JP2003049092A - Filler, resin composition, and application thereof - Google Patents

Filler, resin composition, and application thereof

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JP2003049092A
JP2003049092A JP2001237011A JP2001237011A JP2003049092A JP 2003049092 A JP2003049092 A JP 2003049092A JP 2001237011 A JP2001237011 A JP 2001237011A JP 2001237011 A JP2001237011 A JP 2001237011A JP 2003049092 A JP2003049092 A JP 2003049092A
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JP
Japan
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resin
filler
coupling agent
silane coupling
amino group
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JP2001237011A
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Hiroyuki Kuritani
弘之 栗谷
Masanori Yamaguchi
正憲 山口
Yasushi Shimada
靖 島田
Kazuhisa Otsuka
和久 大塚
Yoshitake Hirata
善毅 平田
Kazunori Yamamoto
和徳 山本
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a filler of high dielectric permittivity having good dispersibility, to provide a method for producing the same, to obtain a resin composition compounded with the filler of high dielectric permittivity having the good dispersibility, to obtain a resin varnish compounded with the filler, to provide an electronic part obtained by using the same, and to provide a method for producing the electronic part. SOLUTION: The filler comprises a barium titanate power the surfaces of which are treated with a silane coupling agent having a primary amino group. The surfaces of the powder are preferably treated with the silane coupling agent having the primary amino group in the presence of an organic acid. The resin composition to which the filler is added is used for forming an insulating layer of a circuit board, or the like.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表面処理された充
填剤、それを含む樹脂組成物とそのワニス、この樹脂組
成物を用いた配線板、樹脂フィルム、半導体パッケー
ジ、半導体パッケージ搭載配線板および配線板用材料、
ならびにそれらの製造法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface-treated filler, a resin composition containing the same, and a varnish thereof, a wiring board using the resin composition, a resin film, a semiconductor package, a wiring board mounted with a semiconductor package, and Wiring board material,
And their manufacturing methods.

【0002】[0002]

【従来の技術】配線板への各種部品の高密度実装化の要
請から配線板の多層化が進み、さらにその内層に回路要
素(コイル:L、コンデンサ:C、抵抗:R)を形成し
た多層板の利用が高まっている。そこで、絶縁層を形成
する樹脂層として、高速信号処理に係る回路部には低誘
電率樹脂層が、コンデンサに対応する層には高誘電率樹
脂層が用いられるなど、樹脂材料の機能化が検討されて
いる。高誘電率樹脂層を形成するためには、高誘電率樹
脂材料の選択の他、チタン酸バリウム等の高誘電率の無
機充填剤を配合することが行われている。
2. Description of the Related Art Due to the demand for high-density mounting of various parts on a wiring board, the wiring board has become multi-layered, and circuit layers (coil: L, capacitor: C, resistance: R) are formed in the inner layer. The use of boards is increasing. Therefore, as a resin layer forming an insulating layer, a low dielectric constant resin layer is used for a circuit section related to high-speed signal processing, and a high dielectric constant resin layer is used for a layer corresponding to a capacitor. Is being considered. In order to form the high dielectric constant resin layer, in addition to selection of the high dielectric constant resin material, an inorganic filler having a high dielectric constant such as barium titanate is blended.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、そのような高
誘電率充填剤を配合する場合、充填剤の分散性が悪く、
樹脂ワニス中等で凝集してしまうことから、多量に配合
させることができず、目的とする高誘電率を達成できな
いという問題があった。上記に鑑み、本発明は、分散性
が良好な高誘電率充填剤とその製造法を提供することを
目的とする。別の本発明は、分散性が良好な高誘電率充
填剤が配合された樹脂組成物と樹脂ワニス、および、そ
れらを利用した電子部品用材料とその製造法を提供する
ことを目的とする。
However, when such a high dielectric constant filler is blended, the dispersibility of the filler is poor and
Since the resin varnish aggregates, it cannot be blended in a large amount, and there is a problem that the target high dielectric constant cannot be achieved. In view of the above, it is an object of the present invention to provide a high dielectric constant filler having good dispersibility and a method for producing the same. Another object of the present invention is to provide a resin composition and a resin varnish in which a high-dielectric-constant filler having good dispersibility is blended, an electronic component material using the same, and a method for producing the same.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る充填剤は、チタン酸バリウム粉体粒子
の表面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤に
より処理されてなるものである。このように、一級アミ
ノ基を有するシランカップリング剤を用いることによ
り、他のカップリング剤に比べ、カップリング剤による
チタン酸バリウム粉体粒子の表面被覆効果を向上させる
ことができる。そして、このように粒子表面が被覆され
ていることにより、液状樹脂中または樹脂ワニス中で凝
集しにくくなって、チタン酸バリウム粉体の分散性が向
上する。
To achieve the above object, the filler according to the present invention is obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. . As described above, by using the silane coupling agent having a primary amino group, the surface coating effect of the barium titanate powder particles by the coupling agent can be improved as compared with other coupling agents. By coating the particle surfaces in this way, it is difficult for the particles to aggregate in the liquid resin or the resin varnish, and the dispersibility of the barium titanate powder is improved.

【0005】別の本発明に係る充填剤は、チタン酸バリ
ウム粉体粒子の表面が、有機酸の存在下、一級アミノ基
を有するシランカップリング剤により処理されてなるも
のである。表面処理が有機酸の存在下で行われることに
より、有機酸が反応触媒として作用するため、処理時間
を短縮して効率よく分散性の高い充填剤を提供すること
ができる。
Another filler according to the present invention is obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group in the presence of an organic acid. When the surface treatment is performed in the presence of an organic acid, the organic acid acts as a reaction catalyst, so that the treatment time can be shortened and a highly dispersible filler can be efficiently provided.

【0006】本発明に係る表面処理された充填剤の製造
法は、一級アミノ基を有するシランカップリング剤を有
機溶剤に分散または溶解させた処理液とチタン酸バリウ
ム粉体とを接触させて表面処理を行うものである。この
ように、有機溶剤を用いた湿式法で行うことにより、効
率よく表面処理効果が高い充填剤を得ることができる。
さらに、この処理を反応触媒としての有機酸の存在下で
行うことにより、処理時間を短縮して効率よく表面処理
を行うことができると共に、有機酸は有機溶剤に溶解す
るので、表面処理後の触媒の除去が容易であるという利
点がある。仮に触媒としての酸やアルカリが充填剤に残
存してしまうと、これを用いて樹脂絶縁層等を形成した
際に、絶縁性が悪くなってしまうからである。
The method for producing a surface-treated filler according to the present invention is a method in which a treatment liquid in which a silane coupling agent having a primary amino group is dispersed or dissolved in an organic solvent is contacted with barium titanate powder and the surface is treated. The processing is performed. As described above, by performing the wet method using an organic solvent, it is possible to efficiently obtain a filler having a high surface treatment effect.
Furthermore, by performing this treatment in the presence of an organic acid as a reaction catalyst, the treatment time can be shortened and the surface treatment can be efficiently performed, and since the organic acid dissolves in an organic solvent, There is an advantage that the catalyst can be easily removed. This is because if acid or alkali as a catalyst remains in the filler, the insulating property will deteriorate when the resin insulating layer or the like is formed using the filler.

【0007】本発明に係る樹脂組成物は、樹脂と、上記
の本発明に係る充填剤とを含むものである。そして、本
発明に係る樹脂ワニスは、樹脂と、本発明に係る充填剤
と、溶剤とを含むものである。このように、本発明の充
填剤を用いることにより、本発明の樹脂組成物または樹
脂ワニスには、この高誘電率充填剤を従来に比べて多量
に配合することができる。そして、それらを用いて、充
填剤が均一に分散され電気特性が均一化された樹脂層を
形成することができ、また、所望の高誘電率を有する絶
縁層の提供等が可能となる。
The resin composition according to the present invention comprises a resin and the above-mentioned filler according to the present invention. The resin varnish according to the present invention contains a resin, the filler according to the present invention, and a solvent. As described above, by using the filler of the present invention, the resin composition or resin varnish of the present invention can be blended with a large amount of this high dielectric constant filler as compared with the conventional one. Then, by using them, it is possible to form a resin layer in which the filler is uniformly dispersed and electric characteristics are made uniform, and it is possible to provide an insulating layer having a desired high dielectric constant.

【0008】本発明に係る樹脂フィルムは、上記の本発
明に係る樹脂組成物からなるものである。したがって、
任意の量の高誘電率充填剤が均一に分散され所望とする
任意の誘電率を有するフィルムが得られ、各種電子部品
用の絶縁フィルム、接着フィルム、または配線板用のプ
リプレグ等として好適に使用できる。
The resin film according to the present invention comprises the above resin composition according to the present invention. Therefore,
A film having any desired dielectric constant can be obtained by uniformly dispersing an arbitrary amount of high-dielectric-constant filler, and is suitably used as an insulating film for various electronic components, an adhesive film, or a prepreg for wiring boards. it can.

【0009】本発明に係る配線板は、絶縁層と配線導体
とを含み、その絶縁層が樹脂と、チタン酸バリウム粉体
粒子の表面が一級アミノ基を有するシランカップリング
剤により処理されてなる充填剤とを含む樹脂組成物から
なるものである。すなわち、絶縁層が本発明の樹脂組成
物から構成されているので、その組成を調整することに
より、容易に、用途に応じた誘電率を有する絶縁層とす
ることができる。たとえばこの絶縁層をコンデンサに対
応する樹脂層に用いることにより、安定した電源電圧の
供給が可能な様々な容量のコンデンサを備えた、機能性
の高いコンデンサ内蔵の多層配線板等を提供でき、別途
容量素子を多数実装する必要がなくなるので、実装され
る回路素子の数を減らして電子部品の更なる小型化を図
ることが可能となる。さらに、インピーダンス整合の点
から、配線幅を小さくすることができ、アンテナ、スタ
ブ等の共振回路ではライン長を短くできるので、小型化
が可能となる。本発明の配線板は、半導体パッケージ用
の半導体搭載用基板としても、好適に用いることができ
る。また、配線板の構造は、単層であっても多層であっ
てもよい。
The wiring board according to the present invention comprises an insulating layer and a wiring conductor, and the insulating layer is treated with a resin and the surface of the barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. It is composed of a resin composition containing a filler. That is, since the insulating layer is composed of the resin composition of the present invention, it is possible to easily form an insulating layer having a dielectric constant depending on the application by adjusting the composition. For example, by using this insulating layer as a resin layer corresponding to a capacitor, it is possible to provide a multilayer wiring board with a highly functional capacitor that has capacitors of various capacities that can supply a stable power supply voltage. Since it is not necessary to mount a large number of capacitive elements, it is possible to reduce the number of circuit elements to be mounted and further reduce the size of electronic components. Further, from the viewpoint of impedance matching, the wiring width can be reduced, and the line length can be shortened in a resonance circuit such as an antenna and a stub, which enables miniaturization. The wiring board of the present invention can be suitably used as a semiconductor mounting substrate for a semiconductor package. The structure of the wiring board may be a single layer or a multilayer.

【0010】本発明に係る配線板の製造法は、(1)樹
脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ基
を有するシランカップリング剤により処理されてなる充
填剤とを含む樹脂組成物からなる第1絶縁層を形成する
工程と、(2)前記第1絶縁層に第1配線導体を形成す
る工程と、を含むものである。また、さらに(3)前記
第1配線導体に第2絶縁層を形成する工程と、(4)前
記第2絶縁層に第2配線導体を形成する工程と、を含む
ことにより、多層の配線板を製造することができる。第
2絶縁層の形成にも、本発明の樹脂組成物を好ましく用
いることができる。
The method for producing a wiring board according to the present invention comprises (1) a resin composition containing a resin and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. It includes a step of forming a first insulating layer made of a material, and (2) a step of forming a first wiring conductor in the first insulating layer. In addition, by further including (3) a step of forming a second insulating layer on the first wiring conductor and (4) a step of forming a second wiring conductor on the second insulating layer, a multilayer wiring board Can be manufactured. The resin composition of the present invention can also be preferably used for forming the second insulating layer.

【0011】本発明に係る半導体パッケージは、半導体
搭載用基板と半導体搭載用基板に搭載された半導体チッ
プとが封止用樹脂により封止されてなり、前記半導体搭
載用基板が、本発明の配線板からなるものである。ま
た、別の本発明に係る半導体パッケージは、封止用樹脂
が本発明の樹脂組成物からなるものである。
In a semiconductor package according to the present invention, a semiconductor mounting substrate and a semiconductor chip mounted on the semiconductor mounting substrate are sealed with a sealing resin, and the semiconductor mounting substrate is the wiring of the present invention. It consists of plates. Further, in another semiconductor package according to the present invention, the sealing resin comprises the resin composition of the present invention.

【0012】本発明に係る半導体パッケージの製造法
は、(1)半導体搭載用基板に半導体チップを搭載する
工程と、(2)本発明に係る樹脂組成物により前記半導
体搭載用基板と半導体チップとを封止する工程と、を含
むものである。また、別の本発明に係る半導体パッケー
ジの製造法は、樹脂ワニスを用いるものであり、(1)
半導体搭載用基板に半導体チップを搭載する工程と、
(2)本発明に係る樹脂ワニスにより前記半導体搭載用
基板と半導体チップとを封止する工程と、(3)ワニス
中の溶剤を除去する工程と、を含むものである。
The method of manufacturing a semiconductor package according to the present invention includes (1) a step of mounting a semiconductor chip on a semiconductor mounting substrate, and (2) the semiconductor mounting substrate and the semiconductor chip with the resin composition according to the present invention. And a step of sealing. Another method of manufacturing a semiconductor package according to the present invention uses a resin varnish.
A process of mounting a semiconductor chip on a semiconductor mounting substrate,
(2) The step of sealing the semiconductor mounting substrate and the semiconductor chip with the resin varnish according to the present invention, and (3) the step of removing the solvent in the varnish.

【0013】本発明に係る半導体パッケージ搭載配線板
は、本発明に係る配線板に半パッケージが搭載されてな
るものである。また、別の本発明に係る半導体パッケー
ジ搭載配線板は、配線板に本発明に係る半導体パッケー
ジが搭載されてなるものである。また、両者を組み合わ
せた、本発明に係る配線板に本発明に係る半導体パッケ
ージが搭載されてなる半導体パッケージ搭載配線板、と
することも好ましい。
The semiconductor package mounting wiring board according to the present invention is a wiring board according to the present invention in which a half package is mounted. Further, another semiconductor package mounting wiring board according to the present invention is one in which the semiconductor package according to the present invention is mounted on a wiring board. In addition, it is also preferable to use a wiring board according to the present invention, which is a combination of the both, as a semiconductor package mounting wiring board in which the semiconductor package according to the present invention is mounted.

【0014】本発明に係る配線板用材料は、樹脂層とキ
ャリアフィルムとを含み、前記樹脂層が本発明に係る樹
脂組成物からなることを特徴とするものである。
The wiring board material according to the present invention is characterized in that it comprises a resin layer and a carrier film, and the resin layer comprises the resin composition according to the present invention.

【0015】本発明に係る配線板用材料の製造法は、
(1)キャリアフィルムに対し、本発明に係る樹脂ワニ
スを塗布する工程と、(2)ワニス中の溶剤を除去する
工程と、を含むものである。
The method of manufacturing a wiring board material according to the present invention is as follows.
(1) The step of applying the resin varnish according to the present invention to the carrier film, and (2) the step of removing the solvent in the varnish are included.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明に係る充填剤は、チタン酸
バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ基を有するシラン
カップリング剤により処理されてなるものである。この
ように表面処理されていることにより、樹脂組成物への
充填剤配合量を高めることができる。また、ポリオール
をジイソシアネートで硬化する樹脂系では、チタン酸バ
リウムの作用により1〜2時間でゲル化してしまうが、
チタン酸バリウム粒子を表面被覆することにより、7日
間以上もゲル化が抑制され、樹脂組成物のライフ(保存
期間)を飛躍的に高めることができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The filler according to the present invention is obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. By such surface treatment, the amount of the filler compounded in the resin composition can be increased. In addition, in a resin system in which a polyol is cured with diisocyanate, the action of barium titanate causes gelation in 1 to 2 hours.
By coating the surface of the barium titanate particles, gelation is suppressed even for 7 days or longer, and the life (storage period) of the resin composition can be dramatically increased.

【0017】用いられるチタン酸バリウムは、液相法、
固相法、アルコキシド法等のいずれの方法で製造された
ものでもよく、その結晶構造も特に限定されることはな
い。充填剤の形状については、粒状、不定形、フレーク
状など任意のものを任意の組み合わせで用いることがで
きる。また、粒度分布の均一なものを用いることが好ま
しく、その粒径(平均粒径)は、0.1〜20μm程度
であることが好ましく、0.5〜10μm程度であるこ
とが一層好ましい。
The barium titanate used is a liquid phase method,
It may be produced by any method such as a solid phase method and an alkoxide method, and its crystal structure is not particularly limited. Regarding the shape of the filler, any shape such as granular shape, amorphous shape, and flake shape can be used in any combination. Further, it is preferable to use one having a uniform particle size distribution, and the particle size (average particle size) thereof is preferably about 0.1 to 20 μm, and more preferably about 0.5 to 10 μm.

【0018】一級アミノ基を有するシランカップリング
剤は、末端に一級アミノ基を有するものであり、具体的
には、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ア
ミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエ
チル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−
β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキ
シシラン等が挙げられる。これらを単独で用いてもよい
し、複数種を組み合わせて使用してもよい。
The silane coupling agent having a primary amino group is a silane coupling agent having a primary amino group at the terminal, specifically, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (Aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-
β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltriethoxysilane and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

【0019】この充填剤は、好ましくは、一級アミノ基
を有するシランカップリング剤を有機溶剤に分散または
溶解させた処理液を用意し、この処理液にチタン酸バリ
ウム粉体を接触させる方法により製造することができ
る。このシランカップリング剤を分散または溶解させる
ために用いられる有機溶剤(分散媒)としては、たとえ
ば、乾燥速度の観点から、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン等を好ましく用いることができる。一
級アミノ基を有するシランカップリング剤は、被覆効率
の観点から、チタン酸バリウム粉体の全表面を被覆する
のに必要な量の1.5〜3倍量程度を有機溶媒中に溶解
または分散させることが好ましい。
This filler is preferably produced by a method in which a silane coupling agent having a primary amino group is dispersed or dissolved in an organic solvent and a barium titanate powder is brought into contact with the treatment solution. can do. As the organic solvent (dispersion medium) used to disperse or dissolve the silane coupling agent, for example, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and the like can be preferably used from the viewpoint of the drying rate. The silane coupling agent having a primary amino group is dissolved or dispersed in an organic solvent in an amount of about 1.5 to 3 times the amount required to cover the entire surface of the barium titanate powder from the viewpoint of coating efficiency. Preferably.

【0020】一級アミノ基を有するシランカップリング
剤とチタン酸バリウム粉体粒子との接触方法は、特に限
定されず、処理液中に充填剤を投入、撹拌した後、濾別
し、充填剤を乾燥させる方法、充填剤上に処理液を噴霧
または注ぐなどした後、充填剤を乾燥させる方法等が挙
げられる。その際の温度、時間については、コストや安
全性の観点から、室温乃至溶媒の沸点程度の温度で、3
0分〜8時間程度であることが好ましい。また、撹拌・
混合には、プロペラ攪拌機、ニーダー、ミキサー、ビー
ズミル、振とう器等を用いることができる。
The method of contacting the silane coupling agent having a primary amino group with the barium titanate powder particles is not particularly limited, and the filler is put into the treatment liquid, stirred, and then filtered to remove the filler. Examples thereof include a method of drying and a method of drying the filler after spraying or pouring the treatment liquid on the filler. Regarding the temperature and time at that time, from the viewpoint of cost and safety, the temperature is from room temperature to the boiling point of the solvent, 3
It is preferably about 0 minutes to 8 hours. Also, stirring
A propeller stirrer, a kneader, a mixer, a bead mill, a shaker, etc. can be used for mixing.

【0021】上記の接触処理は、有機酸の存在下で行わ
れることが好ましい。それにより、処理時間を著しく短
縮することができるからである。有機酸としては、たと
えば、p−トルエンスルホン酸、サリチル酸、フェノー
ル、クレゾール、酢酸等が挙げられ、なかでも、活性と
安全性の観点から、p−トルエンスルホン酸を用いるこ
とが好ましい。また、有機酸は、分散媒に溶解するもの
であることが好ましく、溶解性の観点から両者の組合せ
を選択することが好ましい。これらの有機酸の配合量
は、一級アミノ基を有するシランカップリング剤100
重量部に対して10〜20重量部であることが好まし
い。
The above contact treatment is preferably carried out in the presence of an organic acid. This is because the processing time can be significantly shortened. Examples of the organic acid include p-toluenesulfonic acid, salicylic acid, phenol, cresol, acetic acid and the like. Among them, p-toluenesulfonic acid is preferably used from the viewpoint of activity and safety. The organic acid is preferably one that dissolves in the dispersion medium, and a combination of the two is preferably selected from the viewpoint of solubility. The blending amount of these organic acids is 100 silane coupling agent having a primary amino group.
It is preferably 10 to 20 parts by weight with respect to parts by weight.

【0022】上記のようにして、有機酸の存在下で処理
を行うことにより、別の本発明に係る充填剤、すなわ
ち、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が、有機酸の存在
下、一級アミノ基を有するシランカップリング剤により
処理されてなる充填剤を得ることができる。
By carrying out the treatment in the presence of an organic acid as described above, the surface of another filler according to the present invention, that is, barium titanate powder particles, is treated in the presence of an organic acid with a primary amino group. It is possible to obtain a filler that is treated with a silane coupling agent having a group.

【0023】次に、本発明に係る樹脂組成物は、樹脂
(ベース樹脂)と、上記本発明の充填剤とを含むもので
ある。樹脂としては、組成物の用途に応じ、適切な熱硬
化性樹脂または熱可塑性樹脂の1種以上を用いることが
でき、なかでも熱硬化性樹脂を好ましく用いることがで
きる。具体的には、従来からガラスクロス基材に含浸さ
せて用いられている熱硬化性樹脂が好ましく、たとえ
ば、エポキシ樹脂、ビストリアジン樹脂、ポリイミド樹
脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ケイ素樹脂、不飽
和ポリエステル樹脂、シアン酸エステル樹脂、イソシア
ネート樹脂、またはこれらの変性樹脂等を使用すること
ができる。なかでも、積層板の特性を向上させる上で、
特にエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、またはビストリア
ジン樹脂は好適である。
Next, the resin composition according to the present invention contains a resin (base resin) and the above-mentioned filler of the present invention. As the resin, one or more kinds of suitable thermosetting resins or thermoplastic resins can be used depending on the use of the composition, and among them, thermosetting resins can be preferably used. Specifically, a thermosetting resin that has been conventionally used by impregnating a glass cloth base material is preferable, and examples thereof include epoxy resin, bistriazine resin, polyimide resin, phenol resin, melamine resin, silicon resin, unsaturated polyester. Resins, cyanate ester resins, isocyanate resins, or modified resins thereof can be used. Above all, in improving the characteristics of the laminated plate,
In particular, epoxy resin, polyimide resin, or bistriazine resin is suitable.

【0024】さらには、エポキシ樹脂としては、分子内
にエポキシ基を有するものであればどのようなものでも
よく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノー
ルF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹
脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラッ
ク型エポキシ樹脂、サリチルアルデヒドノボラック型エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキ
シ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイ
ン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、
脂肪族環状エポキシ樹脂、ならびにこれらのアルキル置
換体、ハロゲン化物、水素添加物、等から選択された1
種以上のものを使用することができる。なかでも、ビス
フェノールAノボラック型エポキシ樹脂と、サリチルア
ルデヒドノボラック型エポキシ樹脂は、耐熱性に優れ好
ましい。
Further, any epoxy resin may be used as long as it has an epoxy group in its molecule, such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type. Epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, salicylaldehyde novolac type epoxy resin, bisphenol F novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, hydantoin type Epoxy resin, isocyanurate type epoxy resin,
1 selected from aliphatic cyclic epoxy resins, and their alkyl substitution products, halides, hydrogenated products, etc.
More than one can be used. Among them, bisphenol A novolac type epoxy resin and salicylaldehyde novolac type epoxy resin are preferable because they have excellent heat resistance.

【0025】このような樹脂の硬化剤としては、それぞ
れの樹脂に対し従来使用しているものが使用できる。樹
脂がエポキシ樹脂の場合、たとえば、ジシアンジアミ
ド、ビスフェノールA,ビスフェノールF、ポリビニル
フェノール、ノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラ
ック樹脂、ならびにこれらのフェノール樹脂のハロゲン
化物等の1種以上を使用できる。なかでも、ビスフェノ
ールAノボラック樹脂は、耐熱性に優れ好ましい。
As the curing agent for such a resin, those conventionally used for each resin can be used. When the resin is an epoxy resin, for example, one or more of dicyandiamide, bisphenol A, bisphenol F, polyvinyl phenol, novolac resin, bisphenol A novolac resin, and halides of these phenol resins can be used. Among them, bisphenol A novolac resin is preferable because it has excellent heat resistance.

【0026】硬化剤の配合量は、硬化反応を進行させる
ことができれば、特に限定されることはない。たとえば
エポキシ樹脂の場合は、好ましくは、エポキシ基1モル
に対して、0.01〜5.0当量の範囲で、特に好まし
くは0.8〜1.2当量の範囲で使用でき、また、樹脂
100重量部に対しては、2〜100重量部の範囲が好
ましく、さらには、ジシアンジアミドでは、2〜5重量
部、それ以外の硬化剤では、30〜80重量部の範囲が
好ましい。
The compounding amount of the curing agent is not particularly limited as long as the curing reaction can proceed. For example, in the case of an epoxy resin, it can be used preferably in the range of 0.01 to 5.0 equivalents, particularly preferably in the range of 0.8 to 1.2 equivalents, based on 1 mol of the epoxy group. A range of 2 to 100 parts by weight is preferable with respect to 100 parts by weight, and further, a range of 2 to 5 parts by weight is preferable for dicyandiamide and a range of 30 to 80 parts by weight is preferable for other curing agents.

【0027】さらに、樹脂組成物には、硬化促進剤を用
いることができ、樹脂がエポキシ樹脂の場合、イミダゾ
ール化合物、有機リン化合物、第3級アミン、第4級ア
ンモニウム塩等を用いることができる。硬化促進剤の樹
脂に対する割合は、従来使用している割合でよく、樹脂
100重量部に対して、0.01〜20重量部の範囲が
好ましく、0.1〜1.0の範囲がより好ましい。
Further, a curing accelerator can be used in the resin composition, and when the resin is an epoxy resin, an imidazole compound, an organic phosphorus compound, a tertiary amine, a quaternary ammonium salt or the like can be used. . The ratio of the curing accelerator to the resin may be a conventionally used ratio, preferably 0.01 to 20 parts by weight, more preferably 0.1 to 1.0 part by weight, based on 100 parts by weight of the resin. .

【0028】熱硬化性樹脂の硬化反応は、反応が進行す
るのであればどのような温度で行ってもよいが、一般に
は室温乃至250℃の範囲で硬化させることが好まし
い。また、この硬化反応は、加圧下、大気圧下または減
圧下で行うことができる。
The curing reaction of the thermosetting resin may be carried out at any temperature as long as the reaction proceeds, but it is generally preferable to cure it at room temperature to 250 ° C. Further, this curing reaction can be performed under pressure, atmospheric pressure or reduced pressure.

【0029】熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレンや、4−メチルペンテン−1樹脂、ポリブ
テン−1樹脂および高圧法エチレンコポリマーなどのポ
リオレフィン樹脂、スチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリアク
リロニトリル、ポリアクリル酸系プラスチック、ジエン
系プラスチック、ポリアミド、ポリエステル、ポリカー
ボネート、ポリアセタール、フッ素系樹脂、ポリウレタ
ン系プラスチック、および、ポリスチレン系熱可塑性エ
ラストマー、ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー、
ポリウレタン系熱可塑性エラストマーなどが例示でき、
これらを単独で、または2種以上を混合して用いること
ができる。
As the thermoplastic resin, polyethylene, polypropylene, polyolefin resin such as 4-methylpentene-1 resin, polybutene-1 resin and high-pressure ethylene copolymer, styrene resin, polyvinyl chloride,
Polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyacrylonitrile, polyacrylic acid-based plastic, diene-based plastic, polyamide, polyester, polycarbonate, polyacetal, fluororesin, polyurethane-based plastic, and polystyrene-based thermoplastic elastomer, polyolefin-based thermoplastic elastomer,
Examples include polyurethane-based thermoplastic elastomers,
These may be used alone or in combination of two or more.

【0030】本発明の充填剤の樹脂に対する配合量は、
求められる誘電率に応じて適宜設定すればよいが、成形
性等の観点から、樹脂100重量部に対し100〜10
00部含まれていることが好ましく、200〜500重
量部の範囲がさらに好ましい。このように、本発明にお
いては、従来に比べて約2倍以上も多量の高誘電率充填
剤を配合することが可能となり、得られる樹脂層に対し
目的とする高〜低誘電率を与えることができる。たとえ
ば、大容量、中容量、小容量の各コンデンサ用途の場合
には、樹脂組成物の硬化後の比誘電率は、それぞれ順
に、50、20、10(常温、1MHz)以上であるこ
とが好ましい。
The blending amount of the filler of the present invention with respect to the resin is
It may be appropriately set depending on the required dielectric constant, but from the viewpoint of moldability and the like, 100 to 10 parts by weight of the resin is used.
It is preferably contained in an amount of 00 parts, and more preferably in the range of 200 to 500 parts by weight. As described above, in the present invention, it is possible to mix a large amount of high-dielectric-constant filler about twice or more as compared with the conventional one, and to give a desired high to low dielectric constant to the obtained resin layer. You can For example, in the case of using each of large-capacity, medium-capacity, and small-capacity capacitors, the relative permittivity of the resin composition after curing is preferably 50, 20, 10 (normal temperature, 1 MHz) or higher, respectively. .

【0031】この樹脂組成物は、好ましい実施形態にお
いて、その他の任意の成分(添加剤)を含んでいてもよ
い。また、その追加の成分は、上記の本発明の充填剤以
外の充填剤、たとえば、表面処理されていないチタン酸
バリウム、チタン酸バリウム以外の高誘電率充填剤(チ
タン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸
鉛、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、スズ
酸バリウム、スズ酸カルシウム等)、あるいは、高誘電
率ではない充填剤(シリカ、アルミナ、二酸化チタン、
ジルコニア、ムライト、コージライト、マグネシア、ク
レー、タルク、硫酸バリウム等)の1種以上であっても
よい。
In a preferred embodiment, this resin composition may contain other optional components (additives). Further, the additional component is a filler other than the filler of the present invention, for example, barium titanate not surface-treated, high dielectric constant filler other than barium titanate (strontium titanate, calcium titanate, Lead titanate, barium zirconate, calcium zirconate, barium stannate, calcium stannate, etc., or fillers that do not have a high dielectric constant (silica, alumina, titanium dioxide,
Zirconia, mullite, cordierite, magnesia, clay, talc, barium sulfate, etc.).

【0032】その他の成分として、たとえば、異種材料
間、特に銅箔との界面接合を良好にするために、カップ
リング剤を配合することもできる。カップリング剤とし
ては、シランカップリング剤が好ましい。このようなシ
ランカップリング剤には、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキ
シシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ
−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、N−β−アミ
ノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等が
使用できる。カップリング剤の配合量は、樹脂100重
量部に対し0.05〜10重量部であることが好まし
く、さらには、0.1〜2重量部であることがより好ま
しい。
As other components, for example, a coupling agent may be blended in order to improve the interfacial bonding between different materials, particularly with a copper foil. A silane coupling agent is preferable as the coupling agent. Such silane coupling agents include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ
-Ureidopropyltriethoxysilane, N-β-aminoethyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane and the like can be used. The amount of the coupling agent blended is preferably 0.05 to 10 parts by weight, and more preferably 0.1 to 2 parts by weight, based on 100 parts by weight of the resin.

【0033】また、本発明の樹脂組成物をプリプレグと
して用いる場合などには、セラミック系ウイスカーを加
えることができる。このようなセラミック系ウィスカー
は、配線板材料あるいは配線板として用いたときに充分
な剛性を付与する観点から、弾性率が200GPa以上
であることが好ましい。たとえば、ホウ酸アルミニウ
ム、ウォラストナイト、チタン酸カリウム、塩基性硫酸
マグネシウム、窒化けい素、およびα−アルミナの中か
ら選ばれた1種以上を用いることができる。
When the resin composition of the present invention is used as a prepreg, a ceramic type whisker can be added. Such a ceramic whisker preferably has an elastic modulus of 200 GPa or more from the viewpoint of providing sufficient rigidity when used as a wiring board material or a wiring board. For example, one or more selected from aluminum borate, wollastonite, potassium titanate, basic magnesium sulfate, silicon nitride, and α-alumina can be used.

【0034】さらに樹脂組成物には、触媒、エラスト
マ、難燃剤、離型剤、接着性付与剤、応力緩和剤、着色
剤等の通常用いられる添加剤を任意に適量配合すること
もできる。吸湿時の絶縁信頼性をよくするために、イオ
ン補足剤を配合してもよい。
Further, the resin composition may optionally contain an appropriate amount of commonly used additives such as a catalyst, an elastomer, a flame retardant, a release agent, an adhesiveness-imparting agent, a stress relaxation agent and a coloring agent. An ion scavenger may be blended in order to improve the insulation reliability when absorbing moisture.

【0035】樹脂組成物は、以上の成分に、樹脂が液状
ではない場合には以下に記載するような溶剤を加えて、
公知の方法によりミキサー等で均一に混合して調製する
ことができる。各種配合成分は、全て同時に添加しても
良いが、添加順序を適宜設定することもでき、また、必
要に応じて、一部の配合成分を予め予備混練することも
できる。
The resin composition is prepared by adding a solvent as described below to the above components when the resin is not in a liquid state,
It can be prepared by uniformly mixing with a mixer or the like by a known method. All of the various components may be added at the same time, but the order of addition may be appropriately set, and if necessary, some of the components may be pre-kneaded in advance.

【0036】次に、本発明の樹脂ワニスは、上記の樹脂
組成物と溶剤とを含むものである。この溶剤は、樹脂の
種類や組成物の用途等に応じて適宜選択することがで
き、たとえば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエ
ン、キシレン、メチルイソブチレン、酢酸エチル、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、メタノール、エタ
ノール、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメ
チルアセトアミド等を単独で、または2種以上を混合し
て使用できる。樹脂ワニスは、樹脂と溶剤からなるワニ
スに充填剤、および必要に応じて任意の添加剤を添加
し、任意の方法により混合・撹拌し、充填剤等をワニス
中に均一に分散させて製造できる。
Next, the resin varnish of the present invention contains the above resin composition and a solvent. This solvent can be appropriately selected according to the type of resin and the use of the composition. For example, acetone, methyl ethyl ketone, toluene, xylene, methyl isobutylene, ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether, methanol, ethanol, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and the like can be used alone or in combination of two or more. The resin varnish can be produced by adding a filler to a varnish composed of a resin and a solvent, and an optional additive as necessary, mixing and stirring by an arbitrary method, and uniformly dispersing the filler and the like in the varnish. .

【0037】この溶剤の樹脂組成物に対する割合は、樹
脂の種類、充填剤の配合量、塗布方法等に応じて適宜設
定することができるが、成形性、作業性の観点から、樹
脂組成物100重量部に対して、40〜900重量部の
範囲が好ましく、100〜600重量部の範囲がさらに
好ましい。
The ratio of this solvent to the resin composition can be appropriately set according to the type of resin, the blending amount of the filler, the coating method and the like. From the viewpoint of moldability and workability, the resin composition 100 is used. The range of 40 to 900 parts by weight is preferable, and the range of 100 to 600 parts by weight is more preferable.

【0038】本発明の樹脂フィルムは、本発明の樹脂組
成物から得られるものであり、樹脂組成物が液状の場合
はそのまま、または溶剤を添加して樹脂ワニスとして用
い、任意の方法により形成できる。たとえば、樹脂ワニ
ス(または液状樹脂組成物)を銅箔等の基材の片面に塗
工し、加熱乾燥により溶剤を除去することにより形成で
きる。ワニスの塗布方法には、ブレードコータ、ロッド
コータ、ナイフコータ、スクイズコータ、リバースロー
ルコータ、トランスファロールコータ等の基材と平行な
面方向にせん断力を負荷できるか、あるいは、基材の面
に垂直な方向に圧縮力を負荷できる塗布方法を採用する
ことができる。乾燥は、約130〜150℃で2〜30
分間程度行って、熱硬化性樹脂の場合は半硬化状のベタ
ツキのない状態にすることが好ましい。
The resin film of the present invention is obtained from the resin composition of the present invention, and when the resin composition is in a liquid state, it can be formed by an arbitrary method as it is or by adding a solvent to form a resin varnish. . For example, it can be formed by applying a resin varnish (or a liquid resin composition) on one surface of a base material such as a copper foil, and removing the solvent by heating and drying. The coating method of varnish can be such as blade coater, rod coater, knife coater, squeeze coater, reverse roll coater, transfer roll coater, etc., in which a shearing force can be applied in a plane direction parallel to the base material, or a vertical direction to the base material A coating method that can apply a compressive force in any direction can be adopted. Drying is 2 to 30 at about 130 to 150 ° C.
It is preferable to carry out the treatment for about a minute so that the thermosetting resin is in a semi-cured state without stickiness.

【0039】樹脂フィルムをプリプレグとして用いる場
合は、ガラスクロスや紙等の通常用いられている基材に
樹脂ワニスを含浸させ、乾燥させて溶剤を揮発させると
共にある程度樹脂の硬化を進め、Bステージ状態(樹脂
がプレスで溶融軟化する程度の半硬化状態)とすること
が好ましい。
When a resin film is used as a prepreg, a resin varnish is impregnated into a commonly used base material such as glass cloth or paper, and the solvent is volatilized by drying the resin varnish and the resin is cured to a certain extent to obtain a B stage state. (Semi-cured state in which resin is melted and softened by pressing) is preferable.

【0040】次に、本発明の樹脂組成物または樹脂ワニ
スを用いた電子部品について、図面を参照しながら説明
する。図1は、本発明に係る配線板の一実施形態を模式
的に示した断面図である。配線板(1)は、絶縁層また
は第1絶縁層(11)と配線導体または第1配線導体
(21)とを含んでおり、絶縁層(11)は、樹脂と、
チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ基を有す
るシランカップリング剤により処理されてなる充填剤と
を含む、上述した本発明の樹脂組成物から構成されてい
る。図には示していないが、配線導体(21)は、絶縁
層(11)の両面に形成されていてもよい。
Next, electronic parts using the resin composition or resin varnish of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view schematically showing an embodiment of a wiring board according to the present invention. The wiring board (1) includes an insulating layer or a first insulating layer (11) and a wiring conductor or a first wiring conductor (21), and the insulating layer (11) is a resin.
The resin composition of the present invention comprises a barium titanate powder particle having a surface treated with a silane coupling agent having a primary amino group. Although not shown in the drawing, the wiring conductor (21) may be formed on both surfaces of the insulating layer (11).

【0041】図2は、本発明に係る配線板の別の実施形
態を模式的に示した断面図である。配線板(2)は、第
1絶縁層(11)、第1配線導体(21)、第2絶縁層
(12)、第2配線導体(22)とを含んだ多層配線板
であり、第1絶縁層(11)および第2絶縁層(12)
のうちの少なくとも一方は、上述した本発明の樹脂組成
物から構成されている。図には示していないが、さら
に、第3、第4、第5・・・等の絶縁層と配線導体とが
交互に積層されていてもよい。
FIG. 2 is a sectional view schematically showing another embodiment of the wiring board according to the present invention. The wiring board (2) is a multilayer wiring board including a first insulating layer (11), a first wiring conductor (21), a second insulating layer (12), and a second wiring conductor (22). Insulating layer (11) and second insulating layer (12)
At least one of them is composed of the above-mentioned resin composition of the present invention. Although not shown in the figure, further insulating layers such as third, fourth, fifth, etc. and wiring conductors may be alternately laminated.

【0042】多層配線板の場合、絶縁層のうちの少なく
とも任意の1層は、本発明の樹脂組成物から構成されて
いればよく、また、複数層に対し、様々な誘電率を有す
る本発明の樹脂組成物を用いることもできる。一方、回
路部に相当する樹脂層には、低誘電率の樹脂、たとえば
ポリフェニレンオキサイド樹脂、ポリブタジエン樹脂、
フッ素樹脂等を用い、高密度実装化された多層板とする
こともできる。
In the case of a multilayer wiring board, at least any one of the insulating layers may be composed of the resin composition of the present invention, and the present invention having various dielectric constants for a plurality of layers. The resin composition of can also be used. On the other hand, in the resin layer corresponding to the circuit portion, a resin having a low dielectric constant, such as polyphenylene oxide resin, polybutadiene resin,
It is also possible to use a fluororesin or the like to form a high-density mounted multilayer board.

【0043】配線板の製造は、第1絶縁層(11)を形
成する工程と、第1絶縁層(11)の少なくとも一方の
面に第1配線導体(21)を形成する工程とを含む。多
層配送板の場合は、さらに、第1配線導体(21)に第
2絶縁層(12)を形成する工程と、第2絶縁層(1
2)に第2配線導体(22)を形成する工程とを含んで
いる。絶縁層は、任意の公知方法により形成することが
でき、樹脂ワニスを塗布・乾燥させてもよいし、樹脂フ
ィルムを積層プレスしてもよい。
The manufacture of the wiring board includes a step of forming the first insulating layer (11) and a step of forming the first wiring conductor (21) on at least one surface of the first insulating layer (11). In the case of a multi-layer delivery board, the step of forming the second insulating layer (12) on the first wiring conductor (21) and the second insulating layer (1).
2) and the step of forming the second wiring conductor (22). The insulating layer can be formed by any known method, and a resin varnish may be applied and dried, or a resin film may be laminated and pressed.

【0044】配線導体には、銅、銀、金、アルミニウ
ム、クロム、タングステン、モリブデン等の任意の導体
を用いることができる。これらは、金属箔として用いる
か、または、蒸着、メッキ等により絶縁層上に形成する
ことができ、サブトラクティブ法またはアディティブ法
により内層回路を形成して、スルーホールにより相互接
続し、それぞれを配線層、グランド層、電源層として機
能させることができる。配線の構造は、片面配線、両面
配線、多層配線のいずれでもよく、必要に応じて選択す
ることができる。配線板は、半導体パッケージ搭載用と
して用いてもよいし、半導体パッケージ内において半導
体チップの搭載用基板として用いてもよい。
As the wiring conductor, any conductor such as copper, silver, gold, aluminum, chromium, tungsten and molybdenum can be used. These can be used as a metal foil or can be formed on an insulating layer by vapor deposition, plating, etc., an inner layer circuit is formed by a subtractive method or an additive method, and interconnected by through holes, and each is wired. It can function as a layer, a ground layer, and a power layer. The wiring structure may be single-sided wiring, double-sided wiring, or multilayer wiring, and can be selected as necessary. The wiring board may be used for mounting a semiconductor package, or may be used as a mounting board for a semiconductor chip in a semiconductor package.

【0045】図3は、本発明に係る半導体パッケージの
一実施形態を模式的に示した断面図である。半導体パッ
ケージ(3)は、半導体搭載用基板(10)と半導体搭
載用基板(10)に搭載された半導体チップ(30)と
が封止用樹脂(40)により封止されてなる。ここで、
半導体搭載用基板(10)が本発明に係る樹脂組成物を
用いた配線板(つまり本発明に係る配線板)であるか、
または、封止用樹脂(40)が本発明に係る樹脂組成物
であるように構成されている。あるいは、半導体搭載用
基板(10)と封止用樹脂(40)の双方が、本発明の
樹脂組成物を用いたものであることも好ましい。半導体
チップは、個別デバイスの半導体チップでもよいし、モ
ノリシックICとしての半導体チップでもよく、後者の
場合は、受動素子、能動素子が半導体チップに搭載され
たものを用いることができる。
FIG. 3 is a sectional view schematically showing an embodiment of a semiconductor package according to the present invention. The semiconductor package (3) comprises a semiconductor mounting substrate (10) and a semiconductor chip (30) mounted on the semiconductor mounting substrate (10) sealed with a sealing resin (40). here,
Whether the semiconductor mounting substrate (10) is a wiring board using the resin composition according to the present invention (that is, a wiring board according to the present invention),
Alternatively, the sealing resin (40) is configured to be the resin composition according to the present invention. Alternatively, it is also preferable that both the semiconductor mounting substrate (10) and the sealing resin (40) use the resin composition of the present invention. The semiconductor chip may be a semiconductor chip of an individual device or a semiconductor chip as a monolithic IC. In the latter case, a semiconductor chip having a passive element and an active element mounted thereon can be used.

【0046】半導体パッケージの製造法は、半導体搭載
用基板に半導体チップを搭載する工程と、封止用樹脂
(本発明の樹脂組成物)を封入して基板と半導体チップ
とを封止する工程と、を含んでいる。また、封止用樹脂
として樹脂ワニスを用いる場合は、半導体搭載用基板に
半導体チップを搭載する工程と、封止用樹脂ワニス(本
発明の樹脂ワニス)を封入して基板と半導体チップとを
封止する工程と、ワニス中の溶剤を除去する工程と、を
含む。各工程は、従来公知の方法により実施することが
できる。素子を封止する方法としては、トランスファ成
形法が最も一般的であるが、インジェクション成形法、
圧縮成形法等を用いてもよい。成形条件は用途に応じて
適宜設定できるが、成形温度160〜220℃、成形圧
力2〜12MPa、成形時間1〜10分間とすることが
好ましい。
The semiconductor package manufacturing method includes a step of mounting a semiconductor chip on a semiconductor mounting substrate, and a step of encapsulating a sealing resin (resin composition of the present invention) to seal the substrate and the semiconductor chip. , Is included. When a resin varnish is used as the sealing resin, the step of mounting the semiconductor chip on the semiconductor mounting substrate and the sealing resin varnish (the resin varnish of the present invention) are sealed to seal the substrate and the semiconductor chip. And a step of removing the solvent in the varnish. Each step can be performed by a conventionally known method. The transfer molding method is the most general method for sealing the element, but the injection molding method,
A compression molding method or the like may be used. The molding conditions can be appropriately set according to the application, but it is preferable that the molding temperature is 160 to 220 ° C., the molding pressure is 2 to 12 MPa, and the molding time is 1 to 10 minutes.

【0047】図4は、本発明に係る半導体パッケージ搭
載配線板の一実施形態を模式的に示した断面図である。
半導体パッケージ搭載配線板(4)は、配線板(2)に
半導体パッケージ(3)が搭載されてなるものであり、
配線板および半導体パッケージのうちの少なくとも一方
が、本発明に係る配線板であるか、本発明に係る半導体
パッケージである。図には配線板として多層のものを示
したが、単層の配線板でもよい。
FIG. 4 is a sectional view schematically showing an embodiment of a wiring board for mounting a semiconductor package according to the present invention.
The semiconductor package mounting wiring board (4) is obtained by mounting the semiconductor package (3) on the wiring board (2),
At least one of the wiring board and the semiconductor package is the wiring board according to the present invention or the semiconductor package according to the present invention. Although a multilayer wiring board is shown in the figure, a single-layer wiring board may be used.

【0048】図5は、本発明に係る配線板用材料の一実
施形態を模式的に示した断面図である。配線板用材料
(5)は、キャリアフィルム(50)と本発明に係る樹
脂組成物からなる樹脂層(11)とを含んでいる。配線
板用材料は、キャリアフィルムに対し、本発明の樹脂組
成物を塗布してもよいし、本発明の樹脂フィルムを積層
プレスしてもよい。また、本発明の樹脂ワニスを用いる
場合は、キャリアフィルムに対し樹脂ワニスを塗布する
工程と、ワニス中の溶剤を除去する工程と、を含んでい
る。各工程は、従来公知の方法により実施することがで
きる。
FIG. 5 is a sectional view schematically showing an embodiment of a wiring board material according to the present invention. The wiring board material (5) includes a carrier film (50) and a resin layer (11) made of the resin composition according to the present invention. As the wiring board material, the resin composition of the present invention may be applied to a carrier film, or the resin film of the present invention may be laminated and pressed. When the resin varnish of the present invention is used, it includes a step of applying the resin varnish to the carrier film and a step of removing the solvent in the varnish. Each step can be performed by a conventionally known method.

【0049】以上に説明した他、本発明の樹脂組成物
は、フィルムコンデンサ、LCR、フィルタ、オシレー
タ等の電子部品単体としても使用することができる。
In addition to the above description, the resin composition of the present invention can be used as a single electronic component such as a film capacitor, LCR, filter and oscillator.

【0050】[0050]

【実施例】以下の実施例において、「部」は「重量部」
を表す。 [実施例1〜5、比較例1〜9] 1 .チタン酸バリウム粉体粒子の表面処理 表1に示す各成分を用いてチタン酸バリウム粉体粒子の
表面処理を行い、充填剤A〜Fを製造した。充填剤A、
EおよびFは、各成分をプロペラ攪拌機を用いて60℃
で8時間攪拌し、メチルエチルケトンを用いて3回洗浄
した後、乾燥した。充填剤B〜Dは、各成分をプロペラ
攪拌機を用いて室温で1時間攪拌し、メチルエチルケト
ンを用いて3回洗浄した後、乾燥した。また、未処理の
チタン酸バリウム粉体を充填剤Gとした。
EXAMPLES In the following examples, "part" means "part by weight".
Represents [Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 9] 1. Surface Treatment of Barium Titanate Powder Particles Barium titanate powder particles were surface-treated using the components shown in Table 1 to produce fillers A to F. Filler A,
E and F, each component is 60 ℃ using a propeller stirrer
The mixture was stirred for 8 hours, washed with methyl ethyl ketone three times, and dried. Each of the fillers B to D was stirred at room temperature for 1 hour using a propeller stirrer, washed three times with methyl ethyl ketone, and then dried. In addition, untreated barium titanate powder was used as the filler G.

【0051】表中の化合物は、それぞれ以下のものであ
る。BT−100M:チタン酸バリウム粉体(富士チタ
ン(株)、平均粒径1.5μm)/MEK:メチルエチ
ルケトン/A−1100:γ−アミノプロピルトリエト
キシシラン(日本ユニカー(株))/A−9669:N
−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
(日本ユニカー(株))/A−187:γ−グリシドキ
シプロピルトリメトキシシラン(日本ユニカー(株))
/KR−TTS:イロプロピルトリイソステアロイルチ
タネート(味の素(株))/AL−M:アセトアルコキ
シアルミニウムジイソプロピレート(味の素(株))/
p−TSA:p−トルエンスルホン酸
The compounds in the table are as follows. BT-100M: barium titanate powder (Fujititanium Co., Ltd., average particle size: 1.5 μm) / MEK: methyl ethyl ketone / A-1100: γ-aminopropyltriethoxysilane (Nippon Unicar Co., Ltd.) / A-9669 : N
-Phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane (Nippon Unicar Co., Ltd.) / A-187: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane (Nippon Unicar Co., Ltd.)
/ KR-TTS: Iropropyltriisostearoyl titanate (Ajinomoto Co., Inc.) / AL-M: acetoalkoxyaluminum diisopropylate (Ajinomoto Co., Inc.) /
p-TSA: p-toluenesulfonic acid

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】2.表面処理の被覆効果の評価 表面処理による被覆効果を評価するための樹脂ワニスA
として、フェノキシ樹脂(東都化成(株)製YP−5
0)100重量部、マスクイソシアネート(イソホロン
ジイソシアネートとフェノールノボラック樹脂の化合
物)15重量部、溶剤(N,N−ジメチルアセトアミ
ド)173重量部の混合物を用いた。チタン酸バリウム
(表面未処理)はマスクイソシアネートの解離反応を促
進し、これによって生成されたイソホロンジイソシアネ
ートとフェノキシ樹脂が架橋反応を起こすため、樹脂組
成物は室温、2時間程度でゲル化する。そのため、樹脂
組成物の粘度上昇を測定することにより、チタン酸バリ
ウム粉体の表面処理による被覆効果を評価することがで
きる。
2. Evaluation of coating effect of surface treatment Resin varnish A for evaluating coating effect of surface treatment
As a phenoxy resin (YP-5 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)
0) A mixture of 100 parts by weight, 15 parts by weight of masked isocyanate (a compound of isophorone diisocyanate and a phenol novolac resin) and 173 parts by weight of a solvent (N, N-dimethylacetamide) was used. Barium titanate (untreated surface) accelerates the dissociation reaction of masked isocyanate, and the resulting isophorone diisocyanate and the phenoxy resin undergo a crosslinking reaction, so that the resin composition gels at room temperature for about 2 hours. Therefore, the coating effect of the surface treatment of the barium titanate powder can be evaluated by measuring the viscosity increase of the resin composition.

【0054】樹脂ワニスAに、表2に示す組成で各充填
剤A〜Gを配合し、ビーズミルを用いて、アルミナ容器
500ml、アルミナビーズ150ml、サンプル15
0ml、1000rpmで室温で1時間混合し、実施例
1および2、比較例1〜5の各樹脂組成物を得た。得ら
れた樹脂組成物について、B型粘度計で、混合直後、室
温1日放置後および室温5日放置後の25℃の粘度を測
定した、結果を表2に併せて示す。
Each of the fillers A to G having the composition shown in Table 2 was mixed with the resin varnish A, and using a bead mill, 500 ml of alumina container, 150 ml of alumina beads, sample 15
The resin compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 5 were obtained by mixing at 0 ml and 1000 rpm for 1 hour at room temperature. The obtained resin composition was measured for viscosity at 25 ° C. immediately after mixing, after being left at room temperature for 1 day and after being left at room temperature for 5 days with a B-type viscometer. The results are also shown in Table 2.

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】実施例の組成物ではいずれも、放置後の粘
度上昇が少なく、5日後でも120%と良好であった。
これに対し、比較例の組成物では粘度上昇が著しく、組
成物のライフ(保存期間)が短いため、実用上問題があ
ることが判明した。特に、アルミニウム系カップリング
剤で処理した充填剤Fと表面処理を行わなかった充填剤
Gを用いた組成物(比較例4,5)では、2時間後にゲ
ル化をしていた。
In each of the compositions of Examples, the increase in viscosity after standing was small, and it was as good as 120% after 5 days.
On the other hand, it was found that the composition of Comparative Example had a problem in practical use because the composition had a remarkable increase in viscosity and had a short life (storage period). In particular, the compositions using the filler F treated with the aluminum-based coupling agent and the filler G not subjected to the surface treatment (Comparative Examples 4 and 5) were gelated after 2 hours.

【0057】3.樹脂組成物の調製 樹脂ワニスBとして、フェノキシ樹脂(東都化成(株)
製YP−50)100重量部、マスクイソシアネート
(イソホロンジイソシアネートとフェノールノボラック
樹脂の化合物)15重量部、エポキシ樹脂(東都化成
(株)製YD8125)24重量部、エポキシ樹脂(住
友化学(株)製ESCN195)12重量部、溶剤
(N,N−ジメチルアセトアミド)173重量部の混合
物を用いた。この樹脂ワニスB100重量部に、充填剤
B,C,Eを表3に示す割合で配合して、上記と同様の
方法で混合し、実施例3〜5および比較例6〜9の樹脂
組成物を得た。
3. Preparation of resin composition As resin varnish B, phenoxy resin (Toto Kasei Co., Ltd.)
YP-50 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., mask isocyanate (compound of isophorone diisocyanate and phenol novolac resin) 15 parts by weight, epoxy resin (YD8125 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) 24 parts by weight, epoxy resin (ESCN195 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) ) 12 parts by weight and a solvent (N, N-dimethylacetamide) 173 parts by weight. 100 parts by weight of this resin varnish B was mixed with the fillers B, C and E in the proportions shown in Table 3 and mixed in the same manner as described above, and the resin compositions of Examples 3 to 5 and Comparative Examples 6 to 9 were mixed. Got

【0058】得られた樹脂組成物を、ポリエチレンテレ
フタレート製の離型フィルム上に乾燥後の膜厚が200
μmになるようにアプリケーターを用いて塗布し、17
0℃の乾燥炉で10分間乾燥した。得られた塗膜表面を
目視で観察し、樹脂と充填剤の分離状態を評価した。さ
らに、得られた塗膜の150℃での最低溶融粘度をIC
Iコーンプレート粘度計を用いて測定し、100Pa・
s未満のものを成形性良好、100Pa・s以上のもの
を成形性不良とした。また、塗膜の1MHzの比誘電率
をLCRメータ(アジレントテクノロジー(株)製HP
4275A)を用いて測定した。これらの結果を併せて
表3に示す。
The resin composition thus obtained was dried on a polyethylene terephthalate release film to give a film thickness of 200.
Apply using an applicator so that
It was dried in a drying oven at 0 ° C. for 10 minutes. The surface of the obtained coating film was visually observed to evaluate the separated state of the resin and the filler. Furthermore, the minimum melt viscosity of the obtained coating film at 150 ° C.
Measured using an I-cone plate viscometer, 100 Pa
The moldability of less than s was regarded as good, and the moldability of 100 Pa · s or more was regarded as poor. In addition, the relative dielectric constant of 1 MHz of the coating film is measured by an LCR meter (HP manufactured by Agilent Technology Co., Ltd.).
4275A). The results are shown together in Table 3.

【0059】[0059]

【表3】 [Table 3]

【0060】実施例3〜5から明らかであるように、本
発明の充填剤Bは184重量部配合しても分散性、成形
性ともに良好であった。一方、比較例6〜9にみるよう
に、充填剤Cは128重量部まで、充填剤Eでは92重
量部までしか配合できず、誘電率の高い塗膜を得ること
ができなかった。以上のように、本発明の充填剤を含む
実施例では、塗膜中に充填剤が均一に分散し、外観も良
好で、充填剤を多量に配合しても成形性が良好で、優れ
た分散性が示された。その結果、誘電率の高い塗膜を得
ることができた。これに対し、本発明の充填剤を含まな
い比較例では、塗膜中で樹脂と充填剤が分離したり、多
量に配合すると流動性が悪化して成形不良を生じたりし
た。
As is clear from Examples 3 to 5, even when 184 parts by weight of the filler B of the present invention was blended, both dispersibility and moldability were good. On the other hand, as seen in Comparative Examples 6 to 9, the filler C could be blended up to 128 parts by weight, and the filler E could be blended up to 92 parts by weight, and a coating film having a high dielectric constant could not be obtained. As described above, in the examples containing the filler of the present invention, the filler was uniformly dispersed in the coating film, the appearance was good, and the moldability was good even if a large amount of the filler was blended, which was excellent. Dispersibility was shown. As a result, a coating film having a high dielectric constant could be obtained. On the other hand, in the comparative example not containing the filler of the present invention, the resin and the filler were separated in the coating film, and when mixed in a large amount, the fluidity was deteriorated and molding failure was caused.

【0061】[0061]

【発明の効果】本発明の充填剤は、チタン酸バリウム粉
体粒子の表面が一級アミノ基を有するシランカップリン
グ剤により処理されたものであるので、樹脂組成物中で
の凝集が抑制されて分散性に優れている。したがって、
この充填剤を従来に比べて多量かつ均一に含有させた樹
脂組成物を得ることが可能であり、所望の高誘電率を有
する絶縁樹脂層を提供することができ、この絶縁樹脂層
を配線板、半導体パッケージ等に用いて、機能性に優れ
た小型高密度電子部品とすることができる。
The filler of the present invention is one in which the surface of barium titanate powder particles is treated with a silane coupling agent having a primary amino group, so that aggregation in the resin composition is suppressed. Excellent dispersibility. Therefore,
It is possible to obtain a resin composition containing this filler in a larger amount and more uniformly than in the conventional case, and to provide an insulating resin layer having a desired high dielectric constant. It can be used as a semiconductor package or the like to provide a compact and high-density electronic component having excellent functionality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の配線板の一実施形態を示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a wiring board of the present invention.

【図2】本発明の配線板の別の実施形態を示す断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the wiring board of the present invention.

【図3】本発明の半導体パッケージの一実施形態を示す
断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing an embodiment of a semiconductor package of the present invention.

【図4】本発明の半導体パッケージ搭載配線板の一実施
形態を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing one embodiment of a wiring board for mounting a semiconductor package of the present invention.

【図5】本発明の配線板用材料の一実施形態を示す断面
図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an embodiment of a wiring board material of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 配線板 2 配線板 11 絶縁層 21 配線導体 3 半導体パッケージ 4 半導体パッケージ搭載配線板 5 配線板用材料 1 wiring board 2 wiring board 11 insulating layer 21 wiring conductor 3 Semiconductor package 4 Semiconductor package mounted wiring board 5 Materials for wiring boards

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08L 101/00 C08L 101/00 4M109 C09C 3/08 C09C 3/08 5E346 3/12 3/12 C09D 7/12 C09D 7/12 201/00 201/00 H01L 23/29 H05K 1/03 610R 23/31 3/46 T H05K 1/03 610 H01L 23/30 R 3/46 (72)発明者 島田 靖 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社総合研究所内 (72)発明者 大塚 和久 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社総合研究所内 (72)発明者 平田 善毅 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社総合研究所内 (72)発明者 山本 和徳 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社総合研究所内 Fターム(参考) 4F006 AA35 AB32 AB34 AB74 BA06 CA08 DA04 4F071 AA02 AA03 AA12 AA14 AA21 AA22 AA24 AA25 AA26 AA29 AA31 AA34 AA40 AA41 AA42 AA43 AA49 AA50 AA53 AA54 AA58 AA60 AB20 AC16 AE22 AH13 BA03 BB02 BC01 BC02 4J002 AC021 BB031 BB121 BB171 BC021 BD041 BD101 BD121 BE021 BG001 BG101 CB001 CC031 CC181 CD021 CD051 CD061 CD081 CD131 CD141 CF001 CF211 CG001 CK021 CL001 CM021 CM041 CP031 DE186 FB146 FB236 FD206 GQ05 4J037 AA21 CB09 CB23 DD05 EE02 EE43 FF15 4J038 EA011 GA09 HA246 JC35 KA06 KA08 KA14 KA20 LA03 MA07 MA09 NA25 NA26 PB09 PC02 4M109 AA01 EA01 EB06 EB11 EB18 5E346 AA12 AA15 BB01 CC08 CC16 DD01 EE31 GG02 HH01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) C08L 101/00 C08L 101/00 4M109 C09C 3/08 C09C 3/08 5E346 3/12 3/12 C09D 7 / 12 C09D 7/12 201/00 201/00 H01L 23/29 H05K 1/03 610R 23/31 3/46 T H05K 1/03 610 H01L 23/30 R 3/46 (72) Inventor Yasushi Shimada Ibaraki Shimodate City Oita 1500 Ogawa Hitachi Chemical Co., Ltd. Research Institute (72) Inventor Kazuhisa Otsuka Ibaraki Prefecture Shimodate City Ogawa 1500 Ogawa Hitachi Research Institute Research Institute (72) Inventor Yoshiki Hirata Ibaraki Shimodate City Ogawa 1500, Hitachi Chemical Co., Ltd. Research Institute (72) Inventor, Kazunori Yamamoto 1500 Ogawa, Shimodate, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Institute within the F-term (reference) 4F006 AA35 AB32 AB34 AB74 BA06 CA08 DA04 4F071 AA02 AA03 AA12 AA14 AA21 AA22 AA24 AA25 AA26 AA29 AA31 AA34 AA40 AA41 AA42 AA43 AA49 AA50 AA53 AA54 AA58 AA60 AB20 AC16 AE22 AH13 BA03 BB02 BC01 BC02 4J002 AC021 BB031 BB121 BB171 BC021 BD041 BD101 BD121 BE021 BG001 BG101 CB001 CC031 CC181 CD021 CD051 CD061 CD081 CD131 CD141 CF001 CF211 CG001 CK021 CL001 CM021 CM041 CP031 DE186 KA08 MA06 LA06 EA08 EA08 EA06 EA15 EA15 EA15 EA15 EA15 EA23 CB15 FF15 FF21 CB15 FF15 FF15 CB206 CB206 CB206 CB23 NA25 NA26 PB09 PC02 4M109 AA01 EA01 EB06 EB11 EB18 5E346 AA12 AA15 BB01 CC08 CC16 DD01 EE31 GG02 HH01

Claims (22)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級
アミノ基を有するシランカップリング剤により処理され
てなる充填剤。
1. A filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group.
【請求項2】 チタン酸バリウム粉体粒子の表面が、有
機酸の存在下、一級アミノ基を有するシランカップリン
グ剤により処理されてなる充填剤。
2. A filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group in the presence of an organic acid.
【請求項3】 前記有機酸がp−トルエンスルホン酸で
ある請求項2記載の充填剤。
3. The filler according to claim 2, wherein the organic acid is p-toluenesulfonic acid.
【請求項4】 表面処理された充填剤の製造法であっ
て、一級アミノ基を有するシランカップリング剤を有機
溶剤に分散または溶解させた処理液とチタン酸バリウム
粉体とを接触させて表面処理を行う充填剤の製造法。
4. A method for producing a surface-treated filler, which comprises contacting a treatment liquid obtained by dispersing or dissolving a silane coupling agent having a primary amino group in an organic solvent with barium titanate powder, A method of manufacturing a filler to be treated.
【請求項5】 有機酸の存在下で前記処理液とチタン酸
バリウム粉体との接触を行う請求項4記載の充填剤の製
造法。
5. The method for producing a filler according to claim 4, wherein the treatment liquid and the barium titanate powder are contacted with each other in the presence of an organic acid.
【請求項6】 前記有機酸がp−トルエンスルホン酸で
ある請求項5記載の充填剤の製造法。
6. The method for producing a filler according to claim 5, wherein the organic acid is p-toluenesulfonic acid.
【請求項7】 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表
面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤により
処理されてなる充填剤とを含む樹脂組成物。
7. A resin composition comprising a resin and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group.
【請求項8】 前記樹脂100重量部に対し前記充填剤
が100〜1000重量部含まれている請求項7記載の
樹脂組成物。
8. The resin composition according to claim 7, wherein the filler is contained in an amount of 100 to 1000 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin.
【請求項9】 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表
面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤により
処理されてなる充填剤と、溶剤とを含む樹脂ワニス。
9. A resin varnish containing a resin, a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group, and a solvent.
【請求項10】 前記樹脂と充填剤との合計100重量
部に対し前記溶剤が40〜900重量部含まれている請
求項9記載の樹脂ワニス。
10. The resin varnish according to claim 9, wherein the solvent is contained in an amount of 40 to 900 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the resin and the filler.
【請求項11】 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の
表面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤によ
り処理されてなる充填剤とを含む樹脂組成物からなる樹
脂フィルム。
11. A resin film comprising a resin composition comprising a resin and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group.
【請求項12】 絶縁層と配線導体とを含む配線板であ
って、前記絶縁層が樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子
の表面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤に
より処理されてなる充填剤とを含む樹脂組成物からなる
ものである配線板。
12. A wiring board comprising an insulating layer and a wiring conductor, wherein the insulating layer is a resin and the surface of barium titanate powder particles is treated with a silane coupling agent having a primary amino group. A wiring board comprising a resin composition containing an agent.
【請求項13】 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の
表面が一級アミノ基を有するシランカップリング剤によ
り処理されてなる充填剤とを含む樹脂組成物からなる第
1絶縁層を形成する工程と、 前記第1絶縁層に第1配線導体を形成する工程と、を含
む配線板の製造法。
13. A step of forming a first insulating layer comprising a resin composition comprising a resin and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. And a step of forming a first wiring conductor on the first insulating layer.
【請求項14】 前記第1配線導体に第2絶縁層を形成
する工程と、 前記第2絶縁層に第2配線導体を形成する工程と、をさ
らに含む請求項13記載の配線板の製造法。
14. The method for manufacturing a wiring board according to claim 13, further comprising: a step of forming a second insulating layer on the first wiring conductor; and a step of forming a second wiring conductor on the second insulating layer. .
【請求項15】 半導体搭載用基板と前記半導体搭載用
基板に搭載された半導体チップとが封止用樹脂により封
止されてなる半導体パッケージであって、前記半導体搭
載用基板が、絶縁層と配線導体とを含み、前記絶縁層が
樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ
基を有するシランカップリング剤により処理されてなる
充填剤とを含む樹脂組成物からなるものである半導体パ
ッケージ。
15. A semiconductor package comprising a semiconductor mounting substrate and a semiconductor chip mounted on the semiconductor mounting substrate sealed with a sealing resin, the semiconductor mounting substrate including an insulating layer and wiring. A semiconductor package comprising a conductor, and a resin composition in which the insulating layer comprises a resin and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. .
【請求項16】 半導体搭載用基板と前記半導体搭載用
基板に搭載された半導体チップとが封止用樹脂により封
止されてなる半導体パッケージであって、前記封止用樹
脂が、樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級
アミノ基を有するシランカップリング剤により処理され
てなる充填剤とを含む樹脂組成物である半導体パッケー
ジ。
16. A semiconductor package in which a semiconductor mounting substrate and a semiconductor chip mounted on the semiconductor mounting substrate are sealed with a sealing resin, wherein the sealing resin is a resin and titanium. A semiconductor package, which is a resin composition containing a filler obtained by treating the surface of barium acid powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group.
【請求項17】 半導体搭載用基板に半導体チップを搭
載する工程と、 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ
基を有するシランカップリング剤により処理されてなる
充填剤とを含む樹脂組成物により前記半導体搭載用基板
と半導体チップとを封止する工程と、を含む半導体パッ
ケージの製造法。
17. A resin comprising a step of mounting a semiconductor chip on a semiconductor mounting substrate, a resin, and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group. A method of manufacturing a semiconductor package, comprising a step of sealing the semiconductor mounting substrate and a semiconductor chip with a composition.
【請求項18】 半導体搭載用基板に半導体チップを搭
載する工程と、 樹脂と、チタン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ
基を有するシランカップリング剤により処理されてなる
充填剤と、溶剤とを含む樹脂ワニスにより前記半導体搭
載用基板と半導体チップとを封止する工程と、 前記溶剤を除去する工程と、を含む半導体パッケージの
製造法。
18. A step of mounting a semiconductor chip on a semiconductor mounting substrate, a resin, a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group, and a solvent. A method of manufacturing a semiconductor package, comprising: a step of sealing the semiconductor mounting substrate and a semiconductor chip with a resin varnish containing: and a step of removing the solvent.
【請求項19】 請求項12記載の配線板に半導体パッ
ケージが搭載されてなる半導体パッケージ搭載配線板。
19. A semiconductor-package-mounted wiring board comprising a semiconductor package mounted on the wiring board according to claim 12.
【請求項20】 配線板に請求項15または16記載の
半導体パッケージが搭載されてなる半導体パッケージ搭
載配線板。
20. A semiconductor package mounting wiring board comprising the semiconductor package according to claim 15 mounted on a wiring board.
【請求項21】 樹脂層とキャリアフィルムとを含む配
線板用材料であって、前記樹脂層が樹脂と、チタン酸バ
リウム粉体粒子の表面が一級アミノ基を有するシランカ
ップリング剤により処理されてなる充填剤とを含む樹脂
組成物からなるものである配線板用材料。
21. A wiring board material comprising a resin layer and a carrier film, wherein the resin layer is treated with a resin and the surface of barium titanate powder particles is treated with a silane coupling agent having a primary amino group. A wiring board material comprising a resin composition containing a filler.
【請求項22】 キャリアフィルムに対し、樹脂と、チ
タン酸バリウム粉体粒子の表面が一級アミノ基を有する
シランカップリング剤により処理されてなる充填剤と、
溶剤とを含む樹脂ワニスを塗布する工程と、 前記溶剤を除去する工程と、を含む配線板用材料の製造
法。
22. A resin for a carrier film, and a filler obtained by treating the surface of barium titanate powder particles with a silane coupling agent having a primary amino group,
A method of manufacturing a wiring board material, comprising: a step of applying a resin varnish containing a solvent; and a step of removing the solvent.
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