
IC200では通信が可能であれば通信可能応答(外部
装置のIDコード+IC1IDコード+動作可能応答コ
ード)を送信する。このため続くステップS26でこの
通信可能応答が送られてくるのを監視する。一定時間内
に送られてこない場合にはステップS24に進み、所定
のエラー処理を行う。
On the other hand, when the communication enable response from the IC 100 is confirmed in step S23, the process proceeds to step S25 and the IC
200 communication availability confirmation signal (ID code + external device ID
Send code + command to receive or not to receive. If the IC 200 receives this, and if communication is possible, it transmits a communication enable response (external device ID code + IC1 ID code + operation enable response code). For this reason, in subsequent step S26, it is monitored that the communication enable response is sent. If it is not sent within the fixed time, the process proceeds to step S24, and a predetermined error process is performed.

【0085】一方、ステップS26でIC200よりの
通信可能応答を確認するとステップS27に進み、IC
200のアナログSWに指示(IDコード+外部装置I
Dコード+閉接するSW番号)して1PINと2PIN
がショートする接続状態への制御手順を送信する。
On the other hand, when the communication enable response from the IC 200 is confirmed in step S26, the process proceeds to step S27 and the IC
Instruct to analog SW of 200 (ID code + external device I
(D code + SW number to be closed) 1PIN and 2PIN
Sends the control procedure to the connection state where is short-circuited.

【0086】そして続くステップS28でIC100の
8PINを定電流回路出力(D/A)に接続(IDコー
ド+外部装置IDコード+閉接するSW番号)させ、検
査回路パターンに検査信号を供給する。
Then, in a succeeding step S28, the 8PIN of the IC 100 is connected to the constant current circuit output (D / A) (ID code + external device ID code + SW number to be closed / closed), and a test signal is supplied to the test circuit pattern.

【0087】次にステップS29でIC100のA/D
回路を定電流回路に接続(IDコード+外部装置IDコ
ード+閉接するSW番号)させるとともに、IC100
の15PINを測定回路内GNDに接続(IDコード+
外部装置IDコード+閉接するSW番号)し、検査用信
号の検出準備を行う。そしてIC100の定電流回路を
ON(IDコード+外部装置IDコード+D/A動作モ
ード+D/A出力値)させ、一定時間待った後、IC1
にA/D測定を指示(IDコード+外部装置IDコード
+A/D動作モード+A/D測定実行コマンド)させて
接続検査用配線よりの検査用信号検出指示を行う。
Next, in step S29, the A / D of the IC100 is performed.
The circuit is connected to a constant current circuit (ID code + external device ID code + SW number to be closed / closed), and IC100
Connect the 15PIN to GND in the measurement circuit (ID code +
External device ID code + SW number to be closed / closed) to prepare for detection of inspection signal. Then, the constant current circuit of the IC100 is turned on (ID code + external device ID code + D / A operation mode + D / A output value), and after waiting for a certain time, IC1
To instruct A / D measurement (ID code + external device ID code + A / D operation mode + A / D measurement execution command) to instruct inspection signal detection from the connection inspection wiring.

【0088】次にステップS30でIC100にA/D
測定値の送信を指示(IDコード+外部装置IDコード
+A/D測定値送信コマンド)し検査結果を送信するよ
うに指示する。続いてステップS31で指示に応じてI
C100から送られてくるA/D値を受信(外部装置の
IDコード+IC1のIDコード+A/D測定値)す
る。
Next, in step S30, the A / D is added to the IC 100.
The measurement value is instructed to be transmitted (ID code + external device ID code + A / D measurement value transmission command), and the inspection result is instructed to be transmitted. Then, in step S31, I
The A / D value sent from the C100 is received (ID code of external device + ID code of IC1 + A / D measurement value).

【0089】検査結果を受け取るとステップS32にお
いて、IC100の定電流回路をOFF(IDコード+
外部装置IDコード+D/A動作モード+D/A出力
値)して検査用信号出力停止指示をする。続くステップ
S33でIC100のアナログSWの全てOFF(ID
コード+外部装置IDコード+SWオールOFFコマン
ド)を指示する。
When the inspection result is received, the constant current circuit of the IC 100 is turned off (ID code +
The external device ID code + D / A operation mode + D / A output value) is given to give an instruction to stop the inspection signal output. In subsequent step S33, all the analog SWs of IC100 are turned off (ID
Code + external device ID code + SW all OFF command).

【0090】次にステップS34において、オームの法
則(V=I・R)を用いて検出結果情報から回路パター
ンの抵抗値を算出し、予め想定した所定範囲内であるか
否かを判断する。但し、Iは定電流回路の出力値、Vは
A/Dの測定値である。予め定められた規格値の範囲で
あればステップS35に進み、当該検査パターン部は正
常であると判断する。その後は次のパターンの検査を行
うのであれば再び図7の処理を行って次の回路パターン
の折り返し制御及び検査信号供給制御などを行う。
Next, in step S34, the resistance value of the circuit pattern is calculated from the detection result information using Ohm's law (V = IR), and it is determined whether the resistance value is within a predetermined range. However, I is the output value of the constant current circuit, and V is the measured value of A / D. If it is within the range of predetermined standard values, the process proceeds to step S35, and it is determined that the inspection pattern portion is normal. After that, if the next pattern is to be inspected, the process of FIG. 7 is performed again, and the next circuit pattern folding control and inspection signal supply control are performed.

【0091】一方、ステップS34で検査結果が所定範
囲内にない場合には不良状態を表示するなどして報知す
る。
On the other hand, if the inspection result is not within the predetermined range in step S34, a defective state is displayed to inform the user.

【0092】以上説明したように第2の実施の形態例に
よれば、集積回路単体の検査のみならず、集積回路実装
基板の配線パターンを含む基板全体の良否が容易且つ非
接触で検査できる。しかも、検査において、基板に動作
電力を供給する必要がなく、機械より取り外した基板単
体で容易且つ確実に基板状態の確認ができる。このため
たとえユーザサイトであっても確実な検査が可能とな
る。
As described above, according to the second embodiment, not only the integrated circuit alone can be inspected, but also the quality of the entire substrate including the wiring pattern of the integrated circuit mounting substrate can be inspected easily and in a non-contact manner. Moreover, in the inspection, it is not necessary to supply operating power to the board, and the board state removed from the machine can be easily and surely checked. Therefore, even at the user site, reliable inspection is possible.

【0093】このときも、ID番号によりただ一つのI
Cのみに選択的に所望の検査制御手順を送信して実行さ
せることができ、それぞれのICごとに異なる検査制御
を実行させ、互いに協同して検査制御を実行させること
ができ、あらゆる仕様の基板検査も単に検査装置に格納
する制御手順情報(検査データ)を代えるのみで適用可
能である。
At this time as well, there is only one I depending on the ID number.
A desired inspection control procedure can be selectively transmitted only to C and executed, different inspection control can be executed for each IC, and inspection control can be executed in cooperation with each other. The inspection can also be applied by simply changing the control procedure information (inspection data) stored in the inspection device.

【0094】[0094]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、集
積回路にそれぞれ別個の検査制御を実行させることがで
き、集積回路単体の検査のみならず、各集積回路が協同
して集積回路実装基板の配線パターンを含む基板全体の
良否が容易且つ非接触で検査できる。しかも、検査にお
いて、基板に動作電力を供給する必要がなく、機械より
取り外した基板単体で容易且つ確実に基板状態の確認が
できる。このためたとえユーザサイトであっても確実な
検査が可能となる。
As described above, according to the present invention, it is possible to cause the integrated circuits to carry out independent inspection control, so that not only the integrated circuits can be inspected, but also the integrated circuits cooperate to implement the integrated circuits. The quality of the entire substrate including the wiring pattern of the substrate can be easily inspected without contact. Moreover, in the inspection, it is not necessary to supply operating power to the board, and the board state removed from the machine can be easily and surely checked. Therefore, even at the user site, reliable inspection is possible.

【0095】また、検査回路の動作電力を非接触で直接
検査回路に供給可能であることにより、検査対象集積回
路に電源が供給されていない場合であっても、問題なく
検査をすることができる。
Further, since the operating power of the inspection circuit can be directly supplied to the inspection circuit in a contactless manner, the inspection can be performed without any problem even when the integrated circuit to be inspected is not supplied with power. .

【0096】したがって、検査装置を持ち込めば、生産
工場のみならず、顧客先であっても、あるいは販売店舗
などでも検査対象の検査が可能となる。
Therefore, if the inspection device is brought in, the inspection target can be inspected not only at the production plant but also at the customer's site or the sales store.

【0097】更に、接触することなく検査が可能である
ことにより、検査対象の位置決めなどがほとんど不要と
なる。
Furthermore, since the inspection can be performed without contact, positioning of the inspection object is almost unnecessary.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る一発明の実施の形態例の検査回路
を組み込んだ集積回路の構成を説明するための図であ
る。
FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of an integrated circuit in which an inspection circuit according to an embodiment of the present invention is incorporated.

【図2】本実施の形態例の検査回路及び検査装置の概略
構成の詳細構成を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of a schematic configuration of a test circuit and a test device according to the present embodiment.

【図3】本実施の形態例の検査回路を利用した集積回路
検査制御を説明するためのフローチャートである。
FIG. 3 is a flow chart for explaining integrated circuit inspection control using the inspection circuit of the present embodiment.

【図4】本実施の形態例の検査回路30による集積回路
検査方法を説明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining an integrated circuit inspection method by the inspection circuit 30 according to the present embodiment.

【図5】本発明に係る第2の実施の形態例の検査回路が
共同してアッセンブル基板を含めた検査を行う検査回路
システムの全体概念図である。
FIG. 5 is an overall conceptual diagram of an inspection circuit system in which inspection circuits of a second embodiment according to the present invention jointly perform an inspection including an assembly substrate.

【図6】本発明に係る第2の実施の形態例の基板パター
ンを含む良否検査を説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a quality inspection including a substrate pattern according to a second embodiment of the present invention.

【図7】第2の実施の形態例の実装基板の検査制御を説
明するためのフローチャートである。
FIG. 7 is a flowchart for explaining inspection control of a mounting board according to a second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 集積回路(IC)チップ(ダイ) 11 接続パッド 15 IC回路用配線 20 集積回路(IC回路) 30 検査回路 31 受電受信部 32 デコーダ 33 制御ロジック 34 制御手順格納部 35 エンコーダ 36 アナログスイッチ(アナログSW) 37 デジタル−アナログ変換器(D/A) 38 アナログ−デジタル変換器(A/D) 39 送信部 40 検査用配線 200 検査装置本体 210 表示部 220 操作部 230 給電・送受信アンテナ 10 Integrated circuit (IC) chip (die) 11 connection pad 15 IC circuit wiring 20 Integrated circuits (IC circuits) 30 inspection circuit 31 Power receiving unit 32 decoder 33 Control logic 34 Control procedure storage 35 encoder 36 Analog Switch (Analog SW) 37 Digital-Analog Converter (D / A) 38 Analog-digital converter (A / D) 39 Transmitter 40 inspection wiring 200 Inspection device body 210 display 220 Operation part 230 power supply / reception antenna

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路の状態を検査する回路検査部を組み
込んだ固有のID番号を有する集積回路が実装された回
路基板を検査可能な検査装置であって、 前記回路基板に実装された集積回路の前記回路検査部に
前記ID番号で特定した検査制御手順を無線送出して集
積回路毎に個別の制御手順を実行させる制御手順送出手
段と、 前記制御手順送出手段で送出した制御手順に従った検査
結果情報を前記集積回路の少なくとも1つより受領する
検査結果受領手段と、 前記検査結果受領手段で受領した検査結果より回路基板
の状態を検査することを特徴とする検査装置。
1. An inspection apparatus capable of inspecting a circuit board on which an integrated circuit having a unique ID number, which incorporates a circuit inspection unit for inspecting a circuit state, is inspected, the integrated circuit being mounted on the circuit board. According to the control procedure transmitting means for wirelessly transmitting the inspection control procedure specified by the ID number to the circuit inspecting section to execute an individual control procedure for each integrated circuit, and the control procedure transmitted by the control procedure transmitting means. An inspection apparatus for inspecting a state of a circuit board from an inspection result receiving unit that receives inspection result information from at least one of the integrated circuits, and an inspection result received by the inspection result receiving unit.
【請求項2】 前記制御手順送出手段は、 少なくとも2つの集積回路間の回路基板パターンの良否
を検査するために一方の集積回路部の前記回路検査部を
制御して当該一方の集積回路内回路検査部で2つの回路
基板パターン間を接続状態とする制御手順を送出し、他
方の集積回路の前記回路検査部を制御して接続状態の回
路基板パターンに前記検査信号を出力させる制御手順を
送出し、前記検出信号の検出結果を無線送信させる制御
手順を送出することを特徴とする請求項1記載の検査装
置。
2. The control procedure sending means controls the circuit inspecting section of one integrated circuit section to inspect the quality of a circuit board pattern between at least two integrated circuits to control the circuit in one integrated circuit. The inspection unit sends out a control procedure for making a connection state between two circuit board patterns, and sends a control procedure for controlling the circuit inspection unit of the other integrated circuit to output the inspection signal to the connected circuit board pattern. Then, the inspection device according to claim 1, wherein a control procedure for wirelessly transmitting the detection result of the detection signal is transmitted.
【請求項3】 前記集積回路に電磁波を放射して前記集
積回路に駆動電力を非接触で供給する電力供給手段を備
えることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の検査
装置。
3. The inspection apparatus according to claim 1, further comprising a power supply unit that radiates an electromagnetic wave to the integrated circuit to supply driving power to the integrated circuit in a contactless manner.
【請求項4】 検査手順に従って各種機能を実現する回
路検査部を組み込んだ集積回路が実装され、前記集積回
路に動作電力及び動作制御手順情報を供給する検査装置
とで構成される検査システムにおいて、 前記集積回路の回路検査部は、集積回路に固有のID番
号を保持する保持手段と、無線送信される前記保持手段
で保持されているID番号で指定される回路の状態を検
査するための検査手順を受信して記録する検査手順記録
手段と、前記受信検査手順に従って回路パターン間の接
続/非接続を制御可能なスイッチング手段と、回路の状
態を検査するための検査信号を生成する信号生成手段
と、前記信号生成手段で生成した検査信号を前記受信検
査手順に従って回路パターンの所定部分に供給する供給
手段と、前記供給手段で供給した検査信号を前記回路パ
ターンの供給部位とは異なる他のパターン部分で検出し
て回路パターン間の状態を検査可能とする検出手段と、
前記検出手段による検出結果を無線送信する検出結果送
信手段とを備え、 前記検査装置は、前記集積回路の実装状態を基に作成し
た検査手順をID番号で実行させるべき集積回路と特定
して実行順に送信する検査手順送信手段と、前記検査手
順送信手段で送信した検査手順に従った検査結果を受信
する検査結果受信手段とを備え、 前記検査手順送信手段は、少なくとも2つの集積回路間
の回路基板パターンの良否を検査するために一方の集積
回路部の前記回路検査部に当該一方の集積回路内回路検
査部で2つの回路基板パターン間を接続状態とする検査
手順を送出し、他方の集積回路の前記回路検査部に接続
状態の回路基板パターンに前記検査信号を出力させる検
査手順を送出し、前記他方の集積回路の回路検査部に前
記検出信号の検出結果を無線送信させる検査手順を送信
することを特徴とする検査システム。
4. An inspection system comprising an integrated circuit in which a circuit inspection unit for realizing various functions according to an inspection procedure is installed, and an inspection device configured to supply operation power and operation control procedure information to the integrated circuit, The circuit inspection unit of the integrated circuit is an inspection device for inspecting a state of a holding unit that holds an ID number unique to the integrated circuit and a circuit designated by the ID number that is held by the holding unit that is wirelessly transmitted. Inspection procedure recording means for receiving and recording a procedure, switching means capable of controlling connection / disconnection between circuit patterns according to the reception inspection procedure, and signal generating means for generating an inspection signal for inspecting the state of the circuit Supply means for supplying the inspection signal generated by the signal generating means to a predetermined portion of the circuit pattern according to the reception inspection procedure, and the inspection signal supplied by the supplying means. A detecting means for enabling inspection of the state between the circuit pattern of the supply portion of the circuit pattern signal is detected by different other pattern portion,
A detection result transmitting unit that wirelessly transmits the detection result of the detection unit, and the inspection apparatus identifies and executes an inspection procedure created based on a mounting state of the integrated circuit as an integrated circuit to be executed by an ID number. An inspection procedure transmitting means for sequentially transmitting and an inspection result receiving means for receiving an inspection result according to the inspection procedure transmitted by the inspection procedure transmitting means, wherein the inspection procedure transmitting means is a circuit between at least two integrated circuits. In order to inspect the quality of the board pattern, the circuit inspecting section of one integrated circuit section sends out an inspecting procedure in which the circuit inspecting section in one integrated circuit establishes a connection state between two circuit board patterns, and the other is integrated. An inspection procedure for outputting the inspection signal to the circuit board pattern in the connected state is sent to the circuit inspection unit of the circuit, and the detection signal of the detection signal is connected to the circuit inspection unit of the other integrated circuit. Inspection system, characterized by the transmission of the inspection procedure to be wirelessly transmitted.
【請求項5】 検査装置より電磁波を放射して前記集積
回路に駆動電力を非接触で供給し、回路基板単独で検査
可能とすることを特徴とする請求項4記載の検査システ
ム。
5. The inspection system according to claim 4, wherein an electromagnetic wave is emitted from the inspection device to supply drive power to the integrated circuit in a non-contact manner so that the circuit board can be inspected independently.
【請求項6】 回路の状態を検査する回路検査部を組み
込んだ固有のID番号を有する集積回路が実装された回
路基板の検査方法であって、 前記回路基板に実装された集積回路の前記回路検査部に
前記ID番号で特定した検査制御手順を無線送出して集
積回路毎に個別の制御手順を実行させ、前記制御手順に
従った検査結果情報を前記集積回路の少なくとも1つよ
り受領し、受領した検査結果より回路基板の状態を検査
することを特徴とする回路基板の検査方法。
6. A method of inspecting a circuit board on which an integrated circuit having a unique ID number, which incorporates a circuit inspection unit for inspecting a circuit state, is mounted, wherein the circuit of the integrated circuit mounted on the circuit board is included. The inspection control procedure specified by the ID number is wirelessly transmitted to the inspection unit to execute an individual control procedure for each integrated circuit, and the inspection result information according to the control procedure is received from at least one of the integrated circuits, A method for inspecting a circuit board, which comprises inspecting the state of the circuit board based on the received inspection result.
【請求項7】 前記制御手順の送出は、 少なくとも2つの集積回路間の回路基板パターンの良否
を検査するために一方の集積回路部の前記回路検査部を
制御して当該一方の集積回路内回路検査部で2つの回路
基板パターン間を接続状態とする制御手順を送出し、他
方の集積回路の前記回路検査部を制御して接続状態の回
路基板パターンに前記検査信号を出力させる制御手順を
送出し、前記検出信号の検出結果を無線送信させる制御
手順を送出することを特徴とする請求項6記載の回路基
板の検査方法。
7. The control procedure is transmitted by controlling the circuit inspecting unit of one integrated circuit unit to inspect the quality of a circuit board pattern between at least two integrated circuits, and controlling the circuit in the one integrated circuit. The inspection unit sends out a control procedure for making a connection state between two circuit board patterns, and sends a control procedure for controlling the circuit inspection unit of the other integrated circuit to output the inspection signal to the connected circuit board pattern. 7. The method of inspecting a circuit board according to claim 6, further comprising transmitting a control procedure for wirelessly transmitting the detection result of the detection signal.
【請求項8】 検査装置より電磁波を放射して前記集積
回路に駆動電力を非接触で供給し、回路基板単独で検査
可能とすることを特徴とする請求項6又は請求項7記載
の回路基板の検査方法。
8. The circuit board according to claim 6 or 7, wherein electromagnetic waves are radiated from the inspection device to supply drive power to the integrated circuit in a non-contact manner so that the circuit board alone can inspect. Inspection method.
【請求項9】 検査手順に従って各種機能を実現する回
路検査部を組み込んだ集積回路が実装され、前記集積回
路に動作電力及び動作制御手順情報を供給する検査装置
とで構成される検査システムへの格納コンピュータプロ
グラムであって、 前記集積回路の回路検査部は、回路の状態を検査するた
めの検査信号を生成する信号生成手段を有し、保持され
ている集積回路に固有のID番号で指定される回路の状
態を検査するための検査手順を受信して記録する検査手
順記録プログラム列と、前記受信検査手順に従って回路
パターン間の接続/非接続を制御するスイッチングプロ
グラム列と、前記信号生成手段で生成した検査信号を前
記受信検査手順に従って回路パターンの所定部分への供
給制御を行う供給プログラム列と、前記供給プログラム
列により供給される検査信号を前記回路パターンの供給
部位とは異なる他のパターン部分で検出して回路パター
ン間の状態を検査させる検出プログラム列と、前記検出
プログラム列による検出結果を無線送信する検出結果送
信プログラム列とを備え、 前記検査装置は、前記集積回路の実装状態を基に作成し
た検査手順をID番号で実行させるべき集積回路を特定
して実行順に送信する検査手順送信プログラム列と、前
記検査手順送信プログラム列で送信した検査手順に従っ
た検査結果を受信する検査結果受信プログラム列とを備
え、 前記検査手順送信プログラム列は、少なくとも2つの集
積回路間の回路基板パターンの良否を検査するために一
方の集積回路部の前記回路検査部に当該一方の集積回路
内回路検査部で2つの回路基板パターン間を接続状態と
する検査手順を送出し、他方の集積回路の前記回路検査
部に接続状態の回路基板パターンに前記検査信号を出力
させる検査手順を送出し、前記他方の集積回路の回路検
査部に前記検出信号の検出結果を無線送信させる検査手
順を送信することを特徴とする検査システムへの格納コ
ンピュータプログラム。
9. An inspection system comprising an integrated circuit in which a circuit inspection unit for realizing various functions according to an inspection procedure is mounted and which is provided with an inspection device for supplying operating power and operation control procedure information to the integrated circuit. A stored computer program, wherein the circuit inspection unit of the integrated circuit has signal generation means for generating an inspection signal for inspecting the state of the circuit, and is designated by an ID number unique to the held integrated circuit. An inspection procedure recording program sequence for receiving and recording an inspection procedure for inspecting the state of a circuit, a switching program sequence for controlling connection / disconnection between circuit patterns according to the reception inspection procedure, and the signal generation means. A supply program sequence for controlling the supply of the generated inspection signal to a predetermined portion of the circuit pattern according to the reception inspection procedure, and the supply program. A detection program sequence for detecting the inspection signal supplied by the other pattern portion different from the supply part of the circuit pattern to inspect the state between the circuit patterns, and a detection result for wirelessly transmitting the detection result by the detection program sequence. A transmission program sequence, wherein the inspection apparatus identifies an integrated circuit to execute an inspection procedure created based on a mounting state of the integrated circuit by an ID number and transmits the inspection procedure transmission program sequence; An inspection result reception program sequence for receiving inspection results according to the inspection procedure transmitted by the inspection procedure transmission program sequence, wherein the inspection procedure transmission program sequence inspects the quality of the circuit board pattern between at least two integrated circuits. In order to prevent the circuit inspecting section of one integrated circuit section from intervening between two circuit board patterns in the circuit inspecting section of the one integrated circuit. A test procedure for sending a connection state is sent, a test procedure for outputting the test signal to the circuit board pattern in the connected state is sent to the circuit test section of the other integrated circuit, and the test procedure is sent to the circuit test section of the other integrated circuit. A computer program stored in an inspection system, which transmits an inspection procedure for wirelessly transmitting a detection result of a detection signal.
【請求項10】 請求項6乃至請求項9のいずれかに記
載の機能を実現するコンピュータプログラムを記録する
ことを特徴とするコンピュータ可読記録媒体。
10. A computer-readable recording medium on which a computer program for realizing the functions according to claim 6 is recorded.
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